JPH10213239A - 追従型圧力流体案内弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パイロットスプールの長さを短縮して軽量化
を図りメインスプールの応答性を改善して動作特性を向
上しつつ、繰り返し動作によるメインスプールの追従ず
れを減少し動作特性を向上できる追従型圧力流体案内弁
の提供。 【解決手段】 追従型圧力流体案内弁１０において、ス
リーブ１１、メインスプール１２のそれぞれの一端側に
同一構造で形成される一対の圧力室１５ａ及び１５ｂを
配設する。一対の圧力室１５ａ及び１５ｂは、スリーブ
１１に形成されたシリンダ部１１ｆとメインスプール１
２に形成されたピストン部１２ｆとで構築される。一対
の圧力室１５ａ、１５ｂのそれぞれには圧力流体発生源
２１から圧力流体が供給される。一対の圧力室１５ａ、
１５ｂのいずれか一方はパイロットスプール１３に形成
された導通路１３ａを通して排出ポート１１ｅに接続さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、追従型圧力流体案
内弁に関し、特に電気信号により圧力流体の供給及び排
出を制御しアクチュエータを駆動する追従型圧力流体案
内弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】微小な電気制御信号に基づく空気圧シリ
ンダ、油圧シリンダ等の機械的なアクチュエータの動作
制御に追従型圧力流体案内弁が使用される。図４はパワ
ーガイド方式を採用する追従型圧力流体案内弁の構成図
である。この種の追従型圧力流体案内弁は油圧シリンダ
を作動する圧力油の供給、排出を制御する。追従型圧力
流体案内弁はスリーブ１、メインスプール２、パイロッ
トスプール３及びフォースモータ４を備える。

【０００３】前記追従型圧力流体案内弁のスリーブ１は
中空体で形成され、このスリーブ１には供給ポート１
ａ、第１供給排出ポート１ｂ、第２供給排出ポート１
ｃ、排出ポート１ｄ及び１ｅの５ポートが用意されてい
る。供給ポート１ａは圧力油発生源に接続され、第１供
給排出ポート１ｂは油圧シリンダの一端に接続される。
第２供給排出ポート１ｃは油圧シリンダの他端に接続さ
れる。排出ポート１ｄ、１ｅはそれぞれ油の排出回収シ
ステムに接続されている。

【０００４】前記メインスプール２は中空体で形成さ
れ、このメインスプール２はスリーブ１の中空体内をス
ライドする。メインスプール２は複数の流体案内路２
ａ、２ｂ及び２ｃを備える。流体案内路２ａは、メイン
スプール２のスライドにより、供給ポート１ａと第１供
給排出ポート１ｂ又は第２供給排出ポート１ｃとの間の
接続、非接続を行う。流体案内路２ｂは同様にメインス
プール２のスライドにより排出ポート２ｄと第２供給排
出ポート１ｃとの間の接続、非接続を行い、流体案内路
２ｃは排出ポート１ｅと第１供給排出ポート１ｂとの間
の接続、非接続を行う。

【０００５】前記メインスプール２の一端側（図４中、
左側）にはスリーブ１の内壁、メインスプール２の一端
側側壁及びパイロットスプール３の外壁で形成される圧
力室５ａが設けられる。圧力室５ａは、その内部圧力に
よりメインスプール２の一端側側壁を押しメインスプー
ル２をスライドさせる機能を有する。同様に、メインス
プール２の他端側（同図中、右側）にはスリーブ１の内
壁、メインスプール２の他端側側壁及びパイロットスプ
ール３の外壁で形成される圧力室５ｂが設けられる。圧
力室５ｂは、その内部圧力によりメインスプール２の他
端側側壁を押しメインスプール２をスライドさせる機能
を有する。

