JPH10202836A - Squeegee device and manufacture of macromolecular optical waveguide using the same - Google Patents
Squeegee device and manufacture of macromolecular optical waveguide using the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、微細パターンへの
材料充填に用いるスキージ装置及びそれを用いた高分子
光導波路の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a squeegee device used for filling a fine pattern with a material and a method for manufacturing a polymer optical waveguide using the squeegee device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ポリマー材料を用いた高分子光導波路
は、無機材料を用いた導波路に比較して、低コスト化が
可能で量産性に優れるので、近年、活発に技術開発が行
われている。これらの高分子光導波路の作製に代表され
るような、微細パターンへの液状材料充填プロセスにお
いて、スキージ法は材料充填性や作業性の点で非常に適
した手法の一つとして期待されている。2. Description of the Related Art A polymer optical waveguide using a polymer material can be reduced in cost and excellent in mass productivity as compared with a waveguide using an inorganic material. I have. The squeegee method is expected to be one of the most suitable methods for filling a liquid material into a fine pattern, such as the production of these polymer optical waveguides, in terms of material filling properties and workability. .
【０００３】例えば、微細光導波路からなる高分子光導
波路の製造工程では、まず、数ミクロンから数十ミクロ
ンの微細溝をもつ樹脂基板に対し、硬化させることでコ
アとなる液状材料を滴下後、基板表面の余分な液状材料
をスキージ法により掃き取ることにより微細溝の中にの
み材料を充填し、その後、紫外線照射、或いは加熱等に
より溝内の材料を硬化させ、微細溝に光導波路のコア部
分を形成するという方法が検討されている。For example, in a process of manufacturing a polymer optical waveguide composed of a fine optical waveguide, first, a resin material having a fine groove of several microns to several tens of microns is dropped on a liquid material to be a core by curing the resin substrate. Excess liquid material on the substrate surface is swept by a squeegee method to fill the material only in the fine grooves, and then the material in the grooves is cured by irradiation with ultraviolet light or heating, and the core of the optical waveguide is formed in the fine grooves. A method of forming a portion is being studied.
【０００４】ここで、スキージ装置には、例えば、回路
基板への半田ペーストの印刷等で用いられる一般的なス
クリーン印刷用スキージ装置が用いられる。また、その
概略構造を示す要部断面図である図７（ａ）、（ｂ）、
及び（ｃ）に示すように、スキージホルダ３４に固定さ
れたスキージには、ウレタンゴム等で形成された平スキ
ージ３１（図７（ａ））、剣スキージ３２（図７
（ｂ））、及び角スキージ３３（図７（ｃ））等の形状
のものが一般に用いられる。現状では、これらのスキー
ジ形状の中では、先端に曲率をもつ剣スキージ３２が、
数ミクロンから数十ミクロンのオーダーの微細溝への材
料充填性の点で、特に基板にうねりや、反りのない場合
に限り、比較的良好な結果が得られている。The squeegee device used here is, for example, a general screen printing squeegee device used for printing a solder paste on a circuit board. 7 (a) and 7 (b), which are cross-sectional views of a main part showing a schematic structure thereof.
As shown in FIGS. 7C and 7C, the squeegee fixed to the squeegee holder 34 includes a flat squeegee 31 (FIG. 7A) made of urethane rubber or the like, and a sword squeegee 32 (FIG. 7).
(B)) and those having a shape such as a square squeegee 33 (FIG. 7 (c)) are generally used. At present, among these squeegee shapes, a sword squeegee 32 having a curvature at the tip is
In terms of material filling properties into microgrooves on the order of several microns to several tens of microns, relatively good results have been obtained, especially when the substrate does not undulate or warp.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の数ミクロンから数十ミクロンのオーダーの微細溝への
材料充填プロセスは、基板とスキージとの密着性やスキ
ージの押し付け圧力の変動等の影響を大きく受ける。す
なわち、微細溝への材料充填プロセスにおけるスキージ
による微細溝内以外の液状材料の掃き取り除去の様子を
示す要部断面図である図８（ａ）に示すように、基板３
５とスキージ３６の密着性が悪く、基板３５とスキージ
３６との間に部分的に隙間ができると、基板面に材料３
７の掃き残し部分３８が発生し、光導波路の場合には導
波路から光が漏れる不良箇所となるため、サブミクロン
オーダーの高精度の密着性が要求される。However, the process of filling the material into the fine grooves on the order of several microns to several tens of microns has a great influence on the adhesion between the substrate and the squeegee and the fluctuation of the pressing pressure of the squeegee. receive. That is, as shown in FIG. 8A, which is a cross-sectional view of a principal part showing a state in which a liquid material other than in the fine grooves is swept and removed by a squeegee in the process of filling the fine grooves with a material.
If the adhesion between the squeegee 5 and the squeegee 36 is poor and a gap is partially formed between the substrate 35 and the squeegee 36, the material 3
In the case of an optical waveguide, a defective portion where light leaks from the waveguide is generated, so that high-precision adhesion on the order of submicrons is required.
【０００６】また、図８（ｂ）に示すように、スキージ
の押し付け圧力が大きすぎると溝３９の中から材料３７
を掻き出してしまい非充填部４０が形成され、光導波路
の場合にはコア断面が小さくなり導波損失が増大すると
いう不具合が発生するため、高精度のスキージ押し付け
圧力設定が必要となる。[0008] As shown in FIG. 8 (b), if the pressing pressure of the squeegee is too large, the material 37 is removed from the groove 39.
In the case of an optical waveguide, there occurs a problem that the core section becomes small and the waveguide loss increases, so that it is necessary to set a squeegee pressing pressure with high accuracy.
【０００７】例えば、高分子光導波路を構成する樹脂基
板は、低コストを理由に射出成型法等で成型されるた
め、基板面の微細なうねり、基板の反り等が存在する。
このような基板面の微細なうねりにスキージを十分に追
従させるためには、基板と接する部分のスキージが低硬
度弾性材料で形成されている必要がある。しかし、従来
の単一材料から成る低硬度のウレタンゴム製のスキージ
ではスキージ全体の変形が大きくなりすぎて、結果的に
基板とスキージの接触部分の形状が変則的になるととも
に、その面積が大きくなり、実際は微小領域である掃き
取り部分でのスキージの密着性が悪化する。For example, a resin substrate constituting a polymer optical waveguide is molded by an injection molding method or the like because of its low cost, so that there are minute undulations on the substrate surface, warpage of the substrate, and the like.
In order for the squeegee to sufficiently follow such minute undulations on the substrate surface, it is necessary that the squeegee in contact with the substrate be formed of a low-hardness elastic material. However, in the conventional squeegee made of a low hardness urethane rubber made of a single material, the deformation of the entire squeegee becomes too large, and as a result, the shape of the contact portion between the substrate and the squeegee becomes irregular and the area becomes large. In fact, the adhesiveness of the squeegee at the swept portion, which is a very small area, actually deteriorates.
