JPH10336894A - 受変電装置と受変電装置の給電方法 - Google Patents
受変電装置と受変電装置の給電方法Info
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- JPH10336894A JPH10336894A JP9142297A JP14229797A JPH10336894A JP H10336894 A JPH10336894 A JP H10336894A JP 9142297 A JP9142297 A JP 9142297A JP 14229797 A JP14229797 A JP 14229797A JP H10336894 A JPH10336894 A JP H10336894A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の負荷のうち特定の負荷には常時電力を
供給すること。 【解決手段】 負荷３４には供給電源１０からの電力を
高圧変電設備２０、低圧変電設備２４を介して供給し、
負荷設備３８には供給電源１２からの電力を高圧変電設
備２２、低圧変電設備２６を介して供給し、遮断器１
４、または遮断器１６を開いて負荷設備３４、３８への
電力への供給を停止した状態でも、特定の負荷設備３６
には、低圧変電設備２４、２６からの電力を電磁開閉器
３０、３２を介して供給し、負荷設備３４または３８の
運転が停止されたときでも、特定の負荷設備３６には供
給電源１０または１２からの電力を常時供給する。
供給すること。 【解決手段】 負荷３４には供給電源１０からの電力を
高圧変電設備２０、低圧変電設備２４を介して供給し、
負荷設備３８には供給電源１２からの電力を高圧変電設
備２２、低圧変電設備２６を介して供給し、遮断器１
４、または遮断器１６を開いて負荷設備３４、３８への
電力への供給を停止した状態でも、特定の負荷設備３６
には、低圧変電設備２４、２６からの電力を電磁開閉器
３０、３２を介して供給し、負荷設備３４または３８の
運転が停止されたときでも、特定の負荷設備３６には供
給電源１０または１２からの電力を常時供給する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、受変電装置と受変
電装置の給電方法に係り、特に、半導体製造装置などの
生産装置および用役設備などの負荷に電力を供給するに
好適な受変電装置と受変電装置の給電方法に関する。
電装置の給電方法に係り、特に、半導体製造装置などの
生産装置および用役設備などの負荷に電力を供給するに
好適な受変電装置と受変電装置の給電方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】商用電源などの電源からの電圧を変圧し
て生産工場などの負荷に電力を供給する工場用受変電設
備は、一般に、電力供給の信頼性の確保と法的な義務の
ため、少なくとも年１回の定期検査（定修）を実施する
必要がある。従来、この種の受変電設備の電源系統は、
供給電源からの電力を遮断器を介して高圧変電設備、低
圧変電設備を介して負荷設備に供給する構成が採用され
ている。そして定期検査を行うに際しては、作業の安全
性のために、受変電設備を一時停電させ、その後受変電
設備を点検するようになっている。
て生産工場などの負荷に電力を供給する工場用受変電設
備は、一般に、電力供給の信頼性の確保と法的な義務の
ため、少なくとも年１回の定期検査（定修）を実施する
必要がある。従来、この種の受変電設備の電源系統は、
供給電源からの電力を遮断器を介して高圧変電設備、低
圧変電設備を介して負荷設備に供給する構成が採用され
ている。そして定期検査を行うに際しては、作業の安全
性のために、受変電設備を一時停電させ、その後受変電
設備を点検するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、受変電
設備の定期検査を行うに際しては、受変電設備を一時停
電させるようになっているので、負荷となる製造工場の
生産装置および用役設備も同時に全て停止することにな
る。このため、運転停止前の機械的、温度的状態を短時
間で再現することが困難な生産装置および用役設備が負
荷に含まれている場合でも、定期検査が終了し、受変電
設備に対する通電を再開したあと、ただちに通常の運転
に復帰することは難しく、一般に、その調整のために数
日間を要することがある。従ってその間は、実質的に生
産停止の状態にあるため、大規模工場ほどその損失は無
視できなくなる。例えば、半導体生産工場の場合、近年
大規模化と高稼働率化が要求されており、定期検査後も
速やかに通常の生産に復帰できることが強く望まれてい
る。そこで、従来、定期検査に伴う装置や設備の運転停
止を防止するために、受変電設備の停止も、一部の生産
装置に小型の自家発電装置から給電する方法が採用され
ているが、この方法は限定された範囲のみ有効であり、
通電再開と同時に通常の生産へ全面的に復帰することは
できない。
設備の定期検査を行うに際しては、受変電設備を一時停
電させるようになっているので、負荷となる製造工場の
生産装置および用役設備も同時に全て停止することにな
る。このため、運転停止前の機械的、温度的状態を短時
間で再現することが困難な生産装置および用役設備が負
荷に含まれている場合でも、定期検査が終了し、受変電
設備に対する通電を再開したあと、ただちに通常の運転
に復帰することは難しく、一般に、その調整のために数
日間を要することがある。従ってその間は、実質的に生
産停止の状態にあるため、大規模工場ほどその損失は無
視できなくなる。例えば、半導体生産工場の場合、近年
大規模化と高稼働率化が要求されており、定期検査後も
速やかに通常の生産に復帰できることが強く望まれてい
る。そこで、従来、定期検査に伴う装置や設備の運転停
