JPH10249464A - 溝付きスリーブの製造方法 - Google Patents
溝付きスリーブの製造方法Info
- Publication number
- JPH10249464A JPH10249464A JP5584697A JP5584697A JPH10249464A JP H10249464 A JPH10249464 A JP H10249464A JP 5584697 A JP5584697 A JP 5584697A JP 5584697 A JP5584697 A JP 5584697A JP H10249464 A JPH10249464 A JP H10249464A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sleeve
- groove
- thrust
- dynamic pressure
- bearing hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流体軸受に用いるスラスト板およびラジアル
動圧発生用の溝付きスリーブを安価かつ高精度に加工す
る。 【解決手段】 金属材料に金型10A,10Bを用いて
スラスト溝1Dを形成し、その後、切削加工により、ラ
ジアル軸受穴1Aの加工とスラスト軸受面の仕上げ加工
を行うことにより安価かつ高精度に加工できる。
動圧発生用の溝付きスリーブを安価かつ高精度に加工す
る。 【解決手段】 金属材料に金型10A,10Bを用いて
スラスト溝1Dを形成し、その後、切削加工により、ラ
ジアル軸受穴1Aの加工とスラスト軸受面の仕上げ加工
を行うことにより安価かつ高精度に加工できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】近年、民生機器に組み込まれ
るディスク回転装置は高速化、高精度化および長寿命化
が要求されており、動圧溝付き流体軸受が使われてい
る。本発明は、これら流体軸受の溝付きスリーブの製造
方法に関するものである。
るディスク回転装置は高速化、高精度化および長寿命化
が要求されており、動圧溝付き流体軸受が使われてい
る。本発明は、これら流体軸受の溝付きスリーブの製造
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】以下、図10〜図13を参照しながら、
従来の溝付きスリーブの製造方法について説明する。図
10は従来の溝付きスリーブの製造装置の断面図であ
る。ベース26に軸22Aが取り付けられ、軸22Aに
はフランジ23が上部ネジ22Bにより取り付けられて
いる。スリーブ21は軸22Aに対して回転自在であ
り、その略端部には図11に示すスラスト動圧溝24A
を有するリング24を有し、図12にしめすスラスト動
圧溝25Aを有するスラスト板25が固定されている。
スリーブ21の内周面にはラジアル動圧溝21Bを有
し、軸受部には、潤滑剤30が注入され、またスリーブ
21はロータ28とロータ磁石27が取り付けられ、ベ
ース26にはモータステータ29が取り付けられてい
る。
従来の溝付きスリーブの製造方法について説明する。図
10は従来の溝付きスリーブの製造装置の断面図であ
る。ベース26に軸22Aが取り付けられ、軸22Aに
はフランジ23が上部ネジ22Bにより取り付けられて
いる。スリーブ21は軸22Aに対して回転自在であ
り、その略端部には図11に示すスラスト動圧溝24A
を有するリング24を有し、図12にしめすスラスト動
圧溝25Aを有するスラスト板25が固定されている。
スリーブ21の内周面にはラジアル動圧溝21Bを有
し、軸受部には、潤滑剤30が注入され、またスリーブ
21はロータ28とロータ磁石27が取り付けられ、ベ
ース26にはモータステータ29が取り付けられてい
る。
【0003】以下、図10、図13に基づき、従来の溝
付きスリーブの製造方法の動作について説明する。図1
3は従来の溝付きスリーブの製造工程図である。図10
のスリーブ21は切削加工により加工され、内径には特
公平3−68768号公報に記載の硬質ボールを用いる
方法により、ラジアル溝の転造加工が行われる。上記し
た製造方法によって溝付きスリーブが低コストで高精度
に製造できる。また、図10においてモータステータ2
9に電流が流れると、ロータ磁石27に回転力が与えら
れ、ロータ28、スリーブ21、スラスト板25と共
に、回転する。この時、ラジアル動圧溝21Bと、スラ
