JPH10326922A - Method and device for visualizing laser beam - Google Patents
Method and device for visualizing laser beamInfo
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- JPH10326922A JPH10326922A JP9134660A JP13466097A JPH10326922A JP H10326922 A JPH10326922 A JP H10326922A JP 9134660 A JP9134660 A JP 9134660A JP 13466097 A JP13466097 A JP 13466097A JP H10326922 A JPH10326922 A JP H10326922A
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- optical axis
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザービームの
可視化方法及びその装置に関する。特に、レーザービー
ムの断面形状及び位置情報を正確に観測できるように改
良したものである。The present invention relates to a method and an apparatus for visualizing a laser beam. In particular, the laser beam is improved so that the sectional shape and position information of the laser beam can be accurately observed.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来では、光軸調整等光学系のアライメ
ント調整を容易に行うため、図３に示すように、不可視
レーザービーム４’を可視光に変換する蛍光板１’を用
いた可視化方法が知られている。この方法は、同図に示
すように、不可視レーザービーム４’のビーム軸５’に
対して蛍光板１’を適当な角度だけ傾けて配置し、不可
視レーザービーム４’を蛍光板１’に照射し、これをビ
デオカメラ３’等で直接観測するものである。2. Description of the Related Art Conventionally, in order to easily perform alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment, as shown in FIG. 3, a visualization method using a fluorescent plate 1 'for converting an invisible laser beam 4' into visible light has been known. Are known. In this method, as shown in the figure, the fluorescent plate 1 'is arranged at an appropriate angle to the beam axis 5' of the invisible laser beam 4 ', and the invisible laser beam 4' is irradiated on the fluorescent plate 1 ', This is directly observed by a video camera 3 'or the like.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術で
は、不可視レーザービーム４’のビーム軸５’に対して
傾けて配置した蛍光板１’をビデオカメラ３’で直接に
観測するため、レーザービーム４’の断面形状が楕円等
の歪んだ形状で観測され、正確な計測ができず、また、
レーザービーム４’のビーム軸５’からのずれを検出す
る場合、ずれ量を定量的に把握しにくいという不都合も
あった。In the above-mentioned prior art, the video camera 3 'directly observes the fluorescent plate 1' arranged at an angle with respect to the beam axis 5 'of the invisible laser beam 4'. The cross-sectional shape of 'was observed in a distorted shape such as an ellipse, making it impossible to measure accurately.
When detecting the deviation of the laser beam 4 'from the beam axis 5', there is an inconvenience that it is difficult to quantitatively grasp the deviation amount.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の請求項１に係るレーザービームの可視化方法は、光
軸調整等光学系のアライメント調整を容易に行うため、
不可視レーザービームを可視光に変換する蛍光板を用
い、歪みのないレーザービームを可視化して計測する方
法であって、不可視レーザービームを該レーザービーム
のビーム軸に対し適当な角度だけ傾けて設置された蛍光
板に照射して発した光を鏡に反射させ、反射後の光の光
軸とビーム軸が平行になるように鏡の角度を調整し、該
光軸上で該光軸に平行にビデオカメラを設置して、レー
ザービームを撮影することを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for visualizing a laser beam, which facilitates alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment.
A method of visualizing and measuring a laser beam without distortion using a fluorescent plate that converts an invisible laser beam into visible light, wherein the invisible laser beam is installed at an appropriate angle to the beam axis of the laser beam. The light emitted by irradiating the fluorescent plate is reflected by a mirror, the angle of the mirror is adjusted so that the optical axis of the reflected light is parallel to the beam axis, and the video camera is parallel to the optical axis on the optical axis. Is installed to shoot a laser beam.
