JPH102770A

JPH102770A - 一体形差圧式流量計

Info

Publication number: JPH102770A
Application number: JP15383896A
Authority: JP
Inventors: Tomoyuki Hida; 朋之飛田; Ryuichi Tate; 龍一館
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-06-14
Filing date: 1996-06-14
Publication date: 1998-01-06
Anticipated expiration: 2016-06-14
Also published as: JP3307538B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成でありながら、被測定流体の脈動成
分の影響を抑制し、測定精度の向上が可能な一体形差圧
式流量計を実現する。【解決手段】被測定流体は高圧側導圧配管１０２から差
圧発生体１７０の、接続部１７１及び絞り機構部１７２
を介して、低圧側導圧配管１０４に流れる。差圧発生体
１７０の絞り機構部１７２は金属の細管からなり、この
細管１７２は被測定流体の流量変動（脈動）のエネルギ
ーを吸収する吸収体として働く。これにより、被測定流
体が脈動しても、検出する差圧の脈動成分が抑制され、
測定精度の向上化が可能となっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、化学プラント等
の液体、気体等の流体を制御するために、それらの流体
の差圧を測定し、流量制御のために用いられる差圧式流
量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】化学プラント等の液体、気体等の流体の
流量制御のために差圧式流量計が用いられる。差圧式流
量計４は、図９に示すように、三方弁４１、圧力配管３
１、３２、アタッチメント２１を介してパイプライン１
に接続される。そして、パイプライン１に設置されたオ
リフィス等の差圧発生機構２（絞り機構）で発生した差
圧が、圧力配管３１、３２を介して、差圧式流量計４に
伝達され、差圧を検出する構成であった。かかる構成に
おいては、上記オリフィスはプロセスの計画時に所定の
値で設計され、プロセスの配管内に永久的に固定され使
用される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の差圧式流量計において、パイプラインを流れる被測
定流体の流量が脈動すると、オリフィス等の差圧発生機
構２にて発生される差圧にも脈動成分が発生する。差圧
発生機構２にて発生される差圧に脈動成分が発生する
と、差圧式流量計４では、その脈動の影響を直接受ける
ため、測定誤差が発生してしまっていた。このため、従
来の差圧式流量計においては、被測定流体の脈動成分の
影響により、測定精度の向上化が困難であった。

【０００４】この発明の目的は、簡単な構成でありなが
ら、被測定流体の脈動成分の影響を抑制し、測定精度の
向上が可能な一体形差圧式流量計を実現することであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

（１）上記目的を達成するため、この発明は、次のよう
に構成される。すなわち、被測定流体の流量に対応する
差圧を検出する一体形差圧式流量計において、被測定流
体を導入する流体導入手段と、流体導入手段により導入
された被測定流体が供給され、その被測定流体供給入り
口と出口との間で差圧を発生させる絞り機構と、絞り機
構からの被測定流体を導出する流体導出手段と、絞り機
構により発生された差圧を検出し、検出した差圧に対応
する信号を出力する差圧検出手段とを備える。

【０００６】絞り機構が、被測定流体の流量変動（脈
動）のエネルギーを吸収する吸収体（脈圧が差圧発生体
を振動、揺動する）として働くので、被測定流体が脈動
しても、検出する差圧の脈動成分が抑制され、測定精度
の向上化が可能となる。

【０００７】（２）好ましくは、（１）において、検出
した差圧の平方根を表示する表示手段をさらに備える。（３）また、好ましくは、（１）において、絞り機構
は、金属パイプであり、この金属パイプの一方の開口部
に、流体導入手段からの被測定流体が導入され、金属パ
イプの他方の開口部から被測定流体が流体導出手段に供
給される。

【０００８】（４）また、好ましくは、（３）におい
て、金属パイプは、差圧検出手段に着脱可能な接続手段
を有する。（５）また、好ましくは、（３）において、金属パイプ
は、螺旋形状である。

【０００９】（６）また、好ましくは、（５）におい
て、流体導入手段と、流体導入手段とを連通する通路
と、この通路を選択的に開閉する連通路開閉手段とをさ
らに備える。（７）また、好ましくは、（５）において、金属パイプ
の一方の開口部を選択的に開閉する第１の開閉手段と、
金属パイプの他方の開口部を選択的に開閉する第２の開
閉手段とをさらに備える。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の第１の実施形態
である一体形差圧式流量計を図１〜図７を参照して説明
する。図１は、この発明の第１の実施形態である一体形
差圧式流量計の斜視図であり、一部分を断面で示すもの
であり、図２は、図１のＡ−Ａ線に沿った断面図であ
る。

