JPH10249675A - Machine tool having shape measuring function - Google Patents
Machine tool having shape measuring functionInfo
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- JPH10249675A JPH10249675A JP5337097A JP5337097A JPH10249675A JP H10249675 A JPH10249675 A JP H10249675A JP 5337097 A JP5337097 A JP 5337097A JP 5337097 A JP5337097 A JP 5337097A JP H10249675 A JPH10249675 A JP H10249675A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、形状測定機能を備え、
例えばサブミクロンオーダーの加工精度を必要とする非
球面加工等を行う超精密旋盤に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention has a shape measuring function,
For example, the present invention relates to an ultra-precision lathe that performs aspherical surface processing or the like that requires processing accuracy on the order of submicrons.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の工作機械において、図５
に示す特開昭６３−３０６８５６号に開示された技術が
ある。このものは、基台７１上に工作物Ｗを把持した主
軸台７３が支持されており、砥石７８により工作物Ｗが
加工される。そして、工作物Ｗの形状測定時には割出し
装置７５により主軸台７３を旋回させることにより形状
測定機７４の測定位置、つまりプローブ７７に整合する
位置に工作物Ｗを移動させる構成である。2. Description of the Related Art Conventionally, in this type of machine tool, FIG.
There is a technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-306856. In this apparatus, a headstock 73 holding a workpiece W is supported on a base 71, and the workpiece W is processed by a grindstone 78. When measuring the shape of the workpiece W, the indexing device 75 turns the headstock 73 to move the workpiece W to the measurement position of the shape measuring machine 74, that is, the position matching the probe 77.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
ては、図６に示すように主軸の回転中心軸Ｏ’回りに工
作物Ｗを回転させ、砥石７８により非球面形状に加工を
行うものであるため、加工された非球面形状はどの方向
からみても同一の非球面形状である。すなわち、工作物
ＷのＢ−Ｂ断面は必ず円形となる。従って、形状測定機
７４によりこの非球面形状を測定する際には、直径方向
に１パスのみ（さらに細かくいえば半径分のみ）の形状
測定で全体の非球面形状を把握することができた。In the above-mentioned prior art, as shown in FIG. 6, a workpiece W is rotated around a rotation center axis O 'of a main shaft, and is processed into an aspherical shape by a grindstone 78. For this reason, the processed aspherical shape has the same aspherical shape when viewed from any direction. That is, the BB cross section of the workpiece W is always circular. Therefore, when measuring the aspherical shape with the shape measuring device 74, the entire aspherical shape could be grasped by measuring the shape in only one pass in the diameter direction (more specifically, only for the radius).
【０００４】しかしながら、例えば図１に示すように、
工作物Ｗを正面（１）からみて左右方向のＡ−Ｂ方向
（２）および上下方向のＣ−Ｄ方向（３）から見た場
合、非球面形状が異なるような工作物Ｗにおいては、最
低でも直交する２方向（Ａ−Ｂ方向とＣ−Ｄ方向）の形
状測定を行わなければならない。従って、従来の１パス
のみの形状測定では全体の非球面形状を把握することが
できなかった。However, for example, as shown in FIG.
When the workpiece W is viewed from the front (1) in the AB direction (2) in the left-right direction and the CD direction (3) in the up-down direction, at least the workpiece W having an aspherical shape is different. However, shape measurement in two orthogonal directions (AB and CD) must be performed. Therefore, it was not possible to grasp the entire aspherical shape by the conventional shape measurement of only one pass.
【０００５】上記のような形状の工作物の場合には、機
上での形状測定が出来ないので、工作物を一端取り外し
て機外の測定機で測定しなければならない。すると、再
取り付け時に工作物Ｗの芯ずれがミクロンオーダーで発
生してしまうという問題があった。特に、超精密加工分
野ではミクロン単位の加工精度が必要となり、ミクロン
オーダーの芯ずれが生じると修正のため複数回の加工作
業が必要となる。この加工作業によりついには工具の摩
耗、工具の取り替え、セッティング等が必要となる。さ
らに、最悪の場合には削り過ぎにより不良品を出してし
まうことがあり、再取り付け時には細心の注意を払わな
ければならず加工時間が長くかかってしまうという問題
もあった。In the case of a workpiece having the above-mentioned shape, since the shape cannot be measured on the machine, it is necessary to remove the workpiece once and measure it with a measuring machine outside the machine. Then, there is a problem that the center deviation of the workpiece W occurs on the order of microns at the time of reattachment. In particular, in the field of ultra-precision processing, processing accuracy on the order of microns is required, and if misalignment on the order of microns occurs, multiple processing operations are required for correction. This machining operation eventually requires tool wear, tool replacement, setting, and the like. Furthermore, in the worst case, there is a problem that a defective product may be produced due to excessive shaving, and a great care must be taken at the time of reattachment, and a long processing time is required.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は上述した目的を
達成するためになされたものであり、基台と、前記基台
上に水平方向に進退移動可能に支持されたテーブルと、
前記テーブル上に取り付けられた保持台と、前記保持台
に支持され工作物を保持する工作物保持装置と、前記基
台または前記テーブルのいずれか一方に支持された形状
測定装置と、前記テーブルに対し相対移動可能に支持さ
れ、前記工作物を加工する工具を備えた工具台とを備え
た形状測定機能を備えた工作機械において、前記工作物
を保持したまま前記工作物保持装置を前記保持台に対し
て所定角度旋回させて前記形状測定装置の測定位置に工
作物を割り出す第１旋回割り出し装置と、前記工作物保
持装置の旋回する軸線に垂直な軸線回りに前記工作物を
前記工作物保持装置に対して所定角度旋回させる第２旋
回割り出し装置とを備えたことを特徴とするものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve the above-mentioned object, and comprises a base, a table supported on the base so as to be capable of moving forward and backward in a horizontal direction, and
A holding table mounted on the table, a work holding device supported by the holding table to hold a work, a shape measuring device supported on one of the base or the table, and A tool table provided with a tool for processing the workpiece, the tool holding apparatus comprising: a tool table having a tool for processing the workpiece; and A first turning indexing device for turning the workpiece to a measurement position of the shape measuring device by rotating the workpiece by a predetermined angle with respect to the workpiece, and holding the workpiece about an axis perpendicular to the axis of rotation of the workpiece holding device. A second turning index device for turning the device at a predetermined angle.
【０００７】[0007]
【実施例】本発明の実施例について図１乃至図４を用い
て説明する。図１は本願発明の形状測定装置を備えた工
作機械において、加工される工作物Ｗの一例を表す。こ
の工作物Ｗは、直交する２方向（Ａ−Ｂ方向とＣ−Ｄ方
向）の非球面形状が異なる光学部品であり、（１）は工
作物Ｗの非球面部から見た正面図を表し、（２）はＡ−
Ｂ方向から見た側面図を表し、（３）はＣ−Ｄ方向から
見た上面図を表している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 shows an example of a workpiece W to be machined in a machine tool provided with the shape measuring device of the present invention. The workpiece W is an optical component having different aspherical shapes in two orthogonal directions (AB and CD directions), and (1) is a front view of the workpiece W as viewed from the aspherical portion. , (2) is A-
The side view seen from the B direction is shown, (3) has shown the top view seen from the CD direction.
【０００８】図２及び図３において、１は基台であり、
この基台１上には工作物Ｗを保持する保持台３がテーブ
ル２を介して図面左右のＺ軸方向に移動自在に取り付け
られている。この保持台３に対向してコラム４がＺ軸に
直交したＸ軸方向に移動自在に基台１上に支持されてい
る。コラム４には工作物Ｗを加工する砥石３１を備えた
工具台３０が図面上下のＹ軸方向に移動自在に支持され
ている。これらテーブル２、コラム４、工具台３０はそ
れぞれサーボモータ５０、５１、３４により相対移動さ
れる。このサーボモータ５０、５１、３４は図略の制御
装置からの信号により制御され、テーブル２（Ｚ軸）、
コラム４（Ｘ軸）、工具台３０（Ｙ軸）が駆動される。
これらの動作と砥石３１の回転により３次元形状、すな
わち、図１に示すような非球面形状に工作物Ｗの加工が
行われる。In FIGS. 2 and 3, reference numeral 1 denotes a base;
A holding table 3 for holding a workpiece W is mounted on the base 1 via a table 2 so as to be movable in the left and right Z-axis directions in the drawing. A column 4 is supported on the base 1 so as to be movable in the X-axis direction orthogonal to the Z-axis so as to face the holding table 3. A tool table 30 provided with a grindstone 31 for processing a workpiece W is supported on the column 4 so as to be movable in the Y-axis direction in the upper and lower directions in the drawing. The table 2, column 4, and tool stand 30 are relatively moved by servomotors 50, 51, and 34, respectively. The servo motors 50, 51, and 34 are controlled by signals from a controller (not shown), and are controlled by a table 2 (Z axis),
The column 4 (X axis) and the tool table 30 (Y axis) are driven.
By these operations and the rotation of the grindstone 31, the workpiece W is processed into a three-dimensional shape, that is, an aspherical shape as shown in FIG.
【０００９】基台１には水平に支持された触針式形状測
定装置６が固定されており、この触針式形状測定装置６
は光源としてレーザ光を利用し、ハウジング４０の底部
にはプローブ４４が取り付けられたプローブホルダ４１
を有している。形状測定装置６の制御は図略の制御装置
により行われる。なお、この触針式形状測定装置６は工
作物Ｗの形状測定に支障がなければ、テーブル２上に支
持されていても良い。A stylus type shape measuring device 6 supported horizontally is fixed to the base 1.
Uses a laser beam as a light source, and a probe holder 41 on which a probe 44 is attached at the bottom of the housing 40.
have. The control of the shape measuring device 6 is performed by a control device (not shown). The stylus type shape measuring device 6 may be supported on the table 2 as long as the shape measurement of the workpiece W is not hindered.
【００１０】図４にこの触針式形状測定装置６の詳細を
示す。サーボモータ４２によりボールネジ４７を介して
Ｘ軸方向に進退移動するプローブホルダ４１と、このプ
ローブホルダ４１の先端には工作物Ｗと接触するプロー
ブ４４が設けられている。また、プローブホルダ４１を
支持するプローブ支持部材４３はピボットＰを中心に旋
回可能に支持され、端部には、変位検出用のレーザ式変
位検出器４５から発射されるレーザ光をレーザ式変位検
出器４５の図略の受光器へ反射させるためのプリズム４
６が設けられている。本実施例では上述のごとくレーザ
式変位検出器４５を用いた触針式形状測定装置６を用い
ているが、非接触形式や作動トランス形式等でも良い。FIG. 4 shows the details of the stylus type shape measuring device 6. A probe holder 41 that moves forward and backward in the X-axis direction via a ball screw 47 by a servomotor 42, and a probe 44 that contacts the workpiece W is provided at the tip of the probe holder 41. Further, a probe support member 43 supporting the probe holder 41 is supported so as to be pivotable about a pivot P, and a laser beam emitted from a laser type displacement detector 45 for displacement detection is provided at an end thereof. 4 for reflecting light to a light receiver (not shown) of the device 45
6 are provided. In the present embodiment, as described above, the stylus type shape measuring device 6 using the laser type displacement detector 45 is used, but a non-contact type or a working transformer type may be used.
【００１１】保持台３は、図２及び図３に示すように工
作物Ｗを保持する工作物保持装置１０と、この工作物保
持装置１０をＺ軸方向に直交した水平な軸線Ｏ1 回りに
旋回させ、工作物Ｗを触針式形状測定装置６のプローブ
ホルダ４１と整合するように割り出しを行う第１旋回割
り出し装置６０とからなる。工作物保持装置１０の両端
には、軸部１１ａ、１１ｂが突設し、この軸部１１ａ、
１１ｂを介して工作物保持装置１０を支持する支持部材
１３ａ、１３ｂがテーブル２に立設されている。支持部
材１３ａには、図略の制御装置からの信号に応じて軸部
１１ａを介して工作物保持装置１０を軸線Ｏ1 回りに所
望角度回転させるサーボモータ６１およびこの旋回角度
を検出するエンコーダー６２が設置されている。これら
サーボモータ６１、エンコーダー６２、図略の制御装置
により第１旋回割り出し装置６０が構成される。As shown in FIGS. 2 and 3, the holding table 3 holds a workpiece W for holding a workpiece W, and pivots the workpiece holding apparatus 10 about a horizontal axis O1 orthogonal to the Z-axis direction. And a first turning indexing device 60 for indexing the workpiece W so as to be aligned with the probe holder 41 of the stylus type shape measuring device 6. At both ends of the workpiece holding device 10, shaft portions 11a and 11b are protrudingly provided.
Support members 13a and 13b that support the workpiece holding device 10 via 11b are erected on the table 2. The support member 13a includes a servo motor 61 for rotating the workpiece holding device 10 around the axis O1 by a desired angle via the shaft portion 11a in response to a signal from a controller (not shown), and an encoder 62 for detecting the turning angle. is set up. The servo motor 61, the encoder 62, and a control device (not shown) constitute a first turning indexing device 60.
【００１２】工作物保持装置１０には、支持部材１３
ａ、１３ｂに旋回割り出し可能に支持されたハウジング
１５と、このハウジング１５内にベアリングにより回転
可能に軸承された回転軸２０と、この回転軸２０を軸線
Ｏ1 に直交した軸線Ｏ2 回りに所望角度旋回させる第２
旋回割り出し装置６５とから構成される。回転軸２０の
先端には、工作物Ｗを保持するチャック２１が取り付け
られている。ハウジング１５の後部には、ハウジング１
５に対して回転軸２０を軸線Ｏ2回りに旋回させるサー
ボモーター６３と、この回転軸２０の旋回角度を検出す
るエンコーダー６４が取り付けられており、図略の制御
装置により制御されて回転軸２０が所望角度、本実施例
においては９０°旋回される。The work holding device 10 includes a support member 13.
a housing 13 rotatably indexed to the housing 13a, 13b, a rotating shaft 20 rotatably supported by bearings in the housing 15, and a rotation of the rotating shaft 20 at a desired angle about an axis O2 orthogonal to the axis O1. Second
And a rotation indexing device 65. A chuck 21 for holding the workpiece W is attached to the tip of the rotating shaft 20. At the rear of the housing 15, the housing 1
A servomotor 63 for rotating the rotary shaft 20 around the axis O2 and an encoder 64 for detecting the rotation angle of the rotary shaft 20 are attached to the rotary shaft 5, and the rotary shaft 20 is controlled by a control device (not shown). It is turned at a desired angle, in this embodiment 90 °.
【００１３】上記サーボモータ６３とエンコーダ６４と
図略の制御装置により、工作物Ｗをハウジング１５に対
して所望角度旋回させる第２旋回割り出し装置６５が構
成される。次に本発明の形状測定機能付き工作機械の動
作を説明する。保持台３の先端のチャック２１に工作物
Ｗを装着した後、図２に示すように工作物Ｗが砥石３１
に対向する状態、つまり工作物保持装置１０の軸線Ｏ2
を水平にした状態において、駆動モータ３３により砥石
３１が駆動されて加工作業が行われる。The servo motor 63, the encoder 64, and a control device (not shown) constitute a second turning indexing device 65 for turning the workpiece W relative to the housing 15 by a desired angle. Next, the operation of the machine tool with a shape measuring function according to the present invention will be described. After the workpiece W is mounted on the chuck 21 at the tip of the holding table 3, the workpiece W is moved to the grindstone 31 as shown in FIG.
, That is, the axis O2 of the workpiece holding device 10.
In a state where is horizontal, the grindstone 31 is driven by the drive motor 33 to perform a processing operation.
【００１４】工作物Ｗに対する加工作業は、砥石３１お
よび工作物Ｗの相対移動をＺ軸方向についてはサーボモ
ータ５０によりテーブル２を移動し、Ｘ軸方向について
はサーボモータ５１によりコラム４を移動し、Ｙ軸方向
についてはサーボモータ３４により工具台３０を移動さ
せることにより制御する。加工段階または全加工工程終
了後、加工面の形状測定に移る。In the machining operation on the workpiece W, the table 2 is moved by the servomotor 50 in the Z-axis direction, and the column 4 is moved by the servomotor 51 in the X-axis direction. , The Y-axis direction is controlled by moving the tool table 30 by the servomotor 34. After the processing stage or all the processing steps are completed, the process proceeds to shape measurement of the processed surface.
【００１５】まず、第１旋回割り出し装置６５により工
作物保持装置１０が破線のように９０°旋回される。つ
まり、図略の制御装置からの信号を受けてサーボモータ
６１が作動し、かつ、エンコーダ６２により随時この旋
回角度を監視することにより自動的に９０°の角度にま
で工作物保持装置１０が割り出される。また、触針式形
状測定装置６のプローブホルダ４１の真下に工作物Ｗが
くるようにテーブル２が自動位置決めされる。First, the workpiece holding device 10 is turned 90 ° by the first turning indexing device 65 as shown by a broken line. That is, the servo motor 61 is operated in response to a signal from a control device (not shown), and the turning angle is monitored as needed by the encoder 62, whereby the workpiece holding device 10 is automatically divided into a 90 ° angle. Will be issued. Further, the table 2 is automatically positioned so that the workpiece W comes directly under the probe holder 41 of the stylus type shape measuring device 6.
【００１６】この状態で図４に示すように工作物Ｗにプ
ローブホルダ４１のプローブ４４を当接させ、サーボモ
ータ４２によってプローブホルダ４１をＸ軸方向に移動
させる。この時のレーザ式変位検出器４５の出力と予め
記憶された工作物Ｗの理想形状データとを比較すること
により形状測定が行われる。１方向の形状測定（例えば
Ａ−Ｂ方向）が終了すると、第２旋回割り出し装置６５
により回転軸２０が９０°旋回される。つまり、制御装
置からの信号を受けて工作物保持装置１０の後端のサー
ボモータ６３により回転軸２０が旋回することで、チャ
ック２１に保持された工作物Ｗが旋回する。この旋回角
度は、エンコーダ６４からの信号により制御装置が監視
することにより自動的に９０°の角度に割り出される。In this state, as shown in FIG. 4, the probe 44 of the probe holder 41 is brought into contact with the workpiece W, and the servo motor 42 moves the probe holder 41 in the X-axis direction. The shape is measured by comparing the output of the laser displacement detector 45 at this time with the ideal shape data of the workpiece W stored in advance. When the shape measurement in one direction (for example, the AB direction) is completed, the second turning indexing device 65
As a result, the rotating shaft 20 is turned by 90 °. In other words, the workpiece W held by the chuck 21 is turned by the rotation shaft 20 being turned by the servo motor 63 at the rear end of the work holding device 10 in response to a signal from the control device. The turning angle is automatically determined to 90 ° by the control device monitoring the signal from the encoder 64.
【００１７】そして、再度、直交した方向（Ｃ−Ｄ方
向）が触針式形状測定装置６により上述のごとく形状測
定が行われる。なお、本実施例では、第１旋回割り出し
装置６０により工作物保持装置１０を９０°上向きに旋
回させる例を示したが、形状測定装置６の測定条件、形
状測定装置６と保持台３の位置関係等に応じて、工作物
保持装置１０の旋回角度は適宜設定することができる。Then, the shape is measured again by the stylus type shape measuring device 6 in the orthogonal direction (CD direction) as described above. In the present embodiment, an example in which the workpiece holding device 10 is turned upward by 90 ° by the first turning indexing device 60 has been described. However, the measurement conditions of the shape measuring device 6 and the positions of the shape measuring device 6 and the holding table 3 are described. The turning angle of the workpiece holding device 10 can be appropriately set according to the relationship or the like.
【００１８】また、第１旋回割り出し装置６０および第
２旋回割り出し装置６５をサーボモータ６１、６３、エ
ンコーダ６２、６４により制御装置でもって自動的に旋
回させているが、従来の技術の特開昭６３−３０６８５
６号公報に開示されているように、手動操作で旋回動作
を行うようにしても良い。さらに、本実施例において
は、図１に示す２方向（Ａ−Ｂ、Ｃ−Ｄ）の非球面形状
の異なる工作物Ｗについての例を示したが、本発明の形
状測定機能を備えた工作機械によれば、形状測定時に工
作物Ｗを旋回させる第２旋回割り出し装置６５を有して
いるため、旋回角度を適宜換えることにより上述した実
施例のような直交する２方向だけでなく全ての角度方向
に対応することが可能である。The first turning indexing device 60 and the second turning indexing device 65 are automatically turned by a control device by servomotors 61 and 63 and encoders 62 and 64. 63-30685
As disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-206, the turning operation may be performed manually. Further, in the present embodiment, an example of the workpiece W having different aspherical shapes in two directions (AB, CD) shown in FIG. 1 has been described, but a workpiece having a shape measuring function of the present invention is provided. Since the machine has the second turning indexing device 65 that turns the workpiece W at the time of shape measurement, not only the two orthogonal directions as in the above-described embodiment but also all the It is possible to correspond to an angular direction.
【００１９】[0019]
【発明の効果】本発明によれば、工作物を保持したまま
で第１旋回割り出し装置により工作物保持装置を所定角
度旋回させて形状測定装置の測定位置に工作物を割り出
し、かつ、第１旋回割り出し装置の旋回軸に直交した軸
線回りに工作物を旋回させる第２旋回割り出し装置を備
えたものであるので、図１に示すような直交する２方向
の非球面形状が異なる工作物であっても取り外すことな
く、機上で直交する２方向の異なる非球面形状を測定で
きるので高精度に加工を行うことが可能である。また、
形状測定後、補正値の切り込みを行うだけで良いため、
加工時間の短縮が図れる。さらに、上述のような直交す
る２方向の形状測定だけでなく、全ての角度方向に対応
することができるため、複雑な形状の工作物の加工を機
上で高精度にかつ短時間に行うことができる。According to the present invention, the work holding device is turned by a predetermined angle by the first turning indexing device while holding the work and the work is indexed to the measurement position of the shape measuring device. Since the rotary indexing device is provided with the second rotary indexing device for turning the workpiece around an axis perpendicular to the rotary axis of the rotary indexing device, the workpiece has different aspherical shapes in two orthogonal directions as shown in FIG. Even if it is not removed, it is possible to measure different aspherical shapes in two directions orthogonal to each other on the machine, so that processing can be performed with high accuracy. Also,
After the shape measurement, you only need to cut the correction value.
Processing time can be reduced. Furthermore, not only the shape measurement in the two orthogonal directions as described above but also all the angle directions can be performed, so that a workpiece having a complicated shape can be machined with high accuracy and in a short time. Can be.
【図１】本発明の実施例における形状測定機能を備えた
工作機械により加工される工作物を表す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a workpiece processed by a machine tool having a shape measuring function according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例における形状測定機能を備えた
工作機械の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a machine tool having a shape measuring function according to the embodiment of the present invention.
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2;
【図４】本実施例の触針式形状測定装置の一部断面図で
ある。FIG. 4 is a partial cross-sectional view of a stylus type shape measuring apparatus according to the present embodiment.
【図５】従来の技術を表す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a conventional technique.
【図６】従来の技術を表す一部断面拡大図である。FIG. 6 is an enlarged partial cross-sectional view showing a conventional technique.
１ 基台 ２ テーブル ３ 保持台 ４ コラム １０ 工作物保持装置 １１ａ、１１ｂ 軸部 １３ａ、１３ｂ 支持部材 ２０ 回転軸 ２１ チャック ３０ 工具台 ３１ 砥石 ３４、５０、５１、６１、６３ サーボモータ ４１ プローブホルダ ４３ プローブ支持部材 ４４ プローブ ４５ レーザ式変位検出器 ４６ プリズム ４７ ボールネジ ６０ 第１旋回割り出し装置 ６２、６４ エンコーダ ６５ 第２旋回割り出し装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 Table 3 Holder 4 Column 10 Work holding device 11a, 11b Shaft part 13a, 13b Support member 20 Rotating shaft 21 Chuck 30 Tool table 31 Grinding stone 34, 50, 51, 61, 63 Servo motor 41 Probe holder 43 Probe support member 44 Probe 45 Laser displacement detector 46 Prism 47 Ball screw 60 First turning indexing device 62, 64 Encoder 65 Second turning indexing device
Claims (1)
動可能に支持されたテーブルと、前記テーブル上に取り
付けられた保持台と、前記保持台に支持され工作物を保
持する工作物保持装置と、前記基台または前記テーブル
のいずれか一方に支持された形状測定装置と、前記テー
ブルに対し相対移動可能に支持され、前記工作物を加工
する工具を備えた工具台とを備えた形状測定機能を備え
た工作機械において、 前記工作物を保持したまま前記工作物保持装置を前記保
持台に対して所定角度旋回させて前記形状測定装置の測
定位置に工作物を割り出す第１旋回割り出し装置と、前
記工作物保持装置の旋回する軸線に垂直な軸線回りに前
記工作物を前記工作物保持装置に対して所定角度旋回さ
せる第２旋回割り出し装置とを備えたことを特徴とする
形状測定機能を備えた工作機械。1. A base, a table supported on the base so as to be capable of moving forward and backward in a horizontal direction, a holding table mounted on the table, and a work supported by the holding table to hold a workpiece. An object holding device, a shape measuring device supported on one of the base and the table, and a tool table provided with a tool for processing the workpiece, the tool being supported to be relatively movable with respect to the table. A machine tool provided with a shape measuring function, wherein the work holding device is turned at a predetermined angle with respect to the holding table while holding the work and a first turning is performed to index the work to a measurement position of the shape measuring device. An indexing device; and a second turning indexing device for turning the workpiece by a predetermined angle with respect to the workpiece holding device around an axis perpendicular to the axis of rotation of the workpiece holding device. Machine tool equipped with that shape measurement function.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5337097A JPH10249675A (en) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | Machine tool having shape measuring function |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5337097A JPH10249675A (en) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | Machine tool having shape measuring function |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249675A true JPH10249675A (en) | 1998-09-22 |
Family
ID=12940938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5337097A Pending JPH10249675A (en) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | Machine tool having shape measuring function |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10249675A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107706736A (en) * | 2017-10-23 | 2018-02-16 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | Semiconductor laser fast axis collimation equipment |
| CN111546133A (en) * | 2015-03-17 | 2020-08-18 | 东芝机械株式会社 | Machine tool |
-
1997
- 1997-03-07 JP JP5337097A patent/JPH10249675A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111546133A (en) * | 2015-03-17 | 2020-08-18 | 东芝机械株式会社 | Machine tool |
| CN107706736A (en) * | 2017-10-23 | 2018-02-16 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | Semiconductor laser fast axis collimation equipment |
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