【０００５】上記課題を解決する本発明の請求項２に係
るレーザービームの可視化方法は、光軸調整等光学系の
アライメント調整を容易に行うため、不可視レーザービ
ームを可視光に変換する蛍光板を用い、歪みのないレー
ザービームを可視化して計測する方法であって、紫外光
ランプから紫外光を照射して発光させた蛍光板に、照射
しようとするレーザービームの中心軸と交点を一致させ
かつレーザービーム発生装置と蛍光板の間に設置した十
字型ターゲットを通過させてレーザービームを照射さ
せ、レーザービームが照射された部分だけ消えた蛍光板
上の光を鏡に反射させ、反射後の光の光軸とビーム軸が
平行になるように鏡の角度を調整し、該光軸上で該光軸
に平行にビデオカメラを設置して、レーザービームを撮
影することを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a laser beam visualization method using a fluorescent plate for converting an invisible laser beam into visible light in order to easily perform alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment. A method of visualizing and measuring a laser beam without distortion, by irradiating an ultraviolet light from an ultraviolet light lamp with a fluorescent plate to emit light, aligning the intersection with the center axis of the laser beam to be irradiated, and setting the laser beam The laser beam is irradiated by passing through a cross-shaped target placed between the generator and the fluorescent plate, and the light on the fluorescent plate, which has disappeared only at the part irradiated with the laser beam, is reflected by a mirror, and the optical axis and beam of the reflected light Adjust the angle of the mirror so that the axis is parallel, install a video camera on the optical axis parallel to the optical axis, and shoot a laser beam That.
【０００６】上記課題を解決する本発明の請求項３に係
るレーザービームの可視化装置は、光軸調整等光学系の
アライメント調整を容易に行うため、不可視レーザービ
ームを可視光に変換する蛍光板を用い、歪みのないレー
ザービームを可視化して計測する装置であって、不可視
レーザービームのビーム軸に対して適当な角度だけ傾け
て設置された蛍光板と、レーザービームが照射されて発
する光を反射させてビーム軸と平行な光軸をもつ光にす
るための鏡と、ビーム軸と平行な光軸上で反射光を撮影
するビデオカメラとを備えることを特徴とする。A laser beam visualizing apparatus according to a third aspect of the present invention for solving the above-mentioned problems uses a fluorescent plate for converting an invisible laser beam into visible light in order to easily perform alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment. This is a device that visualizes and measures a laser beam without distortion, and a fluorescent plate installed at an appropriate angle to the beam axis of the invisible laser beam, and reflects light emitted by the laser beam. It is characterized by comprising a mirror for converting light having an optical axis parallel to the beam axis, and a video camera for capturing reflected light on an optical axis parallel to the beam axis.
【０００７】上記課題を解決する本発明の請求項４に係
るレーザービームの可視化装置は、光軸調整等光学系の
アライメント調整を容易に行うため、不可視レーザービ
ームを可視光に変換する蛍光板を用い、歪みのないレー
ザービームを可視化して計測する装置であって、紫外光
ランプと、該紫外光ランブの紫外光を照射して発光させ
る蛍光板と、照射しようとするレーザービームの中心軸
と交点を一致させかつレーザービーム発生装置と蛍光板
の間に設置した十字型ターゲットと、レーザービームが
照射された部分だけ消えた蛍光板上の光を反射させてビ
ーム軸と平行な光軸をもつ光にするための鏡と、ビーム
軸と平行な光軸上で反射光を撮影するビデオカメラとを
備えることを特徴とする。A laser beam visualizing apparatus according to a fourth aspect of the present invention for solving the above problems uses a fluorescent plate for converting an invisible laser beam into visible light in order to easily perform alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment. An apparatus for visualizing and measuring a laser beam without distortion, an ultraviolet lamp, a fluorescent plate that emits light by irradiating the ultraviolet light of the ultraviolet lamp, and an intersection with a central axis of the laser beam to be irradiated. A cruciform target placed between the laser beam generator and the fluorescent plate, and a light beam on the fluorescent plate that has disappeared only at the part irradiated with the laser beam, to produce light having an optical axis parallel to the beam axis. It is characterized by comprising a mirror and a video camera that captures reflected light on an optical axis parallel to the beam axis.
