JPH10332523A - Air gun for probe leak test and leak tester - Google Patents
Air gun for probe leak test and leak testerInfo
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- JPH10332523A JPH10332523A JP14159197A JP14159197A JPH10332523A JP H10332523 A JPH10332523 A JP H10332523A JP 14159197 A JP14159197 A JP 14159197A JP 14159197 A JP14159197 A JP 14159197A JP H10332523 A JPH10332523 A JP H10332523A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は真空装置等のリーク
箇所を発見するために用いるリークテスト装置に用いら
れるエアガンであって、その検出の精度を上げた特別の
構造を有するものに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air gun for use in a leak test device used for finding a leak point in a vacuum device or the like, which has a special structure with improved detection accuracy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、例えば図６に示しすようなリ
ークテスト装置が用いられている。リークテスト装置は
真空装置のリーク箇所を発見するために用いられるもの
であって、半導体製造装置や液晶表示装置の製造装置等
高真空域において用いられる製造装置のリーク箇所を発
見して製品の品質を向上させ、また装置の性能の向上に
寄与するものであり、真空装置の保守装置としては無く
てはならないものである。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a leak test apparatus as shown in FIG. 6 has been used. Leak test equipment is used to find leaks in vacuum equipment, and finds leaks in manufacturing equipment used in high-vacuum areas, such as semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal display manufacturing equipment, to determine product quality. And contributes to the improvement of the performance of the device, and is indispensable as a maintenance device for a vacuum device.
【０００３】図６に示すようにこの種の装置はボンベ２
００の検出ガスを検査対象である真空装置７０にエアガ
ン１０で吹き付け、真空装置７０は真空排気装置８０を
継手１００でつないで真空排気しつつ排気側に検出ガス
検出器９０を配置して検出ガスを検出することによりリ
ーク箇所の発見を行なうようにしている。従来、このリ
ークテスト用エアガン１０は図７に示すような構造をし
ている。即ち、ガス供給源につながったパイプ３０がト
リガー４０と連結された入口弁５０につらなっており、
この入口弁５０からエアガンの吹出口２０に向かって吹
き出し管がつなげられトリガー４０を引くことにより、
入口弁５０が開いてパイプ３０から供給される検出ガス
が吹付口２０から吹き出すようになっている。[0003] As shown in FIG.
The detection gas of No. 00 is sprayed on the vacuum device 70 to be inspected by the air gun 10, and the vacuum device 70 is connected to the vacuum exhaust device 80 by the joint 100 to evacuate, and the detection gas detector 90 is arranged on the exhaust side to detect the gas. To detect a leak point. Conventionally, the leak test air gun 10 has a structure as shown in FIG. That is, the pipe 30 connected to the gas supply source is connected to the inlet valve 50 connected to the trigger 40,
An outlet pipe is connected from the inlet valve 50 toward the outlet 20 of the air gun, and the trigger 40 is pulled.
The inlet valve 50 is opened, and the detection gas supplied from the pipe 30 is blown out from the blowing port 20.
【０００４】このように、このエアガン１０をピストル
型にしているのは容易に手で保持することができるよう
にするためと真空装置７０のリーク箇所であろう箇所に
エアガン１０を接近させて検出ガスを吹き付けることが
できるようにするためである。そしてこのようなエアガ
ン１０を用いて検出ガスを放出するとその部分に微小な
リーク箇所があれば検出ガスがその微小なリーク箇所か
ら真空装置７０内に吸い込まれ、真空装置７０に繋がれ
ているポンプ側へ吸気されることにより検出ガス検出器
９０で検出ガスの検出ができるようになっている。As described above, the pistol type of the air gun 10 is used in order to easily hold the air gun 10 by hand and to detect the air gun 10 by approaching a leaking point of the vacuum device 70. This is because the gas can be blown. When the detection gas is discharged using such an air gun 10, if there is a minute leak portion in the portion, the detection gas is sucked into the vacuum device 70 from the minute leak portion and connected to the vacuum device 70. The detection gas can be detected by the detection gas detector 90 by being sucked into the side.
