JPH10292818A - 高速回転機械 - Google Patents
高速回転機械Info
- Publication number
- JPH10292818A JPH10292818A JP9941597A JP9941597A JPH10292818A JP H10292818 A JPH10292818 A JP H10292818A JP 9941597 A JP9941597 A JP 9941597A JP 9941597 A JP9941597 A JP 9941597A JP H10292818 A JPH10292818 A JP H10292818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- dynamic pressure
- housing
- bearing
- pressure gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/051—Axial thrust balancing
- F04D29/0513—Axial thrust balancing hydrostatic; hydrodynamic thrust bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 動圧気体軸受を利用した高速回転機械におい
て、シャフトの停止／低速回転時に、動圧気体軸受がハ
ウジングへ接触することを有効に防止する高速回転機械
を提供する。 【解決手段】ハウジング１とシャフト２との間にスラス
ト方向の磁気軸受４を設け、動圧気体軸受３が十分な動
圧を発生し得ない時には磁気軸受４によってシャフト２
を浮上支持しているので、動圧気体軸受３を構成するス
ラスト円板５が固定円板７及びハウジング内壁１ａに接
触することを避け、摩耗や焼き付き等を有効に防止する
ことができる。
て、シャフトの停止／低速回転時に、動圧気体軸受がハ
ウジングへ接触することを有効に防止する高速回転機械
を提供する。 【解決手段】ハウジング１とシャフト２との間にスラス
ト方向の磁気軸受４を設け、動圧気体軸受３が十分な動
圧を発生し得ない時には磁気軸受４によってシャフト２
を浮上支持しているので、動圧気体軸受３を構成するス
ラスト円板５が固定円板７及びハウジング内壁１ａに接
触することを避け、摩耗や焼き付き等を有効に防止する
ことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、動圧気体軸受を利
用した高速回転機械に係り、シャフトの停止／低速回転
時に起こる軸受の接触を有効に防止し得るようにした高
速回転機械に関するものである。
用した高速回転機械に係り、シャフトの停止／低速回転
時に起こる軸受の接触を有効に防止し得るようにした高
速回転機械に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高速回転機械においてハウジング内のシ
ャフトを支持する手段として、静圧気体軸受、５軸制御
型の磁気軸受、動圧気体軸受等が挙げられる。静圧気体
軸受は、ハウジング内に設けられたエアポケット内に気
体を常に給気し、該エアポケット内に生じる静圧により
シャフトを浮上支持するものである。しかしながら、こ
の静圧気体軸受は、一定の静圧を得るためにエアポケッ
ト内に常に気体を給気し続ける必要があるためランニン
グコストが非常に高いという不具合がある。
ャフトを支持する手段として、静圧気体軸受、５軸制御
型の磁気軸受、動圧気体軸受等が挙げられる。静圧気体
軸受は、ハウジング内に設けられたエアポケット内に気
体を常に給気し、該エアポケット内に生じる静圧により
シャフトを浮上支持するものである。しかしながら、こ
の静圧気体軸受は、一定の静圧を得るためにエアポケッ
ト内に常に気体を給気し続ける必要があるためランニン
グコストが非常に高いという不具合がある。
【０００３】また、５軸制御型の磁気軸受は、軸受自体
が非常に高価なものであり、当初の設備投資が大きくな
ることが否めない。一方、動圧気体軸受は、オイルフリ
ーであるとともに低いランニングコストで非接触な支持
状態を実現して軸受の耐久性を高く保つことができるた
め、回転機械用の軸受として好適に利用されるものであ
る。
が非常に高価なものであり、当初の設備投資が大きくな
