JPH1029182A - Buffer and sucking device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a buffer, having a rectilinear property and small sliding resistance, and capable of forming a rod with high accuracy, and a sucking device using the buffer. SOLUTION: An insertion hole and an arm rod 1 are made to have a circular cross section, and a groove 17b in parallel to the center axial line of the arm rod 17 is formed on the outer peripheral surface of the arm rod 17. The buffer arm rod 17, wherein a rolling element 27a supported by the insertion hole portion of a body 10 is fitted to the groove 17b, and the arm rod 17 is made to be movably supported in only an axial line direction, is made a cylindrical body, and the groove 17b is formed in parallel to the center axial line on the outer peripheral surface of the arm rod 17.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は緩衝器及び吸着装置
に関し、詳しくはワークの吸着に真空圧を利用した緩衝
器及び吸着装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a shock absorber and a suction device, and more particularly to a shock absorber and a suction device utilizing vacuum pressure for suctioning a work.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、例えばロボット装置において吸着
パッドは、ワークを吸着して所定の位置に搬送する場合
に使用される。吸着パッドは流体圧シリンダのピストン
ロッドの先端部に取り付けられている。吸着パッドはピ
ストンロッドを伸縮させることによりワークに対して接
離する。そして、吸着パッドをワークに接触させた後に
その接触面を負圧にすると、ワークは吸着パッドに吸着
する。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, in a robot apparatus, a suction pad is used when a work is sucked and transported to a predetermined position. The suction pad is attached to the tip of the piston rod of the hydraulic cylinder. The suction pad comes into contact with and separates from the workpiece by extending and retracting the piston rod. Then, when the contact surface is made to have a negative pressure after the suction pad is brought into contact with the work, the work is suctioned to the suction pad.

【０００３】また、吸着パッドとピストンロッドとの間
には、緩衝器が設けられている。この緩衝器は、例えば
ピストンロッドを伸長させて吸着パッドをワークに当接
させるとき大きな衝撃でもって吸着パッドがワークに当
接しないようにするために設けられている。[0003] A shock absorber is provided between the suction pad and the piston rod. This shock absorber is provided to prevent the suction pad from coming into contact with the work due to a large impact when the suction pad is brought into contact with the work by, for example, extending the piston rod.

【０００４】図１４には、従来の緩衝器８１が示されて
いる。図１４において、この緩衝器８１は中空のボディ
８２と、ヘッドカバー８３と、ブッシュ８４と、ロッド
８５とから構成されている。中空のボディ８２の基端部
には螺着部８２ａが形成され、その螺着部８２ａに前記
ヘッドカバー８３が螺着されている。ヘッドカバー８３
は軸線方向に吸引通路８３ａが形成され、その吸引通路
８３ａの基端部に形成した螺着部８３ｂに流体圧シリン
ダのピストンロッド８６の先端部が螺着されている。こ
のピストンロッド８６は、軸線方向に吸引通路８６ａが
形成され、その吸引通路８６ａは前記ヘッドカバー８３
に形成した吸引通路８３ａに連通する。[0004] FIG. 14 shows a conventional shock absorber 81. In FIG. 14, the shock absorber 81 includes a hollow body 82, a head cover 83, a bush 84, and a rod 85. A screwing portion 82a is formed at the base end of the hollow body 82, and the head cover 83 is screwed to the screwing portion 82a. Head cover 83
The suction passage 83a is formed in the axial direction, and the distal end of the piston rod 86 of the fluid pressure cylinder is screwed to a screwing portion 83b formed at the base end of the suction passage 83a. The piston rod 86 has a suction passage 86 a formed in the axial direction, and the suction passage 86 a is formed in the head cover 83.
Communicates with the suction passage 83a formed at the bottom.

【０００５】前記ボディ８２の先端開口部には、ブッシ
ュ８４が装着されている。ブッシュ８４は軸線方向に非
円形状、例えば六角形の摺動孔８４ａが形成され、その
摺動孔８４ａに外形が六角形のロッド８５が軸線方向に
摺動可能に嵌挿されている。嵌挿されたロッド８５の基
端部８５ａは、前記ヘッドカバー８３の吸引通路８３ａ
に摺動可能に嵌挿されている。従って、ロッド８５は軸
線方向に移動可能であると共に回転不能となる。[0005] A bush 84 is mounted on the distal end opening of the body 82. The bush 84 has a non-circular, for example, hexagonal, sliding hole 84a formed in the axial direction, and a hexagonal rod 85 is fitted into the sliding hole 84a so as to be slidable in the axial direction. The base end 85a of the rod 85 fitted into the rod 85 is connected to the suction passage 83a of the head cover 83.
Is slidably fitted in Therefore, the rod 85 can move in the axial direction and cannot rotate.

【０００６】ボディ８２の空間８７におけるロッド８５
の外周にはコイルスプリング８８が配設されている。コ
イルスプリング８８の先端側は、ロッド８５の外周面に
螺着したストッパ８９に係止されている。一方、コイル
スプリング８８の基端側はロッド８５の外周面に摺動可
能に取着した座９０に係止されている。そして、図１４
に示す状態において、コイルスプリング８８の弾性力に
て、ストッパ８９がダンパ９１を介してブッシュ８４に
係合すると共に、座９０が前記ヘッドカバー８３に係合
し、ロッド８５がそれ以上先端側に移動するのを規制す
る。The rod 85 in the space 87 of the body 82
A coil spring 88 is provided on the outer periphery of the coil spring 88. The distal end side of the coil spring 88 is locked by a stopper 89 screwed to the outer peripheral surface of the rod 85. On the other hand, the base end side of the coil spring 88 is locked by a seat 90 slidably attached to the outer peripheral surface of the rod 85. And FIG.
In the state shown in FIG. 5, the elastic force of the coil spring 88 causes the stopper 89 to engage with the bush 84 via the damper 91, the seat 90 to engage with the head cover 83, and the rod 85 to move further forward. Regulate what you do.

【０００７】ロッド８５は、軸線方向に吸引通路８５ｂ
が形成され、その吸引通路８５ｂはヘッドカバー８３の
吸引通路８３ａを介してピストンロッド８６の吸引通路
８６ａに連通している。また、ロッド８５の先端部には
吸着パッド９２が取着されている。The rod 85 extends in the axial direction along the suction passage 85b.
The suction passage 85b communicates with the suction passage 86a of the piston rod 86 via the suction passage 83a of the head cover 83. A suction pad 92 is attached to the tip of the rod 85.

【０００８】そして、ピストンロッド８６を伸長させて
吸着パッド９２をワークに当接させると、ロッド８５は
ワークからの反作用によりコイルスプリング８８の弾性
力に抗してヘッドカバー８３側に移動する。従って、コ
イルスプリング８８の弾性力によりピストンロッド８６
の推力が直接ワークに伝わることがなくワークを損傷さ
せない。そして、各吸引通路８６ａ，８３ａ，８５ｂを
介して吸着パッド９２の吸着面を負圧することによりワ
ークを吸着する。When the suction rod 92 is brought into contact with the work by extending the piston rod 86, the rod 85 moves toward the head cover 83 against the elastic force of the coil spring 88 due to the reaction from the work. Therefore, the elastic force of the coil spring 88 causes the piston rod 86
The thrust is not transmitted directly to the work and the work is not damaged. Then, the work is sucked by applying a negative pressure to the suction surface of the suction pad 92 via the suction passages 86a, 83a, 85b.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ロボット装
置における吸着パッドによって所定の位置に搬送される
ワークとしては、例えば集積回路（ＩＣ）、大規模集積
回路（ＬＳＩ）等がある。これらをワークとした場合、
ロボット装置には正確な搬送が必要とされるため、ロッ
ド８５の摺動には正確な直進性が求められる。従来の緩
衝器８１では、ロッド８５とブッシュ８４の摺動孔８４
ａの形状が六角形である。これは、ロッド８５が回転し
ないための回転防止の役目をしている。しかしながら、
六角形の摺動孔８４ａは、円形の孔に比べて精度良く製
作することは困難であった。また、同様に外形が六角形
のロッド８５の製作も困難であった。従って、摺動孔８
４ａにロッド８５が十分に接することができず、間にす
き間ができてロッド８５は正確な直進性を持った摺動を
することができなかった。その結果、従来の緩衝器８１
は正確な摺動の必要なＩＣ、ＬＳＩ等をワークとした場
合の搬送に対しては使用することができないという問題
があった。By the way, examples of a work carried to a predetermined position by a suction pad in a robot apparatus include an integrated circuit (IC) and a large-scale integrated circuit (LSI). If these are work,
Since accurate transport is required for the robot device, accurate linearity is required for sliding of the rod 85. In the conventional shock absorber 81, the sliding hole 84 between the rod 85 and the bush 84 is used.
The shape of a is a hexagon. This serves to prevent rotation of the rod 85 so that it does not rotate. However,
The hexagonal sliding hole 84a was more difficult to manufacture with higher precision than a circular hole. Similarly, it was difficult to manufacture a rod 85 having a hexagonal outer shape. Therefore, the sliding hole 8
Since the rod 85 could not sufficiently contact the 4a, there was a gap between the rods and the rod 85 could not slide with correct straightness. As a result, the conventional shock absorber 81
However, there is a problem that it cannot be used for transporting an IC, an LSI or the like that requires accurate sliding as a work.

【００１０】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は、直進性が高いと共に、
摺動抵抗が小さく、且つ精度よくロッドを形成できる緩
衝器及びそれを使用した吸着装置を提供することにあ
る。The present invention has been made in order to solve the above problems, and an object of the present invention is to achieve high straightness and
An object of the present invention is to provide a shock absorber having a small sliding resistance and capable of accurately forming a rod, and a suction device using the same.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するため、請求項１に記載の発明では、ボディに形成
した挿通孔から突出し軸線方向に摺動可能なアームロッ
ドを設け、そのアームロッドにかかる衝撃を吸収する緩
衝器において、前記挿通孔及び前記アームロッドを断面
円形とし、そのアームロッドの外周面にはその中心軸線
に平行な溝を形成すると共に、前記ボディの挿通孔部位
に支持された転動体を前記溝に嵌合させ、アームロッド
を軸線方向にのみ移動可能に支持するようにした緩衝器
をその要旨とする。According to the present invention, in order to solve the above problems, an arm rod is provided which protrudes from an insertion hole formed in a body and is slidable in an axial direction. In the shock absorber for absorbing an impact applied to an arm rod, the insertion hole and the arm rod have a circular cross section, and a groove parallel to a central axis is formed on an outer peripheral surface of the arm rod, and an insertion hole portion of the body is formed. The gist of the present invention is a shock absorber in which a rolling element supported by the arm is fitted in the groove, and the arm rod is supported so as to be movable only in the axial direction.

【００１２】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の緩衝器において、前記アームロッドを円筒体とし、
前記ボディとアームロッドとの間には前記溝と嵌合し、
ボディとアームロッドとの間の気密性を保持するシール
パッキンを配設した緩衝器をその要旨とする。According to a second aspect of the present invention, in the shock absorber according to the first aspect, the arm rod is a cylindrical body,
The groove is fitted between the body and the arm rod,
The gist of the present invention is a shock absorber provided with a seal packing for maintaining airtightness between a body and an arm rod.

【００１３】請求項３に記載の発明では、アームロッド
を備えたボディに形成した挿通孔から突出し軸線方向に
摺動可能なピストンロッドを設け、そのアームロッドに
かかる衝撃を吸収する緩衝器において、前記挿通孔及び
前記ピストンロッドを断面円形とし、そのピストンロッ
ドの外周面にはその中心軸線に平行な溝を形成すると共
に、前記ボディの挿通孔部位に支持された転動体を前記
溝に嵌合させ、ピストンロッドを軸線方向にのみ移動可
能に支持するようにした緩衝器をその要旨とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided a shock absorber for absorbing a shock applied to an arm rod, wherein the piston rod is provided to project from an insertion hole formed in a body having an arm rod and to be slidable in the axial direction. The insertion hole and the piston rod have a circular cross section, and a groove parallel to the central axis is formed on the outer peripheral surface of the piston rod, and a rolling element supported by the insertion hole portion of the body is fitted into the groove. The gist of the present invention is to provide a shock absorber that supports the piston rod so as to be movable only in the axial direction.

【００１４】請求項４に記載の発明では、請求項３に記
載の緩衝器において、前記アームロッド及びピストンロ
ッドを円筒体とし、前記ボディとピストンロッドとの間
には前記溝と嵌合し、ボディとピストンロッドとの間の
気密性を保持するシールパッキンを配設した緩衝器をそ
の要旨とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the shock absorber according to the third aspect, the arm rod and the piston rod are cylindrical bodies, and the groove is fitted between the body and the piston rod. The gist of the present invention is a shock absorber provided with a seal packing for maintaining airtightness between a body and a piston rod.

【００１５】請求項５に記載の発明では、流体圧シリン
ダにピストンロッドを出没可能に挿通し、そのピストン
ロッドの先端かつシリンダ外部に請求項１乃至４のいず
れか１つに記載の緩衝器を取り付け、その緩衝器のアー
ムロッドに吸着パッドを取着した吸着装置であって、前
記ピストンロッドを断面円形とし、そのピストンロッド
の外周面にはその中心軸線に平行な溝を形成すると共
に、前記流体圧シリンダの貫通孔部位に支持された転動
体を前記溝に嵌合させ、ピストンロッドを軸線方向にの
み移動可能に支持するようにした吸着装置をその要旨と
する。According to a fifth aspect of the present invention, the piston rod is inserted into the hydraulic cylinder so as to be able to protrude and retract, and the shock absorber according to any one of the first to fourth aspects is provided at the tip of the piston rod and outside the cylinder. A suction device in which a suction pad is attached to an arm rod of the shock absorber, wherein the piston rod has a circular cross section, and a groove parallel to the center axis is formed on an outer peripheral surface of the piston rod. The gist of the present invention is a suction device in which a rolling element supported at a through-hole portion of a fluid pressure cylinder is fitted into the groove, and a piston rod is supported so as to be movable only in an axial direction.

【００１６】請求項６に記載の発明では、請求項５に記
載の吸着装置において、共に中空な前記アームロッド、
前記ボディ及び前記ピストンロッドにより、装置内部に
吸引通路が形成されている吸着装置をその要旨とする。According to a sixth aspect of the present invention, in the suction device of the fifth aspect, the arm rods, both of which are hollow,
The gist of the present invention is a suction device in which a suction passage is formed inside the device by the body and the piston rod.

【００１７】請求項７に記載の発明では、請求項５又は
６に記載の吸着装置において、前記転動体はボールであ
る吸着装置をその要旨とする。請求項８に記載の発明で
は、請求項５乃至７のいずれか１つに記載の吸着装置に
おいて、前記ボディと前記ロッドとの間の気密性を保持
するシールパッキンは、円環状の基部２１と、基部２１
の外周端から一方に延びる円環状の外周側リップ２２
と、同じく基部２１の内周端から一方に延びる円環状の
内周側リップ２３とからなり、弾性材料で成形されたス
プラインパッキンである吸着装置をその要旨とする。According to a seventh aspect of the present invention, in the suction device according to the fifth or sixth aspect, the gist is a suction device in which the rolling elements are balls. According to an eighth aspect of the present invention, in the suction device according to any one of the fifth to seventh aspects, the seal packing for maintaining the airtightness between the body and the rod is formed with the annular base 21. , Base 21
Annular outer lip 22 extending to one side from the outer peripheral end of
The gist of the present invention is a suction device that is a spline packing formed of an elastic material, and is formed of an annular inner peripheral lip 23 that also extends to one side from the inner peripheral end of the base 21.

【００１８】請求項９に記載の発明では、請求項８に記
載の吸着装置において、前記内周側リップの先端部に前
記ロッドの前記溝の外周面に圧接する凸状密封部を備
え、凸状密封部は、前記ロッドの軸線方向から見た形状
が、前記外周面に対してその両側縁が前記内周側リップ
とほぼ同じ接面圧力で密接し、その中央にいくほどより
高い接面圧力で密接するように形成されている吸着装置
をその要旨とする。According to a ninth aspect of the present invention, in the suction device according to the eighth aspect, a convex sealing portion is provided at a tip end of the inner peripheral side lip so as to press against an outer peripheral surface of the groove of the rod. The shape of the sealing portion is such that the shape of the rod viewed from the axial direction is such that both side edges thereof are in close contact with the outer peripheral surface at substantially the same contact surface pressure as the inner peripheral side lip, and the higher the center, the higher the contact surface. The gist of the present invention is an adsorption device formed so as to be in close contact with pressure.

【００１９】請求項１０に記載の発明では、請求項９に
記載の吸着装置において、前記凸状密封部の摺接面のロ
ッド軸線方向の円弧の曲率半径を、内周側リップの摺接
面のロッド軸線方向の円弧の曲率半径よりも小さく形成
した吸着装置をその要旨とする。According to a tenth aspect of the present invention, in the suction device according to the ninth aspect, the radius of curvature of the arc in the rod axis direction of the sliding contact surface of the convex sealing portion is set to the sliding contact surface of the inner lip. The gist of the present invention is that the suction device is formed smaller than the radius of curvature of the arc in the rod axis direction.

【００２０】請求項１に記載の発明によると、アームロ
ッドの外周面にその中心軸線に平行に溝を設け、その溝
に転動体を嵌合させたことにより、従来の六角形状のよ
うにアームロッドとその挿通孔の間にすき間ができるこ
とはなく、断面円形であるとがたつきがなくなってアー
ムロッドの直進性がよくなり、且つアームロッドはその
摺動を円滑に行うことができると共に、回転不能とな
る。According to the first aspect of the present invention, a groove is provided in the outer peripheral surface of the arm rod in parallel with the center axis thereof, and the rolling element is fitted into the groove, so that the arm has a conventional hexagonal shape. There is no gap between the rod and its insertion hole, and the circular cross section eliminates rattling, improves the straightness of the arm rod, and allows the arm rod to slide smoothly. Unable to rotate.

【００２１】請求項２に記載の発明によると、請求項１
に記載の発明に加えてシールパッキンが備えられている
ため、緩衝器内外の流体の流通をさえぎることができ
る。請求項３に記載の発明によると、ピストンロッドの
外周面にその中心軸線に平行に溝を設け、その溝に転動
体を嵌合させたことにより、ピストンロッドとその挿通
孔との間にすき間ができることはなく、断面円形である
とがたつきがなくなってピストンロッドの直進性がよく
なり、且つピストンロッドはその摺動を円滑に行うこと
ができると共に、回転不能となる。According to the second aspect of the present invention, the first aspect is provided.
Since the seal packing is provided in addition to the invention described in (1), the flow of fluid inside and outside the shock absorber can be blocked. According to the third aspect of the present invention, a groove is provided on the outer peripheral surface of the piston rod in parallel with the center axis thereof, and the rolling element is fitted into the groove, so that a gap is provided between the piston rod and the insertion hole. When the piston has a circular cross section, the backlash is eliminated, the straightness of the piston rod is improved, and the piston rod can slide smoothly and cannot rotate.

【００２２】請求項４に記載の発明によると、請求項３
に記載の発明に加えてシールパッキンが備えられている
ため、緩衝器内外の流体の流通をさえぎることができ
る。請求項５に記載の発明によると、流体圧シリンダ側
においても、ピストンロッドの外周面にその中心軸線に
平行に溝を設け、その溝に転動体を嵌合させている。従
って、ピストンロッドとその貫通孔との間にすき間がで
きることはなく、断面円形であるとがたつきがなくなっ
てピストンロッドの直進性がよくなり、且つピストンロ
ッドはその摺動を円滑に行うことができると共に、回転
不能となる。これにより、装置全体としての直進性及び
不回転性を一層高めることができる。According to the invention described in claim 4, according to claim 3,
Since the seal packing is provided in addition to the invention described in (1), the flow of fluid inside and outside the shock absorber can be blocked. According to the fifth aspect of the present invention, also on the fluid pressure cylinder side, a groove is provided on the outer peripheral surface of the piston rod in parallel with its central axis, and the rolling element is fitted into the groove. Therefore, there is no gap between the piston rod and its through-hole, and the circular cross section eliminates rattling and improves the straightness of the piston rod, and the piston rod slides smoothly. And rotation becomes impossible. This makes it possible to further enhance the straightness and non-rotation of the entire apparatus.

【００２３】請求項６に記載の発明によると、吸引通路
を装置内部に設けた構成であるため、吸引通路を装置外
部に別個に突設する必要がなくなる。よって、装置の動
作性がよくなる。According to the sixth aspect of the present invention, since the suction passage is provided inside the apparatus, it is not necessary to separately project the suction passage outside the apparatus. Therefore, the operability of the device is improved.

【００２４】請求項７に記載の発明によると、摺動抵抗
が小さくなり、ロッドはその摺動をより円滑に行うこと
ができる。請求項８に記載の発明によると、内周側リッ
プが弾性変形してロッドの外周面と密接した状態に保持
される。従って、ボディとロッドとの間の高い気密性が
確保される。According to the seventh aspect of the present invention, the sliding resistance is reduced, and the rod can slide more smoothly. According to the eighth aspect of the present invention, the inner peripheral lip is elastically deformed and is kept in close contact with the outer peripheral surface of the rod. Therefore, high airtightness between the body and the rod is ensured.

【００２５】請求項９，１０に記載の発明によると、凸
状密封部の形状が溝に若干合っていない状態でも、内周
側リップの張りにより凸状密封部が溝の外周面全体に密
接される。よって、摺動の円滑さを損なうことなくボデ
ィとロッドとの間の高い気密性が確保される。According to the ninth and tenth aspects of the present invention, even when the shape of the convex sealing portion does not slightly match the groove, the convex sealing portion is in close contact with the entire outer peripheral surface of the groove due to the tension of the inner peripheral side lip. Is done. Therefore, high airtightness between the body and the rod is secured without impairing the smoothness of the sliding.

【００２６】[0026]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

〔第１実施形態〕以下、本発明を具体化した一実施の形
態を図１〜図１１に従って説明する。[First Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【００２７】図３はロボット吸着装置１を示す。ロボッ
ト吸着装置１は、大きく分けてワーク２を吸着する吸着
パッド３と、その吸着パッド３をワーク２に対して前後
動させる流体圧シリンダ４と、その流体圧シリンダ４と
吸着パッド３との間に設けられた緩衝器５とから構成さ
れている。緩衝器５はワーク２に吸着パッド３が当接す
るとき同パッド３にてワーク２に加わる衝撃を吸収しワ
ーク２の損傷を防止するためのものである。FIG. 3 shows the robot suction device 1. The robot suction device 1 is roughly divided into a suction pad 3 for sucking the work 2, a fluid pressure cylinder 4 for moving the suction pad 3 back and forth with respect to the work 2, and a space between the fluid pressure cylinder 4 and the suction pad 3. And a shock absorber 5 provided in the first position. The shock absorber 5 is for absorbing the shock applied to the work 2 at the work pad 2 when the suction pad 3 comes into contact with the work 2 to prevent the work 2 from being damaged.

【００２８】図１は緩衝器５を示す。図１において、緩
衝器５を構成する中空のボディ１０は、メインボディ１
１とサブボディ１２とよりなる。メインボディ１１は円
筒形状であって、その基端部内周面には雌ネジ１１ａが
形成されている。その雌ネジ１１ａには、ヘッドカバー
１３が螺着されている。ヘッドカバー１３の前記雌ネジ
１１ａに隣接する外周面には周溝１３ａが凹設され、そ
の周溝１３ａにはＯリング１４が装着されている。この
Ｏリング１４により、メインボディ１１とヘッドカバー
１３との間のシール性を確保している。FIG. 1 shows a shock absorber 5. In FIG. 1, a hollow body 10 constituting a shock absorber 5 is a main body 1.
1 and a sub-body 12. The main body 11 has a cylindrical shape, and a female screw 11a is formed on the inner peripheral surface of the base end. A head cover 13 is screwed onto the female screw 11a. A circumferential groove 13a is formed in the outer peripheral surface of the head cover 13 adjacent to the female screw 11a, and an O-ring 14 is mounted in the circumferential groove 13a. The O-ring 14 ensures the sealing between the main body 11 and the head cover 13.

【００２９】ヘッドカバー１３は、メインボディ１１の
内部空間と連通する挿通孔１３ｂが中心軸線に沿って形
成されている。また、ヘッドカバー１３の先端部にはス
プリング座１５が前記挿通孔１３ｂに嵌着固定されてい
る。スプリング座１５はその軸線方向に吸引通路１５ａ
が形成され、その吸引通路１５ａは前記挿通孔１３ｂと
メインボディ１１の内部空間とを連通させている。The head cover 13 has an insertion hole 13b communicating with the internal space of the main body 11 formed along the central axis. A spring seat 15 is fitted and fixed to the end of the head cover 13 in the insertion hole 13b. The spring seat 15 has a suction passage 15a in its axial direction.
The suction passage 15a communicates the insertion hole 13b with the internal space of the main body 11.

