JPH1026384A - Clean room device - Google Patents
Clean room deviceInfo
- Publication number
- JPH1026384A JPH1026384A JP8177757A JP17775796A JPH1026384A JP H1026384 A JPH1026384 A JP H1026384A JP 8177757 A JP8177757 A JP 8177757A JP 17775796 A JP17775796 A JP 17775796A JP H1026384 A JPH1026384 A JP H1026384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- noise
- duct
- clean room
- fan
- noise level
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器、液晶、
半導体等を製造するためのクリーンルームを清浄に保つ
ためのクリーンルーム装置に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electronic device, a liquid crystal,
The present invention relates to a clean room apparatus for keeping a clean room for manufacturing semiconductors and the like clean.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、電子機器の製造にあたり、その部
品を取り扱う室内の空気清浄度、あるいは温度や湿度等
を一定に保つためのクリーンルーム装置が開発されてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, in the production of electronic equipment, a clean room apparatus has been developed for keeping the air cleanliness, temperature, humidity and the like in a room handling the parts constant.
【０００３】例えば天井面にフィルタを設けたシステム
天井式クリーンルームにおいては、中央循環形式、ファ
ン・フィルタユニット形式あるいはリターンシャフト内
に複数の循環ファンを置く形式等が知られている。For example, in a system ceiling type clean room in which a filter is provided on a ceiling surface, a central circulation type, a fan / filter unit type, a type in which a plurality of circulation fans are provided in a return shaft, and the like are known.
【０００４】中央循環形式は、室内排気を室外の中央循
環ファンで処理し、再度クリーンルームのサプライチャ
ンバに送気し、フィルタを経由して室内に供給するもの
である。[0004] In the central circulation type, indoor exhaust is processed by an outdoor central circulation fan, the air is again sent to a supply chamber of a clean room, and supplied to the room via a filter.
【０００５】ファン・フィルタユニット形式は、送風機
の吹出し側とフィルタの間に正圧チャンバを設け、フィ
ルタの周囲を送風機の吸込み側と連通させることによ
り、負圧に維持することにより、クリーンルーム内に汚
染空気がリークするのを防止するようにしたものであ
る。[0005] In the fan / filter unit type, a positive pressure chamber is provided between the outlet side of the blower and the filter, and the periphery of the filter is communicated with the suction side of the blower to maintain a negative pressure. This is to prevent leakage of contaminated air.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記中
央循環形式のものでは、一括処理するためファンの容量
が大きく、発生する騒音レベルが大である。この騒音対
策として、消音器を設ける場合、圧力損失の大幅な増大
を招き、省エネルギ上及びコスト上問題がある。However, in the case of the central circulation type, the capacity of the fan is large due to batch processing, and the generated noise level is large. When a silencer is provided as a countermeasure against this noise, a large increase in pressure loss is caused, and there are problems in energy saving and cost.
【０００７】又、ファン・フィルタユニット形式では、
フィルタ毎に多数の小容量の循環ファンを用いているた
め、ファンの送風効率が低下し、省エネルギ上問題があ
る。更に、ファンの回転に伴う騒音が室内に伝搬される
傾向が大きいという問題もある。In the fan / filter unit type,
Since a large number of small-volume circulating fans are used for each filter, the fan blowing efficiency is reduced, and there is a problem in energy saving. Further, there is a problem that noise accompanying the rotation of the fan tends to be propagated indoors.
【０００８】又、リターンシャフト内に複数の循環ファ
ンを設ける形式では、発生する騒音が大きく、室内に伝
搬しがちである。又、リターンシャフト内に複数のファ
ンを設ける場合には、送風効率の低いところで運転する
ため、省エネルギ上も問題がある。[0008] In the type in which a plurality of circulation fans are provided in the return shaft, the generated noise is large and tends to propagate indoors. Further, when a plurality of fans are provided in the return shaft, the operation is performed at a low air blowing efficiency, so that there is a problem in energy saving.
【０００９】これらの問題に対し、例えば特開平５−２
８８０３２号公報には、内燃機関向けに能動型消音器、
上流側に受動型消音器とを備えるものが開示されてお
り、又、特開平７−３１９４８２号公報では、能動型消
音器とスプリッタ消音器を組み合わせたものが提案され
ている。To solve these problems, see, for example,
No. 88032 discloses an active silencer for an internal combustion engine,
A device provided with a passive silencer on the upstream side is disclosed, and JP-A-7-319482 proposes a combination of an active silencer and a splitter muffler.