ることが否めない。一方、動圧気体軸受は、オイルフリ
ーであるとともに低いランニングコストで非接触な支持
状態を実現して軸受の耐久性を高く保つことができるた
め、回転機械用の軸受として好適に利用されるものであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、動圧気体軸受
は、その原理上、シャフトの停止時や低速回転時には十
分な動圧を発生することができず、特にスラスト荷重を
支持するスラスト円板がハウジングに接触して、摩耗や
焼き付き等を引き起こすという問題点がある。特に、大
型の縦型回転機械では上記の問題点が顕著に現れるた
め、動圧気体軸受の適用は困難であった。
は、その原理上、シャフトの停止時や低速回転時には十
分な動圧を発生することができず、特にスラスト荷重を
支持するスラスト円板がハウジングに接触して、摩耗や
焼き付き等を引き起こすという問題点がある。特に、大
型の縦型回転機械では上記の問題点が顕著に現れるた
め、動圧気体軸受の適用は困難であった。
【０００５】そのため、シャフトの停止／低速回転時に
おける焼き付きが深刻な問題となる場合には、やむを得
ず静圧気体軸受や５軸制御型の磁気軸受を使用してい
た。以上のことに鑑み、本発明は、動圧気体軸受におけ
るシャフトの停止／低速回転時に焼き付きを生じやすい
という問題点を解消し、動圧気体軸受を有効に活用する
高速回転機械を提供することを目的としている。
おける焼き付きが深刻な問題となる場合には、やむを得
ず静圧気体軸受や５軸制御型の磁気軸受を使用してい
た。以上のことに鑑み、本発明は、動圧気体軸受におけ
るシャフトの停止／低速回転時に焼き付きを生じやすい
という問題点を解消し、動圧気体軸受を有効に活用する
高速回転機械を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記のような不具合を解
消するために、本発明は、動圧気体軸受と併用してシャ
フトの一部をスラスト方向に支持する位置に磁気軸受を
設置している。すなわち、シャフトの停止／低速回転時
において動圧気体軸受から十分な動圧が発生し得ない時
には、前記磁気軸受の磁力によりシャフトを浮上支持し
て動圧気体軸受を構成するスラスト円板とハウジングの
間に隙間を確保し、その接触を防止するものである。
消するために、本発明は、動圧気体軸受と併用してシャ
フトの一部をスラスト方向に支持する位置に磁気軸受を
設置している。すなわち、シャフトの停止／低速回転時
において動圧気体軸受から十分な動圧が発生し得ない時
には、前記磁気軸受の磁力によりシャフトを浮上支持し
て動圧気体軸受を構成するスラスト円板とハウジングの
間に隙間を確保し、その接触を防止するものである。
【０００７】したがって、シャフトの停止／低速回転時
にスラスト方向の動圧気体軸受を構成するスラスト円板
とハウジングとが相接触することによる摩耗や焼き付き
等を有効に防止し軸受の寿命を長く保つことができる。
同様に、ハウジングとスラスト円板の接触による焼き付
きを有効に防止する構成として、シャフトの停止／低速
回転時に、シャフトの一部をハウジング内周に設けた支
持部材に摺動可能な状態で添設させ該シャフトをスラス
ト方向に支持させる構成が挙げられる。
にスラスト方向の動圧気体軸受を構成するスラスト円板
とハウジングとが相接触することによる摩耗や焼き付き
等を有効に防止し軸受の寿命を長く保つことができる。
同様に、ハウジングとスラスト円板の接触による焼き付
きを有効に防止する構成として、シャフトの停止／低速
回転時に、シャフトの一部をハウジング内周に設けた支
持部材に摺動可能な状態で添設させ該シャフトをスラス
ト方向に支持させる構成が挙げられる。
【０００８】このような構成のものならば、シャフトの
停止／低速回転時に、シャフトの一部をハウジング内周
に設けた支持部材に支持させることにより、スラスト方
向の動圧気体軸受を構成するスラスト円板とハウジング
との間に隙間を確保して接触を避け、摩耗や焼き付き等
を有効に防止することができる。
停止／低速回転時に、シャフトの一部をハウジング内周
に設けた支持部材に支持させることにより、スラスト方
向の動圧気体軸受を構成するスラスト円板とハウジング
との間に隙間を確保して接触を避け、摩耗や焼き付き等
を有効に防止することができる。
【０００９】
＜第１実施例＞以下、本発明の第１実施例について図１
を参照して説明する。図１に示すように、本実施例の高
速回転機械は、ハウジング１内にシャフト２を配設し、
ハウジング１とシャフト２との間にシャフト２の一方を
スラスト方向に浮上支持し得る動圧気体軸受３を配設
し、またシャフト２の他方を支持する位置に磁気軸受４
を設けているものである。
を参照して説明する。図１に示すように、本実施例の高
速回転機械は、ハウジング１内にシャフト２を配設し、
ハウジング１とシャフト２との間にシャフト２の一方を
スラスト方向に浮上支持し得る動圧気体軸受３を配設
し、またシャフト２の他方を支持する位置に磁気軸受４
を設けているものである。
【００１０】詳述すると、ハウジング１の内周には、上
方からシャフト２が挿通されている。ハウジング１の内
径は、シャフト２の外径に比べて若干大きく設定してあ
り、動圧気体軸受３が機能する状態において両者間に微
小空隙を形成し得るようになっている。動圧気体軸受３
は、シャフト２の下方に一体に回転可能に取着されたス
ラスト円板５の両面にフォイル６を有するベンディング
型のフォイル軸受であり、シャフト２の回転に伴い、ス
ラスト円板５の上面５ａと、対面する位置にハウジング
１から突設された固定円板７との間、及びスラスト円板
５の下面５ｂと、対面するハウジング１の内壁１ａとの
間にそれぞれ気体を高速状態で引き込ませることにより
動圧を発生させ、その動圧によりシャフト２をスラスト
方向に浮上支持し得るものである。
方からシャフト２が挿通されている。ハウジング１の内
径は、シャフト２の外径に比べて若干大きく設定してあ
り、動圧気体軸受３が機能する状態において両者間に微
小空隙を形成し得るようになっている。動圧気体軸受３
は、シャフト２の下方に一体に回転可能に取着されたス
ラスト円板５の両面にフォイル６を有するベンディング
型のフォイル軸受であり、シャフト２の回転に伴い、ス
ラスト円板５の上面５ａと、対面する位置にハウジング
１から突設された固定円板７との間、及びスラスト円板
５の下面５ｂと、対面するハウジング１の内壁１ａとの
間にそれぞれ気体を高速状態で引き込ませることにより
動圧を発生させ、その動圧によりシャフト２をスラスト
方向に浮上支持し得るものである。
【００１１】なお、図においてラジアル方向の動圧気体
軸受は図示省略してある。このような構成のものにおい
て、本実施例では、ハウジング１の上方内周に能動型の
磁気軸受４を設置し、前記磁気軸受４と対面する位置に
シャフト２と一体回転可能に磁性材製のランナ８を取着
したものである。磁気軸受４は、ランナ８との間に発生
した磁力によりシャフト２をスラスト方向に浮上支持す
る。
軸受は図示省略してある。このような構成のものにおい
て、本実施例では、ハウジング１の上方内周に能動型の
磁気軸受４を設置し、前記磁気軸受４と対面する位置に
シャフト２と一体回転可能に磁性材製のランナ８を取着
したものである。磁気軸受４は、ランナ８との間に発生
した磁力によりシャフト２をスラスト方向に浮上支持す
る。
【００１２】すなわち、本発明の高速回転機械は、シャ
フト２の停止／低速回転時において動圧気体軸受３から
十分な動圧が発生し得ないときには、磁気軸受４とラン
ナ８間に働く磁力によりシャフト２を浮上支持し、動圧
気体軸受３を構成するスラスト円板５とハウジング内壁
１ａとの間、及びスラスト円板５と固定円板７との間に
隙間を保持し接触を防止する。
フト２の停止／低速回転時において動圧気体軸受３から
十分な動圧が発生し得ないときには、磁気軸受４とラン
ナ８間に働く磁力によりシャフト２を浮上支持し、動圧
気体軸受３を構成するスラスト円板５とハウジング内壁
１ａとの間、及びスラスト円板５と固定円板７との間に
隙間を保持し接触を防止する。
【００１３】したがって、シャフト２の停止／低速回転
時においても、動圧気体軸受３がスラスト円板５の周囲
で接触による摩耗や焼き付き等を起こすことを有効に防
止することができる。また、高価な能動型の磁気軸受４
を１軸のみの使用としているので設備投資を低く抑える
とともに、シャフト２の回転が高速となった後は、ハウ
ジング１内の気体を利用して動圧を発生させているので
静圧気体軸受のように外部から気体を給気し続ける必要
がなくランニングコストも低く抑えることができる。
時においても、動圧気体軸受３がスラスト円板５の周囲
で接触による摩耗や焼き付き等を起こすことを有効に防
止することができる。また、高価な能動型の磁気軸受４
