JPH10279383A - Safety monitor device for apparatus for growing single crystal - Google Patents
Safety monitor device for apparatus for growing single crystalInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶成長装置用
安全監視装置に関し、特に単結晶成長装置の高温なるつ
ぼやホットゾーン近傍の状態を監視するものに適した単
結晶成長装置用安全監視装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a safety monitoring apparatus for a single crystal growth apparatus, and more particularly to a safety monitoring apparatus for a single crystal growth apparatus suitable for monitoring a state of a single crystal growth apparatus near a high-temperature crucible or a hot zone. Related to the device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、引上げＣＺ（Czochralski）法
による単結晶製造装置（成長炉）では、高耐圧気密チャ
ンバ内を１０torr程度に減圧して新鮮なＡｒ（アルゴ
ン）ガスを流すとともに、チャンバ内の下方に設けられ
た石英るつぼ内の多結晶を加熱して溶融し、この融液の
表面に種結晶を上から浸漬し、種結晶と石英るつぼを回
転、上下移動させながら種結晶を引き上げることによ
り、種結晶の下に上端が突出した円錐形の上部コーン部
と、円筒形のボディー部と下端が突出した円錐形の下部
コーン部より成る単結晶（いわゆるインゴット）を成長
させるように構成されている。2. Description of the Related Art In general, in a single crystal manufacturing apparatus (growth furnace) using a pulling CZ (Czochralski) method, the pressure inside a high pressure-resistant airtight chamber is reduced to about 10 torr, and fresh Ar (argon) gas is flown. By heating and melting the polycrystal in the quartz crucible provided below, immersing the seed crystal from above on the surface of this melt, pulling the seed crystal while rotating and moving the seed crystal and quartz crucible up and down A single crystal (a so-called ingot) consisting of a conical upper cone having an upper end protruding below a seed crystal, a cylindrical body and a conical lower cone having a lower end protruding. I have.
【０００３】かかる単結晶成長装置では、加熱用ヒータ
などで形成されるホットゾーンが突発的にスパークした
り、るつぼが何等かの原因で割れて、原料融液が流出す
るといった事故が生じることがある。そこで、安全管理
のため、操作員が定期的に炉内を目視して、安全を確認
する方法がとられている。また、化合物半導体などの高
圧封入式引上げ法では、炉内を監視するテレビカメラの
出力信号を別室に導いて、モニタテレビにて作業員が監
視することが行われている。In such a single crystal growing apparatus, an accident such as a sudden spark of a hot zone formed by a heater for heating or a breakage of a crucible for some reason may cause an outflow of a raw material melt. is there. Therefore, for safety management, a method has been adopted in which an operator periodically looks inside the furnace to confirm safety. In addition, in the high-pressure enclosure type pulling method of a compound semiconductor or the like, an output signal of a television camera for monitoring the inside of a furnace is guided to another room, and an operator monitors the monitor signal on a monitor television.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、作業員
が絶えず炉内を目視したり、モニタで監視し続けること
は作業員の負担が多く、かつ人間に頼る方法のため、信
頼性が完全ではない。また、わずかな変化の場合は見落
してしまい、事故の発見が遅れることもある。However, it is not always reliable for workers to constantly observe the inside of the furnace or to monitor the furnace with a monitor because of the burden on the workers and the method relying on humans. . In addition, small changes are overlooked, and the discovery of an accident may be delayed.
【０００５】したがって、本発明は作業員に頼ることな
く、自動的にかつ信頼性高く単結晶成長装置の内部状況
を監視し、必要に応じて警報を出すことができる単結晶
成長装置用安全監視装置を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention provides a safety monitor for a single crystal growing apparatus which can automatically and reliably monitor the internal state of the single crystal growing apparatus and issue an alarm if necessary without relying on an operator. It is intended to provide a device.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では単結晶成長装置のるつぼ内の原料融液近
傍又はホットゾーン近傍を撮像手段にて画像撮像し、そ
の出力信号の時間的変化を検出し、変化が所定値を超え
るほど大きいときは、自動的に警報を出すようにしたも
のである。In order to achieve the above object, according to the present invention, the vicinity of a raw material melt or the vicinity of a hot zone in a crucible of a single crystal growth apparatus is imaged by an imaging means, and the output signal of the crystal is temporally reduced. A change is detected, and when the change is greater than a predetermined value, an alarm is automatically issued.