【００１０】しかし、これらのものにおいても、前記特
開平５−２８８０３２号公報のものでは、エンジンの軸
回転数検出器を備え、特定のコントローラにより圧力波
を発生器から出力している。又、特定の受動型消音器を
能動型消音器の上流側に置いている。これらにより、特
定の機器類を必要とし、又、ダクト回りの空間スペース
を長くする必要があるという問題があり、前記特開平７
−３１９４８２号公報のものでは、装置構成が大きな空
間を占め、クリーンルームのような空間スペースの限ら
れているところには利用することが困難であるという問
題がある。[0010] However, among these, Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-288032 has an engine shaft speed detector and outputs a pressure wave from a generator by a specific controller. Also, certain passive silencers are located upstream of the active silencer. As a result, there is a problem that specific equipment is required and a space around the duct needs to be lengthened.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-319482 has a problem that the device configuration occupies a large space, and it is difficult to use the device in places where space is limited, such as a clean room.
【００１１】本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされ
たものであり、低騒音化及び省エネルギ化を達成するク
リーンルーム装置を提供することを課題とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and has as its object to provide a clean room apparatus which achieves low noise and energy saving.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明は、天井面にフィ
ルタを設けたシステム天井式のクリーンルーム装置にお
いて、循環ファンの下流側ダクト内側に設けられた騒音
検出手段と、該騒音検出手段により検出された騒音を受
け、該騒音と反対の位相の信号を発生する信号発生手段
と、該信号を受け、前記騒音と略同一レベルの音波で、
該騒音と干渉を生ずる音波を発生する音波発生手段と、
前記ダクトの更に下流側に設けられた、内側に吸音材を
有する直角型エルボとを備えたことにより、前記課題を
解決したものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a system ceiling type clean room apparatus provided with a filter on a ceiling surface, a noise detection means provided inside a duct downstream of a circulation fan, and a noise detection means. Signal generating means for receiving the noise, and generating a signal having a phase opposite to the noise, and receiving the signal, a sound wave having substantially the same level as the noise,
Sound wave generating means for generating a sound wave causing interference with the noise,
This problem has been solved by providing a right-angled elbow provided with a sound absorbing material inside, which is provided further downstream of the duct.
【００１３】本発明によれば、循環ファンの下流側ダク
ト内側に設けられた騒音検出手段により検出された騒音
と反対の位相の信号を発生させ、前記騒音とほぼ同一レ
ベルで且つ逆の波形の音波を発生し、前記騒音と干渉さ
せ、騒音レベルを低減させる。又、更にダクト後方に設
けられた、内側に吸音材を有する直角型エルボにより前
記騒音を反射させ、この反射音と前記騒音とを干渉さ
せ、更なる低騒音化を図る。これらの構成により、低騒
音化を達成すると共に、ダクト内の抵抗を極力小さくで
き、省エネルギ化をも図ることができる。According to the present invention, a signal having a phase opposite to that of the noise detected by the noise detection means provided inside the duct on the downstream side of the circulation fan is generated, and a signal having substantially the same level as the noise and having a waveform opposite to that of the noise is generated. A sound wave is generated and interferes with the noise to reduce the noise level. Further, the noise is reflected by a right-angled elbow provided with a sound absorbing material on the inside, which is provided at the rear of the duct, and the reflected sound interferes with the noise, thereby further reducing the noise. With these configurations, noise can be reduced, the resistance in the duct can be reduced as much as possible, and energy can be saved.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態の例を詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１５】図１は、本発明の適用されたクリーンルー
ム装置の概略を示す側面図である。FIG. 1 is a side view schematically showing a clean room apparatus to which the present invention is applied.
【００１６】図１において、クリーンルーム１０は、シ
ステム天井式クリーンルームであり、天井に設けられた
サプライチャンバ１２よりフィルタ１４を通じて清浄な
空気が供給される。クリーンルーム１０内の空気はグレ
ーチング床１６を通して床下のリターンチャンバ１８に
導かれる。この空気は、リターンシャフト２０内に設け
られたファン２２によって冷却コイル２４を通して吸入
され、後方のダクト２６へ送られる。ダクト２６は接続
ダクト２８によってリターンシャフト２０に接続されて
いる。ダクト２６内には表面が箔で覆われた防音材３０
が内張りしてある。In FIG. 1, a clean room 10 is a system ceiling type clean room, and clean air is supplied through a filter 14 from a supply chamber 12 provided on the ceiling. The air in the clean room 10 is guided through a grating floor 16 to a return chamber 18 below the floor. This air is sucked through a cooling coil 24 by a fan 22 provided in a return shaft 20 and sent to a rear duct 26. Duct 26 is connected to return shaft 20 by connection duct 28. In the duct 26, a sound insulating material 30 whose surface is covered with foil is provided.
