JPH10203806A - Production of boron nitride powder - Google Patents

Production of boron nitride powder

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Publication number
JPH10203806A
JPH10203806A JP2100897A JP2100897A JPH10203806A JP H10203806 A JPH10203806 A JP H10203806A JP 2100897 A JP2100897 A JP 2100897A JP 2100897 A JP2100897 A JP 2100897A JP H10203806 A JPH10203806 A JP H10203806A
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JP
Japan
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powder
average particle
mixture
bulk
particle diameter
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Application number
JP2100897A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuichi Washio
友一 鷲尾
Hiroaki Takei
博秋 武井
Yoshiharu Konya
義治 紺谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Publication of JPH10203806A publication Critical patent/JPH10203806A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain BN powder with a high crystallinity that has excellent shape retention and handling properties with high N2 gas permeability via bulk B2 O3 , as an intermediate, that can suitably cope with blocking of the production process by dehydrating a mixture containing an orthoboric acid powder and a carbonaceous powder having an average particle size, respectively and heating the mixture. SOLUTION: A mixture of an orthoboric acid powder with an average particle size of >=100μm, preferably >=500μm, particularly 700-1,000μm and a carbonaceous powder (for example, acetylene black), in a preferred embodiment, the average diameter of the powders other than orthoboric acid is less than 1/5 that of the orthoboric acid particle, is dehydrated, preferably at 300-450 deg.C to prepare bulk boron oxide, preferably with a density of 0.4-0.7g/cm<3> , particularly of 0.5-0.6g/cm<3> , then fired in a nitrogen atmosphere, preferably over 1,600 deg.C.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高結晶性窒化硼素
粉末を簡単かつ高収率に得ることができ、製造工程中の
ブロック化にも有利な窒化硼素粉末の製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a boron nitride powder which can easily obtain a high crystalline boron nitride powder in a high yield and is advantageous for blocking during the production process.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】六方晶
窒化硼素(以下、BNと記す)は、熱伝導性、電気絶縁
性、潤滑性、離型性、高温安定性、化学的安定性、溶融
金属、溶融ガラスとの難濡れ性等の数多くの優れた特性
を有することから、電子部品の充填剤、摺動部材の潤滑
剤、溶融金属、溶融ガラス成形型等の離型剤、他のセラ
ミックスの脱脂、焼成時の焼き付け防止剤等の多種多様
な用途に使用されている。
2. Description of the Related Art Hexagonal boron nitride (hereinafter referred to as BN) has thermal conductivity, electrical insulation, lubricity, mold release, high temperature stability, chemical stability, and the like. Since it has many excellent properties such as molten metal and poor wettability with molten glass, it can be used as a filler for electronic components, a lubricant for sliding members, a molten metal, a mold release agent such as a molten glass mold, and other It is used for a wide variety of applications such as degreasing and burning prevention agents for ceramics.

【0003】上記BNの合成方法については、従来より
数多くの検討がなされているが、その代表例を次に示
す。
[0003] Many studies have been made on the above-mentioned BN synthesis method, and typical examples thereof are shown below.

【0004】[0004]

【化1】 Embedded image

【0005】しかしながら、上記(1)、(2)の方法
は原料コストが高いため、工業化は困難である。
However, the methods (1) and (2) are difficult to industrialize because of the high raw material costs.

【0006】上記(3)、(4)の方法は、NH3ガス
を使用するため、窒化炉には高い気密性が要求される。
また、通常1200℃以下の低温で合成できる非晶質B
Nの製造と異なり、結晶の発達したBN粉末を得るため
には1900℃以上の高温で熱処理を行うことが必要に
なるが、NH3ガスを使用した場合、NH3ガスの熱分解
によりH2ガスが発生し、反応により水蒸気が副生する
ため、その雰囲気下ではBN粉末の合成から結晶化まで
の工程を1段反応で連続的に行うことは困難である。こ
のため、加熱炉による処理をバッチ式で2段階以上行う
必要があり、生産性も低いものである。
In the above methods (3) and (4), a high airtightness is required for the nitriding furnace because NH 3 gas is used.
In addition, amorphous B which can be synthesized at a low temperature of usually 1200 ° C. or less
Unlike the production of N, it is necessary to perform a heat treatment at a high temperature of 1900 ° C. or more in order to obtain a BN powder in which crystals have developed. However, when NH 3 gas is used, H 2 gas is thermally decomposed by NH 3 gas. Since gas is generated and water vapor is produced as a result of the reaction, it is difficult to continuously perform the steps from the synthesis of the BN powder to the crystallization in a single-stage reaction under that atmosphere. For this reason, it is necessary to perform the treatment in the heating furnace in two or more stages in a batch system, and the productivity is low.