【０００５】従って、被検査体である真空装置７０にエ
アガン１０を近付けトリガー４０を引き、検出ガスを放
出した直後に検出器９０がその検出ガスを検出した場合
には、その部分がリーク箇所であることになり、保守の
対象となるのである。ここで、検出器９０としては色々
なものが用いられているが、いずれにしてもガスを分析
することができるものであって、イオン質量のスペクト
ルを検出するようなものである。Accordingly, when the detector 90 detects the detected gas immediately after the air gun 10 is brought close to the vacuum device 70 to be inspected and the trigger 40 is pulled and the detected gas is released, the portion is a leak location. That is, it becomes a target of maintenance. Here, various detectors 90 are used. In any case, the detector 90 can analyze a gas and detects a spectrum of ion mass.
【０００６】検出ガスとして用いられるものとしては大
気中に含まれていないものが適当であり、エチレンガス
やアルゴンガス、ヘリウムガスのようなものが用いられ
ている。そして、この真空箇所を発見するためには作業
者が適切にそのエアガン１０をその真空箇所近辺にもっ
ていきエアを発射しなければならない。これはガスが一
般的に吹付口から放出された後はその周辺に拡散する性
質を有するものであるためであり、例えば、装置からあ
る程度離れた位置でトリガー４０を引いて検出ガスを放
出させた場合には検出器９０から検出ガスが検出された
場合であってもガスの拡散の性質からリーク箇所を厳密
に特定することはできないものである。As a gas used as a detection gas, a gas not contained in the atmosphere is suitable, and a gas such as ethylene gas, argon gas, or helium gas is used. Then, in order to find the vacuum spot, the operator must appropriately bring the air gun 10 to a position near the vacuum spot and emit air. This is because the gas generally has a property of being diffused to the periphery after being released from the blowing port. For example, the trigger 40 is pulled at a position somewhat away from the device to release the detection gas. In this case, even when the detection gas is detected from the detector 90, the leak location cannot be strictly specified due to the gas diffusion property.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】前述のように従来のプ
ローブテストエアガンは検出ガスを吹付口から放出する
だけのものであるため、一旦吹付口から放出されたガス
はリーク箇所から真空装置の内部に引き込まれて真空装
置内に吸収されるものを除いてはその装置周辺の大気中
に拡散することになる。このように検出ガスが装置の周
辺に拡散することになれば必ずしもエアガンによって検
出ガスを吹き付けた箇所のみならず検出ガスを吹き付け
ていない箇所にも検出ガスが拡散するのでそのような場
所にリーク箇所がある場合にはエアガンにより検出ガス
を吹き付けた場所以外から検出ガスが吸収されて検出器
によって検出されることになり作業者がリーク箇所を発
見するのが困難となる。As described above, since the conventional probe test air gun only discharges the detection gas from the blowing port, the gas once released from the blowing port is discharged from the leak portion to the inside of the vacuum device. Except for those that are drawn into the vacuum device and absorbed into the vacuum device, they diffuse into the atmosphere around the device. If the detection gas diffuses around the apparatus in this way, the detection gas diffuses not only in the position where the detection gas is blown by the air gun but also in the position where the detection gas is not blown, so that a leak is generated in such a place. In some cases, the detection gas is absorbed from a location other than the location where the detection gas is blown by the air gun and is detected by the detector, making it difficult for the operator to find the leak location.
【０００８】とくに極めて微小なリーク箇所を発見する
ためには、リークテスト中の真空装置内の真空度も極め
て高くしなければならずリーク箇所から真空装置内部に
吸収されるガス量が増大するため、従来の方法では益々
リーク箇所の特定が困難となるという問題がある。そこ
で本発明においては、リーク箇所の特定を精度よく行な
うため、または極めて微小なリーク箇所の発見を容易と
するため、以下のようなプローブリークテスト用エアガ
ン及びこれを用いたリークテスト装置を提供するもので
ある。In order to find a particularly minute leak location, the degree of vacuum in the vacuum device during the leak test must be extremely high, because the amount of gas absorbed into the vacuum device from the leak location increases. However, the conventional method has a problem that it is increasingly difficult to specify a leak location. Therefore, in the present invention, in order to accurately specify a leak location or to easily find an extremely minute leak location, an air gun for a probe leak test and a leak test apparatus using the same are provided as follows. Things.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、検出ガスを検査対象物に吹き付ける検出ガ
ス吹付口と、一旦吹き付けられたガスが前記検査対象物
の周辺へ拡散するのを防止する検出ガス戻入吸気口と、
を有するプローブリークテスト用エアガンを提供する。
また、前記検出ガス戻入吸気口は、前記検出ガス吹付口
を取り囲むように配置されているプローブリークテスト
用エアガンを提供する。また、前記検出ガス吹付口は、
前記検出ガス戻入吸気口位置より前方に突出して配置さ
れているプローブリークテスト用エアガンを提供する。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a detection gas blowing port for blowing a detection gas to an object to be inspected, and a method for diffusing gas once blown to the periphery of the object to be inspected. A detection gas return inlet to prevent
The present invention provides an air gun for a probe leak test having the following.
Further, the present invention provides an air gun for a probe leak test, wherein the detection gas return inlet port is disposed so as to surround the detection gas blowing port. Further, the detection gas blowing port is
Provided is an air gun for a probe leak test, which is disposed so as to protrude forward from the position of the detected gas return intake port.
【００１０】また、前記検出ガスがヘリウムであるプロ
ーブリークテスト用エアガンを提供する。また、前記検
出ガス吹付口の開口面積が、前記検出ガス戻入吸気口の
開口面積より小さいプローブリークテスト用エアガンを
提供する。また、前記検出ガス戻入吸気口からの検出ガ
スの吸気は、クライオポンプによってなされるプローブ
リークテスト用エアガンを用いたプローブリークテスト
装置を提供する。Further, the present invention provides an air gun for a probe leak test, wherein the detection gas is helium. Further, the present invention provides an air gun for a probe leak test in which an opening area of the detection gas blowing port is smaller than an opening area of the detection gas return inlet port. Further, a probe leak test apparatus using an air gun for a probe leak test performed by a cryopump for inhaling detection gas from the detection gas return inlet port is provided.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下に図面を参照しながら、本発
明の実施の形態を説明する。本発明の特徴は一言でいえ
ば、プローブリークテスト用エアガンに従来からある検
出ガス吹付口とともに一旦吹き付けられた検出ガスを再
びエアガンに戻入する検出ガス戻入吸気口を設けたとこ
ろにある。このようにエアガンに検出ガス吹付口と検出
ガス戻入吸気口を設ければ図１に示すように吹付口２か
ら放出された検出ガスが真空装置７の周辺に拡散するこ
となく再び検出ガス戻入口３に吸入されて発明が解決し
ようとする課題で述べたようにリークテスト用の検出ガ
スが周辺に拡散するということがなくなる。従ってリー
ク箇所の検出精度が高められ、微小なリーク箇所の特定
も容易になることとなる。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In short, the feature of the present invention resides in that the air gun for probe leak test is provided with a conventional detection gas blowing port and a detection gas return intake port for returning the detection gas once blown back to the air gun. As described above, if the detection gas blowing port and the detection gas return intake port are provided in the air gun, the detection gas discharged from the blowing port 2 does not diffuse around the vacuum device 7 as shown in FIG. As described in the problem to be solved by the present invention, the detection gas for the leak test is not diffused to the surroundings. Therefore, the detection accuracy of the leak location is improved, and the minute leak location can be easily specified.
【００１２】請求項１に記載の発明を図１を用いて説明
すれば、検出ガス供給源から供給される検出ガスはトリ
ガー４に連動する入口弁５につながれ、この入口弁５か
らプローブリークテスト用エアガン１の先端に設けられ
た検出ガス吹付口２へ導かれている。そして検出ガス吹
付口２から放出された検出ガスは真空装置７に当たって
検出ガス戻入吸気口３に再び戻るような構成となってい
る。この検出ガス戻入吸気口３は排気ポンプ（図示せ
ず）に繋がっており、検出ガス吹付口２の近傍に設けら
れているもである。また、図１においてはトリガー４と
連動した出口弁６を中間に配している。ここで検出ガス
戻入吸気口３から吸気されるガスの量は適当な量に設定
することが必要である。あまりにも吸気流量が多ければ
検出ガス吹付口２から放出された検出ガスがリークの有
無を調査する真空装置の装置壁面に吹き付けられること
なく吸気口３から排出されてしまうということになるか
らである。The invention described in claim 1 will be described with reference to FIG. 1. A detection gas supplied from a detection gas supply source is connected to an inlet valve 5 linked to a trigger 4, and a probe leak test is performed from the inlet valve 5. To the detection gas blowing port 2 provided at the tip of the air gun 1. Then, the detection gas discharged from the detection gas blowing port 2 strikes the vacuum device 7 and returns to the detection gas return intake port 3 again. The detected gas return intake port 3 is connected to an exhaust pump (not shown), and is provided near the detected gas blowing port 2. In FIG. 1, an outlet valve 6 interlocked with the trigger 4 is disposed in the middle. Here, it is necessary to set the amount of gas sucked from the detected gas return inlet 3 to an appropriate amount. If the flow rate of the intake air is too large, the detection gas discharged from the detection gas blowing port 2 is discharged from the suction port 3 without being blown to the device wall of the vacuum device for checking whether there is a leak. .
【００１３】一方、この検出ガス戻入吸気流量が小さす
ぎれば検出ガス吹付口２から放出された検出ガスが検出
ガス戻入吸気口３から充分吸気されることなく装置の周
辺に拡散されることになって、従来のプローブリークテ
スト用エアガンと同様な問題を生じることとなって妥当
でない。この検出ガス戻入吸気流量は検出ガス吹付口２
から吹き付けられる検出ガス吹き付け流量と最適化する
必要があるため、検出ガスが蓄積されている検出ガスボ
ンベの内圧によって最適な値をとる必要がある場合もあ
る。従って、検出ガス戻入吸気口３に直結されている出
口弁６の開度は調整できるようになっているのが好まし
い。On the other hand, if the detected gas return intake flow rate is too small, the detected gas discharged from the detected gas blowing port 2 is diffused around the apparatus without being sufficiently sucked from the detected gas return intake port 3. Therefore, the same problem as the conventional probe leak test air gun occurs, which is not appropriate. This detected gas return intake flow rate is determined by the detected gas blowing port 2.
Since it is necessary to optimize the flow rate of the detection gas blown from the detection gas, an optimum value may be required depending on the internal pressure of the detection gas cylinder in which the detection gas is stored. Therefore, it is preferable that the opening degree of the outlet valve 6 directly connected to the detected gas return intake port 3 can be adjusted.
【００１４】次に請求項２記載の発明について説明す
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明のプロ
ーブリークテスト用エアガンであって検出ガス戻入吸気
口が検出ガス吹付口を取り囲むように配置されているこ
とを特徴とするものであり、例えば図２に示すような構
造を取るものである。図２に示すプローブテスト用エア
ガン１１は中心部に配置された検出ガス吹付口１２の周
囲を取り囲むように鞘状に検出ガス戻入吸気口１３の管
が設けられており、検出ガスが検出ガス吹付口１２から
放出された後に広がる全周方向から検出ガスを戻入する
ことが可能となっている。Next, the second aspect of the present invention will be described. According to a second aspect of the present invention, there is provided an air gun for a probe leak test according to the first aspect of the present invention, wherein the detection gas return air inlet is disposed so as to surround the detection gas blowing port. For example, it has a structure as shown in FIG. The probe test air gun 11 shown in FIG. 2 is provided with a detection gas return / intake port 13 in a sheath shape so as to surround a detection gas blowing port 12 arranged at the center portion, and the detection gas is blown. The detection gas can be returned from the entire circumferential direction after being released from the opening 12.