スト動圧溝24Aと、25Aは潤滑剤30をかき集め、
圧力を発生するために軸22Aと非接触で回転する。
付きスリーブの製造方法の動作について説明する。図1
3は従来の溝付きスリーブの製造工程図である。図10
のスリーブ21は切削加工により加工され、内径には特
公平3−68768号公報に記載の硬質ボールを用いる
方法により、ラジアル溝の転造加工が行われる。上記し
た製造方法によって溝付きスリーブが低コストで高精度
に製造できる。また、図10においてモータステータ2
9に電流が流れると、ロータ磁石27に回転力が与えら
れ、ロータ28、スリーブ21、スラスト板25と共
に、回転する。この時、ラジアル動圧溝21Bと、スラ
スト動圧溝24Aと、25Aは潤滑剤30をかき集め、
圧力を発生するために軸22Aと非接触で回転する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、次の様な問題点がある。図10において
スラスト動圧溝24Aを有するリング24はスリーブ2
1に取り付けられているが、リング24が独立部品とし
て存在するために、部品点数が多くてコスト高であり、
また、リング24とフランジ23との間の軸受隙間は1
〜3ミクロンメータと微小な隙間であるが、リング24
の取り付けガタ等により、数ミクロンメータ傾いて取り
付けられるために、リング24とフランジ23がコスレ
て軸受が回転できないという事があった。
うな構成では、次の様な問題点がある。図10において
スラスト動圧溝24Aを有するリング24はスリーブ2
1に取り付けられているが、リング24が独立部品とし
て存在するために、部品点数が多くてコスト高であり、
また、リング24とフランジ23との間の軸受隙間は1
〜3ミクロンメータと微小な隙間であるが、リング24
の取り付けガタ等により、数ミクロンメータ傾いて取り
付けられるために、リング24とフランジ23がコスレ
て軸受が回転できないという事があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の溝付きスリーブの製造方法は、金属材料に
鍛造または、ダイキャストまたは、金属射出加工法によ
り、スラスト溝を形成し、その後に切削加工によりラジ
アル軸受穴の加工と、スラスト軸受面の仕上げ加工を施
している。また必要に応じて、ラジアル軸受穴にラジア
ル溝を加工し、また必要に応じて、硬質メッキ加工およ
び、さらに必要に応じてメッキ後にボールバニッシュ加
工をしたものである。
めに本発明の溝付きスリーブの製造方法は、金属材料に
鍛造または、ダイキャストまたは、金属射出加工法によ
り、スラスト溝を形成し、その後に切削加工によりラジ
アル軸受穴の加工と、スラスト軸受面の仕上げ加工を施
している。また必要に応じて、ラジアル軸受穴にラジア
ル溝を加工し、また必要に応じて、硬質メッキ加工およ
び、さらに必要に応じてメッキ後にボールバニッシュ加
工をしたものである。
【0006】本発明は、上記した構成によって溝付きス
リーブが低コストで高精度に製造できる。
リーブが低コストで高精度に製造できる。
【0007】
【発明の実施の形態】以下本発明の一実施形態の溝付き
スリーブの製造方法について、図1〜図7を参照しなが
ら説明する。図1は本発明の溝付きスリーブの製造方法
に基づくスリーブ1を用いた流体軸受装置である。ベー
ス5に軸2が固定され、軸2にはフランジ3が圧入さ
れ、また上部ネジ2Aが取り付けられている。軸2には
スリーブ1が回転自在に填め合わされ、上部にはスラス
ト動圧溝4Aを有するスラスト板4が取り付けられてい
る。スリーブ1にはロータハブ8と、ロータ磁石7が取
り付けられ、またベース5にはモータステータ6が取り
付けられている。スリーブ1の内周面にはラジアル動圧
溝1Bが形成され、スラスト動圧溝1D、4Aと共に、
潤滑剤9が注入されている。図2においては10Aは上
金型、10Bは下金型であり、図3はスラスト溝形成部
10Cを有する上金型10Aであり、図4において11
は、旋盤等の切削加工機のチャック、12と13はバイ
トである。
スリーブの製造方法について、図1〜図7を参照しなが
ら説明する。図1は本発明の溝付きスリーブの製造方法
に基づくスリーブ1を用いた流体軸受装置である。ベー
ス5に軸2が固定され、軸2にはフランジ3が圧入さ
れ、また上部ネジ2Aが取り付けられている。軸2には
スリーブ1が回転自在に填め合わされ、上部にはスラス
ト動圧溝4Aを有するスラスト板4が取り付けられてい
る。スリーブ1にはロータハブ8と、ロータ磁石7が取
り付けられ、またベース5にはモータステータ6が取り
付けられている。スリーブ1の内周面にはラジアル動圧
溝1Bが形成され、スラスト動圧溝1D、4Aと共に、
潤滑剤9が注入されている。図2においては10Aは上
金型、10Bは下金型であり、図3はスラスト溝形成部
10Cを有する上金型10Aであり、図4において11
は、旋盤等の切削加工機のチャック、12と13はバイ
トである。
【0008】以上の様に構成された溝付きスリーブの製
造方法について、図1〜図7を用いてその製造方法およ
び動作について説明する。図1は、本発明に基づくスリ
ーブ1を用いた流体軸受装置である。モータステータ6
に通電がされると、ロータ磁石7に回転力が与えられ、
ロータ磁石7、ロータハブ8、スリーブ1、スラスト板
4は回転する。この時、ラジアル動圧溝1B、スラスト
動圧溝1D、4Aは潤滑剤9を掻き集め、圧力を発生す
るので、浮上して、非接触で回転する。次ぎに、図2に
おいてスリーブ1は、上金型10Aと下金型10Bとの
間で、プレス鍛造または、ダイキャスト、または金属射
出成形により形成される。この時、上金型10Aまた
は、下金型10Bの少なくともいずれか一方には、図3
に示す、例えばヘリングボーン形状のスラスト溝形成部
を有し、プレス鍛造またはダイキャスト、または、金属
射出成形と同時加工でスリーブ1のスラスト動圧溝1D
が形成される。次ぎに、図4に示すようにスリーブ1は
旋盤または、切削加工機のチャック11に取り付けら
れ、回転され、バイト12により、ラジアル軸受穴1F
が加工され、バイト13によりスラスト動圧溝1Dを有
する平面が加工される。この時、スラスト動圧溝1D
は、加工後に、設定された溝深さ(例えば5〜10ミク
ロンメータ)が残るように加工される。
造方法について、図1〜図7を用いてその製造方法およ
び動作について説明する。図1は、本発明に基づくスリ
ーブ1を用いた流体軸受装置である。モータステータ6
に通電がされると、ロータ磁石7に回転力が与えられ、
ロータ磁石7、ロータハブ8、スリーブ1、スラスト板
4は回転する。この時、ラジアル動圧溝1B、スラスト
動圧溝1D、4Aは潤滑剤9を掻き集め、圧力を発生す
るので、浮上して、非接触で回転する。次ぎに、図2に
おいてスリーブ1は、上金型10Aと下金型10Bとの
間で、プレス鍛造または、ダイキャスト、または金属射
出成形により形成される。この時、上金型10Aまた
は、下金型10Bの少なくともいずれか一方には、図3
に示す、例えばヘリングボーン形状のスラスト溝形成部
を有し、プレス鍛造またはダイキャスト、または、金属
射出成形と同時加工でスリーブ1のスラスト動圧溝1D
が形成される。次ぎに、図4に示すようにスリーブ1は
旋盤または、切削加工機のチャック11に取り付けら
れ、回転され、バイト12により、ラジアル軸受穴1F
が加工され、バイト13によりスラスト動圧溝1Dを有
する平面が加工される。この時、スラスト動圧溝1D
は、加工後に、設定された溝深さ(例えば5〜10ミク
ロンメータ)が残るように加工される。
【0009】さらに、このスリーブ1の内径には、必要
に応じて、図示しない、バイトまたは、図5に示す溝加
工ツール14により、ラジアル動圧溝1Bが加工され
る。溝加工ツール14はシャンク14Aに硬質な、転造
ボール14Bを複数個取り付けたものであり、ボール1
4Bがスリーブ1の内周面に、強く押しつけられて動圧
発生溝1Bを塑性加工するものである。
に応じて、図示しない、バイトまたは、図5に示す溝加
工ツール14により、ラジアル動圧溝1Bが加工され
る。溝加工ツール14はシャンク14Aに硬質な、転造
ボール14Bを複数個取り付けたものであり、ボール1
4Bがスリーブ1の内周面に、強く押しつけられて動圧
発生溝1Bを塑性加工するものである。
【0010】さらに、スリーブ1は、この種の流体軸受
が長寿命を要求される場合には、硬質メッキが施され
る。この場合、メッキ厚さの均一性が良く、充分な硬度
を有しているという点からニッケル系の無電解メッキが
適切である。
が長寿命を要求される場合には、硬質メッキが施され
る。この場合、メッキ厚さの均一性が良く、充分な硬度
を有しているという点からニッケル系の無電解メッキが
適切である。
【0011】さらにこのスリーブ1は必要に応じて、メ