【００１１】この一体形差圧式流量計の全体構成は、大
きくは、プロセス流体が供給される高圧側の導圧配管
（流体導入手段）１０２及び低圧側の導圧配管（流体導
出手段）１０４（図４に示す）に接続された差圧検出器
の受圧部１２０と、センサ部組１２２からの信号を処理
する信号処理回路が収まった信号処理部１９０と、差圧
発生体１７０とによって構成されている。なお、受圧部
１２０と信号処理部１９０とにより差圧検出手段が構成
される。

【００１２】受圧部１２０において、高圧側の流体圧力
及び低圧側の流体圧力が、それぞれ高圧側のシールダイ
アフラム１６２及び低圧側のシールダイアフラム１６４
（図４）を介して、受圧部１２０内に収められた非圧縮
性の液体（例えば、シリコンオイル）に伝達される。そ
して、シリコンオイル等の液体に伝達された圧力は、過
負荷保護ダイアフラム１４１により形成される第１及び
第２の隔離室３０３、３０４（図３に示す）を介してセ
ンサ部組１２２に伝達される。これにより、半導体複合
機能型センサ４４は、高圧と低圧との間の圧力差を検出
するようになっている。

【００１３】差圧発生体１７０は、図１、図２、図４に
示すように、受圧部１２０の高圧側導圧配管１０２及び
低圧側導圧配管１０４の他方の側に取り付けられる。こ
の差圧発生体１７０は、大きくは二つの要素から構成さ
れ、その一つは受圧部１２０と接続を可能にする要素で
ある接続部材１７１であり、他の一つは差圧を発生させ
る要素１７２（絞り機構部）である。

【００１４】この絞り機構部１７２は、所定の内径及び
長さの細管であり、例えば、内径が４ｍｍで、長さが１
００ｍｍの管となっている。絞り機構部１７２は、周知
の如く、流体が流れている場所に絞り要素があると、そ
の入り口と出口とでは圧力損失が発生することを利用し
ている。この原理は絞り機構の形式に関係なく同一であ
り、ベルヌーイの定理によって定まっている。

【００１５】ここで、絞り機構部１７２の形状を、内径
ｄの真直な円管とすると、比重量γの流体が平均流速υ
で流れるとき、管の長さιについての流体摩擦による圧
力損失をＰ1−Ｐ2、損失ヘッドをｈ、重力加速度をｇと
すると、次式（１）及び（２）が成立する。 ΔＰ＝Ｐ1−Ｐ2 −−−（１）ｈ＝（Ｐ1−Ｐ2）／γ＝λ×ι×υ２／（ｄ×２×ｇ） −−−（２）ただし、△Ｐは差圧である。また、λは管摩擦係数と呼
ばれ、レイノルズ数（Ｒｅ）および管壁のあらさによっ
て決定され、次式（３）で表される定数である。ただ
し、γは動粘度である。Ｒｅ＝υ×ｄ／γ −−−（３）以上の原理により、差圧発生体１７０に被測定流体が流
れると、その入り口（差圧機構部１７２の高圧側入り
口）の圧力Ｐ１と出口（差圧機構部１７２の低圧側出
口）の圧力Ｐ２とで、流速に比例した差圧（△Ｐ＝Ｐ1
−Ｐ2）が発生する。

【００１６】この差圧（ΔＰ＝Ｐ1−Ｐ2）は上述の如
く、管の内径ｄとその長さιとによって決定される。各
圧力（Ｐ１、Ｐ２）は、受圧部１２０のシールダイアフ
ラム１６２、１６４にそれぞれ印加され、半導体複合機
能センサ４４で差圧（△Ｐ＝Ｐ1−Ｐ2）が電気信号に変
換される。

【００１７】図３（図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図）及
び図４は、受圧部１２０の詳細構成を断面で示したもの
であり、受圧部１２０のシールダイアフラム１６４を取
り付けるための穴部３１２には、導圧配管１０４を接合
するためのテーパーねじ受けが加工され、そして接続ア
ダプター２３４にもテーパーねじ受けが加工され、導圧
配管１０４を接続することにより強固に導圧配管１０４
を接続するようになっている。

