JPH10286437A - Clean air supply device and air-permeable member used for the same - Google Patents
Clean air supply device and air-permeable member used for the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、清浄空気供給装置
およびそれに用いる通気性部材に関するものであり、詳
しくは、半導体製造用、電気電子機器製造用、医療用等
のクリーンルーム等に使用される清浄空気供給装置およ
びそれに用いる通気性部材に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean air supply apparatus and a permeable member used for the same, and more particularly, to a clean air supply apparatus for use in a clean room for manufacturing semiconductors, electric and electronic equipment, and medical equipment. The present invention relates to an air supply device and a permeable member used for the air supply device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体や、液晶デバイス等の電気電子機
器製造等において使用されるクリーンルームでは、ＵＬ
ＰＡ、ＨＥＰＡといった高性能エアフィルターにより、
空気中の塵埃が除去されている。他方、近年、半導体の
高集積化や電子機器の性能向上等に伴い、クリーンルー
ム内のガス状有機物による汚染が問題となっており、主
要汚染物質として、ジオクチルフタレート（ＤＯＰ）等
があげられている（「空気清浄」第３２巻、第３号、第
２２９頁、平成６年９月３０日発行）。2. Description of the Related Art In a clean room used in the production of electric and electronic equipment such as semiconductors and liquid crystal devices, UL is used.
With high performance air filters such as PA and HEPA,
Dust in the air has been removed. On the other hand, in recent years, contamination with gaseous organic matter in a clean room has become a problem due to higher integration of semiconductors and improvement of performance of electronic devices, and dioctyl phthalate (DOP) has been cited as a main contaminant. ("Air Purification" Vol. 32, No. 3, pp. 229, issued September 30, 1994).
【０００３】ガス状有機物による汚染の問題を解決する
ために、活性炭等のガス吸着剤を用いたケミカルフィル
ターの使用が提案されている（例えば、「クリーンテク
ノロジー」１９９６年１２月発行）。しかしながら、ケ
ミカルフィルターは、その寿命が通常１年と短く、その
交換のためにクリーンルームの可動を停止させる必要が
あり、この結果、半導体や電気電子機器等の製造効率が
低下するおそれがある。また、特開平７−２８４５２３
号公報には、フィルターの前後の少なくとも一方に、光
触媒が光を受けるように配置された空気調和装置が記載
されている。しかし、この空気調和装置は、殺菌、滅菌
を目的とするものであり、半導体、液晶等の電子デバイ
スの製造で問題となる有機物、特にＤＯＰ等を除去でき
る旨の記載は前記公報になく、また前記フィルターとし
て、特にポリテトラフルオロエチレン（以下「ＰＴＦ
Ｅ］という）多孔膜製フィルター濾材を用いたフィルタ
ーについての記載もない。[0003] In order to solve the problem of contamination by gaseous organic substances, use of a chemical filter using a gas adsorbent such as activated carbon has been proposed (for example, "Clean Technology" published December 1996). However, the life of a chemical filter is usually as short as one year, and it is necessary to stop the operation of the clean room in order to replace the chemical filter. As a result, the manufacturing efficiency of semiconductors, electric and electronic devices, and the like may be reduced. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-284523
The publication describes an air conditioner in which a photocatalyst is arranged on at least one of front and rear sides of a filter so as to receive light. However, this air conditioner is intended for sterilization and sterilization, and there is no description in the above-mentioned gazette that it can remove organic substances, particularly DOP, etc., which are problematic in the production of electronic devices such as semiconductors and liquid crystals. As the filter, in particular, polytetrafluoroethylene (hereinafter, “PTF”)
E]) There is no description about a filter using a porous membrane filter medium.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の目的
は、空気中に浮遊する塵埃および有機物を除去すること
が可能な清浄空気供給装置およびそれに用いる通気性部
材を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a clean air supply device capable of removing dust and organic matter floating in the air and a breathable member used for the same.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の清浄空気供給装置は、光触媒機能を有する
通気性部材と、浮遊微粒子除去機能を有するエアフィル
ターユニットとを、空気流路に配置したという構成を有
する。前記エアフィルターユニットは、ＰＴＦＥ多孔膜
製フィルター濾材を用いたエアフィルターユニットであ
ることが好ましい。In order to achieve the above object, a clean air supply apparatus according to the present invention comprises a gas permeable member having a photocatalytic function and an air filter unit having a function of removing suspended particulates, which are provided in an air flow path. It has the structure of having been arranged in. The air filter unit is preferably an air filter unit using a PTFE porous membrane filter medium.
【０００６】光触媒機能は、光の照射により発現し、有
機物を酸化分解する機能である。このため、ガス吸着剤
と異なり、光触媒機能による有機物除去機能は、理論的
には寿命がない。したがって、本発明の清浄空気供給装
置は、長期間に渡りＤＯＰをはじめとする有機物を除去
することが可能である。[0006] The photocatalytic function is a function developed by light irradiation and oxidatively decomposing organic substances. Therefore, unlike the gas adsorbent, the organic substance removing function by the photocatalytic function theoretically has no life. Therefore, the clean air supply device of the present invention can remove organic substances such as DOP for a long period of time.
【０００７】また、本発明の清浄空気供給装置におい
て、化学的に安定なＰＴＦＥ多孔膜製フィルター濾材を
用いた場合、光触媒機能の発現に必要な紫外線等の光照
射や、光触媒機能の発現の結果生じる活性酸素種等によ
り、本発明にかかる前記フィルター濾材は劣化すること
がなく、長期間に渡って空気中の浮遊塵埃を除去するこ
とができる。またＰＴＦＥ多孔膜は、他の材質（ガラス
繊維からなる）のフィルター濾材と異なり、ボロン等の
不純物の発生がない。このため、本発明の清浄空気供給
装置において、ＰＴＦＥ多孔膜製フィルター濾材を用い
たエアフィルターユニットを用いた場合、それ自身から
有機物や不純物が発生するという恐れがない。In the clean air supply apparatus of the present invention, when a chemically stable filter medium made of a porous PTFE membrane is used, the irradiation of light such as ultraviolet rays necessary for the development of the photocatalytic function and the result of the development of the photocatalytic function are achieved. The filter medium according to the present invention does not deteriorate due to the generated active oxygen species and the like, and the floating dust in the air can be removed for a long period of time. Further, the PTFE porous membrane does not generate impurities such as boron unlike the filter material of another material (made of glass fiber). For this reason, in the clean air supply device of the present invention, when an air filter unit using a filter material made of a porous PTFE membrane is used, there is no fear that organic substances and impurities are generated from the air filter unit itself.
【０００８】そして、本発明の清浄空気供給装置におい
て、光触媒機能を有する通気性部材を空気流路の上流側
に配置し、前記エアフィルターユニットを空気流路の下
流側に配置することが好ましく、例えば、前記通気性部
材が光触媒を担持するものである場合、光触媒が脱落し
たとしてもエアフィルターユニットにより捕捉されるた
め、清浄空気中に混入する恐れがない。[0008] In the clean air supply device of the present invention, it is preferable that a permeable member having a photocatalytic function is arranged on the upstream side of the air passage, and the air filter unit is arranged on the downstream side of the air passage. For example, when the air-permeable member carries a photocatalyst, even if the photocatalyst falls off, the photocatalyst is captured by the air filter unit.
【０００９】さらに、前記光触媒機能を有する通気性部
材は、その有機物の酸化分解機能により、殺菌機能も有
する。したがって、本発明の清浄空気供給装置は、医療
用、製薬用、食品製造用等のクリーンルーム等にも適用
できる。Further, the air-permeable member having a photocatalytic function also has a sterilizing function due to its oxidative decomposition function of organic substances. Therefore, the clean air supply device of the present invention can also be applied to clean rooms for medical use, pharmaceutical use, food production, and the like.
【００１０】本発明において、光触媒機能を有する通気
性部材は、その表面に光触媒を担持する通気性部材であ
ることが好ましい。前記光触媒としては、酸化チタンが
好ましく、特に好ましくはアナターゼ型酸化チタンであ
る。アナターゼ型酸化チタンは、光触媒の中でも、特に
光触媒機能が強く化学的にも安定だからである。なお、
本発明に用いる光触媒は特に制限されず、前記アナター
ゼ型酸化チタンの他に、二酸化チタン、チタン酸ストロ
ンチウム、硫化カドニウム、酸化タングステン、セレン
化カドニウム等があげられる。In the present invention, the gas permeable member having a photocatalytic function is preferably a gas permeable member having a photocatalyst carried on its surface. The photocatalyst is preferably titanium oxide, particularly preferably anatase type titanium oxide. This is because anatase type titanium oxide has a particularly strong photocatalytic function among photocatalysts and is chemically stable. In addition,
The photocatalyst used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include titanium dioxide, strontium titanate, cadmium sulfide, tungsten oxide, and cadmium selenide, in addition to the anatase-type titanium oxide.
【００１１】前記光触媒の有機物分解除去機構は、つぎ
のように推定されている。すなわち、酸化チタンなどの
光触媒の価電子が紫外線等の光により励起されて移動が
自由になり、この電子が酸素と反応し、この結果、過酸
化水素等の活性酸素種が生成し、これが有機物を酸化分
解して除去する。The mechanism of organic matter decomposition and removal of the photocatalyst is estimated as follows. In other words, the valence electrons of a photocatalyst such as titanium oxide are excited by light such as ultraviolet light to move freely, and the electrons react with oxygen, and as a result, active oxygen species such as hydrogen peroxide are generated, which is an organic substance. Is oxidatively decomposed and removed.
【００１２】本発明の清浄空気供給装置において、通気
性部材は、ハニカム構造であることが好ましい。前記ハ
ニカム構造の通気性部材は、フッ素樹脂繊維（好ましく
はＰＴＦＥ繊維）、ポリエステル繊維および無機繊維か
らなる群から選択された少なくとも一つの繊維を用いた
ペーパーをハニカム構造に形成した通気性部材であるこ
とが好ましい。[0012] In the clean air supply device of the present invention, the permeable member preferably has a honeycomb structure. The honeycomb structure air-permeable member is a gas-permeable member formed by forming a paper using at least one fiber selected from the group consisting of a fluororesin fiber (preferably PTFE fiber), a polyester fiber, and an inorganic fiber into a honeycomb structure. Is preferred.
【００１３】本発明の清浄空気供給装置において、通気
性部材は、光触媒を担持する繊維の集合体が支持材によ
り支持された通気性部材であっても好ましい。また、前
記繊維の集合体は、ポリエステル繊維、フッ素樹脂繊維
および無機繊維からなる群から選択された少なくとも一
つの繊維の集合体であってもよい。前記フッ素樹脂繊維
としては、ＰＴＦＥ繊維が好ましい。In the clean air supply device of the present invention, the permeable member is preferably a permeable member in which an aggregate of fibers supporting a photocatalyst is supported by a supporting material. Further, the fiber aggregate may be an aggregate of at least one fiber selected from the group consisting of polyester fibers, fluororesin fibers, and inorganic fibers. As the fluororesin fiber, a PTFE fiber is preferable.
【００１４】本発明の清浄空気供給装置において、通気
性部材は、光触媒を担持するＰＴＦＥ繊維の集合体が支
持材により支持されプリーツ加工された通気性部材であ
っても好ましい。これらの通気性部材は、プレフィルタ
ーとしての機能をも有する。前記繊維の集合体として
は、ウエブ、織布および不織布からなる群から選択され
た少なくとも一つであることが好ましい。さらに、前記
ＰＴＦＥ繊維が、幹繊維から枝繊維が分岐した形状であ
ることが好ましい。このような形状のＰＴＦＥ繊維は、
交絡性に富み、緻密なウエブ等の繊維集合体を作製でき
るからである。また、この通気性部材は、枠体に収納さ
れたものであることが好ましい。前記枠体としては、例
えば、これと組み合わせて用いるエアフィルターユニッ
トの枠体と同じものを使用できる。また、この通気性部
材は、通過風速０．５ｍ／秒のときの圧力損失が１０ｍ
ｍＨ2 Ｏ以下であることが好ましく、特に好ましくは前
記圧力損失が２ｍｍＨ2 Ｏ以下である。In the clean air supply device of the present invention, the permeable member is preferably a pleated member in which an aggregate of PTFE fibers supporting a photocatalyst is supported by a support material and pleated. These air-permeable members also have a function as a pre-filter. The aggregate of fibers is preferably at least one selected from the group consisting of a web, a woven fabric, and a nonwoven fabric. Further, it is preferable that the PTFE fiber has a shape in which a branch fiber is branched from a trunk fiber. PTFE fiber of such a shape
This is because a fiber aggregate such as a dense web, which is rich in confounding properties, can be produced. Further, it is preferable that the air-permeable member is housed in a frame. As the frame, for example, the same frame as the frame of the air filter unit used in combination therewith can be used. This air-permeable member has a pressure loss of 10 m when the passing wind velocity is 0.5 m / sec.
mH 2 O or less, particularly preferably the pressure loss is 2 mmH 2 O or less.
【００１５】なお、前記光触媒担持ＰＴＦＥ繊維の集合
体を用いた通気性部材は、前記本発明の清浄空気供給装
置に使用することが好ましいが、他のフィルターユニッ
トと組み合わせて使用してもよいし、単独で使用しても
よい。The air permeable member using the aggregate of the photocatalyst-supporting PTFE fibers is preferably used in the clean air supply device of the present invention, but may be used in combination with another filter unit. , May be used alone.
【００１６】本発明の清浄空気供給装置において、通気
性部材がガス吸着剤を含むことが好ましい。ガス吸着剤
の併用により、除去対象となるガス状有機物が前記通気
性部材に効率良く捕捉され、この結果、光触媒による有
機物除去が効率的となるからである。前記ガス吸着剤と
しては、例えば、活性炭、活性炭繊維、ゼオライト、イ
オン交換繊維などがあげられ、このなかでも、活性炭が
好ましい。In the clean air supply device of the present invention, it is preferable that the permeable member contains a gas adsorbent. This is because the gaseous organic substance to be removed is efficiently captured by the gas permeable member by using the gas adsorbent in combination, and as a result, the organic substance can be efficiently removed by the photocatalyst. Examples of the gas adsorbent include activated carbon, activated carbon fiber, zeolite, and ion-exchange fiber, and among them, activated carbon is preferable.
【００１７】本発明の清浄空気供給装置において、エア
フィルターユニットに使用されるフィルター濾材につい
ては特に制限するものではなく、例えば、ガラス繊維製
フィルター濾材、ポリプロピレン（ＰＰ）エレクトレッ
ト製フィルター濾材、ＰＴＦＥ多孔膜製フィルター濾材
等が使用できる。このなかで、ＰＴＦＥ多孔膜製フィル
ター濾材を使用することが好ましい。前記ＰＴＦＥ多孔
膜は、ＰＴＦＥが繊維化され相互に絡み合った延伸多孔
膜であることが好ましい。このＰＴＦＥ延伸多孔膜は、
ボロンの発生がなく、また圧力損失が小さく塵埃除去性
能に優れているからである。In the clean air supply apparatus of the present invention, the filter medium used in the air filter unit is not particularly limited, and examples thereof include a glass fiber filter medium, a polypropylene (PP) electret filter medium, and a PTFE porous membrane. A filter material made of filter or the like can be used. Among them, it is preferable to use a filter medium made of a PTFE porous membrane. The porous PTFE membrane is preferably a stretched porous membrane in which PTFE is fibrillated and entangled with each other. This PTFE expanded porous membrane is
This is because there is no generation of boron, the pressure loss is small, and the dust removal performance is excellent.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態につ
いて図面に基づき説明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１９】図１の断面図に、本発明の清浄空気供給装
置の一例の構成を示す。図示のように、この例では、矢
印で示す空気の流れの上流側に光触媒機能を有する通気
性部材１０が配置され、前記空気の流れの下流側にエア
フィルターユニット２０が配置されている。なお、この
図には示していないが、光触媒機能を有する通気性部材
１０の対面に紫外線等の光を照射するための光源を設け
てもよい。さらに、本発明の清浄空気供給装置では、光
乱反射板を備えることも好ましい。光乱反射板を備える
ことにより、光触媒機能を有する通気性部材に効率的に
光を照射することができるからである。FIG. 1 is a sectional view showing an example of the configuration of a clean air supply device according to the present invention. As shown, in this example, a gas permeable member 10 having a photocatalytic function is arranged on the upstream side of the air flow indicated by the arrow, and the air filter unit 20 is arranged on the downstream side of the air flow. Although not shown in this figure, a light source for irradiating light such as ultraviolet light may be provided on the opposite surface of the gas permeable member 10 having a photocatalytic function. Furthermore, it is preferable that the clean air supply device of the present invention includes a light diffuse reflection plate. This is because by providing the light diffuse reflection plate, light can be efficiently irradiated to the air-permeable member having a photocatalytic function.
【００２０】前記光触媒を有する通気性部材の形態とし
ては、例えば、前記ハニカム構造タイプ、前記プリーツ
構造タイプ等があげられる。Examples of the form of the air-permeable member having the photocatalyst include the honeycomb structure type and the pleated structure type.
【００２１】図２の斜視図に、ハニカム構造タイプの一
態様であるコルゲートタイプの通気性部材の一例を示
す。なお、このハニカム構造タイプの通気性部材におい
て、通気孔の形状は、特に制限されず、例えば、円、楕
円、多角形、その他の形状があげられ、また、これらの
形状の組み合わせであってもよい。図示のように、この
通気性部材１０ａは、波状に屈曲している複数の湾曲シ
ート１３が、水平シート１１を介して隣接しているとい
う構造である。この通気性部材の厚み（空気流通方向の
厚み）は約１０ｍｍであり、前記水平シート１１および
湾曲シート１３の厚みは、双方とも約０．５ｍｍであ
り、前記水平シート１１相互の距離は約２ｍｍであり、
前記湾曲シートの湾曲の１ピッチ（波のピッチ）は約６
ｍｍである。この通気性部材の材質としては、例えば、
アルミニウム、フッ素樹脂、ステンレス鋼、ポリエステ
ル、カーボン、セラミック、ガラス等があげられる。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a corrugated type breathable member which is an embodiment of a honeycomb structure type. In the honeycomb structure type air-permeable member, the shape of the air hole is not particularly limited, and examples thereof include a circle, an ellipse, a polygon, and other shapes, and even a combination of these shapes. Good. As illustrated, the breathable member 10a has a structure in which a plurality of curved sheets 13 that are bent in a wave shape are adjacent to each other with a horizontal sheet 11 interposed therebetween. The thickness of the air-permeable member (the thickness in the air flow direction) is about 10 mm, the thickness of the horizontal sheet 11 and the thickness of the curved sheet 13 are both about 0.5 mm, and the distance between the horizontal sheets 11 is about 2 mm. And
One pitch (wave pitch) of the curvature of the curved sheet is about 6
mm. As a material of the air permeable member, for example,
Aluminum, fluororesin, stainless steel, polyester, carbon, ceramic, glass and the like can be mentioned.
【００２２】ハニカムタイプの通気性部材は、表面積が
大きいため、光触媒とガス状有機物との接触面積を大き
くとることができ、また、空気が透過する際の抵抗（圧
力損失）を小さくすることができるため、好ましい。こ
の通気性部材の形成材料としては、フッ素樹脂繊維、ポ
リエステル繊維、無機繊維を主体とし、パルプ繊維の使
用を極力排除したペーパーが好ましい。パルプ繊維は、
光触媒や紫外線により劣化するおそれがあるからであ
る。前記無機繊維としては、例えば、セラミック繊維、
ガラス繊維、カーボン繊維等があげられる。また、前記
ＰＴＦＥ繊維および無機繊維の割合は、通常、ペーパー
全体の５０〜１００重量％の範囲である。Since the honeycomb type air-permeable member has a large surface area, the contact area between the photocatalyst and the gaseous organic substance can be increased, and the resistance (pressure loss) when air permeates can be reduced. It is preferable because it is possible. As a material for forming the air-permeable member, a paper mainly composed of a fluororesin fiber, a polyester fiber, and an inorganic fiber, and from which use of pulp fiber is eliminated as much as possible is preferable. Pulp fiber
This is because there is a risk of deterioration due to a photocatalyst or ultraviolet rays. As the inorganic fibers, for example, ceramic fibers,
Glass fiber, carbon fiber and the like can be mentioned. The ratio of the PTFE fiber and the inorganic fiber is usually in the range of 50 to 100% by weight of the whole paper.
