JPH10294517A - レーザ光発生装置 - Google Patents
レーザ光発生装置Info
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- JPH10294517A JPH10294517A JP9101987A JP10198797A JPH10294517A JP H10294517 A JPH10294517 A JP H10294517A JP 9101987 A JP9101987 A JP 9101987A JP 10198797 A JP10198797 A JP 10198797A JP H10294517 A JPH10294517 A JP H10294517A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の周波数でＱスイッチレーザ光源を発振
させ、かつ、中心周波数と波長幅とを含む縦モード分布
を安定して制御することができるレーザ光発生装置を提
供する。 【解決手段】 Ｑスイッチレーザ１と、複数の周波数で
発振する連続波レーザ２とを備える。連続波レーザ２よ
りの出射光をＱスイッチレーザ１に注入同期させること
により、Ｑスイッチレーザ１を複数の周波数で発振させ
る。
させ、かつ、中心周波数と波長幅とを含む縦モード分布
を安定して制御することができるレーザ光発生装置を提
供する。 【解決手段】 Ｑスイッチレーザ１と、複数の周波数で
発振する連続波レーザ２とを備える。連続波レーザ２よ
りの出射光をＱスイッチレーザ１に注入同期させること
により、Ｑスイッチレーザ１を複数の周波数で発振させ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、種々の科学機器、
露光装置、照明装置、ディスプレイ装置等の光源として
用いられるレーザ光発生装置に関する。
露光装置、照明装置、ディスプレイ装置等の光源として
用いられるレーザ光発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、種々の科学機器、露光装置、照明
装置、ディスプレイ装置等の光源として用いられるレー
ザ光発生装置として、Ｑスイッチレーザ光源に単一縦モ
ードの連続波レーザ光源（T.Kane, R.L.Byer, Optics L
etters,VOl.10,p.p.65-67,(1985).）より出射される連
続波レーザ光を注入同期（インジェクションシーディン
グ）して、単一モードのＱスイッチパルス光を発生させ
るようにしたものがある（Lightwave Electronics社製
品カタログ，Model-101）。
装置、ディスプレイ装置等の光源として用いられるレー
ザ光発生装置として、Ｑスイッチレーザ光源に単一縦モ
ードの連続波レーザ光源（T.Kane, R.L.Byer, Optics L
etters,VOl.10,p.p.65-67,(1985).）より出射される連
続波レーザ光を注入同期（インジェクションシーディン
グ）して、単一モードのＱスイッチパルス光を発生させ
るようにしたものがある（Lightwave Electronics社製
品カタログ，Model-101）。
【０００３】また、単一モード以外で、例えば決まった
周波数差をもつ複数モードで発振するレーザ光源を作成
するには、複屈折フィルタ、エタロン等を単独または複
数組み合わせて制御することか行われてきた（Solid-St
ate Laser Engineering, 3rdEdition,Springer Verla
g.）。
周波数差をもつ複数モードで発振するレーザ光源を作成
するには、複屈折フィルタ、エタロン等を単独または複
数組み合わせて制御することか行われてきた（Solid-St
ate Laser Engineering, 3rdEdition,Springer Verla
g.）。
【０００４】また、Ｑスイッチレーザ光源の複数モード
化としては、出射光を音響光学変調器、いわゆるＡＯＭ
や、電気光学変調器、いわゆるＥＯＭなどの位相変調器
に通過させることで行うようにした報告もある。
化としては、出射光を音響光学変調器、いわゆるＡＯＭ
や、電気光学変調器、いわゆるＥＯＭなどの位相変調器
に通過させることで行うようにした報告もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うに、Ｑスイッチレーザの注入同期は、縦単一モードの
連続波レーザを注入して縦単一モードのＱスイッチパル
ス光を発生させるものであるため、中心波長を安定化さ
せることができるが、波長幅は略々パルス幅で決定され
る値まで小さくなる。しかるに、光源としての応用分野
によっては、波長幅を一定範囲に制御してスペックル低
減及び色収差低減等を同時に行う必要があり、また、特
定の縦モード数が所望の数である科学分野もある。この
とき、単一モードのＱスイッチパルスをそのまま用いる
ことかできないことがある。また、注入同期を用いない
と多数の縦モードを含むマルチモード発振になり、これ
も所望の波長幅より大きくなってしまう。
うに、Ｑスイッチレーザの注入同期は、縦単一モードの
連続波レーザを注入して縦単一モードのＱスイッチパル
ス光を発生させるものであるため、中心波長を安定化さ
せることができるが、波長幅は略々パルス幅で決定され
る値まで小さくなる。しかるに、光源としての応用分野
によっては、波長幅を一定範囲に制御してスペックル低
減及び色収差低減等を同時に行う必要があり、また、特
定の縦モード数が所望の数である科学分野もある。この
とき、単一モードのＱスイッチパルスをそのまま用いる
ことかできないことがある。また、注入同期を用いない
と多数の縦モードを含むマルチモード発振になり、これ
も所望の波長幅より大きくなってしまう。
【０００６】一方、この問題を解決するため、縦単一モ
ード発振のＱスイッチレーザ出力パルスを電気光学素子
等を用いて変調し、波長幅を制御する方法があるが、Ｑ
スイッチレーザのパルス出力の尖塔値が高くなると光学
素子等の損傷等の問題が顕著になる。また、電気光学結
晶が高周波の変調電界で吸収を持つと素子が発熱し、熱
勾配からビームの振れ等が発生しやすくなる。
