JPH10263963A - Accurate feeding device - Google Patents
Accurate feeding deviceInfo
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- JPH10263963A JPH10263963A JP7478297A JP7478297A JPH10263963A JP H10263963 A JPH10263963 A JP H10263963A JP 7478297 A JP7478297 A JP 7478297A JP 7478297 A JP7478297 A JP 7478297A JP H10263963 A JPH10263963 A JP H10263963A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、各種の精密機
器、例えば光ディスクや磁気ディスクの製造装置，検査
装置や、半導体の製造装置，検査装置等に応用される精
密送り装置に関し、特に、エアスライド装置とアクチュ
エータと変位センサとから構成されてフィードバック制
御される精密送り装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a precision feeding device applied to various precision equipment, for example, an optical disk or magnetic disk manufacturing apparatus, an inspection apparatus, a semiconductor manufacturing apparatus, an inspection apparatus, and the like. The present invention relates to a precision feed device that is configured by a device, an actuator, and a displacement sensor and is feedback-controlled.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の精密送り装置は、可動部のガイ
ドに対する摩擦を小さくし、駆動する際にスティックス
リップが発生しないように、可動部をガイドに対して静
圧空気軸受で非接触支持するエアスライド装置と、可動
部を駆動する非接触リニアモータ等のアクチュエータ
と、可動部の位置を検出する非接触型リニアスケール等
の変位センサとから構成され、前記変位センサの検出信
号でフィードバック制御される。光ディスクの製造装置
では、前記可動部に光学ヘッドが取付けられ、光学ヘッ
ドの精密位置決めにこの精密送り装置が使用される。2. Description of the Related Art A precision feeder of this type reduces the friction of a movable part with respect to the guide and supports the movable part with a non-contact air bearing against the guide so that stick slip does not occur during driving. And a displacement sensor such as a non-contact linear scale that detects the position of the movable portion. The feedback control is performed by a detection signal of the displacement sensor. Is done. In an optical disk manufacturing apparatus, an optical head is attached to the movable section, and the precision feeding device is used for precise positioning of the optical head.
【０００３】図７は、従来の精密送り装置の一例を示
し、可動部４をガイド３に対して静圧空気軸受（図示せ
ず）で非接触支持するエアスライド装置１５と、非接触
リニアモータ１６と、変位センサ１７とから構成されて
いる。変位センサ１７は、非接触型リニアスケールから
なり、その被検出部となるスケール部７Ａは、可動部４
の側面における下端に設けられている。可動部４の上面
に、光学系ベース１０が取付けられ、光ディスクマスタ
リング用の光学系部品１１が載せられている。なお、同
図において、図１の実施形態と対応する部分には同一符
号を付してある。FIG. 7 shows an example of a conventional precision feeder, in which an air slide device 15 for supporting a movable portion 4 in a non-contact manner with a guide 3 by a static pressure air bearing (not shown), and a non-contact linear motor. 16 and a displacement sensor 17. The displacement sensor 17 is made of a non-contact linear scale, and the scale portion 7A to be detected is a movable portion 4
Is provided at the lower end of the side surface. An optical system base 10 is mounted on the upper surface of the movable unit 4, and an optical system component 11 for optical disk mastering is mounted. In the figure, the same reference numerals are given to portions corresponding to the embodiment of FIG.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】近年、光ディスクの記
録密度は高密度化の傾向にある。例えば、ＣＤ（コンパ
クトディスク）からＤＶＤ（ディジタルビデオディス
ク）へ技術が進む中で、ＤＶＤの記録密度は、ＣＤの６
倍となっており、電機メーカーが開発中のハイビジョン
用ＤＶＤは現行のＤＶＤの３倍を目指している。したが
って、マスタリング工程中、何らかの外乱が入り、送り
装置の可動部が振動すると、マスターディスクは不良と
なってしまう。このように、光磁気ディスクの高密度化
が進むにつれ、トラックピッチは小さくなり、精密送り
装置の送り誤差の極小化が要求されている。そのため、
図７に示す従来の送り装置では、前記要求に対応できな
くなってきている。これまで、エアスライド装置は、可
動部をガイドに対して非接触支持するので、摩擦が小さ
く、可動部を駆動する際にスティックスリップが発生し
ないことの利点から精密位置決めに用いられてきたが、
非接触支持であるため減衰能力が小さく、位置決め誤差
に対する要求が厳しくなるにつれて、外乱による微小振
動が問題になっている。そこで、エアスライド装置の精
度の良さを保ちつつ、振動にも強くする必要が生じてき
た。特に、振動数が機械系の固有振動数と等しい場合に
は共振により振幅が大きくなるので、固有振動数での減
衰能力を高める必要がある。そのため、システムの一巡
伝達関数を測定した場合に、機械系の固有振動数で現れ
るゲインのピーク値を小さく抑える必要がある。In recent years, the recording density of optical disks has been increasing. For example, as the technology advances from a CD (compact disc) to a DVD (digital video disc), the recording density of a DVD is 6
The number of DVDs for HDTVs being developed by electric manufacturers is aiming to be three times that of current DVDs. Therefore, if any disturbance occurs during the mastering process and the movable portion of the feed device vibrates, the master disk becomes defective. As described above, as the density of the magneto-optical disk increases, the track pitch becomes smaller, and there is a demand for minimizing the feed error of the precision feeder. for that reason,
The conventional feeder shown in FIG. 7 has become unable to respond to the request. Up to now, the air slide device has been used for precise positioning because of the advantage that the movable portion is supported in a non-contact manner with respect to the guide, so that the friction is small and no stick-slip occurs when the movable portion is driven.
Due to the non-contact support, the damping capacity is small, and as the requirement for positioning error becomes strict, micro vibration due to disturbance becomes a problem. Thus, it has become necessary to maintain the high accuracy of the air slide device and to withstand vibration. In particular, when the frequency is equal to the natural frequency of the mechanical system, the amplitude increases due to resonance. Therefore, it is necessary to increase the damping ability at the natural frequency. Therefore, when the loop transfer function of the system is measured, it is necessary to suppress the peak value of the gain that appears at the natural frequency of the mechanical system.
【０００５】このゲインのピーク値を小さくする方法と
して、機械系の剛性を大きくし、固有振動数をより大き
くする方法が考えられるが、材料の縦弾性係数や装置の
寸法，重量の制限から限界がある。また、制御系におい
て、ピーク周波数に対応する周波数域にノッチフィルタ
ーを挿入することにより、ピーク周波数におけるゲイン
を小さくすることができるが、この場合、送り装置の可
動部に取付ける光学ヘッド等を交換して質量が変化する
と機械系の固有振動数が変化し、ノッチフィルター等の
効果が得られなくなるという欠点がある。As a method of reducing the peak value of the gain, a method of increasing the rigidity of the mechanical system and increasing the natural frequency is conceivable. However, the method is limited by the longitudinal elastic modulus of the material and the size and weight of the device. There is. In the control system, the gain at the peak frequency can be reduced by inserting a notch filter in the frequency range corresponding to the peak frequency. In this case, the optical head and the like attached to the movable part of the feeder must be replaced. If the mass changes, the natural frequency of the mechanical system changes, and there is a disadvantage that the effect of the notch filter or the like cannot be obtained.
【０００６】この発明は、上記の課題を解消するもので
あり、外乱となる振動に対して強く、位置決め精度にも
優れ、また振動減衰効果が搭載物の質量変化の影響を受
け難い精密送り装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-described problems, and is a precision feeder which is strong against disturbance vibration, has excellent positioning accuracy, and whose vibration damping effect is hardly affected by a change in the mass of a mounted object. The purpose is to provide.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明の精密送り装置
は、エアスライド装置とアクチュエータと変位センサと
から構成され、フィードバック制御により可動部の位置
決めを行う精密送り装置において、前記変位センサの前
記可動部の側面に設けられる被検出部を、前記可動部に
生じるピッチング動作の略中心となる高さ位置に配置し
たものである。エアスライド装置は直動型の静圧空気軸
受を介してガイドに可動部を進退自在に支持したもので
あり、前記アクチュエータは可動部を進退させるもので
ある。変位センサは、前記可動部の側面に設けられる被
検出部および位置固定の検出部からなり、前記アクチュ
エータのフィードバック制御系に設けられるものであ
る。A precision feeder according to the present invention comprises an air slide device, an actuator and a displacement sensor, and performs positioning of a movable portion by feedback control. The detected part provided on the side surface of the part is arranged at a height position which is substantially the center of the pitching operation generated in the movable part. The air slide device has a movable portion supported by a guide via a direct-acting static pressure air bearing so that the movable portion can move forward and backward, and the actuator moves the movable portion forward and backward. The displacement sensor includes a detected part provided on a side surface of the movable part and a fixed position detection part, and is provided in a feedback control system of the actuator.
【０００８】このように、変位センサの被検出部を可動
部に生じるピッチングの中心となる高さ位置としたた
め、可動部が外力を受けてピッチング方向に傾くときの
被検出部の進退方向の位置ずれが小さくなる。そのた
め、フィードバック制御系において、前記位置ずれによ
って、可動部の持っているピッチング方向の固有振動数
で現れるゲインのピーク値が小さくなる。この結果、外
乱となる振動に対して強い精密送り装置となる。したが
って、エアスライド装置の持つ精度の良さを保ちつつ、
振動にも強くすることができる。また、可動部がピッチ
ング方向に傾くときの被検出部の位置ずれを小さくする
ことでゲインを低減させる構成であるため、ピッチング
の固有振動数の変化による影響が小さく、可動部の搭載
物の質量変化の影響を受け難い。As described above, since the detected portion of the displacement sensor is set at the height position which is the center of pitching generated in the movable portion, the position of the detected portion in the retreating direction when the movable portion is tilted in the pitching direction due to an external force. The deviation is small. Therefore, in the feedback control system, the peak value of the gain appearing at the natural frequency of the movable portion in the pitching direction becomes smaller due to the displacement. As a result, a precision feeding device that is strong against disturbance vibrations is obtained. Therefore, while maintaining the high accuracy of the air slide device,
It can be resistant to vibration. Also, since the gain is reduced by reducing the displacement of the detected part when the movable part is tilted in the pitching direction, the effect of the change in the natural frequency of the pitching is small, and the mass of the mounted object of the movable part is small. Less susceptible to change.
【０００９】上記構成において、変位センサの被検出部
は、前記可動部の側面の高さ方向の中心に配置しても良
く、また可動部の側面における静圧空気軸受の高さ方向
の中心に配置しても良い。エアスライド装置において、
可動部に生じるピッチングの中心は、一般に可動部の側
面の高さ方向の中心か、あるいは静圧空気軸受の高さ方
向の中心となる。そのため、このように変位センサの被
検出部を可動部の側面の高さ方向の中心または静圧空気
軸受の高さ方向の中心に配置することで、上記のゲイン
のピーク値を小さくする効果が得られる。In the above structure, the detected portion of the displacement sensor may be arranged at the center of the side surface of the movable portion in the height direction, and may be located at the center of the side surface of the movable portion in the height direction of the hydrostatic air bearing. It may be arranged. In the air slide device,
The center of pitching generated in the movable portion is generally the center in the height direction of the side surface of the movable portion or the center in the height direction of the hydrostatic air bearing. Therefore, by arranging the detected portion of the displacement sensor at the center in the height direction of the side surface of the movable portion or the center in the height direction of the hydrostatic air bearing as described above, the effect of reducing the peak value of the gain described above is obtained. can get.
【００１０】また、これらの構成において、前記変位セ
ンサの被検出部は、非接触型のリニアスケールにおける
スケール部であっても良く、またレーザ測長器等におけ
る反射鏡であっても良い。In these configurations, the detected portion of the displacement sensor may be a scale portion of a non-contact linear scale, or may be a reflecting mirror of a laser length measuring device or the like.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】この発明の一実施形態を図１ない
し図５と共に説明する。図１，図２は、この精密送り装
置の正面図および破断側面図である。板状の基台１上に
支柱２を介して長方形断面を有する直線状のガイド３が
水平に固定されている。ロ型の断面を有する可動部４
は、軸受隙間１２を介してガイド３の４つの面に対向し
ており、可動部４から各面の軸受隙間１２内にノズル１
３から圧縮空気を供給することにより非接触支持され
る。前記軸受隙間１２とノズル１３とで直動型の静圧空
気軸受１４が構成される。また、ガイド３と可動部４と
でエアスライド装置１５が構成される。可動部４を駆動
するアクチュエータである非接触型のリニアモータ１６
は、そのモータコイル５が可動部４の下面に一体に取付
けられ、基台１に取付けられた磁気回路部品６内に非接
触で遊嵌している。リニアモータ１６は、モータコイル
５に電流を流すことにより、ガイド方向に推進力が発生
し、可動部４を駆動させる。可動部４の側面には、非接
触型のリニアスケールからなる変位センサ１７の被検出
部であるスケール部７がスケール取付台８を介して取付
けられ、基台１に取付けられた検出部であるスケールヘ
ッド９により、可動部４の変位が測定される。このリニ
アスケールからなる変位センサ１７は、光学式のもので
あっても、磁気式のものであっても良い。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2 are a front view and a cutaway side view of the precision feeding device. A linear guide 3 having a rectangular cross section is fixed horizontally on a plate-like base 1 via a support 2. Movable part 4 having b-shaped cross section
Are opposed to the four surfaces of the guide 3 via the bearing gap 12, and the nozzle 1 is inserted into the bearing gap 12 on each surface from the movable part 4.
Non-contact support is achieved by supplying compressed air from 3. The bearing gap 12 and the nozzle 13 constitute a direct acting static pressure air bearing 14. The guide 3 and the movable part 4 constitute an air slide device 15. Non-contact type linear motor 16 as an actuator for driving the movable portion 4
The motor coil 5 is integrally mounted on the lower surface of the movable portion 4 and is loosely fitted in a magnetic circuit component 6 mounted on the base 1 in a non-contact manner. The linear motor 16 drives the movable part 4 by generating a propulsive force in the guide direction by passing a current through the motor coil 5. On the side surface of the movable portion 4, a scale portion 7, which is a detected portion of a displacement sensor 17 formed of a non-contact linear scale, is mounted via a scale mount 8, and is a detection portion mounted on the base 1. The displacement of the movable part 4 is measured by the scale head 9. The displacement sensor 17 composed of the linear scale may be an optical type or a magnetic type.
【００１２】図３に示すように、前記変位センサ１７の
スケールヘッド９で得た変位信号は、フィードバック制
御手段１８に送られ、送り指令手段１９で与えられる目
標値との偏差信号が、アンプ２０を介してリニアモータ
１６のモータコイル５に与えられる。これら、リニアモ
ータ１７、可動部４、変位センサ１７、およびフィード
バック制御手段１８により、フィードバック制御系が形
成される。図１に示すように、可動部４には上面に光学
系ベース１０が一体に取付けられ、光学系ベース１０に
は光ディスクマスタリング用の光学系部品１１が載置さ
れている。As shown in FIG. 3, a displacement signal obtained by the scale head 9 of the displacement sensor 17 is sent to a feedback control means 18, and a deviation signal from a target value given by a feed command means 19 is converted to an amplifier 20. To the motor coil 5 of the linear motor 16. The linear motor 17, the movable section 4, the displacement sensor 17, and the feedback control means 18 form a feedback control system. As shown in FIG. 1, an optical system base 10 is integrally mounted on the upper surface of the movable part 4, and an optical system component 11 for optical disc mastering is mounted on the optical system base 10.