ッキ加工後に軸受穴1Fに図6に示すようにボール15
が押し圧ピン16で押し通され、いわゆるバニッシュ加
工が行われる。これによりメッキ加工段階で生じる汚れ
や、付着したゴミやバリを除去し、清浄にする事によ
り、ゴミのカミ混みのない、信頼性の高い図1の流体軸
受装置と、これに使われる溝付きスリーブ1を製造する
事ができる。図7はスリーブ1の製造工程を示してい
る。
ッキ加工後に軸受穴1Fに図6に示すようにボール15
が押し圧ピン16で押し通され、いわゆるバニッシュ加
工が行われる。これによりメッキ加工段階で生じる汚れ
や、付着したゴミやバリを除去し、清浄にする事によ
り、ゴミのカミ混みのない、信頼性の高い図1の流体軸
受装置と、これに使われる溝付きスリーブ1を製造する
事ができる。図7はスリーブ1の製造工程を示してい
る。
【0012】以下に図8に従い、本発明の第2の実施形
態における溝付きスリーブの製造方法について説明す
る。図8において軸18Aは、その両端にフランジ19
A,19Bを有し、上部ネジ18Bと下部ネジ18Cに
より固定されている。スリーブ17は軸18Aに対し
て、回転自在に設けられており、両端部にはスラスト動
圧溝17A,17Bを有し、また必要に応じ、ラジアル
動圧溝17Cを有している。スラスト動圧溝17A,1
7Bとラジアル動圧溝17Cには潤滑剤9が注入されて
いる。20A,20Bはカバーである。
態における溝付きスリーブの製造方法について説明す
る。図8において軸18Aは、その両端にフランジ19
A,19Bを有し、上部ネジ18Bと下部ネジ18Cに
より固定されている。スリーブ17は軸18Aに対し
て、回転自在に設けられており、両端部にはスラスト動
圧溝17A,17Bを有し、また必要に応じ、ラジアル
動圧溝17Cを有している。スラスト動圧溝17A,1
7Bとラジアル動圧溝17Cには潤滑剤9が注入されて
いる。20A,20Bはカバーである。
【0013】以下図8〜図9に従い、本発明の第2の実
施形態における溝付きスリーブの動作と加工法について
説明する。軸18Aまたは、スリーブ17の少なくとも
いずれか一方が図示しない円筒状のモータ磁石等により
回転させられるとスラスト動圧溝17A,17Bとラジ
アル動圧溝17Cは潤滑剤9を掻き集めて圧力を発生
し、軸18Aとスリーブ17とは非接触で相対的に回転
する。また図9においてスリーブ17は、上金型10D
と下金型10Eの間で鍛造等の方法によりスラスト動圧
溝17A,17Bが形成される。この方法により部品点
数が少なく、精度が良好な溝付きスリーブの加工がおこ
なえる。
施形態における溝付きスリーブの動作と加工法について
説明する。軸18Aまたは、スリーブ17の少なくとも
いずれか一方が図示しない円筒状のモータ磁石等により
回転させられるとスラスト動圧溝17A,17Bとラジ
アル動圧溝17Cは潤滑剤9を掻き集めて圧力を発生
し、軸18Aとスリーブ17とは非接触で相対的に回転
する。また図9においてスリーブ17は、上金型10D
と下金型10Eの間で鍛造等の方法によりスラスト動圧
溝17A,17Bが形成される。この方法により部品点
数が少なく、精度が良好な溝付きスリーブの加工がおこ
なえる。
【0014】尚、図1においてラジアル動圧溝1Bはス
リーブ1の内周面でなく、軸2の外周面に設けられても
同じである。
リーブ1の内周面でなく、軸2の外周面に設けられても
同じである。
【0015】尚、図1においてスラスト動圧溝4Aはス
ラスト板4の下面ではなく、フランジ3の上面に形成さ
れても同じである。
ラスト板4の下面ではなく、フランジ3の上面に形成さ
れても同じである。
【0016】
【発明の効果】以上のように本発明の溝付きスリーブの
製造方法によれば流体軸受の溝付きスリーブを、スラス
ト溝と一体に加工できるので部品点数が削減でき低コス
トで製作できる。また別部材のスラスト動圧溝24Aを
有するリング24を取り付けるよりも、高精度に軸受が
構成でき、性能と信頼性が良好な流体軸受が構成でき
る。
製造方法によれば流体軸受の溝付きスリーブを、スラス
ト溝と一体に加工できるので部品点数が削減でき低コス
トで製作できる。また別部材のスラスト動圧溝24Aを
有するリング24を取り付けるよりも、高精度に軸受が
構成でき、性能と信頼性が良好な流体軸受が構成でき
る。
【図1】本発明の第1の実施形態における溝付きスリー
ブの製造方法に基づく溝付きスリーブを用いた流体軸受
装置の断面図
ブの製造方法に基づく溝付きスリーブを用いた流体軸受