止を防止するために、受変電設備の停止も、一部の生産
装置に小型の自家発電装置から給電する方法が採用され
ているが、この方法は限定された範囲のみ有効であり、
通電再開と同時に通常の生産へ全面的に復帰することは
できない。
【０００４】本発明の目的は、複数の負荷のうち特定の
負荷には常時電力を供給することができる受変電装置と
受変電装置の給電方法を提供することにある。
負荷には常時電力を供給することができる受変電装置と
受変電装置の給電方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、複数の電源からの電気信号をそれぞれ変
圧して複数の負荷に供給する複数の変電設備と、前記複
数の負荷のうち特定の負荷と一方の変電設備とを結ぶ第
１給電回路を構成しこの第１給電回路を開閉指令に応じ
て開閉する第１開閉器と、前記複数の負荷のうち特定の
負荷と他方の変電設備とを結ぶ第２給電回路を構成しこ
の第２給電回路を開閉指令に応じて開閉する第２開閉器
と、前記第１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器が閉状態にあることを条件に他方の開閉器に開
閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前記特定の負荷
には前記第１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器から給電してなる受変電装置を構成したもので
ある。
に、本発明は、複数の電源からの電気信号をそれぞれ変
圧して複数の負荷に供給する複数の変電設備と、前記複
数の負荷のうち特定の負荷と一方の変電設備とを結ぶ第
１給電回路を構成しこの第１給電回路を開閉指令に応じ
て開閉する第１開閉器と、前記複数の負荷のうち特定の
負荷と他方の変電設備とを結ぶ第２給電回路を構成しこ
の第２給電回路を開閉指令に応じて開閉する第２開閉器
と、前記第１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器が閉状態にあることを条件に他方の開閉器に開
閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前記特定の負荷
には前記第１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器から給電してなる受変電装置を構成したもので
ある。
【０００６】前記受変電装置を構成するに際しては、変
電設備として、複数の電源のうち少なくとも一つの電源
からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する複数の
変電設備を備えたもの、あるいは、少なくとも一つの電
源からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する複数
の変電設備を備えたものにも本発明を適用することがで
きる。さらに、変電設備として、複数の電源のうち一方
の電源からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する
変電設備を備えるとともに、第２開閉器として、複数の
電源のうち他方の電源と特定の負荷とを結ぶ第２給電回
路を構成しこの第２給電回路を開閉指令に応じて開閉す
る機能を備えたものにも本発明を適用することができ
る。
電設備として、複数の電源のうち少なくとも一つの電源
からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する複数の
変電設備を備えたもの、あるいは、少なくとも一つの電
源からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する複数
の変電設備を備えたものにも本発明を適用することがで
きる。さらに、変電設備として、複数の電源のうち一方
の電源からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する
変電設備を備えるとともに、第２開閉器として、複数の
電源のうち他方の電源と特定の負荷とを結ぶ第２給電回
路を構成しこの第２給電回路を開閉指令に応じて開閉す
る機能を備えたものにも本発明を適用することができ
る。
【０００７】また本発明は、複数の電源からの電力をそ
れぞれ遮断器を介して複数の変電設備に供給し、複数の
負荷のうち特定の負荷を除く他の負荷に前記複数の変電
設備からの電力を供給し、前記特定の負荷には前記複数
の変電設備からの電力をそれぞれ開閉器を介して供給
し、前記特定の負荷を除く他の負荷への電力の供給を停
止するときでも前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉
器を常に閉状態として、前記特定の負荷には少なくとも
閉状態にある開閉器からの電力を供給する受変電装置の
給電方法を採用したものである。
れぞれ遮断器を介して複数の変電設備に供給し、複数の
負荷のうち特定の負荷を除く他の負荷に前記複数の変電
設備からの電力を供給し、前記特定の負荷には前記複数
の変電設備からの電力をそれぞれ開閉器を介して供給
し、前記特定の負荷を除く他の負荷への電力の供給を停
止するときでも前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉
器を常に閉状態として、前記特定の負荷には少なくとも
閉状態にある開閉器からの電力を供給する受変電装置の
給電方法を採用したものである。
【０００８】前記受変電装置の給電方法を採用するに際
しては、複数の変電設備に電力を供給する方法として、
少なくとも一つの電源からの電力をそれぞれ遮断器を介
して複数の変電設備に供給したり、複数の電源のうち少
なくとも一つの電源からの電力をそれぞれ遮断器を介し