【００１３】この前提構成の精密送り装置において、こ
の実施形態では、変位センサ１７の被検出部であるスケ
ール部７が、可動部４の側面における高さ方向の中心Ｏ
上に配置されている。可動部４の側面における高さ方向
の中心Ｏは、静圧空気軸受１４の高さ方向の中心、およ
び可動部４の重心の高さにも合致している。In the precision feeder of this premise configuration, in this embodiment, the scale portion 7 which is the detected portion of the displacement sensor 17 is positioned at the center O in the height direction on the side surface of the movable portion 4.
Is placed on top. The center O in the height direction on the side surface of the movable portion 4 matches the center in the height direction of the hydrostatic air bearing 14 and the height of the center of gravity of the movable portion 4.
【００１４】この構成の精密送り装置の作用を、図４を
参照して説明する。可動部４の側面にスケール部７を取
付ける場合に、その取付位置による違いを見るために、
スケール部７（７Ａ）を高さ方向の中心位置Ｏに取付け
た場合（この実施形態）と、それから最も離れた可動台
下端に取付けた場合（図７の従来例）とにつき説明す
る。図４において、実線は、可動部４が傾きを生じる前
の状態を示し、２点鎖線はピッチングにより傾いた状態
を示す。また、符号７ａは中央位置に取付けられたスケ
ール部７の、可動部４が傾く前のスケールヘッド９によ
る読み取り点を示す。これが、外力によってピッチング
方向に傾くと、読み取り点７ａは符号７ｂで示す位置に
移動し、変位センサ９での位置変化は図４でＡ２と測定
される。同様に、符号７Ａａは、下端位置に取付けられ
たスケール部７Ａの、可動部４が傾く前のスケールヘッ
ド９による読み取り点を示す。この読み取り点７Ａａ
は、可動部４がピッチング方向に傾くと、符号７Ａｂで
示す点に移動し、変位センサ９での位置変化はＡ３と測
定される。同図より明らかなように、Ａ２＜Ａ３であ
る。したがって、スケール部７（７Ａ）を可動部４の側
面に取付ける場合、高さ方向の中央部に配置すると、同
じ可動部４が外力を受けてピッチング方向に傾くときの
読み取り位置の変化が小さく検出され、フィードバック
系の一巡伝達関数のゲイン（＝変位／外力）は小さくな
る。The operation of the precision feeder having this configuration will be described with reference to FIG. When attaching the scale part 7 to the side surface of the movable part 4, in order to see the difference depending on the attachment position,
The case where the scale portion 7 (7A) is attached to the center position O in the height direction (this embodiment) and the case where the scale portion 7 (7A) is attached to the lower end of the movable base farthest from it (the conventional example in FIG. 7) will be described. In FIG. 4, a solid line indicates a state before the movable unit 4 tilts, and a two-dot chain line indicates a state tilted by pitching. Reference numeral 7a indicates a reading point by the scale head 9 of the scale unit 7 attached at the center position before the movable unit 4 is tilted. When the reading point 7a is tilted in the pitching direction by an external force, the reading point 7a moves to the position indicated by reference numeral 7b, and the change in position at the displacement sensor 9 is measured as A2 in FIG. Similarly, reference numeral 7Aa denotes a reading point of the scale section 9A attached to the lower end position by the scale head 9 before the movable section 4 tilts. This reading point 7Aa
When the movable part 4 tilts in the pitching direction, it moves to the point indicated by the reference numeral 7Ab, and the change in position by the displacement sensor 9 is measured as A3. As is clear from the figure, A2 <A3. Therefore, when the scale portion 7 (7A) is attached to the side surface of the movable portion 4, if the scale portion 7 is disposed at the center in the height direction, the change in the reading position when the same movable portion 4 is tilted in the pitching direction due to the external force is detected. Thus, the gain (= displacement / external force) of the loop transfer function of the feedback system becomes small.
【００１５】この一巡伝達関数のゲインの実験結果を図
５および図６に示す。図６は、スケール部７Ａを側面の
下端に配置した従来例である。この場合、エアスライド
装置１５の持っている固有振動数である６００Hz付近
（Ａ点）にゲインのピークが存在している。そのゲイン
のピーク値は−６dBである。これを、スケール部７の位
置が可動部４の側面の高さ方向中心Ｏに来るように変え
ると（他の条件は同じ）、図５のように、エアスライド
装置１５の固有振動数である６００Hz付近のゲインのピ
ーク値は、図６に比べ４dB小さくすることができた（Ｂ
点）。これより、外乱に強い精密送り装置とできる効果
は明らかである。FIGS. 5 and 6 show the experimental results of the gain of the loop transfer function. FIG. 6 shows a conventional example in which the scale portion 7A is arranged at the lower end of the side surface. In this case, there is a gain peak near 600 Hz (point A), which is the natural frequency of the air slide device 15. The peak value of the gain is -6 dB. When this is changed so that the position of the scale portion 7 is located at the center O in the height direction of the side surface of the movable portion 4 (other conditions are the same), the natural frequency of the air slide device 15 is obtained as shown in FIG. The peak value of the gain near 600 Hz could be reduced by 4 dB compared to FIG. 6 (B
point). This clearly shows the effect that the precision feeding device can be made resistant to disturbance.
【００１６】なお、前記実施形態は、変位センサ１７が
リニアスケールである場合につき説明したが、変位セン
サ１７としてレーザ測長器を用い、その被検出部である
反射鏡を可動部４に取付ける場合にもこの発明を適用す
ることができる。また、前記実施形態は、エアスライド
装置１５のガイド３が長方形断面であり、可動部４がロ
字型である場合につき説明したが、他の各種断面形状の
ガイドおよび可動部で構成されるエアスライド装置を用
いた場合にも、この発明を適用することができる。In the above embodiment, the displacement sensor 17 is a linear scale. However, in the case where a laser length measuring device is used as the displacement sensor 17 and the reflecting mirror, which is the detected part, is attached to the movable part 4. The present invention can also be applied to the present invention. In the above-described embodiment, the case where the guide 3 of the air slide device 15 has a rectangular cross section and the movable portion 4 has a rectangular shape has been described. The present invention can be applied to a case where a slide device is used.
【００１７】[0017]
【発明の効果】この発明の精密送り装置は、エアスライ
ド装置とアクチュエータと変位センサとから構成され、
フィードバック制御により可動部の位置決めを行う精密
送り装置において、前記変位センサの前記可動部の側面
に設けられる被検出部を、前記可動部に生じるピッチン
グ動作の略中心となる高さ位置に配置したものであるた
め、エアスライド装置の持つ精度の良さを保ちつつ、外
乱となる振動に強いものとできる。また、可動部に搭載
される光学ヘッド等の搭載物を交換しても、その質量変
化の影響を受け難く、優れた振動減衰効果が保持され
る。The precision feeder of the present invention comprises an air slide device, an actuator and a displacement sensor.
A precision feed device for positioning a movable portion by feedback control, wherein a detected portion provided on a side surface of the movable portion of the displacement sensor is arranged at a height position which is substantially a center of a pitching operation generated in the movable portion. Therefore, it is possible to maintain the high accuracy of the air slide device and to withstand the disturbance vibration. In addition, even if the mounted object such as an optical head mounted on the movable portion is replaced, it is hardly affected by the change in mass, and an excellent vibration damping effect is maintained.
【図１】この発明の一実施形態にかかる精密送り装置の
正面図である。FIG. 1 is a front view of a precision feeding device according to an embodiment of the present invention.
【図２】同精密送り装置の破断側面図である。FIG. 2 is a cutaway side view of the precision feeding device.
【図３】同精密送り装置の制御系のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of a control system of the precision feeding device.
【図４】同精密送り装置の作用説明図である。FIG. 4 is a diagram illustrating the operation of the precision feeding device.
【図５】同精密送り装置の実験結果を示すグラフであ
る。FIG. 5 is a graph showing an experimental result of the precision feeding device.
【図６】従来例の実験結果を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing experimental results of a conventional example.
【図７】従来例の正面図である。FIG. 7 is a front view of a conventional example.
３…ガイド ４…可動部 ５…モータコイル ７…スケール部（被検出部） ９…スケールヘッド（検出部） １０…光学系ベース １４…静圧空気軸受 １５…エアスライド装置 １６…リニアモータ（アクチュエータ） １７…変位センサ Ｏ…中心 DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Guide 4 ... Movable part 5 ... Motor coil 7 ... Scale part (detected part) 9 ... Scale head (detection part) 10 ... Optical system base 14 ... Static pressure air bearing 15 ... Air slide device 16 ... Linear motor (actuator) 17) Displacement sensor O: Center
Claims (4)
可動部を進退自在に支持したエアスライド装置と、前記
可動部を進退させるアクチュエータと、前記可動部の側
面に設けられる被検出部および位置固定の検出部からな
り前記アクチュエータのフィードバック制御系に設けら
れる変位センサとを備えた精密送り装置において、前記
変位センサの被検出部を、前記可動部に生じるピッチン
グ動作の略中心となる高さ位置に配置したことを特徴と
する精密送り装置。1. An air slide device having a movable portion supported by a guide via a direct-acting static pressure air bearing so as to be able to move forward and backward, an actuator for moving the movable portion forward and backward, and a detected object provided on a side surface of the movable portion. And a displacement sensor provided in a feedback control system of the actuator, comprising a detector and a fixed position detector, wherein the detected portion of the displacement sensor is substantially at the center of a pitching operation generated in the movable portion. A precision feeder characterized by being arranged at a height position.
部の側面の高さ方向の中心に配置した請求項１記載の精
密送り装置。2. The precision feeding device according to claim 1, wherein a detected portion of the displacement sensor is arranged at a center of a side surface of the movable portion in a height direction.
部の側面における静圧空気軸受の高さ方向の中心に配置
した請求項１記載の精密送り装置。3. The precision feeding device according to claim 1, wherein the detected portion of the displacement sensor is disposed at a center of a side surface of the movable portion in a height direction of the hydrostatic air bearing.
のリニアスケールにおけるスケール部である請求項１な
いし請求項３のいずれかに記載の精密送り装置。4. The precision feeding device according to claim 1, wherein the detected portion of the displacement sensor is a scale portion of a contact type linear scale.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7478297A JPH10263963A (en) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | Accurate feeding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7478297A JPH10263963A (en) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | Accurate feeding device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10263963A true JPH10263963A (en) | 1998-10-06 |
Family
ID=13557214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7478297A Pending JPH10263963A (en) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | Accurate feeding device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10263963A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20160236206A1 (en) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Separation Technologies Llc | Edge air nozzles for belt-type separator devices |
| US10092908B2 (en) | 2014-04-24 | 2018-10-09 | Separation Technologies Llc | Continuous belt for belt-type separator devices |
| US11998930B2 (en) | 2020-06-22 | 2024-06-04 | Separation Technologies Llc | Process for dry beneficiation of fine and very fine iron ore by size and electrostatic segregation |
-
1997
- 1997-03-27 JP JP7478297A patent/JPH10263963A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10092908B2 (en) | 2014-04-24 | 2018-10-09 | Separation Technologies Llc | Continuous belt for belt-type separator devices |
| US20160236206A1 (en) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Separation Technologies Llc | Edge air nozzles for belt-type separator devices |
| US9764332B2 (en) * | 2015-02-13 | 2017-09-19 | Separation Technologies Llc | Edge air nozzles for belt-type separator devices |
| KR20170117076A (en) * | 2015-02-13 | 2017-10-20 | 세퍼레이션 테크놀로지스 엘엘시 | Edge air nozzle for belt type separator device |
| US11998930B2 (en) | 2020-06-22 | 2024-06-04 | Separation Technologies Llc | Process for dry beneficiation of fine and very fine iron ore by size and electrostatic segregation |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040810 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |