JPH10275017A - Carrier control method and carrier device - Google Patents
Carrier control method and carrier deviceInfo
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- JPH10275017A JPH10275017A JP9079657A JP7965797A JPH10275017A JP H10275017 A JPH10275017 A JP H10275017A JP 9079657 A JP9079657 A JP 9079657A JP 7965797 A JP7965797 A JP 7965797A JP H10275017 A JPH10275017 A JP H10275017A
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Landscapes
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- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送制御技術およ
び搬送技術に関し、特に、複数の製造装置間や製造工程
間における被加工物等の搬送に適用して有効な技術に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transport control technique and a transport technique, and more particularly to a technique which is effective when applied to transport of a workpiece or the like between a plurality of manufacturing apparatuses or between manufacturing processes.
【０００２】[0002]
【従来の技術】たとえば、工業製品の製造工程において
は、各製造装置間や製造工程間に軌道を敷設し、当該軌
道上を走行する搬送車に加工対象物等を積載して目的の
工程間を移動させる搬送装置を使用することが考えられ
る。2. Description of the Related Art In the manufacturing process of industrial products, for example, a track is laid between manufacturing apparatuses and between manufacturing processes, and an object to be processed is loaded on a transporting vehicle traveling on the track and the target process is performed. It is conceivable to use a transport device for moving the.
【０００３】従来、このような搬送装置の能力を向上す
るには、特開平３−２５９８１２号公報や特開平６−１
４０４９５号公報に示すように、別の搬送系を設けるこ
とで、搬送能力を向上させようとしていた。Conventionally, in order to improve the performance of such a transfer apparatus, Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei.
As disclosed in Japanese Patent No. 40495, it has been attempted to improve the transfer capacity by providing another transfer system.
【０００４】また、従来は特開昭６１−５６８５９号公
報に示すように、軌道を分岐させてバイパスを設けて
も、作業のない搬送車の待機場所として使用するだけ
で、バイパスを効果的に使用していなかった。Conventionally, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 61-56859, even if a track is branched and a bypass is provided, the bypass can be effectively used only by using it as a stand-by place of a carrier without any work. We did not use.
【０００５】従来の分岐軌道を有する搬送装置の搬送制
御方法は、他の搬送車の位置を考慮せずに１台の搬送車
だけに着目して、複数の搬送経路から最短距離を通る経
路を選択して搬送を行ったり、他の搬送車の動作予定を
考慮せずに搬送経路を選択して搬送を行ったりしてい
た。A conventional transfer control method for a transfer device having a branch path focuses on only one transfer vehicle without considering the position of another transfer vehicle, and determines a route passing the shortest distance from a plurality of transfer routes. The transport is selectively performed, or the transport route is selected without considering the operation schedule of another transport vehicle.
【０００６】また、従来は搬送車を分岐部で停止させて
から搬送車が進入しようとする経路上の搬送車の台数を
調べて走行方向を決定したりしていた。[0006] Conventionally, the traveling direction is determined by stopping the carrier at the branching section and then examining the number of carriers on the route to which the carrier intends to enter.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上述のような従来技術
では、特開平３−２５９８１２号公報や特開平６−１４
０４９５号公報のように、別の搬送系を設けることで搬
送能力を向上させようとしていたので、搬送能力向上の
ためのコストが大きくなるという技術的課題があった。In the prior art as described above, JP-A-3-259812 and JP-A-6-14.
As disclosed in Japanese Patent No. 0495, there has been a technical problem that the cost for improving the transfer capacity is increased because the transfer capacity is improved by providing another transfer system.
【０００８】また、従来は特開昭６１−５６８５９号公
報に示すようにバイパスを設けても、単に、作業のない
搬送車の待機場所として使用するだけなので、搬送能力
向上の効果が必ずしも十分ではない、という技術的課題
があった。Conventionally, even if a bypass is provided as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 61-56859, the effect of improving the transfer capability is not always sufficient because the bypass is merely used as a standby place for a transport vehicle without any work. There was a technical problem that there was no.
【０００９】分岐軌道を有する搬送装置の搬送制御方法
において、従来は他の搬送車の位置を考慮せずに１台の
搬送車だけに注目して、複数の搬送経路から最短距離を
通る経路を選択して搬送を行っていたので、他の搬送車
の走行を妨げ、搬送装置全体の搬送能力を落としてしま
う、という技術的課題があった。In a transfer control method for a transfer device having a branch track, conventionally, attention is paid to only one transfer vehicle without considering the position of another transfer vehicle, and a route passing the shortest distance from a plurality of transfer routes is used. There has been a technical problem that since the transfer is performed selectively, the traveling of another transfer vehicle is hindered, and the transfer capability of the entire transfer device is reduced.
【００１０】また、従来は他の搬送車の動作予定を考慮
せずに、進行方向の経路上の搬送車数のみで搬送経路を
選択していた。このため、支線に移動して干渉しなくな
る搬送車も経路上の搬送車数に加えてしまって、必要以
上に長い距離を走行したり、支線から進入してくる搬送
車を除いて評価していたので搬送車が詰まってしまい、
搬送速度が極端に遅くなったり、デッドロックしたりす
るという技術的課題があった。Conventionally, a transport route is selected only by the number of transport vehicles on the route in the traveling direction without considering the operation schedule of another transport vehicle. For this reason, transport vehicles that move to a branch line and no longer interfere are added to the number of transport vehicles on the route, and are evaluated excluding those traveling over an unnecessarily long distance or entering the branch line. So the carrier was clogged,
There has been a technical problem that the transport speed becomes extremely slow or deadlock occurs.
【００１１】また、従来は搬送車を分岐部で停止させて
から搬送車の走行方向を決めていたので、搬送車が分岐
部で直進する場合でも停止動作が必要となって搬送時間
が延びたり、その後方を走行する搬送車も走行速度を落
としたり、停止したりして搬送時間が延びるという技術
的課題があった。Further, conventionally, the traveling direction of the transport vehicle is determined after stopping the transport vehicle at the branch portion. Therefore, even when the transport vehicle travels straight at the branch portion, a stop operation is required, and the transport time is prolonged. However, there is also a technical problem that a transport vehicle traveling behind the transport vehicle is slowed down or stopped, and the transport time is extended.
【００１２】本発明の目的は、搬送装置に別の余分な搬
送系を設けることなく、低コストで搬送能力の向上を実
現することにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to realize an improvement in transfer capacity at low cost without providing a separate extra transfer system in a transfer device.
【００１３】本発明の他の目的は、バイパスを効果的に
使用して、搬送能力を向上させることにある。It is another object of the present invention to improve the transfer capability by effectively using a bypass.
【００１４】本発明の他の目的は、他の搬送車の走行を
妨げる頻度を下げることで、搬送装置全体の搬送能力を
向上させることにある。Another object of the present invention is to improve the transfer capability of the entire transfer apparatus by reducing the frequency of hindering the movement of another transfer vehicle.
【００１５】本発明の他の目的は、搬送装置内全部の搬
送車の動作予定を考慮することで、搬送能力の向上や、
デッドロックの回避を実現することにある。Another object of the present invention is to improve the transfer capability by considering the operation schedule of all the transfer vehicles in the transfer device.
The purpose is to avoid deadlock.
【００１６】本発明の他の目的は、搬送車の不要な停止
動作を減少させるることで搬送時間を短縮し、搬送装置
全体の搬送能力を向上させることにある。Another object of the present invention is to reduce the unnecessary stopping operation of the transport vehicle, thereby shortening the transport time and improving the transport capability of the entire transport apparatus.
【００１７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.
【００１８】[0018]
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.
【００１９】すなわち、本発明の搬送技術では、分岐軌
道を走行する搬送車にて物品の搬送を行う搬送装置にお
いて、軌道領域毎の搬送車の数および各搬送車の運行情
報の少なくとも一方を変数として演算される搬送能力が
最適となるように搬送車の走行経路を選択するものであ
る。That is, according to the transport technique of the present invention, in a transport apparatus that transports articles by a transport vehicle traveling on a branch track, at least one of the number of transport vehicles for each track area and the operation information of each transport vehicle is a variable. The traveling route of the transport vehicle is selected so that the transport capacity calculated as is optimal.
【００２０】搬送車の運行情報としては、たとえば、搬
送元と搬送先の位置関係から軌道領域毎に定めた係数を
用いることができる。As the operation information of the transport vehicle, for example, a coefficient determined for each track area from the positional relationship between the transport source and the transport destination can be used.
【００２１】また、搬送車の運行情報としては、たとえ
ば、搬送元と搬送先の位置関係から軌道領域毎に定めた
係数と、各搬送車の動作予定から定めた係数とを用いる
ことができる。Further, as the operation information of the transport vehicles, for example, a coefficient determined for each track area from the positional relationship between the transport source and the transport destination and a coefficient determined from the operation schedule of each transport vehicle can be used.
【００２２】また、軌道領域の各々を、たとえば、分岐
軌道における分岐点および方向転換点の少なくとも一方
にて区分される領域として定義し、当該軌道領域毎に搬
送車の管理を行う。Further, each of the track regions is defined as, for example, a region which is divided by at least one of a branch point and a turning point in a branch track, and a carrier is managed for each of the track regions.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００２４】図１は本発明の一実施の形態である搬送装
置および搬送制御方法を実現するための制御系のシステ
ム構成の一例を示す概念図である。本実施の形態のシス
テムはライン全体のワーク（加工対象物）の進捗などの
生産状態を管理するラインコントローラ１００と、ワー
クの流れを管理する物流コントローラ１１０、搬送装置
を管理する搬送装置コントローラ１３０、搬送装置の各
領域を管理する領域コントローラ１４０ａ〜１４０ｄと
から構成されている。領域コントローラ１４０ａ〜１４
０ｄは複数のセンサ１４３、インバータ１４１と接続さ
れている。FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of a system configuration of a control system for realizing a transfer apparatus and a transfer control method according to an embodiment of the present invention. The system according to the present embodiment includes a line controller 100 that manages a production state such as a progress of a work (workpiece) on the entire line, a distribution controller 110 that manages a flow of a work, a transfer device controller 130 that manages a transfer device, It is composed of area controllers 140a to 140d that manage each area of the transport device. Area controllers 140a to 14
0d is connected to the plurality of sensors 143 and the inverter 141.