【００２３】このハニカム構造タイプの通気性部材表面
には光触媒等が接着されているが、その接着方法は、例
えば、光触媒等を含有する分散液に通気性部材を含浸し
たのち乾燥、熱処理することにより、通気性部材表面に
光触媒等を接着させることができる。前記分散液の媒体
としては、例えば、水、イソプロピルアルコール（ＩＲ
Ａ）等があげられ、前記分散液の光触媒の濃度は、通常
５〜７５重量％である。また、前記熱処理条件は、媒体
の沸点や通気性部材の種類等により適宜決定されるが、
通常、温度１００〜７００℃で処理時間０．１〜１０時
間である。A photocatalyst or the like is bonded to the surface of the honeycomb structure type air permeable member. For example, the bonding method is to impregnate the air permeable member with a dispersion containing the photocatalyst or the like, and then dry and heat-treat. Thereby, a photocatalyst or the like can be adhered to the surface of the air-permeable member. Examples of the dispersion medium include water and isopropyl alcohol (IR
A) and the like, and the concentration of the photocatalyst in the dispersion is usually 5 to 75% by weight. The heat treatment conditions are determined as appropriate depending on the boiling point of the medium, the type of the gas-permeable member, and the like.
Usually, the treatment time is 0.1 to 10 hours at a temperature of 100 to 700 ° C.
【００２４】つぎに、図３の断面図に、プリーツ構造タ
イプの通気性部材の一例の構成を示す。図示のように、
この通気性部材１０ｂは、２つの支持材１４ａ，１４ｂ
により、光触媒を担持するＰＴＦＥ繊維の集合体１５が
支持固定され、全体がプリーツ加工されたものである。
なお、本発明において、前記繊維の集合体を支持体で支
持した通気性部材は、必ずしもプリーツ加工する必要は
なく、例えば、光触媒を担持する繊維の集合体のウエブ
または不織布等であってもよい。Next, a cross-sectional view of FIG. 3 shows a configuration of an example of a pleated structure type breathable member. As shown,
The air-permeable member 10b includes two support members 14a and 14b.
As a result, the aggregate 15 of the PTFE fibers supporting the photocatalyst is supported and fixed, and the whole is pleated.
In the present invention, the air-permeable member supporting the aggregate of fibers with a support does not necessarily need to be pleated, and may be, for example, a web or nonwoven fabric of an aggregate of fibers supporting a photocatalyst. .
【００２５】前記支持材としては、通気性を有し、かつ
プリーツ加工した際の形状を保持できるようなものが好
ましく、例えば、ＰＰ製のメッシュ、ポリエチレンテレ
フタレート（ＰＥＴ）製のメッシュ、フッ素樹脂製のメ
ッシュ、金属製のメッシュ等があげられる。前記支持材
が、メッシュの場合、その網目の大きさは、通常、１〜
２００メッシュの範囲である。The support material is preferably a material having air permeability and capable of maintaining the shape when pleated, for example, a mesh made of PP, a mesh made of polyethylene terephthalate (PET), or a material made of fluororesin. Mesh, metal mesh and the like. When the supporting material is a mesh, the size of the mesh is usually 1 to
The range is 200 mesh.
【００２６】前記光触媒を担持したＰＴＦＥ繊維の集合
体は、例えば、以下のようにして作製できる。The aggregate of PTFE fibers supporting the photocatalyst can be produced, for example, as follows.
【００２７】まず、乳化重合ＰＴＦＥ粒子の水性分散液
と、酸化チタンの水性分散液とを準備する。前記乳化重
合ＰＴＦＥ粒子は、通常、数平均分子量が２００〜１０
０万であり、平均粒径が０．１〜０．４μｍである。ま
た、乳化重合ＰＴＦＥ粒子の濃度は、通常、１０〜３０
重量％である。一方、前記酸化チタンは、通常、平均粒
径５〜１００ｎｍの粉末であり、その水性分散液の濃度
は、通常、１０〜３０重量％である。そして、前記二つ
の水性分散液を、撹拌翼と温度調節ジャケットを備えた
凝析槽に入れて撹拌し、ＰＴＦＥ粒子と酸化チタンとが
均一に凝集した二次凝集粒子を生成させる。そして、前
記二次凝集粒子をメッシュ等を利用して水相から分離
し、これをオーブン等により乾燥して、酸化チタン含有
ＰＴＦＥ粉末を調製する。このように、前記両分散液か
ら共凝析して酸化チタン含有ＰＴＦＥ粉末を作製する
と、後述の延伸がしやすく、酸化チタンが均一にＰＴＦ
Ｅ繊維表面に露出しやすくなるので好ましい。このＰＴ
ＦＥ粉末は、通常、酸化チタンを１〜５０重量％の割合
で含有しており、平均粒径が３００〜２０００μｍとな
るように造粒調整することが好ましく、また見掛密度
は、概ね３００〜７００ｇ／リットルである。First, an aqueous dispersion of emulsion-polymerized PTFE particles and an aqueous dispersion of titanium oxide are prepared. The emulsion-polymerized PTFE particles usually have a number average molecular weight of 200 to 10.
The average particle diameter is 0.1 to 0.4 μm. The concentration of the emulsion-polymerized PTFE particles is usually from 10 to 30.
% By weight. On the other hand, the titanium oxide is usually a powder having an average particle size of 5 to 100 nm, and the concentration of the aqueous dispersion is usually 10 to 30% by weight. Then, the two aqueous dispersions are put into a coagulation tank equipped with a stirring blade and a temperature control jacket and stirred to generate secondary aggregated particles in which PTFE particles and titanium oxide are uniformly aggregated. Then, the secondary aggregated particles are separated from the aqueous phase by using a mesh or the like, and dried by an oven or the like to prepare a titanium oxide-containing PTFE powder. As described above, when the titanium oxide-containing PTFE powder is prepared by co-coagulation from the two dispersions, the stretching described later is easy, and the titanium oxide is uniformly dispersed in the PTFE.
It is preferable because it is easily exposed to the E fiber surface. This PT
The FE powder usually contains titanium oxide at a ratio of 1 to 50% by weight, and it is preferable to adjust the granulation so that the average particle diameter becomes 300 to 2000 μm. 700 g / l.
【００２８】つぎに、前記酸化チタン含有ＰＴＦＥ粉末
を、従来公知のペースト押出法等により、所定の形状に
成形する。この成形の際、前記酸化チタン含有ＰＴＦＥ
粉末１００重量部に対し、通常、２０〜３５重量部の割
合で、成形助剤（液状潤滑剤）が配合される。前記成形
助剤としては、例えば、ペースト押出法で従来から用い
られているものを使用できる。また、前記ペースト押出
に先立って、予備成形を行ってもよい。一般には、前記
ＰＴＦＥ粉末と成形助剤との混合物を予備成形の後、ペ
ースト押出機により棒状に押出成形し、この押出成形物
を圧延ロール等で圧延してフィルム状に成形し、さらに
成形助剤を乾燥除去して、酸化チタン含有未焼成ＰＴＦ
Ｅフィルムを得る。このフィルムの厚みは、通常５０〜
２５０μｍである。Next, the titanium oxide-containing PTFE powder is formed into a predetermined shape by a conventionally known paste extrusion method or the like. At the time of this molding, the PTFE containing titanium oxide is used.
A molding aid (liquid lubricant) is usually blended at a ratio of 20 to 35 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the powder. As the molding aid, for example, those conventionally used in the paste extrusion method can be used. Prior to the paste extrusion, preforming may be performed. In general, after the mixture of the PTFE powder and the forming aid is preformed, the mixture is extruded into a rod shape by a paste extruder, and the extruded product is rolled by a rolling roll or the like, formed into a film, and further formed into a film. The agent is dried and removed, and the unfired PTF containing titanium oxide is removed.
Obtain an E film. The thickness of this film is usually 50 to
250 μm.
【００２９】つぎに、このフィルムを焼結する。焼結温
度は、通常、３５０〜３８０℃である。そして、この酸
化チタン含有焼結ＰＴＦＥフィルムを、ロール延伸装置
等を用いて長手方向に、約２．５〜１０倍延伸する。Next, this film is sintered. The sintering temperature is usually from 350 to 380 ° C. The titanium oxide-containing sintered PTFE film is stretched about 2.5 to 10 times in the longitudinal direction using a roll stretching apparatus or the like.
【００３０】つぎに、このようにして得られた酸化チタ
ン含有焼結ＰＴＦＥ一軸延伸フィルム（以下「原反ＰＴ
ＦＥフィルム」という）を、解繊装置を用いて解繊する
ことにより、ウエブを製造することができる。このウエ
ブにおいて、繊維の太さは、通常、０．１〜５００μｍ
であり、好ましくは０．５〜２００μｍである。なお、
このように解繊により製造したＰＴＦＥ繊維の形状は、
幹繊維から枝繊維が分岐した形状である。このウエブま
たは不織布の目付は、通常、１０〜２０００ｇ／ｍ2 で
あり、好ましくは、５０〜５００ｇ／ｍ2 である。Next, the titanium oxide-containing sintered PTFE uniaxially stretched film (hereinafter referred to as “raw web PT”)
The web can be manufactured by defibrating the “FE film” using a defibrating device. In this web, the thickness of the fiber is usually 0.1 to 500 μm.
And preferably 0.5 to 200 μm. In addition,
The shape of the PTFE fiber thus produced by defibration is
This is a shape in which branch fibers are branched from stem fibers. The basis weight of the web or nonwoven fabric is usually 10 to 2000 g / m 2, preferably from 50 to 500 g / m 2.
【００３１】なお、この方法は、スプリット法と呼ばれ
る方法であるが、この他に、原反フィルムをスリットし
て繊維化する方法（例えば、特公昭３６−２２９１５号
公報、特公昭４８−８７６９号公報に記載の方法）によ
っても、酸化チタン含有ＰＴＦＥ繊維の不織布が作製で
きるThis method is a method called a split method. In addition to this, a method of slitting a raw film into a fiber (for example, Japanese Patent Publication No. 36-22915, Japanese Patent Publication No. 48-8869) Non-woven fabric of titanium oxide-containing PTFE fiber can also be produced by the method described in the official gazette.
【００３２】また、光触媒を担持するＰＴＦＥ繊維に活
性炭繊維等の他の繊維を混合若しくは積層して使用して
もよい。Further, other fibers such as activated carbon fibers may be mixed or laminated with the PTFE fibers carrying the photocatalyst.
【００３３】そして、２つの前記支持材の間に前記ＰＴ
ＦＥ繊維のウエブ等を挟み込みプリーツ加工すれば、図
３に示すような、通気性部材が得られる。この通気性部
材の大きさは、通常、全体厚みが１〜５０ｍｍ、支持材
の厚み０．１〜２ｍｍである。また、折り幅は、通常、
５〜３００ｍｍである。この通気性部材は、枠体の中に
収容して使用してもよいし、または通気性部材に形状保
持性を持たせて枠体なしでそのまま使用してもよい。枠
体内に収容して通気性部材を使用する場合、前記枠体は
エアフィルターユニットに用いた枠体と同じものを使用
することが好ましい。このようにすれば、本発明の清浄
空気供給装置がコンパクトになり、これを設置する時の
取り扱い性などに優れるようになる。また、通気性部材
と枠体は、ウレタン等のシール剤でシールされる場合も
あるし、シール剤を使用しせず、枠体内に単に収納した
だけで使用する場合もある。前記枠体の材質は、アルミ
ニウム、ポリ塩化ビニル板等があげられ、その大きさ
は、収容する通気性部材の大きさなどにより適宜決定さ
れる。Then, the PT is provided between the two support members.
If a web or the like of FE fiber is sandwiched and pleated, a breathable member as shown in FIG. 3 is obtained. The size of the permeable member is generally 1 to 50 mm in overall thickness and 0.1 to 2 mm in thickness of the support material. The fold width is usually
5 to 300 mm. This air-permeable member may be used by being housed in a frame, or may be used without a frame by giving the shape of the air-permeable member. When the air-permeable member is used while housed in the frame, it is preferable to use the same frame as the frame used for the air filter unit. By doing so, the clean air supply device of the present invention can be made compact, and it can be easily handled when it is installed. Further, the air-permeable member and the frame may be sealed with a sealant such as urethane, or may be used simply by being stored in the frame without using the sealant. Examples of the material of the frame include aluminum, a polyvinyl chloride plate, and the like, and the size is appropriately determined according to the size of the permeable member to be housed.
【００３４】以上、本発明にかかる光触媒機能を有する
通気性部材について２つの例を上げて説明したが、本発
明はこれらの例に制限されるものではない。この他に
も、光触媒を担持させた不織布や織布等の多孔質体を通
気性部材として本発明に用いることができる。なお、前
記不織布や織布は、例えば、前述のプリーツタイプの通
気性部材で説明した方法により作製できる。As described above, the air-permeable member having a photocatalytic function according to the present invention has been described with two examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition, a porous body such as a nonwoven fabric or a woven fabric carrying a photocatalyst can be used as a gas-permeable member in the present invention. The non-woven fabric and the woven fabric can be produced, for example, by the method described for the pleated type air-permeable member.
【００３５】つぎに、本発明にかかるエアフィルターユ
ニットについて説明する。Next, an air filter unit according to the present invention will be described.
【００３６】図４の斜視図に、本発明にかかるエアフィ
ルターユニットの一例を示す。図示のように、このエア
フィルターユニットは、ミニプリーツタイプと称される
ものであり、フィルター濾材１が、通常、２５〜５０ｍ
ｍ幅の波状に折曲されており、その波の間隙（波の山と
山との間）は、通常、２〜５ｍｍである。この間隙は、
ホットメルト接着剤（例えば、ダイアボンド（商品
名））を用いてリボン状または帯状に形成された複数の
スペーサー５により保持されている。スペーサー５相互
の距離は、通常、２５〜５０ｍｍ程度である。そして、
フィルター濾材１は、４つの枠材６，７，８，９で構成
される枠体内に収納されており、枠体とフィルター濾材
１との間隙は気密を保持するためシールされている。こ
のシールは、例えば、サイドシールとエンドシールに大
別される。また、これに用いるシール剤としては、例え
ば、ホットメルト接着剤（例えば、ダイアボンド（商品
名））があげられる。前記枠体の材質は、例えば、ステ
ンレス鋼、アルミニウム、ポリ塩化ビニル等があげられ
る。本発明のエアフィルターユニットの大きさは、その
用途に応じ適宜決定することができる。FIG. 4 is a perspective view showing an example of an air filter unit according to the present invention. As shown in the figure, this air filter unit is called a mini-pleated type, and the filter medium 1 usually has a length of 25 to 50 m.
It is bent in an m-width wave shape, and the gap between the waves (between wave peaks) is usually 2 to 5 mm. This gap is
It is held by a plurality of spacers 5 formed in a ribbon shape or a band shape using a hot melt adhesive (for example, Diabond (trade name)). The distance between the spacers 5 is usually about 25 to 50 mm. And
The filter medium 1 is housed in a frame constituted by four frame members 6, 7, 8, and 9, and a gap between the frame body and the filter medium 1 is sealed to maintain airtightness. This seal is roughly classified into, for example, a side seal and an end seal. Examples of the sealant used for this include a hot melt adhesive (for example, Diabond (trade name)). Examples of the material of the frame include stainless steel, aluminum, polyvinyl chloride and the like. The size of the air filter unit of the present invention can be appropriately determined according to its use.
【００３７】図５に、前記エアフィルターユニットにお
けるフィルター濾材１のスペーサー５部分の断面図を示
す。図示のように、スペーサー５は、波状に折曲された
フィルター濾材１の波の各山毎に形成され、その断面形
状がフィルター濾材の波状に沿った略Ｖ字状となってい
る。このスペーサー５の長さは、フィルター濾材１の折
り曲げ幅により適宜決定されるが、通常、前記略Ｖ字の
片方の足の長さが前記折り曲げ幅の約半分の長さとなる
ことが好ましく、例えば、フィルター濾材１の折り曲げ
幅が約４０ｍｍの場合、スペーサー５の略Ｖ字の片方の
足の長さは約２０ｍｍが好ましい。スペーサー５の形成
により、フィルター濾材１の波状が保持され、空気を均
一に通過させることが可能となる。FIG. 5 is a sectional view of the spacer 5 of the filter medium 1 in the air filter unit. As shown in the drawing, the spacer 5 is formed at each crest of the wave of the filter medium 1 bent in a wave shape, and has a substantially V-shaped cross-sectional shape along the wave form of the filter medium. The length of the spacer 5 is appropriately determined depending on the bending width of the filter medium 1, but it is usually preferable that the length of one leg of the substantially V-shape is approximately half the length of the bending width. When the bending width of the filter medium 1 is about 40 mm, the length of one of the substantially V-shaped feet of the spacer 5 is preferably about 20 mm. By the formation of the spacers 5, the wave shape of the filter medium 1 is maintained, so that air can be passed uniformly.
【００３８】つぎに、前記フィルター濾材は、ＰＴＦＥ
多孔膜を用いたものが好ましい。また、フィルター濾材
の構成としては、ＰＴＦＥ多孔膜の片面に通気性支持材
を備えたもの、ＰＴＦＥ多孔膜の両面に通気性支持材を
備えたもの、ＰＴＦＥ多孔膜と通気性支持材を交互に若
しくはランダムに積層したもの等をあげることができ
る。特に、ＰＴＦＥ多孔膜の両面に通気性支持材を備え
たフィルター濾材は、ＰＴＦＥ多孔膜にピンホール等の
傷が付くことを防止できるので好ましい。Next, the filter medium is made of PTFE.
Those using a porous membrane are preferred. In addition, as a configuration of the filter medium, a porous PTFE membrane provided with a gas-permeable supporting material on one side, a porous PTFE membrane provided with a gas-permeable supporting material on both sides, and a PTFE porous membrane and a gas-permeable supporting material are alternately provided. Alternatively, a material that is randomly laminated can be used. In particular, a filter medium provided with a gas-permeable supporting material on both sides of the PTFE porous membrane is preferable because it can prevent the porous PTFE membrane from being damaged by pinholes or the like.
【００３９】また、前記フィルター濾材において、前記
ＰＴＦＥ多孔膜は特に限定されず、公知のものが使用で
きる。なかでも、半導体、液晶等の製造用のクリーンル
ームやこれら製造装置に用いられるフィルターユニット
に要求される浮遊微粒子の捕集効率、圧力損失等の性能
（ＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルターと同等以上
の性能）を達成可能なものが好ましい。例えば、５．３
ｃｍ／秒の流速で空気を透過させたときの圧力損失が１
０〜１００ｍｍＨ2Ｏ の範囲であり、０．１０〜０．１
２μｍのジオクチルフタレート（ＤＯＰ）の捕集効率
が、９９．０％以上であることが好ましい。このような
ＰＴＦＥ多孔膜は、特開平５−２０２２１７号公報、Ｗ
Ｏ９４／１６８０２号公報等に記載されている。In the filter medium, the porous PTFE membrane is not particularly limited, and a known PTFE porous membrane can be used. Above all, the performance such as trapping efficiency and pressure loss of suspended particulates required for clean rooms for manufacturing semiconductors and liquid crystals and filter units used in these manufacturing devices (performance equal to or higher than HEPA filters and ULPA filters) is required. What is achievable is preferred. For example, 5.3
The pressure loss when air is permeated at a flow rate of 1 cm / sec is 1
0-100 mmH 2 O, 0.10-0.1 mm
The collection efficiency of 2 μm dioctyl phthalate (DOP) is preferably 99.0% or more. Such a porous PTFE membrane is disclosed in JP-A-5-202217, W.
O94 / 16802 and the like.
【００４０】本発明で用いる前記ＰＴＦＥ多孔膜は、公
知の製法により得ることができる。例えば、ＰＴＦＥフ
ァインパウダーを押出助剤とともにペースト押出し、圧
延によってテープを得、このテープを未焼成のまま、ま
たは半焼成した後、二軸方向に延伸することにより得ら
れる。詳細は、特開平５−２０２２１７号公報、ＷＯ９
４／１６８０２号公報等に記載されている。この製造方
法により得られたＰＴＦＥ多孔膜は、ＰＴＦＥが繊維化
して相互に絡み合った構造を有するＰＴＦＥ延伸多孔膜
である。このＰＴＦＥ延伸多孔膜は、表面積が大きい高
性能のものである。The porous PTFE membrane used in the present invention can be obtained by a known production method. For example, it can be obtained by extruding PTFE fine powder together with an extrusion aid, extruding a paste, and obtaining a tape by rolling, and then stretching the tape in a biaxial direction as it is in an unfired state or after a semi-baked state. For details, see JP-A-5-202217, WO9
No. 4, / 16,802. The porous PTFE membrane obtained by this manufacturing method is a stretched PTFE porous membrane having a structure in which PTFE is fibrillated and entangled with each other. This expanded PTFE porous membrane has a high surface area and a high performance.
【００４１】また、前記フィルター濾材において、通気
性支持材は、実質的にポリエステル繊維で形成されてい
る通気性支持材であることが好ましい。また、前記通気
性支持材はポリエステル繊維で形成され、かつポリオレ
フィンを含まない通気性支持材であることが好ましい。
そして、前記通気性支持材は、少なくとも２つの融点を
有する通気性支持材であることが好ましい。前記ポリエ
ステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等が好ま
しい。このような通気性支持材は、それ自身からの有機
物の発生が極めて少ないことを、本発明者らは見出して
いる。[0041] In the filter medium, it is preferable that the air-permeable supporting material is a gas-permeable supporting material substantially formed of polyester fiber. Further, it is preferable that the air-permeable supporting material is formed of polyester fiber and does not contain polyolefin.
Further, it is preferable that the air-permeable supporting material is a gas-permeable supporting material having at least two melting points. As the polyester, polyethylene terephthalate (PE)
T), polybutylene terephthalate (PBT) and the like are preferred. The present inventors have found that such a breathable support material generates very little organic matter from itself.
【００４２】また前記フィルター濾材においては、ポリ
エステル繊維材料は、不織布であることが好ましく、と
くに長繊維を用いた不織布が好ましい。長繊維を用いた
不織布は、溶融紡糸の際に不織布を形成でき（紡糸直結
不織布）、最初から清浄な状態に保つことができるから
である。In the filter medium, the polyester fiber material is preferably a non-woven fabric, particularly preferably a non-woven fabric using long fibers. This is because a nonwoven fabric using long fibers can form a nonwoven fabric during melt spinning (spun directly bonded nonwoven fabric) and can be kept clean from the beginning.
【００４３】前記長繊維を用いた不織布としては、例え
ば、スパンボンド法、フラッシュ紡糸法、メルトブロー
法により製造された不織布などがある。このなかで、ス
パンボンド法により製造された不織布が好ましい。ポリ
エステル長繊維スパンボンド不織布においては、目付は
１０〜６００ｇ／ｍ2 、好ましくは１５〜３００ｇ／ｍ
2 、更に好ましくは１５〜１００ｇ／ｍ2 である。１０
０ｇ／ｍ2 を越えると、フィルター濾材を、例えば、プ
リーツ型のエアフィルターに加工する際に加工がしにく
くなり（例えば、折りにくくなり）、またコスト高とな
る傾向があるからである。Examples of the non-woven fabric using the long fibers include a non-woven fabric manufactured by a spun bond method, a flash spinning method, and a melt blow method. Among these, a nonwoven fabric produced by a spunbond method is preferred. In the polyester long fiber spun bond nonwoven fabric, the basis weight is 10 to 600 g / m 2 , preferably 15 to 300 g / m 2 .
2 , more preferably 15 to 100 g / m 2 . 10
If it exceeds 0 g / m 2 , it becomes difficult to process (for example, hardly fold) when the filter medium is processed into, for example, a pleated air filter, and the cost tends to be high.
【００４４】ポリエステル繊維不織布の種類としては、
例えば、ＰＥＴ繊維不織布、ＰＢＴ繊維不織布、芯成分
がＰＥＴで鞘成分がＰＢＴである芯鞘構造繊維製の不織
布（ＰＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）、芯成分が高融点
ＰＥＴで鞘成分が低融点ＰＥＴである芯鞘構造繊維製の
不織布（高融点ＰＥＴ／低融点ＰＥＴ芯鞘構造不織
布）、ＰＥＴ繊維およびＰＢＴ繊維の複合繊維からなる
不織布、高融点ＰＥＴ繊維および低融点ＰＥＴ繊維の複
合繊維からなる不織布等があげられる。As the type of the polyester fiber non-woven fabric,
For example, a PET fiber nonwoven fabric, a PBT fiber nonwoven fabric, a nonwoven fabric made of a core-sheath structure fiber in which the core component is PET and the sheath component is PBT (PET / PBT core-sheath structure nonwoven fabric), the core component has a high melting point PET, and the sheath component has a low melting point Nonwoven fabric made of PET core-sheath structure fiber (high-melting PET / low-melting PET core-sheath structure nonwoven fabric), nonwoven fabric consisting of composite fiber of PET fiber and PBT fiber, and composite fiber of high-melting PET fiber and low-melting PET fiber Nonwoven fabrics and the like can be mentioned.
【００４５】なお、前記低融点ＰＥＴとは、イソフタル
酸、アジピン酸、ジエチレングリコール、ポリエチレン
グリコール等を共重合した共重合ポリエチレンテレフタ
レートをいい、前記高融点ＰＥＴ及び単にＰＥＴとは、
実質的にテレフタル酸成分とエチレングリコール成分と
からなる融点約２６０℃のレギューラー品をいう。ま
た、前記ＰＢＴは他の共重合可能な成分との共重合体で
あってもよい。The low-melting PET refers to a copolymerized polyethylene terephthalate obtained by copolymerizing isophthalic acid, adipic acid, diethylene glycol, polyethylene glycol, and the like.
It is a regular product having a melting point of about 260 ° C. and substantially consisting of a terephthalic acid component and an ethylene glycol component. Further, the PBT may be a copolymer with another copolymerizable component.
【００４６】また、前記フィルター濾材において、ＰＴ
ＦＥ多孔膜と通気性支持材とは接着されて一体化されて
いる。この接着方法としては、通気性支持材の一部を溶
融して行う熱融着、ポリエステル、テトラフルオロエチ
レン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ）等のホットメルト接着剤を用いた接着が好ま
しい。これらの一体化の態様は、通気性支持材の種類等
に応じ、適宜選択して用いられる。In the above-mentioned filter medium, PT
The FE porous membrane and the air-permeable supporting material are bonded and integrated. As this bonding method, thermal fusion performed by melting a part of the air-permeable supporting material, and bonding using a hot melt adhesive such as polyester, tetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinyl ether copolymer (PFA) are preferable. . These modes of integration are appropriately selected and used depending on the type of the air-permeable supporting material and the like.
【００４７】前記接着剤による一体化において、例え
ば、ポリエステル系ホットメルト接着剤を用いると有機
物の発生が低く押さえられ、かつコスト的に有利であ
る。前記ホットメルト接着剤を用いて接着する態様にお
いて、好ましく使用するポリエステル繊維材料は、高融
点ＰＥＴ繊維、低融点ＰＥＴ繊維、高融点ＰＥＴ繊維と
低融点ＰＥＴ繊維との混合繊維、高融点ＰＥＴ／低融点
ＰＥＴ芯鞘繊維からなる不織布などのようなＰＥＴ製不
織布である。接着方法は、特に制限されず、公知の方法
が適用できるが、通気性支持材の通気量を損なわないと
いう理由により、スプレー塗布方式、スパイラルスプレ
ー塗布方式、スロットスプレー塗布方式、メルトブロー
ン塗布方式、プリントホイール塗布方式、リボンリップ
塗布方式などの方法によるのが好ましい。In the integration using the adhesive, for example, when a polyester-based hot melt adhesive is used, the generation of organic substances is suppressed low, and it is advantageous in terms of cost. In the mode of bonding using the hot melt adhesive, preferably used polyester fiber materials include a high melting point PET fiber, a low melting point PET fiber, a mixed fiber of a high melting point PET fiber and a low melting point PET fiber, and a high melting point PET / low melting point. It is a PET non-woven fabric such as a non-woven fabric made of a melting point PET core-sheath fiber. The bonding method is not particularly limited, and a known method can be applied. However, a spray coating method, a spiral spray coating method, a slot spray coating method, a melt blown coating method, and a print method are used because the air permeability of the air-permeable supporting material is not impaired. It is preferable to use a method such as a wheel coating method or a ribbon lip coating method.
【００４８】図６の断面図に、ＰＴＦＥ多孔膜２の両面
に通気性支持材３、４を備えたフィルター濾材１の一例
を示す。このフィルター濾材１において、前記ＰＴＦＥ
多孔膜２の厚さは、通常、約２〜１００μｍであり、通
気性支持材３、４としては、例えば、ポリエステル長繊
維スパンボンド不織布（例えば東洋紡製品、繊度（単繊
維の太さ）：２デニール、目付が１５〜１００ｇ／ｍ
2 、好適には２０〜７０ｇ／ｍ2 ）から形成された通気
性支持材が使用される。前記ＰＴＦＥ多孔膜と通気性支
持材とは、例えば、ポリエステル系ホットメルト接着剤
（例えば、ダイアボンド（商品名））を１〜２０ｇ／ｍ
2 、好適には２〜１０ｇ／ｍ2 で塗布し、温度：１６０
〜２００℃の範囲で熱接着させることにより接着され
る。また、フィルター濾材全体の厚さは、通常、１００
〜１５００μｍ好ましくは、１００〜７００μｍであ
る。また、フィルター濾材１の性能としては、圧力損失
が１０〜１００ｍｍＨ2Ｏ （空気透過流速条件：５．３
ｃｍ／秒）、粒子径０．１０〜０．１２μｍのＤＯＰの
捕集効率が９９．０％以上（空気透過流速条件：５．３
ｃｍ／秒）、孔径が０．２〜３μｍの範囲が好ましい。
本発明において、特に好ましいフィルター濾材は、ニュ
ーロファインＲ（商品名、ダイキン工業社製）である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of a filter medium 1 in which gas-permeable supporting members 3 and 4 are provided on both sides of a porous PTFE membrane 2. In this filter medium 1, the PTFE
The thickness of the porous membrane 2 is usually about 2 to 100 μm. As the air-permeable supporting members 3 and 4, for example, polyester long fiber spunbonded nonwoven fabric (for example, Toyobo, fineness (thickness of single fiber): 2) Denier, weight is 15-100g / m
2 , preferably a permeable support formed from 20-70 g / m 2 ). The PTFE porous membrane and the air-permeable supporting material may be, for example, a polyester hot melt adhesive (for example, Diabond (trade name)) of 1 to 20 g / m.
2 , preferably applied at 2 to 10 g / m 2 , temperature: 160
It is bonded by heat bonding in the range of -200 ° C. Also, the thickness of the entire filter medium is usually 100
１1500 μm, preferably 100 to 700 μm. The performance of the filter medium 1 is such that the pressure loss is 10 to 100 mmH 2 O (air permeation flow rate condition: 5.3).
cm / sec), the collection efficiency of DOP having a particle size of 0.10 to 0.12 μm is 99.0% or more (air permeation flow rate condition: 5.3)
cm / sec), and the pore size is preferably in the range of 0.2 to 3 μm.
In the present invention, a particularly preferred filter medium is Neurofine R (trade name, manufactured by Daikin Industries, Ltd.).
【００４９】つぎに、本発明の清浄空気供給装置は、例
えば、クリーンルームの空気ダクト管の排出口付近に取
り付けて使用することができる。また、この他に、例え
ば、ファンと組み合わせて、半導体製造装置の空気取り
入れ口や空気循環系に取り付けることができる。Next, the clean air supply device of the present invention can be used, for example, by being installed near the outlet of an air duct pipe in a clean room. In addition, for example, in combination with a fan, it can be attached to an air intake or an air circulation system of a semiconductor manufacturing apparatus.
【００５０】本発明の清浄空気供給装置の用途は、特に
制限されず、例えば、半導体製造用、電気電子機器製造
用のクリーンルーム、医療、製薬、食品、バイオ関連産
業等のクリーンルーム、家庭用空気清浄機、拡散熱処理
炉、洗浄装置、ステッパーチャンバー、レジスト塗布現
像装置、ストッカー、ＣＭＰ装置等があげられる。The use of the clean air supply device of the present invention is not particularly limited. For example, a clean room for manufacturing semiconductors, electric and electronic equipment, a clean room for medical, pharmaceutical, food, and bio-related industries, a household air cleaner, and the like. Equipment, a diffusion heat treatment furnace, a cleaning device, a stepper chamber, a resist coating and developing device, a stocker, a CMP device, and the like.
【００５１】[0051]
【実施例】つぎに、実施例について説明する。Next, an embodiment will be described.
【００５２】（実施例１）まず、エアフィルターユニッ
トとして、ニューロファインＲ（ダイキン工業社製）を
準備した。このエアフィルターユニットは、フィルター
濾材にＰＴＦＥ多孔膜を用いており、その性能は、以下
に示すとおりである。 寸法：６１０ｍｍ×６１０ｍｍ×１５０ｍｍ 圧力損失：１０ｍｍＨ2 Ｏ（空気透過流速条件：０．５
ｃｍ／秒） 捕集効率：９９．９９９９％（粒子径０．１〜０．１２
μＤＯＰの場合）Example 1 First, Neurofine R (manufactured by Daikin Industries, Ltd.) was prepared as an air filter unit. This air filter unit uses a PTFE porous membrane as a filter medium, and its performance is as follows. Dimensions: 610 mm × 610 mm × 150 mm pressure drop: 10 mm H 2 O (Air permeation rate conditions: 0.5
cm / sec) Collection efficiency: 99.9999% (particle size 0.1 to 0.12)
μDOP)
【００５３】他方、ハニカム構造タイプの一態様である
コルゲートタイプの通気性部材として、光触媒酸化チタ
ンを担持したＰ−ＳＴ Ｂタイプ（ケージーパック株式
会社製）を準備した（図２参照）。この通気性部材は、
空気流通方向の厚みが１０ｍｍであり、前記水平シート
１１相互の距離は２．８ｍｍであり、１ピッチ（波のピ
ッチ）は５．９ｍｍである。他方、前記エアフィルター
ユニットで用いた枠体と同じ寸法の枠体を作製し、この
内部に前記通気性部材を収容した。そして、前記エアフ
ィルターユニットの空気流路上流側に前記通気性部材を
配位した状態で前記両者を組み合わせて、目的とする清
浄空気供給装置を得た。On the other hand, a P-STB type (Cage-Pack Co., Ltd.) carrying titanium oxide photocatalyst was prepared as a corrugated type air-permeable member which is an embodiment of the honeycomb structure type (see FIG. 2). This breathable member,
The thickness in the air flow direction is 10 mm, the distance between the horizontal sheets 11 is 2.8 mm, and one pitch (wave pitch) is 5.9 mm. On the other hand, a frame having the same dimensions as the frame used in the air filter unit was prepared, and the permeable member was accommodated therein. Then, in a state where the air-permeable member was arranged on the upstream side of the air flow path of the air filter unit, the two were combined to obtain a target clean air supply device.
【００５４】つぎに、この清浄空気供給装置の有機物除
去性能を以下に示す方法により調べた。Next, the organic matter removal performance of this clean air supply device was examined by the following method.
【００５５】図７に示すような密閉可能な空気循環系
に、エアフィルターユニット２０および光触媒機能を有
する通気性部材１０を配置した。図示のように、この空
気循環系は、六方が壁６４で覆われた四角い箱形状であ
り、変速駆動装置６２と連結するファン６１と、一つの
壁６４に取り付けられた１つの蛍光灯（２０ｗ）６６
と、グレーチング６５と、気流の流路を形成する案内板
６８とを備える。そして、通気性部材１０が前記蛍光灯
６６と対面しかつ空気流路の上流側に位置し、エアフィ
ルターユニット２０が空気流路の下流側に位置した状態
で、前記両者１０、２０が流路途中に配置されている。
また、前記グレーチング６５も前記流路途中に配置され
ている。また、エアフィルターユニット２０とグレーチ
ング６５との間には、ガスモニター（１３０２型、Ｂ＆
Ｋ社製）の検知部分６７が位置している。この空気循環
系の全容積は約２ｍ3 である。また、この空気循環系に
おける空気の循環は、つぎのとおりである。すなわち、
変速駆動装置６２によりファン６１を回転させると気流
が発生する。発生した気流は、案内板６８および壁６４
に沿って流れて通気性部材１０およびエアフィルターユ
ニット２０をこの順序で通過し、さらにグレーチング６
５を通過して、ファン６１の位置まで戻るという順序で
循環する（図中の矢印参照）。なお、エアフィルターユ
ニット２０の通過風速は、０．５ｍ／分に調整されてい
る。An air filter unit 20 and a gas permeable member 10 having a photocatalytic function were arranged in a sealable air circulation system as shown in FIG. As shown in the figure, this air circulation system has a rectangular box shape with six sides covered by a wall 64, and a fan 61 connected to a speed change drive device 62, and one fluorescent lamp (20w) attached to one wall 64. ) 66
, A grating 65, and a guide plate 68 that forms an airflow channel. When the air permeable member 10 faces the fluorescent lamp 66 and is located on the upstream side of the air flow path, and the air filter unit 20 is located on the downstream side of the air flow path, the two members 10 and 20 are placed in the flow path. It is located on the way.
Further, the grating 65 is also arranged in the middle of the flow path. Further, between the air filter unit 20 and the grating 65, a gas monitor (1302 type, B &
(Manufactured by K Company). The total volume of this air circulation system is about 2 m 3 . The circulation of air in the air circulation system is as follows. That is,
When the fan 61 is rotated by the speed change drive device 62, an airflow is generated. The generated airflow is guided by the guide plate 68 and the wall 64.
Along the air-permeable member 10 and the air filter unit 20 in this order,
5 and return to the position of the fan 61 (see the arrow in the figure). The wind speed passing through the air filter unit 20 is adjusted to 0.5 m / min.
【００５６】この空気循環系を用い、以下のようにして
有機物除去性能を調べた。まず、蛍光灯６６が無灯火の
状態で、ガスモニターの検知部分６７からアセトアルデ
ヒドを濃度が１０ｐｐｍになるように空気循環系内に導
入した。その３０分後、アセトアルデヒド濃度を測定し
た結果、前記濃度は１０ｐｐｍであり、２４時間後の濃
度も１０ｐｐｍであった。つぎに、蛍光灯６６を点灯し
て前記濃度の経時変化をガスモニターで測定した結果、
２４時間後のアセトアルデヒド濃度は８ｐｐｍに減少
し、さらに２４時間後（蛍光灯点灯４８時間後）では６
ｐｐｍに減少していた。Using this air circulation system, the organic matter removal performance was examined as follows. First, acetaldehyde was introduced into the air circulation system from the detection portion 67 of the gas monitor so that the concentration became 10 ppm while the fluorescent lamp 66 was not lit. Thirty minutes later, the concentration of acetaldehyde was measured. As a result, the concentration was 10 ppm, and the concentration after 24 hours was also 10 ppm. Next, the fluorescent lamp 66 was turned on, and the change with time in the concentration was measured with a gas monitor.