【０００８】〔作用〕図１に示すように、本発明では、
蛍光板１の像を鏡２を介してビデオカメラ３で観測する
ため、ビデオカメラ３の光軸（以下、撮影軸と言う）６
をレーザービーム４のビーム軸５に対して平行に設置す
ることにより、レーザービーム４をビーム軸５上で観測
するのと同じ効果が得られ、正確なレーザービーム形状
とビームの位置情報を得ることができる。ここで、蛍光
板１及び鏡２のビーム軸５に対する角度に制限はなく、
ビーム軸５に平行に設置したビデオカメラ３で蛍光板１
上の像が捉えられるよう、鏡２の位置と角度を調整すれ
ばよい。[Operation] As shown in FIG. 1, in the present invention,
Since the image of the fluorescent screen 1 is observed by the video camera 3 through the mirror 2, the optical axis of the video camera 3 (hereinafter, referred to as a shooting axis) 6
Is installed in parallel with the beam axis 5 of the laser beam 4, the same effect as observing the laser beam 4 on the beam axis 5 can be obtained, and accurate laser beam shape and beam position information can be obtained. Can be. Here, the angles of the fluorescent screen 1 and the mirror 2 with respect to the beam axis 5 are not limited.
The video camera 3 installed parallel to the beam axis 5 allows the fluorescent screen 1
The position and angle of the mirror 2 may be adjusted so that the upper image can be captured.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明について、図面に示
す実施例を参照して詳細に説明する。 〔実施例１〕本発明の第１の実施例に係るレーザービー
ムの可視化装置を図１に示す。本実施例は、蛍光板１の
像を鏡２を介してビデオカメラ３で観測するものであ
る。即ち、不可視レーザービーム４のビーム軸５に対し
て蛍光板１を適当な角度だけ傾けて配置し、不可視レー
ザービーム４を蛍光板１に照射し、これを鏡２に反射さ
せ、これをビデオカメラ３で観測するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments shown in the drawings. Embodiment 1 FIG. 1 shows an apparatus for visualizing a laser beam according to a first embodiment of the present invention. In this embodiment, an image of the fluorescent screen 1 is observed by a video camera 3 via a mirror 2. That is, the fluorescent screen 1 is disposed at an appropriate angle with respect to the beam axis 5 of the invisible laser beam 4, and the invisible laser beam 4 is irradiated on the fluorescent screen 1, reflected by the mirror 2, and reflected by the video camera 3. To observe.
【００１０】ここで、ビデオカメラ３の撮影軸６をレー
ザービーム４のビーム軸５に対して平行に設置すること
により、レーザービーム４をビーム軸５上で観測するの
と同じ効果が得られ、正確なレーザービーム形状とビー
ムの位置情報を得ることができる。また、蛍光板１及び
鏡２のビーム軸５に対する角度に制限はなく、ビーム軸
５に平行に設置したビデオカメラ３で蛍光板１上の像が
捉えられるよう、鏡２の位置と角度を調整すればよい。Here, by setting the photographing axis 6 of the video camera 3 parallel to the beam axis 5 of the laser beam 4, the same effect as observing the laser beam 4 on the beam axis 5 can be obtained. Accurate laser beam shape and beam position information can be obtained. There is no limitation on the angles of the fluorescent plate 1 and the mirror 2 with respect to the beam axis 5, and the position and angle of the mirror 2 are adjusted so that an image on the fluorescent plate 1 can be captured by the video camera 3 installed parallel to the beam axis 5. Good.