を１軸のみの使用としているので設備投資を低く抑える
とともに、シャフト２の回転が高速となった後は、ハウ
ジング１内の気体を利用して動圧を発生させているので
静圧気体軸受のように外部から気体を給気し続ける必要
がなくランニングコストも低く抑えることができる。
【００１４】なお、各部の具体的な構成は、上述した実
施例に限定されるものではない。上記実施例では、動圧
気体軸受３としてベンディング型のフォイル軸受を使用
したが、テンション型のフォイル軸受、スパイラル軸
受、ティルティングパッド等を使用してもよいのは勿論
である。また、磁気軸受４の代わりに永久磁石を使用す
るようにしてもよい。その他の構成も、本発明の趣旨を
逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
施例に限定されるものではない。上記実施例では、動圧
気体軸受３としてベンディング型のフォイル軸受を使用
したが、テンション型のフォイル軸受、スパイラル軸
受、ティルティングパッド等を使用してもよいのは勿論
である。また、磁気軸受４の代わりに永久磁石を使用す
るようにしてもよい。その他の構成も、本発明の趣旨を
逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００１５】＜第２実施例＞以下、本発明の第２実施例
について図２を参照して説明する。なお、第１実施例と
同一の構成を有する部分には、同一の符号を付すもので
ある。図２に示すように、本実施例の高速回転機械は、
ハウジング１内にシャフト２を配設し、ハウジング１と
シャフト２との間にシャフト２の一方をスラスト方向に
浮上支持し得る動圧気体軸受３を配設しているものであ
る。
について図２を参照して説明する。なお、第１実施例と
同一の構成を有する部分には、同一の符号を付すもので
ある。図２に示すように、本実施例の高速回転機械は、
ハウジング１内にシャフト２を配設し、ハウジング１と
シャフト２との間にシャフト２の一方をスラスト方向に
浮上支持し得る動圧気体軸受３を配設しているものであ
る。
【００１６】詳述すると、ハウジング１の内周には、上
方からシャフト２が挿通されている。ハウジング１の内
径は、シャフト２の外径に比べて若干大きく設定してあ
り、動圧気体軸受３が機能する状態において両者間に微
小空隙を形成し得るようになっている。動圧気体軸受３
は、シャフト２の下方に一体に回転可能に取着されたス
ラスト円板５の両面にフォイル６を有するベンディング
型のフォイル軸受であり、シャフト２の回転に伴い、ス
ラスト円板５の上面５ａと、対面する位置にハウジング
１から突設された固定円板７との間、及びスラスト円板
５の下面５ｂと、対面するハウジング１の内壁１ａとの
間にそれぞれ気体を高速状態で引き込ませることにより
動圧を発生させ、その動圧によりシャフト２をスラスト
方向に浮上支持し得るものである。
方からシャフト２が挿通されている。ハウジング１の内
径は、シャフト２の外径に比べて若干大きく設定してあ
り、動圧気体軸受３が機能する状態において両者間に微
小空隙を形成し得るようになっている。動圧気体軸受３
は、シャフト２の下方に一体に回転可能に取着されたス
ラスト円板５の両面にフォイル６を有するベンディング
型のフォイル軸受であり、シャフト２の回転に伴い、ス
ラスト円板５の上面５ａと、対面する位置にハウジング
１から突設された固定円板７との間、及びスラスト円板
５の下面５ｂと、対面するハウジング１の内壁１ａとの
間にそれぞれ気体を高速状態で引き込ませることにより
動圧を発生させ、その動圧によりシャフト２をスラスト
方向に浮上支持し得るものである。
【００１７】このような構成のものにおいて、本実施例
では、シャフト２の一部にダミー円板９を一体に取着
し、前記ダミー円板９をハウジング１内周よりシャフト
２に向けて突設した支持部材たる焼付防止用シム１０に
摺動可能な状態で支持させている。すなわち、シャフト
２は、停止／低速回転時には、ダミー円板９を焼付防止
用シム１０上に当接し、動圧気体軸受３を構成するスラ
スト円板５とハウジング内壁１ａ間との間、及びスラス
ト円板５と固定円板７との間に隙間を確保した状態で回
転する。そして、シャフト２の回転が高速となり動圧気
体軸受３に十分な動圧が発生すると、シャフト２が上方
に浮上するのに伴いダミー円板９は焼付防止用シム１０
