JPH10253817A - Photopolymerization composition for color filter, and color filter - Google Patents

Photopolymerization composition for color filter, and color filter

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JPH10253817A
JPH10253817A JP5750197A JP5750197A JPH10253817A JP H10253817 A JPH10253817 A JP H10253817A JP 5750197 A JP5750197 A JP 5750197A JP 5750197 A JP5750197 A JP 5750197A JP H10253817 A JPH10253817 A JP H10253817A
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color filter
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photopolymerizable composition
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color
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter photopolymerization composition having high sensitivity, a high development function, a high resolving function, and high shelf life stability, and in particular suitable for forming a black matrix of high accuracy having a high shading function, and further provide a color filter having high accuracy and ensuring freedom from bleeding. SOLUTION: This photopolymerization composition for a color filter contains binder resin, a compound having at least one double bond of an ethylene unsaturated bond, a photopolymerization initiator system, a color material and a solvent. Furthermore, the photopolymerization initiator system is composed so as to contain a multifunctional thiol compound. Also, the content of the multifunctional thiol compound is taken at a value between 0.01 and 7wt.% for the whole solid content of the photopolymerization.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はカラーテレビ、液晶
表示素子、固体撮像素子、カメラ等に使用される光学的
カラーフィルターの製造で使用されるカラーフィルター
用光重合性組成物及び該組成物より得られるカラーフィ
ルターに係り、詳しくは、高感度で現像性に優れたカラ
ーフィルター用光重合性組成物及び高精度で高色濃度の
カラーフィルターに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photopolymerizable composition for a color filter used in the production of an optical color filter used for a color television, a liquid crystal display device, a solid-state imaging device, a camera, and the like. More particularly, the present invention relates to a photopolymerizable composition for a color filter having high sensitivity and excellent developability, and a color filter having high accuracy and high color density.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーフィルターは、通常、ガラス、プ
ラスチックシート等の透明基板の表面に黒色のマトリッ
クスを形成し、続いて、赤、緑、青等の3種以上の異な
る色相の、5〜200μm幅のストライプ状又はモザイ
ク状等の色パターンを数μmの精度で形成することによ
り製造されている。カラーフィルターの代表的な製造方
法としては、染色法、印刷法、顔料分散法、電着法等が
ある。これらのうち、特に、色材料を含有する光重合性
組成物を、透明基板上に塗布し、画像露光、現像、必要
により硬化を繰り返すことでカラーフィルター画像を形
成する顔料分散法は、カラーフィルター画素の位置、膜
厚等の精度が高く、耐光性・耐熱性等の耐久性に優れ、
ピンホール等の欠陥が少ないため、広く採用されてい
る。
2. Description of the Related Art A color filter usually forms a black matrix on the surface of a transparent substrate such as a glass or plastic sheet, and is subsequently formed of three or more different hues such as red, green, and blue. It is manufactured by forming a color pattern such as a stripe or a mosaic having a width of several micrometers. Typical methods for producing a color filter include a dyeing method, a printing method, a pigment dispersion method, and an electrodeposition method. Among these, in particular, a pigment dispersion method of forming a color filter image by coating a photopolymerizable composition containing a color material on a transparent substrate, repeating image exposure, development, and curing as necessary is a color filter. High accuracy such as pixel position and film thickness, and excellent durability such as light resistance and heat resistance.
Since it has few defects such as pinholes, it is widely used.

【0003】さらに、赤、緑、青の色パターンの間には
通常コントラスト向上のため格子状の遮光性のブラック
マトリックスを配置するのが一般的である。従来、ブラ
ックマトリクスには、クロム等の金属膜を使用する方法
や遮光性の顔料、染料を分散させた感光性樹脂を使用す
る方法などが知られている。クロム等の金属膜を使用す
る方法においては、透明基板上にクロム等の金属を蒸着
しフォトリソ工程を経てクロム層をエッチング処理する
ことによって形成するため、高コストとなる。また、エ
ッチング処理の廃液などによる環境問題が生じる等の問
題がある。このため、遮光性の顔料、染料を分散させた
感光性樹脂を使用する方法が着目されている。
Further, it is common to arrange a light-shielding black matrix in a lattice shape between the red, green, and blue color patterns to improve the contrast. Conventionally, for a black matrix, a method using a metal film such as chromium, a method using a photosensitive resin in which a light-shielding pigment or dye is dispersed, and the like are known. In a method using a metal film such as chromium, the cost is high because a metal such as chromium is deposited on a transparent substrate and the chromium layer is etched through a photolithography process. In addition, there is a problem that an environmental problem is caused by a waste liquid of the etching process. For this reason, attention has been paid to a method using a photosensitive resin in which a light-shielding pigment or dye is dispersed.

【0004】しかし、遮光性の顔料、染料を分散させた
感光性樹脂を使用する方法(樹脂ブラックマトリクス)
において、クロム等の金属膜によるブラックマトリクス
と同等の遮光性(光学濃度)を発現させるためには、遮
光性顔料、染料の含有量を多くするか、あるいは、膜厚
を厚くする必要がある。膜厚を厚くする方法において
は、その結果(1)ブラックマトリクス形成後、RGB
色画素を形成するとブラックマトリクス上で色画素の突
起を生じるため平坦性が損なわれ、液晶の配向に乱れを
発生させる、(2)カラーフィルタ上に設ける透明電極
であるITO膜の断線が発生する、等の問題が発生す
る。また、遮光性顔料、染料の含有量を多くする方法に
おいては、感度低下、現像性、解像性が悪化する問題が
あった。
However, a method of using a photosensitive resin in which a light-shielding pigment or dye is dispersed (resin black matrix)
In order to develop a light-shielding property (optical density) equivalent to that of a black matrix made of a metal film such as chromium, it is necessary to increase the content of a light-shielding pigment or dye or increase the film thickness. In the method of increasing the film thickness, as a result, (1) after forming the black matrix,
When color pixels are formed, projections of the color pixels are formed on the black matrix, so that the flatness is impaired and the alignment of the liquid crystal is disturbed. (2) The disconnection of the ITO film which is a transparent electrode provided on the color filter occurs. And other problems occur. Further, in the method of increasing the content of the light-shielding pigment or dye, there is a problem that the sensitivity is reduced, the developability and the resolution are deteriorated.

【0005】顔料分散法カラーフィルター用光重合性組
成物は、赤、緑或いは青色のフィルターにおいて目的と
する波長の光透過性を向上させまた目的以外の波長をカ
ットするため色材料が30重量%程度以上含有されてい
る。更に、近年においては、より色コントラストの優れ
たカラーフィルターが望まれ、着色顔料の高濃度化が求
められている。また、特にブラックマトリクスにおいて
は遮光性を向上させる目的で、黒色顔料の量が30〜6
0%で、0.5〜3μm程度の膜厚が必要と言われてい
る。このような色材料の高濃度により露光時の光が遮光
され、感度及び/又は現像性が低下し、さらには、ホト
リソグラフィーによって得られるカラーフィルターの精
度が低下する問題がある。
The photopolymerizable composition for a color filter in a pigment dispersion method is used in a red, green or blue filter to improve the light transmittance of a desired wavelength and to cut off wavelengths other than the desired wavelength by 30% by weight of a color material. It is contained in a degree or more. Furthermore, in recent years, a color filter having more excellent color contrast has been desired, and a higher concentration of the coloring pigment has been required. In particular, in the case of a black matrix, the amount of the black pigment is 30 to 6 for the purpose of improving the light shielding property.
It is said that a film thickness of about 0.5 to 3 μm is required at 0%. Due to such a high concentration of the color material, light at the time of exposure is blocked, sensitivity and / or developability are reduced, and further, the accuracy of a color filter obtained by photolithography is reduced.

【0006】色材料の高濃度化による感度及び/又は現
像性、精度の低下を改善する目的で顔料分散法に用いら
れる光重合開始剤系が種々検討されている。それらの例
としては、トリアジン系化合物又はトリアジン系化合物
及びイミダゾール系化合物を併用するもの(特開平6−
201913号公報)、ミヒラーズケトンとイミダゾー
ル系化合物とを併用するもの(特開平5−173320
号公報)、或いは「ファインケミカル」1991年3月
1日号Vol20,No.4,P.16〜26に記載の
ジアルキルアセトフェノン系、ベンジルジアルキルケタ
ール系、ベンゾイン系、ベンゾインアルキルエーテル
系、チオモサントン誘導体等が、カラーフィルター用に
使用されている(特開平4−190362号公報、特開
平5−303012号公報、特開平6−35188号公
報等)。一方、光重合性組成物の高感度化に関し、イミ
ダゾール系化合物にさらに2−メルカプトベンズチアゾ
ール、2−メルカプトベンズオキサゾール、2−メルカ
プトベンズイミダゾール等の芳香族メルカプト化合物を
加えることがなされている(特開昭59−56403号
公報)。
Various photopolymerization initiator systems used in the pigment dispersion method have been studied for the purpose of improving the sensitivity and / or developability and the reduction in accuracy due to the increase in the concentration of the color material. Examples thereof include a triazine-based compound or a combination of a triazine-based compound and an imidazole-based compound (Japanese Unexamined Patent Publication No.
No. 201913), a combination of Michler's ketone and an imidazole compound (JP-A-5-173320).
Publication), or “Fine Chemicals”, March 1, 1991, Vol 20, No. 4, p. The dialkyl acetophenone-based, benzyl dialkyl ketal-based, benzoin-based, benzoin alkyl ether-based, and thiomosantone derivatives described in Nos. 16 to 26 are used for color filters (JP-A-4-190362, JP-A-5-303012). JP-A-6-35188, etc.). On the other hand, in order to increase the sensitivity of a photopolymerizable composition, an aromatic mercapto compound such as 2-mercaptobenzthiazole, 2-mercaptobenzoxazole, or 2-mercaptobenzimidazole has been added to an imidazole-based compound. JP-A-59-56403).