There is lining.
【００１７】又、ダクト２６内には２つのマイク（騒音
検出手段）３２及び３４とスピーカ（音波発生手段）３
６が設置されている。マイク３２によって検出された騒
音は、コントローラ（信号発生手段）３８内で、その波
形が検知される。コントローラ３８は、その波形と逆の
位相の波形信号を発生させて、その信号をスピーカ３６
に送り、スピーカ３６から前記検出された騒音と同レベ
ルで、且つ逆の位相の音波を発生させる。In the duct 26, two microphones (noise detecting means) 32 and 34 and a speaker (sound wave generating means) 3 are provided.
6 are installed. The waveform of the noise detected by the microphone 32 is detected in a controller (signal generating means) 38. The controller 38 generates a waveform signal having a phase opposite to that of the waveform, and
To generate a sound wave from the speaker 36 at the same level as the detected noise and in the opposite phase.
【００１８】ダクト２６が天井付近で直角に曲がる箇所
に、直角型エルボ４０が設けられている。この直角型エ
ルボ４０の内壁にも、吸音材３０が設けられている。こ
の吸音材３０はグラスウール材の表面を箔で覆い、背面
に空気層を設けたものである。又、直角型エルボ４０の
内部には、空気流の整流作用を果たす羽根４２が複数枚
設けられている。A right-angled elbow 40 is provided at a location where the duct 26 bends at a right angle near the ceiling. The sound absorbing material 30 is also provided on the inner wall of the right-angled elbow 40. The sound absorbing material 30 has a glass wool material whose surface is covered with foil and an air layer is provided on the back surface. Further, inside the right-angled elbow 40, a plurality of blades 42 that perform a rectifying action of the air flow are provided.
【００１９】直角型エルボ４０を通過した空気は、前記
サプライチャンバ１２へ送られ、フィルタ１４を通って
クリーンルーム１０へ供給される。The air passing through the right-angled elbow 40 is sent to the supply chamber 12, and is supplied to the clean room 10 through the filter 14.
【００２０】又、リターンシャフト２０のファン２２の
吸込み側直前にはベルマウス４４が設けられており、又
直角型エルボ４０の後方には空気の流路を徐々に拡大す
るような形状の側壁４６が設けられている。A bell mouth 44 is provided immediately before the return shaft 20 on the suction side of the fan 22, and a side wall 46 is formed behind the right-angled elbow 40 so as to gradually expand the air flow path. Is provided.
【００２１】以下、本実施形態の作用を説明する。Hereinafter, the operation of the present embodiment will be described.
【００２２】ファン２２の働きにより、クリーンルーム
１０内の空気はグレーチング床１６を通して床下のリタ
ーンチャンバ１８からダクト２６内へ吸込まれる。この
とき、ファン２２の吸込み側に設けられた冷却コイル２
４により、クリーンルーム１０内の温度が一定に保たれ
る。又、ファン２２の吸込み側直前に設けられたベルマ
ウス４４の働きにより空気がスムーズに吸込まれる。The air in the clean room 10 is sucked into the duct 26 from the return chamber 18 under the floor through the grating floor 16 by the operation of the fan 22. At this time, the cooling coil 2 provided on the suction side of the fan 22
4 keeps the temperature in the clean room 10 constant. Further, the air is smoothly sucked in by the function of the bell mouth 44 provided immediately before the suction side of the fan 22.
【００２３】ダクト２６内に設けられたマイク３２、３
４により騒音が検出され、コントローラ３８によりその
騒音の波形が検出される。コントローラ３８はその騒音
の逆の位相の信号をスピーカ３６へ送り、スピーカから
前記騒音と逆の波形の音波を発生させる。この音波は前
記騒音と互いに干渉し、騒音レベルが低減される。The microphones 32, 3 provided in the duct 26
4 detects noise, and the controller 38 detects the waveform of the noise. The controller 38 sends a signal of the opposite phase of the noise to the speaker 36, and the speaker generates a sound wave having a waveform opposite to the noise. This sound wave interferes with the noise and reduces the noise level.