装置の断面図
【図2】本発明の第1の実施形態における溝付きスリー
ブの製造に用いる金型の断面図
ブの製造に用いる金型の断面図
【図3】図2に示す金型のスラスト溝形成部の図
【図4】本発明の第1の実施形態における溝付きスリー
ブの製造における切削加工の説明図
ブの製造における切削加工の説明図
【図5】図4に示すスリーブの切削加工後に行うラジア
ル動圧溝加工の説明図
ル動圧溝加工の説明図
【図6】本発明の第1の実施形態におけるボールバニッ
シュ加工の説明図
シュ加工の説明図
【図7】本発明の第1の実施形態における溝付きスリー
ブの製造工程図
ブの製造工程図
【図8】本発明の第2の実施形態における溝付きスリー
ブの製造方法に基づく溝付きスリーブを用いた流体軸受
装置の断面図
ブの製造方法に基づく溝付きスリーブを用いた流体軸受
装置の断面図
【図9】本発明第2の実施形態における溝付きスリーブ
の製造に用いる金型の断面図
の製造に用いる金型の断面図
【図10】従来の製造方法に基づくスリーブを用いた流
体軸受装置断面図
体軸受装置断面図
【図11】図10に示す流体軸受装置に用いるリングの
図
図
【図12】図10に示す流体軸受装置に用いるスラスト
板の図
板の図
【図13】従来のスリーブの製造工程図
1,17 スリーブ 1A ラジアル軸受穴 1B,17A,17B ラジアル動圧溝 1D スラスト動圧溝 4A スラスト動圧溝 10A 上金型 10B 下金型 15 ボール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 英明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 斎藤 浩昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項1】上金型と下金型の少なくともいずれか一方
に設けたスラスト溝形成部により、前記上金型と下金型
との間で金属材料より形成されるスリーブブランクに対
してスラスト溝を加工し、次ぎに、前記スリーブブラン
クに対し切削加工によりラジアル軸受穴の加工と前記ス
ラスト溝加工面の仕上げ加工を行う溝付きスリーブの製
造方法。 - 【請求項2】上金型と下金型の少なくともいずれか一方
に設けたスラスト溝形成部により、前記上金型と下金型
との間で金属材料を鍛造するか、もしくは溶融金属を注
入して形成されるスリーブブランクに対してスラスト溝
を加工し、次ぎに、前記スリーブブランクに対し切削加
工によりラジアル軸受穴の加工と前記スラスト溝加工面
の仕上げ加工を行う溝付きスリーブの製造方法。 - 【請求項3】スリーブブランクのラジアル軸受穴内面
に、切削加工または、転造加工によりラジアル溝を形成
する請求項1、又は2記載の溝付きスリーブの製造方
法。 - 【請求項4】切削加工によりスリーブブランクにラジア
ル軸受穴の加工とスラスト溝加工面の仕上げ加工を行
い、前記スリーブブランクの材質より硬質なメッキを施
す請求項1、又は2、又は3記載の溝付きスリーブの製
造方法。 - 【請求項5】メッキ加工の後に、ラジアル軸受穴にボー
ルを圧入してバニッシュ加工を行う請求項4記載の溝付
きスリーブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5584697A JPH10249464A (ja) | 1997-03-11 | 1997-03-11 | 溝付きスリーブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5584697A JPH10249464A (ja) | 1997-03-11 | 1997-03-11 | 溝付きスリーブの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10249464A true JPH10249464A (ja) | 1998-09-22 |
Family
ID=13010401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5584697A Pending JPH10249464A (ja) | 1997-03-11 | 1997-03-11 | 溝付きスリーブの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10249464A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006322512A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Ntn Corp | 軸受、この軸受を用いた軸受装置、及び軸受装置を用いたモータ |
