JPH10293979A - Actuator using sheared type piezoelectric element and head minute movement mechanism using the actuator - Google Patents

Actuator using sheared type piezoelectric element and head minute movement mechanism using the actuator

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JPH10293979A
JPH10293979A JP9100347A JP10034797A JPH10293979A JP H10293979 A JPH10293979 A JP H10293979A JP 9100347 A JP9100347 A JP 9100347A JP 10034797 A JP10034797 A JP 10034797A JP H10293979 A JPH10293979 A JP H10293979A
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徹 公平
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朋良 山田
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寿 中野
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive actuator with simple constitution, without requiring dimensional precision and with high positioning precision. SOLUTION: Two electrodes 22, 23 of a prescribed shape are arranged side by side on a fixed end 21 side at a prescribed interval, and sheared type piezoelectric elements 24 provided with prescribed thickness are laminated upward these two electrodes 22, 23, and a counter electrode 25 is provided on the whole surface of the surface of the free end side of this sheared type piezoelectric element 24 opposite to the electrodes 22, 23, and the actuator 20 is constituted. When a part between two electrodes 22, 23 is energized, since the counter electrode 25 is displaced in its intrasurface according to the polarization direction of the sheared type piezoelectric element, this counter electrode 25 becomes the operation part of the actuator.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は剪断型圧電素子を用
いたアクチュエータ、及びこのアクチュエータを使用し
たヘッド微小移動機構に関し、特に、高精度に位置決め
が可能な剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ、及び
このアクチュエータを使用したヘッド微小移動機構に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an actuator using a shear-type piezoelectric element and a micro head moving mechanism using the actuator, and more particularly, to an actuator using a shear-type piezoelectric element capable of positioning with high accuracy, and The present invention relates to a head minute moving mechanism using this actuator.

【０００２】磁気ディスク装置は、近年急激に市場拡大
を遂げているマルチメディア機器のキーデバイスの１つ
である。マルチメディア機器では、画像や音声等をより
大量に、かつ高速に取り扱うため、より記憶容量の多い
装置の開発が望まれている。磁気ディスク装置の大容量
化は一般に、ディスク１枚当たりの記憶容量を増加させ
ることで実現する。しかし、ディスクの直径を変えずに
記憶密度を急激に増加させるとトラックピッチが急激に
狭まるため、記録トラックに対する読み書きを行うヘッ
ド素子の位置決めを如何に正確に行うかが技術的な問題
となっており、位置決め精度の良いヘッドアクチュエー
タが望まれている。2. Description of the Related Art A magnetic disk drive is one of the key devices of multimedia equipment which has been rapidly expanding in recent years. In multimedia equipment, in order to handle a large amount of images and sounds at a high speed, development of an apparatus having a larger storage capacity is desired. In general, an increase in the capacity of a magnetic disk drive is realized by increasing the storage capacity per disk. However, if the storage density is rapidly increased without changing the diameter of the disk, the track pitch is sharply narrowed. Therefore, it is a technical problem how to accurately position the head element for reading and writing to the recording track. Therefore, a head actuator with high positioning accuracy is desired.

【０００３】[0003]

【従来の技術】従来、磁気ディスク装置においては、高
精度の位置決めを行うために、一般にキャリッジ等の可
動部の剛性を向上させ、面内方向の主共振点周波数を上
げる試みがなされてきた。しかし、共振点の向上には限
界があり、仮に可動部の面内共振点を大幅に上げること
ができたとしても、可動部を支持する軸受けのばね特性
に起因する振動が発生してしまい、位置決め精度を低下
させるという問題を解決することはできなかった。2. Description of the Related Art Conventionally, in a magnetic disk drive, attempts have been generally made to improve the rigidity of a movable portion such as a carriage and increase the main resonance point frequency in the in-plane direction in order to perform high-precision positioning. However, there is a limit to the improvement of the resonance point, and even if the in-plane resonance point of the movable part can be greatly increased, vibrations due to the spring characteristics of the bearing supporting the movable part occur, The problem of lowering the positioning accuracy could not be solved.

【０００４】これらの問題を解決する手段の１つとし
て、ヘッドアクチュエータのアームの先端にトラックフ
ォロー用の第２のアクチュエータを設けることが提案さ
れている。この第２のアクチュエータは、ヘッドアクチ
ュエータの動作とは独立に、アームの先端部に設けられ
たヘッドを微小移動させることができるものである。例
えば、図２４(a) に示す特開平３−６９０７２号公報に
は、ディスク装置１００のメインアクチュエータ１１０
の他に、アーム１１１の先端にサブアクチュエータ１２
０を設けたものが開示されている。このサブアクチュエ
ータ１２０は積層型のピエゾ素子１２３を２個使用して
ヘッド１１４を微小移動させるものである。このサブア
クチュエータ１２０には、厚み方向に変位するピエゾ素
子を複数枚積層して構成される積層型のピエゾ素子１２
３がヘッドの移動平面の中に２個設けられており、ヘッ
ドの移動平面の面内でヘッドの移動方向と同じ方向にヘ
ッドが微小に変位できるようになっている。As one of means for solving these problems, it has been proposed to provide a second actuator for track follow at the tip of the arm of the head actuator. The second actuator is capable of minutely moving the head provided at the distal end of the arm independently of the operation of the head actuator. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-69072 shown in FIG.
In addition, the sub-actuator 12
The one provided with 0 is disclosed. The sub-actuator 120 uses two stacked piezoelectric elements 123 to move the head 114 minutely. The sub-actuator 120 includes a laminated piezo element 12 configured by laminating a plurality of piezo elements displaced in the thickness direction.
2 are provided in the moving plane of the head, so that the head can be slightly displaced in the same direction as the moving direction of the head in the plane of the moving plane of the head.

【０００５】更に、このサブアクチュエータ１２０で
は、積層型のピエゾ素子１２３は２本のアーム１１１の
延長方向に２個配置されており、２個のピエゾ素子１２
３の間の部分には、図２４(b) にその詳細が示されるよ
うに、揺動センタスプリング１２１が設けられている。
この揺動センタスプリング１２１は、センタアーム１２
２の長手方向に垂直な方向にセンタアーム１２２の両側
から内側に向かって複数本のスリット１２４を交互に設
けて構成される。この複数本のスリット１２２により、
センタアーム１２２はスプリングとして機能し、積層型
のピエゾ素子１２３を与圧すると共に伸縮動作を増長す
る。積層型のピエゾ素子１２３とアーム１１１の間は絶
縁材で電気的に絶縁されており、両端の電極からリード
線が引出されてこれを介して積層型のピエゾ素子１２３
の駆動電圧が与えられる。Further, in the sub-actuator 120, two stacked piezoelectric elements 123 are arranged in the extending direction of the two arms 111, and the two piezoelectric elements 123
As shown in FIG. 24 (b), a swing center spring 121 is provided in the portion between the three.
The swing center spring 121 is mounted on the center arm 12.
2, a plurality of slits 124 are provided alternately inward from both sides of the center arm 122 in a direction perpendicular to the longitudinal direction. With the plurality of slits 122,
The center arm 122 functions as a spring, pressurizes the stacked piezo element 123, and increases the expansion and contraction operation. The stacked piezo element 123 and the arm 111 are electrically insulated by an insulating material, and lead wires are drawn out from electrodes at both ends, and the stacked piezo element 123 is passed through the lead wire.
Is applied.

【０００６】この従来例における問題点は、積層型ピエ
ゾ素子１２３の製造性が困難であること、高精度に加工
された与圧バネ機構が必要なこと、リード線または線材
による積層型ピエゾ素子１２３の電極の引出しが必要な
こと等である。更に、特許公報第２５２８２６１号に記
載の発明では、やはりアームの先端にトラックフォロー
用の微動アクチュエータを設けたヘッドの微小移動機構
が開示されている。ここでは、図２５(a) に示すよう
に、ヘッドアクチュエータＨＡのキャリッジ５に突設さ
れたアクセスアーム２と、ヘッド４が先端部に取り付け
られた支持ばね３とを連結する連結板１にヘッドの微小
移動機構ＭＴが設けられている。キャリッジ５は回転軸
６に取り付けられ、連結板１のアクセスアーム２への固
定は、アクセスアーム２に形成された固定用孔２ａに、
連結板１の裏面に設けられた突起１６を嵌合して接着剤
等によって行われる。[0006] Problems in this conventional example are that the manufacturability of the laminated piezo element 123 is difficult, that a pressurized spring mechanism machined with high precision is required, and that the laminated piezo element 123 using a lead wire or a wire is used. It is necessary to draw out the electrodes. Further, in the invention described in Japanese Patent Publication No. 2528261, a micro-movement mechanism of a head in which a fine movement actuator for track follow is provided at the tip of the arm is also disclosed. Here, as shown in FIG. 25 (a), the head is attached to a connecting plate 1 for connecting an access arm 2 protruding from a carriage 5 of a head actuator HA and a support spring 3 having a head 4 attached to a tip end thereof. Is provided. The carriage 5 is attached to the rotating shaft 6, and the connection plate 1 is fixed to the access arm 2 by fixing holes 2 a formed in the access arm 2.
This is performed by using an adhesive or the like by fitting the protrusion 16 provided on the back surface of the connection plate 1.

【０００７】ヘッドの微小移動機構ＭＴが設けられる連
結板１には、固定領域１０、可動領域１１、伸縮領域１
２、ヒンジ部１３、および空隙１５が設けられている。
そして、図２５(b) に示すように、伸縮領域１２にはそ
の表裏に溝部１２ａが設けられており、この溝部１２ａ
にピエゾ素子１４が固定されている。連結板１の中心線
に対して線対称の位置にあるピエゾ素子１４は、同時に
逆向きに変形させられる。ピエゾ素子１４は図２６(a)
に矢符にて示す厚さ方向に分極されている。そして、連
結板１が共通電極として接地され、両ピエゾ素子１４の
外側面に電源８，８′から異なる電位が与えられると、
電源８により通電されたものは分極方向と逆向きの電界
がかかって長手方向に伸び、電源８′により通電された
ものは分極方向と同方向の電界がかかって長手方向に縮
む。A fixed area 10, a movable area 11, a telescopic area 1
2, a hinge portion 13 and a gap 15 are provided.
Then, as shown in FIG. 25 (b), a groove 12a is provided on the front and back sides of the stretchable region 12, and this groove 12a
Is fixed to the piezo element 14. The piezo elements 14, which are symmetrical with respect to the center line of the connecting plate 1, are simultaneously deformed in the opposite direction. The piezo element 14 is shown in FIG.
Are polarized in the thickness direction indicated by arrows. When the connecting plate 1 is grounded as a common electrode and different potentials are applied to the outer surfaces of both piezo elements 14 from the power sources 8, 8 ',
Those energized by the power supply 8 are extended in the longitudinal direction by applying an electric field in the direction opposite to the polarization direction, and those energized by the power supply 8 'are contracted in the longitudinal direction by the application of an electric field in the same direction as the polarization direction.

【０００８】図２６(b) は、両ピエゾ素子の表裏両側に
ピエゾ素子１４の外側面に電源８′から同じ電位が与え
られる場合の構成を示すものである。この場合も、ピエ
ゾ素子１４は矢符にて示される厚さ方向に分極されてい
る。そして、連結板１は同様に共通電極として接地さ
れ、両ピエゾ素子１４の外側面に電源８′から同じ電位
が与えられると、図面左側のピエゾ素子１４には分極方
向と逆向きの電界がかかって長手方向に伸び、図面右側
のピエゾ素子１４には分極方向と同方向の電界がかかっ
て長手方向に縮むので、図２６(a) の構成と同じ動作が
行われる。FIG. 26B shows a configuration in which the same potential is applied from the power source 8 'to the outer surface of the piezo element 14 on both front and back sides of both piezo elements. Also in this case, the piezo element 14 is polarized in the thickness direction indicated by the arrow. The connecting plate 1 is similarly grounded as a common electrode, and when the same potential is applied to the outer surfaces of both piezo elements 14 from the power supply 8 ', an electric field is applied to the piezo elements 14 on the left side of the drawing in a direction opposite to the polarization direction. 26 (a), the piezoelectric element 14 on the right side of the drawing is contracted in the longitudinal direction by the application of an electric field in the same direction as the polarization direction, so that the same operation as in the configuration of FIG.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ような構成のヘッドの微小移動機構では、積層型ピエゾ
素子の製造性と、素子外形寸法の精度が必要であり、ア
ームにも高い寸法加工精度が必要であること、また、比
較的剛性の高い連結板を伸び縮みさせる必要があり、多
くの力が必要でストロークが確保できないという問題点
があった。However, in the head micro-movement mechanism having the above-described structure, the productivity of the stacked piezo element and the accuracy of the element outer dimensions are required, and the arm has high dimensional processing accuracy. In addition, there is a problem that it is necessary to expand and contract a relatively rigid connecting plate, so that a large amount of force is required and a stroke cannot be secured.

【００１０】そこで、本発明は、前記従来の問題点を解
消し、素子の高い寸法精度が必要されないと共に、高精
度の位置決めが可能な剪断型圧電素子を用いたアクチュ
エータ及びこのアクチュエータを使用したヘッド微小移
動機構を提供することを目的としている。Therefore, the present invention solves the above-mentioned conventional problems, does not require high dimensional accuracy of the element, and uses a shear-type piezoelectric element capable of high-precision positioning, and a head using the actuator. It is intended to provide a micro movement mechanism.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の特徴は、以下に第１から第１６の発明として示され
る。第１の発明の構成上の特徴は、剪断型圧電素子を用
いたアクチュエータが、固定端側に並んで設けられた２
つの電極と、これら２つの電極の上側に積層された、剪
断型圧電素子、及び、この剪断型圧電素子の前記２つの
電極に対向する自由端側の面に設けられた対向電極とか
ら構成され、２つの電極間に通電することによって、剪
断型圧電素子の分極方向に応じて対向電極の面内方向に
変位することにある。The features of the present invention to achieve the above object are described below as first to sixteenth inventions. A structural feature of the first invention is that an actuator using a shear-type piezoelectric element is provided side by side on a fixed end side.
And a shear-type piezoelectric element laminated above the two electrodes, and a counter electrode provided on a free-end-side surface of the shear-type piezoelectric element facing the two electrodes. The present invention is to displace in the in-plane direction of the counter electrode in accordance with the polarization direction of the shear-type piezoelectric element by applying a current between the two electrodes.

【００１２】第２の発明の構成上の特徴は、第１の発明
において、剪断型圧電素子の分極方向が前記２つの電極
が並列に並ぶ方向に平行であり、２つの電極に通電する
ことによって、剪断型圧電素子の中央部を中心にして回
転する方向に変位することにある。第３の発明の構成上
の特徴は、第１の発明において、剪断型圧電素子の分極
方向が２つの電極が並列に並ぶ方向に平行であり、か
つ、２つの電極上の剪断型圧電素子の分極方向が互いに
逆方向を向いており、２つの電極に通電することによっ
て、剪断型圧電素子の分極方向に平行な方向に変位する
ことにある。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the direction of polarization of the shearing type piezoelectric element is parallel to the direction in which the two electrodes are arranged in parallel, and the two electrodes are energized. That is, the shear type piezoelectric element is displaced in a direction of rotation about a central portion thereof. According to a third aspect of the present invention, in the first aspect, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element is parallel to a direction in which the two electrodes are arranged in parallel, and the shearing type piezoelectric element on the two electrodes is arranged in parallel. The polarization directions are opposite to each other, and when electricity is supplied to the two electrodes, the shear type piezoelectric element is displaced in a direction parallel to the polarization direction.

【００１３】第４の発明の構成上の特徴は、第１の発明
において、剪断型圧電素子の分極方向が２つの電極が並
列に並ぶ方向に垂直であり、かつ、２つの電極上の剪断
型圧電素子の分極方向が互いに逆方向を向いており、２
つの電極に通電することによって、剪断型圧電素子の分
極方向に平行な方向に変位することにある。According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element is perpendicular to the direction in which the two electrodes are arranged in parallel, and the shearing type piezoelectric element on the two electrodes is arranged. The polarization directions of the piezoelectric elements are opposite to each other.
The object is to displace in a direction parallel to the polarization direction of the shear-type piezoelectric element by supplying electricity to the two electrodes.

【００１４】第５の発明の構成上の特徴は、第１から第
４の発明のいずれかにおいて、剪断型圧電素子が２つの
独立した剪断型圧電素子に分割されており、それぞれの
剪断型圧電素子は２つの電極上にそれぞれ積層されるこ
とにある。第６の発明の構成上の特徴は、少なくとも１
枚の記録ディスクと、この記録ディスクの情報記録面に
対してそれぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作を行
うヘッドと、このヘッドを前記記録ディスク上の所望の
記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径
方向に移動させるヘッドアクチュエータとを備えたディ
スク装置において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動
作と独立に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチ
ュエータの一部に、第１の発明から第５の発明の何れか
のアクチュエータを用いてヘッドの微小移動機構を構成
し、このアクチュエータの２つの電極をヘッドアクチュ
エータのアームの先端部に設け、アクチュエータの対向
電極の上にヘッドアクチュエータの支持ばねの基部を取
り付けられたことにある。According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the shearing type piezoelectric element is divided into two independent shearing type piezoelectric elements. The element consists in being stacked on two electrodes respectively. The sixth aspect of the present invention has at least one structural feature.
A recording disk, a head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, and a recording disk for positioning the head on a desired recording track on the recording disk. And a head actuator for moving the head in the radial direction of the head device, a part of the head actuator for moving the head by a very small distance independently of the operation of the head actuator. A micro-movement mechanism of the head was constituted by using the actuator, two electrodes of the actuator were provided at the tip of an arm of the head actuator, and a base of a support spring of the head actuator was mounted on a counter electrode of the actuator. It is in.

【００１５】第７の発明の構成上の特徴は、第６の発明
において、２つの電極の分割面がアームの長手方向に沿
う方向に設けられたことにある。第８の発明の構成上の
特徴は、第６の発明において、２つの電極の分割面がア
ームの長手方向に垂直な方向に設けられたことにある。
第９の発明の構成上の特徴は、剪断型圧電素子を用いた
アクチュエータを、固定端側に設けられた所定深さを備
えた円形の溝と、この円形の溝の内周面上に、この内周
面を左右対称に２分割するように設けられる２つの電極
と、これら２つの電極の内周面上に所定の肉厚を備えて
それぞれ積層され、分極方向が分割線に対して線対称で
ある半リング状の２つの剪断型圧電素子と、２つの半リ
ング状の剪断型圧電素子の両方の内周面に跨がって設け
られる対向電極、及び、この対向電極の内周面に固着さ
れる回転軸とから構成し、２つの電極間に通電すること
によって、前記回転軸を回転させることにある。A structural feature of the seventh invention is that, in the sixth invention, the division surface of the two electrodes is provided in a direction along the longitudinal direction of the arm. A structural feature of the eighth invention is that, in the sixth invention, the division surface of the two electrodes is provided in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm.
The ninth aspect of the present invention is characterized in that an actuator using a shear-type piezoelectric element is provided with a circular groove having a predetermined depth provided on a fixed end side and an inner peripheral surface of the circular groove. Two electrodes provided so as to divide this inner peripheral surface into two parts symmetrically, and are laminated with a predetermined thickness on the inner peripheral surface of these two electrodes, respectively, and the polarization direction is lined with respect to the division line. Two symmetrical half-ring-shaped shear-type piezoelectric elements, a counter electrode provided over both inner circumferential surfaces of the two half-ring-shaped shear-type piezoelectric elements, and an inner circumferential surface of the counter electrode And rotating the rotating shaft by applying a current between two electrodes.

【００１６】第１０の発明の構成上の特徴は、少なくと
も１枚の記録ディスクと、この記録ディスクの情報記録
面に対してそれぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作
を行うヘッドと、このヘッドを記録ディスク上の所望の
記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径
方向に移動させるヘッドアクチュエータとを備えたディ
スク装置において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動
作と独立に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチ
ュエータの一部に第９の発明のアクチュエータを用いた
ヘッドの微小移動機構であって、アクチュエータの固定
端がヘッドアクチュエータのアームの先端部に設けら
れ、アクチュエータの可動部がヘッドアクチュエータの
支持ばねの基部に取り付けられていることにある。The tenth aspect of the present invention is characterized in that at least one recording disk, one head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, and A head actuator that moves the recording disk in a radial direction of the recording disk in order to position it on a desired recording track on the recording disk; and a head actuator that moves the head by a very small distance independently of the operation of the head actuator. A head micro-movement mechanism using an actuator according to a ninth aspect of the present invention, wherein a fixed end of the actuator is provided at a tip of an arm of the head actuator, and a movable part of the actuator is provided at a base of a support spring of the head actuator. It has to be attached.

【００１７】第１１の発明の構成上の特徴は、剪断型圧
電素子を用いたアクチュエータであって、固定端側に設
けられた所定深さを備えたスリット状の深い溝と、スリ
ット状の深い溝内の対向する２つの平面上にそれぞれ設
けられた２つの電極と、この２つの電極の上にそれぞれ
積層される所定の厚さを備えた２つの剪断型圧電素子
と、２つの剪断型圧電素子の間の隙間に挿入されて固定
される導電性の移動板とから構成され、２つの電極間と
移動板との間に通電することによって、剪断型圧電素子
の分極方向に応じて前記移動板を変位させることにあ
る。An eleventh aspect of the present invention is an actuator using a shearing type piezoelectric element, wherein a slit-shaped deep groove having a predetermined depth provided on a fixed end side and a slit-shaped deep groove are provided. Two electrodes respectively provided on two opposing planes in the groove, two shear-type piezoelectric elements each having a predetermined thickness laminated on each of the two electrodes, and two shear-type piezoelectric elements A conductive moving plate that is inserted and fixed in a gap between the elements, and is energized between the two electrodes and the moving plate, whereby the moving is performed according to the polarization direction of the shear-type piezoelectric element. Displacing the plate.

【００１８】第１２の発明の構成上の特徴は、少なくと
も１枚の記録ディスクと、この記録ディスクの情報記録
面に対してそれぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作
を行うヘッドと、このヘッドを記録ディスク上の所望の
記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径
方向に移動させるヘッドアクチュエータとを備えたディ
スク装置において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動
作と独立に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチ
ュエータの一部に第１１の発明のアクチュエータを用い
たヘッドの微小移動機構であって、アクチュエータの固
定端をヘッドアクチュエータのアームの先端部とし、ア
クチュエータの移動板をヘッドアクチュエータの支持ば
ねの基部としたことにある。The twelfth aspect of the present invention is characterized in that at least one recording disk, one head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, A head actuator that moves the recording disk in a radial direction of the recording disk in order to position it on a desired recording track on the recording disk; and a head actuator that moves the head by a very small distance independently of the operation of the head actuator. A head micro-movement mechanism using an actuator according to an eleventh aspect of the present invention, wherein a fixed end of the actuator is a tip of an arm of the head actuator, and a moving plate of the actuator is a base of a support spring of the head actuator. It is in.

【００１９】第１３の発明の構成上の特徴は、少なくと
も１枚の記録ディスクと、この記録ディスクの情報記録
面に対してそれぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作
を行うヘッドと、このヘッドを記録ディスク上の所望の
記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径
方向に移動させるヘッドアクチュエータとを備えたディ
スク装置において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動
作と独立に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチ
ュエータの一部に第１の発明から第５の発明の何れか１
つのアクチュエータを用いたヘッドの微小移動機構であ
って、アクチュエータの２つの電極をヘッドアクチュエ
ータの支持ばねの先端部に設け、アクチュエータの対向
電極の上にヘッドアクチュエータのヘッドスライダを取
り付けたことにある。The thirteenth aspect of the invention is characterized in that at least one recording disk, a head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, A head actuator that moves the recording disk in a radial direction of the recording disk in order to position it on a desired recording track on the recording disk; and a head actuator that moves the head by a very small distance independently of the operation of the head actuator. Partially one of the first to fifth inventions
A head micro-movement mechanism using two actuators, wherein two electrodes of the actuator are provided at the distal end of a support spring of the head actuator, and the head slider of the head actuator is mounted on the opposing electrode of the actuator.

【００２０】第１４の発明の構成上の特徴は、第１３の
発明において、２つの電極を支持ばねの長手方向に沿う
方向に並んで設けたことにある。第１５の発明の構成上
の特徴は、第１３の発明において、２つの電極を支持ば
ねの長手方向に垂直な方向に並んで設けたことにある。
第１６の発明の構成上の特徴は、少なくとも１枚の記録
ディスクと、この記録ディスクの情報記録面に対してそ
れぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作を行うヘッド
と、このヘッドを前記記録ディスク上の所望の記録トラ
ックに位置決めするために記録ディスクの半径方向に移
動させるヘッドアクチュエータとを備えたディスク装置
において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動作と独立
に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチュエータ
の一部に第４の発明に記載のアクチュエータを用いたヘ
ッドの微小移動機構であって、アクチュエータの２つの
電極が前記ヘッドスライダのヘッド側の端面に設けら
れ、アクチュエータの対向電極の上に前記ヘッドアクチ
ュエータのヘッドを備えたヘッド素子基板が取り付けら
れたことにある。A structural feature of the fourteenth invention is that, in the thirteenth invention, two electrodes are provided side by side in a direction along the longitudinal direction of the support spring. A structural feature of the fifteenth invention is that, in the thirteenth invention, two electrodes are provided side by side in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring.
The sixteenth aspect of the invention is characterized in that at least one recording disk, a head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, A head actuator for moving the recording disk in the radial direction of the recording disk in order to position the head on a desired recording track, a part of the head actuator for moving the head by a very small distance independently of the operation of the head actuator A minute movement mechanism of a head using the actuator according to the fourth invention, wherein two electrodes of the actuator are provided on a head-side end surface of the head slider, and the electrode of the head actuator is placed on a counter electrode of the actuator. That is, a head element substrate having a head is attached.

【００２１】第１の発明から第５の発明、第９の発明、
及び第１１の発明では、安価で精度の良いアクチュエー
タが得られる。第６の発明から第８の発明、及び第１３
の発明では、第１の発明から第５の発明のアクチュエー
タの何れかを使用した安価で精度の良いヘッドの微小移
動機構が得られる。The first invention to the fifth invention, the ninth invention,
According to the eleventh aspect, an inexpensive and accurate actuator can be obtained. Sixth to eighth inventions, and thirteenth invention
According to the present invention, an inexpensive and accurate head micro-movement mechanism using any of the actuators according to the first to fifth aspects can be obtained.

【００２２】第１０の発明では、第９の発明のアクチュ
エータを使用した安価で精度の良いヘッドの微小移動機
構が得られる。第１２の発明では、第１１の発明のアク
チュエータを使用した安価で精度の良いヘッドの微小移
動機構が得られる。第１４の発明及び第１５の発明で
は、第１３の発明のアクチュエータを使用した安価で精
度の良いヘッドの微小移動機構が得られる。According to the tenth aspect, an inexpensive and accurate head micro-movement mechanism using the actuator of the ninth aspect can be obtained. According to the twelfth aspect, an inexpensive and accurate head minute movement mechanism using the actuator of the eleventh aspect can be obtained. According to the fourteenth invention and the fifteenth invention, an inexpensive and accurate head micro-movement mechanism using the actuator of the thirteenth invention can be obtained.

【００２３】第１６の発明では、第４の発明のアクチュ
エータを使用した安価で精度の良いヘッドの微小移動機
構が得られる。In the sixteenth aspect, an inexpensive and accurate head micro-movement mechanism using the actuator of the fourth aspect is obtained.

【００２４】[0024]

【発明の実施の形態】以下添付図面を用いて本発明の実
施形態を具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。図
１(a) は剪断型圧電素子２４を用いた本発明のアクチュ
エータ２０の基本的な構成を示すものであり、単一の剪
断型圧電素子を用いたアクチュエータ２０の一例の構成
を分解して示している。本発明のアクチュエータ２０
は、固定端２１側に所定間隔を隔てて並んで設けられた
所定形状の２つの電極２２，２３の上側に、所定の肉厚
を備えた剪断型圧電素子２４が積層され、この剪断型圧
電素子２４の２つの電極２２，２３に対向する自由端側
の面の全面には対向電極２５が設けられて構成される。
２つの電極２２，２３にはそれぞれリードパターン２
６，２７が接続されている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A shows a basic configuration of an actuator 20 according to the present invention using a shear-type piezoelectric element 24. The structure of an example of the actuator 20 using a single shear-type piezoelectric element is disassembled. Is shown. Actuator 20 of the present invention
A shear-type piezoelectric element 24 having a predetermined thickness is laminated on two electrodes 22 and 23 having a predetermined shape provided side by side at a predetermined interval on the fixed end 21 side. A counter electrode 25 is provided on the entire surface of the element 24 on the free end side facing the two electrodes 22 and 23.
The lead pattern 2 is applied to the two electrodes 22 and 23, respectively.
6, 27 are connected.

【００２５】図１(b) は図１(a) のアクチュエータ２０
の組立後の状態を示すものである。本発明のアクチュエ
ータ２０は、そのリードパターン２６，２７の先に電圧
アンプ２８とコントローラ２９を接続することによって
動作する。即ち、本発明のアクチュエータ２０では、電
圧アンプ２８とコントローラ２９を用いて２つの電極２
２，２３間に電圧を印加することによって剪断型圧電素
子２４を変形させ、対向電極２５をその面内で、例え
ば、二点鎖線で示す回転方向に変位させることができ
る。FIG. 1B shows the actuator 20 shown in FIG.
3 shows a state after assembly. The actuator 20 of the present invention operates by connecting the voltage amplifier 28 and the controller 29 to the ends of the lead patterns 26 and 27. That is, in the actuator 20 of the present invention, the two electrodes 2 are
By applying a voltage between the electrodes 2 and 23, the shear-type piezoelectric element 24 is deformed, and the counter electrode 25 can be displaced in the plane, for example, in a rotational direction indicated by a two-dot chain line.

【００２６】本発明のアクチュエータ２０の変位の方向
は、固定端２１側に設けられた電極２２，２３に対する
剪断型圧電素子２４の分極の方向や、電極２２，２３に
印加する電圧の方向によって異なる。電極２２，２３に
印加する電圧の方向は、コントローラ２９から出力する
駆動信号の極性で決まる。従って、以下に示す図２から
図５を用いて、本発明のアクチュエータ２０の種々の実
施例とその動作例を説明する。図２(a) から図２(d) は
本発明の第１及び第２の実施例のアクチュエータの構成
例を示すものである。第１及び第２の実施例のアクチュ
エータでは、単一の剪断型圧電素子２４が使用されてい
る。The direction of displacement of the actuator 20 of the present invention depends on the direction of polarization of the shearing type piezoelectric element 24 with respect to the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side and the direction of the voltage applied to the electrodes 22 and 23. . The direction of the voltage applied to the electrodes 22 and 23 is determined by the polarity of the drive signal output from the controller 29. Therefore, various embodiments of the actuator 20 of the present invention and operation examples thereof will be described with reference to FIGS. 2 to 5 described below. FIGS. 2A to 2D show examples of the structure of the actuator according to the first and second embodiments of the present invention. In the actuators of the first and second embodiments, a single shear-type piezoelectric element 24 is used.

【００２７】図２(a) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が一方向である第１の実施例のアクチュエータ２０Ａの
構成を示すものである。第１の実施例のアクチュエータ
２０Ａは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の
上に、分極方向が２つの電極２２，２３が並列に並ぶ方
向に平行な剪断型圧電素子２４が積層されており、その
上に対向電極２５が設けられている。FIG. 2A shows the structure of the actuator 20A of the first embodiment in which the polarization direction of the shear type piezoelectric element 24 is one direction. In the actuator 20A of the first embodiment, a shear-type piezoelectric element 24 whose polarization direction is parallel to the direction in which the two electrodes 22 and 23 are arranged in parallel is laminated on the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side. The counter electrode 25 is provided thereon.

【００２８】図２(b) は図２(a) に示す第１の実施例の
アクチュエータ２０Ａの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ａの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
例えば、電極２３に正の電圧を印加し、電極２２に負の
電圧を印加すると、分極方向の異なる剪断型圧電素子２
４が電気的に直列に接続された状態となり、２つの電極
２２，２３の上側にある剪断型圧電素子２４の伸縮方向
が逆になる。この場合は、対向電極２５が剪断型圧電素
子２４の中央部を中心にして二点鎖線で示す方向に回転
する。電極２２，２３に印加する電圧の極性を逆にすれ
ば、対向電極２５は図２(b) に示される回転方向と逆方
向に回転する。FIG. 2B shows the deformation direction of the actuator 20A when a voltage is applied between the electrodes 22 and 23 of the actuator 20A of the first embodiment shown in FIG. 2A. When a voltage is applied between the two electrodes 22 and 23,
For example, when a positive voltage is applied to the electrode 23 and a negative voltage is applied to the electrode 22, the shear-type piezoelectric element 2 having a different polarization direction is applied.
4 are electrically connected in series, and the direction of expansion and contraction of the shear-type piezoelectric element 24 above the two electrodes 22 and 23 is reversed. In this case, the counter electrode 25 rotates around the center of the shearing type piezoelectric element 24 in a direction indicated by a two-dot chain line. If the polarity of the voltage applied to the electrodes 22 and 23 is reversed, the counter electrode 25 rotates in the direction opposite to the rotation direction shown in FIG.

【００２９】図２(c) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第２の実施例のアクチュエータ２０Ｂの構成
を示すものである。第２の実施例のアクチュエータ２０
Ｂも、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向が２つの電極２２，２３が並列に並ぶ方向
に平行でかつ互いに逆方向である剪断型圧電素子２４が
積層されており、その上に対向電極２５が設けられてい
る。FIG. 2C shows the structure of the actuator 20B of the second embodiment in which the shearing type piezoelectric element 24 has two polarization directions. Actuator 20 of second embodiment
Also in B, a shearing type piezoelectric element 24 whose polarization direction is parallel to the direction in which the two electrodes 22 and 23 are arranged in parallel and opposite to each other is laminated on the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side. The counter electrode 25 is provided thereon.

【００３０】図２(d) は図２(c) に示す第２の実施例の
アクチュエータ２０Ｂの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｂの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
例えば、電極２３に正の電圧を印加し、電極２２に負の
電圧を印加すると、分極方向が同一の剪断型圧電素子２
４が電気的に直列に接続された状態となり、２つの電極
２２，２３の上側にある剪断型圧電素子２４の伸縮方向
が同じになる。従って、この場合は、対向電極２５は二
点鎖線で示す方向に並進する。電極２２，２３に印加す
る電圧の極性を逆にすれば、対向電極２５は図２(d) に
示される並進方向と逆方向に並進する。FIG. 2D shows the deformation direction of the actuator 20B when a voltage is applied between the electrodes 22 and 23 of the actuator 20B of the second embodiment shown in FIG. 2C. When a voltage is applied between the two electrodes 22 and 23,
For example, when a positive voltage is applied to the electrode 23 and a negative voltage is applied to the electrode 22, the shearing type piezoelectric element 2 having the same polarization direction is applied.
4 are electrically connected in series, and the direction of expansion and contraction of the shear-type piezoelectric element 24 above the two electrodes 22 and 23 becomes the same. Therefore, in this case, the counter electrode 25 translates in the direction indicated by the two-dot chain line. If the polarity of the voltage applied to the electrodes 22 and 23 is reversed, the counter electrode 25 translates in the direction opposite to the translation direction shown in FIG.

【００３１】図３(a) から図３(d) は本発明の第３及び
第４の実施例のアクチュエータの構成例を示すものであ
る。第３及び第４の実施例のアクチュエータでも単一の
剪断型圧電素子２４が使用されているが、剪断型圧電素
子２４の中央部には、２つの電極の並ぶ方向に平行に仕
切溝２４１が設けられている。そして、この仕切溝２４
１を境にして剪断型圧電素子２４の分極方向が異なって
いる。FIGS. 3A to 3D show examples of the structure of the actuator according to the third and fourth embodiments of the present invention. Although the single shear type piezoelectric element 24 is also used in the actuators of the third and fourth embodiments, a partition groove 241 is provided at the center of the shear type piezoelectric element 24 in parallel with the direction in which the two electrodes are arranged. Is provided. And this partition groove 24
The polarization direction of the shear-type piezoelectric element 24 is different from the boundary of 1.

【００３２】図３(a) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第３の実施例のアクチュエータ２０Ｃの構成
を示すものである。第３の実施例のアクチュエータ２０
Ｃは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向が仕切溝２４１を境にして離反する方向を
向いている剪断型圧電素子２４が積層されており、その
上に対向電極２５が仕切溝２４１を覆って全面に設けら
れている。FIG. 3A shows the structure of an actuator 20C according to a third embodiment in which the shearing type piezoelectric element 24 has two polarization directions. Actuator 20 of third embodiment
In C, a shear-type piezoelectric element 24 whose polarization direction faces away from the partition groove 241 is laminated on the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side. The counter electrode 25 is provided on the entire surface so as to cover the partition groove 241.

【００３３】図３(b) は図３(a) に示す第３の実施例の
アクチュエータ２０Ｃの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｃの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
分極方向が同一の剪断型圧電素子２４が電気的に直列に
接続された状態となり、２つの電極２２，２３の上側に
ある剪断型圧電素子２４の伸縮方向が同じになる。従っ
て、この場合は、対向電極２５は二点鎖線で示す方向に
並進する。電極２２，２３に印加する電圧の極性を逆に
すれば、対向電極２５は図３(b) に示される並進方向と
逆方向に並進する。FIG. 3B shows the deformation direction of the actuator 20C when a voltage is applied between the electrodes 22 and 23 of the actuator 20C of the third embodiment shown in FIG. 3A. When a voltage is applied between the two electrodes 22 and 23,
The shear-type piezoelectric elements 24 having the same polarization direction are electrically connected in series, and the directions of expansion and contraction of the shear-type piezoelectric elements 24 above the two electrodes 22 and 23 become the same. Therefore, in this case, the counter electrode 25 translates in the direction indicated by the two-dot chain line. When the polarity of the voltage applied to the electrodes 22 and 23 is reversed, the counter electrode 25 translates in the direction opposite to the translation direction shown in FIG.

【００３４】図３(c) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第４の実施例のアクチュエータ２０Ｄの構成
を示すものである。第４の実施例のアクチュエータ２０
Ｄは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向が仕切溝２４１を境にして向き合う方向を
向いている剪断型圧電素子２４が積層されており、その
上に対向電極２５が仕切溝２４１を覆って全面に設けら
れている。FIG. 3C shows the structure of an actuator 20D according to the fourth embodiment in which the shearing type piezoelectric element 24 has two polarization directions. Actuator 20 of the fourth embodiment
In D, a shear-type piezoelectric element 24 having a polarization direction facing the direction facing the partition groove 241 is laminated on the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side, and is opposed to the shear-type piezoelectric element 24. The electrode 25 is provided on the entire surface so as to cover the partition groove 241.

【００３５】図３(d) は図３(c) に示す第４の実施例の
アクチュエータ２０Ｄの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｄの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
分極方向が同一の剪断型圧電素子２４が電気的に直列に
接続された状態となり、第３の実施例のアクチュエータ
２０Ｃと同様に、対向電極２５は二点鎖線で示す方向に
並進する。電極２２，２３に印加する電圧の極性を逆に
すれば、対向電極２５は図３(d) に示される並進方向と
逆方向に並進する。FIG. 3D shows the deformation direction of the actuator 20D when a voltage is applied between the electrodes 22 and 23 of the actuator 20D of the fourth embodiment shown in FIG. 3C. When a voltage is applied between the two electrodes 22 and 23,
The shearing type piezoelectric elements 24 having the same polarization direction are electrically connected in series, and the counter electrode 25 translates in the direction indicated by the two-dot chain line, similarly to the actuator 20C of the third embodiment. When the polarity of the voltage applied to the electrodes 22 and 23 is reversed, the counter electrode 25 translates in the direction opposite to the translation direction shown in FIG.

【００３６】図４(a) から図４(d) は本発明の第５及び
第６の実施例のアクチュエータの構成例を示すものであ
る。第５及び第６の実施例のアクチュエータでは、２つ
の剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが使用されている。図
４(a) は剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が同
じ方向である第５の実施例のアクチュエータ２０Ｅの構
成を示すものである。第５の実施例のアクチュエータ２
０Ｅは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向がそれぞれ電極２２，２３の長手方向と同
じ同一方向に揃った剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積
層されており、その上に対向電極２５が設けられてい
る。FIGS. 4 (a) to 4 (d) show examples of the configuration of the actuator according to the fifth and sixth embodiments of the present invention. In the actuators of the fifth and sixth embodiments, two shear-type piezoelectric elements 24A and 24B are used. FIG. 4A shows the configuration of an actuator 20E of the fifth embodiment in which the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B are the same. Actuator 2 of the fifth embodiment
In 0E, on the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side, shear-type piezoelectric elements 24A and 24B whose polarization directions are aligned in the same direction as the longitudinal direction of the electrodes 22 and 23, respectively, are laminated. An opposing electrode 25 is provided thereon.