【００２４】更に、これに引き続きこの騒音はその後に
設置された直角型エルボ４０によって反射され、反射音
との間で干渉が起こり、更なる低騒音化が達成される。
直角型エルボ４０内に設置された羽根４２によりこの空
気は整流化され、流路を徐々に拡大する側壁４６の働き
により天井に設けられたサプライチャンバ１２全体に広
がり、フィルタ１４を通してクリーンルーム１０内へ供
給される。Further, subsequently, the noise is reflected by the right-angled elbow 40 installed thereafter, and interference occurs with the reflected sound, thereby further reducing the noise.
This air is rectified by the blades 42 installed in the right-angled elbow 40, and is spread over the entire supply chamber 12 provided on the ceiling by the action of the side wall 46 that gradually enlarges the flow path, and enters the clean room 10 through the filter 14. Supplied.
【００２５】図２は、本実施形態における室内騒音レベ
ルの周波数分析の結果を示すグラフである。図２中の符
号Ａで表わされるグラフは、図１において、マイク３
２、３４及びスピーカ３６を設けず、且つ直角型エルボ
４０の代わりに丸型エルボを用いた通常の場合における
ファン２２の吐出側から伝搬する室内での騒音測定結果
を示す。FIG. 2 is a graph showing the result of frequency analysis of the indoor noise level in the present embodiment. The graph represented by reference symbol A in FIG.
The results of noise measurement in a room propagating from the discharge side of the fan 22 in a normal case in which the round elbow 40 is used instead of the right-angle elbow 40 without providing the speakers 2 and 34 and the speaker 36 are shown.
【００２６】又、符号Ｂで表わされるグラフは、直角型
エルボ４０を備えた場合に、室内側で測定した騒音レベ
ルを示す。このグラフが示すように、この場合中・高周
波数領域で騒音レベルが大きく減少している。The graph indicated by the symbol B shows the noise level measured indoors when the right-angled elbow 40 is provided. As shown in this graph, in this case, the noise level is greatly reduced in the middle and high frequency regions.
【００２７】又、符号Ｃのグラフは、マイクロフォン３
２、３４及びスピーカ３６を作動させて、室内側で測定
した騒音レベルを示す。このグラフが示すように、この
場合低・中周波数領域における騒音レベルが大きく減少
している。The graph indicated by the symbol C is the microphone 3
2, 34 and the speaker 36 are operated to show the noise level measured indoors. As shown in this graph, in this case, the noise level in the low / middle frequency range is greatly reduced.
【００２８】この結果、図２の符号Ａのグラフによれ
ば、室内でのトータルな騒音レベルは６５ｄＢ（Ａ）を
越えるが、符号Ｃのグラフにおいては、５８ｄＢ（Ａ）
と大幅に騒音レベルを低減することが可能となった。As a result, according to the graph A in FIG. 2, the total noise level in the room exceeds 65 dB (A), but in the graph C, 58 dB (A).
It has become possible to greatly reduce the noise level.
【００２９】なお、ファン２２の吸込み側の騒音がグレ
ーチング床１６を経てクリーンルーム１０内に伝搬する
騒音レベルは、上に述べたファン２２吐出側から天井を
経て伝搬する騒音レベルに比べて小さいため、室内の騒
音レベルはファン２２吐出側からの騒音によってのみ左
右される。ファン２２吐出側のダクト２６に載置される
マイクロフォン３２、３４及びスピーカ３６の取付位置
は、ファン２２の直後を避け、ファン２２から一定の距
離を開ける必要がある。それは、ファン２２の直後では
空気流の乱れが激しく、音の波形も複雑であり、マイク
ロフォン３２に入る音波信号波形が複雑となり、コント
ローラ３８における信号処理の歪みを生じるからであ
る。又、スピーカ３６から効果的な音波の発生を阻害す
るからである。The noise level at which the noise on the suction side of the fan 22 propagates through the grating floor 16 into the clean room 10 is smaller than the above-described noise level transmitted from the discharge side of the fan 22 via the ceiling. The noise level in the room depends only on the noise from the fan 22 discharge side. The mounting positions of the microphones 32 and 34 and the speaker 36 placed on the duct 26 on the discharge side of the fan 22 need to be at a certain distance from the fan 22, avoiding immediately after the fan 22. This is because the turbulence of the airflow is severe immediately after the fan 22, the waveform of the sound is complicated, the waveform of the sound wave entering the microphone 32 is complicated, and the signal processing in the controller 38 is distorted. In addition, the generation of effective sound waves from the speaker 36 is hindered.
【００３０】又、スピーカ３６は音波を発生するため、
その反力を受け、スピーカ３６自体が微振動を生じる可
能性がある。このため、通常のダクトに取り付けられて
いるダクト壁自体が振動音の発生源となる恐れがある。
従って、ダクト２６の壁のスピーカ３６取付箇所におけ
るダクト２６の壁を固定し、振動の発生を防止する必要
がある。それには、鋼板又は薄型鋼等で補強するとよ
い。Further, since the speaker 36 generates a sound wave,
Upon receiving the reaction force, there is a possibility that the speaker 36 itself generates a slight vibration. For this reason, the duct wall itself attached to a normal duct may be a source of vibration noise.
Therefore, it is necessary to fix the wall of the duct 26 at the mounting position of the speaker 36 on the wall of the duct 26 to prevent the occurrence of vibration. For that purpose, it is preferable to reinforce with steel plate or thin steel.
【００３１】なお、本実施形態においては、ダクト２６
あるいは直角型エルボ４０の内壁には、グラスウール材
の表面を箔で覆い背面に空気層を設けた吸音材３０が用
いられていたが、これに代えて例えば焼結金属で構成し
た多孔質板を用いるようにしてもよい。In this embodiment, the duct 26
Alternatively, on the inner wall of the right-angled elbow 40, a sound absorbing material 30 in which the surface of a glass wool material is covered with a foil and an air layer is provided on the back surface is used, but a porous plate made of, for example, a sintered metal is used instead. It may be used.
【００３２】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、ファン２２の吐出側の騒音レベルはマイクロフォン
３２、３４及びスピーカ３６の作用により、主に低周波
域での騒音が低減され、直角型エルボ４０において主に
中・高周波域での騒音が低減される。これら両者の作用
により、全体としてクリーンルーム１０内における騒音
レベルの大幅な低減を図ることができる。又、これらの
構成において、内部空間の気流を阻害するものは特に存
在しないため、空気流の抵抗がほとんど無く、圧力損失
が小さいため、ファン２２の吐出圧力を小さくすること
ができ、省エネルギ化を達成することも可能となる。As described above, according to the present embodiment, the noise level on the discharge side of the fan 22 is reduced mainly in the low frequency range by the action of the microphones 32 and 34 and the speaker 36, and the right-angled noise level is reduced. In the elbow 40, noise mainly in the middle / high frequency range is reduced. By these two functions, the noise level in the clean room 10 can be largely reduced as a whole. Further, in these configurations, since there is no particular obstacle to the air flow in the internal space, there is almost no resistance of the air flow and the pressure loss is small, so that the discharge pressure of the fan 22 can be reduced, and energy saving Can also be achieved.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
クリーンルーム内の騒音レベルを大幅に低減することが
でき、作業環境の向上を図ることが可能となった。又、
流体の圧力損失がほとんど無く、ファンの所要動力を増
加させることがないため、騒音の低減を達成すると共
に、省エネルギ化を図ることが可能となった。As described above, according to the present invention,
The noise level in the clean room can be significantly reduced, and the working environment can be improved. or,
Since there is almost no pressure loss of the fluid and the required power of the fan is not increased, it has become possible to reduce noise and to save energy.
【図１】本発明が適用されたクリーンルーム装置の概略
を表わす側面図FIG. 1 is a side view schematically showing a clean room apparatus to which the present invention is applied.
【図２】本実施形態における騒音レベル測定値の変化を
表わす線図FIG. 2 is a diagram illustrating a change in a noise level measurement value in the present embodiment.
