JPH1019578A - Tuning bar-like vibration gyro and method for adjusting frequency of the gyro - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tuning bar-like vibration gyro which is advantageous from the viewpoint of adjustment of frequency and a method for adjusting frequency. SOLUTION: Two piezoelectric elements 15, 16 of piezoelectric ceramics which are rectangular parallelepipeds of nearly the same size are bonded via a metallic plate 23, thereby to constitute a vibrating element 24. A cross section perpendicular to the longitudinal direction of the vibrating element 24 is schematically square. Width W2 of at least a part of the metallic plate 23 is made larger than a width W1 of bonded faces of the piezoelectric elements 15, 16. The side part of the widened metallic plate 23 is projected from a side face of the vibrating element 24, and a projecting part 23a of the metallic plate 23 is removed thereby to adjust frequency. Alternatively, the width of at least a part of the metallic plate 23 is made smaller than the width of the bonded faces of the piezoelectric elements 15, 16, and the piezoelectric ceramic corresponding to the part of the reduced width is removed, thereby to adjust frequency.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば工業用ロボット
や無人搬送車の方位角計測、航空機や船舶等の姿勢制
御、ビデオカメラの面振れ防止あるいは車両ナビゲーシ
ョン用等に用いられる圧電形の振動ジャイロスコープ
（以下振動ジャイロと称す）に係り、特に音片形振動ジ
ャイロとその周波数調整方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric vibration used for, for example, measuring the azimuth of an industrial robot or an automatic guided vehicle, controlling the attitude of an aircraft or a ship, preventing the surface of a video camera from running out, or navigating a vehicle. The present invention relates to a gyroscope (hereinafter, referred to as a vibrating gyroscope), and particularly relates to a vibrating gyroscope and a method of adjusting the frequency thereof.

【０００２】[0002]

【従来の技術】圧電形の振動ジャイロは、これまで、音
叉や音片と呼ばれる振動片をはじめとして種々の構造の
振動片の振動モードを利用したものが提案されている。
（日本音響学会誌４５巻５号（１９８９）４０２頁〜４
０８頁「圧電形振動ジャイロスコープ」近野正著、また
は「エレクトロニク・セラミクス」１９９１年１０月
号、２７頁〜３５頁「圧電ジャイロ・センサ技術の基
礎」菅原澄夫他著） このような音片型振動ジャイロの原理は、図１５
（Ａ）、（Ｂ）により説明される。すなわち、音片ジャ
イロの基本は、両端自由な横振動棒であって、いわゆる
双共振音片であり、図１５（Ａ）に示すように、音片
（振動片）１の中心軸をｚ軸としたとき、この音片１が
第一次共振周波数でｘ軸方向にある変位速度η_xでたわ
み振動（以下ｆ_xモードと呼ぶ）している状態で、ｚ軸
回りに角速度Ωが与えられると、振動方向と直角方向す
なわちｙ軸方向にこの変位速度η_xに応じたコリオリ力
が発生し、図１５（Ｂ）に示すように、ｙ軸方向にも同
一周波数のたわみ振動（以下ｆ_yモードと呼ぶ）が起振
される。ｘ軸方向にある変位速度η_xが常に一定であれ
ばこのｙ軸方向の変位速度η_yはｚ軸回りの角速度Ωに
比例する。従って、ｙ軸方向の変位速度η_yを測定すれ
ばｚ軸回りの角速度Ωを知ることができる。図中ｎ１、
ｎ２はノード点である。圧電素子を使用した音片形振動
ジャイロにおいては、圧電素子により前記ｆ_xモードの
振動を励振させ、圧電素子でｆ_yモードの振動を検出す
る。以下この原理を用いた振動ジャイロの従来構造や処
理回路の構成について説明する。2. Description of the Related Art Piezoelectric vibrating gyroscopes have been proposed which utilize vibration modes of vibrating pieces having various structures such as a vibrating piece called a tuning fork or a vibrating piece.
(Journal of the Acoustical Society of Japan, Vol. 45, No. 5, (1989), pp. 402-4)
"Piezoelectric Vibratory Gyroscope", Tadashi Chino, p.08, or "Electronic Ceramics", October 1991, pages 27-35, "Basics of Piezoelectric Gyroscope Sensor Technology," Sumio Sugawara et al.) Fig. 15
This will be described with reference to (A) and (B). That is, the basis of the sound piece gyro is a transverse vibration bar free of both ends, which is a so-called bi-resonant sound piece. As shown in FIG. , The angular velocity Ω is given around the z-axis in a state where the sound piece 1 is flexibly vibrating (hereinafter referred to as f _x mode) at the primary resonance frequency at a displacement velocity η _x in the x-axis direction. When the vibration direction and the Coriolis force is generated in accordance with the perpendicular direction or y-axis direction in the displacement velocity eta _x, as shown in FIG. 15 (B), flexural vibration of the same frequency in the y-axis direction (hereinafter f _y Mode). If the displacement velocity η _x in the x-axis direction is always constant, the displacement velocity η _{y in the} y-axis direction is proportional to the angular velocity Ω about the z-axis. Therefore, by measuring the displacement velocity ηy in the _y- axis direction, the angular velocity Ω around the z-axis can be known. In the figure, n1,
n2 is a node point. In speech piece shape vibrating gyroscope using a piezoelectric element, is excited vibration of the f _x mode by the piezoelectric element to detect the vibration of the f _y mode piezoelectric element. Hereinafter, a conventional structure of a vibrating gyroscope and a configuration of a processing circuit using this principle will be described.

【０００３】図１５（Ｃ）は従来の音片形振動ジャイロ
の構成例を示す正面図である。この従来例はエリンバー
等の恒弾性金属からなる断面が正方形の恒弾性金属棒
（四角柱）２を使用し、その長手方向の４つの面に圧電
セラミックでなる短冊状の圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、
３ｄを接着している。各圧電素子３ａ〜３ｄにはそれぞ
れ金属棒２への接着面とその対向面（表面）に電極が形
成されているが、図１５（Ｃ）においては、表面に形成
された電極４ａ〜４ｄのみについて示している。各圧電
素子３ａ〜３ｄは矢印で示す方向に分極されている。圧
電素子３ａ〜３ｄの表面の電極４ａ〜４ｄにははんだ付
け等によって極細リードが接続されて入出力端子５ａ〜
５ｄを構成している。FIG. 15C is a front view showing a configuration example of a conventional vibrating gyroscope. This conventional example uses a constant-elastic metal rod (quadratic prism) 2 having a square section made of a constant-elastic metal such as Elinvar, and has rectangular piezoelectric elements 3a, 3b made of piezoelectric ceramic on four surfaces in the longitudinal direction. 3c,
3d is bonded. In each of the piezoelectric elements 3a to 3d, electrodes are formed on the surface to be bonded to the metal rod 2 and the opposite surface (surface), but in FIG. 15C, only the electrodes 4a to 4d formed on the surface are formed. Is shown. Each of the piezoelectric elements 3a to 3d is polarized in a direction indicated by an arrow. Ultrafine leads are connected to the electrodes 4a to 4d on the surfaces of the piezoelectric elements 3a to 3d by soldering or the like, and the input / output terminals 5a to 5d are connected.
5d.

【０００４】金属棒２に固定した圧電素子３ａ〜３ｄの
うち、圧電素子３ａ（または３ｃ）は自励発振回路（図
示せず）に接続して駆動され、他の圧電素子３ｃ（また
は３ａ）で振動を検出して前記自励発振回路に帰還され
ることで定常的にｆ_xモードの共振周波数で励振され、
圧電素子３ｂ、３ｄの出力は差動増幅回路（図示せず）
に入力される。金属棒２の中心軸回りに角速度が作用し
ていないときは、圧電素子３ｂ、３ｄはｆ_xに起因する
振動のみを検出し、それぞれの検出信号の位相および振
幅は同じとなるため、その差はゼロとなり、差動増幅回
路には出力は現れない。特に、圧電素子３ｂ、３ｄが金
属棒２の接着面の長手方向中心に接着される場合は、も
ともと出力を生じない。[0004] Among the piezoelectric elements 3a to 3d fixed to the metal rod 2, the piezoelectric element 3a (or 3c) is connected to and driven by a self-excited oscillation circuit (not shown), and the other piezoelectric element 3c (or 3a) is driven. in regularly excited at the resonance frequency of f _x mode by detecting the vibration is fed back to the self-oscillation circuit,
The outputs of the piezoelectric elements 3b and 3d are output from a differential amplifier circuit (not shown).
Is input to When an angular velocity about the central axis of the metal rod 2 does not act, the piezoelectric element 3b, 3d detects only the vibration caused by f _x, the phase and amplitude of each of the detection signal is the same, the difference Becomes zero, and no output appears in the differential amplifier circuit. In particular, when the piezoelectric elements 3b and 3d are bonded to the longitudinal center of the bonding surface of the metal rod 2, no output is generated from the first.

