JPH10321696A - Clean box and clean transfer method and device - Google Patents
Clean box and clean transfer method and deviceInfo
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- JPH10321696A JPH10321696A JP14720597A JP14720597A JPH10321696A JP H10321696 A JPH10321696 A JP H10321696A JP 14720597 A JP14720597 A JP 14720597A JP 14720597 A JP14720597 A JP 14720597A JP H10321696 A JPH10321696 A JP H10321696A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、電子部品
関連製品、光ディスク等の製造プロセスにおいて必要な
被搬送物を、汚染物質のないクリーン気体で封止した状
態で移送することが可能で、とくに被搬送物を側面開口
より搬出、搬入する構成のクリーンボックス、並びにこ
のクリーンボックスを用いたクリーン搬送方法及び装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention is capable of transferring conveyed objects required in the manufacturing process of semiconductors, electronic component-related products, optical disks, and the like in a state sealed with a clean gas free of contaminants. In particular, the present invention relates to a clean box configured to carry out and carry in a conveyed object from a side opening, and a clean conveying method and apparatus using the clean box.
【０００２】[0002]
【従来の技術】本出願人により特開平７−２３５５８０
号において真空クリーンボックスで被搬送物を真空封止
して移送するクリーン搬送方法が提案されている。この
場合、真空クリーンボックスは、底面に開口を有するボ
ックス本体と気密封止のためのシャッターを兼ねた底部
蓋体とからなり、ボックス内外の圧力差（ボックス内側
は真空、外側は大気圧）により底部蓋体が押されること
で閉じた状態が維持される構成となっている。このた
め、窒素等のクリーン気体を前記クリーンボックス内に
封入した状態で移送しようとする場合、ボックス内外の
圧力差がないため、このままでは底部蓋体の閉じた状態
を維持できない。2. Description of the Related Art Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-235580 has been disclosed by the present applicant.
In Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-260, a clean transfer method for transferring a transferred object by vacuum sealing it in a vacuum clean box has been proposed. In this case, the vacuum clean box is composed of a box body having an opening on the bottom surface and a bottom lid that also serves as a shutter for hermetic sealing. The pressure difference between the inside and outside of the box (the inside of the box is vacuum, the outside is atmospheric pressure). The closed state is maintained by pressing the bottom lid. For this reason, when a clean gas such as nitrogen is to be transferred in a state of being sealed in the clean box, there is no pressure difference between the inside and the outside of the box, so that the closed state of the bottom lid cannot be maintained as it is.
【０００３】そこで、本出願人からメカニカルシールを
用いないで、クリーン気体による封止状態で被搬送物を
移送可能なクリーンボックスが特願平８−２２３２８８
号で提案されている。In view of the above, Japanese Patent Application No. 8-223288 discloses a clean box capable of transferring an object to be conveyed in a sealed state with a clean gas without using a mechanical seal.
No. has been proposed.
【０００４】本出願人による特願平８−２２３２８８号
で提案しているクリーン気体封止タイプのクリーンボッ
クスを図５に示す。この図において、クリーンボックス
１は、底面開口を有するボックス本体２と前記底面開口
を気密に閉成するシャッター兼用底部蓋体３と、ボック
ス本体２及び蓋体３に真空吸着して蓋体３を閉成状態に
保持する環状で断面Ｌ字状の蓋体チャック４とを有し、
真空排気手段及び移送手段を持たない構造である。底部
蓋体３にはホルダー５が取り付けられており、これによ
り被搬送物６が例えば多段に重ねられた状態でクリーン
ボックス１内に支持されている。FIG. 5 shows a clean box of a clean gas sealing type proposed in Japanese Patent Application No. 8-223288 filed by the present applicant. In this figure, a clean box 1 includes a box body 2 having a bottom opening, a shutter / bottom cover 3 for hermetically closing the bottom opening, and a vacuum suction of the box body 2 and the cover 3 to remove the cover 3. A lid chuck 4 having an annular L-shaped cross section for holding in a closed state,
The structure does not have the evacuation means and the transfer means. A holder 5 is attached to the bottom cover 3, and thereby the transported objects 6 are supported in the clean box 1 in a state of being stacked in multiple stages, for example.
【０００５】この図５の場合、蓋体チャック４の内側空
間Ｋを真空排気した状態としておくことで、蓋体チャッ
ク４は内外圧力差により底部蓋体３をボックス本体２側
に圧接させた状態に保持し、クリーンボックス１内部に
大気圧のクリーン気体が封入されている場合であっても
底部蓋体３は閉じた状態に維持されることになる。In the case of FIG. 5, the inside space K of the lid chuck 4 is evacuated so that the lid chuck 4 presses the bottom lid 3 against the box body 2 due to a pressure difference between the inside and outside. , And the bottom cover 3 is maintained in a closed state even when a clean gas of atmospheric pressure is sealed in the clean box 1.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５のクリ
ーンボックス１は底面開閉式の構造であり、被搬送物６
の搬出、搬入のために矢印Ａで示したような垂直方向の
動作が必要不可欠であり、被搬送物６の床面からの高さ
が変わってしまい、各種処理装置とのインターフェース
のために水平方向の動きの他に余分な上下方向の動きが
必要である。また、ボックス本体２に対する底部蓋体３
及び蓋体チャック４の着脱、これに伴う蓋体チャック４
の内側空間Ｋを真空に減圧したりする処理のために、真
空排気機能を持つ真空チェンジャーを用いるが、被搬送
物６の搬出、搬入のために上下方向の動きを伴うため、
クリーンボックス１の真空チェンジャー上への設置高さ
も高くなる問題がある。By the way, the clean box 1 shown in FIG.
The vertical movement as shown by the arrow A is indispensable for carrying out and carrying in the object 6, and the height of the conveyed object 6 from the floor surface is changed. Extra vertical movement is required in addition to the directional movement. Further, the bottom cover 3 with respect to the box body 2
And attachment / detachment of the lid chuck 4, and the accompanying lid chuck 4
A vacuum changer having a vacuum evacuation function is used for the process of decompressing the inner space K to a vacuum or the like.
There is a problem that the installation height of the clean box 1 on the vacuum changer is also increased.
【０００７】さらに、真空チェンジャーにおいては、底
部蓋体３と蓋体チャック４とをそれぞれ独立に昇降可能
な機構を具備する必要があり、真空チェンジャー側の構
造が複雑化するきらいがあった。Further, in the vacuum changer, it is necessary to provide a mechanism capable of independently raising and lowering the bottom lid 3 and the lid chuck 4, and this tends to complicate the structure of the vacuum changer.
