JPH10325713A - 表面欠陥検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】サイズ分類精度を向上させることができ、か
つ、検査結果データのばらつきを抑制できる表面欠陥検
査方法および検査装置を提供する。 【解決手段】３個以上の疑似欠陥ｆｇからなる疑似欠陥
列がこの較正用ディスク１ａの円周方向に所定の角度お
きにｎ個設けられ、それぞれの疑似欠陥列の疑似欠陥
が、等しいサイズとして形成され、かつ隣接する疑似欠
陥ｆｇがレーザスポットＳｐの幅より大きな所定の間隔
をおいて配列され、かつ円周方向に沿って段階的に増加
あるいは減少している感度較正用ディスクを備え、この
感度較正用ディスクの欠陥検査をして、これの検査結果
に応じて検出感度を調整し、検出感度を調整した状態に
おける検査結果から検出信号のレベルと疑似欠陥のサイ
ズとを関係付けるデータをサイズ判定の基準データとし
て生成し、この判定基準データに基づいて検査対象ディ
スクを欠陥検査したときの検出信号のレベルから欠陥の
サイズを得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、欠陥検査方法お
よび検査装置に関し、詳しくは、磁気ディスク欠陥検査
装置において、サイズ分類精度を向上させることがで
き、かつ、検査結果データのばらつきを抑制できるよう
な表面欠陥検査方法および検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータシステムの記録媒体に使用
されるハード磁気ディスクは、その素材基板が鏡面研磨
して仕上げられ、そのポリッシュされたディスク（サブ
ストレートあるいはボリッシュドディスク）、そしてそ
の上にメッキされ、磁気薄膜が塗布された磁気ディスク
あるいは半導体ウエハのような円板（これらをここでは
ディスクという）のそれぞれの段階で、表面に存在する
欠陥とその大きさとがそれぞれに検査される。

【０００３】図８は、ディスクの欠陥を検査する磁気デ
ィスク欠陥検査装置の要部の構成である。図８（ａ）の
欠陥検査装置１０は、回転機構２と検出光学系３および
欠陥検出装置４とにより構成される。検査対象となるデ
ィスク１は、回転機構２のスピンドル２１に装着されて
モータ（Ｍ）２２の駆動により回転する。これに対して
検出光学系３は、その投光系３１のレーザ光源３１１よ
り発生したレーザビームＬTを集束レンズ３１２により
集束させ、ディスク１の表面にスポットＳpを形成し、
ディスク１の表面をスポットＳpにより照射する。この
スポットＳpをディスク１のＸ軸方向に相対的に移動さ
せることによりスポットＳpは、ディスク１の半径Ｒの
方向に移動し、この移動とディスク１の回転とによって
スポットＳpがディスク１の表面をスパイラル状に走査
する。この場合、ディスク１の全走査時間をできるだけ
短くするために、スポットＳpは、下側の図（ｂ）に示
すように短径φ1と長径φ2を有する楕円形とされる。そ
して、スポットＳpの長径φ2が半径方向に対応付けら
れ、半径方向での走査幅が広く採られる。

【０００４】表面に存在する欠陥Ｆは、スポットＳpの
光を散乱する。その散乱光ＳRは、受光系３２の集光レ
ンズ３２１により集光されて、光電変換素子、例えば、
アバランシェホトダイオード（ＡＰＤ）あるいは光電子
増倍管（ＰＭＴ）などよりなる受光器３２２に受光され
る。受光器３２２の出力信号は、欠陥検出装置４の信号
処理回路４１に入力され、欠陥検出信号とされ、ここで
欠陥Ｆが検出される。さらに、回路によっては、ここ
で、受光器３２２からの出力信号（検出信号）の振幅に
応じて欠陥のサイズが検出され、あるいは大小分類され
る。欠陥を検出する信号処理回路４１としては、いわゆ
るサンプリングにより欠陥を検出回路であって、受光器
３２２からの出力信号を増幅するアンプと、増幅された
出力信号のうちノイズを越える欠陥についての出力信号
についてロータリエンコーダ２３からのパルスを受けて
サンプリングして出力信号のピーク値を欠陥についての
検出信号のレベル値（以下検出欠陥値という）として保
持するサンプリング回路と、さらにサンプリングされた
検出欠陥値をデジタル値にするためのＡ／Ｄコンバー
タ、そしてロータリエンコーダ２３からのパルスを受け
てディスク上の位置データを生成する位置データ生成回
路等からなる。

【０００５】欠陥のサイズを検出しあるいは欠陥をサイ
ズ分類して検出する信号処理回路４１としては、受光器
３２２からの出力信号に対してレベルの異なる複数の閾
値を同時に設定してどの大きさの閾値を出力信号が越え
ているかによって欠陥のサイズあるいは、例えば、大、
中、小のように特別に分類されたサイズの検出をする。
この場合、閾値が細かく段階的に設定されれば検出欠陥
値に対応する欠陥のサイズが得られ、比較的粗く設定さ
れればサイズ分類された検出値が得られる。なお、この
ときの検出値はデジタル値の形で出力される。この場合
にも前記の位置データ生成回路により欠陥サイズ（ある
いは分類されたサイズ）を表すデータとともにその欠陥
についての位置データが生成されて出力される。

【０００６】各欠陥の大きさのデータ（検出欠陥値のデ
ータあるいはサイズデータ）とディスク上の位置のデー
タは、信号処理回路４１からディジタル値でデータ処理
装置４４に入力される。データ処理装置４４は、ＭＰＵ
４２とメモリ４３等とからなる。ここでサイズ別に個数
がカウントされ、サイズとそのカウント値等がディスク
１における欠陥の位置とともにプリンタ（ＰＲ）４５に
出力される。このとき、さらにディスクの形状とともに
ディスク上におけるマップとして欠陥がプリントアウト
されてもよい。これとは別に、ディスプレイ（ＣＲＴ）
４６等の画面上にも同様に欠陥のサイズに応じたイメー
ジをもって欠陥の位置がディスクの形状とともにマップ
表示される。そして、カウント値も分類されたサイズに
応じて別途画面上に表示される。なお、データ処理装置
４４が欠陥の検出信号のレベルに対応する検出欠陥値を
信号処理回路４１から受ける場合には、内部において検
出欠陥値を欠陥のサイズに分類判定する判定処理が行わ
れ、欠陥のサイズが検出される。

【０００７】さて、ディスク１における欠陥Ｆの形状は
さまざまである。その一例を図９に示す。図９におい
て、欠陥Ｆhは、皿状欠陥（シャロウピット（shallow p
it）あるいはソーサピット（saucer pit））であって、
比較的に大きい直径Ｄhを有し、この直径Ｄhに比べて深
さｄhが浅い。欠陥Ｆpは、井戸状のものであって、直径
Ｄpは比較的小さいが、深さｄpの値は大きく、通常、単
に、ピットとよばれるものである。なお、両欠陥Ｆh,Ｆ
pは、孤立して存在することが多い。これに対して、欠
陥Ｆsは、線状をなすスクラッチ欠陥と呼ばれるもので
ある。その断面の幅ｗsと深さｄsはまちまちである。な
お、ディスク１の表面には、これら以外の形状の欠陥も
ある。また、このような凹型の欠陥とは別に、微粒子が
付着することなどにより発生する凸型の異物と呼ばれる
欠陥も種々の高さとサイズとで存在している。