【０００８】また、微細溝の中から液状材料を掻き出し
てしまわないためには、ある程度小さいスキージ押し付
け圧力の設定とする必要がある。このような押し付け圧
力設定で基板表面の液状材料の掃き残しを発生させない
ためには、充填させる液状材料に対してぬれ性が悪い、
すなわち液状材料の接触角が大きいという特性をもつス
キージ材質を選択することが好ましい。ところが、例え
ば、液状材料にアクリル系の紫外線硬化樹脂を用い、ス
キージ材質にシリコーンゴムを用いた場合、スキージに
対する液状材料の接触角を大きくすることはできるが、
スキージの硬度の点で適切な選択をすることが難しく、
前述と同様の理由で基板に対する密着性の悪化を引き起
こす。Further, in order to prevent the liquid material from being scraped out of the fine grooves, it is necessary to set the squeegee pressing pressure to a somewhat small value. In order to prevent the liquid material on the substrate surface from being left unswept at such a pressing pressure setting, the liquid material to be filled has poor wettability.
That is, it is preferable to select a squeegee material having a characteristic that the contact angle of the liquid material is large. However, for example, when an acrylic UV curable resin is used for the liquid material and silicone rubber is used for the squeegee material, the contact angle of the liquid material with respect to the squeegee can be increased,
It is difficult to make an appropriate choice in terms of squeegee hardness,
For the same reason as above, the adhesion to the substrate is deteriorated.
【０００９】一方、基板にスキージを密着させて液状材
料を掃き取るというプロセスではスキージの磨耗は避け
られない。特に、光導波路の場合には、スキージの磨耗
による微小な凹凸であっても基板上に微細な筋状等の液
状材料の掃き残しを発生させてしまい、前述の不良個所
の原因となるため、同一スキージの繰り返し使用に適さ
ない。そのため、このような用途に用いる場合には、ス
キージに微小な磨耗が発生する度に、頻繁なスキージ交
換が必要となる。On the other hand, in a process in which a squeegee is brought into close contact with a substrate to sweep a liquid material, wear of the squeegee is inevitable. In particular, in the case of an optical waveguide, even a minute unevenness due to abrasion of the squeegee causes a residual liquid material such as a fine streak on the substrate to be swept, which causes the above-described defective portion. Not suitable for repeated use of the same squeegee. Therefore, when the squeegee is used for such a purpose, frequent replacement of the squeegee is required every time minute wear occurs on the squeegee.
【００１０】以上のように、従来のスキージは、単一材
料で形成されており、基板のうねりのような微細変動に
追従するスキージの低硬度特性と、基板の反りのような
大きな変動に対応するスキージの高硬度特性と、さらに
充填させる液状材料に対する十分な大きさの接触角が得
られるようなスキージの材料物性とを、全てを満足する
ことが困難であるという問題があった。また、従来のス
キージでは、スキージの微小な磨耗を原因とする充填性
の劣化を防止するために、頻繁にスキージを交換しなけ
ればならず、結果としてスキージの消費が激しいことに
よる生産コストの上昇や、度々のスキージ交換、調整に
時間を要することによる生産性の悪化という問題があっ
た。As described above, the conventional squeegee is formed of a single material, and can cope with the low hardness characteristic of the squeegee that follows minute fluctuations such as undulation of the substrate and large fluctuations such as warpage of the substrate. There is a problem that it is difficult to satisfy all of the high hardness characteristics of the squeegee to be used and the material properties of the squeegee that can obtain a sufficiently large contact angle with the liquid material to be filled. In addition, in conventional squeegees, squeegees must be replaced frequently in order to prevent deterioration of filling properties due to minute wear of the squeegees, resulting in increased production costs due to heavy consumption of squeegees. In addition, there is a problem that productivity is deteriorated due to the time required for squeegee replacement and adjustment frequently.
【００１１】本発明は、上記のような課題を解決するた
めになされたものであって、高分子光導波路の製造等の
微細パターンへの材料充填プロセスなどに用いられるス
キージ装置において、スキージ材の複合化により材料の
充填性を向上させるとともに、スキージの磨耗を原因と
する充填性の劣化を防止することができるスキージ装置
及びそれを用いた高分子光導波路の製造方法を提供する
ことを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and is intended to provide a squeegee device used in a process of filling a fine pattern with a material, such as manufacturing a polymer optical waveguide. It is an object of the present invention to provide a squeegee device capable of improving the filling property of a material by compounding and preventing deterioration of the filling property due to abrasion of the squeegee, and a method for manufacturing a polymer optical waveguide using the same. I do.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明では、スキージ型とそのスキージ型
の表面を被覆するように構成されるスキージ表面シート
とを備えてスキージ装置を構成している。According to a first aspect of the present invention, there is provided a squeegee apparatus including a squeegee type and a squeegee surface sheet configured to cover the surface of the squeegee type. doing.
【００１３】請求項１の発明によれば、スキージ型とそ
のスキージ型の表面を被覆するように構成されたスキー
ジ表面シートとを備えているので、スキージ型には高硬
度材料を用い、スキージ表面シートには充填させる液状
材料に対する接触角の大きい材料や基板表面の微細なう
ねりに対応した低硬度材料を用いる等、異なる特性の材
料をそれぞれ組み合わせた複合構造のスキージを形成す
ることができ、基板表面の微細なうねりや基板の反りに
十分追従させて液状材料を充填させることができる。According to the first aspect of the present invention, the squeegee type and the squeegee surface sheet configured to cover the surface of the squeegee type are provided. A squeegee with a composite structure combining materials with different characteristics, such as using a material with a large contact angle with the liquid material to be filled or a low-hardness material corresponding to minute undulation on the substrate surface, can be formed on the sheet. The liquid material can be filled by sufficiently following fine waviness on the surface or warpage of the substrate.
【００１４】さらに、請求項２の発明では、上記のスキ
ージ装置において、スキージ表面シートがシート繰り出
し部とシート巻き取り部とから構成されるスキージ表面
シート供絵機構を設けて構成している。Further, according to the second aspect of the present invention, in the squeegee apparatus, the squeegee top sheet is provided with a squeegee top sheet painting mechanism including a sheet feeding section and a sheet winding section.
【００１５】請求項２の発明によれば、スキージ表面シ
ートがシート繰り出し部とシート巻き取り部とから構成
されるスキージ表面シート供給機構を備えているので、
スキージする度に基板とスキージとが接する部分に常に
新しいスキージ表面シートを供給することができ、スキ
ージの磨耗による微細な掃き残し等の不具合の発生を防
止するとともに、長期間にわたりスキージの交換、及び
調整を必要としない。According to the second aspect of the present invention, since the squeegee top sheet is provided with the squeegee top sheet feeding mechanism including the sheet feeding section and the sheet winding section,
A new squeegee surface sheet can always be supplied to the portion where the board and the squeegee are in contact each time the squeegee is used, preventing problems such as minute unsweeping due to abrasion of the squeegee, replacing the squeegee for a long time, and No adjustment is required.
【００１６】また、請求項３の発明では、上記のスキー
ジ装置において、スキージ型がスキージ表面シートと接
する部分に、真空排気装置又は圧縮気体供給装置が接続
可能な吸着固定チャックを設けて構成している。According to a third aspect of the present invention, in the above-mentioned squeegee device, the squeegee type is provided with a suction-fixing chuck to which a vacuum exhaust device or a compressed gas supply device can be connected at a portion in contact with the squeegee surface sheet. I have.
【００１７】請求項３の発明によれば、吸着固定チャッ
クを介して真空排気装置を接続すると、スキージ表面シ
ートをスキージ型の吸着させることによりスキージ表面
シートのスキージ型への密着性を向上させることができ
る。また、吸着固定チャックを介して圧縮気体供給装置
を接続すると、スキージ型とスキージ表面シートとの材
質の組み合わせにより、スキージ型とスキージ表面シー
トとが互いに張り付いてしまうような場合、圧縮気体供
給装置からの圧縮気体を供給することで、吸着固定チャ
ックから気体が放出されスキージ型からスキージ表面シ
ートを剥離させることができる。According to the third aspect of the present invention, when the evacuating device is connected via the suction fixing chuck, the squeegee surface sheet is attracted by the squeegee type, thereby improving the adhesion of the squeegee surface sheet to the squeegee type. Can be. Also, if the compressed gas supply device is connected via a suction fixing chuck, the squeegee type and the squeegee surface sheet may stick to each other due to the combination of the materials of the squeegee type and the squeegee surface sheet. By supplying the compressed gas from the squeegee chuck, the gas is released from the suction fixed chuck, and the squeegee surface sheet can be peeled from the squeegee mold.
【００１８】また、請求項４の発明では、上記のスキー
ジ装置において、スキージ型がスキージ表面シートと接
する部分の一部に可動体であるシート剥離部材を備える
こととしている。According to the invention of claim 4, in the squeegee device described above, the squeegee mold is provided with a sheet peeling member which is a movable body at a part of the portion in contact with the squeegee surface sheet.
【００１９】請求項４の発明によれば、スキージ型がス
キージ表面シートと接する部分の一部に、スキージ型に
沿って移動する機構をもつような可動体のシート剥離部
材を設けているので、スキージ型にスキージ表面シート
が張り付いてしまうような場合、このシート剥離部材を
スキージ型に沿って移動させるなどして、スキージ型か
らスキージ表面シートを剥離することができる。According to the fourth aspect of the present invention, a movable sheet peeling member having a mechanism for moving along the squeegee mold is provided in a part of the squeegee mold in contact with the squeegee surface sheet. When the squeegee surface sheet is stuck to the squeegee mold, the squeegee surface sheet can be peeled from the squeegee mold by moving the sheet peeling member along the squeegee mold.
【００２０】また、請求項５の発明では、上記のスキー
ジ装置において、スキージ表面シートがシリコーンゴム
から成ることとしている。Further, in the invention of claim 5, in the squeegee device described above, the squeegee surface sheet is made of silicone rubber.
【００２１】請求項５の発明によれば、スキージ表面シ
ートがシリコーンゴムから成るので、スキージ表面シー
トに対して、充填される液状材料の接触角を大きくする
ことができる。また、シリコーンゴムから成るシートに
は、ＪＩＳ硬度Ａ２０からＪＩＳ硬度Ａ７０までの広範
囲の硬度特性をもつシートの種類があり、スキージの対
象である基板の表面の微細なうねり等の程度に合わせ
て、最適な硬度のスキージ表面シートを選定することが
できる。According to the fifth aspect of the present invention, since the squeegee topsheet is made of silicone rubber, the contact angle of the liquid material to be filled with the squeegee topsheet can be increased. Further, among the sheets made of silicone rubber, there are sheet types having a wide range of hardness characteristics from JIS hardness A20 to JIS hardness A70, and according to the degree of fine waviness on the surface of the substrate which is the object of the squeegee, A squeegee surface sheet having an optimal hardness can be selected.
【００２２】また、請求項６の発明では、上記のスキー
ジ装置において、スキージ表面シートが導電性材料から
成ることとしている。Further, in the invention of claim 6, in the squeegee device described above, the squeegee surface sheet is made of a conductive material.
【００２３】請求項６の発明によれば、スキージの作業
環境や対象物等によってスキージの摩擦により静電気が
発生し、充填させる液状材料の飛散や、周辺の塵埃の吸
着等の不具合が発生する場合があり、この場合、スキー
ジ表面シートに導電性材料を用いることにより、静電気
の発生を防止することができる。According to the present invention, static electricity is generated due to friction of the squeegee due to the working environment of the squeegee, an object, or the like, which causes problems such as scattering of the liquid material to be filled and adsorption of the surrounding dust. In this case, the generation of static electricity can be prevented by using a conductive material for the squeegee surface sheet.
【００２４】また、請求項７の発明では、上記のスキー
ジ装置において、スキージ型がウレタンゴムから成るこ
ととしている。In the invention according to claim 7, in the squeegee device described above, the squeegee mold is made of urethane rubber.
【００２５】請求項７の発明によれば、スキージ型がウ
レタンゴムから成るので、高弾性でスキージに適してお
り、耐薬品性が強く、低コストで構成することができ
る。また、ウレタンゴムには、ＪＩＳ硬度Ａ５０からＪ
ＩＳ硬度Ａ９０までの広範囲の硬度特性をもつ種類があ
り、スキージの対象である基板の表面の微細なうねり等
の程度に合わせて、最適な硬度のスキージ表面シートを
選定することができる。According to the seventh aspect of the present invention, since the squeegee type is made of urethane rubber, the squeegee type has high elasticity, is suitable for squeegees, has high chemical resistance, and can be constructed at low cost. Urethane rubber has a JIS hardness of A50 to J
There are types having a wide range of hardness characteristics up to IS hardness A90, and a squeegee surface sheet having an optimum hardness can be selected according to the degree of fine undulation or the like on the surface of the substrate to be squeegeeed.
【００２６】また、請求項８の発明では、上記のスキー
ジ装置において、スキージ型が金属材料から成ることと
している。In the invention according to claim 8, in the squeegee device described above, the squeegee mold is made of a metal material.
【００２７】請求項８の発明によれば、スキージ型を変
形のほとんどない金属材料によりスキージ型を構成して
いるので、スキージする基板の反りがほとんどなく、ス
キージを行うときにその基板との微視的な密着性のみを
向上させるのに有効である。According to the eighth aspect of the present invention, the squeegee mold is made of a metal material having almost no deformation. Therefore, the squeegee board hardly bends, and when the squeegee is performed, the squeegee is slightly warped. This is effective for improving only the visual adhesion.
