JPH10211487A - 活性炭処理装置 - Google Patents
活性炭処理装置Info
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- JPH10211487A JPH10211487A JP1525097A JP1525097A JPH10211487A JP H10211487 A JPH10211487 A JP H10211487A JP 1525097 A JP1525097 A JP 1525097A JP 1525097 A JP1525097 A JP 1525097A JP H10211487 A JPH10211487 A JP H10211487A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 発生した酸素ガスが容易に上方に抜け、チャ
ネリングによる短絡を防止する。 【構成】 活性炭塔10は、逆円錐台上に形成されてお
り、上方に向けて断面積が大きくなっている。従って、
その内部の活性炭層12もその断面積が上方に向けてだ
んだん大きくなっている。被処理液は、活性炭塔10の
底部に導入され、処理液は上部から排出される。従っ
て、被処理液は、活性炭層12の底部の活性炭と最初に
接触し、この部分でたくさんの酸素ガスが発生し、これ
が大径化しながら上方に抜ける。ここで、活性炭層12
の活性炭は上部ほど移動しやすい。従って、気泡が抜け
る際に上部の活性炭は気泡と入れ替わりやすくチャネリ
ングによる短絡を効果的に防止できる。
ネリングによる短絡を防止する。 【構成】 活性炭塔10は、逆円錐台上に形成されてお
り、上方に向けて断面積が大きくなっている。従って、
その内部の活性炭層12もその断面積が上方に向けてだ
んだん大きくなっている。被処理液は、活性炭塔10の
底部に導入され、処理液は上部から排出される。従っ
て、被処理液は、活性炭層12の底部の活性炭と最初に
接触し、この部分でたくさんの酸素ガスが発生し、これ
が大径化しながら上方に抜ける。ここで、活性炭層12
の活性炭は上部ほど移動しやすい。従って、気泡が抜け
る際に上部の活性炭は気泡と入れ替わりやすくチャネリ
ングによる短絡を効果的に防止できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、過酸化水素を含む
被処理液を粒状活性炭を充填した活性炭塔に導入し、被
処理液を粒状活性炭と接触させ過酸化水素を分解する活
性炭処理装置に関する。
被処理液を粒状活性炭を充填した活性炭塔に導入し、被
処理液を粒状活性炭と接触させ過酸化水素を分解する活
性炭処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】各種半導体デバイスや液晶表示装置など
の製造工程から排出される排水中には、過酸化水素が含
まれる場合が多い。これは、半導体ウエハの洗浄工程な
どにおいて、過酸化水素を含む洗浄液が使用されるから
である。通常の場合、これら排水における過酸化水素濃
度は、数10〜数100mg/L程度であり、そのまま
では公共水域に放流したり、再利用することができな
い。そこで、排水中の過酸化水素を分解除去する必要が
あり、被処理液を粒状の活性炭と接触させることにより
過酸化水素を酸素と水に分解させる方法が広く採用され
ている。
の製造工程から排出される排水中には、過酸化水素が含
まれる場合が多い。これは、半導体ウエハの洗浄工程な
どにおいて、過酸化水素を含む洗浄液が使用されるから
である。通常の場合、これら排水における過酸化水素濃
度は、数10〜数100mg/L程度であり、そのまま
では公共水域に放流したり、再利用することができな
い。そこで、排水中の過酸化水素を分解除去する必要が
あり、被処理液を粒状の活性炭と接触させることにより
過酸化水素を酸素と水に分解させる方法が広く採用され
ている。
【0003】ところが、この方法では、処理によって発
生する酸素ガスがスムーズには上方に抜けず、ある程度
活性炭層内に蓄積し大気泡になってから間欠的に抜ける
傾向がある。そして、このような状態では、流体の流れ
にチャネリングが生じ、粒状活性炭と被処理液の接触が
十分に行われなくなり、過酸化水素を十分に分解できな
いという問題があった。
生する酸素ガスがスムーズには上方に抜けず、ある程度
活性炭層内に蓄積し大気泡になってから間欠的に抜ける
傾向がある。そして、このような状態では、流体の流れ
にチャネリングが生じ、粒状活性炭と被処理液の接触が
十分に行われなくなり、過酸化水素を十分に分解できな
いという問題があった。
【0004】このようなチャネリングを防止するため、
活性炭層内に被処理液を上向流で流通することが行われ
ている。上向流とすれば、それだけ気泡の上方への動き
が促進され、発生した酸素ガスが活性炭層内から抜けや
すくなり、チャネリングが起きにくくなる。
活性炭層内に被処理液を上向流で流通することが行われ
ている。上向流とすれば、それだけ気泡の上方への動き
が促進され、発生した酸素ガスが活性炭層内から抜けや