【０００８】一方、半導体用搬送ボックスについては、
ＥＩＡＪ（Ｊ３００）にて標準化が進んでおり、今まで
は半導体ウエハーをボックス底面側から取り出していた
が、ボックス設置の際の高さが高くなるとの理由で、横
から取り出す方式に決まりつつある。例えば、現在提案
されている図６の半導体用搬送ボックス２０も、側面に
開口２１を持つ側面開口式（サイドオープンタイプ）と
なっている。但し、メカニカルシールのために、(1)複
雑な機構が必要となり十分な信頼性が保証できない、
(2)スプリング等の機械的保持力を使用するために実用
上十分な保持力が得られないという課題が残っている。On the other hand, with regard to a semiconductor transport box,
Standardization is progressing in EIAJ (J300). Until now, semiconductor wafers have been taken out from the bottom side of the box. However, the method of taking out from the side has been decided because the height when installing the box becomes high. For example, the currently proposed semiconductor transport box 20 of FIG. 6 is also of a side opening type (side open type) having an opening 21 on the side surface. However, due to the mechanical seal, (1) a complicated mechanism is required and sufficient reliability cannot be guaranteed.
(2) There remains a problem that a practically sufficient holding force cannot be obtained because a mechanical holding force such as a spring is used.
【０００９】本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、
側面開口式（サイドオープンタイプ）の構造であって
も、従来のスプリング等を使用したメカニカルシールを
不要とし、クリーン気体で被搬送物を封止して移送、保
管が可能で、構造の簡単なクリーンボックスを提供する
ことにある。[0009] A first object of the present invention is to solve the above problems,
Even with a side opening type (side open type) structure, a mechanical seal using a conventional spring or the like is not required, and the transported object can be transported and stored by sealing the transported object with clean gas. To provide a clean box.
【００１０】本発明の第２の目的は、メカニカルシール
を不要とした構造の簡単な側面開口式クリーンボックス
を用いて、被搬送物をクリーン気体による封止状態で移
送可能なクリーン搬送方法及び装置を提供することにあ
る。A second object of the present invention is to provide a clean transfer method and apparatus capable of transferring an object to be transferred in a sealed state with a clean gas by using a simple side-opening type clean box having a structure that does not require a mechanical seal. Is to provide.
【００１１】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。Other objects and novel features of the present invention will be clarified in embodiments described later.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーンボックスは、一側面に開口を有
し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成する
とともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口
を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態
で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成す
るとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボッ
クス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋
と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付
加蓋とを備え、排気手段及び移送手段を持たない構成と
なっている。In order to achieve the above object, a clean box according to the present invention has an opening on one side, an annular groove for suction surrounding the opening is formed on the one side, and another side is provided. A box body having a suction / exhaust port communicating with the suction annular groove on a surface thereof, and a suction space formed by airtightly covering the suction annular groove when mounted on the box body; A lateral lid that is adsorbed to the box body by the pressure difference to hermetically close the opening, and an additional lid that hermetically closes the intake and exhaust ports by an internal and external pressure difference, and has exhaust means and transfer means. There is no configuration.
【００１３】また、本発明のクリーン搬送方法は、一側
面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側
面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通
した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体
への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用
空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差に
より当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉
成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に
閉成する付加蓋とを備え、排気手段及び移送手段を持た
ないクリーンボックスを用い、側壁面に形成されたゲー
ト口をゲート弁で気密に閉成したクリーン装置の当該ゲ
ート口に、前記クリーンボックスを気密に連結し、真空
チェンジャーで前記付加蓋を含むボックス本体外側の密
閉空間を真空排気して前記付加蓋の内外圧力差を無くし
て前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸着
用空間を大気圧とした後、前記ゲート弁で前記横蓋を保
持して前記クリーン装置内に引き込んで前記クリーンボ
ックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通させ、
両者間で被搬送物を移送することを特徴としている。Further, according to the clean transfer method of the present invention, an opening is formed on one side surface, and a suction annular groove surrounding the opening is formed on the one side surface, and the suction surface communicates with the suction annular groove on the other surface. A box body having an exhaust port, and while being attached to the box body, air-tightly covering the suction annular groove to form a suction space, and being suctioned to the box body by a pressure difference between the inside and outside of the suction space. A side cover that hermetically closes the opening, and an additional lid that hermetically closes the intake / exhaust port with an internal / external pressure difference, are formed on a side wall surface using a clean box having no exhaust means and no transfer means. The clean box is hermetically connected to the gate port of a clean device in which the gate port is hermetically closed by a gate valve, and the closed space outside the box body including the additional lid is evacuated by a vacuum changer. After removing the pressure difference between the inside and outside of the additional lid and opening the suction / exhaust port, and setting the suction space to atmospheric pressure through the suction / exhaust port, the gate valve holds the side lid and enters the inside of the clean device. Draws in and connects the inside of the clean box and the inside of the clean device,
It is characterized in that the transported object is transferred between the two.
【００１４】前記クリーン搬送方法において、前記クリ
ーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通
させた状態から前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記
開口を気密に閉成した後、前記真空チェンジャーで前記
吸排気口を通して前記吸着用空間を真空排気し、その後
付加蓋で前記吸排気口を気密に閉成するとともに前記付
加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を大気圧とする
ことで、前記横蓋及び付加蓋の前記ボックス本体への装
着ができる。In the above-described clean transfer method, after the horizontal lid is held by the gate valve from the state where the internal space of the clean box communicates with the inside of the clean device, the opening is airtightly closed, and then the vacuum changer is closed. By evacuating the suction space through the suction / exhaust port, and then closing the suction / exhaust port with an additional lid in an airtight manner, and setting the sealed space outside the box body including the additional lid to atmospheric pressure, The side lid and the additional lid can be mounted on the box body.