【００３０】前記挿通孔１３ｂの内周面には雌ネジ１３
ｃが形成されている。その雌ネジ１３ｃには流体圧シリ
ンダ４の後記する第１のピストンロッド４７が螺着され
ている。そして、この螺着された第１のピストンロッド
４７に貫設された吸引通路４７ａがメインボディ１１の
内部空間と連通する。A female screw 13 is provided on the inner peripheral surface of the insertion hole 13b.
c is formed. A first piston rod 47, which will be described later, is screwed into the female screw 13c. Then, the suction passage 47 a penetrating through the screwed first piston rod 47 communicates with the internal space of the main body 11.

【００３１】前記メインボディ１１の先端部内周面には
雌ネジ１１ｂが形成されている。その雌ネジ１１ｂに対
して前記サブボディ１２が螺着されている。サブボディ
１２は円柱形状であって、前記雌ネジ１１ｂに隣接する
外周面には周溝１２ａが凹設されている。その周溝１２
ａにはＯリング１６が装着され、そのＯリング１６によ
りメインボディ１１とサブボディ１２との間のシール性
を確保している。A female screw 11b is formed on the inner peripheral surface of the tip of the main body 11. The sub-body 12 is screwed to the female screw 11b. The sub-body 12 has a cylindrical shape, and a peripheral groove 12a is formed in the outer peripheral surface adjacent to the female screw 11b. The circumferential groove 12
An O-ring 16 is mounted on a, and the O-ring 16 ensures the sealing between the main body 11 and the sub-body 12.

【００３２】サブボディ１２の先端面には第１収容凹部
１２ｂが凹設されている。また、サブボディ１２の基端
面には第２収容凹部１２ｃが凹設されている。そして、
第１収容凹部１２ｂと第２収容凹部１２ｃを区画する壁
面には、両凹部１２ｂ，１２ｃを連通しアームロッド１
７を挿通する貫通孔１２ｄが形成されている。The first housing recess 12b is provided in the front end surface of the sub-body 12. In addition, a second housing recess 12 c is provided in the base end surface of the sub-body 12. And
The wall that divides the first housing recess 12b and the second housing recess 12c communicates with the two recesses 12b and 12c, and
7 is formed.

【００３３】アームロッド１７は円筒体であって、その
先端部に前記吸着パッド３が取着されている。アームロ
ッド１７はサブボディ１２に対して軸線方向に移動可能
に貫挿される。アームロッド１７の内部空間は吸引通路
１７ａを構成し、その吸引通路１７ａはサブボディ１２
を介してメインボディ１１の内部空間まで貫挿したと
き、前記スプリング座１５の吸引通路１５ａとその中心
軸線が一致するように相対向する。また、アームロッド
１７の外周面には、中心軸線に平行に基端から先端まで
溝１７ｂが２本１８０度の間隔で凹設されている。溝１
７ｂは図４に示すようにその内周面は断面円弧状に形成
されている。The arm rod 17 is a cylindrical body, and the suction pad 3 is attached to a tip end thereof. The arm rod 17 is inserted through the sub-body 12 so as to be movable in the axial direction. The internal space of the arm rod 17 forms a suction passage 17a, and the suction passage 17a
When it penetrates into the internal space of the main body 11 through the opening, the suction path 15a of the spring seat 15 and the central axis thereof are opposed to each other. Further, two grooves 17b are formed in the outer peripheral surface of the arm rod 17 at intervals of 180 degrees from the base end to the front end in parallel with the central axis. Groove 1
As shown in FIG. 4, 7b has an inner peripheral surface formed in an arc-shaped cross section.

【００３４】前記サブボディ１２の第１収容凹部１２ｂ
にはロッドメタル１８が装着されている。ロッドメタル
１８は、前記アームロッド１７を摺動可能に挿通する挿
通孔１８ａが形成されている。その挿通孔１８ａの内周
面には、パッキン収容溝１９が形成されている。パッキ
ン収容溝１９には、第１シールパッキン２０が配設され
ていて、前記アームロッド１７の外周面と摺接し気密保
持している。The first receiving recess 12b of the sub-body 12
Is mounted with a rod metal 18. The rod metal 18 has an insertion hole 18a through which the arm rod 17 is slidably inserted. A packing accommodation groove 19 is formed on the inner peripheral surface of the insertion hole 18a. A first seal packing 20 is provided in the packing accommodating groove 19 and slidably contacts the outer peripheral surface of the arm rod 17 to keep the airtight.

【００３５】第１シールパッキン２０は弾性材料で成形
されたいわゆるスプラインパッキンである。図４、図５
及び図６に示すように、第１シールパッキン２０は、円
環状の基部２１と、基部２１の外周端から一方に延びる
円環状の外周側リップ２２と、同じく基部２１の内周端
から一方に延びる円環状の内周側リップ２３とからな
る。そして、基部２１は、図５に示すパッキン収容溝１
９のメインボディ側の内周面部１９ａに当接している。
外周側リップ２２は、自然状態ではその外径がパッキン
収容溝１９のアームロッド１７と相対向する内周面部１
９ｂの径よりもやや大きく形成され、内側に弾性変形し
た状態で内周面部１９ｂに密接している。内周側リップ
２３は、前記アームロッド１７の外周に摺接している。
そのリップ２３の摺接面２３ａは、自然状態での内径が
アームロッド１７の外径よりもやや小さく形成され、該
ロッド１７と摺接しているとき、弾性変形して該ロッド
１７との密接状態を保持する。前記内周側リップ２３の
摺接面２３ａには、前記アームロッド１７に形成された
溝１７ｂに嵌合し当接する凸状密封部２４が形成されて
いる。凸状密封部２４の前記アームロッド１７の軸線方
向から見た形状は、図７に示すように円弧状であり、そ
の摺接面２４ａは溝１７ｂの内周面と摺接する。この凸
状密封部２４は、図８に示すように、自然状態における
摺接面２４ａの円弧の曲率半径Ｒ１が、溝１７ｂの円弧
の曲率半径Ｒ２よりも小さくなっている。そして、摺接
面２４ａの円弧の幅は溝１７ｂの幅Ｄと等しく形成され
ている。これにより、凸状密封部２４は、溝１７ｂの内
周面に対してその両側縁が前記内周側リップ２３とほぼ
同じ接面圧力で密接し、その中央にいくほどより高い接
面圧力で密接するようになっている。それにより、凸状
密封部２４の形状が溝１７ｂに若干合っていない状態で
も、内周側リップ２３の張りにより凸状密封部２４が溝
１７ｂの内周面全体に密接される。また、図９に示すよ
うに、凸状密封部２４の摺接面２４ａのロッド軸線方向
の円弧の曲率半径Ｒ３は、内周側リップ２３の摺接面２
３ａのロッド軸線方向の円弧の曲率半径Ｒ４よりも小さ
くなっている。従って、凸状密封部２４と溝１７ｂとの
間の摩擦抵抗が低減される。よって、摺動の円滑さを損
なうことなくボディ１０とアームロッド１７との間の高
い気密性が確実に確保される。The first seal packing 20 is a so-called spline packing formed of an elastic material. 4 and 5
As shown in FIG. 6, the first seal packing 20 includes an annular base 21, an annular outer lip 22 extending to one side from the outer end of the base 21, and one end from the inner end of the base 21. And an annular inner peripheral lip 23 that extends. The base 21 is provided in the packing housing groove 1 shown in FIG.
9 is in contact with the inner peripheral surface portion 19a on the main body side.
The outer peripheral side lip 22 has an outer diameter which, in a natural state, has an outer diameter opposed to the arm rod 17 of the packing accommodation groove 19.
It is formed slightly larger than the diameter of 9b, and is in close contact with the inner peripheral surface 19b while being elastically deformed inward. The inner peripheral side lip 23 is in sliding contact with the outer periphery of the arm rod 17.
The sliding contact surface 23a of the lip 23 is formed so that the inner diameter in a natural state is slightly smaller than the outer diameter of the arm rod 17, and when the sliding contact surface 23a is in sliding contact with the rod 17, it is elastically deformed and is in close contact with the rod 17. Hold. The sliding contact surface 23a of the inner peripheral side lip 23 is formed with a convex sealing portion 24 that fits and abuts the groove 17b formed in the arm rod 17. The shape of the convex sealing portion 24 as viewed from the axial direction of the arm rod 17 is an arc as shown in FIG. 7, and the sliding contact surface 24a is in sliding contact with the inner peripheral surface of the groove 17b. As shown in FIG. 8, in the convex sealing portion 24, the radius of curvature R1 of the arc of the sliding contact surface 24a in the natural state is smaller than the radius of curvature R2 of the arc of the groove 17b. The width of the arc of the sliding contact surface 24a is equal to the width D of the groove 17b. As a result, the convex sealing portion 24 comes into close contact with the inner peripheral surface of the groove 17b at substantially the same contact pressure as the inner peripheral lip 23, and the higher the contact pressure becomes toward the center thereof. It is getting closer. Accordingly, even when the shape of the convex sealing portion 24 does not slightly match the shape of the groove 17b, the convex sealing portion 24 is brought into close contact with the entire inner peripheral surface of the groove 17b by the tension of the inner peripheral lip 23. As shown in FIG. 9, the radius of curvature R3 of the arc in the rod axis direction of the sliding contact surface 24a of the convex sealing portion 24 is the sliding contact surface 2 of the inner lip 23.
3a is smaller than the radius of curvature R4 of the arc in the rod axis direction. Therefore, the frictional resistance between the convex sealing portion 24 and the groove 17b is reduced. Therefore, high airtightness between the body 10 and the arm rod 17 is reliably ensured without impairing the smoothness of sliding.

【００３６】一方、ロッドメタル１８の外周面には周溝
１８ｂが凹設されている。その周溝１８ｂにはＯリング
２５が装着され、そのＯリング２５にてロッドメタル１
８とサブボディ１２との間のシール性を確保している。
ロッドメタル１８は、その先端面側がサブボディ１２の
第１収容凹部１２ｂに係着されたＣリング２６により固
定され、同収容凹部１２ｂからの抜け止めが図られてい
る。On the other hand, a peripheral groove 18 b is formed in the outer peripheral surface of the rod metal 18. An O-ring 25 is mounted in the circumferential groove 18b, and the O-ring 25
8 and the sub-body 12 are sealed.
The rod metal 18 is fixed at its tip end side by a C-ring 26 engaged with the first housing recess 12b of the sub-body 12, and is prevented from falling out of the housing recess 12b.

【００３７】サブボディ１２に形成した前記第２収容凹
部１２ｃには、前記アームロッド１７を軸線方向に移動
可能に挿通する第１スプラインナット２７が配設されて
いる。第１スプラインナット２７はサブボディ１２に対
して回転不能かつ軸線方向に移動不能に固着されてい
る。第１スプラインナット２７は、多数の転動体として
のボール２７ａを備え、その多数個のボール２７ａが環
状に配列され、その配列された一部のボール２７ａが図
１、図１０及び図１１に示すようにアームロッド１７に
形成した溝１７ｂに一列に嵌合配置されるようになって
いる。従って、第１スプラインナット２７は、このボー
ル２７ａが転動することによりアームロッド１７の軸線
方向（スラスト方向）の移動を円滑に行わせる。この
時、溝１７ｂにボール２７ａが嵌合配置されているた
め、アームロッド１７は回転不能となる。つまり、第１
スプラインナット２７はアームロッド１７に対して回り
止めの機能も果たしている。A first spline nut 27 through which the arm rod 17 is axially movably inserted is provided in the second housing recess 12c formed in the sub-body 12. The first spline nut 27 is fixed to the sub-body 12 so as not to rotate and not move in the axial direction. The first spline nut 27 includes a plurality of balls 27a as rolling elements, and the plurality of balls 27a are arranged in a ring shape, and a part of the arranged balls 27a is shown in FIGS. 1, 10, and 11. As described above, the arm rod 17 is fitted and arranged in a row in the groove 17b formed in the arm rod 17. Therefore, the first spline nut 27 smoothly moves the arm rod 17 in the axial direction (thrust direction) by rolling the ball 27a. At this time, since the ball 27a is fitted into the groove 17b, the arm rod 17 cannot be rotated. That is, the first
The spline nut 27 also functions as a detent for the arm rod 17.