【００２５】各構成要素間の信号の入出力について説明
する。ラインコントローラ１００はライン全体のワーク
の進捗状況から判断して、搬送命令（搬送するワークと
そのワークの搬送元、搬送先）を物流コントローラ１１
０へ送る。物流コントローラ１１０は搬送装置コントロ
ーラ１３０からの搬送車情報をもとに演算を行って搬送
車２００と搬送経路を決め、その結果を搬送装置コント
ローラ１３０に指示する。搬送装置コントローラ１３０
は搬送経路に関係ある軌道の領域コントローラ１４０ａ
〜１４０ｄに搬送車２００の動作を指示する。領域コン
トローラ１４０ａ〜１４０ｄはセンサ１４３から搬送車
通過信号を受け取り、搬送装置コントローラ１３０に搬
送車２００の位置、状態を伝え、さらに、インバータ１
４１に動作を指示して搬送車２００の動作を制御する。The input and output of signals between the components will be described. The line controller 100 determines a transfer command (work to be transferred and a transfer source and a transfer destination of the work) from the distribution controller 11 by judging from the progress of the work of the entire line.
Send to 0. The distribution controller 110 performs a calculation based on the carrier information from the carrier controller 130 to determine the carrier route with the carrier 200, and instructs the carrier controller 130 of the result. Transfer device controller 130
Is the area controller 140a of the trajectory related to the transport path
To 140d is instructed to operate the carrier 200. The area controllers 140a to 140d receive the carrier passing signal from the sensor 143, inform the carrier controller 130 of the position and state of the carrier 200, and
An operation is instructed to 41 and the operation of the carrier 200 is controlled.
【００２６】物流コントローラ１１０の内部構成は、ラ
インコントローラ１００と信号をやりとりする上位通信
部１１１、未処理の搬送要求を蓄えておく搬送要求バッ
ファ部１１９、搬送要求を優先度順に並び替える搬送要
求ソート部１１２、ワークに搬送車２００を割り付ける
搬送車割付部１１３、搬送車２００の動作などの状態を
管理する搬送車状態管理部１１４、搬送車２００の現在
位置を管理する搬送車位置管理部１１５、搬送車２００
の搬送経路を決める搬送経路決定部１１６、ある区切ら
れた軌道領域内の搬送車２００の台数を算出する搬送車
密度算出部１１７、搬送装置コントローラ１３０と信号
のやりとりをする下位通信部１１８とからなる。The internal configuration of the distribution controller 110 includes a higher-level communication unit 111 for exchanging signals with the line controller 100, a transport request buffer unit 119 for storing unprocessed transport requests, and a transport request sort for sorting transport requests in priority order. Unit 112, a transport vehicle allocating unit 113 that allocates the transport vehicle 200 to the work, a transport vehicle state management unit 114 that manages the state of the operation of the transport vehicle 200, a transport vehicle position management unit 115 that manages the current position of the transport vehicle 200, Transportation vehicle 200
From a transport route determining unit 116 that determines the transport route of the transport vehicle, a transport vehicle density calculating unit 117 that calculates the number of transport vehicles 200 in a certain track area, and a lower communication unit 118 that exchanges signals with the transport device controller 130. Become.
【００２７】図２０は、この物流コントローラ１１０を
実現するコンピュータシステムの構成の一例を示す概念
図である。FIG. 20 is a conceptual diagram showing an example of a configuration of a computer system for realizing the distribution controller 110.
【００２８】本実施の形態のコンピュータシステム１２
０は、システムバス１２１を介して、ＭＰＵ等からなる
中央処理装置１２２、中央処理装置１２２の動作を制御
するプログラムやデータなどが格納される主記憶１２
３、プログラムや制御情報などのデータが格納される外
部記憶装置１２４、外部の他のシステムとの情報の授受
を行うための外部通信インターフェイス１２５、ディス
プレイ１２６ａおよびキーボード１２６ｂ等からなり、
システム管理者に対してコマンドやデータの入力環境な
どのユーザインターフェイスを提供する操作端末１２
６、等で構成されている。The computer system 12 of the present embodiment
Reference numeral 0 denotes a central processing unit 122 composed of an MPU or the like via a system bus 121, and a main memory 12 in which programs and data for controlling the operation of the central processing unit 122 are stored.
3, an external storage device 124 for storing data such as programs and control information, an external communication interface 125 for exchanging information with other external systems, a display 126a, a keyboard 126b, and the like.
An operation terminal 12 that provides a system administrator with a user interface such as a command and data input environment.
6, etc.
【００２９】主記憶１２３には、基本ソフトウェアとし
てのオペレーティングシステム１２３ａと、上述の物流
コントローラ１１０の機能を実現するための物流コント
ローラプログラム１１０Ａおよび後述のような各種のテ
ーブル等からなる制御情報１１０Ｂが格納されている。
そして、オペレーティングシステム１２３ａの配下で物
流コントローラプログラム１１０Ａを実行することによ
り、外部通信インターフェイス１２５を介して、上位側
のラインコントローラ１００および下位側の搬送装置コ
ントローラ１３０との間で適宜情報の授受を行うこと
で、後述のフローチャート等に例示されるような一連の
制御動作が行われる。The main memory 123 stores an operating system 123a as basic software, a physical distribution controller program 110A for realizing the functions of the physical distribution controller 110, and control information 110B including various tables as described later. Have been.
Then, by executing the distribution controller program 110A under the control of the operating system 123a, information is appropriately transmitted and received between the upper line controller 100 and the lower carrier controller 130 via the external communication interface 125. As a result, a series of control operations as illustrated in a flowchart and the like described below are performed.
【００３０】図２は本実施の形態の搬送装置の全体構成
の一例を示す概念図であり、図３は搬送物移載部（以
下、シフタと記す）の動作を、図４は搬送回転部（以
下、ターンテーブルと記す）の動作を示す図である。FIG. 2 is a conceptual diagram showing an example of the overall configuration of the transfer apparatus according to the present embodiment. FIG. 3 shows the operation of a transfer unit (hereinafter referred to as a shifter), and FIG. It is a figure which shows operation | movement of the following (it is described as a turntable).
【００３１】本搬送装置は、軌道２１０の周囲に配置さ
れた、ワークを保管するストッカ２３０ａ〜２３０ｒ間
の搬送を行う搬送装置である。軌道２１０上を、搬送車
２００が一方通行（本実施の形態の場合には反時計回り
方向）で走行し、搬送車２００はステーション２４０ａ
〜２４０ｖにある、後述の図２１に例示されるモータ１
４２の推力によって加速、減速、停止する。The present transfer device is a transfer device arranged around the track 210 for transferring between the stockers 230a to 230r for storing works. On the track 210, the carrier 200 travels in one way (counterclockwise in the case of the present embodiment), and the carrier 200 is moved to the station 240a.
Motor 1 which is illustrated in FIG.
It accelerates, decelerates, and stops with the thrust of 42.
【００３２】本実施の形態では、一例として、軌道２１
０は、略矩形状の閉ループ軌道２１０ａと、この閉ルー
プ途中を二箇所で短絡する二つのバイパス軌道２１０ｂ
およびバイパス軌道２１０ｃで構成されている。搬送車
２００は、反時計回りで閉ループ軌道２１０ａを周回
し、必要に応じて、後述の各フローチャート等に例示さ
れるような判定論理にて途中の二つのバイパス軌道２１
０ｂおよびバイパス軌道２１０ｃを適宜選択すること
で、目的位置までの移動距離を短縮し、搬送効率の向上
を図る。In the present embodiment, as an example, the orbit 21
0 is a closed loop track 210a having a substantially rectangular shape, and two bypass tracks 210b that short-circuit the middle of the closed loop at two points.
And a bypass track 210c. The transport vehicle 200 goes around the closed loop trajectory 210a in a counterclockwise direction, and, if necessary, the two bypass trajectories 21 on the way according to the determination logic as exemplified in the flowcharts described below.
By appropriately selecting 0b and the bypass track 210c, the moving distance to the target position is reduced, and the transport efficiency is improved.
【００３３】軌道２１０（閉ループ軌道２１０ａ）の終
端（コーナ部）と、軌道途中のバイパス軌道２１０ｂお
よびバイパス軌道２１０ｃの分岐部にはターンテーブル
２２０ａ〜２２０ｈがあり、搬送車２００の進行方向の
変更が可能である。搬送車２００は、たとえば軌道２１
０上の走行面に開設された図示しない無数のエア吹き出
し口から噴出するエア流によるエアベアリングにて浮上
走行する。Turntables 220a to 220h are provided at the end (corner portion) of the track 210 (closed loop track 210a) and at the branch of the bypass track 210b and the bypass track 210c in the middle of the track, so that the traveling direction of the carrier 200 can be changed. It is possible. The carrier 200 is, for example, a track 21
The vehicle floats and travels by an air bearing that is generated by an air flow spouted from innumerable air outlets (not shown) provided on the traveling surface on the top of the vehicle.
【００３４】すなわち、図２１に例示されるように、ス
テーション２４０ａ〜２４０ｖの各々は、走行方向に沿
って軌道２１０に配置された主搬送コイル１４２ａおよ
び複数の停止制御コイル１４２ｂおよび停止制御コイル
１４２ｃと、個々の搬送車２００の各々の底面に配置さ
れた図示しないアルミニウム板からなるリニア誘導モー
タと、搬送車２００の走行方向に所定の位置に配列され
た複数のセンサ１４３で構成されている。そして、主搬
送コイル１４２ａおよび複数の停止制御コイル１４２ｂ
および停止制御コイル１４２ｃ等にインバータ１４１を
介して通電することによって発生する磁界と、この磁界
にて搬送車２００側の図示しないアルミニウム板に流れ
る渦電流による磁界の相互作用による推力にて、浮上状
態の搬送車２００の移動方向、速度、減速、停止、等の
各制御操作が行われる。That is, as exemplified in FIG. 21, each of the stations 240a to 240v includes a main transport coil 142a, a plurality of stop control coils 142b, and a stop control coil 142c arranged on the track 210 along the traveling direction. And a linear induction motor formed of an aluminum plate (not shown) disposed on the bottom surface of each carrier 200, and a plurality of sensors 143 arranged at predetermined positions in the traveling direction of the carrier 200. The main transport coil 142a and the plurality of stop control coils 142b
And a magnetic field generated by energizing the stop control coil 142c and the like via the inverter 141, and a thrust caused by the interaction of the magnetic field due to the eddy current flowing through the aluminum plate (not shown) on the side of the transporting vehicle 200 with the magnetic field, the floating state Each control operation such as the moving direction, speed, deceleration, and stop of the carrier 200 is performed.
【００３５】搬送車２００とストッカ２３０とのワーク
の移載は、図３に示すように軌道２１０の一部をなす退
避軌道２１０ｄが幅方向に移動してストッカ２３０内に
引き込まれた状態で、ストッカ２３０内の図示していな
いアームで行われる。このとき生じる軌道２１０の隙間
は、引き込まれた退避軌道２１０ｄとほぼ同一形状の交
代軌道２１０ｅがスライドすることで、他の搬送車２０
０の走行を妨げる時間を少なくしている。As shown in FIG. 3, the transfer of the work between the transport vehicle 200 and the stocker 230 is performed in a state where the retreat track 210d forming a part of the track 210 moves in the width direction and is drawn into the stocker 230. This is performed by an arm (not shown) in the stocker 230. At this time, the gap between the tracks 210 is changed by the sliding of the alternate track 210e having substantially the same shape as that of the retracted track 210d.
The time that hinders the run of 0 is reduced.
【００３６】ターンテーブル２２０は図４に示すよう
に、搬送車２００がターンテーブル上に停止すると搬送
車２００ごと回転を行って他の軌道２１０と接続し、分
岐動作を行う。なお、ターンテーブル２２０は元の姿勢
（位置）に戻るまで、他の搬送車２００の走行を妨げる
ことになる。As shown in FIG. 4, when the transport vehicle 200 stops on the turntable, the turntable 220 rotates together with the transport vehicle 200 to connect to another track 210 and performs a branching operation. Note that the turntable 220 will hinder the traveling of the other transport vehicles 200 until returning to the original posture (position).
【００３７】図１８は、本実施の形態において、物流コ
ントローラ１１０が複数の搬送車２００を管理するため
に使用する搬送車管理テーブル３００の一例を示す概念
図である。この搬送車管理テーブル３００は、個々の搬
送車２００にユニークに付与されたＩＤ情報３０１と、
当該搬送車２００の現在位置が格納される現在位置情報
３０２と、当該搬送車２００の現在の状態や予定行動等
の稼働状況を示す状態フラグ３０３と、当該搬送車２０
０が使用中か否かを識別するための使用中フラグ３０
４、等を各ＩＤ情報３０１毎に対応付けて格納した構成
となっている。FIG. 18 is a conceptual diagram showing an example of a carrier management table 300 used by the distribution controller 110 to manage a plurality of carriers 200 in this embodiment. The carrier management table 300 includes ID information 301 uniquely assigned to each carrier 200,
The current position information 302 in which the current position of the carrier 200 is stored, a state flag 303 indicating the current state of the carrier 200 and an operation status such as a scheduled action, and the like,
In use flag 30 for identifying whether 0 is in use or not
4, etc. are stored in association with each ID information 301.
【００３８】現在位置情報３０２は、複数のターンテー
ブル２２０にて区切られる軌道部分として後述のように
定義される複数の軌道領域（＃１〜１０）のうち、当該
搬送車２００が現在居る軌道領域＃が格納される。The current position information 302 includes a track area where the carrier 200 is currently located among a plurality of track areas (# 1 to # 10) defined as track sections separated by a plurality of turntables 220 as described later. # Is stored.
【００３９】状態フラグ３０３には、図１６に例示され
る係数定義テーブル５００にて定義される５つの状態
（０１〜０５）のうち当該搬送車２００に該当するいず
れかが格納される。The state flag 303 stores one of the five states (01 to 05) defined in the coefficient definition table 500 illustrated in FIG.
【００４０】使用中フラグ３０４には、図１９に例示さ
れるフラグ定義テーブル６００にて定義される使用中フ
ラグ３０４（０１〜０３）のうち当該搬送車２００に該
当するいずれかが格納される。The in-use flag 304 stores any of the in-use flags 304 (01 to 03) defined in the flag definition table 600 illustrated in FIG.
【００４１】図２２は、たとえば半導体装置の製造工程
に、本実施の形態の搬送装置を適用して、たとえば、各
工程間における図示しない半導体ウェハや半導体装置等
のワークの搬送作業を行わせる場合の各ストッカの各工
程（ベイ）に対する割り当ての一例を示す概念図であ
る。FIG. 22 shows a case where the transfer apparatus of the present embodiment is applied to, for example, a manufacturing process of a semiconductor device to transfer a work such as a semiconductor wafer or a semiconductor device (not shown) between each process. FIG. 4 is a conceptual diagram showing an example of assignment of each stocker to each process (bay).
【００４２】図２２の例では、一例として、各工程を収
容する１２のベイ４０１〜ベイ４１２がある。そして、
たとえば、イオン打込み工程が収容されるベイ４０１
（ベイ４０７）には、ストッカ２３０ｉ（＃１）（スト
ッカ２３０ｊ（＃１０））が割り当てられている。In the example of FIG. 22, there are, as an example, 12 bays 401 to 412 for accommodating each process. And
For example, bay 401 in which the ion implantation process is accommodated
The stocker 230i (# 1) (stocker 230j (# 10)) is allocated to (bay 407).
【００４３】露光工程が収容されるベイ４０２（ベイ４
０８）には、二つのストッカ２３０ｈ、ストッカ２３０
ｇ（＃３，２）（ストッカ２３０ｋ、ストッカ２３０ｌ
（＃１１，１２））が割り当てられている。The bay 402 (Bay 4) in which the exposure process is accommodated
08), two stockers 230h and a stocker 230
g (# 3, 2) (stocker 230k, stocker 230l
(# 11, 12)).
【００４４】ＣＶＤ工程が収容されるベイ４０３（ベイ
４０９）には、二つのストッカ２３０ｆ、ストッカ２３
０ｅ（＃６，５）（ストッカ２３０ｍ、ストッカ２３０
ｎ（＃１３，１４））が割り当てられている。The bay 403 (bay 409) in which the CVD process is accommodated has two stockers 230f and a stocker 23.
0e (# 6, 5) (Stocker 230m, Stocker 230
n (# 13, 14)).
【００４５】酸化工程が収容されるベイ４０４（ベイ４
１０）には、一つのストッカ２３０ｄ（＃４）（ストッ
カ２３０ｏ（＃１５））が割り当てられている。The bay 404 (Bay 4) accommodating the oxidation step
10), one stocker 230d (# 4) (stocker 230o (# 15)) is assigned.
【００４６】エッチング工程が収容されるベイ４０５
（ベイ４１１）には、二つのストッカ２３０ｃ、ストッ
カ２３０ｂ（＃３，２）（ストッカ２３０ｐ、ストッカ
２３０ｑ（＃１６，１７））が割り当てられている。Bay 405 in which the etching process is accommodated
(Bay 411) is assigned with two stockers 230c and 230b (# 3, 2) (stocker 230p and stocker 230q (# 16, 17)).
【００４７】検査工程が収容されるベイ４０６（ベイ４
１２）には、一つのストッカ２３０ａ（＃１）（ストッ
カ２３０ｒ（＃１８））が割り当てられている。The bay 406 (bay 4) in which the inspection process is accommodated
12), one stocker 230a (# 1) (stocker 230r (# 18)) is allocated.
【００４８】以下、本実施の形態の搬送装置および搬送
制御方法の作用の一例を説明する。図５から図１３は、
本実施の形態の搬送制御方法を実現するための制御の推
移の一例を示すフローチャートである。Hereinafter, an example of the operation of the transfer apparatus and the transfer control method according to the present embodiment will be described. FIG. 5 to FIG.
9 is a flowchart illustrating an example of transition of control for realizing the transport control method according to the present embodiment.
【００４９】図５から図７は搬送車２００への作業割り
付け部分のフローである。図５の作業割り付け部は大き
く分けて、搬送要求順序整理サブルーチンＳ１（図６）
と搬送車割り付けサブルーチンＳ２（図７）とに分けら
れる。FIGS. 5 to 7 show the flow of the work allocating portion to the transport vehicle 200. The work assignment unit in FIG. 5 is roughly divided into a transfer request order arrangement subroutine S1 (FIG. 6).
And a transfer vehicle assignment subroutine S2 (FIG. 7).
【００５０】図６を用いて搬送要求順序整理サブルーチ
ンＳ１の説明を行う。搬送要求が発生すると（Ｓ３）、
その搬送要求を搬送要求バッファ部１１９へストックす
る（Ｓ４）。そして、搬送要求ソート部１１２は、搬送
要求バッファ部１１９を参照して搬送要求バッファ部１
１９内の搬送要求の発生順序や搬送要求固有の優先順位
によって並べ替えを行う（Ｓ５）。Referring to FIG. 6, a description will be given of the transfer request order rearranging subroutine S1. When a transport request occurs (S3),
The transfer request is stored in the transfer request buffer unit 119 (S4). Then, the transport request sorting unit 112 refers to the transport request buffer unit 119 and
The sorting is performed according to the order of occurrence of the transport requests in 19 and the priority order unique to the transport requests (S5).
【００５１】図７を用いて搬送車割り付けサブルーチン
Ｓ２の説明を行う。この搬送車割り付けサブルーチンＳ
２は、搬送車割付部１１３が行う。まず、搬送要求バッ
ファ部１１９に搬送要求があるかを確認し（Ｓ６）、搬
送要求があれば、作業が割り付いていない搬送車２００
があるかを確認する（Ｓ７）。作業が割り付いていない
搬送車２００があれば、搬送要求バッファ部１１９内の
優先度が最も高い搬送要求を、搬送元に最も早く到着で
きると考えられる搬送車２００に割り付け（Ｓ８）、そ
の後、割り付けを完了した搬送要求を搬送要求バッファ
から除く（Ｓ９）。なお、Ｓ６，Ｓ７でＮｏの方に進ん
だ場合は、本サブルーチンから抜けてＳ１に戻る。Referring to FIG. 7, a description will be given of the transport vehicle allocation subroutine S2. This carrier allocation subroutine S
Step 2 is performed by the carrier allocating unit 113. First, it is checked whether or not there is a transfer request in the transfer request buffer unit 119 (S6). If there is a transfer request, the transfer vehicle 200 to which no work is assigned is performed.
It is confirmed whether or not there is (S7). If there is a transport vehicle 200 to which no work is allocated, the transport request having the highest priority in the transport request buffer unit 119 is allocated to the transport vehicle 200 that is considered to be able to arrive at the transport source earliest (S8). The transfer request for which the allocation has been completed is removed from the transfer request buffer (S9). If the process proceeds to No in S6 and S7, the process exits this subroutine and returns to S1.
【００５２】図８から図１３は搬送制御部分の制御の推
移の一例を示すフローチャートであり、図１４から図１
６は、本実施の形態にて用いられる制御情報の一例を示
す概念図、図１７は、本実施の形態における効果の一例
を示す線図である。本実施の形態では、便宜上、１台の
搬送車２００に注目して説明するが、実際には搬送装置
内の全搬送車２００毎に図８から図１３のフローチャー
トに例示される制御を並行して行う。FIGS. 8 to 13 are flow charts showing an example of transition of the control of the transport control portion.
6 is a conceptual diagram illustrating an example of control information used in the present embodiment, and FIG. 17 is a diagram illustrating an example of an effect in the present embodiment. In the present embodiment, for the sake of convenience, a description will be given focusing on one carrier 200, but in practice, the control illustrated in the flowcharts of FIGS. 8 to 13 is performed in parallel for each carrier 200 in the carrier. Do it.
【００５３】まず、本搬送装置の搬送経路指示方法につ
いて説明する。本搬送装置では、走行中の搬送車２００
に対して指示を与えることができないので、搬送車２０
０が搬送元のシフタあるいはターンテーブルに停止して
いる時に、目的地や搬送経路の指示を行わなければなら
ない。そこで、バイパス軌道をより有効に活用するため
に、搬送車２００が軌道の終端やバイパス軌道のターン
テーブルに停止する度に搬送経路の指示を行なうことに
している。First, a description will be given of a transfer path instruction method of the present transfer apparatus. In the present transfer apparatus, a traveling transfer vehicle 200
Can not be given an instruction to
When 0 is stopped at the transfer source shifter or turntable, the destination or the transfer route must be specified. Therefore, in order to more effectively use the bypass track, the transfer route is instructed every time the transport vehicle 200 stops at the end of the track or on the turntable of the bypass track.
【００５４】なお、他の搬送車２００が干渉して搬送車
２００が前方へ進めない場合には、搬送車２００の挙動
を直接制御している搬送装置コントローラ１３０と領域
コントローラ１４０ａ〜１４０ｄ（図１）が搬送車２０
０の加減速および停止制御を行うが、このような停止動
作時は搬送経路の指示は行わない。If the other vehicle 200 does not move forward due to interference with the other vehicle 200, the transport device controller 130 and the area controllers 140a to 140d (FIG. 1) which directly control the behavior of the transport vehicle 200. ) Is the carrier 20
The acceleration / deceleration of 0 and the stop control are performed, but the instruction of the transport path is not performed during such a stop operation.
【００５５】図８から図１７を用いて本実施の形態での
制御の推移を説明する。まず、搬送車状態管理部１１４
にて搬送車２００に作業が割り付いているかを確認する
（Ｓ１０）。作業が割り付いていなければＳ１０へ戻
り、割り付いていれば、搬送車位置管理部１１５にて、
その作業の搬送経路上にバイパス軌道を使用する経路が
あるかを確認する（Ｓ１１）。例えば、図２でストッカ
２３０ａから２３０ｒへ搬送する場合は、搬送ルートと
して、ターンテーブル２２０ｄと２２０ｅを通る経路
と、ターンテーブル２２０ｃと２２０ｆを通る経路との
２通りがあり、バイパス軌道を使用する経路があるが、
ストッカ２３０ａから２３０ｉには搬送経路は１つしか
ない。The transition of control in this embodiment will be described with reference to FIGS. First, the carrier state management unit 114
It is checked whether or not the work is assigned to the carrier 200 (S10). If the work has not been assigned, the process returns to S10, and if the work has been assigned, the carrier position management unit 115
It is confirmed whether there is a route using the bypass track on the transport route of the work (S11). For example, in the case of transporting from the stockers 230a to 230r in FIG. 2, there are two types of transport routes, a route passing through the turntables 220d and 220e, and a route passing through the turntables 220c and 220f. There is,
The stockers 230a to 230i have only one transport path.
【００５６】搬送経路上にバイパス軌道がない場合は搬
送サブルーチンＳ１２へ進む。搬送サブルーチンＳ１２
のフローを図１２を用いて説明する。If there is no bypass trajectory on the transport route, the flow proceeds to the transport subroutine S12. Transport subroutine S12
Will be described with reference to FIG.
【００５７】まず、搬送車位置管理部１１５から搬送装
置コントローラ１３０へ、搬送車２００の走行指示を行
い（Ｓ３１）、搬送の目的地か軌道の終端に到達するま
で、その動作を継続させる（Ｓ３２）。目的地か軌道の
終端に到着すると搬送車２００を停止させる（Ｓ３
３）。その停止ステーションが軌道の終端ではなく、搬
送の目的地である場合は、搬送車２００をストッカ内に
引き込み（Ｓ３５）、ワークの受け渡しを行って（Ｓ３
６）、搬送終了処理を行って、搬送車２００の作業割り
付けを解除して（Ｓ３７）、メインフロー（図８）のＳ
１０に戻る。Ｓ３４で搬送車２００が停止したのが軌道
の終端である場合は、その搬送車２００が停止中のター
ンテーブルを回転させ（Ｓ３８）、再び搬送車２００に
走行指示を行い（Ｓ３９）、それ以降は搬送の目的地に
到着するまでＳ３２以下の制御を繰り返す。なお、これ
らの処理において、Ｓ３５、Ｓ３６、Ｓ３７、Ｓ３８、
Ｓ３９は搬送装置コントローラ１３０および領域コント
ローラ１４０ａ〜１４０ｄにて行われる。First, the traveling position of the transporting vehicle 200 is instructed from the transporting vehicle position management unit 115 to the transporting device controller 130 (S31), and the operation is continued until the transporting destination or the end of the track is reached (S32). ). When the vehicle arrives at the destination or the end of the track, the transport vehicle 200 is stopped (S3).
3). If the stop station is not at the end of the track but at the destination of transport, the transport vehicle 200 is pulled into the stocker (S35), and the work is delivered (S3).
6) Then, a transfer end process is performed to release the work assignment of the transport vehicle 200 (S37), and the process of S of the main flow (FIG. 8) is started.
Return to 10. If the stop of the transport vehicle 200 at S34 is the end of the track, the turntable during which the transport vehicle 200 is stopped is rotated (S38), and a travel instruction is issued to the transport vehicle 200 again (S39). Repeats the control in and after S32 until the vehicle arrives at the transport destination. In these processes, S35, S36, S37, S38,
S39 is performed by the transport device controller 130 and the area controllers 140a to 140d.
【００５８】なおこの一連の制御の中で、他の搬送車２
００が干渉して搬送車２００の走行を妨げる時は、前述
の搬送装置コントローラ１３０と領域コントローラ１４
０ａ〜１４０ｄ（図１）が搬送車２００の加減速および
停止制御を直接行っているので、他の搬送車２００と接
触する事はない。In this series of control, other transport vehicles 2
00 interferes with the traveling of the transport vehicle 200 when the transport device controller 130 and the area controller 14
Since 0a to 140d (FIG. 1) directly control the acceleration / deceleration and stop of the carrier 200, they do not come into contact with other carriers 200.
【００５９】図８のＳ１１で、搬送経路上にバイパス軌
道がある場合は搬送経路決定サブルーチンＳ１３で複数
の搬送経路からどの経路を選択するかを決める。搬送経
路決定部１１６および搬送車密度算出部１１７にて実行
される搬送経路決定サブルーチンＳ１３の制御の推移
を、図９のフローチャートを用いて説明する。まず、搬
送車２００が最短経路を通過する際、次に停止する予定
のターンテーブルがバイパス入口のターンテーブルかど
うかを確認する（Ｓ１９）。例えば、図２において搬送
車２００がストッカ２３０ａにあり、搬送の目的地がス
トッカ２３０ｒとした場合、ターンテーブル２２０ｃで
走行方向を変えてバイパス軌道２１０ｂを使用する方が
ターンテーブル２２０ｄまで走行するよりも短いので、
次に停止する予定のターンテーブルはバイパス軌道２１
０ｂの入口である。逆にストッカ２３０ｉからストッカ
２３０ｄへの搬送の場合、最短経路はステーション２４
０ｖを含むバイパス軌道２１０ｂを使用する経路である
が、次に停止する予定のターンテーブルはターンテーブ
ル２２０ｄであり、軌道の終端である。このように、Ｓ
１９で次に停止するターンテーブルがバイパス軌道の入
口でなければバイパス軌道を使用しないと判断して（Ｓ
２１）、図８のメインフローへ戻り、次のターンテーブ
ルがバイパス軌道の入口であればバイパス軌道を使用す
るかしないかを決めるステップ（Ｓ２０）へ進む。In S11 of FIG. 8, if there is a bypass trajectory on the transport route, a route to be selected from a plurality of transport routes is determined in a transport route determination subroutine S13. The transition of the control of the transport route determination subroutine S13 executed by the transport route determination unit 116 and the transport vehicle density calculation unit 117 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, when the transport vehicle 200 passes through the shortest route, it is checked whether the turntable to be stopped next is the turntable at the bypass entrance (S19). For example, in FIG. 2, when the transport vehicle 200 is in the stocker 230a and the destination of the transport is the stocker 230r, changing the running direction on the turntable 220c and using the bypass track 210b travels to the turntable 220d. So short
The turntable to be stopped next is bypass track 21.
0b. Conversely, in the case of transportation from the stocker 230i to the stocker 230d, the shortest route is the station 24
Although the path uses the bypass track 210b including 0v, the turntable to be stopped next is the turntable 220d, which is the end of the track. Thus, S
In 19, it is determined that the bypass track is not used unless the turntable to stop next is the entrance of the bypass track (S
21) Returning to the main flow of FIG. 8, if the next turntable is at the entrance of the bypass track, proceed to a step (S20) for determining whether to use the bypass track.
【００６０】Ｓ２０は他の搬送車２００への影響を考慮
して搬送装置全体の搬送効率が、バイパス軌道を使用し
た方が良いか、使用しない方が良いかを判断するステッ
プである。Step S20 is a step of judging whether the transfer efficiency of the entire transfer apparatus is better to use the bypass track or not, considering the influence on the other transfer vehicles 200.
【００６１】例えば、ターンテーブル２２０ｃ，２２０
ｆ間のバイパス軌道２１０ｃを使用するときに、バイパ
ス軌道２１０ｃの外側（２２０ｃ，２２０ｄ，２２０
ｅ，２２０ｆ側）の搬送車数が多い場合、ターンテーブ
ル２２０ｆを動作させると、バイパス軌道２１０ｃの外
側の搬送車２００が渋滞する時間が増加して搬送能力が
落ちてしまう。逆に外側の搬送車数が少ない場合には、
バイパス軌道２１０ｃを使用しても他の搬送車２００に
与える影響は小さく、搬送時間を短縮する効果の方が大
きくなる。この判断をするために、Ｓ２０では次の（数
１）を使用している。For example, the turntables 220c and 220
When the bypass trajectory 210c between f is used, the outside of the bypass trajectory 210c (220c, 220d, 220
When the turntable 220f is operated when the number of transport vehicles (e, 220f side) is large, the time during which the transport vehicle 200 outside the bypass track 210c is congested increases, and the transport capacity decreases. Conversely, if the number of outer carriers is small,
Even if the bypass track 210c is used, the influence on the other transport vehicles 200 is small, and the effect of shortening the transport time is greater. To make this determination, the following (Equation 1) is used in S20.
【００６２】[0062]
【数１】 (Equation 1)
【００６３】ここで、Ｌｉは軌道領域毎に決められた領
域係数、Ｖｊは搬送車２００のこれからの動作予定によ
って変わる動作係数であり、ｍは分割された軌道領域
数、ｎは各軌道領域毎の搬送車数である。また、Ｂは搬
送能力を最適化するための調整用の定数である。Here, Li is an area coefficient determined for each track area, Vj is an operation coefficient that changes depending on the future operation schedule of the carrier 200, m is the number of divided track areas, and n is the number of each track area. Is the number of transport vehicles. B is a constant for adjustment for optimizing the transfer capacity.
【００６４】本実施の形態では、ターンテーブル２２０
ａ〜２２０ｈで区切られる部分を軌道領域と定義する。
すなわち、軌道領域＃１はターンテーブル２２０ａから
２２０ｂ、軌道領域＃２はターンテーブル２２０ｂから
２２０ｃ、軌道領域＃３はターンテーブル２２０ｃから
２２０ｄ、軌道領域＃４はターンテーブル２２０ｄから
２２０ｅ、軌道領域＃５はターンテーブル２２０ｅから
２２０ｆ、軌道領域＃６はターンテーブル２２０ｆから
２２０ｇ、軌道領域＃７はターンテーブル２２０ｇから
２２０ｈ、軌道領域＃８はターンテーブル２２０ｈから
２２０ａ、軌道領域＃９はターンテーブル２２０ｂから
２２０ｇ、軌道領域＃１０はターンテーブル２２０ｃか
ら２２０ｆとすることで、１０個の軌道領域＃１〜＃１
０を定義する。In this embodiment, the turntable 220
The portion delimited by a to 220h is defined as a trajectory region.
That is, the track area # 1 is the turntables 220a to 220b, the track area # 2 is the turntables 220b to 220c, the track area # 3 is the turntables 220c to 220d, the track area # 4 is the turntables 220d to 220e, and the track area # 5. Are turntables 220e to 220f, track area # 6 is turntable 220f to 220g, track area # 7 is turntable 220g to 220h, track area # 8 is turntable 220h to 220a, and track area # 9 is turntable 220b to 220g. And the orbital area # 10 is changed from the turntables 220c to 220f so that ten orbital areas # 1 to # 1
0 is defined.
【００６５】領域係数Ｌｉは搬送元と搬送先、各軌道領
域の位置関係から決めるもので、本実施の形態では、一
例として、搬送元毎に２次元のマトリックスからなる係
数設定テーブル４００で表している。この係数設定テー
ブル４００は、搬送車２００に指示を与えることができ
る各ストッカ２３０ａ〜２３０ｒとターンテーブル２２
０ａ，２２０ｂ，２２０ｅ，２２０ｆに用意してあり、
例として搬送元がストッカ１（２３０ａ）の時の係数設
定テーブル４００Ａを図１４に、ストッカ６（２３０
ｆ）の時の係数設定テーブル４００Ｂを図１５に示す。The area coefficient Li is determined based on the positional relationship between the transport source, the transport destination, and each track area. In the present embodiment, as an example, the area coefficient Li is represented by a coefficient setting table 400 composed of a two-dimensional matrix for each transport source. I have. The coefficient setting table 400 includes the stockers 230a to 230r capable of giving an instruction to the carrier 200 and the turntable 22.
0a, 220b, 220e, 220f,
As an example, FIG. 14 shows the coefficient setting table 400A when the transport source is the stocker 1 (230a), and the stocker 6 (230a).
FIG. 15 shows the coefficient setting table 400B at the time of f).
【００６６】図１４、図１５からわかるように、これら
の係数設定テーブル４００Ａ、係数設定テーブル４００
Ｂは複数のバイパス軌道を使用できる搬送経路がある場
合でも、１つ目のバイパス軌道を使用するかしないかに
ついてしか評価できないようになっている。これは、２
つ目のバイパス軌道の経路選択は、搬送車２００がター
ンテーブル２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｅ，２２０ｆの
いずれかに停止中に、その停止ポイントの係数設定テー
ブル４００を使用してやり直すからである。なお、これ
らの係数設定テーブル４００の値は搬送装置の各構成要
素の動作時間、軌道領域毎のステーション数やストッカ
数によって変化する。As can be seen from FIGS. 14 and 15, these coefficient setting tables 400A and 400
B is designed to be able to evaluate only whether or not to use the first bypass trajectory, even if there is a transport route that can use a plurality of bypass trajectories. This is 2
This is because the route selection of the first bypass track is performed again using the coefficient setting table 400 of the stop point while the transport vehicle 200 is stopped on any of the turntables 220a, 220b, 220e, and 220f. The values in the coefficient setting table 400 change depending on the operation time of each component of the transfer device, the number of stations in each track area, and the number of stockers.
【００６７】動作係数Ｖｊは各搬送車２００の動作予定
から決まる係数である。本実施の形態で使用した搬送車
２００の動作予定と動作係数Ｖｊの関係の一例を示すも
のが、図１６の係数定義テーブル５００である。搬送車
２００の動作予定（各状態毎）は、状態フラグ３０３に
て識別される。本実施の形態では、一例として、搬送車
２００が今いる軌道領域内で支線に引き込まれる場合
（状態フラグ：０１）は、他の搬送車２００への影響が
ほとんどないので０、同様に１つ先の軌道領域で支線に
引き込まれる場合（状態フラグ：０２）は0.５、逆に今
は支線にあるが、周回軌道に出る準備ができている搬送
車２００の場合（状態フラグ：０３）は１、１分以内に
周回軌道に出てくるであろう搬送車２００の場合（状態
フラグ：０４）は0.５、その他の搬送車２００の場合
（状態フラグ：０５）は１としている。The operation coefficient Vj is a coefficient determined from the operation schedule of each carrier 200. An example of the relationship between the operation schedule of the transport vehicle 200 and the operation coefficient Vj used in the present embodiment is the coefficient definition table 500 in FIG. The operation schedule (for each state) of the carrier 200 is identified by the state flag 303. In the present embodiment, as an example, when the transport vehicle 200 is pulled into a branch line in the current track area (status flag: 01), there is almost no effect on the other transport vehicles 200, and therefore, 0, and similarly, 1 0.5 when the vehicle is pulled into the branch line in the previous track area (status flag: 02), and conversely, when the carrier 200 is on the branch line but is ready to enter the orbital track (status flag: 03). Is set to 0.5 for the transport vehicle 200 (status flag: 04) that will come out on the orbit within 1 minute, and 1 for other transport vehicles 200 (status flag: 05).
【００６８】これらの係数を適用して、軌道領域毎に動
作係数Ｖｊを合計して、その値に領域係数をかけ、それ
ら各軌道領域毎の値の合計値が定数Ｂ以下ならば他の搬
送車２００への影響が少ないと判断してバイパス軌道を
使用し（Ｓ２２）、定数Ｂよりも大きかったら他の搬送
車２００への影響が大きいのでバイパス軌道を使用しな
い（Ｓ２１）と決めて、図８のメインフローのステップ
Ｓ１４に戻る。By applying these coefficients, the motion coefficient Vj is summed for each orbital area, and the sum is multiplied by the area coefficient. It is determined that the influence on the vehicle 200 is small, and the bypass track is used (S22). If it is larger than the constant B, the influence on the other transport vehicles 200 is large, and it is determined that the bypass track is not used (S21). It returns to step S14 of the main flow of No. 8.
【００６９】ここでは定数Ｂを２つのバイパスで共通と
したが、もちろん搬送経路の形状によっては、各バイパ
ス毎に定数Ｂを設定することで、搬送能力をさらに向上
させることもできる。Here, the constant B is used in common for the two bypasses. However, depending on the shape of the transport path, the transport capacity can be further improved by setting the constant B for each bypass.
【００７０】ここで（数１）の有効性を示すために図１
７を用いて、しきい値である定数Ｂの変化と搬送能力の
変化について説明する。本グラフは横軸に定数Ｂ、縦軸
に搬送能力（回／ｈ）を取ったものである。実線で示し
たのが本実施の形態の制御方法を使用して定数Ｂを変化
させた場合の搬送能力の変化であり、点線で示したのが
常に最短経路を走行する制御方法を使用した場合の搬送
能力である。図１７によると、定数Ｂの調整が不十分な
場合は搬送能力が落ちる場合もあるが、定数Ｂを適切な
値（図１７の例では約５）に設定することで、搬送能力
が向上することが分かる。In order to show the effectiveness of (Equation 1), FIG.
7, the change of the constant B, which is the threshold value, and the change of the transport capacity will be described. In this graph, the horizontal axis represents the constant B, and the vertical axis represents the transport capacity (times / h). The solid line shows the change in the transfer capacity when the constant B is changed using the control method of the present embodiment, and the dotted line shows the case where the control method that always travels the shortest route is used. Transfer capacity. According to FIG. 17, when the adjustment of the constant B is insufficient, the transfer capacity may be reduced. However, the transfer capacity is improved by setting the constant B to an appropriate value (about 5 in the example of FIG. 17). You can see that.
【００７１】図８のＳ１４に戻った後、Ｓ１３の計算結
果に基づいて、バイパス軌道を使用する場合はバイパス
線入口サブルーチンＳ１５に進み、使用しない場合は終
点通過サブルーチンＳ１７へ進む。After returning to S14 of FIG. 8, based on the calculation result of S13, the process proceeds to the bypass line entrance subroutine S15 when using the bypass track, and proceeds to the end point passing subroutine S17 when not using it.
【００７２】バイパス線入口サブルーチンＳ１５の制御
の推移を図１０のフローチャートを用いて説明する。ま
ず、搬送車２００に走行開始を指示し（Ｓ２３）、バイ
パス軌道の入口に到着するまで走行させて（Ｓ２４）、
バイパス軌道の入口に到着したら搬送車２００をターン
テーブル上に停止させる（Ｓ２５）。The transition of the control of the bypass line entrance subroutine S15 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the vehicle 200 is instructed to start traveling (S23), and is driven until it reaches the entrance of the bypass track (S24).
When the vehicle arrives at the entrance of the bypass track, the carrier 200 is stopped on the turntable (S25).
【００７３】搬送車２００がバイパス入口のターンテー
ブル（例えば図２のターンテーブル２２０ｃ，２２０
ｇ）に停止した後で、バイパス軌道上のステーション
（例えば図２のステーション２４０ｕ，２４０ｖ）に他
の搬送車２００が停車中かどうかを調べる（Ｓ１６）。
これは、バイパス軌道上のステーション（２４０ｕ，２
４０ｖ）に他の搬送車２００が停止していると、その
間、搬送車２００がターンテーブル（２２０ｃ，２２０
ｇ）上で停止し続けてしまい、他の搬送車２００の走行
を妨げる時間が長くなることで、搬送装置全体の搬送能
力が落ちてしまうのを避けるためである。またここで、
Ｓ１３，Ｓ１４でバイパス軌道を使用するか、しないか
の判断をせずに、必ず搬送車２００を停止させてから、
Ｓ１３の搬送経路決定サブルーチンを実行する場合の問
題点を述べる。Ｓ１３，Ｓ１４がない場合には、毎回バ
イパス入口のターンテーブル上で搬送車２００の停止動
作を行い、Ｓ１３，Ｓ１４とＳ１６の判断を行うことに
なる。搬送車２００の停止には加減速時間も含めて数秒
から数十秒の時間がかかるので、ターンテーブルで停止
する搬送車２００の搬送時間が増加する。それだけでな
く、後方を走行中の搬送車２００の走行を妨げることに
もなるので、搬送装置全体の搬送能力を落とすことにな
る。これを避けるためにも、図８のフローチャートに示
すような制御の推移にする必要がある。The transport vehicle 200 is a turntable at the bypass entrance (for example, the turntables 220c and 220 in FIG. 2).
After stopping at g), it is checked whether or not another carrier 200 is stopped at a station on the bypass track (for example, the stations 240u and 240v in FIG. 2) (S16).
This is because the station (240u, 2
40v), while the other carrier 200 is stopped, the carrier 200 is turned by the turntables (220c, 220c) during that time.
g) This is to prevent the transporting capability of the entire transporting device from being reduced due to a long time in which the transporting device 200 continues to stop and hinders the traveling of another transporting vehicle 200. Also here
In S13 and S14, the vehicle 200 must be stopped without making a determination whether to use the bypass track or not.
The problem in executing the transport route determination subroutine of S13 will be described. When S13 and S14 do not exist, the stopping operation of the carrier 200 is performed on the turntable at the bypass entrance every time, and the determination of S13, S14, and S16 is performed. Since it takes several seconds to several tens of seconds including the acceleration / deceleration time to stop the transport vehicle 200, the transport time of the transport vehicle 200 that stops at the turntable increases. Not only that, but also the traveling of the carrier 200 traveling behind is impeded, so that the carrying capacity of the entire carrying device is reduced. In order to avoid this, it is necessary to change the control as shown in the flowchart of FIG.
【００７４】Ｓ１６でバイパス軌道上のステーション
（２４０ｕ，２４０ｖ）に他の搬送車２００が停車中な
らば終点通過サブルーチンＳ１７へ進み、停車中でなけ
ればバイパス線出口サブルーチンＳ１８でバイパス軌道
の通過制御を行う。In S16, if another transporting vehicle 200 is stopped at the station (240u, 240v) on the bypass track, the flow proceeds to the end point passing subroutine S17. If not, the passing control of the bypass track is performed in the bypass line exit subroutine S18. Do.
【００７５】終点通過サブルーチンＳ１７を図１３を用
いて説明する。まず、搬送車２００に走行開始を指示し
（Ｓ４０）、軌道の終端に到着するまで走行させて（Ｓ
４１）、軌道の終端に到着したら搬送車２００を停止さ
せる（Ｓ４２）。その後、ターンテーブルを回転して
（Ｓ４３）、先ほどと同様に搬送車２００に走行開始を
指示し（Ｓ４４）、軌道の終端に到着するまで走行させ
る（Ｓ４５）。もう一端のターンテーブルに到着したら
搬送車２００を停止させて（Ｓ４６）、ターンテーブル
を回転する（Ｓ４７）。The end point passing subroutine S17 will be described with reference to FIG. First, the transport vehicle 200 is instructed to start traveling (S40), and is caused to travel until it reaches the end of the track (S40).
41) When the vehicle arrives at the end of the track, the transport vehicle 200 is stopped (S42). After that, the turntable is rotated (S43), and the start of travel is instructed to the transport vehicle 200 in the same manner as before (S44), and the transport vehicle 200 travels until it reaches the end of the track (S45). When the vehicle arrives at the other turntable, the carrier 200 is stopped (S46), and the turntable is rotated (S47).
【００７６】バイパス線出口サブルーチンＳ１８を図１
１を用いて説明する。既に搬送車２００はターンテーブ
ル上に停止しているので、ターンテーブルを回転して
（Ｓ２６）、搬送車２００に走行開始を指示し（Ｓ２
７）、バイパス軌道の出口に到着するまで走行させる
（Ｓ２８）。バイパス軌道出口のターンテーブルに到着
したら搬送車２００を停止させて（Ｓ２９）、ターンテ
ーブルを回転する（Ｓ３０）。FIG. 1 shows the bypass line exit subroutine S18.
1 will be described. Since the transport vehicle 200 has already stopped on the turntable, the turntable is rotated (S26) to instruct the transport vehicle 200 to start traveling (S2).
7), the vehicle travels until it reaches the exit of the bypass track (S28). When the vehicle arrives at the turntable at the exit of the bypass track, the carrier 200 is stopped (S29), and the turntable is rotated (S30).
【００７７】Ｓ１７，Ｓ１８共に処理終了後、Ｓ１１に
戻る。After the processing in both S17 and S18 is completed, the flow returns to S11.
【００７８】本実施の形態の搬送制御方法および搬送装
置を使用すれば、全搬送車２００の正確な位置が分から
くても、各ポイント通過信号から各軌道領域毎の搬送車
２００の台数を算出し、その結果を基に搬送車２００の
進行方向（搬送経路）を決めることができる。そのた
め、軌道領域毎に搬送車数を管理すれば十分であり、搬
送車２００の位置情報を上位の搬送コントローラに知ら
せるための通信回数が全搬送車２００の位置を逐次管理
する場合の１／５〜１／２０程度になり、通信系の負荷
が減少し、安価で効率の良い搬送制御システムを実現で
きる。If the transfer control method and the transfer apparatus of the present embodiment are used, even if the exact positions of all the transfer vehicles 200 are unknown, the number of the transfer vehicles 200 for each track area can be calculated from each point passage signal. The traveling direction (transport route) of the transport vehicle 200 can be determined based on the result. Therefore, it is sufficient to manage the number of transport vehicles for each track area, and the number of times of communication for notifying the position information of the transport vehicles 200 to the upper-level transport controller is 1/5 of the case of sequentially managing the positions of all the transport vehicles 200. As a result, the load on the communication system is reduced, and an inexpensive and efficient transport control system can be realized.
【００７９】本実施の形態では、バイパス軌道の外側を
走行する搬送車２００の台数によって経路を選択した
が、搬送車２００の台数が多いときには、逆にバイパス
軌道の内側の経路上を走行する搬送車２００の台数によ
って経路を選択することによって、デッドロックを回避
することもできる。In this embodiment, the route is selected according to the number of carriers 200 traveling on the outside of the bypass track. However, when the number of carriers 200 is large, on the contrary, the carrier traveling on the route inside the bypass track is selected. By selecting a route according to the number of vehicles 200, deadlock can also be avoided.
【００８０】また、たとえば複雑な搬送路の場合、複数
の計算式を同時に満たしたり、（数２）のように１つの
計算式で複数の条件を満たしたりするときのみ、バイパ
ス軌道を使用することで、更に搬送能力を上げることも
可能である。Further, for example, in the case of a complicated transport path, the bypass trajectory should be used only when a plurality of formulas are satisfied at the same time, or when one formula satisfies a plurality of conditions as in (Equation 2). Thus, it is possible to further increase the transfer capacity.
【００８１】[0081]
【数２】 (Equation 2)
【００８２】また、図２に例示された搬送装置における
軌道構成を拡張した、図２３に示すような複雑な軌道７
００を有する搬送装置では、搬送車２００同士の干渉が
非常に多くなるので、図２に例示された軌道構成の場合
以上の搬送能力向上が期待できる。なお、図２３の図中
の矢印は搬送車２００の移動方向を示している。A complicated track 7 as shown in FIG. 23 is obtained by expanding the track configuration in the transfer device illustrated in FIG.
In the case of the transporting device having the 00, the interference between the transporting vehicles 200 becomes extremely large, so that it is expected that the transporting ability is improved more than the case of the track configuration illustrated in FIG. The arrow in FIG. 23 indicates the moving direction of the carrier 200.
【００８３】さらに、本発明は、図２等に例示される軌
道構成を有する前述の実施の形態のように、搬送車２０
０の加減速がステーション２４０ａ〜２４０ｖでしか行
えない搬送装置に限定したものではなく、たとえば、図
２４に例示されるように、搬送車２００Ａが、軌道２１
０の全域を自力走行するとともに、軌道の終点や、バイ
パス軌道出入口部分がターンテーブルでなく、カーブで
構成される場合にも適用することができる。Further, according to the present invention, as in the above-described embodiment having the track configuration illustrated in FIG.
However, the present invention is not limited to the transfer device capable of performing acceleration / deceleration of 0 only at the stations 240a to 240v. For example, as illustrated in FIG.
The present invention can also be applied to a case where the vehicle travels by itself in the entire area of 0 and the end point of the track or the entrance / exit portion of the bypass track is not a turntable but a curve.
【００８４】この場合にも、バイパス軌道を有効に使用
することで、走行速度の落ちるカーブ部分の搬送車密度
を均一化する効果があるので、搬送車２００Ａ自体に加
減速機能を有する搬送装置でも搬送車密度の偏りによる
搬送速度の低下を抑えることで、搬送能力を向上でき
る。In this case as well, the effective use of the bypass track has the effect of equalizing the density of the transport vehicle in the curved portion where the traveling speed decreases. Therefore, even in the transport device having the acceleration / deceleration function in the transport vehicle 200A itself. By suppressing the decrease in the transport speed due to the uneven density of the transport vehicle, the transport capacity can be improved.
【００８５】また、図２や図３等に例示されるように、
搬送車２００を支線（ストッカ２３０）に引き込んでワ
ークの受け渡しを行う搬送装置でなく、搬送車を支線に
引き込まずにワークを受け渡す搬送装置の場合は、軌道
上で他の搬送車と干渉する時間が長くなるので、（数
１）、（数２）で使用する動作係数を調整することで、
上述の図２や図３等に例示される実施の形態の時よりも
大きな搬送能力向上が見込める。Further, as exemplified in FIG. 2 and FIG.
In the case of a transfer device that transfers the work without drawing the carrier into the branch line, instead of a transfer device that pulls the transfer vehicle 200 into the branch line (the stocker 230) to transfer the work, the transfer device interferes with other transfer vehicles on the track. Since the time becomes longer, by adjusting the operation coefficient used in (Equation 1) and (Equation 2),
A greater improvement in the transfer capacity than in the embodiment illustrated in FIGS. 2 and 3 can be expected.
【００８６】以上、詳細に説明したように本実施の形態
の搬送制御方法および搬送装置によれば、他の搬送車の
位置と動作からバイパス軌道を使用するかどうか判断す
るので、搬送車同士の干渉が減少し、全搬送車の流れを
スムーズにすることができるから、搬送装置全体の搬送
能力を向上させることができる。As described above in detail, according to the transfer control method and the transfer apparatus of the present embodiment, whether or not to use the bypass track is determined based on the position and operation of another transfer vehicle. Since the interference is reduced and the flow of all the transport vehicles can be made smooth, the transport capacity of the entire transport device can be improved.
【００８７】また、デッドロックする可能性のある軌道
領域の搬送車の台数を制限できるので、デッドロックを
回避しながら、搬送能力を向上させることができる。Further, since the number of transport vehicles in the track area where deadlock may occur can be limited, the transport capacity can be improved while avoiding deadlock.
【００８８】また、搬送車の不要な停止動作を減少でき
るので、搬送時間を短縮し、搬送能力を向上させること
ができる。Further, unnecessary stopping operation of the transport vehicle can be reduced, so that the transport time can be shortened and the transport capability can be improved.
【００８９】また、各ポイント通過信号から各軌道領域
毎の搬送車の台数を算出し、その結果を基に搬送車の進
行方向（搬送経路）を決めることができるので、通信系
の負荷が低いので、安価で効率の良い搬送制御システム
を実現できる。Further, since the number of transport vehicles for each track area is calculated from each point passing signal and the traveling direction (transport route) of the transport vehicles can be determined based on the result, the load on the communication system is low. Therefore, an inexpensive and efficient transport control system can be realized.
【００９０】また、半導体装置の製造工程では、工程が
複雑なため、ウェハ等のワークの工程（ベイ）間の搬送
が比較的多く、このベイ間の搬送効率を向上させること
が、工程全体のスループット向上に不可欠であるが、本
実施の形態の搬送制御方法および搬送装置によれば、上
述のように、搬送装置の搬送能力を最大限に発揮させる
ことができ、半導体装置の製造工程における工程全体の
スループット向上を実現することが可能になる。In the semiconductor device manufacturing process, since the process is complicated, the transfer of a work such as a wafer between the steps (bays) is relatively large, and it is necessary to improve the transfer efficiency between the bays. Although indispensable for improving the throughput, according to the transfer control method and the transfer device of the present embodiment, as described above, the transfer capability of the transfer device can be maximized, and the process in the semiconductor device manufacturing process can be performed. It is possible to improve the overall throughput.
【００９１】以上本発明者によってなされた発明を実施
の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施
の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment, the invention is not limited to the embodiment and can be variously modified without departing from the gist of the invention. Needless to say, there is.
【００９２】[0092]
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。Advantageous effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described.
It is as follows.
【００９３】本発明の搬送制御方法によれば、搬送装置
に別の余分な搬送系を設けることなく、低コストで搬送
能力の向上を実現することができる、という効果が得ら
れる。According to the transfer control method of the present invention, there is an effect that the transfer capacity can be improved at low cost without providing a separate extra transfer system in the transfer device.
【００９４】また、本発明の搬送制御方法によれば、バ
イパスを効果的に使用して、搬送能力を向上させること
ができる、という効果が得られる。Further, according to the transfer control method of the present invention, an effect is obtained that the transfer capability can be improved by effectively using the bypass.
【００９５】また、本発明の搬送制御方法によれば、他
の搬送車の走行を妨げる頻度を下げることで、搬送装置
全体の搬送能力を向上させることができる、という効果
が得られる。Further, according to the transfer control method of the present invention, the effect that the transfer ability of the entire transfer device can be improved can be obtained by reducing the frequency of obstructing the movement of another transfer vehicle.
【００９６】また、本発明の搬送制御方法によれば、搬
送装置内全部の搬送車の動作予定を考慮することで、搬
送能力の向上や、デッドロックの回避を実現することが
できる、という効果が得られる。Further, according to the transfer control method of the present invention, it is possible to improve the transfer capacity and to avoid deadlock by considering the operation schedule of all the transfer vehicles in the transfer device. Is obtained.
【００９７】また、本発明の搬送制御方法によれば、搬
送車の不要な停止動作を減少させることで搬送時間を短
縮し、搬送装置全体の搬送能力を向上させることができ
る、という効果が得られる。Further, according to the transfer control method of the present invention, it is possible to reduce the unnecessary stopping operation of the transfer vehicle, thereby shortening the transfer time and improving the transfer capability of the entire transfer apparatus. Can be
【００９８】また、本発明の搬送装置によれば、搬送装
置に別の余分な搬送系を設けることなく、低コストで搬
送能力の向上を実現することができる、という効果が得
られる。Further, according to the transfer apparatus of the present invention, it is possible to improve the transfer capacity at low cost without providing an additional transfer system in the transfer apparatus.
【００９９】また、本発明の搬送装置によれば、バイパ
スを効果的に使用して、搬送能力を向上させることがで
きる、という効果が得られる。Further, according to the transfer apparatus of the present invention, there is obtained an effect that the transfer capacity can be improved by effectively using the bypass.
【０１００】また、本発明の搬送装置によれば、他の搬
送車の走行を妨げる頻度を下げることで、搬送装置全体
の搬送能力を向上させることができる、という効果が得
られる。Further, according to the transfer device of the present invention, there is an effect that the transfer capability of the entire transfer device can be improved by reducing the frequency of hindering the movement of another transfer vehicle.
【０１０１】また、本発明の搬送装置によれば、搬送装
置内全部の搬送車の動作予定を考慮することで、搬送能
力の向上や、デッドロックの回避を実現することができ
る、という効果が得られる。Further, according to the transfer apparatus of the present invention, it is possible to improve the transfer capacity and to avoid deadlock by considering the operation schedule of all the transfer vehicles in the transfer apparatus. can get.
【０１０２】また、本発明の搬送装置によれば、搬送車
の不要な停止動作を減少させることで搬送時間を短縮
し、搬送装置全体の搬送能力を向上させることができ
る、という効果が得られる。Further, according to the transfer apparatus of the present invention, it is possible to reduce the unnecessary stopping operation of the transfer vehicle, thereby shortening the transfer time and improving the transfer capability of the entire transfer apparatus. .
【図１】本発明の一実施の形態である搬送装置および搬
送制御方法を実現するための制御系のシステム構成の一
例を示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of a system configuration of a control system for realizing a transfer device and a transfer control method according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施の形態である搬送装置の全体構
成の一例を示す概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating an example of an overall configuration of a transport device according to an embodiment of the present invention.
【図３】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の一実施の形態であ
る搬送装置における搬送物移載部（ステーション）の一
例を示す平面図である。FIGS. 3A to 3D are plan views illustrating an example of a transferred object transfer section (station) in the transfer apparatus according to the embodiment of the present invention;
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の一実施の形態であ
る搬送装置における搬送回転部（ターンテーブル）の動
作の一例を示す平面図である。FIGS. 4A to 4D are plan views illustrating an example of an operation of a transport rotating unit (turntable) in the transport device according to the embodiment of the present invention.
【図５】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を実
現するためのメインルーチンの制御の推移の一例を示す
フローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing an example of transition of control of a main routine for realizing the transport control method according to the embodiment of the present invention.
【図６】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を実
現するためのサブルーチンの制御の推移の一例を示すフ
ローチャートである。FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of transition of control of a subroutine for realizing the transport control method according to the embodiment of the present invention.
【図７】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を実
現するためのサブルーチンの制御の推移の一例を示すフ
ローチャートである。FIG. 7 is a flowchart illustrating an example of transition of control of a subroutine for realizing the transport control method according to the embodiment of the present invention.
【図８】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を実
現するためのメインルーチンの制御の推移の一例を示す
フローチャートである。FIG. 8 is a flowchart illustrating an example of transition of control of a main routine for realizing the transport control method according to the embodiment of the present invention.
【図９】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を実
現するためのサブルーチンの制御の推移の一例を示すフ
ローチャートである。FIG. 9 is a flowchart illustrating an example of transition of control of a subroutine for realizing the transport control method according to the embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するためのサブルーチンの制御の推移の一例を示す
フローチャートである。FIG. 10 is a flowchart showing an example of transition of control of a subroutine for realizing the transport control method according to one embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するためのサブルーチンの制御の推移の一例を示す
フローチャートである。FIG. 11 is a flowchart illustrating an example of transition of control of a subroutine for realizing the transport control method according to the embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するためのサブルーチンの制御の推移の一例を示す
フローチャートである。FIG. 12 is a flowchart illustrating an example of transition of control of a subroutine for realizing the transport control method according to the embodiment of the present invention;
【図１３】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するためのサブルーチンの制御の推移の一例を示す
フローチャートである。FIG. 13 is a flowchart illustrating an example of transition of control of a subroutine for realizing the transport control method according to the embodiment of the present invention.
【図１４】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するための制御情報の一例として用いられる係数設
定テーブルの一例を示す概念図である。FIG. 14 is a conceptual diagram showing an example of a coefficient setting table used as an example of control information for realizing the transport control method according to one embodiment of the present invention.