The acetaldehyde concentration after 24 hours was reduced to 8 ppm, and after 24 hours (after 48 hours from turning on the fluorescent lamp), the acetaldehyde concentration was 6 ppm.
ppm.
【００５７】（実施例２）エアフィルターユニットとし
て、実施例１と同じものを準備した。(Example 2) The same air filter unit as in Example 1 was prepared.
【００５８】他方、以下に示すようにしてプリーツタイ
プの通気性部材を作製した。まず、酸化チタン（平均粒
径２１ｎｍ、日本エアロジル社製、酸化チタンＰ２５）
２０重量％含有する焼結ＰＴＦＥフィルムを５倍に一軸
延伸した後、解繊装置を用い、平均繊維径２０μｍ、平
均長さ３０ｍｍの分岐を有する短繊維を作製した。つぎ
に、この端繊維をカード機を用い、目付１００ｇ／
ｍ2 、幅６００ｍｍのウエブを作製した。そして、この
ウエブを２枚のポリエチレンメッシュ（２０メッシュ、
ＮＢＣ工業社製）で挟み、プリーティングマシンで高さ
２５ｍｍの５０ピッチ折り返し加工を行い、前記エアフ
ィルターユニットの枠体とほぼ同じ寸法（６００×６０
０×２５ｍｍ）の通気性部材を得た。この通気性部材に
おいて、全体厚みは約４ｍｍであり、０．５ｍ／秒の透
過風速における圧力損失が１ｍｍＨ2Ｏである。On the other hand, a pleated type air-permeable member was manufactured as described below. First, titanium oxide (average particle diameter 21 nm, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., titanium oxide P25)
After a sintered PTFE film containing 20% by weight was uniaxially stretched 5 times, using a defibrating apparatus, short fibers having an average fiber diameter of 20 μm and an average length of 30 mm were produced. Next, using a card machine, the end fiber was weighed 100 g /
A web having an m 2 and a width of 600 mm was produced. Then, this web is made of two polyethylene meshes (20 mesh,
NBC Industrial Co., Ltd.), and subjected to a 50-pitch folding process with a height of 25 mm using a pleating machine, so that the dimensions are substantially the same as the frame of the air filter unit (600 × 60).
(0 × 25 mm). In this permeable member, the overall thickness is about 4 mm, and the pressure loss at a permeation wind speed of 0.5 m / sec is 1 mmH 2 O.
【００５９】そして、前記エアフィルターユニットの空
気流路上流側に通気性部材を配置する状態で両者を組み
合わせ、目的とする清浄空気供給装置を得た。Then, the air filter unit and the air filter unit were combined in a state where the air permeable member was disposed on the upstream side of the air flow path to obtain a desired clean air supply device.
【００６０】このようにして得られた清浄空気供給装置
について、蛍光灯６６に代えてブラックライト（ネオル
ミスーパー、１５Ｗ、三菱電気社製）２本を備えた空気
循環系（実施例１で使用）を用い、以下に示す方法で有
機物除去性能を調べた。The thus-obtained clean air supply apparatus is provided with an air circulation system (two used in Example 1) equipped with two black lights (Neorumi Super, 15W, manufactured by Mitsubishi Electric Corporation) in place of the fluorescent lamp 66. ), The organic matter removal performance was examined by the following method.
【００６１】まず、ブラックライト６６が無灯火の状態
で、ガスモニターの検知部分６７からアセトアルデヒド
を濃度が１０ｐｐｍになるように空気循環系内に導入し
た。その２４時間後、アセトアルデヒド濃度を測定した
結果、前記濃度は１０ｐｐｍであった。つぎに、２本の
ブラックライト６６を点灯して前記濃度の経時変化をガ
スモニターで測定した結果、２４時間後のアセトアルデ
ヒド濃度は９ｐｐｍに減少し、さらに２４時間後（ブラ
ックライト点灯４８時間後）では７ｐｐｍに減少し、ブ
ラックライト点灯１０００時間経過後には、アセトアル
デヒドは検出されなかった。また、ブラックライト点灯
１０００時間経過後にフィルターユニットの性能を調べ
た結果、圧力損失が１０ｍｍＨ2 Ｏ（空気透過流速条
件：０．５ｍ／秒）、捕集効率が９９．９９９９％（粒
子径０．１〜０．１２μｍＤＯＰ）であった。First, while the black light 66 was not lit, acetaldehyde was introduced into the air circulation system from the detection portion 67 of the gas monitor so that the concentration became 10 ppm. Twenty-four hours later, the concentration of acetaldehyde was measured. As a result, the concentration was 10 ppm. Next, the two black lights 66 were turned on, and the change over time in the concentration was measured by a gas monitor. As a result, the acetaldehyde concentration after 24 hours was reduced to 9 ppm, and further 24 hours later (48 hours after the black light was turned on). , The acetaldehyde was not detected after 1000 hours of black light lighting. Further, as a result of examining the performance of the filter unit 1000 hours after the black light was turned on, the pressure loss was 10 mmH 2 O (air permeation flow rate condition: 0.5 m / sec), and the collection efficiency was 99.9999% (particle size: 0. 1 to 0.12 μm DOP).
【００６２】（実施例３）通気性部材として、実施例２
と同じものを準備した。(Embodiment 3) As a permeable member, Embodiment 2
Prepared the same as.
【００６３】他方、エアフィルターユニットとして、Ｐ
Ｐエレクトレットフィルター（ニューアトモスシリー
ズ、対フッ化水素酸用ＵＬＰＡフィルター、日本無機社
製）を準備した。この性能は、以下に示すとおりであ
る。 寸法：６１０ｍｍ×６１０ｍｍ×１５０ｍｍ 圧力損失：９ｍｍＨ2 Ｏ（空気透過流速条件：０．５ｃ
ｍ／秒） 捕集効率：９９．９９９％（粒子径０．１〜０．１２μ
ＤＯＰの場合）On the other hand, as an air filter unit, P
A P electret filter (New Atmos series, ULPA filter for hydrofluoric acid, manufactured by Nippon Inorganic) was prepared. This performance is as shown below. Dimensions: 610mm × 610mm × 150mm pressure loss: 9mmH 2 O (Air permeation rate conditions: 0.5 c
m / sec) Collection efficiency: 99.999% (particle size 0.1 to 0.12 μm)
DOP)
【００６４】そして、前記エアフィルターユニットの空
気流路上流側に通気性部材を配置する状態で両者を組み
合わせ、目的とする清浄空気供給装置を得た。このよう
にして得られた清浄空気供給装置について、実施例２で
使用した空気循環系を用い、実施例２と同様の方法によ
り有機物除去性能を調べた。Then, the air filter unit and the air filter unit were combined in a state where the air permeable member was arranged on the upstream side of the air flow path to obtain a target clean air supply device. Using the air circulation system used in Example 2 for the thus obtained clean air supply device, the organic matter removal performance was examined in the same manner as in Example 2.
【００６５】すなわち、初期のアセトアルデヒド濃度が
１０ｐｐｍになるように調整し、その後、２本のブラッ
クライト６６を点灯して、アセトアルデヒド濃度の経時
変化をガスモニターで測定した。その結果、２４時間後
のアセトアルデヒド濃度は９ｐｐｍに減少し、さらに２
４時間後（ブラックライト点灯４８時間後）では８ｐｐ
ｍに減少し、ブラックライト点灯１０００時間経過後に
は、アセトアルデヒドは検出されなかった。また、ブラ
ックライト点灯１０００時間経過後にフィルターユニッ
トの性能を調べた結果、圧力損失が９ｍｍＨ2 Ｏ（空気
透過流速条件：０．５ｍ／秒）、捕集効率が９９．９９
％（粒子径０．１〜０．１２μｍＤＯＰ）であった。That is, the initial acetaldehyde concentration was adjusted to 10 ppm, and thereafter, two black lights 66 were turned on, and the change with time of the acetaldehyde concentration was measured by a gas monitor. As a result, the acetaldehyde concentration after 24 hours was reduced to 9 ppm,
8 hours after 4 hours (48 hours after lighting black light)
m, and acetaldehyde was not detected after 1000 hours of black light lighting. Also, as a result of examining the performance of the filter unit 1000 hours after the black light was turned on, the pressure loss was 9 mmH 2 O (air permeation flow rate condition: 0.5 m / sec), and the collection efficiency was 99.99
% (Particle diameter: 0.1 to 0.12 μm DOP).
【００６６】なお、この結果を、実施例２と比較する
と、ＰＴＦＥ多孔膜製フィルター濾材に用いたエアフィ
ルターユニットを使用した本発明の清浄空気供給装置
は、紫外線照射があっても、エアフィルターユニットの
性能が経時的に維持されるという効果があるといえる。The results are compared with those in Example 2. The clean air supply apparatus of the present invention using the air filter unit used for the filter medium made of a porous PTFE membrane can be used in the air filter unit even when ultraviolet irradiation is applied. It can be said that there is an effect that the performance is maintained over time.
【００６７】[0067]
【発明の効果】以上のように、本発明の清浄空気供給装
置は、光触媒機能を有する通気性部材と、浮遊微粒子除
去機能を有するエアフィルターユニットとが、空気流路
に配置されているものである。前記光触媒機能を有する
通気性部材は、光照射があれば有機物を除去することが
でき理論的にはその機能に寿命がないため、本発明の装
置は、長期間に渡ってＤＯＰ等の有機物を除去すること
ができる。また、本発明の装置では、殺菌作用も有する
ため、医療用、製薬用、食品製造用等のクリーンルーム
等のように微生物を排除する必要がある用途にも有効に
使用できる。As described above, the clean air supply apparatus according to the present invention is such that the air permeable member having the photocatalytic function and the air filter unit having the function of removing suspended particulates are arranged in the air flow path. is there. Since the air-permeable member having the photocatalytic function can remove organic substances when irradiated with light and theoretically has no life in the function, the apparatus of the present invention can remove organic substances such as DOP for a long period of time. Can be removed. Further, since the device of the present invention also has a bactericidal action, it can be effectively used for applications requiring elimination of microorganisms, such as clean rooms for medical use, pharmaceutical use, and food production.
