JPH10325797A - 流体濃度測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 試料となる流体の性質に応じ、精度良く濃度
を測定する。 【解決手段】 処理液供給配管６に、処理液の流される
方向に所定間隔を隔てて、継手２０と中継配管６ａとを
介して３つの第１、第２および第３の測定体２１ａ，２
１ｂ，２１ｃを接続し、それぞれに、透過する光の光路
の長さを異ならせた光透過部２２を設ける。濃度設定器
で設定される濃度に応じて、第１の光路切換機構１５を
切り換え、光源からの光を第１、第２および第３の測定
体２１ａ，２１ｂ，２１ｃの光透過部２２のうちのひと
つにのみ照射させ、光透過部２２を透過した光を光検出
器１８に入射する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハなどの基
板を処理するために薬液と純水とを混合した処理液や薬
液等の各種の流体の濃度を測定する流体濃度測定装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の流体濃度測定装置では、例えば、
特開平８−７８３８０号公報に示すように構成されてい
た。

【０００３】すなわち、まず、所定の光路長を有すると
ともに試料となる流体である処理液を流す試料セルと、
純水を充填した参照セルとを設け、それらの試料セルと
参照セルとに光源からの光を光分岐部を介して照射し、
その試料セルおよび参照セルのそれぞれを透過した光を
光路切換部を介して光検出器に入射する。

【０００４】光検出器では、試料セルおよび参照セルを
透過した光を検出して透過光強度に応じた信号を出力す
る。そして、その信号をランベルト−ベール（Lambert-
Beer）の法則に従い、下記のような吸光度Ａの関係式に
よって処理し、処理液の濃度を測定する。

【０００５】吸光度Ａ＝log(Ｉ_O ／Ｉ）−log(Ｉ_O ／Ｉ
_S ) ＝ε・ｄ・Ｃ Ｉ_O ：処理液に透過する前の光強度、Ｉ：処理液を透過
した後の透過光強度、Ｉ_S ：溶媒（純水）を透過した後
の光強度、ε：吸光係数（比例定数）、ｄ：透過光路の
長さ、Ｃ：濃度

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
の場合には、次のような問題がある。すなわち、吸光度
Ａは濃度に比例した量として観測され、低濃度では吸光
度Ａの絶対値が小さくなる。逆に、高濃度では、透過光
強度Ｉが小さくなるために、混入気泡等の外乱の影響を
受けやすくなる。このように、濃度の高低によってＳ／
Ｎ比を低下させるため、濃度の測定可能な範囲が限定さ
れる欠点があった。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、試料である流体の性質に応じ、精度良
く濃度を測定できるようにすることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
上述のような目的を達成するために、流体の濃度を測定
する流体濃度測定装置であって、流体が流される配管に
設けられ、前記配管内の流体に光を透過させるための光
透過部を有する複数の測定部と、前記光透過部に光を照
射する光源と、前記光透過部を透過した光を検出する光
検出手段とを備え、前記光透過部は、前記測定部ごとに
前記配管内の流体を透過する光の光路の長さが異なって
おり、前記光検出手段で検出された光に基づいて流体の
濃度を測定するものである。

【０００９】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
記載の流体濃度測定装置であって、前記配管は複数の分
岐配管を備え、前記分岐配管ごとに前記測定部が設けら
れている。

【００１０】また、請求項３に係る発明は、流体の濃度
を測定する流体濃度測定装置であって、流体が流される
配管に設けられ、前記配管内の流体を透過する光の光路
の長さが各々異なっている複数の光透過部を有する測定
部と、前記光透過部に光を照射する光源と、前記光透過
部を透過した光を検出する光検出手段とを備え、前記光
検出手段で検出された光に基づいて流体の濃度を測定す
るものである。

【００１１】また、請求項４に係る発明は、請求項１、
請求項２、請求項３のいずれかに記載の流体濃度測定装
置であって、前記複数の光透過部のうち光を透過させる
べき光透過部を選択する選択手段と、前記配管に流され
る流体の吸光度が大きい場合、前記選択手段に光路の長
さが短い光透過部を選択させ、前記配管に流される流体
の吸光度が小さい場合、前記選択手段に光路の長さの長
い光透過部を選択させり制御手段と、をさらに備えるも
のである。

【００１２】また、請求項５に係る発明は、請求項１、
請求項２、請求項３のいずれかに記載の流体濃度測定装
置であって、前記配管に流される流体の吸光度が大きい
場合、前記光検出手段で検出された光のうち、光路の長
さが短い光透過部を透過した光のデータを選択し、前記
配管に流される流体の吸光度が小さい場合、前記光検出
手段で検出された光のうち、光路の長い光透過部を透過
した光のデータを選択するデータ選択手段をさらに備
え、前記データ選択手段により選択された光のデータに
基づいて流体の濃度を測定するものである。

【００１３】

【作用】請求項１に係る発明によれば、流体が流される
配管に設けられた複数の測定部が、配管内の流体を透過
する光の光路の長さが異なった光透過部を有しているの
で、流体の性質に応じて使用される測定部を変えて、光
検出手段で検出された光に基づいて流体の濃度が測定さ
れる。

【００１４】また、請求項２に係る発明によれば、配管
が備える複数の分岐配管ごとに測定部が設けられている
ので、流体濃度測定装置事態が流体の流れる方向に短
く、かつコンパクトになる。

【００１５】また、請求項３に係る発明によれば、流体
が流される配管に設けられた測定部が、配管内の流体を
透過する光の光路の長さが異なった複数の光透過部を有
しているので、流体の性質に応じて使用される光透過部
を変えて、光検出手段で検出された光に基づいて流体の
濃度が測定される。

【００１６】また、請求項４に係る発明によれば、制御
手段が選択手段を制御することにより、配管に流される
流体の吸光度が大きい場合、選択手段に光路の長さが短
い光透過部を選択させ、配管に流される流体の吸光度が
小さい場合、選択手段に光路の長さの長い光透過部を選
択させているので、流体の吸光度に応じた光透過部が選
択される。

【００１７】また、請求項５に係る発明によれば、デー
タ選択手段が、配管に流される流体の吸光度が大きい場
合、光検出手段で検出された光のうち、光路の長さが短
い光透過部を透過した光のデータを選択し、配管に流さ
れる流体の吸光度が小さい場合、光検出手段で検出され
た光のうち、光路の長い光透過部を透過した光のデータ
を選択しているので、流体の吸光度に応じた流体の濃度
が測定される。なお、ここでいう光のデータとは、透過
光強度などのことをいう。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて詳細に説明する。図１は、本発明に係る第１実施
例の流体濃度測定装置を用いた基板処理装置の概略構成
を示した図であり、この基板処理装置では、半導体ウエ
ハなどの基板を複数枚収納した図示しないウエハキャリ
アが浸漬される処理槽１の周囲に、処理槽１から溢れた
処理液を滞留するためのオーバーフロー槽２が設けられ
ている。

【００１９】処理槽１には、第１の流量調整弁Ｖ１を介
装した純水供給配管３を介して純水供給源（図示せず）
が接続され、処理槽１内に純水が所定圧力で供給され
る。一方、オーバーフロー槽２には、第２の流量調整弁
Ｖ２を介装した薬液供給配管４を介して薬液タンク５が
接続され、薬液タンク５からオーバーフロー槽２内へ所
定量の薬液が供給される。

【００２０】また、処理槽１の底部とオーバーフロー槽
２とが、滞留している処理液を循環させるための処理液
供給配管６を介して接続されている。この処理液供給配
管６には、試料となる流体である処理液を循環させるた
めのポンプ７と、循環している処理液を加熱するヒータ
ー８と、処理液の温度を測定する温度センサ９と、循環
している処理液中のパーティクルなどを除去するフィル
ター１０とが介装されている。

【００２１】上記構成により、目的に応じた薬液と純水
とを所定比率で混合調整して所定の濃度にした処理液
に、例えば、半導体ウエハなどの基板を浸漬させること
によって基板が洗浄処理される。

