JPH10300761A

JPH10300761A - 走査型プローブ顕微鏡

Info

Publication number: JPH10300761A
Application number: JP9126512A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Murayama; 健村山; Takashi Shirai; 隆白井; Akimasa Onozato; 陽正小野里; Takashi Morimoto; 高史森本; Hiroshi Kuroda; 浩史黒田
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1997-04-30
Filing date: 1997-04-30
Publication date: 1998-11-13

Abstract

(57)【要約】【課題】光学顕微鏡との複合に適した光てこ式検出光
学装置を備える走査型プローブ顕微鏡で、極めて小型と
し、光学装置の部品点数を少なくして簡素な構造を有
し、高倍率の光学顕微鏡との複合化を容易にする。【解決手段】探針12を有するカンチレバー11と、探針
・試料間に相対変位を与える微動機構32,34 と、変位検
出光学装置を備え、探針と試料の間に作用する物理量に
より生じるカンチレバーのたわみ変形量を光学装置で検
出して試料の表面性状を計測する。上記光学装置は、光
を出射する光源15と、光を受ける光検出器16と、反射ミ
ラー13からなり、光源からの光を反射ミラーによってカ
ンチレバーの背面に導き、カンチレバーからの反射光を
反射ミラーによって光検出器へ導くように構成され、さ
らに光源から反射部への光の光軸と、反射ミラーから光
検出器への光の光軸が数度〜２０度の範囲内の角度で交
差するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は走査型プローブ顕微
鏡に関し、特に、光てこ式検出光学装置でカンチレバー
のたわみ変形量を検出するように構成された走査型プロ
ーブ顕微鏡において光学顕微鏡の複合化に適した光学装
置の光路部分の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡は、原子オーダの
測定分解能を有するものであり、表面の形状計測を始
め、各種分野に適用されつつある。検出に利用する物理
量に依存して、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）、原子
間力顕微鏡（ＡＦＭ）、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）などに
分かれ、応用範囲も広がりつつある。特に原子間力顕微
鏡は、試料表面の形状を高分解能で検出するに適してお
り、半導体、ディスクなどの分野で実績をあげている。
以下では、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を例について説明
する。

【０００３】図４に従来の一般的な原子間力顕微鏡の例
を示す。チューブ型ＸＹＺ微動機構７１は軸方向を立て
て設けられており、その上部に被測定試料７２が配置さ
れている。ＸＹＺ微動機構７１には円筒形状の圧電素子
が用いられ、一般的に、この圧電素子の円筒外周面には
Ｚ軸用電極７３、Ｘ軸用電極７４、Ｙ軸用電極７５が設
けられ、内周面には共通電極（図示せず）が設けられて
いる。電極７４，７５はそれぞれ２枚がＸＹＺ微動機構
７１の反対側外面に配置されている。共通電極に対して
各電極に必要な電圧を印加すると、ＸＹＺ微動機構７１
において、印加された電極に応じて直交する３軸である
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向に変形を生じさせることがで
きる。ＸＹＺ微動機構７１において当該変形が生じる
と、その上端部に配置された試料７２の位置を変化させ
ることができる。

【０００４】上記試料７２の上方位置にはカンチレバー
７６が配置され、その先端に設けられた探針７７は、試
料７２の表面に臨んでいる。試料７２の表面を測定する
際、探針７７は、試料との間で原子間力が生じる程度の
距離で試料７２に対して接近させて配置されている。カ
ンチレバー７６は、その基端が、図示しない支持部に固
定されている。カンチレバー７６は、所定の柔軟性を有
し、探針・試料間の距離の変化に伴う原子間力の変化に
応じてたわみ変形を生じるという特性を有している。か
かるカンチレバー７６に対して、カンチレバーのたわみ
変形を利用した例えば光てこ式の変位量検出光学装置が
設けられる。この光学装置は、レーザ光７８を発する光
源（レーザ発振器）７９と、レーザ光７８を受ける光検
出器８０からなる。光源７９から出射されたレーザ光７
８は、カンチレバー７６の背面の反射面で反射され、光
検出器８０に入射される。光検出器８０は位置センサと
して機能するもので、カンチレバー７６のたわみ変形量
に応じてレーザ光７８の入射位置が変化することから、
その検出信号に基づいて、カンチレバー７６のたわみ変
形量、すなわち探針７７と試料７２の表面との間の距離
の変化を検出できる。なお、カンチレバーのたわみ変形
量の検出方式には、その他に光干渉方式などが用いられ
る。