【０００６】前記パイロットスプール３の一端側はフォ
ースモータ４に連接され、このフォースモータ４の駆動
力によりパイロットスプール３はメインスプール２の中
空体内をスライドする。パイロットスプール３の内部に
は導通路３ａ及び３ｂが形成される。導通路３ａは、前
記圧力室５ａと供給ポート１ａとの間の接続と、圧力室
５ａと排出ポート１ｅとの間の接続又は非接続とを行
う。導通路３ｂは、反対側の圧力室５ｂと供給ポート１
ａとの間の接続と、圧力室５ｂと排出ポート１ｄとの間
の接続又は非接続とを行う。

【０００７】前記フォースモータ４はヨーク４ａ、マグ
ネット４ｂ及びボイスコイル４ｃを備える。このフォー
スモータ４は、図示しないコントローラからの制御信号
により、パイロットスプール３をスライドさせる。

【０００８】次に、前述の追従型圧力流体案内弁の動作
について、図５及び図６を使用し説明する。図５、図６
はそれぞれ各動作毎に示す追従型圧力流体案内弁の構成
図である。

【０００９】まず、前述の図４に示す初期状態から、図
５に示すように図示しないコントローラからの制御信号
によりフォースモータ４を駆動し、パイロットスプール
３を矢印Ｆ１方向にスライドさせる。このパイロットス
プール３のスライドにより、パイロットスプール３の導
通路３ａを通して圧力室５ａと排出ポート１ｅとの間が
接続され、圧力室５ａの内部圧力が低下する。一方、同
時に、パイロットスプール３の導通路３ｂを通して圧力
室５ｂと供給ポート１ａとの間が接続されるとともに、
圧力室５ｂと排気ポート１ｄとの間の接続が遮断された
ままで維持され、圧力油発生源からの圧力油の供給によ
り圧力室５ｂの内部圧力が上昇する。

【００１０】この圧力室５ａの内部圧力の低下及び圧力
室５ｂの内部圧力の上昇により、図６に示すように、圧
力室５ｂの内部圧力Ｆｐがメインスプール２を矢印Ｆ２
方向にスライドさせる。すなわち、パイロットスプール
３のスライドに追従し、メインスプール２が同一方向に
スライドする。このメインスプール２のスライドによ
り、メインスプール２の流体案内路２ａを通して供給ポ
ート１ａと第１供給排出ポート１ｂとの間が接続され、
同時に流体案内路２ｂを通して排出ポート１ｄと第２供
給排出ポート１ｃとの間が接続される。

【００１１】この結果、圧力油発生源からの圧力油Ｏ１
は追従型圧力流体案内弁の供給ポート１ａ、第１供給排
出ポート１ｂを通して油圧シリンダに供給される。そし
て、この油圧シリンダから排出される油Ｏ２は第２供給
排出ポート１ｃ、排出ポート１ｄを通して排出される。
なお、前述の動作と逆の動作を行えばメインスプール２
は反対方向にスライドし、圧力油発生源からの圧力油Ｏ
１は供給ポート１ａ、第２供給排出ポート１ｃを通して
油圧シリンダに供給される。そして、この油圧シリンダ
から排出される油Ｏ２は第１供給排出ポート１ｂ、排出
ポート１ｅを通して排出される。

【００１２】また、図７はシュナイダー方式を採用する
追従型圧力流体案内弁の構成図である。この種の追従型
圧力流体案内弁は、前述のパワーガイド方式を採用する
追従型圧力流体案内弁と基本的な構造は同様で、スリー
ブ１、メインスプール２、パイロットスプール３及びフ
ォースモータ４を備える。

【００１３】図７に示す追従型圧力流体案内弁はメイン
スプール２の一端側に圧力室５ｃ、他端側に圧力室５ｄ
を備える。圧力室５ｃは、スリーブ１の内壁、メインス
プール２の一端側に形成されたリング形状部分の内壁及
びパイロットスプール３の外壁で形成される。圧力室５
ｃは、その内部圧力によりメインスプール２の一端側の
リング形状部分の内壁を押しメインスプール２をスライ
ドさせる機能を有する。圧力室５ｄはメインスプール２
の他端側の中空体内壁で形成される。圧力室５ｄは、そ
の内部圧力によりメインスプール２の中空体内の中央部
分内壁を押しメインスプール２をスライドさせる機能を
有する。

【００１４】前記パイロットスプール３の一端側は同様
にフォースモータ４に連接され、このフォースモータ４
の駆動力によりパイロットスプール３はメインスプール
２の中空体内をスライドする。パイロットスプール３の
外周部分には導通路３ｃ及び３ｄが形成される。導通路
３ｃは、前記圧力室５ｃと排出ポート１ｅとの間の接続
又は非接続を行う。導通路３ｄはメインスプール２に形
成された導通路２ｅとの間の接続、非接続を行う。メイ
ンスプール２に形成された導通路２ｅは圧力室５ｄに接
続されており、圧力室５ｄは供給ポート１ａに接続され
ている。

【００１５】次に、前述の追従型圧力流体案内弁の動作
について、図８及び図９を使用し説明する。図８、図９
はそれぞれ各動作毎に示す追従型圧力流体案内弁の構成
図である。

【００１６】まず、前述の図７に示す初期状態から、図
８に示すように図示しないコントローラからの制御信号
によりフォースモータ４を駆動し、パイロットスプール
３を矢印Ｆ１方向にスライドさせる。このパイロットス
プール３のスライドにより、パイロットスプール３の導
通路３ｃを通して圧力室５ｃと排出ポート１ｅとの間が
接続され、圧力室５ｃの内部圧力が低下する。一方、同
時に、パイロットスプール３の導通路３ｄとメインスプ
ール２の導通路２ｅとの間の接続が遮断され、供給ポー
ト１ａを通して圧力室５ｄに圧力油発生源からの圧力油
が供給され、圧力室５ｄの内部圧力が上昇する。

【００１７】この圧力室５ｃの内部圧力の低下及び圧力
室５ｄの内部圧力の上昇により、図９に示すように、圧
力室５ｄの内部圧力Ｆｐがメインスプール２を矢印Ｆ２
方向にスライドさせる。すなわち、パイロットスプール
３のスライドに追従し、メインスプール２が同一方向に
スライドする。メインスプール２は、図７に示すよう
に、圧力室５ｃの断面積Ａ１と内部圧力との積と、圧力
室５ｄの断面積Ａ２と内部圧力との積とが等しくなるま
でスライドする。このメインスプール２のスライドによ
り、メインスプール２の流体案内路２ａを通して供給ポ
ート１ａと第１供給排出ポート１ｂとの間が接続され、
同時に流体案内路２ｂを通して排出ポート１ｄと第２供
給排出ポート１ｃとの間が接続される。この結果、圧力
油発生源からの圧力油Ｏ１は追従型圧力流体案内弁の供
給ポート１ａ、第１供給排出ポート１ｂを通して油圧シ
リンダに供給される。そして、この油圧シリンダから排
出される油Ｏ２は第２供給排出ポート１ｃ、排出ポート
１ｄを通して排出される。

【００１８】なお、前述の動作と逆の動作を行いパイロ
ットスプール３が反対方向にスライドすると、圧力室５
ｃと排出ポート１ｅとの間の接続が遮断されるととも
に、圧力室５ｃと供給ポート１ａとの間が導通路２ｅ、
３ｄのそれぞれを通して接続される。つまり、供給ポー
ト１ａから圧力室５ｃに圧力油発生源からの圧力油が供
給され、圧力室５ｃの内部圧力が上昇する。圧力室５ｃ
の内部圧力の上昇により、図９に示すように、圧力室５
ｃの内部圧力Ｆｐ’がメインスプール２を反対方向にス
ライドさせる。この結果、圧力油発生源からの圧力油Ｏ
１は供給ポート１ａ、第２供給排出ポート１ｃを通して
油圧シリンダに供給される。そして、この油圧シリンダ
から排出される油Ｏ２は第１供給排出ポート１ｂ、排出
ポート１ｅを通して排出される。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】前述の図４に示すパワ
ーガイド方式を採用する追従型圧力流体案内弁において
は、メインスプール２を追従してスライドさせる一対の
圧力室５ａ、５ｂがメインスプール２の一端側、他端側
にそれぞれ離間して配設される。そして、圧力室５ａと
供給ポート１ａとの間を接続する導通路３ａ、圧力室５
ｂと供給ポート１ｂとの間を接続する導通路３ｂはいず
れもパイロットスプール３に埋設される。このため、パ
イロットスプール３の長さがメインスプール２の長さよ
りも長くなり、パイロットスプール３が重いので、パイ
ロットスプール３のスライドの応答性が充分でなく、充
分な動作特性が得られなかった。

【００２０】一方、図７に示すシュナイダー方式を採用
する追従型圧力流体案内弁においては、メインスプール
２の中空体内の約半分が圧力室５ｄとして利用され、パ
イロットスプール３の長さが約半分に短くできるので、
パイロットスプール３の軽量化が実現され、充分な動作
特性が得られる利点がある。しかしながら、圧力室５
ｃ、５ｄのそれぞれの構造が全く異なり、パイロットス
プール３とメインスプール２との間で繰り返し行われる
スライドにより圧力室５ｃと導通路３ｃ、３ｄのそれぞ
れとの間の制御オリフィス６が摩耗する。このため、追
従型圧力流体案内弁の動作を繰り返し実施することによ
り、圧力室５ｃ、５ｄのそれぞれの圧力条件が変化し、
パイロットスプール３のスライドに対するメインスプー
ル２のスライドに追従ずれが発生し、安定な動作特性が
得られなかった。

【００２１】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものである。従って、本発明の目的は、パイロットス
プールの長さを短縮して軽量化を図りメインスプールの
応答性を改善して動作特性を向上しつつ、繰り返し動作
によるメインスプールの追従ずれを減少し動作特性を向
上できる追従型圧力流体案内弁を提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載された発明は、追従型圧力流体案内
弁において、中空体形状で形成され、圧力流体発生源に
接続される供給ポート、アクチュエータの一方の供給排
出ポートに接続される第１供給排出ポート、前記アクチ
ュエータの他方の供給排出ポートに接続される第２供給
排出ポート及び排出ポートを有するスリーブと、中空体
形状で形成され、前記スリーブの中空体内をスライドし
前記供給ポートと第１供給排出ポートとの間の開閉及び
第２供給排出ポートと排出ポートとの間の開閉を行うメ
インスプールと、前記スリーブの一端側又はメインスプ
ールの一端側に形成されたシリンダ部と前記メインスプ
ールの一端側又はスリーブの一端側に形成されたピスト
ン部とにより前記ピストン部の両側に形成され、前記ピ
ストン部を互いに反対方向に押圧し前記スリーブに対し
てメインスプールをスライドさせる一対の圧力室と、前
記メインスプールの中空体内をスライドし、前記一方の
圧力室を閉止するとともに他方の圧力室を前記排出ポー
トに連結するパイロットスプールと、前記一方の圧力室
を閉止し他方の圧力室を排出ポートに連結するスライド
を前記パイロットスプールに与える駆動源と、を備え、
前記駆動源によりパイロットスプールをスライドさせ、
一方の圧力室を閉止し他方の圧力室を排出ポートに連結
することにより前記一方の圧力室の内圧によりメインス
プールをスライドさせ、前記供給ポートと第１供給排出
ポートとの間を接続して圧力流体発生源から圧力流体を
アクチュエータに供給するとともに、前記第２供給排出
ポートと排出ポートとの間を接続してアクチュエータか
ら流体を排出することを特徴とする。

