JPH1030679A

JPH1030679A - 自動車用部品及びそれらの製造方法

Info

Publication number: JPH1030679A
Application number: JP8202916A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Nakahigashi; 孝浩中東; Akira Doi; 陽土居
Original assignee: Nissin Electric Co Ltd
Current assignee: Nissin Electric Co Ltd
Priority date: 1996-07-13
Filing date: 1996-07-13
Publication date: 1998-02-03
Anticipated expiration: 2016-07-13
Also published as: JP3637687B2

Abstract

(57)【要約】【課題】他の物品や部材との摺動性、耐摩耗性、ガス
バリア性、撥水性のうち幾つかの点で優れた自動車用部
品及びそれらの製造方法を提供する。【解決手段】他物品との接触面Ｓ１´に耐摩耗性、潤
滑性のある炭素膜Ｆが形成されている自動車用防振部
材、外表面Ｓ２´に耐摩耗性、潤滑性、ガスバリア性の
ある炭素膜Ｆが形成されている自動車用ホース、外表面
（路面との接触部分を除く）Ｓ３´に耐摩耗性、潤滑
性、ガスバリア性、撥水性のある炭素膜Ｆが形成されて
いる自動車用タイヤ、外表面Ｓ４´に耐摩耗性、撥水性
のある炭素膜Ｆが形成されている自動車用ダイヤフラ
ム、他物品との接触面Ｓ５´に耐摩耗性、潤滑性のある
炭素膜Ｆが形成されている自動車用バルブ部品、他物品
との接触面Ｓ６´に耐摩耗性、潤滑性のある炭素膜Ｆが
形成されている自動車用シール材、外表面Ｓ７´に耐摩
耗性、撥水性のある炭素膜Ｆが形成されている自動車用
フロントガラス、外表面Ｓ８´に耐摩耗性、撥水性のあ
る炭素膜Ｆが形成されている自動車用ボディ及びそれら
の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自動車用部品、特
に自動車の駆動部、操舵部、排気部、ボディ接続部、懸
架部、エンジン部等で用いられる自動車用防振部材、自
動車の燃料系、エアー系、オイル系、空調用冷媒系、ブ
レーキ系、冷却水系等で用いられる自動車用ホース、自
動車用タイヤ、フロントガラス洗浄液供給用のダイヤフ
ラムポンプ、燃料供給制御系で使用されるダイヤフラム
ポンプ等で用いられる自動車用ダイヤフラム、自動車用
バルブ部品、管の接続部位に用いるシール材、ピストン
リング用シール材、パッキン類等の自動車用シール材、
自動車用のフロントガラス等の窓ガラス、自動車用ボデ
ィ（完成品の部品を含む）及びそれらの製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】自動車用防振部材、自動車用ホース、自
動車用タイヤ、自動車用シール材の材質として、ゴム、
樹脂等の高分子材料が多用されている。表面が高分子材
料からなる自動車用防振部材は、他物品との摺動性を向
上させ、他物品との接触による摩耗を防止し、また、劣
化を防止するために、表面にグリースを塗布したり、基
材にオイルを添加して成形したり等する。

【０００３】また、表面が高分子材料からなる自動車用
ホースは、他物品との摺動性を向上させ、他物品との接
触による摩耗を防止し、劣化を防止するために、表面に
グリースを塗布したり、基材にオイルを添加して成形し
たり等する。また、酸素、水蒸気その他のガスの透過を
抑制するために、外表面にガスバリア性を有する樹脂膜
を被覆したり等する。

【０００４】また、自動車用タイヤは、ホイールとの接
触による摩耗、劣化を防止し、また外部からの光や排気
ガスによる劣化を防止するために、表面にグリースやワ
ックスを塗布したり、基材にオイルを添加して成形した
り等する。また、自動車用シール材は、該シール材によ
りシールされる物品との接触による摩耗、劣化を防止す
るために、表面にグリースを塗布したり、基材にオイル
を添加して成形したり等する。

【０００５】また、自動車用ダイヤフラムは、フロント
ガラス洗浄液供給用のダイヤフラムポンプや燃料供給制
御系で使用されるダイヤフラムポンプ、ダイヤフラム弁
等に用いられ、その材質として通常ゴム、樹脂等の高分
子材料が用いられている。また、自動車用バルブ部品の
材質として、比較的耐熱性が優れるポリイミド系樹脂、
ポリテトラフルオロエチレン樹脂等の樹脂が提案されて
いる。

【０００６】また、自動車用フロントガラスは（車種に
よってはリアガラスも）雨滴をワイパーブレードで払拭
している。また、自動車用ボディには通常樹脂からなる
装飾用塗膜が被覆される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、自動車
用防振部材、自動車用ホース、自動車用タイヤ、自動車
用シール材の表面にグリースやワックスを塗布する方法
では、これらの使用開始時には他物品との比較的良好な
摺動性等の所望特性が得られても、時間とともに表面の
グリースが他部分へ分散したり、吸収されたり、脱落し
たりして少なくなり、表面が摩耗、劣化したり、摺動性
が低下したりする。

【０００８】また、基材中にオイルを添加して自動車用
防振部材、自動車用ホース、自動車用タイヤ、自動車用
シール材に成形する方法では、これらの使用開始時には
比較的良好な摺動性等の所望特性が得られても、時間と
ともに表面部分に含まれるオイルが他物品に吸収される
等して少なくなり、表面が摩耗、劣化したり、摺動性が
低下したりする。

【０００９】また、自動車用防振部材は通常金属からな
る物品と接触して用いられ、自動車用ホースは金属から
なる固定具で固定して用いられることが多く、自動車用
タイヤでは金属からなるホイールと接触して用いられ、
自動車用シール材は通常金属からなるパイプ等と接触し
て用いられるため、このような場合、表面にグリースを
塗布する方法や基材中にオイルを添加して成形する方法
では、金属製物品との摩擦による表面の摩耗や劣化を十
分に防止することができない。

【００１０】また、ガスバリア性を有する樹脂膜を被覆
した自動車用ホースでも、表面が樹脂からなるため、同
様に長期にわたり他物品との良好な摺動性が得られず、
また金属等の硬い材質からなる物品との摩擦により表面
が摩耗、劣化し易い。また、自動車用タイヤについて
は、タイヤ外部から内部へ水蒸気が透過し易く、内部に
チューブを有するものでは水蒸気により該チューブが劣
化し易かった。また、雨天時には外周の溝の中に水、泥
が溜まり易かった。

【００１１】また、高分子材料からなる自動車用ダイヤ
フラムは、そのダイヤフラムを固定するための金属から
なる物品等との接触により摩耗、劣化し易く、また、そ
のダイヤフラムが取り扱う液体等の流体が付着し易いと
いう問題がある。また、樹脂からなる自動車用バルブ部
品は、弁体と弁座が相互に接触することにより摩耗、劣
化したり、摺動性が低下したりする。

【００１２】また、自動車用窓ガラスに付着した雨滴を
ワイパーブレードで払拭する方法では、十分払拭できな
いことがあったり、払拭した直後から再び雨滴が付着し
て十分に雨滴を除去できないことがある。また、自動車
用ボディでは他物品との接触により装飾用塗装が剥がれ
易く、また撥水性が悪いために該塗膜に付着した塵埃を
除去し難い。

【００１３】そこで本発明は、他の物品や部材との摺動
性、耐摩耗性、撥水性、ガスバリア性のうち幾つかの点
で優れた自動車用部品及びその製造方法を提供すること
を課題とする。特に、他物品との摺動性が良好で、耐摩
耗性に優れ、劣化し難い自動車用防振部材及びその製造
方法を提供することを課題とする。また特に、他物品と
の摺動性が良好で、耐摩耗性に優れ、劣化し難く、さら
にガスバリア性に優れる自動車用ホース及びその製造方
法を提供することを課題とする。

【００１４】また特に、他物品との摺動性が良好で、耐
摩耗性に優れ、劣化し難く、さらにガスバリア性、撥水
性に優れる自動車用タイヤ及びその製造方法を提供する
ことを課題とする。また特に、耐摩耗性に優れ、劣化し
難く、さらに撥水性に優れる自動車用ダイヤフラム及び
その製造方法を提供することを課題とする。

【００１５】また特に、他物品との摺動性が良好で、耐
摩耗性に優れ、劣化し難い自動車用バルブ部品及びその
製造方法を提供することを課題とする。また特に、他物
品との摺動性が良好で、耐摩耗性に優れ、劣化し難い自
動車用シール材及びその製造方法を提供することを課題
とする。また特に、耐摩耗性、撥水性に優れる自動車用
窓ガラス及びその製造方法を提供することを課題とす
る。

【００１６】また特に、耐摩耗性、撥水性に優れる自動
車用ボディ及びその製造方法を提供することを課題とす
る。

【００１７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性の
ある炭素膜が形成されていることを特徴とする自動車用
防振部材を提供する。また本発明は、表面の一部又は全
部に耐摩耗性、潤滑性のある炭素膜を形成する工程を含
むことを特徴とする自動車用防振部材の製造方法を提供
する。

【００１８】また、前記課題を解決するために本発明
は、表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性、ガスバリ
ア性のある炭素膜が形成されていることを特徴とする自
動車用ホースを提供する。また本発明は、表面の一部又
は全部に耐摩耗性、潤滑性、ガスバリア性のある炭素膜
を形成する工程を含むことを特徴とする自動車用ホース
の製造方法を提供する。

【００１９】また、前記課題を解決するために本発明
は、表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性、ガスバリ
ア性、撥水性のある炭素膜が形成されていることを特徴
とする自動車用タイヤを提供する。また本発明は、表面
の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性、ガスバリア性、撥
水性のある炭素膜を形成する工程を含むことを特徴とす
る自動車用タイヤの製造方法を提供する。

【００２０】また、前記課題を解決するために本発明
は、表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水性のある炭素
膜が形成されていることを特徴とする自動車用ダイヤフ
ラムを提供する。また本発明は、表面の一部又は全部に
耐摩耗性、撥水性のある炭素膜を形成する工程を含むこ
とを特徴とする自動車用ダイヤフラムの製造方法を提供
する。

【００２１】また、前記課題を解決するために本発明
は、表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性のある炭素
膜が形成されていることを特徴とする自動車用バルブ部
品を提供する。また本発明は、表面の一部又は全部に耐
摩耗性、潤滑性のある炭素膜を形成する工程を含むこと
を特徴とする自動車用バルブ部品の製造方法を提供す
る。

【００２２】また、前記課題を解決するために本発明
は、表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性のある炭素
膜が形成されていることを特徴とする自動車用シール材
を提供する。また本発明は、表面の一部又は全部に耐摩
耗性、潤滑性のある炭素膜を形成する工程を含むことを
特徴とする自動車用シール材の製造方法を提供する。ま
た、前記課題を解決するために本発明は、表面の一部又
は全部に耐摩耗性、撥水性のある炭素膜が形成されてい
ることを特徴とする自動車用窓ガラスを提供する。また
本発明は、表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水性のあ
る炭素膜を形成する工程を含むことを特徴とする自動車
用窓ガラスの製造方法を提供する。

【００２３】また、前記課題を解決するために本発明
は、表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水性のある炭素
膜が形成されていることを特徴とする自動車用ボディ
（完成品の部品を含む）を提供する。また本発明は、表
面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水性のある炭素膜を形
成する工程を含むことを特徴とする自動車用ボディ（完
成品の部品を含む）の製造方法を提供する。

【００２４】本発明に係る自動車用防振部材は、自動車
用防振部材基体の表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性を有する炭素膜が形成されているため、その部分は他
物品との滑りが良く、またその部分は他物品との摩擦に
より摩耗や劣化が生じ難い。さらに、該炭素膜が摩耗し
難いことから良好な潤滑性が長期にわたり維持される。

【００２５】前記自動車用防振部材基体の表面の一部又
は全部としては、例えば他物品との接触面等が考えられ
る。また、本発明に係る自動車用ホースは、自動車用ホ
ース基体の表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性を有
する炭素膜が形成されているため、その部分は他物品と
の滑りが良く、またその部分は他物品との摩擦により摩
耗や劣化が生じ難い。さらに、該炭素膜が摩耗し難いこ
とから良好な潤滑性が長期にわたり維持される。また、
該炭素膜はガスバリア性を有しているため、本発明に係
る自動車用ホースは、ホースの該炭素膜形成部分では外
部から内部へ或いは内部から外部へガスが透過し難い。

【００２６】前記自動車用ホース基体の表面の一部又は
全部としては、炭素膜を形成する目的によっても異なる
が、他物品との接触面や外表面等が考えられる。また、
本発明に係る自動車用タイヤは、自動車用タイヤ基体の
表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性を有する炭素膜
が形成されているため、その部分は他物品との滑りが良
く、またその部分は他物品との摩擦により摩耗や劣化が
生じ難い。さらに、該炭素膜が摩耗し難いことから良好
な潤滑性が長期にわたり維持される。特に、ホイールと
の接触部分に炭素膜が形成されているときには該ホイー
ルとの摩擦によっても摩耗、劣化し難い。また外表面
（路面との接触面を除く）に炭素膜が形成されていると
きには外部からの光や排気ガスに曝されても劣化し難
い。また、該炭素膜はガスバリア性を有しているため、
タイヤの内表面に炭素膜が形成されているときには、タ
イヤ外部から内部へ水蒸気が透過し難く、タイヤの内部
にチューブを有するタイプのものでは水蒸気による該チ
ューブの劣化が抑制される。さらに、該炭素膜は撥水性
を有しているため、タイヤ外周の溝の内表面に炭素膜が
形成されているときには、雨天時にも該溝内に水や泥等
が溜まり難い。なお、本発明に係る自動車用タイヤは、
タイヤ外周の路面との接触面には炭素膜は形成されてい
ない。

【００２７】また、本発明に係る自動車用ダイヤフラム
は、自動車用ダイヤフラム基体の表面の一部又は全部に
耐摩耗性、撥水性を有する炭素膜が形成されているた
め、その部分は他物品との摩擦により摩耗や劣化が生じ
難く、また、その部分にはダイヤフラムが取り扱う液体
等が付着し難い。前記自動車用ダイヤフラム基体の表面
の一部又は全部としては、該自動車用ダイヤフラムの固
定具等の他物品との接触面や前記液体等との接触面等が
考えられる。

【００２８】また、本発明に係る自動車用バルブ部品
は、自動車用バルブ部品基体の表面の一部又は全部に耐
摩耗性、潤滑性を有する炭素膜が形成されているため、
その部分は他物品との滑りが良く、またその部分は他物
品との摩擦により摩耗や劣化が生じ難い。さらに、該炭
素膜が摩耗し難いことから良好な潤滑性が長期にわたり
維持される。

【００２９】前記自動車用バルブ部品基体の表面の一部
又は全部としては、他物品との接触面等が考えられる。
この接触面は例えば弁体基体では弁座との接触面であ
り、弁座基体では弁体との接触面である。また、本発明
に係る自動車用シール材は、自動車用シール材基体の表
面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性を有する炭素膜が
形成されているため、その部分は他物品との滑りが良
く、またその部分は他物品との摩擦により摩耗や劣化が
生じ難い。さらに、該炭素膜が摩耗し難いことから良好
な潤滑性が長期にわたり維持される。

【００３０】前記自動車用シール材基体の表面の一部又
は全部としては、例えば他物品との接触面等が考えられ
る。また、本発明における自動車用窓ガラス（例えばフ
ロントガラス）は、自動車用窓ガラス基体の表面の一部
又は全部に耐摩耗性、撥水性を有する炭素膜が形成され
ているため、その部分は他物品（例えば砂等の粒子）と
の接触により傷がつき難く、また、雨天時にもその部分
には雨滴が付着し難い。

【００３１】また、本発明における自動車用ボディは、
自動車用ボディ基体の表面の一部又は全部に耐摩耗性、
撥水性を有する炭素膜が形成されているため、その部分
は他物品との接触によっても装飾用の塗装に傷がつき難
く、また雨天時にもその部分には雨滴が付着し難く、そ
の部分に付着した塵埃を除去し易い。本発明における自
動車用防振部材基体、自動車用ホース基体、自動車用ダ
イヤフラム基体及び自動車用シール材基体は、少なくと
も膜形成面が、それぞれ有機材料、例えばゴム、樹脂か
ら選ばれた少なくとも１種の有機材料からなるものであ
ることが考えられる。

【００３２】ゴムとしては、天然ゴム、ブチルゴム、エ
チレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム、塩素化ポリ
エチレンゴム、エピクロルヒドリンゴム、アクリルゴ
ム、ニトリルゴム、ウレタンゴム、シリコンゴム、フッ
素ゴム等を例示できる。また、本発明の自動車用防振部
材が重量物を保持するものであるとき等、強度や硬度が
大きいことが求められる場合、その基体の材料又は表面
材料としてゴムより強度や硬度が大きい樹脂を用いるこ
とができる。

【００３３】また、本発明の自動車用ホースが排気ガス
等の反応性ガスを通すためのホースであるとき等は、ゴ
ムより化学的に安定で劣化し難い樹脂をその基体の材料
又はガス接触表面材料として用いることができる。ま
た、本発明の自動車用ダイヤフラムや自動車用シール材
についても同様で、反応性が高いガスや液体と接触する
とき等は、ゴムより化学的に安定で劣化し難い樹脂をそ
の材料又はガス若しくは液体接触表面材料として用いる
ことができる。自動車用シール材基体の材料又は表面材
料として用いることができる樹脂としては、例えばポリ
アミド系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂等を挙
げることができる。

【００３４】また、本発明における自動車用バルブ部品
基体は、少なくとも膜形成面が、比較的耐熱性が高い、
ポリイミド系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂等
の樹脂その他の有機材料からなるものであることが考え
られる。また、本発明における自動車用ボディ基体は、
少なくとも膜形成面が、樹脂等の有機材料からなるもの
であることが考えられる。一般には、自動車用ボディは
金属等からなるボディ本体の外表面に樹脂等からなる塗
膜が形成されている。ボディ本体も樹脂製の場合があ
る。

【００３５】また、本発明における炭素膜としては、代
表例としてＤＬＣ(Diamond Like Carbon) （ダイヤモン
ド状炭素）膜を挙げることができる。ＤＬＣ膜は、潤滑
性良好であり、また、他物品との摩擦により摩耗し難
く、且つ、その厚さを調整することにより、基体が柔軟
性を有するものである場合にも該基体本来の柔軟性を損
なわない程度にすることができる、適度な硬度を有する
炭素膜である。また、ガスバリア性、撥水性が良好であ
るとともに、電気絶縁性が良好である。また、その厚さ
を調整することにより、光を透過できるため、自動車用
窓ガラスの表面に形成する膜として適している。さら
に、比較的低温で形成できる等、成膜を容易に行うこと
ができる。

【００３６】また、いずれにしても前記炭素膜の膜厚
は、基体上に密着性良好に形成でき、さらに基体の保護
膜として十分機能できるとともに、基体が柔軟性を有す
るものである場合にも該基体本来の柔軟性を損なわない
範囲内であればよい。また、本発明に係る自動車用防振
部材の製造方法、自動車用ホースの製造方法、自動車用
タイヤの製造方法、自動車用ダイヤフラムの製造方法、
自動車用バルブ部品の製造方法、自動車用シール材の製
造方法、自動車用窓ガラスの製造方法及び自動車用ボデ
ィの製造方法において、前記炭素膜形成に先立ち、前処
理として、前記各基体の膜形成面をそれぞれ前処理用ガ
ス、例えばフッ素（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及
び酸素（Ｏ₂）ガスから選ばれた少なくとも１種の前処
理用ガスのプラズマに曝すことが考えられる。この場
合、本発明の自動車用防振部材、自動車用ホース、自動
車用タイヤ、自動車用ダイヤフラム、自動車用バルブ部
品、自動車用シール材、自動車用窓ガラス及び自動車用
ボディにおいて、前記各基体は、それぞれこのような前
処理を施されたものとなる。

【００３７】前記フッ素含有ガスとしては、フッ素（Ｆ
₂）ガス、３フッ化窒素（ＮＦ₃）ガス、６フッ化硫黄
（ＳＦ₆）ガス、４フッ化炭素（ＣＦ₄）ガス、４フッ
化ケイ素（ＳｉＦ₄）ガス、６フッ化２ケイ素（Ｓｉ₂
Ｆ₆）ガス、３フッ化塩素（ＣｌＦ₃）ガス、フッ化水
素（ＨＦ）ガス等を挙げることができる。前記各基体
を、それぞれ前記前処理用ガスのプラズマに曝すことに
より、基体表面が清浄化され、又はさらに基体表面粗度
が向上する。これらは、炭素膜の密着性向上に寄与し、
高密着性炭素膜を得ることができる。

【００３８】また、自動車用防振部材基体、自動車用ホ
ース基体、自動車用ダイヤフラム基体、自動車用バルブ
部品基体、自動車用シール材基体及び自動車用ボディ基
体の膜形成面がそれぞれゴム、樹脂等の有機材料からな
る場合、自動車用窓ガラスの場合及び普通には有機材料
から形成されている自動車用タイヤの場合、フッ素含有
ガスプラズマを採用するときは、これによって基体表面
がフッ素終端され、水素ガスプラズマを採用するときは
これによって基体表面が水素終端される。フッ素−炭素
結合及び水素−炭素結合は安定であるため、前記のよう
に終端処理することで膜中の炭素原子が基体表面部分の
フッ素原子又は水素原子と安定に結合を形成する。そし
てこれらのことから、その後形成する炭素膜と前記基体
との密着性を向上させることができる。

【００３９】また、酸素ガスプラズマを採用するとき
は、基体表面に付着した有機物等の汚れを特に効率良く
除去でき、これらのことからその後形成する炭素膜と前
記基体との密着性を向上させることができる。本発明方
法において、それぞれ炭素膜形成に先立って行うプラズ
マによる基体の前処理は、同種類のプラズマを用いて或
いは異なる種類のプラズマを用いて複数回行っても構わ
ない。例えば、自動車用防振部材基体、自動車用ホース
基体、自動車用ダイヤフラム基体、自動車用バルブ部品
基体、自動車用シール材基体及び自動車用ボディ基体の
膜形成面がそれぞれゴム、樹脂等の有機材料からなる場
合、自動車用窓ガラスの場合及び普通には有機材料から
形成されている自動車用タイヤの場合、該基体を酸素ガ
スプラズマに曝した後、フッ素含有ガスプラズマ又は水
素ガスプラズマに曝し、その上に炭素膜を形成するとき
には、基体表面がクリーニングされた後、該面がフッ素
終端又は水素終端されて、その後形成する炭素膜と該基
体表面との密着性は非常に良好なものとなる。

【００４０】また、本発明における炭素膜形成方法とし
ては、少なくともその膜形成面の材質としてゴム、樹脂
等の比較的耐熱性に劣る材料を用いた基体に熱的損傷を
与えない温度範囲で膜形成できる方法として、プラズマ
ＣＶＤ法、スパッタリング法、イオンプレーティング法
等を挙げることができるが、特にプラズマＣＶＤ法を用
いる場合は、被成膜基体のプラズマによる前処理と炭素
膜形成とを同一の装置で行うことができる。

【００４１】プラズマＣＶＤ法により炭素膜を形成する
場合のプラズマ原料ガスとしては、炭素膜形成に一般に
用いられるメタン（ＣＨ₄）、エタン（Ｃ₂Ｈ₆）、プ
ロパン（Ｃ₃Ｈ₈）、ブタン（Ｃ₄Ｈ₁₀）、アセチレン
（Ｃ₂Ｈ₂）、ベンゼン（Ｃ₆Ｈ₆）、４フッ化炭素
（ＣＦ₄）、６フッ化２炭素（Ｃ₂Ｆ₆）等の炭素化合
物ガス、及び必要に応じて、これらの炭素化合物ガスに
キャリアガスとして水素ガス、不活性ガス等を混合した
ものを用いることができる。

【００４２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明に係る自動車用防振
部材の製造、自動車用ホースの製造、自動車用タイヤの
製造、自動車用ダイヤフラムの製造、自動車用バルブ部
品の製造、自動車用シール材の製造、自動車用窓ガラス
の製造及び自動車用ボディの製造にそれぞれ用いること
ができる成膜装置の１例の概略構成を示す図である。ま
た、図３（Ａ）は本発明に係る自動車用防振部材の１例
の断面図であり、図３（Ｂ）は本発明に係る自動車用ホ
ースの１例の断面図であり、図３（Ｃ）は本発明に係る
自動車用タイヤの１例の断面図であり、図３（Ｄ）は本
発明に係る自動車用ダイヤフラムの１例の断面図であ
り、図３（Ｅ）は本発明に係る自動車用バルブ部品の１
例（弁体）の一部の側面図であり、図３（Ｆ）は本発明
に係る自動車用シール材の１例の断面図であり、図３
（Ｇ）は本発明に係る自動車用窓ガラスの１例（フロン
トガラス）の断面図であり、図３（Ｈ）は本発明に係る
自動車用ボディ特にその部品の１例の断面図である。

【００４３】この装置は、排気装置１１が付設された真
空チャンバ１を有し、チャンバ１内には電極２及びこれ
に対向する位置に電極３が設置されている。電極３は接
地され、電極２にはマッチングボックス２２を介して高
周波電源２３が接続されている。また、電極２にはその
上に支持される被成膜基体を成膜温度に加熱するための
ヒータ２１が付設されている。また、チャンバ１にはガ
ス供給部４が付設されて、内部にプラズマ原料ガスを導
入できるようになっている。ガス供給部４には、マスフ
ローコントローラ４１１、４１２・・・及び弁４２１、
４２２・・・を介して接続された１又は２以上のプラズ
マ原料ガスのガス源４３１、４３２・・・が含まれる。

【００４４】この装置を用いて本発明に係る自動車用防
振部材を製造するにあたっては、自動車用防振部材基体
Ｓ１を他物品との接触面Ｓ１´を対向する電極３の方に
向けて電極２上に配置し、排気装置１１の運転にてチャ
ンバ１内部を所定の真空度にする。次いで、ガス供給部
４からチャンバ１内にフッ素含有ガス、水素ガス及び酸
素ガスのうち１種以上のガスを前処理用ガスとして導入
するとともに高周波電源２３からマッチングボックス２
２を介して電極２に高周波電力を供給し、これにより前
記導入した前処理用ガスをプラズマ化し、該プラズマの
下で基体Ｓ１の表面処理を行う。なお、この表面処理
（前処理）は行うことが望ましいが、必ずしも要しな
い。

【００４５】次いで、必要に応じてチャンバ１内を再び
真空引きした後、ガス供給部４からチャンバ１内に成膜
用原料ガスとして炭素化合物ガスを導入するとともに高
周波電源２３から電極２に高周波電力を供給し、これに
より前記導入した炭素化合物ガスをプラズマ化し、該プ
ラズマの下で基体Ｓ１の他物品との接触面Ｓ１´に炭素
膜を形成する。

【００４６】このようにして、図３（Ａ）に示すよう
に、自動車用防振部材基体Ｓ１の他物品との接触面Ｓ
１′に炭素膜Ｆが形成された炭素膜被覆自動車用防振部
材が得られる。また、この装置を用いて本発明に係る自
動車用ホースを製造するにあたっても、前記自動車用防
振部材の製造と同様にして、自動車用ホース基体Ｓ２の
外表面Ｓ２´（図３参照）に前記表面処理及び炭素膜形
成を行う。この間、自動車用ホース基体Ｓ２の一部を電
極２に接触させて、図示しない回転手段にて基体Ｓ２を
その軸の回りに回転させ、基体Ｓ２の外表面Ｓ２´にほ
ぼ均一に表面処理及び成膜が行われるようにする。前記
の防振部材についても必要に応じ同様に回転させればよ
い。

【００４７】このようにして、図３（Ｂ）に示すよう
に、自動車用ホース基体Ｓ２の外表面Ｓ２´にほぼ均一
に炭素膜Ｆが形成された炭素膜被覆自動車用ホースが得
られる。また、この装置を用いて本発明に係る自動車用
タイヤを製造するにあたっても、前記自動車用防振部材
の製造と同様にして、自動車用タイヤ基体Ｓ３の外表面
（路面との接触部分を除く）Ｓ３´（図３参照）に前記
表面処理及び炭素膜形成を行う。この間、自動車用タイ
ヤ基体Ｓ３の一部を電極２に接触させて、図示しない回
転手段にて基体Ｓ３をその軸の回りに回転させ、基体Ｓ
３の外表面（路面との接触部分を除く）Ｓ３´にほぼ均
一に表面処理及び成膜が行われるようにする。なお、タ
イヤ基体Ｓ３の外表面のうち路面と接触する部分を予め
適当なフィルム等でマスクした状態で成膜を行い、該部
分には炭素膜が形成されないようにする。

【００４８】このようにして、図３（Ｃ）に示すよう
に、自動車用タイヤ基体Ｓ３の外表面（路面との接触部
分を除く）Ｓ３´にほぼ均一に炭素膜Ｆが形成された炭
素膜被覆自動車用タイヤが得られる。また、この装置を
用いて本発明に係る自動車用ダイヤフラムを製造するに
あたっても、前記自動車用防振部材の製造と同様にし
て、自動車用ダイヤフラム基体Ｓ４の外表面Ｓ４´（図
３参照）に前記表面処理及び炭素膜形成を行う。

【００４９】このようにして、図３（Ｄ）に示すよう
に、自動車用ダイヤフラム基体Ｓ４の外表面Ｓ４´にほ
ぼ均一に炭素膜Ｆが形成された炭素膜被覆自動車用ダイ
ヤフラムが得られる。また、この装置を用いて本発明に
係る自動車用バルブ部品（図示の例では自動車の吸排気
弁に採用される弁体）を製造するにあたっても、前記自
動車用防振部材の製造と同様にして、自動車用バルブ部
品基体Ｓ５の他物品との接触面（図示の例では弁座への
当接面）Ｓ５´（図３参照）に前記表面処理及び炭素膜
形成を行う。

【００５０】このようにして、図３（Ｅ）にその一部を
示すように、自動車用バルブ部品基体Ｓ５の他物品との
接触面Ｓ５´にほぼ均一に炭素膜Ｆが形成された炭素膜
被覆自動車用バルブ部品が得られる。また、この装置を
用いて本発明に係る自動車用シール材を製造するにあた
っても、前記自動車用防振部材の製造と同様にして、自
動車用シール材基体Ｓ６（ここではリング状のもの）の
他物品との接触面Ｓ６´（図３参照）に前記表面処理及
び炭素膜形成を行う。

【００５１】このようにして、図３（Ｆ）に示すよう
に、自動車用シール材基体Ｓ６の他物品との接触面Ｓ６
´にほぼ均一に炭素膜Ｆが形成された炭素膜被覆自動車
用シール材が得られる。また、この装置を用いて本発明
に係る自動車用フロントガラスを製造するにあたって
も、前記自動車用防振部材の製造と同様にして、自動車
用フロントガラス基体Ｓ７の外表面Ｓ７´（図３参照）
に前記表面処理及び炭素膜形成を行う。

【００５２】このようにして、図３（Ｇ）に示すよう
に、自動車用フロントガラス基体Ｓ７の外表面Ｓ７´に
ほぼ均一に炭素膜Ｆが形成された炭素膜被覆自動車用フ
ロントガラスが得られる。また、この装置を用いて本発
明に係る自動車用ボディ（部品）を製造するにあたって
も、前記自動車用防振部材の製造と同様にして、自動車
用ボディ（部品）基体Ｓ８の外表面Ｓ８´（図３参照）
に前記表面処理及び炭素膜形成を行う。

【００５３】このようにして、図３（Ｈ）に示すよう
に、自動車用ボディ（部品）基体Ｓ８の外表面Ｓ８´に
ほぼ均一に炭素膜Ｆが形成された炭素膜被覆自動車用ボ
ディ（部品）が得られる。また、本発明方法を実施する
にあたり、図１の装置に代えて図２に示す成膜装置を用
いることができ、この場合、基体が立体構造物であると
きにも該基体の表面に効率良く膜形成することができ
る。

【００５４】図２の装置は、誘導結合型のプラズマＣＶ
Ｄ装置であり、真空容器１´を有しており、容器１´の
外周には誘導コイル電極５が巻回して設けられ、該電極
５両端にはマッチングボックス５１及び高周波電源５２
が接続されている。また、真空容器１´の外側には、被
成膜基体を成膜温度に加熱するためのヒータ２１´が設
けられている。

【００５５】また、真空容器１´には排気装置１１´を
配管接続してあるとともに、成膜用原料ガスのガス供給
部４´を配管接続してある。ガス供給部４´には、マス
フローコントローラ４１１´、４１２´・・・・及び弁
４２１´、４２２´・・・・を介して接続された１又は
２以上の成膜用原料ガスを供給するガス源４３１´、４
３２´・・・・が含まれている。

【００５６】この装置を用いて本発明に係る自動車用防
振部材、自動車用ホース又は自動車用タイヤを製造する
にあたっては、図１の装置を用いた自動車用防振部材基
体Ｓ１、自動車用ホース基体Ｓ２及び自動車用タイヤ基
体Ｓ３の表面処理及び炭素膜形成と同様にし、但し、原
料ガスのプラズマ化を誘導コイル電極５への高周波電力
印加により行う。この場合も、表面処理（前処理）は行
うことが望ましいが、必ずしも要しない。

【００５７】次に、図１の装置を用いて、自動車用防振
部材、自動車用ホース、自動車用タイヤ、自動車用ダイ
ヤフラム、自動車用シール材の材料として用いられる、
エチレン−プロピレン−ジエン系モノマーの三元共重合
体ゴム（ＥＰＤＭ）からなる試験片の表面にＤＬＣ膜を
形成した実験例を説明する。実験例１前述した、図１の装置を用いた自動車用防振部材の製造
において、前処理用ガスプラズマによる試験片の前処理
を行わず、該試験片の外表面に直接ＤＬＣ膜を形成し
た。

【００５８】試験片材質ＥＰＤＭサイズ２０ｃｍ×２０ｃｍ×厚さ１ｃｍ高周波電極２サイズ４０ｃｍ×４０ｃｍ成膜条件成膜用原料ガスメタン（ＣＨ₄）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ成膜真空度０．１Ｔｏｒｒ成膜速度５００Å／ｍｉｎ成膜時間２０ｍｉｎ実験例２前記実験例１において、成膜に先立ち、同試験片に次の
条件で水素ガスプラズマによる前処理を施した。成膜条
件は前記実験例１と同様とした。

【００５９】前処理条件前処理用ガス水素（Ｈ₂）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ実験例３前記実験例１において、成膜に先立ち、同試験片に次の
条件でフッ素化合物ガスプラズマによる前処理を施し
た。成膜条件は前記実験例１と同様とした。

【００６０】前処理条件前処理用ガス６フッ化硫黄（ＳＦ₆）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ実験例４前記実験例１において、成膜に先立ち、同試験片に次の
条件で酸素ガスプラズマによる第１の前処理を施し、さ
らに水素ガスプラズマによる第２の前処理を施した。成
膜条件は前記実験例１と同様とした。

【００６１】第１前処理条件前処理用ガス酸素（Ｏ₂）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ第２前処理条件前処理用ガス水素（Ｈ₂）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ実験例５前記実験例１において、成膜に先立ち、同試験片に次の
条件で酸素ガスプラズマによる第１の前処理を施し、さ
らにフッ素化合物ガスプラズマによる第２の前処理を施
した。成膜条件は前記実験例１と同様とした。

【００６２】第１前処理条件前処理用ガス酸素（Ｏ₂）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ第２前処理条件前処理用ガス６フッ化硫黄（ＳＦ₆）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ次に、図１の装置を用いて、自動車用バルブ部品等の材
料として用いられることがあるポリイミドからなる試験
片の表面にＤＬＣ膜を形成した実験例を説明する。実験例６前述した、図１の装置を用いた自動車用防振部材の製造
において、前処理用ガスプラズマによる試験片の前処理
を行わず、該試験片の外表面に直接ＤＬＣ膜を形成し
た。

【００６３】試験片材質ポリイミドサイズ２０ｃｍ×２０ｃｍ×厚さ１ｃｍ高周波電極２サイズ４０ｃｍ×４０ｃｍ成膜条件成膜用原料ガスメタン（ＣＨ₄）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ成膜真空度０．１Ｔｏｒｒ成膜速度５００Å／ｍｉｎ成膜時間２０ｍｉｎ実験例７前記実験例６において、成膜に先立ち、同試験片に次の
条件で水素ガスプラズマによる前処理を施した。成膜条
件は前記実験例６と同様とした。