【０００７】すなわち本発明によれば、単結晶成長装置
のるつぼ内の原料融液近傍又はホットゾーン近傍を撮像
する撮像手段と、前記撮像手段の出力信号に応答し、所
定の第１フレーム又は第１フィールドにおける所定画素
の信号を記憶する記憶手段と、前記撮像手段の出力信号
に応答し、第１フレーム又は第１フィールドより時間的
に後の第２フレーム又は第２フィールドにおける、前記
第１フレーム又は第１フィールドにおける所定画素に対
応する画素の信号を、前記記憶手段に記憶された信号と
比較する手段と、前記比較の結果、両者の差が所定スレ
ッショルドより大きいときに検出信号を生成する手段
と、前記検出信号に応答して警報を発生する警報発生手
段とを、有する単結晶成長装置用安全監視装置が提供さ
れる。That is, according to the present invention, there is provided an image pickup means for picking up an image of the vicinity of a raw material melt or a hot zone in a crucible of a single crystal growing apparatus, and a predetermined first frame or a first frame in response to an output signal of the image pickup means. A storage unit for storing a signal of a predetermined pixel in one field; and a first frame in a second frame or a second field temporally later than the first frame in response to an output signal of the imaging unit. A means for comparing a signal of a pixel corresponding to a predetermined pixel in the first field with a signal stored in the storage means; and a means for generating a detection signal when a difference between the two is larger than a predetermined threshold as a result of the comparison. And an alarm generating means for generating an alarm in response to the detection signal.
【０００８】また本発明によれば、単結晶成長装置のる
つぼ内の原料融液近傍又はホットゾーン近傍を撮像する
撮像手段と、前記撮像手段の出力信号に応答し、所定の
第１フレーム又は第１フィールドにおける所定画素の信
号を記憶する記憶手段と、前記撮像手段の出力信号に応
答し、第１フレーム又は第１フィールドより時間的に後
の第２フレーム又は第２フィールドにおける、前記第１
フレーム又は第１フィールドにおける所定画素に対応す
る画素の信号を、前記記憶手段に記憶された信号と比較
する手段と、前記比較手段による比較を前記第２フレー
ム又は第２フィールド以降の複数のフレーム又はフィー
ルドについても行うよう制御する制御手段と、前記比較
手段による複数回の比較の結果、比較対象信号の差が所
定スレッショルドより大きい結果が複数回生じたときに
検出信号を生成する手段と、前記検出信号に応答して警
報を発生する警報発生手段とを、有する単結晶成長装置
用安全監視装置が提供される。Further, according to the present invention, there is provided an image pickup means for picking up an image of the vicinity of a raw material melt or a hot zone in a crucible of a single crystal growing apparatus, and a predetermined first frame or a first frame in response to an output signal of the image pickup means. A storage unit for storing a signal of a predetermined pixel in one field, and the first unit in a second frame or a second field temporally later than the first frame or the first field in response to an output signal of the imaging unit.
Means for comparing a signal of a pixel corresponding to a predetermined pixel in a frame or the first field with a signal stored in the storage means, and comparing the comparison means with the second frame or a plurality of frames after the second field or Control means for controlling to perform also on a field; means for generating a detection signal when a result of a plurality of comparisons by the comparing means that a difference between signals to be compared is larger than a predetermined threshold occurs a plurality of times; And a warning generation means for generating a warning in response to a signal.
【０００９】また本発明によれば、単結晶成長装置のる
つぼ内の原料融液近傍又はホットゾーン近傍を撮像する
撮像手段と、前記撮像手段の出力信号に応答し、フレー
ム又はフィールドにおける複数画素を処理してこれらを
代表する代表信号を生成する手段と、前記代表する信号
を記憶する記憶手段と、前記生成する手段の出力信号に
応答し、所定の第１フレーム又は第１フィールドにおけ
る複数画素を処理して得られ、前記記憶手段に記憶され
た第１代表信号と、前記第１フレーム又は第１フィール
ドより時間的に後の第２フレーム又は第２フィールドに
おける、前記第１フレーム又は第１フィールドにおける
対応する複数の画素を処理して得られた第２代表信号と
を比較する手段と、前記比較の結果、両者の差が所定ス
レッショルドより大きいときに検出信号を生成する手段
と、前記検出信号に応答して警報を発生する警報発生手
段とを、有する単結晶成長装置用安全監視装置が提供さ
れる。Further, according to the present invention, an image pickup means for picking up an image of the vicinity of a raw material melt or a hot zone in a crucible of a single crystal growth apparatus, and a plurality of pixels in a frame or a field in response to an output signal of the image pickup means. Means for processing to generate a representative signal representative thereof, storage means for storing the representative signal, and a plurality of pixels in a predetermined first frame or first field in response to an output signal of the means for generating. A first representative signal obtained by processing and stored in the storage means, and the first frame or first field in a second frame or second field temporally later than the first frame or first field. Means for comparing with a second representative signal obtained by processing a plurality of corresponding pixels in the above, and as a result of the comparison, a difference between the two is larger than a predetermined threshold. Means for generating a detection signal when heard, said the alarm generating means in response to the detection signal to generate an alarm, a single crystal growth apparatus for the safety monitoring device is provided.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施の形態について説明する。図１は本発明に係
る単結晶成長装置用安全監視装置の構成を、適用される
単結晶成長装置と共に示した模式図である。本発明の適
用される単結晶成長装置１０には、耐圧チャンバ１２内
に回転可能なペディスタル１６により回転する石英るつ
ぼ１４と、加熱用のヒータ１８が配され、石英るつぼ１
４内には原料融液２８が保持されている。図示省略の種
結晶昇降装置により昇降可能なワイヤ３０の先端には種
結晶ホルダ（シードチャック）２０が取り付けられ、種
結晶ホルダ２０は種結晶２２の端部を、その凹部に嵌合
して保持する。なお、図１では断熱材、温度センサなど
は図示省略されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a safety monitoring device for a single crystal growth apparatus according to the present invention, together with an applied single crystal growth apparatus. The single crystal growth apparatus 10 to which the present invention is applied is provided with a quartz crucible 14 rotated by a pedestal 16 rotatable in a pressure-resistant chamber 12 and a heater 18 for heating.
A raw material melt 28 is held in 4. A seed crystal holder (seed chuck) 20 is attached to the tip of a wire 30 that can be moved up and down by a seed crystal elevating device (not shown), and the seed crystal holder 20 holds the end of the seed crystal 22 by fitting it into its recess. I do. In FIG. 1, a heat insulating material, a temperature sensor, and the like are not shown.
【００１１】単結晶の直径測定用のＣＣＤカメラ３２が
チャンバ１２の上方に取り付けられ、石英るつぼ１４内
の原料融液２８と単結晶２６の境界近傍を撮影してい
る。ＣＣＤカメラ３２の出力信号は温度センサの出力信
号と共に単結晶の引上げ速度や炉内の温度制御のために
用いられる。本実施形態では、かかる直径測定用のＣＣ
Ｄカメラ３２の出力信号を利用する場合を示している
が、直径測定用のＣＣＤカメラ３２とは別の監視専用カ
メラを複数台設けて、石英るつぼ１４内の複数箇所や、
ヒータ１８などのホットゾーンの複数箇所を監視するこ
とは好ましい態様である。コンピュータ３４はＣＰＵ
（中央演算処理装置）と、インターフェース（Ｉ／
Ｆ）、メモリなどを有していて所定のプログラムに従っ
て処理を行う。A CCD camera 32 for measuring the diameter of the single crystal is mounted above the chamber 12 and photographs the vicinity of the boundary between the raw material melt 28 and the single crystal 26 in the quartz crucible 14. The output signal of the CCD camera 32 is used for controlling the pulling speed of the single crystal and the temperature in the furnace together with the output signal of the temperature sensor. In the present embodiment, the CC for diameter measurement is used.
Although the case where the output signal of the D camera 32 is used is shown, a plurality of monitoring dedicated cameras different from the CCD camera 32 for diameter measurement are provided, and a plurality of places in the quartz crucible 14,
It is a preferable embodiment to monitor a plurality of hot zones such as the heater 18. The computer 34 is a CPU
(Central processing unit) and interface (I /
F), which has a memory or the like and performs processing according to a predetermined program.
【００１２】図１において、ＣＣＤカメラ３２の出力信
号はコンピュータ３４に入力されて次のように処理され
る。処理が開始されると、図３のフローチャートに示さ
れるようにレジスタなどをステップＳ１でイニシャライ
ズし、ステップＳ２でＣＣＤカメラ３２の出力信号が１
フレーム分入力されたか否かを判断する。入力が完了す
ると、ステップＳ３で所定画素の信号を抽出してメモリ
の所定アドレスに格納する。いま、ＣＣＤカメラ３２が
図２に示すような２次元画像を撮像して、そのラスタ４
０中、所定座標ｘｙで特定される画素Ｐｘｙの信号が格
納されるものとする。In FIG. 1, an output signal of the CCD camera 32 is input to a computer 34 and processed as follows. When the process is started, the registers and the like are initialized in step S1 as shown in the flowchart of FIG. 3, and the output signal of the CCD camera 32 becomes 1 in step S2.
It is determined whether or not frames have been input. When the input is completed, a signal of a predetermined pixel is extracted in step S3 and stored at a predetermined address of the memory. Now, the CCD camera 32 captures a two-dimensional image as shown in FIG.
During 0, it is assumed that the signal of the pixel Pxy specified by the predetermined coordinates xy is stored.
【００１３】次のステップＳ４で所定時間のウエイティ
ングを行い、次のステップＳ５で、その後に入力される
フレームの信号が取り込まれたかを判断する。取り込み
が完了すると、ステップＳ６でそのフレームにおける先
程と同じ座標の画素Ｐｘｙの信号を抽出して、メモリの
他の所定アドレスに格納する。ステップＳ７では所定時
間差の同一画素の信号 ａ１ｘｙ と ａ２ｘｙ の平均値
を Ｒｘｙ＝（ａ１ｘｙ＋ａ２ｘｙ）／２ として演算
し、平均値 Ｒｘｙ を格納する。ステップＳ８では再び
所定時間のウエイティングを行い、次のステップＳ９で
上記ステップＳ２〜Ｓ６と同様に所定時間間隔の２つの
フレーム信号を取り込み、メモリに格納する。In the next step S4, waiting is performed for a predetermined time, and in the next step S5, it is determined whether or not a signal of a frame to be input thereafter is captured. When the capture is completed, in step S6, the signal of the pixel Pxy having the same coordinates in the frame is extracted and stored at another predetermined address in the memory. In step S7, the average value of the signals a1xy and a2xy of the same pixel with a predetermined time difference is calculated as Rxy = (a1xy + a2xy) / 2, and the average value Rxy is stored. In step S8, waiting is performed again for a predetermined time, and in the next step S9, two frame signals at predetermined time intervals are fetched and stored in the memory as in steps S2 to S6.