【００１５】このようにするのはガス、即ち気体分子は
一旦検出ガス吹付口１２から放出された後は全方位に亘
って拡散するものであるため、検出ガス戻入吸気口１３
が検出ガス吹付口１２に対して一方向、即ち偏った方向
にのみ配置されている場合には検出ガス吹付口１２から
放出された検出ガスを充分に戻入排気することができな
かったり、またガスの拡散に偏りを生じてプローブリー
クテスト用エアガン１１の持ち方や装置への吹き付け方
によって検出精度が異なるという問題を生じるためであ
る。The reason for this is that the gas, that is, gas molecules are diffused in all directions after being once discharged from the detection gas blowing port 12, so that the detection gas return inlet 13
Is disposed in only one direction with respect to the detection gas blowing port 12, that is, in a direction deviated from the detection gas blowing port 12, the detection gas discharged from the detection gas blowing port 12 cannot be sufficiently returned and exhausted, or This causes a problem in that the detection accuracy varies depending on how the probe leak test air gun 11 is held and how it is sprayed on the device, due to the uneven distribution of the air.
【００１６】図２に示した請求項２に記載の発明の他の
部分は請求項１記載の発明と同様であり、検出ガス吹付
口１２はトリガー１４に直結された入口弁１５によって
開閉できるようになっており、また検出ガス戻入吸気口
１３に直結された出口弁１６は検出ガスの吹き付け流量
に応じて調整をすることができるようになっているのが
好ましい。なお、図２では中心に検出ガス吹付口１２を
配置し、これを鞘状に取り囲むように検出ガス戻入吸気
口１３を配しているが、必ずしもこのような配置である
必要はなく、例えば、検出ガス戻入吸気口１３が検出ガ
ス吹付口１２を花心としてその周囲に配置される花片の
ようなものであってもよい。The other parts of the invention according to the second aspect shown in FIG. 2 are the same as those of the first aspect, and the detection gas blowing port 12 can be opened and closed by an inlet valve 15 directly connected to a trigger 14. It is preferable that the outlet valve 16 directly connected to the detected gas return intake port 13 can be adjusted according to the blowing flow rate of the detected gas. In FIG. 2, the detection gas blowing port 12 is disposed at the center, and the detection gas return intake port 13 is disposed so as to surround the detection gas blowing port 12 in a sheath shape. However, such a configuration is not necessarily required. The detection gas return intake port 13 may be a flower piece arranged around the detection gas blowing port 12 as a flower heart.
【００１７】次に請求項３記載の発明について説明す
る。請求項３記載の発明は前記請求項２に記載された発
明のようなプローブリークテスト用エアガンのうち図３
に示すように検出ガス吹付口２２が戻入吸気口２３位置
よりも前方に突出して配置されている構造のプローブリ
ークテスト用エアガン２１である。このように検出ガス
吹付口２２を戻入吸気口２３位置よりもガス吹付口２２
側に突出させて配置するのは検出ガスが被検査体である
真空装置に充分に強く多量に吹き付けられるようにする
ためである。Next, the third aspect of the present invention will be described. The third aspect of the present invention is a probe leak test air gun similar to the second aspect of the invention.
As shown in FIG. 7, the probe leak test air gun 21 has a structure in which the detection gas blowing port 22 is disposed so as to protrude forward from the position of the return intake port 23. As described above, the detection gas blowing port 22 is moved from the position of the return inlet port 23 to the position of the gas blowing port 22.
The reason for arranging it so as to protrude to the side is to ensure that a large amount of the detection gas is blown to the vacuum device, which is the test object, sufficiently strongly.
【００１８】検出ガス吹付口２２と戻入吸気口２３の位
置が面一である図２のような構成である場合には検出ガ
ス吹付口２２から排出された検出ガスが比較的短時間に
戻入吸気口２３から排気されるため、検出ガスが検出ガ
ス吹付口２２の周辺の大気中に滞在する時間が短く検出
ガスが必ずしも有効に被検査体たる真空装置に吹き付け
られないおそれがあるため、検出ガス吹付口２２の位置
を検出ガス戻入口２３の位置よりも検出ガス吹き付け側
に突出させて配置したものである。こうすれば検出ガス
吹付口２２から放出された検出ガスの大気中の滞在時間
が長くなる。即ち、真空装置前方に向かって比較的長距
離に亘って検出ガスが放出されるため図２のものに比べ
て小量のガスであっても有効に検出をすることができる
結果となり、ガス流量を少なくしても有効な検出が可能
となるのでガス量の節約等につながる。なおこの発明に
おいてもトリガー２４に直結された入口弁２５の構成
や、また出口弁２６の構成は従前のものと同様にするの
がよい。In the configuration shown in FIG. 2 in which the positions of the detection gas blowing port 22 and the return intake port 23 are flush with each other, the detection gas discharged from the detection gas blowing port 22 returns to the intake port in a relatively short time. Since the gas is exhausted from the port 23, the detection gas has a short residence time in the atmosphere around the detection gas blowing port 22, and the detection gas may not necessarily be effectively blown to the vacuum device as the inspection object. The position of the blowing port 22 is arranged so as to protrude more toward the detection gas blowing side than the position of the detection gas return port 23. In this way, the staying time of the detection gas discharged from the detection gas blowing port 22 in the atmosphere becomes longer. That is, since the detection gas is released over a relatively long distance toward the front of the vacuum device, the gas can be effectively detected even with a small amount of gas as compared with that of FIG. Even if the number is reduced, effective detection becomes possible, which leads to saving of gas amount and the like. Also in the present invention, the configuration of the inlet valve 25 directly connected to the trigger 24 and the configuration of the outlet valve 26 are preferably the same as those of the related art.
【００１９】次に請求項４記載の発明について説明す
る。請求項４記載の発明は検出ガスがヘリウムである請
求項１から３のいずれか一に記載のプローブリークテス
ト用エアガンである。このように検出ガスをヘリウムと
するのは、ヘリウムは比較的同質量の分子が少なく検出
ガスとして勝れているものの、その質量が軽いため非常
に拡散しやすく従来のプローブリークテスト用エアガン
においては他のガスのものに比べて検出精度が低いとい
う欠点があったが、本発明によるプローブリークテスト
用エアガンにヘリウムを用いた場合には検出ガス吹付口
から放出されたヘリウムが瞬時に被検査体である装置壁
面周辺に滞留した後、直ちに検出ガス戻入吸気口から吸
排気されるため、拡散という問題が回避され、検出精度
が高い検出を行なうことができるという利点を有する。
即ち請求項１から３に記載されたプローブリークテスト
用エアガンから検出ガスとしてヘリウムを用いてリーク
テストを行なった場合には他のガスを用いる場合に比べ
て更に高い検出精度を得られるということとなる。Next, the fourth aspect of the present invention will be described. The invention according to claim 4 is the air gun for probe leak test according to any one of claims 1 to 3, wherein the detection gas is helium. As described above, helium is used as the detection gas.Although helium has relatively few molecules of the same mass and is superior as a detection gas, it is very easy to diffuse because of its light mass, and in the conventional probe gun air gun for probe leak test. Although there was a drawback that the detection accuracy was lower than that of other gases, when helium was used for the probe leak test air gun according to the present invention, helium released from the detection gas blowing port instantly Since it is sucked and exhausted from the detection gas return intake port immediately after staying around the apparatus wall, there is an advantage that the problem of diffusion is avoided and detection with high detection accuracy can be performed.
That is, when a leak test is performed using helium as a detection gas from the probe leak test air gun according to claims 1 to 3, higher detection accuracy can be obtained as compared with the case where another gas is used. Become.
【００２０】次に請求項５記載の発明について説明す
る。請求項５記載の発明は図４に示すように検出ガス吹
付口開口面積ｓが検出ガス戻入吸気口開口面積Ｓよりも
小さい請求項１から３のいずれか一に記載のプローブリ
ークテスト用エアガンである。このように、開口面積の
差を設けることによって検出ガス吹付口３２から吹き付
けられた検出ガスを確実に排気するということが可能と
なり、例えば図２や図３に示したものよりも検出精度が
上るという利点を有する。特にこのように検出ガス吹付
口３２の開口面積ｓを小さくすれば検出ガス吹付口３２
からの単位断面当たりの排出流量を多くすることがで
き、従来のものと比べて細いビーム径の検出ガスビーム
をつくることができるためリーク箇所の検出精度が向上
するという利点がある。Next, the invention according to claim 5 will be described. The invention according to claim 5 is the probe leak test air gun according to any one of claims 1 to 3, wherein the detection gas blowing port opening area s is smaller than the detection gas return intake port opening area S as shown in FIG. is there. As described above, by providing the difference in the opening area, it is possible to reliably exhaust the detection gas blown from the detection gas blowing port 32, and the detection accuracy is higher than that shown in, for example, FIGS. It has the advantage that. In particular, if the opening area s of the detection gas blowing port 32 is reduced in this way, the detection gas blowing port 32
Therefore, there is an advantage that the detection accuracy of the leak location is improved because the detection gas beam having a smaller beam diameter than that of the conventional gas can be generated.