【0007】一方、(5)の方法は、連続的に1段反応
で結晶の発達したBNを合成することができ、高結晶性
BN粉末の製造方法としては最も相応しい方法といえ
る。
On the other hand, the method (5) can continuously synthesize BN with developed crystals by one-step reaction, and can be said to be the most suitable method for producing a highly crystalline BN powder.

【0008】しかしながら、(5)の方法で使用するB
23は、大気中の水分と容易に結合して硼酸(以下、H
3BO3と記する)になるため、試薬グレードでしか市販
されていない。
However, the B used in the method (5)
2 O 3 easily combines with atmospheric moisture to form boric acid (hereinafter referred to as H).
3 BO 3 ), and is commercially available only in reagent grade.

【0009】そこで、(5)の方法を工業的に行う際に
は、H3BO3と炭素質粉末とを混合して加熱、脱水処理
を行い、B23を得る工程が有効である。
Therefore, when the method (5) is carried out industrially, a process of mixing H 3 BO 3 and carbonaceous powder, heating and dehydrating to obtain B 2 O 3 is effective. .

【0010】ここで、上記脱水処理時においては、混合
粉末が水の表面張力により固化してバルク体となる傾向
がある。一般に、バルク体は粉体と比較するとハンドリ
ング性が良好であることが知られ、従来より、セラミッ
ク原料混合粉末には、賦形剤を配合して、押出し成形、
射出成形等でセラミック材料のバルク体とすることが行
われているが、上記脱水時のバルク化傾向を有効に利用
して、ハンドリング性の良好なバルク体が得られれば、
成形機も不要で工程簡略化に繋がる。
Here, during the dehydration treatment, the mixed powder tends to solidify due to the surface tension of water to form a bulk body. In general, it is known that a bulk body has better handleability than a powder, and conventionally, a ceramic raw material mixed powder is mixed with an excipient, extruded,
Although it is performed by injection molding or the like into a bulk body of a ceramic material, if a bulk body having good handling properties can be obtained by effectively utilizing the tendency of bulking at the time of dehydration,
No molding machine is required, which simplifies the process.

【0011】しかしながら、BN粉末の製造方法におい
ては、原料の種類や配合比については数々の検討が成さ
れているものの、製造工程を通して各段階での中間物に
要求される諸特性、特に、最終製品であるBN粉末を収
率よくかつ高い生産性をもって製造でき、良好な作業性
をもって得られるという条件を満足する各原料粉末の粒
度的性状についての十分な検討はなされていない。
[0011] However, in the method of producing BN powder, although various studies have been made on the types and blending ratios of the raw materials, various characteristics required for intermediates at each stage throughout the production process, particularly, the final properties, BN powder as a product can be produced with high yield and high productivity, and sufficient study has not been made on the particle size properties of each raw material powder that satisfies the condition that it can be obtained with good workability.

【0012】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、上記(5)の方法による窒化硼素粉末の製造工程に
おいて、中間物として所望の性質を有し、ハンドリング
性に優れるバルク体を得る工程を有すると共に、高結晶
性BN粉末を高収率かつ作業性よく得ることができるB
N粉末の製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and in the process of producing a boron nitride powder by the above method (5), a process of obtaining a bulk material having desired properties as an intermediate and having excellent handling properties. Which can obtain a highly crystalline BN powder with high yield and good workability
An object of the present invention is to provide a method for producing N powder.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者らは、上記目的を達成するため、鋭意検討を行っ
た結果、H3BO3と炭素質粉末との混合物の脱水処理時
におけるバルク化の性質を有効に利用すれば、成形のた
めの設備や工程も不要となり、設備が簡素化でき、工程
も簡略化できるため、低コスト化に繋がることから、適
度な保形性を有し、ハンドリング性が良好で、適度な気
孔を有し、N2ガスの通気性が良好で内部まで均一に反
応させることができるバルク体について更に検討を行っ
た。
Means for Solving the Problems and Embodiments of the Invention The present inventors have conducted intensive studies in order to achieve the above object, and as a result, have found that a mixture of H 3 BO 3 and carbonaceous powder is dehydrated. If the nature of bulking in is effectively used, equipment and processes for molding are not required, and the equipment can be simplified and the process can be simplified, leading to cost reduction, and appropriate shape retention. Further, a bulk body having good handling properties, appropriate pores, good N 2 gas permeability, and capable of uniformly reacting inside was further studied.

【0014】その結果、H3BO3と炭素質粉末との原料
混合粉末中のH3BO3粉末として、平均粒子径が100
μm以上のものを使用すること、更に好ましくは、H3
BO3以外の混合物中の炭素質粉末等の原料粉末の平均
粒子径をH3BO3粉末の平均粒子径の1/5以下のもの
とすることにより、H3BO3脱水時に適度な強度と気孔
を有する、高結晶性BN粉末を得るのに適したバルク体
が得られることを知見し、本発明をなすに至った。
[0014] As a result, as H 3 BO 3 powder raw material mixed powder of H 3 BO 3 and the carbonaceous powder, the average particle size of 100
μm or more, more preferably H 3
By setting the average particle size of the raw material powder such as the carbonaceous powder in the mixture other than BO 3 to 1/5 or less of the average particle size of the H 3 BO 3 powder, the H 3 BO 3 has an appropriate strength at the time of dehydration. The present inventors have found that a bulk body suitable for obtaining a highly crystalline BN powder having pores can be obtained, and have accomplished the present invention.

【0015】従って、本発明は、平均粒子径100μm
以上のH3BO3粉末及び炭素質粉末を含有する混合物を
脱水した後、窒化雰囲気下で加熱することによりBN粉
末を製造することを特徴とするBN粉末の製造方法、及
び上記混合物中に含まれるH3BO3粉末以外の粉末の平
均粒子径が、H3BO3粉末の平均粒子径の1/5以下で
ある上記BN粉末の製造方法を提供する。
Therefore, the present invention provides an average particle size of 100 μm
After dehydrating the mixture containing the H 3 BO 3 powder and the carbonaceous powder, a method for producing a BN powder characterized by producing a BN powder by heating in a nitriding atmosphere; the average particle diameter of the powder other than H 3 BO 3 powder provides a method of manufacturing the BN powder is 1/5 or less of the average particle size of H 3 BO 3 powder.

【0016】以下、本発明につき、更に詳しく説明する
と、本発明のBN粉末の製造方法は、H3BO3粉末と炭
素質粉末とを含有する混合物を加熱して脱水処理するこ
とにより、ハンドリング性に優れると共に、後の工程で
高結晶性BN粉末を収率よくかつ安定して製造し得るバ
ルク体を得る工程を有するものであるが、本発明におい
ては、上記混合物中のH3BO3粉末としてその平均粒子
径が100μm以上、特に500μm以上のものを使用
することを必須とするものである。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail. The method for producing a BN powder according to the present invention is characterized in that a mixture containing H 3 BO 3 powder and carbonaceous powder is heated and dehydrated to provide a handling property. And a step of obtaining a bulk body capable of stably producing a highly crystalline BN powder in a later step with good yield. In the present invention, the H 3 BO 3 powder in the above mixture is provided. It is essential to use those having an average particle diameter of 100 μm or more, especially 500 μm or more.

【0017】この点につき図1を参照して更に詳述する
と、まず、上記原料混合物は、脱水処理前には(A)に
示されるようにH3BO3粒子表面に炭素質粉末Cが吸着
した状態となっている。この状態で脱水処理を行うと、
(B)に示すように、H3BO3内部より水蒸気が発生し
て脱水処理前のH3BO3の粒子径に比例した口径の気孔
が生じるため、脱水後のB23は、水蒸気の発生と共に
移動し、隣接するH3BO3から生じたB23とネックを
形成し、多孔質のバルク体を形成する。即ち、H3BO3
は次の3段階の反応により脱水する。
This point will be described in more detail with reference to FIG. 1. First, the carbonaceous powder C is adsorbed on the surface of the H 3 BO 3 particles before the dehydration treatment as shown in FIG. It is in a state where it has been done. When dehydration is performed in this state,
(B), the order pores of diameter in proportion to the particle size of the H 3 BO 3 vapor from the inside occurs before dehydration H 3 BO 3 occurs, B 2 O 3 after dewatering, steam Move along with the occurrence of, forming a neck with B 2 O 3 generated from the adjacent H 3 BO 3, thereby forming a porous bulk body. That is, H 3 BO 3
Is dehydrated by the following three-stage reaction.

【0018】 H3BO3→HBO2+H2O↑ … 4HBO2→H247+H2O↑ … H247→2B23+H2O↑ …H 3 BO 3 → HBO 2 + H 2 O ↑ 4HBO 2 → H 2 B 4 O 7 + H 2 O ↑ H 2 B 4 O 7 → 2B 2 O 3 + H 2 O ↑

【0019】ここで、上記の反応により生じたHBO
2(メタ硼酸)は、低融点(170〜200℃程度)の
物質で、この段階で一時的に液相を形成し、隣接するH
3BO3から生じたHBO2とネックを形成して連結す
る。次に、脱水が進んでB23になると連結した状態で
粉体をバルク体とする賦形にはたらく。
Here, the HBO produced by the above reaction is
2 (Metaboric acid) is a substance having a low melting point (about 170 to 200 ° C), temporarily forming a liquid phase at this stage,
A neck is formed and connected with HBO 2 generated from 3 BO 3 . Next, when dehydration progresses to B 2 O 3 , the powder is connected to form a bulk body in a connected state.

【0020】この場合、混合物粉末中のH3BO3の全量
が脱水時に溶融して、流動性を有すると、その溶融体中
に炭素質粉末が均一分散することとなるため、バルク体
形成の可否及びその保形性は、H3BO3の粒度的性状に
は依存しなくなる。
In this case, when the entire amount of H 3 BO 3 in the mixture powder is melted during dehydration and has fluidity, the carbonaceous powder is uniformly dispersed in the melt, so that the bulk material is not formed. Whether it is acceptable or not and its shape retention do not depend on the granularity of H 3 BO 3 .

【0021】しかしながら、実際には、炭素質粉末で表
面被覆されたH3BO3の表皮層は安定で、脱水時にも流
動せず、その内部に包含されたHBO2が脱水時に発生
した水蒸気と共に、表皮層を破って飛散する。そこで隣
接した粒子から発生したHBO2同士が接着、固化して
バルク体となるため、その形成可否及びその保形性は、
表皮層内部に包含された飛散成分の量に依存する。
However, in practice, the surface layer of H 3 BO 3 coated with the carbonaceous powder is stable and does not flow during dehydration, and HBO 2 contained therein is mixed with water vapor generated during dehydration. Spatters, breaking the epidermis layer. Therefore, HBO 2 generated from adjacent particles adheres and solidifies to form a bulk body.
It depends on the amount of scattered components contained inside the epidermis layer.

【0022】従って、飛散成分の量を十分に確保するた
めには、H3BO3の平均粒子径が100μm以上、特に
500μm以上、更に好ましくは700〜1000μm
であり、この形状を満たせば、粉末は一次粒子であって
も、微粒子の凝集体の二次粒子であってもよいが、二次
粒子を使用する場合には、ポーラスな凝集体であると、
原料混合時に炭素質粉末がH3BO3の凝集体内部に侵入
して、包含された成分の飛散を妨害するおそれがあるた
め、内部に空隙が少なく、緻密に凝集しているものを用
いることが好ましい。なお、上記H3BO3の平均粒子径
が100μm未満であると、後述する原料混合粉末を脱
水する際、全くバルク化しなかったり、仮にバルク化し
ても、その強度が低く、ハンドリング性が不良となると
いう不都合が生じる。
Therefore, in order to ensure a sufficient amount of the scattered component, the average particle diameter of H 3 BO 3 should be 100 μm or more, particularly 500 μm or more, more preferably 700 to 1000 μm.
If this shape is satisfied, the powder may be a primary particle or a secondary particle of an aggregate of fine particles, but when a secondary particle is used, it is considered to be a porous aggregate. ,
When the raw materials are mixed, the carbonaceous powder may enter the agglomerate of H 3 BO 3 and hinder the scattering of the contained components. Is preferred. If the average particle diameter of the H 3 BO 3 is less than 100 μm, when the raw material mixed powder described later is dehydrated, it is not bulked at all, or even if bulked, the strength is low and the handling property is poor. Inconvenience.

【0023】本発明において、上記H3BO3粉末と共に
用いる炭素質粉末は、窒化反応時にB23の還元剤とし
て作用するものであり、公知のものが使用できるが、具
体的には、ファーネスブラック、アセチレンブラック、
グラファイト等の炭素粉末、塩化ビニル樹脂、フェノー
ル樹脂等の炭化性樹脂を挙げることができる。
In the present invention, the carbonaceous powder used together with the above H 3 BO 3 powder acts as a reducing agent for B 2 O 3 during the nitriding reaction, and known carbonaceous powders can be used. Furnace black, acetylene black,
Examples thereof include carbon powder such as graphite, and carbonizable resins such as vinyl chloride resin and phenol resin.

【0024】また、上記炭素質粉末の性状についても特
に制限されるものではなく、先に図1で示したように、
脱水処理前にH3BO3粒子表面に均一に吸着し、脱水処
理後には、バルク体の気孔内部に均一に吸着した状態と
することが好ましく、この状態をスムーズに発現させる
ためには、平均粒子径が使用するH3BO3粉末の平均粒
子径の1/5以下、特に1/10以下であるものを用い
ることが好ましい。1/5を超えると、H3BO3粒子内
部の成分が飛散した際に隣接粒子からの飛散成分とのネ
ック形成を妨害する場合がある。
The properties of the carbonaceous powder are not particularly limited either. As shown in FIG.
It is preferable that the particles are uniformly adsorbed on the surface of the H 3 BO 3 particles before the dehydration treatment, and that the particles are uniformly adsorbed inside the pores of the bulk body after the dehydration treatment. It is preferable to use one having a particle diameter of 1/5 or less, particularly 1/10 or less, of the average particle diameter of the H 3 BO 3 powder used. If it exceeds 1/5, when the components inside the H 3 BO 3 particles scatter, the formation of a neck with the scattered components from adjacent particles may be hindered.

【0025】なお、H3BO3と炭素質粉末の配合比は、
化学量論的には、以下の式によって算出できるが、実際
は、反応率100%にはなり得ないため、未反応物除去
の難易性を考えた場合、H3BO3を理論値の10〜20
モル%程度多くすることが好ましい。
The mixing ratio of H 3 BO 3 and carbonaceous powder is as follows:
Stoichiometrically, it can be calculated by the following formula. However, in reality, the reaction rate cannot be 100%. Therefore, considering the difficulty of removing unreacted substances, H 3 BO 3 is set to a theoretical value of 10 to 10. 20
It is preferable to increase the amount by about mol%.

【0026】2H3BO3→B23+3H2O↑ B23+3C+N2→2BN+3CO2H 3 BO 3 → B 2 O 3 + 3H 2 O ↑ B 2 O 3 + 3C + N 2 → 2BN + 3CO

【0027】また、上記原料混合物中には、必要に応じ
て窒化反応触媒として、Fe,Co,Ni,Ca,Mg
等の金属又はその化合物を配合してもよく、これらの平
均粒子径も炭素質粉末と同様の理由で、H3BO3粉末の
1/5以下であることが好ましい。
The raw material mixture may optionally contain Fe, Co, Ni, Ca, Mg as a nitriding catalyst.
And the like, or a compound thereof, and the average particle diameter thereof is preferably 1/5 or less of the H 3 BO 3 powder for the same reason as the carbonaceous powder.