【０００８】そこで、このような各種の形状とサイズの
欠陥を、それぞれに良好に検出するために、上記の欠陥
検査装置１０は、投光系３１のレーザビームＬTの投射
角度θTや、受光系３２の受光角度θR、受光器３２２
（ＡＰＤ）に加圧する電圧Ｖ、または信号処理回路４１
に内蔵されたアンプのゲイン、ノイズ除去用の閾電圧
Ｅ、レーザ光源３１１のレーザ出力など、検出信号のレ
ベルに関係する事項をコントロールパネル４７（制御回
路を含む）を介してそれぞれ最適に設定して、欠陥に対
する検出感度の調整をする。なお、ここでは、欠陥にお
けるサイズは、欠陥を平面的にみたときの大きさ（面
積）ばかりでなく、平面的にみたときの大きさは同じで
あるが深さあるいは高さが異なるもの（容積あるいは体
積が異なるもの）もそれぞれサイズが相違するものとし
て扱う。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】欠陥検査装置１０の欠
陥検出感度は、各種の欠陥Ｆに対して最適に設定される
が、その調整には熟練を要する。特に、深さが浅い欠陥
から深さの深い欠陥まで検出できるように装置の検出感
度を調整すること、あるいは、逆に小さい粒径の異物か
ら大きな粒径の異物の範囲まで検出できるように感度調
整することはなかなか難しい。さらに、欠陥検出感度の
調整は、一定の基準をもって較正されない限り、サイズ
を適正に分類するようなデータは得られない。その上、
多数の検出された欠陥のサイズあるいは大小分類された
サイズについての検査結果データは、検査装置のそのと
きどきの設定状態に影響されてばらつく。異なる検査装
置との間でも検査結果データにばらつきが発生し易い。
そのため、検査結果データの共用が難しくなる。

【００１０】従来の装置の検出感度の較正は、検出しよ
うとする欠陥とそのサイズとに応じてサイズが既知の皿
状欠陥や、ピット欠陥、スクラッチ欠陥などをサンプル
欠陥としてそれぞれに持つ実際のディスクあるいは特定
の高さの突起を持つ実際のディスクをそれぞれサンプル
ディスクとして用い、それぞれのサンプルディスクにつ
いて欠陥を検出することで行われている。しかし、サン
プルディスクにある欠陥が特定のサイズの特定の形状の
ものであるが故に、これにより検出感度の較正をして
も、検査すべき欠陥のサイズの大小分類の範囲からみて
それが適正なものとなっていない場合が少なくない。そ
のため、検出されたサイズやその大小分類について偏り
が生じる。また、実際には、どの程度まで正確にサイズ
について分類分けの検査ができているかも不明である。

【００１１】最近では、ディスクの高密度記録化に伴
い、検出しようとする欠陥サイズの範囲が小さくなって
きている。あるいはそれがより厳密なサイズへと移行す
る傾向にある。しかし、そのときどきのサイズの分類等
に適合するような検出感度較正用のサンプルディスクを
入手することもなかなか難しい。この発明の目的は、サ
イズ分類精度を向上させることができ、かつ、検査結果
データのばらつきを抑制できる表面欠陥検査方法を提供
することにある。この発明の他の目的は、サイズ分類精
度を向上させることができ、かつ、検査結果データのば
らつきを抑制できる表面欠陥検査装置を提供することに
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためのこの発明の欠陥検査方法の特徴は、半径方向お
よび円周方向のいずれかの方向に沿って形成された３個
以上の疑似欠陥からなる疑似欠陥列がこの較正用ディス
クの前記円周方向に所定の角度おきにｎ個（ただしｎは
２以上の整数）設けられ、それぞれの前記疑似欠陥列の
前記疑似欠陥が、実質的に等しいサイズの凸部および凹
部のいずれかとして形成され、かつ、隣接する前記疑似
欠陥が前記レーザスポットの幅より大きな所定の間隔を
おいて配列され、かつ前記円周方向に沿って段階的に増
加あるいは減少している感度較正用ディスクを備え、こ
の感度較正用ディスクの欠陥検査をして、これの検査結
果に応じて検出感度を調整し、検出感度を調整した状態
における較正用ディスクの検査結果から前記検出信号の
レベルと前記疑似欠陥のサイズとを関係付けるデータを
サイズ判定の基準データとして生成し、この判定基準デ
ータに基づいて検査対象のディスクを欠陥検査したとき
の前記検出信号のレベルから欠陥のサイズを得るもので
ある。

【００１３】また、この発明の欠陥検査装置の特徴は、
前記の感度較正用ディスクと、検出感度を調整する感度
調整手段と、この感度調整手段に適正な検出感度に調整
された状態において前記感度較正用ディスクを欠陥検査
した検査結果から前記検出信号のレベルと前記疑似欠陥
のサイズとを関係付けるデータをサイズ判定の基準デー
タとして生成する基準データ生成手段と、前記基準デー
タに基づいて検査対象のディスクを欠陥検査したときに
得られる前記検出信号のレベルから欠陥のサイズを得る
サイズ検出手段とを備えるものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】前記のような感度較正用のディス
クを欠陥検査対象としてオペレータが欠陥検査装置にお
いて欠陥検査をし、検出信号のレベルに応じて検出され
た欠陥のサイズの検出値あるいは検出信号のレベルに応
じて分類されたサイズの分類値において欠陥サイズをデ
ィスプレイ等に検査結果として表示すると、欠陥がその
サイズに応じたイメージをもってディスクの形状ととも
に欠陥がマップ表示される。このとき、少なくとも、異
なるサイズの疑似欠陥は、それに対応する映像が得られ
るので、得られる映像を見ながら適正な検出感度の映像
となるように感度調整ができる。これによりそのときど
きで欠陥のサイズ分類などに適合するような検出感度の
調整が較正用ディスクにより映像を見ながら熟練を要さ
ずにできる。しかも、同じ較正用ディスクを使用する限
り、検査装置の欠陥検出感度の設定状態を再現できるの
で、検査結果データがそのときどきの設定状態に影響さ
れ難く、そのばらつきも低減する。もちろん、異なる検
査装置との間でも検査結果データにばらつきも発生し難
く、検査結果データの共用が可能になる。

【００１５】そこで、検出しようとする欠陥のサイズ分
類の仕方に応じて、画面に表示された疑似欠陥のイメー
ジを見ながら、適正な検出感度に調整できる。特に、サ
イズ分類のほぼ中心位置のものに合わせて装置の検出感
度を調整することができる。しかも、このときには、感
度調整に応じてどの程度のサイズまでサイズ分類が可能
かを画面上の疑似欠陥の表示状態により把握することが
できる。この適正に感度調整された状態において疑似欠
陥のサイズに対応した検出欠陥値（検出信号のレベル）
を検査結果から得て、得られた検出欠陥値と疑似欠陥の
サイズとを関係付けるデータをサイズ判定の基準データ
として生成する。この基準データに基づいて欠陥サイズ
の判定をすることでディスクの欠陥検査装置において検
出される欠陥のサイズを示すデータあるいは大小分類の
サイズデータが実質的に正しく較正される。

【００１６】この較正用ディスクを用いた検出感度の較
正を検査装置において検査開始の都度行い、あるいは多
数の別の欠陥検査装置に同様に適用することにより、検
査の都度生ずる検出感度や検査結果データのばらつき、
あるいは検査装置間に生ずる検出感度や検査結果データ
のばらつきが抑制できる。ところで、疑似欠陥列の各疑
似欠陥の凸部あるいは凹部のサイズの段階的な選択範囲
としては、凸部あるいは凹部が正方形あるいは矩形のと
きには、その１辺の長さが０．５μｍ〜２０μｍの範囲
でかつその深さあるいは高さが０．０１μｍ〜０．７５
μｍの範囲が適切である。さらに、疑似欠陥が円形のも
ののときには、その直径が０．５μｍ〜２０μｍの範囲
でかつその深さあるいは高さが０．０１μｍ〜０．７５
μｍの範囲が適切である。

【００１７】

【実施例】図１は、この発明を適用した表面欠陥検査方
法を適用した磁気ディスク欠陥検査装置の一実施例のブ
ロック図である。図１の磁気ディスク欠陥検査装置１１
は、図８のデータ処理装置４４に換えてデータ処理装置
５０を有している。データ処理装置５０は、図８に示す
データ処理装置４４のＭＰＵ４２とメモリ４３とに加
え、さらに入力装置４８が設けられている。また、デー
タ処理装置５０のメモリ４３には、欠陥データ採取プロ
グラム４３ａと、欠陥マップ表示プログラム４３ｂ、判
定基準データ生成プログラム４３ｃ、欠陥サイズ検出プ
ログラム４３ｄ、そして検出欠陥値／欠陥サイズテーブ
ル４３ｅなどが設けられている。

【００１８】検出感度の較正時には、データ処理装置５
０は、図４，図６に示す、各種のサイズの疑似欠陥列を
有する感度較正用ディスク１ａ（１ｂ）を対象として欠
陥検査をして、その検査結果から検出欠陥値／欠陥サイ
ズテーブル４３ｅを作成する。そして、検査対象となる
ディスク１の欠陥検査をするときには、欠陥検査により
得られる検出信号のレベルをこの検出欠陥値／欠陥サイ
ズテーブル４３ｅを参照して欠陥のサイズあるいは分類
サイズを示すデータに変換して欠陥をサイズ分類する。
信号処理回路４１は、先に従来技術で説明した欠陥を検
出して、検出欠陥値を発生する回路である。これは、受
光器３２２からの出力信号を増幅するアンプ４１ａと、
アンプ４１ａで増幅された出力信号のうちノイズを越え
る欠陥についての出力信号についてロータリエンコーダ
２３からのパルスに応じてピーク値をサンプリングして
検出欠陥値を得るサンプリング回路４１ｂと、さらにサ
ンプリングされた検出値をデジタル値にするためのＡ／
Ｄコンバータ（Ａ／Ｄ）４１ｃ、そしてロータリエンコ
ーダ２３からのパルスを受けてディスク上の位置データ
を生成する位置データ生成回路４１ｄ等からなる。

【００１９】データ処理装置５０のＭＰＵ４２は、欠陥
データ採取プログラム４３ａを実行して、ディスク１を
レーザスポットＳpによりスパイラル走査し、この走査
に応じて信号処理回路４１からの検出欠陥値のＡ／Ｄ変
換値と、位置データとを順次受けて、メモリ４３の作業
領域あるいはバッファメモリ部に記憶する。ディスク１
の全面走査が終了すると、検出感度較正時にはＭＰＵ４
２は、欠陥マップ表示プログラム４３ｂをコールし、実
行する。また、通常のディスクの欠陥検査時には、欠陥
サイズ検出プログラム４３ｄをコールし、実行する。

【００２０】欠陥サイズ検出プログラム４３ｄは、これ
がＭＰＵ４２に実行されたときには、検査対象となるデ
ィスク１の各トラックを順次走査して欠陥検査をする。
この欠陥検査に応じて得られる検出欠陥値を受けてこれ
を、検出欠陥値／欠陥サイズテーブル４３ｅを参照して
欠陥のサイズのデータに変換することで分類し、その結
果を欠陥サイズデータとしてその欠陥の位置データとと
もにメモリ４３に順次記憶する。そして、ディスク１の
全面走査が終了すると、さらにＭＰＵ４２は、欠陥サイ
ズごとに欠陥をカウントしてその数を算出してメモリ４
３に記憶する。次に、欠陥マップ表示プログラム４３ｂ
をコールして実行して分類された検査結果をマップ表示
するとともに、プリンタ４５等に出力する。また、欠陥
サイズ検出プログラム４３ｄは、検出感度較正の時に
は、欠陥検出値（検出信号のレベル）に応じた欠陥サイ
ズのデータか、欠陥サイズをさらに細分類した分類サイ
ズ値のデータが生成されるようなサイズ変換データを検
出欠陥値／欠陥サイズテーブル４３ｅに読込み、これに
書換えてデータ設定をする。この書換える変換データ
は、あらかじめ実験的、経験的に求められたものを入力
することによる。そこで、検出感度較正の時の欠陥検査
では、このような変換データを持つ検出欠陥値／欠陥サ
イズテーブル４３ｅによって実際の欠陥の状態に近い形
でディスプレイ４６に検査結果として表示される。

【００２１】欠陥マップ表示プログラム４３ｂは、これ
がＭＰＵ４２に実行されたときには、採取された欠陥の
位置データと欠陥のサイズデータを読出す。そして欠陥
のサイズデータについては、それが示す大きさに応じた
大きさのパターンデータに変換して表示データを生成
し、このパターンデータを位置データが示す画面上の所
定の座標に表示するようなイメージデータに展開してデ
ィスプレイ４６にマップ表示する。判定基準データ生成
プログラム４３ｃは、検出欠陥値／欠陥サイズテーブル
４３ｅの内容を書き換えるプログラムであって、これが
ＭＰＵ４２に実行されたときには、欠陥サイズの入力待
ちをして入力装置４８から欠陥サイズが入力されたとき
に、マップ表示されたディスプレイの画面上においてマ
ウス等により指定された画面上の位置から表示座標位置
を検出する。そして、検査結果の中から、この表示座標
位置に表示されている、あるいはこの位置に最も近い位
置に表示されている欠陥のサイズデータを抽出する。さ
らに、抽出されたサイズデータに基づいて検出欠陥値／
欠陥サイズテーブル４３ｅの中において対応するサイズ
データを検索して、検索されたところのサイズデータを
入力されたサイズデータに更新する。さらに、更新され
たことを示すフラグを更新されたサイズデータに対応し
て書込む。このようにして検出欠陥値／欠陥サイズテー
ブル４３ｅのサイズデータを入力されたサイズデータに
更新していく。そして、更新が終了した時点でフラグが
ない過去のデータを消去することで新しい検出欠陥値／
欠陥サイズテーブル４３ｅを生成する。これにより検出
信号のレベルとサイズとの関係が較正された新しい判定
基準データを持つ検出欠陥値／欠陥サイズテーブル４３
ｅが生成される。