【００１１】本実施例では上記装置を用いて、レーザー
ビーム４を鏡２を介して計測し、レーザービーム４を照
射したい規定の中心軸と一致させる場合に良い結果を得
た。特に、レーザービーム４が細く絞られている場合に
好適である。尚、レーザービーム４に幅がある場合はビ
ーム軸５の特定が難しいので、次に述べる実施例のよう
に、予め、レーザービーム４を照射したい規定の中心軸
と一致させた十字型ターゲット８を使用すると良い。In the present embodiment, a good result is obtained when the laser beam 4 is measured through the mirror 2 using the above-mentioned apparatus and coincides with the prescribed central axis to be irradiated with the laser beam 4. In particular, it is suitable when the laser beam 4 is narrowed down. When the laser beam 4 has a width, it is difficult to specify the beam axis 5. Therefore, as in the embodiment described below, a cross-shaped target 8 that is previously matched with a specified central axis to be irradiated with the laser beam 4 is used. Good to use.
【００１２】〔実施例２〕本発明の第２の実施例に係る
レーザービームの可視化装置を図２に示す。本実施例
は、ＣＯ2レーザービーム４（波長１０．６μｍの遠赤
外不可視レーザー光）のビーム軸５からのずれを観測す
るものである。同図に示すように、紫外光ランプ７の紫
外光を照射した蛍光板１は全面から蛍光を発している
が、これにＣＯ2レーザービーム４が照射されると、熱
的な作用によって蛍光板１上の蛍光材が蛍光を発しなく
なり、この部分のみ暗くなる。Embodiment 2 FIG. 2 shows an apparatus for visualizing a laser beam according to a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the deviation of the CO 2 laser beam 4 (the far-infrared invisible laser beam having a wavelength of 10.6 μm) from the beam axis 5 is observed. As shown in the figure, the fluorescent plate 1 irradiated with ultraviolet light from the ultraviolet lamp 7 emits fluorescent light from the entire surface. When the fluorescent plate 1 is irradiated with the CO 2 laser beam 4, the fluorescent plate 1 is heated by a thermal action. Of the fluorescent material no longer emits fluorescence, and only this portion becomes dark.
【００１３】従って、蛍光板１上にはレーザービーム４
の断面形状に一致した形状の暗い部分が像として現れ
る。本実施例では、レーザービーム４の中心軸からのず
れ量の検出を目的としているため、蛍光板１前面に中心
軸を示す金属製の十字型ターゲット８が設置されてお
り、蛍光板１にはこのターゲット８を通過したレーザー
ビーム４が照射される。十字型ターゲット８の部分は蛍
光材が暗くならないため、レーザービーム４と十字型タ
ーゲット８の位置関係をモニタ１０で観測することによ
り、レーザービーム４のビーム軸５からのずれ量を検出
できる。Therefore, the laser beam 4 is placed on the fluorescent screen 1.
A dark part having a shape corresponding to the cross-sectional shape of appears as an image. In this embodiment, since the purpose is to detect the amount of deviation of the laser beam 4 from the central axis, a metal cross-shaped target 8 indicating the central axis is provided on the front surface of the fluorescent screen 1. The laser beam 4 having passed through 8 is irradiated. Since the fluorescent material does not darken in the portion of the cross-shaped target 8, the displacement of the laser beam 4 from the beam axis 5 can be detected by observing the positional relationship between the laser beam 4 and the cross-shaped target 8 on the monitor 10.
【００１４】本実施例では、蛍光板１と鏡２のビーム軸
５に対する傾きを４５度とし、ビーム軸５に対し平行な
撮影軸６上に設置したビデオカメラ３によって蛍光板１
上の像を撮影する。ビデオカメラ３によって撮影された
像は、あたかもカメラ３をビーム軸５上に設置して、レ
ーザービーム４を直接観測したかのような正確なものと
なる。このため、撮影された像を画像処理装置９で解析
することにより、レーザービーム４のビーム軸５からの
ずれ量を定量的に正しく観測することができる。In this embodiment, the inclination of the fluorescent screen 1 and the mirror 2 with respect to the beam axis 5 is set to 45 degrees, and the fluorescent screen 1 is set by a video camera 3 installed on a photographing axis 6 parallel to the beam axis 5.