CN102489628A (zh) * | 2011-12-12 | 2012-06-13 | 镇江希西维轴承有限公司 | 一种轴承外圈自动冲压油槽及卸料装置 |
-
1997
- 1997-03-11 JP JP5584697A patent/JPH10249464A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006322512A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Ntn Corp | 軸受、この軸受を用いた軸受装置、及び軸受装置を用いたモータ |
CN102489628A (zh) * | 2011-12-12 | 2012-06-13 | 镇江希西维轴承有限公司 | 一种轴承外圈自动冲压油槽及卸料装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4263993B2 (ja) | 蓋付きクロスローラ軸受の製造方法 | |
JPH02179238A (ja) | 電動機の軸受保持部構造 | |
US6554476B2 (en) | Dynamic pressure bearing device and method of manufacturing the same | |
JP2003307221A (ja) | 動圧型軸受装置の製造方法 | |
US20030200646A1 (en) | Manufacturing method for a spindle motor rotor hub | |
JP3751794B2 (ja) | ラジアル軸受の製造装置、及び製造用加工工具、並びに製造方法 | |
JPH10249464A (ja) | 溝付きスリーブの製造方法 | |
US20010025420A1 (en) | Working tool for manufacturing bearing member, manufacturing apparatus incorporating the same and manufacturing method using the same | |
JP2001317545A (ja) | 動圧軸受装置およびその製造方法 | |
US5924798A (en) | Hydrodynamic bearing apparatus and method for manufacturing thereof | |
JP2012031969A (ja) | 流体動圧軸受装置用のハブ一体軸及びその製造方法 | |
JPH0349648B2 (ja) | ||
US6341896B1 (en) | Hydrodynamic bearing and method of manufacturing the same | |
JPH11104781A (ja) | 溝付き軸受の加工方法および装置 | |
US6578454B2 (en) | Machining process for hydrodynamic bearing | |
JP3769845B2 (ja) | 動圧溝付き軸受の加工方法 | |
JP2001263355A (ja) | 動圧溝付き軸受スリーブの加工方法 | |
JP2001116047A (ja) | 流体軸受装置とその製造方法 | |
JP3744082B2 (ja) | 動圧発生溝加工方法および装置 | |
JPS6213812A (ja) | 動圧型流体軸受 | |
JPS63245316A (ja) | 軸受溝形成方法 | |
RU2434732C2 (ru) | Способ иглофрезерной и упрочняющей обработки | |
RU2438850C2 (ru) | Комбинированный иглофрезерно-упрочняющий инструмент | |
JP2000257635A (ja) | スラスト流体軸受の製造方法及びこれを用いた流体軸受装置 | |
JP3625637B2 (ja) | 動圧型軸受の製造方法 |