【００２２】次に、流体濃度測定装置について説明す
る。すなわち、処理液供給配管６に、フィルター１０と
処理槽１との間において、流されている処理液に光を透
過させる光透過機構１１が介装され、その光透過機構１
１の近傍に、純水を充填した参照セル１２が配置されて
いる。

【００２３】ハロゲンランプなどの光源１３からの照射
光が光分岐手段１４を介して分岐され、その分岐された
照射光が第１および第２の光路切換機構１５，１６によ
り光透過機構１１と参照セル１２とに選択的に照射され
る。

【００２４】光透過機構１１および参照セル１２を透過
した光は、ライトガイド１７を介して光検出手段である
光検出器１８に入射され、光検出器１８では入射光の光
強度に応じた信号をマイクロコンピュータ１９に出力す
る。

【００２５】図２は、光透過機構の展開構成図を示して
いる。処理液供給配管６には、処理液の流される方向に
所定間隔を隔てて、継手２０と中継配管６ａとを介して
測定部となる３個の第１、第２および第３の測定体２１
ａ，２１ｂ，２１ｃが接続されている。

【００２６】第１、第２および第３の測定体２１ａ，２
１ｂ，２１ｃそれぞれには、処理液を透過する光の光路
の長さを各々異ならせた（例えば、１mm、 1.5mm、２mm
など）光透過部２２が設けられるとともに、処理液の流
される方向の両端それぞれに、継手２０を螺合する接続
部２３が形成されている。なお、図２では、光透過部２
２における光路の長さの差を判りやすくするために誇張
して示している。

【００２７】図３は、光分岐手段の要部の構成図、およ
び、図４は、光分岐手段の要部の側面図を示している。
図３および図４に示すように、光分岐手段１４は、光源
１３からの照射光を平行光にする第１のコリメータレン
ズ２４と、その第１のコリメータレンズ２４からの照射
光を四つに分岐する第１、第２、第３および第４の集光
レンズ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２６とを備えている。

【００２８】第１、第２、第３および第４の集光レンズ
２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２６で分岐された光は、図２
に示すように、第１、第２、第３および第４の光ファイ
バー２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２８と、第２、第３、第
４および第５のコリメータレンズ２９ａ，２９ｂ，２９
ｃ，３０とを介して第１、第２および第３の測定体２１
ａ，２１ｂ，２１ｃそれぞれの光透過部２２および参照
セル１２に照射される。

【００２９】また、第１、第２および第３の測定体２１
ａ，２１ｂ，２１ｃのそれぞれの光透過部２２および参
照セル１２を透過した光は、第５、第６、第７および第
８の集光レンズ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３２と、第
５、第６、第７および第８の光ファイバー３３ａ，３３
ｂ，３３ｃ，３４とを介してライトガイド１７に入射さ
れる。

【００３０】第１の光路切換機構１５は、第１、第２お
よび第３の集光レンズ２５ａ，２５ｂ，２５ｃと、第
１、第２および第３の光ファイバー２７ａ，２７ｂ，２
７ｃのそれぞれへの入射端との間に３つ設けられてい
る。この第１の光路切換機構１５は、第１、第２および
第３のエアシリンダ３６ａ，３６ｂ，３６ｃによって透
過状態と遮光状態とに切り換える第１、第２および第３
のシャッター３７ａ，３７ｂ，３７ｃを備えている。

【００３１】また、第２の光路切換機構１６は、第４の
集光レンズ２６と第４の光ファイバー２８への入射端と
の間に１つ設けられている。この第２の光路切換機構１
６は、第４のエアシリンダ３８によって透過状態と遮光
状態とに切り換える第４のシャッター３９を備えてい
る。

【００３２】第１、第２、第３および第４のエアシリン
ダ３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３８のそれぞれは単動式エ
アシリンダで構成され、図示しないが、加圧空気の供給
管に設けた電磁開閉弁を閉じてエアーを加圧供給しない
自然状態で、内蔵の圧縮コイルスプリング（図示せず）
により伸長して遮光状態になり、一方、電磁開閉弁を開
いてエアーを加圧供給することにより短縮して遮光状態
に切り換えられる。

【００３３】図１に示すように、光を透過させる光透過
部２２を択一的に選択するために、第１、第２および第
３のエアシリンダ３６ａ，３６ｂ，３６ｃの電磁開閉弁
に対する信号線が切換手段４０を介してマイクロコンピ
ュータ１９内の光路切換制御部４４に接続されている。
この切換手段４０には濃度設定器４１が接続され、濃度
設定器４１で設定される濃度範囲に応じて切換手段４０
を自動的に切り換える。

【００３４】例えば、最大設定濃度範囲（60〜80％) で
は、光路の短い第１の測定体２１ａの光透過部２２を選
択し、中間設定濃度範囲（45〜60％) では、光路長さが
中間の第２の測定体２１ｂの光透過部２２を選択し、そ
して、最小設定濃度範囲（30〜45％) では、光路の長い
第３の測定体２１ｃの光透過部２２を選択するように切
換手段４０が切り換えられる。なお、本発明の選択手段
は、第１の光路切換機構１５、第２の光路切換機構１６
および切換手段４０に該当する。

【００３５】マイクロコンピュータ１９には、透過光強
度測定部４２と濃度算出部４３と光路切換制御部４４
と、温調部４５と、フィードバック制御部４６と、供給
量制御部４７とが備えられている。透過光強度測定部４
２では、光路切換制御部４４による切換信号に応答した
所定のタイミングで光検出器１８からの信号を入力し、
その信号に基づいて、選択された光透過部２２および参
照セル１２それぞれを透過した光の強度を測定する。

【００３６】濃度算出部４３では、処理液に対する透過
光強度と参照セル１２の透過光強度の比により透過率を
算出するとともにこの透過率に基づいて、処理液の濃度
を算出測定する。

【００３７】以上の構成により、濃度設定器４１による
濃度の初期設定に応じて、最も好適な長さの光路を有す
る光透過部２２を自動的に選択し、その光透過部２２と
参照セル１２とに交互に光を照射し、処理液に対する透
過光強度と参照セル１２の透過光強度とにより、処理液
の濃度を精度良く算出測定できる。

【００３８】温調部４５では、処理液を循環させなが
ら、温度センサ９で測定される温度と目標温度とを比較
し、その比較結果に基づいてヒーター８をＯＮ・ＯＦＦ
し、処理液の温度を目標温度に維持している。

【００３９】処理液の温度が所定温度になったことを透
過光強度測定部４２が確認した後、光路切換制御部４４
に指令信号を出力し、光路切換制御部４４から第１およ
び第２の光路切換手段１５，１６に前述したタイミング
で開き信号と閉じ信号とを出力る。

【００４０】フィードバック制御部４６では、濃度設定
器４１によって設定された目標濃度を記憶しており、ポ
ンプ７により、処理液供給配管６を通じてオーバーフロ
ー槽２から処理槽１へと処理液を循環させながら、目標
濃度と濃度算出部４３が算出した濃度とを比較し、この
差分に応じた制御信号を供給量制御部４７へ出力する。

【００４１】供給量制御部４７では、フィードバック制
御部４６からの制御信号に応じて純水供給配管３の第１
の流量調整弁Ｖ１または薬液供給配管４の第２の流量調
整弁Ｖ２を調整し、処理層１内の処理液の濃度を調整す
る。これらの動作を繰り返すことにより、処理液の濃度
を目標濃度に調整できる。

【００４２】図５は、第２実施例を示す光透過機構の要
部の断面図である。この光透過機構１１には、測定部と
なるひとつの測定体５１に、処理液の流動方向に間隔を
隔てた状態で、処理液を透過する光の光路の長さを各々
異ならせた３個の第１、第２および第３の光透過部５２
ａ，５２ｂ，５２ｃが備えられるとともに、測定体５１
の処理液の流動方向両端それぞれに、処理液供給配管６
に継手２０を介して接続する接続部５３が付設されてい
る。光源からの光を照射する構成や、透過した光を光検
出器に入射する構成などの他の構成は第１実施例と同じ
であり、省略する。