Take the image above. The image captured by the video camera 3 is accurate as if the camera 3 was placed on the beam axis 5 and the laser beam 4 was directly observed. For this reason, by analyzing the photographed image by the image processing device 9, the amount of deviation of the laser beam 4 from the beam axis 5 can be quantitatively and correctly observed.
【００１５】このように本実施例では、不可視レーザー
ビーム４を蛍光板１を使用して可視化する装置におい
て、蛍光板１上のレーザービーム像を鏡２を介してビー
ム軸５と平行に設置したビデオカメラ３によって観測す
るため、蛍光板１と鏡２のビーム軸５に対する傾き角に
関係なく、正確なレーザービーム４の断面形状及び位置
情報を観測することができる。As described above, in this embodiment, in the apparatus for visualizing the invisible laser beam 4 using the fluorescent screen 1, a video camera in which the laser beam image on the fluorescent screen 1 is set in parallel with the beam axis 5 via the mirror 2 3, accurate cross-sectional shape and position information of the laser beam 4 can be observed regardless of the inclination angle of the fluorescent screen 1 and the mirror 2 with respect to the beam axis 5.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明の請求項１又は３に係るレーザービー
ムの可視化方法及びその装置では、光軸調整等光学系の
アライメント調整を容易に行うため、不可視レーザービ
ームを可視光に変換する蛍光板を用い、歪みのないレー
ザービームを可視化して計測する方法であって、不可視
レーザービームを該レーザービームのビーム軸に対し適
当な角度だけ傾けて設置された蛍光板に照射して発した
光を鏡に反射させ、反射後の光の光軸とビーム軸が平行
になるように鏡の角度を調整し、該光軸上で該光軸に平
行にビデオカメラを設置してレーザービームを撮影する
ことができるため、蛍光板と鏡の光軸に対する傾き角に
関係なく、正確なレーザービームの断面形状及び位置情
報を観測することができる。As described above in detail with reference to the embodiments, in the laser beam visualizing method and apparatus according to claim 1 or 3 of the present invention, alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment is performed. A method for visualizing and measuring an undistorted laser beam by using a fluorescent plate that converts an invisible laser beam into visible light for easy operation, wherein the invisible laser beam is oriented at an appropriate angle with respect to the beam axis of the laser beam. The light emitted by irradiating the inclined fluorescent plate is reflected by a mirror, and the angle of the mirror is adjusted so that the optical axis and the beam axis of the reflected light are parallel to each other. Observes accurate laser beam cross-sectional shape and position information regardless of the angle of inclination of the fluorescent screen and mirror with respect to the optical axis because a video camera can be installed parallel to the camera to capture the laser beam. It can be.
【００１７】また、本発明の請求項２又は４に係るレー
ザービームの可視化方法及びその装置では、光軸調整等
光学系のアライメント調整を容易に行うため、不可視レ
ーザービームを可視光に変換する蛍光板を用い、歪みの
ないレーザービームを可視化して計測する方法であっ
て、紫外光ランプから紫外光を照射して発光させた蛍光
板に、レーザービームを照射しようとする中心軸と交点
を一致させかつレーザービーム発生装置と蛍光板の間に
設置した十字型ターゲットを通過させてレーザービーム
を照射させ、レーザービームが照射された部分だけ消え
た蛍光板上の光を鏡に反射させ、反射後の光の光軸とビ
ーム軸が平行になるように鏡の角度を調整し、該光軸上
で該光軸に平行にビデオカメラを設置してレーザービー
ムを撮影することができるため、蛍光板と鏡の光軸に対
する傾き角に関係なく、正確なレーザービームの断面形
状及び位置情報を観測できるという効果を奏する他、更
に、レーザービームに幅がある場合であっても、十字型
ターゲットの部分の蛍光材が暗くならない部分の像を、
ビデオカメラで観察することにより、レーザービームの
ビーム軸からのずれを容易に計測できるという効果も奏
する。In the method and apparatus for visualizing a laser beam according to claim 2 or 4 of the present invention, a fluorescent plate for converting an invisible laser beam into visible light in order to easily perform alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment. Is a method of visualizing and measuring a laser beam without distortion, by irradiating an ultraviolet light from an ultraviolet lamp to a fluorescent plate to emit light, aligning an intersection with a central axis to be irradiated with the laser beam, and The laser beam is irradiated by passing through a cross-shaped target placed between the laser beam generator and the fluorescent plate, and the light on the fluorescent plate, which has disappeared only at the part irradiated with the laser beam, is reflected by a mirror, and the optical axis of the reflected light Adjust the angle of the mirror so that the beam axis is parallel to the beam axis, and install a video camera on the optical axis parallel to the optical axis to take a laser beam. In addition to the effect of observing accurate laser beam cross-sectional shape and position information regardless of the angle of inclination of the fluorescent screen and mirror with respect to the optical axis, even if the laser beam has a width, The image of the part where the fluorescent material of the mold target part does not darken,
Observing with a video camera also has the effect of easily measuring the deviation of the laser beam from the beam axis.
【図１】本発明の第１の実施例に係る不可視レーザービ
ーム断面形状観測装置の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an invisible laser beam cross-sectional shape observation apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施例に係る不可視レーザービ
ーム光軸位置観測装置の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of an invisible laser beam optical axis position observation device according to a second embodiment of the present invention.
【図３】従来の不可視レーザービーム断面形状観測装置
の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional invisible laser beam cross-sectional shape observation device.
１ 蛍光板 ２ 鏡 ３ ビデオカメラ ４ 不可視レーザービーム ５ ビーム光軸 ６ 撮影軸 ７ 紫外光ランプ ８ 十字型ターゲット ９ 画像処理装置 １０ モニタ装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fluorescent plate 2 Mirror 3 Video camera 4 Invisible laser beam 5 Beam optical axis 6 Imaging axis 7 Ultraviolet lamp 8 Cross-shaped target 9 Image processing device 10 Monitor device
フロントページの続き (72)発明者 蔦谷 雄二 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島製作所内Continued on the front page (72) Inventor Yuji Tsutaya 4-6-22 Kannonshinmachi, Nishi-ku, Hiroshima-shi, Hiroshima Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Hiroshima Works
Claims (4)
容易に行うため、不可視レーザービームを可視光に変換
する蛍光板を用い、歪みのないレーザービームを可視化
して計測する方法であって、不可視レーザービームを該
レーザービームのビーム軸に対し適当な角度だけ傾けて
設置された蛍光板に照射して発した光を鏡に反射させ、
反射後の光の光軸とビーム軸が平行になるように鏡の角
度を調整し、該光軸上で該光軸に平行にビデオカメラを
設置して、レーザービームを撮影することを特徴とする
レーザービームの可視化方法。1. A method for visualizing and measuring a distortion-free laser beam using a fluorescent plate that converts an invisible laser beam into visible light in order to easily perform alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment. The light emitted by irradiating the laser beam on the fluorescent plate installed at an appropriate angle with respect to the beam axis of the laser beam is reflected on a mirror,
The angle of the mirror is adjusted so that the optical axis and the beam axis of the reflected light are parallel, and a video camera is installed on the optical axis parallel to the optical axis to capture a laser beam. Laser beam visualization method.
容易に行うため、不可視レーザービームを可視光に変換
する蛍光板を用い、歪みのないレーザービームを可視化
して計測する方法であって、紫外光ランプから紫外光を
照射して発光させた蛍光板に、照射しようとするレーザ
ービームの中心軸と交点を一致させかつレーザービーム
発生装置と蛍光板の間に設置した十字型ターゲットを通
過させてレーザービームを照射させ、レーザービームが
照射された部分だけ消えた蛍光板上の光を鏡に反射さ
せ、反射後の光の光軸とビーム軸が平行になるように鏡
の角度を調整し、該光軸上で該光軸に平行にビデオカメ
ラを設置して、レーザービームを撮影することを特徴と
するレーザービームの可視化方法。2. A method for visualizing and measuring a distortion-free laser beam using a fluorescent plate for converting an invisible laser beam into visible light in order to easily perform alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment. The laser beam is emitted by irradiating the fluorescent plate with ultraviolet light from the light lamp so that the intersection point coincides with the center axis of the laser beam to be irradiated and the laser beam passes through a cross-shaped target placed between the laser beam generator and the fluorescent plate. Irradiate, reflect the light on the fluorescent plate, which has disappeared only in the part irradiated with the laser beam, to a mirror, adjust the angle of the mirror so that the optical axis of the reflected light and the beam axis are parallel, 2. A method for visualizing a laser beam, comprising: installing a video camera parallel to the optical axis to photograph a laser beam.
容易に行うため、不可視レーザービームを可視光に変換
する蛍光板を用い、歪みのないレーザービームを可視化
して計測する装置であって、不可視レーザービームのビ
ーム軸に対して適当な角度だけ傾けて設置された蛍光板
と、レーザービームが照射されて発する光を反射させて
ビーム軸と平行な光軸をもつ光にするための鏡と、ビー
ム軸と平行な光軸上で反射光を撮影するビデオカメラと
を備えることを特徴とするレーザービームの可視化装
置。3. An apparatus for visualizing and measuring a distortion-free laser beam using a fluorescent plate for converting an invisible laser beam into visible light in order to facilitate alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment. A fluorescent plate installed at an appropriate angle to the beam axis of the laser beam, a mirror for reflecting the light emitted by the irradiation of the laser beam into light having an optical axis parallel to the beam axis, and a beam A video camera that captures reflected light on an optical axis parallel to the axis.
容易に行うため、不可視レーザービームを可視光に変換
する蛍光板を用いて、歪みのないレーザービームを可視
化して計測する装置であって、紫外光ランプと、該紫外
光ランブの紫外光を照射して発光させる蛍光板と、照射
しようとするレーザービームの中心軸と交点を一致させ
かつレーザービーム発生装置と蛍光板の間に設置した十
字型ターゲットと、レーザービームが照射された部分だ
け消えた蛍光板上の光を反射させてビーム軸と平行な光
軸をもつ光にするための鏡と、ビーム軸と平行な光軸上
で反射光を撮影するビデオカメラとを備えることを特徴
とするレーザービームの可視化装置。4. An apparatus for visualizing and measuring a distortion-free laser beam by using a fluorescent plate for converting an invisible laser beam into visible light in order to easily perform alignment adjustment of an optical system such as optical axis adjustment. An ultraviolet light lamp, a fluorescent plate that emits ultraviolet light by irradiating the ultraviolet light of the ultraviolet light lamp, and a cross-shaped target that is aligned with the center axis of the laser beam to be irradiated and that is located between the laser beam generator and the fluorescent plate; A mirror for reflecting the light on the fluorescent screen, which has disappeared only in the part irradiated with the laser beam, into a light having an optical axis parallel to the beam axis, and photographing the reflected light on an optical axis parallel to the beam axis A laser beam visualization device comprising a video camera.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9134660A JPH10326922A (en) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | Method and device for visualizing laser beam |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9134660A JPH10326922A (en) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | Method and device for visualizing laser beam |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10326922A true JPH10326922A (en) | 1998-12-08 |
Family
ID=15133586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9134660A Withdrawn JPH10326922A (en) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | Method and device for visualizing laser beam |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10326922A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010131614A (en) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Mitsutoyo Corp | Laser beam machining apparatus and optical path adjusting method in laser beam machining apparatus |
| JP2011173128A (en) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Disco Corp | Laser machining device |
| CN104042230A (en) * | 2014-06-12 | 2014-09-17 | 上海联影医疗科技有限公司 | Adjustable electron portal imaging device (EPID) based on CCD (charge coupled device) camera |
-
1997
- 1997-05-26 JP JP9134660A patent/JPH10326922A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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