【００３８】第１スプラインナット２７のメインボディ
１１側の端面にはダンパ２８が固着されていて、そのダ
ンパ２８には前記アームロッド１７が挿通する貫通孔２
８ａが形成されている。その貫通孔２８ａを貫通したア
ームロッド１７の基端部には、ストッパ２９が取着され
ている。ストッパ２９は内周面に形成した雌ネジがアー
ムロッド１７の基端外周面に形成した雄ネジに螺着され
ている。従って、アームロッド１７は、該ストッパ２９
が前記ダンパ２８と当接する位置と前記ヘッドカバー１
３に固定したスプリング座１５と当接する位置との間が
移動可能な範囲となる。A damper 28 is fixed to the end surface of the first spline nut 27 on the main body 11 side, and the damper 28 has a through hole 2 through which the arm rod 17 is inserted.
8a are formed. A stopper 29 is attached to the base end of the arm rod 17 that has penetrated the through hole 28a. In the stopper 29, a female screw formed on the inner peripheral surface is screwed to a male screw formed on the outer peripheral surface of the base end of the arm rod 17. Therefore, the arm rod 17 is
Of the head cover 1 in contact with the damper 28 and
The movable range is between the spring seat 15 fixed to the position 3 and the contact position.

【００３９】このストッパ２９と前記スプリング座１５
との間には、コイルスプリング３０が配設されている。
コイルスプリング３０には、ストッパ２９をスプリング
座１５に対して離間させる方向に移動させる弾性力が付
与されている。従って、常にストッパ２９は、図１に示
すダンパ２８に当接した位置に配設される。つまり、ア
ームロッド１７の先端に取着した吸着パッド３は緩衝器
５に対して最も伸長した位置にある。反対に、コイルス
プリング３０の弾性力に抗してストッパ２９がスプリン
グ座１５に当接したとき、吸着パッド３は緩衝器５に対
して最も収縮した位置となる。The stopper 29 and the spring seat 15
The coil spring 30 is disposed between the two.
An elastic force is applied to the coil spring 30 to move the stopper 29 away from the spring seat 15. Therefore, the stopper 29 is always disposed at a position in contact with the damper 28 shown in FIG. That is, the suction pad 3 attached to the tip of the arm rod 17 is at the position where it is most extended with respect to the shock absorber 5. Conversely, when the stopper 29 abuts against the spring seat 15 against the elastic force of the coil spring 30, the suction pad 3 is at the position where it is most contracted with respect to the shock absorber 5.

【００４０】従って、このコイルスプリング３０の弾性
力の大きさで吸着パッド３に加わる衝撃的な反作用の吸
収具合が調整される。次に、前記緩衝器５を介して吸着
パッド３をワーク２まで案内する流体圧シリンダ４につ
いて図２に従って説明する。図２において、シリンダボ
ディ４０は、第１ボディ４１と第２ボディ４２とから構
成されている。第１ボディ４１は筒体であって、その両
端開口部をそれぞれヘッドカバー４３とロッドカバー４
４とで閉塞し、その閉塞された第１ボディ４１の中空部
をシリンダ室としている。ヘッドカバー４３及びロッド
カバー４４の外側面には、溝４３ａ，４４ａが形成さ
れ、その溝４３ａ，４４ａにそれぞれＯリング４５，４
６が装着されている。そして、このＯリング４５，４６
にて第１ボディ４１とヘッドカバー４３との間及び第１
ボディ４１とロッドカバー４４との間の気密性を確保し
ている。Therefore, the magnitude of the elastic force of the coil spring 30 adjusts the degree of absorption of the shocking reaction applied to the suction pad 3. Next, the fluid pressure cylinder 4 for guiding the suction pad 3 to the work 2 via the buffer 5 will be described with reference to FIG. In FIG. 2, the cylinder body 40 includes a first body 41 and a second body 42. The first body 41 is a cylindrical body, and has openings at both ends thereof at the head cover 43 and the rod cover 4 respectively.
4 and the closed hollow portion of the first body 41 is used as a cylinder chamber. Grooves 43a, 44a are formed on outer surfaces of the head cover 43 and the rod cover 44, and O-rings 45, 4 are respectively formed in the grooves 43a, 44a.
6 is mounted. And these O-rings 45, 46
Between the first body 41 and the head cover 43 and the first
Airtightness between the body 41 and the rod cover 44 is ensured.

【００４１】ヘッドカバー４３及びロッドカバー４４に
は、それぞれ貫通孔４３ｂ，４４ｂが形成され、その貫
通孔４３ｂ，４４ｂにはそれぞれ第１のピストンロッド
４７と第２のピストンロッド５８が摺動可能に貫挿され
ている。シリンダ室内の第１のピストンロッド４７と第
２のピストンロッド５８は、それぞれその端部がピスト
ン４８に固着されている。従って、第１及び第２のピス
トンロッド４７，５８は、ピストン４８の移動に伴って
一体に移動する。そして、このピストン４８により、シ
リンダ室がヘッド側シリンダ室４１ａとロッド側シリン
ダ室４１ｂとに区画される。第１ボディ４１には、前記
ヘッド側シリンダ室４１ａに通じる第１ポート４１ｃと
ロッド側シリンダ室４１ｂに通じる第２ポート４１ｄと
が形成されている。また、ピストン４８の外側面には溝
４８ａが形成され、その溝４８ａにはパッキン４９が装
着され両シリンダ室４１ａ，４１ｂとの間の気密性を確
保している。そして、第１ポート４１ｃからヘッド側シ
リンダ室４１ａにエアが供給されると、ピストン４８は
図２において左側、即ち前記緩衝器５側に移動する。つ
まり、第１及び第２のピストンロッド４７，５８は緩衝
器５側に移動（伸長）する。反対に、第２ポート４１ｄ
からロッド側シリンダ室４１ｂにエアが供給されると、
ピストン４８は図２において右側、即ち前記緩衝器５側
と反対の方向に移動（収縮）する。The head cover 43 and the rod cover 44 are respectively formed with through holes 43b and 44b, and the first and second piston rods 47 and 58 are slidably inserted through the through holes 43b and 44b, respectively. Has been inserted. The first piston rod 47 and the second piston rod 58 in the cylinder chamber have their ends fixed to the piston 48, respectively. Therefore, the first and second piston rods 47 and 58 move integrally with the movement of the piston 48. The piston 48 divides the cylinder chamber into a head-side cylinder chamber 41a and a rod-side cylinder chamber 41b. The first body 41 has a first port 41c communicating with the head-side cylinder chamber 41a and a second port 41d communicating with the rod-side cylinder chamber 41b. A groove 48a is formed on the outer surface of the piston 48, and a packing 49 is mounted in the groove 48a to ensure airtightness between the two cylinder chambers 41a and 41b. Then, when air is supplied from the first port 41c to the head side cylinder chamber 41a, the piston 48 moves to the left side in FIG. That is, the first and second piston rods 47 and 58 move (extend) to the shock absorber 5 side. Conversely, the second port 41d
When air is supplied to the rod-side cylinder chamber 41b from
The piston 48 moves (shrinks) in FIG. 2 on the right side, that is, in the direction opposite to the shock absorber 5 side.

【００４２】前記第１のピストンロッド４７は円筒体で
あって、その内部空間を吸引通路４７ａとしている。従
って、この吸引通路４７ａは前記アームロッド１７の吸
引通路１７ａと連通している。また、第１のピストンロ
ッド４７の外周面にその中心軸線に平行に溝４７ｂが凹
設されている。溝４７ｂは、その内周面が図４に示す溝
１７ａと同形状の断面円弧状に形成されている。第１の
ピストンロッド４７が挿通される前記ロッドカバー４４
に形成された貫通孔４４ｂの内周面にはパッキン収容溝
５０が形成されている。そのパッキン収容溝５０には、
第２シールパッキン５１が装着されている。第２シール
パッキン５１は、前記緩衝器５で説明した第１シールパ
ッキン２０と同一形状で構成されている。従って、その
詳細は省略するが、第１のピストンロッド４７とロッド
カバー４４との間の気密性はこの第２シールパッキン５
１により確保される。The first piston rod 47 is a cylindrical body, and its internal space is used as a suction passage 47a. Therefore, the suction passage 47a communicates with the suction passage 17a of the arm rod 17. A groove 47b is formed in the outer peripheral surface of the first piston rod 47 in parallel with the central axis thereof. The groove 47b has an inner peripheral surface formed in a circular arc shape having the same shape as the groove 17a shown in FIG. The rod cover 44 through which the first piston rod 47 is inserted
A packing accommodation groove 50 is formed on the inner peripheral surface of the through-hole 44b formed in the hole. In the packing accommodation groove 50,
The second seal packing 51 is mounted. The second seal packing 51 has the same shape as the first seal packing 20 described in the shock absorber 5. Therefore, although the details are omitted, the airtightness between the first piston rod 47 and the rod cover 44 is determined by the second seal packing 5.
Reserved by 1.

【００４３】前記第２のピストンロッド５８は円筒体で
あって、その内部空間を吸引通路５８ａとしている。従
って、この吸引通路５８ａは前記第１のピストンロッド
４７の吸引通路４７ａと連通している。第２のピストン
ロッド５８が挿通される前記ヘッドカバー４３に形成さ
れた貫通孔４３ｂの内周面にはパッキン収容溝５２が形
成されている。そのパッキン収容溝５２には、第３シー
ルパッキン５３が装着されている。第３シールパッキン
５３は、円形のロッドに対して一般的に使用される汎用
パッキンであり、第２のピストンロッド５８とヘッドカ
バー４３との間の気密性はこの第３シールパッキン５３
により確保される。The second piston rod 58 is a cylindrical body, and its internal space is used as a suction passage 58a. Therefore, the suction passage 58a communicates with the suction passage 47a of the first piston rod 47. A packing accommodating groove 52 is formed on an inner peripheral surface of a through hole 43b formed in the head cover 43 through which the second piston rod 58 is inserted. A third seal packing 53 is mounted in the packing accommodating groove 52. The third seal packing 53 is a general-purpose packing generally used for a circular rod, and the airtightness between the second piston rod 58 and the head cover 43 is the third seal packing 53.
Secured by

【００４４】尚、ヘッドカバー４３及びロッドカバー４
４のシリンダ室側の面にはそれぞれダンパ５４，５５が
取着され、ピストン４８が当接する際の衝撃を緩和す
る。また、ヘッドカバー４３は、第１ボディ４１の開口
部に係着したＣリング５６にて抜け止めが図られてい
る。The head cover 43 and the rod cover 4
Dampers 54 and 55 are attached to the surface of the cylinder 4 on the cylinder chamber side, respectively, to reduce the impact when the piston 48 abuts. The head cover 43 is prevented from falling off by a C-ring 56 engaged with the opening of the first body 41.

【００４５】前記第２ボディ４２は、第１ボディ４１の
緩衝器５側に固着されている。第２ボディ４２の第１ボ
ディ４１側の面には前記ロッドカバー４４の一部が嵌着
する第３収容凹部４２ａが凹設されている。この第３収
容凹部４２ａの奥面には前記第１のピストンロッド４７
が貫通する貫通孔４２ｂが形成されている。第３収容凹
部４２ａには、第１のピストンロッド４７をその軸線方
向に移動可能に挿通する第２スプラインナット５７が配
設されている。第２スプラインナット５７は第２ボディ
４２に対して回転不能かつ軸線方向に移動不能に固着さ
れている。第２スプラインナット５７は第１スプライン
ナット２７と同じ構成であって多数のボール５７ａを備
えている。そして、第１スプラインナット２７はアーム
ロッド１７を対象としているのに対して第２スプライン
ナット５７は第１のピストンロッド４７を対象とする点
が相違するだけでその作用効果は同じであるので、その
説明は省略する。The second body 42 is fixed to the first body 41 on the side of the shock absorber 5. A third housing recess 42a into which a part of the rod cover 44 is fitted is formed in a surface of the second body 42 on the first body 41 side. The first piston rod 47 is provided on the inner surface of the third accommodation recess 42a.
Are formed through holes 42b. A second spline nut 57 through which the first piston rod 47 is movably inserted in the axial direction is provided in the third housing recess 42a. The second spline nut 57 is fixed to the second body 42 so that it cannot rotate and cannot move in the axial direction. The second spline nut 57 has the same configuration as the first spline nut 27, and includes a number of balls 57a. The first spline nut 27 is directed to the arm rod 17, whereas the second spline nut 57 is directed to the first piston rod 47. The description is omitted.

【００４６】尚、図２及び図３において、第２ボディ４
２は第１ボディ４１よりも大きく形成されているが、図
１２に示すように、第１ボディ４１と同じ大きさに形成
して出っ張り部分をなくすような形状としてもよい。そ
れにより、装置全体がスッキリとした形状となり、装置
に美感を起こさせることができる。2 and 3, the second body 4
Although 2 is formed larger than the first body 41, as shown in FIG. 12, it may be formed in the same size as the first body 41 so as to eliminate the protrusion. Thus, the entire device has a neat shape, and the device can be aesthetically pleasing.