ード発振のＱスイッチレーザ出力パルスを電気光学素子
等を用いて変調し、波長幅を制御する方法があるが、Ｑ
スイッチレーザのパルス出力の尖塔値が高くなると光学
素子等の損傷等の問題が顕著になる。また、電気光学結
晶が高周波の変調電界で吸収を持つと素子が発熱し、熱
勾配からビームの振れ等が発生しやすくなる。
【０００７】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、複数の周波数でＱスイッチレー
ザを発振させることができ、かつ、中心周波数と波長幅
とを含む縦モード分布を安定して制御することができる
ようになされたレーザ光発生装置の提供という課題を解
決しようとするものである。
案されるものであって、複数の周波数でＱスイッチレー
ザを発振させることができ、かつ、中心周波数と波長幅
とを含む縦モード分布を安定して制御することができる
ようになされたレーザ光発生装置の提供という課題を解
決しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係るレーザ光発生装置は、注入波光源の出
射光をＱスイッチレーザ光源に注入同期して、Ｑスイッ
チレーザ光源を複数の周波数で発振させることを特徴と
するものであり、注入波光源は、Ｑスイッチレーザ光源
の複数の共振器縦モードに亘って波長広がりをもつ出射
光を出射することとしたものである。
め、本発明に係るレーザ光発生装置は、注入波光源の出
射光をＱスイッチレーザ光源に注入同期して、Ｑスイッ
チレーザ光源を複数の周波数で発振させることを特徴と
するものであり、注入波光源は、Ｑスイッチレーザ光源
の複数の共振器縦モードに亘って波長広がりをもつ出射
光を出射することとしたものである。
【０００９】また、本発明に係るレーザ光発生装置は、
注入波レーザ光源の出射光をＱスイッチレーザ光源に注
入同期して、Ｑスイッチレーザ光源を複数の周波数で発
振させることを特徴とするものであり、注入波レーザ光
源は、複数の周波数で発振することとしたものである。
注入波レーザ光源の出射光をＱスイッチレーザ光源に注
入同期して、Ｑスイッチレーザ光源を複数の周波数で発
振させることを特徴とするものであり、注入波レーザ光
源は、複数の周波数で発振することとしたものである。
【００１０】すなわち、本発明に係るレーザ光発生装置
においては、複数の周波数でＱスイッチレーザ光源を発
振させることができ、かつ、中心周波数と波長幅とを含
む縦モード分布を安定して制御することができる。
においては、複数の周波数でＱスイッチレーザ光源を発
振させることができ、かつ、中心周波数と波長幅とを含
む縦モード分布を安定して制御することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
【００１２】本発明に係るレーザ光発生装置は、図１に
示すように、Ｑスイッチレーザ光源となるＱスイッチレ
ーザ部１と、このＱスイッチレーザ部１に対して注入同
期、すなわち、インジェクションシーディングを行う注
入波光源となる注入レーザ部２とを有して構成されてい
る。
示すように、Ｑスイッチレーザ光源となるＱスイッチレ
ーザ部１と、このＱスイッチレーザ部１に対して注入同
期、すなわち、インジェクションシーディングを行う注
入波光源となる注入レーザ部２とを有して構成されてい
る。
【００１３】Ｑスイッチレーザ部１においては、励起光
源１１からの出射光がレーザ媒質１２に照射され、この
レーザ媒質１２は、蛍光を発光する。このレーザ媒質１
２から発光する蛍光は、このレーザ媒質１２の前後に配
設された共振器ミラー１３，１４間で反射されながら誘
導放出により増幅され、出射側、すなわち、前方側の共
振器ミラ一１４から一部が出力光として取り出される。
なお、このＱスイッチレーザ部１は、例えば、ネオジミ
ウムヤグレーザ（Ｎｄ：ＹＡＧレーザ）、ネオジミウム
パナデートレーザ（Ｎｄ：ＹＶＯ4レーザ）等によって
構成することができる。
源１１からの出射光がレーザ媒質１２に照射され、この
レーザ媒質１２は、蛍光を発光する。このレーザ媒質１
２から発光する蛍光は、このレーザ媒質１２の前後に配
設された共振器ミラー１３，１４間で反射されながら誘
導放出により増幅され、出射側、すなわち、前方側の共
振器ミラ一１４から一部が出力光として取り出される。
なお、このＱスイッチレーザ部１は、例えば、ネオジミ
ウムヤグレーザ（Ｎｄ：ＹＡＧレーザ）、ネオジミウム
パナデートレーザ（Ｎｄ：ＹＶＯ4レーザ）等によって
構成することができる。
【００１４】共振器ミラー１３，１４間には、レーザ媒
質１２の前後に位置して、複数のλ／４板、すなわち、
四分の一波長板、ＱＷＰ１８，１８が配設されている。
また、レーザ媒質１２の後方側のＱＷＰ１８とこの例に
おいては後方側の共振器ミラー１３との間には、図２に
一例を示すように、Ｑスイッチ、例えば、音響光学変調
器、いわゆるＡＯＭや電気光学変調器、いわゆるＥＯＭ
１５又はポッケルスセル及びポラライザ１７が配設され
ている。これらは、図１において、レーザ媒質１２の前
方側ＱＷＰ１８と前方側の共振器ミラー１４との間に置
かれることも多い。さらに、共振器ミラー１３，１４間
の間隔、すなわち、共振器長は、共振器ミラー１３を移
動操作する素子、通常は圧電素子（いわゆるＰＺＴ）か
らなるアクチュエータ２４により、制御可能となってい
る。
質１２の前後に位置して、複数のλ／４板、すなわち、
四分の一波長板、ＱＷＰ１８，１８が配設されている。
また、レーザ媒質１２の後方側のＱＷＰ１８とこの例に
おいては後方側の共振器ミラー１３との間には、図２に
一例を示すように、Ｑスイッチ、例えば、音響光学変調
器、いわゆるＡＯＭや電気光学変調器、いわゆるＥＯＭ
１５又はポッケルスセル及びポラライザ１７が配設され
ている。これらは、図１において、レーザ媒質１２の前
方側ＱＷＰ１８と前方側の共振器ミラー１４との間に置
かれることも多い。さらに、共振器ミラー１３，１４間
の間隔、すなわち、共振器長は、共振器ミラー１３を移
動操作する素子、通常は圧電素子（いわゆるＰＺＴ）か
らなるアクチュエータ２４により、制御可能となってい
る。
【００１５】Ｑスイッチ動作の一例として、Ｑスイッチ
１５がオフのときには、図６中の（ａ）、（ｂ）に示す