【００２２】なお、この場合、検出欠陥値／欠陥サイズ
テーブル４３ｅからサイズデータに対応する検出欠陥値
を抽出して、この検出欠陥値と入力された欠陥サイズと
を対とする変換データを生成し、この対のテーブルを別
途作成することができる。いくつもの検出欠陥値と欠陥
サイズの対を生成し、生成された新しいテーブルの内容
を検出欠陥値／欠陥サイズテーブル４３ｅに書込むこと
で変換データの更新をする。また、検出欠陥値／欠陥サ
イズテーブル４３ｅのこのようなサイズデータの書換え
は、検出感度調整の時に、すなわち、感度較正用ディス
ク１ａ（１ｂ）について欠陥検査が行われたときに実施
される。

【００２３】検出欠陥値／欠陥サイズテーブル４３ｅの
構成は、図３に示すように、信号レベルと欠陥サイズと
を対応付けた対照表であり、更新データを示すフラグ欄
が設けられている。これは、このテーブルには、最初、
信号レベルと欠陥サイズとの標準的なデータが記憶さ
れ、書換え可能である。そのため、例えば、ＥＥＰＲＯ
Ｍ等の書換え可能なメモリで構成されるか、ＲＡＭで構
成され、ハードディスクあるいはフレキシブルディスク
等の外部記憶装置からデータが読込まれることで変換デ
ータの更新が行われる。

【００２４】図４（ａ）に示す感度較正用ディスク（以
下基準ディスク）１ａは、適当に選択された鏡面研磨の
アルミニュウム製のディスクであって、イオンビームス
パッタ装置を使用して、このディスク１ａを装置のター
ゲット位置におき、形成すべき疑似欠陥の位置とその形
状とに対応してイオンビームを打ち込んでスパッタする
ことで行われる。このディスクがスパッタされると、ビ
ームが打ち込まれたスパッタ位置には窪みができる。こ
の窪みを特定の配列で多数形成することで凹部疑似欠陥
が形成される。また、凹部の疑似欠陥は、レーザビーム
により表面を溶融させることでも形成することができ
る。この場合には、円形の孔が形成できる。また、凹部
の疑似欠陥は、レジストをマスクとしてエッジングをす
ることでも可能である。

【００２５】一方、凸部の疑似欠陥は、イオンビームス
パッタ装置によりターゲットからスパッタされた粒子を
孔開きマスクを介してディスク１ａにスパッタさせて付
着する。このとき、マスクに形成した孔の部分に対応し
て凸部の突起がディスク１ａに形成される。なお、ター
ゲット金属としては、タングステンを使用すいるとよ
い。また、疑似欠陥としての凸部は、アルミニュウムを
ＶＣＤ法によりホトレジストを介して選択的にディスク
１ａの半径方向あるいは円周方向に沿って配列されるよ
うに気相成長させることでも形成することができる。

【００２６】例えば、図４（ａ）に示すように、角度３
０°置きに１２本の放射線に沿って凹部の疑似欠陥ｆg
が多数配列される疑似欠陥列をイオンビームスパッタ装
置によって形成できる。形成されたそれぞれの疑似欠陥
列を＃１，＃２，…＃１２として示す。各疑似欠陥列＃
１〜＃１２の疑似欠陥ｆgは、それぞれに同一サイズの
正方形の凹部として形成される。この凹部の疑似欠陥ｆ
gのサイズは、イオンビームの量と使用する粒子の重
さ、時間、そしてスパッタ位置等により制御される。こ
のとき使用するイオンビーム径は、平面的にみた疑似欠
陥のサイズの正方形の一辺に対して１／４から１／１０
程度に絞ったものである。このイオンビームを形成する
凹部穴の横方向の一辺に沿って一列に多数打ち込み、こ
れを縦方向にシフトして繰り返す。例えば、疑似欠陥の
一辺の長さｗgがｗg＝1μｍの正方形の凹部を形成する
場合には、正方形の横方向の１辺に沿って０．２μｍの
径のイオンビームを少なくとも５回横方向に打ち込み、
次に縦方向に、０．２μｍイオンビームを０．２μｍシ
フトさせて、再び横方向の一辺に沿って５回打ち込む。
これを縦方向に対して４回シフトさせて、縦方向にも５
回、合計で２５回の打ち込みを行う。これにより、図
（ｂ）に示すｗg＝1μｍの正方形の凹部の疑似欠陥ｆg
が形成される。それをディスク１ａの半径に沿ってレー
ザスポットＳpの半径方向の幅（長径）φ2よりも大きな
間隔をあけて形成する疑似欠陥の数だけ行う。もちろ
ん、レーザスポットＳpの走査方向である円周方向での
次に形成される疑似欠陥の位置は、レーザスポットＳp
の円周方向の幅（短径）φ1よりも遙かに離れたところ
にある。

【００２７】図中、＃１の内周に設けたＭｋは、この疑
似欠陥列が＃１であることを示すマークであって、基準
となる疑似欠陥列を示す。このマークは、マークとして
の形状を持つ大きな疑似欠陥により形成する。この例で
は、各疑似欠陥列は、時計方向に欠陥サイズの数値が増
加するように造られている。これにより、サイズの異な
る疑似欠陥ｆgの群ＦGRを識別することができる。な
お、時計方向に欠陥サイズが増加するということは、反
時計方向からみれば欠陥サイズが減少することであり、
増加、減少は相対的なものである。なお、図では、疑似
欠陥列＃１と＃２と＃１２のみ正方形の形で示している
が、これら正方形の１辺の幅Ｗgと深さｄg（図（ｂ）参
照）とは、各疑似欠陥列で相違していて＃１から＃１２
へと、そのサイズが次第に大きくなっている。しかし、
サイズの変化が微小であり、かつ、深さや高さの関係も
伴うために図ではその関係が十分に表現さてていない。