【００６４】前処理条件前処理用ガス水素（Ｈ₂）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ実験例８前記実験例６において、成膜に先立ち、同試験片に次の
条件でフッ素化合物ガスプラズマによる前処理を施し
た。成膜条件は前記実験例６と同様とした。

【００６５】前処理条件前処理用ガス６フッ化硫黄（ＳＦ₆）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ実験例９前記実験例６において、成膜に先立ち、同試験片に次の
条件で酸素ガスプラズマによる第１の前処理を施し、さ
らに水素ガスプラズマによる第２の前処理を施した。成
膜条件は前記実験例６と同様とした。

【００６６】第１前処理条件前処理用ガス酸素（Ｏ₂）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ第２前処理条件前処理用ガス水素（Ｈ₂）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ実験例１０前記実験例６において、成膜に先立ち、同試験片に次の
条件で酸素ガスプラズマによる第１の前処理を施し、さ
らにフッ素化合物ガスプラズマによる第２の前処理を施
した。成膜条件は前記実験例６と同様とした。

【００６７】第１前処理条件前処理用ガス酸素（Ｏ₂）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ第２前処理条件前処理用ガス６フッ化硫黄（ＳＦ₆）１００ｓｃｃｍ高周波電力周波数１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ処理真空度０．１Ｔｏｒｒ処理時間５ｍｉｎ次に、前記実験例１〜５により得られたＤＬＣ膜被覆試
験片及びＤＬＣ膜を形成していない未処理の同様の試験
片（比較実験例１）について、並びに前記実験例６〜１
０により得られたＤＬＣ膜被覆試験片及びＤＬＣ膜を形
成していない未処理の同様の試験片（比較実験例２）に
ついて、アルミニウム材との摩擦係数及びダイアモンド
材との摩耗特性、さらに撥水性をそれぞれ評価した。ま
た、実験例１〜１０により得られた各ＤＬＣ膜被覆試験
片についてＤＬＣ膜と試験片との密着性を評価した。

【００６８】摩擦係数は、試験片表面にアルミニウムか
らなるピン状物品の先端部を当接させ、且つ、該ピン状
物品に１０ｇの荷重をかけた状態でこのピンを２０ｍｍ
／ｓｅｃの速度で移動させたときの値を測定し、摩耗特
性は、試験片表面にダイアモンドからなるピン状物品の
先端部を当接させ、且つ、それに１００ｇの荷重をかけ
た状態で２０ｍｍ／ｓｅｃの速度で移動させ、１時間あ
たりに摩耗した深さを測定することで評価した。膜密着
性は、円柱状部材を接着剤を用いて膜表面に接合させ、
該円柱状部材を膜に対して垂直方向に引っ張って該膜を
試験片本体から剥離させ、剥離に要した力を測定する引
っ張り法により評価した。撥水性は、試験片上に水滴を
おき、その接触角を測定することで評価した。

【００６９】なお、接触角は、空気中にある固体面上に
液体があるとき、固体、液体、気体の３相の接触点で液
体に引いた切線と固体面のなす角のうち、液体を含む方
の角をいい、大きいほど撥水性がよいことを示す。結果
を次表に示す。摩擦係数摩耗特性膜密着強度接触角（μｍ／ｈ）（kg／mm²) （ ° ）実験例１１０．９２１００実験例２１０．７４１００実験例３１０．７４１００実験例４１０．５５１００実験例５１０．５５１００実験例６１０．７２１１０実験例７１０．６４１１０実験例８１０．６４１１０実験例９１０．５５１１０実験例１０１０．５５１１０比較実験例１３２．５ ─ ８０比較実験例２３１．８ ─ ８５このように、ＤＬＣ膜を被覆した実験例１〜５及び実験
例６〜１０の各試験片では、アルミニウム材との間の摩
擦係数はＤＬＣ膜を被覆していない比較実験例１及び比
較実験例２の試験片よりそれぞれ小さく、潤滑性（摺動
性）がよいことが分かる。また、ダイアモンド材との間
の摩耗特性値もＤＬＣ膜を被覆していない比較実験例１
及び比較実験例２の試験片より小さかった。

【００７０】また、前記実験例１〜１０の各ＤＬＣ膜の
試験片本体への密着強度は、ＤＬＣ膜形成に先立ち試験
片本体表面に対しプラズマによる前処理を施した実験例
２〜５の試験片の方が、前処理を施さない実験例１の試
験片より、また実験例７〜１０の試験片の方が、前処理
を施さない実験例６の試験片より、それぞれ大きかっ
た。

【００７１】また、ＤＬＣ膜を被覆した実験例１〜５及
び実験例６〜１０の各試験片では、水の接触角はＤＬＣ
膜を被覆していない比較実験例１及び比較実験例２の試
験片よりそれぞれ大きく、撥水性がよいことが分かる。
次に、前記実験例１と同様にして、ポリ塩化ビニリデン
からなるフィルム（柔軟剤として脂肪酸誘導体を、安定
剤としてエポキシ化植物油を添加したもの）の一方の表
面上にＤＬＣ膜を形成したフィルム状の試験片（実験例
１１）及びＤＬＣ膜を形成していない未処理の同様のフ
ィルム状の試験片（比較実験例３）について、透湿度
（水蒸気透過率）及び酸素透過率をそれぞれ測定した。

【００７２】透湿度は、Ｍｏｃｏｎ社製ガス透過率測定
装置を用い、２５℃の温度下で、フィルムの一方の空間
の相対湿度を１００％とし、フィルムの他方の空間の相
対湿度をほぼ０％として、水蒸気の透過速度を測定する
ことで評価した。また、酸素透過率は、同様にＭｏｃｏ
ｎ社製ガス透過率測定装置を用い、２５℃の温度下で、
フィルムの一方の空間の酸素濃度を１００％とし、フィ
ルムの他方の空間の酸素濃度を０％として、酸素の透過
速度を測定することで評価した。

【００７３】結果を次表に示す。透湿度酸素透過率（cc/m²/day) （cc/m²/day) 実験例１１０．９１．２比較実験例３１２．５１４．０このように、ＤＬＣ膜を被覆した実験例１１の試験片で
はＤＬＣ膜を被覆していない比較実験例３の試験片よ
り、水蒸気及び酸素のいずれの透過も抑制されているこ
とが分かる。

【００７４】以上のことから、表面の一部又は全部に炭
素膜（特にＤＬＣ膜）を形成した本発明の自動車用防振
部材は、その部分の潤滑性、耐摩耗性に優れることが分
かる。なお、炭素膜とこれと接触する他物品（通常金属
からなる物品）との摺動性は、炭素膜とアルミニウム材
との摺動性とほぼ同様であるため、本発明の自動車用防
振部材は他物品との摺動性が優れると考えられる。

【００７５】また、以上のことから自動車用ホース基体
の表面の一部又は全部に炭素膜（特にＤＬＣ膜）を形成
した本発明の自動車用ホースは、その部分の潤滑性、耐
摩耗性及びガスバリア性に優れることが分かる。また、
以上のことから自動車用タイヤ基体の表面の一部又は全
部に炭素膜（特にＤＬＣ膜）を形成した本発明の自動車
用タイヤは、その部分の潤滑性、耐摩耗性、ガスバリア
性及び撥水性に優れることが分かる。

【００７６】また、以上のことから自動車用ダイヤフラ
ム基体の表面の一部又は全部に炭素膜（特にＤＬＣ膜）
を形成した本発明の自動車用ダイヤフラムは、その部分
の耐摩耗性及び撥水性に優れることが分かる。また、以
上のことから自動車用バルブ部品基体の表面の一部又は
全部に炭素膜（特にＤＬＣ膜）を形成した本発明の自動
車用バルブ部品は、その部分の潤滑性及び耐摩耗性に優
れることが分かる。

【００７７】また、以上のことから自動車用シール材基
体の表面の一部又は全部に炭素膜（特にＤＬＣ膜）を形
成した本発明の自動車用シール材は、その部分の潤滑性
及び耐摩耗性に優れることが分かる。また、以上のこと
から自動車用ボディ基体の表面の一部又は全部に炭素膜
（特にＤＬＣ膜）を形成した本発明の自動車用ボディ
は、その部分の耐摩耗性及び撥水性に優れることが分か
る。

【００７８】また、前処理を施した後形成した炭素膜は
密着性が優れることが分かる。なお、ここには示してい
ないが、表面の一部又は全部に炭素膜（特にＤＬＣ膜）
を形成した本発明の自動車用窓ガラスについても、同様
にその部分の良好な耐摩耗性及び撥水性を示す結果が得
られた。

【００７９】

【発明の効果】以上のように本発明によると、他の物品
との摺動性が良好で、耐摩耗性に優れ、劣化し難い自動
車用防振部材及びその製造方法を提供することができ
る。また、本発明によると、他物品との摺動性が良好
で、耐摩耗性に優れ、劣化し難く、さらにガスバリア性
に優れる自動車用ホース及びその製造方法を提供するこ
とができる。

【００８０】また、本発明によると、他物品との摺動性
が良好で、耐摩耗性に優れ、劣化し難く、さらにガスバ
リア性、撥水性に優れる自動車用タイヤ及びその製造方
法を提供することができる。また、本発明によると、耐
摩耗性に優れ、劣化し難く、さらに撥水性に優れる自動
車用ダイヤフラム及びその製造方法を提供することがで
きる。

【００８１】また、本発明によると、他物品との摺動性
が良好で、耐摩耗性に優れ、劣化し難い自動車用バルブ
部品及びその製造方法を提供することができる。また、
本発明によると、他物品との摺動性が良好で、耐摩耗性
に優れ、劣化し難い自動車用シール材及びその製造方法
を提供することができる。また、本発明によると、耐摩
耗性、撥水性に優れる自動車用窓ガラス及びその製造方
法を提供することができる。

【００８２】また、本発明によると、耐摩耗性、撥水性
に優れる自動車用ボディ及びその製造方法を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る自動車用防振部材等の製造にそれ
ぞれ用いることができる成膜装置の１例の概略構成を示
す図である。

【図２】本発明に係る自動車用防振部材等の製造にそれ
ぞれ用いることができる成膜装置の他の例の概略構成を
示す図である。

【図３】図（Ａ）は、本発明に係る自動車用防振部材の
１例の断面図であり、図（Ｂ）は、本発明に係る自動車
用ホースの１例の断面図であり、図（Ｃ）は、本発明に
係る自動車用タイヤの１例の断面図であり、図３（Ｄ）
は本発明に係る自動車用ダイヤフラムの１例の断面図で
あり、図３（Ｅ）は本発明に係る自動車用バルブ部品の
１例（弁体）の一部の側面図であり、図３（Ｆ）は本発
明に係る自動車用シール材の１例の断面図であり、図３
（Ｇ）は本発明に係る自動車用窓ガラスの１例（フロン
トガラス）の断面図であり、図３（Ｈ）は本発明に係る
自動車用ボディ特にその部品の１例の断面図である。

【符号の説明】

１、１´ 真空チャンバ１１、１１´ 排気装置２高周波電極２１、２１´ ヒータ２２、５１マッチングボックス２３、５２高周波電源３接地電極４、４´ プラズマ原料ガス供給部５誘導コイル電極Ｓ１被成膜自動車用防振部材基体Ｓ１′ 基体Ｓ１の他物品との接触面Ｓ２被成膜自動車用ホース基体Ｓ２′ 基体Ｓ２の外表面Ｓ３被成膜自動車用タイヤ基体Ｓ３′ 基体Ｓ３の外表面（路面との接触部分を除く）Ｓ４被成膜自動車用ダイヤフラム基体Ｓ４′ 基体Ｓ４の外表面Ｓ５被成膜自動車用バルブ部品基体Ｓ５′ 基体Ｓ５の他物品との接触面Ｓ６被成膜自動車用シール材基体Ｓ６′ 基体Ｓ６の他物品との接触面Ｓ７被成膜自動車用フロントガラス基体Ｓ７′ 基体Ｓ７の外表面Ｓ８被成膜自動車用ボディ基体Ｓ８′ 基体Ｓ８の外表面Ｆ炭素膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ２３Ｃ 16/26 Ｃ２３Ｃ 16/26 Ｆ１６Ｊ 3/02 Ｆ１６Ｊ 3/02 ＡＦ１６Ｌ 11/04 Ｆ１６Ｌ 11/04 // Ｂ０５Ｄ 5/00 Ｂ０５Ｄ 5/00 Ｂ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑性
のある炭素膜が形成されていることを特徴とする自動車
用防振部材。
【請求項２】前記炭素膜がＤＬＣ膜である請求項１記
載の自動車用防振部材。
【請求項３】前記自動車用防振部材の基体の膜形成面
が有機材料からなるものである請求項１又は２記載の自
動車用防振部材。
【請求項４】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性、ガスバリア性のある炭素膜が形成されていることを
特徴とする自動車用ホース。
【請求項５】前記炭素膜がＤＬＣ膜である請求項４記
載の自動車用ホース。
【請求項６】前記自動車用ホースの基体の膜形成面が
有機材料からなるものである請求項４又は５記載の自動
車用ホース。
【請求項７】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性、ガスバリア性、撥水性のある炭素膜が形成されてい
ることを特徴とする自動車用タイヤ。
【請求項８】前記炭素膜がＤＬＣ膜である請求項７記
載の自動車用タイヤ。
【請求項９】表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水性
のある炭素膜が形成されていることを特徴とする自動車
用ダイヤフラム。
【請求項１０】前記炭素膜がＤＬＣ膜である請求項９
記載の自動車用ダイヤフラム。
【請求項１１】前記自動車用ダイヤフラムの基体の膜
形成面が有機材料からなるものである請求項９又は１０
記載の自動車用ダイヤフラム。
【請求項１２】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性のある炭素膜が形成されていることを特徴とする自動
車用バルブ部品。
【請求項１３】前記炭素膜がＤＬＣ膜である請求項１
２記載の自動車用バルブ部品。
【請求項１４】前記自動車用バルブ部品の基体の膜形
成面が有機材料からなるものである請求項１２又は１３
記載の自動車用バルブ部品。
【請求項１５】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性のある炭素膜が形成されていることを特徴とする自動
車用シール材。
【請求項１６】前記炭素膜がＤＬＣ膜である請求項１
５記載の自動車用シール材。
【請求項１７】前記自動車用シール材の基体の膜形成
面が有機材料からなるものである請求項１５又は１６記
載の自動車用シール材。
【請求項１８】表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水
性のある炭素膜が形成されていることを特徴とする自動
車用窓ガラス。
【請求項１９】前記炭素膜がＤＬＣ膜である請求項１
８記載の自動車用窓ガラス。
【請求項２０】表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水
性のある炭素膜が形成されていることを特徴とする自動
車用ボディ。
【請求項２１】前記炭素膜がＤＬＣ膜である請求項２
０記載の自動車用ボディ。
【請求項２２】前記自動車用ボディの基体の膜形成面
が有機材料からなるものである請求項２０又は２１記載
の自動車用ボディ。
【請求項２３】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性のある炭素膜を形成する工程を含むことを特徴とする
自動車用防振部材の製造方法。
【請求項２４】前記炭素膜形成に先立ち、前処理とし
て、前記自動車用防振部材の基体の膜形成面をフッ素
（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及び酸素（Ｏ₂）ガ
スから選ばれた少なくとも１種のガスのプラズマに曝す
請求項２３記載の自動車用防振部材の製造方法。
【請求項２５】前記炭素膜をプラズマＣＶＤ法により
形成する請求項２３又は２４記載の自動車用防振部材の
製造方法。
【請求項２６】前記炭素膜をＤＬＣ膜とする請求項２
３、２４又は２５記載の自動車用防振部材の製造方法。
【請求項２７】前記自動車用防振部材の基体の膜形成
面が有機材料からなるものである請求項２３から２６の
いずれかに記載の自動車用防振部材の製造方法。
【請求項２８】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性、ガスバリア性のある炭素膜を形成する工程を含むこ
とを特徴とする自動車用ホースの製造方法。
【請求項２９】前記炭素膜形成に先立ち、前処理とし
て、前記自動車用ホースの基体の膜形成面をフッ素
（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及び酸素（Ｏ₂）ガ
スから選ばれた少なくとも１種のガスのプラズマに曝す
請求項２８記載の自動車用ホースの製造方法。
【請求項３０】前記炭素膜をプラズマＣＶＤ法により
形成する請求項２８又は２９記載の自動車用ホースの製
造方法。
【請求項３１】前記炭素膜をＤＬＣ膜とする請求項２
８、２９又は３０記載の自動車用ホースの製造方法。
【請求項３２】前記自動車用ホースの基体の膜形成面
が有機材料からなるものである請求項２８から３１のい
ずれかに記載の自動車用ホースの製造方法。
【請求項３３】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性、ガスバリア性、撥水性のある炭素膜を形成する工程
を含むことを特徴とする自動車用タイヤの製造方法。
【請求項３４】前記炭素膜形成に先立ち、前処理とし
て、前記自動車用タイヤの基体の膜形成面をフッ素
（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及び酸素（Ｏ₂）ガ
スから選ばれた少なくとも１種のガスのプラズマに曝す
請求項３３記載の自動車用タイヤの製造方法。
【請求項３５】前記炭素膜をプラズマＣＶＤ法により
形成する請求項３３又は３４記載の自動車用タイヤの製
造方法。
【請求項３６】前記炭素膜をＤＬＣ膜とする請求項３
３、３４又は３５記載の自動車用タイヤの製造方法。
【請求項３７】表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水
性のある炭素膜を形成する工程を含むことを特徴とする
自動車用ダイヤフラムの製造方法。
【請求項３８】前記炭素膜形成に先立ち、前処理とし
て、前記自動車用ダイヤフラムの基体の膜形成面をフッ
素（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及び酸素（Ｏ₂）
ガスから選ばれた少なくとも１種のガスのプラズマに曝
す請求項３７記載の自動車用ダイヤフラムの製造方法。
【請求項３９】前記炭素膜をプラズマＣＶＤ法により
形成する請求項３７又は３８記載の自動車用ダイヤフラ
ムの製造方法。
【請求項４０】前記炭素膜をＤＬＣ膜とする請求項３
７、３８又は３９記載の自動車用ダイヤフラムの製造方
法。
【請求項４１】前記自動車用ダイヤフラムの基体の膜
形成面が有機材料からなるものである請求項３７から４
０のいずれかに記載の自動車用ダイヤフラムの製造方
法。
【請求項４２】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性のある炭素膜を形成する工程を含むことを特徴とする
自動車用バルブ部品の製造方法。
【請求項４３】前記炭素膜形成に先立ち、前処理とし
て、前記自動車用バルブ部品基体の膜形成面をフッ素
（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及び酸素（Ｏ₂）ガ
スから選ばれた少なくとも１種のガスのプラズマに曝す
請求項４２記載の自動車用バルブ部品の製造方法。
【請求項４４】前記炭素膜をプラズマＣＶＤ法により
形成する請求項４２又は４３記載の自動車用バルブ部品
の製造方法。
【請求項４５】前記炭素膜をＤＬＣ膜とする請求項４
２、４３又は４４記載の自動車用バルブ部品の製造方
法。
【請求項４６】前記自動車用バルブ部品の基体の膜形
成面が有機材料からなるものである請求項４２から４５
のいずれかに記載の自動車用バルブ部品の製造方法。
【請求項４７】表面の一部又は全部に耐摩耗性、潤滑
性のある炭素膜を形成する工程を含むことを特徴とする
自動車用シール材の製造方法。
【請求項４８】前記炭素膜形成に先立ち、前処理とし
て、前記自動車用シール材の基体の膜形成面をフッ素
（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及び酸素（Ｏ₂）ガ
スから選ばれた少なくとも１種のガスのプラズマに曝す
請求項４７記載の自動車用シール材の製造方法。
【請求項４９】前記炭素膜をプラズマＣＶＤ法により
形成する請求項４７又は４８記載の自動車用シール材の
製造方法。
【請求項５０】前記炭素膜をＤＬＣ膜とする請求項４
７、４８又は４９記載の自動車用シール材の製造方法。
【請求項５１】前記自動車用シール材の基体の膜形成
面が有機材料からなるものである請求項４７から５０の
いずれかに記載の自動車用シール材の製造方法。
【請求項５２】表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水
性のある炭素膜を形成する工程を含むことを特徴とする
自動車用窓ガラスの製造方法。
【請求項５３】前記炭素膜形成に先立ち、前処理とし
て、前記自動車用窓ガラスの基体の膜形成面をフッ素
（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及び酸素（Ｏ₂）ガ
スから選ばれた少なくとも１種のガスのプラズマに曝す
請求項５２記載の自動車用窓ガラスの製造方法。
【請求項５４】前記炭素膜をプラズマＣＶＤ法により
形成する請求項５２又は５３記載の自動車用窓ガラスの
製造方法。
【請求項５５】前記炭素膜をＤＬＣ膜とする請求項５
２、５３又は５４記載の自動車用窓ガラスの製造方法。
【請求項５６】表面の一部又は全部に耐摩耗性、撥水
性のある炭素膜を形成する工程を含むことを特徴とする
自動車用ボディの製造方法。
【請求項５７】前記炭素膜形成に先立ち、前処理とし
て、前記自動車用ボディの基体の膜形成面をフッ素
（Ｆ）含有ガス、水素（Ｈ₂）ガス及び酸素（Ｏ₂）ガ
スから選ばれた少なくとも１種のガスのプラズマに曝す
請求項５６記載の自動車用ボディの製造方法。
【請求項５８】前記炭素膜をプラズマＣＶＤ法により
形成する請求項５６又は５７記載の自動車用ボディの製
造方法。
【請求項５９】前記炭素膜をＤＬＣ膜とする請求項５
７、５８又は５９記載の自動車用ボディの製造方法。
【請求項６０】前記自動車用ボディの基体の膜形成面
が有機材料からなるものである請求項５６から５９のい
ずれかに記載の自動車用ボディの製造方法。