JPH10282426A - Laser microscope - Google Patents
Laser microscopeInfo
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- JPH10282426A JPH10282426A JP9098181A JP9818197A JPH10282426A JP H10282426 A JPH10282426 A JP H10282426A JP 9098181 A JP9098181 A JP 9098181A JP 9818197 A JP9818197 A JP 9818197A JP H10282426 A JPH10282426 A JP H10282426A
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- laser
- light
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ顕微鏡に関
し、特に常に適正な光量で観察を行うことができるレー
ザ顕微鏡に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser microscope, and more particularly, to a laser microscope capable of always performing observation with an appropriate amount of light.
【0002】[0002]
【従来の技術】図3は従来のレーザ顕微鏡のレーザ光の
調光方法を説明するブロック構成図である。2. Description of the Related Art FIG. 3 is a block diagram illustrating a method for adjusting a laser beam of a conventional laser microscope.
【0003】このレーザ顕微鏡は、互いに波長が異なる
複数のレーザ光を射出するレーザ光源110と、このレ
ーザ光源110の前側に配置された励起フィルタ111
と、レーザ光源110から射出されたレーザ光を反射す
る全反射ミラー112と、レーザ光の光量を検出するシ
リコン・フォト・ダイオード(以下SPDと称する)1
13と、このSPD113へレーザ光を導く平行平面ガ
ラス114と、この平行平面ガラス114と全反射ミラ
ー112との間の光路L上に配置されたNDフィルタ1
15と、このNDフィルタ115と平行平面ガラス11
4との光路L上に開閉可能に配置されたシャッタ116
と、SPD113の受光出力を増幅するアンプ117
と、その出力をA/D変換によってデジタル化するA/
D変換器118と、演算等の処理を行うCPU140
と、CPU140で処理された結果等を表示する光量モ
ニタ143とを備える。The laser microscope includes a laser light source 110 for emitting a plurality of laser beams having different wavelengths, and an excitation filter 111 disposed in front of the laser light source 110.
A total reflection mirror 112 for reflecting laser light emitted from the laser light source 110, and a silicon photodiode (hereinafter referred to as SPD) 1 for detecting the amount of laser light.
13, a parallel plane glass 114 for guiding a laser beam to the SPD 113, and an ND filter 1 arranged on an optical path L between the parallel plane glass 114 and the total reflection mirror 112.
15, the ND filter 115 and the plane-parallel glass 11
Shutter 116 that can be opened and closed on the optical path L with the shutter 4
And an amplifier 117 for amplifying a light receiving output of the SPD 113
A / D which digitizes the output by A / D conversion
D converter 118 and CPU 140 for performing processing such as arithmetic
And a light amount monitor 143 for displaying a result processed by the CPU 140 and the like.
【0004】図4は従来の他のレーザ顕微鏡のレーザ光
の調光方法を説明するブロック構成図であり、図3のレ
ーザ顕微鏡と同一部分には同一符号を付す。FIG. 4 is a block diagram illustrating a method for adjusting the laser light of another conventional laser microscope. The same reference numerals are given to the same parts as those of the laser microscope of FIG.
【0005】このレーザ顕微鏡は、互いに波長が異なる
複数のレーザ光を射出するレーザ光源110と、このレ
ーザ光源110の前側に配置された励起フィルタ111
と、レーザ光源110とは異なる波長のレーザ光を出射
するレーザ光源120と、レーザ光源120から射出さ
れたレーザ光を反射する全反射ミラー121と、レーザ
光源110から出射されたレーザ光を反射し、レーザ光
源120から出射されたレーザ光を透過するダイクロイ
ックミラー122と、励起フィルタ111とダイクロイ
ックミラー122との間の光路上に矢印aで示すように
挿入可能に配置されたNDフィルタ123と、レーザ光
の光量を検出するSPD113と、このSPD113へ
レーザ光を導く平行平面ガラス114と、この平行平面
ガラス114とダイクロイックミラー122との間の光
路上に配置されたNDフィルタ115と、このNDフィ
ルタ115と平行平面ガラス114との光路上に開閉可
能に配置されたシャッタ116と、SPD113の受光
出力を増幅するアンプ117と、その出力をA/D変換
によってデジタル化するA/D変換器118と、演算等
の処理を行うCPU140と、CPU140で処理され
た結果を表示する光量モニタ143とを備える。The laser microscope includes a laser light source 110 for emitting a plurality of laser beams having different wavelengths, and an excitation filter 111 disposed in front of the laser light source 110.
A laser light source 120 that emits laser light having a wavelength different from that of the laser light source 110, a total reflection mirror 121 that reflects the laser light emitted from the laser light source 120, and a laser light that reflects the laser light emitted from the laser light source 110. A dichroic mirror 122 that transmits the laser light emitted from the laser light source 120, an ND filter 123 that can be inserted into the optical path between the excitation filter 111 and the dichroic mirror 122 as shown by an arrow a, and a laser. SPD 113 for detecting the amount of light, parallel plane glass 114 for guiding laser light to SPD 113, ND filter 115 arranged on the optical path between parallel plane glass 114 and dichroic mirror 122, and ND filter 115 A glass plate that is openably and closably disposed on the optical path between , An amplifier 117 for amplifying the received light output of the SPD 113, an A / D converter 118 for digitizing the output by A / D conversion, a CPU 140 for performing processing such as computation, and a result processed by the CPU 140. And a light quantity monitor 143 for displaying
【0006】上記いずれのレーザ顕微鏡においても、S
PD113で検出された光量をモニタ143に表示し、
この光量に基づいて光路内に配置された透過率固定又は
連続可変のNDフィルタ115で光量を調整することで
調光が行われる。[0006] In any of the above laser microscopes, S
The amount of light detected by the PD 113 is displayed on the monitor 143,
Dimming is performed by adjusting the light amount with a fixed or continuously variable ND filter 115 arranged in the optical path based on this light amount.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、図3のレーザ
顕微鏡の場合、光量モニタ143に表示された値を基に
レーザ光を変える度にNDフィルタ115を操作しなけ
ればならず、レーザ光の調光は手間のかかる煩わしいも
のであった。However, in the case of the laser microscope shown in FIG. 3, the ND filter 115 must be operated every time the laser light is changed based on the value displayed on the light amount monitor 143. Dimming was troublesome and troublesome.
【0008】また、図3のレーザ顕微鏡のように複数の
光源を用いて多重励起を行う場合、1つのNDフィルタ
115及び1つの光量モニタ143を用いて調光を行っ
ているので、各レーザ光源110,120から出射され
た波長の異なる励起光が同じNDフィルタ115で調光
されることになる。In the case of performing multiple excitation using a plurality of light sources as in the laser microscope of FIG. 3, since the dimming is performed using one ND filter 115 and one light amount monitor 143, each laser light source is used. Excitation lights having different wavelengths emitted from 110 and 120 are modulated by the same ND filter 115.
【0009】したがって、レーザ光の出射出力がかなり
異なるレーザ光の組合せの場合には、各レーザ光の出射
出力の差に応じて、例えばディスクリートNDフィルタ
123を出射出力の大きなレーザ光源の光路上に挿入し
て各レーザ光の出力バランスをとる必要がある。Therefore, in the case of a combination of laser beams whose emission outputs are considerably different, for example, the discrete ND filter 123 is placed on the optical path of a laser light source having a large emission output according to the difference between the emission outputs of the respective laser beams. It is necessary to insert and balance the output of each laser beam.
【0010】また、長期間の使用によってレーザ光源1
10,120の出力が落ちてきた場合には、光の透過強
度の異なる別のNDフィルタ123を用い、適正光量が
得られるようにする。[0010] Further, the laser light source 1
When the outputs of the filters 10 and 120 decrease, another ND filter 123 having a different light transmission intensity is used so that an appropriate amount of light can be obtained.
【0011】そのため、複数のレーザ光源を用いて多重
励起を行う場合、レーザ光の調光はやはり手間のかかる
煩わしいものであった。Therefore, when multiple excitation is performed using a plurality of laser light sources, dimming of the laser light is also troublesome and troublesome.
【0012】これに対し、レーザ光源毎にSPD113
や光量モニタ143を設けて対処することもできるが、
光路が複雑化するととともに、顕微鏡が大型化し高価に
なってしまう。On the other hand, for each laser light source, the SPD 113
And a light amount monitor 143 can be provided to cope with this.
The optical path becomes complicated, and the microscope becomes large and expensive.
【0013】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は煩雑な操作を必要とせずに複数の
レーザ光のそれぞれを適正光量にすることができるとと
もに、複数のレーザ光の出力バランスを適正にすること
ができ、しかも安価なレーザ顕微鏡を提供することであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and a problem thereof is that it is possible to set each of a plurality of laser beams to an appropriate light amount without requiring a complicated operation, and to reduce the number of laser beams. An object of the present invention is to provide an inexpensive laser microscope that can make the output balance appropriate.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1記載の発明のレーザ顕微鏡は、互いに波長が
異なる複数のレーザ光を出射する少なくとも1つの光源
と、レーザ光の適正光量に関するデータを記憶する記憶
手段と、複数のレーザ光の各々の光量を個別に調整可能
な調整手段と、複数のレーザ光のうちの少なくとも1つ
のレーザ光の光量を検出するための検出手段と、検出手
段から得られる検出信号に基づいて、複数のレーザ光の
各々の光量が記憶手段に記憶された適正光量となるよう
に、調整手段を制御する制御手段とを備えることを特徴
とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser microscope, comprising: at least one light source for emitting a plurality of laser beams having different wavelengths; Storage means for storing data; adjusting means for individually adjusting the light amounts of the plurality of laser lights; detecting means for detecting the light amount of at least one of the plurality of laser lights; Control means for controlling the adjusting means based on the detection signal obtained from the means so that the light quantity of each of the plurality of laser beams becomes an appropriate light quantity stored in the storage means.
【0015】検出手段から得られる検出信号に基づい
て、複数のレーザ光の各々の光量が記憶手段に記憶され
た適正光量となるように、調整手段が制御されるので、
複数のレーザ光の多重励起を行う場合、煩雑な操作を必
要とせずに各レーザ光を適正光量にすることができると
ともに、複数のレーザ光の出力バランスを適正にするこ
とができる。The adjusting means is controlled based on the detection signal obtained from the detecting means so that the respective light amounts of the plurality of laser beams become the appropriate light amounts stored in the storage means.
When multiple excitation of a plurality of laser beams is performed, each laser beam can be set to an appropriate light amount without a complicated operation, and the output balance of the plurality of laser beams can be adjusted appropriately.
【0016】請求項2記載の発明のレーザ顕微鏡は、請
求項1記載のレーザ顕微鏡において、複数のレーザ光が
それぞれ単独で通過する複数の分割光路と、複数の分割
光路のレーザ光の全てが合成されて通過する主光路とを
備え、複数の分割光路の全て又は1つを除いた光路には
遮光手段が配置され、主光路には主光路を通過するレー
ザ光の光量を検出する1つの検出器が配置されているこ
とを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided the laser microscope according to the first aspect, wherein a plurality of divided optical paths through which the plurality of laser beams pass independently, and all of the laser beams in the plurality of divided optical paths are combined. A light path excluding all or one of the plurality of divided light paths, and a light detecting means for detecting the amount of laser light passing through the main light path in the main light path. The container is arranged.
【0017】1つの検出器によって主光路を通過するレ
ーザ光の光量を検出するので、光路の簡略化を図ること
ができる。したがって、顕微鏡の小型化やコストダウン
を図ることができる。Since the light amount of the laser beam passing through the main optical path is detected by one detector, the optical path can be simplified. Therefore, the size and cost of the microscope can be reduced.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0019】図1はこの発明の第1実施形態に係るレー
ザ顕微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成
図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a method for adjusting a laser beam of a laser microscope according to a first embodiment of the present invention.
【0020】このレーザ顕微鏡1は、レーザ光源10
と、励起フィルタ11と、NDフィルタ(調整手段)1
2と、レーザ光源20と、NDフィルタ(調整手段)2
1と、全反射ミラー22と、シャッタ23と、ダイクロ
イックミラー31と、シャッタ32と、平行平面ガラス
33と、シリコンフォトダイオード(受光手段)34
(以下「SPD」と記す)と、アンプ35と、A/D変
換器36と、CPU(制御手段)40と、ROM(記憶
手段)41と、RAM42と、光量モニタ43とを備え
る。シャッタ23と、ダイクロイックミラー31と、シ
ャッタ32と、平行平面ガラス33と、SPD34とで
検出手段が構成される。The laser microscope 1 has a laser light source 10
, Excitation filter 11, and ND filter (adjustment means) 1
2, laser light source 20, ND filter (adjustment means) 2
1, a total reflection mirror 22, a shutter 23, a dichroic mirror 31, a shutter 32, a plane parallel glass 33, and a silicon photodiode (light receiving means) 34
(Hereinafter referred to as “SPD”), an amplifier 35, an A / D converter 36, a CPU (control means) 40, a ROM (storage means) 41, a RAM 42, and a light amount monitor 43. The shutter 23, the dichroic mirror 31, the shutter 32, the plane parallel glass 33, and the SPD 34 constitute a detecting unit.
【0021】レーザ光源10として、可視光レーザの中
で最も出力が大きく、青色、緑色を中心とした複数の波
長のレーザ光を発振できるArレーザを用いる。ここで
は、波長λが488nm及び514nmの2つの波長の
レーザ光を出射する空冷Arレーザを用いる。As the laser light source 10, an Ar laser having the largest output among visible light lasers and capable of oscillating laser light of a plurality of wavelengths centering on blue and green is used. Here, an air-cooled Ar laser that emits laser light having two wavelengths of 488 nm and 514 nm is used.
【0022】励起フィルタ11は円盤状の励起フィルタ
ホイール11Aに配置され、この励起フィルタホイール
11Aをモータ13によって回転させることで、分割光
路L1上に励起フィルタ11を位置させることができ
る。The excitation filter 11 is arranged on a disk-shaped excitation filter wheel 11A. By rotating the excitation filter wheel 11A by a motor 13, the excitation filter 11 can be positioned on the divided optical path L1.