【0028】上述した原料混合物は、公知の方法に従
い、混合及び加熱して脱水処理を行うことができる。こ
の場合、脱水処理は300〜450℃の温度で行うこと
が好ましく、300℃未満では、H3BO3の脱水が不十
分になるおそれがあり、また450℃を超えると、炭素
質粉末が酸化され揮散する場合がある。
The above-mentioned raw material mixture can be subjected to dehydration treatment by mixing and heating according to a known method. In this case, the dehydration treatment is preferably performed at a temperature of 300 to 450 ° C. If the temperature is lower than 300 ° C., the dehydration of H 3 BO 3 may be insufficient. May be volatilized.

【0029】得られたバルク体の密度は、特に制限され
るものではないが、0.4〜0.7g/cm3、特に
0.5〜0.6g/cm3とすることが好ましい。密度
が0.7g/cm3を超えると、気孔内部に窒素ガスが
十分に入らなくなる場合があり、このため未反応物が多
く残留するおそれがあり、また0.4g/cm3未満で
は、生産性の低下を招く場合がある。なお、密度0.4
〜0.7g/cm3のバルク体は、使用するH3BO3
末の二次粒子径を100μm以上とすることにより確実
に得ることができる。
The density of the obtained bulk body is not particularly limited, but is preferably 0.4 to 0.7 g / cm 3 , particularly preferably 0.5 to 0.6 g / cm 3 . If the density exceeds 0.7 g / cm 3, may nitrogen gas into the pores can not enter the well and thus there is a possibility that unreacted substances often remain, also it is less than 0.4 g / cm 3, produced In some cases may lead to a decrease in performance. In addition, density 0.4
The bulk body of about 0.7 g / cm 3 can be reliably obtained by setting the secondary particle diameter of the H 3 BO 3 powder to be used to 100 μm or more.

【0030】なお、ここで成形されたバルク体は、適度
な強度を有するのでバルク体として簡単に移動すること
ができ、製造工程のブロック化に好適に対応し得るもの
である上、使用時までバルク体の状態でそのまま保存す
ることも可能である。
The bulk body molded here has an appropriate strength, so that it can be easily moved as a bulk body, and can suitably cope with the blocking of the manufacturing process. It is also possible to store it as it is in a bulk state.

【0031】本発明の製造方法は、上述の操作で得たバ
ルク体を、公知の方法により窒素ガスを含む雰囲気下で
加熱することによりBN粉末を得るものである。この場
合、窒化温度は1600℃以上にすることが好ましく、
1600℃未満であると、窒素ガスが反応に十分に寄与
しない場合があり、一部が反応し得ても高結晶性のBN
粉末を得ることができない場合がある。また、合成時の
雰囲気下には、窒素ガスを含むことは必須であるが、バ
ルク体のB23の還元を更に促進させるためにNH3
2ガスを含ませたり、また、炉体を保護するために、
Ar,He等の不活性ガスを局部的に含ませること等は
任意に行うことができる。また、合成に使用する設備
は、生産性を考慮した場合、トンネル炉等の連続炉を使
用することが最も好ましいが、バッチ炉等を使用するこ
とも特に問題が生じるものではない。
In the production method of the present invention, the BN powder is obtained by heating the bulk body obtained by the above-mentioned operation in an atmosphere containing nitrogen gas by a known method. In this case, the nitriding temperature is preferably set to 1600 ° C. or higher,
If the temperature is lower than 1600 ° C., the nitrogen gas may not sufficiently contribute to the reaction.
In some cases, powder cannot be obtained. In addition, the atmosphere at the time of synthesis, but it is essential to include a nitrogen gas, NH 3 in order to further promote the reduction of the B 2 O 3 of the bulk body,
To include H 2 gas and to protect the furnace body,
Localization of an inert gas such as Ar or He can be arbitrarily performed. In addition, in consideration of productivity, the equipment used for the synthesis is most preferably a continuous furnace such as a tunnel furnace, but the use of a batch furnace or the like does not cause any particular problem.

【0032】以上により合成された窒化ケイ素粉末のバ
ルク体を解砕し、必要に応じて酸処理等の精製工程を通
すことにより、高純度で結晶質のBN粉末を収率よく得
ることができる。
The bulk body of the silicon nitride powder synthesized as described above is crushed and, if necessary, subjected to a purification step such as an acid treatment, whereby a high-purity, crystalline BN powder can be obtained in good yield. .

【0033】本発明のBN粉末の製造方法は、中間物と
して製造されたバルク体が窒素ガス通気性に優れるポー
ラスな状態であるので、高純度で結晶質のBN粉末を収
率よく得ることができ、簡素化された設備及び簡略な工
程で生産性よくBN粉末を製造できる。
According to the method for producing BN powder of the present invention, since the bulk body produced as an intermediate is in a porous state having excellent nitrogen gas permeability, it is possible to obtain high-purity, crystalline BN powder in good yield. BN powder can be manufactured with high productivity using simplified equipment and simple processes.

【0034】[0034]

【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるもの
ではない。
EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

【0035】[実施例1]平均粒子径102μmのH3
BO3粉末を500g、平均粒子径16μmのアセチレ
ンブラックを130g、及び平均粒子径10μmのCa
O30gを混合機にて混合した後、200mm×200
mm×100mm(高さ)のステンレス容器に入れ、大
気炉の中に入れて、330℃、20時間脱水処理を行
い、バルク体を成形した。このバルク体について、バル
ク密度、バルク強度、ハンドリング性を調べた。結果を
表1に示す。
Example 1 H 3 having an average particle diameter of 102 μm
500 g of BO 3 powder, 130 g of acetylene black having an average particle diameter of 16 μm, and Ca having an average particle diameter of 10 μm
After mixing 30 g of O with a mixer, 200 mm × 200
The resultant was placed in a stainless steel container having a size of 100 mm (height) mm, placed in an air furnace, and subjected to a dehydration treatment at 330 ° C. for 20 hours to form a bulk body. The bulk density, bulk strength, and handleability of this bulk body were examined. Table 1 shows the results.

【0036】次いで、上記バルク体をトンネル型プッシ
ャー炉の台板に入れて、窒素気流中で1900℃×6時
間の窒化処理を行い、窒化後、解砕し、5wt%の塩酸
水3リットル中で2時間撹拌した後、濾過、水洗、乾燥
を行い、BN粉末を得た。
Next, the above-mentioned bulk body is put into a base plate of a tunnel-type pusher furnace, and subjected to nitriding treatment at 1900 ° C. for 6 hours in a nitrogen stream. After stirring for 2 hours, filtration, washing with water and drying were performed to obtain BN powder.

【0037】得られたBN粉末について収率、LC値の
測定を行った。結果を表1に示す。
The yield and LC value of the obtained BN powder were measured. Table 1 shows the results.

【0038】[実施例2]平均粒子径が510μmのH
3BO3粉末を使用した以外は、実施例1と同様に製造
し、バルク体とBN粉末について評価を行った。結果を
表1に示す。
Example 2 H having an average particle diameter of 510 μm
3 except for using BO 3 powder was prepared in the same manner as in Example 1, were evaluated bulk body and the BN powder. Table 1 shows the results.

【0039】[実施例3]平均粒子径が25μmのアセ
チレンブラックを使用した以外は、実施例1と同様に製
造し、バルク体とBN粉末について評価を行った。結果
を表1に示す。
Example 3 A bulk material and BN powder were evaluated in the same manner as in Example 1 except that acetylene black having an average particle size of 25 μm was used. Table 1 shows the results.

【0040】[比較例1]平均粒子径が92μmのH3
BO3粉末を使用した以外は、実施例1と同様に製造
し、バルク体とBN粉末について評価を行った。結果を
表1に示す。
Comparative Example 1 H 3 having an average particle diameter of 92 μm
Except for using BO 3 powder, it was manufactured in the same manner as in Example 1, and the bulk body and BN powder were evaluated. Table 1 shows the results.

【0041】[比較例2]平均粒子径が42μmのH3
BO3粉末を使用した以外は、実施例1と同様に製造を
試みたところ、脱水時にバルク体にならず、製造を中止
した。
Comparative Example 2 H 3 having an average particle diameter of 42 μm
The production was attempted in the same manner as in Example 1 except that BO 3 powder was used. However, the production did not proceed to a bulk during dehydration, and the production was stopped.

【0042】[0042]

【表1】 *1 脱水用加熱器から回収し、窒化炉へ仕込む際の作
業を行った人間の感覚により判断した。 *2 理論収量179.1gを100%とした。 *3 学振炭素材料117委員会法による。
[Table 1] * 1 Judgment was made based on the perception of the person who performed the work of collecting from the dehydration heater and charging into the nitriding furnace. * 2 The theoretical yield of 179.1 g was defined as 100%. * 3 Based on the Gakushin Carbon Materials 117 Committee Law.

【0043】以上の結果より、本発明の実施例におい
て、製造工程の中間製造物であるバルク体は密度、強度
のいずれも良好でハンドリング性に優れる上、このバル
ク体から得られたBN粉末の収率も高いものであること
が認められた。一方、本発明のH3BO3粉末の平均粒子
径より僅かに短いH3BO3粉末を使用した比較例1にお
いては、バルク体の保形性に問題があり、BN粉末の収
率が低下するものであり、また比較例2の平均粒子径が
短すぎるH3BO3粉末を使用したものは、バルク体を製
造することができなかった。
From the above results, in the embodiment of the present invention, the bulk product, which is an intermediate product in the manufacturing process, has both good density and strength, excellent handling properties, and the BN powder obtained from this bulk product The yield was also found to be high. On the other hand, in Comparative Example 1 using the H 3 BO 3 powder slightly shorter than the average particle diameter of the H 3 BO 3 powder of the present invention, there was a problem in the shape retention of the bulk body, and the yield of the BN powder was reduced. In addition, in the case of using the H 3 BO 3 powder having a too short average particle diameter in Comparative Example 2, a bulk body could not be produced.

【0044】なお、バルク体を形成できなかった比較例
2以外は、いずれも一段階反応で高結晶性のBN粉末を
得ることができた。
With the exception of Comparative Example 2 in which a bulk body could not be formed, a highly crystalline BN powder could be obtained by a one-step reaction.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明は、保形性に優れ、ポーラスで窒
素ガスの通気性が良く、ハンドリング性に優れる上、製
造工程のブロック化を進めるのに好適なバルク体からB
N粉末を得るので、高結晶性BN粉末を工程中のロスが
少なく、生産性及び作業性よく製造することができる。
According to the present invention, a bulk material which is excellent in shape retention, porous, has good gas permeability of nitrogen gas, has excellent handling properties, and is suitable for promoting the blocking of the manufacturing process.
Since N powder is obtained, highly crystalline BN powder can be manufactured with little loss during the process and with good productivity and workability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の製造方法にかかる混合物がバルク化す
る様子を示す状態図であり、(A)は脱水処理前、
(B)は脱水処理後を示す。
FIG. 1 is a state diagram showing a state in which a mixture according to a production method of the present invention is made into a bulk, and FIG.
(B) shows the state after the dehydration treatment.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 平均粒子径100μm以上の硼酸粉末及
び炭素質粉末を含有する混合物を脱水した後、窒化雰囲
気下で加熱することにより窒化硼素粉末を製造すること
を特徴とする窒化硼素粉末の製造方法。
1. A method for producing boron nitride powder, comprising dehydrating a mixture containing boric acid powder and carbonaceous powder having an average particle diameter of 100 μm or more, and then heating the mixture in a nitriding atmosphere to produce boron nitride powder. Method.
【請求項2】 混合物中に含まれる硼酸粉末以外の粉末
の平均粒子径が、硼酸粉末の平均粒子径の1/5以下で
ある請求項1記載の窒化硼素粉末の製造方法。
2. The method for producing boron nitride powder according to claim 1, wherein the average particle diameter of the powder other than boric acid powder contained in the mixture is 1/5 or less of the average particle diameter of boric acid powder.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100337372B1 (en) * 1999-05-11 2002-05-22 박호군 Preparation of boron nitride powder by self-propagation high temparature synthesis
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