【００６８】そして、ＰＴＦＥ多孔膜を用いたフィルタ
ー濾材は、化学的に安定であり、前記光触媒機能発現の
ための紫外線が照射等されても性能低下がなく、また不
純物の発生がなく、しかも優れたフィルター性能を有す
る。したがって、本発明の装置において、ＰＴＦＥ多孔
膜製フィルター濾材を用いれば、有機物や不純物の発生
なく長期間に渡って清浄空気を供給することができる。
このため、本発明の清浄空気供給装置を、例えば、クリ
ーンルームに適用すれば、その可動を停止することなく
清浄状態を長期間保つことができ、製品の品質向上およ
びコスト低減に寄与できる。The filter medium using the porous PTFE membrane is chemically stable, does not deteriorate even when irradiated with ultraviolet rays for expressing the photocatalytic function, does not generate impurities, and is excellent. It has good filter performance. Therefore, in the apparatus of the present invention, if a filter medium made of a porous PTFE membrane is used, clean air can be supplied for a long period of time without generating organic substances and impurities.
For this reason, if the clean air supply device of the present invention is applied to, for example, a clean room, the clean state can be maintained for a long period of time without stopping its operation, which can contribute to improvement in product quality and cost reduction.
【００６９】また、本発明の光触媒を担持するＰＴＦＥ
繊維の集合体が支持材により支持されプリーツ加工され
た通気性部材は、従来のケミカルフィルターと異なり、
長期間に渡ってガス状有機物を分解でき、殺菌作用を有
し、またプレフィルターとしての機能をも有する。した
がって、この通気性部材は、本発明の清浄空気供給装置
に用いる他、他のエアフィルターと組み合わせて使用し
たり、単独で使用しても、空気の浄化に有用である。Further, PTFE supporting the photocatalyst of the present invention
The breathable member where the aggregate of fibers is pleated and supported by the support material is different from the conventional chemical filter,
It can decompose gaseous organic substances for a long time, has a bactericidal action, and also has a function as a pre-filter. Therefore, this air-permeable member is useful for purifying air when used in the clean air supply device of the present invention, or in combination with other air filters or when used alone.
【図１】本発明の清浄空気供給措置の構成の一例を示す
断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an example of a configuration of a clean air supply measure of the present invention.
【図２】ハニカムタイプの通気性部材の一例を示す斜視
図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a honeycomb type air-permeable member.
【図３】プリーツタイプの通気性部材の一例を示す断面
図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a pleated type breathable member.
【図４】エアフィルターユニットの一例を示す斜視図で
ある。FIG. 4 is a perspective view showing an example of an air filter unit.
【図５】前記エアフィルターユニットのフィルター濾材
部分の一部断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view of a filter medium portion of the air filter unit.
【図６】フィルター濾材の構成の一例を示す断面図であ
る。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an example of a configuration of a filter medium.
【図７】空気循環系の構成を示す構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram showing a configuration of an air circulation system.
１ フィルター濾材 ２ ＰＴＦＥ多孔膜 ３、４ 通気性支持材 ５ スペーサー ６、７、８、９ 枠材 １０、１０ａ、１０ｂ 光触媒機能を有する通気性部材 １１ 水平シート １３ 湾曲シート １４ａ、１４ｂ 支持材 １５ 繊維の集合体 ２０ エアフィルターユニット ６１ ファン ６２ 変速駆動装置 ６４ 壁 ６５ グレーチング ６６ 蛍光灯 ６７ ガスモニターの検知部分 ６８ 案内板 REFERENCE SIGNS LIST 1 filter medium 2 PTFE porous membrane 3, 4 air-permeable supporting material 5 spacer 6, 7, 8, 9 frame material 10, 10a, 10b air-permeable member having photocatalytic function 11 horizontal sheet 13 curved sheet 14a, 14b supporting material 15 fiber Assembly of 20 Air filter unit 61 Fan 62 Variable speed drive 64 Wall 65 Grating 66 Fluorescent lamp 67 Detection part of gas monitor 68 Guide plate
Claims (21)
微粒子除去機能を有するエアフィルターユニットとを、
空気流路に配置した清浄空気供給装置。1. An air-permeable member having a photocatalytic function and an air filter unit having a function of removing suspended particulates,
A clean air supply device arranged in the air flow path.
フルオロエチレン多孔膜製フィルター濾材を用いたエア
フィルターユニットである請求項１記載の清浄空気供給
装置。2. The clean air supply device according to claim 1, wherein the air filter unit is an air filter unit using a filter medium made of a polytetrafluoroethylene porous membrane.
表面に光触媒を担持する通気性部材である請求項１また
は２記載の清浄空気供給装置。3. The clean air supply device according to claim 1, wherein the gas permeable member having a photocatalytic function is a gas permeable member having a photocatalyst carried on its surface.
の清浄空気供給装置。4. The clean air supply device according to claim 3, wherein the photocatalyst is titanium oxide.
項１〜４のいずれか一項に記載の清浄空気供給装置。5. The clean air supply device according to claim 1, wherein the air-permeable member has a honeycomb structure.
素樹脂繊維および無機繊維からなる群から選択された少
なくとも一つの繊維を用いたペーパーをハニカム構造に
形成した通気性部材である請求項５記載の清浄空気供給
装置。6. The air permeable member according to claim 5, wherein the air permeable member is formed by forming a paper using at least one fiber selected from the group consisting of a polyester fiber, a fluororesin fiber and an inorganic fiber into a honeycomb structure. Clean air supply device.
集合体が支持材により支持された通気性部材である請求
項１〜４のいずれか一項に記載の清浄空気供給装置。7. The clean air supply device according to claim 1, wherein the gas permeable member is a gas permeable member in which an aggregate of fibers supporting a photocatalyst is supported by a support material.
繊維および無機繊維からなる群から選択された少なくと
も一つの繊維である請求項７記載の清浄空気供給装置。8. The clean air supply device according to claim 7, wherein the fibers are at least one fiber selected from the group consisting of polyester fibers, fluororesin fibers, and inorganic fibers.
集合体が支持材により支持されプリーツ加工された通気
性部材である請求項７または８記載の清浄空気供給装
置。9. The clean air supply device according to claim 7, wherein the air permeable member is a pleated air permeable member in which an aggregate of fibers carrying a photocatalyst is supported by a support material.
不織布からなる群から選択された少なくとも一つである
請求項７〜９のいずれか一項に記載の清浄空気供給装
置。10. The clean air supply device according to claim 7, wherein the aggregate of fibers is at least one selected from the group consisting of a web, a woven fabric, and a nonwoven fabric.
ロエチレン繊維であり、その繊維形状が、幹繊維から枝
繊維が分岐した形状である請求項８〜１０のいずれか一
項に記載の清浄空気供給装置。11. The clean air supply according to claim 8, wherein the fluororesin fiber is a polytetrafluoroethylene fiber, and the fiber shape is a shape in which a branch fiber is branched from a trunk fiber. apparatus.
１〜１１のいずれか一項に記載の清浄空気供給装置。12. The clean air supply device according to claim 1, wherein the permeable member includes a gas adsorbent.
が、ポリテトラフルオロエチレンが繊維化され相互に絡
み合った延伸多孔膜である請求項２〜１２のいずれか一
項に記載の清浄空気供給装置。13. The clean air supply device according to claim 2, wherein the polytetrafluoroethylene porous membrane is a stretched porous membrane in which polytetrafluoroethylene is fiberized and entangled with each other.
めに設置する請求項１に記載の清浄空気供給装置。14. The clean air supply device according to claim 1, which is installed to create an environmental space for manufacturing an electronic device.
エチレン繊維の集合体が支持材により支持されプリーツ
加工された通気性部材。15. A pleated air-permeable member in which an aggregate of polytetrafluoroethylene fibers supporting a photocatalyst is supported by a support material.
不織布からなる群から選択された少なくとも一つである
請求項１５記載の通気性部材。16. The breathable member according to claim 15, wherein the aggregate of fibers is at least one selected from the group consisting of a web, a woven fabric, and a nonwoven fabric.
幹繊維から枝繊維が分岐した形状である請求項１５また
は１６記載の通気性部材。17. The polytetrafluoroethylene fiber,
17. The air-permeable member according to claim 15, wherein the branch fiber has a shape in which a branch fiber is branched from a trunk fiber.
いずれか一項に記載の通気性部材。18. The permeable member according to claim 15, which is housed in a frame.
失が１０ｍｍＨ2 Ｏ以下である請求項１５〜１８のいず
れか一項に記載の通気性部材。19. The air-permeable member according to claim 15, wherein a pressure loss at a passing air velocity of 0.5 m / sec is 10 mmH 2 O or less.
る請求項１５〜１９のいずれか一項に記載の通気性部
材。20. The gas-permeable member according to claim 15, wherein the photocatalyst is an anatase-type titanium oxide.
求項１５〜２０のいずれか一項に記載の通気性部材。21. The gas-permeable member according to claim 15, which carries a gas adsorbent in addition to the photocatalyst.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9110268A JPH10286437A (en) | 1997-04-12 | 1997-04-12 | Clean air supply device and air-permeable member used for the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9110268A JPH10286437A (en) | 1997-04-12 | 1997-04-12 | Clean air supply device and air-permeable member used for the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10286437A true JPH10286437A (en) | 1998-10-27 |
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ID=14531386
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9110268A Pending JPH10286437A (en) | 1997-04-12 | 1997-04-12 | Clean air supply device and air-permeable member used for the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10286437A (en) |
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-
1997
- 1997-04-12 JP JP9110268A patent/JPH10286437A/en active Pending
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