１０…クリーンルーム １２…サプライチャンバ １４…フィルタ １６…グレーチング床 １８…リターンチャンバ ２０…リターンシャフト ２２…ファン ２４…冷却コイル ２６…ダクト ２８…接続ダクト ３０…吸音材 ３２、３４…マイク ３６…スピーカ ３８…コントローラ ４０…直角型エルボ ４２…羽根 ４４…ベルマウス ４６…側壁 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Clean room 12 ... Supply chamber 14 ... Filter 16 ... Grating floor 18 ... Return chamber 20 ... Return shaft 22 ... Fan 24 ... Cooling coil 26 ... Duct 28 ... Connection duct 30 ... Sound absorbing material 32, 34 ... Microphone 36 ... Speaker 38 ... Controller 40 ... Right angle elbow 42 ... Blade 44 ... Bell mouth 46 ... Side wall
Claims (1)
のクリーンルーム装置において、 循環ファンの下流側ダクト内側に設けられた騒音検出手
段と、 該騒音検出手段により検出された騒音を受け、該騒音と
反対の位相の信号を発生する信号発生手段と、 該信号を受け、前記騒音と略同一レベルの音波で、該騒
音と干渉を生ずる音波を発生する音波発生手段と、 前記ダクトの更に下流側に設けられた、内側に吸音材を
有する直角型エルボと、 を備えたことを特徴とするクリーンルーム装置。1. A system ceiling type clean room apparatus having a filter on a ceiling surface, comprising: a noise detecting means provided inside a duct on a downstream side of a circulation fan; and a noise detecting means for receiving the noise detected by the noise detecting means. A signal generating means for generating a signal having a phase opposite to that of the signal; a sound wave generating means for receiving the signal and generating a sound wave having substantially the same level as the noise and causing interference with the noise; and further downstream of the duct. And a right-angled elbow having a sound absorbing material inside.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8177757A JPH1026384A (en) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | Clean room device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8177757A JPH1026384A (en) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | Clean room device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1026384A true JPH1026384A (en) | 1998-01-27 |
Family
ID=16036603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8177757A Pending JPH1026384A (en) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | Clean room device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1026384A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346416A (en) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | Circulating clean room |
| JP2007187441A (en) * | 2007-04-16 | 2007-07-26 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | Air shower device |
| WO2014051883A1 (en) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | Huntair, Inc. | Methods and systems for active sound attenuation in a fan unit |
| US9380382B2 (en) | 2010-04-15 | 2016-06-28 | Nortek Air Solutions, Llc | Methods and systems for active sound attenuation in a fan unit |
-
1996
- 1996-07-08 JP JP8177757A patent/JPH1026384A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346416A (en) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | Circulating clean room |
| JP2007187441A (en) * | 2007-04-16 | 2007-07-26 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | Air shower device |
| JP4604058B2 (en) * | 2007-04-16 | 2010-12-22 | 株式会社日立産機システム | Air shower device |
| US9380382B2 (en) | 2010-04-15 | 2016-06-28 | Nortek Air Solutions, Llc | Methods and systems for active sound attenuation in a fan unit |
| US9872104B2 (en) | 2010-04-15 | 2018-01-16 | Nortek Air Solutions, Llc | Methods and systems for active sound attenuation in a fan unit |
| WO2014051883A1 (en) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | Huntair, Inc. | Methods and systems for active sound attenuation in a fan unit |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5570522B2 (en) | Air conditioner outdoor unit | |
| JP5353137B2 (en) | Recessed ceiling ventilation fan | |
| US7158644B2 (en) | Active noise control system | |
| JPH0413073A (en) | Low-noise refrigerator | |
| JP6007416B2 (en) | Ventilation equipment | |
| JPH05119784A (en) | Active muffler | |
| JPH1026384A (en) | Clean room device | |
| JP2006118422A (en) | Fan noise reducing device in electronic apparatus | |
| JP6503552B2 (en) | Active silencer and blower provided with the same | |
| JP3240628B2 (en) | Air conditioner | |
| JP2005037447A (en) | Noise controller of air conditioner | |
| JP3177646B2 (en) | Air conditioning outdoor unit with active silencer | |
| KR0128604Y1 (en) | Noise controlling apparatus of an airconditioner | |
| JPH0777991A (en) | Active type muffler device | |
| JPH03294731A (en) | Outdoor device of air-conditioner | |
| JP2003150026A (en) | Image forming apparatus | |
| JPH07281497A (en) | Noise elimination device for office automation equipment | |
| JP2005282523A (en) | Active type muffling device | |
| JP6236628B2 (en) | Active silencer | |
| CN219872868U (en) | Active noise reduction device | |
| JPH0922291A (en) | Active noise controller | |
| JP6229153B2 (en) | Blower with active silencer | |
| JPH0772873A (en) | Active muffler | |
| JPH07133712A (en) | Active muffling device | |
| JP2015143520A (en) | blower |