【０００５】一方、金属棒２の中心軸回りに角速度が作
用すると、コリオリ力によりｆ_yモードのたわみ振動が
起振される。このとき、ｆ_yモードの振動に応じた出力
が差動増幅回路から得られる。On the other hand, when an angular velocity acts around the central axis of the metal rod 2, an _fy mode bending vibration is generated by Coriolis force. At this time, an output corresponding to the vibration in the f _y mode is obtained from the differential amplifier circuit.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来は振
動片として金属製四角柱を使用している。この場合、ヤ
ング率の大きな金属を音片に使用することで共振時の高
いＱ（Ｑ_m）を得ることによって、大きな振動速度（周
波数が同じなら振幅）を実現し、ジャイロの感度を確保
している反面、 高いＱ_mが応答性を向上させる場合の障害となってい
る。 ｆ_xモードとｆ_yモードの共振周波数を合わせ込むこと
で最大感度が得られるが、Ｑ_mが大きいと僅かな周波数
のずれが大きな感度変動を生じさせる。例えばｆ_xモー
ドとｆ_yモードの周波数調整をする場合、高い調整精度
が必要となるという課題がある。As described above, conventionally, a metal square pole is used as a vibrating reed. In this case, by using a metal having a large Young's modulus for the sound piece, a high Q (Q _m ) at the time of resonance is obtained, thereby realizing a large vibration speed (amplitude if the frequency is the same) and securing the sensitivity of the gyro. and although that has become an obstacle when high Q _m improves the responsiveness. Maximum sensitivity is achieved by intended to adjust the resonance frequency of f _x mode and f _y mode, but the deviation of the slight frequency and Q _m is greater causes a large variation in sensitivity. For example, when adjusting the frequency in the _fx mode and the _fy mode, there is a problem that high adjustment accuracy is required.

【０００７】さらに、以下の点で製造方法の簡素化が構
造的に制限されている。 このような構造の音片では、支持固定方法として音片
支持方法が金属線への溶接などによる接続に限定され
る。 対角モードを用いて稜線上に金属線を溶接する２点支
持によって支持方法を簡素化した場合でも、圧電素子は
長手方向の各面に計４枚必要で、これらを同時に接着す
る工程も困難であることから、それぞれ対向する２枚の
素子の接着に２工程を要する。また、金属線による２点
支持では衝撃などによる支持強度にも問題を残す。Further, simplification of the manufacturing method is structurally limited in the following points. In a sound piece having such a structure, the method of supporting the sound piece is limited to connection by welding to a metal wire or the like as a method of supporting and fixing. Even if the supporting method is simplified by two-point support in which a metal wire is welded on a ridge line using the diagonal mode, a total of four piezoelectric elements are required on each surface in the longitudinal direction, and it is difficult to bond them simultaneously. Therefore, two steps are required for bonding two opposing elements. In addition, two-point support using a metal wire leaves a problem in support strength due to impact or the like.

【０００８】このような問題点を解決し、音片形振動ジ
ャイロの検出感度の向上が達成できると共に、応答特性
が向上し、かつｆ_xモードとｆ_yモードの共振周波数の誤
差が大きくとれ、周波数調整に高い精度を要求されない
構造を有し、製造や支持強度等の面でも有利となる構造
も音片形振動ジャイロを、特願平８−８５７４７号とし
て提案した。[0008] solved this problem, along with the improvement of the detection sensitivity of the tuning bar shape vibrating gyroscope can be achieved, improves the response characteristic, and the error of the resonance frequency of f _x mode and f _y mode made large, A vibrator gyro having a structure that does not require high precision for frequency adjustment and is advantageous in terms of manufacturing and supporting strength is also proposed as Japanese Patent Application No. 8-85747.

【０００９】この先願の音片形振動ジャイロの詳細は、
本発明の実施例の前提となるものであるから、説明上、
実施例の前提構成として後で詳述するが、簡単には、金
属板の両面に圧電セラミックからなる圧電素子を接着し
て全体として四角柱をなる振動片を構成したものであ
る。The details of the prior-art resonating vibrating gyroscope are as follows.
Since this is a premise of the embodiment of the present invention,
As will be described later in detail as a prerequisite configuration of the embodiment, in brief, a vibrating element having a square pole as a whole is formed by bonding piezoelectric elements made of piezoelectric ceramic to both surfaces of a metal plate.

【００１０】本発明は、前記先願の発明の改良に係るも
ので、周波数調整上有利な音片形振動ジャイロとその周
波数調整方法を提供することを目的とする。The present invention relates to an improvement of the invention of the prior application, and has as its object to provide a resonating vibrator gyro advantageous in frequency adjustment and a method of adjusting the frequency.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の音片形振動ジャ
イロは、略同一寸法の直方体をなす圧電セラミック製の
２つの圧電素子からなり、該２つの圧電素子の長手方向
の面同しを、金属板を挟んで接着することにより、長手
方向に垂直な断面が略正方形となる柱状振動片を構成
し、前記金属板の少なくとも一部の幅を、前記圧電素子
の接着面の幅より大きくして該幅を大きくした金属板の
側部を前記振動片の側面より突出させたことを特徴とす
る（請求項１）。A vibrating gyroscope according to the present invention comprises two piezoelectric elements made of piezoelectric ceramics having a rectangular parallelepiped having substantially the same dimensions, and the two piezoelectric elements are flush with each other in the longitudinal direction. By adhering and sandwiching a metal plate, a columnar vibrating reed having a substantially square cross section perpendicular to the longitudinal direction is formed, and the width of at least a part of the metal plate is larger than the width of the bonding surface of the piezoelectric element. The side portion of the metal plate having the increased width protrudes from the side surface of the vibrating piece (claim 1).

【００１２】また、本発明は、略同一寸法の直方体をな
す圧電セラミック製の２つの圧電素子からなり、該２つ
の圧電素子の長手方向の面同しを、金属板を挟んで接着
することにより、長手方向に垂直な断面が略正方形とな
る柱状振動片を構成し、前記金属板の少なくとも一部の
幅を、前記圧電素子の接着面の幅より小さくしたことを
特徴とする（請求項２）。Further, the present invention comprises two piezoelectric elements made of piezoelectric ceramics, each of which has a rectangular parallelepiped having substantially the same dimensions, and adheres the two piezoelectric elements in the longitudinal direction with a metal plate interposed therebetween. And a columnar vibrating reed having a substantially square cross section perpendicular to the longitudinal direction, wherein at least a part of the metal plate has a width smaller than a width of the bonding surface of the piezoelectric element. ).

【００１３】本発明において、前記該金属板は、柱状振
動片の略ノード点に対応する位置に支持部を一体的に有
するものでなることが好ましい（請求項３）。[0013] In the present invention, it is preferable that the metal plate integrally has a supporting portion at a position corresponding to a substantial node point of the columnar vibrating reed (claim 3).

【００１４】また、本発明において、前記２つの圧電素
子は接着される面とこれに対向する面に電極を有し、前
記２つの圧電素子の接着面に対向する面の少なくとも一
方の電極は、長手方向に２分割されたものでなる構造が
採用される（請求項４）。Further, in the present invention, the two piezoelectric elements have electrodes on a surface to be bonded and a surface facing the two piezoelectric elements, and at least one electrode on a surface facing the bonding surface of the two piezoelectric elements has: A structure that is divided into two in the longitudinal direction is adopted (claim 4).

【００１５】また、本発明は、請求項１の音片形振動ジ
ャイロにおいて、音片形振動ジャイロの前記突出部の少
なくとも一部を除去することにより、周波数調整を行う
ことを特徴とする（請求項５）。Further, according to the present invention, the frequency adjustment is performed by removing at least a part of the protruding portion of the vibrating gyroscope according to the first aspect of the present invention. Item 5).

【００１６】また、本発明は、請求項２の音片形振動ジ
ャイロの前記金属板の狭幅部分に対応する振動片側面部
の一部を除去することにより、周波数調整を行うことを
特徴とする（請求項６）。この場合、好ましくは、レー
ザーにより圧電素子を除去する（請求項７）。Further, the present invention is characterized in that the frequency adjustment is performed by removing a part of the side face of the vibrating bar corresponding to the narrow portion of the metal plate of the vibrating bar type vibrating gyroscope of the second aspect. (Claim 6). In this case, preferably, the piezoelectric element is removed by a laser (claim 7).

【００１７】[0017]

【作用】請求項１、４においては、音片を主として構成
する材料が、従来のような恒弾性金属ではなく圧電セラ
ミックであり、圧電セラミックは、恒弾性金属に比較し
てヤング率が小さいため、応答性が向上し、また、音片
のＱ_mを下げることができ、一方、音片を構成する全て
の部分が必ず駆動、検出に寄与する構成となるため、十
分大きな検出感度が得られる。また、Ｑ_mが小さくなる
ことから、ｆ_xモードとｆ_yモードの共振周波数誤差の幅
を大きくとることができる。According to the first and fourth aspects, the material mainly constituting the sound piece is not a conventional constant elastic metal but a piezoelectric ceramic, and the piezoelectric ceramic has a smaller Young's modulus than the constant elastic metal. In addition, the responsiveness is improved, and the Q _m of the sound piece can be reduced. On the other hand, all parts constituting the sound piece always contribute to driving and detection, so that a sufficiently large detection sensitivity can be obtained. . Further, since the Q _m is small, it is possible to increase the width of the resonance frequency error f _x mode and f _y mode.

【００１８】また、支持部を有する金属板を、圧電セラ
ミックの間に挟んで接着することによりジャイロが実現
できるから、音片支持のための工程を省略でき、圧電素
子接着工程も簡略化される。In addition, since a gyro can be realized by sandwiching and bonding a metal plate having a supporting portion between piezoelectric ceramics, a step for supporting the sound piece can be omitted, and the piezoelectric element bonding step can be simplified. .

【００１９】また、金属板の突出部を除去することによ
り、金属板の面内方向のたわみこわさが低下し、周波数
が低下するから、突出部の除去量を調整することによ
り、周波数調整が可能となる。このような、圧電セラミ
ックと金属板との複合体でありながら、金属板のみの除
去によって周波数調整を行うことが可能となり、複合体
を両方とも除去する場合に比較し、加工条件設定が容易
であり、周波数調整が容易となる。Further, by removing the protruding portion of the metal plate, the bending and stiffness of the metal plate in the in-plane direction are reduced and the frequency is reduced. Therefore, the frequency can be adjusted by adjusting the removal amount of the protruding portion. Becomes Although it is such a composite of a piezoelectric ceramic and a metal plate, it is possible to adjust the frequency by removing only the metal plate, and it is easier to set the processing conditions as compared to a case where both composites are removed. Yes, frequency adjustment becomes easy.

【００２０】請求項２においては、金属板の一部の幅を
圧電セラミックの接着面より狭くしたので、その狭くし
た部分については、圧電セラミックのみを除去すること
によってたわみこわさを低下させ、周波数調整を行うこ
とができる。In the second aspect, since the width of a part of the metal plate is made narrower than the bonding surface of the piezoelectric ceramic, in the narrowed part, only the piezoelectric ceramic is removed to reduce the bending stiffness and to adjust the frequency. It can be performed.

【００２１】請求項３においては、金属板と支持部と基
台への取付部とを一体的に構成したので、基台への取付
部も金属板と共に打ち抜き等により同時に形成でき、半
田付け等の工程も省略でき、製造工程をより簡略化でき
る。In the third aspect, the metal plate, the support portion, and the mounting portion to the base are integrally formed, so that the mounting portion to the base can be formed simultaneously with the metal plate by punching or the like. Can be omitted, and the manufacturing process can be further simplified.

【００２２】請求項５においては、振動片の側面から突
出した金属板の突出部の少なくとも一部を、金属板削除
の加工条件で除去することにより、周波数調整が行われ
る。請求項６においては、金属板の狭幅部分に対応する
振動片の側面部を、圧電セラミック削除の加工条件で除
去することにより、周波数調整が行われる。請求項７い
おいては、請求項６の圧電セラミック削除を、速度や精
度の面で有利なレーザーにより行う。According to the fifth aspect, the frequency is adjusted by removing at least a part of the protruding portion of the metal plate protruding from the side surface of the vibrating piece under the processing condition of removing the metal plate. According to the sixth aspect, the frequency adjustment is performed by removing the side surface of the vibrating reed corresponding to the narrow portion of the metal plate under the processing condition of removing the piezoelectric ceramic. According to a seventh aspect, the piezoelectric ceramic is removed according to the sixth aspect by using a laser which is advantageous in terms of speed and accuracy.

【００２３】[0023]

【発明の実施の形態】図１ないし図５はそれぞれ本発明
による音片形振動ジャイロの一実施例を示す図である
が、本実施例の説明を行うに当たり、本発明の前提とな
る構成、すなわち特願平８−８５７４７号において記載
した振動ジャイロについて、図６ないし図１４により説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 to FIG. 5 are views showing one embodiment of a vibrating gyroscope according to the present invention. That is, the vibration gyro described in Japanese Patent Application No. 8-85747 will be described with reference to FIGS.

【００２４】図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は２
つの圧電セラミック製圧電素子間に金属板を挟んで接着
した振動ジャイロの平面図、側面図、底面図、正面図、
図７はその分解斜視図、図８は斜視図である。これらの
図において、１５、１６は圧電セラミックでなる圧電素
子であり、各圧電素子１５、１６は略同一寸法の直方体
をなし、各圧電素子１５、１６の長手方向の一方の広幅
の面には、略全面に電極１７、１８を有し、他方の面に
は、長手方向に沿って２分割された電極１９、２０およ
び２１、２２をそれぞれ有する。これらの電極１７〜２
２は、メッキやスパッタリング等により形成される。各
圧電素子１５、１６は図６の矢印ｇ、ｈ方向に分極され
ている。FIGS. 6 (A), 6 (B), 6 (C) and 6 (D) show two lines.
Plan view, side view, bottom view, front view of a vibrating gyroscope with a metal plate sandwiched between two piezoelectric ceramic piezoelectric elements,
FIG. 7 is an exploded perspective view, and FIG. 8 is a perspective view. In these figures, reference numerals 15 and 16 denote piezoelectric elements made of piezoelectric ceramic. Each of the piezoelectric elements 15 and 16 has a rectangular parallelepiped having substantially the same dimensions, and has one wide surface in the longitudinal direction of each of the piezoelectric elements 15 and 16. , The electrodes 17 and 18 are provided on substantially the entire surface, and the other surface is provided with electrodes 19, 20 and 21 and 22 which are divided into two along the longitudinal direction. These electrodes 17-2
2 is formed by plating, sputtering, or the like. Each of the piezoelectric elements 15 and 16 is polarized in the directions of arrows g and h in FIG.

【００２５】２３は両圧電素子１５、１６の全面電極１
７、１８の面間に挟んで接着する金属板であり、該金属
板はエリンバー系合金、ニッケル合金、あるいはリン青
銅等が用いられる。該金属板は圧電素子１５、１６の接
着面と略同一の平面形状をなす。図６（Ｄ）に示すよう
に、両圧電素子１５、１６間に金属板２３を挟んで接着
した状態においては、この接着に一体化された振動子２
４の端面の縦横の寸法Ｗ１、Ｗ２は略等しく（Ｗ１≒Ｗ
２）形成される。Reference numeral 23 denotes the entire electrodes 1 of the piezoelectric elements 15 and 16.
This is a metal plate sandwiched and bonded between the surfaces of Nos. 7 and 18, and is made of an Elinvar alloy, a nickel alloy, phosphor bronze, or the like. The metal plate has substantially the same planar shape as the bonding surface of the piezoelectric elements 15 and 16. As shown in FIG. 6D, in a state where the two piezoelectric elements 15 and 16 are bonded with a metal plate 23 interposed therebetween, the vibrator 2 integrated with the bonding is used.
4 have substantially equal vertical and horizontal dimensions W1 and W2 (W1 ≒ W
2) formed.

【００２６】このような金属板２３の両側に圧電素子１
５、１６を接着する構造を採用する場合、圧電素子１
５、１６間に支持ワイヤを挟み込む構造とするとか、金
属板２３の一部を側面に突出させてその突出部に支持ワ
イヤを溶接する等の構造を採用することも可能である
が、本例においては、金属板２３における該振動子２４
の横振動の略ノード点に対応する位置に予め支持部２５
〜２８を一体的に形成し、さらにこれらの支持部２５〜
２８は基台（図示せず）への取付部２９と一体化し、金
属板２３と該基台への取付部２９と支持部２５〜２８に
より振動子の支持構造体３０を構成している。この支持
構造体３０は、１枚の金属板を打ち抜くことで、予め各
部を一体的に形成しておくことができる。基台への取付
部２９は、取付部２５〜２８の各１本または複数本ごと
に設けても良く、また必要であれば支持部２５〜２８を
折り曲げ加工してもよい。金属板２３の厚みは、好まし
くは圧電素子１５、１６の厚みの１／５〜１／１０程度
である。また、支持部２５〜２８の幅はできるだけ狭い
方が良いが、強度との関係も踏まえて適宜選定される。
本例においては、金属板２３の厚みの１．０〜２．０倍
としている。On both sides of the metal plate 23, the piezoelectric elements 1
In the case of adopting a structure in which the piezoelectric elements 5 and 16 are bonded,
It is also possible to adopt a structure in which a supporting wire is sandwiched between 5, 16 or a structure in which a part of the metal plate 23 is protruded from the side and the supporting wire is welded to the protruding portion. , The vibrator 24 in the metal plate 23
At a position corresponding to a substantially node point of the lateral vibration of
To 28 are formed integrally, and these support portions 25 to
Reference numeral 28 is integrated with a mounting portion 29 to a base (not shown), and the metal plate 23, the mounting portion 29 to the base, and the support portions 25 to 28 constitute a support structure 30 for the vibrator. In the support structure 30, each part can be integrally formed in advance by punching a single metal plate. The mounting portion 29 to the base may be provided for one or more of the mounting portions 25 to 28, and the support portions 25 to 28 may be bent if necessary. The thickness of the metal plate 23 is preferably about 1/5 to 1/10 of the thickness of the piezoelectric elements 15 and 16. The width of the support portions 25 to 28 is preferably as narrow as possible, but is appropriately selected in consideration of the relationship with the strength.
In this example, the thickness is 1.0 to 2.0 times the thickness of the metal plate 23.

【００２７】また、本例においては、図７に示すよう
に、支持部２５〜２８の構造は、支持面内（金属板面
内）方向の横振動に対し外部からの影響を防止する目的
で、支持部２５〜２８を屈曲構造にしている。In this embodiment, as shown in FIG. 7, the structures of the support portions 25 to 28 are provided for the purpose of preventing external influences on lateral vibration in the direction of the support surface (in the plane of the metal plate). , The support portions 25 to 28 have a bent structure.

【００２８】図６（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、電極１
９〜２２には、リード線３１〜３４が、はんだ付けやワ
イヤボンドの手法により接続される。これらのリード線
３１〜３４は、振動に影響を与えないように極細線を用
いると共に、ノード点に近い部分に接続される。また、
金属板２３は駆動回路の電気的基準点に接続される。図
９はこの振動ジャイロの作動原理を説明する図であり、
振動片２４は圧電素子１５、１６の分割電極１９〜２２
に対応する４つのブロック〜から構成される。すな
わち、支持部２５〜２８によって支持された四角柱状の
振動片２４を構成する２つの圧電素子１５、１６を分割
電極に対応してそれぞれ２つに分け、全体を４つのブロ
ック〜で示している。As shown in FIGS. 6A to 6D, the electrode 1
Lead wires 31 to 34 are connected to 9 to 22 by soldering or wire bonding. These lead wires 31 to 34 are connected to a portion close to a node point while using a fine wire so as not to affect the vibration. Also,
The metal plate 23 is connected to an electrical reference point of the drive circuit. FIG. 9 is a view for explaining the operating principle of this vibrating gyroscope.
The vibrating reed 24 is divided electrodes 19 to 22 of the piezoelectric elements 15 and 16.
From four blocks corresponding to. In other words, the two piezoelectric elements 15 and 16 constituting the quadrangular prism-shaped vibrating piece 24 supported by the support portions 25 to 28 are each divided into two corresponding to the divided electrodes, and the whole is shown by four blocks. .

【００２９】図９のようにｘ、ｙ、ｚ軸を定めた場合、
ｘ方向すなわちｆ_xモードの横振動を効果的に励振する
ためには、電極１９、２０に図１０（Ａ）に示す発振回
路６の出力を接続し、圧電横効果によって、のブロ
ック全体を同時にｚ方向に伸縮するようにする。横振動
によってブロック、も、と逆相に伸縮するの
で、電極２１、２２には同相の電荷を生じる。この出力
を発振回路６の入力に帰還する。When the x, y, and z axes are determined as shown in FIG.
To effectively excite transverse vibrations in the x direction, that f _x mode, connects the output of the oscillation circuit 6 shown in FIG. 10 (A) to the electrodes 19 and 20, by the piezoelectric transverse effect, the whole block at the same time It expands and contracts in the z direction. Since the block and the block expand and contract in the opposite phase due to the lateral vibration, charges in the same phase are generated in the electrodes 21 and 22. This output is fed back to the input of the oscillation circuit 6.

【００３０】この振動片２４がｚ軸回りに回転すると、
ｙ軸方向の横振動が起振される。すなわち、ブロック
、が伸びる場合、ブロック、は縮み、また、ブ
ロック、が縮む場合はブロック、は伸びるよう
に圧電素子１５、１６をひずませる振動である。したが
って、ブロックと（またはと）には逆相の電荷
が生じる。従って、電極１９、２０または電極２１、２
２の信号の差を図１０（Ａ）の差動増幅回路７、同期検
波回路９、整流回路１０を介して検出することで、ｆ_y
モードの振動をｆ_xモードから分離して検出できる。When the resonator element 24 rotates around the z-axis,
Lateral vibration in the y-axis direction is generated. That is, when the block expands, the block shrinks, and when the block contracts, the block distorts the piezoelectric elements 15 and 16 so as to expand. Therefore, charges of opposite phases are generated in the block and / or the block. Therefore, the electrodes 19, 20 or the electrodes 21, 2
2 is detected via the differential amplifier circuit 7, the synchronous detection circuit 9, and the rectifier circuit 10 shown in _FIG.
Mode vibration can be detected separately from the _fx mode.

【００３１】図１０（Ｂ）は別の駆動回路の構成例であ
り、ｘ軸とｙ軸を入れ替えて支持面内方向の横振動をｆ
_xモード、支持面に垂直方向の横振動をｆ_yモードとして
使用するように、自励発振回路６の出力をそれぞれ圧電
素子１５、１６の電極１９、２１に加え、圧電素子１
５、１６の電極２０、２２から取り出すように構成した
ものである。本例の駆動回路においても、図１０（Ａ）
の回路と同様の作用が得られる。FIG. 10B shows another example of the configuration of the driving circuit, in which the x-axis and the y-axis are exchanged, and the lateral vibration in the inward direction of the support surface is represented by f
The output of the self-excited oscillation circuit 6 is applied to the electrodes 19 and 21 of the piezoelectric elements 15 and 16, respectively, so that the _x- mode and the lateral vibration perpendicular to the support surface are used as the f- _y mode.
It is configured to take out from the electrodes 5 and 16 electrodes 20 and 22. Also in the driving circuit of this example, FIG.
The same operation as the circuit of FIG.

【００３２】ところで、音片ジャイロは、ｆ_xモードと
ｆ_yモードの共振周波数を一致させることによって高い
検出感度を得ている。上記実施例においても同様に、振
動片２４の一部を削る等のトリミングにより、各モード
の共振周波数を合わせる調整を行う。この共振周波数調
整工程では、各電極１９〜２２のインピーダンス特性を
モニターしたり、ｆ_xおよびｆ_y方向の伝送特性をモニタ
ーする方法が行われる。[0032] Incidentally, the vibrating bar gyro is obtained high detection sensitivity by matching the resonance frequency of f _x mode and f _y mode. In the same manner as in the above-described embodiment, adjustment for adjusting the resonance frequency of each mode is performed by trimming such as cutting off a part of the resonator element 24. This resonance frequency adjustment step, or monitoring the impedance characteristics of each electrode 19 to 22, a method of monitoring the transmission characteristics of f _x and f _y direction is performed.

【００３３】図６（Ｅ）は図４の各ブロック〜の電
気的接続関係を表している。本構造を採用する場合、圧
電素子１５、１６の幅に対し、厚みが十分小さければ、
分割電極１９と２０、２１と２２との間の極間容量は無
視できる程小さいが、実施例のように、厚みが幅の略１
／２と厚い場合には、無視できない大きさの電極間容量
Ｃ１を持つ。これに対し、別の隣り合うブロックと
の間、およびととの間の電極間、すなわち電極１９
と２１、電極２０と２２との間には電極間容量を持たな
い。すなわちｆ_x方向とｆ_y方向では電気的に非対称とな
っている。FIG. 6E shows an electrical connection relationship among the blocks 1 to 4 in FIG. When this structure is adopted, if the thickness is sufficiently small with respect to the width of the piezoelectric elements 15 and 16,
The interelectrode capacitance between the split electrodes 19 and 20, and between the split electrodes 21 and 22 is negligibly small.
When the thickness is as thick as / 2, the capacitor has a non-negligible inter-electrode capacitance C1. On the other hand, between the adjacent blocks and between the electrodes, that is, between the electrodes, that is, the electrodes 19
And 21, and between the electrodes 20 and 22, there is no inter-electrode capacitance. That is, in the f _x direction and the f _y direction has an electric asymmetry.

【００３４】ところで、実使用下ではｆ_xモードは周波
数調整工程と同様に電気的に励振する使用方法である
が、ｆ_yモード（検出側）はコリオリ力という外力の作
用によって生じるため、電気的な励振は行われておら
ず、周波数調整工程においてｆ_yモードを電気的に励振
してモニターするために接続される電気的負荷と実使用
下の電気的負荷とは異なる。特に図６（Ｅ）のように電
気的に非対称の場合は、調整工程でｆ_xモードとｆ_yモー
ドの周波数に誤差を生じ易い。By the way, although under actual use f _x mode is a method used to similarly electrically excited with a frequency adjustment step, f _y mode (detection side) for is caused by the action of an external force of a Coriolis force, electrical No electrical excitation is performed, and the electrical load connected to electrically excite and monitor the f _y mode in the frequency adjustment process is different from the electrical load in actual use. Especially in the case of electrically asymmetrical as shown in FIG. 6 (E), the prone to error in the frequency of f _x mode and f _y mode adjustment process.

【００３５】従って、図６（Ｆ）のように、ブロック
の電極１９とブロックの電極２１の間、およびブロッ
クの電極２０とブロックの電極２２との間に、略等
価な容量Ｃ２を挿入し、電気的に完全に対称とする構成
とすることが、ｆ_xモードとｆ_yモードの周波数に誤差を
生じないようにする意味で有効である。Therefore, as shown in FIG. 6F, a substantially equivalent capacitance C2 is inserted between the block electrode 19 and the block electrode 21 and between the block electrode 20 and the block electrode 22. it is effective in the sense to prevent the occurrence of error in the frequency of f _x mode and f _y mode configured to electrically completely symmetrical.

【００３６】図１１（Ａ）〜（Ｄ）は図６（Ａ）〜
（Ｄ）に対応させて描いた他の構造例であり、一方の圧
電素子１５の一方の電極を長手方向の中央で２分割して
電極３５、３６を形成し、それぞれに略ノード点におい
て極細線でなるリード線３７、３８に接続したもので、
ｆ_xモードとして支持面に対して垂直方向の横振動が使
用される。この実施例においては、電極３５と３６のい
ずれか一方を駆動用、他方を帰還用として使用すること
により、ｆ_xモードで励振し、ｆ_yモードの検出は、圧電
素子１６側の長手方向に沿って２分割した電極２１、２
２により生じる出力の差を取る。FIGS. 11A to 11D show FIGS.
14D is another structural example corresponding to FIG. 14D, in which one electrode of one piezoelectric element 15 is divided into two at the center in the longitudinal direction to form electrodes 35 and 36, each of which is extremely fine at a substantially node point. Connected to the lead wires 37 and 38
Lateral vibration perpendicular to the support surface is used as the _fx mode. In this embodiment, for driving one of the electrodes 35 and 36, by using the other as a feedback, excited at f _x mode, the detection of the f _y mode, the longitudinal direction of the piezoelectric element 16 side Electrodes 2 and 2 divided along
Take the difference between the outputs caused by the two.

【００３７】図１１（Ｅ）〜（Ｈ）は図６（Ａ）〜
（Ｄ）に対応させて描いた他の構造例であり、圧電素子
１５の２分割電極を全面電極３９に変えたものであり、
極細線でなるリード線４０が略ノード点近傍に接続され
る。本例においても、ｆ_xモードとして、支持面に対し
て垂直方向の横振動が使用され、全面電極３９は駆動用
に使用され、圧電素子１６側の電極２１、２２は、図６
の例と同様に検出用に使用される。FIGS. 11E to 11H show FIGS.
13D is another structural example drawn corresponding to (D), in which the two-divided electrode of the piezoelectric element 15 is changed to a full-surface electrode 39;
An extra-fine lead wire 40 is connected substantially near the node point. In this example, as f _x mode, the horizontal vibration in the direction perpendicular to the supporting surface is used, the entire surface electrode 39 is used for driving, the piezoelectric element 16 side electrodes 21 and 22, FIG. 6
Is used for detection as in the example.

【００３８】従来構造と本構造のＱ_mを比較すると、Ｑ_m
が小さくなるにも拘らず、大きなゲインが得られるが、
これは、圧電セラミックが恒弾性金属に比較して小さな
ヤング率であることから、本発明のように音片全体を圧
電素子で構成することによりＱ_mを下げることが可能と
なったのであり、一方、音片を構成するすべての部分が
必ず駆動、検出に寄与する構成としたことにより、十分
大きな検出感度が得られることとなる。このように、Ｑ
_mを下げることにより、ｆ_xモードの共振周波数とｆ_yモ
ードの共振周波数とを厳密に一致させなくとも大きな検
出感度を得ることができる。When comparing the conventional structure and the present structure with Q _m , Q _m
Although a small gain is obtained, a large gain is obtained,
This is because the piezoelectric ceramic is small Young's modulus as compared to constant elastic metal, became possible to lower the Q _m by a piezoelectric element across speech segment as in the present invention, On the other hand, by adopting a configuration in which all parts constituting the sound piece always contribute to driving and detection, a sufficiently large detection sensitivity can be obtained. Thus, Q
By lowering the _m, it is possible to obtain a large sensitivity without exactly match the resonant frequency of the resonant frequency and f _y mode f _x mode.

【００３９】図１２は各種の支持構造を示すもので、図
１２（Ａ）のようにＬの長さを有する支持部２５〜２８
を直線状に形成したり、図１２（Ｂ）に示すように支持
部２５Ａ〜２８ＡをＬ１の長さの水平部と、Ｌ２の長さ
の垂直部が形成されるように折り曲げたり、図１２
（Ｃ）に示すように、支持部２５Ｂ〜２８Ｂを水平に折
り曲げ、枠体２９の代わりに取付け部５２、５３を形成
してもよい。これらの取付け部５２、５３は、支持部２
５Ｂと２７Ｂを連結し、支持部２６Ｂと２８Ｂを連結す
る構造としてもよい。FIG. 12 shows various support structures. As shown in FIG. 12 (A), support portions 25 to 28 having a length L are provided.
12B, the supporting portions 25A to 28A are bent such that a horizontal portion having a length of L1 and a vertical portion having a length of L2 are formed as shown in FIG.
As shown in (C), the support portions 25B to 28B may be bent horizontally to form the attachment portions 52 and 53 instead of the frame body 29. These mounting portions 52 and 53 are
5B and 27B may be connected, and the supporting portions 26B and 28B may be connected.

【００４０】最終的には、図１２（Ｄ）、（Ｅ）に示す
ように、保持用基板５０または５４に支持部２５Ａ〜２
８Ａまたは２５Ｂ〜２８Ｂが保持固定され、振動片２４
は空中に支持部を介して保持される。さらに保持用基板
５０または５４は、周辺回路を搭載した基板５１または
５５に接続固定される。Finally, as shown in FIGS. 12D and 12E, the supporting portions 25A to 25A are attached to the holding substrate 50 or 54.
8A or 25B to 28B is held and fixed.
Is held in the air via the support. Further, the holding substrate 50 or 54 is connected and fixed to the substrate 51 or 55 on which peripheral circuits are mounted.

【００４１】ところで、上記構造の四角柱状圧電形音片
ジャイロは、周辺回路に接続される前に、ｆ_xモードで
駆動するときのバランス調整と、最大感度を得るために
ｆ_xモードとｆ_yモードの周波数調整のための周波数トリ
ミングが施される。音片のインピーダンス特性を使用し
た場合のトリミング方法を、図６に示した構造例の四角
柱音片を例にとって図１３、図１４により説明する。By the way, a square columnar piezoelectric Katachion piece gyro above structure, before being connected to the peripheral circuit, f _x mode and f _y in order to obtain the balance adjustment, the maximum sensitivity when driving at f _x mode Frequency trimming for mode frequency adjustment is performed. A trimming method using the impedance characteristics of the sound piece will be described with reference to FIGS. 13 and 14 by taking the rectangular prism sound piece of the structural example shown in FIG. 6 as an example.

【００４２】図１３はバランス調整のために、インピー
ダンスアナライザ６０によって素子電極に交流電圧を印
加して、インピーダンスＺと位相θの周波数特性（以下
インピーダンス特性）を測定する方法を示している。図
１３（Ａ）は素子１５の図面上左側の電極２０と電極１
９、２３と間に電圧を印加し駆動して測定する例であ
り、図１３（Ｂ）は図面上右側の電極１９と電極２０、
２３と間に電圧を印加し駆動して測定する例である。FIG. 13 shows a method of measuring the frequency characteristics of impedance Z and phase θ (hereinafter referred to as impedance characteristics) by applying an AC voltage to the element electrodes by the impedance analyzer 60 for balance adjustment. FIG. 13A shows the electrode 20 and the electrode 1 on the left side of the drawing of the element 15.
FIG. 13B shows an example in which a voltage is applied between the electrodes 9 and 23 to perform measurement, and FIG.
This is an example in which a voltage is applied between the sample and the sample and the sample is measured by driving.

【００４３】このとき得られるインピーダンス特性例を
図１３（Ｃ）に示す。２つの圧電素子１５、１６の寸法
差や接着位置ずれがあると、２つの対角方向の共振周波
数がずれてアンバランスとなる。このとき、前記（Ａ）
の測定で得られるインピーダンス特性（図中実線ｇ、ｉ
はそれぞれインピーダンスと位相を表す）は、前記
（Ｂ）の測定で得られるインピーダンス特性（図中破線
ｈ、ｊはそれぞれインピーダンスと位相を表す）とずれ
を生じる。図中ｆ_r1、ｆ_a1およびｆ_r2、ｆ_a2は、それぞ
れ（Ａ）、（Ｂ）の測定で得られる共振周波数と***振
周波数を表している。FIG. 13C shows an example of impedance characteristics obtained at this time. If there is a dimensional difference between the two piezoelectric elements 15 and 16 or a displacement of the bonding position, the resonance frequencies in the two diagonal directions are displaced and become unbalanced. At this time, the (A)
Characteristics (solid lines g, i in the figure)
Denote the impedance and the phase, respectively, and deviate from the impedance characteristics (broken lines h and j in the figure represent the impedance and the phase, respectively) obtained in the measurement of (B). In the drawing, _fr1 , _fa1 and _fr2 , _fa2 represent the resonance frequency and the antiresonance frequency obtained in the measurements (A) and (B), respectively.

【００４４】上記のようなアンバランスがある場合、図
１３（Ｅ）、（Ｆ）に示すように図中ａおよび／または
ｂの破線に平行に振動片２４の長手方向稜線の一部を削
り取ると、削り取られた稜線を含む対角方向のたわみこ
わさが小さくなり、この方向の横振動の共振周波数は低
周波側にシフトする。これによって、図１３（Ｄ）のよ
うに、（Ａ）、（Ｂ）の測定で得られるインピーダンス
特性（目安としては２つの共振周波数ｆ_r1とｆ_r2）をほ
ぼ一致させることでバランス調整のためのトリミング調
整が完了する。When there is such an imbalance, as shown in FIGS. 13E and 13F, a part of the longitudinal ridge line of the resonator element 24 is cut off in parallel with the broken lines a and / or b in the figure. Then, the flexural stiffness in the diagonal direction including the shaved ridgeline is reduced, and the resonance frequency of the lateral vibration in this direction shifts to the lower frequency side. As a result, as shown in FIG. 13 (D), the impedance characteristics obtained as a result of the measurements (A) and (B) (approximately, two resonance frequencies _fr1 and _fr2 ) are substantially matched to adjust the balance. Is completed.

【００４５】次にｆ_xモードとｆ_yモードの周波数調整に
ついて述べる。図１４（Ａ）は電極１９、２０と電極２
３との間にインピーダンスアナライザ６０を接続してｆ
_xモードの横振動を駆動し、また、図１４（Ｂ）は電極
１９、２１と電極２３との間にインピーダンスアナライ
ザ６０を接続してｆ_yモードの横振動を駆動して測定す
る例である。[0045] Next described frequency adjustment of f _x mode and f _y mode. FIG. 14A shows electrodes 19 and 20 and electrode 2
3 and the impedance analyzer 60 is connected to
FIG. 14B shows an example in which the _x- mode transverse vibration is driven, and FIG. 14B is a diagram in which the impedance analyzer 60 is connected between the electrodes 19 and 21 and the _fy mode transverse vibration is driven and measured. .

【００４６】この測定によって得られるインピーダンス
特性例を図１４（Ｃ）に示す。図１４（Ａ）の測定で得
られるインピーダンス特性は図中実線ｋ、ｐで示され、
共振周波数と***振周波数はそれぞれｆ_r3、ｆ_a3であ
る。また、図１４（Ｂ）の測定で得られるインピーダン
ス特性は図中破線ｍ、ｑで示され、共振周波数と***振
周波数はそれぞれｆ_r4、ｆ_a4である。FIG. 14C shows an example of impedance characteristics obtained by this measurement. The impedance characteristics obtained by the measurement in FIG. 14A are shown by solid lines k and p in the figure.
Resonance and anti-resonance frequencies are respectively f _r3, f _a3. The impedance characteristic obtained by measurement shown in FIG. 14 (B) is broken line in the figure m, is indicated by q, the resonant frequency and the antiresonant frequency are respectively f _r4, f _a4.

【００４７】このとき、図１４（Ｅ）、（Ｆ）に示すよ
うに、振動片２４のｆ_yモード方向の対辺をその長手方
向の中心付近で、長手方向に垂直で、かつ対辺に平行な
図中ｃおよび／またはｄの破線に沿って削り取ると、ｆ
_yモード方向のたわみこわさの減少率はｆ_xモード方向に
比べて大きく、その結果、図１４（Ｄ）のようにインピ
ーダンス曲線ｍと位相曲線ｑはより低周波側にシフト
し、ｆ_xモード方向のインピーダンス特性に近づいてい
く。At this time, as shown in FIGS. 14 (E) and (F), the opposite side of the vibrating reed 24 in the _fy mode direction is perpendicular to the longitudinal direction near the center in the longitudinal direction and parallel to the opposite side. When cut along the broken lines of c and / or d in the figure, f
reduction rate of _y mode direction of deflection stiffness is greater than that f _x mode direction, as a result, impedance curve m and phase curve q as shown in FIG. 14 (D) is shifted to a lower frequency side, f _x mode direction Approaching the impedance characteristic of

【００４８】最終的には、周辺回路の定数にもよるが、
ｆ_xモード方向の共振周波数ｆ_r3と***振周波数ｆ_a3の
間のいずれかの周波数にｆ_yモード方向の共振周波数ｆ
_r4を合わせ込むことで、圧電ジャイロとして最大感度を
引き出すことができる。Ultimately, depending on the constant of the peripheral circuit,
f _x mode direction of the resonance frequency f _r3 and any frequency to f _y mode direction of resonance frequency f between the anti-resonance frequency f _a3
By adjusting _r4 , the maximum sensitivity can be obtained as a piezoelectric gyro.

【００４９】前述した例のように構成された四角柱状圧
電形音片ジャイロの周波数調整は、圧電素子で構成され
た四角柱の長手方向の稜線や側面の一部をそれぞれ１箇
所あるいは２箇所削り取ることで実施される。特にＸ、
Ｙモード間の周波数調整においては、図１４（Ｅ）、
（Ｆ）に示すように、長手方向側面の短辺方向全体にわ
たってできるだけ均一に削除することが求められ、周波
数調整の簡便化の妨げとなっている。The frequency adjustment of the quadrangular prism-shaped piezoelectric resonating gyro constructed as in the above-described example is performed by cutting one or two portions of the longitudinal ridges and side surfaces of the quadrangular prism constituted by the piezoelectric elements. It is implemented by that. Especially X,
In the frequency adjustment between the Y modes, FIG.
As shown in (F), it is required to eliminate as much as possible over the entire short side direction of the longitudinal side surface, which hinders the simplification of frequency adjustment.

【００５０】また、金属板と圧電セラミックは展延性の
有無や硬さの違い等機械的な切削の条件が異なるため、
これら２つの材質を同時に精度良く除去することも課題
である。Also, since the metal plate and the piezoelectric ceramic have different mechanical cutting conditions such as the presence or absence of extensibility and the difference in hardness,
It is also an issue to remove these two materials simultaneously with high accuracy.

【００５１】次に図１および図２により本発明の一実施
例を説明する。図１（Ｂ）の分解斜視図に示すように、
本実施例においては、金属板２３の幅を、長手方向の中
心部の幅Ｗ２は圧電素子１５、１６の幅Ｗ１より大き
く、他の部分は圧電素子１５、１６の幅Ｗ１に等しく
し、図１（Ａ）に示すように、金属板２３に圧電素子１
５、１６を接着した状態においては、振動片２４の両側
面より金属板の一部２３ａが突出するように構成したも
のである。２５Ａ〜２８Ａは振動片２４の支持部であ
り、水平部と垂直部とからなる例について示している。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in the exploded perspective view of FIG.
In the present embodiment, the width of the metal plate 23 is set such that the width W2 of the central portion in the longitudinal direction is larger than the width W1 of the piezoelectric elements 15 and 16, and the other portions are equal to the width W1 of the piezoelectric elements 15 and 16. As shown in FIG. 1 (A), the piezoelectric element 1
In a state in which the metal plates 5 and 16 are adhered, a part 23 a of the metal plate projects from both side surfaces of the resonator element 24. Reference numerals 25A to 28A denote support portions of the vibrating reed 24, and show an example including a horizontal portion and a vertical portion.

【００５２】これらの突出部２３ａは金属板２３の面内
幅方向の横振動に対応するたわみこわさを大きくするよ
うに作用し、この横振動の共振周波数を高い方向にシフ
トさせる。一方、金属板２３の面に垂直な方向の横振動
に対応するたわみこわさの変化には金属板面内方向ほど
寄与しない。These protrusions 23a act to increase the flexural rigidity of the metal plate 23 corresponding to the lateral vibration in the in-plane width direction, and shift the resonance frequency of the lateral vibration to a higher direction. On the other hand, the change in flexural rigidity corresponding to the transverse vibration in the direction perpendicular to the surface of the metal plate 23 does not contribute as much as the in-plane direction of the metal plate.

【００５３】従って、振動片２４が初期的に、図１４
（Ａ）の測定で得られるインピーダンス特性曲線ｋ（ｆ
_xモードの横振動に対応）よりも図１４（Ｂ）の測定で
得られるインピーダンス特性曲線ｍ（ｆ_yモードの横振
動に対応）が高周波側となる関係に設定されていれば、
突出部２３ａの双方または一方を除去することにより、
前記２つのインピーダンス特性曲線ｋ、ｍが近接するよ
うに移動させることができる。Therefore, the vibrating reed 24 is initially set in FIG.
The impedance characteristic curve k (f) obtained by the measurement of (A)
_{If the} impedance characteristic curve m (corresponding to the _fy mode lateral vibration) obtained in the measurement of FIG. 14B is set to be on the high frequency side rather than the _x mode lateral vibration),
By removing both or one of the protrusions 23a,
The two impedance characteristic curves k and m can be moved so as to be close to each other.

【００５４】前記突出部２３ａの除去は、図２（Ａ）に
示すように、振動片２４の長手方向の中心部の突出部２
３ａの双方または一方を、回転砥石やカッター等で４１
Ａで示すように削除し、２つのインピーダンス特性曲線
ｋ、ｍが所定の関係に近接するまで、次第に削除部分４
１Ａを拡大していく。As shown in FIG. 2A, the protrusion 23a is removed by removing the protrusion 2a at the center of the vibrating reed 24 in the longitudinal direction.
Both or one of 3a is treated with a rotating grindstone or cutter 41
A, and the deleted portion 4 is gradually removed until the two impedance characteristic curves k and m approach a predetermined relationship.
Expand 1A.

【００５５】振動片２４のたわみこわさを低下させる他
の方法としては、図２（Ｂ）に示すように、突出部２３
ａの一方または双方に順次切り込み４１Ｂを入れ、所定
の特性に達するまで切り込み４１Ｂの数を増やす方法も
ある。As another method for reducing the bending stiffness of the vibrating reed 24, as shown in FIG.
There is also a method in which the notches 41B are sequentially formed in one or both of “a” and the number of the notches 41B is increased until a predetermined characteristic is reached.

【００５６】なお、突出部２３ａの突出幅｛（Ｗ２−Ｗ
１）÷２｝は、振動片２４の幅Ｗ１の１／５〜１／２０
程度に設定する。The protrusion width ｛(W2-W) of the protrusion 23a
1) {2} is 1/5 to 1/20 of the width W1 of the resonator element 24
Set to about.

【００５７】図３（Ａ）は本発明の他の実施例を示す平
面図であり、本実施例は、金属板２３の幅を全長にわた
って接着面の幅より大きくしておくことにより、振動片
２４の全長にわたって突出部２３ａを設けておき、図３
（Ｂ）に示すように、振動片２４の長手方向の中心部に
おいて、突出部２３ａを削除（切除）するようにしても
よい。FIG. 3A is a plan view showing another embodiment of the present invention. In this embodiment, the width of the metal plate 23 is made larger than the width of the bonding surface over the entire length, so that 24 is provided with a protruding portion 23a over the entire length of FIG.
As shown in (B), the protruding portion 23a may be deleted (cut off) at the center in the longitudinal direction of the resonator element 24.

【００５８】このように、予め金属板２３の突出部２３
ａを設けておき、この突出部２３ａ削除（切除）するこ
とによって周波数調整を可能としたので、金属板２３と
圧電セラミックでなる圧電素子１５、１６の双方を除去
する場合に比較し、除去するカッター等の除去手段を金
属板２３に対応するもののみとすればよく、複合部材を
除去する場合に比較し、容易に、かつ精度良く周波数調
整を行うことができる。As described above, the protrusion 23 of the metal plate 23 is
a is provided, and the frequency can be adjusted by removing (cutting out) the protruding portion 23a. Therefore, compared to the case where both the metal plate 23 and the piezoelectric elements 15 and 16 made of piezoelectric ceramic are removed, the removal is performed. The removal means such as a cutter may be only the one corresponding to the metal plate 23, and the frequency adjustment can be performed easily and accurately compared to the case where the composite member is removed.

【００５９】図４、図５は本発明の他の実施例であり、
本実施例は、図４（Ｂ）に示すように、金属板２３の幅
Ｗ１を圧電素子１５、１６の幅Ｗ１と等しくし、かつ長
手方向の中心部の両側に切欠部２３ｂを設けて中心部の
幅Ｗ３を圧電素子１５、１６の幅Ｗ１より小さくしてお
くことにより、金属板２３を介して圧電素子１５、１６
を接着したとき、図４（Ａ）に示すように、金属板２３
が側面に現れない部分ができる。FIGS. 4 and 5 show another embodiment of the present invention.
In the present embodiment, as shown in FIG. 4 (B), the width W1 of the metal plate 23 is made equal to the width W1 of the piezoelectric elements 15 and 16, and the notches 23b are provided on both sides of the center in the longitudinal direction. By setting the width W3 of the portion to be smaller than the width W1 of the piezoelectric elements 15, 16, the piezoelectric elements 15, 16
4A, the metal plate 23 is bonded as shown in FIG.
There are parts that do not appear on the sides.

【００６０】ここで、前記実施例と同様に、金属板２３
の面内幅方向の横振動をｆ_yモード、金属板２３の面に
垂直な方向の横振動をｆ_xモードとして振動片を使用す
る場合について考えると、振動片が初期的に、図１４
（Ａ）の測定で得られるインピーダンス特性曲線ｋ（ｆ
_xモードの横振動に対応）よりも図１４（Ｂ）の測定で
得られるインピーダンス特性曲線ｍ（ｆ_yモードの横振
動に対応）が高周波側となる関係に設定されていれば、
狭幅部２３ｂに対応する圧電素子１５、１６の側面部に
ついて、図１４（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、振動片２
４の長手方向に垂直に、かつ、振動片２４の中心付近で
削り取れば、前記２つのインピーダンス特性曲線ｋ、ｍ
が近接するように移動させることができる。Here, similarly to the above embodiment, the metal plate 23
When the vibrating reed is used in the case where the vibrating reed is used with the lateral vibration in the in-plane width direction being f _y mode and the lateral vibration in the direction perpendicular to the surface of the metal plate 23 being f _x mode, the vibrating reed is initially
The impedance characteristic curve k (f) obtained by the measurement of (A)
_{If the} impedance characteristic curve m (corresponding to the _fy mode lateral vibration) obtained in the measurement of FIG. 14B is set to be on the high frequency side rather than the _x mode lateral vibration),
As shown in FIGS. 14 (E) and (F), the vibrating reed 2 has side surfaces of the piezoelectric elements 15 and 16 corresponding to the narrow portions 23b.
4 and near the center of the resonator element 24, the two impedance characteristic curves k and m
Can be moved closer to each other.

【００６１】図５（Ａ）はこの圧電素子１５、１６の削
除の例を示すもので、削除する箇所に対応する部分に予
め金属板２３の切欠部２３ｂに対応する圧電セラミック
の部分のみを削ればよい。これにより、削除手段の加工
条件を圧電セラミックにのみ合わせればよく、削除が容
易となり、かつ精度良く周波数調整を行うことができ
る。FIG. 5A shows an example in which the piezoelectric elements 15 and 16 are deleted, and only a portion of the piezoelectric ceramic corresponding to the notch 23b of the metal plate 23 is previously cut in a portion corresponding to the portion to be deleted. I just need. Accordingly, the processing conditions of the deleting means need only be adjusted to the piezoelectric ceramic, and the deletion becomes easy and the frequency can be adjusted with high accuracy.

【００６２】さらに、図５（Ｂ）に示すように、金属板
２３の切欠部２３ｂの切欠幅内で、レーザーを使用し
て、圧電セラミックに切り込み４３を入れる方法を利用
できる。このレーザーを利用する場合、ｆ_xモードとｆ_y
モードに対応する２つのインピーダンス特性曲線ｋ、ｍ
が所定の関係に近接するまで切り込みを深くしていく
か、あるいは切り込みの深さを一定にして切り込みの数
を増やす。Further, as shown in FIG. 5B, a method of making a cut 43 in the piezoelectric ceramic by using a laser within the cutout width of the cutout 23b of the metal plate 23 can be used. If you want to take advantage of this laser, f _x mode and f _y
Two impedance characteristic curves k and m corresponding to the modes
The depth of cut is increased until the distance approaches a predetermined relationship, or the number of cuts is increased while keeping the depth of cut constant.

【００６３】このように、レーザーを使用すれば、高精
度にかつ高速に周波数調整を行うことが可能となる。As described above, if a laser is used, frequency adjustment can be performed with high accuracy and at high speed.

【００６４】本発明は、図６ないし図１４により説明し
た先願に係る構成をすべて踏襲できる。例えば、図６
（Ｅ）により示したように、振動片の対向する面の電極
間にキャパシタＣ２を設けることにより、隣接する電極
間の容量Ｃ１と、対向する面の電極間の容量とを一致さ
せることができ、これにより、電気的非対称によってｆ
_xモードとｆ_yモードの共振周波数に誤差を生じることを
防止できる。The present invention can follow all the configurations according to the prior application described with reference to FIGS. For example, FIG.
As shown by (E), by providing the capacitor C2 between the electrodes on the opposing surfaces of the resonator element, the capacitance C1 between the adjacent electrodes can be made equal to the capacitance between the electrodes on the opposing surface. , Which results in f
_An error can be prevented from occurring in the resonance frequencies of the _x mode and the _fy mode.

【００６５】[0065]

【発明の効果】請求項１、４によれば、金属板の両面に
圧電セラミックからなる圧電素子を接着した構造によ
り、検出感度の向上、応答特性の向上、製造の簡略化、
容易化、価格の低減を図ることができる。According to the first and fourth aspects of the present invention, a structure in which a piezoelectric element made of a piezoelectric ceramic is adhered to both surfaces of a metal plate improves detection sensitivity, improves response characteristics, and simplifies manufacturing.
Ease and cost reduction can be achieved.

【００６６】また、金属板の少なくとも一部を振動片の
側面部から突出させたので、金属板の突出部の一部を削
除することによって周波数調整を行うことができ、これ
により、周波数調整が容易にかつ精度良く行える。Further, since at least a part of the metal plate is projected from the side surface of the vibrating reed, the frequency can be adjusted by removing a part of the projected part of the metal plate. Easy and accurate.

【００６７】請求項２によれば、請求項１と同様の検出
感度の向上、応答特性の向上、製造の簡略化、容易化、
価格の低減等の効果を奏することができ、また、圧電セ
ラミックのみの削除によって周波数調整が行えるので、
周波数調整が容易にかつ精度良く行える。According to the second aspect, it is possible to improve the detection sensitivity, the response characteristic, and simplify and simplify the manufacturing as in the first aspect.
The effect of reducing the price can be achieved, and the frequency can be adjusted by removing only the piezoelectric ceramic.
Frequency adjustment can be performed easily and accurately.

【００６８】請求項３によれば、金属板と支持部と基台
への取付部とを一体的に構成したので、基台への取付部
も金属板と共に打ち抜き等により同時に形成でき、半田
付け等の工程も省略でき、製造工程をより簡略化でき
る。According to the third aspect, since the metal plate, the support portion and the mounting portion to the base are integrally formed, the mounting portion to the base can be formed simultaneously with the metal plate by punching or the like. And the like can be omitted, and the manufacturing process can be further simplified.

【００６９】請求項５によれば、金属板のみの削除によ
り、周波数調整を容易にかつ精度良く行うことができ
る。According to the fifth aspect, the frequency adjustment can be easily and accurately performed by removing only the metal plate.

【００７０】請求項６によれば、圧電セラミックのみの
削除により、周波数調整を容易にかつ精度良く行うこと
ができる。According to the sixth aspect, the frequency adjustment can be easily and accurately performed by eliminating only the piezoelectric ceramic.

【００７１】請求項７によれば、圧電セラミックのみに
より周波数調整を行う場合、レーザーを用いているの
で、周波数調整を高精度にかつ高速に行うことができ
る。According to the seventh aspect, when the frequency is adjusted only by the piezoelectric ceramic, since the laser is used, the frequency can be adjusted with high accuracy and at high speed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】（Ａ）は本発明による音片形振動ジャイロの一
実施例を示す斜視図、（Ｂ）はその分解斜視図である。FIG. 1A is a perspective view showing an embodiment of a vibrating gyroscope according to the present invention, and FIG. 1B is an exploded perspective view thereof.

【図２】（Ａ）、（Ｂ）は図１の実施例の周波数調整を
行った後の状態を示す斜視図である。FIGS. 2A and 2B are perspective views showing a state after the frequency adjustment of the embodiment of FIG. 1 is performed.

【図３】（Ａ）、（Ｂ）は図１の実施例の変形例を示す
平面図であり、それぞれ周波数調整前、周波数調整後の
状態を示す。FIGS. 3A and 3B are plan views showing modified examples of the embodiment of FIG. 1, and show states before and after frequency adjustment, respectively.

【図４】（Ａ）は本発明による音片形振動ジャイロの他
の実施例を示す斜視図、（Ｂ）はその分解斜視図であ
る。FIG. 4A is a perspective view showing another embodiment of the vibrating gyroscope according to the present invention, and FIG. 4B is an exploded perspective view thereof.

【図５】（Ａ）、（Ｂ）は図４の実施例の周波数調整を
行った後の状態を示す斜視図である。FIGS. 5A and 5B are perspective views showing a state after the frequency adjustment of the embodiment of FIG. 4 is performed.

【図６】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）はそれぞれ本
発明の前提となる振動ジャイロの平面図、側面図、底面
図、正面図である。（Ｅ）はこれらの音片の等価回路
図、（Ｆ）は回路に付加したキャパシタを含めた等価回
路図である。FIGS. 6A, 6B, 6C, and 6D are a plan view, a side view, a bottom view, and a front view, respectively, of a vibrating gyroscope that is a premise of the present invention. (E) is an equivalent circuit diagram of these sound pieces, and (F) is an equivalent circuit diagram including a capacitor added to the circuit.

【図７】図６の音片形振動ジャイロの分解斜視図であ
る。FIG. 7 is an exploded perspective view of the vibrating gyroscope of FIG. 6;

【図８】図６の音片形振動ジャイロの斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of the vibrating gyroscope of FIG. 6;

【図９】図６〜図８の音片形振動ジャイロの動作原理の
説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of the operating principle of the vibrating gyroscope of FIGS. 6 to 8;

【図１０】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ図６〜図８の音片
形振動ジャイロの駆動回路例を示すブロック図である。FIGS. 10A and 10B are block diagrams each showing an example of a driving circuit of the vibrating gyroscope of FIGS. 6 to 8;

【図１１】（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ図６（Ａ）〜
（Ｄ）に対応させて描いた音片形振動ジャイロの他の例
を示す図、（Ｅ）〜（Ｈ）は図６（Ａ）〜（Ｄ）に対応
させて描いた音片形振動ジャイロの他の例を示す図であ
る。11A to 11D are FIGS. 6A to 6D, respectively.
FIGS. 6E to 6H show other examples of the vibrating gyro drawn in correspondence with FIG. 6D, and FIGS. 6E to 6D show the vibrating gyro drawn in correspondence with FIGS. It is a figure showing other examples of.

【図１２】（Ａ）〜（Ｅ）は図６〜図８の音片形振動ジ
ャイロの支持構造例を示す斜視図である。FIGS. 12A to 12E are perspective views showing examples of a support structure of the vibrating gyroscope of FIGS. 6 to 8;

【図１３】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれバランス調整のた
めの測定装置との結線を説明する図、（Ｃ）、（Ｄ）は
それぞれ周波数調整前、後の特性曲線図、（Ｅ）、
（Ｆ）はそれぞれ周波数調整を説明する振動片の斜視図
および正面図である。13A and 13B are diagrams for explaining connection with a measuring device for balance adjustment, respectively, and FIGS. 13C and 13D are characteristic curve diagrams before and after frequency adjustment, respectively, and FIG. ,
(F) is a perspective view and a front view of the resonator element for explaining the frequency adjustment, respectively.

【図１４】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれｆ_xモードとｆ_yモ
ードの周波数調整のための測定装置との結線を説明する
図、（Ｃ）、（Ｄ）はそれぞれ周波数調整前、後の特性
曲線図、（Ｅ）、（Ｆ）はそれぞれ周波数調整を説明す
る振動片の斜視図および正面図である。[14] (A), (B) diagram illustrating the connection between the measuring device for the frequency adjustment of the f _x mode and f _y mode, respectively, (C), (D), respectively the frequency adjustment before, after (E) and (F) are a perspective view and a front view, respectively, of a resonator element for explaining frequency adjustment.

【図１５】（Ａ）、（Ｂ）は音片形振動ジャイロの原理
を説明する図、（Ｃ）は従来の音片の例を示す正面図で
ある。FIGS. 15A and 15B are diagrams illustrating the principle of a vibrating gyroscope, and FIG. 15C is a front view showing an example of a conventional vibrating gyroscope.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１５、１６：圧電素子、１７〜２２：電極、２３：金属
板、２３ａ：突出部、２３ｂ：切欠部、２４：振動片、
２５〜２８：支持部、２９：基台への取付部、３０：支
持構造体、３１〜３４：リード線、３５、３６：電極、
３７、３８：リード線、３９：電極、４０：リード線、
４１Ａ、４１Ｂ、４２、４３：削除部15, 16: piezoelectric element, 17 to 22: electrode, 23: metal plate, 23a: projecting portion, 23b: cutout portion, 24: vibrating piece,
25 to 28: support portion, 29: mounting portion to base, 30: support structure, 31 to 34: lead wire, 35, 36: electrode,
37, 38: lead wire, 39: electrode, 40: lead wire,
41A, 41B, 42, 43: Deletion unit

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】略同一寸法の直方体をなす圧電セラミック
製の２つの圧電素子からなり、 該２つの圧電素子の長手方向の面同しを、金属板を挟ん
で接着することにより、長手方向に垂直な断面が略正方
形となる柱状振動片を構成し、 前記金属板の少なくとも一部の幅を、前記圧電素子の接
着面の幅より大きくして該幅を大きくした金属板の側部
を前記振動片の側面より突出させたことを特徴とする音
片形振動ジャイロ。1. A piezoelectric device comprising two piezoelectric elements made of piezoelectric ceramics having a rectangular parallelepiped having substantially the same dimensions, and the two piezoelectric elements are bonded in parallel in the longitudinal direction by sandwiching a metal plate therebetween. The vertical cross section constitutes a columnar vibrating piece having a substantially square shape, and the width of at least a part of the metal plate is larger than the width of the bonding surface of the piezoelectric element, and the side portion of the metal plate having the increased width is formed. A vibrating gyroscope in which the vibrating reed projects from the side of the vibrating reed. 【請求項２】略同一寸法の直方体をなす圧電セラミック
製の２つの圧電素子からなり、 該２つの圧電素子の長手方向の面同しを、金属板を挟ん
で接着することにより、長手方向に垂直な断面が略正方
形となる柱状振動片を構成し、 前記金属板の少なくとも一部の幅を、前記圧電素子の接
着面の幅より小さくしたことを特徴とする音片形振動ジ
ャイロ。2. A piezoelectric device comprising two piezoelectric elements made of piezoelectric ceramic having a rectangular parallelepiped having substantially the same dimensions, and the two piezoelectric elements are bonded in the longitudinal direction by sandwiching a metal plate therebetween. A vibrating gyroscope comprising a column-shaped vibrating reed having a substantially square vertical section, wherein at least a part of the width of the metal plate is smaller than a width of a bonding surface of the piezoelectric element. 【請求項３】請求項１または２において、 該金属板は、柱状振動片の略ノード点に対応する位置に
支持部を一体的に有することを特徴とする音片形振動ジ
ャイロ。3. The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the metal plate has a support unit integrally at a position corresponding to a substantially node point of the columnar vibrating reed. 【請求項４】請求項１から３までのいずれかにおいて、 前記２つの圧電素子は接着される面とこれに対向する面
に電極を有し、 前記２つの圧電素子の接着面に対向する面の少なくとも
一方の電極は、長手方向に２分割されていることを特徴
とする音片形振動ジャイロ。4. The piezoelectric element according to claim 1, wherein the two piezoelectric elements have electrodes on a surface to be bonded and a surface opposite to the bonded surface, and a surface facing the bonded surface of the two piezoelectric elements. Characterized in that at least one of the electrodes is divided into two in the longitudinal direction. 【請求項５】請求項１の音片形振動ジャイロの前記突出
部の少なくとも一部を除去することにより、周波数調整
を行うことを特徴とする音片形振動ジャイロの周波数調
整方法。5. A method for adjusting the frequency of a vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the frequency of the vibrating gyroscope is adjusted by removing at least a part of the protrusion. 【請求項６】請求項２の音片形振動ジャイロの前記金属
板の狭幅部分に対応する振動片側面部の一部を除去する
ことにより、周波数調整を行うことを特徴とする音片形
振動ジャイロの周波数調整方法。6. A vibrating reed-type vibrating gyroscope according to claim 2, wherein frequency adjustment is performed by removing a part of a vibrating reed side surface corresponding to a narrow portion of said metal plate. Gyro frequency adjustment method. 【請求項７】請求項６において、圧電素子の除去をレー
ザーにより行うことを特徴とする音片形振動ジャイロの
周波数調整方法。7. A method according to claim 6, wherein the piezoelectric element is removed by a laser.