JPH10309588A - 水処理方法、水処理装置及び純水製造装置 - Google Patents
水処理方法、水処理装置及び純水製造装置Info
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- JPH10309588A JPH10309588A JP9118123A JP11812397A JPH10309588A JP H10309588 A JPH10309588 A JP H10309588A JP 9118123 A JP9118123 A JP 9118123A JP 11812397 A JP11812397 A JP 11812397A JP H10309588 A JPH10309588 A JP H10309588A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＴＯＣが著しく低減された超純水を製造す
る。 【解決手段】 原水に臭化アルカリとオゾンを添加した
後、ＵＶ照射して、ＲＯ膜分離装置やイオン交換純水装
置では除去し得ない尿素類似物質よりなるＴＯＣ成分を
効率的に分解除去する。
る。 【解決手段】 原水に臭化アルカリとオゾンを添加した
後、ＵＶ照射して、ＲＯ膜分離装置やイオン交換純水装
置では除去し得ない尿素類似物質よりなるＴＯＣ成分を
効率的に分解除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、処理水中のＴＯＣ
（全有機体炭素）を現状より大幅に低減化することがで
きる水処理方法、水処理装置及び純水製造装置に関す
る。
（全有機体炭素）を現状より大幅に低減化することがで
きる水処理方法、水処理装置及び純水製造装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、市水、地下水、工水等の原水から
超純水を製造する超純水製造システムは、基本的に、図
２に示す如く、前処理装置１、一次純水製造装置２及び
二次純水製造装置（サブシステム）３から構成される。
このうち、前処理装置１は、凝集、加圧浮上（沈殿）、
濾過装置等で構成される。一次純水製造装置２は、逆浸
透（ＲＯ）膜分離装置、イオン交換純水装置（２床３塔
式又は４床５塔式）及び脱気装置で構成され、また、二
次純水製造装置３は、紫外線（ＵＶ）酸化装置、混床式
イオン交換装置及び限外濾過（ＵＦ）膜分離装置で構成
される。
超純水を製造する超純水製造システムは、基本的に、図
２に示す如く、前処理装置１、一次純水製造装置２及び
二次純水製造装置（サブシステム）３から構成される。
このうち、前処理装置１は、凝集、加圧浮上（沈殿）、
濾過装置等で構成される。一次純水製造装置２は、逆浸
透（ＲＯ）膜分離装置、イオン交換純水装置（２床３塔
式又は４床５塔式）及び脱気装置で構成され、また、二
次純水製造装置３は、紫外線（ＵＶ）酸化装置、混床式
イオン交換装置及び限外濾過（ＵＦ）膜分離装置で構成
される。
【０００３】これらの各装置単位において、原水中のＴ
ＯＣ成分を分離、吸着、分解等の手段で低減化するもの
は、ＲＯ膜分離装置、イオン交換純水装置、ＵＶ酸化装
置であるが、原水中には、ＲＯ膜分離装置やイオン交換
純水装置では除去が困難なＴＯＣ成分が相当量含まれて
いるため、これを除去するために、サブシステム３にお
いて高価なＵＶ酸化装置を多数基設置する必要があっ
た。
ＯＣ成分を分離、吸着、分解等の手段で低減化するもの
は、ＲＯ膜分離装置、イオン交換純水装置、ＵＶ酸化装
置であるが、原水中には、ＲＯ膜分離装置やイオン交換
純水装置では除去が困難なＴＯＣ成分が相当量含まれて
いるため、これを除去するために、サブシステム３にお
いて高価なＵＶ酸化装置を多数基設置する必要があっ
た。
【０００４】この問題を解決するために、オゾン添加手
段とＵＶ酸化装置を設け、ＵＶ酸化に先立ちオゾンを添
加し、ＵＶ酸化装置におけるＴＯＣ分解能を高める方法
（以下、このオゾン添加とＵＶ酸化とを組み合せたシス
テムを「Ｏ3 −ＵＶシステム」と称す。）が提案されて
いる（特開平２−１５２５８９号公報）。Ｏ3 −ＵＶシ
ステムを採用することにより、サブシステムへのＴＯＣ
負荷を低減し、サブシステムに設置するＵＶ酸化装置の
基数を低減可能であることが予想される。
段とＵＶ酸化装置を設け、ＵＶ酸化に先立ちオゾンを添
加し、ＵＶ酸化装置におけるＴＯＣ分解能を高める方法
（以下、このオゾン添加とＵＶ酸化とを組み合せたシス
テムを「Ｏ3 −ＵＶシステム」と称す。）が提案されて
いる（特開平２−１５２５８９号公報）。Ｏ3 −ＵＶシ
ステムを採用することにより、サブシステムへのＴＯＣ
負荷を低減し、サブシステムに設置するＵＶ酸化装置の
基数を低減可能であることが予想される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｏ3 −
ＵＶシステムではＴＯＣ分解能を十分に高めることはで
きず、期待するほどの効果は得られていない。
ＵＶシステムではＴＯＣ分解能を十分に高めることはで
きず、期待するほどの効果は得られていない。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決し、原水
中のＴＯＣを効率的に分解除去してＴＯＣが著しく低減
された水を得ることができる水処理方法及び水処理装
置、並びに、ＴＯＣを効率的に分解除去することで、後
段のサブシステムにおけるＵＶ酸化装置の設置基数の低
減が可能な純水製造装置を提供することを目的とする。
中のＴＯＣを効率的に分解除去してＴＯＣが著しく低減
された水を得ることができる水処理方法及び水処理装
置、並びに、ＴＯＣを効率的に分解除去することで、後
段のサブシステムにおけるＵＶ酸化装置の設置基数の低
減が可能な純水製造装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の水処理方法
は、原水に臭化アルカリとオゾンを添加した後、紫外線
を照射して原水中の有機物を分解することを特徴とす
る。
は、原水に臭化アルカリとオゾンを添加した後、紫外線
を照射して原水中の有機物を分解することを特徴とす
る。
【０００８】請求項２の水処理装置は、原水に臭化アル
カリとオゾンを添加する手段と、臭化アルカリとオゾン
が添加された水に紫外線を照射して該水中の有機物を酸
化分解する紫外線照射手段とを備えてなることを特徴と
する。
カリとオゾンを添加する手段と、臭化アルカリとオゾン
が添加された水に紫外線を照射して該水中の有機物を酸
化分解する紫外線照射手段とを備えてなることを特徴と
する。
【０００９】本発明者らは、上記目的を達成すべく、ま
ず、ＲＯ膜分離装置及びイオン交換純水装置では除去し
得ずに残留するＴＯＣ成分（このＴＯＣ成分はＲＯ膜分
離装置及びイオン交換純水装置で除去できないものであ
るから、分子量数百以下でかつ非イオン性の物質であ
る。）について同定を行い、種々の研究により、この物
質は尿素（ＮＨ2 −ＣＯ−ＮＨ2 ）に似た窒素化合物で
あることをつきとめた。原水中に含有される本物質は、
合成された純粋の尿素とは若干異なるが、特性としては
かなり近似していることが判明した。
ず、ＲＯ膜分離装置及びイオン交換純水装置では除去し
得ずに残留するＴＯＣ成分（このＴＯＣ成分はＲＯ膜分
離装置及びイオン交換純水装置で除去できないものであ
るから、分子量数百以下でかつ非イオン性の物質であ
る。）について同定を行い、種々の研究により、この物
質は尿素（ＮＨ2 −ＣＯ−ＮＨ2 ）に似た窒素化合物で
あることをつきとめた。原水中に含有される本物質は、
合成された純粋の尿素とは若干異なるが、特性としては
かなり近似していることが判明した。
【００１０】従って、処理水中のＴＯＣを効率的に低減
するためには、この尿素類似物質を効率的に分解すれば
良い。
するためには、この尿素類似物質を効率的に分解すれば
良い。
【００１１】従来、尿素の分解法としては、臭化ナトリ
ウム（ＮａＢｒ）と酸化剤（Ｏ3 ，ＮａＣｌＯ等）とを
併用し、ＮａＢｒの酸化で生成する次亜臭素酸ナトリウ
ム（ＮａＢｒＯ）による分解法や、ウレアーゼを使用す
る酵素分解法が知られている。
ウム（ＮａＢｒ）と酸化剤（Ｏ3 ，ＮａＣｌＯ等）とを
併用し、ＮａＢｒの酸化で生成する次亜臭素酸ナトリウ
ム（ＮａＢｒＯ）による分解法や、ウレアーゼを使用す
る酵素分解法が知られている。
【００１２】本発明者らは、前述のＯ3 −ＵＶシステム
において、ＮａＢｒ等の臭化アルカリを併用したとこ
ろ、ＴＯＣを著しく効率的に分解除去できることを見出
し、本発明を完成させた。
において、ＮａＢｒ等の臭化アルカリを併用したとこ
ろ、ＴＯＣを著しく効率的に分解除去できることを見出
し、本発明を完成させた。
【００１３】臭化アルカリとオゾンを添加した後ＵＶ酸
化を行う本発明の水処理方法及び水処理装置によれば、
ＲＯ膜分離装置やイオン交換純水装置では除去し得ない
ＴＯＣ成分を効率的に分解除去することができ、処理水
のＴＯＣを著しく低減することができる。
化を行う本発明の水処理方法及び水処理装置によれば、
ＲＯ膜分離装置やイオン交換純水装置では除去し得ない
ＴＯＣ成分を効率的に分解除去することができ、処理水
のＴＯＣを著しく低減することができる。
【００１４】請求項３の純水製造装置は、このようなＴ
ＯＣ分解システムを採用したものであって、原水を脱塩
処理するＲＯ膜分離装置と、該ＲＯ膜分離装置の透過水
に臭化アルカリとオゾンを添加する手段と、該臭化アル
カリとオゾンが添加された水にＵＶを照射して該水中の
有機物を酸化分解するＵＶ照射装置と、該ＵＶ照射装置
で酸化分解処理された水を脱気処理する脱気装置と、該
脱気装置の脱気処理水をイオン交換処理するイオン交換
装置とを備えてなることを特徴とする。
ＯＣ分解システムを採用したものであって、原水を脱塩
処理するＲＯ膜分離装置と、該ＲＯ膜分離装置の透過水
に臭化アルカリとオゾンを添加する手段と、該臭化アル
カリとオゾンが添加された水にＵＶを照射して該水中の
有機物を酸化分解するＵＶ照射装置と、該ＵＶ照射装置
で酸化分解処理された水を脱気処理する脱気装置と、該
脱気装置の脱気処理水をイオン交換処理するイオン交換
装置とを備えてなることを特徴とする。
【００１５】この純水製造装置によれば、ＲＯ膜分離装
置及びイオン交換純水装置によりＴＯＣを除去すると共
に、これらの装置では除去し得ないＴＯＣ成分をＵＶ酸
化により効率的に除去することで、著しくＴＯＣが低減
された純水を製造することができ、後段のサブシステム
のＵＶ酸化装置の設置基数を低減することが可能とな
る。
置及びイオン交換純水装置によりＴＯＣを除去すると共
に、これらの装置では除去し得ないＴＯＣ成分をＵＶ酸
化により効率的に除去することで、著しくＴＯＣが低減
された純水を製造することができ、後段のサブシステム
のＵＶ酸化装置の設置基数を低減することが可能とな
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１７】本発明において、臭化アルカリとしては、
ＮａＢｒ，ＫＢｒ等を用いることができ、このような臭
化アルカリは適当な濃度、例えば、１〜１０重量％の水
溶液として添加するのが好ましい。
ＮａＢｒ，ＫＢｒ等を用いることができ、このような臭
化アルカリは適当な濃度、例えば、１〜１０重量％の水
溶液として添加するのが好ましい。
【００１８】本発明におけるオゾン及び臭化アルカリの
添加量は原水中の前記尿素類似物質によるＴＯＣ濃度に
よっても異なるが、一般的には、各々数１０ｐｐｂ以上
であれば十分な効果を得ることができる。オゾン、臭化
アルカリの好ましい添加量は、各々、１〜５０ｐｐｍ程
度である。
添加量は原水中の前記尿素類似物質によるＴＯＣ濃度に
よっても異なるが、一般的には、各々数１０ｐｐｂ以上
であれば十分な効果を得ることができる。オゾン、臭化
アルカリの好ましい添加量は、各々、１〜５０ｐｐｍ程
度である。
【００１９】オゾン及び臭化アルカリは、ＵＶ酸化装置
の入口側に添加すれば良く、同一の添加箇所から同時に
添加しても別々に添加しても良い。
の入口側に添加すれば良く、同一の添加箇所から同時に
添加しても別々に添加しても良い。
【００２０】オゾン及び臭化アルカリを添加した後は、
ＵＶ酸化装置でＵＶ照射することによりＴＯＣを分解す
るが、このオゾン及び臭化アルカリを添加後、オゾンと
臭化アルカリの反応を促進するための滞留時間を確保す
るためにＵＶ酸化装置の前段に反応塔を設け、この反応
塔で所定時間滞留させた後、ＵＶ酸化装置に送給するよ
うにしても良い。ただし、ＵＶ酸化装置内の滞留時間
も、この反応時間に寄与するため、反応塔は必ずしも必
要とされない。反応塔を設ける場合、反応塔の滞留時間
は１〜１０分程度とするのが好ましい。
ＵＶ酸化装置でＵＶ照射することによりＴＯＣを分解す
るが、このオゾン及び臭化アルカリを添加後、オゾンと
臭化アルカリの反応を促進するための滞留時間を確保す
るためにＵＶ酸化装置の前段に反応塔を設け、この反応
塔で所定時間滞留させた後、ＵＶ酸化装置に送給するよ
うにしても良い。ただし、ＵＶ酸化装置内の滞留時間
も、この反応時間に寄与するため、反応塔は必ずしも必
要とされない。反応塔を設ける場合、反応塔の滞留時間
は１〜１０分程度とするのが好ましい。
【００２１】オゾン及び臭化アルカリが添加された水に
ＵＶ照射するＵＶ酸化装置は、出力０．０１〜０．５Ｋ
ＷＨ／ｍ3 で波長１８０〜１９０ｎｍのＵＶを照射する
ものが好ましく、このＵＶ酸化装置の滞留時間は０．１
〜１０分程度とするのが好ましい。
ＵＶ照射するＵＶ酸化装置は、出力０．０１〜０．５Ｋ
ＷＨ／ｍ3 で波長１８０〜１９０ｎｍのＵＶを照射する
ものが好ましく、このＵＶ酸化装置の滞留時間は０．１
〜１０分程度とするのが好ましい。
【００２２】このＵＶ酸化により、添加されたオゾンは
殆どが分解され、ＵＶ酸化装置の流出水中には、オゾン
の残留は殆どないが、後段にイオン交換純水装置を設置
する場合には、イオン交換樹脂のオゾン劣化を防止する
ために、亜硫酸ナトリウム（Ｎａ2 ＳＯ3 ）、亜硫酸水
素ナトリウム（ＮａＨＳＯ3 ）等の還元剤を添加して残
留オゾンを完全に分解除去するのが好ましい。この場
合、これらの還元剤の好適な添加量は０．１〜５ｐｐｍ
程度である。
殆どが分解され、ＵＶ酸化装置の流出水中には、オゾン
の残留は殆どないが、後段にイオン交換純水装置を設置
する場合には、イオン交換樹脂のオゾン劣化を防止する
ために、亜硫酸ナトリウム（Ｎａ2 ＳＯ3 ）、亜硫酸水
素ナトリウム（ＮａＨＳＯ3 ）等の還元剤を添加して残
留オゾンを完全に分解除去するのが好ましい。この場
合、これらの還元剤の好適な添加量は０．１〜５ｐｐｍ
程度である。
【００２３】次に、本発明の純水製造装置を採用した超
純水製造システムを示す図１を参照して本発明の純水製
造装置を説明する。
純水製造システムを示す図１を参照して本発明の純水製
造装置を説明する。
【００２４】前処理装置１を経た水は、まずＲＯ膜分離
装置で脱塩処理する。この透過水にオゾン及びＮａＢｒ
等の臭化アルカリを添加して反応塔で所定時間滞留させ
た後、ＵＶ酸化装置でＴＯＣを分解ないしイオン化し、
その後、脱気装置でＴＯＣ分解で生成したＣＯ2 を除去
する。なお、この脱気装置を設けることで、ＵＶ酸化後
にオゾンが残留している場合でも、残留オゾンは脱気除
去されるため、その後のＮａＨＳＯ3 等の還元剤は添加
不要とすることができる。
装置で脱塩処理する。この透過水にオゾン及びＮａＢｒ
等の臭化アルカリを添加して反応塔で所定時間滞留させ
た後、ＵＶ酸化装置でＴＯＣを分解ないしイオン化し、
その後、脱気装置でＴＯＣ分解で生成したＣＯ2 を除去
する。なお、この脱気装置を設けることで、ＵＶ酸化後
にオゾンが残留している場合でも、残留オゾンは脱気除
去されるため、その後のＮａＨＳＯ3 等の還元剤は添加
不要とすることができる。
【００２５】脱気処理水は必要に応じてＮａＨＳＯ3 等
の還元剤を添加した後、イオン交換純水装置でイオン交
換処理してＵＶ酸化でイオン化されたＴＯＣを除去し、
一次純水を得る。
の還元剤を添加した後、イオン交換純水装置でイオン交
換処理してＵＶ酸化でイオン化されたＴＯＣを除去し、
一次純水を得る。
【００２６】得られた一次純水は、従来と同様にサブシ
ステム３で処理されて純度が高められ、超純水が製造さ
れる。
ステム３で処理されて純度が高められ、超純水が製造さ
れる。
【００２７】
【実施例】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げて本
発明をより詳細に説明する。
発明をより詳細に説明する。
【００２８】実施例１ 厚木市水（平成８年７月１日〜平成８年１０月３０日）
を原水として、まず、ＲＯ膜分離装置で脱塩処理し、得
られた透過水（ＲＯ処理水）にオゾン１ｐｐｍ（Ｏ3 と
して）とＮａＢｒ１ｐｐｍ（ＮａＢｒとして）を注入し
た後、反応塔で滞留させ、その後ＵＶ酸化装置でＵＶ照
射し、ＵＶ酸化装置の流出水（ＵＶ処理水）にＮａＨＳ
Ｏ3 を０．５ｐｐｍ（ＮａＨＳＯ3 として）添加した
後、イオン交換純水装置でイオン交換処理し、処理水
（ＭＢ処理水）を得た。この処理における各装置の処理
水のＴＯＣは表１に示す通りであった。
を原水として、まず、ＲＯ膜分離装置で脱塩処理し、得
られた透過水（ＲＯ処理水）にオゾン１ｐｐｍ（Ｏ3 と
して）とＮａＢｒ１ｐｐｍ（ＮａＢｒとして）を注入し
た後、反応塔で滞留させ、その後ＵＶ酸化装置でＵＶ照
射し、ＵＶ酸化装置の流出水（ＵＶ処理水）にＮａＨＳ
Ｏ3 を０．５ｐｐｍ（ＮａＨＳＯ3 として）添加した
後、イオン交換純水装置でイオン交換処理し、処理水
（ＭＢ処理水）を得た。この処理における各装置の処理
水のＴＯＣは表１に示す通りであった。
【００２９】なお、用いた装置の仕様及び処理条件は下
記の通りである。
記の通りである。
【００３０】 ＲＯ膜分離装置：日東電工（株）製「ＮＴＲ−７５９ＨＲ−Ｓ４」 通水圧力１５ｋｇ／ｃｍ2 反応塔：滞留時間１０分 ＵＶ酸化装置：栗田工業（株）製ＵＬＵＶOX 出力 ０．０５ＫＷＨ／ｍ3 滞留時間 ０．５分 イオン交換純水装置：非再生型混床式イオン交換装置 通水ＳＶ３０ｈｒ-1 比較例１ 実施例１において、ＮａＢｒを添加せずＯ3 のみを添加
してＵＶ酸化処理したこと以外は同様にして処理を行
い、各装置の処理水のＴＯＣを表１に示した。
してＵＶ酸化処理したこと以外は同様にして処理を行
い、各装置の処理水のＴＯＣを表１に示した。
【００３１】
【表１】
【００３２】表１より、本発明によれば、ＴＯＣを著し
く低減できることがわかる。即ち、本発明では、ＵＶ酸
化により、ＴＯＣが効率的に分解されてイオン化されて
いるために、これがイオン交換純水装置で極低濃度にま
で除去され、ＴＯＣは著しく低減される。
く低減できることがわかる。即ち、本発明では、ＵＶ酸
化により、ＴＯＣが効率的に分解されてイオン化されて
いるために、これがイオン交換純水装置で極低濃度にま
で除去され、ＴＯＣは著しく低減される。
【００３３】実施例２ 図１に示す超純水製造システムにより厚木市水（平成８
年７月１日〜平成８年１０月３０日）を原水として超純
水の製造を行った。なお、前処理装置としては、原水と
して市水を用いたため、凝集・加圧浮上（沈澱）・濾過
装置は省略した。
年７月１日〜平成８年１０月３０日）を原水として超純
水の製造を行った。なお、前処理装置としては、原水と
して市水を用いたため、凝集・加圧浮上（沈澱）・濾過
装置は省略した。
【００３４】用いた各装置の仕様及び処理条件は次の通
りである。
りである。
【００３５】一次純水製造装置 ＲＯ膜分離装置：日東電工（株）製「ＮＴＲ−７５９ＨＲ−Ｓ４」 通水圧力１５ｋｇ／ｃｍ2 オゾン注入量：１ｐｐｍ（ａｓＯ3 ） ＮａＢｒ注入量：１ｐｐｍ（ａｓＮａＢｒ） 反応塔：滞留時間１０分 ＵＶ酸化装置：栗田工業（株）製ＵＬＵＶOX 出力 ０．０５ＫＷＨ／ｍ3 滞留時間 ０．５分 脱気装置：窒素脱気装置 水：ガス＝１：１（体積比） ＮａＨＳＯ3 注入量：０．５ｐｐｍ（ａｓＮａＨＳＯ3 ） イオン交換純水装置：非再生型混床式イオン交換装置 通水ＳＶ３０ｈｒ-1 サブシステム ＵＶ酸化装置：栗田工業（株）製ＵＬＵＶOX 出力 ０．１５ＫＷＨ／ｍ3 滞留時間 ０．５分 混床式イオン交換装置：通水ＳＶ６０ｈｒ-1 ＵＦ膜分離装置：外圧中空糸型ＵＦ膜 得られた超純水の水質を表２に示す。
【００３６】
【表２】
【００３７】表２より、本発明の純水製造装置によれ
ば、著しく高水質の超純水を製造することができること
がわかる。
ば、著しく高水質の超純水を製造することができること
がわかる。
【００３８】なお、同程度の水質の超純水を図２に示す
従来の超純水製造システムで製造する場合のサブシステ
ムのＵＶ酸化装置の必要出力は０．３ＫＷＨ／ｍ3 以上
であり、本発明の純水製造装置によれば、サブシステム
のＵＶ酸化装置の出力（設置基数）を低減して設置コス
ト、運転コストの低減を図ることができることがわか
る。
従来の超純水製造システムで製造する場合のサブシステ
ムのＵＶ酸化装置の必要出力は０．３ＫＷＨ／ｍ3 以上
であり、本発明の純水製造装置によれば、サブシステム
のＵＶ酸化装置の出力（設置基数）を低減して設置コス
ト、運転コストの低減を図ることができることがわか
る。
【００３９】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の水処理方法
及び水処理装置によれば、ＴＯＣが著しく低減された処
理水を得ることができる。また、本発明の純水製造装置
によれば、市水、地下水、工業用水を原水として純水を
製造するに当り、得られる純水に含まれるＴＯＣを著し
く低減し、極めて純度の高い純水を製造することが可能
とされ、これにより、後段のサブシステムにおけるＵＶ
酸化装置の設置基数を低減し、設置コスト、電力コスト
の低減を図ることができる。
及び水処理装置によれば、ＴＯＣが著しく低減された処
理水を得ることができる。また、本発明の純水製造装置
によれば、市水、地下水、工業用水を原水として純水を
製造するに当り、得られる純水に含まれるＴＯＣを著し
く低減し、極めて純度の高い純水を製造することが可能
とされ、これにより、後段のサブシステムにおけるＵＶ
酸化装置の設置基数を低減し、設置コスト、電力コスト
の低減を図ることができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る超純水製造システム
を示す系統図である。
を示す系統図である。
【図２】従来の超純水製造システムを示す系統図であ
る。
る。
１ 前処理装置 ２ 一次純水製造装置 ３ 二次純水製造装置（サブシステム）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０２Ｆ 1/76 Ｃ０２Ｆ 1/76 Ｚ 1/78 1/78 9/00 ５０２ 9/00 ５０２Ｆ ５０２Ｊ ５０２Ｎ ５０２Ｒ ５０２Ｚ ５０３ ５０３Ｂ ５０４ ５０４Ｂ
Claims (3)
- 【請求項１】 原水に臭化アルカリとオゾンを添加した
後、紫外線を照射して原水中の有機物を分解することを
特徴とする水処理方法。 - 【請求項２】 原水に臭化アルカリとオゾンを添加する
手段と、臭化アルカリとオゾンが添加された水に紫外線
を照射して該水中の有機物を酸化分解する紫外線照射手
段とを備えてなる水処理装置。 - 【請求項３】 原水を脱塩処理する逆浸透膜分離装置
と、 該逆浸透膜分離装置の透過水に臭化アルカリとオゾンを
添加する手段と、 該臭化アルカリとオゾンが添加された水に紫外線を照射
して該水中の有機物を酸化分解する紫外線照射装置と、 該紫外線照射装置で酸化分解処理された水を脱気処理す
る脱気装置と、 該脱気装置の脱気処理水をイオン交換処理するイオン交
換装置とを備えてなることを特徴とする純水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9118123A JPH10309588A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 水処理方法、水処理装置及び純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9118123A JPH10309588A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 水処理方法、水処理装置及び純水製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10309588A true JPH10309588A (ja) | 1998-11-24 |
Family
ID=14728613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9118123A Pending JPH10309588A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 水処理方法、水処理装置及び純水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10309588A (ja) |
Cited By (9)
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