【００４３】図６は、第３実施例を示す光透過機構の要
部の断面図であり、この光透過機構１１には、処理液供
給配管６の途中箇所が定量分配弁６１と合流弁６２とを
介して３本に分岐され、その第１、第２および第３の分
岐配管６３ａ，６３ｂ，６３ｃのそれぞれに、１個づつ
の第１、第２および第３の測定体６４ａ，６４ｂ，６４
ｃが設けられている。

【００４４】第１、第２および第３の測定体６４ａ，６
４ｂ，６４ｃには、光路の長さを各々異ならせたひとつ
づつの第１、第２および第３の光透過部６５ａ，６５
ｂ，６５ｃが備えられるとともに、処理液の流動方向両
端それぞれに、第１、第２および第３の分岐配管６３
ａ，６３ｂ，６３ｃに継手２０を介して接続する接続部
が付設されている。光源からの光を照射する構成や、透
過した光を光検出器に入射する構成などの他の構成は第
１実施例と同じであり、省略する。

【００４５】図７は、本発明に係る流体濃度測定装置の
第４実施例を示す概略構成図である。この流体濃度測定
装置では、第１実施例と同じ光透過機構１１が用いら
れ、第１、第２および第３の測定体２１ａ，２１ｂ，２
１ｃの光透過部２２それぞれに対して、３つの光源７１
からの光をコリメータレンズ７２を介して照射し、か
つ、透過した光を集光レンズ７３を介して３つの光検出
器７４に入射する。また、参照セル１２に対しても、光
源７１と同一性能を有する光源７５からの光をコリメー
タレンズ７６を介して照射し、かつ、透過した光を集光
レンズ７７を介して個別の光検出器７８に入射する。

【００４６】３つの光検出器７４のそれぞれがデータ選
択手段７９に接続されるとともに、そのデータ選択手段
７９に濃度設定器４１ａが接続されている。そして、す
べての光透過部２２を透過した光のデータをデータ選択
手段７９に採取するとともに、濃度設定器４１ａによる
濃度の初期設定に応じて、最も好適な長さの光路を有す
る光透過部２２を透過した光のデータ（透過光強度）を
自動的に選択する。

【００４７】データ選択手段７９と光検出器７８とが濃
度算出部８０に接続され、データ選択手段７９で選択さ
れた処理液に対する透過光強度と参照セル１２の透過光
強度とを濃度算出部８０に入力し、それらの透過光強度
の比により透過率を算出するとともにこの透過率に基づ
いて処理液の濃度を算出測定する。

【００４８】図８は、本発明に係る流体濃度測定装置を
適用した別の基板処理装置の概略構成を示した概略構成
図であり、先の基板処理装置と異なるところは、次の通
りである。

【００４９】すなわち、処理液供給配管８１に、第３の
流量調整弁Ｖ３を介装した純水供給配管８２を介して純
水供給源（図示せず）が接続され、所定圧力で純水が供
給される。更に、処理液供給配管８１に、複数個の薬液
タンク８３ａ，８３ｂ，８３ｃが、第４、第５および第
６の流量調整弁Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６を介装した薬液配管８
４ａ，８４ｂ，８４ｃを介して接続され、所定の薬液を
選択して純水と混合し、所定温度と所定濃度に調整され
た処理液を処理槽１に供給する。なお、オーバーフロー
槽２にはドレン配管８５が接続されている。

【００５０】供給量制御部４７からは、第３の流量調整
弁Ｖ３と、第４、第５および第６の流量調整弁Ｖ４，Ｖ
５，Ｖ６のうちの所定のものに信号を出力し、処理液の
濃度を目標濃度に調整する。流体濃度測定装置の構成と
他の構成は先の基板処理装置と同じであり、同一図番を
付して説明は省略する。

【００５１】この別の基板処理装置に第１、第２および
第３実施例を適用する場合において、薬液によって吸光
係数が比較的大幅に異なるようなとき、供給する薬液を
選択する薬液選択手段を前記切換手段４０に接続し、吸
光係数の大きい薬液を選択するとき、すなわち、試料流
体の吸光度が大きい場合には、光路の短い光透過部に光
源１３からの光を透過させる。一方、吸光係数の小さい
薬液を選択するとき、すなわち、吸光度が小さい場合に
は、光路の長い光透過部に光源１３からの光を透過させ
るようにすれば良い。要するに、薬液の吸光度に応じ
て、吸光度が小さい程光路の長い光透過部を選択するよ
うに切り換えるように構成すればよい。

【００５２】また、上述の別の基板処理装置に第４実施
例を適用する場合においては、処理液の吸光度に応じ
て、吸光度が小さい程透過光路の長い光透過部を透過し
た光のデータを選択するように切り換えるように構成す
ればよい。

【００５３】また、本発明としては、上記第１、第２お
よび第３実施例において、濃度設定器４１を設けずに、
例えば、先ず、ひとつの光透過部に光源からの光を照射
し、それによって処理液の濃度を測定し、その測定濃度
と予め設定された濃度範囲とを比較し、いずれの濃度範
囲になるかを判別し、該当する濃度範囲に対応する光透
過部に光を照射するように自動的に切り換えるように構
成してもよい。

【００５４】上記第１、第２および第３実施例では、光
源１３と光透過機構１１との間に第１の光路切換手段１
５を設けているが、本発明としては、光透過機構１１と
光検出器１８との間に第１の光路切換手段１５を設ける
ように構成してもよい。

【００５５】光源１３としては、赤外線を放射するハロ
ゲンランプに限らず、紫外線を放射する重水素ランプあ
るいはキセノンランプなども適用できる。

【００５６】また、本発明としては、純水と薬液からな
る処理液、すなわち、液体の濃度を測定する場合に限ら
ず、例えば、窒素酸化物ＮＯｘや硫黄酸化物ＳＯｘとい
った気体など、各種の流体の濃度を測定する場合に適用
できる。

【００５７】上記実施例では、純水を充填した参照セル
１２を用いているが、例えば、所定の吸光係数を有する
光学フィルターを用いるなど、要するに、一定の吸光係
数を有するものであればよい。

【００５８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に係る発明によれば、流体が流される配管に設けられ
た複数の測定部が、配管内の流体を透過する光の光路の
長さが異なった光透過部を有しているので、例えば、流
体の吸光度などの流体の性質に応じて使用される測定部
を変えて、光検出手段で検出された光に基づいて流体の
濃度を精度良く測定できる。

【００５９】また、請求項２に係る発明によれば、配管
が備える複数の分岐配管ごとに測定部が設けられている
ので、流体の流れる方向に短く、かつコンパクトな構成
の流体濃度測定装置を提供できる。

【００６０】また、請求項３に係る発明によれば、流体
が流される配管に設けられた測定部が、配管内の流体を
透過する光の光路の長さが異なった複数の光透過部を有
しているので、例えば、流体の吸光度などの流体の性質
に応じて使用される光透過部を変えて、光検出手段で検
出された光に基づいて流体の濃度を精度良く測定でき
る。

【００６１】また、請求項４に係る発明によれば、制御
手段が選択手段を制御することにより、配管に流される
流体の吸光度が大きい場合、選択手段に光路の長さが短
い光透過部を選択させ、配管に流される流体の吸光度が
小さい場合、選択手段に光路の長さの長い光透過部を選
択させているので、流体の吸光度に応じた光透過部を選
択でき、その結果、流体の濃度を精度良く測定できる。

【００６２】また、請求項５に係る発明によれば、デー
タ選択手段が、配管に流される流体の吸光度が大きい場
合、光検出手段で検出された光のうち、光路の長さが短
い光透過部を透過した光のデータを選択し、配管に流さ
れる流体の吸光度が小さい場合、光検出手段で検出され
た光のうち、光路の長い光透過部を透過した光のデータ
を選択しているので、流体の吸光度に応じた光のデータ
を選択でき、その結果、流体の濃度を精度良く測定する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１実施例の流体濃度測定装置を
用いた基板処理装置の概略構成図である。

【図２】光透過機構の展開構成図である。

【図３】光分岐手段の要部の構成図である。

【図４】図３の光分岐手段の要部の側面図である。

【図５】第２実施例を示す光透過機構の要部の断面図で
ある。

【図６】第３実施例を示す光透過機構の要部の断面図で
ある。

【図７】本発明に係る流体濃度測定装置の第４実施例を
示す概略構成図である。

【図８】本発明に係る流体濃度測定装置を適用した別の
基板処理装置の概略構成図である。

【符号の説明】

６…処理液供給配管 １３…光源 １５…第１の光路切換機構 １６…第２の光路切換機構 １８…光検出器 ２１ａ…第１の測定体 ２１ｂ…第２の測定体 ２１ｃ…第３の測定体 ２２…光透過部 ２３…接続部 ４０…切換手段 ４１…濃度設定器 ５１…測定体 ５２…光透過部 ５３…接続部 ６４ａ…第１の測定体 ６４ｂ…第２の測定体 ６４ｃ…第３の測定体 ６５ａ…第１の光透過部 ６５ｂ…第２の光透過部 ６５ｃ…第３の光透過部 ６６…接続部 ７１…光源 ７４…光検出器 ７９…データ選択手段 ８１…処理液供給配管

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体の濃度を測定する流体濃度測定装置
   であって、 流体が流される配管に設けられ、前記配管内の流体に光
   を透過させるための光透過部を有する複数の測定部と、 前記光透過部に光を照射する光源と、 前記光透過部を透過した光を検出する光検出手段とを備
   え、 前記光透過部は、前記測定部ごとに前記配管内の流体を
   透過する光の光路の長さが異なっており、 前記光検出手段で検出された光に基づいて流体の濃度を
   測定することを特徴とする流体濃度測定装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の流体濃度測定装置であ
   って、 前記配管は複数の分岐配管を備え、 前記分岐配管ごとに前記測定部が設けられていることを
   特徴とする流体濃度測定装置。
3. 【請求項３】 流体の濃度を測定する流体濃度測定装置
   であって、 流体が流される配管に設けられ、前記配管内の流体を透
   過する光の光路の長さが各々異なっている複数の光透過
   部を有する測定部と、 前記光透過部に光を照射する光源と、 前記光透過部を透過した光を検出する光検出手段とを備
   え、 前記光検出手段で検出された光に基づいて流体の濃度を
   測定することを特徴とする流体濃度測定装置。
4. 【請求項４】 請求項１、請求項２、請求項３のいずれ
   かに記載の流体濃度測定装置であって、 前記複数の光透過部のうち光を透過させるべき光透過部
   を選択する選択手段と、 前記配管に流される流体の吸光度が大きい場合、前記選
   択手段に光路の長さが短い光透過部を選択させ、前記配
   管に流される流体の吸光度が小さい場合、前記選択手段
   に光路の長さの長い光透過部を選択させり制御手段と、
   をさらに備えることを特徴とする流体濃度測定装置。
5. 【請求項５】 請求項１、請求項２、請求項３のいずれ
   かに記載の流体濃度測定装置であって、 前記配管に流される流体の吸光度が大きい場合、前記光
   検出手段で検出された光のうち、光路の長さが短い光透
   過部を透過した光のデータを選択し、前記配管に流され
   る流体の吸光度が小さい場合、前記光検出手段で検出さ
   れた光のうち、光路の長い光透過部を透過した光のデー
   タを選択するデータ選択手段をさらに備え、 前記データ選択手段により選択された光のデータに基づ
   いて流体の濃度を測定することを特徴とする流体濃度測
   定装置。