【００１４】次いでステップＳ１０でステップＳ９で得
た２つのフレームの画素Ｐ信号同士の差の絶対値を差分
値 Ｄ を Ｄｘｙ＝｜ａ１ｘｙ−ａ２ｘｙ｜ として演算
し、差分値 Ｄｘｙ を格納する。次にステップＳ１１で
差分値 Ｄｘｙ が先に求めた平均値 Ｒｘｙ に定数 Ｃ
を加えた値より大きいか否かを判断する。定数 Ｃ は正
常時の自然変動値や検出誤差を考慮して、例えば通常得
られる平均値 Ｒｘｙの２０％程度に定める。また、定
数 Ｃ の代りに、平均値 Ｒｘｙ の２０％値を演算して
加えるようにしてもよい。Then, in step S10, the absolute value of the difference between the pixel P signals of the two frames obtained in step S9 is calculated as the difference value D as Dxy = | a1xy-a2xy |, and the difference value Dxy is stored. Next, in step S11, the difference value Dxy is calculated by adding a constant C to the previously obtained average value Rxy.
It is determined whether the value is greater than the value obtained by adding. The constant C is set to, for example, about 20% of the average value Rxy normally obtained in consideration of a natural fluctuation value and a detection error in a normal state. Further, a 20% value of the average value Rxy may be calculated and added instead of the constant C.
【００１５】ステップＳ１１の判断で、差分値 Ｄｘｙ
がＲｘｙ＋Ｃ より大きいと判断されたときは、ステッ
プＳ１２で警報（アラーム）信号を警報装置３６に送
る。すなわち、突発的な放電などの発光現象が生じる
と、その部分で輝度が著しく高くなり、差分値 Ｄｘｙ
がＲｘｙ＋Ｃ より大きくなる。表示装置３８はＣＣＤ
カメラ３２の撮像画像をモニタ表示するためのものであ
るが、警報信号が出たときは、その画像の一部に「異常
発生！」などの文字を点滅表示させたり、付属のスピー
カから警報音や警報のメッセージを流して操作員に呼び
掛けるようにしてもよい。In step S11, the difference value Dxy
Is larger than Rxy + C, an alarm signal is sent to the alarm device 36 in step S12. That is, when a light-emitting phenomenon such as a sudden discharge occurs, the luminance becomes extremely high at that portion, and the difference value Dxy
Becomes larger than Rxy + C. The display device 38 is a CCD
This is for displaying a captured image of the camera 32 on a monitor. When an alarm signal is output, characters such as “abnormality!” Blink on a part of the image or an alarm sound is output from an attached speaker. Alternatively, a message of an alarm or a warning may be sent to call the operator.
【００１６】なお、上記実施形態では、単一の画素Ｐに
ついてのみ判断したが、複数の画素の信号を演算処理し
て、画像を代表する信号を生成して、かかる代表信号を
時間差のあるフレーム同士で比較するようにしてもよ
い。また、１つの画像のラスタを複数のブロックに分割
し、各ブロック毎に複数の画素を設定して、その信号を
処理するようにしてもよい。図４はかかる例を示したも
ので、ラスタ４０を９分割し、各ブロックに５つの画素
を設定した様子を示している。分割ブロック数、や各ブ
ロックにおける画素数は自由に増減することができる。
また、隣合うブロック同士が一部重複するように設定す
ることもできる。In the above embodiment, the determination is made only for a single pixel P. However, signals of a plurality of pixels are processed to generate a signal representative of an image, and the representative signal is converted to a frame having a time difference. They may be compared with each other. Alternatively, the raster of one image may be divided into a plurality of blocks, a plurality of pixels may be set for each block, and the signal may be processed. FIG. 4 shows such an example, in which the raster 40 is divided into nine, and five pixels are set in each block. The number of divided blocks and the number of pixels in each block can be freely increased or decreased.
Further, it is also possible to set so that adjacent blocks partially overlap.
【００１７】さらに、時間的に離れた２つのフレーム間
の比較結果だけで警報を出すか否かを判断するのではな
く、かかる比較を順次フレーム間で行い、複数回の比較
結果をみて警報を出すようにしてもよい。図５は複数の
フレームＦ１、Ｆ２・・・Ｆｎ・・・Ｆｎ＋１、Ｆｎ＋
２・・・のうち、最初のｎフレーム（ｎは２以上の自然
数）における単数又は複数の所定画素の信号レベルを平
均して平均値Ｒ１を参照スレッショルドとして演算し、
平均値Ｒ１と次のフレームＦｎ＋１における対応画素の
信号レベルを比較するようにしてもよい。さらに、複数
のｎフレーム、Ｆ２・・・Ｆｎ・・・Ｆｎ＋１の単数又
は複数の所定画素の信号レベルを平均して平均値Ｒ２を
参照スレッショルドとして演算し、平均値Ｒ２と次のフ
レームＦｎ＋２における対応画素の信号レベルを比較す
るようにしてもよい。Furthermore, instead of judging whether or not to issue an alarm only based on the result of comparison between two frames that are temporally separated, such a comparison is performed sequentially between frames, and an alarm is issued based on a plurality of comparison results. You may put out. FIG. 5 shows a plurality of frames F1, F2... Fn.
Out of 2..., The signal levels of one or more predetermined pixels in the first n frames (n is a natural number of 2 or more) are averaged, and the average value R1 is calculated as a reference threshold;
The average value R1 may be compared with the signal level of the corresponding pixel in the next frame Fn + 1. Further, the signal levels of one or more predetermined pixels of a plurality of n frames, F2... Fn... Fn + 1 are averaged to calculate an average value R2 as a reference threshold, and the average value R2 and the correspondence in the next frame Fn + 2 The signal levels of the pixels may be compared.
【００１８】また、上記フレームＦ１、Ｆ２、Ｆ３・・
・は例えばＮＴＳＣ方式における連続するフレームとす
ることもできるが、例えば３０フレームに１つを抽出す
ることにより、１秒間隔で検出したり、さらに長時間の
インターバルをとって抽出するようにしてもよい、ま
た、上記説明はすべて、フレーム単位で行ったが、１つ
のフレームを構成する２つのフィールド（奇数又は偶数
フィールド）のいずれかを用いるようにしてもよい。ま
た、撮像手段としてのＣＣＤカメラ３２は２次元画像を
撮像する場合を例にとって説明したが、１次元画像を撮
像するラインＣＣＤカメラや、他の方式の撮像手段を用
いることができる。The frames F1, F2, F3,.
May be a continuous frame in the NTSC system, for example, but it is also possible to detect one frame every 30 seconds by extracting one frame out of every 30 frames, or to extract the frame at a longer interval. Although the above description has been made on a frame-by-frame basis, any one of two fields (odd or even field) constituting one frame may be used. Further, the case where the CCD camera 32 as the image capturing means captures a two-dimensional image has been described as an example, but a line CCD camera that captures a one-dimensional image or an image capturing means of another method can be used.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、単
結晶成長装置のるつぼ内の原料融液近傍又はホットゾー
ン近傍を撮像手段にて画像撮像し、その出力信号の時間
的変化を検出し、変化が所定値を超えるほど大きいとき
は、自動的に警報を出すようにしたので、従来の操作員
の目視やモニタ画面の監視による不完全さや検出の遅れ
を効果的に防止することができる。As described above, according to the present invention, the vicinity of the raw material melt or the vicinity of the hot zone in the crucible of the single crystal growth apparatus is imaged by the imaging means, and the time change of the output signal is detected. However, when the change is larger than a predetermined value, an alarm is automatically issued, so that incompleteness and delay of detection due to conventional visual observation of the operator and monitoring of the monitor screen can be effectively prevented. it can.
【図１】本発明に係る単結晶成長装置用安全監視装置の
構成を、適用される単結晶成長装置と共に示した模式図
である。FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of a safety monitoring device for a single crystal growth apparatus according to the present invention, together with an applied single crystal growth apparatus.
【図２】本発明の一実施形態の動作を説明するためのカ
メラ画像（ラスタ）を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a camera image (raster) for explaining an operation of the embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施形態の処理手順を説明するため
のフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart illustrating a processing procedure according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施形態の動作を説明するための
カメラ画像（ラスタ）を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a camera image (raster) for explaining the operation of another embodiment of the present invention.
【図５】本発明の他の実施形態の動作を説明するための
複数のカメラ画像（ラスタ）を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a plurality of camera images (rasters) for explaining the operation of another embodiment of the present invention.
１０ 単結晶成長（製造）装置 １２ 耐圧チャンバ １４ 石英るつぼ １６ ペディスタル １８ ヒータ ２０ 種結晶ホルダ ３２ ＣＣＤカメラ（撮像手段） ３４ コンピュータ（記憶手段、比較する手段、検出信
号を生成する手段、検出信号を生成する手段代表信号を
生成する手段） ３６ 警報装置（警報発生手段） ３８ 表示装置 ４０ ラスタReference Signs List 10 single crystal growth (manufacturing) apparatus 12 pressure-resistant chamber 14 quartz crucible 16 pedestal 18 heater 20 seed crystal holder 32 CCD camera (imaging means) 34 computer (storage means, comparison means, detection signal generation means, generation of detection signal Means for generating a representative signal) 36 alarm device (alarm generation means) 38 display device 40 raster
Claims (7)
傍又はホットゾーン近傍を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段の出力信号に応答し、所定の第１フレーム
又は第１フィールドにおける所定画素の信号を記憶する
記憶手段と、 前記撮像手段の出力信号に応答し、第１フレーム又は第
１フィールドより時間的に後の第２フレーム又は第２フ
ィールドにおける、前記第１フレーム又は第１フィール
ドにおける所定画素に対応する画素の信号を、前記記憶
手段に記憶された信号と比較する手段と、 前記比較の結果、両者の差が所定スレッショルドより大
きいときに検出信号を生成する手段と、 前記検出信号に応答して警報を発生する警報発生手段と
を、 有する単結晶成長装置用安全監視装置。1. An imaging means for imaging the vicinity of a raw material melt or a hot zone in a crucible of a single crystal growing apparatus, and a predetermined pixel in a predetermined first frame or first field in response to an output signal of the imaging means. A storage unit for storing a signal of the first frame or the first field in response to an output signal of the imaging unit in a second frame or a second field temporally later than the first frame or the first field. Means for comparing a signal of a pixel corresponding to a predetermined pixel with a signal stored in the storage means; means for generating a detection signal when the difference between the two is greater than a predetermined threshold; And a warning generating means for generating a warning in response to the warning.
傍又はホットゾーン近傍を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段の出力信号に応答し、所定の第１フレーム
又は第１フィールドにおける所定画素の信号を記憶する
記憶手段と、 前記撮像手段の出力信号に応答し、第１フレーム又は第
１フィールドより時間的に後の第２フレーム又は第２フ
ィールドにおける、前記第１フレーム又は第１フィール
ドにおける所定画素に対応する画素の信号を、前記記憶
手段に記憶された信号と比較する手段と、 前記比較手段による比較を前記第２フレーム又は第２フ
ィールド以降の複数のフレーム又はフィールドについて
も行うよう制御する制御手段と、 前記比較手段による複数回の比較の結果、比較対象信号
の差が所定スレッショルドより大きい結果が複数回生じ
たときに検出信号を生成する手段と、 前記検出信号に応答して警報を発生する警報発生手段と
を、 有する単結晶成長装置用安全監視装置。2. An imaging means for imaging the vicinity of a raw material melt or a hot zone in a crucible of a single crystal growth apparatus, and a predetermined pixel in a predetermined first frame or first field in response to an output signal of the imaging means. A storage unit for storing a signal of the first frame or the first field in response to an output signal of the imaging unit in a second frame or a second field temporally later than the first frame or the first field. Means for comparing a signal of a pixel corresponding to a predetermined pixel with a signal stored in the storage means; and controlling the comparison means to perform the comparison on the second frame or a plurality of frames or fields subsequent to the second field. And a result of the comparison performed by the comparing means that the difference between the signals to be compared is larger than a predetermined threshold. Means for generating a detection signal when occurring several times, and alarm generating means for generating an alarm in response to said detection signal, a safety monitoring device for a single crystal growth apparatus.
傍又はホットゾーン近傍を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段の出力信号に応答し、フレーム又はフィー
ルドにおける複数画素を処理してこれらを代表する代表
信号を生成する手段と、 前記代表する信号を記憶する記憶手段と、 前記生成する手段の出力信号に応答し、所定の第１フレ
ーム又は第１フィールドにおける複数画素を処理して得
られ、前記記憶手段に記憶された第１代表信号と、前記
第１フレーム又は第１フィールドより時間的に後の第２
フレーム又は第２フィールドにおける、前記第１フレー
ム又は第１フィールドにおける対応する複数の画素を処
理して得られた第２代表信号とを比較する手段と、前記
比較の結果、両者の差が所定スレッショルドより大きい
ときに検出信号を生成する手段と、 前記検出信号に応答して警報を発生する警報発生手段と
を、 有する単結晶成長装置用安全監視装置。3. An image pickup means for picking up an image of the vicinity of a raw material melt or a hot zone in a crucible of a single crystal growing apparatus, and processing a plurality of pixels in a frame or a field in response to an output signal of the image pickup means. Means for generating a representative signal; storage means for storing the representative signal; and a plurality of pixels in a predetermined first frame or first field processed in response to an output signal of the means for generating. A first representative signal stored in the storage means and a second representative signal temporally later than the first frame or the first field.
Means for comparing, in a frame or a second field, a second representative signal obtained by processing a plurality of corresponding pixels in the first frame or the first field, and as a result of the comparison, a difference between the two is determined by a predetermined threshold A safety monitoring device for a single crystal growth apparatus, comprising: means for generating a detection signal when the value is larger than the threshold value; and alarm generation means for generating an alarm in response to the detection signal.
又は複数フィールドにわたって演算処理し、前記スレッ
ショルドを生成する手段を更に有する請求項１ないし３
のいずれか１つに記載の単結晶成長装置用安全監視装
置。4. The apparatus according to claim 1, further comprising means for performing arithmetic processing on an output signal of said imaging means over a plurality of frames or a plurality of fields to generate said threshold.
The safety monitoring device for a single crystal growth apparatus according to any one of the above.
像を構成する複数の画素の輝度信号成分を演算処理する
ものである請求項３記載の単結晶成長装置用安全監視装
置。5. The safety monitoring apparatus for a single crystal growth apparatus according to claim 3, wherein the means for generating the representative signal performs arithmetic processing on luminance signal components of a plurality of pixels forming one image.
像を複数のブロックにわけ、各ブロック中の複数の画素
の輝度信号成分を演算処理するものである請求項３記載
の単結晶成長装置用安全監視装置。6. The single crystal growing apparatus according to claim 3, wherein the means for generating the representative signal divides one image into a plurality of blocks and performs arithmetic processing on luminance signal components of a plurality of pixels in each block. For safety monitoring equipment.
像を撮像するものである請求項１ないし６のいずれか１
つに記載の単結晶成長装置用安全監視装置。7. The imaging device according to claim 1, wherein said imaging means captures a one-dimensional image or a two-dimensional image.
4. A safety monitoring device for a single crystal growth apparatus according to any one of the above.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9096787A JPH10279383A (en) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | Safety monitor device for apparatus for growing single crystal |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9096787A JPH10279383A (en) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | Safety monitor device for apparatus for growing single crystal |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10279383A true JPH10279383A (en) | 1998-10-20 |
Family
ID=14174360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9096787A Pending JPH10279383A (en) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | Safety monitor device for apparatus for growing single crystal |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10279383A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471768B2 (en) | 2000-09-11 | 2002-10-29 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for growing ribbon of crystal |
| JP2007269587A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | Remote monitoring/operating device of single crystal pulling apparatus |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP9096787A patent/JPH10279383A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471768B2 (en) | 2000-09-11 | 2002-10-29 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for growing ribbon of crystal |
| JP2007269587A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | Remote monitoring/operating device of single crystal pulling apparatus |
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|---|---|---|---|
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