【００１５】さらに、本発明のクリーン搬送装置は、一
側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一
側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連
通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本
体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着
用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差
により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に
閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密
に閉成する付加蓋とを備え、排気手段及び移送手段を持
たないクリーンボックスと、側壁面に形成されたゲート
口と、該ゲート口を開閉自在で当該ゲート口に連結され
たクリーンボックスの横蓋を保持可能なゲート弁とを有
するクリーン装置と、前記ゲート口に連結されたクリー
ンボックスの付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間
を真空排気する真空チェンジャーとを備え、前記真空チ
ェンジャーで前記付加蓋の内外圧力差を無くして前記吸
排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸着用空間を
大気圧とした状態において、前記ゲート弁で前記横蓋を
保持して前記クリーン装置内に引き込んで前記クリーン
ボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通させ
る構成としている。Further, the clean transfer device of the present invention has an opening on one side surface, a suction annular groove surrounding the opening is formed on the one side surface, and the suction surface communicates with the suction annular groove on the other surface. A box body having an exhaust port, and while being attached to the box body, air-tightly covering the suction annular groove to form a suction space, and being suctioned to the box body by a pressure difference between the inside and outside of the suction space. A clean box without an exhaust means and a transfer means, comprising a horizontal lid for hermetically closing the opening, and an additional lid for hermetically closing the intake / exhaust port by an internal / external pressure difference; A cleaning device having a gate port, a gate valve capable of opening and closing the gate port and capable of holding a side lid of a clean box connected to the gate port, and addition of a clean box connected to the gate port A vacuum changer for evacuating a closed space outside the box body, wherein the vacuum changer eliminates the pressure difference between the inside and outside of the additional lid to open the suction / exhaust port, and enlarges the suction space through the suction / exhaust port. In a state where the pressure is set to the atmospheric pressure, the side lid is held by the gate valve and is drawn into the clean device so that the internal space of the clean box communicates with the inside of the clean device.
【００１６】前記クリーン搬送装置において、前記真空
チェンジャーは、前記ボックス本体を吸着する真空吸引
路を前記ボックス本体への対接面に形成したボックス保
持部材を有し、該ボックス保持部材の内側に前記密閉空
間が形成される構成としてもよい。In the above-described clean transfer apparatus, the vacuum changer has a box holding member having a vacuum suction path for sucking the box body formed on a surface facing the box body. A configuration in which a closed space is formed may be employed.
【００１７】また、前記真空チェンジャーは、前記ボッ
クス保持部材の内側に、前記ボックス本体から離脱した
前記付加蓋を支える蓋受け部材を移動自在に有する構成
としてもよい。Further, the vacuum changer may have a structure in which a lid receiving member for supporting the additional lid detached from the box body is movable inside the box holding member.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るクリーンボッ
クス、クリーン搬送方法及び装置の実施の形態を図面に
従って説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a clean box, a clean transfer method and an apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１９】図１乃至図４において、クリーンボックス
３０は、一側面に側面開口３２を有し、該側面開口３２
を囲む吸着用環状溝３３を当該一側面に形成するととも
に底面に吸着用環状溝３３に連通した吸排気口３４を有
するボックス本体３１と、ボックス本体３１への装着状
態で吸着用環状溝３３を気密に覆って吸着用空間Ｓを形
成するとともに、吸着用空間Ｓの内外の圧力差により当
該ボックス本体３１に吸着されて側面開口３２を気密に
閉成する横蓋３５と、前記吸排気口３４を内外圧力差に
より気密に閉成する付加蓋３６とを備え、横蓋３５及び
付加蓋３６の閉成時にクリーン状態を維持できる気密性
を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない構造
である。1 to 4, the clean box 30 has a side opening 32 on one side surface.
The box body 31 having an intake / exhaust port 34 communicating with the suction annular groove 33 on the bottom surface and the suction ring groove 33 in the state of being attached to the box body 31 are formed. A side cover 35 which is hermetically covered to form a suction space S, is suctioned by the box main body 31 by a pressure difference between the inside and outside of the suction space S, and hermetically closes a side opening 32; And an additional lid 36 which is airtightly closed by an internal / external pressure difference, and has a hermeticity capable of maintaining a clean state when the lateral lid 35 and the additional lid 36 are closed, and has no vacuum exhaust means and transfer means. It is.
【００２０】前記ボックス本体３１の側面開口３２の周
囲は側面フランジ部３１ａとなっており、前記吸着用環
状溝３３は側面フランジ部３１ａの横蓋対接面（横蓋接
合面）を１周するように形成されている。吸着用環状溝
３３と吸排気口３４とはボックス本体３１の厚肉部分の
内部に形成された吸排気路３７で接続されている。ま
た、気密性確保のために、ボックス本体３１の側面フラ
ンジ部３１ａに当接する横蓋３５の対接面には、吸着用
環状溝３３の内周側及び外周側をそれぞれ気密シール
（気密シール）する位置に環状溝３５ａが形成され、該
環状溝３５ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング
３５ｂがそれぞれ配設されている。前記吸排気口３４の
周縁部に当接する付加蓋３６の対接面にも、気密性確保
のために、環状溝３６ａが形成され、該環状溝３６ａ内
に気密シール（気密封止）用のＯリング３６ｂが配設さ
れている。The periphery of the side opening 32 of the box body 31 is a side flange portion 31a, and the suction annular groove 33 makes one round of the side lid contact surface (side lid joining surface) of the side flange portion 31a. It is formed as follows. The suction annular groove 33 and the suction / exhaust port 34 are connected by a suction / exhaust passage 37 formed inside the thick portion of the box body 31. In order to ensure airtightness, the inner peripheral side and the outer peripheral side of the suction annular groove 33 are hermetically sealed (airtight seal) on the contact surface of the side lid 35 which abuts on the side flange portion 31a of the box body 31. An annular groove 35a is formed at a position corresponding to the O-ring 35b, and an O-ring 35b for hermetic sealing is provided in the annular groove 35a. An annular groove 36a is also formed on the contact surface of the additional lid 36 that contacts the peripheral portion of the intake / exhaust port 34 to ensure airtightness, and an airtight seal (airtight seal) is formed in the annular groove 36a. An O-ring 36b is provided.
【００２１】なお、前記ボックス本体３１内には、半導
体ウエハー等の被搬送物６を支えるホルダー３８が取り
付けられている。該ホルダー３８は、例えば被搬送物６
を多数等間隔で水平状態で収納できる構造となってい
る。A holder 38 for supporting the object 6 such as a semiconductor wafer is mounted in the box body 31. The holder 38 holds, for example, the transferred object 6.
Can be stored horizontally at equal intervals.
【００２２】クリーンルーム４０にはクリーンボックス
３０を用いて半導体ウエハー等の被搬送物６を搬入した
り、クリーンボックス３０へ被搬送物６を搬出したりす
るために、その側壁４１にゲート口（搬出入口）４２が
形成されている。このゲート口４２はゲート弁４３で開
閉自在な構造となっている。すなわち、ゲート弁４３は
その背後の垂直板状昇降部材４４に対し横方向（矢印Ｐ
方向）に平行移動自在に取り付けられており、昇降部材
４４は空気圧シリンダ４５で矢印Ｑ方向に昇降駆動され
る。また、ゲート弁４３は昇降部材４４に取り付けられ
た空気圧シリンダ４６で横方向に駆動される（ゲート口
４２の閉成又は開成動作を行うように駆動される）。気
密性確保のために、ゲート口４２の周縁部に当接するゲ
ート弁４３の対接面には、環状溝４３ａが形成され、該
環状溝４３ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング
４３ｂが配設されている。A gate port (unloading) is provided on the side wall 41 of the clean room 40 in order to load the load 6 such as a semiconductor wafer into or out of the clean box 30 using the clean box 30. An inlet 42 is formed. The gate port 42 has a structure that can be opened and closed by a gate valve 43. That is, the gate valve 43 is moved laterally (arrow P) with respect to the vertical plate
The lifting member 44 is driven by a pneumatic cylinder 45 to move up and down in the arrow Q direction. The gate valve 43 is driven laterally by a pneumatic cylinder 46 attached to the elevating member 44 (driven to perform a closing or opening operation of the gate port 42). In order to ensure airtightness, an annular groove 43a is formed on an opposing surface of the gate valve 43 in contact with a peripheral portion of the gate port 42, and an O-ring for airtight sealing (airtight sealing) is formed in the annular groove 43a. 43b is provided.
【００２３】図１の如く、前記シリンダ４５が伸動した
昇降部材４４の上昇位置で、前記シリンダ４６を伸動さ
せたとき、ゲート弁４３はゲート口４２の形成された側
壁４１の内側周縁部に圧接して、ゲート口４２を気密に
閉塞する。また、昇降部材４４の上昇位置でシリンダ４
６を縮動させてゲート口４２からゲート弁４３を離脱さ
せてからシリンダ４５を縮動させて昇降部材４４を下降
させることで、図２のＸ位置にまでゲート弁４３を下降
させてゲート口４２を開放することができる。As shown in FIG. 1, when the cylinder 46 is extended at the raised position of the elevating member 44 in which the cylinder 45 is extended, the gate valve 43 becomes the inner peripheral portion of the side wall 41 in which the gate port 42 is formed. To close the gate port 42 hermetically. Further, the cylinder 4
6, the gate valve 43 is disengaged from the gate port 42, and then the cylinder 45 is contracted to lower the elevating member 44, thereby lowering the gate valve 43 to the position X in FIG. 42 can be opened.
【００２４】なお、ゲート弁４３には、クリーンボック
ス３０側の横蓋３５を真空吸着するための吸引用凹部４
７が形成されており、さらにこの吸引用凹部４７を囲ん
で環状溝４８ａが形成され、該環状溝４８ａ内に気密シ
ール（気密封止）用のＯリング４８ｂが配設されてい
る。The gate valve 43 has a suction recess 4 for vacuum-sucking the side cover 35 on the clean box 30 side.
7 is formed, and an annular groove 48a is formed so as to surround the suction concave portion 47. An O-ring 48b for hermetic sealing is provided in the annular groove 48a.
【００２５】また、クリーンボックス３０のボックス本
体３１に対して横蓋３５を真空吸着させる目的で吸排気
口３４を通して吸着用環状溝３３内を真空排気したり、
あるいは大気圧に戻すために真空チェンジャー５０（真
空排気手段を具備する）が設けられており（通常、クリ
ーンルーム４０の外側でゲート口４２の下方位置に配置
されており）、この真空チェンジャー５０はクリーンボ
ックス３０を前記クリーンルーム４０のゲート口４２に
連結可能な高さ位置で保持するボックス保持部材として
のカップ状載置台５１を横方向（矢印Ｒ方向）に摺動自
在に有している。すなわち、カップ状載置台５１は真空
チェンジャー５０の固定基台６０に対し横方向スライダ
６１を介して取り付けられており、載置台横移動のため
に固定基台６０に設置された空気圧シリンダ６２の伸縮
に伴いクリーンルーム４０の側壁４１に近接又は離れ
る。Further, in order to vacuum-adsorb the side lid 35 to the box body 31 of the clean box 30, the inside of the suction annular groove 33 is evacuated through the suction / exhaust port 34,
Alternatively, a vacuum changer 50 (equipped with a vacuum exhaust means) is provided to return the pressure to the atmospheric pressure (usually disposed outside the clean room 40 and below the gate port 42). A cup-shaped mounting table 51 as a box holding member for holding the box 30 at a height position that can be connected to the gate port 42 of the clean room 40 is slidable in the lateral direction (the direction of arrow R). That is, the cup-shaped mounting table 51 is attached to the fixed base 60 of the vacuum changer 50 via the horizontal slider 61, and the pneumatic cylinder 62 installed on the fixed base 60 for the horizontal movement of the mounting table expands and contracts. As a result, it approaches or separates from the side wall 41 of the clean room 40.
【００２６】このカップ状載置台５１の内側中心部を上
下方向に貫通した昇降軸５２の上端にはボックス本体３
１から離脱したときの付加蓋３６を支える蓋受け部材５
３が固着されている。また、蓋受け部材５３の固着され
た昇降軸５２を昇降駆動するための空気圧シリンダ５４
は、前記カップ状載置台５１側に支持された取付板５６
に固定されており、空気圧シリンダ５４のビストンロッ
ドが昇降軸５２に連結されている。The box main body 3 is attached to the upper end of an elevating shaft 52 penetrating vertically through the inner central portion of the cup-shaped mounting table 51.
Lid receiving member 5 that supports additional lid 36 when detached from 1
3 is fixed. A pneumatic cylinder 54 for driving up and down the elevating shaft 52 to which the lid receiving member 53 is fixed.
Is a mounting plate 56 supported on the cup-shaped mounting table 51 side.
The piston rod of the pneumatic cylinder 54 is connected to the lifting shaft 52.