【0023】励起フィルタホイール11Aは遮光材でで
きており、励起フィルタ11を通る光だけを透過させ
る。モータ13の駆動はCPU40によって制御され
る。励起フィルタ11は、例えば波長λが488nm及
び514nmの光だけを透過させる特性を有する。The excitation filter wheel 11A is made of a light shielding material, and transmits only light passing through the excitation filter 11. The driving of the motor 13 is controlled by the CPU 40. The excitation filter 11 has a property of transmitting only light having a wavelength λ of 488 nm and 514 nm, for example.
【0024】NDフィルタ12は透過する光の減衰を目
的とするものである。このNDフィルタ12として、モ
ータ14を用いて光の透過位置を変化させることによっ
て透過率を変えることができる、透過率可変のものを用
いる。The ND filter 12 is for attenuating transmitted light. As the ND filter 12, a variable transmittance filter that can change the transmittance by changing the light transmission position using a motor 14 is used.
【0025】レーザ光源20にHe−Neレーザを用
い、波長λが543.5nmの光を出射する。A He—Ne laser is used as the laser light source 20 to emit light having a wavelength λ of 543.5 nm.
【0026】NDフィルタ21はNDフィルタ12と同
じ構成とし、このNDフィルタ21の光の透過位置をモ
ータ24を用いて可変とする。The ND filter 21 has the same configuration as the ND filter 12, and the light transmission position of the ND filter 21 is made variable using a motor 24.
【0027】なお、モータ14,24の駆動はCPU4
0からの指令によって制御される。The motors 14 and 24 are driven by the CPU 4
It is controlled by a command from 0.
【0028】シャッタ23はHe−Neレーザの分割光
路L2中に配置され、モータ25によって開閉される。The shutter 23 is arranged in the divided optical path L2 of the He-Ne laser, and is opened and closed by a motor 25.
【0029】また、シャッタ32はArレーザ及びHe
−Neレーザの主光路L3中に配置され、モータ37に
よって開閉される。The shutter 32 has an Ar laser and He
It is arranged in the main optical path L3 of the -Ne laser and is opened and closed by the motor 37.
【0030】なお、モータ25及びモータ37のそれぞ
れの駆動はCPU40からの指令によって制御される。The driving of each of the motor 25 and the motor 37 is controlled by a command from the CPU 40.
【0031】全反射ミラー22はレーザ光源20から出
射されたHe−Neレーザを反射させ、ダイクロイック
ミラー31はレーザ光源20から出射されたHe−Ne
レーザを透過し、レーザ光源10から出射されたArレ
ーザを反射させる。The total reflection mirror 22 reflects the He-Ne laser emitted from the laser light source 20, and the dichroic mirror 31 reflects the He-Ne laser emitted from the laser light source 20.
The laser transmits the laser and reflects the Ar laser emitted from the laser light source 10.
【0032】平行平面ガラス33は主光路L3中に配置
され、レーザ光を反射する。The parallel flat glass 33 is disposed in the main optical path L3, and reflects the laser light.
【0033】SPD34は平行平面ガラス33で反射さ
れたレーザ光を受光し、受光量に相当する電気信号に変
換し出力する。The SPD 34 receives the laser beam reflected by the parallel plane glass 33, converts the laser beam into an electric signal corresponding to the amount of received light, and outputs the electric signal.
【0034】アンプ35はこの電気信号を増幅し、A/
D変換器36はアンプ35の出力信号をデジタル信号に
変換する。The amplifier 35 amplifies this electric signal, and A / A
The D converter 36 converts an output signal of the amplifier 35 into a digital signal.
【0035】ROM41には複数のレーザ光の光量バラ
ンスや試料に対する個々のレーザ光の適正光量a,bに
関するデータ等が記憶されている。The ROM 41 stores data on the light amount balance of a plurality of laser lights, data on the appropriate light amounts a and b of the individual laser lights for the sample, and the like.
【0036】CPU40はA/D変換器36、ROM4
1及びRAM42に基づいて後述する演算処理等を行
う。The CPU 40 comprises an A / D converter 36, a ROM 4
1 and the RAM 42 to perform arithmetic processing and the like described later.
【0037】次に上記レーザ顕微鏡の光量調整時の動作
を説明する。Next, the operation of the laser microscope when adjusting the light quantity will be described.
【0038】まず、画像を取得する前に、シャッタ32
を閉じて主光路L3を遮断し、SPD34の零点調整を
行う。First, before acquiring an image, the shutter 32
Is closed to block the main optical path L3, and the zero point adjustment of the SPD 34 is performed.
【0039】次に、例えば励起フィルタホイール11A
を回転させて励起フィルタ11を閉じるとともに、シャ
ッタ23及びシャッタ32をそれぞれ開き、レーザ光源
20から出射され、分割光路L2及び主光路L3を通る
He−Neレーザ光だけをSPD34で受光する。Next, for example, the excitation filter wheel 11A
Is rotated to close the excitation filter 11, the shutter 23 and the shutter 32 are opened, respectively, and the SPD 34 receives only the He-Ne laser light emitted from the laser light source 20 and passing through the split optical path L <b> 2 and the main optical path L <b> 3.
【0040】このとき、光量が適正光量aとなるように
モータ24を駆動してNDフィルタ21を動かし、レー
ザ光源20の調光を行なう。適正光量aはオペレータが
図示しない入力装置から入力しておいてもよいし、RO
M41やデータベース(図示せず)に登録してある過去
の実験データから呼出してもよい。At this time, the motor 24 is driven to move the ND filter 21 so that the light amount becomes the appropriate light amount a, and the light of the laser light source 20 is adjusted. The appropriate light amount a may be input by an operator from an input device (not shown),
It may be called from past experimental data registered in M41 or a database (not shown).
【0041】調光後の光量aをHe−Neレーザ光の出
力としてRAM42に記憶する。The light quantity a after the light control is stored in the RAM 42 as the output of the He-Ne laser light.
【0042】次に、励起フィルタホイール11Aを回転
させて励起フィルタ11を光路上に挿入し、光源10か
ら出射されたArレーザ光も分割光路L1及び主光路L
3を通りSPD34で受光できるようにする。Next, the excitation filter wheel 11A is rotated to insert the excitation filter 11 on the optical path, and the Ar laser light emitted from the light source 10 also splits the divided optical path L1 and the main optical path L1.
3 so that the light can be received by the SPD 34.
【0043】そのため、SPD34ではHe−Neレー
ザ光とArレーザ光とを合成した光量cが検出される。Therefore, the SPD 34 detects a light quantity c obtained by combining the He-Ne laser light and the Ar laser light.
【0044】CPU40では、SPD34で受光した光
量cからHe−Neレーザの光量aを減算してArレー
ザの光量を求め、適正光量bとなるようにモータ14を
駆動してNDフィルタ12を動かし、適正光量bをRA
M42に記憶させるとともに、光量モニタ43に表示さ
せる。In the CPU 40, the light amount a of the He-Ne laser is subtracted from the light amount c received by the SPD 34 to obtain the light amount of the Ar laser, and the ND filter 12 is moved by driving the motor 14 so that the appropriate light amount b is obtained. RA
It is stored in M42 and displayed on the light amount monitor 43.
【0045】その後、光量を変えたい場合には、NDフ
ィルタを片方ずつ駆動し、その都度光量cの増減から駆
動させたNDフィルタに対応する光量を演算し、演算結
果をRAM42に記憶させるとともに、光量モニタ43
に表示する。Thereafter, when it is desired to change the light amount, the ND filters are driven one by one, and the light amount corresponding to the driven ND filter is calculated from the increase and decrease of the light amount c each time, and the calculation result is stored in the RAM 42. Light intensity monitor 43
To be displayed.
【0046】この実施形態によれば、1つのSPD34
と1つの光量モニタ43で複数のレーザ光の調光を自動
的に行うことができるので、レーザ出力が大きく異なる
ときでもNDフィルタの交換等の煩雑な操作を必要とせ
ずにレーザ光を適正光量とすることができるとともに、
レーザ光の出力バランスを適正にすることができ、同時
に光路を簡素化でき、顕微鏡を小型化して安価とするこ
とができる。According to this embodiment, one SPD 34
And a single light amount monitor 43 can automatically adjust the dimming of a plurality of laser lights. Therefore, even when the laser outputs are greatly different, the laser light can be adjusted to the appropriate light amount without requiring complicated operations such as replacement of an ND filter. And,
The output balance of the laser beam can be made appropriate, the optical path can be simplified, and the microscope can be reduced in size and inexpensive.
【0047】なお、調光は上記方法に限定されるもので
はなく、まずシャッタ23を閉じてレーザ光源10の調
光を行い、次に励起フィルタ11を閉じるとともに、シ
ャッタ23を開けてレーザ光源20の調光を行うように
してもよい。The light control is not limited to the above method. First, the shutter 23 is closed to perform light control of the laser light source 10, and then the excitation filter 11 is closed and the shutter 23 is opened to open the laser light source 20. May be performed.
【0048】上記第1実施形態ではレーザ光源が2つの
場合で説明したが、3つ以上の光源の場合においても適
用できる。また、制御手段としてはCPU40でなく、
ROM41やRAM42を含むマイコンであってもよ
い。Although the first embodiment has been described in connection with the case where there are two laser light sources, the present invention can be applied to a case where there are three or more light sources. Also, the control means is not the CPU 40,
A microcomputer including a ROM 41 and a RAM 42 may be used.
【0049】図2はこの発明の第2実施形態に係るレー
ザ顕微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成
図であり、図1のレーザ顕微鏡と同一部分については同
一符号を付しその説明を省略する。FIG. 2 is a block diagram illustrating a method for adjusting the laser light of a laser microscope according to a second embodiment of the present invention. The same parts as those of the laser microscope of FIG. Is omitted.
【0050】このレーザ顕微鏡50は、レーザ光源60
と、励起フィルタ61と、ダイクロイックミラー62,
63と、NDフィルタ(調整手段)64,65と、シャ
ッタ66,67と、全反射ミラー68,69と、シャッ
タ32と、平行平面ガラス33と、SPD(受光手段)
34と、アンプ35と、A/D変換器36と、CPU
(制御手段)40と、ROM(記憶手段)41と、RA
M42と、光量モニタ43とを備える。シャッタ66,
67と、ダイクロイックミラー62,63と、シャッタ
32と、平行平面ガラス33と、SPD34とで検出手
段が構成される。The laser microscope 50 includes a laser light source 60
, An excitation filter 61, a dichroic mirror 62,
63, ND filters (adjustment means) 64, 65, shutters 66, 67, total reflection mirrors 68, 69, shutter 32, parallel flat glass 33, SPD (light receiving means)
34, an amplifier 35, an A / D converter 36, and a CPU
(Control means) 40, ROM (storage means) 41, RA
M42 and a light amount monitor 43 are provided. Shutter 66,
67, dichroic mirrors 62 and 63, shutter 32, plane-parallel glass 33, and SPD 34 constitute detection means.
【0051】レーザ光源60は、複数の波長のレーザ光
を出射できる。このレーザ光源60としては、例えば波
長λが488nm,568nm及び647nmで光量の
ピークを有するレーザ光を出射するクリプトン・アルゴ
ンイオンレーザが用いられる。The laser light source 60 can emit laser light having a plurality of wavelengths. As the laser light source 60, for example, a krypton / argon ion laser that emits laser light having wavelengths 488 nm, 568 nm, and 647 nm and peaks in light amount is used.
【0052】励起フィルタ61はCPU40によって制
御され、例えば波長λが488nm及び568nmの光
だけを透過させる特性を有する。The excitation filter 61 is controlled by the CPU 40 and has a characteristic of transmitting only light having a wavelength λ of 488 nm and 568 nm, for example.
【0053】ダイクロイックミラー62,63は波長λ
=488nmのレーザ光を反射し、波長λ=568nm
のレーザ光を透過させる。The dichroic mirrors 62 and 63 have a wavelength λ.
= 488 nm laser light, wavelength λ = 568 nm
Is transmitted.
【0054】NDフィルタ64,65は透過する光の減
衰を目的とするものである。このNDフィルタ64、6
5として、モータ64A,65Aを用いて光の透過位置
を変化させることによって透過率を変えることができ
る、透過率可変のものを用いる。The ND filters 64 and 65 are intended to attenuate transmitted light. These ND filters 64 and 6
As 5, a variable transmittance that can change the transmittance by changing the light transmission position using the motors 64 </ b> A and 65 </ b> A is used.
【0055】なお、モータ64A,65Aの駆動はCP
U40からの指令によって制御される。The motors 64A and 65A are driven by CP
It is controlled by a command from U40.
【0056】シャッタ66はNDフィルタ64とともに
波長λ=568nmのレーザ光が通る分割光路L5中に
配置され、モータ66Aによって開閉される。The shutter 66, together with the ND filter 64, is disposed in the divided optical path L5 through which the laser light having the wavelength λ = 568 nm passes, and is opened and closed by a motor 66A.
【0057】また、シャッタ67はNDフィルタ65と
ともに波長λ=488nmのレーザ光が通る分割光路L
4中に配置され、モータ67Aによって開閉される。Further, the shutter 67, together with the ND filter 65, has a split optical path L through which a laser beam having a wavelength λ = 488 nm passes.
4 and is opened and closed by a motor 67A.
【0058】なお、モータ66A,67Aの駆動はCP
U40からの指令によって制御される。The motors 66A and 67A are driven by CP
It is controlled by a command from U40.
【0059】全反射ミラー68,69は分割光路L4中
に配置され、ダイクロイックミラー62で反射された波
長λ=488nmのレーザ光をNDフィルタ65及びシ
ャッタ67を介してダイクロイックミラー63へ導く。The total reflection mirrors 68 and 69 are disposed in the split optical path L4, and guide the laser light having a wavelength λ = 488 nm reflected by the dichroic mirror 62 to the dichroic mirror 63 via the ND filter 65 and the shutter 67.
【0060】次に上記レーザ顕微鏡の光量調整時の動作
を説明する。Next, the operation of the laser microscope when adjusting the light quantity will be described.
【0061】まず、画像を取得する前に、シャッタ32
を閉じて主光路L6を遮断し、SPD(受光手段)34
の零点調整を行う。First, before acquiring an image, the shutter 32
To close the main optical path L6, and the SPD (light receiving means) 34
Adjust the zero point of.
【0062】次に、例えばシャッタ66を閉じるととも
に、シャッタ67及びシャッタ32をそれぞれ開き、分
割光路L4及び主光路L6を通る波長λ=488nmの
レーザ光だけをSPD34で受光する。Next, for example, the shutter 66 is closed, the shutter 67 and the shutter 32 are opened, and only the laser beam having a wavelength λ = 488 nm passing through the divided optical path L4 and the main optical path L6 is received by the SPD 34.