【００４７】次に上記のように構成された緩衝器５を設
けた流体圧シリンダ４の動作を図３に基づいて説明す
る。今、ワーク２を所望の位置に移動しようとする場合
であって、第１及び第２のピストンロッド４７，５８が
収縮している状態であるとき、第１ポート４１ｃからヘ
ッド側シリンダ室４１ａに流体としてのエアを供給し、
ロッド側シリンダ室４１ｂのエアを第２ポート４１ｄか
ら排出する。すると、第１及び第２のピストンロッド４
７，５８は伸長し、吸着パッド３がワーク２に当接す
る。それと同時に、緩衝器５のアームロッド１７はコイ
ルスプリング３０の弾性力に抗してスプリング座１５側
に摺動する。つまり、アームロッド１７の基端部に取着
されたストッパ２９がスプリング座１５側に移動する。
従って、緩衝器５は第１及び第２のピストンロッド４
７，５８の推力が直接ワーク２に伝わることを防いでい
る。Next, the operation of the fluid pressure cylinder 4 provided with the shock absorber 5 configured as described above will be described with reference to FIG. Now, when the workpiece 2 is to be moved to a desired position, and the first and second piston rods 47 and 58 are in a contracted state, the first port 41c moves from the first port 41c to the head side cylinder chamber 41a. Supply air as fluid,
The air in the rod-side cylinder chamber 41b is discharged from the second port 41d. Then, the first and second piston rods 4
7, 58 extend, and the suction pad 3 comes into contact with the work 2. At the same time, the arm rod 17 of the shock absorber 5 slides toward the spring seat 15 against the elastic force of the coil spring 30. That is, the stopper 29 attached to the base end of the arm rod 17 moves to the spring seat 15 side.
Therefore, the shock absorber 5 includes the first and second piston rods 4.
7, 58 thrust is prevented from being directly transmitted to the work 2.

【００４８】吸着パッド３がワーク２に当接した後、第
１及び第２のピストンロッド４７，５８の吸引通路４７
ａ，５８ａに真空圧を作用させる。すると、その真空圧
は第１及び第２のピストンロッド４７，５８の吸引通路
４７ａ，５８ａ、スプリング座１５の吸引通路１５ａ、
緩衝器５のアームロッド１７の吸引通路１７ａを経て吸
着パッド３に作用し、吸着パッド３にワーク２は吸着す
る。After the suction pad 3 comes into contact with the workpiece 2, the suction passages 47 of the first and second piston rods 47, 58
a, 58a is applied with a vacuum pressure. Then, the vacuum pressure is applied to the suction passages 47a, 58a of the first and second piston rods 47, 58, the suction passage 15a of the spring seat 15,
The work acts on the suction pad 3 through the suction passage 17a of the arm rod 17 of the shock absorber 5, and the work 2 is suctioned to the suction pad 3.

【００４９】次に、第２ポート４１ｄからロッド側シリ
ンダ室４１ｂにエアを供給し、ヘッド側シリンダ室４１
ａのエアを第１ポート４１ｃから排出する。すると、吸
着パッド３にワーク２を吸着させたまま第１及び第２の
ピストンロッド４７，５８は収縮する。それと同時に、
コイルスプリング３０の弾性力によって緩衝器５のアー
ムロッド１７は摺動して元の位置に戻る。つまり、アー
ムロッド１７の基端部に取着されたストッパ２９がダン
パ２８と当接する位置に移動する。その時に生ずるスト
ッパ２９と第１スプラインナット２７のメインボディ１
１側の端面との衝撃がダンパ２８によって緩和される。Next, air is supplied from the second port 41d to the rod-side cylinder chamber 41b, and the head-side cylinder chamber 41b is supplied with air.
The air of a is discharged from the first port 41c. Then, the first and second piston rods 47 and 58 contract while the work 2 is being sucked to the suction pad 3. At the same time,
The arm rod 17 of the shock absorber 5 slides back to the original position by the elastic force of the coil spring 30. That is, the stopper 29 attached to the base end of the arm rod 17 moves to a position where it comes into contact with the damper 28. Main body 1 of stopper 29 and first spline nut 27 generated at that time
The impact with the end surface on the one side is reduced by the damper 28.

【００５０】その後、ロボット吸着装置１をワーク２を
移動させようとする位置に移動させ、ここで第１ポート
４１ｃからヘッド側シリンダ室４１ａにエアを供給し、
ロッド側シリンダ室４１ｂのエアを第２ポート４１ｄか
ら排出する。すると、第１及び第２のピストンロッド４
７，５８は伸長し、所望の位置にワーク２が置かれる。
それと同時に、緩衝器５のアームロッド１７はコイルス
プリング３０の付勢力に抗してスプリング座１５側に摺
動する。つまり、アームロッド１７の基端部に取着され
たストッパ２９がスプリング座１５側に移動する。従っ
て、緩衝器５により第１及び第２のピストンロッド４
７，５８の推力が直接ワーク２に伝わることを防いでい
る。Thereafter, the robot suction device 1 is moved to a position where the workpiece 2 is to be moved, and air is supplied from the first port 41c to the head side cylinder chamber 41a.
The air in the rod-side cylinder chamber 41b is discharged from the second port 41d. Then, the first and second piston rods 4
7, 58 are extended, and the work 2 is placed at a desired position.
At the same time, the arm rod 17 of the shock absorber 5 slides toward the spring seat 15 against the urging force of the coil spring 30. That is, the stopper 29 attached to the base end of the arm rod 17 moves to the spring seat 15 side. Therefore, the first and second piston rods 4 are
7, 58 thrust is prevented from being directly transmitted to the work 2.

【００５１】次に、真空吸引を停止し、さらに第２ポー
ト４１ｄからロッド側シリンダ室４１ｂにエアを供給
し、ヘッド側シリンダ室４１ａのエアを第１ポート４１
ｃから排出する。すると、第１及び第２のピストンロッ
ド４７，５８は収縮し吸着パッド３からワーク２を離す
ことができる。それと同時に、コイルスプリング３０の
付勢力によって緩衝器５のアームロッド１７は摺動して
元の位置に戻る。つまり、アームロッド１７の基端部に
取着されたストッパ２９がダンパ２８と当接する位置に
移動する。その時に生ずるストッパ２９と第１スプライ
ンナット２７のメインボディ１１側の端面との衝撃がダ
ンパ２８によって緩和される。Next, the vacuum suction is stopped, and air is supplied from the second port 41d to the rod-side cylinder chamber 41b, and the air in the head-side cylinder chamber 41a is supplied to the first port 41.
Discharge from c. Then, the first and second piston rods 47 and 58 contract, and the work 2 can be separated from the suction pad 3. At the same time, the arm rod 17 of the shock absorber 5 slides back to the original position by the urging force of the coil spring 30. That is, the stopper 29 attached to the base end of the arm rod 17 moves to a position where it comes into contact with the damper 28. The impact between the stopper 29 and the end face of the first spline nut 27 on the main body 11 side at that time is reduced by the damper 28.

【００５２】この様な動作の繰り返しによりワーク２を
所望の位置に移動させることができる。以上の動作にお
ける第１及び第２のピストンロッド４７，５８の移動と
アームロッド１７の摺動は、第１及び第２スプラインナ
ット２７，５７のボール２７ａ，５７ａの転動によって
円滑に行われる。また、溝１７ｂ，４７ｂにボール２７
ａ，５７ａが嵌合配置されているため、第１及び第２の
ピストンロッド４７，５８とアームロッド１７は回転不
能となっている。従って、第１及び第２のピストンロッ
ド４７，５８とアームロッド１７は安定した直進性を有
している。The work 2 can be moved to a desired position by repeating such an operation. The movement of the first and second piston rods 47 and 58 and the sliding of the arm rod 17 in the above operation are smoothly performed by the rolling of the balls 27a and 57a of the first and second spline nuts 27 and 57. In addition, balls 27 are provided in grooves 17b and 47b.
Since the first and second piston rods 47 and 58 and the arm rod 17 are not rotatable, the first and second piston rods a and 57a are fitted. Therefore, the first and second piston rods 47 and 58 and the arm rod 17 have stable straightness.

【００５３】尚、緩衝器５を構成している各部材間には
Ｏリング１４，１６，２５によりシール性が確保されて
いるため、第１及び第２のピストンロッド４７，５８の
吸引通路４７ａ，５８ａに真空圧を作用させて緩衝器５
内部が真空となった場合、緩衝器５内部に空気が入り込
むことはなく真空度を安定して保つことができる。ま
た、アームロッド１７とサブボディ１２との間には第１
シールパッキン２０によって気密性が確保されているた
め、アームロッド１７の摺動時における真空度の低下を
防止することができる。従って、吸着パッド３にワーク
２を吸着させた後、ロボット吸着装置１の移動途中にワ
ーク２を落としてしまう心配はない。Since the O-rings 14, 16 and 25 ensure the sealing performance between the members constituting the shock absorber 5, the suction passages 47a of the first and second piston rods 47 and 58 are provided. , 58a by applying a vacuum pressure to the shock absorber 5
When the inside is evacuated, no air enters the inside of the shock absorber 5 and the degree of vacuum can be stably maintained. Also, the first rod is provided between the arm rod 17 and the sub-body 12.
Since the airtightness is ensured by the seal packing 20, it is possible to prevent a decrease in the degree of vacuum when the arm rod 17 slides. Therefore, there is no fear that the work 2 is dropped during the movement of the robot suction device 1 after the work 2 is sucked to the suction pad 3.

【００５４】次に、上記のような実施形態における特徴
的な作用効果を以下に述べる。 （１）本実施形態では、第１のピストンロッド４７にそ
の中心軸線に平行に溝４７ｂを凹設し、さらに第１のピ
ストンロッド４７を移動可能に挿通する第２スプライン
ナット５７が流体圧シリンダ４内に配設されている。そ
の結果、第２スプラインナット５７を構成するボール５
７ａがその溝４７ｂに嵌合配置され、そのボール５７ａ
が転動することにより第１のピストンロッド４７は移動
する。従って、第１のピストンロッド４７の摺動を円滑
に行うことができる。Next, the characteristic effects of the above embodiment will be described below. (1) In the present embodiment, a groove 47b is formed in the first piston rod 47 in parallel with the central axis thereof, and the second spline nut 57 through which the first piston rod 47 is movably inserted is a fluid pressure cylinder. 4. As a result, the balls 5 constituting the second spline nut 57
7a is fitted into the groove 47b and the ball 57a
The first piston rod 47 moves by rolling. Therefore, the sliding of the first piston rod 47 can be performed smoothly.

【００５５】（２）本実施形態では、緩衝器のアームロ
ッド１７を円筒体としてアームロッド１７を軸線方向に
移動可能に挿通する第１スプラインナット２７が配設さ
れている。その結果、第１スプラインナット２７を構成
するボール２７ａが溝１７ｂに嵌合配置され、そのボー
ル２７ａが転動することによりアームロッド１７は摺動
するため、その摺動は円滑に行うことができる。従っ
て、アームロッド１７の摺動抵抗を従来のブッシュを用
いた場合よりも小さくすることができる。さらに、従来
の六角形状のようにアームロッド１７とその挿通孔１８
ａとの間にすき間ができることはなく、アームロッド１
７はがたつくことのない安定した直進性を持つことがで
き、かつアームロッド１７は回転不能となる。その結
果、正確な移動の必要なＩＣ、ＬＳＩ等を安全にかつ精
密に移動させることができる。(2) In the present embodiment, the first spline nut 27 is provided so that the arm rod 17 of the shock absorber is a cylindrical body and the arm rod 17 is movably inserted in the axial direction. As a result, the ball 27a constituting the first spline nut 27 is fitted and arranged in the groove 17b, and the arm rod 17 slides by rolling the ball 27a, so that the sliding can be performed smoothly. . Therefore, the sliding resistance of the arm rod 17 can be reduced as compared with the case where a conventional bush is used. Furthermore, the arm rod 17 and its insertion hole 18
There is no gap between the arm rod 1
7 can have a stable straight running without rattling, and the arm rod 17 cannot rotate. As a result, ICs, LSIs, and the like that require accurate movement can be safely and precisely moved.

【００５６】（３）本実施形態では、アームロッド１７
に摺接する第１シールパッキン２０を設けたことによ
り、真空圧を作用させた場合に外からの空気の流入を防
ぎ、真空度の低下を防止することができる。その結果、
アームロッド１７と第１のピストンロッド４７の吸引通
路１７ａ，４７ａに真空圧を作用させることができる。
さらに、緩衝器５内の気密性が確保されるため、ワーク
２を途中で落とすことがなくなる。また、それによって
吸引力が小さくても十分ワーク２を吸着させておけるた
め、吸引装置を小さいものにできる。(3) In this embodiment, the arm rod 17
By providing the first seal packing 20 slidably contacting the, it is possible to prevent the inflow of air from outside when a vacuum pressure is applied, and to prevent the degree of vacuum from lowering. as a result,
Vacuum pressure can be applied to the suction passages 17a and 47a of the arm rod 17 and the first piston rod 47.
Furthermore, since the airtightness in the shock absorber 5 is ensured, the work 2 does not drop on the way. In addition, the work 2 can be sufficiently sucked even if the suction force is small, so that the suction device can be made small.