【００２７】前記カップ状載置台５１のクリーンボック
ス載置面には、クリーンボックス３０の底面を真空吸着
するための吸着用環状溝５５が形成され、この吸着用環
状溝５５の内側及び外側に気密性確保のための環状溝５
１ａがそれぞれ形成され、該環状溝５１ａ内に気密シー
ル（気密封止）用のＯリング５１ｂが配設されている。On the clean box mounting surface of the cup-shaped mounting table 51, there are formed suction annular grooves 55 for vacuum-sucking the bottom surface of the clean box 30, and the inside and outside of the suction annular grooves 55 are airtight. Annular groove 5 for ensuring the performance
1a are formed, and an O-ring 51b for hermetic sealing is provided in the annular groove 51a.
【００２８】なお、クリーンボックス３０の側面フラン
ジ部３１ａ（側面開口３２の周縁部）が当接する側壁４
１の外側対接面には、気密性確保のために、ゲート口４
２を囲む環状溝４１ａが形成され、該環状溝４１ａ内に
気密シール（気密封止）用のＯリング４１ｂが配設され
ている。The side wall 4 with which the side flange 31a (peripheral edge of the side opening 32) of the clean box 30 abuts.
In order to ensure airtightness, the gate opening 4
2, an O-ring 41b for hermetic sealing is provided in the annular groove 41a.
【００２９】次に、この実施の形態の動作説明を行う。Next, the operation of this embodiment will be described.
【００３０】図４のように、半導体ウエハー等の被搬送
物６を窒素等のクリーン気体で封止、収納したクリーン
ボックス３０は、側面フランジ部３１ａの吸着用環状溝
３３が横蓋３５で気密に覆われることで形成された吸着
用空間Ｓが真空に減圧されている状態において横蓋３５
及び付加蓋３６が内外圧力差（吸着用環状溝３３及び吸
排気口３４内が真空で、クリーンボックス外側は大気
圧）により側面開口３２及び吸排気口３４を気密に密閉
しており、この状態で自由に搬送、保管が可能である。As shown in FIG. 4, in the clean box 30 in which the transferred object 6 such as a semiconductor wafer is sealed and stored with a clean gas such as nitrogen, the suction annular groove 33 of the side flange portion 31a is airtight by the horizontal lid 35. In a state where the suction space S formed by being covered with the vacuum is decompressed to a vacuum,
The side opening 32 and the suction / exhaust port 34 are hermetically sealed by the internal / external pressure difference (the inside of the suction annular groove 33 and the suction / exhaust port 34 are vacuum, and the outside of the clean box is atmospheric pressure). Can be freely transported and stored.
【００３１】クリーンボックス３０とクリーンルーム４
０との間で、被搬送物６の受け渡しを行う場合、図１の
如く真空チェンジャー５０のカップ状載置台５１上にク
リーンボックス３０を載置し、吸着用環状溝５５を真空
吸引することでカップ状載置台５１に対してクリーンボ
ックス３０（ボックス本体３１）底面を吸着保持する。
このクリーンボックス３０の保持状態で、空気圧シリン
ダ６２を伸動させ、カップ状載置台５１を側壁４１に近
接させてボックス本体３１の側面フランジ部３１ａをゲ
ート口４２周縁部の側壁４１外側面に気密に圧接させ
る。このとき、図１のように、横蓋３５はゲート口４２
に入り込み、ゲート口４２を密閉しているゲート弁４３
に密着するとともに、ゲート弁４３側の吸引用凹部４７
の真空吸引を行ってゲート弁４３側でも横蓋３５を吸着
保持する。The clean box 30 and the clean room 4
When the transfer of the transferred object 6 is performed between 0 and 0, the clean box 30 is mounted on the cup-shaped mounting table 51 of the vacuum changer 50 as shown in FIG. The bottom surface of the clean box 30 (box body 31) is suction-held with respect to the cup-shaped mounting table 51.
With the clean box 30 held, the pneumatic cylinder 62 is extended to bring the cup-shaped mounting table 51 close to the side wall 41, and the side flange portion 31 a of the box body 31 is hermetically sealed to the outer surface of the side wall 41 at the peripheral edge of the gate port 42. Pressure contact. At this time, as shown in FIG.
Gate valve 43 which enters the gate port 42 and seals the gate port 42
And the suction recess 47 on the gate valve 43 side.
Then, the side cover 35 is also suction-held on the gate valve 43 side.
【００３２】クリーンボックス３０で上面が密閉された
カップ状載置台５１の内部空間Ｕを真空排気し、付加蓋
３６についての内外圧力差を無くし（吸排気口３４の内
部と内部空間Ｕが共に真空となる）、付加蓋３６が自重
で下降できる状態としてから、蓋受け部材５３の固着さ
れた昇降軸５２を空気圧シリンダ５４で下降させ、蓋受
け部材５３と共に付加蓋３６を図１の仮想線Ｙ位置にま
で下げ、ボックス本体３１の底面側の吸排気口３４を開
く。The internal space U of the cup-shaped mounting table 51 whose upper surface is sealed by the clean box 30 is evacuated to eliminate the pressure difference between the inside and outside of the additional lid 36 (both the inside of the suction / exhaust port 34 and the inside space U are evacuated). After the additional lid 36 can be lowered by its own weight, the elevating shaft 52 to which the lid receiving member 53 is fixed is lowered by the pneumatic cylinder 54, and the additional lid 36 together with the lid receiving member 53 is moved along the virtual line Y in FIG. Position, and open the air intake / exhaust port 34 on the bottom side of the box body 31.
【００３３】次いで、カップ状載置台５１の内部空間Ｕ
をクリーンな空気、窒素等のクリーン気体によりリーク
して内部空間Ｕ及びこれに連通状態となったクリーンボ
ックス３０側の吸排気口３４及びこれに連通した吸着用
環状溝３３内部を大気圧に戻す。これにより、横蓋３５
の真空吸着は解除されるから（吸着用環状溝３３及びク
リーンルーム４０内が共に大気圧となる）、横蓋３５は
ゲート弁４３のみに吸着保持された状態となるので、空
気圧シリンダ４６を縮動させてゲート口４２からゲート
弁４３を離脱させてから空気圧シリンダ４５を縮動させ
て昇降部材４４を下降させて、図２のＸ位置にまでゲー
ト弁４３を下降させて横蓋３５をクリーンルーム４０内
に引き込み、ゲート口４２を開放する。この図２の状態
では、クリーンボックス３０の内部とクリーンルーム４
０とが連続した空間となるから、クリーンボックス３０
内のホルダー３８から半導体ウエハー等の被搬送物６を
クリーンルーム４０内部の搬送用ロボット等を用いて水
平に移送して取り出すことができる。Next, the internal space U of the cup-shaped
Is leaked by clean air or clean gas such as nitrogen to return the internal space U, the intake / exhaust port 34 on the side of the clean box 30 communicating with the internal space U, and the inside of the suction annular groove 33 communicating with the internal space U to atmospheric pressure. . Thereby, the side cover 35
Is released (both the suction annular groove 33 and the inside of the clean room 40 are at atmospheric pressure), so that the horizontal lid 35 is in a state of being suction-held only by the gate valve 43, so that the pneumatic cylinder 46 is contracted. Then, the gate valve 43 is disengaged from the gate port 42, and then the pneumatic cylinder 45 is contracted to lower the elevating member 44, thereby lowering the gate valve 43 to the position X in FIG. The gate port 42 is opened. In the state of FIG. 2, the inside of the clean box 30 and the clean room 4
0 is a continuous space, so the clean box 30
The transferred object 6 such as a semiconductor wafer can be horizontally transferred from the holder 38 inside the clean room 40 using a transfer robot or the like and taken out.
【００３４】逆に、図２の状態で空になっているクリー
ンボックス３０のホルダー３８に対してクリーンルーム
４０側の搬送用ロボット等で被搬送物６を順次水平に移
送することができ、所要の枚数の被搬送物６をクリーン
ボックス３０に収納したら、図３の如くシリンダ４５を
伸動させて昇降部材４４を上昇位置としてから、シリン
ダ４６を伸動させてゲート弁４３をゲート口４２の形成
された側壁４１の内側周縁部に圧接して、ゲート口４２
を気密に閉塞するとともにゲート弁４３で真空吸着され
ている横蓋３５をボックス本体３１の側面フランジ部３
１ａに圧接させる。クリーンボックス３０の側面開口３
２が横蓋３５で気密に閉塞された状態において、カップ
状載置台５１の内部空間Ｕ及びこれに連通しているクリ
ーンボックス３０側の吸着用環状溝３３内部（吸着用空
間Ｓの内部）を吸排気口３４を通して真空排気し、真空
排気が完了したら付加蓋３６が載った蓋受け部材５３を
空気圧シリンダ５４で上昇させ、付加蓋３６を図３の仮
想線Ｚの如くボックス本体３１の底面に圧接させて吸排
気口３４を気密に閉塞する。その後、カップ状載置台５
１の内部空間Ｕをクリーンな空気、窒素等のクリーン気
体によりリークして内部空間Ｕを大気圧に戻す。これに
より、横蓋３５及び付加蓋３６は、クリーンボックス３
０側の吸着用環状溝３３及び吸排気口３４内部が真空で
外部が大気圧となるため、内外の圧力差によりメカニカ
ルシール機構が無くとも確実に側面開口３２及び吸排気
口３４を気密に封止する。それから、ゲート弁４３によ
る横蓋３５の吸着を解除することで、図４のように自由
に持ち運び可能な状態とすることができ、クリーンボッ
クス３０を無人搬送車等で任意の位置に搬送可能であ
る。Conversely, the transported objects 6 can be sequentially and horizontally transferred to the holder 38 of the clean box 30 which is empty in the state of FIG. When the number of articles 6 to be conveyed is stored in the clean box 30, the cylinder 45 is extended to raise the elevating member 44 as shown in FIG. 3 and then the cylinder 46 is extended to form the gate valve 43 to form the gate port 42. The inner peripheral edge of the side wall 41 is pressed against the
The horizontal lid 35, which is hermetically closed and vacuum-adsorbed by the gate valve 43, is attached to the side flange 3 of the box body 31.
1a. Side opening 3 of clean box 30
In a state where 2 is airtightly closed by the horizontal lid 35, the inner space U of the cup-shaped mounting table 51 and the inside of the suction annular groove 33 (the inside of the suction space S) on the clean box 30 side communicating therewith are removed. After the evacuation is performed through the suction / exhaust port 34, when the evacuation is completed, the lid receiving member 53 on which the additional lid 36 is mounted is raised by the pneumatic cylinder 54, and the additional lid 36 is placed on the bottom surface of the box body 31 as shown by the imaginary line Z in FIG. The intake and exhaust ports 34 are closed airtightly by pressure contact. Then, the cup-shaped mounting table 5
The internal space U is leaked with clean air, clean gas such as nitrogen, etc., and the internal space U is returned to the atmospheric pressure. Thereby, the horizontal lid 35 and the additional lid 36 are attached to the clean box 3
Since the inside of the suction annular groove 33 and the suction / exhaust port 34 on the 0 side is vacuum and the outside is at atmospheric pressure, the pressure difference between the inside and outside ensures that the side opening 32 and the suction / exhaust port 34 are hermetically sealed without a mechanical seal mechanism. Stop. Then, by releasing the suction of the side cover 35 by the gate valve 43, it is possible to freely carry the container as shown in FIG. 4, and the clean box 30 can be transported to an arbitrary position by an automatic guided vehicle or the like. is there.
【００３５】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。According to this embodiment, the following effects can be obtained.
【００３６】(1) クリーンボックス３０のボックス本
体３１の開口端面に、開口面以外の一面に配置した吸排
気口３４を通して真空排気可能な吸着用環状溝３３を形
成して、横蓋３５を真空吸着する構成としており、メカ
ニカルシールを使用することなく被搬送物取り出し用の
側面開口３２を横蓋３５で、吸排気口３４を付加蓋３６
でそれぞれ気密に閉成することができる。このため、極
めて簡単な構成により、従来品のようなメカニカルシー
ルを使用しないで、側面開口式（サイドオープンタイ
プ）構造を実現でき、メカニカルシール使用に伴う欠点
を除去できる。(1) At the opening end face of the box body 31 of the clean box 30, a suction annular groove 33 capable of evacuating through a suction / exhaust port 34 arranged on one surface other than the opening face is formed, and the horizontal lid 35 is evacuated. The side opening 32 for taking out an object to be carried is a side cover 35 and the suction / exhaust port 34 is an additional cover 36 without using a mechanical seal.
Can be closed hermetically. For this reason, with a very simple configuration, a side opening type (side open type) structure can be realized without using a mechanical seal as in a conventional product, and the disadvantages associated with using a mechanical seal can be eliminated.
【００３７】(2) クリーンボックス３０が側面開口式
であるため、クリーンルーム４０にクリーンボックス３
０を連結状態で被搬送物６を水平方向に移送して被搬送
物６の受け渡しができ、各種処理装置とのインターフェ
ースにも余分な動きが必要なくなる。また、クリーンボ
ックス３０はメカニカルシールを使用しないため、クリ
ーンルーム４０のゲート口４２に対する連結、離脱も簡
単である。(2) Since the clean box 30 is of the side opening type, the clean box 3
The transported object 6 can be transferred in the horizontal direction while the transported object 6 is transferred in a connected state, and the interface with various processing devices does not require extra movement. Further, since the clean box 30 does not use a mechanical seal, connection and disconnection from the gate port 42 of the clean room 40 are easy.
【００３８】(3) クリーンボックス３０が側面開口式
であるため、従来のクリーンボックス底面から被搬送物
を取り出す構造のように上下方向の動きを伴わず、真空
チェンジャー５０に対するクリーンボックス３０の設置
位置を高く設定する必要が無く、予めクリーンルーム４
０内での処理に適した高さに設定可能である。(3) Since the clean box 30 is of a side opening type, the clean box 30 is installed with respect to the vacuum changer 50 without a vertical movement unlike a conventional structure for taking out an object to be transferred from the bottom of the clean box. It is not necessary to set the
The height can be set to a value suitable for processing within 0.
【００３９】(4) 従来の図５のクリーンボックス１の
場合は、底部蓋体３上に蓋体チャック４をさらに装着す
る機構であるため、真空チェンジャー側の機構が複雑化
するが、この実施の形態では真空チェンジャー５０側の
機構は簡単でよい（付加蓋３６の昇降機構を備えていれ
ばよい）。(4) In the case of the conventional clean box 1 shown in FIG. 5, since the lid chuck 4 is further mounted on the bottom lid 3, the mechanism on the vacuum changer side becomes complicated. In the form (1), the mechanism on the vacuum changer 50 side may be simple (as long as the mechanism for raising and lowering the additional lid 36 is provided).
【００４０】なお、上記実施の形態では、横蓋３５をボ
ックス本体３１に対して真空吸着して保持するために、
吸着用環状溝３３内を真空排気するのに用いる吸排気口
３４をボックス本体３１の底面に設けた場合を例示した
が、底面に限らず、側面開口３２を設けた面以外の一面
に前記吸排気口３４を形成し、これを付加蓋３６で気密
に封止する構造としてもよい。In the above embodiment, in order to hold the side cover 35 by vacuum suction with respect to the box body 31,
Although the case where the suction / exhaust port 34 used to evacuate the inside of the suction annular groove 33 is provided on the bottom surface of the box body 31 is exemplified, the suction / exhaust port is not limited to the bottom surface, and may be provided on one surface other than the surface provided with the side opening 32. An exhaust port 34 may be formed, and this may be hermetically sealed with an additional lid 36.
【００４１】また、クリーンルーム４０のゲート口４２
をゲート弁４３で開閉する機構は、シリンダを用いる構
成の他に、リンク機構による構成等を適宜採用すること
ができる。The gate port 42 of the clean room 40
The mechanism that opens and closes with the gate valve 43 may employ a link mechanism or the like as appropriate in addition to the structure using a cylinder.
【００４２】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。Although the embodiments of the present invention have been described above, it is obvious to those skilled in the art that the present invention is not limited to the embodiments and various modifications and changes can be made within the scope of the claims. There will be.
【００４３】[0043]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来品のようなメカニカルシールを使用しないで、クリ
ーン気体で被搬送物を封止して移送可能な側面開口式の
クリーンボックスを簡素な構造で実現でき、メカニカル
シール使用に伴う欠点を除去できる。また、メカニカル
シールを使用しないため、クリーンボックスのクリーン
ルームのゲート口に対する連結、離脱も簡単である。As described above, according to the present invention,
Without using a mechanical seal as in conventional products, a side-opening type clean box that can transfer an object to be conveyed by sealing it with a clean gas can be realized with a simple structure, and the disadvantages associated with using a mechanical seal can be eliminated. Also, since no mechanical seal is used, connection and disconnection of the clean box from the gate port of the clean room are easy.
【図１】本発明の実施の形態であって、クリーンボック
スを真空チェンジャー上に載置した、クリーンボックス
とクリーンルームとの連結準備段階を示す正断面図であ
る。FIG. 1 is a front sectional view of an embodiment of the present invention, showing a stage of preparing a connection between a clean box and a clean room in which the clean box is placed on a vacuum changer.
【図２】同じくクリーンボックスとクリーンルームとを
連結し、それらの内部空間を連続させた状態を示す正断
面図である。FIG. 2 is a front sectional view showing a state where a clean box and a clean room are connected to each other and their internal spaces are connected.
【図３】同じくクリーンボックスを真空チェンジャー上
に載置した、クリーンボックスとクリーンルームとの分
離準備段階を示す正断面図である。FIG. 3 is a front sectional view showing a stage for preparing a separation between a clean box and a clean room, in which the clean box is placed on a vacuum changer.
【図４】分離状態のクリーンボックスを示す正断面図で
ある。FIG. 4 is a front sectional view showing the clean box in a separated state.
【図５】従来のクリーン気体封止タイプのクリーンボッ
クスを示す正断面図である。FIG. 5 is a front sectional view showing a conventional clean box of a clean gas sealing type.
【図６】メカニカルシールを使用した従来の側面開口式
半導体用搬送ボックスを示す正断面図である。FIG. 6 is a front sectional view showing a conventional side-opening type semiconductor transport box using a mechanical seal.
１，３０ クリーンボックス ２，３１ ボックス本体 ６ 被搬送物 ２０ 半導体用搬送ボックス ３２ 側面開口 ３３ 吸着用環状溝 ３４ 吸排気口 ３５ 横蓋 ３６ 付加蓋 ３８ ホルダー ４０ クリーンルーム ４１ 側壁 ４２ ゲート口 ４３ ゲート弁 ４４ 昇降部材 ４５，４６，５４，６２ シリンダ ４７ 吸引用凹部 ５０ 真空チェンジャー ５１ カップ状載置台 ５２ 昇降軸 ５３ 蓋受け部材 Reference Signs List 1, 30 Clean box 2, 31 Box body 6 Transported object 20 Semiconductor transfer box 32 Side opening 33 Suction annular groove 34 Intake / exhaust port 35 Side cover 36 Additional cover 38 Holder 40 Clean room 41 Side wall 42 Gate opening 43 Gate valve 44 Lifting member 45, 46, 54, 62 Cylinder 47 Suction recess 50 Vacuum changer 51 Cup-shaped mounting table 52 Lifting shaft 53 Cover receiving member
Claims (6)
用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
圧力差により気密に閉成する付加蓋とを備え、排気手段
及び移送手段を持たないことを特徴とするクリーンボッ
クス。A box body having an opening on one side surface, a suction annular groove surrounding the opening formed on the one side surface, and a suction / exhaust port communicating with the suction annular groove on the other surface; In the state of being attached to the box body, the suction annular groove is airtightly covered to form a suction space, and the opening is airtightly closed by being suctioned to the box body by a pressure difference between the inside and outside of the suction space. A clean box comprising: a lateral lid; and an additional lid for hermetically closing the intake / exhaust port by an internal / external pressure difference, and without an exhaust unit and a transfer unit.
用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
圧力差により気密に閉成する付加蓋とを備え、排気手段
及び移送手段を持たないクリーンボックスを用い、 側壁面に形成されたゲート口をゲート弁で気密に閉成し
たクリーン装置の当該ゲート口に、前記クリーンボック
スを気密に連結し、真空チェンジャーで前記付加蓋を含
むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して前記付加
蓋の内外圧力差を無くして前記吸排気口を開き、前記吸
排気口を通して前記吸着用空間を大気圧とした後、前記
ゲート弁で前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引
き込んで前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン
装置内部とを連通させ、両者間で被搬送物を移送するこ
とを特徴とするクリーン搬送方法。2. A box body having an opening on one side surface, a suction annular groove surrounding the opening formed on the one side surface, and a suction / exhaust port communicating with the suction annular groove on the other surface. In the state of being attached to the box body, the suction annular groove is airtightly covered to form a suction space, and the opening is airtightly closed by being suctioned to the box body by a pressure difference between the inside and outside of the suction space. A side lid and an additional lid for hermetically closing the intake / exhaust port by an internal / external pressure difference are used.A clean box without an exhaust unit and a transfer unit is used, and a gate port formed on a side wall surface is hermetically sealed with a gate valve. The clean box is air-tightly connected to the gate port of the clean device closed, and the closed space outside the box body including the additional lid is evacuated with a vacuum changer to eliminate the pressure difference between the inside and outside of the additional lid. The suction and exhaust port is opened to bring the suction space to atmospheric pressure through the suction and exhaust port. Then, the side lid is held by the gate valve and drawn into the clean device to remove the clean box internal space and the clean space. A clean transfer method characterized by communicating with the inside of an apparatus and transferring an object to be transferred between the two.
リーン装置内部とを連通させた状態から前記ゲート弁で
前記横蓋を保持して前記開口を気密に閉成した後、前記
真空チェンジャーで前記吸排気口を通して前記吸着用空
間を真空排気し、その後付加蓋で前記吸排気口を気密に
閉成するとともに前記付加蓋を含むボックス本体外側の
密閉空間を大気圧とする請求項２記載のクリーン搬送方
法。3. The state in which the internal space of the clean box and the inside of the clean device are communicated with each other, the gate valve is used to hold the side lid and the opening is airtightly closed, and then the vacuum changer is used to perform the suction and exhaust. The clean transfer method according to claim 2, wherein the suction space is evacuated through a port, and the suction / exhaust port is hermetically closed with an additional lid, and a closed space outside the box body including the additional lid is set at atmospheric pressure. .
用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
圧力差により気密に閉成する付加蓋とを備え、排気手段
及び移送手段を持たないクリーンボックスと、 側壁面に形成されたゲート口と、該ゲート口を開閉自在
で当該ゲート口に連結されたクリーンボックスの横蓋を
保持可能なゲート弁とを有するクリーン装置と、 前記ゲート口に連結されたクリーンボックスの付加蓋を
含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気する真空チ
ェンジャーとを備え、 前記真空チェンジャーで前記付加蓋の内外圧力差を無く
して前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸
着用空間を大気圧とした状態において、前記ゲート弁で
前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引き込んで前
記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部と
を連通させることを特徴とするクリーン搬送装置。4. A box body having an opening on one side surface, a suction annular groove surrounding the opening formed on the one side surface, and a suction / exhaust port communicating with the suction annular groove on another surface. In the state of being attached to the box body, the suction annular groove is airtightly covered to form a suction space, and the opening is airtightly closed by being suctioned to the box body by a pressure difference between the inside and outside of the suction space. A clean box having a side lid, an additional lid for hermetically closing the intake / exhaust port by an internal / external pressure difference, and having no exhaust means and transfer means; a gate port formed on a side wall surface; A cleaning device having a gate valve that can be opened and closed and that can hold a side lid of a clean box connected to the gate port; and a closed space outside the box body including an additional lid of the clean box connected to the gate port. A vacuum changer for evacuating, wherein the vacuum changer eliminates the pressure difference between the inside and outside of the additional lid, opens the intake / exhaust port, and sets the suction valve to atmospheric pressure through the intake / exhaust port, and the gate valve A clean transfer device for holding the horizontal lid and pulling it into the clean device to communicate the internal space of the clean box with the inside of the clean device.
本体を吸着する真空吸引路を前記ボックス本体への対接
面に形成したボックス保持部材を有し、該ボックス保持
部材の内側に前記密閉空間が形成される請求項４記載の
クリーン搬送装置。5. The vacuum changer has a box holding member in which a vacuum suction path for sucking the box body is formed on a surface facing the box body, and the closed space is formed inside the box holding member. The clean transfer device according to claim 4, wherein the cleaning is performed.
保持部材の内側に、前記ボックス本体から離脱した前記
付加蓋を支える蓋受け部材を移動自在に有している請求
項４又は５記載のクリーン搬送装置。6. The clean transfer device according to claim 4, wherein the vacuum changer has a cover receiving member for supporting the additional cover detached from the box main body inside the box holding member so as to be movable. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14720597A JP3184480B2 (en) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | Clean box, clean transfer method and device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP14720597A JP3184480B2 (en) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | Clean box, clean transfer method and device |
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