JPH1027327A - Magnetic recording medium - Google Patents
Magnetic recording mediumInfo
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- JPH1027327A JPH1027327A JP17813996A JP17813996A JPH1027327A JP H1027327 A JPH1027327 A JP H1027327A JP 17813996 A JP17813996 A JP 17813996A JP 17813996 A JP17813996 A JP 17813996A JP H1027327 A JPH1027327 A JP H1027327A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体、特
に蒸着法により磁性膜が形成される強磁性金属薄膜型磁
気記録媒体に係わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium, and more particularly to a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium in which a magnetic film is formed by a vapor deposition method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】鉄、コバルト、ニッケルまたはこれらを
主成分とする合金等を、真空中にて、酸素による反応蒸
着等の真空中製膜法で、非磁性支持体上に形成した強磁
性薄膜型磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気記録媒体に
比べ、記録密度を飛躍的に向上せしめることが可能であ
り、民生用ビデオテープレコーダーや、今後商品化され
ようとしている民生用、業務用デジタルビデオテープレ
コーダー、データストリーマー用メディアとして注目さ
れている。2. Description of the Related Art A ferromagnetic thin film formed on a non-magnetic support by iron, cobalt, nickel or an alloy containing these as a main component in a vacuum film forming method such as reactive vapor deposition using oxygen in a vacuum. Type magnetic recording media can dramatically improve the recording density compared to conventional coating type magnetic recording media, and can be used for consumer videotape recorders, consumer and commercial digital It has attracted attention as a media for video tape recorders and data streamers.
【０００３】上述したように、強磁性薄膜型磁気記録媒
体は、真空中にて、酸素による反応蒸着等の真空中製膜
法で作製されるが、この酸素の導入量により、非磁性支
持体上に形成した鉄、コバルト、ニッケルまたはこれら
を主成分とする合金等の強磁性薄膜が部分酸化され、そ
の結果磁気状態に種々の特性を生じさせることができ、
その磁気記録媒体の磁気特性が調整され、優れた磁気記
録媒体を作製することができる。[0003] As described above, a ferromagnetic thin film type magnetic recording medium is produced by a film forming method in a vacuum such as a reactive vapor deposition with oxygen in a vacuum. The ferromagnetic thin film such as iron, cobalt, nickel or an alloy containing these as a main component formed thereon is partially oxidized, and as a result, various properties can be generated in the magnetic state.
The magnetic properties of the magnetic recording medium are adjusted, and an excellent magnetic recording medium can be manufactured.
【０００４】従来においては、この磁気記録媒体の磁気
特性を調整し、残留磁束密度（Ｂｒ）、保磁力（Ｈｃ）
等の値を所定の範囲にすることにより、高出力、高Ｃ／
Ｎ（再生信号のキャリヤレベル対ノイズレベル）の磁気
記録媒体を作製していた。Conventionally, the magnetic properties of this magnetic recording medium are adjusted to obtain a residual magnetic flux density (Br) and a coercive force (Hc).
, Etc. within a predetermined range to provide high output, high C /
A magnetic recording medium of N (carrier level vs. noise level of the reproduced signal) was manufactured.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高出
力、高Ｃ／Ｎのみならず、低ノイズの磁気記録媒体を得
るためには上述したような強磁性薄膜型磁気記録媒体の
磁気特性を調整し、残留磁束密度（Ｂｒ）、保磁力（Ｈ
ｃ）等の値を所定の範囲にするだけでは、充分ではな
い。However, in order to obtain a magnetic recording medium having not only high output and high C / N but also low noise, the magnetic characteristics of the above-described ferromagnetic thin film type magnetic recording medium must be adjusted. , Residual magnetic flux density (Br), coercive force (H
It is not sufficient just to set the value of c) or the like within a predetermined range.
【０００６】磁気記録媒体の製造工程においては、反応
性酸素蒸着により、強磁性金属薄膜を形成する際、その
酸素導入量によって、磁性層の磁気特性が変化する。In the process of manufacturing a magnetic recording medium, when a ferromagnetic metal thin film is formed by reactive oxygen deposition, the magnetic characteristics of the magnetic layer change depending on the amount of oxygen introduced.
【０００７】図２において、曲線２１は、酸素ガス導入
量と保磁力（Ｈｃ）との関係を表しており、曲線２２
は、酸素ガス導入量と飽和磁束密度（Ｂｓ）との関係を
表しており、曲線２３は、酸素ガス導入量と残留磁束密
度（Ｂｒ）の関係を表している。In FIG. 2, a curve 21 represents the relationship between the oxygen gas introduction amount and the coercive force (Hc).
Represents the relationship between the oxygen gas introduction amount and the saturation magnetic flux density (Bs), and the curve 23 represents the relationship between the oxygen gas introduction amount and the residual magnetic flux density (Br).
【０００８】また、図３において、曲線３１は、酸素ガ
ス導入量と信号レベルとの関係を表しており、曲線３２
は、酸素ガス導入量とノイズレベルとの関係を表してい
る。In FIG. 3, a curve 31 represents the relationship between the oxygen gas introduction amount and the signal level.
Represents the relationship between the amount of oxygen gas introduced and the noise level.
【０００９】図２に示すように、酸素導入量が少ない場
合は、保磁力（Ｈｃ）が低く、飽和磁磁束密度（Ｂｓ）
および残留磁束密度（Ｂｒ）が大きい。この状態では、
外部磁界によって容易に磁化し易く、すなわちスイッチ
ング特性に優れているが、磁性層中の粒子間相互作用が
強くなり、磁化遷移領域において静磁気的に安定な構造
をとるために磁壁を形成し易く、この結果、図３に示す
ようにノイズが高くなる。As shown in FIG. 2, when the amount of introduced oxygen is small, the coercive force (Hc) is low and the saturation magnetic flux density (Bs) is low.