【0063】このとき、光量が適正光量aとなるように
モータ65Aを駆動してNDフィルタ65を動かし、調
光を行なう。適正光量aはオペレータが図示しない入力
装置から入力しておいてもよいし、ROM41やデータ
ベース(図示せず)に登録してある過去の実験データか
ら呼出してもよい。At this time, the motor 65A is driven to move the ND filter 65 so that the light amount becomes the appropriate light amount a, and light control is performed. The appropriate amount of light a may be input by an operator from an input device (not shown), or may be called from past experimental data registered in the ROM 41 or a database (not shown).
【0064】調光後の光量aを波長λ=488nmのレ
ーザ光の光量としてRAM42に記憶させる。The light amount a after the light adjustment is stored in the RAM 42 as the light amount of the laser light having the wavelength λ = 488 nm.
【0065】次に、シャッタ66を開き、波長λ=56
8nmのレーザ光もSPD34で受光できるようにす
る。Next, the shutter 66 is opened, and the wavelength λ = 56.
The SPD 34 can also receive 8 nm laser light.
【0066】そのため、SPD34ではNDフィルタ6
5で調光された波長λ=488nmのレーザ光とNDフ
ィルタ64で調光された波長λ=568nmのレーザ光
とを合成した光量cが検出される。Therefore, in the SPD 34, the ND filter 6
The light amount c obtained by combining the laser light having the wavelength λ = 488 nm adjusted in 5 and the laser light having the wavelength λ = 568 nm adjusted by the ND filter 64 is detected.
【0067】CPU40では、SPD34で受光した光
量cから波長λ=488nmのレーザ光の光量aを減算
して波長λ=568nmのレーザ光の光量を求め、適正
光量bとなるようにモータ64Aを駆動してNDフィル
タ64を動かし、適正光量bをRAM42に記憶すると
ともに、光量モニタ43に表示する。The CPU 40 obtains the light quantity of the laser light having the wavelength λ = 568 nm by subtracting the light quantity a of the laser light having the wavelength λ = 488 nm from the light quantity c received by the SPD 34, and drives the motor 64 A so that the appropriate light quantity b is obtained. Then, the ND filter 64 is moved, and the appropriate light amount b is stored in the RAM 42 and displayed on the light amount monitor 43.
【0068】その後、光量を変えたい場合には、NDフ
ィルタを片方づつ駆動し、その都度光量cの増減から駆
動させたNDフィルタに対応する光量を演算し、演算結
果をRAM42に記憶させるとともに、光量モニタ43
に表示する。Thereafter, when it is desired to change the light amount, the ND filters are driven one by one, and each time, the light amount corresponding to the driven ND filter is calculated from the increase and decrease of the light amount c, and the calculation result is stored in the RAM 42. Light intensity monitor 43
To be displayed.
【0069】この第2実施形態によれば、第1実施形態
と同様の効果を発揮できる。According to the second embodiment, the same effects as in the first embodiment can be exhibited.
【0070】なお、この第2実施形態においても調光方
法は上記方法に限定されるものではなく、先ずシャッタ
67を閉じるとともに、シャッタ66を開けてて波長λ
=568nmのレーザ光の調光を行い、次にシャッタ6
6を閉じるとともに、シャッタ67を開けて波長λ=4
88nmのレーザ光の調光を行うようにしてもよい。In the second embodiment, the dimming method is not limited to the above method. First, the shutter 67 is closed and the shutter 66 is opened to set the wavelength λ.
= 568 nm laser light, then shutter 6
6 and the shutter 67 is opened, and the wavelength λ = 4
The dimming of the 88 nm laser light may be performed.
【0071】上記第2実施形態では2つの波長のレーザ
光の場合で説明したが、3つ以上の波長の場合において
も同様に適用できる。また、制御手段としてはCPU4
0でなく、ROM41やRAM42を含むマイコンであ
ってもよいことは第1実施形態と同様である。In the second embodiment, the description has been given of the case of laser light of two wavelengths, but the present invention can be similarly applied to the case of three or more wavelengths. The control means is a CPU 4
A microcomputer including a ROM 41 and a RAM 42 instead of 0 may be the same as in the first embodiment.
【0072】[0072]
【発明の効果】以上に説明したように請求項1記載の発
明のレーザ顕微鏡によれば、複数のレーザ光の多重励起
を行う場合、煩雑な操作を必要とせずに各レーザ光を適
正光量にすることができるとともに、複数のレーザ光の
出力バランスを適正にすることができる。そのため、常
に適正光量で観察を行うことができる。As described above, according to the laser microscope of the first aspect of the present invention, when performing multiple excitation of a plurality of laser beams, each laser beam can be adjusted to an appropriate amount without complicated operation. And the output balance of the plurality of laser beams can be made appropriate. Therefore, observation can always be performed with an appropriate amount of light.
【0073】請求項2記載の発明のレーザ顕微鏡によれ
ば、1つの検出器によって主光路を通過するレーザ光の
光量を検出するので、光路の簡略化を図ることができ
る。したがって、顕微鏡の小型化やコストダウンを図る
ことができる。According to the laser microscope of the second aspect of the present invention, since the amount of laser light passing through the main optical path is detected by one detector, the optical path can be simplified. Therefore, the size and cost of the microscope can be reduced.
【図1】図1はこの発明の第1実施形態に係るレーザ顕
微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成図で
ある。FIG. 1 is a block diagram illustrating a method for adjusting a laser beam of a laser microscope according to a first embodiment of the present invention.
【図2】図2はこの発明の第2実施形態に係るレーザ顕
微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成図で
ある。FIG. 2 is a block diagram illustrating a method for dimming laser light of a laser microscope according to a second embodiment of the present invention.
【図3】図3は従来のレーザ顕微鏡のレーザ光の調光方
法を説明するブロック構成図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating a method for adjusting a laser beam of a conventional laser microscope.
【図4】図4は従来の他のレーザ顕微鏡のレーザ光の調
光方法を説明するブロック構成図である。FIG. 4 is a block diagram illustrating a method of adjusting laser light of another conventional laser microscope.
1 レーザ顕微鏡 10,20 レーザ光源 12,21 NDフィルタ(光量調節手段) 34 SPD(受光手段) 40 CPU(制御手段) 41 ROM(記憶手段) 43 光量モニタ(表示手段) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser microscope 10, 20 Laser light source 12, 21 ND filter (light quantity adjusting means) 34 SPD (light receiving means) 40 CPU (control means) 41 ROM (storage means) 43 Light quantity monitor (display means)
Claims (2)
射する少なくとも1つの光源と、 前記レーザ光の適正光量に関するデータを記憶する記憶
手段と、 前記複数のレーザ光の各々の光量を個別に調整可能な調
整手段と、 前記複数のレーザ光のうちの少なくとも1つのレーザ光
の光量を検出するための検出手段と、 前記検出手段から得られる検出信号に基づいて、前記複
数のレーザ光の各々の光量が前記記憶手段に記憶された
前記適正光量となるように、前記調整手段を制御する制
御手段と、を備えることを特徴とするレーザ顕微鏡。At least one light source that emits a plurality of laser beams having different wavelengths from each other, a storage unit that stores data on an appropriate amount of the laser beam, and individually adjusts the amount of each of the plurality of laser beams. Possible adjusting means, detecting means for detecting the light amount of at least one of the plurality of laser lights, and each of the plurality of laser lights based on a detection signal obtained from the detecting means. A control means for controlling the adjusting means so that the light quantity becomes the proper light quantity stored in the storage means.
過する複数の分割光路と、前記複数の分割光路のレーザ
光の全てが合成されて通過する主光路とを備え、 前記複数の分割光路の全て又は1つを除いた光路には遮
光手段が配置され、前記主光路には前記主光路を通過す
るレーザ光の光量を検出する1つの検出器が配置されて
いることを特徴とする請求項1記載のレーザ顕微鏡。2. A method according to claim 1, further comprising: a plurality of divided light paths through which the plurality of laser light beams independently pass; and a main light path through which all of the laser light beams of the plurality of divided light paths are combined and passed. A light shielding means is arranged on all or one of the optical paths, and one detector for detecting the amount of laser light passing through the main optical path is arranged on the main optical path. The laser microscope according to 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9098181A JPH10282426A (en) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | Laser microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9098181A JPH10282426A (en) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | Laser microscope |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10282426A true JPH10282426A (en) | 1998-10-23 |
Family
ID=14212861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9098181A Withdrawn JPH10282426A (en) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | Laser microscope |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10282426A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003021784A (en) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Olympus Optical Co Ltd | Scanning laser microscope and image acquiring method for the same |
JP2005031678A (en) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Arrangement for catching lighting beam in laser scanning microscope and its method |
JP2006503283A (en) * | 2002-10-16 | 2006-01-26 | パーキンエルマー・シンガポール・プライベート・リミテッド | Imaging improvements |
JP2008175884A (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Olympus Corp | Laser microscope |
-
1997
- 1997-04-01 JP JP9098181A patent/JPH10282426A/en not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003021784A (en) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Olympus Optical Co Ltd | Scanning laser microscope and image acquiring method for the same |
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JP4829499B2 (en) * | 2002-10-16 | 2011-12-07 | パーキンエルマー・シンガポール・プライベート・リミテッド | Improvements related to imaging |
US8289620B2 (en) | 2002-10-16 | 2012-10-16 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Imaging |
JP2005031678A (en) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Arrangement for catching lighting beam in laser scanning microscope and its method |
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