【００３７】図４(b) は図４(a) に示す第５の実施例の
アクチュエータ２０Ｅの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｅの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
例えば、電極２３に正の電圧を印加し、電極２２に負の
電圧を印加すると、分極方向の異なる剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂが電気的に直列に接続された状態となり、
２つの電極２２，２３の上側にある剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの伸縮方向が逆になる。この場合は、対向電
極２５が剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの中央部を中心
にして二点鎖線で示す方向に回転する。電極２２，２３
に印加する電圧の極性を逆にすれば、対向電極２５は図
４(b) に示される回転方向と逆方向に回転する。図４
(c) は剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が逆で
ある第６の実施例のアクチュエータ２０Ｆの構成を示す
ものである。第６の実施例のアクチュエータ２０Ｆも、
固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上に、分極
方向がそれぞれ電極２２，２３の長手方向と同じで互い
に逆方向を向いた剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積層
されており、その上に対向電極２５が設けられている。FIG. 4B shows the deformation direction of the actuator 20E when a voltage is applied between the electrodes 22 and 23 of the actuator 20E of the fifth embodiment shown in FIG. 4A. When a voltage is applied between the two electrodes 22 and 23,
For example, when a positive voltage is applied to the electrode 23 and a negative voltage is applied to the electrode 22, the shear-type piezoelectric element 2 having a different polarization direction is applied.
4A and 24B are electrically connected in series,
The shear type piezoelectric element 24 above the two electrodes 22 and 23
The directions of expansion and contraction of A and 24B are reversed. In this case, the counter electrode 25 rotates in the direction indicated by the two-dot chain line around the center of the shear type piezoelectric elements 24A and 24B. Electrodes 22, 23
If the polarity of the voltage applied to is reversed, the counter electrode 25 rotates in the direction opposite to the rotation direction shown in FIG. FIG.
(c) shows the configuration of the actuator 20F of the sixth embodiment in which the polarization directions of the shear type piezoelectric elements 24A and 24B are opposite. The actuator 20F of the sixth embodiment is also
On the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side, shear-type piezoelectric elements 24A and 24B whose polarization directions are the same as the longitudinal directions of the electrodes 22 and 23 and are opposite to each other are laminated. The counter electrode 25 is provided on the upper side.

【００３８】図４(d) は図４(c) に示す第６の実施例の
アクチュエータ２０Ｆの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｆの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
例えば、電極２３に正の電圧を印加し、電極２２に負の
電圧を印加すると、分極方向が同一の剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂが電気的に直列に接続された状態となり、
２つの電極２２，２３の上側にある剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの伸縮方向が同じになる。従って、この場合
は、対向電極２５は二点鎖線で示す方向に並進する。電
極２２，２３に印加する電圧の極性を逆にすれば、対向
電極２５は図４(d) に示される並進方向と逆方向に並進
する。FIG. 4D shows the deformation direction of the actuator 20F when a voltage is applied between the electrodes 22 and 23 of the actuator 20F of the sixth embodiment shown in FIG. 4C. When a voltage is applied between the two electrodes 22 and 23,
For example, when a positive voltage is applied to the electrode 23 and a negative voltage is applied to the electrode 22, the shearing type piezoelectric element 2 having the same polarization direction is applied.
4A and 24B are electrically connected in series,
The shear type piezoelectric element 24 above the two electrodes 22 and 23
The direction of expansion and contraction of A and 24B becomes the same. Therefore, in this case, the counter electrode 25 translates in the direction indicated by the two-dot chain line. If the polarity of the voltage applied to the electrodes 22 and 23 is reversed, the counter electrode 25 translates in the direction opposite to the translation direction shown in FIG.

【００３９】図５(a) から図５(d) は本発明の第７及び
第８の実施例のアクチュエータの実施例を示すものであ
る。第７及び第８の実施例のアクチュエータでも２つの
剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが使用されているが、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が第５及び第６
の実施例のアクチュエータと異なっている。図５(a) は
剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が２つある第
７の実施例のアクチュエータ２０Ｇの構成を示すもので
ある。第７の実施例のアクチュエータ２０Ｇは、固定端
２１側に設けられた電極２２，２３の上に、分極方向が
２つの電極２２，２３に直交する方向に互いに離反する
方向を向いている剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積層
されており、その上に対向電極２５が剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂを覆って全面に設けられている。FIGS. 5 (a) to 5 (d) show an embodiment of the actuator according to the seventh and eighth embodiments of the present invention. Although the two shear-type piezoelectric elements 24A and 24B are also used in the actuators of the seventh and eighth embodiments, the polarization directions of the shear-type piezoelectric elements 24A and 24B are the fifth and sixth.
Is different from the actuator of the first embodiment. FIG. 5A shows the configuration of an actuator 20G according to the seventh embodiment in which the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B have two polarization directions. The actuator 20G of the seventh embodiment has a shearing type in which a polarization direction is directed to directions away from each other in a direction orthogonal to the two electrodes 22 and 23 on the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side. Piezoelectric elements 24A and 24B are stacked, and a counter electrode 25 is provided thereon with a shear-type piezoelectric element 2.
4A and 24B are provided on the entire surface.

【００４０】図５(b) は図５(a) に示す第７の実施例の
アクチュエータ２０Ｇの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｇの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
分極方向が同一の剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが電気
的に直列に接続された状態となり、２つの電極２２，２
３の上側にある剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの伸縮方
向が同じになる。従って、この場合は、対向電極２５は
二点鎖線で示す方向に並進する。電極２２，２３に印加
する電圧の極性を逆にすれば、対向電極２５は図５(b)
に示される並進方向と逆方向に並進する。FIG. 5B shows the deformation direction of the actuator 20G when a voltage is applied between the electrodes 22 and 23 of the actuator 20G of the seventh embodiment shown in FIG. 5A. When a voltage is applied between the two electrodes 22 and 23,
The shearing type piezoelectric elements 24A, 24B having the same polarization direction are electrically connected in series, and the two electrodes 22, 2
The direction of expansion and contraction of the shear-type piezoelectric elements 24A and 24B on the upper side of 3 becomes the same. Therefore, in this case, the counter electrode 25 translates in the direction indicated by the two-dot chain line. If the polarity of the voltage applied to the electrodes 22 and 23 is reversed, the counter electrode 25
In the direction opposite to the translation direction shown in FIG.

【００４１】図５(c) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第８の実施例のアクチュエータ２０Ｈの構成
を示すものである。第４の実施例のアクチュエータ２０
Ｈは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向２つの電極２２，２３に直交する方向に互
いに向き合う方向を向いている剪断型圧電素子２４Ａ，
２４Ｂが積層されており、その上に対向電極２５が剪断
型圧電素子２４Ａ，２４Ｂを覆って全面に設けられてい
る。FIG. 5C shows the structure of an actuator 20H of the eighth embodiment in which the shearing type piezoelectric element 24 has two polarization directions. Actuator 20 of the fourth embodiment
H is a shearing type piezoelectric element 24A, which faces on the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side in a direction orthogonal to the two electrodes 22 and 23 in the polarization direction.
The counter electrode 25 is provided on the entire surface so as to cover the shear-type piezoelectric elements 24A and 24B.

【００４２】図５(d) は図５(c) に示す第８の実施例の
アクチュエータ２０Ｈの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｈの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
分極方向が同一の剪断型圧電素子２４が電気的に直列に
接続された状態となり、第７の実施例のアクチュエータ
２０Ｇと同様に、対向電極２５は二点鎖線で示す方向に
並進する。電極２２，２３に印加する電圧の極性を逆に
すれば、対向電極２５は図５(d) に示される並進方向と
逆方向に並進する。FIG. 5D shows the deformation direction of the actuator 20H when a voltage is applied between the electrodes 22 and 23 of the actuator 20H of the eighth embodiment shown in FIG. 5C. When a voltage is applied between the two electrodes 22 and 23,
The shearing type piezoelectric elements 24 having the same polarization direction are electrically connected in series, and the counter electrode 25 translates in the direction indicated by the two-dot chain line, similarly to the actuator 20G of the seventh embodiment. If the polarity of the voltage applied to the electrodes 22 and 23 is reversed, the counter electrode 25 translates in the direction opposite to the translation direction shown in FIG.

【００４３】以上、第１から第８の実施例によって説明
した本発明のアクチュエータは、構成が簡単であり、図
１(b) で説明したように、固定端２１に形成したリード
パターン２６，２７を通じて２つの電極２２，２３に電
圧を印加すれば、２つの電極２２，２３上に積層された
単一の剪断型圧電素子２４、或いは２つの剪断型圧電素
子２４Ａ，２４Ｂの分極方向に応じて、対向電極２５を
回転駆動、或いは並進駆動することができる。As described above, the actuator of the present invention described in the first to eighth embodiments has a simple structure, and as described with reference to FIG. 1B, the lead patterns 26 and 27 formed on the fixed end 21. When a voltage is applied to the two electrodes 22 and 23 through the electrodes, a single shear-type piezoelectric element 24 laminated on the two electrodes 22 and 23 or the polarization direction of the two shear-type piezoelectric elements 24A and 24B is determined. The counter electrode 25 can be driven to rotate or translate.

【００４４】次に、以上のように構成された本発明のア
クチュエータの何れかを、記録ディスクの情報記録面に
対して情報の読み書き動作を行うヘッドを先端に備えた
ヘッドアクチュエータに組み込むことにより、ヘッドを
ヘッドアクチュエータの動作とは独立に微小変位させる
ことができるヘッドの微小移動機構について説明する。Next, any one of the actuators of the present invention configured as described above is incorporated into a head actuator having a head for reading and writing information from and to an information recording surface of a recording disk at the tip. A description will be given of a head micro-movement mechanism that can micro-displace the head independently of the operation of the head actuator.

【００４５】図６(a) は本発明のアクチュエータ２０を
ディスク装置のヘッドアクチュエータのアクセスアーム
２とこのアーム２に取り付けられる支持ばね３との間に
使用した第１の形態のヘッド微小移動機構３０の基本的
な構成を示すものである。また、図６(b) は図６(a) の
ヘッド微小移動機構３０の組立後の状態を示すものであ
る。FIG. 6A shows a head micro-movement mechanism 30 of the first embodiment in which the actuator 20 of the present invention is used between the access arm 2 of the head actuator of the disk drive and the support spring 3 attached to this arm 2. 1 shows a basic configuration of the first embodiment. FIG. 6B shows a state after the head minute moving mechanism 30 of FIG. 6A is assembled.

【００４６】第１の形態のヘッド微小移動機構３０で
は、アクチュエータ２０の２つの電極２２，２３が、ヘ
ッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部を固定
端として設けられている。そして、この電極２２，２３
の上に、単一の剪断型圧電素子２４を介して、先端部に
ヘッド４が設けられた支持ばね３の基部が取り付けられ
ている。支持ばね３は、図６(b) に示されるように、ア
クセスアーム２の両面に取り付けられるので、１つのア
クセスアーム２に対して第１の形態のヘッドの微小移動
機構３０は２個設けられている。また、アクチュエータ
２０のリードパターン２６，２７はアクセスアーム２の
上に形成されている。In the head minute moving mechanism 30 of the first embodiment, the two electrodes 22 and 23 of the actuator 20 are provided with the distal end of the access arm 2 of the head actuator as a fixed end. Then, the electrodes 22, 23
The base of the support spring 3 provided with the head 4 at the distal end is attached via a single shear-type piezoelectric element 24. As shown in FIG. 6B, the support springs 3 are attached to both sides of the access arm 2, so that two micro movement mechanisms 30 of the first embodiment are provided for one access arm 2. ing. The lead patterns 26 and 27 of the actuator 20 are formed on the access arm 2.

【００４７】図６(c) は図６(b) のヘッドの微小移動機
構３０の詳細な構成を示す断面図であり、ヘッドの微小
移動機構３０の上半分のみが示されている。アクセスア
ーム２の上には絶縁層３１があり、その上に電極２２，
２３が形成されている。電極２２，２３の上には剪断型
圧電素子２４が積層され、その上に対向電極２５があ
る。支持ばね３の基部はこの対向電極２５の上に絶縁層
３２を介して取り付けられている。FIG. 6C is a sectional view showing the detailed structure of the head micro-movement mechanism 30 of FIG. 6B, and shows only the upper half of the head micro-movement mechanism 30. An insulating layer 31 is provided on the access arm 2, and the electrodes 22,
23 are formed. A shear type piezoelectric element 24 is stacked on the electrodes 22 and 23, and a counter electrode 25 is provided thereon. The base of the support spring 3 is mounted on the counter electrode 25 via an insulating layer 32.

【００４８】図７は本発明のアクチュエータ２０を、デ
ィスク装置のヘッドアクチュエータのアーム２とこのア
ーム２に取り付けられる支持ばね３との間に取り付ける
工程を説明するものである。アクチュエータ２０がアー
ム２に取り付けられる際は、アーム２の上に形成された
電極２２，２３上にハンダペースト３３を塗布し、その
上に、先に支持ばね３の基部が取り付けられた剪断型圧
電素子２４を加熱しながら実装する。FIG. 7 illustrates a step of attaching the actuator 20 of the present invention between the arm 2 of the head actuator of the disk drive and the support spring 3 attached to the arm 2. When the actuator 20 is mounted on the arm 2, a solder paste 33 is applied on the electrodes 22 and 23 formed on the arm 2, and a shear-type piezoelectric element on which the base of the support spring 3 is mounted first is applied. The element 24 is mounted while heating.

【００４９】このように、ヘッドアクチュエータのアク
セスアーム２と支持ばね３との間に設けられる本発明の
第１の形態のヘッドの微小移動機構３０により、支持ば
ね３の先端部に設けられたヘッド４を、ヘッドアクチュ
エータの動作とは独立して微小移動させることができる
が。なお、ヘッド４を微小移動させる方向は、ヘッドの
微小移動機構３０に前述の第１から第８の実施例のアク
チュエータ２０の何れを使用するかによって異なる。そ
こで、以下に示す図８から図１３を用いて、本発明の第
１の形態のヘッドの微小移動機構３０の種々の実施例と
その動作例を説明する。As described above, the head micro-movement mechanism 30 according to the first embodiment of the present invention, which is provided between the access arm 2 of the head actuator and the support spring 3, provides the head provided at the distal end of the support spring 3. 4 can be minutely moved independently of the operation of the head actuator. Note that the direction in which the head 4 is minutely moved differs depending on which of the actuators 20 of the above-described first to eighth embodiments is used for the head minute movement mechanism 30. Therefore, various embodiments of the head minute moving mechanism 30 according to the first embodiment of the present invention and operation examples thereof will be described with reference to FIGS. 8 to 13 described below.

【００５０】図８(a) から図８(d) は、本発明の第１の
形態における第１の実施例のヘッドの微小移動機構３０
Ａの種々の構成例を示すものである。第１の形態におけ
る第１の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ａでは、ヘ
ッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部と支持
ばね３との間に、本発明の第１の実施例のアクチュエー
タ２０Ａが使用されている。FIGS. 8 (a) to 8 (d) show the head micro-movement mechanism 30 of the first embodiment of the first embodiment of the present invention.
3 shows various configuration examples of A. In the head micro-movement mechanism 30A of the first embodiment in the first embodiment, the actuator 20A of the first embodiment of the present invention is used between the tip end of the access arm 2 of the head actuator and the support spring 3. Have been.

【００５１】図８(a) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列に
設けられており、剪断型圧電素子２４の分極方向はアー
ム２の先端方向である。この場合は、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、支持ばね３は回転駆動され
る。図８(b) に示される構成は、剪断型圧電素子２４の
分極方向がアーム２の基部方向である点のみが図８(a)
の構成と異なる。この場合も、電極２２，２３に電圧を
印加することにより、支持ばね３は回転駆動されるが、
その回転方向は図８(a) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 8A, electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in the longitudinal direction of the arm 2, and the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is It is the tip direction. In this case, the support spring 3 is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23. The configuration shown in FIG. 8B is different from the configuration shown in FIG. 8A only in that the polarization direction of the shear piezoelectric element 24 is the base direction of the arm 2.
Configuration. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to rotate.
The direction of rotation is opposite to the direction shown in FIG.

【００５２】図８(c) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直な
方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子２４の分
極方向は電極２２，２３の先端方向である。この場合も
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３は回転駆動される。図８(d) に示される構成は、剪断
型圧電素子２４の分極方向が電極２２，２３の基部方向
である点のみが図８(c) の構成と異なる。この場合も、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３は回転駆動されるが、その回転方向は図８(c) の構成
とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 8C, electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2, and the polarization direction of the shear piezoelectric element 24 is changed. Is the tip direction of the electrodes 22 and 23. Also in this case, the support spring 3 is rotationally driven by applying a voltage to the electrodes 22 and 23. The configuration shown in FIG. 8 (d) differs from the configuration of FIG. 8 (c) only in that the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is the base direction of the electrodes 22 and 23. Again,
By applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to rotate, but the direction of rotation is opposite to that of the configuration shown in FIG.

【００５３】図９(a) から図９(d) は、本発明の第１の
形態における第２の実施例のヘッドの微小移動機構３０
Ｂの種々の構成例を示すものである。第１の形態におけ
る第２の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｂでは、ヘ
ッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部と支持
ばね３との間に、本発明の第２の実施例のアクチュエー
タ２０Ｂが使用されている。FIGS. 9 (a) to 9 (d) show a minute moving mechanism 30 of the head according to the second embodiment of the present invention.
4 shows various configuration examples of B. In the head micro-movement mechanism 30B of the second embodiment of the first embodiment, the actuator 20B of the second embodiment of the present invention is used between the tip end of the access arm 2 of the head actuator and the support spring 3. Have been.

【００５４】図９(a) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列に
設けられており、剪断型圧電素子２４の分極方向は一方
がアーム２の先端方向、他方がアーム２の基部方向であ
る。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加すること
により、支持ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動さ
れる。図９(b) に示される構成は、剪断型圧電素子２４
の分極方向が図９(a)に示される構成と逆になっている
点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３に電圧を
印加することにより、支持ばね３は並進駆動されるが、
その並進方向は図９(a) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 9 (a), electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in the longitudinal direction of the arm 2. One of the polarization directions of the shearing type piezoelectric element 24 is the arm. 2 is the tip direction, and the other is the base direction of the arm 2. In this case, the support spring 3 is driven to translate in the longitudinal direction of the arm 2 by applying a voltage to the electrodes 22 and 23. The configuration shown in FIG.
Is different from the configuration shown in FIG. 9A only in that the polarization direction is reversed. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate.
The translation direction is the opposite direction to the configuration of FIG. 9 (a).

【００５５】図９(c) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直な
方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子２４の分
極方向は一方がアーム２の左端方向、他方がアーム２の
右端方向である。この場合も電極２２，２３に電圧を印
加することにより、支持ばね３はアーム２の長手方向に
垂直な方向に並進駆動される。図９(d) に示される構成
は、剪断型圧電素子２４の分極方向が図９(c) に示され
る構成と逆になっている点のみが異なる。この場合も、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３はアーム２の長手方向に垂直な方向に並進駆動される
が、その並進方向は図９(c) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 9C, electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2, and the polarization direction of the shear type piezoelectric element 24 is changed. One is the left end direction of the arm 2 and the other is the right end direction of the arm 2. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2. The configuration shown in FIG. 9D is different only in that the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is opposite to the configuration shown in FIG. 9C. Again,
By applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2, and the translation direction is opposite to the configuration shown in FIG. 9 (c).

【００５６】図１０(a) は、本発明の第１の形態におけ
る第３の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｃの構成例
を示すものである。第１の形態における第３の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｃでは、ヘッドアクチュエー
タのアクセスアーム２の先端部と支持ばね３との間に、
本発明の第３の実施例のアクチュエータ２０Ｃが使用さ
れている。FIG. 10A shows an example of the configuration of a head micro-movement mechanism 30C according to a third embodiment of the first aspect of the present invention. In the head micro-movement mechanism 30C according to the third embodiment of the first embodiment, the head actuator access arm 2 includes a tip end portion of the access arm 2 and the support spring 3,
The actuator 20C according to the third embodiment of the present invention is used.

【００５７】図１０(a) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４の分極方向は仕
切溝２４１を境にして離反する方向である。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３はアーム２の長手方向に垂直な方向に並進駆動さ
れる。In the configuration shown in FIG.
The electrodes 22 and 23 are provided in parallel at the tip of the arm 2 in the longitudinal direction of the arm 2, and the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is a direction separating from the partition groove 241. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2.

【００５８】なお、第１の形態における第３の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｃにおいても、アーム２の先
端部に電極２２，２３をアーム２の長手方向に垂直な方
向に並列に設け、剪断型圧電素子２４をその分極方向が
アーム２の長手方向に向くようにしても良い。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動される。In the head micro-movement mechanism 30C of the third embodiment of the first embodiment, electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2. The polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 may be directed to the longitudinal direction of the arm 2. In this case, the support spring 3 is driven to translate in the longitudinal direction of the arm 2 by applying a voltage to the electrodes 22 and 23.