【００２３】前記請求項１に記載された発明において
は、前記パイロットスプールのスライドに追従させてメ
インスプールをスライドさせる一対の圧力室をスリー
ブ、メインスプールのそれぞれの一端側に配設したの
で、前記一対の圧力室と排出ポートとの間を連結する程
度の長さで前記パイロットスプールが形成できる。この
結果、パイロットスプールの長さが短縮でき、かつ軽量
化できるので、追従型圧力流体案内弁の動作特性が向上
できる。さらに、前記一対の圧力室はシリンダ部とピス
トン部とを組み合わせそれぞれ左右対称的な同一構造で
形成したので、圧力室の閉止動作及び圧力室と排出ポー
トとの間の連結動作を繰り返し実施したことによる摩耗
等に起因する動作条件の変化が一対の圧力室のそれぞれ
において等しくなる。この結果、追従型圧力流体案内弁
の動作を繰り返し実施しても、パイロットスプールのス
ライドに対するメインスプールのスライドの追従ずれが
なくなり、追従型圧力流体案内弁の動作特性が向上でき
る。

【００２４】請求項２に記載された発明は、前記請求項
１に記載された追従型圧力流体案内弁において、前記一
対の圧力室は、それぞれスリーブに形成されたオリフィ
スを通して圧力流体発生源に接続され、かつそれぞれメ
インスプールに形成されたオリフィスを通して排出ポー
トに接続されることを特徴とする。

【００２５】請求項３に記載された発明は、前記請求項
２に記載された追従型圧力流体案内弁において、前記圧
力流体には空気、油又は水が使用されることを特徴とす
る。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は本発明の一実施形態に係る追従型圧
力流体案内弁及びこの追従型圧力流体案内弁を組み込ん
だアクチュエータ駆動システムの構成図である。アクチ
ュエータ駆動システムは、同図１に示すように、追従型
圧力流体案内弁１０、コントローラ２０、圧力流体発生
源２１、排出回収システム２２、アクチュエータ２３を
備える。

【００２７】前記追従型圧力流体案内弁１０はスリーブ
１１、メインスプール１２、パイロットスプール１３及
び駆動源１４を備える。追従型圧力流体案内弁１０のス
リーブ１１は中空体で形成され、このスリーブ１１には
供給ポート１１ａ、第１供給排出ポート１１ｂ、第２供
給排出ポート１１ｃ、排出ポート１１ｄ及び１１ｅの５
ポートが用意されている。供給ポート１１ａは圧力流体
発生源２１に接続される。圧力流体発生源２１には本実
施形態において圧力油を生成する圧力油発生源が使用さ
れる。第１供給排出ポート１１ｂはアクチュエータ２３
の一方の端子に接続される。アクチュエータ２３には本
実施形態において油圧シリンダが使用される。第２供給
排出ポート１１ｃはアクチュエータ２３の他の一方の端
子に接続される。排出ポート１１ｄ、１１ｅはそれぞれ
排出回収システム２２に接続される。

【００２８】前記メインスプール１２は中空体で形成さ
れ、このメインスプール１２はスリーブ１１の中空体内
をスライドする。メインスプール１２は複数の流体案内
路１２ａ、１２ｂ及び１２ｃを備える。流体案内路１２
ａは、メインスプール１２のスライドにより、供給ポー
ト１１ａと第１供給排出ポート１１ｂ又は第２供給排出
ポート１１ｃとの間の接続、非接続を行う。流体案内路
１２ｂは同様にメインスプール１２のスライドにより排
出ポート１１ｄと第２供給排出ポート１１ｃとの間の接
続、非接続を行い、流体案内路１２ｃは排出ポート１１
ｅと第１供給排出ポート１１ｂとの間の接続、非接続を
行う。

【００２９】前記メインスプール１２の一端側（図１
中、左側の駆動源１４側）には実質的に左右対称形状で
かつ同一構造で形成された一対の圧力室１５ａ及び１５
ｂが構成される。一対の圧力室１５ａ及び１５ｂは、ス
リーブ１１の中空体内壁に沿ったリング形状の溝で形成
されたシリンダ部１１ｆと、メインスプール１２の外壁
に突出して形成されたピストン部１２ｆとを組み合わせ
て構築される。つまり、一対の圧力室１５ａ及び１５ｂ
は、シリンダ部１１ｆとピストン部１２ｆとで形成され
るキャビティで形成され、ピストン部１２ｆの両側にそ
れぞれ形成される。さらに詳細には、圧力室１５ａはシ
リンダ部１１ｆの内壁、ピストン部１２ｆの左側側壁及
びパイロットスプール１３の外周で形成され、圧力室１
５ｂはシリンダ部１１ｆの内壁、ピストン部１２ｆの右
側側壁及びパイロットスプール１３の外周で形成され
る。一対の圧力室１５ａ、１５ｂはそれぞれスリーブ１
１に形成された上流制御オリフィス１６ａを通して圧力
流体発生源２１に接続される。圧力室１５ａは、その内
部圧力によりピストン部１２ｆの左側側壁を押しメイン
スプール２を右方向にスライドさせる機能を有する。同
様に、圧力室１５ｂは、その内部圧力によりピストン部
１２ｆの右側側壁を押しメインスプール２を左方向にス
ライドさせる機能を有する。

【００３０】なお、本発明においては、一対の圧力室１
５ａ及び１５ｂを、スリーブ１１側に形成したピストン
部とメインスプール１２側に形成したシリンダ部とで構
築することができる。

【００３１】前記パイロットスプール１３の一端側は駆
動源１４に連接され、この駆動源１４の駆動力によりパ
イロットスプール１３はメインスプール１２の中空体内
をスライドする。パイロットスプール１３の内部には導
通路１３ａが形成される。導通路１３ａは、前記圧力室
１５ａと排出ポート１１ｅとの間の接続と、圧力室１５
ｂと排出ポート１１ｅとの間の接続とを行う。一対の圧
力室１５ａ、１５ｂのうちいずれか一方が導通路１３ａ
を通して排出ポート１１ｅに接続されているとき、いず
れか他方は排出ポート１１ｅとの間の接続が遮断され
る。一対の圧力室１５ａ、１５ｂのそれぞれと導通路１
３ａとの間の接続はメインスプール１２に形成された下
流制御オリフィス１６ｂを通して行われる。

【００３２】前記駆動源１４には本実施形態においてフ
ォースモータが使用される。フォースモータはヨーク１
４ａ、マグネット１４ｂ及びボイスコイル１４ｃを備え
る。このフォースモータはコントローラ２０からの制御
信号によりパイロットスプール１３をスライドさせる。

【００３３】次に、前述の本実施形態に係る追従型圧力
流体案内弁の動作について、図２及び図３を使用し説明
する。図２、図３はそれぞれ各動作毎に示す追従型圧力
流体案内弁の構成図である。

【００３４】まず、前述の図１に示す初期状態から、図
２に示すようにコントローラ２０からの制御信号により
駆動源１４を駆動し、パイロットスプール１３を矢印Ｆ
１方向にスライドさせる。このパイロットスプール１３
のスライドにより、パイロットスプール１３の導通路１
３ａを通して圧力室１５ａと排出ポート１１ｅとの間が
接続され、圧力室１５ａの内部圧力が低下する。一方、
同時に、パイロットスプール１３の導通路３ｂと圧力室
１５ｂとの間の接続が遮断され、圧力流体発生源２１か
ら上流制御オリフィス１６ａを通して供給される圧力油
により圧力室１５ｂの内部圧力が上昇する。

【００３５】この圧力室１５ａの内部圧力の低下及び圧
力室１５ｂの内部圧力の上昇により、図３に示すよう
に、圧力室１５ｂの内部圧力Ｆｐがメインスプール１２
を矢印Ｆ２方向にスライドさせる。すなわち、パイロッ
トスプール１３のスライドに追従し、メインスプール１
２が同一方向にスライドする。このメインスプール１２
のスライドにより、メインスプール１２の流体案内路１
２ａを通して供給ポート１１ａと第１供給排出ポート１
１ｂとの間が接続され、同時に流体案内路１２ｂを通し
て排出ポート１１ｄと第２供給排出ポート１１ｃとの間
が接続される。

【００３６】この結果、圧力流体発生源２１からの圧力
流体（圧力油）ｆ１は追従型圧力流体案内弁の供給ポー
ト１１ａ、第１供給排出ポート１１ｂを通してアクチュ
エータ２３に供給される。そして、このアクチュエータ
２３から排出される流体（油）ｆ２は第２供給排出ポー
ト１１ｃ、排出ポート１１ｄを通して排出回収システム
２２に排出される。排出回収システム２２に排出された
流体ｆ２は再生され、再生された流体は再度圧力流体発
生源２１において使用される。

【００３７】なお、前述の動作と逆の動作を行えば、メ
インスプール１２は反対方向にスライドし、圧力流体発
生源２１からの圧力流体ｆ１は供給ポート１１ａ、第２
供給排出ポート１１ｃを通してアクチュエータ２３に供
給される。そして、このアクチュエータ２３から排出さ
れる流体ｆ２は第１供給排出ポート１１ｂ、排出ポート
１１ｅを通して排出回収システム２２に排出される。

【００３８】このように構成される追従型圧力流体案内
弁１０においては、パイロットスプール１３のスライド
に追従させてメインスプール１２をスライドさせる一対
の圧力室１５ａ及び１５ｂをスリーブ１１、メインスプ
ール１２のそれぞれの一端側に配設したので、前記一対
の圧力室１５ａ及び１５ｂと排出ポート１１ｅとの間を
連結する程度の長さで前記パイロットスプール１３が形
成できる。この結果、パイロットスプール１３の長さが
短縮でき、かつ軽量化できるので、追従型圧力流体案内
弁１０の動作特性が向上できる。

【００３９】さらに、追従型圧力流体案内弁１０におい
ては、前記一対の圧力室１５ａ及び１５ｂはシリンダ部
１１ｆとピストン部１２ｆとを組み合わせそれぞれ左右
対称的な同一構造で形成したので、圧力室１５ａ、１５
ｂの閉止動作及び圧力室１５ａ、１５ｂのそれぞれと排
出ポート１１ｅとの間の連結動作を繰り返し実施したこ
とによる摩耗等に起因する動作条件の変化が一対の圧力
室１５ａ、１５ｂのそれぞれにおいて等しくなる。この
結果、追従型圧力流体案内弁１０の動作を繰り返し実施
しても、パイロットスプール１３のスライドに対するメ
インスプール１２のスライドの追従ずれがなくなり、追
従型圧力流体案内弁１０の動作特性が向上できる。

【００４０】変形例 本発明は、前述の実施形態に限定されず、種々の変形が
できる。例えば、本発明に係る追従型圧力流体案内弁に
おいて、圧力空気、圧力不活性ガス、圧力水等のいずれ
かを供給する圧力流体発生源２１とし、アクチュエータ
２３はこれらの流体により駆動されてもよい。圧力空気
が使用される場合、排出回収システム２２は不要にな
り、圧力空気は大気中に排出される。

【００４１】また、本発明に係る追従型圧力流体案内弁
において、駆動源１４にトルクモータ等、他の駆動シス
テムが使用できる。

【００４２】

【発明の効果】本発明においては、パイロットスプール
の長さを短縮して軽量化を図りメインスプールの応答性
を改善して動作特性を向上しつつ、繰り返し動作による
メインスプールの追従ずれを減少し動作特性を向上でき
る追従型圧力流体案内弁が提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態に係る追従型圧力流体案
内弁及びこの追従型圧力流体案内弁を組み込んだアクチ
ュエータ駆動システムの構成図である。

【図２】 前記追従型圧力流体案内弁の第１動作におけ
る構成図である。

【図３】 前記追従型圧力流体案内弁の第２動作におけ
る構成図である。

【図４】 従来技術に係る追従型圧力流体案内弁の構成
図である。

【図５】 前記追従型圧力流体案内弁の第１動作におけ
る構成図である。

【図６】 前記追従型圧力流体案内弁の第２動作におけ
る構成図である。

【図７】 従来技術に係る追従型圧力流体案内弁の構成
図である。

【図８】 前記追従型圧力流体案内弁の第１動作におけ
る構成図である。

【図９】 前記追従型圧力流体案内弁の第２動作におけ
る構成図である。

【符号の説明】

１０ 追従型圧力流体案内弁、１１ スリーブ、１１ａ
供給ポート、１１ｂ第１供給排出ポート、１１ｃ 第
２供給排出ポート、１１ｄ、１１ｅ 排出ポート、１１
ｆ シリンダ部、１２ メインスプール、１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ流体案内路、１１ｆ シリンダ部、１２ｆ
ピストン部、１３ パイロットスプール、１３ａ 導通
路、１４ 駆動源、１５ａ、１５ｂ 圧力室、１６ａ
上流制御オリフイス、１６ｂ 下流制御オリフィス、２
０ コントローラ、２１ 圧力流体発生源、２２ 排出
回収システム、２３ アクチュエータ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中空体形状で形成され、圧力流体発生源
   に接続される供給ポート、アクチュエータの一方の供給
   排出ポートに接続される第１供給排出ポート、前記アク
   チュエータの他方の供給排出ポートに接続される第２供
   給排出ポート及び排出ポートを有するスリーブと、 中空体形状で形成され、前記スリーブの中空体内をスラ
   イドし前記供給ポートと第１供給排出ポートとの間の開
   閉及び第２供給排出ポートと排出ポートとの間の開閉を
   行うメインスプールと、 前記スリーブの一端側又はメインスプールの一端側に形
   成されたシリンダ部と前記メインスプールの一端側又は
   スリーブの一端側に形成されたピストン部とにより前記
   ピストン部の両側に形成され、前記ピストン部を互いに
   反対方向に押圧し前記スリーブに対してメインスプール
   をスライドさせる一対の圧力室と、 前記メインスプールの中空体内をスライドし、前記一方
   の圧力室を閉止するとともに他方の圧力室を前記排出ポ
   ートに連結するパイロットスプールと、 前記一方の圧力室を閉止し他方の圧力室を排出ポートに
   連結するスライドを前記パイロットスプールに与える駆
   動源と、 を備え、 前記駆動源によりパイロットスプールをスライドさせ、
   一方の圧力室を閉止し他方の圧力室を排出ポートに連結
   することにより前記一方の圧力室の内圧によりメインス
   プールをスライドさせ、前記供給ポートと第１供給排出
   ポートとの間を接続して圧力流体発生源から圧力流体を
   アクチュエータに供給するとともに、前記第２供給排出
   ポートと排出ポートとの間を接続してアクチュエータか
   ら流体を排出することを特徴とする追従型圧力流体案内
   弁。
2. 【請求項２】 前記請求項１に記載された追従型圧力流
   体案内弁において、 前記一対の圧力室は、 それぞれスリーブに形成されたオリフィスを通して圧力
   流体発生源に接続され、かつそれぞれメインスプールに
   形成されたオリフィスを通して排出ポートに接続される
   ことを特徴とする追従型圧力流体案内弁。
3. 【請求項３】 前記請求項２に記載された追従型圧力流
   体案内弁において、 前記圧力流体には圧力空気、圧力油又は圧力水が使用さ
   れることを特徴とする追従型圧力流体案内弁。