JPH10206130A - 表面形状測定装置 - Google Patents
表面形状測定装置Info
- Publication number
- JPH10206130A JPH10206130A JP2334197A JP2334197A JPH10206130A JP H10206130 A JPH10206130 A JP H10206130A JP 2334197 A JP2334197 A JP 2334197A JP 2334197 A JP2334197 A JP 2334197A JP H10206130 A JPH10206130 A JP H10206130A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- ccd camera
- moiré
- optical axis
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
ルパターンを有するCCDカメラにより測定するように
構成された表面形状測定装置において、両パターンをC
CDカメラの光軸回り方向に所定角度ずらすことによ
り、測定精度低下の原因となる疑似モアレ縞の発生を防
止する。 【構成】 CCDカメラ18を、そのピクセルパターン
がモアレ格子14のパターンに対して直角平行な位置関
係となる角度位置から、その光軸Ax回りに45°回転
させた状態で、モアレ縞の観察測定を行うようにする。
これにより、ピクセルパターンとモアレ格子14のパタ
ーンとにより、本来のモアレ縞の解析等に支障を来たす
ような疑似モアレ縞が発生しないようにする。
Description
等のようなCCDカメラを用いた表面形状測定装置に関
するものである。
装置として、次のようなモアレ装置が知られている。す
なわち、被検体の表面近傍にモアレ格子を配置した状態
で該モアレ格子に光を照射する光源を配置するととも
に、その光源とは角度の異なる方向からCCDカメラに
より上記被検体を上記格子を通して撮像するように構成
されたモアレ装置が知られている。このモアレ装置にお
いては、上記モアレ格子の像と共に、上記被検体の表面
に写った該モアレ格子の影もCCDカメラにより撮像さ
れることとなるが、その際、上記モアレ格子の像と影の
像とにより発生するモアレ縞を解析することにより、上
記被検体の平坦度を測定するようになっている。
うなCCDカメラを用いたモアレ装置においては次のよ
うな問題がある。
ピクセルが格子状のパターンで配置されている。このた
め、このピクセルパターンと上記モアレ格子の像あるい
はその影のパターンの像とにより、上記モアレ縞とは異
なるモアレ縞(以下「疑似モアレ縞」という。)が形成
されることがある。そして、このような本来意図しない
疑似モアレ縞が形成されてしまうと、モアレ縞解析を精
度良く行うことができなくなるという問題がある。
格子状の被測定パターンを上記のようなCCDカメラに
より測定する表面形状測定装置一般において、起こり得
る問題である。
ので、格子状の被測定パターンを、格子状のピクセルパ
ターンを有するCCDカメラにより測定するように構成
された表面形状測定装置において、測定精度低下の原因
となる疑似モアレ縞の発生を防止することができる表面
形状測定装置を提供すること目的とするものである。
置は、格子状の被測定パターンを、格子状のピクセルパ
ターンを有するCCDカメラにより測定するように構成
された表面形状測定装置において、前記CCDカメラ
が、該CCDカメラのピクセルパターンを前記被測定パ
ターンに対して該CCDカメラの光軸回り方向に所定角
度ずらすようにして設けられていることを特徴とするも
のである。
うな疑似モアレ縞が現れるのは、ピクセルパターンと被
測定パターンとが直角平行な位置関係またはこれに近い
位置関係で配置されているときに顕著に観察されること
から、本発明のように、両パターンをCCDカメラの光
軸回り方向に所定角度ずらすことにより、有害な疑似モ
アレ縞発生を防止することができる。
に限定されるものではないが、モアレ装置においては、
疑似モアレ縞と峻別してモアレ縞解析を行う必要がある
ことから、上記「被測定パターン」が、被検体の表面近
傍に配置されたモアレ格子のパターンである場合には、
本発明の構成を採用することが特に効果的である。
定角度ずれた角度位置(以下「回転位置」という。)に
固定された構成としてもよいが、該CCDカメラを上記
光軸回りに回動可能な構成として、上記回転位置と、ピ
クセルパターンと被測定パターンとが光軸回り方向に関
して一致する角度位置(以下「基準位置」という。)と
を選択的に採り得るようにすることが、以下の理由から
好ましい。
を有しているが、上記被測定パターンも矩形の外形形状
を有している場合が多い(例えばモアレ格子のパターン
の場合等)。このような場合、上記回転位置にCCDカ
メラをセッティングすると、撮像範囲内に上記被測定パ
ターンを納めにくくなり、また撮像データの処理を行い
にくくなる。その点、上記回転位置と上記基準位置とを
選択的に採り得るようにし、発生する疑似モアレ縞が測
定結果に影響をおよぼすおそれがない測定条件において
は上記基準位置で測定を行うようにすれば、効率よく測
定を行うことができる。
部材を、上記CCDカメラの回動と連動して上記光軸回
りに回動する構成とすれば、上記回転位置にCCDカメ
ラをセッティングした場合においても、撮像範囲と被検
体の外形形状とを常に最適な位置関係に設定することが
可能となり、これにより効率よく測定を行うことができ
る。
的な値は、有害な疑似モアレ縞発生を防止可能な角度範
囲内の値であれば特に限定されるものではないが、ピク
セルパターンと被測定パターンとが直角平行な位置関係
から最も離れた位置関係となる略45°(40〜50°
程度)に設定することが好ましい。
用いて説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る表
面形状測定装置を示す概要図である。この表面形状測定
装置10は、モアレ装置であって、被検体2を水平に載
置支持する被検体支持機構12と、この被検体支持機構
12の上方において水平方向に延びるように設けられた
モアレ格子14と、このモアレ格子14の斜め上方に設
けられ、該モアレ格子14に光を照射する光源16と、
モアレ格子14の真上に設けられ、該モアレ格子14お
よび被検体2を撮像するCCDカメラ18と、このCC
Dカメラ18を支持するカメラ支持機構20と、ドライ
バ22とを備えてなっている。
モアレ格子14に対して垂直方向に延びるように配置さ
れ、かつ、その光軸Ax回りに回動可能に上記カメラ支
持機構20に取り付けられている。一方、上記被検体支
持機構12は、被検体支持台12Aと、この被検体支持
台12Aを上記光軸Axと同軸の軸線回りに回動可能に
支持する回動支持機構12Bとを備えてなっている。そ
して、これらカメラ支持機構20および回動支持機構1
2Bは、上記ドライバ22の駆動により連動して上記光
軸Ax回りに回動するようになっている。
動により昇降し得るようになっている。この表面形状測
定装置10においては、上記光源16から照射された光
によるモアレ格子14の影が被検体2の表面に格子状の
パターンで形成されるようになっており、この影のパタ
ーンと上記モアレ格子14のパターンとにより発生する
モアレ縞を上記CCDカメラ18により撮像して、図示
しないモニタ上で観察し解析することにより、上記被検
体2の表面の平坦度を測定するようになっている。
のCCD24は、格子状に配置された多数のピクセル2
6で構成されており、これら各ピクセル26相互間に
は、直交方向に延びる複数の継ぎ目からなる第1および
第2の継ぎ目群が形成されている。このため、この格子
状のピクセルパターンと上記モアレ格子14の像あるい
はその影のパターンの像とにより、上記モアレ縞とは異
なる疑似モアレ縞が形成されるおそれがある。
るためには、ピクセルパターンとモアレ格子パターン
(上記モアレ格子14の像のパターン)とを直角平行な
位置関係から、ある一定角度以上離せばよいので(これ
については後述する)、本実施形態においては、上記カ
メラ支持機構20により、上記CCDカメラ18を、そ
のCCD24のピクセルパターンとモアレ格子パターン
(上記モアレ格子14の像のパターン)とが光軸Ax回
り方向に関して一致する基準位置から最も離れた角度位
置、すなわち上記基準位置から45°回転させた回転位
置に位置決めし得るようになっている。
細構造を示す図であって、図3は、その正面図、図4お
よび5は、図3のIV-IV 線およびV-V 線断面図であり、
図6は、図5のVI部拡大図である。これらの図に示すよ
うに、上記カメラ支持機構20は、カメラホルダ28
と、調整リング30と、固定板32とを備えてなってい
る。
成された部材であって、その内周部においてボルト34
により上記CCDカメラ18を固定支持するようになっ
ている。この固定支持は、上記CCDカメラ18を構成
する撮像レンズ部18Aおよびカメラ本体部18Bのう
ち、矩形状の平断面形状を有するカメラ本体部18Bの
一側面において行われるようになっている。また、上記
カメラホルダ28は、その外周部において上記調整リン
グ30に上方から緩く嵌め込まれて光軸Ax回りに回動
可能に支持されており、上記ドライバ22(図1参照)
に接続されている。さらに、上記カメラホルダ28の外
周面には、周方向に45°の角度間隔をおいて2つのデ
ィテント凹部28a、28bが形成されている。
嵌め込まれて光軸Ax回りに回転可能に支持されてい
る。この調整リング30の周方向1箇所には、図6に示
すように、プランジャ36が、そのボール36aを上記
調整リング30の内周面に突出させるようにして設けら
れている。上記ボール36aは、プランジャ本体36b
に収容されたバネ36cの弾性力により、上記ボール3
6aを上記調整リング30の中心方向に常に付勢するよ
うになっている。
に固定されており、上記調整リング30を任意の回転角
度位置で位置決め固定することができるようになってい
る。すなわち、この固定板32には、光軸Axを中心に
90°間隔で3箇所にボルト孔32aが形成されてお
り、これら各ボルト孔32aに装着されたボルト38の
先端を上記調整リング30の外周面に当接させることに
より、該調整リング30の固定を行うようになってい
る。
に示すように、上記カメラホルダ28のディテント凹部
28aに上記調整リング30のプランジャ36のボール
36aを係合させたときに上記CCDカメラ18が上記
基準位置に設定されるよう、上記固定板32による上記
調整リング30の固定がなされるようになっている。
8を反時計回りに45°回転させて、図7に示すよう
に、そのディテント凹部28bに上記調整リング30の
プランジャ36のボール36aを係合させることによ
り、上記カメラホルダ28は上記回転位置に設定される
こととなる。このカメラホルダ28の回転は、上述した
ように。上記ドライバ22の駆動により行われるが、こ
のとき上記ドライバ22の駆動により上記回動支持機構
12Bも連動して反時計回りに45°回転し、これによ
り、上記被検体支持台12Aに載置支持された被検体2
と上記CCDカメラ18との角度位置関係を、上記基準
位置にあるときと同じ状態に維持するようになってい
る。
置に位置決めすることが好ましい理由について詳述す
る。まず、モアレ格子がCCDカメラのCCD面にCC
Dと等ピッチで結像された場合を考えてみると、これは
2枚の等間隔格子の重ね合わせによるモアレ縞と考える
ことができる。図8に示すように、等しい格子ピッチP
を持つ2枚の格子G1、G2を角度θ傾けて重ね合わせ
たときに発生する間隔dのモアレ縞について考える。
して直交する方向に発生するから、図より、 L=P/sinθ また、 L=d/cos(θ/2) 故に、モアレ縞の縞ピッチdは、 d=Pcos(θ/2)/sinθ =P/2sin(θ/2) ここでP=1とすると、交叉角θと発生するモアレ縞の
間隔(ピッチ)dは表1のようになり、またこれをグラ
フに表わすと、図9のグラフに実線で示すようになる。
これらの表およびグラフより、交叉角θ=60°のとき
に、使用した格子G1、G2の格子ピッチと等しいピッ
チのモアレ縞が発生していることがわかる。
ると、交叉角θ=30°まではモアレ縞を認識すること
ができるが、交叉角θ=60°になると、もはやモアレ
縞を認識することはできない。
の継ぎ目と撮像されたモアレ格子とによりモアレ縞が発
生することを述べてきたが、CCDの各ピクセルは矩形
状であることから、直交する継ぎ目も存在する。
形成されるモアレ縞の間隔dをグラフに表わすと、図9
のグラフに破線で示すようになる。図から明らかなよう
に、直交する2つの継ぎ目群と撮像されたモアレ格子と
により形成されるモアレ縞の間隔dが最小になるのは、
モアレ格子が2つの継ぎ目群に対して45°になったと
きである。
CDのピッチとが異なる場合について考えてみる。図1
1に示すように、格子ピッチの異なる2枚の格子G1、
G2が重なり合ったことを考えればよい。いま、G2の
格子ピッチがG1の1/mであったとすると、形成され
るモアレ縞のピッチも1/mとなる(すなわち、モアレ
縞の本数がm倍となる)。
線格子群により形成されるモアレ縞は、両者の交叉角が
一定であれば、格子ピッチが細かい方の格子の格子定数
(ピッチ)でその間隔が決まるということである。ただ
し、形成されるモアレ縞のプロファイルは、図12に示
すようになる(なお、ここで格子のデューティ比は、
1:1である)。
の異なる2つの直線格子群により形成されるモアレ縞
は、次の特徴を有する。 (1) 格子ピッチが細かい方の格子の格子ピッチでその
間隔が決まる。 (2) 2つの格子ピッチが異なっていくに従い、モアレ
縞の白縞部の透過率Tが低下する。 (3) モアレ縞の黒縞部の透過率Tが0ではなくなる。
ラスト良く見えるのは2枚の格子の格子ピッチが等しい
ときであり、格子ピッチが異なるに従い、コントラスト
が低下するということである。
装置を考えてみる。すなわち、 ・格子G1(白黒格子) 100μm (10〜500
μm位が現実的) ・格子G2(CCDピクセルピッチ) 約20μm(1
/2インチCCD) ・撮像面積 φ100mm について、計数評価をしてみる。
るのであるから、縮小倍率mは、 m≒(12.5/√2)/100 ≒0.08 100μmの格子G1もその縮小率で結像されるから、
約8μmの格子となる。すなわち、CCDピクセルピッ
チと結像された格子は、約2:1のピッチを持つことと
なる。
CDピクセルの第1の継ぎ目群と結像された格子とが平
行におかれたときは、モアレ縞の間隔は無限大に近くな
り、各CCDピクセルには、その全体の明るさが変わる
ような影響が及んでしまう。したがって、モニタ上でモ
アレ縞と確認できないようにするためには、各CCDピ
クセルに白黒1組以上の縞が形成されなくてはならな
い。
ると、100μmの格子同士で形成されるモアレ縞の1
/5(=20/100)のピッチとなる。そこで、 d<28μm の条件(すなわち、図13に示すように、ピッチ20μ
mのCCDピクセルの対角線の長さ28μmよりもモア
レ縞のピッチdを短くするための条件)をさがすことと
する。
代入すると、交叉角40°で30μmとなるので、それ
以下の交叉角ではモアレ縞と検知してしまうことが理解
できる。また、直交する継ぎ目群に対しても同様のこと
がいえる。
6μmとなるため、この辺りが最適ではあるが、40〜
50°の範囲内であれば、疑似モアレ縞を本来のモアレ
縞と検知してしまうのを防止することができる。
面形状測定装置においては、CCDカメラ18が、その
光軸Ax回りに回動可能な構成となっており、CCDカ
メラ18のピクセルパターンとモアレ格子14のパター
ンとが光軸Ax回り方向に関して一致する基準位置と、
この基準位置から45°ずれた回転位置とを選択的に採
り得るように構成されているので、上記CCDカメラ1
8を上記回転位置にセッティングするようにすれば、上
記両パターンによって有害な疑似モアレ縞が発生するの
を防止することができる。そして、これにより、上記モ
アレ格子14のパターンとその影のパターンによって形
成される本来のモアレ縞の観察測定を精度よく行うこと
ができる。一方、疑似モアレ縞発生のおそれがない被検
体に対しては上記基準位置で測定を行うようにすれば、
効率よく測定を行うことができる。
ダ28の回転に連動して回動支持機構12Bも回転する
ようになっているので、被検体2とCCDカメラ18と
の角度位置関係を、上記回転位置においても上記基準位
置にあるときと同じ状態に維持することができる。そし
て、これにより、CCDカメラ18の撮像範囲とモアレ
格子14のパターンの外形形状とを常に最適な位置関係
に設定することが可能となり、内にモアレ格子14の像
のパターンおよびその影のパターンを効率よく納めるこ
とができ、また撮像データの処理も容易に行うことがで
きる。
ルダ28と回動支持機構12Bとの連動回転をドライバ
22により行わせるようにしたが、機械的に連結して両
者の連動回転を行わせるようにしてもよい。あるいは、
両者を連動させずにカメラホルダ28と回動支持機構1
2Bとを別個独立に回転させるようにしてもよい。
ーンを、格子状のピクセルパターンを有するCCDカメ
ラにより測定するように構成された表面形状測定装置に
おいて、CCDカメラが、そのピクセルパターンを被測
定パターンに対して該CCDカメラの光軸回り方向に所
定角度ずらすようにして設けられているので、測定精度
低下の原因となるような有害な疑似モアレ縞発生を防止
することができる。
示す概要図
セルの配置を示す説明図
の詳細構造を示す正面図
成されるモアレ縞を示す図
とモアレ縞の間隔との関係を示すグラフ
角との関係でモアレ縞図形を示す図
形成されるモアレ縞を示す図
ピッチの比率と光の透過率との関係を示す図
Claims (5)
- 【請求項1】 格子状の被測定パターンを、格子状のピ
クセルパターンを有するCCDカメラにより測定するよ
うに構成された表面形状測定装置において、 前記CCDカメラが、該CCDカメラのピクセルパター
ンを前記被測定パターンに対して該CCDカメラの光軸
回り方向に所定角度ずらすようにして設けられているこ
とを特徴とする表面形状測定装置。 - 【請求項2】 前記被測定パターンが、被検体の表面近
傍に配置されたモアレ格子のパターンであることを特徴
とする請求項1記載の表面形状測定装置。 - 【請求項3】 前記CCDカメラが、前記所定角度ずれ
た角度位置と、前記ピクセルパターンと前記被測定パタ
ーンとが前記光軸回り方向に関して略一致する角度位置
とを選択的に採り得るよう、前記光軸回りに回動可能な
構成とされていることを特徴とする請求項1または2記
載の表面形状測定装置。 - 【請求項4】 前記被検体を支持する被検体支持部材
が、前記CCDカメラの回動と連動して前記光軸回りに
回動するように構成されていることを特徴とする請求項
3記載の表面形状測定装置。 - 【請求項5】 前記所定角度が、略45°に設定されて
いることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の
表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02334197A JP3728710B2 (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02334197A JP3728710B2 (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 表面形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10206130A true JPH10206130A (ja) | 1998-08-07 |
JP3728710B2 JP3728710B2 (ja) | 2005-12-21 |
Family
ID=12107899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02334197A Expired - Fee Related JP3728710B2 (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 表面形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3728710B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100468869B1 (ko) * | 2002-06-12 | 2005-01-29 | 삼성테크윈 주식회사 | 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치 및, 방법 |
CN103985320A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-13 | 利亚德光电股份有限公司 | 抑制摩尔纹的方法以及抑制摩尔纹的显示装置 |
KR101716269B1 (ko) * | 2016-03-28 | 2017-03-15 | 주식회사 서울금속 | 비전 선별 장치 |
CN108766337A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-11-06 | 北京京东方专用显示科技有限公司 | 一种莫尔条纹的消除方法、装置及设备 |
-
1997
- 1997-01-21 JP JP02334197A patent/JP3728710B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100468869B1 (ko) * | 2002-06-12 | 2005-01-29 | 삼성테크윈 주식회사 | 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치 및, 방법 |
CN103985320A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-13 | 利亚德光电股份有限公司 | 抑制摩尔纹的方法以及抑制摩尔纹的显示装置 |
KR101716269B1 (ko) * | 2016-03-28 | 2017-03-15 | 주식회사 서울금속 | 비전 선별 장치 |
CN108766337A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-11-06 | 北京京东方专用显示科技有限公司 | 一种莫尔条纹的消除方法、装置及设备 |
CN108766337B (zh) * | 2018-05-30 | 2021-03-02 | 北京京东方专用显示科技有限公司 | 一种莫尔条纹的消除方法、装置及设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3728710B2 (ja) | 2005-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7072040B2 (en) | Mask for inspecting an exposure apparatus, a method of inspecting an exposure apparatus, and an exposure apparatus | |
US8854610B2 (en) | Apparatus and method for measuring a three-dimensional shape | |
JP2002122417A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
US6246067B1 (en) | System for measuring the tilt of an object | |
JPH0139207B2 (ja) | ||
JP5582267B1 (ja) | 連続走査型計測装置 | |
CN113607088A (zh) | 用于光学三维形貌测量的方法及*** | |
KR100299930B1 (ko) | 물체의차원을측정하는장치및그에사용되는척도기 | |
TWI391990B (zh) | 測量設備,測量方法,曝光設備,及元件製造方法 | |
JP2000252203A (ja) | アライメントマーク及びアライメント方法 | |
CN102428344A (zh) | 三维形貌检测方法 | |
JP2008058248A (ja) | 回折光検出装置および検査システム | |
US10209207B2 (en) | X-ray talbot interferometer | |
JPH10206130A (ja) | 表面形状測定装置 | |
KR101158324B1 (ko) | 형상 검사장치 | |
EP4246204A1 (en) | Calibration target, fourier ptychographic imaging system and method for calibrating a fourier ptychographic imaging system | |
JP7301914B2 (ja) | 表面異物検出装置およびそれを用いた表面異物検出方法 | |
JP4027512B2 (ja) | パターン投影計測用格子 | |
KR20190025896A (ko) | 광학 시험 물체의 모아레 측정을 위한 기구 | |
KR20190134689A (ko) | 결함 검사 장치 및 패턴 칩 | |
JP3977172B2 (ja) | パターン光投影装置及び測定装置 | |
JP3448673B2 (ja) | 投影露光装置 | |
JP4522848B2 (ja) | ロッドレンズアレイの光学性能評価方法 | |
JP3845286B2 (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 | |
JP2009156687A (ja) | フォトマスクの欠陥検査装置、フォトマスクの欠陥検査方法及びフォトマスクの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050620 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050623 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20050811 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050922 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050922 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091014 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101014 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101014 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101014 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111014 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121014 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121014 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131014 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |