JPH10330912A - Device for producing metallized film and its production - Google Patents
Device for producing metallized film and its productionInfo
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Links
- 239000011104 metalized film Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 49
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 56
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 54
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 24
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 17
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 17
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000181 anti-adherent effect Effects 0.000 claims 5
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 abstract description 31
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 abstract description 31
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 15
- 238000009313 farming Methods 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 12
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- FJMNNXLGOUYVHO-UHFFFAOYSA-N aluminum zinc Chemical compound [Al].[Zn] FJMNNXLGOUYVHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/14—Organic dielectrics
- H01G4/145—Organic dielectrics vapour deposited
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/14—Organic dielectrics
- H01G4/18—Organic dielectrics of synthetic material, e.g. derivatives of cellulose
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は力率改善用の電力用
コンデンサ、電機機器用のコンデンサ、各種電源回路用
のコンデンサ、及び通信機器等に使用される金属化フィ
ルムコンデンサの金属化フィルム製造装置及びその製造
方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a metallized film for a power capacitor for improving a power factor, a capacitor for electric equipment, a capacitor for various power supply circuits, and a metallized film capacitor used for communication equipment and the like. And its manufacturing method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のコンデンサ用の金属化フィルムを
製造する方法として、図７から図１０を用いて説明す
る。2. Description of the Related Art A conventional method for manufacturing a metallized film for a capacitor will be described with reference to FIGS.
【０００３】図７において、真空蒸着機内でプラスチッ
クフィルム１（高分子フィルム）が冷却ロール３と接す
る位置で、蒸発源７からの蒸着金属６が蒸着される直前
に油付着装置を通し、保安機構となる複数個の分割した
マージン部を原反長手方向に形成する方法が知られてい
る（特開昭５７−１５２１２２号公報参照）。In FIG. 7, at a position where a plastic film 1 (polymer film) comes into contact with a cooling roll 3 in a vacuum vapor deposition machine, immediately before vapor deposition metal 6 from a vapor source 7 is vapor-deposited, an oil deposition device is passed through to a security mechanism. There is known a method of forming a plurality of divided margin portions in the longitudinal direction of the web (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-152122).
【０００４】この方法に用いられる装置は、オイル３３
の入ったオイルタンク５とその外側で回転する回転シャ
ッター３２とから構成されており、オイルタンク５内の
オイル３３が加熱気化され、オイルガス２がオイルタン
ク５の第１の開孔部３４を通り、回転シャッター３２の
第２の開孔部３５と重なった際にプラスチックフィルム
１にオイル３３が付着し、かつ、回転シャッター３２は
プラスチックフィルム１の送給速度に同期して回転して
いるため、一定幅、一定間隔でオイル３３を付着させる
ことができるというものである。The apparatus used in this method is an oil 33
, And a rotary shutter 32 that rotates outside thereof. The oil 33 in the oil tank 5 is heated and vaporized, and the oil gas 2 passes through the first opening 34 of the oil tank 5. As described above, the oil 33 adheres to the plastic film 1 when overlapping with the second opening 35 of the rotary shutter 32, and the rotary shutter 32 rotates in synchronization with the feeding speed of the plastic film 1. The oil 33 can be attached at a constant width and at a constant interval.
【０００５】またこの他に、図８に示すように、特定の
ロール円周上に凸部３６を形成した凸版ロール３０を用
い、オイルタンク５から供給されたオイルガス２を、オ
イルローラ３８に付着させ、そのオイルを凸版ロール３
０に転写させ凸部３６の表面にオイル３３等の金属の蒸
着を防止する物質を付着させ、それをプラスチックフィ
ルム１上に転写させて未蒸着部分を形成する方法（特開
平６−１５８２７１号公報参照）がある。[0005] In addition, as shown in FIG. 8, the oil gas 2 supplied from the oil tank 5 is supplied to an oil roller 38 by using a relief roll 30 having a convex portion 36 formed on a specific roll circumference. The oil is applied and the letterpress roll 3
0, a substance such as oil 33 that prevents the deposition of metal is adhered to the surface of the convex portion 36, and is transferred onto the plastic film 1 to form an undeposited portion (Japanese Patent Laid-Open No. 6-158271). See).
【０００６】また図９に示すように、ロール円周上に凹
部３７を形成した凹版ロール３１を用い、凹部３７の窪
みにオイル３３等の金属の蒸着を防止する物質を付着さ
せ、それをプラスチックフィルム１上に転写させて未蒸
着部分を形成する方法（特開平４−３４６６５２号公報
参照）が知られている。As shown in FIG. 9, an intaglio roll 31 having a concave portion 37 formed on the circumference of the roll is used, and a substance such as oil 33 for preventing metal deposition is adhered to the concave portion of the concave portion 37. A method of forming an undeposited portion by transferring the film onto the film 1 (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-346652) is known.
【０００７】さらに、図１０に示すように原反長手方向
に平行な一定幅、一定間隔のマージン部をオイルマスキ
ング法やテープマージン法により蒸着工程で形成した
後、後工程でレーザーによるトリミングや放電加工等に
よってフィルムの長手方向に複数個の分割電極、及びヒ
ューズ部を形成する方法等も存在した。Further, as shown in FIG. 10, after forming a margin portion having a constant width and a constant interval parallel to the longitudinal direction of the raw material in an evaporation step by an oil masking method or a tape margin method, trimming or discharge by laser is performed in a later step. There has been a method of forming a plurality of divided electrodes and a fuse portion in the longitudinal direction of a film by processing or the like.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
様な構成で未蒸着部分を形成する方法では種々の課題が
あった。However, there are various problems in the method of forming an undeposited portion with the above configuration.
【０００９】回転シャッター３２を用いた方法の場合、
保安機構付の金属化フィルムコンデンサとする際、コン
デンサの特性上、原反長手方向に蒸着膜電極を分割する
のみならず、分割電極内で短形の島状非金属化部（ヒュ
ーズ部）も同時形成する必要があり、この場合、回転シ
ャッター３２により分割部及びヒューズ部を形成しよう
とすると、原反幅方向に対し細いヒューズ部のみが回転
シャッター３２の接続部となる。このため高速での蒸着
を実施する際、回転シャッター３２が変形しやすく分割
及びヒューズ部が不鮮明になりやすいため、蒸着スピー
ドを高速化できないという問題があった。また、回転シ
ャッター３２の変形防止のため変形しにくい材質のもの
を使ったり、厚みを上げるといった手段をとると、重量
的な問題から作業性が悪くなるといった問題点があっ
た。さらにこの場合、長手方向のマージン部をオイルマ
スキング法、又はテープマージン法等で別箇所で形成す
る必要があるので、その際の調整が作業性悪化に大きな
影響を及ぼしていた。In the case of the method using the rotary shutter 32,
When a metallized film capacitor with a security mechanism is used, due to the characteristics of the capacitor, not only the vapor-deposited film electrode is divided in the longitudinal direction of the raw material, but also a short island-shaped non-metallized portion (fuse portion) in the divided electrode. It is necessary to form them at the same time. In this case, if the rotary shutter 32 is used to form a divided portion and a fuse portion, only the fuse portion that is narrower in the width direction of the original fabric becomes the connection portion of the rotary shutter 32. Therefore, when vapor deposition is performed at a high speed, there is a problem that the rotation shutter 32 is easily deformed and the division and the fuse portion are easily blurred, so that the vapor deposition speed cannot be increased. In addition, if a material that is difficult to deform is used to prevent deformation of the rotary shutter 32, or if the thickness is increased, there is a problem that workability is deteriorated due to a weight problem. Further, in this case, it is necessary to form the margin portion in the longitudinal direction at another place by an oil masking method, a tape margin method, or the like, so that the adjustment at that time has a great effect on the deterioration of workability.
【００１０】また、凸版ロール３０を用いた方法では、
蒸着工程中に凸部３６にオイル３３等の金属の蒸着を防
止する物質を付着させ未蒸着部のマージン部を形成する
際、すなわち、プラスチックフィルム１の長手方向に島
状分割電極を形成し、さらにその島状分割電極にヒュー
ズ機能を付加させる際には、凸版ロール３０の回転円心
力でオイル３３等が飛散して蒸着膜が班点状になった
り、マージンのかすれが発生するために、蒸着スピード
をあげられないといった問題点があった。In the method using the letterpress roll 30,
At the time of forming a margin portion of an undeposited portion by attaching a substance for preventing metal deposition such as oil 33 to the convex portion 36 during the deposition process, that is, forming an island-shaped divided electrode in the longitudinal direction of the plastic film 1, Further, when the fuse function is added to the island-shaped divided electrode, the oil 33 and the like are scattered by the centrifugal force of the letterpress roll 30 and the deposited film becomes spotted, or the margin is blurred. There was a problem that the evaporation speed could not be increased.
【００１１】また、凹版ロール３１を用いた方法ではス
ピードはあげられるものの、凹版ロール３１（パターン
ロール）のコストが高いうえに、切り替え時の凹版ロー
ル３１の脱着も重量的な問題から容易に行いにくいとい
った問題点があった。Although the method using the intaglio roll 31 increases the speed, the cost of the intaglio roll 31 (pattern roll) is high, and the intaglio roll 31 can be easily attached and detached at the time of switching due to weight problems. There was a problem that it was difficult.
【００１２】また、蒸着時に長手方向のマージン部のみ
を形成して、後工程でレーザーによるトリミングや放電
加工等によってプラスチックフィルム１の長手方向に複
数個の島状分割電極を形成する方法では、他の方法に比
べて１工程多いため経済的、時間的ロスが大きかった。In a method of forming only a margin portion in the longitudinal direction at the time of vapor deposition and forming a plurality of island-shaped divided electrodes in the longitudinal direction of the plastic film 1 by trimming or electric discharge machining with a laser in a later step, there is another method. Since the number of processes is one more than that of the above method, economic and time loss is large.
【００１３】本発明は、上記課題を解決するものであ
り、蒸着金属の付着を防止するオイルを高速でかつ十分
に付着させることができる金属化フィルムの製造装置及
びその製造方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a metallized film and a method for manufacturing the same, which can apply an oil for preventing the adhesion of a vapor-deposited metal at high speed and sufficiently. Aim.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１の金属化フィルムの製造装置は、蒸着
パターンを設けた円筒形スクリーンと、フィルムを前記
スクリーンの外周面に当接して送る第１の駆動装置と、
前記スクリーンを回転させる第２の駆動手段と、蒸着金
属がフィルムに付着することを防止する金属付着防止剤
を気化させる気化手段と、前記気化手段により気化され
た金属付着防止剤を前記スクリーンを通して前記フィル
ムに付着させた後そのフィルムに蒸着金属を付着する付
着手段とを備え、前記スクリーンを保温する第１の加熱
手段を設けたものである。In order to achieve the above object, a first apparatus for manufacturing a metallized film according to the present invention comprises a cylindrical screen provided with a vapor deposition pattern, and a film applied to an outer peripheral surface of the screen. A first driving device for contacting and sending;
A second driving unit for rotating the screen, a vaporizing unit for vaporizing a metal adhesion preventing agent for preventing the deposited metal from adhering to the film, and a metal adhesion preventing agent vaporized by the vaporizing unit passing through the screen. An attaching means for attaching a vapor-deposited metal to the film after being attached to the film, and a first heating means for keeping the screen warm.
【００１５】また、本発明の第２の金属化フィルムの製
造装置は、蒸着パターンを設けた円筒形スクリーンと、
フィルムを前記スクリーンの外周面に当接して送る第１
の駆動装置と、前記スクリーンを回転させる第２の駆動
手段と、蒸着金属がフィルムに付着することを防止する
金属付着防止剤を気化させる気化手段と、前記気化手段
により気化された金属付着防止剤を前記スクリーンを通
して前記フィルムに付着させた後そのフィルムに蒸着金
属を付着する付着手段と、前記スクリーンを保温する第
１の加熱手段とを備え、前記金属付着防止剤の気化状態
を保つ保温手段及び前記金属付着防止剤の噴出口を加熱
する第２の加熱手段とを設けたものである。Further, a second metallized film manufacturing apparatus of the present invention comprises: a cylindrical screen provided with a vapor deposition pattern;
The first method of feeding a film in contact with the outer peripheral surface of the screen
A driving device, a second driving unit for rotating the screen, a vaporizing unit for vaporizing a metal adhesion preventing agent for preventing the deposited metal from adhering to the film, and a metal adhesion preventing agent vaporized by the vaporizing unit. Attaching means for attaching a vapor-deposited metal to the film after attaching the film to the film through the screen, and a first heating means for keeping the screen warm, and a heat retaining means for maintaining a vaporized state of the metal adhesion preventing agent, and A second heating means for heating the ejection port of the metal adhesion preventing agent.
【００１６】また、本発明の第３の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンの穴径が直径１０μｍ〜１ｍｍで
ある。In the third apparatus for producing a metallized film according to the present invention, the screen has a hole diameter of 10 μm to 1 mm.
【００１７】また、本発明の第４の金属化フィルムの製
造装置は、金属付着防止剤をスクリーンを通してフィル
ムに付着させるための金属付着防止剤噴出口を設け、前
記スクリーンと前記金属付着防止剤噴出口との間隔を調
整する第１の間隔調整手段を備えたものである。The fourth apparatus for manufacturing a metallized film of the present invention further comprises a metal-adhesion-preventing agent outlet for adhering the metal-adhesion-preventing agent to the film through a screen, and the screen and the metal-adhesion-preventing agent-injecting port are provided. It is provided with a first distance adjusting means for adjusting the distance from the outlet.
【００１８】また、本発明の第５の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンと金属付着防止剤の噴出口との間
隔を調整する第１の間隔調整手段を備えたものである。Further, the fifth metallized film manufacturing apparatus of the present invention is provided with a first distance adjusting means for adjusting the distance between the screen and the ejection port of the metal adhesion preventing agent.
【００１９】また、本発明の第６の金属化フィルムの製
造装置は、フィルムを挟んでスクリーンと反対側に圧胴
ロールを備えたものである。The sixth apparatus for producing a metallized film of the present invention comprises an impression cylinder roll on the opposite side of the film from the screen.
【００２０】また、本発明の第７の金属化フィルムの製
造装置は、圧胴ロールとスクリーンとの間隔を調整する
第２の間隔調整手段を備えたものである。The seventh apparatus for manufacturing a metallized film of the present invention is provided with a second gap adjusting means for adjusting the gap between the impression cylinder roll and the screen.
【００２１】また、本発明の第８の金属化フィルムの製
造装置は、蒸着パターンが、保安機構を構成する分割マ
ージンとヒューズ部とを有するものである。Further, in the eighth metallized film manufacturing apparatus according to the present invention, the vapor deposition pattern has a division margin and a fuse part constituting a security mechanism.
【００２２】また、本発明の第９の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンを保温するための第１の加熱手段
をスクリーンの外側に設置したものである。In a ninth metallized film manufacturing apparatus according to the present invention, a first heating means for keeping the screen warm is provided outside the screen.
【００２３】また、本発明の金属化フィルムの製造方法
は、蒸着金属がフィルムに付着することを防止する金属
付着防止剤を気化させる第１の工程と、前記気化手段に
より気化された前記金属付着防止剤を、蒸着パターンを
設けた加熱手段により保温可能な円筒形スクリーンを通
して前記フィルムに付着させる第２の工程と、前記蒸着
金属を前記フィルムに付着させる第３の工程とからなる
ものである。In the method for producing a metallized film according to the present invention, a first step of vaporizing a metal adhesion preventing agent for preventing a vapor-deposited metal from adhering to the film is provided, and the metal adhesion film vaporized by the vaporizing means is provided. It comprises a second step of attaching the inhibitor to the film through a cylindrical screen which can be kept warm by a heating means provided with a vapor deposition pattern, and a third step of attaching the vapor deposited metal to the film.
【００２４】[0024]
【発明の実施の形態】上記構成により、本発明の第１の
金属化フィルムの製造装置は、気化された金属付着防止
剤を加熱装置により保温可能なスクリーンを通して直接
フィルムに付着させることにより、気化された金属付着
防止剤が液化せず、そのためマージン部等のパターン模
様を高速で、かつ鮮明に形成することができる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS With the above construction, the first apparatus for producing a metallized film of the present invention allows the vaporized metal adhesion preventive agent to adhere directly to the film through a screen which can be kept warm by a heating device. The deposited metal adhesion preventing agent does not liquefy, so that a pattern pattern such as a margin portion can be formed quickly and clearly.
【００２５】また、本発明の第２の金属化フィルムの製
造装置は、保温手段に加え加熱手段を設けたことによ
り、金属付着防止剤がフィルムに到達するまでの間気化
状態をより確実に保つことができ、より鮮明なパターン
模様を形成することができる。Further, in the second apparatus for producing a metallized film of the present invention, since the heating means is provided in addition to the heat retaining means, the vaporized state is more reliably maintained until the metal adhesion preventing agent reaches the film. And a clearer pattern can be formed.
【００２６】また、本発明の第３の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンを回転させたときのスクリーン自
体の歪みを防止することができる。Further, the third metallized film manufacturing apparatus of the present invention can prevent the distortion of the screen itself when the screen is rotated.
【００２７】また、本発明の第４の金属化フィルムの製
造装置は、使用するオイルの種類や送り速度、パターン
模様の種類等の条件の変化に対応して、最適なスクリー
ンと金属付着防止剤の噴出口との間隔を容易に調整する
ことができる。The fourth apparatus for manufacturing a metallized film according to the present invention provides an optimum screen and an anti-metal adhesion agent in response to changes in conditions such as the type of oil used, the feed rate, and the type of pattern. The distance between the nozzle and the nozzle can be easily adjusted.
【００２８】また、本発明の第５の金属化フィルムの製
造装置は、使用するオイルの種類や送り速度、パターン
模様の種類等の条件の変化に対応して、最適なスクリー
ンと金属付着防止剤の噴出口との間隔を容易に調整する
ことができる。Further, the fifth metallized film manufacturing apparatus of the present invention can provide an optimum screen and a metal adhesion preventing agent in response to changes in conditions such as the type of oil used, the feed rate, and the type of pattern. The distance between the nozzle and the nozzle can be easily adjusted.
【００２９】また、本発明の第６の金属化フィルムの製
造装置は、圧胴ロールによってフィルムのばたつきを防
止し、精度よくパターン模様を形成することができる。Further, the sixth apparatus for manufacturing a metallized film of the present invention can prevent the film from fluttering by the impression cylinder roll and form a pattern pattern with high accuracy.
【００３０】また、本発明の第７の金属化フィルムの製
造装置は、圧胴ロールとスクリーンとの間隔を調整する
間隔調整手段により、スクリーンとフィルムとの間隔が
容易に調整できる。In the metallized film manufacturing apparatus according to the seventh aspect of the present invention, the distance between the screen and the film can be easily adjusted by the distance adjusting means for adjusting the distance between the impression roll and the screen.
【００３１】また、本発明の第８の金属化フィルムの製
造装置は、後工程をなんら必要とせず、分割マージンと
ヒューズ部、通常マージン部とを形成できる。Further, the eighth metallized film manufacturing apparatus of the present invention can form a division margin, a fuse portion, and a normal margin portion without any need for a post-process.
【００３２】また、本発明の第９の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーン以外のスクリーン取付台等の保温
も可能となり、スクリーン内への流入がなく、高速で安
定したパターン形成が可能となる。Further, the ninth metallized film manufacturing apparatus according to the present invention can also keep the temperature of a screen mount other than the screen, so that a high-speed and stable pattern can be formed without flowing into the screen. .
【００３３】また、本発明の金属化フィルムの製造方法
は、気化された金属付着防止剤を加熱手段により保温可
能なスクリーンを通して直接フィルムに付着させること
により、マージン部等のパターン模様を高速で、かつ鮮
明に形成することができる。In the method for producing a metallized film according to the present invention, the vaporized metal adhesion inhibitor is directly attached to the film through a screen which can be kept warm by a heating means, so that a pattern such as a margin portion can be formed at a high speed. And it can be formed clearly.
【００３４】以下本発明の一実施の形態について、図面
を用いて説明する。図１は、本発明の一実施の形態にお
ける金属化フィルムの第１の製造装置を示す図、図２
（ａ），（ｂ）は同装置により製造された金属化フィル
ムの一例を示す図，図３は同装置のスクリーンシリンダ
ーを示す図、図４は同スクリーン部分のＡ部拡大図、図
５（ａ）は同スクリーンシリンダーの内部の配管の説明
図、図５（ｂ）は同スクリーンシリンダーのオイルノズ
ルの説明図である。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a first apparatus for manufacturing a metallized film according to an embodiment of the present invention.
(A) and (b) are views showing an example of a metallized film manufactured by the same apparatus, FIG. 3 is a view showing a screen cylinder of the same apparatus, FIG. 4 is an enlarged view of a portion A of the same screen part, and FIG. FIG. 5A is an explanatory view of a pipe inside the screen cylinder, and FIG. 5B is an explanatory view of an oil nozzle of the screen cylinder.
【００３５】図において、１はプラスチックフィルム、
２は気化されたオイルガスであり、オイルタンク５から
オイルガス流路８を通って、スクリーンが形成されたス
クリーンシリンダー４内からプラスチックフィルム１に
向かって噴き出される。７は蒸発源であり、金属を熱し
蒸着金属６としてプラスチックフィルム１に蒸着させる
ものである。３は冷却ロール、１５はオイルノズル、２
５はスクリーンシリンダー４を保温する遠赤外線ヒータ
ー、２６はパターン部である。In the figure, 1 is a plastic film,
Reference numeral 2 denotes vaporized oil gas, which is ejected from the oil tank 5 through the oil gas flow path 8 toward the plastic film 1 from inside the screen cylinder 4 where the screen is formed. Reference numeral 7 denotes an evaporation source which heats a metal and deposits it on the plastic film 1 as a deposited metal 6. 3 is a cooling roll, 15 is an oil nozzle, 2
5 is a far-infrared heater for keeping the screen cylinder 4 warm, and 26 is a pattern portion.
【００３６】また、９はマージン部、１０は分割マージ
ン部、１１は第１の蒸着膜、１２はヒューズ部、１３は
窓マージン部、１４は第２の蒸着膜である。Reference numeral 9 denotes a margin portion, 10 denotes a divided margin portion, 11 denotes a first deposited film, 12 denotes a fuse portion, 13 denotes a window margin portion, and 14 denotes a second deposited film.