【0007】しかしながら、これらの化合物を用いるこ
とにより、赤、緑或いは青用光重合組成物においてはか
なり満足いく感度が得られているが、特に、黒色顔料、
染料を高濃度に含有するブラックマトリクス用黒色光重
合組成物においては露光時の遮光性による感度低下が顕
著でありまだ感度が不十分であり、露光時間が長くなり
生産性が低いという欠点があった。また、カラーフィル
ター用光重合性組成物の現像性を改良し先鋭なパターン
エッジ部を得るため多官能チオール化合物を用いること
も知られている(特開平5−281734)。この場合
は、−SH基をラジカル的またはイオン的に炭素−炭素
不飽和結合にanti-Markownikoff 付加させ、結合成分を
多官能チオールで架橋させている。即ち、架橋剤として
使用しているためその使用量は、20重量%とかなり多
量に使用されている。この場合、チオール化合物を多量
に含むため臭気の問題があり、又、解像性の点でも問題
がある。
However, by using these compounds, quite satisfactory sensitivities have been obtained in photopolymerizable compositions for red, green or blue.
The black photopolymerizable composition for a black matrix containing a high concentration of a dye has a disadvantage that the sensitivity is significantly reduced due to light-shielding property at the time of exposure, the sensitivity is still insufficient, the exposure time is long, and the productivity is low. Was. It is also known to use a polyfunctional thiol compound to improve the developability of the photopolymerizable composition for a color filter and obtain a sharp pattern edge portion (Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-281834). In this case, the --SH group is radically or ionicly added to the carbon-carbon unsaturated bond by anti-Markownikoff, and the binding component is crosslinked with a polyfunctional thiol. That is, since it is used as a cross-linking agent, its use amount is as much as 20% by weight, which is quite large. In this case, there is a problem of odor due to the large amount of the thiol compound, and there is also a problem in resolution.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題点を解決し、高感度で現像性、解像性、パターン形状
に優れたカラーフィルター用光重合性組成物、特に、遮
光性の黒色顔料又は染料を高濃度に含有するブラックマ
トリクス用光重合性組成物、着色顔料又は染料を高濃度
に含有するカラーフィルター用光重合性組成物、これら
カラーフィルター用光重合組成物より得られる高精度な
カラーフィルターを提供することを目的とする。本発明
はまた、優れた耐久性を有するカラーフィルター画素を
製造するためのカラーフィルター用光重合性組成物を提
供することを目的とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional problems and provides a photopolymerizable composition for a color filter having high sensitivity and excellent developability, resolution, and pattern shape, particularly, light-shielding properties. Photopolymerizable composition for black matrix containing black pigment or dye at high concentration, photopolymerizable composition for color filter containing color pigment or dye at high concentration, high polymerizable composition obtained from these photopolymerizable compositions for color filter An object is to provide an accurate color filter. Another object of the present invention is to provide a photopolymerizable composition for a color filter for producing a color filter pixel having excellent durability.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1のカラ
ーフィルター用光重合性組成物は、バインダ樹脂、エチ
レン性不飽和二重結合を少なくとも1個有する化合物、
光重合開始剤系、色材料及び溶剤を含有するカラーフィ
ルター用光重合性組成物において、該光重合開始剤系が
多官能チオール化合物を含有し、該多官能チオールが全
固形分に対して、0.01〜7重量%含有することを特
徴とする。請求項2のカラーフィルター用光重合性組成
物は、請求項1に記載の組成物において、多官能チオー
ル化合物が脂肪族多官能チオール化合物であることを特
徴とする。
The photopolymerizable composition for a color filter according to claim 1 of the present invention comprises a binder resin, a compound having at least one ethylenically unsaturated double bond,
In a photopolymerizable composition for a color filter containing a photopolymerization initiator system, a color material and a solvent, the photopolymerization initiator system contains a polyfunctional thiol compound, and the polyfunctional thiol is based on the total solid content. It is characterized by containing 0.01 to 7% by weight. The photopolymerizable composition for a color filter according to a second aspect is the composition according to the first aspect, wherein the polyfunctional thiol compound is an aliphatic polyfunctional thiol compound.

【0010】請求項3のカラーフィルター用光重合性組
成物は、請求項1又は2に記載の組成物において、バイ
ンダ樹脂が側鎖にエチレン性不飽和二重結合を含有する
有機高分子物質であることを特徴とする。請求項4のカ
ラーフィルター用光重合性組成物は、請求項1〜3のい
ずれかに記載の組成物において、バインダ樹脂がエチレ
ン性不飽和二重結合とカルボキシル基とヒドロキシル基
を有する共重合体であることを特徴とする。請求項5の
カラーフィルター用光重合性組成物は、請求項1〜4の
いずれかに記載の組成物において、バインダ樹脂がエチ
レン性不飽和二重結合とカルボキシル基とヒドロキシル
基を有するスチレン系共重合体、又はアクリル系共重合
体であることを特徴とする。請求項6のカラーフィルタ
ーは、請求項1〜5のいずれかに記載の組成物を透明基
板上に塗布し紫外線又は遠紫外線リソグラフィーするこ
とにより得られるカラーフィルタである。
[0010] The photopolymerizable composition for a color filter according to claim 3 is the composition according to claim 1 or 2, wherein the binder resin is an organic polymer substance containing an ethylenically unsaturated double bond in a side chain. There is a feature. The photopolymerizable composition for a color filter according to claim 4, wherein the binder resin according to any one of claims 1 to 3, wherein the binder resin has an ethylenically unsaturated double bond, a carboxyl group, and a hydroxyl group. It is characterized by being. The photopolymerizable composition for a color filter according to claim 5 is the composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the binder resin is a styrene copolymer having an ethylenically unsaturated double bond, a carboxyl group, and a hydroxyl group. It is a polymer or an acrylic copolymer. A color filter according to a sixth aspect is a color filter obtained by applying the composition according to any one of the first to fifth aspects on a transparent substrate and subjecting the composition to ultraviolet or far-ultraviolet lithography.

【0011】以下に本発明を詳細に説明する。 (バインダ樹脂)本発明のカラーフィルター用光重合性
組成物は、相溶性、皮膜形成性、現像性、接着性を向上
させる結合剤としての機能を奏する材料として、バイン
ダ樹脂を含有している。特に本発明においては、各色画
素及び光線遮光材料であるブラックマトリクスを高感度
かつ高精細の画像形成を行い、形成されたマトリクスの
皮膜強度を向上させるため、特にバインダ樹脂としての
有機高分子物質としては、側鎖にエチレン性不飽和二重
結合を有する有機高分子物質が挙げられる。中でも、エ
チレン性不飽和二重結合とカルボキシル基とヒドロキシ
ル基を有する共重合体が好ましく用いられる。この共重
合体は上記官能基を有する単量体を共重合する、及び/
又はスチレン系共重合体、アクリル系共重合体等の高分
子に種々の反応を用い上記機能性官能基を導入すること
により得られる。特に、エチレン性不飽和二重結合とカ
ルボキシル基とヒドロキシル基を有するスチレン系共重
合体又はアクリル系共重合体が好ましい。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. (Binder Resin) The photopolymerizable composition for a color filter of the present invention contains a binder resin as a material having a function as a binder for improving compatibility, film forming property, developability, and adhesion. In particular, in the present invention, a black matrix which is a light-shielding material for each color pixel is formed with high sensitivity and high definition to form an image, and in order to improve the film strength of the formed matrix, especially as an organic polymer substance as a binder resin. Is an organic polymer substance having an ethylenically unsaturated double bond in a side chain. Among them, a copolymer having an ethylenically unsaturated double bond, a carboxyl group and a hydroxyl group is preferably used. The copolymer copolymerizes the monomer having the above functional group, and / or
Alternatively, it can be obtained by introducing the above-mentioned functional group into a polymer such as a styrene-based copolymer and an acrylic-based copolymer using various reactions. In particular, a styrene-based copolymer or an acrylic-based copolymer having an ethylenically unsaturated double bond, a carboxyl group, and a hydroxyl group is preferable.

【0012】上記の側鎖にエチレン性不飽和二重結合を
少なくとも一個有する有機高分子物質の具体例として
は、スチレン、α−メチル−スチレン、ビニルトルエン
等のスチレン系モノマー;アクリル酸、メタクリル酸、
桂皮酸、マレイン酸、フマル酸、無水マレイン酸、イタ
コン酸等の不飽和基含有カルボン酸;メチル(メタ)ア
クリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル
(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、
ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メ
タ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレ
ート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ベン
ジル(メタ)アクリレート等、ヒドロキシフェニル(メ
タ)アクリレート、メトキシフェニル(メタ)アクリレ
ートベンジル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリ
ル酸のエステル;アクリロニトリル;酢酸ビニル、バー
サチック酸ビニル、プロピオン酸ビニル、桂皮酸ビニ
ル、ピバリン酸ビニル等の酸ビニル等の共重合体に通常
の高分子反応等により側鎖にエチレン性二重結合を導入
することによって得られる。
Specific examples of the organic polymer having at least one ethylenically unsaturated double bond in the side chain include styrene monomers such as styrene, α-methyl-styrene and vinyltoluene; acrylic acid and methacrylic acid. ,
Unsaturated group-containing carboxylic acids such as cinnamic acid, maleic acid, fumaric acid, maleic anhydride, and itaconic acid; methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate;
Butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, etc., hydroxyphenyl (meth) acrylate, methoxyphenyl (meth) acrylate benzyl ( Esters of (meth) acrylic acid such as meth) acrylate; acrylonitrile; copolymers such as vinyl acetate, vinyl versatate, vinyl propionate, vinyl cinnamate, vinyl pivalate, and other copolymers of vinyl acid by ordinary polymer reaction It is obtained by introducing an ethylenic double bond into the side chain.

【0013】本発明に使用する側鎖にエチレン性不飽和
二重結合を有する有機高分子物質において側鎖にエチレ
ン性不飽和二重結合を導入する方法は、エステル結合、
アミド結合、エーテル結合、イミド結合、ウレタン結合
等の有機結合によって導入することができる。導入反応
の一例としては、前記有機高分子共重合体の、カルボン
酸基及び/またヒドロキシル基の一部又は全部を、グリ
シジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテ
ル、下記構造の脂環式エポキシ基含有不飽和化合物、等
の脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物と反応させて導入
することもができる。なお、本明細書において、「(メ
タ)アクリル」とは「アクリル又はメタクリル」を示
す。「(メタ)アクリレート」についても同様である。
In the organic polymer material having an ethylenically unsaturated double bond in the side chain used in the present invention, the method for introducing an ethylenically unsaturated double bond into the side chain includes an ester bond,
It can be introduced by an organic bond such as an amide bond, an ether bond, an imide bond, and a urethane bond. As an example of the introduction reaction, a part or all of the carboxylic acid group and / or the hydroxyl group of the organic polymer copolymer is converted into glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, and an alicyclic epoxy group having the following structure. It can also be introduced by reacting with an unsaturated compound having an aliphatic epoxy group such as an unsaturated compound. In this specification, “(meth) acryl” indicates “acryl or methacryl”. The same applies to “(meth) acrylate”.

【0014】[0014]

【化1】 Embedded image

【0015】[0015]

【化2】 Embedded image

【0016】[0016]

【化3】 Embedded image

【0017】[各一般式中、R1 は水素原子又はメチル
基を示す。R2 は炭素数1〜6の2価の脂肪族飽和炭化
水素基を示す。R3 は炭素数1〜10の2価の炭化水素
基を示す。lは0〜10の整数を示す。]等を挙げるこ
とができる。上記において、R2 によって示される炭素
数1〜6の2価の脂肪族飽和炭化水素基としては、直鎖
又は分枝状のアルキレン基例えばメチレン、エチレン、
プロピレン、テトラメチレン、エチルエチレン、ペンタ
メチレン、ヘキサメチレン基等を挙げることができる。
また、R3 によって示される炭素数1〜10の2価の炭
化水素基としては、例えばメチレン、エチレン、プロピ
レン、テトラメチレン、エチルエチレン、ペンタメチレ
ン、ヘキサメチレン、ポリメチレン、フェニレン、
[In each formula, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 2 represents a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. R 3 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms. l shows the integer of 0-10. And the like. In the above, as the divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms represented by R 2 , a linear or branched alkylene group such as methylene, ethylene,
Examples include propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene, and hexamethylene groups.
Examples of the divalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms represented by R 3 include methylene, ethylene, propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene, hexamethylene, polymethylene, phenylene,

【0018】[0018]

【化4】 Embedded image

【0019】基等を挙げることができる。本発明におい
て、特に好ましい有機高分子物質としては、基板への接
着性を高める目的で、スチレン、α−メチルスチレン、
ベンジル(メタ)アクリレート、ヒドロキシフェニル
(メタ)アクリレート、メトキシフェニル(メタ)アク
リレート、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリルアミ
ド、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリルスルホアミド
等のフェニル基を有する共重合モノマーを10〜90モ
ル%、好ましくは20〜80モル%、より好ましくは3
0〜70モル%の割合で含有し、その他(メタ)アクリ
ル酸を2〜50重量%、好ましくは5〜50重量%の割
合で含有する共重合体に全共重合モノマーに対して2〜
50モル%、好ましくは5〜40モル%のエポキシ基含
有不飽和化合物が付加された反応物が望ましい。
And the like. In the present invention, particularly preferred organic polymer substances include styrene, α-methylstyrene,
10 to 90 mol% of a copolymer monomer having a phenyl group such as benzyl (meth) acrylate, hydroxyphenyl (meth) acrylate, methoxyphenyl (meth) acrylate, hydroxyphenyl (meth) acrylamide, or hydroxyphenyl (meth) acrylsulfonamide , Preferably 20-80 mol%, more preferably 3
0 to 70 mol%, and 2 to 50 wt% of other (meth) acrylic acid, preferably 5 to 50 wt%.
A reactant to which 50 mol%, preferably 5 to 40 mol% of an epoxy group-containing unsaturated compound is added is desirable.