て複数の変電設備に供給したりすることができる。
しては、複数の変電設備に電力を供給する方法として、
少なくとも一つの電源からの電力をそれぞれ遮断器を介
して複数の変電設備に供給したり、複数の電源のうち少
なくとも一つの電源からの電力をそれぞれ遮断器を介し
て複数の変電設備に供給したりすることができる。
【０００９】また本発明の他の給電方法として、複数の
電源のうち一方の電源からの電力を遮断器を介して変電
設備に供給し、複数の負荷のうち特定の負荷を除く他の
負荷には前記変電設備からの電力または前記複数の電源
のうち他方の電源からの電力を供給し、前記特定の負荷
には前記変電設備からの電力または前記複数の電源の他
方の電源からの電力をそれぞれ開閉器を介して供給し、
前記特定の負荷を除く他の負荷への電力の供給を停止す
るときでも前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉器を
常に閉状態として、前記特定の負荷には少なくとも閉状
態にある開閉器からの電力を供給する受変電装置の給電
方法を採用したものである。
電源のうち一方の電源からの電力を遮断器を介して変電
設備に供給し、複数の負荷のうち特定の負荷を除く他の
負荷には前記変電設備からの電力または前記複数の電源
のうち他方の電源からの電力を供給し、前記特定の負荷
には前記変電設備からの電力または前記複数の電源の他
方の電源からの電力をそれぞれ開閉器を介して供給し、
前記特定の負荷を除く他の負荷への電力の供給を停止す
るときでも前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉器を
常に閉状態として、前記特定の負荷には少なくとも閉状
態にある開閉器からの電力を供給する受変電装置の給電
方法を採用したものである。
【００１０】前記した手段によれば、特定の負荷には第
１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一方の開閉器か
ら常に電力が供給されているため、変電設備などの定期
検査を行うときに、特定の負荷を除く他の負荷への電力
の供給を停止したときでも、特定の負荷には常に電力を
供給することができ、定期検査時にも特定の負荷の運転
を継続することができる。特に、特定の負荷として、半
導体製造工場の生産装置および用役設備を用いた場合で
も、これらの装置や設備の運転を常に安定した状態で継
続することができる。
１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一方の開閉器か
ら常に電力が供給されているため、変電設備などの定期
検査を行うときに、特定の負荷を除く他の負荷への電力
の供給を停止したときでも、特定の負荷には常に電力を
供給することができ、定期検査時にも特定の負荷の運転
を継続することができる。特に、特定の負荷として、半
導体製造工場の生産装置および用役設備を用いた場合で
も、これらの装置や設備の運転を常に安定した状態で継
続することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施形態を示す受変電装
置の全体構成図である。図１において、複数の供給電源
１０、１２は、例えば商用電源で構成されており、供給
電源１０は遮断器１４を介して高圧変電設備２０に接続
され、供給電源１２は遮断器１６を介して高圧変電設備
２２に接続されている。なお、供給電源１０と供給電源
１２とを遮断器１８を介して接続することもできる。高
圧変電設備２０、２２の二次側にはそれぞれ低圧変電設
備２４、２６が接続されている。低圧変電設備２４の二
次側には負荷となる負荷設備３４が接続されているとと
もに、電磁開閉器３０を介して負荷設備３６が接続され
ている。低圧変電設備２６の二次側には負荷設備３８が
接続されているとともに、電磁開閉器３２を介して負荷
設備３６が接続されている。各電磁開閉器３０、３２は
それぞれ操作制御器２８に接続されている。
置の全体構成図である。図１において、複数の供給電源
１０、１２は、例えば商用電源で構成されており、供給
電源１０は遮断器１４を介して高圧変電設備２０に接続
され、供給電源１２は遮断器１６を介して高圧変電設備
２２に接続されている。なお、供給電源１０と供給電源
１２とを遮断器１８を介して接続することもできる。高
圧変電設備２０、２２の二次側にはそれぞれ低圧変電設
備２４、２６が接続されている。低圧変電設備２４の二
次側には負荷となる負荷設備３４が接続されているとと
もに、電磁開閉器３０を介して負荷設備３６が接続され
ている。低圧変電設備２６の二次側には負荷設備３８が
接続されているとともに、電磁開閉器３２を介して負荷
設備３６が接続されている。各電磁開閉器３０、３２は
それぞれ操作制御器２８に接続されている。
【００１３】高圧変電設備２０、２２はそれぞれ供給電
源１０、１２からの電気信号を各電源電圧よりも低い電
圧に変圧して低圧変電設備２４、２６に供給するように
なっている。低圧変電設備２４、２６は高圧変電設備２
０、２２からの電気信号を高圧変電設備２０、２２の出
力電圧よりも低い電圧に変圧して負荷３４、３６、３８
に供給するようになっている。電磁開閉器３０は低圧変
電設備２４と負荷３６とを結ぶ第１給電回路を構成し、
第１給電回路を操作制御器２８からの開閉指令に応じて
開閉する第１開閉器として構成されている。電磁開閉器
３２は、低圧変電設備２６と負荷３６とを結ぶ第２給電
回路を構成し、この第２給電回路を操作制御器２８から
の開閉指令に応じて開閉する第２開閉器として構成され
ている。操作制御器２８は、電磁開閉器３０、３２のう
ち少なくとも一方の開閉器が閉状態にあることを条件に
他方の開閉器に開閉指令を出力する開閉指令器として構
成されている。
源１０、１２からの電気信号を各電源電圧よりも低い電
圧に変圧して低圧変電設備２４、２６に供給するように
なっている。低圧変電設備２４、２６は高圧変電設備２
０、２２からの電気信号を高圧変電設備２０、２２の出
力電圧よりも低い電圧に変圧して負荷３４、３６、３８
に供給するようになっている。電磁開閉器３０は低圧変
電設備２４と負荷３６とを結ぶ第１給電回路を構成し、
第１給電回路を操作制御器２８からの開閉指令に応じて
開閉する第１開閉器として構成されている。電磁開閉器
３２は、低圧変電設備２６と負荷３６とを結ぶ第２給電
回路を構成し、この第２給電回路を操作制御器２８から
の開閉指令に応じて開閉する第２開閉器として構成され
ている。操作制御器２８は、電磁開閉器３０、３２のう
ち少なくとも一方の開閉器が閉状態にあることを条件に
他方の開閉器に開閉指令を出力する開閉指令器として構
成されている。
【００１４】複数の負荷設備３４、３６、３８のうち負
荷設備３６は特定の負荷として、例えば、半導体製造工
場の生産に関連する生産装置や用役設備で構成されてい
る。そして負荷設備３６が複数の設備の場合には、通常
運転時における供給電源１０、１２の電力供給能力を考
慮して各負荷設備への電力の供給がアンバランスになら
ないように、電磁開閉器３０、３２の開閉設定および供
給電源１０、１２の選択を考慮する。また電力供給の安
定化を図るために、例えば、供給電源１０の事故により
供給電源１０による電力の供給が停止になったときの対
策として、遮断器１８を閉状態として、供給電源１２か
らの電力を各高圧変電設備２０、２２に供給することが
できる。なお、電磁開閉器３０、３２の代わりに、電磁
接触器を用いることもできる。
荷設備３６は特定の負荷として、例えば、半導体製造工
場の生産に関連する生産装置や用役設備で構成されてい
る。そして負荷設備３６が複数の設備の場合には、通常
運転時における供給電源１０、１２の電力供給能力を考
慮して各負荷設備への電力の供給がアンバランスになら
ないように、電磁開閉器３０、３２の開閉設定および供
給電源１０、１２の選択を考慮する。また電力供給の安
定化を図るために、例えば、供給電源１０の事故により
供給電源１０による電力の供給が停止になったときの対
策として、遮断器１８を閉状態として、供給電源１２か
らの電力を各高圧変電設備２０、２２に供給することが
できる。なお、電磁開閉器３０、３２の代わりに、電磁
接触器を用いることもできる。
【００１５】次に、本実施形態の定期検査時における電
源切替の手順を図１ないし図６にしたがって説明する。
源切替の手順を図１ないし図６にしたがって説明する。
【００１６】まず、通常の通電状態においては、図１に
示すように、遮断器１４、１６、電磁開閉器３２を閉状
態として、供給電源１０からの電力を遮断器１４、高圧
変電設備２０、低圧変電設備２４を介して負荷設備３４
に供給するとともに、供給電源１２からの電力を遮断器
１６、高圧変電設備２２、低圧変電設備２６を介して負
荷設備３８に供給し、さらに電磁開閉器３２を介して負
荷設備３６に供給する。 次に、高圧変電設備２０、低
圧変電設備２４に対する点検を行うために、図２に示す
ように、負荷設備３４の運転を停止後、遮断器１４を開
状態とし、負荷設備３４にのみ電力の供給を停止する。
負荷設備３４への電力供給が停止された状態にあると
き、高圧変電設備２０、低圧変電設備２４に対する点検
を行う。
示すように、遮断器１４、１６、電磁開閉器３２を閉状
態として、供給電源１０からの電力を遮断器１４、高圧
変電設備２０、低圧変電設備２４を介して負荷設備３４
に供給するとともに、供給電源１２からの電力を遮断器
１６、高圧変電設備２２、低圧変電設備２６を介して負
荷設備３８に供給し、さらに電磁開閉器３２を介して負
荷設備３６に供給する。 次に、高圧変電設備２０、低
圧変電設備２４に対する点検を行うために、図２に示す
ように、負荷設備３４の運転を停止後、遮断器１４を開
状態とし、負荷設備３４にのみ電力の供給を停止する。
負荷設備３４への電力供給が停止された状態にあると
き、高圧変電設備２０、低圧変電設備２４に対する点検
を行う。
【００１７】点検が終了したあとは、図３に示すよう
に、遮断器１４を閉状態とし、負荷設備３４に電力を供
給して負荷設備３４の運転を再開する。このとき、供給
電源１０、１２とが遮断器１８を介して接続できるとき
には、電源の同期調整は不要であるが、遮断器１８のな
いときには、各電源の同期調整が必要となる。そして負
荷設備３４の運転の再開とともに、操作制御器２８から
電磁開閉器３０に対して閉指令を与えて電磁開閉器３０
を閉の状態とする。この場合負荷設備３６には供給電源
１０、１２からの電力を供給可能となる。
に、遮断器１４を閉状態とし、負荷設備３４に電力を供
給して負荷設備３４の運転を再開する。このとき、供給
電源１０、１２とが遮断器１８を介して接続できるとき
には、電源の同期調整は不要であるが、遮断器１８のな
いときには、各電源の同期調整が必要となる。そして負
荷設備３４の運転の再開とともに、操作制御器２８から
電磁開閉器３０に対して閉指令を与えて電磁開閉器３０
を閉の状態とする。この場合負荷設備３６には供給電源
１０、１２からの電力を供給可能となる。
【００１８】次に、高圧変電設備２２、低圧変電設備２
６に対する点検を行うに際して、図４に示すように、操
作制御器２８から電磁開閉器３２に対して開指令を与え
て電磁開閉器３２を開状態とする。さらに負荷設備３８
の運転を停止後、遮断器１６を開状態とする。これによ
り負荷設備３８への電力への供給が停止される。このあ
と高圧変電設備２２、低圧変電設備２６に対する点検を
行う。このとき負荷設備３６には供給電源１０からの電
力が供給されている。
６に対する点検を行うに際して、図４に示すように、操
作制御器２８から電磁開閉器３２に対して開指令を与え
て電磁開閉器３２を開状態とする。さらに負荷設備３８
の運転を停止後、遮断器１６を開状態とする。これによ
り負荷設備３８への電力への供給が停止される。このあ
と高圧変電設備２２、低圧変電設備２６に対する点検を
行う。このとき負荷設備３６には供給電源１０からの電
力が供給されている。
【００１９】点検が終了したあとは、図５に示すよう
に、遮断器１６を閉の状態にするとともに、電磁開閉器
３２を閉の状態とする。これにより負荷設備３８に電力
が供給され、負荷設備３８の運転が再開される。この場
合負荷設備３６には供給電源１０、１２からの電力を供
給することができる。
に、遮断器１６を閉の状態にするとともに、電磁開閉器
３２を閉の状態とする。これにより負荷設備３８に電力
が供給され、負荷設備３８の運転が再開される。この場
合負荷設備３６には供給電源１０、１２からの電力を供
給することができる。
【００２０】次に、図６に示すように、電磁開閉器３０
を開の状態として、負荷設備３６に対して供給電源１２
からの電力のみを供給する。これにより各負荷設備３
４、３６、３８は通常の通電状態となる。
を開の状態として、負荷設備３６に対して供給電源１２
からの電力のみを供給する。これにより各負荷設備３
４、３６、３８は通常の通電状態となる。
【００２１】本実施形態によれば、高圧変電設備２０、
２２、低圧変電設備２４、２６を点検するときでも、負
荷設備３４、３８を停電させるだけで、特定の負荷とな
る負荷設備３６には常時供給電源１０または供給電源１
２からの電力が供給されているため、点検時に負荷設備
３６が停電になるのを防止することができるとともに、
負荷設備３６の運転を常に安定した状態で継続すること
ができる。
２２、低圧変電設備２４、２６を点検するときでも、負
荷設備３４、３８を停電させるだけで、特定の負荷とな
る負荷設備３６には常時供給電源１０または供給電源１
２からの電力が供給されているため、点検時に負荷設備
３６が停電になるのを防止することができるとともに、
負荷設備３６の運転を常に安定した状態で継続すること
ができる。
【００２２】前記実施形態においては、変電設備として
高圧変電設備２０、２２、低圧変電設備２４、２６を備
えたものについて述べたが、図７に示すように、一方の
電源系統には低圧変電設備２４のみを備えたシステムに
本発明を適用することができる。この場合、遮断器１８
は低圧変電設備２４、２６の一次側に接続することが望
ましい。
高圧変電設備２０、２２、低圧変電設備２４、２６を備
えたものについて述べたが、図７に示すように、一方の
電源系統には低圧変電設備２４のみを備えたシステムに
本発明を適用することができる。この場合、遮断器１８
は低圧変電設備２４、２６の一次側に接続することが望
ましい。
【００２３】さらに、図８に示すように、一方の電源系
統には高圧変電設備２０や低圧変電設備２４がないもの
にも本発明を適用することができる。この場合、供給電
源１０の出力電圧は低圧変電設備２６の出力電圧と等し
いものを用いる必要がある。これは既設の電源系統、す
なわち高圧変電設備２２、低圧変電設備２６がある場合
の定期検査時の対策として、新規に電源系統を設置する
場合に適している。これら電源系統の設備の容量は、連
続無停電の通電対象となる負荷設備に対応して決められ
る。特に、図８は、比較的小規模の工場に適している。
統には高圧変電設備２０や低圧変電設備２４がないもの
にも本発明を適用することができる。この場合、供給電
源１０の出力電圧は低圧変電設備２６の出力電圧と等し
いものを用いる必要がある。これは既設の電源系統、す
なわち高圧変電設備２２、低圧変電設備２６がある場合
の定期検査時の対策として、新規に電源系統を設置する
場合に適している。これら電源系統の設備の容量は、連
続無停電の通電対象となる負荷設備に対応して決められ
る。特に、図８は、比較的小規模の工場に適している。
【００２４】図７に示す実施形態の場合には、定期検査
時における電源切替の手順は基本的には図１のものに類
似するが、図８に示す実施形態の場合には、高圧変電設
備２２、低圧変電設備２６が点検の対象となるため、電
磁開閉器３０、３２をともに閉状態としたあと、電磁開
閉器３２のみを開状態にするとともに遮断器１６を開状
態にして高圧変電設備２２、低圧変電設備２６に対する
点検を行う。
時における電源切替の手順は基本的には図１のものに類
似するが、図８に示す実施形態の場合には、高圧変電設
備２２、低圧変電設備２６が点検の対象となるため、電
磁開閉器３０、３２をともに閉状態としたあと、電磁開
閉器３２のみを開状態にするとともに遮断器１６を開状
態にして高圧変電設備２２、低圧変電設備２６に対する
点検を行う。
【００２５】次に、本発明の第４実施形態を図９に従っ
て説明する。
て説明する。
【００２６】本実施形態は、例えば供給電源１０の出力
電圧が６ｋＶであって、供給電源１２の出力電圧が３３
ｋＶの場合で、低圧変電設備２４、２６の一次側がそれ
ぞれ遮断器１４、１６を介して供給電源１０に接続され
ているとともに、遮断器１８を介して高圧変電設備２２
の二次側に接続されている。
電圧が６ｋＶであって、供給電源１２の出力電圧が３３
ｋＶの場合で、低圧変電設備２４、２６の一次側がそれ
ぞれ遮断器１４、１６を介して供給電源１０に接続され
ているとともに、遮断器１８を介して高圧変電設備２２
の二次側に接続されている。
【００２７】本実施形態は、新規工場を建設するにあた
り、当初から定期検査時の対策を前提とする受変電設備
を計画する場合に最も適切な構成である。
り、当初から定期検査時の対策を前提とする受変電設備
を計画する場合に最も適切な構成である。
【００２８】次に、本実施形態の定期点検時における電
源切替の手順を図９ないし図１４に従って説明する。
源切替の手順を図９ないし図１４に従って説明する。
【００２９】まず通常の通電状態においては、図９に示
すように、遮断器１４、１６、１８を閉にするととも
に、電磁開閉器３２を閉状態として、供給電源１０と供
給電源１２からの電力をそれぞれ負荷設備３４、３６、
３８に供給する。
すように、遮断器１４、１６、１８を閉にするととも
に、電磁開閉器３２を閉状態として、供給電源１０と供
給電源１２からの電力をそれぞれ負荷設備３４、３６、
３８に供給する。
【００３０】次に、低圧変電設備２４に対する点検を行
うに際しては、図１０に示すように、負荷設備３４の運
転を停止後、遮断器１４を開状態とし、負荷設備３４へ
の電力の供給が停止されたことに伴って低圧変電設備２
４に対する点検を行う。このとき負荷設備３６には電磁
開閉器３２を介して電力が供給されている。
うに際しては、図１０に示すように、負荷設備３４の運
転を停止後、遮断器１４を開状態とし、負荷設備３４へ
の電力の供給が停止されたことに伴って低圧変電設備２
４に対する点検を行う。このとき負荷設備３６には電磁
開閉器３２を介して電力が供給されている。
【００３１】点検が終了したあとは、図１１に示すよう
に、遮断器１４を閉状態にするとともに、電磁開閉器３
０を閉状態とする。これにより負荷設備３４の運転が再
開され、負荷設備３６には電磁開閉器３０、３２からの
電力を供給することが可能となる。
に、遮断器１４を閉状態にするとともに、電磁開閉器３
０を閉状態とする。これにより負荷設備３４の運転が再
開され、負荷設備３６には電磁開閉器３０、３２からの
電力を供給することが可能となる。
【００３２】次に、低圧変電設備２６と高圧変電設備２
２に対する点検を行うに際して、図１２に示すように、
負荷設備３８の運転停止後、遮断器１６、１８を開状態
にするとともに高圧変電設備２２の一次側に接続されて
いる遮断器（図示省略）を開状態とする。これにより低
圧変電設備２６、高圧変電設備２２への電力の供給が停
止される。電力供給停止に伴って、高圧変電設備２２と
低圧変電設備２６に対する点検が実行される。このとき
負荷設備３６には供給電源１０からの電力が電磁開閉器
３０を介して供給されている。
２に対する点検を行うに際して、図１２に示すように、
負荷設備３８の運転停止後、遮断器１６、１８を開状態
にするとともに高圧変電設備２２の一次側に接続されて
いる遮断器（図示省略）を開状態とする。これにより低
圧変電設備２６、高圧変電設備２２への電力の供給が停
止される。電力供給停止に伴って、高圧変電設備２２と
低圧変電設備２６に対する点検が実行される。このとき
負荷設備３６には供給電源１０からの電力が電磁開閉器
３０を介して供給されている。
【００３３】点検が終了したあとは、図１３に示すよう
に、高圧変電設備２２の一次側に接続されている遮断器
を閉状態にするとともに遮断器１６、１８を閉状態と
し、高圧変電設備２２、低圧変電設備２６にそれぞれ電
力を供給し、負荷設備３８の運転を再開する。さらに、
このとき電磁開閉器３２を閉の状態とすることで、負荷
設備３６には電磁開閉器３０、３２からの電力が供給可
能になる。
に、高圧変電設備２２の一次側に接続されている遮断器
を閉状態にするとともに遮断器１６、１８を閉状態と
し、高圧変電設備２２、低圧変電設備２６にそれぞれ電
力を供給し、負荷設備３８の運転を再開する。さらに、
このとき電磁開閉器３２を閉の状態とすることで、負荷
設備３６には電磁開閉器３０、３２からの電力が供給可
能になる。
【００３４】次に、図１４に示すように、電磁開閉器３
０を開状態とする。すなわち負荷設備３６には電磁開閉
器３２からの電力のみを供給する。これにより通常の通
電状態に戻る。
０を開状態とする。すなわち負荷設備３６には電磁開閉
器３２からの電力のみを供給する。これにより通常の通
電状態に戻る。
【００３５】本実施形態においては、高圧変電設備２
２、低圧変電設備２４、２６に対する点検を行う際に、
負荷設備３４、３８は一時停電状態となって運転が停止
されるが、特定の負荷である負荷設備３６には定期点検
時によらず常に電力が供給されているため、負荷設備３
６の運転を常に安定した状態で継続することができる。
２、低圧変電設備２４、２６に対する点検を行う際に、
負荷設備３４、３８は一時停電状態となって運転が停止
されるが、特定の負荷である負荷設備３６には定期点検
時によらず常に電力が供給されているため、負荷設備３
６の運転を常に安定した状態で継続することができる。
【００３６】前記各実施形態においては、供給電源１
０、１２として商用電源を用いたものについて述べた
が、供給電源１０、１２のうち一方を自家発電設備によ
る電源を用いることができる。
０、１２として商用電源を用いたものについて述べた
が、供給電源１０、１２のうち一方を自家発電設備によ
る電源を用いることができる。
【００３７】また操作制御器２８から発生する開閉指令
は、例えば図１５に示すように、時間間隔Δｔを有する
操作信号５０、５２で構成することができる。これらの
操作信号５０、５２は、各電磁開閉器３０、３２に出力
されるが、各電磁開閉器３０、３２には一方の開閉器が
閉状態にあることを条件にのみ他方の開閉器に出力され
るようになっている。この方式により、Δｔ≒０の場合
に生じる可能性のある瞬時停止の防止と電磁開閉器３
０、３２の操作完了の確認ができる。
は、例えば図１５に示すように、時間間隔Δｔを有する
操作信号５０、５２で構成することができる。これらの
操作信号５０、５２は、各電磁開閉器３０、３２に出力
されるが、各電磁開閉器３０、３２には一方の開閉器が
閉状態にあることを条件にのみ他方の開閉器に出力され
るようになっている。この方式により、Δｔ≒０の場合
に生じる可能性のある瞬時停止の防止と電磁開閉器３
０、３２の操作完了の確認ができる。
【００３８】また各実施形態において、負荷設備３６と
して、半導体製造工場の生産装置、例えば投影露光装
置、低圧ＣＶＤ、酸化炉などの生産装置や用役設備の運
転が継続可能になるとともに、クリーンルームの維持運
転が可能になる。すなわち半導体製造工場の生産装置お
よび用役設備の運転が停止されることはないため、年間
を通して高稼働率の運転を実現することができる。
して、半導体製造工場の生産装置、例えば投影露光装
置、低圧ＣＶＤ、酸化炉などの生産装置や用役設備の運
転が継続可能になるとともに、クリーンルームの維持運
転が可能になる。すなわち半導体製造工場の生産装置お
よび用役設備の運転が停止されることはないため、年間
を通して高稼働率の運転を実現することができる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の負荷のうち特定の負荷には常時電力を供給するよ
うにしたため、特定の負荷に関する運転を常に継続する
ことができ、特定の負荷を常に安定した状態で運転する
ことができる。
複数の負荷のうち特定の負荷には常時電力を供給するよ
うにしたため、特定の負荷に関する運転を常に継続する
ことができ、特定の負荷を常に安定した状態で運転する
ことができる。
【図１】本発明の第１実施形態を示す受変電装置の全体
構成図である。
構成図である。
【図２】図１に示す装置の電源切替手順を説明するため
の図である。
の図である。
【図３】図１に示す装置の電源切替手順を説明するため
の図である。
の図である。
【図４】図１に示す装置の電源切替手順を説明するため
の図である。
の図である。
【図５】図１に示す装置の電源切替手順を説明するため
の図である。
の図である。
【図６】図１に示す装置の電源切替手順を説明するため
の図である。
の図である。
【図７】本発明の第２実施形態を示す受変電装置の全体
構成図である。
構成図である。
【図８】本発明の第３実施形態を示す受変電装置の全体
構成図である。
構成図である。
【図９】本発明の第４実施形態を示す受変電装置の全体
構成図である。
構成図である。
【図１０】第４実施形態における定期検査時の電源切替
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
【図１１】第４実施形態における定期検査時の電源切替
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
【図１２】第４実施形態における定期検査時の電源切替
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
【図１３】第４実施形態における定期検査時の電源切替
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
【図１４】第４実施形態における定期検査時の電源切替
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
【図１５】操作制御器の構成説明図である。
１０、１２ 供給電源 １４、１６、１８ 遮断器 ２０、２２ 高圧変電設備 ２４、２６ 低圧変電設備 ２８ 操作制御器 ３０、３２ 電磁開閉器 ３４、３６、３８ 負荷設備
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 沼尾 大介 茨城県日立市会瀬町二丁目９番１号 日立 設備エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 井上 豊 茨城県日立市幸町三丁目２番１号 日立エ ンジニアリング株式会社内
Claims (10)
- 【請求項１】 複数の電源からの電気信号をそれぞれ変
圧して複数の負荷に供給する複数の変電設備と、前記複
数の負荷のうち特定の負荷と一方の変電設備とを結ぶ第
１給電回路を構成しこの第１給電回路を開閉指令に応じ
て開閉する第１開閉器と、前記複数の負荷のうち特定の
負荷と他方の変電設備とを結ぶ第２給電回路を構成しこ
の第２給電回路を開閉指令に応じて開閉する第２開閉器
と、前記第１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器が閉状態にあることを条件に他方の開閉器に開
閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前記特定の負荷
には前記第１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一方
の開閉器から給電してなる受変電装置。 - 【請求項２】 複数の電源のうち少なくとも一つの電源
からの電気信号を変圧して複数の負荷に供給する複数の
変電設備と、前記複数の負荷のうち特定の負荷と一方の
変電設備とを結ぶ第１給電回路を構成しこの第１給電回
路を開閉指令に応じて開閉する第１開閉器と、前記複数
の負荷のうち特定の負荷と他方の変電設備とを結ぶ第２
給電回路を構成しこの第２給電回路を開閉指令に応じて
開閉する第２開閉器と、前記第１開閉器と第２開閉器の
うち少なくとも一方の開閉器が閉状態にあることを条件
に他方の開閉器に開閉指令を出力する開閉指令器とを備
え、前記特定の負荷には前記第１開閉器と第２開閉器の
うち少なくとも一方の開閉器から給電してなる受変電装
置。 - 【請求項３】 複数の電源のうち一方の電源からの電気
信号を変圧して複数の負荷に供給する変電設備と、前記
複数の負荷のうち特定の負荷と変電設備とを結ぶ第１給
電回路を構成しこの第１給電回路を開閉指令に応じて開
閉する第１開閉器と、前記複数の電源のうち他方の電源
と前記複数の負荷のうち特定の負荷とを結ぶ第２給電回
路を構成しこの第２給電回路を開閉指令に応じて開閉す
る第２開閉器と、前記第１開閉器と第２開閉器のうち少
なくとも一方の開閉器が閉状態にあることを条件に他方
の開閉器に開閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前
記特定の負荷には前記第１開閉器と第２開閉器のうち少
なくとも一方の開閉器から給電してなる受変電装置。 - 【請求項４】 少なくとも一つの電源からの電気信号を
変圧して複数の負荷に供給する複数の変電設備と、前記
複数の負荷のうち特定の負荷と一方の変電設備とを結ぶ
第１給電回路を構成しこの第１給電回路を開閉指令に応
じて開閉する第１開閉器と、前記複数の負荷のうち特定
の負荷と他方の変電設備とを結ぶ第２給電回路を構成し
この第２給電回路を開閉指令に応じて開閉する第２開閉
器と、前記第１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一
方の開閉器が閉状態にあることを条件に他方の開閉器に
開閉指令を出力する開閉指令器とを備え、前記特定の負
荷には前記第１開閉器と第２開閉器のうち少なくとも一
方の開閉器から給電してなる受変電装置。 - 【請求項５】 特定の負荷は半導体の製造に関連する生
産装置および用役設備を含む請求項１、２、３または４
記載の受変電装置。 - 【請求項６】 変電設備は、電源からの電気信号を電源
電圧より低い電圧に変圧する高圧変電設備と、高圧変電
設備からの電気信号を高圧変電設備の出力電圧より低い
電圧に変圧する低圧変電設備とから構成されている請求
項１、２、３、４または５記載の受変電装置。 - 【請求項７】 複数の電源からの電力をそれぞれ遮断器
を介して複数の変電設備に供給し、複数の負荷のうち特
定の負荷を除く他の負荷に前記複数の変電設備からの電
力を供給し、前記特定の負荷には前記複数の変電設備か
らの電力をそれぞれ開閉器を介して供給し、前記特定の
負荷を除く他の負荷への電力の供給を停止するときでも
前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉器を常に閉状態
として、前記特定の負荷には少なくとも閉状態にある開
閉器からの電力を供給する受変電装置の給電方法。 - 【請求項８】 少なくとも一つの電源からの電力をそれ
ぞれ遮断器を介して複数の変電設備に供給し、複数の負
荷のうち特定の負荷を除く他の負荷に前記複数の変電設
備からの電力を供給し、前記特定の負荷には前記複数の
変電設備からの電力をそれぞれ開閉器を介して供給し、
前記特定の負荷を除く他の負荷への電力の供給を停止す
るときでも前記開閉器のうち少なくとも一つの開閉器を
常に閉状態として、前記特定の負荷には少なくとも閉状
態にある開閉器からの電力を供給する受変電装置の給電
方法。 - 【請求項９】 複数の電源のうち少なくとも一つの電源
からの電力をそれぞれ遮断器を介して複数の変電設備に
供給し、複数の負荷のうち特定の負荷を除く他の負荷に
前記複数の変電設備からの電力を供給し、前記特定の負
荷には前記複数の変電設備からの電力をそれぞれ開閉器
を介して供給し、前記特定の負荷を除く他の負荷への電
力の供給を停止するときでも前記開閉器のうち少なくと
も一つの開閉器を常に閉状態として、前記特定の負荷に
は少なくとも閉状態にある開閉器からの電力を供給する
受変電装置の給電方法。 - 【請求項１０】 複数の電源のうち一方の電源からの電
力を遮断器を介して変電設備に供給し、複数の負荷のう
ち特定の負荷を除く他の負荷には前記変電設備からの電
力または前記複数の電源のうち他方の電源からの電力を
供給し、前記特定の負荷には前記変電設備からの電力ま
たは前記複数の電源の他方の電源からの電力をそれぞれ
開閉器を介して供給し、前記特定の負荷を除く他の負荷
への電力の供給を停止するときでも前記開閉器のうち少
なくとも一つの開閉器を常に閉状態として、前記特定の
負荷には少なくとも閉状態にある開閉器からの電力を供
給する受変電装置の給電方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9142297A JPH10336894A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 受変電装置と受変電装置の給電方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9142297A JPH10336894A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 受変電装置と受変電装置の給電方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10336894A true JPH10336894A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15312111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9142297A Pending JPH10336894A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 受変電装置と受変電装置の給電方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10336894A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015208167A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | オムロン株式会社 | 切替装置及び電源システム |
-
1997
- 1997-05-30 JP JP9142297A patent/JPH10336894A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015208167A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | オムロン株式会社 | 切替装置及び電源システム |
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