【００３７】図１に示すような、厚み６μｍのポリプロ
ピレンフィルムの片面に亜鉛をヘビーエッジ状に蒸着す
る真空蒸着機内において、基材のプラスチックフィルム
１が冷却ロール３を通過する手前で、オイルガス２によ
り、図２に示した保安機構パターンを形成した。図２は
保安機構パターンの一例であるが、保安機構は基本的に
蒸着膜を微小な面積に分割したものであり、そのために
はパターンを施したスクリーンシリンダー４はメッシュ
状である必要がある。As shown in FIG. 1, in a vacuum evaporator for depositing zinc on one side of a polypropylene film having a thickness of 6 μm in a heavy-edge shape, before the base plastic film 1 passes through the cooling roll 3, the oil gas 2 Thus, the security mechanism pattern shown in FIG. 2 was formed. FIG. 2 shows an example of the security mechanism pattern. The security mechanism basically divides the vapor-deposited film into a small area. For this purpose, the screen cylinder 4 on which the pattern is formed needs to have a mesh shape.
【００３８】すなわち、仮にパターン部２６がメッシュ
状ではなく打ち抜いたものであるとすると、長手方向の
マージン部９が形成できず、別方法で形成する必要があ
ると同時に、図２（ａ），（ｂ）に示したパターンの場
合はヒューズ部１２のみが接続部となることとなり、ス
クリーンシリンダー４は高速回転するためには強度的に
弱くなる。さらにスクリーンシリンダー４は連続蒸着機
内で使用するため円筒形である必要があり、平板形状で
は連続にならない他、多角形の形状であると基材である
プラスチックフィルム１を傷つけることになりかねな
い。That is, if the pattern portion 26 is not meshed but punched, the margin portion 9 in the longitudinal direction cannot be formed, and must be formed by another method. In the case of the pattern shown in (b), only the fuse portion 12 becomes a connection portion, and the screen cylinder 4 becomes weak in strength to rotate at high speed. Further, since the screen cylinder 4 is required to be cylindrical in order to be used in a continuous vapor deposition machine, the screen cylinder 4 does not become continuous in a flat plate shape, and the polygonal shape may damage the plastic film 1 as a base material.
【００３９】またメッシュの穴径は１０μｍ〜１ｍｍが
望ましい。１０μｍ未満の場合は目詰まりしやすい問題
があり、また１ｍｍを超えた場合にはヒューズ部の精度
が落ちるといった問題があるからである。The mesh preferably has a hole diameter of 10 μm to 1 mm. If the thickness is less than 10 μm, there is a problem that clogging is likely to occur, and if it exceeds 1 mm, there is a problem that the accuracy of the fuse portion is reduced.
【００４０】オイルガス２はスクリーンシリンダー４内
のオイルタンク５にて加熱気化され、加熱されたオイル
ガス流路８を通り、気化状態を保持したままオイルガス
噴出口であるオイルノズル１５の先端部まで誘導され、
オイルノズル１５の先端部よりパターン加工を施したス
クリーンシリンダー４を通過して基材であるプラスチッ
クフィルム１に付着される。The oil gas 2 is heated and vaporized in an oil tank 5 in the screen cylinder 4, passes through a heated oil gas flow path 8, and keeps the vaporized state while maintaining the vaporized state. Is guided to
The oil passes through the screen cylinder 4 subjected to pattern processing from the tip of the oil nozzle 15 and adheres to the plastic film 1 as a base material.
【００４１】この時、スクリーンシリンダー４が未加熱
の場合、またオイルガス流路８の加熱がない場合、オイ
ルタンク５内にて気化したオイルガス２が液化してしま
うため遠赤外線ヒーター２５によりスクリーンシリンダ
ー４を、またオイルガス流路８及びオイルノズル１５も
加熱保温を行なった。ただし、オイルガス流路８及びオ
イルノズル１５に熱伝導の良好な材質のものを使用した
場合は、この部分の加熱保温は必ずしも必要ではない。At this time, when the screen cylinder 4 is not heated, or when the oil gas flow path 8 is not heated, the vaporized oil gas 2 in the oil tank 5 is liquefied. The cylinder 4, the oil gas flow path 8 and the oil nozzle 15 were also heated and kept warm. However, when the oil gas flow path 8 and the oil nozzle 15 are made of a material having good heat conductivity, it is not always necessary to heat and keep this part.
【００４２】そしてスクリーンシリンダー４、オイルノ
ズル１５、オイルタンク５、オイルガス流路８、遠赤外
線ヒーター２５は図５（ａ），（ｂ）に示したようにス
クリーンシリンダー４の外側にスクリーンシリンダー表
面から約２０ｍｍ離れた配置とし、スクリーンシリンダ
ー４の巾は基材であるプラスチックフィルム１の巾以上
とし、遠赤外線ヒーター２５の巾はスクリーンシリンダ
ー４の巾以上、オイルノズル１５の巾はスクリーンシリ
ンダー４の巾と同じ長さとした。オイルノズル１５はそ
の先端部が、円筒形をしたスクリーンシリンダー４の内
壁面の曲面に沿う形状とし、スクリーンシリンダー４の
内壁面に当てて蒸着を行った。The screen cylinder 4, the oil nozzle 15, the oil tank 5, the oil gas flow path 8, and the far-infrared heater 25 are located outside the screen cylinder 4 as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b). , The width of the screen cylinder 4 is at least the width of the plastic film 1 as a base material, the width of the far-infrared heater 25 is at least the width of the screen cylinder 4, and the width of the oil nozzle 15 is the width of the screen cylinder 4. The length was the same as the width. The tip of the oil nozzle 15 was formed along the curved surface of the inner wall surface of the cylindrical screen cylinder 4, and the oil nozzle 15 was deposited on the inner wall surface of the screen cylinder 4.
【００４３】また基材のプラスチックフィルム１は一部
をスクリーンシリンダー４の円筒表面に沿わせると同時
にスクリーンシリンダー４自体も駆動させ（駆動手段は
図示せず）プラスチックフィルム１と同期をとって送ら
せた。これはスクリーンシリンダー４に駆動をかけずに
蒸着するとプラスチックフィルム１がスクリーンシリン
ダー４の表面ですべりを発生しパターン精度、鮮明さが
確保できないためである。A part of the base plastic film 1 is made to follow the cylindrical surface of the screen cylinder 4 and at the same time, the screen cylinder 4 itself is driven (driving means is not shown) and sent in synchronization with the plastic film 1. Was. This is because if the vapor deposition is performed without driving the screen cylinder 4, the plastic film 1 slips on the surface of the screen cylinder 4 and pattern accuracy and sharpness cannot be secured.
【００４４】そしてプラスチックフィルム１の一部が沿
う部分にオイルノズル１５をスクリーンシリンダー４の
内壁面に当てることで確実なオイル付着を行い鮮明なパ
ターンとすることができた。Then, the oil nozzle 15 was applied to the inner wall surface of the screen cylinder 4 at a portion along the part of the plastic film 1 so that the oil was securely attached and a clear pattern could be obtained.
【００４５】なお、本実施の形態ではオイルノズル１５
をスクリーンシリンダー４の内面に当てて行ったが、パ
ターンによってはオイルノズル１５とスクリーンシリン
ダー４の内面との間にわずかな空隙をもたせた方が良い
場合もあり、オイルノズル１５には第１の間隔調整手段
を備えるとより確実なオイル付着を行い、鮮明なパター
ンにできる。In this embodiment, the oil nozzle 15
Was applied to the inner surface of the screen cylinder 4, but depending on the pattern, it may be better to provide a slight gap between the oil nozzle 15 and the inner surface of the screen cylinder 4. When the interval adjusting means is provided, more reliable oil adhesion is performed, and a clear pattern can be obtained.
【００４６】この第１の間隔調整手段について図６
（ａ），（ｂ）を用いて説明する。なお、図６（ａ）に
おいて図６（ｂ）の第１のベアリング２７，第２のベア
リング２８，プーリー２９は図が煩雑になるので省いて
ある。FIG. 6 shows the first interval adjusting means.
This will be described with reference to (a) and (b). In FIG. 6A, the first bearing 27, the second bearing 28, and the pulley 29 in FIG. 6B are omitted for simplicity.
【００４７】スクリーンシリンダー４内に設けられたオ
イルノズル１５は第１のブラケット１６に取付けられ、
第１のブラケット１６は第１のベース１９に取付けられ
ている。そして、第１のベース１９は第２のベース２０
に設けられた第１のリニアレール２２により水平方向に
移動可能になっている。An oil nozzle 15 provided in the screen cylinder 4 is attached to a first bracket 16,
The first bracket 16 is attached to a first base 19. And the first base 19 is the second base 20
The first linear rail 22 provided at the first position is movable in the horizontal direction.
【００４８】また、スクリーンシリンダー４は、第１の
ベアリング２７，第２のベアリング２８を介して第２の
ブラケット１７に取付けられ、スクリーンシリンダー４
と第１のベアリング２７との間にプーリー２９を取付け
プーリー２９に駆動用ベルト（図示せず）を介してスク
リーンシリンダー４を回転させている。また、第２のブ
ラケット１７は第３のブラケット２４に取付けられ、第
３のブラケット２４は第２のベース２０に取付けられて
いる。このため、スクリーンシリンダー４とオイルノズ
ル１５は互いに平行に間隔調整ができる。The screen cylinder 4 is attached to the second bracket 17 via a first bearing 27 and a second bearing 28, and the screen cylinder 4
A pulley 29 is mounted between the first and second bearings 27, and the screen cylinder 4 is rotated on the pulley 29 via a driving belt (not shown). Further, the second bracket 17 is attached to the third bracket 24, and the third bracket 24 is attached to the second base 20. Therefore, the interval between the screen cylinder 4 and the oil nozzle 15 can be adjusted in parallel with each other.
【００４９】以上のように、第１の間隔調整手段によれ
ば、スクリーンシリンダー４とオイルノズル１５との平
行を保ったまま、スクリーンシリンダー４とオイルノズ
ル１５との間隔を任意に調節することが可能になる。As described above, according to the first interval adjusting means, it is possible to arbitrarily adjust the interval between the screen cylinder 4 and the oil nozzle 15 while keeping the screen cylinder 4 and the oil nozzle 15 parallel. Will be possible.
【００５０】この第２の間隔調整手段について図６
（ａ），（ｂ）を用いて説明する。なお、図６（ａ）に
おいて図６（ｂ）の第１のベアリング２７，第２のベア
リング２８，プーリー２９は図が煩雑になるので省いて
ある。FIG. 6 shows the second interval adjusting means.
This will be described with reference to (a) and (b). In FIG. 6A, the first bearing 27, the second bearing 28, and the pulley 29 in FIG. 6B are omitted for simplicity.
【００５１】スクリーンシリンダー４は、第１のベアリ
ング２７，第２のベアリング２８を介して第２のブラケ
ット１７に取付けられ、スクリーンシリンダー４と第１
のベアリング２７との間にプーリー２９を取付けプーリ
ー２９に駆動用ベルト（図示せず）を介してスクリーン
シリンダー４を回転させている。また、第２のブラケッ
ト１７は第３のブラケット２４に取付けられ、第３のブ
ラケット２４は第２のベース２０に取付けられている。The screen cylinder 4 is attached to the second bracket 17 via a first bearing 27 and a second bearing 28, and the screen cylinder 4 and the first
A pulley 29 is attached to the bearing 27 and the screen cylinder 4 is rotated on the pulley 29 via a driving belt (not shown). Further, the second bracket 17 is attached to the third bracket 24, and the third bracket 24 is attached to the second base 20.
【００５２】また、第２のベース２０は第３のベース２
１に設けられた第２のリニアレール２３により水平方向
に移動することができる。The second base 20 is connected to the third base 2
The second linear rail 23 provided in the first unit 1 can move in the horizontal direction.
【００５３】以上のように、第２の間隔調整手段によれ
ば、スクリーンシリンダー４を水平方向に移動させるこ
とができるため、スクリーンシリンダー４と圧胴ロール
１８との距離を任意に調節することができる。As described above, according to the second interval adjusting means, the screen cylinder 4 can be moved in the horizontal direction, so that the distance between the screen cylinder 4 and the impression cylinder roll 18 can be arbitrarily adjusted. it can.
【００５４】また、保安機構パターンは図２のように帯
状長手方向のマージン部９と金属化フィルムコンデンサ
にした場合、保安機構となる分割マージン部１０及びヒ
ューズ部１２とからなる。As shown in FIG. 2, the security mechanism pattern includes a strip-shaped longitudinal margin portion 9 and a divided margin portion 10 and a fuse portion 12 which serve as a security mechanism when a metallized film capacitor is used.
【００５５】本実施の形態では蒸着スピードを３００ｍ
／分、６００ｍ／分の２段階とし、マージン部９を４ｍ
ｍ、分割マージン部１０の巾、窓マージン部１３の巾を
各々０．５ｍｍ、分割巾を３０ｍｍ、ヒューズ部１２の
巾を０．８ｍｍとして試作した。比較のために同じ保安
機構パターンを形成した回転シャッター３２を取付けて
の試作（比較例１）、及び凸部形状を有するパターンロ
ールをスクリーンシリンダーの代わりに取り付け、オイ
ルを転写させる方法で同様の試作（比較例２）を行っ
た。またヘビーエッジ蒸着のため、第１の蒸着膜１１を
１０〜２０Ω／□、第２の蒸着部１４を３〜５Ω／□の
膜抵抗値とした。In this embodiment, the deposition speed is set to 300 m
/ Min, 600m / min in two stages, and the margin 9 is 4m
m, the width of the division margin 10 and the width of the window margin 13 were each 0.5 mm, the division width was 30 mm, and the width of the fuse part 12 was 0.8 mm. For comparison, a trial production in which a rotary shutter 32 having the same security mechanism pattern is mounted (Comparative Example 1), and a similar trial production in which a pattern roll having a convex shape is mounted in place of a screen cylinder and oil is transferred. (Comparative Example 2) was performed. For heavy edge deposition, the first deposited film 11 had a film resistance value of 10 to 20 Ω / □, and the second deposited portion 14 had a film resistance value of 3 to 5 Ω / □.
【００５６】[0056]
【表１】 [Table 1]
【００５７】（表１）は本発明の実施の形態と比較例の
分割マージン部１０、ヒューズ部１２の蒸着後の鮮明さ
を目視で確認した結果である。Table 1 shows the results of visually confirming the sharpness of the divided margin portion 10 and the fuse portion 12 of the embodiment of the present invention and the comparative example after deposition.
【００５８】本実施の形態は６００ｍ／分の高速でも分
割マージン部１０、ヒューズ部１２とも鮮明なマージン
が確認された。In this embodiment, a clear margin was confirmed in both the division margin section 10 and the fuse section 12 even at a high speed of 600 m / min.
【００５９】なお本実施の形態では、プラスチックフィ
ルム１を挟んでスクリーンシリンダー４の反対側に圧胴
ロール１８を取り付けずに作成したが、装置としては圧
胴ロール１８を設置したほうが良い。圧胴ロール１８の
設置により、プラスチックフィルム１、スクリーンシリ
ンダー４のばたつきが抑えられ、より精度のよいものが
得られる。また、圧胴ロール１８側にプラスチックフィ
ルム１を沿わせた場合でも、同様の蒸着が達成できた。
但し、高精度を要する場合はスクリーンシリンダー４側
にプラスチックフィルム１を沿わせた方が良く、特に精
度を要しない場合で高速蒸着を実施する場合は圧胴ロー
ル１８側に沿わせた方が良好な結果となった。In this embodiment, the impression cylinder roll 18 is formed without attaching the impression cylinder roll 18 to the opposite side of the screen cylinder 4 with the plastic film 1 interposed therebetween. However, it is better to install the impression cylinder roll 18 as an apparatus. By setting the impression cylinder roll 18, the fluttering of the plastic film 1 and the screen cylinder 4 is suppressed, and a more accurate one is obtained. Further, even when the plastic film 1 was arranged along the impression cylinder roll 18, the same vapor deposition was achieved.
However, when high precision is required, it is better to arrange the plastic film 1 along the screen cylinder 4 side. In particular, when high precision deposition is not required when high precision is required, it is better to follow the impression cylinder roll 18 side. Results.
【００６０】そして前述のスクリーンシリンダー４とオ
イルノズル１５の間隔と同様に、パターンによってはス
クリーンシリンダー４と圧胴ロール１８間の空隙を設け
ることが可能となるように、第２の間隔調整手段を設け
るとさらに良い間隔を任意に調節することが可能にな
る。In the same manner as the above-mentioned interval between the screen cylinder 4 and the oil nozzle 15, the second interval adjusting means is provided so that a gap between the screen cylinder 4 and the impression cylinder roll 18 can be provided depending on the pattern. Providing this makes it possible to arbitrarily adjust a better interval.
【００６１】この第２の間隔調整手段について図６
（ａ），（ｂ）を用いて説明する。なお、図６（ａ）に
おいて図６（ｂ）の第１のベアリング２７，第２のベア
リング２８，プーリー２９は図が煩雑になるので省いて
ある。FIG. 6 shows the second interval adjusting means.
This will be described with reference to (a) and (b). In FIG. 6A, the first bearing 27, the second bearing 28, and the pulley 29 in FIG. 6B are omitted for simplicity.
【００６２】スクリーンシリンダー４は、第１のベアリ
ング２７，第２のベアリング２８を介して第２のブラケ
ット１７に取付けられ、スクリーンシリンダー４と第１
のベアリング２７との間にプーリー２９を取付けプーリ
ー２９に駆動用ベルト（図示せず）を介してスクリーン
シリンダー４を回転させている。また、第２のブラケッ
ト１７は第３のブラケット２４に取付けられ、第３のブ
ラケット２４は第２のベース２０に取付けられている。The screen cylinder 4 is attached to the second bracket 17 via the first bearing 27 and the second bearing 28, and the screen cylinder 4 and the first
A pulley 29 is attached to the bearing 27 and the screen cylinder 4 is rotated on the pulley 29 via a driving belt (not shown). Further, the second bracket 17 is attached to the third bracket 24, and the third bracket 24 is attached to the second base 20.
【００６３】また、第２のベース２０は第３のベース２
１に設けられた第２のリニアレール２３により水平方向
に移動することができる。The second base 20 is the third base 2
The second linear rail 23 provided in the first unit 1 can move in the horizontal direction.
【００６４】以上のように、第２の間隔調整手段によれ
ば、スクリーンシリンダー４を水平方向に移動させるこ
とができるため、スクリーンシリンダー４と圧胴ロール
１８との距離を任意に調節することができる。As described above, according to the second interval adjusting means, the screen cylinder 4 can be moved in the horizontal direction, so that the distance between the screen cylinder 4 and the impression cylinder roll 18 can be arbitrarily adjusted. it can.
【００６５】いずれの場合も、空隙を設けることでオイ
ルガス２の拡散効果をねらいとするパターンに適する。In any case, providing a gap is suitable for a pattern in which the effect of diffusing the oil gas 2 is aimed at.
【００６６】比較例１の回転シャッター方法では回転シ
ャッター２１の変形が確認され、分割マージン部１０、
ヒューズ部１２ともほとんど形成できなかった。回転シ
ャッター２１の変形要因としては継ぎ部（ヒューズ部）
が０．８ｍｍと細く、軽量化、低コスト化を図るため厚
みも十分確保できなかったためである。また比較例２の
凸部形状では６００ｍ／分でマージン部に一部蒸着金属
が付着しており鮮明さに欠けた。これは凸部形状の先端
に付着したオイルが高速回転により飛散したため十分な
オイル量がフィルムに転写されなかったためと考えられ
る。In the rotary shutter method of Comparative Example 1, the deformation of the rotary shutter 21 was confirmed, and
Almost no fuse portion 12 could be formed. The deformation factor of the rotary shutter 21 is a joint (fuse)
Is as thin as 0.8 mm, and the thickness could not be sufficiently secured in order to reduce the weight and cost. In the case of the convex shape of Comparative Example 2, the vapor deposition metal was partially adhered to the margin at 600 m / min, and lacked sharpness. This is presumably because the oil adhering to the tip of the convex portion was scattered by the high-speed rotation and a sufficient amount of oil was not transferred to the film.
【００６７】なお本実施の形態では、片面亜鉛蒸着の例
を挙げて説明してきたが蒸着金属としてアルミニウム、
アルミニウム−亜鉛の合金の場合、また両面蒸着の場合
も同様の結果であった。In the present embodiment, an example of single-sided zinc deposition has been described.
Similar results were obtained in the case of an aluminum-zinc alloy and in the case of double-sided deposition.
【００６８】このように従来の問題点を解決するために
は、金属化フィルムコンデンサ用の金属化フィルムを製
造する真空蒸着機もしくは蒸着工程において、蒸着金属
の付着を防止する目的でオイル等を付着させる手段とし
て、基材であるプラスチックフィルム１の巾以上の巾を
有する筒体であるスクリーンシリンダー４の表面より、
その内部空洞部まで任意の形の貫通穴加工部（メッシ
ュ）で任意のパターン模様を形成し、かつその筒体蒸着
スピードと同期させ回転させながら、気化したオイルガ
ス２等をその貫通穴加工部（メッシュ）を通してプラス
チックフィルム１に蒸着金属を付着させる金属化フィル
ムの製造装置もしくは製造方法によって解決できる。As described above, in order to solve the conventional problems, in a vacuum vapor deposition machine or a vapor deposition process for producing a metallized film for a metallized film capacitor, oil or the like is deposited for the purpose of preventing the deposition of the deposited metal. As means for performing the above, from the surface of the screen cylinder 4 which is a cylindrical body having a width equal to or greater than the width of the plastic film 1 as the base material,
An arbitrary pattern is formed in a through-hole processing portion (mesh) of any shape up to the internal cavity portion, and the vaporized oil gas 2 and the like are formed in the through-hole processing portion while rotating in synchronization with the cylindrical deposition speed. The problem can be solved by a metallized film manufacturing apparatus or a manufacturing method for attaching a vapor deposition metal to the plastic film 1 through a (mesh).
【００６９】すなわち、コンデンサ用の金属化フィルム
を製造する蒸着機内において、図１に示すようなロール
配置とし図３に示したスクリーンシリンダー４を取付、
オイルタンク５より供給されるオイル等を気化させた金
属の蒸着を防止するガス状の物質を、メッシュ加工によ
り任意のパターン模様が形成されたスクリーンシリンダ
ー４を通過させてプラスチックフィルム１（誘電体フィ
ルム）に付着させた後、金属を蒸着させることで分割ヒ
ューズパターン及び長手方向の一定幅、一定間隔のマー
ジン部を形成すると同時に、プラスチックフィルム１を
挟んでスクリーンシリンダー４と反対側にプラスチック
フィルム１の通路を規制する圧胴ロール１８を備えてい
るため、蒸着スピードを上げてもプラスチックフィルム
１のばたつきが無く、プラスチックフィルム１とオイル
ノズル１５（オイルガス噴出口）の距離が一定に保て、
パターンの鮮明さが保てる。That is, in a vapor deposition machine for producing a metallized film for a capacitor, the screen cylinder 4 shown in FIG.
A gaseous substance supplied from an oil tank 5 for preventing vaporization of metal vaporized oil or the like is passed through a screen cylinder 4 on which an arbitrary pattern is formed by mesh processing, and a plastic film 1 (dielectric film) is formed. ), A metal is deposited to form a divided fuse pattern and a constant width and constant margin in the longitudinal direction, and at the same time, the plastic film 1 is placed on the opposite side of the screen cylinder 4 with the plastic film 1 interposed therebetween. Since the pressure drum roll 18 for regulating the passage is provided, the plastic film 1 does not flutter even when the deposition speed is increased, and the distance between the plastic film 1 and the oil nozzle 15 (oil gas outlet) can be kept constant.
The sharpness of the pattern can be maintained.
【００７０】また切替時においても軽量のスクリーンシ
リンダー４を交換すれば良く、長手方向のマージン部９
も同時形成のため切替調整も簡素化でき、作業性が改善
されるとともに経済的な設備とすることが可能である。Also, when switching, the lightweight screen cylinder 4 may be replaced, and the longitudinal margin 9 may be replaced.
Also, the switching adjustment can be simplified due to the simultaneous formation, the workability can be improved, and economical equipment can be provided.
【００７１】以上の説明から明らかなように本実施の形
態によれば、蒸着工程中で金属化フィルムとした場合保
安機構となる分割ヒューズパターン、及び長手方向のマ
ージン部９を高速蒸着中で形成可能であるために、安全
機能と生産性に優れた金属化フィルムとなる上、スクリ
ーンシリンダー４は従来のオイルノズル１５と比べ軽量
のため脱着・取付が容易な上に経済的に極めて優位であ
るためトータルメリットが非常に大きい。As is apparent from the above description, according to the present embodiment, when a metallized film is formed during the vapor deposition process, the divided fuse pattern serving as a security mechanism and the longitudinal margin 9 are formed during high-speed vapor deposition. Because it is possible, it becomes a metallized film having excellent safety function and productivity, and the screen cylinder 4 is lighter in weight than the conventional oil nozzle 15 so that it can be easily attached and detached and installed, and is extremely economically advantageous. Therefore, the total merit is very large.
【００７２】なお、メッシュは貫通穴加工を施したもの
でもよく、また繊維状に織られたものであってもよい。The mesh may have been subjected to through-hole processing, or may be woven in a fibrous form.
【００７３】そして、前述の製造装置もしくは製造方法
により金属化フィルムを作成して、その金属化フィルム
で構成される保安機構付の金属化フィルムコンデンサと
した場合、コスト比較で従来方法によるコンデンサの８
０％とすることができ経済的効果が非常に大なるもので
ある。When a metallized film is formed by the above-described manufacturing apparatus or manufacturing method and a metallized film capacitor with a security mechanism constituted by the metallized film is used, the cost of the capacitor according to the conventional method is reduced by 8%.
It can be set to 0%, and the economic effect is very large.
【００７４】[0074]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
第１の金属化フィルムの製造装置は、気化された金属付
着防止剤が液化しないため、マージン部等のパターン模
様を高速で、かつ鮮明に形成することができる。As is apparent from the above description, the first apparatus for manufacturing a metallized film of the present invention does not liquefy the vaporized metal adhesion preventing agent, so that the pattern pattern of the margin and the like can be formed at a high speed. It can be formed clearly.
【００７５】また、本発明の第２の金属化フィルムの製
造装置は、加熱手段により、金属付着防止剤がフィルム
に到達するまでの間、確実に気化状態を保つことがで
き、より鮮明なパターン模様を形成することができる。Further, in the second apparatus for producing a metallized film of the present invention, the heating means can surely maintain the vaporized state until the metal adhesion preventing agent reaches the film, so that a clearer pattern can be obtained. A pattern can be formed.
【００７６】また、本発明の第３の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンの強度を保つことができ、スクリ
ーンを回転させたときの歪みを防止することができる。Further, the third apparatus for manufacturing a metallized film of the present invention can maintain the strength of the screen and prevent distortion when the screen is rotated.
【００７７】また、本発明の第４の金属化フィルムの製
造装置は、使用するオイルの種類や送り速度、パターン
模様の種類等の条件の変化に対応して、最適なスクリー
ンと金属付着防止剤の噴出口との間隔を容易に調整する
ことができる。The fourth apparatus for manufacturing a metallized film according to the present invention provides an optimum screen and a metal adhesion preventing agent in response to changes in conditions such as the type of oil used, the feed rate, and the type of pattern. The distance between the nozzle and the nozzle can be easily adjusted.
【００７８】また、本発明の第５の金属化フィルムの製
造装置は、使用するオイルの種類や送り速度、パターン
模様の種類等の条件の変化に対応して、最適なスクリー
ンと金属付着防止剤の噴出口との間隔を容易に調整する
ことができる。The fifth apparatus for producing a metallized film according to the present invention provides an optimum screen and a metal adhesion inhibitor in response to changes in conditions such as the type of oil used, the feed rate, and the type of pattern. The distance between the nozzle and the nozzle can be easily adjusted.
【００７９】また、本発明の第６の金属化フィルムの製
造装置は、圧胴ロールによってフィルムのばたつきを防
止し、精度良くパターン模様を形成することができる。In the sixth metallized film manufacturing apparatus of the present invention, the flutter of the film can be prevented by the impression cylinder roll, and the pattern can be formed with high accuracy.
【００８０】また、本発明の第７の金属化フィルムの製
造装置は、圧胴ロールとスクリーンとの間隔を調整する
ことにより、スクリーンとフィルムとの間隔を容易に調
整できる。In the seventh metallized film manufacturing apparatus of the present invention, the distance between the screen and the film can be easily adjusted by adjusting the distance between the impression cylinder roll and the screen.
【００８１】また、本発明の第８の金属化フィルムの製
造装置は、後工程を何ら必要とせず、分割マージンとヒ
ューズ部とを形成できる。In addition, the eighth metallized film manufacturing apparatus of the present invention can form a division margin and a fuse portion without any post-process.
【００８２】また、本発明の第９の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーン以外のスクリーン取付台等の保温
も可能となり、スクリーン内への流入がなく、高速で安
定したパターン形成が可能となる。Further, the ninth metallized film manufacturing apparatus of the present invention can also keep the temperature of a screen mount other than the screen, so that it does not flow into the screen, and a high-speed and stable pattern can be formed. .
【００８３】また、本発明の金属化フィルムの製造方法
は、気化された金属付着防止剤をスクリーンを通して直
接フィルムに付着させることにより、マージン部等のパ
ターン模様を高速で、かつ鮮明に形成することができ
る。Further, the method for producing a metallized film according to the present invention is to form a pattern such as a margin portion at a high speed and sharply by attaching a vaporized metal adhesion inhibitor directly to the film through a screen. Can be.
【図１】本発明の一実施の形態における第１の金属化フ
ィルムの製造装置を示す図FIG. 1 is a diagram showing an apparatus for manufacturing a first metallized film according to an embodiment of the present invention.
【図２】（ａ）同装置により製造された金属化フィルム
の一例を示す図 （ｂ）同一例のＡ−Ａ断面図FIG. 2A shows an example of a metallized film manufactured by the same apparatus. FIG. 2B is a cross-sectional view of the same example taken along line AA.
【図３】同装置のスクリーンシリンダーを示す図FIG. 3 is a view showing a screen cylinder of the apparatus.
【図４】同スクリーンシリンダーの要部Ａ拡大図FIG. 4 is an enlarged view of a main part A of the screen cylinder.
【図５】（ａ）同スクリーンシリンダーの内部の配管の
説明図 （ｂ）同スクリーンシリンダーのオイルノズルの説明図FIG. 5A is an explanatory view of a pipe inside the screen cylinder. FIG. 5B is an explanatory view of an oil nozzle of the screen cylinder.
【図６】（ａ）同実施の形態の間隔調整手段を示す主要
部外観図 （ｂ）同実施の形態の間隔調整手段を示す主要部正面図FIG. 6A is an external view of a main part showing a distance adjusting unit of the embodiment. FIG. 6B is a front view of a main part showing a distance adjusting unit of the embodiment.
【図７】従来の第１の金属化フィルムの製造装置の説明
図FIG. 7 is an explanatory view of a conventional first metallized film manufacturing apparatus.
【図８】従来の第２の金属化フィルムの製造装置の説明
図FIG. 8 is an explanatory view of a conventional second metallized film manufacturing apparatus.
【図９】従来の第３の金属化フィルムの製造装置の説明
図FIG. 9 is an explanatory view of a conventional third metallized film manufacturing apparatus.
【図１０】従来の第４の金属化フィルムの製造装置の説
明図FIG. 10 is an explanatory view of a conventional fourth metallized film manufacturing apparatus.
１ プラスチックフィルム ２ オイルガス ３ 冷却ロール ４ スクリーンシリンダー ５ オイルタンク ６ 蒸着金属 ７ 蒸発源 ８ オイルガス流路 ９ マージン部 １０ 分割マージン部 １１ 第１の蒸着膜 １２ ヒューズ部 １３ 窓マージン部 １４ 第２の蒸着膜 １５ オイルノズル １６ 第１のブラケット １７ 第２のブラケット １８ 圧胴ロール １９ 第１のベース ２０ 第２のベース ２１ 第３のベース ２２ 第１のリニアレール ２３ 第２のリニアレール ２５ 遠赤外線ヒーター ２６ パターン部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plastic film 2 Oil gas 3 Cooling roll 4 Screen cylinder 5 Oil tank 6 Evaporated metal 7 Evaporation source 8 Oil gas flow path 9 Margin part 10 Divided margin part 11 First vapor deposited film 12 Fuse part 13 Window margin part 14 Second Deposited film 15 Oil nozzle 16 First bracket 17 Second bracket 18 Impression cylinder roll 19 First base 20 Second base 21 Third base 22 First linear rail 23 Second linear rail 25 Far infrared heater 26 Pattern section
フロントページの続き (72)発明者 松本 進 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 西森 敏幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内Continued on the front page (72) Inventor Susumu Matsumoto 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Pref. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (10)
と、フィルムを前記スクリーンの外周面に当接して送る
第１の駆動装置と、前記スクリーンを回転させる第２の
駆動手段と、蒸着金属がフィルムに付着することを防止
する金属付着防止剤を気化させる気化手段と、前記気化
手段により気化された金属付着防止剤を前記スクリーン
を通して前記フィルムに付着させた後そのフィルムに蒸
着金属を付着する付着手段とを備え、前記スクリーンを
保温する第１の加熱手段を設けた金属化フィルムの製造
装置。1. A cylindrical screen provided with a vapor deposition pattern, a first driving device for feeding a film in contact with an outer peripheral surface of the screen, a second driving means for rotating the screen, Vaporizing means for vaporizing a metal anti-adhesion agent for preventing adhesion to the film; and adhering means for adhering the vapor-deposited metal to the film after adhering the metal anti-adhesive vaporized by the vaporizing means to the film through the screen. A metallized film manufacturing apparatus comprising a first heating means for keeping the screen warm.
と、フィルムを前記スクリーンの外周面に当接して送る
第１の駆動装置と、前記スクリーンを回転させる第２の
駆動手段と、蒸着金属がフィルムに付着することを防止
する金属付着防止剤を気化させる気化手段と、前記気化
手段により気化された金属付着防止剤を前記スクリーン
を通して前記フィルムに付着させた後そのフィルムに蒸
着金属を付着する付着手段と、前記スクリーンを保温す
る第１の加熱手段とを備え、前記金属付着防止剤の気化
状態を保つ保温手段及び前記金属付着防止剤の噴出口を
加熱する第２の加熱手段とを設けた金属化フィルムの製
造装置。2. A cylindrical screen provided with a vapor deposition pattern, a first driving device for feeding the film in contact with the outer peripheral surface of the screen, a second driving means for rotating the screen, Vaporizing means for vaporizing a metal anti-adhesion agent for preventing adhesion to the film; and adhering means for adhering the vapor-deposited metal to the film after adhering the metal anti-adhesive vaporized by the vaporizing means to the film through the screen. A first heating means for keeping the screen warm, and a second heating means for heating a spout of the metal adhesion preventing agent and a heating means for keeping a vaporized state of the metal adhesion preventing agent. Equipment for chemical film.
ｍである請求項１または２記載の金属化フィルムの製造
装置。3. The screen has a hole diameter of 10 μm to 1 m.
The apparatus for producing a metallized film according to claim 1 or 2, wherein m is m.
ィルムに付着させるための金属付着防止剤噴出口を設
け、前記スクリーンと前記金属付着防止剤噴出口との間
隔を調整する第１の間隔調整手段を備えた請求項１記載
の金属化フィルムの製造装置。4. A first space adjusting means for providing a metal anti-adhesive jet for adhering a metal anti-adhesive to a film through a screen, and adjusting an interval between the screen and the metal anti-adhesive jet. The apparatus for producing a metallized film according to claim 1, further comprising:
の間隔を調整する第１の間隔調整手段を備えた請求項２
記載の金属化フィルムの製造装置。5. The apparatus according to claim 2, further comprising a first distance adjusting means for adjusting the distance between the screen and the spout of the metal adhesion inhibitor.
An apparatus for manufacturing the metallized film according to the above.
でスクリーンと反対側に圧胴ロールを備えた請求項１ま
たは２記載の金属化フィルムの製造装置。6. The metallized film manufacturing apparatus according to claim 1, wherein an impression cylinder roll is provided on a side opposite to the screen with the film interposed therebetween as the first driving means.
する第２の間隔調整手段を備えた請求項６記載の金属化
フィルムの製造装置。7. The apparatus for manufacturing a metallized film according to claim 6, further comprising a second distance adjusting means for adjusting the distance between the impression roll and the screen.
割マージンとヒューズ部とを有する請求項１または２記
載の金属化フィルムの製造装置。8. The apparatus for manufacturing a metallized film according to claim 1, wherein the vapor deposition pattern has a division margin and a fuse part constituting a security mechanism.
手段をスクリーンの外側に設置した請求項１または２記
載の金属化フィルムの製造装置。9. The apparatus according to claim 1, wherein the first heating means for keeping the screen warm is provided outside the screen.
防止する金属付着防止剤を気化させる第１の工程と、前
記気化手段により気化された前記金属付着防止剤を、蒸
着パターンを設けた加熱手段により保温可能な円筒形ス
クリーンを通して前記フィルムに付着させる第２の工程
と、前記蒸着金属を前記フィルムに付着させる第３の工
程とからなる金属化フィルムの製造方法。10. A first step of vaporizing a metal adhesion preventing agent for preventing a vapor deposited metal from adhering to a film, and heating means provided with a vapor deposition pattern of the metal adhesion preventing agent vaporized by the vaporizing means. A method for producing a metallized film, comprising: a second step of attaching the deposited metal to the film through a cylindrical screen that can be kept warm by the above method; and a third step of attaching the deposited metal to the film.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14888297A JP3541620B2 (en) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | Apparatus and method for producing metallized film |
Applications Claiming Priority (1)
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| JPH10330912A true JPH10330912A (en) | 1998-12-15 |
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| JP (1) | JP3541620B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008121038A (en) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus for applying patterning film and vacuum deposition apparatus |
| JP2012033753A (en) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Nichicon Corp | Metalization film capacitor |
-
1997
- 1997-06-06 JP JP14888297A patent/JP3541620B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4715729B2 (en) * | 2006-11-09 | 2011-07-06 | パナソニック株式会社 | Patterning film coating apparatus and vacuum deposition apparatus |
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| JP3541620B2 (en) | 2004-07-14 |
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