JPH10247468A - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 透過型電子顕微鏡の画像上で試料の長さを簡
単かつ正確に測定する。 【解決手段】 試料１０３を透過した電子による電子線
像シンチレータ１０７で受け、シンチレータ上の光像を
撮像手段１０９によってデジタル画像として取り込み、
表示装置１２２に表示する。中央演算装置１２２は、レ
ンズ系を制御する制御系１２１からの倍率情報と、シン
チレータ位置の倍率基準位置よりの偏差から生じる倍率
変化率と、シンチレータ上の光像を撮像手段に投影する
光学系１０８の倍率と、撮像手段の撮像面１１０上での
１画素の大きさをもとに、デジタル画像の画素の長さを
演算する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料の微小領域の
計測を行うことのできる透過型電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】透過型電子顕微鏡は、試料を透過した電
子線を電子レンズを用いて結像して試料の拡大像を得る
装置であり、試料内部の形態観察、電子線回折による結
晶解析、元素の定量分析等に適した装置である。透過型
電子顕微鏡を利用する分野では、試料の拡大像、例えば
１００万倍に拡大した試料微小領域の寸法を測定したい
との要求が強い。従来このような場合、電子顕微鏡内に
装着されているフィルムに試料拡大像を撮影して画像記
録を行い、同時にフィルム上に撮影倍率を記録する。続
いてフィルムを現像し、次にフィルムを印画紙に光学的
に引き延ばして焼き付ける。そして、この最終像の中で
関心のある部分の長さを定規で測定し、その測定値と撮
影倍率及び引き延ばし倍率をもとに計算によって最終的
な長さを求めている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この従来のフィルムに
撮影した試料拡大像を印画紙に焼き付け、印画紙上で実
測した長さを撮影倍率、引き延ばし倍率で除算して実際
の長さを計算する方法では、結果を得るために約１日も
の長時間を要する上に、ヒューマンエラーの可能性があ
り精度も信頼性に乏しいという問題がある。また、試料
の位置が光軸方向にずれた場合、焦点が変わり、倍率も
変わってしまうという問題があった。

【０００４】本発明は、このように時間がかかる上に測
定精度の点で信頼性に欠ける従来の透過型電子顕微鏡の
微小部分計測機能を改良しようとするものであり、高速
かつ高精度の微小部分計測機能を有する透過型電子顕微
鏡を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の透過型電子顕微
鏡は、試料を透過した電子線の拡大像をシンチレータ上
に形成し、これをＣＣＤなどの撮像素子を使って光学的
な画像を電気信号として扱えるカメラで撮影する。撮影
された画像は、Ａ／Ｄ変換されてデジタル画像としてメ
モリに記録される。メモリに記録された画像は、中央演
算装置を介して、モニタ上にデジタル画像として表示さ
れる。他方、電子線の拡大像を形成する電子レンズの励
磁の設定状態は、倍率情報あるいはカメラ長情報として
電子レンズ制御系から出力される。中央演算装置は、こ
の倍率情報から画素に対応した長さを定義し、カメラ長
情報から画素に対応した散乱角を定義する。

【０００６】更に、シンチレータが設けられている位置
と、電子顕微鏡の倍率基準位置と、シンチレータ上の光
像を光学的に結像する光学系の結像倍率とを予め中央演
算装置に入力しておき、その情報を用いて倍率補正を行
う。その後、デジタル画像上の例えば２点に対応する画
素を選択し、その画素の間に存在する画素数を数え、そ
の数に画素に定義された長さを乗じて２点間の長さを計
算し、あるいは散乱角を計算する。この計算結果は、画
像上に数値表示される。このような手段により、カメラ
により撮影された画像の２点間の長さあるいは散乱角を
高速に測定することができる。

【０００７】すなわち、本発明の透過型電子顕微鏡は、
電子銃と、電子銃からの電子線を試料に照射するための
照射レンズ系と、試料を透過した電子による電子線像を
形成するための対物レンズ系及び結像レンズ系と、電子
線像を受像するシンチレータと、シンチレータ上の光像
をデジタル画像として取り込むための撮像手段と、デジ
タル画像を表示する表示手段と、演算手段とを含み、演
算手段は、レンズ系を制御する制御系からの情報をもと
にデジタル画像の画素の長さを定義することを特徴とす
る。

【０００８】演算手段は、レンズ系を制御する制御系か
らの倍率情報と、シンチレータ位置の倍率基準位置より
の偏差から生じる倍率変化率と、シンチレータ上の光像
を撮像手段の撮像面に投影する光学系の倍率と、撮像手
段の撮像面上での１画素の大きさをもとに、デジタル画
像の画素の長さを演算することができる。また、演算手
段は、デジタル画像の画素の長さを用いて画像上で指定
された２点間の長さに対応する試料上の長さを計算する
機能を有することができ、デジタル画像の画素の長さを
用いて画像上で指定された領域の面積を演算する機能を
有することもできる。長さの数値を入力することによ
り、試料上におけるその長さに相当する線分と前記数値
とを画像上に表示する機能を有することもできる。

【０００９】また、演算手段は、レンズ系を制御する制
御系からのカメラ長情報と、シンチレータ位置のカメラ
長基準位置よりの偏差から生じるカメラ長変化率と、シ
ンチレータ上の光像を撮像手段の撮像面に投影する光学
系の倍率と、撮像手段の撮像面上での１画素の大きさを
もとに、デジタル画像の画素の長さを電子線回折像の散
乱角として演算することができる。演算手段は、デジタ
ル画像の画素の長さを用いて、画像上で指定された２点
間の長さに対応する電子線回折像の散乱角を計算する機
能を有することができ、散乱角の数値を入力することに
より、その散乱角に相当する線分と前記数値とを画像上
に表示する機能を有することもできる。

【００１０】いずれの場合においても、演算手段は、対
物レンズ系の焦点位置の基準位置からのずれ量をもとに
デジタル画像の画素の長さを補正することをができ、あ
るいは各倍率における倍率補正パラメータを使用してデ
ジタル画像の画素の長さを補正することができる。ま
た、演算手段は、画像上で指定された２本の線分の間の
角度を演算し表示する機能を有することができる。

【００１１】画像上の点の指定は、マウス等のポインテ
ィングデバイスを用いて行うことができる。また、画像
上の測定を行った後に、その指定した点をポインティン
グデバイスを使用して変更する機能を持たせることもで
きる。本発明は、従来電子顕微鏡を使用して計測を行っ
ているすべての分野、例えば、半導体デバイス製造分
野、新素材開発研究分野、医学生物研究分野において利
用可能である。

【００１２】本発明によれば、透過電子像を観察し、そ
の画像上の２点を選択すると、その間の試料上での長さ
を表示することができる。このため、高速かつ高精度に
微小長さの測定を行うことができる。更に、電子顕微鏡
を電子線回折像観察モードにして画像を取り込んだ場合
には、任意の２点間の距離を測定した上で、これを電子
線の散乱角として表示することができる。

【００１３】そして、本発明によると、倍率変化、モー
ド変化、焦点位置の変化などに伴うカメラ上での倍率精
度を正確に抑えることができるため、オペレータは信頼
性の高い測長をフィルム現像などの作業を行うことなし
に迅速且つ簡単に行うことができ、試料上の寸法測定の
能率を大幅に向上することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は、本発明による透過型電子
顕微鏡の概略説明図である。この透過型電子顕微鏡は、
透過電子像を画像データとして取り込む撮像装置と画像
処理及び演算を行うコンピュータとを備え、試料上の距
離や角度の測定を行うことができるものである。

【００１５】電子銃１０１より発生した電子線を照射レ
ンズ系１０２によって試料１０３上に収束、照射し、試
料１０３を透過してきた電子線を対物レンズ系１０４及
び結像レンズ系１０５により拡大し、蛍光板やフィルム
１０６上に電子線像１１１を結像し、試料の透過電子像
を得る。照射レンズ系１０２、対物レンズ系１０４及び
結像レンズ系１０５は、電子顕微鏡制御部１２１によっ
て制御される。ここまでの構成は、従来の透過型電子顕
微鏡と同一である。

【００１６】本発明の透過型電子顕微鏡は、さらに、フ
ィルム１０６より下の位置にＣＣＤカメラ等の光学的画
像取り込み装置（以下、カメラと呼ぶ）１０９専用の電
子線発光素子（以下、シンチレータと呼ぶ）１０７を設
置し、このシンチレータ１０７上に写る二次元電子線像
１１１を光像１１２に変換し、その光像１１２を光学系
１０８によりカメラ１０９の撮像面１１０上に結像す
る。撮像面１１０上に結像された光像１１２は、カメラ
１０９の撮像素子により電気信号に変換される。この電
気信号はＡ／Ｄコンバータによってデジタル信号に変換
され、中央演算装置１２３へ送られる。この結果、試料
１０３の透過電子像は、央演算装置１２３上で二次元デ
ジタル画像として取り扱うことができるようになる。

【００１７】中央演算装置１２３に接続されたモニタ１
２２上に表示された画像上の任意の２点間距離を計るに
は、マウス等のポインティングデバイス１２４を使い、
モニタ１２２に表示された画像上の２点を選ぶ。その２
点間の距離は２つの点のｘ座標の差の２乗とｙ座標の差
の２乗との和の平方根である。中央演算装置１２３は、
この画像上の距離を画像の倍率で除算することにより実
際の試料上の距離に換算してモニタ１２２上に表示す
る。

【００１８】電子顕微鏡の結像レンズ系１０５によっ
て、試料１０３の像が拡大投影される。その拡大倍率
は、結像レンズ系１０５の各電磁レンズに流れる電流量
によって決まるものである。しかし、従来の透過型電子
顕微鏡はフィルム１０６を用いて画像の記録を行うこと
を前提として作られているため、それ以外のもので撮影
する時にはその受像位置によって倍率換算を行う必要が
ある。前記したカメラ１０９の場合は、シンチレータ１
０７の位置がフィルム１０６の位置より下にあるため、
電子顕微鏡に設定されている倍率よりもっと拡大された
投影像を撮像する。更に、このシンチレータ１０７によ
って変換された光像１１２を光学系１０８によってカメ
ラ１０９の撮像面１１０上へ縮小結像しているため、そ
の縮小率も考慮して倍率を換算する必要がある。

【００１９】図２は、倍率換算の方法を説明する図であ
る。電子顕微鏡の設定倍率をｍ、光学系１０８の縮小率
をｎ、フィルム１０６の面とシンチレータ１０７の面の
間の距離をａ、最終段拡大電磁レンズ中心２０１とフィ
ルム面との距離をｂとすると、カメラ１０９の撮像面１
１０上での倍率Ｍは次の〔数１〕のようになる。

【００２０】

【数１】

【００２１】また、倍率は対物レンズ系１０４の焦点位
置が変わることでも変化する。電子顕微鏡の場合、試料
１０３との焦点合わせを行うときには、電磁レンズで構
成される対物レンズ系１０４に流す電流量を調整し、対
物レンズ系１０４の焦点距離を変えることによって行
う。この対物レンズ系１０４の焦点位置による倍率変化
は以下のように計算できる。対物レンズ系１０４の焦点
距離の関係式は、図６のように、対物レンズ系１０４の
焦点距離をｆとし、対物レンズ系１０４と物面との距離
をｇ、像面との距離をｈとすると、次の〔数２〕で与え
られる。

【００２２】

【数２】

【００２３】このときの対物レンズ系１０４による倍率
ｍ₀は、次の〔数３〕で与えられる。

【００２４】

【数３】

【００２５】対物レンズ系１０４の焦点距離がΔｆだけ
変化したときの倍率の変化は、次の〔数４〕で与えられ
る。

【００２６】

【数４】

【００２７】この式で、ｈは電子顕微鏡内の決まった位
置であるので測定可能であり、Δ ｆは対物レンズ系１
０４の電磁石に流す電流量から、次の〔数５〕のように
計算できる。〔数５〕において、Ｃｃは定数、Ｉは焦点
距離ｆのときの対物レンズ系１０４の励磁電流、ΔＩは
焦点距離をΔｆだけ変化させるのに必要な励磁電流の変
化量である。

【００２８】

【数５】

【００２９】電子顕微鏡の表示倍率は、対物レンズ系１
０４と結像レンズ系１０５で拡大されたフィルム１０６
面上での倍率であるから、この表示倍率をｍとすると、
対物レンズ系１０４の焦点位置ずれΔｆのときの撮像面
１１０上での倍率Ｍは、次の〔数６〕で計算できる。こ
れをもとに倍率補正をかけることにより、電子顕微鏡像
上のより正確な測長が可能となる。

【００３０】

【数６】

【００３１】次に、図３を用いて、モニタ１２２の表示
画面上で距離を測定すべき２点を指定する方法及び距離
表示方法を説明する。ここでは、前記〔数６〕で表され
る倍率Ｍを用いて測長などを行い、その結果を表示す
る。カメラ１０９で撮像したデジタル画像３０４上で指
定した２点すなわち測長始点３０１と測長終点３０２間
の試料１０３上での距離ｄは、カメラ１０９の撮像面１
１０上での１画素３０６の大きさをｐ、指定した２点３
０１，３０２の画像上の座標を（ｘ１，ｙ１），（ｘ
２，ｙ２）とすると、次の〔数７〕で計算できる。

【００３２】

【数７】

【００３３】中央演算装置１２３に予めｐ，ｎ，ａ，
ｂ，ｈ，ｆの値を記憶させておき、画像を撮影したとき
の倍率ｍと対物レンズ系１０４の焦点距離のずれ量Δｆ
を電子顕微鏡制御部１２１から中央演算装置１２３へ送
ってもらい、中央演算装置１２３を介して画像３０４上
の２点３０１，３０２を選ぶことで、その選んだ２点間
の試料１０３上での距離ｄを計算し、計算した値をその
画像３０４上に表示することができる。

【００３４】この２点の選び方には、いくつかの方法が
ある。１つの方法は、中央演算装置１２３のモニタ１２
２に映し出されている取得画像３０４の上で直接２点を
選ぶ方法である。マウスアイコン３０５を取得画像３０
４上へ持って行き、所望する１点目の場所（測長始点）
３０１でマウスボタンを押し、押したまま２点目の場所
（測長終点）３０２へ移動させて手を放す。そうする
と、その２点３０１，３０２を中央演算装置１２３が認
識し、選んだ１点目３０１と２点目３０２を結んだ直線
３０３を描き、前記〔数７〕の計算をして、その２点間
の距離数値３０７をその直線３０３の近くに表示する。

【００３５】一度選んだ２点３０１，３０２を別の位置
に変更することも可能である。点３０１を点３０８に変
更する場合の操作の一例について説明する。直線３０３
の端点３０１へマウスアイコン３０５を持って行き、そ
こでマウスボタンを押し、押したまま所望する場所（測
長始点変）３０８へ移動させて手を離す。この操作によ
り、点３０１が点３０８に変更され、その変更された点
３０８ともう一つの点３０２との間の距離が３０７の様
に直線３０９と共に表示される。 もう一つの方法は、
まずキーボード等の入力手段１２５により試料上での長
さを中央演算装置１２３に入力し、その長さに相当する
線分３１０を画像３０４上に表示し、その線分３１０の
近くにその長さの数値３１１を表示する方法である。こ
の線分３１０と数値３１１はワンセットにして、画像３
０４内での表示位置をマウスアイコン３０５を使って自
由に移動することができる。

【００３６】シンチレータ１０７の位置や光学系１０８
による倍率変更及び、対物レンズ系１０４の状態による
倍率補正を行ってもなお所望する精度が得られない場合
には、各倍率毎に個別の補正パラメータを用意してお
き、そのパラメータを調整することで各倍率の測長精度
を確保することができる。調整は次のようにして行うこ
とができる。まず、各補正パラメータをすべてデフォル
ト値１にセットしておく。そして、長さのわかっている
試料を入れて画像を取り込み、その既知の長さを上記の
測長機能で測定する。次に、測長補正モードにしてから
今測長した結果を選んで正しい数値を入力すると、その
倍率における補正パラメータの数値が入力した正しい数
値と選んだ測長結果の商として中央演算装置１２３のメ
モリに記憶される。これ以後の測長結果は、測定した結
果とこの補正パラメータとの積として計算され、表示さ
れる。

【００３７】電子顕微鏡を電子線回折像を観察するモー
ドにした場合には、電子顕微鏡制御部１２１は中央演算
装置１２３にカメラ長の情報を伝える。カメラ長は、対
物レンズの焦点距離にレンズ倍率を掛けたもので与えら
れる。電子線回折像上での距離は、カメラ長を考慮して
計算すると電子線の散乱角になる。本発明の電子顕微鏡
は、電子線回折像上の距離を散乱角度で自動表示するこ
とができる。電子線回折像モードの場合も、通常のカメ
ラ長Ｌはフィルム１０６上で定義されているので、回折
斑点の散乱角度を測定するには、画像倍率と同様にシン
チレータ１０７の位置や光学系１０８の倍率で補正を行
う必要がある。また、電子線回折像においても対物レン
ズ系１０４の焦点距離の変化に応じてカメラ長が変化す
る。

【００３８】いま、カメラ１０９で撮像した図３のデジ
タル画像３０４上で、点３０１と点３０２を指定してそ
の間の散乱角θを求める場合を考える。対物レンズ系１
０４の焦点距離の基準値ｆからのずれ量をΔｆとし、電
子顕微鏡制御部１２１から与えられるカメラ長をＬとす
ると、求める散乱角θは次の〔数８〕で計算できる。ｐ
は、カメラ１０９の撮像面１１０上での１画素の大きさ
である。

【００３９】

【数８】

【００４０】２点３０１，３０２の指定の仕方や表示の
方法は、電子顕微鏡像上の距離を測るときと同様であ
る。中央演算装置１２３は、通信で電子顕微鏡制御部１
２１から電子線回折像を観察するモードであるのか否か
の情報を得て、電子線回折モードであるときだけその２
点３０１，３０２間の距離３０７を散乱角で表示する。
また、電子線回折像観察モードの時、キーボード等の入
力手段１２５により散乱角の数値を中央演算装置１２３
に入力し、その散乱角に相当する線分を画像上に表示す
るようにすることも可能である。この時、散乱角θを入
力された中央演算装置１２３は、上記〔数８〕の関係を
用いて散乱角θに相当する画像上の距離θＬ′／ｐを計
算し、指定された方向の線分として画像上に表示する。

【００４１】次に、図４を参照して、試料上の任意の角
度の測定方法について説明する。デジタル画像４００上
で指定した３点４０１，４０２，４０３の画像上の座標
を（ｘ１，ｙ１），（ｘ２，ｙ２），（ｘ３，ｙ３）と
すると、求める点４０１（ｘ１，ｙ１）を中心とした角
度αは、次の〔数９〕によって計算できる。

【００４２】

【数９】

【００４３】この３点を指定する方法は、まず角度測定
モードを選択し、マウスアイコンを第１点目の場所４０
１へ持っていきそこでクリックする。そして、第２点目
の場所４０２と第３点目の場所４０３を順にクリックし
て指定すると、第１点目４０１と第２点目４０２、第１
点目４０１と第３点目４０３を結ぶ線分４０４，４０５
と、その２線分の間に第１点目４０１を中心とした円弧
４０７を描き、その円弧４０７の近くに上記の〔数９〕
で計算された角度の数値４０６を表示する。

【００４４】次に、図５を参照して、任意の多角形内の
面積を測定する方法について説明する。多角形を多数の
三角形に分割し、それぞれの三角形の面積を求め、その
それぞれの三角形の面積を足し合わせることで多角形の
面積とすることができる。例えば、３つの頂点５１１，
５１２，５１３を結んでできる三角形の面積Ｓは、デジ
タル画像５００上でにおける３つの頂点５１１，５１
２，５１３の座標（ｘ１，ｙ１），（ｘ２，ｙ２），
（ｘ３，ｙ３）から、次の〔数１０〕で計算することが
できる。ただし、Ｍは〔数６〕で表される撮像面１１０
上での倍率、ｐはカメラ１０９の撮像面１１０上での１
画素の大きさである。

【００４５】

【数１０】

【００４６】多角形を指定するには、まず面積測定モー
ドを選択し、例えばマウスアイコンを第１点目の場所５
１１へ持っていきそこでクリックする。そして、２点
目、３点目と順にクリックしていき、ｎ点目をクリック
した後、１点目付近でダブルクリックすると多角形が閉
じ、ｎ角形が出来上がる。出来上がったｎ角形の内側は
ユーザーの定義した色もしくは模様で塗られる。そし
て、そのｎ角形の面積が前記〔数１０〕で計算される三
角形の面積の和として求められて、塗られた場所の上に
その結果の数値が単位付きで５１８のように表示され
る。

【００４７】

【発明の効果】本発明によると、今まで透過型電子顕微
鏡で観察していた試料上の実際の寸法、角度、面積等を
簡単にかつ正確に計測することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による透過型電子顕微鏡の概略説明図。

【図２】カメラの撮像面上での倍率を求める方法の説明
図。

【図３】画像上での距離測定方法の説明図。

【図４】画像上での角度測定方法の説明図。

【図５】画像上での面積測定方法の説明図。

【図６】レンズ焦点距離の説明図。

【符号の説明】

１０１…電子銃、１０２…照射レンズ系、１０３…試
料、１０４…対物レンズ系、１０５…結像レンズ系、１
０６…フィルム、１０７…シンチレータ、１０８…光学
系、１０９…カメラ、１１０…撮像面、１１１…電子線
像、１１２…光像、１２１…電子顕微鏡制御部、１２２
…モニタ、１２３…中央演算装置、１２４…ポインティ
ングデバイス、１２５…入力手段、２０１…最終段拡大
電磁レンズの中心位置、３０１…測長始点、３０２…測
長終点、３０３…測長線分（始点と終点を結ぶ直線）、
３０４…取得画像、３０５…マウスアイコン、３０６…
画素、３０７…測長結果数値表示、３０８…測長始点変
更点、３０９…変更後の測長線分、３１０…指定された
長さに相当する線分、３１１…指定された長さの数値表
示、４００…デジタル画像、４０１…角度測定基準点第
１点、４０２…角度測定基準点第２点、４０３…角度測
定基準点第３点、４０４…角度測定始線分、４０５…角
度測定終線分、４０６…測定角度数値表示、４０７…測
定角表示円弧、５００…デジタル画像、５１１…面積測
定範囲指定第１点、５１２…面積測定範囲指定第２点、
５１３…面積測定範囲指定第３点、５１４…面積測定範
囲指定第４点、５１８…ｎ角形内面積数値表示

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 貴之 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松ホ トニクス株式会社内 (72)発明者 大庭 智弘 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松ホ トニクス株式会社内