【００５７】（４）本実施形態では、緩衝器５のアーム
ロッド１７は、その基端部に螺着されたストッパ２９が
ダンパ２８と当接する位置とヘッドカバー１３に固定し
たスプリング座１５と当接する位置との間を移動範囲と
している。従って、第１及び第２のピストンロッド４
７，５８を伸長させて吸着パッド３をワーク２に当接さ
せる場合、吸着パッド３とワーク２との間の範囲は前記
アームロッド１７の移動範囲内であればよい。このこと
から、移動させようとするワーク２ごとに吸着パッド３
との間に距離の差があっても、アームロッド１７の移動
範囲内であれば吸着パッド３はワーク２に当接すること
ができる。 〔第２実施形態〕次に、図１３に基づいて実施形態２の
緩衝器６０について説明する。なお、ここでは実施形態
１と共通する部分については同じ部材番号を付すのみと
し、その詳細な説明を省略する。(4) In this embodiment, the arm rod 17 of the shock absorber 5 abuts the position where the stopper 29 screwed to the base end thereof abuts the damper 28 and the spring seat 15 fixed to the head cover 13. The movement range is between the position and the position. Therefore, the first and second piston rods 4
When the suction pad 3 is brought into contact with the work 2 by extending the pulleys 7 and 58, the range between the suction pad 3 and the work 2 may be within the movement range of the arm rod 17. For this reason, the suction pad 3 is provided for each workpiece 2 to be moved.
The suction pad 3 can abut the workpiece 2 within the movement range of the arm rod 17 even if there is a difference in the distance. [Second Embodiment] Next, a shock absorber 60 according to a second embodiment will be described with reference to FIG. Here, only the parts common to the first embodiment are given the same member numbers, and the detailed description thereof is omitted.

【００５８】図１３に示したように、本実施形態の緩衝
器６０を構成する中空のボディ６１は、メインボディ６
２とサブボディ６３とより成っている。メインボディ６
２は円筒状であって、その基端部内周面には雌ネジ６２
ａが形成されている。その雌ネジ６２ａには、サブボデ
ィ６３が螺着されている。サブボディ６３は円柱状であ
って、雌ネジ６２ａに隣接する外周面には周溝６３ａが
凹設されている。その周溝６３ａにはＯリング６４が装
着され、そのＯリング６４によりメインボディ６２とサ
ブボディ６３との間のシール性が確保されている。As shown in FIG. 13, the hollow body 61 constituting the shock absorber 60 of the present embodiment is
2 and a sub-body 63. Main body 6
Reference numeral 2 denotes a cylindrical shape, and a female screw 62
a is formed. A sub-body 63 is screwed into the female screw 62a. The sub-body 63 has a columnar shape, and a peripheral groove 63a is formed in the outer peripheral surface adjacent to the female screw 62a. An O-ring 64 is mounted in the circumferential groove 63a, and the O-ring 64 ensures the sealing between the main body 62 and the sub-body 63.

【００５９】サブボディ６３の基端面には第１収容凹部
６３ｂが凹設されている。また、サブボディ６３の先端
面には第２収容凹部６３ｃが凹設されている。そして、
第１収容凹部６３ｂと第２収容凹部６３ｃを区画する壁
面には、両凹部６３ｂ，６３ｃを連通し第１のピストン
ロッド４７を挿通する貫通孔６３ｄが形成されている。
従って、サブボディ６３が第１のピストンロッド４７に
対して軸線方向に移動可能となるように第１のピストン
ロッド４７が貫挿されている。サブボディの第１収容凹
部６３ｂにはヘッドカバー６５が装着されている。ヘッ
ドカバー６５は、第１のピストンロッド４７を摺動可能
に挿通する挿通孔６５ａが形成されている。その挿通孔
６５ａの内周面には、パッキン収容溝６６が形成されて
いる。そのパッキン収容溝６６には、前記実施形態１の
第１シールパッキン２０と形態的な特徴を同じくする第
４シールパッキン６７が配設されていて、第１のピスト
ンロッド４７の外周面と摺接し気密保持をしている。A first housing recess 63b is formed in the base end surface of the sub-body 63. In addition, a second housing recess 63 c is provided in the distal end surface of the sub-body 63. And
A through hole 63d is formed in the wall surface that partitions the first housing recess 63b and the second housing recess 63c, through which the two recesses 63b and 63c communicate, and through which the first piston rod 47 is inserted.
Therefore, the first piston rod 47 is inserted so that the sub-body 63 can move in the axial direction with respect to the first piston rod 47. A head cover 65 is mounted in the first housing recess 63b of the sub body. The head cover 65 has an insertion hole 65a through which the first piston rod 47 is slidably inserted. A packing accommodation groove 66 is formed on the inner peripheral surface of the insertion hole 65a. A fourth seal packing 67 having the same morphological characteristics as the first seal packing 20 of the first embodiment is provided in the packing accommodation groove 66, and is in sliding contact with the outer peripheral surface of the first piston rod 47. It is airtight.

【００６０】一方、ヘッドカバー６５の外周面には周溝
６５ｂが形成され、その周溝６５ｂにはＯリング６８が
装着されている。そのＯリング６８によりヘッドカバー
６５とサブボディ６３との間のシール性が確保されてい
る。ヘッドカバー６５は、その基端面側がサブボディ６
３の第１収容凹部６３ｂに係着されたＣリング６９によ
り固定され、同収容凹部６３ｂからの抜け止めが図られ
ている。サブボディ６３に形成した前記第２収容凹部６
３ｃには、前記第１のピストンロッド４７が軸線方向に
移動可能になるように挿通する第３スプラインナット７
０が配設されている。第３スプラインナット７０はサブ
ボディ６３に対して回転不能かつ軸線方向に移動不能に
固着されている。第３スプラインナット７０は第１スプ
ラインナット２７と同じ構成であって多数のボール７０
ａを備えている。そして、第１スプラインナット２７は
アームロッド１７を対象としているのに対して第３スプ
ラインナット７０は第１のピストンロッド４７を対象と
する点が相違するだけでその作用効果は同じであるの
で、その説明は省略する。On the other hand, a peripheral groove 65b is formed on the outer peripheral surface of the head cover 65, and an O-ring 68 is mounted in the peripheral groove 65b. The O-ring 68 ensures the sealing between the head cover 65 and the sub-body 63. The head cover 65 has a base end face on the sub body 6 side.
3 is fixed by a C-ring 69 engaged with the first accommodation recess 63b, and is prevented from falling out of the accommodation recess 63b. The second housing recess 6 formed in the sub body 63
3c has a third spline nut 7 inserted so that the first piston rod 47 can move in the axial direction.
0 is provided. The third spline nut 70 is fixed to the sub-body 63 so that it cannot rotate and cannot move in the axial direction. The third spline nut 70 has the same configuration as the first spline nut 27, and has a large number of balls 70.
a. The first spline nut 27 is directed to the arm rod 17, whereas the third spline nut 70 is directed to the first piston rod 47. The description is omitted.

【００６１】第３スプラインナット７０のメインボディ
６２側の端面にはダンパ２８が固着されていて、そのダ
ンパ２８には前記第１のピストンロッド４７が挿通する
貫通孔２８ａが形成されている。その貫通孔２８ａを貫
通した第１のピストンロッド４７の先端部には、ストッ
パ２９が取着されている。ストッパ２９は内周面に形成
した雌ネジが第１のピストンロッド４７の先端外周面に
形成した雄ネジに螺着されている。A damper 28 is fixed to the end face of the third spline nut 70 on the main body 62 side, and a through hole 28a through which the first piston rod 47 is inserted is formed in the damper 28. A stopper 29 is attached to the tip of the first piston rod 47 that has penetrated the through hole 28a. In the stopper 29, a female screw formed on the inner peripheral surface is screwed to a male screw formed on the outer peripheral surface at the distal end of the first piston rod 47.

【００６２】メインボディ６２の先端部内周面には雌ネ
ジ６２ｂが形成されている。その雌ネジ６２ｂにはロッ
ドカバー７１が螺着されている。ロッドカバー７１の前
記雌ネジ６２ｂに隣接する外周面には周溝７１ａが凹設
され、その周溝７１ａにはＯリング７２が装着されてい
る。このＯリング７２により、メインボディ６２とロッ
ドカバー７１との間のシール性を確保している。A female screw 62b is formed on the inner peripheral surface of the distal end portion of the main body 62. A rod cover 71 is screwed into the female screw 62b. A peripheral groove 71a is formed in the outer peripheral surface of the rod cover 71 adjacent to the female screw 62b, and an O-ring 72 is mounted in the peripheral groove 71a. The O-ring 72 ensures the sealing between the main body 62 and the rod cover 71.

【００６３】ロッドカバー７１は、メインボディ６２の
内部空間と連通する挿通孔７１ｂが中心軸線に沿って形
成されている。また、ロッドカバー７１の基端部にはス
プリング座１５が前記挿通孔７１ｂに嵌着固定されてい
る。スプリング座１５の吸引通路１５ａは前記挿通孔７
１ｂとメインボディ６２の内部空間とを連通させてい
る。挿通孔７１ｂの内周面には雌ネジ７１ｃが形成され
ている。その雌ネジ７１ｃにはアームロッド７３が螺着
され、その先端部に吸着パッド３が取着されている。そ
して、この螺着されたアームロッド７３に貫設された吸
引通路７３ａがメインボディ６２の内部空間と連通す
る。従って、この吸引通路７３ａはメインボディ６２の
内部空間を介して前記第１のピストンロッド４７の吸引
通路４７ａとその中心軸線が一致するように相対向す
る。また、スプリング座１５は前記第１のピストンロッ
ド４７の先端部に螺着したストッパ２９と当接するまで
の間の範囲が移動可能な範囲となる。つまり、緩衝器６
０はそれを構成するスプリング座１５が前記第１のピス
トンロッド４７の先端部に螺着したストッパ２９と当接
するまでの間の範囲を第１のピストンロッド４７に沿っ
て移動する。The rod cover 71 has an insertion hole 71b communicating with the internal space of the main body 62 along the central axis. A spring seat 15 is fitted and fixed to the base end of the rod cover 71 in the insertion hole 71b. The suction passage 15a of the spring seat 15 is
1b communicates with the internal space of the main body 62. A female screw 71c is formed on the inner peripheral surface of the insertion hole 71b. An arm rod 73 is screwed into the female screw 71c, and the suction pad 3 is attached to the tip of the arm rod 73. Then, a suction passage 73 a penetrating the arm rod 73 to which this screw is attached communicates with the internal space of the main body 62. Therefore, the suction passage 73a is opposed to the suction passage 47a of the first piston rod 47 via the internal space of the main body 62 so that the central axis thereof coincides with the suction passage 47a. Further, the range until the spring seat 15 comes into contact with the stopper 29 screwed to the distal end of the first piston rod 47 is a movable range. That is, the shock absorber 6
No. 0 moves along the first piston rod 47 in a range until the spring seat 15 constituting the same contacts the stopper 29 screwed to the tip of the first piston rod 47.

【００６４】スプリング座１５と前記ストッパ２９との
間には、コイルスプリング３０が配設されている。従っ
て、常にはストッパ２９は、図１３に示すダンパ２８に
当接した位置に配置される。つまり、アームロッド７３
の先端に取着した吸着パッド３は緩衝器６０に対して最
も伸長した位置にある。反対に、コイルスプリング３０
の弾性力に抗してストッパ２９がスプリング座１５に当
接したとき、吸着パッド３は緩衝器６０に対して最も収
縮した位置となる。A coil spring 30 is provided between the spring seat 15 and the stopper 29. Therefore, the stopper 29 is always arranged at a position in contact with the damper 28 shown in FIG. That is, the arm rod 73
The suction pad 3 attached to the tip of is located at the most extended position with respect to the shock absorber 60. Conversely, the coil spring 30
When the stopper 29 abuts against the spring seat 15 against the elastic force of the above, the suction pad 3 is located at the most contracted position with respect to the shock absorber 60.

【００６５】従って、このコイルスプリング３０の弾性
力の大きさで吸着パッド３に加わる衝撃的な反作用の吸
収具合が調整される。次に上記のように構成された緩衝
器６０の動作を前記実施の形態と異なる点を中心に説明
する。Therefore, the magnitude of the elastic force of the coil spring 30 adjusts the degree of absorption of the shocking reaction applied to the suction pad 3. Next, the operation of the shock absorber 60 configured as described above will be described focusing on differences from the above-described embodiment.

【００６６】今、流体圧シリンダ４によって第１及び第
２のピストンロッド４７，５８を伸長させて吸着パッド
３がワーク２に当接したとき、又は所望の位置にワーク
２を置くとき、第１のピストンロッド４７はコイルスプ
リング３０の弾性力に抗してコイルスプリング座１５側
に摺動する。つまり、緩衝器６０は第１のピストンロッ
ド４７をその内部に吸入するように動く。従って、緩衝
器６０により第１のピストンロッド４７の推力が直接ワ
ーク２に伝わることを防いでいる。Now, when the first and second piston rods 47, 58 are extended by the fluid pressure cylinder 4 and the suction pad 3 comes into contact with the work 2, or when the work 2 is placed at a desired position, the first The piston rod 47 slides toward the coil spring seat 15 side against the elastic force of the coil spring 30. That is, the shock absorber 60 moves so as to suck the first piston rod 47 therein. Therefore, the shock absorber 60 prevents the thrust of the first piston rod 47 from being directly transmitted to the work 2.

【００６７】流体圧シリンダ４によって第１及び第２の
ピストンロッド４７，５８を収縮させたとき、コイルス
プリング３０の弾性力によって緩衝器６０は第１のピス
トンロッド４７に沿って摺動して元の位置に戻る。つま
り、第１のピストンロッド４７はストッパ２９がダンパ
２８と当接する位置に移動する。その時に生ずるストッ
パ２９と第１スプラインナット２７のメインボディ６２
側の端面との衝撃はダンパ２８によって緩和される。When the first and second piston rods 47 and 58 are contracted by the fluid pressure cylinder 4, the shock absorber 60 slides along the first piston rod 47 due to the elastic force of the coil spring 30. Return to the position. That is, the first piston rod 47 moves to a position where the stopper 29 contacts the damper 28. The stopper 29 generated at that time and the main body 62 of the first spline nut 27
The impact with the side end face is reduced by the damper 28.

【００６８】以上の動作における緩衝器６０の摺動は、
第１スプラインナット２７のボール２７ａの転動によっ
て円滑に行われる。また、第１のピストンロッド４７の
溝４７ｂにボール２７ａが嵌合配置されているため、第
１のピストンロッド４７は回転不能となっている。従っ
て、緩衝器６０は安定した直進性を持っている。The sliding of the shock absorber 60 in the above operation is as follows.
The rolling is performed smoothly by the rolling of the ball 27a of the first spline nut 27. Further, since the ball 27a is fitted into the groove 47b of the first piston rod 47, the first piston rod 47 cannot rotate. Therefore, the shock absorber 60 has stable straightness.

【００６９】次に、上記のような実施形態における特徴
的な作用効果を以下に述べる。 （１）本実施形態では、第１のピストンロッド４７の溝
４７ｂに対して軸線方向に移動可能に挿通する第３スプ
ラインナット７０が配設されている。その結果、第３ス
プラインナット７０を構成するボール７０ａが溝４７ｂ
に嵌合配置され、そのボール７０ａが転動することによ
り緩衝器６０は摺動するため、その摺動は円滑に行うこ
とができ、且つがたつくことのない安定した直進性を持
つことができる。さらに、緩衝器６０は回転不能とな
る。その結果、正確な移動の必要なＩＣ、ＬＳＩ等を安
全にかつ精密に移動させることができる。Next, the characteristic operation and effect of the above embodiment will be described below. (1) In the present embodiment, the third spline nut 70 is provided to be axially movably inserted into the groove 47b of the first piston rod 47. As a result, the ball 70a constituting the third spline nut 70 is
Since the ball 70a rolls, the shock absorber 60 slides, so that the sliding can be performed smoothly and a stable straightness without rattling can be obtained. Further, the shock absorber 60 cannot rotate. As a result, ICs, LSIs, and the like that require accurate movement can be safely and precisely moved.

【００７０】（２）本実施形態では、第１のピストンロ
ッド４７に摺接する第４シールパッキン６７を設けたこ
とにより、真空圧を作用させた場合に外からの空気の流
入を防ぎ、真空度の低下を防止することができる。その
結果、アームロッド７３と第１のピストンロッド４７の
吸引通路７３ａ，４７ａに真空圧を作用させることがで
きる。さらに、緩衝器６０内の気密性が確保されるた
め、ワーク２を途中で落とすことがなくなる。また、そ
れによって吸引力が小さくても十分ワーク２を吸着させ
ておけるため、吸引装置を小さいものにできる。(2) In the present embodiment, by providing the fourth seal packing 67 slidably in contact with the first piston rod 47, the inflow of air from outside when vacuum pressure is applied is prevented, and the degree of vacuum is reduced. Can be prevented from decreasing. As a result, vacuum pressure can be applied to the suction passages 73a and 47a of the arm rod 73 and the first piston rod 47. Furthermore, since the airtightness in the shock absorber 60 is ensured, the work 2 does not drop on the way. In addition, the work 2 can be sufficiently sucked even if the suction force is small, so that the suction device can be made small.

【００７１】（３）本実施形態では、緩衝器６０は、ス
トッパ２９がダンパ２８と当接する位置とロッドカバー
７１の基端部に嵌着固定されたスプリング座１５と当接
する位置の間を移動範囲としている。従って、第１及び
第２のピストンロッド４７，５８を伸長させて吸着パッ
ド３をワーク２に当接させる場合、吸着パッド３とワー
ク２の間の範囲は前記緩衝器６０の移動範囲内であれば
よい。このことから、移動させようとするワーク２ごと
に吸着パッド３との間に距離の差があっても、緩衝器６
０の移動範囲内であれば吸着パッド３はワーク２に当接
することができる。(3) In this embodiment, the shock absorber 60 moves between a position where the stopper 29 contacts the damper 28 and a position where it contacts the spring seat 15 fitted and fixed to the base end of the rod cover 71. Range. Therefore, when the first and second piston rods 47 and 58 are extended to bring the suction pad 3 into contact with the work 2, the range between the suction pad 3 and the work 2 is within the movement range of the shock absorber 60. I just need. From this, even if there is a difference in the distance between the work 2 to be moved and the suction pad 3, the shock absorber 6
The suction pad 3 can come into contact with the work 2 within the movement range of 0.

【００７２】（４）本実施形態では、アームロッド７３
はロッドカバー７１に螺着されていることから、吸着パ
ッド３がワーク２に当接したときにアームロッド７３は
移動せず、緩衝器６０全体が移動する。従って、アーム
ロッド７３の形状は１つの形状に限られることがない。
その結果、アームロッド７３を所望の形状にすることが
できる。(4) In this embodiment, the arm rod 73
Is screwed to the rod cover 71, the arm rod 73 does not move when the suction pad 3 comes into contact with the work 2, and the entire shock absorber 60 moves. Therefore, the shape of the arm rod 73 is not limited to one shape.
As a result, the arm rod 73 can have a desired shape.

【００７３】尚、第１及び第２の実施形態は例えば次の
ように変更することが可能である。 （１）第１実施形態において、流体圧シリンダ４の第１
のピストンロッド４７は、溝４７ｂを設けていないロッ
ドにしてもよい。この場合、第２スプラインナット５７
及び第２スプライン用シールパッキン５１の凸状密封部
は必要なくなる。The first and second embodiments can be modified as follows, for example. (1) In the first embodiment, the first
May be a rod without the groove 47b. In this case, the second spline nut 57
In addition, the convex sealing portion of the second spline seal packing 51 is not required.

【００７４】（２）第１及び第２実施形態において、緩
衝器５，６０の周面を構成する部材はメインボディ１
１，６２とサブボディ１２，６３の２つであったが、１
つの部材としてもよい。その結果、緩衝器５，６０を構
成する部材の点数を削減することができる。(2) In the first and second embodiments, the members constituting the peripheral surfaces of the shock absorbers 5, 60 are the main body 1
1 and 62 and sub-bodies 12 and 63
One member may be used. As a result, the number of members constituting the shock absorbers 5, 60 can be reduced.

【００７５】（３）第１及び第２実施形態において、緩
衝器５，６０をワーク２を吸着するロボット吸着装置１
に適用したが、それ以外の用途に適用してもよい。 （４）第１及び第２実施形態において、アームロッド１
７及び第１のピストンロッド４７に設けた溝１７ｂ，４
７ｂの本数は２本に限らず１本でも３本以上でもよい。(3) In the first and second embodiments, the robot suction device 1 for sucking the work 2 with the shock absorbers 5 and 60 is used.
However, the present invention may be applied to other uses. (4) In the first and second embodiments, the arm rod 1
7 and grooves 17b, 4 provided in the first piston rod 47
The number of 7b is not limited to two, but may be one or three or more.

【００７６】（５）第１及び第２実施形態において、コ
イルスプリング３０を、他の弾性手段のもの例えば板バ
ネ、ゴム等に代えてもよい。 （６）第１及び第２実施形態において、転動体の例とし
てボール２７ａ，７０ａを挙げたが、円柱状のコロ等に
してもよい。(5) In the first and second embodiments, the coil spring 30 may be replaced by another elastic means such as a leaf spring or rubber. (6) In the first and second embodiments, the balls 27a and 70a have been described as examples of the rolling elements, but they may be cylindrical rollers.

【００７７】（７）第１及び第２実施形態において、こ
れに示された断面形状のシールパッキン２０，６７とは
異なる断面形状のものを用いてもよい。さらに、用途に
応じてシールパッキン２０，６７を省略してもよい。(7) In the first and second embodiments, a seal packing having a sectional shape different from the seal packings 20 and 67 having the sectional shape shown here may be used. Further, the seal packings 20, 67 may be omitted depending on the application.

【００７８】（８）第１及び第２実施形態において、ア
ームロッド１７及び第１のピストンロッド４７に設けた
溝１７ｂ，４７ｂの断面形状は、非円弧状でもよい。た
だし、円弧状であれば摺動抵抗は小さくなる。(8) In the first and second embodiments, the cross-sectional shapes of the grooves 17b and 47b provided in the arm rod 17 and the first piston rod 47 may be non-circular. However, if the shape is an arc, the sliding resistance is small.

【００７９】（９）第１及び第２実施形態において、吸
引通路１７ａ，４７ａ，５８ａ，７３ａをアームロッド
１７等の緩衝器５，６０内部に設けていたが、緩衝器
５，６０外部に設けてもよい。例えば、アームロッド１
７，７３にバイパス通路を設けて、ここを負圧にしても
よい。(9) In the first and second embodiments, the suction passages 17a, 47a, 58a, 73a are provided inside the shock absorbers 5, 60 such as the arm rod 17, but are provided outside the shock absorbers 5, 60. You may. For example, arm rod 1
It is also possible to provide a bypass passage in each of the tubes 7 and 73, and to make a negative pressure there.

【００８０】（１０）第１及び第２実施形態において、
１つのボディ１０，６１に対してアームロッド１７，７
３は複数設けてもよい。ここで、特許請求の範囲に記載
された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって
把握される技術的思想を以下に列挙する。(10) In the first and second embodiments,
Arm rods 17, 7 for one body 10, 61
A plurality of 3 may be provided. Here, in addition to the technical ideas described in the claims, the technical ideas grasped by the above-described embodiments are listed below.

【００８１】（１）請求項１乃至４のいずれか１つに記
載の緩衝器において、アームロッドの先端には吸着パッ
ドが取着された緩衝器。これにより、ワークは大きな衝
撃を受けることなく吸着パッドに当接し吸着されるとと
もに、所定の場所に載置される。(1) The shock absorber according to any one of claims 1 to 4, wherein a suction pad is attached to a tip of the arm rod. As a result, the work comes into contact with and is sucked by the suction pad without receiving a large impact, and is placed at a predetermined place.

【００８２】尚、本明細書中において使用した技術用語
を次のように定義する。 「流体：窒素、酸素、アルゴン、二酸化炭素、水素、そ
の混合物である空気等に代表される各種気体をいうほ
か、油や水等の液体等も含む。」The technical terms used in this specification are defined as follows. "Fluid: refers to various gases typified by nitrogen, oxygen, argon, carbon dioxide, hydrogen, a mixture thereof such as air, and also includes liquids such as oil and water."

【００８３】[0083]

【発明の効果】以上詳述したように請求項１乃至４に記
載の発明によれば、直進性が高いと共に、摺動抵抗が小
さく、且つ精度よくロッドを形成できる緩衝器を提供す
ることができる。As described in detail above, according to the first to fourth aspects of the present invention, it is possible to provide a shock absorber which has a high linearity, a small sliding resistance, and can accurately form a rod. it can.

【００８４】特に、請求項２又は４に記載の発明によれ
ば、緩衝器内外の流体の流通をさえぎることができる。
例えば、真空圧を作用させた場合でも、外からの空気の
流入を防ぎ、真空度の低下を防止することができる。In particular, according to the second or fourth aspect of the invention, the flow of the fluid inside and outside the shock absorber can be blocked.
For example, even when a vacuum pressure is applied, the inflow of air from outside can be prevented, and a decrease in the degree of vacuum can be prevented.

【００８５】請求項５乃至１０に記載の発明によれば、
流体圧シリンダも請求項１乃至４に記載の緩衝器と同様
の構成をしているため、装置全体としての直進性及び不
回転性を一層高めることができる。According to the invention described in claims 5 to 10,
Since the fluid pressure cylinder also has the same configuration as the shock absorber according to the first to fourth aspects, it is possible to further improve the straightness and non-rotation of the entire device.

【００８６】請求項６に記載の発明によれば、装置の動
作性がよくなる。請求項７に記載の発明によれば、ロッ
ドはその摺動をより円滑に行うことができる。According to the invention described in claim 6, the operability of the device is improved. According to the invention described in claim 7, the rod can slide more smoothly.

【００８７】請求項８に記載の発明によれば、ボディと
ロッドとの間の高い気密性が確保される。請求項９，１
０に記載の発明によれば、摺動の円滑さを損なうことな
くボディとロッドとの間の高い気密性が確保される。According to the eighth aspect of the present invention, high airtightness between the body and the rod is ensured. Claims 9 and 1
According to the invention described in No. 0, high airtightness between the body and the rod is secured without impairing the smoothness of sliding.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】第１実施形態の緩衝器を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a shock absorber according to a first embodiment.

【図２】第１実施形態の流体圧シリンダを示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing a fluid pressure cylinder according to the first embodiment.

【図３】第１実施形態の全体構成を示している断面図。FIG. 3 is a sectional view showing the entire configuration of the first embodiment.

【図４】シールパッキンの使用状態を示す正面図。FIG. 4 is a front view showing a use state of the seal packing.

【図５】Ａ−Ａ線断面図。FIG. 5 is a sectional view taken along line AA.

【図６】シールパッキンの正面斜視図。FIG. 6 is a front perspective view of a seal packing.

【図７】凸状密封部を含む一部正面図。FIG. 7 is a partial front view including a convex sealing portion.

【図８】凸状密封部の正面拡大図。FIG. 8 is an enlarged front view of a convex sealing portion.

【図９】凸状密封部を含む内周側リップの断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view of an inner peripheral lip including a convex sealing portion.

【図１０】スプラインナットの使用状態を示す正面図。FIG. 10 is a front view showing a use state of the spline nut.

【図１１】スプラインナットの使用状態を示す側面図。FIG. 11 is a side view showing a use state of the spline nut.

【図１２】第１実施形態の変形例の全体構成を示してい
る断面図。FIG. 12 is a sectional view showing the overall configuration of a modification of the first embodiment.

【図１３】第２実施形態の緩衝器を示す断面図。FIG. 13 is a sectional view showing a shock absorber according to a second embodiment.

【図１４】従来の緩衝器を示す断面図。FIG. 14 is a sectional view showing a conventional shock absorber.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…吸着装置、３…吸着パッド、４…流体圧シリンダ、
１０，６１…ボディ、１７，７３…アームロッド、１７
ａ，４７ａ，５８ａ，７３ａ…吸引通路、１７ｂ，４７
ｂ…溝、２０，６７…シールパッキン、２１…基部、２
２…外周側リップ、２３…内周側リップ、２４…凸状密
封部、２７，７０…スプラインナット、２７ａ，５７
ａ，７０ａ…転動体としてのボール、３０…弾性手段と
してのコイルスプリング、４７，５８…ピストンロッ
ド。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Suction device, 3 ... Suction pad, 4 ... Fluid pressure cylinder,
10, 61 ... body, 17, 73 ... arm rod, 17
a, 47a, 58a, 73a ... suction passages, 17b, 47
b: groove, 20, 67: seal packing, 21: base, 2
2 ... outer peripheral side lip, 23 ... inner peripheral side lip, 24 ... convex sealing part, 27, 70 ... spline nut, 27a, 57
a, 70a: balls as rolling elements, 30: coil springs as elastic means, 47, 58: piston rods.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ボディ（１０）に形成した挿通孔から突
出し軸線方向に摺動可能なアームロッド（１７）を設
け、そのアームロッド（１７）にかかる衝撃を吸収する
緩衝器において、 前記挿通孔及び前記アームロッド（１７）を断面円形と
し、そのアームロッド（１７）の外周面にはその中心軸
線に平行な溝（１７ｂ）を形成すると共に、前記ボディ
（１０）の挿通孔部位に支持された転動体（２７ａ）を
前記溝（１７ｂ）に嵌合させ、アームロッド（１７）を
軸線方向にのみ移動可能に支持するようにした緩衝器。1. A shock absorber for providing an arm rod (17) protruding from an insertion hole formed in a body (10) and slidable in an axial direction and absorbing an impact applied to the arm rod (17). The arm rod (17) has a circular cross section, and a groove (17b) parallel to the central axis is formed on the outer peripheral surface of the arm rod (17), and is supported by an insertion hole of the body (10). A shock absorber in which the rolling element (27a) is fitted into the groove (17b), and the arm rod (17) is supported so as to be movable only in the axial direction. 【請求項２】 請求項１に記載の緩衝器において、前記
アームロッド（１７）を円筒体とし、前記ボディ（１
０）とアームロッド（１７）との間には前記溝（１７
ｂ）と嵌合し、ボディ（１０）とアームロッド（１７）
との間の気密性を保持するシールパッキン（２０）を配
設した緩衝器。2. The shock absorber according to claim 1, wherein said arm rod (17) is a cylindrical body, and said body (1) is a cylindrical body.
0) and the arm rod (17).
b), body (10) and arm rod (17)
A shock absorber provided with a seal packing (20) for maintaining the airtightness between the shock absorber and the seal. 【請求項３】 アームロッド（７３）を備えたボディ
（６１）に形成した挿通孔から突出し軸線方向に摺動可
能なピストンロッド（４７）を設け、そのアームロッド
（７３）にかかる衝撃を吸収する緩衝器において、 前記挿通孔及び前記ピストンロッド（４７）を断面円形
とし、そのピストンロッド（４７）の外周面にはその中
心軸線に平行な溝（４７ｂ）を形成すると共に、前記ボ
ディ（６１）の挿通孔部位に支持された転動体（７０
ａ）を前記溝（４７ｂ）に嵌合させ、ピストンロッド
（４７）を軸線方向にのみ移動可能に支持するようにし
た緩衝器。3. A piston rod (47) protruding from an insertion hole formed in a body (61) having an arm rod (73) and slidable in an axial direction is provided, and a shock applied to the arm rod (73) is absorbed. In the shock absorber, the insertion hole and the piston rod (47) have a circular cross section, and a groove (47b) parallel to the central axis is formed on the outer peripheral surface of the piston rod (47), and the body (61) is formed. ) Of the rolling element (70)
A shock absorber in which a) is fitted into the groove (47b) to support the piston rod (47) so as to be movable only in the axial direction. 【請求項４】 請求項３に記載の緩衝器において、前記
アームロッド（７３）及びピストンロッド（４７）を円
筒体とし、前記ボディ（６１）とピストンロッド（４
７）との間には前記溝（４７ｂ）と嵌合し、ボディ（６
１）とピストンロッド（４７）との間の気密性を保持す
るシールパッキン（６７）を配設した緩衝器。4. The shock absorber according to claim 3, wherein the arm rod (73) and the piston rod (47) are cylindrical bodies, and the body (61) and the piston rod (4) are provided.
7), the groove (47b) is fitted to the body (6).
1) A shock absorber provided with a seal packing (67) for maintaining airtightness between the piston rod (47) and the piston rod (47). 【請求項５】 流体圧シリンダ（４）にピストンロッド
（４７）を出没可能に挿通し、そのピストンロッド（４
７）の先端かつシリンダ（４）外部に請求項１乃至４の
いずれか１つに記載の緩衝器を取り付け、その緩衝器の
アームロッド（１７，７３）に吸着パッド（３）を取着
した吸着装置（１）であって、前記ピストンロッド（４
７）を断面円形とし、そのピストンロッド（４７）の外
周面にはその中心軸線に平行な溝（４７ｂ）を形成する
と共に、前記流体圧シリンダ（４）の貫通孔部位に支持
された転動体（５７ａ）を前記溝（４７ｂ）に嵌合さ
せ、ピストンロッド（４７）を軸線方向にのみ移動可能
に支持するようにした吸着装置。5. A piston rod (47) is inserted through a fluid pressure cylinder (4) so as to be able to protrude and retract, and the piston rod (4)
The shock absorber according to any one of claims 1 to 4 is attached to the tip of 7) and outside the cylinder (4), and the suction pad (3) is attached to the arm rod (17, 73) of the shock absorber. The suction device (1), wherein the piston rod (4)
7) has a circular cross section, a groove (47b) parallel to the center axis thereof is formed on the outer peripheral surface of the piston rod (47), and a rolling element supported at a through hole portion of the fluid pressure cylinder (4). (57a) is fitted in the groove (47b), and the piston rod (47) is supported so as to be movable only in the axial direction. 【請求項６】 請求項５に記載の吸着装置において、共
に中空な前記アームロッド（１７，７３）、前記ボディ
（１０，６１）及び前記ピストンロッド（４７，５８）
により、装置内部に吸引通路（１７ａ，４７ａ，５８
ａ，７３ａ）が形成されていることを特徴とする吸着装
置。6. The suction device according to claim 5, wherein the arm rod (17, 73), the body (10, 61), and the piston rod (47, 58), both of which are hollow.
As a result, the suction passages (17a, 47a, 58
a, 73a) is formed. 【請求項７】 請求項５又は６に記載の吸着装置におい
て、前記転動体（２７ａ，５７ａ，７０ａ）はボールで
あることを特徴とする吸着装置。7. The suction device according to claim 5, wherein the rolling elements (27a, 57a, 70a) are balls. 【請求項８】 請求項５乃至７のいずれか１つに記載の
吸着装置において、前記ボディ（１０，６１）と前記ロ
ッド（１７，４７）との間の気密性を保持するシールパ
ッキン（２０，６７）は、円環状の基部（２１）と、基
部（２１）の外周端から一方に延びる円環状の外周側リ
ップ（２２）と、同じく基部（２１）の内周端から一方
に延びる円環状の内周側リップ（２３）とからなり、弾
性材料で成形されたスプラインパッキンであることを特
徴とする吸着装置。8. The suction device according to claim 5, wherein a seal packing (20) for maintaining airtightness between the body (10, 61) and the rod (17, 47). , 67) are an annular base (21), an annular outer lip (22) extending from the outer end of the base (21) to one side, and a circle extending from the inner end of the base (21) to one side. A suction device comprising an annular inner lip (23) and a spline packing formed of an elastic material. 【請求項９】 請求項８に記載の吸着装置において、前
記内周側リップ（２３）の先端部に前記ロッド（１７，
４７）の前記溝（１７ｂ，４７ｂ）の内周面に圧接する
凸状密封部（２４）を備え、凸状密封部（２４）は、前
記ロッド（１７，４７）の軸線方向から見た形状が、前
記内周面に対してその両側縁が前記内周側リップ（２
３）とほぼ同じ接面圧力で密接し、その中央にいくほど
より高い接面圧力で密接するように形成されていること
を特徴とする吸着装置。9. The suction device according to claim 8, wherein the rod (17,
47) is provided with a convex sealing portion (24) pressed against the inner peripheral surface of the groove (17b, 47b), and the convex sealing portion (24) has a shape viewed from the axial direction of the rod (17, 47). However, both side edges of the inner peripheral surface are opposite to the inner peripheral side lip (2).
An adsorption apparatus characterized in that it is formed so as to be in close contact with substantially the same contact pressure as in 3), and to be in close contact with a higher contact pressure toward the center thereof. 【請求項１０】 請求項９に記載の吸着装置において、
前記凸状密封部（２４）の摺接面のロッド軸線方向の円
弧の曲率半径を、内周側リップの摺接面のロッド軸線方
向の円弧の曲率半径よりも小さく形成したことを特徴と
する吸着装置。10. The adsorption device according to claim 9, wherein
The radius of curvature of the arc in the rod axis direction of the sliding contact surface of the convex sealing portion (24) is smaller than the radius of curvature of the arc in the rod axis direction of the sliding contact surface of the inner peripheral lip. Suction device.