【０００５】図示しないカンチレバー接近機構により探
針７７と試料７２の相対距離を約１ｎｍにまで近づける
と、両者の間に原子間力が作用し、カンチレバー７６に
たわみ変形が生じるようになる。そのたわみ角を光てこ
の原理で検出する。光検出器８０から出力される検出信
号は、増幅器８１を経由して加算器８２に入力される。
加算器８２では、当該検出信号と基準値Ｖref が比較さ
れ、偏差信号Ｖｄが出力される。この偏差信号Ｖｄは、
制御部８３に入力される。制御部８３では一般的に比例
−積分補償（ＰＩ制御）が行われ、その出力信号は増幅
器８４に入力される。増幅器８４の出力信号はＸＹＺ微
動機構７１のＺ微動部（内蔵される）に入力され、探針
７７と試料７２の間の相対距離を変化させる。

【０００６】上記構成によって探針７７と試料７２の距
離を一定に保つ制御が実現される。ＸＹ走査回路８５の
出力信号は、増幅器８６を介してＸＹＺ微動機構７１の
ＸＹ微動部（内蔵される）に入力される。ＸＹ走査回路
８５の出力信号によって、探針７７は試料７２の表面を
ＸＹ方向に平面走査する。上記Ｚ微動部の移動量に相当
するデータＶｚと、ＸＹ走査回路８５の出力信号に係る
データとをメモリ８７に格納し、さらにこれらのデータ
を利用して必要な処理を行い、画像装置に画像表示を行
えば、試料７２の表面の形状を観察することができる。
以上のような原理に基づき測定動作を行う原子間力顕微
鏡では、原子オーダの分解能があり、測定視野を数ｎｍ
から数１００μｍまで切り替えて観察することを容易に
実現できる。

【０００７】上記の走査型プローブ顕微鏡は一般的に分
解能は高いが測定範囲が狭いという本質的な問題があ
る。これを解決するため、走査型プローブ顕微鏡は、光
学顕微鏡等の大視野顕微鏡と複合して用いられることが
多い。図４に示された例では、探針７７の部分を斜め上
方から観察できるように光学顕微鏡８８が配置されてい
る。図示された部分は光学顕微鏡の対物レンズの部分で
ある。光学顕微鏡８８は、図示されるように、斜めから
観察できるようにセットされることが多い。

【０００８】一方、前述のごとく、走査型プローブ顕微
鏡では、カンチレバー７６の真上に配置された光てこ式
検出光学装置で当該カンチレバー７６のたわみ変形量を
検出しているので、当該光学装置のレーザ光の光路軸が
光学顕微鏡の観察領域と干渉しやすい。実際上、かかる
干渉が原因となって、光学顕微鏡８８をカンチレバー７
６の直上の位置に配置することが難しい。上記のように
斜め上方に配置する場合は、干渉を避けることができる
が、試料７２を正確に観察することが困難になり、加え
て、ワークディスタンスが小さい高倍率の光学顕微鏡を
複合化することが困難であるという問題が提起される。

【０００９】上記のような問題を解決するため、例えば
特開平７−１８１０３０号公報に示されるように、光学
装置におけるレーザ光の光路を変更し、カンチレバー７
６の背面に対して側方上部から斜めに照射する方式が提
案されている。その構成の一例を図５に示す。この構成
では、試料９１に臨む探針９２を備えたカンチレバー９
３の上方に光学顕微鏡９４を配置し、光源９５と光検出
器９６を上側の側方に配置している。光源９５から出射
されたレーザ光９７は、カンチレバー９３の斜め上方か
らその背面に照射され、その後反射して斜め上方の光検
出器９６に入射される。このような斜め照射の構成を採
用することにより、光学顕微鏡９４をカンチレバー９３
の直上に配置できるため、光学顕微鏡９４によって試料
９１の表面とカンチレバー９３を同時に観察でき、使い
勝手の良い装置とすることができる。