【００２８】また、請求項９の発明では、上記のスキー
ジ装置を用いた高分子光導波路の製造方法であって、微
細な溝を設けた高分子クラッド基板表面に、硬化させる
ことでコアとなる液状材料を滴下し、上記のスキージ装
置を用いて微細溝内以外の液状材料を掃き取り除去する
ことにより微細溝内に液状材料を充填させた後、微細溝
内の液状材料を硬化させることとしている。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a polymer optical waveguide using the squeegee device, wherein the core is formed by curing the surface of the polymer clad substrate provided with fine grooves. After dropping the liquid material and filling the liquid material in the fine groove by sweeping and removing the liquid material other than in the fine groove using the above squeegee device, then curing the liquid material in the fine groove I have.
【００２９】請求項９の発明によれば、高分子先導波路
の製造方法において、微細な溝を設けた高分子クラッド
基板表面に、硬化させることでコアとなる液状材料を滴
下し、上記のスキージ装置を用いて基板表面の微細溝内
以外の液状材料を掃き取り除去し、微細溝内に液状材料
を充填させるプロセスを用いるので、基板とスキージと
の密着性が向上し、光導波路から光が漏れる不良箇所の
発生が防止されるとともに、基板に対するスキージ押し
付け圧力が最適化され、コア断面が小さくなり導波損失
が増大するという不具合の発生が防止される。According to a ninth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a polymer waveguide, a liquid material that becomes a core by being cured is dropped on the surface of the polymer clad substrate provided with fine grooves, and The process of sweeping and removing the liquid material other than in the fine grooves on the substrate surface using the device and filling the liquid material into the fine grooves is used, so that the adhesion between the substrate and the squeegee is improved, and light is emitted from the optical waveguide. In addition to preventing the occurrence of a leaking defective portion, the pressure for pressing the squeegee against the substrate is optimized, and the occurrence of the problem that the core cross section becomes smaller and the waveguide loss increases is prevented.
【００３０】[0030]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００３１】第１の実施形態のスキージ装置の概略構造
について、その要部断面図を示す図１を用いて説明す
る。図１に示すように、第１の実施形態のスキージ装置
では、先端に曲率を有する剣スキージ形状のスキージ型
１１の表面を被覆するようにスキージ表面シート１２が
配置されており、これらはスキージホルダ１３に固定さ
れている。そして、スキージ表面シート１２をスキージ
型１１に被覆させ、スキージ表面シート１２に適度の張
力を与えた状態でスキージホルダ１３で固定することに
より、スキージ表面シート１２がスキージ型１１に密着
固定されるものである。The schematic structure of the squeegee device of the first embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, in the squeegee device of the first embodiment, a squeegee surface sheet 12 is arranged so as to cover the surface of a squeegee mold 11 having a sword squeegee shape having a curvature at the tip. 13 is fixed. Then, the squeegee surface sheet 12 is covered with the squeegee mold 11 and fixed with the squeegee holder 13 in a state where an appropriate tension is applied to the squeegee surface sheet 12, whereby the squeegee surface sheet 12 is tightly fixed to the squeegee mold 11. It is.
【００３２】次いで、第２の実施形態のスキージ装置の
概略構造について、その要部断面図を示す図２を用いて
説明する。図２に示すように、第２の実施形態のスキー
ジ装置では、先端に曲率を有する剣スキージ形状のスキ
ージ型１１がスキージホルダ１３に固定されている。ま
た、スキージ表面シート１２は、その端部がシート繰り
出しローラ１４及びシート巻き取りローラ１５に接続、
固定されている。Next, a schematic structure of a squeegee device according to a second embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2, in the squeegee device of the second embodiment, a squeegee mold 11 having a sword squeegee shape having a curvature at the tip is fixed to a squeegee holder 13. The squeegee top sheet 12 has its ends connected to the sheet feeding roller 14 and the sheet winding roller 15,
Fixed.
【００３３】そして、あらかじめスキージ表面シート１
２を巻き付けてあるシート繰り出しローラ１４と、使用
済みのスキージ表面シート１２を回収するためのシート
巻き取りローラ１５とを、それぞれ図２中に示す矢印の
方向に回転させることにより、スキージ表面シート１２
が微小量送られ、スキージ型１１先端近傍部分に供給、
及び回収される。また、シート繰り出しローラ１４、あ
るいはシート巻き取りローラ１５を微小角度回転させる
ことで、スキージ表面シート１２に張力を与え、スキー
ジ型１１にスキージ表面シート１２を密着させる。さら
に、スキージ表面シート１２はガイドローラ１６によ
り、スキージ型１１、あるいはスキージホルダ１３に接
触するように保持されている。Then, the squeegee surface sheet 1
2 is rotated in the direction of the arrow shown in FIG. 2 to rotate the sheet feeding roller 14 around which the sheet 2 is wound and the sheet winding roller 15 for collecting the used squeegee surface sheet 12, respectively.
Is fed in a very small amount and supplied to the vicinity of the tip of the squeegee mold 11,
And collected. Further, by rotating the sheet feeding roller 14 or the sheet take-up roller 15 by a small angle, tension is applied to the squeegee surface sheet 12 and the squeegee surface sheet 12 is brought into close contact with the squeegee mold 11. Further, the squeegee surface sheet 12 is held by a guide roller 16 so as to contact the squeegee mold 11 or the squeegee holder 13.
【００３４】次いで、第３の実施形態のスキージ装置の
概略構造について、その要部断面図を示す図３を用いて
説明する。図３に示すように、第３の実施形態のスキー
ジ装置では、スキージ型１１に吸着固定チャック１７が
形成されており、さらに吸着固定チャック１７からの配
管である吸着ライン１８は、図示しない真空排気装置に
接続されている。吸着固定チャック１７はスキージ型１
１先端部両側の傾斜部付近に配置することで、吸着時に
スキージ表面シート１２のスキージ型１１への密着性を
向上させることができる。Next, a schematic structure of a squeegee device according to a third embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3, in the squeegee device of the third embodiment, a suction fixing chuck 17 is formed on the squeegee mold 11, and a suction line 18, which is a pipe from the suction fixing chuck 17, is evacuated (not shown). Connected to device. The suction fixing chuck 17 is a squeegee type 1
By arranging the squeegee surface sheet 12 on the squeegee mold 11 at the time of suction, it is possible to improve the adhesion of the squeegee surface sheet 12 to the squeegee mold 11 by arranging the squeegee surface sheet 12 near the inclined portion on both sides of the tip end.
【００３５】一方、スキージ型１１及びスキージ表面シ
ート１２の材質の組み合わせにより、密着させた後、ス
キージ型１１とスキージ表面シート１２とが互いに張り
付いてしまい、シート繰り出しローラ１４、あるいはシ
ート巻き取りローラ１５の回転のみではスキージ表面シ
ート１２の供給、回収が困難になる場合がある。このよ
うな場合、張り付いたスキージ表面シート１２を剥離さ
せる機構が必要となる。そのため、吸着ライン１８に
は、図示しない圧縮気体供給装置を接続することができ
る。On the other hand, depending on the combination of the materials of the squeegee mold 11 and the squeegee top sheet 12, the squeegee mold 11 and the squeegee top sheet 12 adhere to each other after they are brought into close contact, and the sheet feeding roller 14 or the sheet take-up roller Supplying and collecting the squeegee top sheet 12 may be difficult with only 15 rotations. In such a case, a mechanism for peeling off the attached squeegee topsheet 12 is required. Therefore, a compressed gas supply device (not shown) can be connected to the adsorption line 18.
【００３６】この場合のスキージ表面シート１２の供給
及び回収方法の一例として、まず、シート繰り出しロー
ラ１４の固定を解除した後、吸着固定チャック１７に圧
縮気体供給装置からの圧縮気体を吸着ラインを介して供
給することで、吸着固定チャック１７から気体が放出さ
れスキージ型１１からスキージ表面シート１２が剥離さ
れる。次に、シート繰り出しローラ１４の回転を固定し
た後、シート巻き取りローラ１５を回転、固定すること
により、少量のスキージ表面シート１２がシート繰り出
しローラ１４からシート巻き取りローラ１５へ送られる
ことになる。なお、スキージ表面シート１２の送り量
は、圧縮気体供給装置からの気体圧力、及び気体流量の
調節により制御することが可能である。As an example of a method of supplying and recovering the squeegee top sheet 12 in this case, first, after the fixing of the sheet feeding roller 14 is released, the compressed gas from the compressed gas supply device is supplied to the suction fixing chuck 17 through the suction line. The gas is released from the suction fixing chuck 17 and the squeegee surface sheet 12 is separated from the squeegee mold 11. Next, after the rotation of the sheet feeding roller 14 is fixed, the sheet winding roller 15 is rotated and fixed, so that a small amount of the squeegee surface sheet 12 is sent from the sheet feeding roller 14 to the sheet winding roller 15. . In addition, the feed amount of the squeegee top sheet 12 can be controlled by adjusting the gas pressure and the gas flow rate from the compressed gas supply device.
【００３７】次いで、第４の実施形態のスキージ装置の
概略構造について、その要部断面図を示す図４を用いて
説明する。図４に示すように、第４の実施形態のスキー
ジ装置では、前述（第３の実施形態）の張り付いたスキ
ージ表面シート１２を剥離させる機構として、スキージ
型１１沿いに移動する機構をもつシート剥離ガイド１９
が形成されている。Next, a schematic structure of a squeegee device according to a fourth embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4, in the squeegee apparatus of the fourth embodiment, a sheet having a mechanism for moving along the squeegee mold 11 is used as a mechanism for peeling off the squeegee surface sheet 12 attached (third embodiment). Peeling guide 19
Are formed.
【００３８】この場合のスキージ表面シート１２供給、
及び回収方法の一例として、まず、シート繰り出しロー
ラ１４の固定を解除した後、シート剥離ガイド１９をス
キージ型１１に沿って移動させることで、スキージ型１
１からスキージ表面シート１２を剥離する。次に、シー
ト繰り出しローラ１４の回転を固定した後、シート剥離
ガイド１９を基準位置に戻し、シート巻き取りローラ１
５を回転、固定することにより、少量のスキージ表面シ
ート１２がシート繰り出しローラ１４からシート巻き取
りローラ１５へ送られることになる。なお、スキージ表
面シート１２の送り量は、シート剥離ガイド１９の移動
量により設定することが可能である。In this case, the squeegee surface sheet 12 is supplied,
As an example of a collecting method, first, after the fixing of the sheet feeding roller 14 is released, the sheet peeling guide 19 is moved along the squeegee mold 11 so that the squeegee mold 1 is moved.
The squeegee top sheet 12 is peeled off from No. 1. Next, after the rotation of the sheet feeding roller 14 is fixed, the sheet peeling guide 19 is returned to the reference position, and the sheet take-up roller 1 is rotated.
By rotating and fixing 5, a small amount of the squeegee surface sheet 12 is sent from the sheet feeding roller 14 to the sheet winding roller 15. Note that the feed amount of the squeegee top sheet 12 can be set by the movement amount of the sheet peeling guide 19.
【００３９】次いで、第５の実施形態として、上記第２
の実施形態のスキージ装置を用いた高分子光導波路の製
造について説明する。図５は、本実施形態の高分子光導
波路の製造において、上記第２の実施形態のスキージ装
置を用いた、微細溝を有する光導波路ヘの材料充填プロ
セスを説明するための要部断面図である。Next, as a fifth embodiment, the second embodiment
The production of the polymer optical waveguide using the squeegee device of the embodiment will be described. FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part for describing a process of filling a material into an optical waveguide having a fine groove using the squeegee device of the second embodiment in manufacturing the polymer optical waveguide of the present embodiment. is there.
【００４０】図５に示すように、まず、微細溝２２を設
けた樹脂基板である光導波路基板２３の表面に、硬化さ
せることでコアとなる液状材料２４を滴下する。ここ
で、光導波路基板には射出成型により作製したＰＭＭＡ
基板を用い、微細溝は８μｍ幅、８μｍ深さで形成し
た。また、コアとなる液状材料にはアクリル系の紫外線
硬化樹脂を用いた。次に、上記第２の実施形態のスキー
ジ装置２０で基板表面の微細溝２２内以外の部分の液状
材料２４を掃き取り除去し、微細溝２２内に液状材料２
４を充填させる。ここで、スキージ装置２０は、スキー
ジ型先端曲率半径が０．２ｍｍのＪＩＳ硬度Ａ９０のウ
レタンゴム製で剣スキージ形状のスキージ型と、厚さ
０．２ｍｍのＪＩＳ硬度Ａ５５のシリコーンゴム製のス
キージ表面シートとを組み合わせて構成した上記第２の
実施形態のスキージ装置を用いた。また、スキージ装置
の移動速度は、１５０ｍｍ／ｓｅｃとした。As shown in FIG. 5, first, a liquid material 24 which becomes a core by being cured is dropped on the surface of an optical waveguide substrate 23 which is a resin substrate provided with fine grooves 22. Here, PMMA manufactured by injection molding was used for the optical waveguide substrate.
Using the substrate, the fine grooves were formed with a width of 8 μm and a depth of 8 μm. In addition, an acrylic ultraviolet curable resin was used as the liquid material serving as the core. Next, the squeegee device 20 according to the second embodiment sweeps out and removes the liquid material 24 in a portion other than the inside of the fine groove 22 on the substrate surface.