【0020】このような有機高分子物質の分子量として
は、重量平均分子量(Mw)で1,000〜1000,
000、好ましくは2,000〜300,000、より
好ましくは3,000〜100,000の範囲である。
有機高分子物質のMwがこの範囲より著しく低いと、現
像時に画線部分の膜ベリが生じ、逆に有機高分子物質の
Mwが著しく高いと現像時に非画線部の抜け性不良を生
じる。さらにレジストとしての性能及びカラーフィルタ
ーとしての性能を向上させる目的で他の有機・無機高分
子を加えても良い。これらの有機・無機高分子として
は、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコー
ル、ポリテトラエチレングリコール、エピクロロヒドリ
ンとビスフェノールAとのポリエーテル及び共重合ポリ
エーテル、ポリビニルアルキルエーテル、可溶性ナイロ
ン等のポリアミド、ポリウレタン、ポリエチレンテレフ
タレート/イソフタレート、ポリエチレンアジペート、
ポリテトラエチレンアジペート、ポリエチレンフマレー
ト等のポリエステル、アセチルセルロース及びポリビニ
ルホルマール、ポリビニルブチラール等が挙げられる。
The molecular weight of such an organic polymer substance is 1,000 to 1,000, in terms of weight average molecular weight (Mw).
000, preferably 2,000 to 300,000, more preferably 3,000 to 100,000.
If the Mw of the organic polymer substance is significantly lower than this range, film bleeding occurs at the image portion during development, and conversely, if the Mw of the organic polymer material is extremely high, poor removability of the non-image portion occurs during development. Further, another organic or inorganic polymer may be added for the purpose of improving the performance as a resist and the performance as a color filter. Examples of these organic / inorganic polymers include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetraethylene glycol, polyether and copolymer polyether of epichlorohydrin and bisphenol A, polyvinyl alkyl ether, polyamide such as soluble nylon, polyurethane, Polyethylene terephthalate / isophthalate, polyethylene adipate,
Examples include polyesters such as polytetraethylene adipate and polyethylene fumarate, acetylcellulose, polyvinyl formal, and polyvinyl butyral.

【0021】(エチレン性不飽和重結合を少なくとも1
個有する化合物)エチレン性不飽和重結合を少なくとも
1個有する化合物(以下「エチレン性化合物」と称
す。)は、後述する光重合開始剤系から発生するラジカ
ルにより重合反応が誘起される化合物である。エチレン
性化合物としては、単量体又は、側鎖もしくは主鎖にエ
チレン性不飽和二重結合を有するオリゴマーのいずれで
も良い。なお、本発明における単量体の意味するところ
は、所謂高分子物質に相対する概念であり、従って、狭
義の単量体以外に二量体、三量体、オリゴマーをも包含
するものである。
(At least one ethylenically unsaturated heavy bond
The compound having at least one ethylenically unsaturated heavy bond (hereinafter referred to as “ethylenic compound”) is a compound in which a polymerization reaction is induced by a radical generated from a photopolymerization initiator system described later. . The ethylenic compound may be a monomer or an oligomer having an ethylenically unsaturated double bond in a side chain or a main chain. The meaning of the monomer in the present invention is a concept corresponding to a so-called high-molecular substance, and therefore includes not only monomers in a narrow sense but also dimers, trimers, and oligomers. .

【0022】エチレン性化合物としては、例えば、不飽
和カルボン酸、脂肪族(ポリ)ヒドロキシ化合物と不飽
和カルボン酸とのエステル、芳香族ポリヒドロキシ化合
物と不飽和カルボン酸とのエステル、不飽和カルボン酸
と多価カルボン酸と脂肪族ポリヒドロキシ化合物により
得られるエステル、芳香族ポリヒドロキシ化合物のエチ
レンオキシド、プロピレンオキシド付加物と不飽和カル
ボン酸とのエステル化反応、脂肪族ポリヒドロキシ化合
物のエチレンオキシド、プロピレンオキシド付加物と不
飽和カルボン酸とのエステル化反応、カプロラクトン変
性多価アルコールと不飽和カルボン酸とのエステル、多
価アルコールと多価イソシアナートと不飽和カルボン酸
との反応物、スチリル末端化合物、含リン酸不飽和化合
物、ポリエポキシと不飽和カルボン酸との付加物等が挙
げられる。
Examples of the ethylenic compound include unsaturated carboxylic acids, esters of aliphatic (poly) hydroxy compounds with unsaturated carboxylic acids, esters of aromatic polyhydroxy compounds with unsaturated carboxylic acids, and unsaturated carboxylic acids. Of poly (carboxylic acid) and aliphatic polyhydroxy compound and ester obtained from aliphatic polyhydroxy compound, ethylene oxide of aromatic polyhydroxy compound, esterification reaction of propylene oxide adduct with unsaturated carboxylic acid, addition of ethylene oxide and propylene oxide of aliphatic polyhydroxy compound Reaction between a product and an unsaturated carboxylic acid, an ester of a caprolactone-modified polyhydric alcohol and an unsaturated carboxylic acid, a reaction product of a polyhydric alcohol and a polyhydric isocyanate and an unsaturated carboxylic acid, a styryl terminal compound, and a phosphorus-containing compound. Acid unsaturated compound, polyepoxy Adducts of an unsaturated carboxylic acid.

【0023】これらのうち、脂肪族ポリヒドロキシ化合
物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては具体的に
は、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレン
グリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ
アクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、トリ
メチロールプロパントリアクリレート、トリメチロール
エタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリ
スリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
アクリレート、グリセロールアクリレート等のアクリル
酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタク
リレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコ
ネートに代えたイタコン酸エステル、クロトネートに代
えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマ
レイン酸エステル等が挙げられる。
Of these, esters of the aliphatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include, specifically, ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, hexanediol diacrylate, Acrylic acid such as methylolpropane triacrylate, trimethylolethane triacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, glycerol acrylate, etc. Ester, a method in which the acrylate of these exemplified compounds is replaced with methacrylate. Acrylic acid esters, as well as itaconic acid esters instead itaconate, maleic acid esters, and the like was replaced with crotonic acid ester or maleate was replaced crotonate.

【0024】芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カル
ボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリ
レート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシン
ジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガ
ロールトリアクリレート等が挙げられる。不飽和カルボ
ン酸と多価カルボン酸及び多価ヒドロキシ化合物とのエ
ステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも
単一物では無いが代表的な具体例としては、アクリル
酸、フタル酸及びエチレングリコールの縮合物、アクリ
ル酸、マレイン酸及びジエチレングリコールの縮合物、
メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトール
の縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及
びグリセリンの縮合物等が挙げられる。
Examples of the ester of the aromatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include hydroquinone diacrylate, hydroquinone dimethacrylate, resorcin diacrylate, resorcin dimethacrylate, and pyrogallol triacrylate. The ester obtained by the esterification reaction of the unsaturated carboxylic acid with the polycarboxylic acid and the polyhydric hydroxy compound is not necessarily a single substance, but typical examples include condensation of acrylic acid, phthalic acid and ethylene glycol. Product, acrylic acid, maleic acid and diethylene glycol condensate,
Examples include condensates of methacrylic acid, terephthalic acid and pentaerythritol, condensates of acrylic acid, adipic acid, butanediol and glycerin.

【0025】その他本発明に用いられるエチレン性化合
物の例としては、エチレンビスアクリルアミド等のアク
リルアミド類;フタル酸ジアリル等のアリルエステル
類;ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物なども
有用である。なお、前記した主鎖にエチレン性不飽和結
合を有するオリゴマーとしては、例えば、不飽和二価カ
ルボン酸とジヒドロキシ化合物との重縮合反応により得
られるポリエステル、不飽和二価カルボン酸とジアミン
との重縮合反応により得られるポリアミド等がある。
Other examples of the ethylenic compound used in the present invention include acrylamides such as ethylenebisacrylamide; allyl esters such as diallyl phthalate; and vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate. Examples of the oligomer having an ethylenically unsaturated bond in the main chain include, for example, a polyester obtained by a polycondensation reaction of an unsaturated divalent carboxylic acid and a dihydroxy compound, and a polymerization of an unsaturated divalent carboxylic acid and a diamine. There is a polyamide obtained by a condensation reaction.

【0026】また、側鎖にエチレン性不飽和結合を有す
るオリゴマーとしては、側鎖に不飽和結合を持つ二価カ
ルボン酸、例えばイタコン酸、プロピリデンコハク酸、
エチリデンマロン酸等とジヒドロキシ又はジアミン化合
物との縮合重合体がある。また、側鎖にヒドロキシ基や
ハロゲン化メチル基の如き反応活性を有する官能基をも
つ重合体、例えばポリビニルアルコール、ポリ(2−ヒ
ドロキシエチルメタクリレート)、ポリエピクロルヒド
リン等とアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等の不
飽和カルボン酸との高分子反応により得られるポリマー
も好適に使用し得る。
The oligomer having an ethylenically unsaturated bond in the side chain includes a divalent carboxylic acid having an unsaturated bond in the side chain, for example, itaconic acid, propylidene succinic acid,
There is a condensation polymer of ethylidene malonic acid or the like with a dihydroxy or diamine compound. Further, a polymer having a functional group having a reactive activity such as a hydroxy group or a methyl halide group in a side chain, for example, polyvinyl alcohol, poly (2-hydroxyethyl methacrylate), polyepichlorohydrin, etc., and acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid A polymer obtained by a polymer reaction with an unsaturated carboxylic acid such as described above can also be suitably used.

【0027】(光重合開始剤系)本発明では、光重合開
始剤系の成分として、多官能チオール化合物を光重合性
組成物の全固形分に対して0.01〜7重量%用いる。
本発明の光重合開始剤系は、多官能チオール化合物を
0.01〜7重量%含有加することで、解像性等の画像
特性、現像時の表面劣化等を損なうことなく、現像時の
線幅再現性、現像ラチチュード、感度等を大幅に向上さ
せることができる。特に、色材料を多量に含有したカラ
ーフィルタ用光重合性の組成物において、また更に、色
材料が黒色顔料、とりわけカーボンブラックにおいて光
の透過性が大幅に制限されたカラーフィルタ用光重合性
の組成物において、メカニズムの詳細は不明であるが解
像度等の画像形成性を損なうことなく顕著な感度向上を
発揮できる。通常、光硬化性レジストにおいては、光の
照射された部分のみ重合反応が進み、未照射の部分は重
合反応が進まないことを利用して画像を形成する。しか
し、本発明のように遮光性顔料(本発明の場合、特に
は、カーボンブラックなどである)を多量に含む系にお
いては、光照射された部分においても、その光照射され
た面から膜厚に比例し光透過量は減少し(Lambert-Beer
の法則)、裏面への光透過量は、表面の1%〜0.01
%となり、裏面においてはほとんど重合反応が誘起され
ていないと思われる。しかしながら、本発明の多官能チ
オールを0.01〜7重量%添加させた、光重合開始剤
系を用いた場合、光重合反応が基板との界面であるレジ
スト膜裏面まで進行し硬化膜を形成するとともに、レジ
ストと基板との密着性を向上させ高感度と画像形成性を
達成できたものと思われる。但し、多官能チオールの添
加量が7重量%を越える場合は、上記現象がより多く進
行するため細線の形成が不可能、マスクパターンの再現
性がなくなるため好ましくない、又、少なすぎると感度
が不十分となり、表面劣化が激しくまた現像ラチチュー
ドが狭くなり好ましくない。多官能チオール化合物の含
有量は好ましくは0.1〜6重量%、更に好ましくは
0.5〜5重量%である。
(Photopolymerization Initiator System) In the present invention, a polyfunctional thiol compound is used as a component of the photopolymerization initiator system in an amount of 0.01 to 7% by weight based on the total solid content of the photopolymerizable composition.
The photopolymerization initiator system of the present invention contains a polyfunctional thiol compound in an amount of 0.01 to 7% by weight, so that image characteristics such as resolution and surface deterioration during development are not impaired. Line width reproducibility, development latitude, sensitivity and the like can be greatly improved. In particular, in a photopolymerizable composition for a color filter containing a large amount of a color material, and furthermore, when the color material is a black pigment, in particular, a photopolymerizable material for a color filter in which light transmittance is significantly restricted in carbon black. Although the details of the mechanism of the composition are unknown, a remarkable improvement in sensitivity can be exhibited without impairing image forming properties such as resolution. Normally, in a photocurable resist, an image is formed by utilizing the fact that the polymerization reaction proceeds only in a portion irradiated with light and the polymerization reaction does not proceed in a non-irradiated portion. However, in a system containing a large amount of a light-shielding pigment (in the case of the present invention, in particular, carbon black) as in the present invention, even in a portion irradiated with light, the film thickness from the surface irradiated with light is reduced. The light transmission decreases in proportion to (Lambert-Beer
Law), the amount of light transmitted to the back surface is 1% to 0.01% of the front surface.
%, And it is considered that the polymerization reaction is hardly induced on the back surface. However, when a photopolymerization initiator system to which the polyfunctional thiol of the present invention is added in an amount of 0.01 to 7% by weight is used, the photopolymerization reaction proceeds to the back surface of the resist film which is the interface with the substrate to form a cured film. It is considered that the adhesiveness between the resist and the substrate was improved and high sensitivity and image forming properties were achieved. However, when the addition amount of the polyfunctional thiol exceeds 7% by weight, the above-mentioned phenomenon progresses more and it is impossible to form a fine line, and the reproducibility of a mask pattern is lost. Insufficiently, surface deterioration is severe and development latitude is narrow, which is not preferable. The content of the polyfunctional thiol compound is preferably 0.1 to 6% by weight, more preferably 0.5 to 5% by weight.

【0028】本発明に使用される多官能チオール化合物
は、1分子中にチオール基を2個以上有する化合物であ
り、特に脂肪族基にチオール基を複数有する脂肪族多官
能チオール化合物が好ましい。目的とするカラーフィル
タの性能を損なわない範囲で可能であれば分子量が大き
く蒸気圧の低いチオール化合物が好ましい。本発明に使
用される脂肪族多官能チオール化合物の例としては、ヘ
キサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ジメチ
ルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピ
オネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチ
レングリコールビスチオグリコレート、トリメチロール
プロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビス
チオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチ
オプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオ
グリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプ
ロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグ
リコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピ
オネート、下記構造式の化合物
The polyfunctional thiol compound used in the present invention is a compound having two or more thiol groups in one molecule, particularly preferably an aliphatic polyfunctional thiol compound having a plurality of thiol groups in the aliphatic group. If possible, a thiol compound having a large molecular weight and a low vapor pressure is preferable as long as the performance of the target color filter is not impaired. Examples of the aliphatic polyfunctional thiol compound used in the present invention include hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthiol. Glycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate , Trishydroxyethyl tristhiopropionate, a compound of the following structural formula

【0029】[0029]

【化5】 Embedded image

【0030】及び、これらの他多価ヒドロキシ化合物の
チオグリコレート、チオプロピオネート等である。光重
合開始剤系は、ビイミダゾール化合物、チタノセン化合
物、トリアジン化合物及びオキサジアゾール化合物の少
なくとも1種の化合物、又は該化合物とアミノ基含有増
感色素を組み合わせるのが上記性能の点から好ましい。
ビイミダゾール化合物の具体例としては、2,2′−ビ
ス(o−クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テト
ラフェニルビイミダゾール、2,2′−ビス(o−クロ
ロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラ(p−カル
ボエトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビス
(o−クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラ
(p−ブロモフェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビ
ス(o−クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テト
ラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,
2′−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4′,5,
5′−テトラフェニルビイミダゾール、2,2′−ビス
(o,p−ジクロロフェニル)−4,4′,5,5′−
テトラフェニルビイミダゾール、2,2′−ビス(o−
クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラ(m−
メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビス
(o,o′−ジクロロフェニル)−4,4′,5,5′
−テトラフェニルビイミダゾール、2,2′−ビス(o
−ニトロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラフェ
ニルビイミダゾール、2,2′−ビス(o−メチルフェ
ニル)−4,4′,5,5′−テトラフェニルビイミダ
ゾール等を挙げることができる。
Further, thioglycolate, thiopropionate and the like of these polyhydric hydroxy compounds. The photopolymerization initiator system is preferably at least one compound selected from a biimidazole compound, a titanocene compound, a triazine compound and an oxadiazole compound, or a combination of the compound and an amino group-containing sensitizing dye from the viewpoint of the above performance.
Specific examples of the biimidazole compound include 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4, 4 ', 5,5'-tetra (p-carbethoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (p-bromophenyl) biimidazole 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole,
2'-bis (o-bromophenyl) -4,4 ', 5
5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-
Tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-
(Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (m-
Methoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, o'-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'
-Tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o
-Nitrophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-methylphenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole and the like. be able to.

【0031】チタノセン化合物としては、特開昭59−
152396号公報、特開昭61−151197号公
報、特開昭63−10602号公報、特開昭63−41
484号公報、特開平2−291号公報、特開平3−1
2403号公報、特開平3−20293号公報、特開平
3−27393号公報、特開平3−52050号公報、
特開平4−221958号公報、特開平4−21975
6号公報、特開平3−27393号公報等に記載される
チタノセン化合物が使用可能であり、具体的には、ジ−
シクロペンタジエニル−Ti−ジ−クロライド、ジ−シ
クロペンタジエニル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シク
ロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−
ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジシクロペンタジエ
ニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフ
ェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビ
ス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−
シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジ−フル
オロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−T
i−ビス−2,4−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ
−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,
4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−メ
チルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,
6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシク
ロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフ
ェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビ
ス−2,6−ジフルオロ−3−(ピル−1−イル)−フ
ェニ−1−イル等を挙げることができる。
As the titanocene compound, JP-A-59-1984
152396, JP-A-61-151197, JP-A-63-10602, JP-A-63-41
484, JP-A-2-291, JP-A-3-1
JP-A-2403, JP-A-3-20293, JP-A-3-27393, JP-A-3-52050,
JP-A-4-221958, JP-A-4-21975
No. 6, JP-A-3-27393 and the like can be used.
Cyclopentadienyl-Ti-di-chloride, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-
Pentafluorophenyl-1-yl, dicyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophenyl-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6 -Trifluorophenyl-1-yl, di-
Cyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-di-fluorophenyl-1-yl, di-cyclopentadienyl-T
i-bis-2,4-di-fluorophenyl-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,
4,5,6-pentafluorophenyl-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5
6-tetrafluorophenyl-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophenyl-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluoro- 3- (pyr-1-yl) -phenyl-1-yl and the like can be mentioned.

【0032】トリアジン化合物の例としては、ハロメチ
ル基を有するトリアジン化合物が好適に用いられる。そ
れらの例としては、6−フェニル−2,4−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、6−(p−メトキシ
フェニル)−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、6−[p−(N,N−ビス(エトキシカル
ボニルメチル)アミノ)フェニル)−2,4−ビス(ト
リクロロメチル)−s−トリアジン、6−(p−スチリ
ルフェニル)−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、6−p−クロロフェニル−2,4−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−(p−メ
チルチオフェニル)−2,4−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジンなどである。
As an example of the triazine compound, a triazine compound having a halomethyl group is preferably used. Examples thereof include 6-phenyl-2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- (p-methoxyphenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine.
Triazine, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- (p-styrylphenyl) -2,4- Bis (trichloromethyl) -s
-Triazine, 6-p-chlorophenyl-2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- (p-methylthiophenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine and the like.

【0033】オキサジアゾール化合物の例としては、ハ
ロメチル基を有するオキサジアゾール化合物が好適に用
いられる。それらの例としては、2−フェニル−5−ト
リクロロメチル−1,3,4−オキサジアゾール、2−
(p−メチルフェニル)−5−トリクロロメチル−1,
3,4−オキサジアゾール、2−(p−メトキシフェニ
ル)−5−トリクロロメチル−1,3,4−オキサジア
ゾール、2−スチリル−5−トリクロロメチル−1,
3,4−オキサジアゾール、2−(p−メトキシスチリ
ル)−5−トリクロロメチル−1,3,4−オキサジア
ゾール、2−(p−ブトキシスチリル)−5−トリクロ
ロメチル−1,3,4−オキサジアゾールなどである。
As an example of the oxadiazole compound, an oxadiazole compound having a halomethyl group is preferably used. Examples thereof include 2-phenyl-5-trichloromethyl-1,3,4-oxadiazole,
(P-methylphenyl) -5-trichloromethyl-1,
3,4-oxadiazole, 2- (p-methoxyphenyl) -5-trichloromethyl-1,3,4-oxadiazole, 2-styryl-5-trichloromethyl-1,
3,4-oxadiazole, 2- (p-methoxystyryl) -5-trichloromethyl-1,3,4-oxadiazole, 2- (p-butoxystyryl) -5-trichloromethyl-1,3 4-oxadiazole and the like.

【0034】アミノ基含有増感色素としては例えば、特
開平6−19240号公報、特開平6−19249号公
報等に記載のジアルキルアミノフェニル基が挙げられ、
具体的には、ジアルキルアミノフェニル基を有する化合
物としては下記構造式で表される化合物、
Examples of the amino group-containing sensitizing dye include dialkylaminophenyl groups described in JP-A-6-19240 and JP-A-6-19249.
Specifically, as the compound having a dialkylaminophenyl group, a compound represented by the following structural formula,

【0035】[0035]

【化6】 Embedded image

【0036】[0036]

【化7】 Embedded image

【0037】p−ジエチルアミノ安息香酸エチル、ミヒ
ラーズケトン等の化合物や、p−ジエチルアミノベンズ
カルバルデヒド、7−ジュロリジルカルバルデヒド等の
ジアルキルアミノフェニルカルバルデヒド等が挙げられ
る。これらのうち、ジアルキルアミノフェニル基を有す
る化合物がより高感度であり好ましい。
Examples include compounds such as ethyl p-diethylaminobenzoate and Michler's ketone, and dialkylaminophenylcarbaldehydes such as p-diethylaminobenzcarbaldehyde and 7-julolidylcarbaldehyde. Of these, compounds having a dialkylaminophenyl group are more sensitive and preferred.

【0038】(色材料)色材料は、通常、赤、緑、青色
の各色材料であるが、ブラックマトリクスもこの光重合
性組成物で形成する場合は黒色の色材料も含まれる。こ
こで、色材料としては前述の3色ないし4色の染顔料、
或いは、用途により、更に、金属粉、白色顔料、蛍光顔
料等も用いることができる。顔料、染料の具体例として
は、ビクトリアピュアブルー(42595)、オーラミ
ンO(41000)、カチロンブリリアントフラビン
(ベーシック13)、ローダミン6GCP(4516
0)、ローダミンB(45170)、サフラニンOK7
0:100(50240)、エリオグラウシンX(42
080)、No.120/リオノールイエロー(210
90)、リオノールイエローGRO(21090)、シ
ムラーファーストイエロー8GF(21105)、ベン
ジジンイエロー4T−564D(21095)、シムラ
ーファーストレッド4015(12355)、リオノー
ルレッド7B4401(15850)、ファーストゲン
ブルーTGR−L(74160)、リオノールブルーS
M(26150)、リオノールブルーES(ピグメント
ブルー15:6)、リオノーゲンレッドGD(ピグメン
トレッド168)、リオノールグリーン2YS(ピグメ
ントグリーン36)等が挙げられる(なお、上記の
( )内の数字は、カラーインデックス(C.I.)を
意味する)。
(Color Materials) The color materials are usually red, green and blue color materials, but when a black matrix is also formed of this photopolymerizable composition, black color materials are also included. Here, as the color material, the aforementioned three or four color dyes and pigments,
Alternatively, depending on the application, a metal powder, a white pigment, a fluorescent pigment, or the like can be further used. Specific examples of pigments and dyes include Victoria Pure Blue (42595), Auramine O (41000), Catillon Brilliant Flavin (Basic 13), and Rhodamine 6GCP (4516).
0), Rhodamine B (45170), Safranin OK7
0: 100 (50240), Erioglaucine X (42
080), No. 120 / Lionol Yellow (210
90), Lionol Yellow GRO (21090), Shimla Fast Yellow 8GF (21105), Benzidine Yellow 4T-564D (21095), Shimla Fast Red 4015 (12355), Lionol Red 7B4401 (15850), Fast Gen Blue TGR-L (74160), Lionol Blue S
M (26150), Lionol Blue ES (Pigment Blue 15: 6), Lionologen Red GD (Pigment Red 168), Lionol Green 2YS (Pigment Green 36) and the like (the numbers in parentheses above). Means a color index (CI)).

【0039】また、さらに他の顔料についてC.I.ナ
ンバーにて示すと、例えば、C.I.黄色顔料20,2
4,86,93,109,110,117,125,1
37,138,147,148,153,154,16
6、C.I.オレンヂ顔料36,43,51,55,5
9,61、C.I.赤色顔料9,97,122,12
3,149,168,177,180,192,21
5,216,217,220,223,224,22
6,227,228,240、C.I.バイオレット顔
料19,23,29,30,37,40,50、C.
I.青色顔料15,15:1,15:4,22,60,
64、C.I.緑色顔料7、C.I.ブラウン顔料2
3,25,26等を挙げることができる。
Further, for other pigments, C.I. I. The number is, for example, C.I. I. Yellow pigment 20,2
4,86,93,109,110,117,125,1
37,138,147,148,153,154,16
6, C.I. I. Oren Pigment 36, 43, 51, 55, 5
9, 61, C.I. I. Red pigment 9,97,122,12
3,149,168,177,180,192,21
5,216,217,220,223,224,22
6,227,228,240, C.I. I. Violet pigments 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50;
I. Blue pigments 15, 15: 1, 15: 4, 22, 60,
64, C.I. I. Green pigment 7, C.I. I. Brown pigment 2
3, 25, 26 and the like.

【0040】黒色顔料としては、カーボンブラック、ア
セチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、
黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、シアニンブラック等が
ある。これらの中で、特にカーボンブラックが遮光率、
画像特性の観点から好ましい。カーボンブラックの例と
しては、以下のようなカーボンブラックが挙げられる。 三菱化学社製:MA7、MA8、MA11、MA10
0、MA220、MA230、#52、#50、#4
7、#45、#2700、#2650、#2200、#
1000、#990、#900等
As the black pigment, carbon black, acetylene black, lamp black, bone black,
There are graphite, iron black, aniline black, cyanine black and the like. Among these, carbon black is particularly
It is preferable from the viewpoint of image characteristics. Examples of the carbon black include the following carbon blacks. Mitsubishi Chemical Corporation: MA7, MA8, MA11, MA10
0, MA220, MA230, # 52, # 50, # 4
7, # 45, # 2700, # 2650, # 2200, #
1000, # 990, # 900, etc.

【0041】デグサ社製:Printex95、プリン
テックス90、Printex85、Printex7
5、Printex55、Printex45、Pri
ntex40、Printex30、Printex
3、PrintexA、PrintexG、Speci
alBlack550、SpecialBlack35
0、SpecialBlack250、Special
Black100等 キャボット社製:Monarch460、Monarc
h430、Monarch280、Monarch12
0、Monarch800、Monarch4630、
REGAL99、REGAL99R、REGAL41
5、REGAL415R、REGAL250、REGA
L250R、REGAL330、BLACK PEAR
LS480、PEARLS130等
Degussa: Printex 95, Printex 90, Printex 85, Printex 7
5, Printex55, Printex45, Pri
ntex40, Printex30, Printex
3. PrintexA, PrintexG, Speci
alBlack550, SpecialBlack35
0, SpecialBlack250, Special
Black100, etc., manufactured by Cabot Corporation: Monarch 460, Monarc
h430, Monarch280, Monarch12
0, Monarch 800, Monarch 4630,
REGAL99, REGAL99R, REGAL41
5, REGAL415R, REGAL250, REGAL
L250R, REGAL330, BLACK PEAR
LS480, PEARLS130, etc.

【0042】コロンビヤン カーボン社製:RAVEN
11、RAVEN15、RAVEN30、RAVEN3
5、RAVEN40、RAVEN410、RAVEN4
20、RAVEN450、RAVEN500、RAVE
N780、RAVEN850、RAVEN890H、R
AVEN1000、RAVEN1020、RAVEN1
040等 上記のカーボンブラックは、他の黒色の無機、有機顔料
と併用しても良い。他の黒色顔料は、カーボンブラック
より遮光性が低いため自ずと混合比率は制限される。他
の黒色顔料の例としては、チタンブラック、アニリンブ
ラック、酸化鉄系黒色顔料、及び、赤色、緑色、青色の
三色の有機顔料を混合して黒色顔料として用いることが
できる。
Made by Colombian Carbon: RAVEN
11, RAVE15, RAVE30, RAVE3
5, RAVEN40, RAVEN410, RAVEN4
20, RAVE450, RAVE500, RAVE
N780, RAVEN850, RAVE890H, R
AVEN1000, RAVEN1020, RAVEN1
040 etc. The above carbon black may be used in combination with other black inorganic or organic pigments. Since other black pigments have lower light-shielding properties than carbon black, the mixing ratio is naturally limited. As examples of other black pigments, titanium black, aniline black, iron oxide black pigments, and organic pigments of three colors of red, green and blue can be mixed and used as black pigments.

【0043】本発明のカラーフィルター用光重合性組成
物の各構成成分の含有量は、溶剤を除く固形分全量に対
して(a)バインダ樹脂の配合量は、5〜40重量%と
するのが好ましく、(b)エチレン性不飽和二重結合を
少なくとも1個有する化合物の配合量は、5〜40重量
%とするのが好ましく、(c)光重合開始剤系の配合量
は0.1〜20重量%、特に0.5〜15重量%、とり
わけ1〜10重量%とするのが好ましい。又、光重合開
始剤系における各化合物の含有量割合は、多官能チオー
ル化合物が0.01〜5重量%の範囲、特には0.1〜
4重量%が好ましく、ビイミダゾール化合物、チタノセ
ン化合物、トリアジン化合物及びオキサジアゾール化合
物から選ばれる少なくとも1種の化合物が合計で0.0
1〜5重量%、更にアミノ基含有増感色素を含む場合こ
れを0.01〜5重量%の範囲とするのが好ましい。
The content of each component of the photopolymerizable composition for a color filter of the present invention is such that the blending amount of the binder resin (a) is 5 to 40% by weight based on the total solid content excluding the solvent. The compounding amount of (b) the compound having at least one ethylenically unsaturated double bond is preferably 5 to 40% by weight, and (c) the compounding amount of the photopolymerization initiator system is 0.1% by weight. It is preferably from 20 to 20% by weight, especially from 0.5 to 15% by weight, especially from 1 to 10% by weight. The content ratio of each compound in the photopolymerization initiator system is such that the polyfunctional thiol compound is in the range of 0.01 to 5% by weight, particularly 0.1 to 5% by weight.
4% by weight is preferable, and at least one compound selected from a biimidazole compound, a titanocene compound, a triazine compound and an oxadiazole compound has a total content of 0.0%.
When the sensitizing dye contains an amino group-containing sensitizing dye, the content is preferably in the range of 0.01 to 5% by weight.

【0044】該色材料の配合量は、光重合性組成物中の
全固形分に対して20〜80重量%、特に30〜70重
量%の範囲とするのが好ましい。また、特に黒色顔料と
してカーボンブラックを用いるときは、膜厚1μmにお
ける遮光率が3.0、さらには3.5以上の高遮光率の
ブラックマトリクス形成させるために前記カーボンブラ
ックの配合量は、光重合性組成物中の全固形分に対して
30〜90重量%、特に40〜80重量%の範囲とする
のが好ましい。色顔料、カーボンブラックを組成物中に
配合するときに本発明の目的を損なわない範囲で種々の
分散剤、分散助剤を用いることもができる。
The amount of the color material is preferably in the range of 20 to 80% by weight, particularly 30 to 70% by weight, based on the total solids in the photopolymerizable composition. In particular, when carbon black is used as the black pigment, the compounding amount of the carbon black is set to 3.0 to form a black matrix having a high light shielding ratio of 3.5 or more at a film thickness of 1 μm. The content is preferably in the range of 30 to 90% by weight, especially 40 to 80% by weight based on the total solid content in the polymerizable composition. When a color pigment or carbon black is incorporated into the composition, various dispersants and dispersing agents can be used as long as the object of the present invention is not impaired.

【0045】なお、本発明において、溶剤としては前述
の各成分を溶解・分散させるものであり、具体的にはメ
チルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブ、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下
「PGMAc」と略記する。)、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、トルエ
ン、クロロホルム、ジクロロメタン、酢酸エチル、乳酸
メチル、乳酸エチル、メタノール、エタノール、プロパ
ノール、ブタノール、テトラハイドロフラン等が挙げら
れる。本発明の光重合性組成物は、これらの溶剤を用い
て、固形分濃度が5〜50重量%、好ましくは10〜4
0重量%の範囲となるように調液される。
In the present invention, the solvent dissolves and disperses the above-mentioned components. Specifically, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, diethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as “PGMAc”) Abbreviation "), methyl ethyl ketone,
Examples include methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, toluene, chloroform, dichloromethane, ethyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, methanol, ethanol, propanol, butanol, tetrahydrofuran and the like. The photopolymerizable composition of the present invention has a solid content of 5 to 50% by weight, preferably 10 to 4% by using these solvents.
The solution is prepared so as to be in a range of 0% by weight.

【0046】本発明の光重合性組成物を用いてカラーフ
ィルターの画素を形成する場合には、非常に高感度であ
るため、ポリビニルアルコール等の酸素遮断層を設ける
ことなしに露光、現像して画像を形成することが可能で
ある。次に本発明のカラーフィルター用光重合性組成物
の製造方法について説明する。本発明においては、先
ず、顔料(カーボンブラックなど)分散液を製造する。
顔料を有機溶剤中に分散させるが、この時に分散を容易
に進めるためおよび/また分散液を安定させるため、バ
インダ樹脂を共存させて分散させる、また、目的を損な
わない範囲で種々の分散剤、分散助剤を用いることもが
できる。分散させる方法としては、ペイントコンディシ
ョナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミ
ル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等を
用いることができる。ペイントコンディショナー、サン
ドグラインダーにて分散させるときは、0.1から数ミ
リ径のガラスビーズ又はジルコニアビーズを用いて分散
させる。分散させる条件は、通常、温度は0℃から10
0℃であり、好ましくは、室温から60℃である。分散
時間は、用いるカーボン、エチレン性不飽和二重結合を
少なくとも1個有する有機高分子物質によって変化する
が、10分から50時間、好ましくは、20分から20
時間である。
When a pixel of a color filter is formed using the photopolymerizable composition of the present invention, it is exposed and developed without providing an oxygen barrier layer of polyvinyl alcohol or the like because of extremely high sensitivity. It is possible to form an image. Next, a method for producing the photopolymerizable composition for a color filter of the present invention will be described. In the present invention, first, a pigment (carbon black or the like) dispersion liquid is produced.
The pigment is dispersed in the organic solvent. At this time, in order to facilitate the dispersion and / or to stabilize the dispersion, the binder resin is coexisted and dispersed, and various dispersants are used as long as the purpose is not impaired. Dispersing aids can also be used. As a method of dispersing, a paint conditioner, a sand grinder, a ball mill, a roll mill, a stone mill, a jet mill, a homogenizer and the like can be used. When dispersing using a paint conditioner or a sand grinder, the dispersion is performed using glass beads or zirconia beads having a diameter of 0.1 to several millimeters. The dispersing conditions are usually such that the temperature is 0 ° C to 10 ° C.
0 ° C., preferably from room temperature to 60 ° C. The dispersion time varies depending on the carbon used and the organic polymer substance having at least one ethylenically unsaturated double bond, and is preferably from 10 minutes to 50 hours, preferably from 20 minutes to 20 hours.
Time.

【0047】続いて、顔料(カーボンブラックなど)と
溶剤、あるいは、顔料、溶媒とバインダ樹脂及び/又は
分散剤、分散助剤からなる黒色顔料分散液に、(a)バ
インダ樹脂、(b)エチレン性不飽和二重結合を少なく
とも1個有する化合物、(c)光重合開始剤系、及び
(d)溶剤を加え、さらに目的に応じて種々の添加剤
(レベリング剤、光安定剤等)を加えレジスト組成物を
製造する。
Subsequently, (a) a binder resin and (b) ethylene are added to a black pigment dispersion comprising a pigment (such as carbon black) and a solvent or a pigment, a solvent and a binder resin and / or a dispersant and a dispersing agent. A compound having at least one unsaturated unsaturated double bond, (c) a photopolymerization initiator system, and (d) a solvent, and further various additives (leveling agent, light stabilizer, etc.) depending on the purpose. A resist composition is manufactured.

【0048】次に、本発明のカラーフィルター用光重合
性組成物を用いたカラーフィルターの製造方法について
説明する。まず、透明基板上に、本発明の遮光膜用光重
合性組成物をスピナー,ワイヤーバー,フローコータ
ー,ダイコーター,ロールコーター,スプレー等の塗布
装置により塗布して乾燥した後、該試料の上にフォトマ
スクを置き、該フォトマスクを介して画像露光,現像,
必要に応じて熱硬化或いは光硬化により遮光用ブラック
マトリクス画像を形成させ、さらにこの操作をRGB3
色について各々繰り返し、透明基板上に膜厚が0.5〜
3μmのカラーフィルター画像を形成させる。尚、乾燥
後のブラックマトリクスの膜厚は、0.1〜2μm、好
ましくは0.3〜1.5μm、更に好ましくは0.5〜
1μmの範囲とするのが好ましく、又、膜厚1μmでの
光線遮光率が3.0以上であるのが好ましい。
Next, a method for producing a color filter using the photopolymerizable composition for a color filter of the present invention will be described. First, the photopolymerizable composition for a light-shielding film of the present invention is applied on a transparent substrate by a coating device such as a spinner, a wire bar, a flow coater, a die coater, a roll coater, a spray, and the like, and dried. A photomask, and image exposure, development,
If necessary, a light-shielding black matrix image is formed by heat curing or light curing.
Repeat for each color, the film thickness on the transparent substrate 0.5 ~
A 3 μm color filter image is formed. The thickness of the black matrix after drying is 0.1 to 2 μm, preferably 0.3 to 1.5 μm, more preferably 0.5 to 1.5 μm.
It is preferably in the range of 1 μm, and the light-shielding ratio at a film thickness of 1 μm is preferably 3.0 or more.

【0049】ここで用いる透明基板は、カラーフィルタ
ー用の透明基板であり、その材質は特に限定されるもの
ではないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート等の
ポリエステルやポリプロピレン、ポリエチレン等のポリ
オレフィン等、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリ
レート、ポリスルホンの熱可塑性プラスチックシート、
エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリ(メタ)アクリ
ル樹脂等の熱硬化性プラスチックシート、或いは各種ガ
ラス板等を挙げることができる。特に、耐熱性の点から
ガラス板、耐熱性プラスチックが好ましく用いられる。
The transparent substrate used here is a transparent substrate for a color filter, and its material is not particularly limited. For example, polyester such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyolefin such as polyethylene, polycarbonate, poly Methyl methacrylate, polysulfone thermoplastic sheet,
Examples include thermosetting plastic sheets such as epoxy resin, polyester resin, and poly (meth) acrylic resin, and various glass plates. Particularly, a glass plate and a heat-resistant plastic are preferably used from the viewpoint of heat resistance.

【0050】このような透明基板には、表面の接着性等
の物性を改良するために、コロナ放電処理、オゾン処
理、シランカップリング剤やウレタンポリマー等の各種
ポリマーの薄膜処理等を行うのが好ましい。なお、透明
基板の板厚は、0.05〜10mm、特に0.1〜7m
mの範囲であることが好ましい。また、各種ポリマーの
薄膜処理を行う場合には、その膜厚は0.01〜10μ
m、特に0.05〜5μmの範囲であることが好まし
い。また、透明基板の大きさは特に限定されるものでは
ないが、通常の場合、透明基板としては数〜数十cm×
数〜数十cm程度の透明基板が使用される。また、露光
に用いる光源は、例えば、キセノンランプ、ハロゲンラ
ンプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀
灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯等
のランプ光源やアルゴンイオンレーザー、YAGレーザ
ー、エキシマーレーザー、窒素レーザー等のレーザー光
源等が挙げられる。この場合に特定の照射光の波長のみ
を使用する場合には適宜、光学フィルターを利用すれば
良い。
Such a transparent substrate is preferably subjected to corona discharge treatment, ozone treatment, thin film treatment of various polymers such as a silane coupling agent or a urethane polymer in order to improve physical properties such as surface adhesiveness. preferable. The thickness of the transparent substrate is 0.05 to 10 mm, particularly 0.1 to 7 m.
It is preferably in the range of m. Further, when performing a thin film treatment of various polymers, the film thickness is 0.01 to 10μ
m, particularly preferably in the range of 0.05 to 5 μm. Further, the size of the transparent substrate is not particularly limited, but in a normal case, the transparent substrate is several to several tens cm ×
A transparent substrate of about several to several tens cm is used. Light sources used for exposure include, for example, xenon lamps, halogen lamps, tungsten lamps, high-pressure mercury lamps, ultra-high-pressure mercury lamps, metal halide lamps, medium-pressure mercury lamps, low-pressure mercury lamps, and the like, and argon ion lasers, YAG lasers, excimer lasers, Examples include a laser light source such as a nitrogen laser. In this case, when only a specific wavelength of the irradiation light is used, an optical filter may be appropriately used.

【0051】現像処理は、アルカリ現像液を使用するの
が好ましい。例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、
珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム等の無機のアルカリ剤、或いはジエタノー
ルアミン、トリエタノールアミン、水酸化テトラアルキ
ルアンモニウム塩等の有機のアルカリ剤を含有し、必要
に応じ、画質向上、現像時間の短縮等の目的で界面活性
剤、水溶性の有機溶剤、水酸基又はカルボン酸基を有す
る低分子化合物等を含有させた水溶液を用いる。現像液
の界面活性剤としては、ナフタレンスルホン酸ナトリウ
ム基、ベンゼンスルホン酸ナトリウム基を有するアニオ
ン性界面活性剤、ポリアルキレンオキシ基を有するノニ
オン性界面活性剤、テトラアルキルアンモニウム基を有
するカチオン性界面活性剤等を挙げることができ、ま
た、水溶性の有機溶剤としては、エタノール、プロピオ
ンアルコール、ブタノール、メチルセロソルブ、ブチル
セロソルブ、フェニルセロソルブ、エチレングリコー
ル、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、
テトラエチレングリコール、プロピレングリコール、ジ
プロピレングリコール、トリプロピレングリコール、テ
トラプロピレングリコール、エチレングリコールモノメ
チルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメ
チルエーテルアセテート等を挙げることができる。
For the development treatment, it is preferable to use an alkali developer. For example, sodium carbonate, potassium carbonate,
It contains an inorganic alkali agent such as sodium silicate, potassium silicate, sodium hydroxide and potassium hydroxide, or an organic alkali agent such as diethanolamine, triethanolamine, and tetraalkylammonium hydroxide salt. An aqueous solution containing a surfactant, a water-soluble organic solvent, a low molecular compound having a hydroxyl group or a carboxylic acid group, or the like is used for the purpose of shortening the development time. The surfactants in the developer include sodium naphthalenesulfonate group, anionic surfactant having a sodium benzenesulfonate group, nonionic surfactant having a polyalkyleneoxy group, and cationic surfactant having a tetraalkylammonium group Examples of the water-soluble organic solvent include ethanol, propion alcohol, butanol, methyl cellosolve, butyl cellosolve, phenyl cellosolve, ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol,
Examples thereof include tetraethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol, tetrapropylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monomethyl ether acetate.

【0052】また水酸基又はカルボキシ基を有する低分
子化合物としては、1−ナフトール、2−ナフトール、
ピロガロール、安息香酸、コハク酸、グルタル酸等を挙
げることができる。現像処理は、通常、15〜40℃、
好ましくは20〜30℃の現像温度で、浸漬現像、スプ
レー現像、ブラシ現像、超音波現像等の方法により行わ
れる。現像処理後、諸物性を安定化させる目的で硬化処
理を行うことができる。硬化処理としては、加熱による
処理、紫外線による処理等がある。
Examples of the low molecular weight compound having a hydroxyl group or a carboxy group include 1-naphthol, 2-naphthol,
Examples include pyrogallol, benzoic acid, succinic acid, and glutaric acid. Development processing is usually 15 to 40 ° C,
The development is preferably performed at a development temperature of 20 to 30 ° C. by a method such as immersion development, spray development, brush development, or ultrasonic development. After the development, a curing treatment can be performed for the purpose of stabilizing various physical properties. The curing treatment includes a treatment by heating, a treatment by ultraviolet rays, and the like.

【0053】[0053]

【実施例】以下実施例及び比較例を挙げて本発明を更に
詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以
下の実施例に限定されるものではない。本発明を説明す
るのに用いた物質及び略号を下記に示す。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist of the present invention. The substances and abbreviations used to describe the present invention are shown below.

【0054】[0054]

【表1】 [Table 1]

【0055】[0055]

【表2】 [Table 2]

【0056】[0056]

【表3】 [Table 3]

【0057】[0057]

【表4】 表−4 色材料 黒色顔料 カーボンブラック 粒径 窒素吸着比表面積 DBP吸油量 pH ──────────────────────────────────── G-1 MA 220 三菱化学製 55 31 91 3.0 ────────────────────────────────────Table 4 Color material Black pigment Carbon black Particle size Nitrogen adsorption specific surface area DBP oil absorption pH ─────────────────────────── ───────── G-1 MA 220 Mitsubishi Chemical 55 31 91 3.0 ───────────────────────────── ───────

【0058】赤色顔料 G−2 リオノーゲンレッドGD(東洋インキ社製) 緑色顔料 G−3 リオノールグリーン2YS(東洋インキ社製) 青色顔料 G−4 リオノールブルーES(東洋インキ社製)Red Pigment G-2 Liononogen Red GD (Toyo Ink) Green Pigment G-3 Lionol Green 2YS (Toyo Ink) Blue Pigment G-4 Lionol Blue ES (Toyo Ink)

【0059】参考例1〜3 「赤、緑、青色顔料分散イ
ンキの製造」 表−4に示す赤色顔料東洋インキ社製リオノーゲンレッ
ドGD(G−2)2.6gと分散剤ビックケミー社製B
YK−161 2.6g及びプロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート9.5gを混合し、該混合物
を重量で3.5倍量の0.5mm径ジルコニアビーズの
入ったペイントシェーカーに入れ、10時間分散を行い
赤色顔料分散インキを製造した(参考例1)。同様に緑
色顔料東洋インキ社製リオノーゲングリーン2YS(G
−3)、青色顔料東洋インキ社製リオノーゲンブルーE
S(G−4)を分散し、緑色顔料分散インキ(参考例
2)、青色顔料分散インキ(参考例3)を製造した。
Reference Examples 1 to 3 "Production of red, green, and blue pigment-dispersed inks" Red pigments shown in Table 4 2.6 g of Lionogen Red GD (G-2) manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.
2.6 g of YK-161 and 9.5 g of propylene glycol monomethyl ether acetate are mixed, and the mixture is placed in a paint shaker containing 3.5 times by weight of zirconia beads having a diameter of 0.5 mm and dispersed for 10 hours. A pigment-dispersed ink was produced (Reference Example 1). Similarly, a green pigment, Lionogen Green 2YS (G
-3), blue pigment: Lionogen Blue E manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.
S (G-4) was dispersed to produce a green pigment dispersion ink (Reference Example 2) and a blue pigment dispersion ink (Reference Example 3).

【0060】参考例4 「カーボンブラック分散黒色イ
ンキの製造」 表−4に示すカーボンブラック三菱化学製MA−220
(G−1)2.6gと表−1に示すバインダ樹脂P−1
1.4g及びプロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート6.0gを混合し、該混合物を重量で3.
5倍量の0.5mm径ジルコニアビーズの入ったペイン
トシェーカーに入れ、10時間分散を行いカーボンブラ
ック分散黒色インキを製造した。
Reference Example 4 "Production of carbon black dispersed black ink" Carbon black shown in Table 4 MA-220 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation
(G-1) 2.6 g of binder resin P-1 shown in Table 1
1.4 g and 6.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate are mixed, and the mixture is mixed in an amount of 3.0 g by weight.
The mixture was placed in a paint shaker containing 5 times the amount of zirconia beads having a diameter of 0.5 mm and dispersed for 10 hours to produce a carbon black-dispersed black ink.

【0061】実施例1 参考例4で得られたカーボンブラック分散液に、エチレ
ン性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリ
レート(M−1)、光重合開始剤系として2,2′−ビ
ス(o−クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テト
ラフェニルビイミダゾール(R−1)、4、4′−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(Y−1)及びペン
タエリスリトールテトラキスチオプロピオネート(T−
1)を下記表−5に示す割合で配合し、溶剤としてプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加え
固形分濃度を25%になるように塗布液を調製した。調
製されたカーボンブラックを含有する塗布液を、ガラス
基板に乾燥膜厚が0.9μmになるようにスピンコータ
ーにより塗布し、乾燥温度70℃で3分間乾燥させた。
次に、幅30μmで縦300μm、横100μmのピッ
チで繰り返すブラックマトリクス用ネガフォトマスクを
用いて、3Kw超高圧水銀灯により適性露光量(50m
j/cm2 )で露光した後、0.01重量%の水酸化カ
リウムと0.05%のノニオン性界面活性剤(花王製エ
マルゲンA−60)を含有する水溶液よりなる現像液を
用い、23℃、シャワー現像し、純水にて現像を停止さ
せ、続いて水洗スプレーにてリンスし、ブラックマトリ
クスを形成させた。その後、該試料を200℃で10分
間熱処理を行い熱硬化させた。得られたブラックマトリ
クスはシャープなエッジ形状を有し、現像時の線幅安定
性(現像ラチチュード)も15秒以上であり、現像液に
よる表面粗れも観察されなかった。また、1μmから5
0μmまでのライン/スペースを持つフォトマスクを用
いて同様に塗布、露光、現像を行ったところ画質も10
μm以下の細線を再現できた。
Example 1 Dipentaerythritol hexaacrylate (M-1) as an ethylenic compound and 2,2'-bis (o-chlorophenyl) as a photopolymerization initiator system were added to the carbon black dispersion obtained in Reference Example 4. ) -4,4 ', 5,5'-Tetraphenylbiimidazole (R-1), 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone (Y-1) and pentaerythritol tetrakisthiopropionate (T-
1) was blended at the ratio shown in Table 5 below, and propylene glycol monomethyl ether acetate was added as a solvent to prepare a coating solution so that the solid content concentration was 25%. The prepared coating solution containing carbon black was applied to a glass substrate by a spin coater so that the dry film thickness became 0.9 μm, and dried at a drying temperature of 70 ° C. for 3 minutes.
Next, using a negative photomask for a black matrix that repeats at a pitch of 30 μm in width, 300 μm in height, and 100 μm in width, an appropriate exposure dose (50 m
j / cm 2 ), using a developing solution consisting of an aqueous solution containing 0.01% by weight of potassium hydroxide and 0.05% of a nonionic surfactant (Emulgen A-60 manufactured by Kao), 23 C., shower development was performed, development was stopped with pure water, and then rinsed with a water spray to form a black matrix. Thereafter, the sample was heat-treated at 200 ° C. for 10 minutes to be thermally cured. The obtained black matrix had a sharp edge shape, the line width stability during development (development latitude) was 15 seconds or more, and no surface roughness due to the developer was observed. In addition, from 1 μm to 5
The same coating, exposure, and development were performed using a photomask having lines / spaces up to 0 μm, and the image quality was 10
Fine lines of less than μm could be reproduced.

【0062】比較例1〜2 実施例1のペンタエリスリトールテトラキスチオプロピ
オネートの添加量を0重量%(比較例1)又は10重量
%(比較例2)に変更し、それに応じてバインダ樹脂を
30.7重量%(比較例1)又は19重量%(比較例
2)に変更した以外は、実施例1と同様に行ったとこ
ろ、多官能チオール化合物を0重量%に変更した比較例
1においては、適正露光量は8000mj/cm2 必要
とし、画質も15μmを再現できなかった。また、現像
時の表面荒れが激しく、表面に白い斑点が多数観察され
た。多官能チオール化合物を10重量%に変更した比較
例2においては、適正露光量は5mj/cm2 以下であ
ったが、画質は25μmを再現できなかった。また、レ
ジスト調液時臭気がひどくドラフト(局所排気装置)で
の操作が必要であった。
Comparative Examples 1-2 The amount of pentaerythritol tetrakisthiopropionate of Example 1 was changed to 0% by weight (Comparative Example 1) or 10% by weight (Comparative Example 2), and the binder resin was changed accordingly. The same procedure as in Example 1 was carried out except that the weight was changed to 30.7% by weight (Comparative Example 1) or 19% by weight (Comparative Example 2). Required an appropriate exposure amount of 8000 mj / cm 2 , and the image quality could not be reproduced at 15 μm. In addition, surface roughness during development was severe, and many white spots were observed on the surface. In Comparative Example 2 in which the polyfunctional thiol compound was changed to 10% by weight, the proper exposure amount was 5 mj / cm 2 or less, but the image quality could not be reproduced at 25 μm. In addition, the odor during the preparation of the resist was so bad that an operation with a draft (local exhaust device) was required.

【0063】実施例2〜4及び比較例3〜5 実施例1のカーボンブラック黒色分散インキを参考例1
〜3で製造した赤色顔料分散インキ、緑色顔料分散イン
キ又は青色顔料分散インキに変更した以外は実施例1と
同様に塗布液を調製した。調製された着色顔料を含有す
る塗布液をガラス基板に乾燥膜厚が1.3μmになるよ
うにスピンコーターにより塗布し、乾燥させた。次に横
100μm、高さ300μmで30μmのピッチで繰り
返す着色画素用ネガマスクを用いて露光し、水酸化カリ
ウム0.2重量%、ノニオン界面活性剤0.5重量%を
含有する水溶液よりなる現像液を用いて現像し、純水に
て現像を停止させ、水洗スプレーにてリンスし着色画素
を形成させた。その後、該試料を200℃で10分間熱
処理を行い熱硬化させた。得られた着色画素は、シャー
プなエッジ形状を有するとともに適正なテーパー形状を
していた。現像時の表面膜荒れは観察されず、膜厚の減
少も認められなかった。また、細線の再現性も10μm
以下であり良好な画質であった。一方、実施例2〜4に
おいて、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオ
ネートを2−メルカプトベンズチアゾールに変えた場合
(比較例3〜5)、約3〜10%膜厚が減少していた。
Examples 2 to 4 and Comparative Examples 3 to 5 The carbon black black dispersion ink of Example 1 was used in Reference Example 1.
A coating liquid was prepared in the same manner as in Example 1, except that the red pigment-dispersed ink, the green pigment-dispersed ink, and the blue pigment-dispersed ink produced in the above-described Examples 1 to 3 were used. The prepared coating solution containing the color pigment was applied to a glass substrate by a spin coater so that the dry film thickness became 1.3 μm, and dried. Next, a developing solution comprising an aqueous solution containing 0.2% by weight of potassium hydroxide and 0.5% by weight of a nonionic surfactant is exposed by using a colored pixel negative mask that is repeated at a pitch of 100 μm in width, 300 μm in height, and 30 μm. , Development was stopped with pure water, and rinsed with water spray to form colored pixels. Thereafter, the sample was heat-treated at 200 ° C. for 10 minutes to be thermally cured. The obtained colored pixel had a sharp edge shape and an appropriate tapered shape. No surface film roughness was observed during development, and no decrease in film thickness was observed. In addition, the reproducibility of fine lines is 10 μm.
Below, the image quality was good. On the other hand, in Examples 2 to 4, when pentaerythritol tetrakisthiopropionate was changed to 2-mercaptobenzthiazole (Comparative Examples 3 to 5), the film thickness was reduced by about 3 to 10%.

【0064】実施例5、6 ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート
(T−1)の添加量を1.0重量%(実施例5)又は
3.0重量%(実施例6)に変更し、実施例1と同様に
行った(但し全固形分量はバインダ樹脂にて調整し
た)。適正露光量は、それぞれ150mj/cm2 、2
5mj/cm2 であり画質も10μm以下を再現でき
た。また、現像時の表面荒れも観察されず、表面は光沢
をもっていた。実施例及び比較例の組成物の各成分の割
合及び評価結果を以下の表−5に示す。尚、表中の重量
%は全固形分に対する割合を示す。尚、顔料濃度、透過
濃度適性露光量及び画質は次の意味又は評価方を示す。
Examples 5 and 6 The amount of pentaerythritol tetrakisthiopropionate (T-1) was changed to 1.0% by weight (Example 5) or 3.0% by weight (Example 6). It carried out like Example 1 (however, the total solid content was adjusted with the binder resin). Appropriate exposure doses are 150 mj / cm 2 and 2 respectively.
The image quality was 5 mj / cm 2 and the image quality was 10 μm or less. No surface roughness was observed during development, and the surface was glossy. The ratios of the components of the compositions of Examples and Comparative Examples and the evaluation results are shown in Table 5 below. In addition, the weight% in the table indicates the ratio to the total solid content. The pigment density, transmission density suitable exposure amount and image quality have the following meanings or evaluation methods.

【0065】[顔料濃度]各色材料含有光重合性塗布液
の固形分中に含有されている各顔料の割合。 顔料濃度=顔料の重量/全固形分重量 [透過濃度]マクベス濃度計TR−927を用いて、試
料の透過濃度(ABS)を測定した。また、試料の感光
層の膜厚をテンコール・インスツルメント社製αーステ
ップにより測定し( )内に記載した。
[Pigment concentration] The ratio of each pigment contained in the solid content of the photopolymerizable coating solution containing each color material. Pigment concentration = Pigment weight / Total solid content weight [Transmission density] The transmission density (ABS) of the sample was measured using Macbeth densitometer TR-927. Further, the thickness of the photosensitive layer of the sample was measured by α-step manufactured by Tencor Instruments, Inc., and the results are shown in parentheses.

【0066】[適正露光量]ガラス基板上に色材料含有
光重合性塗布液を塗布、乾燥させた後、ウグラテストチ
ャートを試料上に置き、該チャートの上より各種露光量
を変化させながら3Kw超高圧水銀灯により露光した
後、現像処理を施し、得られたウグラテストチャート画
像中の細線画像の最も細いポジとネガの線幅が同じにな
る時の露光量。 [画質]前記と同様の方法により、ガラス基板上に色材
料含有光重合性塗布液を塗布、乾燥させた後、ウグラテ
ストチャートを用いて適正露光量で露光し、標準現像液
を用いて現像処理を行い着色画像を形成させた。該着色
画像の中の細線画像を400倍の顕微鏡で観察し、再現
されている最も細い細線の線幅より、画質を下記基準で
評価した。細い細線が再現されているほど良好な画質を
示している。 A:10μm以下の線幅の細線が再現されている。 B:10〜15μmの線幅の細線が再現されている。 C:15〜25μmの線幅の細線が再現されている。 D:25μm以上の線幅の細線が再現されている。
[Appropriate Exposure Amount] After a photopolymerizable coating solution containing a color material is applied on a glass substrate and dried, a Ugra test chart is placed on a sample, and various exposure amounts are changed from above the chart. Exposure amount when the line width of the thinnest positive and negative lines of the thin line image in the obtained Ugura test chart image becomes the same after exposure with a 3 Kw ultra-high pressure mercury lamp and development processing. [Image quality] In the same manner as described above, a color material-containing photopolymerizable coating solution is applied to a glass substrate and dried, and then exposed at an appropriate exposure amount using a Ugra test chart, and using a standard developing solution. A development process was performed to form a colored image. The fine line image in the colored image was observed with a microscope of 400 times, and the image quality was evaluated based on the following criteria based on the line width of the thinnest fine line reproduced. The finer the line, the better the image quality. A: A fine line having a line width of 10 μm or less is reproduced. B: A fine line having a line width of 10 to 15 μm is reproduced. C: A fine line having a line width of 15 to 25 μm is reproduced. D: A fine line having a line width of 25 μm or more is reproduced.

【0067】[0067]

【表5】 [Table 5]

【0068】実施例7〜9 ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート
(T−1)をトリメチロールプロパントリスチオプロピ
オネート(T−3)に変更し、添加量を1.0重量%、
2.0重量%又は3.0重量%に変更し実施例1と同様
に行った(但し、全固形分量はバインダ樹脂にて調整し
た)。適正露光量は、それぞれ200mj/cm2 、5
5mj/cm2 、5mj/cm2 であり画質も10μm
以下を再現できた。また、現像時の表面荒れも観察され
ず、表面は光沢をもち、現像ラチチュードは10秒以上
であった。。
Examples 7 to 9 Pentaerythritol tetrakisthiopropionate (T-1) was changed to trimethylolpropane tristhiopropionate (T-3), and the added amount was 1.0% by weight.
The procedure was performed in the same manner as in Example 1 except that the content was changed to 2.0% by weight or 3.0% by weight (however, the total solid content was adjusted with a binder resin). Appropriate exposure doses are 200 mj / cm 2 , 5
5 mj / cm 2 , 5 mj / cm 2 and image quality is 10 μm
The following could be reproduced. No surface roughness during development was observed, the surface was glossy, and the development latitude was 10 seconds or more. .

【0069】実施例10 上記実施例1と同様にしてガラス基板上にブラックマト
リクスを形成後、そのガラス基板上に上記実施例2〜4
と同様の条件で赤、緑、青3色の画素を順次形成しカラ
ーフィルターを作製した。得られたカラーフィルター
は、高精細で色滲みがない高品質なものであった。
Example 10 After a black matrix was formed on a glass substrate in the same manner as in Example 1 above, Examples 2 to 4 were formed on the glass substrate.
Under the same conditions as above, three color pixels of red, green and blue were sequentially formed to produce a color filter. The obtained color filter was of high quality with high definition and no color bleeding.

【0070】[0070]

【発明の効果】本発明によれば、顔料分散レジストの感
度を大幅に向上させることができると共に、解像性、現
像性に優れ、高精度で高遮光率のブラックマトリクスを
製造できる遮光膜用光重合性組成物及び高色濃度のカラ
ーフィルターを製造できるカラーフィルタ用光重合組成
物を提供でき、また、得られた光重合性組成物は保存安
定性にも優れる。特に、遮光率の高いブラックマトリク
スを製造でき、より高精細な色滲みのないカラーフィル
ターを提供することができる。
According to the present invention, it is possible to greatly improve the sensitivity of a pigment-dispersed resist, and at the same time, it is excellent in resolution and developability, and is capable of producing a black matrix with high precision and high light blocking ratio. It is possible to provide a photopolymerizable composition and a photopolymerizable composition for a color filter capable of producing a color filter having a high color density, and the obtained photopolymerizable composition has excellent storage stability. In particular, a black matrix having a high light-shielding rate can be manufactured, and a higher-definition color filter without color bleeding can be provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI // C08F 2/50 C08F 2/50 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI // C08F 2/50 C08F 2/50

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)バインダ樹脂、(b)エチレン性
不飽和二重結合を少なくとも1個有する化合物、(c)
光重合開始剤系、(d)色材料、及び(e)溶剤を含有
するカラーフィルター用光重合性組成物において、該光
重合開始剤系が多官能チオール化合物を含有し、該多官
能チオール化合物の含有量が光重合性組成物の全固形分
に対して0.01〜7重量%であることを特徴とするカ
ラーフィルター用光重合性組成物。
1. A binder resin, (b) a compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, (c)
In a photopolymerizable composition for a color filter containing a photopolymerization initiator system, (d) a color material, and (e) a solvent, the photopolymerization initiator system contains a polyfunctional thiol compound, and the polyfunctional thiol compound Is from 0.01 to 7% by weight based on the total solid content of the photopolymerizable composition.
【請求項2】 多官能チオール化合物が脂肪族多官能チ
オール化合物であることを特徴とする請求項1記載のカ
ラーフィルター用光重合性組成物。
2. The photopolymerizable composition for a color filter according to claim 1, wherein the polyfunctional thiol compound is an aliphatic polyfunctional thiol compound.
【請求項3】 バインダ樹脂が側鎖にエチレン性不飽和
二重結合を有する有機高分子物質であることを特徴とす
る請求項1又は2記載のカラーフィルター用光重合性組
成物。
3. The photopolymerizable composition for a color filter according to claim 1, wherein the binder resin is an organic polymer having an ethylenically unsaturated double bond in a side chain.
【請求項4】 バインダ樹脂がエチレン性不飽和二重結
合とカルボキシル基とヒドロキシル基を有する共重合体
である請求項1〜3のいずれかに記載のカラーフィルタ
ー用光重合性組成物。
4. The photopolymerizable composition for a color filter according to claim 1, wherein the binder resin is a copolymer having an ethylenically unsaturated double bond, a carboxyl group and a hydroxyl group.
【請求項5】 バインダ樹脂がエチレン性不飽和二重結
合とカルボキシル基とヒドロキシル基を有するスチレン
系共重合体、又はアクリル系共重合体である請求項1〜
4のいずれかに記載のカラーフィルター用光重合性組成
物。
5. The binder resin according to claim 1, wherein the binder resin is a styrene-based copolymer having an ethylenically unsaturated double bond, a carboxyl group and a hydroxyl group, or an acrylic copolymer.
5. The photopolymerizable composition for a color filter according to any one of 4.
【請求項6】 透明基板上に請求項1〜5のいずれかに
記載のカラーフィルタ用光重合性組成物を塗布し、紫外
線又は遠紫外線リソグラフィーすることにより得られる
カラーフィルター。
6. A color filter obtained by applying the photopolymerizable composition for a color filter according to claim 1 on a transparent substrate and subjecting the composition to lithography with ultraviolet light or far ultraviolet light.
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