【００１０】また特開平８−２７８３１７号公報には、
光学顕微鏡との複合化を容易にするため、要部機構を薄
型にし、光学顕微鏡のワーキングディスタンス内に、要
部機構と光てこ式検出光学装置の一部光路とを配置する
方式が示される。その例を図６に示す。図６において、
支持部材１００にＸＹ軸用のロッド状に積層されてなる
圧電素子１０１，１０２を弾性ヒンジ１０３を介して固
定し、Ｘ軸用圧電素子１０１の先部に、Ｙ軸用圧電素子
１０２を弾性ヒンジ１０４を介して結合する。圧電素子
１０１，１０２の先部の結合部の箇所に、Ｚ軸微動部１
０５を介して、探針１０６を備えたカンチレバー１０７
が取り付けられる。支持部材１００の上には、光てこ式
検出光学装置の光源（レーザ発振器）１０８と光検出器
１０９が配置される。光源１０８から光検出器１０９に
至るまでのレーザ光１１０の光路は、図示されるごと
く、偏向ビームスプリッタ１１１、λ／４板１１２、第
１の反射鏡１１３、第２の反射鏡１１４によって形成さ
れている。このように構成された走査型プローブ顕微鏡
に対して光学顕微鏡の対物レンズ１１５が、真上位置と
真下位置と斜め上方位置に配置されている。このよう
に、上記構成によれば、測定部付近の要部機構を薄く作
ることができるため、図示のような配置を採用すること
ができる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】特開平７−１８１０３
０号公報に示された上記構成によれば、光源９５と光検
出器９６が必然的に離れた位置関係になり、大型化す
る。機構が大型になれば、機構の剛性が低下し、また走
査型プローブ顕微鏡の分解能を高めることが困難になる
という問題が提起される。

【００１２】特開平８−２７８３１７号公報に示された
上記構成によれば、光てこ式検出光学装置が全体に複雑
になり、さらに２つの反射鏡１１３，１１４が必須にな
ると共に、偏向ビームスプリッタ１１１やλ／４板１１
２等の光学部品も必要になり、光学装置の部品点数が多
くなるという問題がある。また光てこ式検出光学装置の
場合、レーザ光１１０をカンチレバー１０７の背面に導
き、その反射光を光検出器１０９に正確に入射する必要
があり、光学部品が多いほど調整が難しくなる。また光
学系配置のために全体寸法が大きくなる。

【００１３】本発明の目的は、光学顕微鏡との複合に適
した光てこ式検出光学装置を備える走査型プローブ顕微
鏡であって、極めて小型で、その上に光学装置の部品点
数が少ない簡素な構造を有し、高倍率の光学顕微鏡と容
易に複合できる走査型プローブ顕微鏡を提供することに
ある。

【００１４】

【課題を解決するための手段および作用】本発明に係る
走査型プローブ顕微鏡は、上記目的を達成するため、次
のように構成される。

【００１５】第１の走査型プローブ顕微鏡（請求項１に
対応）：探針を有するカンチレバーと、探針と試料の
間に相対変位を与える微動機構と、変位検出光学装置を
備え、探針と試料の間に作用する物理量により生じるカ
ンチレバーのたわみ変形量を光学装置で検出して試料の
表面性状を計測するように構成される。光学装置は、光
を出射する光源と、光を受ける光検出器と、光を反射す
る反射部からなり、光源から出射された光を反射部によ
ってカンチレバーの背面に導き、カンチレバーで反射さ
れた光を反射部によって前記光検出器へ導くように構成
され、さらに光源から反射部への光の光軸と、反射部か
ら光検出器への光の光軸が、数度から２０度の範囲内の
角度で交差するようにした。

【００１６】上記の構成では、光学装置の光源と光検出
器の間に１つの反射部を用いてレーザー光の光路変換を
行うだけで、光源と光検出器を隣り合わせて（隣接し
て）配置できる、それによって極めて簡素でかつ薄型の
光てこ式検出光学装置が実現される。

【００１７】第２の走査型プローブ顕微鏡（請求項２に
対応）：第１の走査型プローブ顕微鏡において、カン
チレバーの設置角度を試料の表面に対して１５度、反射
部から光検出器への光の角度を試料の表面に対して１０
度にすることが好ましい。この構成によれば、光源と光
検出器を隣接して配置できるので、装置をコンパクトに
構成することができる。

【００１８】第３の走査型プローブ顕微鏡（請求項３に
対応）：第１の走査型プローブ顕微鏡において、好ま
しくは、微動機構の側面に沿う平面内に、光源から反射
部への光の光軸と、反射部から光検出器への光の光軸が
設定される。さらに薄型の構成になり、高倍率の光学顕
微鏡と容易に複合することができる。

【００１９】第４の走査型プローブ顕微鏡（請求項４に
対応）：第３の走査型プローブ顕微鏡において、さら
に好ましくは、微動機構の側面に沿う上記平面は、カン
チレバーを含む垂直平面である。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施形態
を添付した図１〜図３に基づいて説明する。図１は、本
発明に係る走査型プローブ顕微鏡における光てこ式検出
光学装置の要部構成の模式図、図２は具体的数値を明示
した図１と同様な図、図３は具体的構成の一例を示す。

【００２１】図１において、１１はカンチレバー、１２
はカンチレバーの先部に設けられた探針である。探針１
２の下方には、測定対象である試料（図示せず）が配置
される。カンチレバー１１の上方には、反射ミラー１３
が配置され、さらにその上方には光学顕微鏡１４が配置
される。図示された部分は光学顕微鏡の対物レンズであ
る。反射ミラー１３は、光てこ式検出光学装置における
レーザ光の光路を構成するためのものである。１５はレ
ーザ光を出射する光源（レーザ発振器）、１６はレーザ
光を受ける光検出器である。この例では、光源１５と光
検出器１６と反射ミラー１３、および基端を固定された
片持ち梁構造のカンチレバー１１によって、光てこの原
理に基づきカンチレバー１１のたわみ変形量（すなわち
探針１２の変位量）を検出するための光てこ式検出光学
装置が構成される。光源１５から出射されたレーザ光
は、反射ミラー１３によってカンチレバー１１の背面に
導かれ、その後カンチレバー１１の背面で反射され、こ
の反射されたレーザ光は反射ミラー１３で反射されて光
検出器１６に導かれ、光検出器１６に入射される。図１
において線１７はレーザ光の光路を示している。

【００２２】レーザ光の光路１７は、４つの部分１７
ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄに分けることができる。光
源１５から出たレーザ光は、光路１７ａ，１７ｂ，１７
ｃ，１７ｄの順序で光検出器１６に導かれる。ここで図
１に示されるように、水平線１８に対して光路１７ａの
作る角度をθ₀、光路１７ｄの作る角度をθ₁、カンチ
レバー１１の取付け角をθ₂とし、また垂直線１９に対
して反射ミラー１３の取付け角θ₃とする。このとき光
路１７ｄの角度θ₁は次の式で表される。単位は「度
（゜）」である。

【００２３】

【数１】 θ₁＝−２×θ₂−θ₀＋４×（９０−θ₃）−１８０

【００２４】上記の構成によれば、図１で明らかなよう
に、光源１５と光検出器１６とカンチレバー１１は同一
面（紙面に相当）に含まれており、全体として薄型に形
成することができる。光源１５からカンチレバー１１へ
の光路、カンチレバー１１から光検出器１６への光路
は、１つの反射ミラー１３だけで形成することができ、
簡素な構造で実現することができる。またカンチレバー
１１の上方の空間をあけることができ、この空間を光学
顕微鏡１４の設置スペースとして利用することができ
る。光学顕微鏡１４を、探針１２と試料の真上に配置で
きるので、光学顕微鏡１４による観察が容易であり、さ
らに高倍率の光学顕微鏡と容易に複合化させることがで
きる。

【００２５】図２は光てこ式検出光学装置における光路
の一例を示す。前述のθ₀，θ₂，θ₃をそれぞれ１０
゜，１５゜，３５゜とするとき、光検出器１６への光路
１７ｄの角度θ₁は１０゜となる。この構成を有する走
査型プローブ顕微鏡は、光源１５と光検出器１６が隣り
合わせの位置関係になり、極めてコンパクトな光てこ式
検出光学系を実現することができる。以上のように、１
個の反射ミラーを適切に配置することで、極めて薄型の
光てこ式検出光学系が実現でき、光学顕微鏡との複合も
極めて容易である。

【００２６】次に図３に従って、本発明に係る走査型プ
ローブ顕微鏡の要部構成の具体例を説明する。図におい
て、探針を先部に備えたカンチレバー３１は、その基端
がＺ軸微動機構３２の端部３２ａに固定されている。測
定時、探針は試料（図示せず）に所定の距離で接近さ
れ、探針と試料の間に原子間力が生じると、カンチレバ
ー３１ではたわみ変形が生じる。Ｚ軸微動機構３２は、
Ｚ軸方向にカンチレバー３１を微小の距離で変位させる
もので、試料表面の測定の際、Ｚ軸微動機構３２によっ
て探針と試料の間の距離を所定の距離に保つという働き
を有する。Ｚ軸微動機構３２は、通常圧電素子を利用し
て構成される。

【００２７】３３はＸＹ移動部である。ＸＹ移動部３３
は、ロッド状のＸ軸圧電素子３４ｘとＹ軸圧電素子３４
ｙが直交してなるＸＹアクチュエータ（ＸＹ微動機構）
３４に固定されるブロック状の部材である。図３に明示
されるように、ＸＹ移動部３３は、直交するＸ軸圧電素
子３４ｘとＹ軸圧電素子３４ｙの先端交差部に結合され
ている。Ｘ軸圧電素子３４ｘとＹ軸圧電素子３４ｙの各
基端は、ほぼＬの字型をした支持枠体３５に固定され
る。ＸＹアクチュエータ３４は、いわゆる従来のトライ
ポッド微動機構に近い構造を有し、後述するごとくＸＹ
方向の並進移動機構として機能する。また支持枠体３５
は、走査型プローブ顕微鏡において、動かない部分とし
て固定されている。この支持枠体３５において、ＸＹア
クチュエータ３４が動作することによって、ＸＹ移動部
３３は並進移動の動作を行う。すなわち、ＸＹ移動部３
３は、Ｘ軸圧電素子３４ｘがＸ軸方向に伸縮動作するこ
とによりＸ軸方向に並進移動され、Ｙ軸圧電素子３４ｙ
がＹ軸方向に伸縮動作することによりＹ軸方向に並進移
動される。Ｘ軸圧電素子３４ｘとＹ軸圧電素子３４ｙの
伸縮動作は、各々に設けられた電極に対して電源から必
要な電圧を印加することによって生じる。なお、当該電
極や電源の図示は省略されている。

【００２８】なお上記支持枠体３５は、Ｘ軸平行部３５
ａとＹ軸平行部３５ｂを備えている。Ｘ軸平行部３５ａ
とＸ軸圧電素子３４ｘは平行な位置関係にあり、Ｙ軸平
行部３５ｂはＹ軸圧電素子３４ｙと平行な位置関係にあ
る。

【００２９】前述したＺ軸微動機構３２は、ＸＹ移動部
３３の先部に取り付けられている。このとき、本実施形
態では一例としてカンチレバー３１の長手方向がＸ軸方
向に向くように取り付けられる。従って、ＸＹ移動部３
３のＸ軸方向またはＹ軸方向の並進移動に伴って、Ｚ軸
微動機構３２の端部３２ａに固定されたカンチレバー３
１（および探針）も、Ｘ軸、Ｙ軸の各方向に並進移動す
る。

【００３０】上記のＸＹアクチュエータ３４には、ＸＹ
移動部３３がＸＹ方向に並進運動する機構であれば、ど
のようなものでも用いることができる。ＸＹアクチュエ
ータとしては上記のごとく圧電素子を用いるのが一般的
であり、微動機構の方式としては従来のトライポッド型
や平行板バネ型等が一般的である。