すくなり、チャネリングが起きにくくなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ここで、過酸化水素濃
度が上述のような濃度の場合には、上向流とすること
が、チャネリング防止に効果がある。しかし、過酸化水
素濃度がさらに高濃度になった場合には、上向流の活性
炭処理塔であっても、十分なチャネリング防止が達成で
きないことがわかってきた。
度が上述のような濃度の場合には、上向流とすること
が、チャネリング防止に効果がある。しかし、過酸化水
素濃度がさらに高濃度になった場合には、上向流の活性
炭処理塔であっても、十分なチャネリング防止が達成で
きないことがわかってきた。
【0006】特に、近年では製造上の都合などにより、
一時的に数1000〜10000mg/L、さらにはそ
れ以上の高濃度の過酸化水素を含む排水が排出される場
合もある。このような排水について活性炭処理を行う
と、一時的に過酸化水素が十分分解できなくなる。さら
に、大量に発生する気泡が上方に十分には抜けきらず、
チャネリングが生じ、そのために高濃度排水の一時的な
排出が終了して排水中の過酸化水素濃度が低下したあと
でも、過酸化水素の漏出が長時間にわたって継続される
という問題ががあった。
一時的に数1000〜10000mg/L、さらにはそ
れ以上の高濃度の過酸化水素を含む排水が排出される場
合もある。このような排水について活性炭処理を行う
と、一時的に過酸化水素が十分分解できなくなる。さら
に、大量に発生する気泡が上方に十分には抜けきらず、
チャネリングが生じ、そのために高濃度排水の一時的な
排出が終了して排水中の過酸化水素濃度が低下したあと
でも、過酸化水素の漏出が長時間にわたって継続される
という問題ががあった。
【0007】本発明は、高濃度の過酸化水素を含有する
排水について、チャネリングの発生を最小限に抑制し、
安定して過酸化水素を分解できる活性炭処理装置を提供
することを目的とする。
排水について、チャネリングの発生を最小限に抑制し、
安定して過酸化水素を分解できる活性炭処理装置を提供
することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、過酸化水素を
含む被処理液を粒状活性炭を充填した活性炭塔に底部側
から上部側へ向けて上向流で流通し、被処理液を粒状活
性炭と接触させて過酸化水素を分解する活性炭処理装置
であって、活性炭塔内部に充填された粒状活性炭によっ
て形成される活性炭層の上部側の断面積を底部側に比べ
大きくしたことを特徴とする。
含む被処理液を粒状活性炭を充填した活性炭塔に底部側
から上部側へ向けて上向流で流通し、被処理液を粒状活
性炭と接触させて過酸化水素を分解する活性炭処理装置
であって、活性炭塔内部に充填された粒状活性炭によっ
て形成される活性炭層の上部側の断面積を底部側に比べ
大きくしたことを特徴とする。
【0009】過酸化水素を含む被処理液が活性炭塔にそ
の底部から導入されると、被処理液は内部に充填された
粒状活性炭と接触し、その触媒作用により酸素ガスと水
に効果的に分解される。このため、活性炭層内におい
て、さかんに酸素ガスが発生する。発生した酸素ガスの
気泡は、近くのものと合体し大径化する。そして、大径
化した気泡が活性炭層内を上昇するが、本発明装置にお
いては塔内部に形成された活性炭層の断面積が上方ほど
大きくなっているので、大径化した気泡は活性炭層から
容易に抜けるようになる。なお、活性炭層の断面積が上
方ほど大きくなるようにすることにより、気泡が抜け易
くなる理由は明らかではないが、充填された粒状活性炭
は上方に行くほど移動の自由度が増し、動きやすくなっ
ていると考えられる。そのため、下部の粒状活性炭を押
しのけて上昇してきた気泡は、その上方で移動が妨げら
れることなく、活性炭層の上方に抜け、また気泡の通過
によって押しのけられた粒状活性炭も速やかに元の位置
に戻ると考えられる。いずれにしても、本発明により従
来のようなチャネリングによる短絡を効果的に防止する
ことができることは後述の実施例で示すごとく明らかで
ある。
の底部から導入されると、被処理液は内部に充填された
粒状活性炭と接触し、その触媒作用により酸素ガスと水
に効果的に分解される。このため、活性炭層内におい
て、さかんに酸素ガスが発生する。発生した酸素ガスの
気泡は、近くのものと合体し大径化する。そして、大径
化した気泡が活性炭層内を上昇するが、本発明装置にお
いては塔内部に形成された活性炭層の断面積が上方ほど
大きくなっているので、大径化した気泡は活性炭層から
容易に抜けるようになる。なお、活性炭層の断面積が上
方ほど大きくなるようにすることにより、気泡が抜け易
くなる理由は明らかではないが、充填された粒状活性炭
は上方に行くほど移動の自由度が増し、動きやすくなっ
ていると考えられる。そのため、下部の粒状活性炭を押
しのけて上昇してきた気泡は、その上方で移動が妨げら
れることなく、活性炭層の上方に抜け、また気泡の通過
によって押しのけられた粒状活性炭も速やかに元の位置
に戻ると考えられる。いずれにしても、本発明により従
来のようなチャネリングによる短絡を効果的に防止する
ことができることは後述の実施例で示すごとく明らかで
ある。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態(以下
実施形態という)について、図面に基づいて説明する。
実施形態という)について、図面に基づいて説明する。
【0011】図1に本発明の一実施形態に係る活性炭処
理装置の構成を示す。活性炭塔10の内部には、粒状活
性炭が充填され活性炭層12が形成されている。また、
活性炭塔10の底部には、被処理液を活性炭塔10の内
部に導入する流入管14が接続され、活性炭塔10の上
部には、処理液の流出管16が接続されている。
理装置の構成を示す。活性炭塔10の内部には、粒状活
性炭が充填され活性炭層12が形成されている。また、
活性炭塔10の底部には、被処理液を活性炭塔10の内
部に導入する流入管14が接続され、活性炭塔10の上
部には、処理液の流出管16が接続されている。
【0012】ここで、流入管14は、その先端が活性炭
層12内の底部にまでのびており、先端には、目板18
が配置されている。この目板18は、流入管14からの
被処理液を活性炭層12内に供給しながら、活性炭が流
入管14内に逆流してくるのを防止している。また、流
出管16は、その先端が活性炭塔10の上部までのびて
おり、ここにコレクタ20が接続されている。このコレ
クタ20は、活性炭塔10内の上部から均等に処理液を
採取するものであり、多数の開口を有するパイプ状のも
のなどが採用される。
層12内の底部にまでのびており、先端には、目板18
が配置されている。この目板18は、流入管14からの
被処理液を活性炭層12内に供給しながら、活性炭が流
入管14内に逆流してくるのを防止している。また、流
出管16は、その先端が活性炭塔10の上部までのびて
おり、ここにコレクタ20が接続されている。このコレ
クタ20は、活性炭塔10内の上部から均等に処理液を
採取するものであり、多数の開口を有するパイプ状のも
のなどが採用される。
【0013】そして、本実施形態においては、活性炭塔
10は、下方に向けて直径が小さくなる略逆円錐台状
(ホッパ状)の形状を有している。従って、その内部に
収容されている活性炭層12の断面積は、下方に向けて
だんだん小さくなっている。
10は、下方に向けて直径が小さくなる略逆円錐台状
(ホッパ状)の形状を有している。従って、その内部に
収容されている活性炭層12の断面積は、下方に向けて
だんだん小さくなっている。
【0014】このような装置において、流入管14を介
し、活性炭塔10の内部に被処理液を導入する。この被
処理液は、例えば半導体デバイスの製造工程からの排水
であり、高濃度の過酸化水素を含んでいる。なお、図示
していないが、被処理液は通常の場合一旦排水貯槽に貯
留され、ポンプにより圧送されてくる。この被処理液が
活性炭塔10にその底部から導入されると、被処理液は
粒状活性炭と接触し、その触媒作用により酸素ガスと、
水に効果的に分解される。このため、活性炭層12内に
おいて、さかんに酸素ガスが発生する。発生した酸素ガ
スの気泡は、近くのものと合体し、大径化する。そし
て、大径化した気泡が上昇するが、本実施形態では、活
性炭層12の断面積が上方ほど大きくなっている。従っ
て、活性炭層12の粒状活性炭は上方に行くほど移動の
自由度が増し、動きやすくなっている。そこで、下部の
粒状活性炭を押しのけて上昇してきた気泡は、その上方
で移動が妨げられることなく、活性炭層12の上方に抜
け、また気泡の通過によって押しのけられた粒状活性炭
も速やかに元の位置に戻る。このため、従来のようなチ
ャネリングによる被処理液の短絡を効果的に防止するこ
とができる。
し、活性炭塔10の内部に被処理液を導入する。この被
処理液は、例えば半導体デバイスの製造工程からの排水
であり、高濃度の過酸化水素を含んでいる。なお、図示
していないが、被処理液は通常の場合一旦排水貯槽に貯
留され、ポンプにより圧送されてくる。この被処理液が
活性炭塔10にその底部から導入されると、被処理液は
粒状活性炭と接触し、その触媒作用により酸素ガスと、
水に効果的に分解される。このため、活性炭層12内に
おいて、さかんに酸素ガスが発生する。発生した酸素ガ
スの気泡は、近くのものと合体し、大径化する。そし
て、大径化した気泡が上昇するが、本実施形態では、活
性炭層12の断面積が上方ほど大きくなっている。従っ
て、活性炭層12の粒状活性炭は上方に行くほど移動の
自由度が増し、動きやすくなっている。そこで、下部の
粒状活性炭を押しのけて上昇してきた気泡は、その上方
で移動が妨げられることなく、活性炭層12の上方に抜
け、また気泡の通過によって押しのけられた粒状活性炭
も速やかに元の位置に戻る。このため、従来のようなチ
ャネリングによる被処理液の短絡を効果的に防止するこ
とができる。
【0015】「その他の構成」図2に、他の実施形態を
示す。この例では、活性炭塔10が小径の下部直胴部1
0aと下部直胴部10aより大径の上部直胴部10bと
から形成され、両者の中間が逆円錐台状の中間部10c
となっており、かつ活性炭層12が上部直胴部10bに
まで至っている。したがって、この実施形態において
も、上述の場合と同様に、活性炭層12の上部が下部よ
り断面積が広い。従って、上述の場合と同様に気泡の上
方への抜けが効果的に行われ、チャネリングによる被処
理液の短絡が防止される。
示す。この例では、活性炭塔10が小径の下部直胴部1
0aと下部直胴部10aより大径の上部直胴部10bと
から形成され、両者の中間が逆円錐台状の中間部10c
となっており、かつ活性炭層12が上部直胴部10bに
まで至っている。したがって、この実施形態において
も、上述の場合と同様に、活性炭層12の上部が下部よ
り断面積が広い。従って、上述の場合と同様に気泡の上
方への抜けが効果的に行われ、チャネリングによる被処
理液の短絡が防止される。
【0016】図3は、さらに他の実施形態を示してい
る。この装置では、活性炭塔10の外形は、径が一定の
円筒状である。そして、活性炭塔10の底部近傍には、
図3(b)に示すようなドーナツ状の多孔板からなるス
トレーナ22が配置され、その下方に被処理液室24が
区画形成されている。活性炭層12の粒状活性炭はスト
レーナ22により落下が防止され、被処理液はストレー
ナ22を介し活性炭層12に供給される。そして、スト
レーナ22の内側上方には、円錐状の封止体26が設け
られており、ストレーナ22の内側上方の円錐状空間を
占領している。従って、活性炭塔10は、ストレーナ2
2の上方において、徐々に内側空間が広がるように形成
されている。すなわち、活性炭塔10内に充填された粒
状活性炭によって形成される活性炭層12の断面積は、
上方に向かって徐々に大きくなっている。
る。この装置では、活性炭塔10の外形は、径が一定の
円筒状である。そして、活性炭塔10の底部近傍には、
図3(b)に示すようなドーナツ状の多孔板からなるス
トレーナ22が配置され、その下方に被処理液室24が
区画形成されている。活性炭層12の粒状活性炭はスト
レーナ22により落下が防止され、被処理液はストレー
ナ22を介し活性炭層12に供給される。そして、スト
レーナ22の内側上方には、円錐状の封止体26が設け
られており、ストレーナ22の内側上方の円錐状空間を
占領している。従って、活性炭塔10は、ストレーナ2
2の上方において、徐々に内側空間が広がるように形成
されている。すなわち、活性炭塔10内に充填された粒
状活性炭によって形成される活性炭層12の断面積は、
上方に向かって徐々に大きくなっている。
【0017】また、活性炭塔10の上部には、円盤状の
ストレーナ28が設けられ、その上方に処理液室30が
区画形成されている。従って、活性炭塔10内の上部全
面から処理液が処理液室30に集められ、ここから流出
管16を通り排出される。
ストレーナ28が設けられ、その上方に処理液室30が
区画形成されている。従って、活性炭塔10内の上部全
面から処理液が処理液室30に集められ、ここから流出
管16を通り排出される。
【0018】この構成においても、上述の場合と同様
に、気泡の上方への抜けが好適に行われ、チャネリング
による被処理液の短絡が防止される。
に、気泡の上方への抜けが好適に行われ、チャネリング
による被処理液の短絡が防止される。
【0019】図4は、さらに他の実施形態を示してい
る。この例では、活性炭塔10が球状に形成され、活性
炭層12は下方から半分程度の場所までに設定されてい
る。また、その他は、図1の構成とほぼ同様である。こ
の構成によっても活性炭層12は、上方に至るほどその
断面積が増加し、上述の場合と同様にチャネリングによ
る被処理液の短絡を防止することができる。
る。この例では、活性炭塔10が球状に形成され、活性
炭層12は下方から半分程度の場所までに設定されてい
る。また、その他は、図1の構成とほぼ同様である。こ
の構成によっても活性炭層12は、上方に至るほどその
断面積が増加し、上述の場合と同様にチャネリングによ
る被処理液の短絡を防止することができる。
【0020】図5は、さらに他の構成例を示している。
この例では、図1に示したのと同じ構成の活性炭塔10
(第1の活性炭塔と呼ぶ)の後段に大気開放型の貯槽3
2、ポンプ34を介し、第2の活性炭塔36が接続され
ている。ここで、第2の活性炭塔36は、下降流でも上
向流でもよく、その形状も任意の形状のものが採用可能
である。
この例では、図1に示したのと同じ構成の活性炭塔10
(第1の活性炭塔と呼ぶ)の後段に大気開放型の貯槽3
2、ポンプ34を介し、第2の活性炭塔36が接続され
ている。ここで、第2の活性炭塔36は、下降流でも上
向流でもよく、その形状も任意の形状のものが採用可能
である。
【0021】この装置においては、第1の活性炭塔10
において上向流で処理された一次処理液が貯槽32に一
旦貯留される。この貯槽32は上方が大気に開放されて
いるため、一次処理液中に含まれる酸素ガスがここで除
去される。また、貯槽32にある程度の容量があるた
め、第2の活性炭塔36には、気泡を含まない一次処理
液が供給され、ここで粒状活性炭と更に接触され一次処
理液中に残留する過酸化水素がさらに除去される。この
ように2段の活性炭塔10、36により処理することに
より、一時的に高濃度の過酸化水素を含む排水が排出さ
れてもこれを確実に処理することができる。
において上向流で処理された一次処理液が貯槽32に一
旦貯留される。この貯槽32は上方が大気に開放されて
いるため、一次処理液中に含まれる酸素ガスがここで除
去される。また、貯槽32にある程度の容量があるた
め、第2の活性炭塔36には、気泡を含まない一次処理
液が供給され、ここで粒状活性炭と更に接触され一次処
理液中に残留する過酸化水素がさらに除去される。この
ように2段の活性炭塔10、36により処理することに
より、一時的に高濃度の過酸化水素を含む排水が排出さ
れてもこれを確実に処理することができる。
【0022】ここで、第2の活性炭塔36を下降流の自
然流下式のものにすると共に、活性炭塔10の上方を大
気に開放し、酸素ガスを大気中に排出できるようにすれ
ば、ポンプ34及び貯槽32を省略することもできる。
然流下式のものにすると共に、活性炭塔10の上方を大
気に開放し、酸素ガスを大気中に排出できるようにすれ
ば、ポンプ34及び貯槽32を省略することもできる。
【0023】図6は、さらに他の実施形態を示してい
る。この例では、第1及び第2の活性炭塔10、36が
同一形状の逆円錐状のものに形成されているとともに、
被処理液を第1の活性炭塔10から第2の活性炭塔36
の順に、あるいはその逆に第2の活性炭塔36から第1
の活性炭塔10の順に通液順序を変えて通液できるよう
に、かつ被処理液が最初に通液される活性炭塔を上向流
通液とし、後段の活性炭塔を下降流通液とすることがで
きるように流通経路が切り替えられるようになってい
る。
る。この例では、第1及び第2の活性炭塔10、36が
同一形状の逆円錐状のものに形成されているとともに、
被処理液を第1の活性炭塔10から第2の活性炭塔36
の順に、あるいはその逆に第2の活性炭塔36から第1
の活性炭塔10の順に通液順序を変えて通液できるよう
に、かつ被処理液が最初に通液される活性炭塔を上向流
通液とし、後段の活性炭塔を下降流通液とすることがで
きるように流通経路が切り替えられるようになってい
る。
【0024】すなわち、被処理液は、バルブ40を介し
第1の活性炭塔10の下部に、あるいはバルブ42を介
して第2の活性炭塔36の下部にそれぞれ供給可能にな
っている。また、第1の活性炭塔10から第2の活性炭
塔36への直列通液による最終処理液は、バルブ44を
介し、第2の活性炭塔36の下部から排出可能に、また
その逆の順序で処理された最終処理液はバルブ46を介
して第1の活性炭塔10の下部から排出可能になってい
る。さらに、第1の活性炭塔10の上部からはバルブ5
0を介し、貯槽32に第1の活性炭塔10で処理された
一次処理液が排出可能であり、またこの活性炭塔10の
上部には貯槽32からポンプ34及びバルブ52を介し
第2の活性炭塔36で処理された貯槽32内の一次処理
液が供給可能になっている。また、第2の活性炭塔36
の上部には貯槽32からポンプ34及びバルブ54を介
し、第1の活性炭塔10で処理された貯槽32内の一次
処理液が供給可能になっており、更にこの第2の活性炭
塔36の上部からはバルブ56を介し、貯槽32に第2
の活性炭塔36で処理された一次処理液が排出可能にな
っている。
第1の活性炭塔10の下部に、あるいはバルブ42を介
して第2の活性炭塔36の下部にそれぞれ供給可能にな
っている。また、第1の活性炭塔10から第2の活性炭
塔36への直列通液による最終処理液は、バルブ44を
介し、第2の活性炭塔36の下部から排出可能に、また
その逆の順序で処理された最終処理液はバルブ46を介
して第1の活性炭塔10の下部から排出可能になってい
る。さらに、第1の活性炭塔10の上部からはバルブ5
0を介し、貯槽32に第1の活性炭塔10で処理された
一次処理液が排出可能であり、またこの活性炭塔10の
上部には貯槽32からポンプ34及びバルブ52を介し
第2の活性炭塔36で処理された貯槽32内の一次処理
液が供給可能になっている。また、第2の活性炭塔36
の上部には貯槽32からポンプ34及びバルブ54を介
し、第1の活性炭塔10で処理された貯槽32内の一次
処理液が供給可能になっており、更にこの第2の活性炭
塔36の上部からはバルブ56を介し、貯槽32に第2
の活性炭塔36で処理された一次処理液が排出可能にな
っている。
【0025】そこで、バルブ40、50、54、44を
開、バルブ42、52、56、46を閉とすることによ
って、被処理液は、バルブ40、配管58を介して第1
の活性炭塔10の下部から流入され第1の活性炭塔10
を上向流で通ったあと一次処理液として配管60を介し
て塔上部から排出されてバルブ50を介して貯槽32に
導入され、その後貯槽32からポンプ34、バルブ54
及び配管62を介し第2の活性炭塔36の上部に供給さ
れ、第2の活性炭塔36を下降流で通り、処理液は最終
処理液として塔下部より配管64、バルブ44、配管6
6を介して排出される。一方、バルブ40、50、5
4、44を閉、バルブ42、52、56、46を開とす
ることによって、被処理液を、第2の活性炭塔36を上
向流で通液したあと貯槽32を介し第1の活性炭塔10
を下降流で通液させることができる。
開、バルブ42、52、56、46を閉とすることによ
って、被処理液は、バルブ40、配管58を介して第1
の活性炭塔10の下部から流入され第1の活性炭塔10
を上向流で通ったあと一次処理液として配管60を介し
て塔上部から排出されてバルブ50を介して貯槽32に
導入され、その後貯槽32からポンプ34、バルブ54
及び配管62を介し第2の活性炭塔36の上部に供給さ
れ、第2の活性炭塔36を下降流で通り、処理液は最終
処理液として塔下部より配管64、バルブ44、配管6
6を介して排出される。一方、バルブ40、50、5
4、44を閉、バルブ42、52、56、46を開とす
ることによって、被処理液を、第2の活性炭塔36を上
向流で通液したあと貯槽32を介し第1の活性炭塔10
を下降流で通液させることができる。
【0026】このように、本実施形態では、2つの活性
炭塔10または36のいずれかを先の段として使用する
かを切り替えることができる。ここで、2つの活性炭塔
10及び36はそのいずれもが逆円錐状をなし、上方に
向けて大径になっている。そして、先の段として使用さ
れる活性炭塔10または36が上向流、後の段として使
用される活性炭塔10または36が下降流で通液される
ようになっている。
炭塔10または36のいずれかを先の段として使用する
かを切り替えることができる。ここで、2つの活性炭塔
10及び36はそのいずれもが逆円錐状をなし、上方に
向けて大径になっている。そして、先の段として使用さ
れる活性炭塔10または36が上向流、後の段として使
用される活性炭塔10または36が下降流で通液される
ようになっている。
【0027】従って、被処理液が最初に通液される第1
段目の活性炭塔10または36において、大量に発生す
る酸素ガスを効果的に上方に排出でき、一方2段目の活
性炭塔10または36においては、その活性炭塔10ま
たは36内を流れる液の流速は、塔の出口側(下側)で
流速が速くなる。従って、過酸化水素が低濃度になって
いる部分において流速が速い状態で粒状活性炭と被処理
液とが接触する。流速が速いと活性炭層12を流通する
被処理液のレイノルズ数が高くなり、それだけ活性炭表
面と被処理液の接触が行われやすくなる。従って、低濃
度となった過酸化水素を効果的に除去できる。
段目の活性炭塔10または36において、大量に発生す
る酸素ガスを効果的に上方に排出でき、一方2段目の活
性炭塔10または36においては、その活性炭塔10ま
たは36内を流れる液の流速は、塔の出口側(下側)で
流速が速くなる。従って、過酸化水素が低濃度になって
いる部分において流速が速い状態で粒状活性炭と被処理
液とが接触する。流速が速いと活性炭層12を流通する
被処理液のレイノルズ数が高くなり、それだけ活性炭表
面と被処理液の接触が行われやすくなる。従って、低濃
度となった過酸化水素を効果的に除去できる。
【0028】さらに、このように、第1、第2の活性炭
塔10、36の通液の順番を入れ替えることによって、
第1、第2の活性炭塔10、36内の活性炭層の粒状活
性炭の表面におけるスライムの発生を効果的に防止でき
る。すなわち、先の段として使用される活性炭塔10ま
たは36には、過酸化水素が高濃度に含まれた被処理液
が供給されるが、この時この活性炭塔の処理液中に過酸
化水素が少量残留するような流速で被処理液を通液する
ことにより、活性炭塔10または36内の粒状活性炭の
ほとんどすべてが過酸化水素にさらされる。従って、過
酸化水素の殺菌作用によって、スライムの発生が抑制さ
れる。一方、後の段の活性炭塔10または36には、前
段の活性炭塔で大部分の過酸化水素が分解されて、過酸
化水素濃度が薄くなった一次処理液が供給されるので、
活性炭層の上層部で過酸化水素がほとんど分解されてし
まい、中間層から下方に存在する活性炭は過酸化水素に
さらされなくなってしまう。そのため、中間層から下方
においてはスライムの発生が起こる。しかし、本実施形
態では、定期的に被処理液の流通順序が切り替えられる
ため、活性炭塔10、36の両方の活性炭層の活性炭が
間欠的ではあっても確実に殺菌され、スライムの発生が
全体として抑制される。
塔10、36の通液の順番を入れ替えることによって、
第1、第2の活性炭塔10、36内の活性炭層の粒状活
性炭の表面におけるスライムの発生を効果的に防止でき
る。すなわち、先の段として使用される活性炭塔10ま
たは36には、過酸化水素が高濃度に含まれた被処理液
が供給されるが、この時この活性炭塔の処理液中に過酸
化水素が少量残留するような流速で被処理液を通液する
ことにより、活性炭塔10または36内の粒状活性炭の
ほとんどすべてが過酸化水素にさらされる。従って、過
酸化水素の殺菌作用によって、スライムの発生が抑制さ
れる。一方、後の段の活性炭塔10または36には、前
段の活性炭塔で大部分の過酸化水素が分解されて、過酸
化水素濃度が薄くなった一次処理液が供給されるので、
活性炭層の上層部で過酸化水素がほとんど分解されてし
まい、中間層から下方に存在する活性炭は過酸化水素に
さらされなくなってしまう。そのため、中間層から下方
においてはスライムの発生が起こる。しかし、本実施形
態では、定期的に被処理液の流通順序が切り替えられる
ため、活性炭塔10、36の両方の活性炭層の活性炭が
間欠的ではあっても確実に殺菌され、スライムの発生が
全体として抑制される。
【0029】スライムが発生すると、これが処理液中に
流出したり、デッドスペースができ処理液の短絡が生じ
たり、通水における圧損が増大するなどの問題が生じる
が、本実施形態によりこれらの問題発生を抑制すること
ができる。
流出したり、デッドスペースができ処理液の短絡が生じ
たり、通水における圧損が増大するなどの問題が生じる
が、本実施形態によりこれらの問題発生を抑制すること
ができる。
【0030】
【実施例】図2に示した装置を用いて過酸化水素含有水
の処理実験を行った。また、断面積一定の活性炭塔を用
いて比較例についての実験も行った。実施例の活性炭塔
10の下部10aの直径は1.1mで直胴部の高さは
0.8m(したがって、直胴部の容量は約800L)、
上部10bの直径は1.6mであり、粒状活性炭はダイ
ヤホープ006(三菱化学製)を2400L充填した。
比較例は、直径1.1mの円筒で、活性炭の充填量は同
じである。
の処理実験を行った。また、断面積一定の活性炭塔を用
いて比較例についての実験も行った。実施例の活性炭塔
10の下部10aの直径は1.1mで直胴部の高さは
0.8m(したがって、直胴部の容量は約800L)、
上部10bの直径は1.6mであり、粒状活性炭はダイ
ヤホープ006(三菱化学製)を2400L充填した。
比較例は、直径1.1mの円筒で、活性炭の充填量は同
じである。
【0031】被処理液として、過酸化水素濃度500m
g/Lの排水を用意し、これを流量12m3/hで24
時間通水した。この結果、実施形態の装置では、処理水
の過酸化水素濃度は、通液中安定して、ゼロであった
が、比較例では24時間後の濃度が80mg/L程度と
かなり高濃度となり、短絡が起こっていることが推定さ
れた。
g/Lの排水を用意し、これを流量12m3/hで24
時間通水した。この結果、実施形態の装置では、処理水
の過酸化水素濃度は、通液中安定して、ゼロであった
が、比較例では24時間後の濃度が80mg/L程度と
かなり高濃度となり、短絡が起こっていることが推定さ
れた。
【0032】また、被処理液の過酸化水素濃度を一時的
に5000mg/Lに上昇させ、その後500mg/L
に戻した。実施形態の装置では、処理液の過酸化水素濃
度が一時的に4mg/Lにまで上昇したが、その後すぐ
にゼロに戻った。一方、比較例では、120mg/Lに
まで上昇し、かつその後かなりの時間過酸化水素濃度が
高濃度となった。
に5000mg/Lに上昇させ、その後500mg/L
に戻した。実施形態の装置では、処理液の過酸化水素濃
度が一時的に4mg/Lにまで上昇したが、その後すぐ
にゼロに戻った。一方、比較例では、120mg/Lに
まで上昇し、かつその後かなりの時間過酸化水素濃度が
高濃度となった。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
活性炭層の断面積が上方ほど大きくなっており、ここに
過酸化水素を含む被処理液が上向流で流通される。そこ
で、活性炭層内において発生した酸素ガスからなる気泡
は上方に効果的に抜ける。従って、チャネリングによる
短絡を防止して効果的な処理が行える。
活性炭層の断面積が上方ほど大きくなっており、ここに
過酸化水素を含む被処理液が上向流で流通される。そこ
で、活性炭層内において発生した酸素ガスからなる気泡
は上方に効果的に抜ける。従って、チャネリングによる
短絡を防止して効果的な処理が行える。
【図1】 実施形態の構成を示す図である。
【図2】 他の実施形態の構成を示す図である。
【図3】 さらに他の実施形態の構成を示す図である。
【図4】 さらに他の実施形態の構成を示す図である。
【図5】 さらに他の実施形態の構成を示す図である。
【図6】 さらに他の実施形態の構成を示す図である。
10 活性炭塔、12 活性炭層、14 流入管、16
流出管、18 目板、20 コレクタ、22 ストレ
ーナ、24 被処理液室、26 封止体、28ストレー
ナ、30 処理液室、32 貯槽、34 ポンプ、36
活性炭塔、40,42,44,46,50,52,5
4,56 バルブ。
流出管、18 目板、20 コレクタ、22 ストレ
ーナ、24 被処理液室、26 封止体、28ストレー
ナ、30 処理液室、32 貯槽、34 ポンプ、36
活性炭塔、40,42,44,46,50,52,5
4,56 バルブ。
Claims (1)
- 【請求項1】 過酸化水素を含む被処理液を粒状活性炭
を充填した活性炭塔に底部側から上部側へ向けて上向流
で流通し、被処理液を粒状活性炭と接触させて過酸化水
素を分解する活性炭処理装置であって、 活性炭塔内部に充填された粒状活性炭によって形成され
る活性炭層の上部側の断面積を底部側に比べ大きくした
ことを特徴とする活性炭処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1525097A JPH10211487A (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 活性炭処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1525097A JPH10211487A (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 活性炭処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10211487A true JPH10211487A (ja) | 1998-08-11 |
Family
ID=11883618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1525097A Pending JPH10211487A (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 活性炭処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10211487A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009165992A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Sharp Corp | 排ガス処理装置 |
WO2010008072A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 株式会社クレハ | 酸化剤含有排水処理剤、酸化剤含有排水処理方法、及び酸化剤含有排水処理装置、並びに有機溶媒精製剤、有機溶媒精製方法、及び有機溶媒精製装置 |
JP2010227888A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Nippon Rensui Co Ltd | 排水の回収方法および排水の回収装置 |
JP4860008B1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-01-25 | 株式会社アサカ理研 | 過酸化水素分解装置及び過酸化水素の分解方法 |
KR20170081246A (ko) | 2014-12-11 | 2017-07-11 | 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤 | 폐액 처리 장치 및 폐액 처리 방법 |
-
1997
- 1997-01-29 JP JP1525097A patent/JPH10211487A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009165992A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Sharp Corp | 排ガス処理装置 |
WO2010008072A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 株式会社クレハ | 酸化剤含有排水処理剤、酸化剤含有排水処理方法、及び酸化剤含有排水処理装置、並びに有機溶媒精製剤、有機溶媒精製方法、及び有機溶媒精製装置 |
JP5629578B2 (ja) * | 2008-07-18 | 2014-11-19 | 株式会社クレハ | 酸化剤含有排水処理剤、酸化剤含有排水処理方法、及び酸化剤含有排水処理装置、並びに有機溶媒精製剤、有機溶媒精製方法、及び有機溶媒精製装置 |
JP2010227888A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Nippon Rensui Co Ltd | 排水の回収方法および排水の回収装置 |
JP4860008B1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-01-25 | 株式会社アサカ理研 | 過酸化水素分解装置及び過酸化水素の分解方法 |
WO2012164948A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-06 | 株式会社アサカ理研 | 過酸化水素分解装置及び過酸化水素の分解方法 |
KR20170081246A (ko) | 2014-12-11 | 2017-07-11 | 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤 | 폐액 처리 장치 및 폐액 처리 방법 |
US10407326B2 (en) | 2014-12-11 | 2019-09-10 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Waste liquid treatment device and waste liquid treatment method |
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