4 is filled. Here, the squeegee device 20 includes a squeegee-shaped squeegee-shaped squeegee made of urethane rubber having a JIS hardness of A90 and a squeegee-shaped tip having a radius of curvature of 0.2 mm, and a squeegee surface made of silicone rubber having a JIS hardness of A55 and a thickness of 0.2 mm. The squeegee device according to the second embodiment, which is configured by combining a seat with the seat, is used. The moving speed of the squeegee device was set to 150 mm / sec.
【００４１】この後、紫外線を照射することにより、液
状材料充填部２５の液状材料を硬化させ、光導波路のコ
ア部分を作製する。このプロセスにより、液状材料充填
部２５には、光導波路基板２３のほぼ全域にわたり溝断
面積比９０％以上の材料が充填されるとともに、硬化後
のコア部分が形成された。Thereafter, the liquid material in the liquid material filling portion 25 is cured by irradiating ultraviolet rays, thereby producing a core portion of the optical waveguide. By this process, the liquid material filling portion 25 was filled with a material having a groove cross-sectional area ratio of 90% or more over almost the entire area of the optical waveguide substrate 23, and a cured core portion was formed.
【００４２】次いで、このような上記第２の実施形態の
スキージ装置を用いた、微細溝を有する光導波路への材
料充填プロセスにおけるスキージ回数と不良箇所数との
関係について、従来のスキージによるものと共に図６の
グラフに示す。グラフ中の本発明のスキージでは、前述
のスキージ型先端曲率半径が０．２ｍｍのＪＩＳ硬度Ａ
９０のウレタンゴム製で剣スキージ形状のスキージ型
と、厚さ０．２ｍｍのＪＩＳ硬度Ａ５５のシリコーンゴ
ム製のスキージ表面シートとを組み合わせて構成したス
キージ装置を用い、さらに、スキージを行う毎にスキー
ジ表面シートを約１ｍｍずつ送り、つねに新しいシート
面でスキージを行った結果を示している。また、グラフ
中の従来のスキージでは、先端曲率半径が０．３ｍｍの
Ｊ１Ｓ硬度Ａ７０のウレタンゴム製で剣スキージ形状の
スキージを用い、同一スキージで繰り返しスキージを行
った結果を示している。Next, the relationship between the number of squeegees and the number of defective points in the process of filling the optical waveguide having the fine grooves with the material using the squeegee device of the second embodiment will be described together with the conventional squeegee. This is shown in the graph of FIG. In the squeegee of the present invention in the graph, the squeegee-type tip radius of curvature described above is JIS hardness A of 0.2 mm.
A squeegee device composed of a squeegee-type squeegee made of 90 urethane rubber and a sword squeegee and a silicone rubber squeegee surface sheet having a JIS hardness of A55 having a thickness of 0.2 mm is used. This shows the result of squeegeeing a top sheet by feeding the top sheet by about 1 mm and always using a new sheet surface. Further, in the conventional squeegee in the graph, the result of repeatedly performing squeegees with the same squeegee using a sword squeegee made of urethane rubber having a J1S hardness of A70 and having a tip curvature radius of 0.3 mm and having a J1S hardness of A70 is shown.
【００４３】ここで示した不良箇所数は、前述の如く、
基板とスキージとの間に部分的に隙間ができることによ
り発生した基板面の液状材料の掃き残し部分、およびス
キージの押し付け圧力が不適切で微細溝の中から液状材
料が掻き出されコア断面が小さくなった部分であり、光
導波路基板中の２０ｍｍ×１２０ｍｍの導波路領域で約
４８０ケ所の測定での結果である。The number of defective portions shown here is, as described above,
The liquid material left behind on the substrate surface caused by the partial gap between the substrate and the squeegee, and the improper pressing pressure of the squeegee, the liquid material is scraped out of the fine grooves, and the core cross section is small. The results are obtained by measuring about 480 locations in a waveguide region of 20 mm × 120 mm in the optical waveguide substrate.
【００４４】図６から、上記第２の実施形態のスキージ
装置では、１回目のスキージでの結果が示す如く従来の
スキージに比較して不良箇所の発生が少ない。また、従
来のスキージがスキージを繰り返す毎にスキージの磨耗
に起因する不良箇所が増加するのに比較して、上記第２
の実施形態のスキージ装置は、スキージを行う毎につね
に新しいスキージ表面シート部分でスキージを行ったの
で、繰り返しスキージを行っても不良箇所は増加しな
い。As shown in FIG. 6, in the squeegee apparatus according to the second embodiment, as shown in the result of the first squeegee, the number of defective portions is smaller than that of the conventional squeegee. Further, in comparison with the conventional squeegee which repeats the squeegee, the number of defective portions due to the wear of the squeegee increases,
In the squeegee device according to the embodiment, the squeegee is always performed with a new squeegee surface sheet portion every time the squeegee is performed.
【００４５】すなわち、本実施形態の高分子光導波路の
製造方法において、以上のようなプロセスを用いること
で、光導波路基板とスキージ先端の密着性が向上し、光
導波路から光が漏れる不良箇所の発生が防止されるとと
もに、基板に対するスキージ押し付け圧力が最適化さ
れ、コア断面が小さくなり導波損失が増大するという不
具合の発生が防止されることが分かる。That is, in the method for manufacturing a polymer optical waveguide of the present embodiment, by using the above-described process, the adhesion between the optical waveguide substrate and the squeegee tip is improved, and the defective portion where light leaks from the optical waveguide is improved. It can be seen that the generation of the squeegee and the squeegee pressing pressure against the substrate are optimized, and the problem that the core cross section is reduced and the waveguide loss is increased is prevented.
【００４６】なお、上記の第１〜４の実施形態のスキー
ジ装置では、スキージ型にウレタンゴムを、スキージ表
面シートにシリコーンゴムをそれぞれ用いて、上記第５
の実施形態に示したような高分子光導波路の製造に対し
良好な結果を得たが、スキージ型やスキージ表面シート
の材質はこれに限るものではない。例えば、スキージの
作業環境や対象物等によっては、スキージの摩擦により
静電気が発生し、液状材料の飛散や、周辺の塵埃の吸着
等の不具合が発生する場合がある。この場合、スキージ
表面シートに導電性材料を用いることにより、静電気の
発生を防止することができる。In the squeegee devices of the first to fourth embodiments, urethane rubber is used for the squeegee type, and silicone rubber is used for the squeegee surface sheet.
Although good results were obtained for the production of a polymer optical waveguide as shown in the embodiment, the material of the squeegee type or the squeegee surface sheet is not limited to this. For example, depending on the working environment of the squeegee, the target object, or the like, static electricity is generated due to friction of the squeegee, and problems such as scattering of a liquid material and adsorption of dust in the vicinity may occur. In this case, generation of static electricity can be prevented by using a conductive material for the squeegee surface sheet.
【００４７】なお、本発明のスキージ装置は、スキージ
型とスキージ表面シートの複合構造であるので、スキー
ジ材質、スキージ硬度等の選定においての自由度が高
く、最適な組み合わせは、上記第１〜４の実施形態に限
るものではない。一方、基板の反りがほとんどなく、ス
キージと基板の微視的な密着性のみを向上させる目的の
場合には、スキージ型を金属材料等の変形のほとんどな
い材料で形成することで良好な結果が得られる。もちろ
ん、スキージの磨耗に起因する不具合に対しては、スキ
ージ表面シートを送ることにより防止できる。この場
合、上記第１〜第５の実施形態では、スキージ型をスキ
ージホルダに固定した構造としているが、それに限るも
のではなく、スキージ型とスキージホルダを一体の金属
部材等で構成しても良い。Since the squeegee device of the present invention has a composite structure of a squeegee type and a squeegee surface sheet, the squeegee material and the squeegee hardness have a high degree of freedom in selection. However, the present invention is not limited to this embodiment. On the other hand, for the purpose of improving only the microscopic adhesion between the squeegee and the substrate with almost no warpage of the substrate, good results can be obtained by forming the squeegee mold from a material such as a metal material having little deformation. can get. Of course, a problem caused by wear of the squeegee can be prevented by feeding the squeegee surface sheet. In this case, in the first to fifth embodiments, the structure in which the squeegee type is fixed to the squeegee holder is used. However, the present invention is not limited to this, and the squeegee type and the squeegee holder may be configured by an integral metal member or the like. .
【００４８】また、上記第５の実施形態では、スキージ
を行う毎にスキージ表面シートを約１ｍｍずつ送り、つ
ねに新しいシート面でスキージを行ったが、不良個所の
発生具合、発生頻度にあわせて、シートの送り頻度や送
り量を設定すればよい。一方、基板サイズが非常に大き
くスキージ途中からスキージ磨耗の影響が現れる場合、
その他特にスキージの磨耗が激しい場合等、スキージ開
始位置近傍に比較してスキージ終了位置近傍の基板に対
する液状材料の充填性が悪化することがある。この場合
は、スキージを行いながら新しいスキージ表面シートを
供給することで、常に安定した充填性が得られる。すな
わち、シート繰り出しローラ及びシート巻き取りローラ
を図中の矢印の方向に回転させ、常にスキージ表面シー
トを送りながら、図中の右方向にスキージを移動させて
スキージを行う。なお、スキージ表面シート送り速度
は、５〜２０ｍｍ／ｓｅｃ程度、スキージ速度は１００
〜１５０ｍｍ／ｓｅｃ程度の速度割合で設定すると良
い。また、シートの張り付き防止の対策としてスキージ
型とスキージ表面シートとの間に潤滑剤等を使用しても
良い。In the fifth embodiment, the squeegee surface sheet is fed by about 1 mm each time the squeegee is performed, and the squeegee is always performed on a new sheet surface. What is necessary is just to set the sheet feeding frequency and the sheet feeding amount. On the other hand, if the board size is very large and the effect of squeegee wear appears in the middle of the squeegee,
In addition, especially when the squeegee is severely worn, the filling property of the liquid material to the substrate near the squeegee end position may be worse than that near the squeegee start position. In this case, a stable filling property can always be obtained by supplying a new squeegee surface sheet while performing the squeegee. That is, the squeegee is performed by rotating the sheet feeding roller and the sheet take-up roller in the direction of the arrow in the figure and moving the squeegee to the right in the figure while always feeding the squeegee surface sheet. The squeegee surface sheet feed speed is about 5 to 20 mm / sec, and the squeegee speed is 100.
It is preferable to set the speed at a rate of about 150 mm / sec. Further, a lubricant or the like may be used between the squeegee type and the squeegee surface sheet as a measure for preventing the sheet from sticking.
【００４９】[0049]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
スキージ型とそのスキージ型の表面を被覆するように構
成されたスキージ表面シートとを備えたスキージ装置が
提供されるので、スキージ型に高硬度材料を用い、スキ
ージ表面シートに充填させる液状材料に対する接触角の
大きい材料や基板表面の微細なうねりに対応した低硬度
材料等を用い、異なる特性の材料をそれぞれ組み合わせ
た複合構造のスキージ装置を構成することができ、基板
表面の微細なうねりや基板の反りに十分追従させて液状
材料を充填させることができる。As described above, according to the present invention,
A squeegee device including a squeegee mold and a squeegee surface sheet configured to cover the surface of the squeegee mold is provided. A squeegee device with a composite structure combining materials with different characteristics can be constructed by using materials with large corners or low hardness materials corresponding to fine undulations on the substrate surface. The liquid material can be filled sufficiently following the warpage.
【００５０】また、本発明によれば、スキージ表面シー
トがシート繰り出し部とシート巻き取り部で構成された
スキージ表面シート供給機構を設けているので、スキー
ジの度に基板とスキージ装置とが接する部分に常に新し
いスキージ表面シートを供給することができ、スキージ
の磨耗による微細な掃き残し等の不具合の発生を防止す
るとともに、長期間にわたりスキージ装置の交換、及び
調整を必要としない。Further, according to the present invention, since the squeegee surface sheet is provided with the squeegee surface sheet supply mechanism constituted by the sheet feeding portion and the sheet winding portion, the portion where the substrate and the squeegee device are in contact with each squeegee is provided. A new squeegee surface sheet can always be supplied to the squeegee, thereby preventing the occurrence of problems such as minute unsweeping caused by abrasion of the squeegee, and requiring no replacement and adjustment of the squeegee device for a long period of time.
【００５１】さらに、本発明の高分子光導波路の製造方
法によれば、微細な溝を設けた高分子クラッド基板表面
に、硬化させることでコアとなる液状材料を滴下し、本
発明のスキージ装置を用いて基板表面の微細溝内以外の
液状材料を掃き取り除去し、微細溝内に液状材料を充填
させるプロセスを用いているので、基板とスキージの密
着性が向上し、導波路から光が漏れる不良箇所の発生が
防止されるとともに、基板に対するスキージ押し付け圧
力が最適化され、コア断面が小さくなり導波損失が増大
するという不具合の発生が防止される。これにより、高
分子光導波路の製造等のスキージによる微細パターンへ
の材料充填プロセスにおいて、スキージ材の複合化によ
り材料の充填性を向上させるとともに、スキージの磨耗
を原因とする充填性の劣化を防止するスキージが提供さ
れる。Further, according to the method of manufacturing a polymer optical waveguide of the present invention, a liquid material that becomes a core by curing is dropped on the surface of a polymer clad substrate provided with fine grooves, and the squeegee apparatus of the present invention is used. The process of sweeping and removing the liquid material other than the inside of the fine groove on the substrate surface by using, and filling the liquid material into the fine groove improves the adhesion between the substrate and the squeegee, and the light from the waveguide In addition to preventing the occurrence of a leaking defective portion, the pressure for pressing the squeegee against the substrate is optimized, and the occurrence of the problem that the core cross section becomes smaller and the waveguide loss increases is prevented. As a result, in the process of filling a fine pattern with a squeegee, such as in the production of a polymer optical waveguide, the squeegee material is compounded to improve the fillability of the material and prevent the squeegee from deteriorating due to wear. Squeegees are provided.