【００３１】上記支持枠体３５に対して、光源（レーザ
発振器）３６と光検出器３７が取り付けられる。光源３
６と光検出器３７は上下に積み重ねられ、比較的に接近
した距離で隣り合せて配置される。ＸＹ移動部３３に
は、上記カンチレバー３１の上方位置に反射ミラー３８
が配置される。光源３６から出射されたレーザ光は、光
路３９ａ，３９ｄを経て光検出器３６に導かれる。途中
の光路（前述した図１における１７ｂ，１７ｃに相当す
る）は、反射ミラー３８に隠れて図示されていない。Ｘ
Ｙアクチュエータ３４とＺ軸微動機構３２の側面に沿う
好ましくは垂直な平面内に光路３９ａ，３９ｄが設定さ
れる。

【００３２】上記構成によれば、ＸＹアクチュエータ３
４を駆動することによりカンチレバー３１をＸＹの各方
向に走査し、Ｚ軸微動機構３２によってＺ軸方向の動作
を行うことにより、走査型プローブ顕微鏡を構成でき
る。さらに、光路３９ａ，３９ｄを圧電素子３４ｘ等の
側面に沿って配置したので、光学装置のサイズをより薄
型にできる。従ってワークディスタンスの短い高倍率の
光学顕微鏡との複合化を容易に行うこともできる。

【００３３】なお上記実施形態において、ＸＹ微動とＺ
微動の各機構を分離して構成する方式について説明した
が、例えばトライポッド機構のようにＸＹＺ機構が一体
形成されているタイプのものも使用することができる。
当然ながら、試料側にＸＹＺ微動機構を設けた構成でも
よく、光学顕微鏡との複合化が実現できる。さらに、光
源３６と光検出器３７の位置関係も上下の隣り合わせに
限定されるものではなく、例えば他の１つの反射ミラー
を光路内に含ませ、バランスの良い配置構成にすること
は極めて容易である。

【００３４】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、光学顕微鏡との複合に適した光てこ式検出光学装
置を備える走査型プローブ顕微鏡において、当該光学装
置の光路を微動機構の側部の平面的なスペースを利用し
て極めて小型に作ることができ、しかも光学装置の部品
点数の少ない簡素な構造を実現でき、ワーキングディス
タンスの小さい高倍率の光学顕微鏡と複合させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の要部構成を示す模式図である。

【図２】本発明の要部構成の具体的一例を示す模式図で
ある。

【図３】本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の具体的な
要部構成を示す外観斜視図である。

【図４】従来の走査型プローブ顕微鏡の一例を示す構成
図である。

【図５】従来の走査型プローブ顕微鏡の他の例の要部を
示す構成図である。

【図６】従来の走査型プローブ顕微鏡の他の例を示す構
成図である。

【符号の説明】

１１，３１カンチレバー１２探針１３反射ミラー１４光学顕微鏡１５，３６光源１６，３７光検出器１７光路３２Ｚ軸微動機構３３ＸＹ移動部３４ＸＹアクチュエータ（ＸＹ微動
機構）３５支持枠体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者森本高史茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内 (72)発明者黒田浩史茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】探針を有するカンチレバーと、前記探針
と試料の間に相対変位を与える微動機構と、変位検出光
学装置を備え、前記探針と前記試料の間に作用する物理
量により生じるカンチレバーのたわみ変形量を前記光学
装置で検出して前記試料の表面性状を計測する走査型プ
ローブ顕微鏡において、前記光学装置は、光を出射する光源と、前記光を受ける
光検出器と、前記光を反射する反射部からなり、前記光
源から出射された前記光を前記反射部によって前記カン
チレバーの背面に導き、前記カンチレバーで反射された
前記光を前記反射部によって前記光検出器へ導くように
構成され、前記光源から前記反射部への前記光の光軸と、前記反射
部から前記光検出器への前記光の光軸が、数度から２０
度の範囲内の角度で交差するようにしたことを特徴とす
る走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】前記カンチレバーの設置角度を前記試料
の表面に対して１５度、前記反射部から前記光検出器へ
の前記光の角度を前記試料の表面に対して１０度にした
ことを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微
鏡。
【請求項３】前記微動機構の側面に沿う平面内に、前
記光源から前記反射部への前記光の光軸と、前記反射部
から前記光検出器への前記光の光軸が設定されることを
特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】前記微動機構の側面に沿う前記平面は、
前記カンチレバーを含む垂直平面であることを特徴とす
る請求項３記載の走査型プローブ顕微鏡。