【００２８】そのため、図４（ｂ）における疑似欠陥ｆ
gの１辺の長さｗgと深さｄgとの範囲の一例を示すと、
次のようになる。 疑似欠陥ｆgのサイズ ｗg：0.5μｍ，1μｍ，3μｍ，5μｍ，10μｍ，20μｍ ｄg：0.025μｍ，0.05μｍ，0.2μｍ，0.75μｍ これらの一辺の長さｗgと深さｄgは、実際の欠陥Ｆのサ
イズを十分にカバーする範囲にある。そこで、例えば、
検査対象として分類するものが一辺１μｍを中心として
サイズ分類をするときには、ｗg＝１μｍとｗg＝０．５
μｍとｗg＝３μｍの３つを採用し、これらが次のよう
な疑似欠陥列の関係になるようにする。まず、＃１の疑
似欠陥列をｗg＝０．５μｍで、深さｄg＝０．０２５μ
ｍとし、＃２の疑似欠陥列をｗg＝０．５μｍで深さｄg
₌０．０５μｍとし、＃３の疑似欠陥列をｗg＝０．５μ
ｍで深さｄg＝０．２μｍとし、＃４の疑似欠陥列をｗg
＝０．５μｍで深さｄg＝０．７５μｍとしたものを形
成する。次に、＃５の疑似欠陥列をｗg＝１μｍで、深
さｄg＝０．０２５μｍとし、＃６の疑似欠陥列をｗg＝
１μｍで深さｄg₌０．０５μｍとし、＃７の疑似欠陥列
をｗg＝１μｍで深さｄg＝０．２μｍとし、＃８の疑似
欠陥列をｗg＝１μｍで深さｄg＝０．７５μｍとしたも
のを形成する。そして、＃９の疑似欠陥列をｗg＝３μ
ｍで、深さｄg＝０．０２５μｍとし、＃１０の疑似欠
陥列をｗg＝３μｍで深さｄg₌０．０５μｍとし、＃１
１の疑似欠陥列をｗg＝３μｍで深さｄg＝０．２μｍと
し、＃１２の疑似欠陥列をｗg＝３μｍで深さｄg＝０．
７５μｍとしたものを形成する。なお、ここでの深さ方
向の各疑似欠陥列の疑似欠陥のサイズの増加は、０．０
２５μｍを基準として、０．０２５×２、０．０２５×
４、０．０２５×２０、０．０２５×３０になってい
る。

【００２９】このように形成した疑似欠陥列ごとに順次
サイズが増加する疑似欠陥ｆgを持つ１２本の疑似欠陥
列が図４（ａ）である。もちろん、検査の際の分類対象
の中心が５μｍの場合には、それぞれの深さに対して一
辺の長さは、それぞれ３μｍ，５μｍ，１０μｍからな
る１２本の疑似欠陥列を持つ基準ディスク１ａを作成す
ることになる。疑似欠陥列の間隔を１５゜とすれば、２
４本の疑似欠陥列を１つの基準ディスクに形成すること
ができる。これにより１枚の基準ディスクに前記の２つ
の例を含ませることができる。すなわち、前記のｗg＝
０．５μｍ，ｗg＝１μｍ，ｗg＝３μｍ，ｗg＝５μ
ｍ，ｗg＝１０μｍ，ｗg＝２０μｍのすべての組み合わ
せについて疑似欠陥列ごとに疑似欠陥ｆgのサイズが順
次増加する疑似欠陥列を設ける。

【００３０】各疑似欠陥群ＦGR内の隣接する２個の疑似
欠陥ｆgは、図５（ａ）に示すように、レーザスポット
Ｓpの長径φ2（ディスク半径方向の幅）よりやや大きい
ギャップＧａをなして等間隔に配列されている。このよ
うな基準ディスク１ａを図１の磁気ディスク欠陥検査装
置１１に装着し、あるいは図８の磁気ディスク欠陥検査
装置１０のディスク１に換えて装着してこれの欠陥検査
を行い、検出信号のレベルに応じて検出された欠陥サイ
ズの検出値あるいは検出信号のレベルに応じてサイズが
細分類された分類値において欠陥サイズをディスプレイ
４６に検査結果として表示すると、ディスプレイ４６に
は基準ディスク１ａの疑似欠陥列が欠陥マップとして表
示される。その状態は、検出感度調整によって異なって
くる。

【００３１】例えば、各疑似欠陥列の凸部あるいは凹部
のサイズが段階的に相違するので、欠陥に対する検出感
度が高いときには小さいサイズの疑似欠陥は小さいサイ
ズに対応した状態で表示されるが、大きなサイズの疑似
欠陥は、検出信号のレベルが飽和に達することによりあ
る程度以上の欠陥についてはそれぞれのサイズが同じよ
うなものとして表示されてしまう。逆に、検出感度が低
いときには小さいサイズの疑似欠陥は検出されないため
に、大きなサイズの疑似欠陥がそれぞれにそのサイズに
応じて表示される。そこで、コントロールパネル４７を
介して検出感度の調整をしながら、基準ディスク１ａの
欠陥検査を複数回繰り返すことで、最適な表示になるよ
うに感度調整をすることができる。

【００３２】このときの、コントロールパネル４７にお
ける装置の検出感度の調整としては、受光器３２２（Ａ
ＤＰ）の加圧電圧Ｖや信号処理回路４１の増幅器のゲイ
ン、閾電圧Ｅ、そしてレーザ光源３１１のレーザ出力な
どで行う。さらに必要に応じて、投光系３１のレーザビ
ームＬTの投射角度θTや、受光系３２の受光角度θRを
調整する。例えば、最初の例の、一辺１μｍを中心とし
てサイズ分類をする１２本の疑似欠陥列を有する基準デ
ィスク１ａを欠陥検査装置１１に装着して欠陥検査をし
た場合には、＃１〜＃１２の疑似欠陥列が明確に表示さ
れるような検出感度になるようにコントロールパネル４
７において各部の値を設定して調整することができる。
また、次の例の２４本の疑似欠陥列を有する基準ディス
ク１ａを装着した場合には、サイズ分類する測定サイズ
に応じて選択された１２本の疑似欠陥列が明確に表示さ
れるように装置の検出感度を調整すればよい。さらに、
検査開始の都度、あらかじめ決められたサイズの１２本
の欠陥列を表示して、それらが明確な表示になるように
検出感度を調整するようにすれば、検査ごとの検査結果
データのばらつきが低減され、そして装置間の検査結果
データのばらつきを抑えることができる。

【００３３】このように、検出感度を特定のサイズの範
囲にのみ限定的に設定しすれば、較正用ディスクの疑似
欠陥列の検査結果イメージにおいて求めるサイズに対応
する欠陥検出範囲が明確にされ、かつ、他の疑似欠陥列
の表示とは区別できる表示になるようにコントロールパ
ネル４７によって検出感度を調整することができる。こ
れにより特定のサイズあるいはサイズ範囲について優先
的に検出することが可能になる。しかも、その調整も画
面上のイメージを見てできるので簡単であり、熟練を要
しない。このような表示画面での検査結果を見ての欠陥
検出感度の較正は、比較的誰にでも可能である。なお、
較正用ディスクに形成した疑似欠陥列のうち、いずれか
１つの疑似欠陥列の欠陥サイズを基準として表示するた
めに較正用ディスクの基準とする疑似欠陥列の位置にデ
ィスプレイ等で表示できるようなマークを設けることが
できる。

【００３４】また、ここでは、各疑似欠陥列において、
実質的に等しいサイズの３個以上の凸部あるいは凹部を
各列における構成とし、さらにこれら凸部あるいは凹部
がレーザスポットの半径方向の幅より大きな所定の間隔
を置いてディスクの半径方向に配列することを要件とし
ている。それは、較正用のディスク自体に欠陥が存在し
た場合にも疑似欠陥の配列を認識できるようにするため
である。すなわち、３個以上の欠陥が一定の間隔を置い
て配列されることは、通常の欠陥では発生することは希
である。レーザスポットＳpの半径方向の幅より大きな
所定の間隔を置いて配置すれば３個の欠陥を独立に検出
し得る。さらに、万が一、疑似欠陥の凸部あるいは凹部
との間に他の欠陥が入り込んでそれが並んだとしても疑
似欠陥配列として半径方向に並んだ２個以上の欠陥を検
出でき、それが疑似欠陥列であることは分かる。

【００３５】図５（ｂ）は、ディスクを回転させずに、
単にレーザスポットＳpを半径方向に走査して、信号処
理回路４１における基準ディスク１ａの欠陥検出信号を
半径方向において検出した場合の一例である。欠陥検出
信号には３個の疑似欠陥ｆgに対する３個の波形が近接
して現れており、もしこの付近に実物の欠陥Ｆが存在し
て検出信号に現れても、両者の振幅の違いや前後の関係
からこれを無視することができる。図４（ｃ）は、
（ｂ）の疑似欠陥ｆgに換えて円形の突起ｆg’を疑似欠
陥とする疑似欠陥列列＃１〜＃１２を設ける場合の形状
についての説明図である。これの疑似欠陥ｆg’のサイ
ズは、直径をｗgとし、高さをｄg’とすると次のような
範囲で選択される。 疑似欠陥ｆg’のサイズ ｗg’：0.5μｍ，1μｍ，3μｍ，5μｍ，10μｍ，20μ
ｍ ｄg’：0.025μｍ，0.05μｍ，0.2μｍ，0.75μｍ，0.0
1μｍ

【００３６】図６は、円周方向に６０゜ごとに円弧状に
同じサイズの正方形の凹部疑似欠陥ｆgを配列したディ
スク１ｂを示している。このディスク１ｂは、同心円状
に各疑似欠陥列が形成され、同じ同心円の各疑似欠陥列
に配置された疑似欠陥は、平面からみたサイズが同じも
のである。そして、時計方向に向かって各疑似欠陥列と
とにその深さが増加し、各疑似欠陥列ごとに疑似欠陥の
サイズが相違している。なお、疑似欠陥ｆgの間隔は、
図７（ａ）に示すように、レーザスポットＳpの円周方
向の幅φ1よりも大きな間隔Ｇbで等間隔に配置されてい
る。各疑似欠陥の深さは、前記のｄgあるいはｄg’の中
から選択されたものである。

【００３７】各疑似欠陥列の疑似欠陥ｆgは、外周方向
から内周方向に向かって平面からみたサイズは小さくな
っている。このサイズも前記のっｗgあるいはｗg’の中
から選択されたものである。内周側に小さいサイズを割
当てることにより次側の疑似欠陥列の疑似欠陥の数の減
少を多少低減できる。もちろん、レーザスポットＳpの
半径方向での次の疑似欠陥の位置は、レーザスポットＳ
pの半径方向の幅（長径）φ2よりも十分に離れたところ
のある。図７（ｂ）は、図５（ｂ）に対応するレーザス
ポットＳpの走査方向での疑似欠陥ｆgの検出信号であ
る。なお、図中、ディスク１ｂにおける半径方向の点線
部分は、各疑似欠陥列を区分けするために設けた線状の
マーク欠陥であり、カッタ等によりけがくことにより形
成する。なお、基準位置マークＭkも外周にけがきマー
キングすることが可能である。

【００３８】次に、図２に従って、欠陥検査処理の全体
的な流れについて説明する。まず、オペレータが基準デ
ィスク１ａを回転機構２のスピンドル２１に装着し（ス
テップ１０１）、所定の検査開始のキー入力に応じてＭ
ＰＵ４２が欠陥データ採取プログラム４３ａをコールし
てこのプログラムを実行する。これにより欠陥検査を開
始する（ステップ１０２）。そしてＭＰＵ４２は、検出
欠陥値のデータと欠陥の位置データの採取を行う（ステ
ップ１０３）。次にＭＰＵ４２はディスク１の全面走査
が終了したか否かの判定に入る（ステップ１０４）。こ
こでＮＯになると、ステップ１０３へと戻る。ステップ
１０４の判定でＹＥＳとなり、ディスク１の全面走査が
終了すると、ＭＰＵ４２はサイズ検査か否かの判定をす
る（ステップ１０５）。ここで、ＮＯとなると、次に、
検出感度較正か否かの判定をする（ステップ１０６）。
ここで、ＹＥＳとなると、ＭＰＵ４２は、欠陥検査結果
マップ表示プログラム４３ｂをコールして実行する。こ
れにより検出欠陥値のデータと位置データとが読出さ
れ、基準ディスク１ａの状態がディスプレイにマップ表
示がされる（ステップ１０７）。なお、先に述べたよう
に、このときの検出欠陥値／欠陥サイズテーブル４３ｅ
には、基準ディスク１ａの欠陥の状態が実際に近い形で
表示されるような変換データが記憶されている。

【００３９】次に、ＭＰＵ４２は、サイズ入力か否かの
判定に入る（ステップ１０８）。この判定でＮＯになる
と、検出感度調整待ちのループ入る。感度調整終了キー
が入力されたかの判定を行う（ステップ１０９）。オペ
レータがコントロールパネル４７を操作して検出感度の
調整を行い、感度調整終了キーが入力されると、ＭＰＵ
４２の処理がステップ１０２へと戻り、再び同様な検査
が繰り返される。これにより、例えば、基準ディスク１
ａの＃１〜＃１２の欠陥列が明確に捉えられ、最適な感
度調整がなされたとき、ステップ１０８のサイズ入力か
否かの判定においてＹＥＳとなる。ここで、ＹＥＳとな
ると、ＭＰＵ４２は、判定基準データ生成プログラム４
３ｃをコールして実行する。そして、入力装置４８から
のサイズデータ入力待ちループに入る（ステップ１１
０）。

【００４０】ここで、オペレータが入力装置４８からサ
イズを入力すると、ＭＰＵ４２は、マウスによる画面上
での位置入力待ちに入る（ステップ１１１）。ディスプ
レイ４６の画面上でそのサイズに対応する基準ディスク
１ａの＃１〜＃１２の欠陥列のうちの１つの位置にマウ
スのポインタが合わされて位置が入力されると、ＭＰＵ
４２は、採取したサイズデータ（欠陥検査結果）の中か
ら入力された位置に対応する欠陥検出位置おける欠陥の
サイズを抽出し（ステップ１１２）、この抽出した欠陥
のサイズと一致する検出欠陥値／欠陥サイズテーブル上
の位置を検索して（ステップ１１３）、テーブルにおい
て欠陥サイズが一致した位置のサイズデータを入力され
たサイズデータに書換えて、更新し、この位置にフラグ
を立てる（ステップ１１４）。これにより欠陥検査結果
（採取データ）を参照することで前記のマウスによる位
置指定対応する較正用ディスクの欠陥サイズに書換えて
検出欠陥値対欠陥サイズの新しい組み合わせ対が生成さ
れる。そして、ＭＰＵ４２は、較正終了かの判定に入る
（ステップ１１５）。ここで、ＮＯとなると、ステップ
１１０へと戻る。

【００４１】このステップ１１０からステップ１１５ま
での繰り返し処理により疑似欠陥列＃１〜＃１２あるい
はこれらから選択された疑似欠陥列についての欠陥のサ
イズデータが実際の出力信号のレベルに対応して検出欠
陥値／欠陥サイズテーブル４３ｅに順次書込まれ、検出
欠陥値／欠陥サイズテーブル４３ｅが較正された判定基
準のデータになる。ステップ１１５の判定においてＹＥ
Ｓとなると、ＭＰＵ４２は、更新データを示すフラグを
参照して古いデータを消去する（ステップ１１６）。こ
れにより検出感度の較正処理が終了する。なお、先のス
テップ１０６でＮＯになったときには、ほかの処理に移
る。

【００４２】次に、オペレータが検査ディスク１を回転
機構２のスピンドル２１に装着すると（ステップ１０１
ａ）、ステップ１０２において、ＭＰＵ４２は、欠陥デ
ータ採取プログラム４３ａをコールして実行し、欠陥検
査を開始する。そして、ステップ１０５においてＹＥＳ
になると、ＭＰＵ４２は、欠陥サイズ検出プログラム４
３ｄをコールされて実行し、更新された検出欠陥値／欠
陥サイズテーブル４３ｅを参照してサイズ分類処理を行
い、サイズに応じて欠陥がカウントされる（ステップ１
１７）。その結果、検出信号のレベルに対応する較正さ
れたサイズ分類データがディスク欠陥検査により採取し
た欠陥検出値に対応して得られる。次に、ＭＰＵ４２
は、欠陥検査結果マップ表示プログラム４３ｂをコール
して実行し、サイズデータと位置データを読出し、検査
ディスク１の状態をディスプレイに較正された状態でマ
ップ表示する（ステップ１１８）。もちろん、このと
き、必要に応じて欠陥ごとのカウント値も表示され、検
査結果がプリンタ４５に出力されてもよい。

【００４３】以上説明してきたが、実施例の検出欠陥値
／欠陥サイズテーブル上でのデータの較正は一例であっ
て、この発明は、このようなサイズ変換テーブルによる
較正に限定されない。例えば、信号レベル値をアドレス
値として欠陥サイズを出力とするデータ変換メモリによ
り欠陥サイズデータを出力することもできる。このよう
な場合には、このメモリ上のデータが欠陥サイズデータ
となるので、これを更新する書換えを行えばよい。ま
た、この欠陥サイズの判定基準となるデータは、このよ
うなサイズデータに限定されるものではなく、図１ある
いは図８の信号処理回路４１における欠陥検出信号に対
して、検出するサイズに対応する閾値あるいは大小分類
されたサイズに対応する閾値を設定するものであっても
よい。また、実施例におけるレーザスポットＳpによる
ディスクの走査はスパイラルに限定されるものではな
く、レーザスポットＳpは、ディスクに対して相対的に
移動すればよい。また、欠陥からの散乱光を受ける受光
器は、ＣＣＤ等の受光素子を用いることもできる。

【００４４】さらに、実施例では、アルミニュウム製の
鏡面研磨されたディスクを基本として説明してきたが、
基準ディスクとしてガラス製のディスクが用いられても
よいことはもちろんである。また、ディスクは金属メッ
キされたものであってもよい。さらに、ディスクは、磁
気ディスクあるいはそのサブストレートに限定されるも
のではなく、検査対象となるワークが円板状のものでワ
ークを回転させてワークの欠陥を検出する装置に対して
適用可能である。適用可能なものの一例として、まず、
ウエハの欠陥検査（異物検査）を挙げることができる。

【００４５】

【発明の効果】以上の説明から理解できるように、この
発明にあっては、感度較正用のディスクを欠陥検査対象
としてオペレータが欠陥検査装置において欠陥検査を
し、検出信号のレベルに応じて検出された欠陥のサイズ
の検出値あるいは検出信号のレベルに応じて分類された
サイズの分類値において欠陥サイズをディスプレイ等に
検査結果として表示すると、欠陥がそのサイズに応じた
イメージをもってディスクの形状とともに欠陥がマップ
表示される。このとき、少なくとも、異なるサイズの疑
似欠陥は、それに対応する映像が得られるので、得られ
る映像を見ながら適正な検出感度の映像となるように感
度調整ができる。これによりそのときどきで欠陥のサイ
ズ分類などに適合するような検出感度の調整が較正用デ
ィスクにより映像を見ながら熟練を要さずにできる。し
かも、同じ較正用ディスクを使用する限り、検査装置の
欠陥検出感度の設定状態を再現できるので、検査結果デ
ータがそのときどきの設定状態に影響され難く、そのば
らつきも低減する。もちろん、異なる検査装置との間で
も検査結果データにばらつきも発生し難く、検査結果デ
ータの共用が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明を適用した表面欠陥検査方法
を適用した磁気ディスク欠陥検査装置の一実施例のブロ
ック図である。

【図２】図２は、その欠陥検査処理のフローチャートで
ある。

【図３】図３は、検出欠陥値／欠陥サイズテーブルの説
明図である。

【図４】図４は、この発明で使用する感度較正用ディス
クの具体例であって、（ａ）は、感度較正用ディスクに
おける疑似欠陥列の配列図、（ｂ）は、疑似欠陥列にお
いて形成される正方形凹部の説明図、（ｃ）は、疑似欠
陥列において形成される円形凸部の説明図である。

【図５】図５（ａ）は、疑似欠陥の間隔と走査レーザス
ポットとの関係の説明図、図５（ｂ）は、疑似欠陥の検
出信号の説明図である。

【図６】図６は、感度較正用ディスクの他の具体例の説
明図である。

【図７】図７（ａ）は、疑似欠陥の間隔と走査レーザス
ポットとの関係の説明図、図７（ｂ）は、疑似欠陥の検
出信号の説明図である。

【図８】図８は、磁気ディスク欠陥検査装置の要部の概
略構成図であって、（ａ）は、その全体的構成図、
（ｂ）は、そのレーザスポットの説明図である。

【図９】図９は、磁気ディスクの表面に存在する各種の
欠陥の説明図である。

【符号の説明】

１…鏡面ディスク、１ａ…感度較正用ディスク（基準デ
ィスク）、２…回転機構、１０…欠陥検査装置、２１…
スピンドル、２２…モータ、３…検出光学系、３１…投
光系、３１１…レーザ光源、３１２…集束レンズ、３２
…受光系、３２１…集光レンズ、３２２…受光器（ＡＤ
Ｐ等）、４…欠陥検出処理部、４１…信号処理回路、４
１ａ…アンプ、４１ｂ…サンプリング回路、４１ｃ…Ａ
／Ｄコンバータ（Ａ／Ｄ）４１ｃ、４１ｄ…位置データ
生成回路、４２…ＭＰＵ、４３…メモリ、４４…データ
処理装置、４５…プリンタ（ＰＲ）、４６…ディスプレ
イ、４３ａ…欠陥データ採取プログラム、４３ｂ…欠陥
マップ表示プログラム、４３ｃ…判定基準データ生成プ
ログラム、４３ｄ…欠陥サイズ検出プログラム、４３ｅ
…検出欠陥値／欠陥サイズテーブル、５０…データ処理
装置、ＬT…レーザビーム、Ｓp…レーザスポット、φ1
…スポットの短径、φ2…スポットの長径、Ｆ…欠陥、
ｆg，ｆg’…模擬欠陥、ＦGR…模擬欠陥の群、ｗg…正
方形あるいは矩形の模擬欠陥の辺長、ｄg…模擬欠陥の
深さ、ｗg’…円形状模擬欠陥の直径、ｄg’…円形状模
擬欠陥の高さ。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザスポットをディスクに対して相対的
   に移動させて前記ディスクの表面を走査し、前記レーザ
   スポットの散乱光を受光器により受光し、この受光器の
   出力信号を増幅して検出信号を得てこの検出信号のレベ
   ルに応じて検出された欠陥のサイズあるいは前記検出信
   号のレベルに応じて大小分類されたサイズを前記ディス
   ク上の位置とともに出力する表面欠陥検査装置におい
   て、 前記欠陥に対する検出感度を較正するためのディスクで
   あって、このディスクの半径方向および円周方向のいず
   れかの方向に沿って形成された３個以上の疑似欠陥から
   なる疑似欠陥列がこの較正用ディスクの前記円周方向に
   所定の角度おきにｎ個（ただしｎは２以上の整数）設け
   られ、それぞれの前記疑似欠陥列の前記疑似欠陥は、実
   質的に等しいサイズの凸部および凹部のいずれかとして
   形成され、かつ、隣接する前記疑似欠陥が前記レーザス
   ポットの幅より大きな所定の間隔をおいて配列され、か
   つ前記円周方向に沿って段階的に増加あるいは減少して
   いる感度較正用ディスクを備え、この感度較正用ディス
   クの欠陥検査をして、これの検査結果に応じて検出感度
   を調整し、検出感度を調整した状態における前記較正用
   ディスクの検査結果から前記検出信号のレベルと前記疑
   似欠陥のサイズとを関係付けるデータをサイズ判定の基
   準データとして生成し、この判定基準データに基づいて
   検査対象のディスクを欠陥検査したときの前記検出信号
   のレベルから欠陥のサイズを得る表面欠陥検査方法。
2. 【請求項２】前記検査結果は、前記検出信号のレベルに
   対応する欠陥サイズの検出値あるいは前記検出信号のレ
   ベルに応じて分類した欠陥サイズの分類値であって、デ
   ィスプレイに表示される請求項１記載の表面欠陥検査方
   法。
3. 【請求項３】判定基準データは、前記検出信号のレベル
   に対して検出する欠前記陥のサイズに対応する閾値であ
   る請求項１記載の表面欠陥検査方法。
4. 【請求項４】前記検査対象のディスクはウエハであり、
   前記較正用ディスクは、サンプルウエハに前記疑似欠陥
   を形成したものである請求項１記載の表面欠陥検査方
   法。
5. 【請求項５】レーザスポットをディスクに対して相対的
   に移動させて前記ディスクの表面を走査し、前記レーザ
   スポットの散乱光を受光器により受光し、この受光器の
   出力信号を増幅して検出信号を得てこの検出信号のレベ
   ルに応じて検出された欠陥のサイズあるいは前記検出信
   号のレベルに応じて大小分類されたサイズを前記ディス
   ク上の位置とともに出力する表面欠陥検査装置におい
   て、 前記欠陥に対する検出感度を較正するためのディスクで
   あって、このディスクの半径方向および円周方向のいず
   れかの方向に沿って形成された３個以上の疑似欠陥から
   なる疑似欠陥列がこの較正用ディスクの前記円周方向に
   所定の角度おきにｎ個（ただしｎは２以上の整数）設け
   られ、それぞれの前記疑似欠陥列の前記疑似欠陥は、実
   質的に等しいサイズの凸部および凹部のいずれかとして
   形成され、かつ、隣接する前記疑似欠陥が前記レーザス
   ポットの幅より大きな所定の間隔をおいて配列され、か
   つ前記円周方向に沿って段階的に増加あるいは減少して
   いる感度較正用ディスクと、 前記検出感度を調整する感度調整手段と、 この感度調整手段に適正な検出感度に調整された状態に
   おいて前記感度較正用ディスクを欠陥検査した検査結果
   から前記検出信号のレベルと前記疑似欠陥のサイズとを
   関係付けるデータをサイズ判定の基準データとして生成
   する基準データ生成手段と、 前記基準データに基づいて検査対象のディスクを欠陥検
   査したときに得られる前記検出信号のレベルから欠陥の
   サイズを得るサイズ検出手段とを備える表面欠陥検査装
   置。
6. 【請求項６】ディスプレイと前記欠陥のサイズを入力す
   る入力手段とを有し、前記検査結果は、前記検出信号の
   レベルに対応する欠陥サイズの検出値あるいは前記検出
   信号のレベルに応じて分類した欠陥サイズの分類値であ
   って、前記ディスプレイに表示され、前記疑似欠陥は、
   前記半径方向に沿って多数設けられ、前記ｎ個の疑似欠
   陥列の１つには基準位置を示すマークが設けられ、前記
   基準データ生成手段は、前記入力手段により入力された
   前記欠陥のサイズを、選択された前記検出信号のレベル
   と対応付けて記憶する請求項５記載の表面欠陥検査装
   置。
7. 【請求項７】判定基準データは、前記検出信号のレベル
   に対して検出する欠前記陥のサイズに対応する閾値であ
   る請求項５記載の表面欠陥検査装置。