【図１】本発明の第１の実施形態のスキージ装置の概略
構造を示す要部断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part showing a schematic structure of a squeegee device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】第２の実施形態のスキージ装置の概略構造を示
す要部断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a main part showing a schematic structure of a squeegee device according to a second embodiment.
【図３】第３の実施形態のスキージ装置の概略構造を示
す要部断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a main part showing a schematic structure of a squeegee device according to a third embodiment.
【図４】第４の実施形態のスキージ装置の概略構造を示
す要部断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a main part showing a schematic structure of a squeegee device according to a fourth embodiment.
【図５】第６の実施形態の高分子光導波路の製造方法に
おいて、第２の実施形態のスキージ装置を用いた、微細
溝を有する光導波路ヘの材料充填プロセスを説明するた
めの要部断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part for describing a process of filling a material into an optical waveguide having fine grooves using a squeegee device according to a second embodiment in a method for manufacturing a polymer optical waveguide according to a sixth embodiment; FIG.
【図６】第６の実施形態の材料充填プロセスにおけるス
キージ回数と不良箇所数との関係と、従来のスキージに
よるものと示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing the relationship between the number of squeegees and the number of defective locations in the material filling process according to the sixth embodiment, and the relationship with a conventional squeegee.
【図７】従来のスキージの概略構造を示す要部断面図で
あり、（ａ）平スキージを示し、（ｂ）は剣スキージを
示し、（ｃ）は角スキージを示す図である。FIGS. 7A and 7B are cross-sectional views of main parts showing a schematic structure of a conventional squeegee, in which FIG. 7A shows a flat squeegee, FIG. 7B shows a sword squeegee, and FIG.
【図８】従来の高分子光導波路の製造方法において、微
細溝を有する光導波路ヘのスキージを用いた材料充填プ
ロセスを説明するための要部断面図である。FIG. 8 is a fragmentary cross-sectional view for explaining a material filling process using a squeegee to an optical waveguide having a fine groove in a conventional method for manufacturing a polymer optical waveguide.
１１ スキージ型 １２ スキージ表面シート １３ スキージホルダ １４ シート繰り出しローラ １５ シート巻き取りローラ １６ ガイドローラ １７ 吸着固定チャック １８ 吸着ライン １９ シート剥離ガイド ２０ スキージ装置 ２１ スキージ先端 ２２ 微細溝 ２３ 光導波路基板 ２４ 液状材料 ２５ 液状材料充填部 Reference Signs List 11 squeegee type 12 squeegee surface sheet 13 squeegee holder 14 sheet feeding roller 15 sheet take-up roller 16 guide roller 17 suction fixing chuck 18 suction line 19 sheet peeling guide 20 squeegee device 21 squeegee tip 22 fine groove 23 optical waveguide substrate 24 liquid material 25 Liquid material filling section
Claims (9)
するように構成されるスキージ表面シートとを備えたこ
とを特徴とするスキージ装置。1. A squeegee device comprising: a squeegee type; and a squeegee surface sheet configured to cover a surface of the squeegee type.
し部とシート巻き取り部とから構成されるスキージ表面
シート供絵機構を設けたことを特徴とする請求項１に記
載のスキージ装置。2. The squeegee apparatus according to claim 1, wherein the squeegee surface sheet is provided with a squeegee surface sheet painting mechanism including a sheet feeding section and a sheet winding section.
トと接する部分に、真空排気装置又は圧縮気体供給装置
が接続可能な吸着固定チャックを設けたことを特徴とす
る請求項１又は２に記載のスキージ装置。3. The squeegee according to claim 1, wherein the squeegee mold is provided with a suction-fixing chuck to which a vacuum exhaust device or a compressed gas supply device can be connected, at a portion in contact with the squeegee surface sheet. apparatus.
トと接する部分の一部に可動体であるシート剥離部材を
設けたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載のス
キージ装置。4. The squeegee device according to claim 1, wherein the squeegee type is provided with a sheet peeling member which is a movable body at a part of a portion in contact with the squeegee surface sheet.
ムから成ることを特徴とする請求項１に記載のスキージ
装置。5. The squeegee device according to claim 1, wherein the squeegee topsheet is made of silicone rubber.
ら成ることを特徴とする請求項１に記載のスキージ装
置。6. The squeegee device according to claim 1, wherein the squeegee surface sheet is made of a conductive material.
ことを特徴とする請求項１に記載のスキージ装置。7. The squeegee device according to claim 1, wherein the squeegee type is made of urethane rubber.
を特徴とする讃求項１に記載のスキージ装置。8. The squeegee device according to claim 1, wherein the squeegee mold is made of a metal material.
スキージ装置を用いた高分子光導波路の製造方法であっ
て、 微細な溝を設けた高分子クラッド基板表面に、硬化させ
ることでコアとなる液状材料を滴下し、前記スキージ装
置を用いて微細溝内以外の液状材料を掃き取り除去する
ことにより微細溝内に液状材料を充填させた後、微細溝
内の液状材料を硬化させることを特徴とする高分子光導
波路の製造方法。9. A method for manufacturing a polymer optical waveguide using the squeegee device according to claim 1, wherein the polymer optical waveguide is cured on a surface of a polymer clad substrate provided with fine grooves. After the liquid material serving as a core is dropped, the liquid material is filled in the fine groove by sweeping and removing the liquid material other than in the fine groove using the squeegee device, and then the liquid material in the fine groove is cured. A method for producing a polymer optical waveguide.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP814197A JPH10202836A (en) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | Squeegee device and manufacture of macromolecular optical waveguide using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP814197A JPH10202836A (en) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | Squeegee device and manufacture of macromolecular optical waveguide using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10202836A true JPH10202836A (en) | 1998-08-04 |
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ID=11685033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP814197A Pending JPH10202836A (en) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | Squeegee device and manufacture of macromolecular optical waveguide using the same |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JPH10202836A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012201103A (en) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Toray Eng Co Ltd | Apparatus and method of printing and filling |
-
1997
- 1997-01-21 JP JP814197A patent/JPH10202836A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012201103A (en) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Toray Eng Co Ltd | Apparatus and method of printing and filling |
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