【００２１】次に請求項６記載のプローブリークテスト
装置について図５を用いて説明する。このプローブリー
クテスト装置は検出ガスを真空装置７に吹き付けるエア
ガン４１と真空排気装置８、ガス検出器９から成ってお
り、真空排気装置はバルブ１００で真空装置と接続で
き、また検出ガスボンベ２００がエアガン４１に接続で
きるようになっている。そのエアガンには請求項１から
５のいずれか一に記載のプローブリークテスト用エアガ
ンを用いたプローブリークテスト装置であって、前記検
出ガス戻入吸気をクライオポンプ８によっておこなうプ
ローブリークテスト装置である。このプローブリークテ
スト装置は検出ガスを排気するため検出ガス排気ポンプ
を有することが必要であるが、検出ガス排気ポンプが検
出ガスを周辺に拡散するのでは本発明の効果を有効に発
揮することはできない。したがって検出ガスの排気ポン
プは当該被検査対象である真空装置７を含む部屋の外に
検出ガスを排気する必要があるが、そのようにしようと
すれば装置が大掛りなものとなって高くつき、またプロ
ーブリークテスト装置として移動性が悪くなるため妥当
でない。Next, a probe leak test apparatus according to claim 6 will be described with reference to FIG. This probe leak test device comprises an air gun 41 for blowing a detection gas to a vacuum device 7, a vacuum exhaust device 8, and a gas detector 9. The vacuum exhaust device can be connected to the vacuum device by a valve 100, and the detection gas cylinder 200 is an air gun. 41 can be connected. A probe leak test apparatus using the air gun for a probe leak test according to any one of claims 1 to 5 as the air gun, wherein the cryopump 8 performs the return gas suction of the detected gas. This probe leak test device needs to have a detection gas exhaust pump to exhaust the detection gas, but if the detection gas exhaust pump diffuses the detection gas to the surroundings, the effect of the present invention can be effectively exhibited. Can not. Therefore, the detection gas exhaust pump needs to exhaust the detection gas to the outside of the room including the vacuum device 7 to be inspected. However, if such an exhaust pump is used, the device becomes large-scale and expensive. In addition, the probe leak test apparatus is not appropriate because of poor mobility.
【００２２】従って請求項６記載の発明においては、検
出ガスの排気ポンプをクライオポンプ８とし、検出ガス
が戻入吸気口４３から吸気された後であっても、ポンプ
から検出ガスが拡散することがないような構成としたも
のである。クライオポンプ８を用いる場合には、検出ガ
スがクライオポンプ８のポンプ中に蓄積されポンプ外に
排出されることがないため、ポンプからの排出口を室外
に導く必要もなく小型のもので可能となり、プローブリ
ークテスト装置の移動性も充分に確保されることとな
る。Therefore, in the invention according to the sixth aspect, the cryopump 8 is used as an exhaust pump for the detection gas, and the detection gas can be diffused from the pump even after the detection gas is sucked from the return inlet port 43. There is no such configuration. When the cryopump 8 is used, the detection gas is not accumulated in the pump of the cryopump 8 and is not discharged to the outside of the pump. In addition, the mobility of the probe leak test device is sufficiently ensured.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上のように本発明のプローブリークテ
スト用エアガン及びプローブリークテスト装置では検査
対象物に吹き付けられる検出ガスを再度プローブリーク
テスト用エアガンから戻入吸気し、その周辺に拡散する
ことがないようにしたので、リークテストの検出精度を
向上することができ、微小なリーク箇所の発見も容易に
なるという効果がある。また、本発明にかかるプローブ
リークテスト装置においては戻入吸気口からの検出ガス
の排気をクライオポンプですることとしたので、このよ
うな戻入吸気機構を有するプローブリークテスト装置で
あっても大掛りなものとする必要がなく、移動性に富む
プローブリークテスト装置を実現することが可能とな
る。As described above, in the probe leak test air gun and the probe leak test apparatus of the present invention, the detection gas blown to the inspection object can be returned from the probe leak test air gun and taken in again, and diffused to the periphery. Since it is not provided, it is possible to improve the detection accuracy of the leak test, and it is possible to easily find a minute leak portion. Further, in the probe leak test apparatus according to the present invention, since the detection gas is exhausted from the return intake port by a cryopump, even a probe leak test apparatus having such a return intake mechanism is not large. Therefore, it is possible to realize a probe leak test apparatus having high mobility.