【００１８】また、導圧配管１０４からの流体を受ける
受け口を挾む位置に、対称的にテーパーねじ受けが加工
され、ボルトねじ２４８、２４６（図２に示す）によっ
て接続アダプター２３４を受圧部１２０に締め付けるこ
とによって、導圧配管１０４と受圧部１２０との気密を
図るようなっている。さらに、他方の側には差圧発生体
１７０と接合するためのテーパーねじ受けが加工され、
導通路３２２によって穴部３１２と接続されている。

【００１９】同様に、穴部３１１においても、テーパー
ねじが導圧配管１０２と接合するために加工され、導通
路３２１により接続されている。また、ボルトねじ２４
２、２４４（図１に示す）を受けるためのテーパーねじ
受けが加工され、導圧配管１０２を接続アダプター２３
２を介して締め付け導圧配管１０２と受圧部１２０との
気密を図るようになっている。

【００２０】半導体複合機能センサ４４からの信号は、
フレキシブルプリント基板を介して、第１の回路基板１
１０の回路に伝達される。回路基板１１０に伝達された
信号は、さらに第２の回路基板１１２の回路を介して、
第３の回路基板１１４の回路に伝達される。そして、最
終的な信号情報が、配線接続口１１８に接続されたケー
ブルから、例えば４〜２０ｍＡのアナログ定電流信号と
して、また４〜２０ｍＡのアナログ定電流信号に矩形波
のディジタル信号が重畳した信号として、更にはディジ
タルの定電流信号に変換出力される。続いて、カバー１
１６内に保持されている表示器（ドットマトリクスＬＣ
Ｄ）１４０に種々の形態で信号内容が表示される。

【００２１】表示器１４０は、信号処理部１９０に、カ
バー１１６を介してねじ止めされる。カバー１１６に
は、表示器１４０の指示を外部から観察できるように、
ガラスあるいは透明な部材４０４が、ガスケット、止め
バネ等を介して装着される。なお、図２において、４８
はシール部材である。また、図３において、３１１１及
び３１２１は、シール部材であり、４６はリード線であ
る。

【００２２】さて、従来の差圧式流量計においては、上
述したように、測定する流体量に脈動成分がある場合に
は、検出した差圧も脈動するため、検出精度が低下して
しまっていた。これに対して、図１の例の差圧式流量計
においては、差圧発生体１７０、特に、絞り機構部１７
２が、被測定流体の流量変動（脈動）のエネルギーを吸
収する吸収体（脈圧が差圧発生体を振動、揺動する）と
して働くので、被測定流体が脈動しても、検出する差圧
の脈動成分が抑制され、測定精度の向上化が可能となっ
ている。したがって、簡単な構成でありながら、被測定
流体の脈動成分の影響を抑制し、測定精度の向上が可能
な一体形差圧式流量計を実現することができる。

【００２３】また、従来の差圧式流量計においては、差
圧伝送器内は流体が停留し、配管内の異物等が伝送器内
に残存してしまい定期的にブローさせる等の処理を行っ
て保守、点検を実施していた。

【００２４】これに対して、この発明の第１の実施形態
においては、差圧発生体１７０が差圧検出器に具備され
ており、差圧検出器内を流体が常時流れているので、保
守、点検の期間を延長することができる。また、従来、
計測または測定流量を変更する場合は、測定を停止して
差圧検出装置と一緒に絞り機構を交換していたが、この
第１の実施形態においては、差圧発生体のみの交換で済
むため、メンテナンス費用の低減が可能である。

【００２５】なお、この第１の実施形態における差圧発
生体１７０の絞り機構部１７２は、単一の金属管或いは
その集合体で構成できるので、小型、軽量なもので実現
できる。また、この第１の実施形態によれば、差圧発生
体１７２は、その接続部１７１により、差圧検出器１２
０に容易に設置、或いは着脱を実施できるので、メンテ
ナンスが容易である。さらに、この第１の実施形態によ
れば、差圧発生体１７１の金属管のみを交換、或いは延
長、縮小するだけで、検出する流体に対応して、発生す
る差圧を、容易に変更、調整することができ、広範囲の
種類の被測定流体に適用可能である。