【図１５】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するための制御情報の一例として用いられる係数設
定テーブルの一例を示す概念図である。FIG. 15 is a conceptual diagram illustrating an example of a coefficient setting table used as an example of control information for implementing the transport control method according to an embodiment of the present invention.
【図１６】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するための制御情報の一例として用いられる係数定
義テーブルの一例を示す概念図である。FIG. 16 is a conceptual diagram showing an example of a coefficient definition table used as an example of control information for realizing the transport control method according to one embodiment of the present invention.
【図１７】本発明の一実施の形態である搬送制御方法お
よび搬送装置の効果の一例を示す線図である。FIG. 17 is a diagram showing an example of the effects of the transport control method and the transport device according to an embodiment of the present invention.
【図１８】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するための制御情報の一例として用いられる搬送車
管理テーブルの一例を示す概念図である。FIG. 18 is a conceptual diagram illustrating an example of a transport vehicle management table used as an example of control information for implementing the transport control method according to an embodiment of the present invention.
【図１９】本発明の一実施の形態である搬送制御方法を
実現するための制御情報の一例として用いられるフラグ
定義テーブルの一例を示す概念図である。FIG. 19 is a conceptual diagram showing an example of a flag definition table used as an example of control information for realizing the transport control method according to one embodiment of the present invention.
【図２０】本発明の一実施の形態である搬送制御方法お
よび搬送装置において、物流コントローラを実現するコ
ンピュータシステムの構成の一例を示す概念図である。FIG. 20 is a conceptual diagram illustrating an example of a configuration of a computer system that implements a distribution controller in the transport control method and the transport device according to an embodiment of the present invention.
【図２１】本発明の一実施の形態である搬送制御方法お
よび搬送装置におけるステーション部分のモータの構成
の一例を示す概念図である。FIG. 21 is a conceptual diagram illustrating an example of a configuration of a motor in a station portion in a transfer control method and a transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図２２】本発明の一実施の形態である搬送装置を半導
体装置の製造工程に適用した場合の各ストッカの各工程
に対する割り当ての一例を示す概念図である。FIG. 22 is a conceptual diagram illustrating an example of assignment of each stocker to each process when the transport device according to an embodiment of the present invention is applied to a semiconductor device manufacturing process.
【図２３】本発明の一実施の形態である搬送装置におけ
る軌道の変形例を示す概念図である。FIG. 23 is a conceptual diagram showing a modified example of a trajectory in the transport device according to one embodiment of the present invention.
【図２４】本発明の一実施の形態である搬送装置におけ
る軌道の変形例を示す概念図である。FIG. 24 is a conceptual diagram showing a modified example of a trajectory in the transport device according to one embodiment of the present invention.
１００ ラインコントローラ １１０ 物流コントローラ １１０Ａ 物流コントローラプログラム １１０Ｂ 制御情報 １１１ 上位通信部 １１２ 搬送要求ソート部 １１３ 搬送車割付部 １１４ 搬送車状態管理部 １１５ 搬送車位置管理部 １１６ 搬送経路決定部 １１７ 搬送車密度算出部 １１８ 下位通信部 １１９ 搬送要求バッファ部 １２０ コンピュータシステム １２１ システムバス １２２ 中央処理装置 １２３ 主記憶 １２３ａ オペレーティングシステム １２４ 外部記憶装置 １２５ 外部通信インターフェイス １２６ 操作端末 １２６ａ ディスプレイ １２６ｂ キーボード １３０ 搬送装置コントローラ １４０ａ〜１４０ｄ 領域コントローラ １４１ インバータ １４２ モータ １４２ａ 主搬送コイル １４２ｂ 停止制御コイル １４２ｃ 停止制御コイル １４３ センサ ２００ 搬送車 ２００Ａ 搬送車 ２１０ 軌道 ２１０ａ 閉ループ軌道 ２１０ｂ バイパス軌道 ２１０ｃ バイパス軌道 ２１０ｄ 退避軌道 ２１０ｅ 交代軌道 ２２０ ターンテーブル ２２０ａ〜２２０ｈ ターンテーブル ２３０ ストッカ ２３０ａ〜２３０ｒ ストッカ ２４０ａ〜２４０ｖ ステーション ３００ 搬送車管理テーブル ３０１ ＩＤ情報 ３０２ 現在位置情報 ３０３ 状態フラグ ３０４ 使用中フラグ ４００ 係数設定テーブル ４００Ａ 係数設定テーブル ４００Ｂ 係数設定テーブル ４０１〜４１２ ベイ ５００ 係数定義テーブル ６００ フラグ定義テーブル ７００ 軌道 REFERENCE SIGNS LIST 100 Line controller 110 Distribution controller 110A Distribution controller program 110B Control information 111 Upper communication unit 112 Transport request sorting unit 113 Transport vehicle assignment unit 114 Transport vehicle state management unit 115 Transport vehicle position management unit 116 Transport route determination unit 117 Transport vehicle density calculation unit 118 Lower communication unit 119 Transport request buffer unit 120 Computer system 121 System bus 122 Central processing unit 123 Main memory 123a Operating system 124 External storage device 125 External communication interface 126 Operation terminal 126a Display 126b Keyboard 130 Transport device controller 140a to 140d Area controller 141 Inverter 142 Motor 142a Main transfer coil 142b Stop control coil 142c Stop Control coil 143 Sensor 200 Carrier 200A Carrier 210 Track 210a Closed loop track 210b Bypass track 210c Bypass track 210d Evacuation track 210e Alternating track 220 Turntable 220a to 220h Turntable 230 Stocker 230a to 230r Stocker 240a to 240v Station 300 Carrier 301 ID information 302 Current position information 303 Status flag 304 In-use flag 400 Coefficient setting table 400A Coefficient setting table 400B Coefficient setting table 401-412 Bay 500 Coefficient definition table 600 Flag definition table 700 Orbit
Claims (10)
送を行う搬送装置の搬送制御方法であって、複数の軌道
領域の各々における前記搬送車の数および運行情報の少
なくとも一方を変数として演算される搬送能力が最適と
なるように前記搬送車の走行経路を選択することを特徴
とする搬送制御方法。1. A transport control method for a transport device that transports articles by a transport vehicle traveling on a branch track, wherein at least one of the number of transport vehicles and operation information in each of a plurality of track areas is a variable. A transport control method, wherein a travel route of the transport vehicle is selected so that the calculated transport capacity is optimized.
前記搬送車の前記運行情報は、搬送元と搬送先の位置関
係から前記軌道領域毎に定めた第１の係数にて表現され
ることを特徴とする搬送制御方法。2. The transport control method according to claim 1, wherein
The transport control method, wherein the operation information of the transport vehicle is represented by a first coefficient determined for each of the track regions from a positional relationship between a transport source and a transport destination.
前記搬送車の前記運行情報は、搬送元と搬送先の位置関
係から前記軌道領域毎に定めた第１の係数、および個々
の前記搬送車の動作予定から定めた第２の係数にて表現
されることを特徴とする搬送制御方法。3. The transport control method according to claim 1, wherein
The operation information of the transport vehicle is represented by a first coefficient determined for each track area from a positional relationship between a transport source and a transport destination, and a second coefficient determined from an operation schedule of each transport vehicle. Transport control method characterized by the following.
法において、複数の前記軌道領域の各々は、前記分岐軌
道における分岐点および方向転換点の少なくとも一方に
て区分される領域として定義され、前記軌道領域毎に前
記搬送車の位置を管理することを特徴とする搬送制御方
法。4. The transfer control method according to claim 1, wherein each of the plurality of trajectory regions is defined as a region divided by at least one of a branch point and a turning point in the branch trajectory. And controlling the position of the transport vehicle for each of the track areas.
御方法において、前記搬送車は、半導体装置の製造工程
における物品の搬送を行うことを特徴とする搬送制御方
法。5. The transport control method according to claim 1, wherein the transport vehicle transports an article in a semiconductor device manufacturing process.
送を行う搬送装置であって、複数の軌道領域の各々にお
ける前記搬送車の数および運行情報の少なくとも一方か
らなる制御情報を記憶する手段と、前記制御情報を変数
として演算される搬送能力が最適となるように前記搬送
車の走行経路を選択する制御論理とを備えたことを特徴
とする搬送装置。6. A transport device for transporting articles by a transport vehicle traveling on a branch track, wherein control information including at least one of the number of transport vehicles and operation information in each of a plurality of track areas is stored. And a control logic for selecting a traveling route of the transport vehicle such that the transport capability calculated using the control information as a variable is optimized.
搬送車の前記運行情報は、搬送元と搬送先の位置関係か
ら前記軌道領域毎に定めた第１の係数にて表現されるこ
とを特徴とする搬送装置。7. The transport device according to claim 6, wherein the operation information of the transport vehicle is represented by a first coefficient determined for each of the track regions from a positional relationship between a transport source and a transport destination. Characteristic transport device.
搬送車の前記運行情報は、搬送元と搬送先の位置関係か
ら前記軌道領域毎に定めた第１の係数、および個々の前
記搬送車の動作予定から定めた第２の係数にて表現され
ることを特徴とする搬送装置。8. The transport device according to claim 6, wherein the operation information of the transport vehicle includes a first coefficient determined for each track area based on a positional relationship between a transport source and a transport destination, and the individual transport vehicles. The transfer device is represented by a second coefficient determined from the operation schedule of (1).
おいて、複数の前記軌道領域の各々は、前記分岐軌道に
おける分岐点および方向転換点の少なくとも一方にて区
分される領域として定義され、前記軌道領域毎に前記搬
送車の位置を管理することを特徴とする搬送装置。9. The transfer device according to claim 6, wherein each of the plurality of track areas is defined as an area divided by at least one of a branch point and a turning point in the branch track. A transport device for managing the position of the transport vehicle for each track area.
装置において、前記搬送車は、半導体装置の製造工程に
おける物品の搬送を行うことを特徴とする搬送装置。10. The transport device according to claim 6, wherein the transport vehicle transports an article in a semiconductor device manufacturing process.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9079657A JPH10275017A (en) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | Carrier control method and carrier device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9079657A JPH10275017A (en) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | Carrier control method and carrier device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10275017A true JPH10275017A (en) | 1998-10-13 |
Family
ID=13696223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9079657A Pending JPH10275017A (en) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | Carrier control method and carrier device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10275017A (en) |
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-
1997
- 1997-03-31 JP JP9079657A patent/JPH10275017A/en active Pending
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