【００５９】図１０(b) は、本発明の第１の形態におけ
る第４の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｄの構成例
を示すものである。第１の形態における第４の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｄでは、ヘッドアクチュエー
タのアクセスアーム２の先端部と支持ばね３との間に、
本発明の第４の実施例のアクチュエータ２０Ｄが使用さ
れている。FIG. 10B shows an example of the configuration of a head micro-movement mechanism 30D according to the fourth embodiment of the first aspect of the present invention. In the head micro-movement mechanism 30D according to the fourth embodiment of the first embodiment, the head actuator has a structure in which the support spring 3 is provided between the distal end of the access arm 2 and the support spring 3.
The actuator 20D according to the fourth embodiment of the present invention is used.

【００６０】図１０(b) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４の分極方向は仕
切溝２４１を境にして向かい合う方向である。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３はアーム２の長手方向に垂直な方向に並進駆動さ
れるが、その並進方向は図１０(a) の構成とは逆方向で
ある。In the configuration shown in FIG.
The electrodes 22 and 23 are provided in parallel at the tip of the arm 2 in the longitudinal direction of the arm 2, and the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is a direction facing the partition groove 241. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2, but the translation direction is the reverse of the configuration shown in FIG. Direction.

【００６１】なお、第１の形態における第４の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｄにおいても、アーム２の先
端部に電極２２，２３をアーム２の長手方向に垂直な方
向に並列に設け、剪断型圧電素子２４をその分極方向が
アーム２の長手方向に向くようにしても良い。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動される。In the head micro-movement mechanism 30D of the fourth embodiment of the first embodiment, electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2. The polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 may be directed to the longitudinal direction of the arm 2. In this case, the support spring 3 is driven to translate in the longitudinal direction of the arm 2 by applying a voltage to the electrodes 22 and 23.

【００６２】図１１(a) から図１１(d) は、本発明の第
１の形態における第５の実施例のヘッドの微小移動機構
３０Ｅの種々の構成例を示すものである。第１の形態に
おける第５の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｅで
は、ヘッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部
と支持ばね３との間に、本発明の第５の実施例のアクチ
ュエータ２０Ｅが使用されている。FIGS. 11 (a) to 11 (d) show various structural examples of the head micro-movement mechanism 30E of the fifth embodiment according to the first aspect of the present invention. In the head micro-movement mechanism 30E of the fifth embodiment of the first embodiment, the actuator 20E of the fifth embodiment of the present invention is used between the tip of the access arm 2 of the head actuator and the support spring 3. Have been.

【００６３】図１１(a) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、この電極２２，２３上に剪断型圧電
素子２４Ａ，２４Ｂが積層される。剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれアーム２の先端方向で
ある。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加するこ
とにより、支持ばね３は回転駆動される。図１１(b) に
示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極
方向がアーム２の基部方向である点のみが図１１(a) の
構成と異なる。この場合も、電極２２，２３に電圧を印
加することにより支持ばね３は回転駆動されるが、その
回転方向は図１１(a) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG.
Electrodes 22 and 23 are provided in parallel at the tip of the arm 2 in the longitudinal direction of the arm 2. Shear type piezoelectric element 24
The polarization directions of A and 24B are the tip directions of the arm 2 respectively. In this case, the support spring 3 is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23. The configuration shown in FIG. 11 (b) differs from the configuration of FIG. 11 (a) only in that the polarization direction of the shear type piezoelectric elements 24A and 24B is in the base direction of the arm 2. Also in this case, the support spring 3 is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, but the direction of rotation is opposite to the direction shown in FIG.

【００６４】図１１(c) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直
な方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれ電極２２，２３の先端
方向である。この場合も電極２２，２３に電圧を印加す
ることにより、支持ばね３は回転駆動される。図１１
(d) に示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂ
の分極方向が電極２２，２３の基部方向である点のみが
図１１(c) の構成と異なる。この場合も、電極２２，２
３に電圧を印加することにより、支持ばね３は回転駆動
されるが、その回転方向は図１１(c) の構成とは逆方向
である。In the configuration shown in FIG.
Electrodes 22 and 23 are provided in parallel in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2 at the front end of the piezoelectric element 24.
The polarization directions of A and 24B are the tip directions of the electrodes 22 and 23, respectively. Also in this case, the support spring 3 is rotationally driven by applying a voltage to the electrodes 22 and 23. FIG.
The configuration shown in (d) is composed of shear-type piezoelectric elements 24A and 24B.
Only the point that the polarization direction is the base direction of the electrodes 22 and 23 is different from the configuration of FIG. Also in this case, the electrodes 22, 2
By applying a voltage to the support spring 3, the support spring 3 is driven to rotate, but the direction of rotation is opposite to that of the configuration shown in FIG.

【００６５】図１２(a) から図１２(d) は、本発明の第
１の形態における第６の実施例のヘッドの微小移動機構
３０Ｆの種々の構成例を示すものである。第１の形態に
おける第６の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｆで
は、ヘッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部
と支持ばね３との間に、本発明の第６の実施例のアクチ
ュエータ２０Ｆが使用されている。FIGS. 12 (a) to 12 (d) show various examples of the structure of the head micro-movement mechanism 30F according to the sixth embodiment of the present invention. In the head micro-movement mechanism 30F according to the sixth embodiment of the first embodiment, the actuator 20F according to the sixth embodiment of the present invention is used between the tip of the access arm 2 of the head actuator and the support spring 3. Have been.

【００６６】図１２(a) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分
極方向は一方がアーム２の先端方向、他方がアーム２の
基部方向である。この場合は、電極２２，２３に電圧を
印加することにより、支持ばね３はアーム２の長手方向
に並進駆動される。図１２(b) に示される構成は、剪断
型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が図１２(a) に示
される構成と逆になっている点のみが異なる。この場合
も、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３は並進駆動されるが、その並進方向は図１２(a)
の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG.
The electrodes 22 and 23 are provided in parallel at the tip of the arm 2 in the longitudinal direction of the arm 2. One of the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B is the tip of the arm 2 and the other is the base of the arm 2. . In this case, the support spring 3 is driven to translate in the longitudinal direction of the arm 2 by applying a voltage to the electrodes 22 and 23. The configuration shown in FIG. 12B is different only in that the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B are opposite to the configuration shown in FIG. 12A. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate, and the translation direction is as shown in FIG.
The direction is opposite to that of the configuration.

【００６７】図１２(c) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直
な方向に並列に並べられており、剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの分極方向は一方がアーム２の左端方向、他
方がアーム２の右端方向である。この場合も電極２２，
２３に電圧を印加することにより、支持ばね３はアーム
２の長手方向に垂直な方向に並進駆動される。図１２
(d) に示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂ
の分極方向が図１２(c) に示される構成と逆になってい
る点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３に電圧
を印加することにより、支持ばね３はアーム２の長手方
向に垂直な方向に並進駆動されるが、その並進方向は図
１２(c) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG.
Electrodes 22 and 23 are arranged in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2 at the tip of the piezoelectric element 24.
One of the polarization directions of A and 24B is the left end direction of the arm 2, and the other is the right end direction of the arm 2. Also in this case, the electrode 22,
By applying a voltage to the support 23, the support spring 3 is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2. FIG.
The configuration shown in (d) is composed of shear-type piezoelectric elements 24A and 24B.
Is different from the configuration shown in FIG. 12 (c) only in that the polarization direction is reversed. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2, but the translation direction is the reverse of the configuration shown in FIG. Direction.

【００６８】図１３(a) は、本発明の第１の形態におけ
る第７の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｇの構成例
を示すものである。第１の形態における第７の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｇでは、ヘッドアクチュエー
タのアクセスアーム２の先端部と支持ばね３との間に、
本発明の第７の実施例のアクチュエータ２０Ｇが使用さ
れている。FIG. 13 (a) shows an example of the configuration of a head micro-movement mechanism 30G according to a seventh embodiment of the first aspect of the present invention. In the head micro-movement mechanism 30G according to the seventh embodiment of the first embodiment, a head spring is provided between the distal end of the access arm 2 of the head actuator and the support spring 3.
The actuator 20G according to the seventh embodiment of the present invention is used.

【００６９】図１３(a) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分
極方向はアーム２の長手方向に垂直に互いに離反する方
向である。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加す
ることにより、支持ばね３はアーム２の長手方向に垂直
な方向に並進駆動される。In the configuration shown in FIG.
The electrodes 22 and 23 are provided in parallel at the tip end of the arm 2 in the longitudinal direction of the arm 2, and the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24 A and 24 B are directions perpendicular to and separated from the longitudinal direction of the arm 2. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2.

【００７０】なお、第１の形態における第７の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｇにおいても、アーム２の先
端部に電極２２，２３をアーム２の長手方向に垂直な方
向に並列に設け、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂをその
分極方向がアーム２の長手方向に向くようにしても良
い。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加すること
により、支持ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動さ
れる。In the head micro-movement mechanism 30G of the seventh embodiment of the first embodiment, electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2. The shearing type piezoelectric elements 24A and 24B may be configured so that the polarization direction is directed to the longitudinal direction of the arm 2. In this case, the support spring 3 is driven to translate in the longitudinal direction of the arm 2 by applying a voltage to the electrodes 22 and 23.

【００７１】図１３(b) は、本発明の第１の形態におけ
る第８の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｈの構成例
を示すものである。第１の形態における第８の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｈでは、ヘッドアクチュエー
タのアクセスアーム２の先端部と支持ばね３との間に、
本発明の第８の実施例のアクチュエータ２０Ｈが使用さ
れている。FIG. 13 (b) shows an example of the configuration of a head micro-movement mechanism 30H according to an eighth embodiment of the present invention. In the head micro-movement mechanism 30H according to the eighth embodiment of the first embodiment, the distance between the tip of the access arm 2 of the head actuator and the support spring 3 is increased.
The actuator 20H according to the eighth embodiment of the present invention is used.

【００７２】図１３(b) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分
極方向はアーム２の長手方向に垂直に向かい合う方向で
ある。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加するこ
とにより、支持ばね３はアーム２の長手方向に垂直な方
向に並進駆動されるが、その並進方向は図１３(a) の構
成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG.
The electrodes 22 and 23 are provided in parallel at the tip of the arm 2 in the longitudinal direction of the arm 2, and the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24 </ b> A and 24 </ b> B are perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2, but the translation direction is the reverse of the configuration shown in FIG. Direction.

【００７３】なお、第１の形態における 第８の実施例
のヘッドの微小移動機構３０Ｈにおいても、アーム２の
先端部に電極２２，２３をアーム２の長手方向に垂直な
方向に並列に設け、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂをそ
の分極方向がアーム２の長手方向に向くようにしても良
い。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加すること
により、支持ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動さ
れる。In the head micro-movement mechanism 30H of the eighth embodiment of the first embodiment, electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2. The shearing type piezoelectric elements 24A and 24B may be configured so that the polarization direction is directed to the longitudinal direction of the arm 2. In this case, the support spring 3 is driven to translate in the longitudinal direction of the arm 2 by applying a voltage to the electrodes 22 and 23.

【００７４】図１４(a) は本発明の第９の実施例のアク
チュエータの構成を示すものであり、第９の実施例のア
クチュエータ２０Ｊの構成を分解して示している。第９
の実施例のアクチュエータ２０Ｊは、固定端２１側に所
定深さを備えた円形の溝１９が設けられており、この円
形の溝１９の内周面上にこの内周面を左右対称に２分割
するように２つの電極２２Ａ，２３Ａが設けられる。そ
して、これら２つの電極２２Ａ，２３Ａの内周面上に所
定の肉厚を備えた半リング状の２つの剪断型圧電素子２
４Ｃ，２４Ｄがそれぞれ積層される。半リング状の２つ
の剪断型圧電素子２４Ｃ，２４Ｄの分極方向は周方向で
あり、分割線に対して線対称である。更に、２つの半リ
ング状の剪断型圧電素子２４Ｃ，２４Ｄの両方の内周面
には対向電極２５Ａが跨がって設けられ、この対向電極
２５Ａの内周面に回転軸１８が固着されて第９の実施例
のアクチュエータ２０Ｊが構成される。FIG. 14A shows the structure of an actuator according to a ninth embodiment of the present invention, and shows the structure of an actuator 20J of the ninth embodiment in an exploded manner. Ninth
In the actuator 20J of this embodiment, a circular groove 19 having a predetermined depth is provided on the fixed end 21 side, and the inner peripheral surface is divided into two symmetrically on the inner peripheral surface of the circular groove 19. The two electrodes 22A and 23A are provided so as to operate. Then, two semi-ring-shaped shear-type piezoelectric elements 2 each having a predetermined thickness are provided on the inner peripheral surfaces of these two electrodes 22A and 23A.
4C and 24D are respectively laminated. The polarization directions of the two semi-ring-shaped shear-type piezoelectric elements 24C and 24D are circumferential directions, and are line-symmetric with respect to the dividing line. Further, a counter electrode 25A is provided across both inner peripheral surfaces of the two semi-ring shaped shear type piezoelectric elements 24C and 24D, and a rotating shaft 18 is fixed to the inner peripheral surface of the counter electrode 25A. The actuator 20J of the ninth embodiment is configured.

【００７５】円形の溝１９の対向する縁部にはリードパ
ターン２６Ａ，２７Ａが接続されており、このリードパ
ターン２６Ａ，２７Ａの先にはアンプ２８とコントロー
ラ２９が接続されている。第９の実施例のアクチュエー
タ２０Ｊでは、コントローラ２９から出力される所定の
極性の駆動信号をアンプ２８で増幅し、２つの電極２２
Ａ，２３Ａ間に電圧を印加することによって剪断型圧電
素子２４Ｃ，２４Ｄを変形させ、対向電極２５Ａを回転
させることができる。この結果、対向電極２５Ａに固着
された回転軸１８を回転駆動することができる。コント
ローラ２９からは正、負両極性の駆動信号が出力できる
ので、駆動信号の極性を変えることにより、回転軸１８
の回転量、回転方向を制御することができる。Lead patterns 26A and 27A are connected to opposing edges of the circular groove 19, and an amplifier 28 and a controller 29 are connected to the ends of the lead patterns 26A and 27A. In the actuator 20J of the ninth embodiment, the drive signal of a predetermined polarity output from the controller 29 is amplified by the amplifier 28,
By applying a voltage between A and 23A, the shear-type piezoelectric elements 24C and 24D can be deformed, and the counter electrode 25A can be rotated. As a result, the rotating shaft 18 fixed to the counter electrode 25A can be driven to rotate. Since the controller 29 can output drive signals of both positive and negative polarities, by changing the polarity of the drive signals,
The amount of rotation and the direction of rotation can be controlled.

【００７６】図１４(b) は図１４(a) のアクチュエータ
２０Ｊを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのアー
ム２と支持ばね３との間に取り付けて第１の形態におけ
る第９の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｊを構成す
る様子を示すものである。ヘッドアクチュエータのアー
ム２の先端部には、アクチュエータ２０Ｊの固定端とし
て円形の溝１８が設けられており、２つの電極２２Ａ，
２３Ａ、剪断型圧電素子２４Ｃ，２４Ｄ、及び対向電極
２５Ａがこの円形の溝１９の中に収納される。そして、
支持ばね３の基部の裏面側に突設されたボス１８Ａが対
向電極２５Ａに固着されて第１の形態における第９の実
施例のヘッド微小移動機構３０Ｊが構成される。FIG. 14B shows a ninth embodiment of the head of the ninth embodiment in which the actuator 20J of FIG. 14A is mounted between the arm 2 of the head actuator of the disk drive and the support spring 3. It is a view showing how a minute moving mechanism 30J is configured. At the tip of the arm 2 of the head actuator, a circular groove 18 is provided as a fixed end of the actuator 20J.
23A, the shear type piezoelectric elements 24C and 24D, and the counter electrode 25A are housed in the circular groove 19. And
A boss 18A protruding from the rear surface side of the base of the support spring 3 is fixed to the counter electrode 25A to form the head minute moving mechanism 30J of the ninth embodiment of the first embodiment.

【００７７】図１５(a) は本発明の第１０の実施例のア
クチュエータ２０Ｋの構成を示すものである。固定端２
１Ａは板状であり、その先端部には凹部２１Ｂが形成さ
れている。凹部２１Ｂ内の対向する２つの平面上にはそ
れぞれ電極が設けられている。なお、固定端２１Ａが導
電性の金属であれば、電極は不要である。そして、これ
ら２つの電極の間には、移動板１７を両側から挟んでサ
ンドイッチ状になった２つの剪断型圧電素子２４が嵌め
込まれる。移動板１７が金属の場合は剪断型圧電素子２
４の移動板１７側の端面に電極は不要である。FIG. 15A shows the structure of an actuator 20K according to a tenth embodiment of the present invention. Fixed end 2
1A is plate-shaped, and a concave portion 21B is formed at the tip thereof. Electrodes are provided on two opposing planes in the recess 21B. If the fixed end 21A is a conductive metal, no electrode is required. Two shear-type piezoelectric elements 24 sandwiching the moving plate 17 from both sides are fitted between these two electrodes. When the moving plate 17 is made of metal, the shearing type piezoelectric element 2 is used.
No electrode is required on the end face of the fourth moving plate 17 side.

【００７８】図１５(b) は組立後の第１０の実施例のア
クチュエータ２０Ｋの状態を示すものであり、図１５
(c) は図１５(b) のアクチュエータ２０Ｋの電圧アンプ
２８との接続を示す回路構成図である。第１０の実施例
のアクチュエータ２０Ｋは、移動板１７と固定端２１Ａ
との間に電圧アンプ２８とコントローラ２９を接続し、
電極間の電圧の大きさと印加方向とをコントロールする
ことにより、移動板１７を図１５(b) に示すように揺動
させることができる。FIG. 15 (b) shows the state of the actuator 20K of the tenth embodiment after assembly.
FIG. 15C is a circuit diagram showing the connection between the actuator 20K and the voltage amplifier 28 in FIG. 15B. The actuator 20K of the tenth embodiment includes a movable plate 17 and a fixed end 21A.
Between the voltage amplifier 28 and the controller 29,
By controlling the magnitude of the voltage between the electrodes and the direction of application, the movable plate 17 can be swung as shown in FIG.

【００７９】なお、この第１０の実施例のアクチュエー
タ２０Ｊは、固定端２１Ａをヘッドアクチュエータのア
ーム２、移動板１７をヘッドアクチュエータの支持ばね
３とすれば、そのまま第１の形態における第１０の実施
例のヘッド微小移動機構３０Ｋとして使用することがで
きる。以上説明した第１の形態における 第１から第１
０の実施例のヘッド微小微小移動機構３０Ａ〜３０Ｋ
は、構成の簡単で変位精度の高い第１から第１０の実施
例のアクチュエータ２０Ａ〜２０Ｋを使用しているの
で、変位精度が高く、かつ、製造、組み立て性が向上す
る。In the actuator 20J of the tenth embodiment, if the fixed end 21A is the arm 2 of the head actuator and the movable plate 17 is the supporting spring 3 of the head actuator, the tenth embodiment of the first embodiment is used as it is. It can be used as the example head minute moving mechanism 30K. 1st to 1st in the first embodiment described above
0 micro head moving mechanism 30A-30K
Uses the actuators 20A to 20K of the first to tenth embodiments having a simple configuration and high displacement accuracy, so that the displacement accuracy is high, and the manufacturing and assembling properties are improved.

【００８０】図１６(a) は本発明のアクチュエータ２０
をディスク装置のヘッドアクチュエータのアクセスアー
ム２に取り付けられる支持ばね３と、この支持ばね３の
先端部に設けられるヘッド４（実際にはインダクディブ
ヘッドやＭＲヘッドを備えたヘッドスライダ４Ａ）との
間に使用した第２の形態のヘッド微小移動機構４０の基
本的な構成を示すものである。また、図１６(b) は図１
６(a) のヘッド微小移動機構４０の組立後の状態を示す
ものである。FIG. 16A shows an actuator 20 according to the present invention.
Between the support spring 3 attached to the access arm 2 of the head actuator of the disk drive and a head 4 (actually, a head slider 4A provided with an inductive head or an MR head) provided at the tip of the support spring 3. 9 shows a basic configuration of a head minute moving mechanism 40 according to a second embodiment used in the first embodiment. Further, FIG.
FIG. 6A shows a state after the head minute moving mechanism 40 is assembled.

【００８１】第２の形態のヘッド微小移動機構４０で
は、アクチュエータ２０の２つの電極２２，２３が、ヘ
ッドアクチュエータの支持ばね３の先端部にある島部３
Ａを固定端として設けられている。この島部３Ａは２本
のブリッジ３Ｂで支持ばね３の先端部に接続されてお
り、島部３Ａの回りには孔３Ｃが形成されている。島部
３Ａには２つの電極２２，２３の他に、ヘッド４に電気
的に接続させるための４つのパッド３Ｄが設けられてい
る。また、支持ばね３の上には２つの電極２２，２３に
接続するリードパターン２６，２７と、４つのパッド３
Ｄに接続するリードパターン４１〜４４があり、リード
パターン２６，２７は一方のブリッジ３Ｂを通って２つ
の電極２２，２３に接続しており、リードパターン４１
〜４４は他方のブリッジ３Ｂを通って４つのパッド３Ｄ
に接続している。そして、この電極２２，２３の上に、
この例では２個の剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂを介し
て、先端部にヘッド４が設けられたヘッドスライダ４Ａ
が取り付けられている。支持ばね３は、図１６(b) に示
されるように、アクセスアーム２の両面に取り付けられ
るので、１本のアクセスアーム２について第２の形態の
ヘッドの微小移動機構４０は２個設けられている。In the head micro-movement mechanism 40 of the second embodiment, the two electrodes 22 and 23 of the actuator 20 are connected to the island 3 at the tip of the support spring 3 of the head actuator.
A is provided as a fixed end. The island 3A is connected to the tip of the support spring 3 by two bridges 3B, and a hole 3C is formed around the island 3A. In addition to the two electrodes 22 and 23, the island portion 3A is provided with four pads 3D for electrically connecting to the head 4. Also, on the support spring 3, lead patterns 26 and 27 connected to the two electrodes 22 and 23, and four pads 3
D, there are lead patterns 41 to 44, and the lead patterns 26 and 27 are connected to the two electrodes 22 and 23 through one bridge 3B.
44 through the other pad 3D through the other bridge 3B
Connected to Then, on these electrodes 22 and 23,
In this example, a head slider 4A provided with a head 4 at the tip portion via two shear-type piezoelectric elements 24A and 24B.
Is attached. As shown in FIG. 16 (b), the support spring 3 is attached to both sides of the access arm 2, so that two micro movement mechanisms 40 of the head of the second embodiment are provided for one access arm 2. I have.

【００８２】図１６(c) は図１６(b) のヘッドの微小移
動機構４０の詳細な構成を示すＤ−Ｄ線における断面図
である。支持ばね３の上には絶縁層３１があり、その上
に電極２２，２３が形成されている。電極２２，２３の
上にはそれぞれ剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積層さ
れ、その上に対向電極２５がある。そして、対向電極２
５の上に絶縁層３２を介してヘッドスライダ４Ａが取り
付けられている。FIG. 16C is a cross-sectional view taken along the line DD, showing the detailed configuration of the head micro-movement mechanism 40 shown in FIG. 16B. An insulating layer 31 is provided on the support spring 3, and electrodes 22 and 23 are formed thereon. Shear type piezoelectric elements 24A, 24B are laminated on the electrodes 22, 23, respectively, and the counter electrode 25 is provided thereon. And the counter electrode 2
5, a head slider 4A is mounted via an insulating layer 32.

【００８３】このように、ヘッドアクチュエータの支持
ばね３とヘッドスライダ４Ａとの間に設けられる本発明
の第２の形態のヘッドの微小移動機構４０により、ヘッ
ドスライダ４Ａの先端部に設けられたヘッド４を、ヘッ
ドアクチュエータの動作とは独立して微小移動させるこ
とができる。なお、ヘッド４を微小移動させる方向は、
ヘッドの微小移動機構４０に前述の第１から第８の実施
例のアクチュエータ２０の何れを使用するかによって異
なる。そこで、以下に示す図１７(a) から図２２(b) を
用いて、本発明の第２の形態のヘッドの微小移動機構４
０の種々の実施例とその動作例を説明する。As described above, the head micro-movement mechanism 40 according to the second embodiment of the present invention provided between the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A provides the head provided at the tip end of the head slider 4A. 4 can be minutely moved independently of the operation of the head actuator. The direction in which the head 4 is slightly moved is
It depends on which of the actuators 20 of the first to eighth embodiments is used for the head micro-movement mechanism 40. Therefore, referring to FIGS. 17 (a) to 22 (b) shown below, the head micro-movement mechanism 4 according to the second embodiment of the present invention will be described.
Various embodiments of 0 and operation examples thereof will be described.

【００８４】図１７(a) から図１７(d) は、本発明の第
２の形態における第１の実施例のヘッドの微小移動機構
４０Ａの種々の構成例を示すものである。第２の形態に
おけ第１の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ａでは、
ヘッドアクチュエータの支持ばね３の先端部とヘッドス
ライダ４Ａとの間に、本発明の第１の実施例のアクチュ
エータ２０Ａが使用されている。FIGS. 17 (a) to 17 (d) show various structural examples of the head micro-movement mechanism 40A of the first embodiment of the second embodiment of the present invention. In the second embodiment, in the head micro-movement mechanism 40A of the first embodiment,
The actuator 20A according to the first embodiment of the present invention is used between the tip of the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A.

【００８５】図１７(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４の分極方向はアーム２の先端方向である。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッ
ドスライダ４Ａは回転駆動される。図１７(b) に示され
る構成は、剪断型圧電素子２４の分極方向が支持ばね３
の基部方向である点のみが図１７(a) の構成と異なる。
この場合も、電極２２，２３に電圧を印加することによ
り、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動されるが、その回転
方向は図１７(a) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 17A, the electrodes 22 and 23 are provided in parallel with the island 3A at the tip of the support spring 3 in the longitudinal direction of the support spring 3, and the shear type piezoelectric element 24 is provided. Is the direction of the tip of the arm 2. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to rotate. In the configuration shown in FIG. 17B, the polarization direction of the shear piezoelectric element 24 is
17 (a) is different from the configuration of FIG.
In this case as well, the head slider 4A is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, but the direction of rotation is opposite to the direction shown in FIG.

【００８６】図１７(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４の分極方向は電極２２，２３の先端方
向である。この場合も電極２２，２３に電圧を印加する
ことにより、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動される。図
１７(d) に示される構成は、剪断型圧電素子２４の分極
方向が電極２２，２３の基部方向である点のみが図１７
(c) の構成と異なる。この場合も、電極２２，２３に電
圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは回転駆
動されるが、その回転方向は図１７(c) の構成とは逆方
向である。In the configuration shown in FIG. 17 (c), electrodes 22 and 23 are provided in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3, and The polarization direction of the piezoelectric element 24 is the tip direction of the electrodes 22 and 23. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to rotate. The configuration shown in FIG. 17 (d) is different from the configuration shown in FIG. 17 only in that the polarization direction of the shear piezoelectric element 24 is the base direction of the electrodes 22 and 23.
This is different from the configuration of (c). In this case as well, the head slider 4A is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, but the direction of rotation is opposite to that of the configuration shown in FIG.

【００８７】図１８(a) から図１８(d) は、本発明の第
２の形態における第２の実施例のヘッドの微小移動機構
４０Ｂの種々の構成例を示すものである。第２の形態に
おける第２の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｂで
は、ヘッドアクチュエータの支持ばね３の先端部とヘッ
ドスライダ４Ａとの間に、本発明の第２の実施例のアク
チュエータ２０Ｂが使用されている。FIGS. 18 (a) to 18 (d) show various structural examples of the head micro-movement mechanism 40B according to the second embodiment of the present invention. In the head micro-movement mechanism 40B of the second embodiment in the second embodiment, the actuator 20B of the second embodiment of the present invention is used between the tip of the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A. Have been.

【００８８】図１８(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４の分極方向は一方が支持ばね３の先端方向、他方が
支持ばね３の基部方向である。この場合は、電極２２，
２３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａ
は支持ばね３の長手方向に並進駆動される。図１８(b)
に示される構成は、剪断型圧電素子２４の分極方向が図
１８(a) に示される構成と逆になっている点のみが異な
る。この場合も、電極２２，２３に電圧を印加すること
により、ヘッドスライダ４Ａは並進駆動されるが、その
並進方向は図１８(a) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 18 (a), electrodes 22 and 23 are provided in parallel on the island 3A at the tip of the support spring 3 in the longitudinal direction of the support spring 3. The polarization direction is one of the tip direction of the support spring 3 and the other is the base direction of the support spring 3. In this case, the electrodes 22,
23, a voltage is applied to the head slider 4A.
Is driven in translation in the longitudinal direction of the support spring 3. Fig. 18 (b)
18 is different only in that the polarization direction of the shear-type piezoelectric element 24 is opposite to that shown in FIG. Also in this case, the head slider 4A is driven to translate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, but the translation direction is the reverse of the configuration shown in FIG.

【００８９】図１８(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４の分極方向は一方が島部３Ａの左端方
向、他方が島部３Ａの右端方向である。この場合も電極
２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドスライ
ダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動
される。図１８(d) に示される構成は、剪断型圧電素子
２４の分極方向が図１８(c) に示される構成と逆になっ
ている点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動されるが、そ
の並進方向は図１８(c) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 18 (c), electrodes 22 and 23 are provided on an island 3A at the tip end of the support spring 3 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3, so that One of the polarization directions of the piezoelectric element 24 is the left end direction of the island portion 3A, and the other is the right end direction of the island portion 3A. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3. The configuration shown in FIG. 18 (d) is different only in that the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is opposite to the configuration shown in FIG. 18 (c). Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3, but the translation direction is different from that of FIG. The opposite direction.

【００９０】図１９(a) は、本発明の第２の形態におけ
る第３の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｃの構成例
を示すものである。第２の形態における第３の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｃでは、ヘッドアクチュエー
タの支持ばね３の先端部とヘッドスライダ４Ａとの間
に、本発明の第３の実施例のアクチュエータ２０Ｃが使
用されている。FIG. 19A shows an example of the configuration of a head micro-movement mechanism 40C according to the third embodiment of the second aspect of the present invention. In the head micro-movement mechanism 40C of the third embodiment of the second embodiment, the actuator 20C of the third embodiment of the present invention is used between the tip of the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A. Have been.

【００９１】図１９(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４の分極方向は仕切溝２４１を境にして離反する方向
である。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加する
ことにより、ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方
向に垂直な方向に並進駆動される。In the configuration shown in FIG. 19A, the electrodes 22 and 23 are provided in parallel with the island 3A at the tip of the support spring 3 in the longitudinal direction of the support spring 3, and the shear type piezoelectric element 24 is provided. Is the direction of separation from the partition groove 241. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3.

【００９２】なお、第２の形態における第３の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｃにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３を支持ばね３の
長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２
４をその分極方向が支持ばね３の長手方向に向くように
しても良い。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加
することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長
手方向に並進駆動される。In the head micro-movement mechanism 40C of the third embodiment of the second embodiment, the electrodes 22 and 23 are also applied to the island 3A at the tip of the support spring 3 perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3. Provided in parallel in various directions,
4 may be configured so that its polarization direction is oriented in the longitudinal direction of the support spring 3. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in the longitudinal direction of the support spring 3.

【００９３】図１９(b) は、本発明の第２の形態におけ
る第４の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｄの構成例
を示すものである。第２の形態における第４の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｄでは、ヘッドアクチュエー
タの支持ばね３の先端部とヘッドスライダ４Ａとの間
に、本発明の第４の実施例のアクチュエータ２０Ｄが使
用されている。FIG. 19 (b) shows an example of the configuration of a head micro-movement mechanism 40D according to a fourth embodiment of the present invention. In the head micro-movement mechanism 40D of the fourth embodiment of the second embodiment, the actuator 20D of the fourth embodiment of the present invention is used between the tip of the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A. Have been.

【００９４】図１９(b) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４の分極方向は仕切溝２４１を境にして向かい合う方
向である。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加す
ることにより、ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手
方向に垂直な方向に並進駆動されるが、その並進方向は
図１９(a) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 19 (b), electrodes 22 and 23 are provided in parallel in the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3, and the shear type piezoelectric element 24 is provided. Are polarization directions facing each other with the partition groove 241 as a boundary. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3, but the translation direction is different from that of FIG. The opposite direction.

【００９５】なお、第２の形態における第４の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｄにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３をアーム２の長
手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２４
をその分極方向が支持ばね３の長手方向に向くようにし
ても良い。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加す
ることにより、支持ばね３は支持ばね３の長手方向に並
進駆動される。In the head micro-movement mechanism 40D according to the fourth embodiment of the second embodiment, the electrodes 22 and 23 are attached to the island 3A at the tip of the support spring 3 perpendicularly to the longitudinal direction of the arm 2. The piezoelectric element 24 is provided in parallel in the
May be arranged so that the polarization direction is directed to the longitudinal direction of the support spring 3. In this case, the support spring 3 is driven to translate in the longitudinal direction of the support spring 3 by applying a voltage to the electrodes 22 and 23.

【００９６】図２０(a) から図２０(d) は、本発明の第
２の形態における第５の実施例のヘッドの微小移動機構
４０Ｅの種々の構成例を示すものである。第２の形態に
おける第５の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｅで
は、ヘッドアクチュエータの支持ばね３の先端部とヘッ
ドスライダ４Ａとの間に、本発明の第５の実施例のアク
チュエータ２０Ｅが使用されている。FIGS. 20 (a) to 20 (d) show various structural examples of the head micro-movement mechanism 40E according to the fifth embodiment of the present invention. In the head micro-movement mechanism 40E according to the fifth embodiment of the second embodiment, the actuator 20E according to the fifth embodiment of the present invention is used between the tip of the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A. Have been.

【００９７】図２０(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３がアーム２
の長手方向に並列に設けられており、この電極２２，２
３上に剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積層される。剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれ支持
ばね３の先端方向である。この場合は、電極２２，２３
に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは回
転駆動される。図２０(b) に示される構成は、剪断型圧
電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が支持ばね３の基部方
向である点のみが図２０(a) の構成と異なる。この場合
も、電極２２，２３に電圧を印加することによりヘッド
スライダ４Ａは回転駆動されるが、その回転方向は図２
０(a) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 20A, the electrodes 22 and 23 are attached to the arm 2 on the island 3A at the tip of the support spring 3.
Are provided in parallel in the longitudinal direction of the electrodes 22 and 2.
The shear-type piezoelectric elements 24A and 24B are laminated on 3. The polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B are respectively toward the tip of the support spring 3. In this case, the electrodes 22, 23
, The head slider 4A is rotationally driven. The configuration shown in FIG. 20 (b) differs from the configuration of FIG. 20 (a) only in that the polarization direction of the shearing type piezoelectric elements 24A, 24B is in the base direction of the support spring 3. Also in this case, the head slider 4A is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, and the direction of rotation is shown in FIG.
The direction is opposite to the configuration of 0 (a).

【００９８】図２０(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれ電極
２２，２３の先端方向である。この場合も電極２２，２
３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは
回転駆動される。図２０(d) に示される構成は、剪断型
圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が電極２２，２３の
基部方向である点のみが図２０(c) の構成と異なる。こ
の場合も、電極２２，２３に電圧を印加することによ
り、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動されるが、その回転
方向は図２０(c) の構成とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 20 (c), the electrodes 22 and 23 are provided in parallel in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3, and The polarization directions of the piezoelectric elements 24A and 24B are the tip directions of the electrodes 22 and 23, respectively. Also in this case, the electrodes 22, 2
By applying a voltage to 3, the head slider 4A is driven to rotate. The configuration shown in FIG. 20 (d) differs from the configuration of FIG. 20 (c) only in that the polarization direction of the shearing type piezoelectric elements 24A, 24B is in the base direction of the electrodes 22, 23. In this case as well, the head slider 4A is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, but the direction of rotation is opposite to that of the configuration shown in FIG.

【００９９】図２１(a) から図２１(d) は、本発明の第
２の形態における第６の実施例のヘッドの微小移動機構
４０Ｆの種々の構成例を示すものである。第２の形態に
おける第６の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｆで
は、ヘッドアクチュエータの支持ばね３の先端部とヘッ
ドスライダ４Ａとの間に、本発明の第６の実施例のアク
チュエータ２０Ｆが使用されている。FIGS. 21 (a) to 21 (d) show various structural examples of the head micro-movement mechanism 40F according to the sixth embodiment of the present invention. In the head micro-movement mechanism 40F of the sixth embodiment in the second embodiment, the actuator 20F of the sixth embodiment of the present invention is used between the tip of the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A. Have been.

【０１００】図２１(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４Ａ，２４Ｂの分極方向は一方が支持ばね３の先端方
向、他方が支持ばね３の基部方向である。この場合は、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドス
ライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に並進駆動される。
図２１(b) に示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，
２４Ｂの分極方向が図２１(a) に示される構成と逆にな
っている点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３
に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは並
進駆動されるが、その並進方向は図２１(a) の構成とは
逆方向である。図２１(c) に示される構成では、支持ば
ね３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ば
ね３の長手方向に垂直な方向に並列に並べられており、
剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向は一方が島部
３Ａの左端方向、他方が島部３Ａの右端方向である。こ
の場合も電極２２，２３に電圧を印加することにより、
ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方
向に並進駆動される。図２１(d) に示される構成は、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が図２１(c) に
示される構成と逆になっている点のみが異なる。この場
合も、電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘ
ッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向
に並進駆動されるが、その並進方向は図２１(c) の構成
とは逆方向である。In the configuration shown in FIG. 21A, electrodes 22 and 23 are provided in parallel with the island 3A at the tip of the support spring 3 in the longitudinal direction of the support spring 3, and the shear-type piezoelectric element 24A , 24 </ b> B are directed in the direction of the tip of the support spring 3 and in the direction of the base of the support spring 3. in this case,
By applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in the longitudinal direction of the support spring 3.
The configuration shown in FIG. 21 (b) is a shear type piezoelectric element 24A,
The only difference is that the polarization direction of 24B is opposite to the configuration shown in FIG. Also in this case, the electrodes 22, 23
When the voltage is applied to the head slider 4A, the head slider 4A is driven to translate, but the translation direction is the opposite direction to the configuration shown in FIG. In the configuration shown in FIG. 21 (c), the electrodes 22, 23 are arranged in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3.
One of the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B is the left end direction of the island portion 3A, and the other is the right end direction of the island portion 3A. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23,
The head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3. The configuration shown in FIG. 21 (d) is different only in that the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B are opposite to the configuration shown in FIG. 21 (c). Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3, but the translation direction is different from the configuration shown in FIG. The opposite direction.

【０１０１】図２２(a) は、本発明の第２の形態におけ
る第７の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｇの構成例
を示すものである。第２の形態における第７の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｇでは、ヘッドアクチュエー
タの支持ばね３の先端部とヘッドスライダ４Ａとの間
に、本発明の第７の実施例のアクチュエータ２０Ｇが使
用されている。FIG. 22A shows an example of the configuration of a head micro-movement mechanism 40G according to a seventh embodiment of the present invention. In the head micro-movement mechanism 40G of the seventh embodiment of the second embodiment, the actuator 20G of the seventh embodiment of the present invention is used between the tip of the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A. Have been.

【０１０２】図２２(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４Ａ，２４Ｂの分極方向は支持ばね３の長手方向に垂
直に互いに離反する方向である。この場合は、電極２
２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ
４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動さ
れる。In the configuration shown in FIG. 22 (a), electrodes 22 and 23 are provided in parallel in the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3, and the shear type piezoelectric element 24A , 24B are perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 and away from each other. In this case, electrode 2
By applying a voltage to the head sliders 2 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3.

【０１０３】なお、第２の形態における第７の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｇにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３を支持ばね３の
長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂをその分極方向が支持ばね３の長手方向に
向くようにしても良い。この場合は、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に並進駆動される。In the head micro-movement mechanism 40G of the seventh embodiment of the second embodiment, the electrodes 22 and 23 are perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3. Provided in parallel in various directions,
The polarization directions of 4A and 24B may be oriented in the longitudinal direction of the support spring 3. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in the longitudinal direction of the support spring 3.

【０１０４】図２２(b) は、本発明の第２の形態におけ
る第８の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｈの構成例
を示すものである。第２の形態における第８の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｈでは、ヘッドアクチュエー
タの支持ばね３の先端部とヘッドスライダ４Ａとの間
に、本発明の第８の実施例のアクチュエータ２０Ｈが使
用されている。FIG. 22 (b) shows an example of the configuration of a minute moving mechanism 40H of a head according to an eighth embodiment of the present invention. In the head micro-movement mechanism 40H according to the eighth embodiment of the second embodiment, the actuator 20H according to the eighth embodiment of the present invention is used between the tip of the support spring 3 of the head actuator and the head slider 4A. Have been.

【０１０５】図２２(b) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４Ａ，２４Ｂの分極方向は支持ばね３の長手方向に垂
直に向かい合う方向である。この場合は、電極２２，２
３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは
支持ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動される
が、その並進方向は図２２(a) の構成とは逆方向であ
る。In the configuration shown in FIG. 22 (b), electrodes 22 and 23 are provided in parallel on the island 3A at the tip of the support spring 3 in the longitudinal direction of the support spring 3, and the shear type piezoelectric element 24A , 24B are perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3. In this case, the electrodes 22, 2
By applying a voltage to the head slider 3, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3, and the translation direction is opposite to the direction shown in FIG.

【０１０６】なお、第２の形態における第８の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｈにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３を支持ばね３の
長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂをその分極方向が支持ばね３の長手方向に
向くようにしても良い。この場合は、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に並進駆動される。In the head micro-movement mechanism 40H of the eighth embodiment of the second embodiment, the electrodes 22 and 23 are also applied to the island 3A at the tip of the support spring 3 perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3. Provided in parallel in various directions,
The polarization directions of 4A and 24B may be oriented in the longitudinal direction of the support spring 3. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in the longitudinal direction of the support spring 3.

【０１０７】以上説明した本発明の第２の形態における
第１から第８の実施例のヘッド微小移動機構４０Ａから
４０Ｈでは、第１から第８の実施例のアクチュエータ２
０Ａ〜２０Ｈが駆動する部分はヘッドスライダ４Ａのみ
で良く、可動部質量があるのでアクチュエータの共振点
を向上させることができる。図２３(a) は本発明の第２
の形態における第９の実施例のヘッドの微小移動機構４
０Ｊの構成例を示すものである。第２の形態における第
９の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｊでは、ヘッド
スライダ４Ａの先端部とヘッド素子基板４Ｂとの間に、
本発明の第３の実施例のアクチュエータ２０Ｃが使用さ
れている。In the head minute moving mechanisms 40A to 40H of the first to eighth embodiments according to the second embodiment of the present invention described above, the actuator 2 of the first to eighth embodiments is used.
Only the head slider 4A is required to be driven by 0A to 20H, and the resonance point of the actuator can be improved because of the mass of the movable part. FIG. 23 (a) shows the second embodiment of the present invention.
Movement mechanism 4 of head according to the ninth embodiment of the present invention.
It shows a configuration example of 0J. In the head micro-movement mechanism 40J according to the ninth embodiment of the second embodiment, the head slider 4A and the head element substrate 4B are positioned between the head slider 4A and the head element substrate 4B.
The actuator 20C according to the third embodiment of the present invention is used.

【０１０８】図２３(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに取り付けられたヘッドスラ
イダ４Ａの、ヘッド素子基板４Ｂを取り付ける前の端面
に電極２２，２３が並んで設けられており、この電極２
２，２３上に剪断型圧電素子２４を挟んでヘッド素子基
板４Ｂが取り付けられる。ヘッド素子基板４Ｂの剪断型
圧電素子２４側の面には図示はしないが全面に対向電極
が設けられている。この場合の剪断型圧電素子２４の分
極方向は支持ばね３の長手方向に垂直に互いに離反する
方向である。In the configuration shown in FIG. 23A, the electrodes 22, 23 are arranged on the end surface of the head slider 4A attached to the island 3A at the tip of the support spring 3 before the head element substrate 4B is attached. This electrode 2
The head element substrate 4B is mounted on the piezoelectric elements 2, 23 with the shear piezoelectric element 24 interposed therebetween. Although not shown, a counter electrode is provided on the entire surface of the head element substrate 4B on the side of the shear type piezoelectric element 24, although not shown. In this case, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 and away from each other.

【０１０９】図２３(b) は組立後の第２の形態における
第９の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｊの構成を示
すものである。第２の形態における第９の実施例のヘッ
ドの微小移動機構４０Ｊでは、電極２２，２３に電圧を
印加することにより、ヘッド素子基板４Ｂは矢印で示す
ようにヘッドスライダ４Ａの長手方向に垂直な方向に並
進駆動される。FIG. 23 (b) shows the configuration of a head micro-movement mechanism 40J of the ninth embodiment in the second embodiment after assembly. In the head micro-movement mechanism 40J of the ninth embodiment of the second embodiment, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head element substrate 4B is perpendicular to the longitudinal direction of the head slider 4A as shown by arrows. Is driven in translation.

【０１１０】以上説明した本発明の第２の形態における
第１から第９の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ａ〜
４０Ｊでは、構造が簡単で制御精度の高いアクチュエー
タ２０Ａ〜２０Ｊを使用しているので、製造が簡単で組
立性が高い。The head micro-moving mechanisms 40A to 40A of the first to ninth embodiments of the second embodiment of the present invention described above.
In the case of 40J, since the actuators 20A to 20J having a simple structure and high control accuracy are used, the manufacturing is simple and the assembling property is high.

【０１１１】[0111]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
素子の高い寸法精度が必要されないと共に、高精度の位
置決めが可能な剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ
を提供することが可能になる。また、本発明によれば、
寸法精度が必要とされず、高精度の位置決めが可能なア
クチュエータを使用することにより、構造か簡単で、製
造、組立性が高く、且つ、位置決め精度の良いヘッド微
小移動機構を提供することができる。As described above, according to the present invention,
It is possible to provide an actuator using a shear-type piezoelectric element that does not require high dimensional accuracy of the element and enables high-precision positioning. According to the present invention,
By using an actuator that does not require dimensional accuracy and can perform high-precision positioning, it is possible to provide a head micro-moving mechanism with a simple structure, high manufacturing and assembling properties, and high positioning accuracy. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】(a) は本発明の剪断型圧電素子を用いたアクチ
ュエータの基本的な構成を示すものであり、単一の剪断
型圧電素子を用いたアクチュエータの構成を分解して示
す組立斜視図、(b) は(a) のアクチュエータの組立後の
動作の一例を示す斜視図である。FIG. 1 (a) shows a basic configuration of an actuator using a shear-type piezoelectric element of the present invention, and is an exploded perspective view showing an exploded configuration of an actuator using a single shear-type piezoelectric element. FIG. 7B is a perspective view showing an example of the operation after assembly of the actuator shown in FIG.

【図２】(a) から(d) は単一の剪断型圧電素子を用いた
本発明の第１の形態のアクチュエータの実施例を示すも
のであり、(a) は剪断型圧電素子の分極方向が一方向で
ある第１の実施例の構成を示す斜視図、(b) は(a) に示
す第１の実施例のアクチュエータに電圧を印加した時の
アクチュエータの変形方向を示す平面図、(c) は剪断型
圧電素子の分極方向が２つの電極に平行で且つ互いに逆
方向である第２の実施例の構成を示す斜視図、(d) は
(c) に示す第２の実施例のアクチュエータに電圧を印加
した時のアクチュエータの変形方向を示す平面図であ
る。FIGS. 2 (a) to 2 (d) show an embodiment of an actuator of the first embodiment of the present invention using a single shear type piezoelectric element, and FIG. 2 (a) shows polarization of the shear type piezoelectric element. FIG. 3B is a perspective view showing a configuration of the first embodiment in which the direction is one direction, FIG. 4B is a plan view showing a deformation direction of the actuator when a voltage is applied to the actuator of the first embodiment shown in FIG. (c) is a perspective view showing the configuration of the second embodiment in which the polarization direction of the shear-type piezoelectric element is parallel to the two electrodes and opposite to each other, and (d) is a perspective view.
FIG. 9C is a plan view showing the deformation direction of the actuator when a voltage is applied to the actuator of the second embodiment shown in FIG.

【図３】(a) から(d) は中央部に仕切溝を設けた単一の
剪断型圧電素子を用いた本発明の第１の形態の変形例の
アクチュエータの実施例を示すものであり、(a) は剪断
型圧電素子の分極方向が仕切溝に垂直な方向に互いに離
反するように向いた第３の実施例の構成を示す斜視図、
(b) は(a) に示す第３の実施例のアクチュエータに電圧
を印加した時のアクチュエータの変形方向を示す平面
図、(c) は剪断型圧電素子の分極方向が仕切溝に垂直な
方向に互いに向き合うように向いた第４の実施例の構成
を示す斜視図、(d) は(c) に示す第４の実施例のアクチ
ュエータに電圧を印加した時のアクチュエータの変形方
向を示す平面図である。FIGS. 3 (a) to 3 (d) show an embodiment of a modified example of the first embodiment of the present invention using a single shear-type piezoelectric element provided with a partition groove in the center. (A) is a perspective view showing a configuration of a third embodiment in which the polarization direction of the shear-type piezoelectric element is oriented so as to be separated from each other in a direction perpendicular to the partition groove;
(b) is a plan view showing a deformation direction of the actuator when a voltage is applied to the actuator of the third embodiment shown in (a), and (c) is a direction in which the polarization direction of the shear-type piezoelectric element is perpendicular to the partition groove. FIG. 3D is a perspective view showing the configuration of the fourth embodiment facing each other, and FIG. 4D is a plan view showing the deformation direction of the actuator when a voltage is applied to the actuator of the fourth embodiment shown in FIG. It is.

【図４】(a) から(d) は２つの剪断型圧電素子を用いた
本発明の第２の形態のアクチュエータの実施例を示すも
のであり、(a) は２個の剪断型圧電素子の分極方向が２
つの電極に平行な同方向である第５の実施例の構成を示
す斜視図、(b) は(a) に示す第５の実施例のアクチュエ
ータに電圧を印加した時のアクチュエータの変形方向を
示す平面図、(c) は２つの剪断型圧電素子の分極方向が
２つの電極に平行で且つ互いに逆方向である第６の実施
例の構成を示す斜視図、(d) は(c) に示す第６の実施例
のアクチュエータに電圧を印加した時のアクチュエータ
の変形方向を示す平面図である。4 (a) to 4 (d) show an embodiment of an actuator according to a second embodiment of the present invention using two shear-type piezoelectric elements. FIG. 4 (a) shows two shear-type piezoelectric elements. Polarization direction is 2
FIG. 9B is a perspective view showing the configuration of the fifth embodiment in the same direction parallel to one electrode, and FIG. 10B shows the deformation direction of the actuator when a voltage is applied to the actuator of the fifth embodiment shown in FIG. A plan view, (c) is a perspective view showing the configuration of a sixth embodiment in which the polarization directions of two shear-type piezoelectric elements are parallel to the two electrodes and opposite to each other, and (d) is shown in (c). FIG. 16 is a plan view showing a deformation direction of the actuator when a voltage is applied to the actuator of the sixth embodiment.

【図５】(a) から(d) は２つの剪断型圧電素子を用いた
本発明の第２の形態のアクチュエータの実施例を示すも
のであり、(a) は２個の剪断型圧電素子の分極方向が２
つの電極に交差する方向に互いに離反するように向いた
第７の実施例の構成を示す斜視図、(b) は(a) に示す第
７の実施例のアクチュエータに電圧を印加した時のアク
チュエータの変形方向を示す平面図、(c) は２つの剪断
型圧電素子の分極方向が２つの電極に交差する方向に互
いに向かい合うように向いた第８の実施例の構成を示す
斜視図、(d) は(c) に示す第８の実施例のアクチュエー
タに電圧を印加した時のアクチュエータの変形方向を示
す平面図である。5 (a) to 5 (d) show an embodiment of an actuator according to a second embodiment of the present invention using two shear type piezoelectric elements, and FIG. 5 (a) shows two shear type piezoelectric elements. Polarization direction is 2
FIG. 7B is a perspective view showing the configuration of the seventh embodiment in which the electrodes are oriented so as to be separated from each other in a direction intersecting the two electrodes. FIG. (C) is a perspective view showing the configuration of the eighth embodiment in which the polarization directions of the two shear-type piezoelectric elements face each other in a direction intersecting the two electrodes. () Is a plan view showing the deformation direction of the actuator when a voltage is applied to the actuator of the eighth embodiment shown in (c).

【図６】(a) は本発明のアクチュエータをディスク装置
のヘッドアクチュエータのアームとこのアームに取り付
けられる支持ばねとの間に使用したヘッド微小移動機構
の第１の形態の基本的な構成を示す組立斜視図、(b) は
(a) のヘッド微小移動機構の組立後の状態を示す斜視
図、(c) は(b) のＣ−Ｃ線における断面図である。FIG. 6A shows a basic configuration of a first mode of a head minute moving mechanism using an actuator of the present invention between an arm of a head actuator of a disk drive and a support spring attached to the arm. Assembling perspective view, (b)
FIG. 7A is a perspective view showing a state after assembling of the head minute moving mechanism, and FIG. 7C is a cross-sectional view taken along line CC in FIG.

【図７】本発明のアクチュエータをディスク装置のヘッ
ドアクチュエータのアームとこのアームに取り付けられ
る支持ばねとの間に取り付ける工程を説明する説明図で
ある。FIG. 7 is an explanatory view illustrating a step of attaching the actuator of the present invention between an arm of a head actuator of a disk drive and a support spring attached to the arm.

【図８】(a) から(d) は本発明の第１の実施例のアクチ
ュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのア
ームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明の
第１の形態の第１の実施例のヘッド微小移動機構の種々
の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及び
この構成において電極間に電圧を印加した時の支持ばね
の微小移動方向別に示す組立斜視図である。FIGS. 8 (a) to 8 (d) show a first embodiment of the present invention in which the actuator of the first embodiment of the present invention is mounted between an arm of a head actuator of a disk drive and a support spring. Assemblies showing various configurations of the head micro-movement mechanism of the first embodiment according to the electrode direction, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is a perspective view.

【図９】(a) から(d) は本発明の第２の実施例のアクチ
ュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのア
ームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明の
第１の形態の第２の実施例のヘッド微小移動機構の種々
の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及び
この構成において電極間に電圧を印加した時の支持ばね
の微小移動方向別に示す組立斜視図である。FIGS. 9 (a) to 9 (d) show a first embodiment of the present invention in which the actuator of the second embodiment of the present invention is mounted between an arm of a head actuator of a disk drive and a support spring. Assemblies showing various configurations of the head micro-movement mechanism of the second embodiment according to the electrode direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is a perspective view.

【図１０】(a) は本発明の第３の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのアームと
支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明の第１の
形態の第３の実施例のヘッド微小移動機構の構成を、電
極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及びこの構成にお
いて電極間に電圧を印加した時の支持ばねの微小移動方
向と共に示す組立斜視図、(b) は本発明の第４の実施例
のアクチュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエ
ータのアームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、
本発明の第１の形態の第４の実施例のヘッド微小移動機
構の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及
びこの構成において電極間に電圧を印加した時の支持ば
ねの微小移動方向と共に示す組立斜視図である。FIG. 10 (a) shows a third embodiment of the first aspect of the present invention in which the actuator of the third embodiment of the present invention is mounted between an arm of a head actuator of a disk drive and a support spring. Assembly perspective view showing the configuration of the head micro-movement mechanism of the embodiment, along with the electrode direction, the polarization direction of the shear piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration, (b) Is configured by mounting the actuator of the fourth embodiment of the present invention between the arm of the head actuator of the disk drive and the support spring.
The configuration of the head micro-moving mechanism according to the fourth embodiment of the first aspect of the present invention is based on the following: the electrode direction, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element, It is an assembly perspective view shown with a movement direction.

【図１１】(a) から(d) は本発明の第５の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
アームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明
の第１の形態の第５の実施例のヘッド微小移動機構の種
々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及
びこの構成において電極間に電圧を印加した時の支持ば
ねの微小移動方向別に示す組立斜視図である。FIGS. 11 (a) to 11 (d) show a first embodiment of the present invention in which the actuator of the fifth embodiment of the present invention is mounted between an arm of a head actuator of a disk drive and a support spring. Assemblies showing various configurations of the head micro-movement mechanism of the fifth embodiment according to the electrode direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is a perspective view.

【図１２】(a) から(d) は本発明の第６の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
アームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明
の第１の形態の第６の実施例のヘッド微小移動機構の種
々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及
びこの構成において電極間に電圧を印加した時の支持ば
ねの微小移動方向別に示す組立斜視図である。FIGS. 12 (a) to 12 (d) show a first embodiment of the present invention in which the actuator according to the sixth embodiment of the present invention is mounted between an arm of a head actuator of a disk drive and a support spring. Assemblies showing various configurations of the head micro-movement mechanism of the sixth embodiment according to the electrode direction, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is a perspective view.

【図１３】(a) は本発明の第７の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのアームと
支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明の第１の
形態の第７の実施例のヘッド微小移動機構の構成を、電
極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及びこの構成にお
いて電極間に電圧を印加した時の支持ばねの微小移動方
向と共に示す組立斜視図、(b) は本発明の第８の実施例
のアクチュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエ
ータのアームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、
本発明の第１の形態の第８の実施例のヘッド微小移動機
構の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及
びこの構成において電極間に電圧を印加した時の支持ば
ねの微小移動方向と共に示す組立斜視図である。FIG. 13A shows a seventh embodiment of the first aspect of the present invention in which the actuator of the seventh embodiment of the present invention is mounted between an arm of a head actuator of a disk drive and a supporting spring. Assembly perspective view showing the configuration of the head micro-movement mechanism of the embodiment, along with the electrode direction, the polarization direction of the shear piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration, (b) Is configured by mounting the actuator of the eighth embodiment of the present invention between the arm of the head actuator of the disk drive and the support spring.
The configuration of the head micro-movement mechanism according to the eighth embodiment of the first aspect of the present invention is based on the following: the electrode direction, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element, and the micro structure of the support spring when voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is an assembly perspective view shown with a movement direction.

【図１４】(a) は本発明の第９の実施例のアクチュエー
タの構成を示す組立斜視図、(b)は(a) のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのアームと
このアームに取り付けられる支持ばねとの間に取り付け
て第１の形態の第９の実施例のヘッド微小移動機構を構
成する際の、アクチュエータ、アーム先端部、及び支持
ばねの基部の構成と、この構成のアクチュエータに電圧
を印加した時の支持ばねの微小移動方向を示す組立斜視
図である。14 (a) is an assembled perspective view showing the structure of an actuator according to a ninth embodiment of the present invention, and FIG. 14 (b) shows the actuator of FIG. 14 (a) attached to a head actuator arm of a disk drive and this arm; When the head micro-moving mechanism of the ninth embodiment of the first embodiment is configured by being attached to a support spring, the configuration of the actuator, the arm tip, and the base of the support spring, and the voltage applied to the actuator having this configuration FIG. 10 is an assembled perspective view showing a minute movement direction of the support spring when a force is applied.

【図１５】(a) は本発明の第１０の実施例のアクチュエ
ータの構成を示す組立斜視図、(b) は(a) のアクチュエ
ータの組立後の状態を示す斜視図、(c) は(b) のアクチ
ュエータの電源との接続を示す回路構成図である。15A is an assembled perspective view showing the structure of an actuator according to a tenth embodiment of the present invention, FIG. 15B is a perspective view showing the state after assembly of the actuator shown in FIG. 15A, and FIG. FIG. 4B is a circuit configuration diagram showing connection of the actuator to the power supply of FIG.

【図１６】(a) は本発明のアクチュエータをディスク装
置のヘッドアクチュエータのアームに取り付けられる支
持ばねと支持ばねの先端部に取り付けられるヘッドスラ
イダとの間に使用したヘッド微小移動機構の第２の形態
の基本的な構成を示す組立斜視図、(b) は(a) のヘッド
微小移動機構の組立後の状態を示す斜視図、(c) は(b)
のＤ−Ｄ線における局部断面図である。FIG. 16 (a) shows a second example of a head minute moving mechanism using an actuator of the present invention between a support spring attached to an arm of a head actuator of a disk drive and a head slider attached to the tip of the support spring. (B) is a perspective view showing the state after assembling the head micro-movement mechanism of (a), and (c) is a perspective view of the assembled state.
FIG. 4 is a local sectional view taken along line DD of FIG.

【図１７】(a) から(d) は本発明の第１の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
支持ばねとヘッドスライダとの間に取り付けて構成し
た、本発明の第２の形態の第１の実施例のヘッド微小移
動機構の種々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分
極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した
時の支持ばねの微小移動方向別に示す組立斜視図であ
る。FIGS. 17 (a) to (d) show a second embodiment of the present invention in which the actuator of the first embodiment of the present invention is mounted between a support spring of a head actuator of a disk drive and a head slider. Various configurations of the head micro-movement mechanism according to the first embodiment of the present invention are shown according to the electrode direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is an assembly perspective view.

【図１８】(a) から(d) は本発明の第２の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
支持ばねとヘッドスライダとの間に取り付けて構成し
た、本発明の第２の形態の第２の実施例のヘッド微小移
動機構の種々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分
極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した
時の支持ばねの微小移動方向別に示す組立斜視図であ
る。FIGS. 18 (a) to (d) show a second embodiment of the present invention in which the actuator according to the second embodiment of the present invention is mounted between a support spring of a head actuator of a disk drive and a head slider. Various configurations of the head micro-movement mechanism according to the second embodiment of the present invention are shown according to the electrode direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is an assembly perspective view.

【図１９】(a) は本発明の第３の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの支持ばね
とヘッドスライダとの間に取り付けて構成した、本発明
の第２の形態の第３の実施例のヘッド微小移動機構の構
成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及びこの
構成において電極間に電圧を印加した時の支持ばねの微
小移動方向と共に示す組立斜視図、(b) は本発明の第４
の実施例のアクチュエータを、ディスク装置のヘッドア
クチュエータの支持ばねとヘッドスライダとの間に取り
付けて構成した、本発明の第２の形態の第４の実施例の
ヘッド微小移動機構の構成を、電極方向、剪断型圧電素
子の分極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印
加した時の支持ばねの微小移動方向と共に示す組立斜視
図である。FIG. 19A shows a third embodiment of the second aspect of the present invention in which the actuator of the third embodiment of the present invention is mounted between the support spring of the head actuator of the disk drive and the head slider. An assembly perspective view showing the configuration of the head micro-moving mechanism of the embodiment together with the electrode direction, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element, and the micro-moving direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration, FIG. ) Is the fourth of the present invention.
The structure of the head micro-moving mechanism according to the fourth embodiment of the second embodiment of the present invention, in which the actuator according to the fourth embodiment is mounted between the support spring of the head actuator of the disk drive and the head slider, FIG. 4 is an assembly perspective view showing the direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the minute movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration.

【図２０】(a) から(d) は本発明の第５の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
支持ばねとヘッドスライダとの間に取り付けて構成し
た、本発明の第２の形態の第５の実施例のヘッド微小移
動機構の種々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分
極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した
時の支持ばねの微小移動方向別に示す組立斜視図であ
る。FIGS. 20 (a) to (d) show a second embodiment of the present invention in which the actuator of the fifth embodiment of the present invention is mounted between a support spring of a head actuator of a disk drive and a head slider. Various configurations of the head micro-movement mechanism according to the fifth embodiment of the present invention are shown according to the electrode direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is an assembly perspective view.

【図２１】(a) から(d) は本発明の第６の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
支持ばねとヘッドスライダとの間に取り付けて構成し
た、本発明の第２の形態の第６の実施例のヘッド微小移
動機構の種々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分
極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した
時の支持ばねの微小移動方向別に示す組立斜視図であ
る。FIGS. 21 (a) to (d) show a second embodiment of the present invention in which the actuator according to the sixth embodiment of the present invention is mounted between a support spring of a head actuator of a disk drive and a head slider. Various configurations of the head micro-movement mechanism of the sixth embodiment are shown according to the electrode direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. It is an assembly perspective view.

【図２２】(a) は本発明の第７の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの支持ばね
とヘッドスライダとの間に取り付けて構成した、本発明
の第２の形態の第７の実施例のヘッド微小移動機構の構
成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及びこの
構成において電極間に電圧を印加した時の支持ばねの微
小移動方向と共に示す組立斜視図、(b) は本発明の第８
の実施例のアクチュエータを、ディスク装置のヘッドア
クチュエータの支持ばねとヘッドスライダとの間に取り
付けて構成した、本発明の第２の形態の第８の実施例の
ヘッド微小移動機構の構成を、電極方向、剪断型圧電素
子の分極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印
加した時の支持ばねの微小移動方向と共に示す組立斜視
図である。FIG. 22A shows a seventh embodiment of the second aspect of the present invention in which the actuator of the seventh embodiment of the present invention is mounted between a support spring of a head actuator of a disk drive and a head slider. An assembly perspective view showing the configuration of the head micro-moving mechanism of the embodiment together with the electrode direction, the polarization direction of the shearing type piezoelectric element, and the micro-moving direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration, FIG. ) Is the eighth of the present invention.
The structure of the head micro-moving mechanism according to the eighth embodiment of the second embodiment of the present invention in which the actuator of the eighth embodiment is mounted between the support spring of the head actuator of the disk drive and the head slider, FIG. 4 is an assembly perspective view showing the direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the minute movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration.

【図２３】(a) は本発明の第３の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのヘッドス
ライダの先端部とヘッド素子基板との間に取り付けて構
成した、本発明の第２の形態の第９の実施例のヘッド微
小移動機構の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極
方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した時
の支持ばねの微小移動方向と共に示す組立斜視図、(b)
は(a) のヘッド微小移動機構の組立後の状態を示す斜視
図である。FIG. 23 (a) shows a second embodiment of the present invention in which the actuator according to the third embodiment of the present invention is mounted between the tip of a head slider of a head actuator of a disk drive and a head element substrate. An assembly perspective view showing the configuration of the head micro-movement mechanism of the ninth embodiment of the present invention, together with the electrode direction, the polarization direction of the shear-type piezoelectric element, and the micro-movement direction of the support spring when a voltage is applied between the electrodes in this configuration. Figure, (b)
FIG. 3A is a perspective view showing a state after the assembly of the head minute moving mechanism of FIG.

【図２４】(a) はサブアクチュエータを備えた従来のヘ
ッドアクチュエータの平面図、(b) は(a) のサブアクチ
ュエータの拡大図である。24A is a plan view of a conventional head actuator having a sub-actuator, and FIG. 24B is an enlarged view of the sub-actuator of FIG.

【図２５】(a) は従来の他のヘッド微小移動機構を搭載
したディスク装置のヘッドアクチュエータの構成を示す
組立斜視図、(b) は(a) のヘッドアクチュエータにおけ
るヘッド微小移動機構を拡大して示す部分拡大組立斜視
図である。FIG. 25A is an assembled perspective view showing the structure of a head actuator of a disk drive on which another conventional head micro-movement mechanism is mounted, and FIG. 25B is an enlarged view of the head micro-movement mechanism in the head actuator of FIG. FIG.

【図２６】(a) ，(b) は図２５(b) のピエゾ素子の電源
への接続例を示す回路構成図である。26 (a) and (b) are circuit diagrams showing examples of connection of the piezo element of FIG. 25 (b) to a power supply.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２…アクセスアーム ３…支持ばね ４…ヘッド ４Ａ…ヘッドスライダ １８…回転軸 １９…円形の溝 ２０…アクチュエータ ２１…固定端 ２１Ａ…板状部 ２１Ｂ…凹部 ２２，２３…電極 ２４，２４Ａ，２４Ｂ…剪断型圧電素子 ２５…対向電極 ２６，２７…リードパターン ２８…電圧アンプ ２９…コントローラ ３０…第１の形態のヘッド微小移動機構 ４０…第２の形態のヘッド微小移動機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 ... Access arm 3 ... Support spring 4 ... Head 4A ... Head slider 18 ... Rotating shaft 19 ... Circular groove 20 ... Actuator 21 ... Fixed end 21A ... Plate part 21B ... Concave part 22,23 ... Electrode 24,24A, 24B ... Shear type piezoelectric element 25 ... Counter electrode 26,27 ... Lead pattern 28 ... Voltage amplifier 29 ... Controller 30 ... First mode head micro-movement mechanism 40 ... Second mode head micro-movement mechanism

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成１０年５月７日[Submission date] May 7, 1998

【手続補正１】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００４１[Correction target item name] 0041

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００４１】図５(c) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第８の実施例のアクチュエータ２０Ｈの構成
を示すものである。第８の実施例のアクチュエータ２０
Ｈは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向２つの電極２２，２３に直交する方向に互
いに向き合う方向を向いている剪断型圧電素子２４Ａ，
２４Ｂが積層されており、その上に対向電極２５が剪断
型圧電素子２４Ａ，２４Ｂを覆って全面に設けられてい
る。FIG. 5C shows the structure of an actuator 20H of the eighth embodiment in which the shearing type piezoelectric element 24 has two polarization directions. Actuator 20 of the eighth embodiment
H is a shearing type piezoelectric element 24A, which faces on the electrodes 22 and 23 provided on the fixed end 21 side in a direction orthogonal to the two electrodes 22 and 23 in the polarization direction.
The counter electrode 25 is provided on the entire surface so as to cover the shear-type piezoelectric elements 24A and 24B.

【手続補正２】[Procedure amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００５２[Correction target item name] 0052

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００５２】図８(c) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直な
方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子２４の分
極方向は電極２２，２３の先端方向である。この場合も
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３は回転駆動される。図８(d) に示される構成は、剪断
型圧電素子２４の分極方向が電極２２，２３の基部方向
である点のみが図８(c) の構成と異なる。この場合も、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３は回転駆動されるが、その回転方向は図８(c) の構成
とは逆方向である。なお、図８(a) から(d) で説明した
第１の実施例のアクチュエータ２０Ａの駆動方向は、特
定方向に電圧を印加した場合の例であり、電極２２，２
３に接続される図示しない電圧アンプ回路により、逆方
向の極性の電圧を印加すれば、アクチュエータ２０Ａの
駆動方向は逆方向となる。 In the configuration shown in FIG. 8C, electrodes 22 and 23 are provided at the tip of the arm 2 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2, and the polarization direction of the shear piezoelectric element 24 is changed. Is the tip direction of the electrodes 22 and 23. Also in this case, the support spring 3 is rotationally driven by applying a voltage to the electrodes 22 and 23. The configuration shown in FIG. 8 (d) differs from the configuration of FIG. 8 (c) only in that the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is the base direction of the electrodes 22 and 23. Again,
By applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the support spring 3 is driven to rotate, but the direction of rotation is opposite to that of the configuration shown in FIG. It should be noted that FIG. 8A to FIG.
The driving direction of the actuator 20A of the first embodiment is
This is an example in which a voltage is applied in a fixed direction.
3 by a voltage amplifier circuit (not shown) connected to
When a voltage of the opposite polarity is applied, the actuator 20A
The driving direction is reversed.

【手続補正３】[Procedure amendment 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００７５[Correction target item name] 0075

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００７５】円形の溝１９の対向する縁部にはリードパ
ターン２６Ａ，２７Ａが接続されており、このリードパ
ターン２６Ａ，２７Ａの先にはアンプ２８とコントロー
ラ２９が接続されている。第９の実施例のアクチュエー
タ２０Ｊでは、コントローラ２９から出力される所定の
極性の駆動信号をアンプ２８で増幅し、２つの電極２２
Ａ，２３Ａ間に電圧を印加することによって剪断型圧電
素子２４Ｃ，２４Ｄを変形させ、対向電極２５Ａを回転
させることができる。この結果、対向電極２５Ａに固着
された回転軸１８を回転駆動することができる。コント
ローラ２９からは正、負両極性の駆動信号が出力できる
ので、駆動信号の極性を変えることにより、回転軸１８
の回転量、回転方向を制御することができる。なお、図
１４(a) の電極２６Ａはグランドに接続されているが、
電極２６Ａをグランドに接続する代わりにもう１つの電
圧アンプを電極２６Ａに接続し、剪断型圧電素子２４
Ｃ，２４Ｄを差動駆動しても良い。 Lead patterns 26A and 27A are connected to opposing edges of the circular groove 19, and an amplifier 28 and a controller 29 are connected to the ends of the lead patterns 26A and 27A. In the actuator 20J of the ninth embodiment, the drive signal of a predetermined polarity output from the controller 29 is amplified by the amplifier 28,
By applying a voltage between A and 23A, the shear-type piezoelectric elements 24C and 24D can be deformed, and the counter electrode 25A can be rotated. As a result, the rotating shaft 18 fixed to the counter electrode 25A can be driven to rotate. Since the controller 29 can output drive signals of both positive and negative polarities, by changing the polarity of the drive signals,
The amount of rotation and the direction of rotation can be controlled. The figure
Although the electrode 26A of 14 (a) is connected to the ground,
Instead of connecting electrode 26A to ground, another
A pressure amplifier is connected to the electrode 26A, and the shear type piezoelectric element 24
C and 24D may be driven differentially.

【手続補正４】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００７８[Correction target item name] 0078

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００７８】図１５(b) は組立後の第１０の実施例のア
クチュエータ２０Ｋの状態を示すものであり、図１５
(c) は図１５(b) のアクチュエータ２０Ｋの電圧アンプ
２８との接続を示す回路構成図である。第１０の実施例
のアクチュエータ２０Ｋは、移動板１７と固定端２１Ａ
との間に電圧アンプ２８とコントローラ２９を接続し、
電極間の電圧の大きさと印加方向とをコントロールする
ことにより、移動板１７を図１５(b) に示すように揺動
させることができる。なお、図１５(c) の固定端２１Ａ
はグランドに接続されているが、固定端２１Ａをグラン
ドに接続する代わりにもう１つの電圧アンプを固定端２
１Ａに接続し、剪断型圧電素子２４を差動駆動しても良
い。 FIG. 15 (b) shows the state of the actuator 20K of the tenth embodiment after assembly.
FIG. 15C is a circuit diagram showing the connection between the actuator 20K and the voltage amplifier 28 in FIG. 15B. The actuator 20K of the tenth embodiment includes a movable plate 17 and a fixed end 21A.
Between the voltage amplifier 28 and the controller 29,
By controlling the magnitude of the voltage between the electrodes and the direction of application, the movable plate 17 can be swung as shown in FIG. The fixed end 21A shown in FIG.
Is connected to ground, but fixed end 21A is grounded.
Instead of connecting it to the other end
1A, and the shear type piezoelectric element 24 may be driven differentially.
No.

【手続補正５】[Procedure amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００８１[Correction target item name] 0081

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００８１】第２の形態のヘッド微小移動機構４０で
は、アクチュエータ２０の２つの電極２２，２３が、ヘ
ッドアクチュエータの支持ばね３の先端部にある島部３
Ａを固定端として設けられている。この島部３Ａは２本
のブリッジ３Ｂで支持ばね３の先端部に接続されてお
り、島部３Ａの回りには孔３Ｃが形成されている。島部
３Ａには２つの電極２２，２３の他に、ヘッド４に電気
的に接続させるための４つのパッド３Ｄが設けられてい
る。また、支持ばね３の上には２つの電極２２，２３に
接続するリードパターン２６，２７と、４つのパッド３
Ｄに接続するリードパターン４１〜４４があり、リード
パターン２６，２７は一方のブリッジ３Ｂを通って２つ
の電極２２，２３に接続しており、リードパターン４１
〜４４は他方のブリッジ３Ｂを通って４つのパッド３Ｄ
に接続している。そして、この電極２２，２３の上に、
この例では２個の剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂを介し
て、先端部にヘッド４が設けられたヘッドスライダ４Ａ
が取り付けられている。パッド３Ｄとヘッド４（４Ｂ）
との接続は、ここでは図示していないが、リード線等の
柔軟なもので接続することができる。支持ばね３は、図
１６(b) に示されるように、アクセスアーム２の両面に
取り付けられるので、１本のアクセスアーム２について
第２の形態のヘッドの微小移動機構４０は２個設けられ
ている。In the head micro-movement mechanism 40 of the second embodiment, the two electrodes 22 and 23 of the actuator 20 are connected to the island 3 at the tip of the support spring 3 of the head actuator.
A is provided as a fixed end. The island 3A is connected to the tip of the support spring 3 by two bridges 3B, and a hole 3C is formed around the island 3A. In addition to the two electrodes 22 and 23, the island portion 3A is provided with four pads 3D for electrically connecting to the head 4. Also, on the support spring 3, lead patterns 26 and 27 connected to the two electrodes 22 and 23, and four pads 3
D, there are lead patterns 41 to 44, and the lead patterns 26 and 27 are connected to the two electrodes 22 and 23 through one bridge 3B.
44 through the other pad 3D through the other bridge 3B
Connected to Then, on these electrodes 22 and 23,
In this example, a head slider 4A provided with a head 4 at the tip portion via two shear-type piezoelectric elements 24A and 24B.
Is attached. Pad 3D and head 4 (4B)
Although not shown here, the connection with the lead wire etc.
It can be connected with a flexible one. As shown in FIG. 16 (b), the support spring 3 is attached to both sides of the access arm 2, so that two micro movement mechanisms 40 of the head of the second embodiment are provided for one access arm 2. I have.

【手続補正６】[Procedure amendment 6]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００８６[Correction target item name] 008

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００８６】図１７(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４の分極方向は電極２２，２３の先端方
向である。この場合も電極２２，２３に電圧を印加する
ことにより、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動される。図
１７(d) に示される構成は、剪断型圧電素子２４の分極
方向が電極２２，２３の基部方向である点のみが図１７
(c) の構成と異なる。この場合も、電極２２，２３に電
圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは回転駆
動されるが、その回転方向は図１７(c) の構成とは逆方
向である。なお、図１７(a) から(d) におけるアクチュ
エータ２０Ａの駆動方向は、特定方向に電圧を印加した
場合の例であり、電極２２，２３に接続される図示しな
い電圧アンプ回路により、逆方向の極性の電圧を印加す
れば、アクチュエータ２０Ａの駆動方向は逆方向とな
る。 In the configuration shown in FIG. 17 (c), electrodes 22 and 23 are provided in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3, and The polarization direction of the piezoelectric element 24 is the tip direction of the electrodes 22 and 23. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to rotate. The configuration shown in FIG. 17 (d) is different from the configuration shown in FIG. 17 only in that the polarization direction of the shear piezoelectric element 24 is the base direction of the electrodes 22 and 23.
This is different from the configuration of (c). In this case as well, the head slider 4A is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, but the direction of rotation is opposite to that of the configuration shown in FIG. The actuators in FIGS. 17 (a) to 17 (d)
As for the driving direction of the eta 20A, a voltage was applied in a specific direction.
This is an example of the case, and is not shown in the figure connected to the electrodes 22 and 23.
A voltage of opposite polarity by a voltage amplifier circuit.
In this case, the driving direction of the actuator 20A is reversed.
You.

【手続補正７】[Procedure amendment 7]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００８９[Correction target item name] 0089

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００８９】図１８(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４の分極方向は一方が島部３Ａの左端方
向、他方が島部３Ａの右端方向である。この場合も電極
２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドスライ
ダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動
される。図１８(d) に示される構成は、剪断型圧電素子
２４の分極方向が図１８(c) に示される構成と逆になっ
ている点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動されるが、そ
の並進方向は図１８(c) の構成とは逆方向である。な
お、図１８(a) から(d) におけるアクチュエータ２０Ｂ
の駆動方向は、特定方向に電圧を印加した場合の例であ
り、電極２２，２３に接続される図示しない電圧アンプ
回路により、逆方向の極性の電圧を印加すれば、アクチ
ュエータ２０Ｂの駆動方向は逆方向となる。 In the configuration shown in FIG. 18 (c), electrodes 22 and 23 are provided on an island 3A at the tip end of the support spring 3 in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3, so that One of the polarization directions of the piezoelectric element 24 is the left end direction of the island portion 3A, and the other is the right end direction of the island portion 3A. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3. The configuration shown in FIG. 18 (d) is different only in that the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 is opposite to the configuration shown in FIG. 18 (c). Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3, but the translation direction is different from that of FIG. The opposite direction. What
Note that the actuator 20B shown in FIGS.
The driving direction is an example when a voltage is applied in a specific direction.
Voltage amplifier (not shown) connected to the electrodes 22 and 23
If a voltage of the opposite polarity is applied by the circuit,
The driving direction of the heater 20B is reversed.

【手続補正８】[Procedure amendment 8]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００９５[Correction target item name] 0095

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００９５】なお、図１９(a) 及び(b) におけるアクチ
ュエータ２０Ｃ，２０Ｄの駆動方向は、特定方向に電圧
を印加した場合の例であり、電極２２，２３に接続され
る図示しない電圧アンプ回路により、逆方向の極性の電
圧を印加すれば、アクチュエータ２０Ｃ，２０Ｄの駆動
方向は逆方向となる。また、第２の形態における第４の
実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｄにおいても、支持
ばね３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３をアー
ム２の長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電
素子２４をその分極方向が支持ばね３の長手方向に向く
ようにしても良い。この場合は、電極２２，２３に電圧
を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持ばね
３の長手方向に並進駆動される。It should be noted that the activators shown in FIGS.
The driving direction of the heaters 20C and 20D is such that a voltage is applied in a specific direction.
Is applied, and is connected to the electrodes 22 and 23.
A voltage amplifier circuit (not shown)
When pressure is applied, the actuators 20C and 20D are driven.
The direction is reversed. Also , in the head micro-movement mechanism 40D of the fourth embodiment of the second embodiment, the electrodes 22 and 23 are arranged in parallel to the island 3A at the tip of the support spring 3 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 2. And the polarization direction of the shearing type piezoelectric element 24 may be directed to the longitudinal direction of the support spring 3. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in the longitudinal direction of the support spring 3.

【手続補正９】[Procedure amendment 9]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００９８[Correction target item name] 0098

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００９８】図２０(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれ電極
２２，２３の先端方向である。この場合も電極２２，２
３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは
回転駆動される。図２０(d) に示される構成は、剪断型
圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が電極２２，２３の
基部方向である点のみが図２０(c) の構成と異なる。こ
の場合も、電極２２，２３に電圧を印加することによ
り、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動されるが、その回転
方向は図２０(c) の構成とは逆方向である。なお、図２
０(a) から(d) におけるアクチュエータ２０Ｅの駆動方
向は、特定方向に電圧を印加した場合の例であり、電極
２２，２３に接続される図示しない電圧アンプ回路によ
り、逆方向の極性の電圧を印加すれば、アクチュエータ
２０Ｅの駆動方向は逆方向となる。 In the configuration shown in FIG. 20 (c), the electrodes 22 and 23 are provided in parallel in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3, and The polarization directions of the piezoelectric elements 24A and 24B are the tip directions of the electrodes 22 and 23, respectively. Also in this case, the electrodes 22, 2
By applying a voltage to 3, the head slider 4A is driven to rotate. The configuration shown in FIG. 20 (d) differs from the configuration of FIG. 20 (c) only in that the polarization direction of the shearing type piezoelectric elements 24A, 24B is in the base direction of the electrodes 22, 23. In this case as well, the head slider 4A is driven to rotate by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, but the direction of rotation is opposite to that of the configuration shown in FIG. Note that FIG.
How to drive actuator 20E from 0 (a) to (d)
The direction is an example when a voltage is applied in a specific direction.
A voltage amplifier circuit (not shown) connected to
If a voltage of opposite polarity is applied,
The driving direction of 20E is the opposite direction.

【手続補正１０】[Procedure amendment 10]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】０１００[Correction target item name] 0100

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【０１００】図２１(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４Ａ，２４Ｂの分極方向は一方が支持ばね３の先端方
向、他方が支持ばね３の基部方向である。この場合は、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドス
ライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に並進駆動される。
図２１(b) に示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，
２４Ｂの分極方向が図２１(a) に示される構成と逆にな
っている点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３
に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは並
進駆動されるが、その並進方向は図２１(a) の構成とは
逆方向である。図２１(c) に示される構成では、支持ば
ね３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ば
ね３の長手方向に垂直な方向に並列に並べられており、
剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向は一方が島部
３Ａの左端方向、他方が島部３Ａの右端方向である。こ
の場合も電極２２，２３に電圧を印加することにより、
ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方
向に並進駆動される。図２１(d) に示される構成は、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が図２１(c) に
示される構成と逆になっている点のみが異なる。この場
合も、電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘ
ッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向
に並進駆動されるが、その並進方向は図２１(c) の構成
とは逆方向である。なお、図２１(a) から(d) における
アクチュエータ２０Ｆの駆動方向は、特定方向に電圧を
印加した場合の例であり、電極２２，２３に接続される
図示しない電圧アンプ回路により、逆方向の極性の電圧
を印加すれば、アクチュエータ２０Ｆの駆動方向は逆方
向となる。 In the configuration shown in FIG. 21A, electrodes 22 and 23 are provided in parallel with the island 3A at the tip of the support spring 3 in the longitudinal direction of the support spring 3, and the shear-type piezoelectric element 24A , 24 </ b> B are directed in the direction of the tip of the support spring 3 and in the direction of the base of the support spring 3. in this case,
By applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in the longitudinal direction of the support spring 3.
The configuration shown in FIG. 21 (b) is a shear type piezoelectric element 24A,
The only difference is that the polarization direction of 24B is opposite to the configuration shown in FIG. Also in this case, the electrodes 22, 23
When the voltage is applied to the head slider 4A, the head slider 4A is driven to translate, but the translation direction is the opposite direction to the configuration shown in FIG. In the configuration shown in FIG. 21 (c), the electrodes 22, 23 are arranged in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3 on the island 3A at the tip of the support spring 3.
One of the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B is the left end direction of the island portion 3A, and the other is the right end direction of the island portion 3A. Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23,
The head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3. The configuration shown in FIG. 21 (d) is different only in that the polarization directions of the shearing type piezoelectric elements 24A and 24B are opposite to the configuration shown in FIG. 21 (c). Also in this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3, but the translation direction is different from the configuration shown in FIG. The opposite direction. 21 (a) to 21 (d).
The driving direction of the actuator 20F applies a voltage in a specific direction.
This is an example of a case where voltage is applied, and is connected to electrodes 22 and 23.
A voltage of opposite polarity is applied by a voltage amplifier circuit (not shown).
Is applied, the driving direction of the actuator 20F is reversed.
Direction.

【手続補正１１】[Procedure amendment 11]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】０１０６[Correction target item name] 0106

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【０１０６】なお、第２の形態における第８の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｈにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３を支持ばね３の
長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂをその分極方向が支持ばね３の長手方向に
向くようにしても良い。この場合は、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に並進駆動される。ここでも同様に、
図２２(a) 及び(b) におけるアクチュエータ２０Ｇ，２
０Ｈの駆動方向は、特定方向に電圧を印加した場合の例
であり、電極２２，２３に接続される図示しない電圧ア
ンプ回路により、逆方向の極性の電圧を印加すれば、ア
クチュエータ２０Ｇ，２０Ｈの駆動方向は逆方向とな
る。 In the head micro-movement mechanism 40H of the eighth embodiment of the second embodiment, the electrodes 22 and 23 are also applied to the island 3A at the tip of the support spring 3 perpendicular to the longitudinal direction of the support spring 3. Provided in parallel in various directions,
The polarization directions of 4A and 24B may be oriented in the longitudinal direction of the support spring 3. In this case, by applying a voltage to the electrodes 22 and 23, the head slider 4A is driven to translate in the longitudinal direction of the support spring 3. Again,
Actuators 20G and 2G in FIGS. 22 (a) and (b)
0H drive direction is an example when voltage is applied in a specific direction
And a voltage resistor (not shown) connected to the electrodes 22 and 23.
If a voltage of opposite polarity is applied by the amplifier circuit,
The driving directions of the actuators 20G and 20H are opposite.
You.

【手続補正１２】[Procedure amendment 12]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図３[Correction target item name] Figure 3

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図３】 FIG. 3

【手続補正１３】[Procedure amendment 13]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図６[Correction target item name] Fig. 6

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図６】 FIG. 6

【手続補正１４】[Procedure amendment 14]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図１６[Correction target item name] FIG.

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図１６】 FIG. 16

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小金沢 新治 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 山田 朋良 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 植松 幸弘 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 野口 忠良 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内 (72)発明者 中野 寿 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内 (72)発明者 阪本 竜馬 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Shinji Koganezawa 4-1-1 Kamikadanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside Fujitsu Limited (72) Inventor Tomoyoshi Yamada 4-1-1 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa No. 1 Inside Fujitsu Limited (72) Inventor Yukihiro Uematsu 4-1-1 Kamikodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Inside Fujitsu Limited (72) Tadayoshi Noguchi 5-36-11 Shimbashi, Minato-ku, Tokyo Fuji Electric Chemical Co., Ltd. (72) Hisashi Nakano 5-36-11, Shimbashi, Minato-ku, Tokyo Fuji Electric Chemical Co., Ltd. (72) Ryoma Sakamoto 5-36-11, Shimbashi, Minato-ku, Tokyo Fuji Electric Chemical Co., Ltd.

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ
であって、 固定端側に並んで設けられた２つの電極と、 これら２つの電極の上側に積層された、剪断型圧電素
子、及び、 この剪断型圧電素子の前記２つの電極に対向する自由端
側の面に設けられた対向電極とから構成され、 前記２つの電極間に通電することによって、前記剪断型
圧電素子の分極方向に応じて前記対向電極の面内方向に
変位することを特徴とするアクチュエータ。1. An actuator using a shear-type piezoelectric element, comprising: two electrodes provided side by side on a fixed end side; a shear-type piezoelectric element stacked on the upper side of the two electrodes; And a counter electrode provided on a surface on a free end side of the shear-type piezoelectric element facing the two electrodes. By applying a current between the two electrodes, according to a polarization direction of the shear-type piezoelectric element. An actuator displaced in an in-plane direction of the counter electrode. 【請求項２】 請求項１に記載の剪断型圧電素子を用い
たアクチュエータであって、 前記剪断型圧電素子の分極方向が前記２つの電極が並列
に並ぶ方向に平行であり、前記２つの電極に通電するこ
とによって、前記対向電極が前記剪断型圧電素子の中央
部を中心にして回転する方向に変位することを特徴とす
るアクチュエータ。2. The actuator using the shear-type piezoelectric element according to claim 1, wherein a polarization direction of the shear-type piezoelectric element is parallel to a direction in which the two electrodes are arranged in parallel, and the two electrodes are arranged in parallel. The actuator is characterized in that, when a current is supplied to the shear electrode, the counter electrode is displaced in a direction of rotation about a central portion of the shear-type piezoelectric element. 【請求項３】 請求項１に記載の剪断型圧電素子を用い
たアクチュエータであって、 前記剪断型圧電素子の分極方向が前記２つの電極が並列
に並ぶ方向に平行であり、かつ、前記２つの電極上の前
記剪断型圧電素子の分極方向が互いに逆方向を向いてお
り、前記２つの電極に通電することによって、前記剪断
型圧電素子の分極方向に平行な方向に変位することを特
徴とするアクチュエータ。3. The actuator using the shear-type piezoelectric element according to claim 1, wherein a polarization direction of the shear-type piezoelectric element is parallel to a direction in which the two electrodes are arranged in parallel, and The polarization directions of the shear-type piezoelectric elements on the two electrodes are opposite to each other, and when electricity is supplied to the two electrodes, the shear-type piezoelectric elements are displaced in a direction parallel to the polarization direction of the shear-type piezoelectric elements. Actuator. 【請求項４】 請求項１に記載の剪断型圧電素子を用い
たアクチュエータであって、 前記剪断型圧電素子の分極方向が前記２つの電極が並列
に並ぶ方向に垂直であり、かつ、前記２つの電極上の前
記剪断型圧電素子の分極方向が互いに逆方向を向いてお
り、前記２つの電極に通電することによって、前記剪断
型圧電素子の分極方向に平行な方向に変位することを特
徴とするアクチュエータ。4. The actuator using the shear type piezoelectric element according to claim 1, wherein a polarization direction of the shear type piezoelectric element is perpendicular to a direction in which the two electrodes are arranged in parallel, and The polarization directions of the shear-type piezoelectric elements on the two electrodes are opposite to each other, and when electricity is supplied to the two electrodes, the shear-type piezoelectric elements are displaced in a direction parallel to the polarization direction of the shear-type piezoelectric elements. Actuator. 【請求項５】 請求項１から４の何れか１項に記載のア
クチュエータにおいて、前記剪断型圧電素子が２つの独
立した剪断型圧電素子に分割されており、それぞれの剪
断型圧電素子は前記２つの電極上にそれぞれ積層される
ことを特徴とするアクチュエータ。5. The actuator according to claim 1, wherein the shear-type piezoelectric element is divided into two independent shear-type piezoelectric elements, and each shear-type piezoelectric element is connected to the two shear-type piezoelectric elements. An actuator characterized by being stacked on each of two electrodes. 【請求項６】 少なくとも１枚の記録ディスクと、この
記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設けら
れて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッドを
前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決めす
るために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッドア
クチュエータとを備えたディスク装置において、前記ヘ
ッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小距
離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの一
部に請求項１から５の何れか１項に記載のアクチュエー
タを用いたヘッドの微小移動機構であって、 前記アクチュエータの２つの電極が前記ヘッドアクチュ
エータのアームの先端部に設けられ、 前記アクチュエータの対向電極の上に前記ヘッドアクチ
ュエータの支持ばねの基部が取り付けられたことを特徴
とするアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機
構。6. At least one recording disk, a head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, and a head for connecting a desired recording track on the recording disk A head actuator for moving the recording disk in the radial direction of the recording disk in order to position the recording head in a radial direction, wherein a part of the head actuator moves the head by a minute distance independently of the operation of the head actuator. A head micro-movement mechanism using the actuator according to any one of 1 to 5, wherein two electrodes of the actuator are provided at a tip end of an arm of the head actuator, and a top electrode of the actuator is provided on a counter electrode of the actuator. The base of the support spring of the head actuator is attached to Head fine movement mechanism using an actuator, wherein. 【請求項７】 請求項６に記載のヘッドの微小移動機構
であって、 前記２つの電極の分割面が前記アームの長手方向に沿う
方向に設けられていることを特徴とするヘッドの微小機
構。7. The head micro-mechanism according to claim 6, wherein a division surface of the two electrodes is provided in a direction along a longitudinal direction of the arm. . 【請求項８】 請求項６に記載のヘッドの微小移動機構
であって、 前記２つの電極の分割面が前記アームの長手方向に垂直
な方向に設けられていることを特徴とするヘッドの微小
機構。8. The head micro-movement mechanism according to claim 6, wherein a division surface of the two electrodes is provided in a direction perpendicular to a longitudinal direction of the arm. mechanism. 【請求項９】 剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ
であって、 固定端側に設けられた所定深さを備えた円形の溝と、 この円形の溝の内周面上に、この内周面を左右対称に２
分割するように設けられる２つの電極と、 これら２つの電極の内周面上に所定の肉厚を備えてそれ
ぞれ積層され、分極方向が分割線に対して線対称である
半リング状の２つの剪断型圧電素子と、 前記２つの半リング状の剪断型圧電素子の両方の内周面
に跨がって設けられる対向電極、及び、 この対向電極の内周面に固着される回転軸とから構成さ
れ、 前記２つの電極間に通電することによって、前記回転軸
を回転させることを特徴とするアクチュエータ。9. An actuator using a shear-type piezoelectric element, comprising: a circular groove having a predetermined depth provided on a fixed end side; and an inner peripheral surface on an inner peripheral surface of the circular groove. Symmetrically 2
Two electrodes provided so as to be divided, and two semi-ring shaped two-layered electrodes each having a predetermined thickness on the inner peripheral surface of the two electrodes and having polarization directions line-symmetric with respect to the division line. A shear-type piezoelectric element, a counter electrode provided over both inner peripheral surfaces of the two semi-ring-shaped shear-type piezoelectric elements, and a rotating shaft fixed to the inner peripheral surface of the counter electrode. An actuator, wherein the rotating shaft is rotated by applying a current between the two electrodes. 【請求項１０】 少なくとも１枚の記録ディスクと、こ
の記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設け
られて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッド
を前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決め
するために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッド
アクチュエータとを備えたディスク装置において、前記
ヘッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小
距離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの
一部に請求項９に記載のアクチュエータを用いたヘッド
の微小移動機構であって、 前記アクチュエータの固定端が前記ヘッドアクチュエー
タのアームの先端部に設けられ、 前記アクチュエータの可動部が前記ヘッドアクチュエー
タの支持ばねの基部に取り付けられていることを特徴と
するアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機構。10. At least one recording disk, a head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, and a head for connecting a desired recording track on the recording disk A head actuator for moving the recording disk in the radial direction of the recording disk in order to position the recording head in a radial direction, wherein a part of the head actuator moves the head by a minute distance independently of the operation of the head actuator. A head micro-movement mechanism using an actuator according to claim 9, wherein a fixed end of the actuator is provided at a tip of an arm of the head actuator, and a movable part of the actuator is provided at a base of a support spring of the head actuator. Actuator characterized by being attached Micro-moving mechanism of the head that was used over data. 【請求項１１】 剪断型圧電素子を用いたアクチュエー
タであって、 固定端側に設けられた所定深さを備えたスリット状の深
い溝と、 前記スリット状の深い溝内の対向する２つの平面上にそ
れぞれ設けられた２つの電極と、 この２つの電極の上にそれぞれ積層される所定の厚さを
備えた２つの剪断型圧電素子と、 前記２つの剪断型圧電素子の間の隙間に挿入されて固定
される導電性の移動板とから構成され、 前記２つの電極間と前記移動板との間に通電することに
よって、前記剪断型圧電素子の分極方向に応じて前記移
動板を変位させることを特徴とするアクチュエータ。11. An actuator using a shear-type piezoelectric element, comprising: a slit-shaped deep groove provided on a fixed end side and having a predetermined depth; and two opposed flat surfaces in the slit-shaped deep groove. Two electrodes provided on each of the above, two shear-type piezoelectric elements having a predetermined thickness laminated on the two electrodes, respectively, and inserted into a gap between the two shear-type piezoelectric elements. The movable plate is displaced in accordance with the polarization direction of the shear-type piezoelectric element by applying a current between the two electrodes and the movable plate. An actuator, characterized in that: 【請求項１２】 少なくとも１枚の記録ディスクと、こ
の記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設け
られて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッド
を前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決め
するために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッド
アクチュエータとを備えたディスク装置において、前記
ヘッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小
距離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの
一部に請求項１１に記載のアクチュエータを用いたヘッ
ドの微小移動機構であって、 前記アクチュエータの固定端が前記ヘッドアクチュエー
タのアームの先端部であり、 前記アクチュエータの移動板が前記ヘッドアクチュエー
タの支持ばねの基部であることを特徴とするアクチュエ
ータを使用したヘッドの微小移動機構。12. At least one recording disk, a head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, and a head for connecting a desired recording track on the recording disk A head actuator for moving the recording disk in the radial direction of the recording disk in order to position the recording head in a radial direction, wherein a part of the head actuator moves the head by a minute distance independently of the operation of the head actuator. A head micro-movement mechanism using an actuator according to claim 11, wherein the fixed end of the actuator is a tip end of an arm of the head actuator, and the moving plate of the actuator is a base of a support spring of the head actuator. Using an actuator characterized by that Head of the micro-moving mechanism. 【請求項１３】 少なくとも１枚の記録ディスクと、こ
の記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設け
られて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッド
を前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決め
するために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッド
アクチュエータとを備えたディスク装置において、前記
ヘッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小
距離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの
一部に、請求項１から５の何れか１項に記載のアクチュ
エータを用いたヘッドの微小移動機構であって、 前記アクチュエータの２つの電極が前記ヘッドアクチュ
エータの支持ばねの先端部に設けられ、 前記アクチュエータの対向電極の上に前記ヘッドアクチ
ュエータのヘッドスライダが取り付けられたことを特徴
とするアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機
構。13. At least one recording disk, a head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, and a head provided with a desired recording track on the recording disk. A head actuator for moving the recording disk in the radial direction of the recording disk in order to position the recording head in a radial direction, wherein a part of the head actuator for moving the head by a minute distance independently of the operation of the head actuator. Item 6. A head micro-movement mechanism using the actuator according to any one of Items 1 to 5, wherein two electrodes of the actuator are provided at a tip of a support spring of the head actuator, and a counter electrode of the actuator. The head slider of the head actuator is mounted on the Head fine movement mechanism using the actuator, characterized in that the. 【請求項１４】 請求項１３に記載のヘッドの微小移動
機構であって、 前記２つの電極が前記支持ばねの長手方向に沿う方向に
並んで設けられていることを特徴とするヘッドの微小機
構。14. The head micro-mechanism according to claim 13, wherein the two electrodes are provided side by side in a direction along a longitudinal direction of the support spring. . 【請求項１５】 請求項１３に記載のヘッドの微小移動
機構であって、 前記２つの電極が前記支持ばねの長手方向に垂直な方向
に並んで設けられていることを特徴とするヘッドの微小
機構。15. The head micro-movement mechanism according to claim 13, wherein the two electrodes are provided side by side in a direction perpendicular to a longitudinal direction of the support spring. mechanism. 【請求項１６】 少なくとも１枚の記録ディスクと、こ
の記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設け
られて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッド
を前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決め
するために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッド
アクチュエータとを備えたディスク装置において、前記
ヘッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小
距離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの
一部に請求項４に記載のアクチュエータを用いたヘッド
の微小移動機構であって、 前記アクチュエータの２つの電極が前記ヘッドスライダ
のヘッド側の端面に設けられ、 前記アクチュエータの対向電極の上に前記ヘッドアクチ
ュエータのヘッドを備えたヘッド素子基板が取り付けら
れたことを特徴とするアクチュエータを使用したヘッド
の微小移動機構。16. At least one recording disk, a head provided for each of the information recording surfaces of the recording disk for reading and writing information, and a head for connecting a desired recording track on the recording disk A head actuator for moving the recording disk in the radial direction of the recording disk in order to position the recording head in a radial direction, wherein a part of the head actuator moves the head by a minute distance independently of the operation of the head actuator. 5. A head micro-movement mechanism using the actuator according to 4, wherein two electrodes of the actuator are provided on an end surface of the head slider on the head side, and the head of the head actuator is placed on a counter electrode of the actuator. The head element substrate equipped with Head fine movement mechanism using the actuator.
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