【００２６】図５は、上記第１の実施形態における信号
処理回路の一例の概略ブロック図である。図５におい
て、差圧発生体１７０で発生した差圧は、複合機能型セ
ンサ４４によって、差圧センサと静圧センサと温度セン
サとによるゲージ抵抗の変化を電気信号として出力し、
マルチプレクサ（ＭＰＸ）７３１に選択的に取り込まれ
る。

【００２７】マルチプレクサ７３１に取り込まれた複合
機能型センサ４４からの信号は、プログラマブルゲイン
アンプ（ＰＧＡ）７３３で増幅された後、Ａ／Ｄ変換器
７３４でディジタル信号に変換され、マイクロプロセッ
サ（ＭＰＵ）７３０に送信される。

【００２８】メモリ７３９（ＥＥＰＲＯＭ）には差圧セ
ンサ、静圧センサ、温度センサの各特性（圧力伝送器の
場合は圧力と温度センサの各特性のみでも可能）が予め
記憶されており、これらのデータを用いてマイクロプロ
セッサ７３０にて補正演算することにより、高精度の差
圧信号値と、静圧値、温度信号値を演算する。

【００２９】この演算結果は、Ｄ／Ａ変換器７３７とＶ
／Ｉ変換器７３８とを介して通常のアナログ信号に変換
され、ＤＣ４〜２０ｍＡの直流電流信号としてアレスタ
フィルタ８３０を介して、上位の制御装置であるコンピ
ュータや信号変換器に差圧信号、静圧信号、温度信号が
送出できる構成となっている。

【００３０】そして、この実施形態においては、複合機
能センサ４４により求めたプロセス状態に関する情報
を、信号処理部ケース１９０内の表示部１４０に表示す
ることが可能である。さらには、ＤＣ４〜２０ｍＡの直
流電流に情報をディジタル信号として重畳して送ること
も可能であり、図示していないが信号処理回路から直流
電流によるディジタル信号を送ることによりプロセス情
報を出力することも可能である。

【００３１】また、直流電流信号にディジタル信号を重
畳する通信方法、又はディジタル信号で外部に設けられ
た監視制御装置と通信を行う通信方法では、Ｖ／Ｉ変換
器７３８内に収められたディジタルＩ／Ｏ回路により、
ハンドヘルドターミナルにプロセス状態に関する情報を
表示し、これらの装置から測定レンジなどパラメータの
設定、変更、出力調整、入出力モニタ、自己診断などの
指定を行うことができる。

【００３２】図６は表示器１４０の検出装置の信号出力
状態の具体例を示した一例である。この表示記１４０
に、この発明の一体形差圧式流量計を用いて検出され
た、パイプライン中に流れる流体の流量を演算し、表示
する。このため、差圧発生体１７０を流体が通過すると
きに発生する差圧ΔＰを測定して、次式（４）により流
量Ｑを算出する。Ｑ＝ｋ√（ΔＰ） −−−（４）ここで、Ｋはレイノルズ数等で決まる定数である。

【００３３】従来の差圧伝送器においては、伝送器のセ
ンサが検出した差圧情報をリニアに対応させて４〜２０
ｍＡの定電流信号として２線式伝送路に送信し、上位機
器であるシグナルコンパレータがこの差圧情報を、ルー
ト変換し、その平方根の値を更に上位機器のオペレータ
ズコンソールに送信して、最終的にオペレータズコンソ
ールが流量Ｑを求めていた。

【００３４】これに対して、この発明の一体形差圧式流
量計では、伝送器本体内にセンサが検出した差圧情報を
ルート変換し、その平方根の値に対応した情報を２線式
伝送路に送信する機能を備えると共に、設定によりルー
ト変換前の値、又は変換後の値を表示器１４０に表示
する機能をも備え、表示内容、出力内容が変換前の値、
又は変換後の値を示しているのかを操作者に対して知ら
しめる表示機能を持たせたものである。

【００３５】また、表示器１４０ではゼロ点の外部から
の調整許可の状態を、表示部８１８に点滅させて識別さ
せると共に、その調整状態に対しても、その出力信号が
目的とする信号出力％になるように、ゼロ点を上げてい
る状態を示しており、オーバースケールマーク８１２が
表示されると共に、ドットマトリックスマーク８０６が
表示値に対応して点燈し、レベルアップするようになっ
ている。

【００３６】さらに、ゼロ点を下げている状態をも表示
できるようにしており、アンダースケールマーク８１４
が表示されると共に、ドットマトリックスマーク８０６
が表示値に対応して点燈し、レベルダウンするようにな
っている。

【００３７】図７の（ａ）は、ルート変換出力マーク８
２０、変換表示マーク８０８を共に点燈させないことに
より、表示、出力値とも共に変換前の値を表示、出力し
ていることを示したものであり、その表示区分８０４の
表示値は変換前の値が表示され、この値に対応してドッ
トマトリックスマーク８０６が点燈する。

【００３８】図７の（ｂ）は、ルート変換出力マーク８
２０を点燈させ、変換表示マーク８０８を点燈させない
ことにより、出力値として変換後の値が出されている
が、表示に変換前の値が出力されていることを示す。そ
して、表示区分８０４の表示値には変換前の差圧センサ
のリニアの値が表示される。

【００３９】図７の（ｃ）は、ルート変換表示マーク８
０８を点燈させ、変換出力マーク８２０を点燈させない
ことにより、表示値がルート変換後の値を表示し、出力
値がリニア出力されている状態を示したものであり、出
力値として変換前の値が出され、かつ表示に変換後の値
が出力されていることを示している。そして、表示区分
８０４の表示値には変換後の差圧センサの検出値が表
示される。

【００４０】このように、この発明の一体形差圧式流量
計はメンテナンス時に、表示器のみで、その出力値、及
び出力モード等を一括して確認できるようになり、この
ため保守性管理が容易な優れた流量計を実現することが
できる。

【００４１】従来の装置ではシステムを構成した場合に
シグナルコンパレータがこの差圧情報を変換しなければ
ならず、一台のシグナルコンパレータが複数の検出装置
からの信号を受信していた場合、信号変換のために上位
機器に対するレスポンスが遅れてしまっていた。

【００４２】これに対し、この発明の流量計において
は、内部にセンサ信号を変換させる機能を持たせたの
で、大規模なシステムを構成した場合でも、シグナルコ
ンパレータの信号収集のレスポンスが遅れることはな
い。また、出力信号、表示信号が変換後の値であるかを
明確に知らしめる表示機能を備えたので、操作者は正確
に表示情報を把握することが出来るようになる。

【００４３】図８は、この発明の第２の実施形態である
一体形差圧流量計の要部断面図である。この第２の実施
形態においては、差圧発生体１７０の接続要素１７１に
小型のバルブ１７５（第１の開閉手段）、１７６（第２
の開閉手段）を取付け、差圧検出器１２０内に高圧側と
低圧側とを連通する通路３２１１、３２２１とを設け、
その間に小型のバルブ（連通路開閉手段）１７３を付加
している。さらに、差圧検出器１２０の各シールダイア
フラム面に対応する封止部材（シール部材）３１１１、
３１２１にドレーンベントプラグ１９４、１９５を設け
た構成とした。さらには、差圧発生体の差圧発生要素
（絞り機構部）を、スパイラル形状（螺旋形状）の金属
管１７７としている。なお、図８に示した例の信号処理
回路は、図５に示した例と同等となるので、説明は省略
する。

【００４４】上述した構成によれば、差圧発生体１７０
の金属管１７７の形状をスパイラル状にしているため、
脈圧エネルギーをより大きく吸収できる吸収体とするこ
とができる。このため、脈圧の影響を、さらに低減する
ことができ、測定値の信頼性が一層向上する。また、検
出差圧が大きい場合でも、差圧発生部の占める空間を同
じにすることができ、その保守時の作業空間領域は変化
しない。

【００４５】また、差圧検出器１２０のバルブ１７３に
より、差圧検出器１２０のゼロ点を確認し、保守、メン
テナンスを行う場合に、バルブ１７３の開閉のみで高圧
側と低圧側が連通するので、メンテナンス性が一層向上
する。

【００４６】また、バルブ１７３と差圧発生体１７０の
接続部に設けられたバルブ１７５と１７６により、従来
から使用している三方弁（三岐弁）と同じ機能を有する
構成を、小型、軽量化したバルブの集合体で構成できる
ので、経済性が一層向上する。

【００４７】また、差圧検出器１２０に設けられたドレ
ーンベントプラグ１９４、１９５とバルブ１７３との通
路の構成により、差圧検出器内に停留している空気等の
混入物を容易に排除することができる。このため、差圧
測定時の誤差要因を排除することができ、測定の信頼性
が一層向上するとともに、メンテナンス性も向上する。

【００４８】なお、図８に示した例において、金属管１
７７は、スパイラル形状としたが、この金属管１７７
は、スパイラル形状に限らず、測定差圧の脈圧の状況に
より、適切な他の形状とすることも可能である。

【００４９】

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているため、次のような効果がある。絞り機構が、被
測定流体の流量変動（脈動）のエネルギーを吸収する吸
収体（脈圧が差圧発生体を振動、揺動する）として働く
ので、被測定流体が脈動しても、検出する差圧の脈動成
分が抑制され、測定精度の向上化が可能となっている。

【００５０】したがって、簡単な構成でありながら、被
測定流体の脈動成分の影響を抑制し、測定精度の向上が
可能な一体形差圧式流量計を実現することができる。

【００５１】また、絞り機構を差圧検出手段から着脱可
能な構成とすれば、被測定流体に応じて、適切な絞り機
構を使用することができ、適用範囲を拡大することが可
能であるとともに、絞り機構の保守、点検が容易な一体
形差圧流量計を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態である一体形差圧式
流量計の一部分を断面とした斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。

【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。

【図４】図１の要部断面図である。

【図５】第１の実施形態における信号処理回路の一例の
概略ブロック図である。

【図６】第１の実施形態における表示器の一例を示す平
面図である。

【図７】図６に示した表示器の表示例を説明する図であ
る。

【図８】この発明の第２の実施形態である一体形差圧流
量計の要部断面図である。

【図９】従来の差圧流量計の概略構成を示す図である。

【符号の説明】

１パイプライン２絞り機構４４半導体複合機能センサ４６ＦＰＣ１０２高圧側導圧配管１０４低圧側導圧配管１１０、１１２、１１４回路基板１１６カバー１１８配線口１２０受圧部１２２センサ部組１４０表示器１４１過負荷保護ダイアフラム１６２、１６４シールダイアフラム１７０差圧発生体１７２、１７７金属パイプ１７３、１７５、１７６バルブ１９０信号処理部１９４、１９５ドレインベントプラグ２３２、２３４接続アダプタ２４２、２４４、２４６、２４８接続アダプタ用ボル
トねじ３１１、３１２受圧部凹部４０４透明部材３２１、３２２連通路３１１１、３１２１シール部材３２１１、３２２１受圧部内連通路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定流体の流量に対応する差圧を検出す
る一体形差圧式流量計において、被測定流体を導入する流体導入手段と、上記流体導入手段により導入された被測定流体が供給さ
れ、その被測定流体供給入り口と出口との間で差圧を発
生させる絞り機構と、上記絞り機構からの被測定流体を導出する流体導出手段
と、上記絞り機構により発生された差圧を検出し、検出した
差圧に対応する信号を出力する差圧検出手段とを備える
ことを特徴とする一体形差圧式流量計。
【請求項２】請求項１記載の一体形差圧式流量計におい
て、上記検出した差圧の平方根を表示する表示手段をさ
らに備えることを特徴とする一体形差圧式流量計。
【請求項３】請求項１記載の一体形差圧式流量計におい
て、上記絞り機構は、金属パイプであり、この金属パイ
プの一方の開口部に、上記流体導入手段からの被測定流
体が導入され、上記金属パイプの他方の開口部から被測
定流体が上記流体導出手段に供給されることを特徴とす
る一体形差圧式流量計。
【請求項４】請求項３記載の一体形差圧式流量計におい
て、上記金属パイプは、上記差圧検出手段に着脱可能な
接続手段を有することを特徴とする一体形差圧式流量
計。
【請求項５】請求項３記載の一体形差圧式流量計におい
て、上記金属パイプは、螺旋形状であることを特徴とす
る一体形差圧式流量計。
【請求項６】請求項５記載の一体形差圧式流量計におい
て、上記流体導入手段と、流体導入手段とを連通する通
路と、この通路を選択的に開閉する連通路開閉手段とを
さらに備えることを特徴とする一体形差圧流量計。
【請求項７】請求項５記載の一体形差圧式流量計におい
て、上記金属パイプの一方の開口部を選択的に開閉する
第１の開閉手段と、上記金属パイプの他方の開口部を選
択的に開閉する第２の開閉手段とを、さらに備えること
を特徴とする一体形差圧流量計。