ように、通過するビームの偏光状態が変化、または、偏
向して共振器損失が大きくなり、Ｑスイッチレーザは発
振しない。Ｑスイッチ１５がオンになった瞬間、図７中
の（ａ）、（ｂ）に示すように、外部からの注入光が遮
断されて、既に共振器内に入っていた注入光が共振器内
を低損失で往復しながらレーザ媒質１２中に蓄えられた
エネルギーを誘導放出の形で増幅に利用し光パルスとし
て取り出される。Ｑスイッチの動作及び励起光源１１の
駆動、制御、並びに、レーザ媒質１２の温度制御は、駆
動制御回路１６により行われる。アクチュエータ２４
は、駆動制御回路１６により制御されて、パルスの立上
がり時間をもとに共振器長を精密に制御する。
１５がオフのときには、図６中の（ａ）、（ｂ）に示す
ように、通過するビームの偏光状態が変化、または、偏
向して共振器損失が大きくなり、Ｑスイッチレーザは発
振しない。Ｑスイッチ１５がオンになった瞬間、図７中
の（ａ）、（ｂ）に示すように、外部からの注入光が遮
断されて、既に共振器内に入っていた注入光が共振器内
を低損失で往復しながらレーザ媒質１２中に蓄えられた
エネルギーを誘導放出の形で増幅に利用し光パルスとし
て取り出される。Ｑスイッチの動作及び励起光源１１の
駆動、制御、並びに、レーザ媒質１２の温度制御は、駆
動制御回路１６により行われる。アクチュエータ２４
は、駆動制御回路１６により制御されて、パルスの立上
がり時間をもとに共振器長を精密に制御する。
【００１６】注入レーザ部２も、励起光源２１及びレー
ザ共振器２２を有して構成されている。この注入レーザ
部２の共振器２２より出射される出力光のビームは、必
要に応じて置かれた光アイソレータ２、光変調器２６を
通過しながらミラー２３及ぴポラライザ１７、または、
ミラーで反射されて、Ｑスイッチレーザ部１の共振器内
に注入レーザ光として導入される。注入レーザ部２は、
通常の場合は連続波で発振し、常時、Ｑスイッチレーザ
部１ヘビームを注入する。この注入レーザ部２の共振器
２２はモノリシック共振器が用いられることも多く、温
度調節のほか、圧電素子等により周波数を可変にするこ
とも可能である。
ザ共振器２２を有して構成されている。この注入レーザ
部２の共振器２２より出射される出力光のビームは、必
要に応じて置かれた光アイソレータ２、光変調器２６を
通過しながらミラー２３及ぴポラライザ１７、または、
ミラーで反射されて、Ｑスイッチレーザ部１の共振器内
に注入レーザ光として導入される。注入レーザ部２は、
通常の場合は連続波で発振し、常時、Ｑスイッチレーザ
部１ヘビームを注入する。この注入レーザ部２の共振器
２２はモノリシック共振器が用いられることも多く、温
度調節のほか、圧電素子等により周波数を可変にするこ
とも可能である。
【００１７】なお、この注入レーザ部２は、ネオジミウ
ムヤグレーザ、ネオジミウムパナデートレーザ等の固体
レーザにより構成することができる。また、この注入レ
ーザ部２は、レーザダイオード、すなわち、半導体レー
ザにより構成されることとしてもよい。また、波長可変
レーザを用いることもできる。この場合において、この
注入レーザ部２は、連続波で発振するものとしてもよい
が、Ｑスイッチレーザ部１におけるＱスイッチパルスの
出力に同期してパルス出力を行うパルスレーザであるこ
ととしてもよい。さらに、この注入波光源としては、レ
ーザに限らず、発光ダイオードや、電子、分子、イオン
等からの発光を用いることとしてもよい。
ムヤグレーザ、ネオジミウムパナデートレーザ等の固体
レーザにより構成することができる。また、この注入レ
ーザ部２は、レーザダイオード、すなわち、半導体レー
ザにより構成されることとしてもよい。また、波長可変
レーザを用いることもできる。この場合において、この
注入レーザ部２は、連続波で発振するものとしてもよい
が、Ｑスイッチレーザ部１におけるＱスイッチパルスの
出力に同期してパルス出力を行うパルスレーザであるこ
ととしてもよい。さらに、この注入波光源としては、レ
ーザに限らず、発光ダイオードや、電子、分子、イオン
等からの発光を用いることとしてもよい。
【００１８】Ｑスイッチレーザ部１においては、Ｑスイ
ッチパルスが立ち上がっている間は、注入レーザ部２よ
りのビームの導入が中断され、Ｑスイッチパルスが注入
レーザ部２に戻りにくくなる。さらに、Ｑスイッチレー
ザ部１には、必要に応じて光アイソレータ２５が設けら
れる。Ｑスイッチ１５としてＥＯＭの代わりにＡＯＭを
用いる場合、ポラライザの代わりにミラーが用いられ
る。このときは、偏光制御ではなくＱスイッチレーザの
共振器内ビーム光路が変化してパルスが立上がる。
ッチパルスが立ち上がっている間は、注入レーザ部２よ
りのビームの導入が中断され、Ｑスイッチパルスが注入
レーザ部２に戻りにくくなる。さらに、Ｑスイッチレー
ザ部１には、必要に応じて光アイソレータ２５が設けら
れる。Ｑスイッチ１５としてＥＯＭの代わりにＡＯＭを
用いる場合、ポラライザの代わりにミラーが用いられ
る。このときは、偏光制御ではなくＱスイッチレーザの
共振器内ビーム光路が変化してパルスが立上がる。
【００１９】Ｑスイッチレーザについて簡単に説明する
と以下のようになる。このＱスイッチレーザにおいて
は、レーザ媒質１２中の励起光源により照射されたイオ
ン、または原子が励起状態に励起される。励起されるイ
オンは、固体レーザの場合、クロム等の遷移金属イオ
ン、ネオジミウム等の希土類の金属イオンの添加された
物質であり、有効に励起光を吸収するよう励起波長が選
択される。励起されたイオンは上位準位に電子状態を変
え、一定時間の間励起状態に留まるが、やがて自然放出
により蛍光を発しながら下位準位に遷移し、やがて基底
状態まで電子準位を下げる。イオンの電子準位が熱平衡
状態に比べて上位準位に多い反転分布の間に、上下準位
のエネルギー差に等しい波長の光が入射すると誘導放出
により光を発して下位順位に遷移するが、このとき入射
光が増幅される。誘導放出を起こす最初の光は、自然放
出の蛍光、外部からの注入光等が考えられ、前者の場
合、通常スペクトル幅が広いため、エタロン等の波長制
御素子を用いないと、利得幅の中の共振器モードが多い
場合、縦多モード発振しやすい。後者の場合、注入光の
波長または波長分布と重複する共振器モードでＱスイッ