【図１】 本発明のプローブリークテスト用エアガンの
断面概念図FIG. 1 is a conceptual cross-sectional view of an air gun for a probe leak test according to the present invention.
【図２】 本発明の他の実施例のエアガン先端の斜視図FIG. 2 is a perspective view of the tip of an air gun according to another embodiment of the present invention.
【図３】 本発明のエアガンの側面図FIG. 3 is a side view of the air gun of the present invention.
【図４】 本発明のエアガンの開口面積比を表わす図FIG. 4 is a diagram showing an opening area ratio of the air gun of the present invention.
【図５】 本発明のリークテスト装置の概念図FIG. 5 is a conceptual diagram of a leak test apparatus according to the present invention.
【図６】 従来のリークテスト装置の概念図FIG. 6 is a conceptual diagram of a conventional leak test apparatus.
【図７】 従来のリークテスト用エアガンの概念図FIG. 7 is a conceptual diagram of a conventional leak test air gun.
１ プローブリークテスト用エアガン ２ 検出ガス吹付口 ３ 検出ガス吸気口 1 Air gun for probe leak test 2 Detected gas blowing port 3 Detected gas intake port
Claims (6)
ス吹付口と、一旦吹き付けられたガスが前記検査対象物
の周辺へ拡散するのを防止する検出ガス戻入吸気口と、
を有するプローブリークテスト用エアガン。A detection gas blowing port for blowing a detection gas to a test object; a detection gas return intake port for preventing the gas once blown from diffusing around the test object;
An air gun for probe leak test having a.
吹付口を取り囲むように配置されている請求項１記載の
プローブリークテスト用エアガン。2. An air gun for a probe leak test according to claim 1, wherein said detection gas return inlet port is arranged so as to surround said detection gas blowing port.
吸気口位置より前方に突出して配置されている請求項２
記載のプローブリークテスト用エアガン。3. The detection gas blowing port is disposed so as to protrude forward from the detection gas return inlet port position.
Air gun for probe leak test as described.
ら３のいずれか一に記載のプローブリークテスト用エア
ガン。4. An air gun for a probe leak test according to claim 1, wherein said detection gas is helium.
出ガス戻入吸気口の開口面積より小さい請求項１から３
のいずれか一に記載のプローブリークテスト用エアガ
ン。5. An opening area of the detection gas blowing port is smaller than an opening area of the detection gas return inlet port.
An air gun for a probe leak test according to any one of the above.
吸気は、クライオポンプによってなされる請求項１から
５のいずれか一に記載のプローブリークテスト用エアガ
ンを用いたプローブリークテスト装置。6. A probe leak test apparatus using a probe leak test air gun according to claim 1, wherein the suction of the detection gas from the detection gas return inlet is performed by a cryopump.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14159197A JPH10332523A (en) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Air gun for probe leak test and leak tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14159197A JPH10332523A (en) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Air gun for probe leak test and leak tester |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10332523A true JPH10332523A (en) | 1998-12-18 |
Family
ID=15295578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14159197A Pending JPH10332523A (en) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Air gun for probe leak test and leak tester |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10332523A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014055844A (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Leak position detection apparatus |
-
1997
- 1997-05-30 JP JP14159197A patent/JPH10332523A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014055844A (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Leak position detection apparatus |
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