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子銃と、前記電子銃からの電子線を試
   料に照射するための照射レンズ系と、試料を透過した電
   子による電子線像を形成するための対物レンズ系及び結
   像レンズ系と、前記電子線像を受像するシンチレータ
   と、前記シンチレータ上の光像をデジタル画像として取
   り込むための撮像手段と、前記デジタル画像を表示する
   表示手段と、演算手段とを含み、 前記演算手段は、前記レンズ系を制御する制御系からの
   情報をもとに前記デジタル画像の画素の長さを定義する
   ことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
2. 【請求項２】 請求項１記載の透過型電子顕微鏡におい
   て、 前記演算手段は、前記レンズ系を制御する制御系からの
   倍率情報と、前記シンチレータ位置の倍率基準位置より
   の偏差から生じる倍率変化率と、前記シンチレータ上の
   光像を前記撮像手段の撮像面に投影する光学系の倍率
   と、前記撮像手段の撮像面上での１画素の大きさをもと
   に、前記デジタル画像の画素の長さを演算することを特
   徴とする透過型電子顕微鏡。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の透過型電子顕微鏡
   において、 前記演算手段は、前記デジタル画像の画素の長さを用い
   て、画像上で指定された２点間の長さに対応する試料上
   の長さを計算する機能を有することを特徴とする透過型
   電子顕微鏡。
4. 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の透過型電子顕
   微鏡において、 長さの数値を入力することにより、試料上におけるその
   長さに相当する線分と前記数値とを画像上に表示する機
   能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１項記載の透過
   型電子顕微鏡において、 前記演算手段は、前記デジタル画像の画素の長さを用い
   て、前記画像上で指定された領域の面積を演算する機能
   を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
6. 【請求項６】 請求項１記載の透過型電子顕微鏡におい
   て、 前記演算手段は、前記レンズ系を制御する制御系からの
   カメラ長情報と、前記シンチレータ位置のカメラ長基準
   位置よりの偏差から生じるカメラ長変化率と、前記シン
   チレータ上の光像を前記撮像手段の撮像面に投影する光
   学系の倍率と、前記撮像手段の撮像面上での１画素の大
   きさをもとに、前記デジタル画像の画素の長さを電子線
   回折像の散乱角として演算することを特徴とする透過型
   電子顕微鏡。
7. 【請求項７】 請求項６記載の透過型電子顕微鏡におい
   て、 前記演算手段は、前記デジタル画像の画素の長さを用い
   て、画像上で指定された２点間の長さに対応する電子線
   回折像の散乱角を計算する機能を有することを特徴とす
   る透過型電子顕微鏡。
8. 【請求項８】 請求項６又は７記載の透過型電子顕微鏡
   において、 散乱角の数値を入力することにより、その散乱角に相当
   する線分と前記数値とを画像上に表示する機能を有する
   ことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
9. 【請求項９】 請求項１〜８のいずれか１項記載の透過
   型電子顕微鏡において、 前記演算手段は、対物レンズ系の焦点位置の基準位置か
   らのずれ量をもとに前記デジタル画像の画素の長さを補
   正することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
10. 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれか１項記載の透
    過型電子顕微鏡において、 前記演算手段は、各倍率における倍率補正パラメータを
    使用して、前記デジタル画像の画素の長さを補正するこ
    とを特徴とする透過型電子顕微鏡。
11. 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれか１項記載の
    透過型電子顕微鏡において、 前記演算手段は、画像上で指定された２本の線分の間の
    角度を演算し表示する機能を有することを特徴とする透
    過型電子顕微鏡。
12. 【請求項１２】 請求項１〜１１のいずれか１項記載の
    透過型電子顕微鏡において、 ポインティングデバイスを用いて画像上の点を指定する
    機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
13. 【請求項１３】 請求項１２記載の透過型電子顕微鏡に
    おいて、 画像上の測定を行った後に、その指定した点をポインテ
    ィングデバイスを使用して変更する機能を有することを
    特徴とする透過型電子顕微鏡。