チレーザの利得が利用され易いため、縦単一モードの注
入光を入射すると、注入無しで縦多モード発振するＱス
イッチレーザも縦単一モードで発振させることが可能で
ある。このとき、注入光の波長とＱスイッチレーザの共
振器モードのいずれかを合わせる必要があり、このため
にアクチュエータによりＱスイッチレーザの共振器長を
制御してこれを行うことが多い。アクチュエータの移動
方向の決定は、アクチュエータを微少量前後に移動し、
パルスの立ち上がり時間の減少分が最大になる点に保持
することで、実現される。また、利得中心の周波数が温
度依存性をもつ場合、レーザ媒質の温度を制御して利得
中心付近に発振モードが来るようにすることで、安定
に、多少大きな利得を利用できる。こうして実現される
縦単一モードのＱスイッチレーザは、科学用途等に幅広
く利用されている。
と以下のようになる。このＱスイッチレーザにおいて
は、レーザ媒質１２中の励起光源により照射されたイオ
ン、または原子が励起状態に励起される。励起されるイ
オンは、固体レーザの場合、クロム等の遷移金属イオ
ン、ネオジミウム等の希土類の金属イオンの添加された
物質であり、有効に励起光を吸収するよう励起波長が選
択される。励起されたイオンは上位準位に電子状態を変
え、一定時間の間励起状態に留まるが、やがて自然放出
により蛍光を発しながら下位準位に遷移し、やがて基底
状態まで電子準位を下げる。イオンの電子準位が熱平衡
状態に比べて上位準位に多い反転分布の間に、上下準位
のエネルギー差に等しい波長の光が入射すると誘導放出
により光を発して下位順位に遷移するが、このとき入射
光が増幅される。誘導放出を起こす最初の光は、自然放
出の蛍光、外部からの注入光等が考えられ、前者の場
合、通常スペクトル幅が広いため、エタロン等の波長制
御素子を用いないと、利得幅の中の共振器モードが多い
場合、縦多モード発振しやすい。後者の場合、注入光の
波長または波長分布と重複する共振器モードでＱスイッ
チレーザの利得が利用され易いため、縦単一モードの注
入光を入射すると、注入無しで縦多モード発振するＱス
イッチレーザも縦単一モードで発振させることが可能で
ある。このとき、注入光の波長とＱスイッチレーザの共
振器モードのいずれかを合わせる必要があり、このため
にアクチュエータによりＱスイッチレーザの共振器長を
制御してこれを行うことが多い。アクチュエータの移動
方向の決定は、アクチュエータを微少量前後に移動し、
パルスの立ち上がり時間の減少分が最大になる点に保持
することで、実現される。また、利得中心の周波数が温
度依存性をもつ場合、レーザ媒質の温度を制御して利得
中心付近に発振モードが来るようにすることで、安定
に、多少大きな利得を利用できる。こうして実現される
縦単一モードのＱスイッチレーザは、科学用途等に幅広
く利用されている。
【００２０】そして、本発明を用いれば、複数モードで
Ｑスイッチレーザ部１を発振させることができる。すな
わち、注入光に二周波数以上のスペクトルをもつ光を用
い、注入光の波長分布と、Ｑスイッチレーザ部１の共振
器モードが重複するように選択することで、複数モード
でＱスイッチレーザ部１を発振させることができる。注
入レーザ部２が複数の波長で安定に発振していれば、こ
の注入レーザ部２の出射光を注入されたＱスイッチレー
ザ部１も安定に発振させることができる。インジェクシ
ョンロッキングで要求される波長の同一性に比べ、注入
同期、すなわち、インジェクションシーディングで要求
される波長差のマージンは通常広いから、複数モードの
場合、多少の周波数差があっても動作可能である。注入
レーザ部２の縦モードの周波数ν（ｑ）は、 ν（ｑ）＝ｑｃ／（２ｌ） ・・・（式１） で与えられ、波長λ（ｑ）は、 λ（ｑ）＝２ｌ／ｑ ・・・（式２） で与えられる。ここで、νｑは注入レーザ部２のレーザ
発振周波数、ｌは往復又は一周の共振器光路長、ｃは真
空中の光速、ｑは自然数である。また、Ｑスイッチレー
ザ部１の共振器モードの周波数は、Ｌを往復の共振器光
路長、Ｑを自然数として、 ν（Ｑ）＝Ｑｃ／（２Ｌ） ・・・（式３） で与えられ、波長λ（Ｑ）は、 λ（Ｑ）＝２Ｌ／Ｑ ・・・（式４） で与えられる。注入レーザ部２が、図３に示すように、
ｑ＝ｑ１、ｑ２、・・・ｑＮ（ただし、ｑ１＜ｑ２＜・
・・＜ｑＮ、Ｎは２以上の自然数、ｑ１，ｑ２，・・・
ｑＮは自然数）で発振し、Ｑスイッチレーザ部１が、図
４に示すように、Ｑ＝Ｑ１、Ｑ２、・・・ＱＮ（ただ
し、Ｑ１＜Ｑ２＜・・・＜ＱＮ、Ｎは２以上の自然数、
Ｑ１，Ｑ２，・・・ＱＮは自然数）で発振するものとす
れぱ、 λ（ｑ１）＝λ（Ｑ１）かつ、λ（ｑ２）＝λ（Ｑ２） ・・・（式５） が要求されるが、（式５）を満たすかぎり、利得中心波
長から大きくずれていなければ、ｑ１、ｑ２、Ｑ１、Ｑ
２は自由に選択可能である。したがって、所望のＱスイ
ッチレーザ部１の複数のモード（Ｑ１、Ｑ２、・・・）
が決まれば、（式１）−（式５）より、 ｑ１／Ｑ１＝ｑ２／Ｑ２＝ｑ３／Ｑ３＝・・・＝ｑＮ／ＱＮ ・・・（式６） を満たすように注入レーザ部２の共振器長を選べばよ
い。モード数が増えても、同様の原理に従って、２種の
レーザを選べぱよい。
Ｑスイッチレーザ部１を発振させることができる。すな
わち、注入光に二周波数以上のスペクトルをもつ光を用
い、注入光の波長分布と、Ｑスイッチレーザ部１の共振
器モードが重複するように選択することで、複数モード
でＱスイッチレーザ部１を発振させることができる。注
入レーザ部２が複数の波長で安定に発振していれば、こ
の注入レーザ部２の出射光を注入されたＱスイッチレー
ザ部１も安定に発振させることができる。インジェクシ
ョンロッキングで要求される波長の同一性に比べ、注入
同期、すなわち、インジェクションシーディングで要求
される波長差のマージンは通常広いから、複数モードの
場合、多少の周波数差があっても動作可能である。注入
レーザ部２の縦モードの周波数ν（ｑ）は、 ν（ｑ）＝ｑｃ／（２ｌ） ・・・（式１） で与えられ、波長λ（ｑ）は、 λ（ｑ）＝２ｌ／ｑ ・・・（式２） で与えられる。ここで、νｑは注入レーザ部２のレーザ
発振周波数、ｌは往復又は一周の共振器光路長、ｃは真
空中の光速、ｑは自然数である。また、Ｑスイッチレー
ザ部１の共振器モードの周波数は、Ｌを往復の共振器光
