JPH10217116A - Sample holder stocker and polishing device for sample - Google Patents
Sample holder stocker and polishing device for sampleInfo
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- JPH10217116A JPH10217116A JP9021818A JP2181897A JPH10217116A JP H10217116 A JPH10217116 A JP H10217116A JP 9021818 A JP9021818 A JP 9021818A JP 2181897 A JP2181897 A JP 2181897A JP H10217116 A JPH10217116 A JP H10217116A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、サンプル保持用の
サンプルホルダーを複数、収納効率よく収納するための
ストッカーと、このストッカーを用いて構成したサンプ
ル研磨装置とに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stocker for efficiently storing a plurality of sample holders for holding a sample, and a sample polishing apparatus using the stocker.
【０００２】[0002]
【従来の技術】鋼片等から切り出した小さなチップに対
して、内部品質判定用の顕微鏡試験等を行う場合には、
チップを固定し、またその取り扱いを容易にする目的
で、チップを、樹脂等によって短円柱状に形成された土
台の上面部分へ埋め込むようにしている（以下、この土
台を含めてチップ全体を「サンプル」と言う）。この場
合、サンプルの上面部分は、チップ表面を平滑にするた
めに研磨が必要であると共に、この研磨部分に対して防
錆処理を施す必要がある。2. Description of the Related Art When performing a microscopic test or the like for judging internal quality on a small chip cut out of a billet or the like,
For the purpose of fixing the chip and facilitating its handling, the chip is embedded in the upper surface of the base formed in a short columnar shape with a resin or the like (hereinafter, the entire chip including this base is referred to as " Sample "). In this case, the upper surface portion of the sample needs to be polished in order to smooth the chip surface, and it is necessary to perform rust prevention treatment on the polished portion.
【０００３】従来、このサンプルに対する研磨作業は、
円形皿状をしたサンプルホルダーに対して、予め複数の
サンプルを円周配置に並べて保持させたうえで、作業者
が、このサンプルホルダーを研磨機へ向けた搬入用コン
ベヤ上へ並べる。この搬入用コンベヤと研磨機とは自動
的な連動関係にあり、搬入用コンベヤ上にサンプルホル
ダーがある限り、このサンプルホルダーは研磨機へ搬入
されて各サンプルの研磨が順次行われ、研磨終了後に
は、搬出用コンベヤを介してサンプルホルダーが搬出さ
れるというものである。Conventionally, the polishing operation for this sample has been
After a plurality of samples are arranged and held in a circular arrangement on a circular dish-shaped sample holder in advance, an operator arranges the sample holders on a carry-in conveyor toward a polishing machine. The carry-in conveyor and the polishing machine are in an automatic interlocking relationship, and as long as there is a sample holder on the carry-in conveyor, the sample holder is carried into the grinder and the polishing of each sample is sequentially performed. Is that the sample holder is unloaded via the unloading conveyor.
【０００４】なお、上記搬入用コンベヤ上には、通常、
６個程度のサンプルホルダーを並べることしかできない
ものであり、作業者は、コンベヤ上の空きスペースを目
視で確認しながら、サンプルホルダーの供給を続けると
いうことを行っていた。[0004] Incidentally, on the above-mentioned carrying conveyor, usually,
Only about six sample holders can be lined up, and the worker has continued to supply the sample holders while visually checking the empty space on the conveyor.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、サンプルホ
ルダーは、研磨機への搬入から搬出にわたる過程の自動
化を可能にするため、特有の形体を有しているので、段
積み等はできないものであった。そのため、サンプルを
保持させたサンプルホルダーを予め、多数、準備してお
き、これを次々に搬入用コンベヤへ並べてゆくという作
業は、非常に面倒であり、しかも広いスペースを要して
いた。However, the sample holder has a specific shape in order to enable automation of the process from loading to unloading to the polishing machine, so that the sample holder cannot be stacked. Was. Therefore, the work of preparing a large number of sample holders holding the samples in advance and arranging them one after another on the carrying conveyor is very troublesome and requires a large space.
【０００６】一方、研磨終了後のサンプルに対しては、
速やかに防錆処理を施さなければ、チップ表面（研磨
面）が酸化腐食してしまうということがあった。酸化腐
食が起きれば、再研磨を要するため、作業的な負担が極
めて増大することは言うまでもない。このようなことか
ら、研磨機における供給サイドと回収サイドとの双方
に、複数の作業者が必要となり、且ついずれの作業者
も、極めて慌ただしい作業を強いられるものとなってい
た。また、作業にはある程度の熟練を要するうえ、作業
効率を高めるにも自ずと限界があった。On the other hand, for the sample after polishing,
If the rust prevention treatment is not performed immediately, the chip surface (polished surface) may be oxidized and corroded. If oxidative corrosion occurs, re-polishing is required, and it goes without saying that the work load is extremely increased. For this reason, a plurality of operators are required on both the supply side and the recovery side of the polishing machine, and all operators are required to perform extremely busy work. In addition, the work requires some skill, and there is naturally a limit in improving the work efficiency.
【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、多数のサンプルホルダーを収納効率よくコン
パクトに収納することができ、しかも研磨機に対する自
動搬入や自動搬出にも対応できるようにしたサンプルホ
ルダーのストッカーと、このストッカーを用いることに
よって作業全体の自動化、高効率化が図れるようにした
サンプル研磨装置とを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and enables a large number of sample holders to be efficiently and compactly stored, and can be adapted to automatic loading and unloading to and from a polishing machine. It is an object of the present invention to provide a stocker for a sample holder, and a sample polishing apparatus capable of achieving automation and high efficiency of the entire operation by using the stocker.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明では、上記目的を
達成するために、次の技術的手段を講じた。即ち、本発
明に係るサンプルホルダーのストッカーでは、軸心を縦
方向へ向けて回転可能に設けられた支軸と、この支軸ま
わりに螺旋状に突出して設けられた複数のホルダー受と
を有し、個々のホルダー受に対してサンプル保持用のサ
ンプルホルダーを支持可能になっている。According to the present invention, the following technical measures have been taken in order to achieve the above object. That is, the sample holder stocker according to the present invention has a support shaft rotatably provided with its axis centered in the vertical direction, and a plurality of holder supports provided protruding helically around the support shaft. In addition, a sample holder for holding a sample can be supported on each holder holder.
【０００９】このような構成であれば、平面的に見て、
支軸の外周全部に対して放射状配置となるように複数の
サンプルホルダーを保持でき、また側面的に見て、支軸
の高さ方向に沿って複数のサンプルホルダーを保持でき
るものである。そのため、多数のサンプルホルダーに対
して、収納効率を極めて高くし、しかもコンパクトに収
納することができる。With such a configuration, when viewed two-dimensionally,
A plurality of sample holders can be held so as to be radially arranged with respect to the entire outer periphery of the spindle, and a plurality of sample holders can be held along the height direction of the spindle when viewed from the side. For this reason, the storage efficiency can be extremely increased and a large number of sample holders can be stored compactly.
【００１０】のみならず、上下のサンプルホルダー相互
は、螺旋状配置のためにいずれも上部空間が解放された
状態にある。従って、ホルダー受に対するサンプルホル
ダーの搬入や搬出は、何ら支障なく行えるものとなる。
従って、研磨機に対する自動搬入や自動搬出にも対応で
きるようになっている。支軸において、ねじ送り機構を
適用することにより、回転と共に上下動可能にして、サ
ンプルホルダーの移載レベルを一定に保持できるように
すると、各ホルダー受に対するサンプルホルダーの搬入
や搬出が容易に行えることになる。これにより、移載装
置の構成を簡潔化できることになる。In addition, the upper and lower sample holders are in a state where the upper space is open due to the spiral arrangement. Therefore, the loading and unloading of the sample holder with respect to the holder receiver can be performed without any trouble.
Therefore, it is possible to cope with automatic loading and unloading of the polishing machine. By applying a screw feed mechanism to the support shaft so that it can move up and down with rotation so that the transfer level of the sample holder can be kept constant, loading and unloading of the sample holder to and from each holder receiver can be easily performed. Will be. Thereby, the configuration of the transfer device can be simplified.
【００１１】ホルダー受が円周移動する領域全体を本体
カバーによって取り囲み、この本体カバーに除湿手段を
設ける構成とすれば、特に回収側のストッカーとして、
研磨後のサンプルに対する防錆効果を保持できるものと
なる。従って、防錆処理までの間の腐食防止が図れるも
のである。この場合、本体カバーの周壁にはサンプルホ
ルダーの移載レベルに対応する移載口を設けることにな
るので、この移載口には、必要に応じて開閉可能なシャ
ッターを設けるようにするのが、除湿効果を高めるうえ
で好適である。またこのことは、除湿手段としての小型
化を招来できる点でも、有益である。If the whole area where the holder receiver moves circumferentially is surrounded by the main body cover, and the main body cover is provided with dehumidifying means, particularly as a stocker on the collection side,
The rust prevention effect on the sample after polishing can be maintained. Therefore, corrosion can be prevented until the rust prevention treatment. In this case, a transfer port corresponding to the transfer level of the sample holder will be provided on the peripheral wall of the main body cover.Therefore, a shutter that can be opened and closed as necessary should be provided at this transfer port. It is suitable for enhancing the dehumidifying effect. This is also advantageous in that the size of the dehumidifying means can be reduced.
【００１２】一方、このような構成のストッカーを研磨
機の供給側及び回収側に設けると共に、供給側ストッカ
ーと研磨機との間に供給側移載機を、また研磨機と回収
側ストッカーとの間に回収側移載機を設けて、本発明に
係るサンプル研磨装置を構成させれば、一貫した研磨作
業全体を自動化できて夜間運転などの長時間無人運転が
できるものとなる。On the other hand, the stocker having such a configuration is provided on the supply side and the recovery side of the polishing machine, and a supply-side transfer machine is provided between the supply-side stocker and the polishing machine. If a collection-side transfer machine is provided in between and the sample polishing apparatus according to the present invention is configured, the entire polishing operation can be automated consistently and long-time unmanned operation such as night operation can be performed.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図２は、本発明に係るサンプル研
磨装置１の全体配置を示している。このサンプル研磨装
置１は、１号研磨機２及び２号研磨機３が互いに連絡用
コンベヤ４によって連結され、１号研磨機２には搬入用
コンベヤ５及び供給側移載機６を介して供給側ストッカ
ー７が接続され、２号研磨機３には搬出用コンベヤ８及
び回収側移載機９を介して回収側ストッカー１０が接続
された構成となっている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 shows the overall arrangement of the sample polishing apparatus 1 according to the present invention. In this sample polishing apparatus 1, a first polishing machine 2 and a second polishing machine 3 are connected to each other by a communication conveyor 4, and the first polishing machine 2 is supplied to the first polishing machine 2 via a carry-in conveyor 5 and a supply-side transfer machine 6. The side stocker 7 is connected, and the collection side stocker 10 is connected to the No. 2 polishing machine 3 via the unloading conveyor 8 and the collection side transfer machine 9.
【００１４】供給側ストッカー７及び回収側ストッカー
１０は、いずれも本発明に係るものであるが、両者は、
それらを覆う本体カバー１２に対して、回収側ストッカ
ー１０の方だけに除湿手段１３及びシャッター１４が設
けられている点を除いて、同一構成である。そこで以下
では、主として回収側ストッカー１０（以下、単に「ス
トッカー１０」と言う）について説明する。The supply side stocker 7 and the recovery side stocker 10 are both related to the present invention.
The configuration is the same as that of the main body cover 12 that covers them, except that the dehumidifying means 13 and the shutter 14 are provided only on the collection side stocker 10. Therefore, hereinafter, the collection side stocker 10 (hereinafter, simply referred to as “stocker 10”) will be mainly described.
【００１５】また供給側移載機６と回収側移載機９とに
ついても、その動作順序が逆の流れとなっているだけ
で、構成は殆ど同一であるので、以下では、主として回
収側移載機９（以下、単に「移載機９」と言う）につい
て説明する。なお、１号研磨機２及び２号研磨機３の構
成や、これらと各コンベヤ４，５，８との連動関係等に
ついては従来と同じものであり、その詳説は省略する。The operation of the supply-side transfer machine 6 and the collection-side transfer machine 9 is almost the same, except that the operation order is reversed. The loading machine 9 (hereinafter, simply referred to as “transfer machine 9”) will be described. The configurations of the first polisher 2 and the second polisher 3 and the interlocking relationship between them and each of the conveyors 4, 5, and 8 are the same as those in the related art, and a detailed description thereof will be omitted.
【００１６】まず、ストッカー１０について説明する。
なお、このストッカー１０が収納の対象とするサンプル
ホルダー１７を、図３に基づいて予め説明すると、この
サンプルホルダー１７は、円板状をした本体盤１８と、
このまわりを囲むリング状の外リム１９とを有してい
る。本体盤１８には、その周方向に沿って複数のサンプ
ル保持孔２０が形成されている。また、本体盤１８の外
周面には、各サンプル保持孔２０へ貫通する固定用ボル
ト２１が螺合されており、この固定用ボルト２１を締め
付けることで、サンプル保持孔２０内へ嵌めたサンプル
２３を固定できるようになっている。なお、サンプル２
３において、２３ａはチップであり、２３ｂは樹脂製土
台である。First, the stocker 10 will be described.
A sample holder 17 to be stored in the stocker 10 will be described in advance with reference to FIG. 3. The sample holder 17 includes a disc-shaped main body plate 18,
And a ring-shaped outer rim 19 surrounding the periphery. A plurality of sample holding holes 20 are formed in the main body board 18 along the circumferential direction. A fixing bolt 21 that penetrates through each sample holding hole 20 is screwed to the outer peripheral surface of the main body board 18. By tightening the fixing bolt 21, the sample 23 fitted into the sample holding hole 20 is screwed. Can be fixed. Sample 2
In 3, 23 a is a chip, and 23 b is a resin base.
【００１７】また、このサンプルホルダー１７におい
て、本体盤１８の中心部には、各研磨機２，３内での自
動取り扱いを可能にするための把持用突起２４が設けら
れていると共に、外リム１９には、下向きの位置決め用
段部２５が設けられている。図１において、ストッカー
１０は、軸心を縦方向へ向けて回転可能に設けられた支
軸２８と、この支軸２８まわりで螺旋状に突出して設け
られた複数のホルダー受２９（図４参照）とを有してい
る。そして、このホルダー受２９が支軸２８まわりを円
周移動するときの外周領域全体を取り囲むようにして、
上記した本体カバー１２が設けられている。In the sample holder 17, a gripping projection 24 for enabling automatic handling in each of the polishing machines 2 and 3 is provided at the center of the main body plate 18, and an outer rim is provided. 19 is provided with a downward positioning step 25. In FIG. 1, the stocker 10 includes a support shaft 28 that is rotatable with its axis in the vertical direction, and a plurality of holder receivers 29 that protrude spirally around the support shaft 28 (see FIG. 4). ). Then, the holder receiver 29 surrounds the entire outer peripheral area when the holder receiver 29 moves circumferentially around the support shaft 28,
The above-mentioned main body cover 12 is provided.
【００１８】支軸２８は本体カバー１２内の略中心位置
に位置付けられており、その下部はねじ送り機構３０に
よって保持され、また支軸２８の上部は、支軸２８の回
転と軸方向移動との双方を許容する軸受部３１によって
保持されている。ホルダー受２９は、図３に示したよう
にサンプルホルダー１７における外リム１９の位置決め
用段部２５と係合可能な開口部３３を有したもので、図
５及び図６に示すようにサンプルホルダー１７はホルダ
ー受２９の上側へ載るようなかたちで支持される。The support shaft 28 is positioned at a substantially central position in the main body cover 12, and the lower portion thereof is held by a screw feed mechanism 30. The upper portion of the support shaft 28 controls rotation and axial movement of the support shaft 28. Are held by a bearing portion 31 that allows both. The holder holder 29 has an opening 33 which can be engaged with the positioning step 25 of the outer rim 19 in the sample holder 17 as shown in FIG. 3, and as shown in FIG. 5 and FIG. 17 is supported in such a manner as to be placed on the upper side of the holder receiver 29.
【００１９】図４に示すように、支軸２８に対するホル
ダー受２９の取付状態は、平面的に見れば、支軸２８ま
わり全周で放射状に突出したものであり、また側面的に
見れば、支軸２８の高さ方向に沿って複数が連続したも
のである。そのため、支軸２８まわりで多数のホルダー
受２９を高効率で、しかもコンパクトに収納できるもの
となっている。また、全てのサンプルホルダー２９は、
その上部空間が解放されているのでサンプルホルダー１
７の搬入や搬出には、何ら支障は生じない。As shown in FIG. 4, the mounting state of the holder receiver 29 with respect to the support shaft 28 is such that when viewed in a plan view, the holder protrudes radially around the support shaft 28, and when viewed in a side view, A plurality thereof is continuous along the height direction of the support shaft 28. Therefore, a large number of holder receivers 29 can be efficiently and compactly stored around the support shaft 28. Also, all sample holders 29
Since the upper space is open, sample holder 1
There is no hindrance in carrying in and out of 7.
【００２０】ねじ送り機構３０は、図７に示すように支
軸２８に軸継手３５を介して接続されたねじ軸３６と、
本体カバー１２の内部仕切板３７に設けられて上記ねじ
軸３６と螺合するナット部材３８と、ねじ軸３６に伝動
手段４０を介して接続されたモータ等より成る回転駆動
部４１と、この回転駆動部４１を昇降自在に保持する昇
降案内手段４２とを有している。The screw feed mechanism 30 includes a screw shaft 36 connected to the support shaft 28 via a shaft coupling 35 as shown in FIG.
A nut member 38 provided on the internal partition plate 37 of the main body cover 12 and screwed to the screw shaft 36; a rotation drive unit 41 such as a motor connected to the screw shaft 36 via a transmission means 40; Lifting means 42 for holding the driving unit 41 so as to be able to move up and down.
【００２１】伝動手段４０は、ねじ軸３６の下端部に設
けられた従動平歯車４４と、回転駆動部４１に設けられ
た駆動平歯車４５とが噛合したものである。昇降案内手
段４２は、図８に示すように回転駆動部４１を保持する
ブラケット４６に対して設けられた摺動保持具４７と、
この摺動保持具４７を上下動自在に案内するガイドレー
ル４８と、図９に示すように前記伝動手段４０の従動平
歯車４４に対して駆動平歯車４５の上下面を挟持すべく
設けられた上下の係合片４９とを有している。The transmission means 40 is formed by meshing a driven spur gear 44 provided at the lower end of the screw shaft 36 and a drive spur gear 45 provided at the rotation drive unit 41. As shown in FIG. 8, the elevating guide unit 42 includes a sliding holder 47 provided for a bracket 46 that holds the rotation driving unit 41,
A guide rail 48 for guiding the slide holder 47 so as to be able to move up and down and, as shown in FIG. 9, are provided so as to sandwich the upper and lower surfaces of the drive spur gear 45 with respect to the driven spur gear 44 of the transmission means 40. And upper and lower engaging pieces 49.
【００２２】係合片４９は、駆動歯車４５に対して、従
動歯車４４の上下面を挟持すべく設けることも可能であ
る。従って、このねじ送り機構３０では、回転駆動部４
１を作動させることにより、伝動手段４０を介してねじ
軸３６及び支軸２８が一緒に回転し、これに伴って全て
のホルダー受２９が円周移動するようになる。このと
き、ねじ軸３６はナット部材３８による螺進作用を受け
て上方又は下方へ移動するので、これに伴って全てのホ
ルダー受２９も昇降するようになる。The engagement piece 49 can be provided to hold the upper and lower surfaces of the driven gear 44 with respect to the driving gear 45. Therefore, in the screw feed mechanism 30, the rotation drive unit 4
Activating 1 causes the screw shaft 36 and the support shaft 28 to rotate together via the transmission means 40, so that all the holder supports 29 move circumferentially. At this time, the screw shaft 36 is moved upward or downward by the screwing action of the nut member 38, so that all the holder receivers 29 also move up and down.
【００２３】なお、伝動手段４０では、回転駆動部４１
の駆動平歯車４５が従動平歯車４４に設けられた係合片
４９によって挟持されているため、ねじ軸３６の上下移
動作用は回転駆動部４１に伝わり、この回転駆動部４１
も昇降案内手段４２に沿ってねじ軸３６と一緒に昇降す
るようになる。従って、ねじ軸３６がどの高さへ移動し
ても、常に回転駆動部４１との接続状態は維持されるこ
とになる。In the transmission means 40, a rotation drive section 41
Of the screw shaft 36 is transmitted to the rotation driving unit 41, and the driving spur gear 45 is held by the engagement piece 49 provided on the driven spur gear 44.
Also goes up and down along the screw shaft 36 along the elevating guide means 42. Therefore, no matter what height the screw shaft 36 moves to, the connection state with the rotation drive unit 41 is always maintained.
【００２４】前記本体カバー１２（図１及び図２参照）
において、移載機９が設けられる部分には、移載口５２
が設けられており、この移載口５２を開閉するように、
前記したシャッター１４が設けられている。このシャッ
ター１４は、図１０に示すように左右の縦レール５３に
よって上下動自在に保持されていると共に、ホルダー受
２９（図面では全部のホルダー受２９をひとまとめにし
た状態を円筒形２９Ｕで模式的に描いてある）側へ突出
した左右の連結片５４に対して、それぞれ流体圧シリン
ダ等より成る昇降駆動部５５が接続されている。The body cover 12 (see FIGS. 1 and 2)
In the part where the transfer machine 9 is provided,
Is provided to open and close the transfer port 52,
The shutter 14 described above is provided. As shown in FIG. 10, the shutter 14 is vertically movably held by left and right vertical rails 53, and a holder receiver 29 (in the drawing, a state in which all the holder receivers 29 are grouped together is schematically illustrated by a cylindrical shape 29 </ b> U). Are connected to left and right connecting pieces 54 protruding to the side (illustrated in FIG. 2).
【００２５】従って、これら昇降駆動部５５の作動によ
ってシャッター１４は自動開閉する。なお、昇降駆動部
５５は、ラックとピニオンとの噛合構造を利用した移動
機構、ネジ送り機構、巻き掛け伝動機構等に置換するこ
とも可能である。このようなシャッター１４は、本体カ
バー１２内が除湿手段１３（図１及び図２参照）によっ
て除湿されている状態、即ち、乾燥雰囲気を維持し易く
するためのものである。Accordingly, the shutter 14 automatically opens and closes by the operation of the elevation drive unit 55. In addition, the lifting drive unit 55 can be replaced with a moving mechanism using a meshing structure of a rack and a pinion, a screw feed mechanism, a wrapping transmission mechanism, or the like. Such a shutter 14 is used to easily maintain a state in which the inside of the main body cover 12 is dehumidified by the dehumidifying means 13 (see FIGS. 1 and 2), that is, a dry atmosphere.
【００２６】従って、供給側ストッカー７では、シャッ
ター１４を設けなくともよい。しかし、本体カバー１２
内に塵埃が侵入するのを防止したり、作業者が手等を不
用意に入れるのを阻止するという観点からすれば、供給
側ストッカー７にシャッター１４を設けてもよい。シャ
ッター１４は、本体カバー１２内の乾燥雰囲気が害され
るのを可及的に防止するうえで、必要最小時間以外、即
ち、移載機９が動作中だけ、開口動作をするように設定
するのが好適である。Therefore, the shutter 14 need not be provided in the supply side stocker 7. However, the body cover 12
The shutter 14 may be provided on the supply side stocker 7 from the viewpoint of preventing dust from entering the inside and preventing workers from inadvertently putting their hands or the like. The shutter 14 is set so as to perform the opening operation other than the necessary minimum time, that is, only while the transfer machine 9 is operating, in order to prevent the drying atmosphere in the main body cover 12 from being damaged as much as possible. Is preferred.
【００２７】そこで、図４及び図６に示すように全ての
ホルダー受２９に対してその先端側に検出片５８を設け
ると共に、本体カバー１２における移載口５２の一方側
部に、ブラケット５９を介して位置検出器６０を設け
た。この位置検出器６０にはリミットスイッチを用いた
が、非接触型の各種センサ類を用いてもよい。この位置
検出器６０により、まず、移載口５２に対してホルダー
受２９が正対したか否かを確認できるようにしている。Therefore, as shown in FIGS. 4 and 6, a detection piece 58 is provided on the tip end side of all the holder receivers 29, and a bracket 59 is provided on one side of the transfer port 52 in the main body cover 12. The position detector 60 was provided through the intermediary. Although a limit switch is used as the position detector 60, various non-contact sensors may be used. First, the position detector 60 can confirm whether or not the holder receiver 29 faces the transfer port 52.
【００２８】また、移載口５２における上記ブラケット
５９とは反対側の側部にもブラケット６１を設け、これ
ら両ブラケット５９，６１に対して透過型の物品検出器
６２を設けた。この物品検出器６２は、両ブラケット５
９，６１相互間を通過するホルダー受２９の上面部分で
遮断物があるか否かを検出するもので、これによってホ
ルダー受２９にサンプルホルダー１７が支持されている
か否かを確認できるようになっている。A bracket 61 is also provided on the side of the transfer port 52 opposite to the bracket 59, and a transmissive article detector 62 is provided for both brackets 59, 61. The article detector 62 includes two brackets 5
It detects whether or not there is an obstruction at the upper surface of the holder receiver 29 passing between the holders 9 and 61. This makes it possible to confirm whether or not the sample holder 17 is supported by the holder receiver 29. ing.
【００２９】すなわち、これら二重の検出器６０，６２
による所定の確認動作により、移載口５２に正対してホ
ルダー受２９が位置付けられ、且つこのホルダー受２９
にサンプルホルダー１７が無いことの確認ができるの
で、この結果に基づいてシャッター１４の開口と移載器
９の動作開始とを指示すればよいものである。なお、こ
のような二重の検出器６０，６２を用いた動作制御シス
テムは、供給側ストッカー７においても、供給側移載機
６との連動を行わせるうえで採用している。That is, these dual detectors 60 and 62
The holder receiver 29 is positioned to face the transfer port 52 by the predetermined confirmation operation by
Since it is possible to confirm that the sample holder 17 does not exist, it suffices to indicate the opening of the shutter 14 and the start of operation of the transfer device 9 based on the result. The operation control system using such dual detectors 60 and 62 is employed in the supply-side stocker 7 so as to interlock with the supply-side transfer machine 6.
【００３０】次に移載機９について説明する。移載機９
は、図３及び図１１に示すようにサンプルホルダー１７
の把持用突起２４を把持又は解放可能になったハンド部
６５と、このハンド部６５をストッカー１０の内部と搬
出用コンベヤ８の上部（図１及び図２参照）との間で移
動させる送り手段６６とを有している。Next, the transfer machine 9 will be described. Transfer machine 9
Is a sample holder 17 as shown in FIGS.
And a feed unit for moving the hand unit 65 between the inside of the stocker 10 and the upper portion of the unloading conveyor 8 (see FIGS. 1 and 2). 66.
【００３１】ハンド部６５は、流体圧シリンダ、ソレノ
イド、モータ等の適宜駆動源とリンク機構等との組み合
わせ（図示略）によって、複数の把持片６７を相互近接
・相互離反可能にしたものである。なお、図示は省略す
るが、コレット構造による把持動作を行わせるようにし
てもよい。また、把持動作をするもの以外にも、例えば
電磁石等によってサンプルホルダー１７を吸着・解放さ
せる方式や、単なる係合・離脱方式等にしてもよい。The hand portion 65 is configured such that a plurality of gripping pieces 67 can be moved toward and away from each other by appropriately combining a drive source such as a fluid pressure cylinder, a solenoid, and a motor with a link mechanism (not shown). . Although not shown, a gripping operation using a collet structure may be performed. In addition to the gripping operation, for example, a method in which the sample holder 17 is attracted and released by an electromagnet or the like, or a simple engagement / disengagement method may be used.
【００３２】送り手段６６は、横送り手段６８と昇降手
段６９とを有している。横送り手段６８は、横方向に延
びる摺動案内部７１と、この摺動案内部７１に沿って移
動可能にされた移動台７２と、この移動台７２の移動駆
動部７３とを有している。移動駆動部７３には、流体圧
シリンダをはじめ、ラックとピニオンの噛合構造を利用
した移動機構、ネジ送り機構、巻き掛け伝動機構等を用
いることができる。The feeding means 66 has a horizontal feeding means 68 and a lifting / lowering means 69. The lateral feed means 68 includes a sliding guide 71 extending in the lateral direction, a moving table 72 movable along the sliding guide 71, and a moving driving section 73 of the moving table 72. I have. As the movement driving unit 73, a moving mechanism using a meshing structure of a rack and a pinion, a screw feed mechanism, a winding transmission mechanism, and the like can be used, such as a fluid pressure cylinder.
【００３３】昇降手段６９は、横送り手段６８の移動台
７２に対して昇降自在に保持された昇降台７５と、この
昇降台７５の昇降駆動部７６とを有している。昇降駆動
部７６には、流体圧シリンダをはじめ、ラックとピニオ
ンの噛合構造を利用した移動機構、ネジ送り機構、巻き
掛け伝動機構、ソレノイド等を用いることができる。昇
降台７５は、ストッカー１０へ向けてＬ字状に曲がった
形体を有しており、その先端側に上記したハンド部６５
が設けられている。The elevating means 69 has an elevating table 75 held up and down with respect to a moving table 72 of the lateral feeding means 68, and an elevating drive part 76 of the elevating table 75. The lifting drive unit 76 may be a fluid pressure cylinder, a moving mechanism using a meshing structure of a rack and a pinion, a screw feed mechanism, a winding transmission mechanism, a solenoid, or the like. The elevating platform 75 has a shape that is bent in an L shape toward the stocker 10, and the hand portion 65
Is provided.
【００３４】従って、この送り手段６６は、横送り手段
６８の作動によってハンド部６５をストッカー１０の内
部と搬出用コンベヤ８の上部との間で出入りさせ、また
昇降手段６９の作動によって搬出用コンベヤ８に対する
サンプルホルダー１７の拾い上げや、ストッカー１０の
ホルダー受２９に対するサンプルホルダー１７の載置を
行うようになっている。Accordingly, the feeding means 66 allows the hand portion 65 to move in and out between the inside of the stocker 10 and the upper portion of the carrying-out conveyor 8 by the operation of the transverse feeding means 68, and the carrying-out conveyor by the operation of the elevating means 69. The sample holder 17 is picked up with respect to the sample holder 8 and the sample holder 17 is placed on the holder receiver 29 of the stocker 10.
【００３５】このような構成のサンプル研磨装置１（図
２参照）では、まず作業者が、サンプル２３を保持させ
たサンプルホルダー１７を供給側ストッカー７における
所要個又は全てのホルダー受２９に対して支持させる。
そして、その後、運転開始操作をする。これにより、供
給側ストッカー７においてねじ送り機構３０が作動し、
上側又は下側のホルダー受２９が次々に移載口５２へ正
対させられるようになり、またこれと並行して、供給側
移載機６によってサンプルホルダー１７が搬入用コンベ
ヤ５へ設置した透過型の物品検出器７７によって、サン
プルホルダー１７の有るか否かを検出確認しながら、次
々に送り出される。In the sample polishing apparatus 1 having such a configuration (see FIG. 2), first, the operator places the sample holder 17 holding the sample 23 on a required number or all holder holders 29 in the supply side stocker 7. Let them support you.
Then, a driving start operation is performed. Thereby, the screw feed mechanism 30 operates in the supply side stocker 7, and
The upper or lower holder receiver 29 is successively opposed to the transfer port 52 one after another, and in parallel with this, the sample holder 17 is moved by the supply-side transfer machine 6 to the transmission conveyor 5. The products are sequentially sent out while detecting and confirming whether or not the sample holder 17 is present by the article detector 77 of the mold.
【００３６】そして、１号研磨機２及び／又は２号研磨
機３による研磨処理が自動的に進められ、搬出用コンベ
ヤ８により、研磨後のサンプル２３を保持したサンプル
ホルダー１７が回収側移載機９の対応位置まで送られ
る。そこで、この回収側移載機９が作動して、搬出用コ
ンベヤ８上のサンプルホルダー１７を拾い上げると共
に、回収側ストッカー１０ではシャッター１４を開口さ
せ、ホルダー受２９に対して回収側移載機９によるサン
プルホルダー１７の搬入を受け入れる。Then, the polishing process by the first polishing machine 2 and / or the second polishing machine 3 is automatically advanced, and the carry-out conveyor 8 transfers the sample holder 17 holding the polished sample 23 to the collecting side. It is sent to the corresponding position of the machine 9. Then, the collection-side transfer machine 9 operates to pick up the sample holder 17 on the unloading conveyor 8, open the shutter 14 in the collection-side stocker 10, and place the collection-side transfer machine 9 against the holder receiver 29. Of the sample holder 17 is received.
【００３７】回収側移載機９が１サイクルの復帰動作を
した後、即ち、本体カバー１２から退出した後、回収側
ストッカー１０は直ちにシャッター１４を閉じ、次のホ
ルダー受２９を移載口５２に正対する位置へ位置付け
て、次のサイクルに待機する。このような一連の流れが
連続して、繰り返し自動的に行われる。ところで、本発
明は上記各実施形態に限定されるものではない。After the recovery-side transfer machine 9 has performed a one-cycle return operation, that is, after it has exited from the main body cover 12, the recovery-side stocker 10 immediately closes the shutter 14 and moves the next holder receiver 29 to the transfer port 52. And stands by for the next cycle. Such a series of flows are continuously and repeatedly performed automatically. By the way, the present invention is not limited to the above embodiments.
【００３８】例えば、サンプル２３の形状や材質等は何
ら限定されるものではなく、従ってそれらが異なること
によってサンプルホルダー１７の形状や構成、或いは研
磨機２，３の構成や配置等も異なることになるので、本
発明に係るストッカー７，１０やサンプル研磨装置１の
細部構成等も、適宜変更可能である。For example, the shape and material of the sample 23 are not limited at all. Therefore, the shape and material of the sample holder 17 and the structure and arrangement of the polishers 2 and 3 differ depending on the difference. Therefore, the detailed configurations of the stockers 7, 10 and the sample polishing apparatus 1 according to the present invention can be appropriately changed.
【００３９】[0039]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
係るサンプルホルダーのストッカーでは、多数のサンプ
ルホルダーを収納効率よくコンパクトに収納することが
でき、しかも研磨機に対する自動搬入や自動搬出にも対
応できるようになっている。また、このストッカーを用
いて構成したサンプル研磨装置であれば、作業全体の自
動化、高効率化が図れるようになる。As is apparent from the above description, the sample holder stocker according to the present invention can efficiently store a large number of sample holders in a compact manner, and can be used for automatic loading and unloading to and from the polishing machine. Is also available. Further, if the sample polishing apparatus is configured by using this stocker, the entire operation can be automated and the efficiency can be improved.
【図１】図２のＡ−Ａ線矢視拡大図（本発明に係るスト
ッカーの側面図）である。FIG. 1 is an enlarged view (side view of a stocker according to the present invention) taken along line AA of FIG. 2;
【図２】本発明に係るサンプル研磨装置を示す平面図で
ある。FIG. 2 is a plan view showing a sample polishing apparatus according to the present invention.
【図３】ストッカーのホルダー受とサンプルホルダーと
移載機との相互関係、及びサンプルホルダーとサンプル
との相互関係を一部破砕して示した斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the relationship between the holder holder of the stocker, the sample holder, and the transfer machine, and the relationship between the sample holder and the sample, partially broken.
【図４】支軸に対するホルダー受の保持状況を示す斜視
図である。FIG. 4 is a perspective view showing a holding state of a holder receiver on a support shaft.
【図５】ホルダー受の側面図である。FIG. 5 is a side view of a holder receiver.
【図６】本体カバーの移載口に対応してホルダー受が停
止した状態を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a state in which the holder receiving is stopped corresponding to the transfer port of the main body cover.
【図７】支軸に設けられたねじ送り機構を示す側面図で
ある。FIG. 7 is a side view showing a screw feed mechanism provided on the support shaft.
【図８】図７のＢ−Ｂ線矢視拡大図である。FIG. 8 is an enlarged view taken along line BB of FIG. 7;
【図９】ねじ送り機構における伝動手段の一部を拡大し
て示す側面図である。FIG. 9 is an enlarged side view showing a part of a transmission means in the screw feed mechanism.
【図１０】シャッターの駆動構造を本体カバーの内側か
ら示した斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a shutter driving structure from the inside of a main body cover.
【図１１】図２のＣ−Ｃ線矢視拡大図である。FIG. 11 is an enlarged view taken along line CC of FIG. 2;
１ サンプル研磨装置 ２ １号研磨機 ３ ２号研磨機 ６ 移載機（供給側） ７ ストッカー（供給側） ９ 移載機（回収側） １０ ストッカー（回収側） １２ 本体カバー １３ 除湿手段 １４ シャッター １７ サンプルホルダー ２３ サンプル ２８ 支軸 ２９ ホルダー受 ３０ ねじ送り機構 ５２ 移載口 REFERENCE SIGNS LIST 1 Sample polishing apparatus 2 No. 1 polishing machine 3 No. 2 polishing machine 6 Transfer machine (supply side) 7 Stocker (supply side) 9 Transfer machine (collection side) 10 Stocker (collection side) 12 Body cover 13 Dehumidifying means 14 Shutter 17 Sample Holder 23 Sample 28 Spindle 29 Holder Receiver 30 Screw Feeding Mechanism 52 Transfer Port
Claims (5)
れた支軸（２８）と、該支軸（２８）まわりに螺旋状に
突出して設けられた複数のホルダー受（２９）とを有
し、個々のホルダー受（２９）に対してサンプル（２
３）保持用のサンプルホルダー（１７）を支持可能にな
っていることを特徴とするサンプルホルダーのストッカ
ー。1. A support shaft (28) rotatably provided with its axis in the vertical direction, and a plurality of holder supports (29) provided helically projecting around the support shaft (28). And the sample (2) for each holder receiver (29)
3) A sample holder stocker characterized by being capable of supporting a holding sample holder (17).
０）によって回転と共に上下動が可能になされており、
サンプルホルダー（１７）の移載レベルが一定に保持さ
れることを特徴とする請求項１記載のサンプルホルダー
のストッカー。2. A screw feed mechanism (3), comprising:
0) allows vertical movement with rotation.
2. The stocker according to claim 1, wherein the transfer level of the sample holder is kept constant.
全体が除湿手段（１３）を具備した本体カバー（１２）
内に隔離収納されていることを特徴とする請求項１又は
請求項２記載のサンプルホルダーのストッカー。3. A body cover (12) in which the entire circumferential movement area of the holder receiver (29) is provided with a dehumidifying means (13).
The stocker of the sample holder according to claim 1 or 2, wherein the stocker is stored in the container.
ンプルホルダー（１７）の移載レベルに対応して移載口
（５２）が設けられており、該移載口（５２）には、必
要に応じて開閉可能なシャッター（１４）が設けられて
いることを特徴とする請求項３記載のサンプルホルダー
のストッカー。4. A transfer port (52) is provided on a peripheral wall of the main body cover (12) corresponding to a transfer level of the sample holder (17), and the transfer port (52) is provided in the transfer port (52). 4. A stocker for a sample holder according to claim 3, further comprising a shutter (14) that can be opened and closed as required.
ダー（１７）を収納する供給側ストッカー（７）と、該
供給側ストッカー（７）から供給側移載機（６）により
サンプルホルダー（１７）を受け取って各サンプル（２
３）を研磨可能になった研磨機（２，３）と、該研磨機
（２，３）から回収側移載機（９）によりサンプルホル
ダー（１７）を受け取って収納する回収側ストッカー
（１０）とを有し、供給側及び回収側のストッカー
（７，１０）に請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
のストッカーが適用されていることを特徴とするサンプ
ル研磨装置。5. A supply-side stocker (7) for accommodating a sample holder (17) for holding a sample (23), and a sample-holder (17) from the supply-side stocker (7) by a supply-side transfer machine (6). Receiving each sample (2
A polishing machine (2, 3) capable of polishing 3) and a collecting stocker (10) for receiving and storing the sample holder (17) from the polishing machine (2, 3) by the collecting transfer machine (9). 5. The sample polishing apparatus according to claim 1, wherein the stocker according to any one of claims 1 to 4 is applied to a stocker (7, 10) on a supply side and a recovery side.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02181897A JP3946803B2 (en) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | Sample holder stocker and sample polisher |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10217116A true JPH10217116A (en) | 1998-08-18 |
| JP3946803B2 JP3946803B2 (en) | 2007-07-18 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3946803B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103808548A (en) * | 2014-03-05 | 2014-05-21 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | Soft rock sample polishing device |
| CN109746831A (en) * | 2019-02-22 | 2019-05-14 | 海洋石油工程股份有限公司 | The manual sample grinding fixture and grind away method of macrospecimen |
| CN113146469A (en) * | 2021-05-14 | 2021-07-23 | 中航动力株洲航空零部件制造有限公司 | Grinding fixture for part machining |
-
1997
- 1997-02-04 JP JP02181897A patent/JP3946803B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| CN109746831A (en) * | 2019-02-22 | 2019-05-14 | 海洋石油工程股份有限公司 | The manual sample grinding fixture and grind away method of macrospecimen |
| CN113146469A (en) * | 2021-05-14 | 2021-07-23 | 中航动力株洲航空零部件制造有限公司 | Grinding fixture for part machining |
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| Publication number | Publication date |
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| JP3946803B2 (en) | 2007-07-18 |
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