JPH10188818A - プラズマディスプレイパネル - Google Patents
プラズマディスプレイパネルInfo
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- JPH10188818A JPH10188818A JP8358885A JP35888596A JPH10188818A JP H10188818 A JPH10188818 A JP H10188818A JP 8358885 A JP8358885 A JP 8358885A JP 35888596 A JP35888596 A JP 35888596A JP H10188818 A JPH10188818 A JP H10188818A
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- row electrodes
- molybdenum
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 良好な表示特性を有するプラズマディスプレ
イパネルを提供することを目的とする。 【解決手段】 放電空間を介して対向配置された一対の
基板の表示面側の基板の内面上に透明電極とそれに重な
る金属電極とからなる一対の行電極と、行電極対を被覆
する誘電体層とを有し、一対の基板の背面側の基板の内
面上に行電極対と交差する方向に配置された列電極と、
列電極を被覆する蛍光体層とを有するプラズマディスプ
レイパネルであって、金属電極をアルミニウムからなる
層と、アルミニウム合金又はモリブデンからなる層とを
含む多層構成としたことを特徴とする。また、誘電体層
が焼成時イオン導電性が高まるガラス材料で構成されて
いることを特徴とし、アルミニウムからなる層を誘電体
層側に配し、アルミニウム合金又はモリブデンからなる
層を透明導電層側に配したことを特徴とする。
イパネルを提供することを目的とする。 【解決手段】 放電空間を介して対向配置された一対の
基板の表示面側の基板の内面上に透明電極とそれに重な
る金属電極とからなる一対の行電極と、行電極対を被覆
する誘電体層とを有し、一対の基板の背面側の基板の内
面上に行電極対と交差する方向に配置された列電極と、
列電極を被覆する蛍光体層とを有するプラズマディスプ
レイパネルであって、金属電極をアルミニウムからなる
層と、アルミニウム合金又はモリブデンからなる層とを
含む多層構成としたことを特徴とする。また、誘電体層
が焼成時イオン導電性が高まるガラス材料で構成されて
いることを特徴とし、アルミニウムからなる層を誘電体
層側に配し、アルミニウム合金又はモリブデンからなる
層を透明導電層側に配したことを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マトリクス表示方
式の交流(AC)型のプラズマディスプレイパネル(P
DP)に関する。
式の交流(AC)型のプラズマディスプレイパネル(P
DP)に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、表示装置の大型化に伴い、薄型の
表示装置が要求され、各種の薄型の表示装置が提供され
ている。その1つにACPDPが知られている。図5
は、3電極構造の反射型ACPDPの構造を示す図であ
る。図5に示されるように放電空間7を介して対向配置
された一対のガラス基板1、2の表示面側のガラス基板
1の内面に互いに平行に隣接配置された一対の行電極
(維持電極)X、Y、行電極X、Yを覆う壁電荷形成用
の誘電体層5、誘電体層5を覆うMgOからなる保護層
6がそれぞれ設けられている。尚、行電極X、Yは、そ
れぞれ透明導電層からなる透明電極4とその導電性を補
うために積層された金属層からなるバス電極(金属電
極)3とから構成されている。
表示装置が要求され、各種の薄型の表示装置が提供され
ている。その1つにACPDPが知られている。図5
は、3電極構造の反射型ACPDPの構造を示す図であ
る。図5に示されるように放電空間7を介して対向配置
された一対のガラス基板1、2の表示面側のガラス基板
1の内面に互いに平行に隣接配置された一対の行電極
(維持電極)X、Y、行電極X、Yを覆う壁電荷形成用
の誘電体層5、誘電体層5を覆うMgOからなる保護層
6がそれぞれ設けられている。尚、行電極X、Yは、そ
れぞれ透明導電層からなる透明電極4とその導電性を補
うために積層された金属層からなるバス電極(金属電
極)3とから構成されている。
【0003】一方、背面側のガラス基板2の内面上に行
電極X、Yと交差する方向に設けられ、放電空間7を区
画する障壁10、各障壁10間のガラス基板2上に行電
極X、Yと交差する方向に配列された列電極(アドレス
電極)A、及び各列電極、障壁10の側面を覆う所定の
発光色の蛍光体層8がそれぞれ設けられている。そし
て、放電空間7にはネオンに少量のキセノンを混合した
放電ガスが封入されている。上記の列電極及び行電極対
の各交点において放電セル(画素)が形成される。
電極X、Yと交差する方向に設けられ、放電空間7を区
画する障壁10、各障壁10間のガラス基板2上に行電
極X、Yと交差する方向に配列された列電極(アドレス
電極)A、及び各列電極、障壁10の側面を覆う所定の
発光色の蛍光体層8がそれぞれ設けられている。そし
て、放電空間7にはネオンに少量のキセノンを混合した
放電ガスが封入されている。上記の列電極及び行電極対
の各交点において放電セル(画素)が形成される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のPDPでは、抵
抗率が大きい透明電極の導電性を補うために金属層から
なるバス電極を積層して行電極の配線抵抗を低減してい
る。バス電極としてはアルミニウムなどの抵抗率の低い
金属が用いられる。しかしながら、バス電極をアルミニ
ウムで構成しても、誘電体層などの焼成工程により、そ
の抵抗率が上昇し、配線抵抗により電圧降下が生じて表
示特性を悪化させることになる。
抗率が大きい透明電極の導電性を補うために金属層から
なるバス電極を積層して行電極の配線抵抗を低減してい
る。バス電極としてはアルミニウムなどの抵抗率の低い
金属が用いられる。しかしながら、バス電極をアルミニ
ウムで構成しても、誘電体層などの焼成工程により、そ
の抵抗率が上昇し、配線抵抗により電圧降下が生じて表
示特性を悪化させることになる。
【0005】また、セルの容量を小さくして放電電流を
低減するために比誘電率の低い例えばアルカリ系ガラス
で誘電体層を構成することが考えられるが、アルカリ系
ガラスは、焼成時イオン導電性が高まるために透明電
極、アルカリ系ガラス及びアルミニウムからなるバス電
極により局部電池系が構成され、結果として透明電極を
変色させてその透過率が低下する。本発明は、上記の問
題を解決するためになされたものであり、良好な表示特
性を有するプラズマディスプレイパネルを提供すること
を目的とする。
低減するために比誘電率の低い例えばアルカリ系ガラス
で誘電体層を構成することが考えられるが、アルカリ系
ガラスは、焼成時イオン導電性が高まるために透明電
極、アルカリ系ガラス及びアルミニウムからなるバス電
極により局部電池系が構成され、結果として透明電極を
変色させてその透過率が低下する。本発明は、上記の問
題を解決するためになされたものであり、良好な表示特
性を有するプラズマディスプレイパネルを提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による請求項1に
記載のプラズマディスプレイパネルは、放電空間を介し
て対向配置された一対の基板の表示面側の基板の内面上
に透明電極とそれに重なる金属電極とからなる一対の行
電極と、行電極対を被覆する誘電体層とを有し、一対の
基板の背面側の基板の内面上に行電極対と交差する方向
に配置された列電極と、列電極を被覆する蛍光体層とを
有するプラズマディスプレイパネルであって、金属電極
をアルミニウムからなる層と、アルミニウム合金又はモ
リブデンからなる層とを含む多層構成としたことを特徴
とする。
記載のプラズマディスプレイパネルは、放電空間を介し
て対向配置された一対の基板の表示面側の基板の内面上
に透明電極とそれに重なる金属電極とからなる一対の行
電極と、行電極対を被覆する誘電体層とを有し、一対の
基板の背面側の基板の内面上に行電極対と交差する方向
に配置された列電極と、列電極を被覆する蛍光体層とを
有するプラズマディスプレイパネルであって、金属電極
をアルミニウムからなる層と、アルミニウム合金又はモ
リブデンからなる層とを含む多層構成としたことを特徴
とする。
【0007】また、請求項2に記載の発明は、請求項1
記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、誘電体層
は、焼成時イオン導電性が高まるガラス材料で構成され
ていることを特徴とする。また、請求項3に記載の発明
は、請求項1又は2記載のプラズマディスプレイパネル
において、アルミニウムからなる層を誘電体層側に配
し、アルミニウム合金又はモリブデンからなる層を透明
導電層側に配したことを特徴とする。
記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、誘電体層
は、焼成時イオン導電性が高まるガラス材料で構成され
ていることを特徴とする。また、請求項3に記載の発明
は、請求項1又は2記載のプラズマディスプレイパネル
において、アルミニウムからなる層を誘電体層側に配
し、アルミニウム合金又はモリブデンからなる層を透明
導電層側に配したことを特徴とする。
【0008】また、請求項4に記載の発明は、請求項1
乃至3のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、アルミニウム合金は、5〜50原子%のモ
リブデンを含むアルミニウム合金からなることを特徴と
する。
乃至3のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、アルミニウム合金は、5〜50原子%のモ
リブデンを含むアルミニウム合金からなることを特徴と
する。
【0009】
【作用】本発明によれば、焼成工程によるバス電極の抵
抗率の上昇を防止するとともに透明電極の変色を抑制す
ることができる。
抗率の上昇を防止するとともに透明電極の変色を抑制す
ることができる。
【0010】
(第1の実施の形態)図1は、本発明の第1の実施の形
態に係るPDPの構成を示す断面図である。PDP11
は、マトリクス表示の画素(放電セル)に一対の行電極
X、Yと列電極Aとが対応する3電極構造を有し、蛍光
体の配置関係による分類上で反射型と呼称される面放電
型のACPDPである。
態に係るPDPの構成を示す断面図である。PDP11
は、マトリクス表示の画素(放電セル)に一対の行電極
X、Yと列電極Aとが対応する3電極構造を有し、蛍光
体の配置関係による分類上で反射型と呼称される面放電
型のACPDPである。
【0011】図1において、放電空間7を介して対向配
置された一対のガラス基板1、2の表示面側のガラス基
板1の内面に互いに平行に隣接配置された一対の行電極
X,Y、行電極X,Yを覆う壁電荷形成用の誘電体層
5、誘電体層5を覆うMgOからなる保護層6がそれぞ
れ設けられている。尚、行電極X、Yは、それぞれ透明
導電層からなる透明電極4とその導電性を補うために積
層された金属層からなる金属電極3とから構成されてい
る。
置された一対のガラス基板1、2の表示面側のガラス基
板1の内面に互いに平行に隣接配置された一対の行電極
X,Y、行電極X,Yを覆う壁電荷形成用の誘電体層
5、誘電体層5を覆うMgOからなる保護層6がそれぞ
れ設けられている。尚、行電極X、Yは、それぞれ透明
導電層からなる透明電極4とその導電性を補うために積
層された金属層からなる金属電極3とから構成されてい
る。
【0012】また、金属電極3は透明電極4側に形成さ
れる所定量のモリブデンを含むアルミニウム合金からな
る層3aと、誘電体層5側に形成されるアルミニウムか
らなる層3bとを含む多層(2層)構成で構成されてい
る。
れる所定量のモリブデンを含むアルミニウム合金からな
る層3aと、誘電体層5側に形成されるアルミニウムか
らなる層3bとを含む多層(2層)構成で構成されてい
る。
【0013】一方、背面側のガラス基板2の内面上に行
電極X、Yと交差する方向に設けられ、放電空間7を区
画する障壁10、各障壁10間のガラス基板2上に行電
極X、Yと交差する方向に配列された列電極A、及び各
列電極、障壁10の側面を覆う所定の発光色の蛍光体層
8がそれぞれ設けられている。そして、放電空間7には
ネオンに少量のキセノンを混合した放電ガスが封入され
ている。上記の列電極及び行電極対の各交点において放
電セル(画素)が形成される。
電極X、Yと交差する方向に設けられ、放電空間7を区
画する障壁10、各障壁10間のガラス基板2上に行電
極X、Yと交差する方向に配列された列電極A、及び各
列電極、障壁10の側面を覆う所定の発光色の蛍光体層
8がそれぞれ設けられている。そして、放電空間7には
ネオンに少量のキセノンを混合した放電ガスが封入され
ている。上記の列電極及び行電極対の各交点において放
電セル(画素)が形成される。
【0014】図1のPDPにおいて、図5のPDPとの
構造上の相違点は金属電極3を、透明電極4側に形成さ
れる所定量のモリブデンを含むアルミニウム合金からな
る層3aと、誘電体層5側に形成されるアルミニウムか
らなる層3bとを含む多層(2層)構成とした点にあ
る。
構造上の相違点は金属電極3を、透明電極4側に形成さ
れる所定量のモリブデンを含むアルミニウム合金からな
る層3aと、誘電体層5側に形成されるアルミニウムか
らなる層3bとを含む多層(2層)構成とした点にあ
る。
【0015】尚、上述の誘電体層5は、軟化点が650
℃以下の酸化鉛を含むガラスまたは軟化点が650℃以
下でかつ比誘電率が8以下の酸化ナトリウム及び酸化ホ
ウ素を含むアルカリ系ガラスを500〜600℃程度の
温度で焼成することにより形成されている。
℃以下の酸化鉛を含むガラスまたは軟化点が650℃以
下でかつ比誘電率が8以下の酸化ナトリウム及び酸化ホ
ウ素を含むアルカリ系ガラスを500〜600℃程度の
温度で焼成することにより形成されている。
【0016】上記の構成のPDPにおいて、モリブデン
を含むアルミニウム合金からなる層3aのモリブデンの
含有量を0〜60原子%の間で変化させた各試料を作製
し、各試料について誘電体層5の焼成前と焼成後の行電
極X、Yの抵抗率を測定しその変化率(焼成後の抵抗率
を焼成前の抵抗率を割った値)を測定した。その結果を
図4のaに示す。
を含むアルミニウム合金からなる層3aのモリブデンの
含有量を0〜60原子%の間で変化させた各試料を作製
し、各試料について誘電体層5の焼成前と焼成後の行電
極X、Yの抵抗率を測定しその変化率(焼成後の抵抗率
を焼成前の抵抗率を割った値)を測定した。その結果を
図4のaに示す。
【0017】(第2の実施の形態)図2は本発明の第2
の実施の形態に係るPDPの構成を示す断面図である。
図2のPDPにおいて、図1のPDPとの構造上の相違
点は金属電極3を、透明電極4側から順にアルミニウム
からなる層3bと、所定量のモリブデンを含むアルミニ
ウム合金からなる層3aと、アルミニウムからなる層3
bを含む多層(3層)構成とした点にある。
の実施の形態に係るPDPの構成を示す断面図である。
図2のPDPにおいて、図1のPDPとの構造上の相違
点は金属電極3を、透明電極4側から順にアルミニウム
からなる層3bと、所定量のモリブデンを含むアルミニ
ウム合金からなる層3aと、アルミニウムからなる層3
bを含む多層(3層)構成とした点にある。
【0018】第1の実施の形態の場合と同様に上記の構
成のPDPにおいて、モリブデンを含むアルミニウム合
金からなる層3aのモリブデンの含有量を0〜60原子
%の間で変化させた各試料を作製し、各試料について誘
電体層5の焼成前と焼成後の行電極X、Yの抵抗率を測
定しその変化率(焼成後の抵抗率を焼成前の抵抗率を割
った値)を測定した。その結果を図4のbに示す。
成のPDPにおいて、モリブデンを含むアルミニウム合
金からなる層3aのモリブデンの含有量を0〜60原子
%の間で変化させた各試料を作製し、各試料について誘
電体層5の焼成前と焼成後の行電極X、Yの抵抗率を測
定しその変化率(焼成後の抵抗率を焼成前の抵抗率を割
った値)を測定した。その結果を図4のbに示す。
【0019】(第3の実施の形態)図3は本発明の第3
の実施の形態に係るPDPの構成を示す断面図である。
図3のPDPにおいて、図1のPDPとの構造上の相違
点は金属電極3を、透明電極4側に形成されたアルミニ
ウムからなる層3bと、誘電体層5側に形成され所定量
のモリブデンを含むアルミニウム合金からなる層3aと
を含む多層(2層)構成とした点にある。
の実施の形態に係るPDPの構成を示す断面図である。
図3のPDPにおいて、図1のPDPとの構造上の相違
点は金属電極3を、透明電極4側に形成されたアルミニ
ウムからなる層3bと、誘電体層5側に形成され所定量
のモリブデンを含むアルミニウム合金からなる層3aと
を含む多層(2層)構成とした点にある。
【0020】第1の実施の形態の場合と同様に上記の構
成のPDPにおいて、モリブデンを含むアルミニウム合
金からなる層3aのモリブデンの含有量を0〜60原子
%の間で変化させた各試料を作製し、各試料について誘
電体層5の焼成前と焼成後の行電極X、Yの抵抗率を測
定しその変化率(焼成後の抵抗率を焼成前の抵抗率を割
った値)を測定した。その結果を図4のcに示す。
成のPDPにおいて、モリブデンを含むアルミニウム合
金からなる層3aのモリブデンの含有量を0〜60原子
%の間で変化させた各試料を作製し、各試料について誘
電体層5の焼成前と焼成後の行電極X、Yの抵抗率を測
定しその変化率(焼成後の抵抗率を焼成前の抵抗率を割
った値)を測定した。その結果を図4のcに示す。
【0021】図4から分かるように、モリブデンの含有
量を0にした、すなわちアルミニウム単層の金属電極で
は、誘電体層の焼成によって抵抗率が1.4倍程度上昇
するが、モリブデンの含有量を増やしていくに従って変
化率が減少していく。
量を0にした、すなわちアルミニウム単層の金属電極で
は、誘電体層の焼成によって抵抗率が1.4倍程度上昇
するが、モリブデンの含有量を増やしていくに従って変
化率が減少していく。
【0022】すなわち、モリブデンの含有量を5原子%
以上(5原子%〜50原子%)、より好ましくは10原
子%以上(10原子%〜50原子%)とすることによ
り、誘電体層の焼成前と焼成後の抵抗率の変化率を減少
させ、抵抗率の上昇を抑制することができる。従って、
配線抵抗による電圧降下を抑制し表示特性を良好に保つ
ことができる。
以上(5原子%〜50原子%)、より好ましくは10原
子%以上(10原子%〜50原子%)とすることによ
り、誘電体層の焼成前と焼成後の抵抗率の変化率を減少
させ、抵抗率の上昇を抑制することができる。従って、
配線抵抗による電圧降下を抑制し表示特性を良好に保つ
ことができる。
【0023】また、各実施の形態において、焼成後の透
明電極の変色状態を観察したところ、金属電極をアルミ
ニウム単層とした場合に比して透明電極の変色が抑制さ
れていることが確認された。
明電極の変色状態を観察したところ、金属電極をアルミ
ニウム単層とした場合に比して透明電極の変色が抑制さ
れていることが確認された。
【0024】尚、上述した各実施の形態では、多層構成
の金属電極のアルミニウムからなる層以外の金属層を所
定量のモリブデンを含有するアルミニウム合金で構成し
たが、このアルミニウム−モリブデン合金に替えて、モ
リブデンからなる層、または、アルミニウムを主体と
し、マンガンが0.1〜50原子%、ネオジウムが0.
1〜50原子%、ホウ素が0.01〜10原子%、チタ
ンが0.01〜10原子%、銅が0.1〜10原子%の
範囲でこれら1種以上含有したアルミニウム合金とする
場合においても同様な効果が得られた。
の金属電極のアルミニウムからなる層以外の金属層を所
定量のモリブデンを含有するアルミニウム合金で構成し
たが、このアルミニウム−モリブデン合金に替えて、モ
リブデンからなる層、または、アルミニウムを主体と
し、マンガンが0.1〜50原子%、ネオジウムが0.
1〜50原子%、ホウ素が0.01〜10原子%、チタ
ンが0.01〜10原子%、銅が0.1〜10原子%の
範囲でこれら1種以上含有したアルミニウム合金とする
場合においても同様な効果が得られた。
【0025】
【発明の効果】上述したように、本発明によるPDPで
は、透明電極に重なる金属電極をアルミニウムからなる
層と、アルミニウム合金又はモリブデンからなる層とを
含む多層構成としたので、製造工程における抵抗率の上
昇を抑えることができ、その結果、配線抵抗により電圧
降下で表示特性を悪化することを防止できる。
は、透明電極に重なる金属電極をアルミニウムからなる
層と、アルミニウム合金又はモリブデンからなる層とを
含む多層構成としたので、製造工程における抵抗率の上
昇を抑えることができ、その結果、配線抵抗により電圧
降下で表示特性を悪化することを防止できる。
【0026】また、誘電体層が焼成時イオン導電性が高
まるガラス材料で構成し、アルミニウムからなる層を誘
電体層側に配し、アルミニウム合金又はモリブデンから
なる層を透明導電層側に配したことにより局部電池系の
発生を防止でき、従って透明電極の変色による透過率の
低下を防止することができる。
まるガラス材料で構成し、アルミニウムからなる層を誘
電体層側に配し、アルミニウム合金又はモリブデンから
なる層を透明導電層側に配したことにより局部電池系の
発生を防止でき、従って透明電極の変色による透過率の
低下を防止することができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態によるPDPの構造
を示す図である。
を示す図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態によるPDPの構造
を示す図である。
を示す図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態によるPDPの構造
を示す図である。
を示す図である。
【図4】本発明のPDPのモリブデンの含有量に対する
抵抗率の変化率を示すグラフである。
抵抗率の変化率を示すグラフである。
【図5】従来のPDPの構造を示す図である。
1,2 ・・・・・ ガラス基板 3 ・・・・・ バス電極(金属電極) 4 ・・・・・ 透明電極 5 ・・・・・ 誘電体層 6 ・・・・・ 保護層 7 ・・・・・ 放電空間 8 ・・・・・ 蛍光体層 10 ・・・・・ 障壁 11 ・・・・・ PDP X,Y ・・・・・ 行電極(維持電極) A ・・・・・ 列電極(アドレス電極)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小牧 俊裕 山梨県中巨摩郡田富町西花輪2680番地 パ イオニア株式会社甲府プラズマパネルセン ター内
Claims (4)
- 【請求項1】 放電空間を介して対向配置された一対の
基板の表示面側の基板の内面上に透明電極とそれに重な
る金属電極とからなる一対の行電極と、 前記行電極対を被覆する誘電体層とを有し、前記一対の
基板の背面側の基板の内面上に前記行電極対と交差する
方向に配置された列電極と、 前記列電極を被覆する蛍光体層とを有するプラズマディ
スプレイパネルであって、 前記金属電極をアルミニウムからなる層と、 アルミニウム合金又はモリブデンからなる層とを含む多
層構成としたことを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネル。 - 【請求項2】 前記誘電体層は、焼成時イオン導電性が
高まるガラス材料で構成されていることを特徴とする請
求項1記載のプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項3】 前記アルミニウムからなる層を前記誘電
体層側に配し、 前記アルミニウム合金又はモリブデンからなる層を前記
透明導電層側に配したことを特徴とする請求項1又は2
記載のプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項4】 前記アルミニウム合金は、5〜50原子
%のモリブデンを含むアルミニウム合金からなることを
特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載のプラズ
マディスプレイパネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8358885A JPH10188818A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | プラズマディスプレイパネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8358885A JPH10188818A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | プラズマディスプレイパネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10188818A true JPH10188818A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18461607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8358885A Pending JPH10188818A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | プラズマディスプレイパネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10188818A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004505411A (ja) * | 2000-07-21 | 2004-02-19 | トムソン プラスマ | 導電性材料で作られた電極を設けたガラスプレート |
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