路長、Ｑを自然数として、 ν（Ｑ）＝Ｑｃ／（２Ｌ） ・・・（式３） で与えられ、波長λ（Ｑ）は、 λ（Ｑ）＝２Ｌ／Ｑ ・・・（式４） で与えられる。注入レーザ部２が、図３に示すように、
ｑ＝ｑ１、ｑ２、・・・ｑＮ（ただし、ｑ１＜ｑ２＜・
・・＜ｑＮ、Ｎは２以上の自然数、ｑ１，ｑ２，・・・
ｑＮは自然数）で発振し、Ｑスイッチレーザ部１が、図
４に示すように、Ｑ＝Ｑ１、Ｑ２、・・・ＱＮ（ただ
し、Ｑ１＜Ｑ２＜・・・＜ＱＮ、Ｎは２以上の自然数、
Ｑ１，Ｑ２，・・・ＱＮは自然数）で発振するものとす
れぱ、 λ（ｑ１）＝λ（Ｑ１）かつ、λ（ｑ２）＝λ（Ｑ２） ・・・（式５） が要求されるが、（式５）を満たすかぎり、利得中心波
長から大きくずれていなければ、ｑ１、ｑ２、Ｑ１、Ｑ
２は自由に選択可能である。したがって、所望のＱスイ
ッチレーザ部１の複数のモード（Ｑ１、Ｑ２、・・・）
が決まれば、（式１）−（式５）より、 ｑ１／Ｑ１＝ｑ２／Ｑ２＝ｑ３／Ｑ３＝・・・＝ｑＮ／ＱＮ ・・・（式６） を満たすように注入レーザ部２の共振器長を選べばよ
い。モード数が増えても、同様の原理に従って、２種の
レーザを選べぱよい。
【００２１】なお、上述のような条件を満足させる手段
としては、注入レーザ部２に圧電素子、いわゆるＰＺＴ
からなるアクチュエータを設け、この注入レーザ部２の
共振器長を制御して、注入レーザ光の周波数を制御する
こととしてもよい。そして、注入レーザ部２より出力さ
れた注入レーザ光を、音響光学変調器、いわゆるＡＯＭ
や電気光学変調器、いわゆるＥＯＭ、位相変調器によっ
て周波数変調することとしてもよい。
としては、注入レーザ部２に圧電素子、いわゆるＰＺＴ
からなるアクチュエータを設け、この注入レーザ部２の
共振器長を制御して、注入レーザ光の周波数を制御する
こととしてもよい。そして、注入レーザ部２より出力さ
れた注入レーザ光を、音響光学変調器、いわゆるＡＯＭ
や電気光学変調器、いわゆるＥＯＭ、位相変調器によっ
て周波数変調することとしてもよい。
【００２２】そして、注入レーザ部２がレーザダイオー
ドである場合においては、この注入レーザ部２よりの出
力光、すなわち、注入レーザ光は、Ｑスイッチレーザ部
１の複数の縦モードに亘って波長広がりを持つことも可
能となる。この場合においては、注入レーザ光の波長広
がりの範囲内において、Ｑスイッチレーザ部１において
複数の縦モードの発振が行われる。
ドである場合においては、この注入レーザ部２よりの出
力光、すなわち、注入レーザ光は、Ｑスイッチレーザ部
１の複数の縦モードに亘って波長広がりを持つことも可
能となる。この場合においては、注入レーザ光の波長広
がりの範囲内において、Ｑスイッチレーザ部１において
複数の縦モードの発振が行われる。
【００２３】この場合においては、レーザダイオードの
発振波長の選択や選別を行うことにより、レーザダイオ
ードの出射光の中心周波数をＱスイッチレーザ光源の発
振利得中心に略々一致させることができる。レーザダイ
オードにおいては、周波数調整電流の調整、温度の調
整、印加電圧の調整によって、発振波長の選択や選別を
行うことができる。
発振波長の選択や選別を行うことにより、レーザダイオ
ードの出射光の中心周波数をＱスイッチレーザ光源の発
振利得中心に略々一致させることができる。レーザダイ
オードにおいては、周波数調整電流の調整、温度の調
整、印加電圧の調整によって、発振波長の選択や選別を
行うことができる。
【００２４】また、注入レーザ部２が電子、分子、イオ
ン等からの発光を用いる光源である場合においては、電
子、分子、イオン等からの発光波長の選択や選別を行う
ことにより、注入レーザ部２の出射光の中心周波数をＱ
スイッチレーザ光源の発振利得中心に略々一致させるこ
とができる。
ン等からの発光を用いる光源である場合においては、電
子、分子、イオン等からの発光波長の選択や選別を行う
ことにより、注入レーザ部２の出射光の中心周波数をＱ
スイッチレーザ光源の発振利得中心に略々一致させるこ
とができる。
【００２５】また、注入レーザ部２が、図５中（ａ）に
示すように、横多モードで発振しており、複数の周波数
で発振していても、同様の手法が利用できる。通常、Ｑ
スイッチレーザ部１の共振器長Ｌは長く、注入レーザ部
２の共振器長ｌは短いから、Ｑスイッチレーザ部１の共
振器モード間隔に対して注入レーザ部２の縦モード間隔
は何倍かに広くなる。したがって、Ｑスイッチレーザ部
１において互いに近接する共振器縦モードを同時に励振
する注入レーザ部２の縦モードを発振させることは難し
い。このときは、注入レーザ部２の横モードを利用する
ことで、この注入レーザ部２の縦モード間隔よりも小さ
い間隔の複数モードを発振させることができ、このとき
の出力光をＱスイッチレーザ部１に注入すればよい。こ
のとき、注入レーザ部２の発振波長λqmnは、 λqmn＝２ｌ／〔ｑ＋（ｍ＋ｎ＋１）（Arccos（±√ｇ1ｇ2））／π〕 ・・・（式７） で与えられる。ここに、ｑ、ｍ、ｎは自然数で、ｑは縦
モードの次数、ｍ、ｎは横モードの次数に相当する。ま
た、ｇ1、ｇ2は共振器を構成するミラーの曲率半径をＲ
１、Ｒ２としておおよそ次の量で与えられる。
示すように、横多モードで発振しており、複数の周波数
で発振していても、同様の手法が利用できる。通常、Ｑ
スイッチレーザ部１の共振器長Ｌは長く、注入レーザ部
２の共振器長ｌは短いから、Ｑスイッチレーザ部１の共
振器モード間隔に対して注入レーザ部２の縦モード間隔
は何倍かに広くなる。したがって、Ｑスイッチレーザ部
１において互いに近接する共振器縦モードを同時に励振
する注入レーザ部２の縦モードを発振させることは難し
い。このときは、注入レーザ部２の横モードを利用する
ことで、この注入レーザ部２の縦モード間隔よりも小さ
い間隔の複数モードを発振させることができ、このとき
の出力光をＱスイッチレーザ部１に注入すればよい。こ
のとき、注入レーザ部２の発振波長λqmnは、 λqmn＝２ｌ／〔ｑ＋（ｍ＋ｎ＋１）（Arccos（±√ｇ1ｇ2））／π〕 ・・・（式７） で与えられる。ここに、ｑ、ｍ、ｎは自然数で、ｑは縦
モードの次数、ｍ、ｎは横モードの次数に相当する。ま
た、ｇ1、ｇ2は共振器を構成するミラーの曲率半径をＲ
１、Ｒ２としておおよそ次の量で与えられる。
【００２６】 ｇ1＝１−ｌ／Ｒ１，ｇ2＝１−ｌ／Ｒ２ ・・・（式８） このように、注入レーザ部２の横モードの使用により、
注入レーザ部２の共振器長を長くすることによって共振
器縦モード間隔を狭くすることなく、すなわち、注入レ
ーザ部２の共振器長を適当なサイズとしたままで、図５
中（ｂ）に示すように、Ｑスイッチレーザ部１から、狭
い周波数間隔の複数の波長の出力光を得ることが可能に
なる。
注入レーザ部２の共振器長を長くすることによって共振
器縦モード間隔を狭くすることなく、すなわち、注入レ
ーザ部２の共振器長を適当なサイズとしたままで、図５
中（ｂ）に示すように、Ｑスイッチレーザ部１から、狭
い周波数間隔の複数の波長の出力光を得ることが可能に
なる。
【００２７】例えば、簡単な例としてＲ１＝∞、Ｒ２＝
５０ｍｍ、ｌ＝３０ｍｍの場合、ｇ1＝１、ｇ2＝０．４
となり、ｍ＝１、ｎ＝０のＴＥＭ１０モードの場合、ｑ
の等しいＴＥＭ００モードとの波長差は（式７）を計算
して、ｑの１だけ異なる縦モード間隔に比べて０．２８
倍の小さい波長差になる。したがって、この注入レーザ
部２を複数横モードで発振させ、この複数波長の出力光
を注入することで、横基本モードのＱスイッチレーザ部
１における近接する共振器縦モードを発振させることが
可能となる。
５０ｍｍ、ｌ＝３０ｍｍの場合、ｇ1＝１、ｇ2＝０．４
となり、ｍ＝１、ｎ＝０のＴＥＭ１０モードの場合、ｑ
の等しいＴＥＭ００モードとの波長差は（式７）を計算
して、ｑの１だけ異なる縦モード間隔に比べて０．２８
倍の小さい波長差になる。したがって、この注入レーザ
部２を複数横モードで発振させ、この複数波長の出力光
を注入することで、横基本モードのＱスイッチレーザ部
１における近接する共振器縦モードを発振させることが
可能となる。
【００２８】そして、このレーザ光発生装置において
は、Ｑスイッチレーザ部１よりの出力光を、周波数制御
手段、例えば、音響光学変調器、いわゆるＡＯＭや電気
光学変調器、いわゆるＥＯＭや位相変調器を用いて変調
することとしてもよい。このような変調を行うことで、
波長幅を広くできるとともに、発振モード数を増やすこ
とができる。また、Ｑスイッチレーザ部１よりの出力光
を、非線形光学素子を用いて波長変換したり、ｎ次高調
波（ただし、ｎは、２以上の整数）を発生させることと
してもよい。このように、Ｑスイッチレーザ部１よりの
出力光を波長変換する場合には、この波長変換後の波長
に応じて、注入レーザ部２の発振波長を選択することが
できる。
は、Ｑスイッチレーザ部１よりの出力光を、周波数制御
手段、例えば、音響光学変調器、いわゆるＡＯＭや電気
光学変調器、いわゆるＥＯＭや位相変調器を用いて変調
することとしてもよい。このような変調を行うことで、
波長幅を広くできるとともに、発振モード数を増やすこ
とができる。また、Ｑスイッチレーザ部１よりの出力光
を、非線形光学素子を用いて波長変換したり、ｎ次高調
波（ただし、ｎは、２以上の整数）を発生させることと
してもよい。このように、Ｑスイッチレーザ部１よりの
出力光を波長変換する場合には、この波長変換後の波長
に応じて、注入レーザ部２の発振波長を選択することが
できる。
【００２９】
【発明の効果】上述のように、本発明に係るレーザ光発
生装置においては、複数の周波数でＱスイッチレーザ光
源を発振させることができ、かつ、中心周波数と波長幅
とを含む縦モード分布を安定して制御することができ
る。
生装置においては、複数の周波数でＱスイッチレーザ光
源を発振させることができ、かつ、中心周波数と波長幅
とを含む縦モード分布を安定して制御することができ
る。
【００３０】そのため、このレーザ光発生装置において
は、広い波長範囲で、出力光の波長幅を所望の範囲に安
定に制御することが可能である。また、このレーザ光発
生装置においては、場合によっては、複数モードのＱス
イッチ出力光を変調素子に通すことで、さらに精密な波
長幅の制御が可能である。
は、広い波長範囲で、出力光の波長幅を所望の範囲に安
定に制御することが可能である。また、このレーザ光発
生装置においては、場合によっては、複数モードのＱス
イッチ出力光を変調素子に通すことで、さらに精密な波
長幅の制御が可能である。
【００３１】さらに、このレーザ光発生装置において
は、従来の装置に比べて高周波における変調を避けるこ
とができるため、使用する部品の点数、価格及びビーム
の振れ、外部への高周波の漏れを低減させることが可能
である。そして、このレーザ光発生装置においては、波
長変換の効率を上昇させることも可能である。
は、従来の装置に比べて高周波における変調を避けるこ
とができるため、使用する部品の点数、価格及びビーム
の振れ、外部への高周波の漏れを低減させることが可能
である。そして、このレーザ光発生装置においては、波
長変換の効率を上昇させることも可能である。
【００３２】これによって、応用分野における光のコヒ
ーレンス特性を広い範囲で制御し、波長分散回避、波長
変換効率の最適化、スぺックル除去、複数波長分光の目
的において、可能性を拡大することができるものであ
る。
ーレンス特性を広い範囲で制御し、波長分散回避、波長
変換効率の最適化、スぺックル除去、複数波長分光の目
的において、可能性を拡大することができるものであ
る。
【図１】本発明に係るレーザ光発生装置の構成を示す平
面図である。
面図である。
【図２】上記レーザ光発生装置の要部の構成を示す斜視
図である。
図である。
【図３】上記レーザ光発生装置における注入レーザ部の
共振器縦モードと出力波長分布を示すグラフである。
共振器縦モードと出力波長分布を示すグラフである。
【図４】上記レーザ光発生装置におけるＱスイッチレー
ザ部の共振器縦モードと出力波長分布を示すグラフであ
る。
ザ部の共振器縦モードと出力波長分布を示すグラフであ
る。
【図５】（ａ）は上記レーザ光発生装置における注入レ
ーザ部の共振器縦モード及び横モードと出力波長分布を
示すグラフであり、（ｂ）は上記レーザ光発生装置にお
いて注入レーザ部の横モードを用いて発振させたＱスイ
ッチレーザ部の共振器縦モードと出力波長分布を示すグ
ラフである。
ーザ部の共振器縦モード及び横モードと出力波長分布を
示すグラフであり、（ｂ）は上記レーザ光発生装置にお
いて注入レーザ部の横モードを用いて発振させたＱスイ
ッチレーザ部の共振器縦モードと出力波長分布を示すグ
ラフである。
【図６】Ｑスイッチレーザ部においてＱスイッチがオフ
の場合の光路を示す斜視図である。
の場合の光路を示す斜視図である。
【図７】Ｑスイッチレーザ部においてＱスイッチがオン
の場合の光路を示す斜視図である。
の場合の光路を示す斜視図である。
１ Ｑスイッチレーザ部、２ 注入レーザ部、１３，１
４ 共振器ミラー、１８ ＱＷＰ、２２ 共振器、２４
アクチュエータ、２５ 光アイソレータ、２６ 光変
調器
４ 共振器ミラー、１８ ＱＷＰ、２２ 共振器、２４
アクチュエータ、２５ 光アイソレータ、２６ 光変
調器
Claims (20)
- 【請求項１】 Ｑスイッチレーザ光源と、 上記Ｑスイッチレーザ光源の複数の共振器縦モードに亘
って波長広がりをもつ出射光を出射する注入波光源とを
備え、 上記注入波光源の出射光を上記Ｑスイッチレーザ光源に
注入同期して、Ｑスイッチレーザ光源を複数の周波数で
発振させることを特徴とするレーザ光発生装置。 - 【請求項２】 注入波光源の中心周波数が、Ｑスイッチ
レーザ光源の発振利得中心に略々一致していることを特
徴とする請求項１記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項３】 注入波光源の中心周波数と、Ｑスイッチ
レーザ光源の発振利得中心とを略々一致させる調整手段
を備えたことを特徴とする請求項１記載のレーザ光発生
装置。 - 【請求項４】 注入波光源の出射光が連続波であること
を特徴とする請求項１記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項５】 注入波レーザ光源は、Ｑスイッチレーザ
光源の出射光に同期して注入されるパルス光を出射する
ことを特徴とする請求項１記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項６】 複数周波数で発振するＱスイッチレーザ
光源よりの出力光を、このＱスイッチレーザ光源の外部
に設けられた音響光学素子または電気光学素子によって
変調し、該出力光の波長分布を変更することを特徴とす
る請求項１記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項７】 注入波光源及びＱスイッチレーザ光源
は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザまたはＮｄ：ＹＶＯ4レーザで
あることを特徴とする請求項１記載のレーザ光発生装
置。 - 【請求項８】 複数モードで発振するＱスイッチレーザ
光源よりの出力光を、非線形光学素子を用いて波長変換
し、該Ｑスイッチレーザ光源よりの出力光とは異なる波
長の出力光を発生させることを特徴とする請求項１記載
のレーザ光発生装置。 - 【請求項９】 Ｑスイッチレーザ光源よりの出力光を、
非線形光学素子を用いて波長変換し、所望の波長幅を持
つｎ次高調波光（ただし、ｎは２以上の自然数）を出力
することを特徴とする請求項１記載のレーザ光発生装
置。 - 【請求項１０】 Ｑスイッチレーザ光源と、 複数の周波数で発振する注入レーザ光源とを備え、 上記注入レーザ光源の出射光を上記Ｑスイッチレーザ光
源に注入同期して、Ｑスイッチレーザ光源を複数の周波
数で発振させることを特徴とするレーザ光発生装置。 - 【請求項１１】 Ｑスイッチレーザ光源の発振周波数を
ν（Ｑ１），ν（Ｑ２），・・・ν（ＱＮ）（ただし、
Ｎは２以上の自然数で、１乃至Ｎは発振縦モード数を表
し、Ｑ１，Ｑ２，・・・ＱＮは自然数を表す）とし、注
入レーザ光源の発振周波数をν（ｑ１），ν（ｑ２），
・・・ν（ｑＮ）（ただし、Ｎは２以上の自然数で、１
乃至Ｎは発振縦モード数を表し、ｑ１，ｑ２，・・・ｑ
Ｎは自然数を表す）としたとき、 ｑ１／Ｑ１＝ｑ２／Ｑ２＝・・・＝ｑＮ／ＱＮ （ただし、ν（ｑ）＝ｑｃ／（２ｌ）、ν（Ｑ）＝Ｑｃ
／（２Ｌ）、ここで、ｃは真空中の光速、ｌは連続波レ
ーザ光源の共振器光路長、ＬはＱスイッチレーザ光源の
共振器光路長）が満足されていることを特徴とする請求
項１０記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項１２】 注入波レーザ光源は、縦単一周波数で
発振する連続波レーザ光源と、この連続波レーザ光源の
出射光の波長分布を制御して複数周波数に変調する波長
制御手段とから構成されていることを特徴とする請求項
１０記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項１３】 注入波レーザ光源の発振周波数が、Ｑ
スイッチレーザ光源の共振器縦モード周波数と略々一致
していることを特徴とする請求項１０記載のレーザ光発
生装置。 - 【請求項１４】 注入波レーザ光源とＱスイッチレーザ
光源との相対的周波数または間隔を調整する調整手段を
備えたことを特徴とする請求項１０記載のレーザ光発生
装置。 - 【請求項１５】 注入波レーザ光源が連続波光源である
ことを特徴とする請求項１０記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項１６】 注入波レーザ光源は、Ｑスイッチレー
ザ光源の出射光に同期して注入されるパルス光を出射す
ることを特徴とする請求項１０記載のレーザ光発生装
置。 - 【請求項１７】 複数周波数で発振するＱスイッチレー
ザ光源よりの出力光を、このＱスイッチレーザ光源の外
部に設けられた音響光学素子または電気光学素子によっ
て変調し、該出力光の波長分布を変更することを特徴と
する請求項１０記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項１８】 注入波レーザ光源及びＱスイッチレー
ザ光源は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザまたはＮｄ：ＹＶＯ4レ
ーザであるを特徴とする請求項１０記載のレーザ光発生
装置。 - 【請求項１９】 複数モードで発振するＱスイッチレー
ザ光源よりの出力光を、非線形光学素子を用いて波長変
換し、該Ｑスイッチレーザ光源よりの出力光とは異なる
波長の出力光を発生させることを特徴とする請求項１０
記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項２０】 Ｑスイッチレーザ光源よりの出力光
を、非線形光学素子を用いて波長変換し、所望の波長幅
を持つｎ次高調波光（ただし、ｎは２以上の自然数）を
出力することを特徴とする請求項１０記載のレーザ光発
生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10198797A JP3646465B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | レーザ光発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10198797A JP3646465B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | レーザ光発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10294517A true JPH10294517A (ja) | 1998-11-04 |
| JP3646465B2 JP3646465B2 (ja) | 2005-05-11 |
Family
ID=14315201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10198797A Expired - Fee Related JP3646465B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | レーザ光発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3646465B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009512229A (ja) * | 2005-10-18 | 2009-03-19 | コヒーレント・インク | 極ｕｖ生成のためのインジェクションロック・ｑスイッチ法およびｑスイッチキャビティダンプ法ｃｏ２レーザ |
| US7733927B2 (en) | 2006-06-22 | 2010-06-08 | Panasonic Corporation | Laser light source device and image display device |
| US7889422B2 (en) | 2005-06-02 | 2011-02-15 | Panasonic Corporation | Two-dimensional image display device |
| JP2018098449A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置及び波形制御方法 |
| JP2019160977A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 国立研究開発法人理化学研究所 | パルス電磁波発生装置および計測装置 |
-
1997
- 1997-04-18 JP JP10198797A patent/JP3646465B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7889422B2 (en) | 2005-06-02 | 2011-02-15 | Panasonic Corporation | Two-dimensional image display device |
| JP5172336B2 (ja) * | 2005-06-02 | 2013-03-27 | パナソニック株式会社 | ２次元画像表示装置 |
| JP2009512229A (ja) * | 2005-10-18 | 2009-03-19 | コヒーレント・インク | 極ｕｖ生成のためのインジェクションロック・ｑスイッチ法およびｑスイッチキャビティダンプ法ｃｏ２レーザ |
| US7733927B2 (en) | 2006-06-22 | 2010-06-08 | Panasonic Corporation | Laser light source device and image display device |
| US8073022B2 (en) | 2006-06-22 | 2011-12-06 | Panasonic Corporation | Laser light source device and image display device |
| JP2018098449A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置及び波形制御方法 |
| WO2018110222A1 (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置及び波形制御方法 |
| CN110073558A (zh) * | 2016-12-16 | 2019-07-30 | 浜松光子学株式会社 | 激光装置和波形控制方法 |
| KR20190093553A (ko) * | 2016-12-16 | 2019-08-09 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 레이저 장치 및 파형 제어 방법 |
| US11424591B2 (en) | 2016-12-16 | 2022-08-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser device and method for controlling waveform |
| JP2019160977A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 国立研究開発法人理化学研究所 | パルス電磁波発生装置および計測装置 |
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