から離れ、シャフト２は動圧によって浮上支持される。
では、シャフト２の一部にダミー円板９を一体に取着
し、前記ダミー円板９をハウジング１内周よりシャフト
２に向けて突設した支持部材たる焼付防止用シム１０に
摺動可能な状態で支持させている。すなわち、シャフト
２は、停止／低速回転時には、ダミー円板９を焼付防止
用シム１０上に当接し、動圧気体軸受３を構成するスラ
スト円板５とハウジング内壁１ａ間との間、及びスラス
ト円板５と固定円板７との間に隙間を確保した状態で回
転する。そして、シャフト２の回転が高速となり動圧気
体軸受３に十分な動圧が発生すると、シャフト２が上方
に浮上するのに伴いダミー円板９は焼付防止用シム１０
から離れ、シャフト２は動圧によって浮上支持される。
【００１８】なお、焼付防止用シム１０は、簡単な作業
で交換可能なものであり、さらに、その表面をテフロン
系のコーティング材で加工され、ダミー円板９がその表
面上を摺動回転しても摩耗や焼き付きを生じにくいもの
である。また、シャフト２の停止時におけるスラスト円
板５と固定円板７及びハウジング内壁１ａとの各隙間は
各々Δｈ1 、Δｈ2 と設定され、シャフト２の停止時及
び回転が高速となりシャフト２が上方に浮上した場合に
も、動圧気体軸受３を構成するスラスト円板５が固定円
板７及びハウジング内壁１ａに接触し得ない値となって
いる。
で交換可能なものであり、さらに、その表面をテフロン
系のコーティング材で加工され、ダミー円板９がその表
面上を摺動回転しても摩耗や焼き付きを生じにくいもの
である。また、シャフト２の停止時におけるスラスト円
板５と固定円板７及びハウジング内壁１ａとの各隙間は
各々Δｈ1 、Δｈ2 と設定され、シャフト２の停止時及
び回転が高速となりシャフト２が上方に浮上した場合に
も、動圧気体軸受３を構成するスラスト円板５が固定円
板７及びハウジング内壁１ａに接触し得ない値となって
いる。
【００１９】このような構成のものならば、簡単な構成
で、動圧気体軸受３を構成するスラスト円板５と固定円
板７及びハウジング内壁１ａとの接触を避け、摩耗や焼
き付きを有効に防止して軸受寿命を長く保つことができ
る。なお、各部の具体的な構成は、上述した実施例に限
定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲
で種々変形が可能である。
で、動圧気体軸受３を構成するスラスト円板５と固定円
板７及びハウジング内壁１ａとの接触を避け、摩耗や焼
き付きを有効に防止して軸受寿命を長く保つことができ
る。なお、各部の具体的な構成は、上述した実施例に限
定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲
で種々変形が可能である。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され以下に記載されるような効果を奏する。動圧気体
軸受を利用してなる高速回転機械において、シャフトの
停止／低速回転時にシャフトを支持する一手段として、
ハウジングとシャフトとの間に動圧気体軸受と併用して
スラスト方向の磁気軸受を設けているので、システムの
コンパクト化を計るともに当初の設備投資を小さく抑
え、シャフトの停止／低速回転時に生じる軸受の摩耗や
焼き付き等を有効に防止し軸受の寿命を長く保つことが
できる。特に、本発明の構成を適用すれば、動圧気体軸
受の大型の縦型高速回転機械への適用が可能となる。
施され以下に記載されるような効果を奏する。動圧気体
軸受を利用してなる高速回転機械において、シャフトの
停止／低速回転時にシャフトを支持する一手段として、
ハウジングとシャフトとの間に動圧気体軸受と併用して
スラスト方向の磁気軸受を設けているので、システムの
コンパクト化を計るともに当初の設備投資を小さく抑
え、シャフトの停止／低速回転時に生じる軸受の摩耗や
焼き付き等を有効に防止し軸受の寿命を長く保つことが
できる。特に、本発明の構成を適用すれば、動圧気体軸
受の大型の縦型高速回転機械への適用が可能となる。
【００２１】また、他の手段として、シャフトの停止／
低速回転時に、シャフトの一部をハウジング内周に設け
た支持部材に摺動可能な状態で添設させ該シャフトをス
ラスト方向に支持させるようにしているので、簡単な構
成で、動圧気体軸受における接触を避け、摩耗や焼き付
きを有効に防止して軸受寿命を長く保つことができる。
特に、本発明の構成を適用すれば、動圧気体軸受の大型
の縦型高速回転機械への適用が可能となる。
低速回転時に、シャフトの一部をハウジング内周に設け
た支持部材に摺動可能な状態で添設させ該シャフトをス
ラスト方向に支持させるようにしているので、簡単な構
成で、動圧気体軸受における接触を避け、摩耗や焼き付
きを有効に防止して軸受寿命を長く保つことができる。
特に、本発明の構成を適用すれば、動圧気体軸受の大型
の縦型高速回転機械への適用が可能となる。
【図１】本発明の第１実施例を示す一部を省略した部分
断面図。
断面図。
【図２】本発明の第２実施例を示す一部を省略した部分
断面図。
断面図。
１…ハウジング ２…シャフト ３…動圧気体軸受 ４…磁気軸受 ９…シャフトの一部（ダミー円板） １０…支持部材（焼付防止用シム）
Claims (2)
- 【請求項１】ハウジング内にシャフトを配設し、前記ハ
ウジングとシャフトとの間に該シャフトを浮上支持し得
る動圧気体軸受を具備してなるものにおいて、 前記ハウジングとシャフトとの間にスラスト方向の磁気
軸受を設け、シャフトの停止／低速回転時に、前記磁気
軸受によってシャフトを浮上支持させることを特徴とす
る高速回転機械。 - 【請求項２】ハウジング内にシャフトを配設し、前記ハ
ウジングとシャフトとの間に該シャフトを浮上支持し得
る動圧気体軸受を具備してなるものにおいて、 シャフトの停止／低速回転時に、シャフトの一部をハウ
ジング内周に設けた支持部材に摺動可能な状態で添設さ
せ該シャフトをスラスト方向に支持させることを特徴と
する高速回転機械。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9941597A JPH10292818A (ja) | 1997-04-16 | 1997-04-16 | 高速回転機械 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9941597A JPH10292818A (ja) | 1997-04-16 | 1997-04-16 | 高速回転機械 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10292818A true JPH10292818A (ja) | 1998-11-04 |
Family
ID=14246853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9941597A Pending JPH10292818A (ja) | 1997-04-16 | 1997-04-16 | 高速回転機械 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10292818A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6921207B2 (en) | 2002-08-28 | 2005-07-26 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Foil bearing |
| JP2009041745A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Jtekt Corp | スラスト滑り軸受装置 |
| CN109322916A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-02-12 | 南京航空航天大学 | 一种轴向磁悬浮轴承结构 |
| WO2021069874A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | Edwards Limited | Vacuum pump comprising an axial magnetic bearing and a radial gas foil bearing |
-
1997
- 1997-04-16 JP JP9941597A patent/JPH10292818A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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