And the residual magnetic flux density (Br) is large. In this state,
It is easily magnetized by an external magnetic field, that is, it has excellent switching characteristics, but the interaction between particles in the magnetic layer becomes strong, and a domain wall is formed easily to take a magnetostatically stable structure in the magnetization transition region. As a result, noise increases as shown in FIG.
【００１０】一方、酸素導入量が増加すると、図２に示
すように、保磁力（Ｈｃ）が高くなり、飽和磁磁束密度
（Ｂｓ）および残留磁束密度（Ｂｒ）が小さくなる。こ
の場合は、上述の場合とは逆に、外部磁界によって磁化
しにくくなり、スイッチング特性が悪くなるが、磁性層
中の粒子間相互作用が弱くなるため、磁化遷移領域がシ
ャープになり、図３に示すようにノイズが減少する。On the other hand, when the amount of introduced oxygen increases, as shown in FIG. 2, the coercive force (Hc) increases, and the saturation magnetic flux density (Bs) and the residual magnetic flux density (Br) decrease. In this case, contrary to the above-described case, magnetization becomes difficult due to an external magnetic field, and the switching characteristics are deteriorated. However, the interaction between particles in the magnetic layer is weakened, so that the magnetization transition region becomes sharp, and FIG. The noise is reduced as shown in FIG.
【００１１】ここで、Ｓ* は、保磁力角形比と呼ばれ、
図５の磁化曲線（Ｂ−Ｈ曲線）で示すように、以下の式
により表される。Here, S * is called a coercive force squareness ratio,
As shown by the magnetization curve (BH curve) in FIG. 5, it is represented by the following equation.
【００１２】Ｓ* ＝１−（Ｂｒ／Ｈｃ）（１／χ） 但しＢｒは残留磁束密度を示し、χは、Ｂ−Ｈヒステリ
シス曲線の第２象限のＨｃ点における（ｄＢ／ｄＨ）の
値を示している。S * = 1− (Br / Hc) (1 / χ) where Br represents the residual magnetic flux density, and χ represents the value of (dB / dH) at the Hc point in the second quadrant of the BH hysteresis curve. Is shown.
【００１３】このＳ* は、磁化反転の様子を表すパラメ
ータとして用いられる。このＳ* は、磁気記録媒体の磁
気的相互作用を含む粒子の構造に起因する磁気反転と、
その粒子の配向等の均一性に起因する磁化反転の割合に
よって決定されると考えられる。This S * is used as a parameter representing the state of magnetization reversal. This S * is due to the magnetic reversal caused by the structure of the particles including the magnetic interaction of the magnetic recording medium,
It is considered that it is determined by the ratio of magnetization reversal caused by the uniformity of the orientation of the particles.
【００１４】図４において、曲線４１は、酸素ガス導入
量と保磁力角形比（Ｓ* ）との関係を表している。図４
に示すようにＳ* は、酸素導入量が極めて少ない領域に
おいては、比較的大きい値になっている。これは、Ｈｃ
は小さくても、Ｈｃ点における（ｄＢ／ｄＨ）は大きい
ためであり、Ｓ* が大きい値を示す場合には、磁化遷移
領域は極めて急峻で、すなわちスイッチング特性の良い
磁気記録媒体となる。しかしながら、酸素導入量が少な
いため、粒子サイズが大きく、粒子間の磁気的相互作用
が強い磁気記録媒体では粒子性のノイズが大きくなると
いう欠点がある。In FIG. 4, a curve 41 represents the relationship between the oxygen gas introduction amount and the coercive force square ratio (S * ). FIG.
As shown in (1), S * has a relatively large value in a region where the amount of introduced oxygen is extremely small. This is Hc
This is because (dB / dH) at the Hc point is large even if is small. When S * shows a large value, the magnetization transition region is extremely steep, that is, a magnetic recording medium having good switching characteristics. However, since the amount of introduced oxygen is small, the magnetic recording medium having a large particle size and a strong magnetic interaction between particles has a disadvantage of increasing the particle noise.
【００１５】一方、酸素ガス導入量が非常に多い領域に
おいても、粒子配向性が向上し、保磁力角形比（Ｓ* ）
は大きい値をとるが、Ｂｓ、Ｂｒの減少により、図３で
示したように信号レベルが下がり、その結果出力が劣化
してしまうという欠点がある。そこで、本発明において
は、上述した粒子性のノイズおよび信号レベルを考慮し
て、保磁力角形比（Ｓ* ）の最大値を０．５に特定する
こととする。On the other hand, even in a region where the amount of introduced oxygen gas is very large, the particle orientation is improved and the coercive force squareness ratio (S * ) is improved.
Has a large value, but there is a disadvantage that the signal level decreases as shown in FIG. 3 due to the decrease in Bs and Br, and as a result, the output deteriorates. Therefore, in the present invention, the maximum value of the coercive force squareness ratio (S * ) is specified to be 0.5 in consideration of the above-described particle noise and signal level.
【００１６】また、保磁力角形比（Ｓ* ）の最小値につ
いては、保磁力角形比（Ｓ* ）の値が０．２未満となる
と、磁化反転がブロードとなるため、再生出力の劣化が
発生することに鑑みて、保磁力角形比（Ｓ* ）の最小値
を０．２に特定する。Further, for the minimum value of the coercive force squareness ratio (S *), the value of the coercive force squareness ratio (S *) is less than 0.2, the magnetization reversal becomes broad, the degradation of the reproduced output In view of the occurrence, the minimum value of the coercive force squareness ratio (S * ) is specified to be 0.2.
【００１７】そこで、本発明においては、保磁力（Ｈ
ｃ）、残留磁束密度（Ｂｒ）、保磁力角形比（Ｓ* ）の
値を所定の範囲とし、高出力でしかも低ノイズの、高Ｃ
／Ｎの磁気記録媒体を得ることができるようにする。Therefore, in the present invention, the coercive force (H
c), the residual magnetic flux density (Br) and the coercive force squareness ratio (S * ) are within predetermined ranges, and high output, low noise and high C
/ N of a magnetic recording medium.
【００１８】[0018]
【課題を解決するための手段】本発明は、蒸着法により
磁性膜が形成される磁気記録媒体において、磁気特性に
おける保磁力角形比Ｓ* を、０．２〜０．５、保磁力Ｈ
C を、６０〜１５０〔ｋＡ／ｍ〕残留磁束密度Ｂr を２
５０ｍＴ〜６００ｍＴの範囲に特定する。According to the present invention, a magnetic recording medium on which a magnetic film is formed by a vapor deposition method has a coercive force squareness ratio S * in magnetic properties of 0.2 to 0.5 and a coercive force H.
The C, 2 to 60 to 150 [kA / m] remanence B r
It is specified in the range of 50 mT to 600 mT.
【００１９】本発明によれば、高出力でしかも低ノイズ
の、高Ｃ／Ｎ（Ｓ／Ｎ）の磁気記録媒体を得ることがで
きる。According to the present invention, a high-output / low-noise, high-C / N (S / N) magnetic recording medium can be obtained.
【００２０】[0020]
【発明の実施の形態】本発明による磁気記録媒体の実施
の形態について以下に説明する。先ず、バックコート層
用の塗料を作製し、これを非磁性支持体、例えばポリエ
チレンテレフタレートフィルムに例えば０．５μｍの厚
さに塗布し、バックコート層を形成した。バックコート
層用の塗料は、例えば固形分１５％、顔料として例えば
カーボンを１００重量部、ＰＢ比（非磁性顔料と結合剤
との混合比率）を１．２とし、硬化剤として例えばコロ
ネートＬ−５０（日本ポリウレタン社製商品名）を１０
ＰＨＲ（結合剤、例えばポリカーボネート及びポリウレ
タン１００重量部に対して１０重量部）添加した。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a magnetic recording medium according to the present invention will be described below. First, a paint for a back coat layer was prepared and applied to a non-magnetic support, for example, a polyethylene terephthalate film to a thickness of, for example, 0.5 μm to form a back coat layer. The paint for the back coat layer has a solid content of, for example, 15%, a pigment of, for example, 100 parts by weight of carbon, a PB ratio (mixing ratio of a nonmagnetic pigment and a binder) of 1.2, and a curing agent, for example, Coronate L-. 50 (product name, manufactured by Nippon Polyurethane)
PHR (10 parts by weight based on 100 parts by weight of a binder such as polycarbonate and polyurethane) was added.
【００２１】一方、非磁性支持体の、バックコート層と
は反対側の面に例えばＣｏ８０％−Ｎｉ２０％からなる
組成を有する強磁性金属を、所定の酸素導入量による酸
素雰囲気中で、電子ビーム蒸着法により、入射角を例え
ば４５°として斜め蒸着し、膜厚２００ｎｍの強磁性金
属薄膜を形成した。On the other hand, a ferromagnetic metal having a composition of, for example, 80% Co-20% Ni is coated on the surface of the non-magnetic support opposite to the back coat layer in an oxygen atmosphere with a predetermined oxygen introduction amount by an electron beam. By a vapor deposition method, oblique vapor deposition was performed at an incident angle of, for example, 45 ° to form a ferromagnetic metal thin film having a thickness of 200 nm.
【００２２】また、この強磁性金属薄膜の表面には、潤
滑剤として、例えばパーフルオロポリエーテルを塗布す
る。The surface of the ferromagnetic metal thin film is coated with, for example, perfluoropolyether as a lubricant.
【００２３】次に、上述の強磁性金属薄膜を成膜する蒸
着装置の一例を説明する。図１に示すように、この装置
においては、上方および下方にそれぞれ設けられた排気
口１５および１６から排気されて内部が真空状態となさ
れた真空室１内に、図１においては反時計回り方向に回
転する巻き出しロール３と、時計回り方向に回転する巻
き取りロール４とが設けられ、これら巻き出しロール３
から、巻き取りロール４にテープ状の非磁性支持体２が
順次走行するようになされている。Next, an example of a vapor deposition apparatus for forming the above-mentioned ferromagnetic metal thin film will be described. As shown in FIG. 1, in this apparatus, a vacuum chamber 1 is evacuated from exhaust ports 15 and 16 provided at an upper side and a lower side, and the inside is in a vacuum state. And a take-up roll 4 rotating in a clockwise direction.
Thus, the tape-shaped non-magnetic support 2 runs sequentially on the take-up roll 4.
【００２４】これら巻き出しロール３から巻き取りロー
ル４に非磁性支持体２が走行する途中には、冷却キャン
５が設けられている。この冷却キャン５は、時計回りに
回転する構成とされる。またこの冷却キャン５には冷却
装置（図示せず）が設けられ、非磁性支持体２の温度上
昇による変形等を抑制している。A cooling can 5 is provided while the nonmagnetic support 2 travels from the unwinding roll 3 to the winding roll 4. The cooling can 5 is configured to rotate clockwise. In addition, a cooling device (not shown) is provided in the cooling can 5 to suppress deformation and the like of the nonmagnetic support 2 due to temperature rise.
【００２５】非磁性支持体２は、巻き出しロール３から
順次送り出され、冷却キャン５の周面を通過し、巻き取
りロール４に定線速度で巻き取られていく。The non-magnetic support 2 is sequentially sent out from the unwinding roll 3, passes through the peripheral surface of the cooling can 5, and is wound on the winding roll 4 at a constant linear speed.
【００２６】なお、巻き出しロール３と冷却キャン５と
の間、および冷却キャン５と巻き取りロール４との間に
はそれぞれガイドロール６、７が配置され、巻き出しロ
ール３から冷却キャン５および冷却キャン５から巻き取
りロール４にわたって走行する非磁性支持体２の所定の
テンションをかけ、非磁性支持体２が円滑に走行するよ
うになされている。Guide rolls 6 and 7 are arranged between the unwinding roll 3 and the cooling can 5 and between the cooling can 5 and the winding roll 4, respectively. A predetermined tension is applied to the non-magnetic support 2 running from the cooling can 5 to the take-up roll 4 so that the non-magnetic support 2 runs smoothly.
【００２７】また、真空室１内には冷却キャン５の下方
にルツボ８が設けられ、ルツボ８内には金属磁性薄膜を
形成する所定の組成を有する例えばＣｏ８０％Ｎｉ２０
％の材料９が充填されている。A crucible 8 is provided in the vacuum chamber 1 below the cooling can 5, and the crucible 8 has, for example, Co80% Ni20 having a predetermined composition for forming a metal magnetic thin film.
% Material 9 is filled.
【００２８】一方、真空室１の側壁部には、ルツボ８内
に配置された金属磁性材料９を加熱蒸発させるための電
子銃１０が取り付けられている。電子銃１０は電子銃１
０より放出される電子線Ｂがルツボ８内の金属磁性材料
９に照射されるような位置に配置される。そして、電子
線Ｂを照射されたことによって蒸発した金属磁性材料９
が冷却キャン５の周面を定速で走行する非磁性支持体２
上に蒸着し、該磁性金属薄膜を形成する。On the other hand, an electron gun 10 for heating and evaporating the metal magnetic material 9 disposed in the crucible 8 is attached to the side wall of the vacuum chamber 1. The electron gun 10 is the electron gun 1
The electron beam B emitted from 0 is arranged at a position where the electron beam B is irradiated on the metal magnetic material 9 in the crucible 8. Then, the metal magnetic material 9 evaporated by being irradiated with the electron beam B
Is a non-magnetic support 2 running on the peripheral surface of the cooling can 5 at a constant speed.
The magnetic metal thin film is formed by vapor deposition.
【００２９】また、冷却キャン５とルツボ８との間であ
って、冷却キャン５の近傍には、シャッタ１３が配置さ
れている。これは、冷却キャン５の周面を定速で走行す
る非磁性支持体２の所定領域を覆う形で形成され、蒸発
せしめられた金属磁性材料９を非磁性支持体２上に対し
て所定の角度範囲で斜めに蒸着させる役割を担ってい
る。Further, a shutter 13 is arranged between the cooling can 5 and the crucible 8 and near the cooling can 5. This is formed so as to cover a predetermined area of the non-magnetic support 2 running at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 5, and the evaporated metal magnetic material 9 is placed on the non-magnetic support 2 by a predetermined amount. It plays the role of oblique vapor deposition in the angle range.
【００３０】更に、このような蒸着に際し、真空室１の
側壁部を貫通して設けられる酸素ガス導入管１４を通じ
て非磁性支持体２の表面に酸素ガスを導入供給し、磁気
特性、耐久性、耐候性の向上が図られている。Further, at the time of such a vapor deposition, an oxygen gas is introduced and supplied to the surface of the non-magnetic support 2 through an oxygen gas introduction pipe 14 provided through the side wall of the vacuum chamber 1 to provide magnetic properties, durability, and the like. The weather resistance is improved.
【００３１】次に、実施例１〜４と、比較例１〜５を挙
げて説明する。これら実施例、および比較例によるサン
プルテープの主な製造条件を示す。Next, Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 5 will be described. The main production conditions of the sample tapes according to these examples and comparative examples are shown.
【００３２】（実施例） 非磁性支持体 ポリエチレンテレフタレート 蒸着条件 金属磁性体 実施例１〜３はＣｏ８０％Ｎｉ２０％合金、実施 例４はＣｏ１００ｗｔ％、実施例５〜７はＣｏ１００ｗｔ％を 用い、磁性層を多層とした。 入射角 ４５° 酸素導入量 （表１）に示す 蒸着真空度 ４×１０-2Ｐａ バックコート層 厚さ ０．５μｍ 顔料 カーボン１００重量部 結合剤 ポリカーボネートおよびポリウレタン１００重量 部 硬化剤 コロネートＬ−５０を１０重量部 トップコート パーフルオロポリエーテル(Embodiment) Non-magnetic support Polyethylene terephthalate Vapor deposition conditions Metal magnetic body In the first to third embodiments, a Co80% Ni20% alloy was used. Was multi-layered. Incident angle 45 ° Oxygen introduction amount Deposition vacuum degree shown in Table 1 4 × 10 -2 Pa Back coat layer thickness 0.5 μm Pigment Carbon 100 parts by weight Binder Polycarbonate and polyurethane 100 parts by weight Curing agent Coronate L-50 10 parts by weight Topcoat Perfluoropolyether
【００３３】（比較例） 非磁性支持体 ポリエチレンテレフタレート 蒸着条件 金属磁性体 比較例１〜４はＣｏ８０％Ｎｉ２０％合金、比較 例５〜７はＣｏ１００ｗｔ％ 入射角 ４５° 酸素導入量 （表１）に示す 蒸着真空度 ４×１０-2Ｐａ バックコート層 厚さ ０．５μｍ 顔料 カーボン１００重量部 結合剤 ポリカーボネートおよびポリウレタン１００重量 部 硬化剤 コロネートＬ−５０を１０重量部 トップコート パーフルオロポリエーテル(Comparative Example) Non-magnetic support Polyethylene terephthalate Vapor deposition conditions Metal magnetic material Comparative Examples 1 to 4 are Co 80% Ni 20% alloy, Comparative Examples 5 to 7 are Co 100 wt% Incident angle 45 ° Oxygen introduction amount (Table 1) Deposition vacuum degree 4 × 10 -2 Pa Back coat layer thickness 0.5 μm Pigment carbon 100 parts by weight Binder Polycarbonate and polyurethane 100 parts by weight Curing agent Coronate L-50 10 parts by weight Top coat Perfluoropolyether
【００３４】上記サンプルテープについて、酸素導入量
を変化させ、それぞれのテープについての磁気特性であ
る残留磁束密度（Ｂｒ）、保磁力（Ｈｃ）、保磁力角形
比（Ｓ* ）を測定し、それらにおける電磁特性、すなわ
ち出力とノイズを測定した。これらの結果を（表１）に
示す。With respect to the above sample tapes, the amount of oxygen introduced was changed, and the residual magnetic flux density (Br), coercive force (Hc), and coercive force squareness (S * ), which are the magnetic properties of each tape, were measured. , The output and noise were measured. The results are shown in (Table 1).
【００３５】なお、上記磁気特性の測定はＶＳＭ（振動
試料型磁化特性測定装置）を用い、電磁特性の測定は、
固定ヘッドドラムテスターを用い、ヘッドはＴＳＳ（Ｓ
ＯＮＹ製 商品名）を使用し、ギャップ長０．２０〔μ
ｍ〕、トラック幅１７〔μｍ〕、相対速度３．８〔ｍ／
ｓｅｃ〕、波長０．５４〔μｍ〕とした。The above magnetic properties were measured using a VSM (vibration sample type magnetization property measuring device).
Using a fixed head drum tester, the head is TSS (S
ONY product name) and a gap length of 0.20 [μ
m], track width 17 [μm], relative speed 3.8 [m /
sec] and a wavelength of 0.54 [μm].
【００３６】[0036]
【表１】 [Table 1]
【００３７】（表１）から明らかなように、実施例１〜
実施例７においては、残留磁束密度（Ｂｒ）が、２５０
〜６００〔ｍＴ〕、保磁力（Ｈｃ）が、いずれも６０〜
１５０〔ｋＡ／ｍ〕、保磁力角形比（Ｓ* ）が０．２〜
０．５の範囲になるものについて出力およびノイズ〔ｄ
Ｂ〕を測定した。ここで、出力およびノイズの値は、実
施例２のそれぞれの値を０とした場合の相対値である。As is clear from Table 1, Examples 1 to
In Example 7, the residual magnetic flux density (Br) is 250
~ 600 [mT], coercive force (Hc) is 60 ~
150 [kA / m], coercivity squareness ratio (S * ) of 0.2 to
The output and noise [d
B] was measured. Here, the values of the output and the noise are relative values when each value of the second embodiment is set to 0.
【００３８】これによれば、出力はいずれも−２〔ｄ
Ｂ〕より以上の値を示し、ノイズは＋１〔ｄＢ〕以下の
値を示し、良好な状態であることがわかる。According to this, the output is -2 [d
B], and the noise shows a value of +1 [dB] or less, indicating that it is in a good state.
【００３９】また、比較例１および比較例２において
は、残留磁束密度（Ｂｒ）がいずれも２５０〜６００
〔ｍＴ〕の範囲になく、保磁力（Ｈｃ）が、いずれも６
０〜１５０〔ｋＡ／ｍ〕の範囲になく、保磁力角形比
（Ｓ* ）がいずれも０．２〜０．５の範囲にならないも
のについて、出力およびノイズを測定した。In Comparative Examples 1 and 2, the residual magnetic flux density (Br) was 250 to 600.
[MT], the coercive force (Hc) was 6
The output and the noise were measured for those which were not in the range of 0 to 150 [kA / m] and whose coercive force squareness ratio (S * ) was not in the range of 0.2 to 0.5.
【００４０】これによれば、出力はいずれも−２〔ｄ
Ｂ〕未満の値を示し、ノイズは＋１〔ｄＢ〕より大きい
値を示していることがわかる。比較例１および比較例２
においては、酸素導入量が少なく、金属磁性材料の粒子
の酸化度が低いため、保磁力（Ｈｃ）が低くなり、記録
減磁が大きく出力が低くなる。さらに金属磁性材料の粒
子の酸化度が低いため、粒子が大きく、保磁力角形比
（Ｓ* ）が大きくなりすぎることにより磁化遷移領域が
緩慢かつジグザグになりその結果ノイズが増加する。According to this, all outputs are -2 [d
B], and the noise shows a value greater than +1 [dB]. Comparative Example 1 and Comparative Example 2
In (2), since the amount of introduced oxygen is small and the degree of oxidation of the particles of the metallic magnetic material is low, the coercive force (Hc) decreases, the recording demagnetization increases, and the output decreases. Further, since the degree of oxidation of the particles of the metal magnetic material is low, the particles are large and the coercive force squareness (S * ) becomes too large, so that the magnetization transition region becomes slow and zigzag, resulting in an increase in noise.
【００４１】また、比較例３〜比較例５においては、残
留磁束密度（Ｂｒ）がいずれも２５０〜６００〔ｍＴ〕
の範囲内にならないが、保磁力（Ｈｃ）、保磁力角形比
（Ｓ * ）がいずれも上述した範囲に比べて、ほぼ良好な
範囲になるものについて出力およびノイズを測定した。In Comparative Examples 3 to 5, the remaining
Magnetic flux density (Br) is 250 to 600 [mT]
, But the coercive force (Hc), coercive force squareness
(S *) Are almost better than the above ranges.
The output and noise were measured for the range.
【００４２】これによれば、ノイズは＋１〔ｄＢ〕以下
の値を示しており低い値に抑えられているが、酸素導入
量が多いため、金属磁性材料の粒子の酸化度が高く、残
留磁束密度（Ｂｒ）が小さくなり、出力が−２〔ｄＢ〕
未満の値を示しており、低くなっている。According to this, the noise shows a value of +1 [dB] or less and is suppressed to a low value. However, since the amount of introduced oxygen is large, the degree of oxidation of the metal magnetic material particles is high, and the residual magnetic flux is high. Density (Br) decreases and output is -2 [dB]
The value is less than and lower.
【００４３】また、比較例６においては、残留磁束密度
（Ｂｒ）が２５０〜６００〔ｍＴ〕の範囲にあり、保磁
力（Ｈｃ）が、６０〜１５０〔ｋＡ／ｍ〕の範囲にある
が、保磁力角形比（Ｓ* ）が、０．２未満のものについ
て、出力およびノイズを測定した。In Comparative Example 6, the residual magnetic flux density (Br) is in the range of 250 to 600 [mT] and the coercive force (Hc) is in the range of 60 to 150 [kA / m]. Output and noise were measured for those having a coercive force squareness (S * ) of less than 0.2.
【００４４】これによれば、ノイズは＋１〔ｄＢ〕以下
の値を示しており低い値に抑えられているが、出力が−
２〔ｄＢ〕未満の値を示しており、低くなっていること
がわかる。According to this, the noise shows a value of +1 [dB] or less and is suppressed to a low value.
The value is less than 2 [dB], which means that the value is low.
【００４５】以上のことから、所定の大きさの媒体の残
留磁束密度（Ｂｒ）を、２５０〜６００〔ｍＴ〕、保磁
力（Ｈｃ）を６０〜１５０〔ｋＡ／ｍ〕、保磁力角形比
（Ｓ * ）を０．２〜０．５の範囲になるように作製した
磁気記録媒体は、優れた電磁特性を示すことがわかる。From the above, the remaining medium of a predetermined size is
Magnetic flux density (Br) of 250 to 600 [mT], coercivity
Force (Hc) 60-150 [kA / m], coercive force squareness
(S *) Was prepared in the range of 0.2 to 0.5.
It can be seen that the magnetic recording medium shows excellent electromagnetic characteristics.
【００４６】上述の本発明構成において、バックコート
層用の塗料中に分散させる非磁性顔料としては、上述の
実施例において用いたカーボンの他に、必要に応じて、
ヘマタイト、雲母、シリカゲル、酸化マグネシウム、硫
化亜鉛、炭化タングステン、窒化ホウ素、デンプン、酸
化亜鉛、カオリン、タルク、粘土、硫酸鉛、炭酸バリウ
ム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ベーム石（γ
−Ａｌ2 Ｏ3 ・Ｈ2 Ｏ）、アルミナ、硫化タングステ
ン、酸化チタン、ポリテトラフルオロエチレン粉末、ポ
リエチレン粉末、ポリ塩化ビニル粉末、金属粉末等を併
用してもよい。In the composition of the present invention described above, the nonmagnetic pigment dispersed in the paint for the back coat layer may be, if necessary, in addition to the carbon used in the above examples.
Hematite, mica, silica gel, magnesium oxide, zinc sulfide, tungsten carbide, boron nitride, starch, zinc oxide, kaolin, talc, clay, lead sulfate, barium carbonate, calcium carbonate, magnesium carbonate, boehmite (γ
-Al 2 O 3 · H 2 O ), alumina, tungsten sulfide, titanium oxide, polytetrafluoroethylene powder, polyethylene powder, polyvinyl chloride powder may be used in combination with metal powders and the like.
【００４７】バックコート層は前述の非磁性顔料を結合
剤および有機溶剤とともに混練することによってバック
コート層用塗料を調整し、これを非磁性支持体の磁性層
とは反対側の主面に塗布することにより形成されるが、
このとき使用される結合剤や有機溶剤はいずれも従来公
知のものが使用可能である。The backcoat layer is prepared by kneading the above-mentioned nonmagnetic pigment together with a binder and an organic solvent to prepare a coating for the backcoat layer, and applying this to the main surface of the nonmagnetic support opposite to the magnetic layer. Is formed by
Any known binder and organic solvent can be used at this time.
【００４８】結合剤としては、例えば上述の実施例にお
いて用いたポリカーボネート及びポリウレタンの他に、
従来用いられてきたものとして、塩化ビニルと酢酸ビニ
ルの共重合体、塩化ビニルと酢酸ビニルとビニルアルコ
ールの共重合体、塩化ビニルと酢酸ビニルとマレイン酸
の共重合体、塩化ビニルと塩化ビニリデンの共重合体、
塩化ビニルとアクリロニトリルの共重合体、アクリル酸
エステルとアクリロニトリルの共重合体、アクリル酸エ
ステルと塩化ビニリデンの共重合体、メタクリル酸エス
テルとスチレンの共重合体、熱可塑性ポリウレタン樹
脂、フェノキシ樹脂、ポリフッ化ビニル、塩化ビニリデ
ンとアクリロニトリルの共重合体、ブタジエンとアクリ
ロニトリルの共重合体、ブタジエンとアクリロニトリル
とメタクリル酸の共重合体、ポリビニルブチラール、セ
ルロース誘導体、スチレンとブタジエンの共重合体、ポ
リエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、熱硬
化性ポリウレタン樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アル
キド樹脂、尿素とホルムアルデヒドの樹脂、またはこれ
らの混合物等があげられる。これらはイソシアネート化
合物を架橋剤として使用し、より耐久性を向上させた
り、適当な極性基を導入したものであってもよい。As the binder, for example, in addition to the polycarbonate and polyurethane used in the above-mentioned examples,
Conventionally used products include vinyl chloride / vinyl acetate copolymers, vinyl chloride / vinyl acetate / vinyl alcohol copolymers, vinyl chloride / vinyl acetate / maleic acid copolymers, and vinyl chloride / vinylidene chloride copolymers. Copolymer,
Copolymer of vinyl chloride and acrylonitrile, copolymer of acrylate and acrylonitrile, copolymer of acrylate and vinylidene chloride, copolymer of methacrylate and styrene, thermoplastic polyurethane resin, phenoxy resin, polyfluorinated Vinyl, copolymer of vinylidene chloride and acrylonitrile, copolymer of butadiene and acrylonitrile, copolymer of butadiene and acrylonitrile and methacrylic acid, polyvinyl butyral, cellulose derivative, copolymer of styrene and butadiene, polyester resin, phenolic resin, Epoxy resins, thermosetting polyurethane resins, urea resins, melamine resins, alkyd resins, urea and formaldehyde resins, or mixtures thereof, and the like can be given. These may use an isocyanate compound as a cross-linking agent to further improve durability or may have a suitable polar group introduced.
【００４９】溶剤としては、例えばアセトン、メチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサン
等のケトン系溶剤、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチ
ル、乳酸エチル、酢酸グリコールモノエチルエステル等
のエステル系溶剤、グリコールジメチルエーテル、グリ
コールモノエチルエーテル、ジオキサン等のグリコール
エーテル系溶剤、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳
香族炭化水素系溶剤、メチレンクロライド、四塩化炭
素、クロロホルム、エチレンクロルヒドリン、ジクロロ
ベンゼン等の有機塩素化合物系溶剤があげられる。Examples of the solvent include ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexane; ester solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, and glycol monoethyl ester; glycol dimethyl ether; Glycol ether solvents such as monoethyl ether and dioxane, aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, and xylene, and organic chlorine compound solvents such as methylene chloride, carbon tetrachloride, chloroform, ethylene chlorohydrin, and dichlorobenzene. can give.
【００５０】また、磁性層は、Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎｉ，Ｃｏ
−Ｆｅ−Ｎｉ等の強磁性金属薄膜を斜め蒸着により、酸
素を含む雰囲気中での反応性蒸着技術によって成膜され
るものであり、通常の蒸着テープに使用されるものであ
ればいかなるものであってもよい。例示すればＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｎｉ等の強磁性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｆｅ−Ｎ
ｉ，Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍｎ−Ｂ
ｉ，Ｍｎ−Ａｌ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃ
ｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｎｉ等の強磁性合金があげられる。これらの単
層膜であってもよいし、２層以上の多層膜であってもよ
い。The magnetic layer is made of Co, Co-Ni, Co
-A thin film of a ferromagnetic metal such as Fe-Ni is formed by oblique evaporation by a reactive evaporation technique in an atmosphere containing oxygen, and any material can be used as long as it is used for a normal evaporation tape. There may be. For example, Fe, C
ferromagnetic metals such as o and Ni, Fe-Co, Co-Fe-N
i, Fe-Cu, Co-Au, Co-Pt, Mn-B
i, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-C
r, Fe-Co-Cr, Co-Ni-Cr, Fe-Co
Ferromagnetic alloys such as -Cr-Ni. These may be a single layer film or a multilayer film of two or more layers.
【００５１】さらに、非磁性支持体と金属磁性薄膜間あ
るいは多層膜の場合には、各層間の付着力向上、並びに
抗磁力の制御等のため、下地層または中間層を設けても
よい。Furthermore, in the case of a non-magnetic support and a metal magnetic thin film or in the case of a multilayer film, an underlayer or an intermediate layer may be provided for improving the adhesion between the layers and controlling the coercive force.
【００５２】金属磁性薄膜形成の手段としては、真空下
で強磁性材料を加熱蒸発させ、非磁性支持体上に沈着さ
せる真空蒸着法や、強磁性金属材料の蒸発を放電中で行
うイオンプレーティング法等がある。Means for forming a magnetic metal thin film include a vacuum evaporation method in which a ferromagnetic material is heated and evaporated under vacuum and deposited on a non-magnetic support, and an ion plating method in which a ferromagnetic metal material is evaporated during discharge. There is a law.
【００５３】また、上記非磁性支持体上に形成された強
磁性金属材料上には保護膜層が形成させていてもよい
が、この材料としては、通常の金属磁性薄膜用保護膜と
して一般に使用させるものであればいかなるものであっ
てもよい。例えばカーボン、ＣｒＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｂ
Ｎ，Ｃｏ酸化物、ＭｇＯ，ＳｉＯ2 ，Ｓｉ3 Ｏ4 ，Ｓｉ
ＮX −ＳｉＯ2 ，ＺｎＯ2 ，ＴｉＯ2 ，ＴｉＣ等があげ
られる。これらの単層膜であってもよいし、多層膜、あ
るいは複合膜であってもよい。Further, a protective film layer may be formed on the ferromagnetic metal material formed on the nonmagnetic support, and this material is generally used as a protective film for ordinary metal magnetic thin films. Anything may be used as long as it causes it. For example, carbon, CrO 2 , Al 2 O 3 , B
N, Co oxide, MgO, SiO 2 , Si 3 O 4 , Si
N x -SiO 2 , ZnO 2 , TiO 2 , TiC and the like. These may be a single-layer film, a multilayer film, or a composite film.
【００５４】また、非磁性支持体としては、やはり従来
公知のものがいずれも使用可能である。例えば、ポリエ
チレンテレフタレート等のポリエステル類、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポリオレフィン類、セルロース
トリアセテート、セルロースジアセテート、セルロース
アセテートブチレート等のセルロース誘導体、ポリ塩化
ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリカ
ーボネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミ
ド等のプラスチック、紙、アルミニウム、銅等の金属、
アルミニウム合金、チタン合金等の軽金属、セラミック
ス単結晶シリコン等である。As the non-magnetic support, any conventionally known non-magnetic support can be used. For example, polyesters such as polyethylene terephthalate, polyethylene, polyolefins such as polypropylene, cellulose triacetate, cellulose diacetate, cellulose derivatives such as cellulose acetate butyrate, polyvinyl chloride, vinyl resins such as polyvinylidene chloride, polycarbonate, polyimide, Plastics such as polyamide and polyamide-imide, paper, metals such as aluminum and copper,
Light metals such as aluminum alloys and titanium alloys, and ceramic single crystal silicon.
【００５５】なお、上記非磁性支持体の形態としては、
フィルム、テープ、シート、ディスク、カード、ドラム
等のいずれでもよい。The form of the nonmagnetic support is as follows.
Any of films, tapes, sheets, disks, cards, drums and the like may be used.
【００５６】[0056]
【発明の効果】本発明によれば、蒸着法にて磁性膜が形
成される磁気記録媒体において、磁気特性における保磁
力角形比Ｓ* を、０．２〜０．５、保磁力ＨC を、６０
〜１５０〔ｋＡ／ｍ〕、残留磁束密度Ｂr を２５０ｍＴ
〜６００ｍＴの範囲に特定することによって、高出力か
つ低ノイズで、高Ｃ／Ｎ（Ｓ／Ｎ）の優れた磁気記録媒
体を得ることができた。According to the present invention, a magnetic recording medium in which a magnetic film is formed by vapor deposition method, the coercive force squareness ratio S * of the magnetic properties, 0.2 to 0.5, a coercive force H C , 60
150 [kA / m], the residual flux density B r 250mT
By specifying the range of ｍ600 mT, a magnetic recording medium with high output, low noise, and high C / N (S / N) could be obtained.
【図１】連続式蒸着巻き取り装置の一例の概略断面図で
ある。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an example of a continuous evaporation winding device.
【図２】酸素ガス導入量と、保磁力（Ｈｃ）、飽和磁束
密度（Ｂｓ）、残留磁束密度（Ｂｒ）との関係を示す。FIG. 2 shows the relationship between the amount of oxygen gas introduced and coercive force (Hc), saturation magnetic flux density (Bs), and residual magnetic flux density (Br).
【図３】酸素ガス導入量と信号レベルおよびノイズとの
関係を表す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a relationship between an oxygen gas introduction amount, a signal level, and noise.
【図４】酸素導入量と保磁力角型比の関係を表す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between an oxygen introduction amount and a coercive force squareness ratio.
【図５】磁化曲線（Ｂ−Ｈ曲線）を表す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a magnetization curve (BH curve).
１ 真空室、２ 非磁性支持体、３ 巻き出しロール、
４ 巻き取りロール、５ 冷却キャン、６，７ ガイド
ロール、８ ルツボ、９ 金属磁性体、１０電子銃、１
３ シャッター、１４ 酸素ガス導入管、１５，１６
排気口、２１酸素ガス導入量と保磁力（Ｈｃ）との関係
を表す曲線、２２ 酸素ガス導入量と飽和磁束密度（Ｂ
ｓ）との関係を表す曲線、２３ 酸素ガス導入量と残留
磁束密度（Ｂｒ）の関係を表す曲線、３１ 酸素ガス導
入量と信号レベルとの関係を表す曲線、３２ 酸素ガス
導入量とノイズレベルとの関係を表す曲線、４１ 酸素
ガス導入量と保磁力角形比（Ｓ* ）との関係を表す曲線1 vacuum chamber, 2 non-magnetic support, 3 unwinding roll,
4 take-up roll, 5 cooling can, 6, 7 guide roll, 8 crucible, 9 metal magnetic material, 10 electron gun, 1
3 shutter, 14 oxygen gas introduction pipe, 15, 16
Exhaust port, 21 a curve representing the relationship between the amount of oxygen gas introduced and the coercive force (Hc), 22 the amount of oxygen gas introduced and the saturation magnetic flux density (B
s), a curve representing the relationship between the oxygen gas introduction amount and the residual magnetic flux density (Br), a curve representing a relationship between the oxygen gas introduction amount and the signal level, and a curve representing the relationship between the oxygen gas introduction amount and the signal level. Curve representing the relationship between 41 and the curve representing the relationship between the oxygen gas introduction amount and the coercive force squareness ratio (S * ).
Claims (1)
録媒体において、 磁気特性における保磁力角形比Ｓ* が、０．２〜０．５ 保磁力ＨC が、６０〜１５０〔ｋＡ／ｍ〕 残留磁束密度Ｂr が、２５０ｍＴ〜６００ｍＴ の範囲に特定されることを特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium on which a magnetic film is formed by a vapor deposition method, wherein a coercive force squareness ratio S * in magnetic properties is 0.2 to 0.5, and a coercive force H C is 60 to 150 [kA / m. ] the magnetic recording medium of remanence B r, characterized in that specified in the scope of 250MT～600mT.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17813996A JPH1027327A (en) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17813996A JPH1027327A (en) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | Magnetic recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1027327A true JPH1027327A (en) | 1998-01-27 |
Family
ID=16043332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17813996A Pending JPH1027327A (en) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1027327A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6921604B2 (en) | 2000-02-02 | 2005-07-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Device and method for evaluating performance of fuel cells, device and method for evaluating specific surface area of fuel-cell electrode catalysts, fuel-cell electrode catalyst, and method of manufacturing the same |
-
1996
- 1996-07-08 JP JP17813996A patent/JPH1027327A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6921604B2 (en) | 2000-02-02 | 2005-07-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Device and method for evaluating performance of fuel cells, device and method for evaluating specific surface area of fuel-cell electrode catalysts, fuel-cell electrode catalyst, and method of manufacturing the same |
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