JPH10180602A - Double grinding device for disklike sheet workpiece - Google Patents
Double grinding device for disklike sheet workpieceInfo
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- JPH10180602A JPH10180602A JP34197196A JP34197196A JPH10180602A JP H10180602 A JPH10180602 A JP H10180602A JP 34197196 A JP34197196 A JP 34197196A JP 34197196 A JP34197196 A JP 34197196A JP H10180602 A JPH10180602 A JP H10180602A
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、薄板円板状ワー
クの両面研削装置、さらに詳しくは、たとえば半導体ウ
ェーハなどのような薄板円板状ワークの両面を同時に研
削する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for grinding both sides of a thin disk-shaped work, and more particularly to an apparatus for simultaneously grinding both sides of a thin disk-shaped work such as a semiconductor wafer.
【0002】[0002]
【従来の技術】円板状ワークの両面を同時に研削する装
置として、端面の研削面同志が対向するように配置され
て回転する1対の研削砥石の間に、回転する円板状のキ
ャリヤのポケットに入れたワークを通すものが従来から
知られている。この場合、研削砥石の研削面の外径(直
径)は、ワークの外径より大きくなくてはならない。ま
た、キャリヤには、通常、外周寄りの円周上に複数のポ
ケットが等間隔をおいて形成されており、キャリヤの一
部もウェーハとともに1対の研削砥石の間に入るが、こ
の部分のキャリヤの厚さは、もちろん、研削時の1対の
砥石の間隔すなわちワークの仕上がり厚さより小さくな
くてはならない。2. Description of the Related Art As a device for simultaneously grinding both surfaces of a disk-shaped work, a rotating disk-shaped carrier is interposed between a pair of rotating grinding wheels arranged such that the grinding surfaces of the end surfaces face each other. It is conventionally known to pass a work in a pocket. In this case, the outer diameter (diameter) of the grinding surface of the grinding wheel must be larger than the outer diameter of the work. In addition, a plurality of pockets are usually formed on the carrier at equal intervals on a circumference close to the outer periphery, and a part of the carrier also enters between the pair of grinding wheels together with the wafer. The thickness of the carrier must, of course, be smaller than the distance between the pair of grinding wheels during grinding, ie, the finished thickness of the workpiece.
【0003】ところで、現在用いられている半導体ウェ
ーハには外径が約200mm(8インチ)のものと約3
00mm(12インチ)のものがあるが、いずれも厚さ
(研削仕上がり寸法)は0.8mm程度であり、外径に
比べて厚さがきわめて薄いものである。このようなウェ
ーハを上記のような装置で研削する場合、ウェーハの外
径が比較的大きいため、砥石の外径が大きくなり、ウェ
ーハを収容して回転するキャリヤも大きくなる。このた
め、装置が大型になる。また、ウェーハの厚さが薄いた
め、ウェーハとともに研削砥石の間に入るキャリヤの部
分を非常に薄くする必要がある。研削砥石の間に入るキ
ャリヤのとくにポケットの部分には、これに収容されて
いるワークを介して研削力が作用するが、この部分を薄
くすると強度が低下し、ワークを円滑に移動させること
が困難になる。このため、従来は、ウェーハの両面研削
は困難であった。Incidentally, currently used semiconductor wafers have an outer diameter of about 200 mm (8 inches) and about 3 mm.
There is one with a thickness of 00 mm (12 inches), but the thickness (finished dimensions) is about 0.8 mm, and the thickness is extremely thin as compared with the outer diameter. When such a wafer is ground by the above-described apparatus, the outer diameter of the wafer is relatively large, so that the outer diameter of the grindstone increases, and the carrier that accommodates and rotates the wafer also increases. For this reason, the device becomes large. Further, since the thickness of the wafer is small, it is necessary to make the portion of the carrier between the grinding wheel and the wafer extremely thin. Grinding force acts on the part of the carrier, especially the pocket, that enters between the grinding wheels through the work contained in it, but when this part is made thinner, the strength decreases and the work can be moved smoothly. It becomes difficult. For this reason, it was conventionally difficult to grind both sides of the wafer.
【0004】ウェーハ以外の薄板円板状のワークの場合
にも、同様の問題がある。[0004] A similar problem also occurs in the case of a thin disk-shaped work other than a wafer.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、薄
板円板状ワークの両面を同時にかつ容易に研削でき、し
かも小型化が可能な装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an apparatus which can simultaneously and easily grind both surfaces of a thin disk-shaped work and can reduce the size.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による装置は、端面の円形研削面同志が対向するとと
もに軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転
させられる1対の研削砥石と、薄板円板状ワークの両面
の加工面が前記1対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向
するとともに前記ワークの外周の一部および中心が前記
研削面の外周の内側に位置するように前記ワークを前記
研削面の間の研削加工位置に支持して自転させるための
ワーク自転手段とを備えており、前記ワーク自転手段
が、前記ワークの径方向の位置を規制する径方向支持手
段と、前記ワークの軸方向の位置を規制する軸方向支持
手段とを備え、前記径方向支持手段が、前記研削砥石の
間から外に出ている前記ワークの外周に接触して回転す
る少なくとも3個のガイドローラを備え、前記軸方向支
持手段が、前記研削砥石の間から外に出ている前記ワー
クの加工面の2箇所に接触して移動することにより前記
ワークを自転させる1対の駆動ベルトと、前記ワークを
前記各駆動ベルトとの間に挟むように前記駆動ベルトの
反対側から前記ワークの加工面に圧接する押えローラと
を備えていることを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION An apparatus according to the present invention comprises a pair of grinding wheels which are arranged and rotated so that circular grinding surfaces on end faces thereof are opposed to each other and relatively movable in an axial direction. Grinding stone and the processing surfaces on both surfaces of the thin disk-shaped work are respectively opposed to the grinding surfaces of the pair of grinding whetstones, and a part and the center of the outer periphery of the work are located inside the outer periphery of the grinding surface. Work rotation means for rotating the work while supporting the work at a grinding position between the grinding surfaces, the work rotation means, a radial support means for regulating the radial position of the work, An axial support means for regulating an axial position of the work, wherein at least three of the radial support means rotate in contact with the outer periphery of the work protruding outside from between the grinding wheels. of A pair of drive belts comprising an id roller, wherein the axial support means rotates by rotating the work by contacting and moving at two places on a processing surface of the work which is out of between the grinding wheels, A press roller is provided, which presses the workpiece to a processing surface of the workpiece from the opposite side of the drive belt so as to sandwich the workpiece between the drive belts.
【0007】ワークは、その外周の一部および中心が研
削面の外周の内側に位置するように、ワーク自転手段の
径方向支持手段および軸方向支持手段により研削加工位
置に支持されて、自転させられ、1対の研削砥石が、そ
れぞれの研削面をワークの各加工面に接触させた状態
で、回転させられる。研削砥石が回転することにより、
それらの研削面に接触しているワークの加工面が研削さ
れ、ワークが外周の一部および中心を研削面の外周の内
側に位置させた状態で自転することにより、ワークが1
回転する間に、ワークの加工面の全面が研削面の間を通
過して、研削面に接触する。このため、ワークの半径よ
り研削面の外径が少し大きい研削砥石を用いて、ワーク
をその場で自転させるだけで、その両面の加工面の全面
を同時に研削することができる。ワークをその場で自転
させるだけでよく、従来のようにキャリヤなどを用いて
移動させる必要がないため、薄板円板状のワークであっ
ても容易にかつ確実に研削ができ、しかも装置の小型化
が可能である。また、ワークの半径より研削面の外径が
少し大きい研削砥石を用いてワークの加工面全体を研削
することができ、ワークの外径より研削面の外径が大き
い大型の砥石を用いる必要がないため、この点からも、
装置の小型化が可能である。The work is supported at the grinding position by the radial support means and the axial support means of the work rotating means so that a part and the center of the outer circumference are located inside the outer circumference of the grinding surface, and the work is rotated. And a pair of grinding wheels are rotated with their respective grinding surfaces in contact with the respective processing surfaces of the work. By rotating the grinding wheel,
The work surface of the workpiece that is in contact with the ground surface is ground, and the workpiece rotates by itself while a part of the outer periphery and the center are positioned inside the outer periphery of the ground surface.
During rotation, the entire work surface of the workpiece passes between the grinding surfaces and comes into contact with the grinding surface. For this reason, it is possible to simultaneously grind the entire surface of both surfaces by simply rotating the work on the spot using a grinding wheel whose outer diameter is slightly larger than the radius of the work. It is only necessary to rotate the work on the spot, and it is not necessary to move it using a carrier as in the past.Thus, even a thin disk-shaped work can be easily and reliably ground, and the size of the device is small. Is possible. In addition, the entire processing surface of the work can be ground using a grinding wheel whose outer diameter of the grinding surface is slightly larger than the radius of the work, and it is necessary to use a large grinding wheel whose outer diameter of the grinding surface is larger than the outer diameter of the work. Because there is no, from this point,
The size of the device can be reduced.
【0008】しかも、径方向支持手段および軸方向支持
手段を構成する少数のローラと1対の駆動ベルトだけ
で、確実にワークを支持して自転させることができ、装
置の構成の簡素化および小型化が可能である。Furthermore, the work can be reliably supported and rotated by only a small number of rollers constituting the radial support means and the axial support means and a pair of drive belts, thereby simplifying the structure of the apparatus and reducing the size of the apparatus. Is possible.
【0009】したがって、この発明の装置によれば、薄
板円板状ワークの両面を同時に、容易にかつ確実に研削
でき、しかも装置の構成の簡素化および小型化が可能で
ある。Therefore, according to the apparatus of the present invention, both sides of the thin disk-shaped work can be simultaneously and easily and reliably ground, and the structure of the apparatus can be simplified and downsized.
【0010】たとえば、前記1対の駆動ベルトが、前記
ワークに接触するワーク支持部の面が上向きになるよう
に互いに平行に配置され、前記1対の駆動ローラの駆動
状態が、前記ワーク支持部が互いに同じ搬入方向に移動
してその上に載ったワークを前記研削加工位置に搬入す
るワーク搬入状態と、前記ワーク支持部が互いに同じ搬
出方向に移動してその上に載ったワークを前記研削加工
位置から搬出するワーク搬出状態と、前記ワーク支持部
が互いに逆方向に移動してその上に載ったワークを自転
させるワーク自転状態とに切替えられるようになされ、
前記押えローラが、前記駆動ベルト上の前記ワークより
上方に離れた待機位置と、前記駆動ベルト上の前記ワー
クに圧接する作動位置との間を昇降するようになされ、
前記軸方向支持手段が、前記ワーク搬入状態の前記1対
の駆動ベルトにより移動させられてきた前記ワークの移
動方向前側の部分の外周に当接してこれを停止させる少
なくとも2個の固定ガイドローラと、前記固定ガイドロ
ーラにより停止させられている前記ワークの移動方向後
側の部分の外周に当接する少なくとも1個の可動ガイド
ローラとを備え、前記可動ガイドローラが、前記駆動ベ
ルト上の前記ワークより上方に離れた待機位置と、前記
駆動ベルト上の前記ワークの外周に接触する作動位置と
の間を昇降するようになされている。[0010] For example, the pair of drive belts are arranged in parallel with each other so that the surface of a work supporting portion in contact with the work faces upward, and the driving state of the pair of drive rollers is controlled by the work supporting portion. Are moved in the same carry-in direction to each other and carry the work placed thereon to the grinding position, and the work supporting portion moves in the same carry-out direction to carry the work placed thereon. A work unloading state in which the work is unloaded from the processing position, and a work rotation state in which the work support unit moves in the opposite direction to each other and rotates the work mounted thereon is rotated,
The press roller is configured to move up and down between a standby position on the drive belt that is separated from the work above the work, and an operation position on the drive belt that is pressed against the work,
At least two fixed guide rollers, wherein the axial support means abuts against and stops the outer periphery of the front portion in the moving direction of the workpiece moved by the pair of drive belts in the workpiece carrying state; At least one movable guide roller that abuts on the outer periphery of a portion of the work in the movement direction rear side stopped by the fixed guide roller, wherein the movable guide roller is more than the work on the drive belt. The apparatus moves up and down between a standby position separated upward and an operation position in contact with the outer periphery of the work on the drive belt.
【0011】このようにすれば、駆動ベルトの上向きの
ワーク支持部の面にワークを載せるだけで、後は、駆動
ベルトのワーク支持部により、ワークを研削加工位置に
搬入し、その位置でワークを自転させて研削加工を行
い、研削の終了したワークを研削加工位置から搬出する
ことができる。そして、ワークを自転させるための駆動
ベルトでワークの搬入、搬出もできることにより、装置
の構成の簡素化および小型化が可能である。With this configuration, the work is simply placed on the surface of the upwardly directed work support portion of the drive belt, and thereafter, the work is carried into the grinding position by the work support portion of the drive belt, and the work is then moved to that position. Can be rotated to perform the grinding process, and the finished workpiece can be carried out from the grinding position. Since the work can be loaded and unloaded by the drive belt for rotating the work, the configuration of the apparatus can be simplified and downsized.
【0012】この場合、たとえば、前記1対の駆動ベル
トの前記ワーク支持部が、その下に配置されたガイド部
材により案内されている。In this case, for example, the work supporting portions of the pair of drive belts are guided by a guide member disposed therebelow.
【0013】このようにすれば、押えローラの圧接力を
ガイド部材によって受けることができ、駆動ベルトが変
形することがないため、ワークを軸方向の一定位置に確
実に支持することができる。With this configuration, the pressing force of the pressing roller can be received by the guide member, and the drive belt is not deformed, so that the work can be reliably supported at a fixed position in the axial direction.
【0014】上記の場合、たとえば、前記押えローラと
前記可動ガイドローラとが、同一の昇降部材に取付けら
れ、互いに同期して昇降するようになされているこのよ
うにすれば、1つの昇降部材だけで押えローラと可動ガ
イドローラを同時に昇降させることができ、装置の構成
および操作の簡素化ならびに小型化が可能である。In the above case, for example, the pressing roller and the movable guide roller are mounted on the same elevating member so as to move up and down in synchronization with each other. In this case, only one elevating member is provided. The lifting roller and the movable guide roller can be raised and lowered at the same time, and the configuration and operation of the apparatus can be simplified and downsized.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
を半導体ウェーハの両面研削に適用した実施形態につい
て説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the present invention is applied to double-side grinding of a semiconductor wafer will be described below with reference to the drawings.
【0016】図1〜図3は第1実施形態を示し、図1は
両面研削装置の全体構成を示している。第1実施形態
は、位置決め用平坦部が形成されていないワークを対象
とするものである。両面研削装置は縦軸両頭平面研削盤
(1) にワーク自転手段としてのワーク自転装置(2) が付
加されたものであり、自転装置(2) の詳細が図2および
図3に示されている。この実施形態の説明において、図
1の左側を前、右側を後とし、前から後を見たときの左
右を左右とする。1 to 3 show a first embodiment, and FIG. 1 shows the entire configuration of a double-side grinding device. The first embodiment is directed to a work on which a positioning flat portion is not formed. Double-sided grinding machine is a vertical double-sided surface grinding machine
A work rotation device (2) as work rotation means is added to (1), and details of the rotation device (2) are shown in FIGS. 2 and 3. In the description of this embodiment, the left side of FIG. 1 is the front, the right side is the rear, and the left and right when viewed from the front is the left and right.
【0017】研削盤(1) は、床(A) に固定された水平な
ベース(3) 、ベース(3) の後部から鉛直上方にのびるコ
ラム(4) 、コラム(4) の前面に取付けられた上下のスラ
イド(5)(6)、および各スライド(5)(6)の前面に固定され
た上下の砥石ヘッド(7)(8)を備えている。各スライド
(5)(6)は、図示しない適当な駆動手段により、互いに独
立してコラム(4) に沿って上下方向に移動させられるよ
うになっている。上下の砥石ヘッド(7)(8)に、それぞ
れ、鉛直な砥石軸(10)(11)が回転支持されている。上下
の砥石軸(10)(11)の軸心は、1つの共通の鉛直線上にあ
る。上側砥石ヘッド(7) の下面より下方に突出した上側
砥石軸(10)の下端部にカップ状の上側研削砥石(12)が固
定され、下側砥石ヘッド(8) の上面より上方に突出した
下側砥石軸(11)の上端部にこれと同形状、同寸法の下側
研削砥石(13)が固定される。上側砥石(12)の環状の水平
下端面は上側円形研削面(12a) 、下側砥石(13)の環状の
水平上端面は下側円形研削面(13a) となっており、上下
の研削面(12a)(13a)が互いに平行な状態で対向してい
る。この実施形態の場合、各砥石(12)(13)の外周と各研
削面(12a)(13a)の外周は一致している。上下のスライド
(5)(6)の少なくともいずれか一方が上下方向に移動する
ことにより、上下の砥石(12)(13)が上下方向すなわち軸
方向に相対移動する。上下の砥石軸(10)(11)は、図示し
ない適当な駆動手段により、互いに逆方向に同速度で回
転させられ、その結果、上下の砥石(12)(13)が互いに逆
方向に同速度で回転させられる。研削盤(1) の他の部分
は、公知の縦軸両頭平面研削盤と同様に構成することが
できる。The grinding machine (1) is mounted on a horizontal base (3) fixed to the floor (A), a column (4) extending vertically upward from the rear of the base (3), and a front surface of the column (4). It has upper and lower slides (5) and (6) and upper and lower whetstone heads (7) and (8) fixed to the front surface of each slide (5) and (6). Each slide
(5) and (6) can be vertically moved along the column (4) independently of each other by appropriate driving means (not shown). Vertical grinding wheel shafts (10) and (11) are rotatably supported by the upper and lower grinding wheel heads (7) and (8), respectively. The axes of the upper and lower grinding wheel axes (10) and (11) are on one common vertical line. A cup-shaped upper grinding wheel (12) is fixed to the lower end of the upper grinding wheel shaft (10) projecting below the lower surface of the upper grinding wheel head (7), and protrudes above the upper surface of the lower grinding wheel head (8). A lower grinding wheel (13) having the same shape and the same dimensions as the lower grinding wheel (13) is fixed to the upper end of the lower grinding wheel shaft (11). The annular horizontal lower surface of the upper grinding wheel (12) is an upper circular grinding surface (12a), and the annular horizontal upper surface of the lower grinding wheel (13) is a lower circular grinding surface (13a). (12a) and (13a) face each other in a state of being parallel to each other. In the case of this embodiment, the outer circumference of each grinding wheel (12) (13) and the outer circumference of each grinding surface (12a) (13a) coincide. Up and down slide
By moving at least one of (5) and (6) in the vertical direction, the upper and lower grinding wheels (12) and (13) relatively move in the vertical direction, that is, in the axial direction. The upper and lower grinding wheels (10) and (11) are rotated at the same speed in opposite directions by appropriate driving means (not shown). As a result, the upper and lower grinding wheels (12) and (13) are rotated at the same speed in opposite directions. Rotated with. The other parts of the grinding machine (1) can be configured in the same manner as a known vertical double-ended surface grinding machine.
【0018】自転装置(2) は、ワーク(ウェーハ)(W)
の両面の加工面(a)(b)が上下の研削面(12a)(13a)にそれ
ぞれ対向するとともにワーク(W) の外周の一部および中
心(c) が研削面(12a)(13a)の外周の内側に位置するよう
に、ワーク(W) を上下の研削面(12a)(13a)の間の研削加
工位置に水平に支持して自転させるとともに、ワーク
(W) の研削加工位置への搬入および研削加工位置からの
搬出を行うものであり、研削盤(1) のベース(3) の前部
とその前方の床(A) の間に跨がるように固定された基台
(14)に設けられている。基台(14)は、鉛直で前後方向に
長い左右の側板(14a)(14b)を備えている。左右の側板(1
4a)(14b)は下部において互いに連結され、基台(14)は砥
石ヘッド(7)(8)、砥石(12)(13)などと干渉しないように
なっている。The rotation device (2) is a work (wafer) (W)
The processing surfaces (a) and (b) on both sides of the work (W) face the upper and lower grinding surfaces (12a) and (13a), respectively. The work (W) is horizontally supported at the grinding position between the upper and lower grinding surfaces (12a) (13a) so that it is positioned inside the outer circumference of
(W) into and out of the grinding position, straddling between the front of the base (3) of the grinding machine (1) and the floor (A) in front of it. Base fixed as
(14). The base (14) includes left and right side plates (14a) (14b) that are vertical and long in the front-rear direction. Left and right side plates (1
The bases 14a and 14b are connected to each other at a lower portion so that the base 14 does not interfere with the grindstone heads 7 and 8 and the grindstones 12 and 13 and the like.
【0019】自転装置(2) は、前後方向にのびる左右1
対の無端駆動ベルト(15)(16)、鉛直軸を中心に回転する
4個のガイドローラ(17)(18)、および左右方向の水平軸
を中心に回転する左右1対の押えローラ(19)(20)を備え
ている。The rotation device (2) includes a left and right one extending in the front-rear direction.
A pair of endless drive belts (15) and (16), four guide rollers (17) and (18) rotating about a vertical axis, and a pair of right and left pressing rollers (19) rotating about a horizontal axis in the horizontal direction. ) (20).
【0020】基台(14)の各側板(14a)(14b)の左右方向内
側の面に、駆動プーリ(21)、従動プーリ(22)およびテン
ションプーリ(23)が左右方向の水平軸を中心に回転しう
るように取付けられ、これらに各ベルト(15)(16)が巻き
かけられている。ベルト(15)(16)は、たとえばゴム製の
平ベルトである。各駆動プーリ(21)は各側板(14a)(14b)
の後部上部に、各従動プーリ(22)は各側板(14a)(14b)の
前部上部に、各テンションプーリ(23)はこれらの前後方
向中間の下方に配置されている。ベルト(15)(16)の駆動
プーリ(21)と従動プーリ(22)の間の部分はほぼ水平に前
後方向にのびており、この部分がその上向きの面でワー
ク(W) に接触してこれを支持するワーク支持部(15a)(16
a)となっている。各側板(14a)(14b)の左右方向内側の面
に、各ベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16a)を下か
ら受けて案内するほぼ水平なガイド部材(24)が固定され
ている。各駆動プーリ(21)は、それぞれ、電動モータ(2
5)によって駆動され、各モータ(25)の回転方向を制御す
ることにより、各ベルト(15)(16)の駆動方向を独立して
切替えられるようになっている。各ベルト(15)(16)につ
いて、ワーク支持部(15a)(16a)が後側に移動させられる
駆動方向を搬入方向、ワーク支持部(15a)(16a)が前側に
移動させられる駆動方向を搬出方向といい、また、両方
のベルト(15)(16)が搬入方向に駆動される状態をワーク
搬入状態、両方のベルト(15)(16)が搬出方向に駆動され
る状態をワーク搬出状態、ベルト(15)(16)の一方が搬入
方向に他方が搬出方向に駆動される状態をワーク自転状
態という。A drive pulley (21), a driven pulley (22), and a tension pulley (23) are centered on a horizontal axis in the left-right direction on the inner surface in the left-right direction of each side plate (14a) (14b) of the base (14). The belts (15) and (16) are wound around these so that they can rotate. The belts (15) and (16) are, for example, rubber flat belts. Each drive pulley (21) is attached to each side plate (14a) (14b)
In the upper rear portion, each driven pulley (22) is disposed in the upper front portion of each of the side plates (14a) (14b), and each tension pulley (23) is disposed below the middle in the front-rear direction. The portion of the belt (15) (16) between the drive pulley (21) and the driven pulley (22) extends substantially horizontally in the front-rear direction, and this portion contacts the workpiece (W) with its upward surface. Work support (15a) (16
a). A substantially horizontal guide member (24) for receiving and guiding the work supporting portions (15a) (16a) of each belt (15) (16) from below is provided on the inner surface in the left-right direction of each side plate (14a) (14b). Fixed. Each drive pulley (21) is connected to an electric motor (2
The driving direction of each of the belts (15) and (16) can be independently switched by controlling the rotation direction of each motor (25). For each of the belts (15) and (16), the driving direction in which the work supporting portions (15a) and (16a) are moved to the rear side is the loading direction, and the driving direction in which the work supporting portions (15a) and (16a) are moved to the front side is The state where both belts (15) and (16) are driven in the carry-in direction is the work carry-in state, and the state where both belts (15) and (16) are driven in the carry-out direction is the work carry-out state. A state in which one of the belts (15) and (16) is driven in the carry-in direction and the other is driven in the carry-out direction is referred to as a work rotation state.
【0021】ガイドローラ(17)(18)は、基台(14)の後寄
りの部分の前後2箇所に、左右対称となるように配置さ
れ、後側の2個が固定ガイドローラ(17)、前側の2個が
可動ガイドローラ(18)となっている。各側板(14a)(14b)
の上部前端部に左右方向内側に水平に突出した支持部材
(26)が固定され、これらの先端部に固定ガイドローラ(1
7)が回転自在に取付けられている。各固定ガイドローラ
(17)は、対応するベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)
(16a)のすぐ前に位置し、ワーク支持部(15a)(16a)の上
面は固定ガイドローラ(14)の外周の高さの中間部に位置
している。左右の側板(14a)(14b)のベルト(15)(16)の前
部に対応する部分の相互間に、門形のフレーム(27)がわ
たし止められている。フレーム(27)の上部の水平部分の
左右方向中央部に、下向きに配置された電動モータ(28)
の下端部が貫通状に固定され、モータ(28)により駆動さ
れる鉛直な送りねじ(29)にナット(30)を介して昇降部材
(31)が吊り下げられている。昇降部材(31)は水平板状を
なし、その左右両側部がフレーム(27)の両側の鉛直部分
によって案内され、鉛直軸のまわりに回転しないように
なっている。そして、モータ(28)を駆動することによ
り、昇降部材(31)が所定の範囲を昇降するようになって
いる。昇降部材(31)の前部の左右対称位置に、下向きに
鉛直にのびた支持部材(32)が固定され、各支持部材(32)
の下端部に可動ガイドローラ(18)がそれぞれ回転自在に
取付けられている。昇降部材(31)の後部の左右対称位置
に、下向きに鉛直にのびて下部が開口した各筒状のガイ
ド部材(33)が固定され、上部が開口した鉛直な角筒状の
支持部材(34)の上部がガイド筒(33)に摺動自在にはめら
れている。支持部材(34)はガイド部材(33)に沿って所定
の範囲を昇降しうるようになっており、その下端部に押
えローラ(19)(20)が回転自在に取付けられている。そし
て、ガイド部材(33)と支持部材(34)の中空部内に、支持
部材(34)および押えローラ(19)(20)を下向きに付勢する
ための弾性部材としての圧縮コイルばね(35)が設けられ
ている。図3に示すように、昇降部材(31)が下端位置ま
で下降したとき、可動ガイドローラ(18)および押えロー
ラ(19)(20)は下端の作動位置まで下降する。ベルト(15)
(16)のワーク支持部(15a)(16a)の上面は、作動位置にあ
る可動ガイドローラ(19)の外周の高さの中間に位置す
る。また、作動位置まで下降した押えローラ(19)(20)
は、ばね(35)の弾性力により、ガイド部材(24)の前部上
面で受けられたベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16
a)の前部上面に圧接する。昇降部材(31)が上端位置まで
上昇したとき、可動ガイドローラ(18)および押えローラ
(19)(20)は上端の待機位置まで上昇し、このとき、可動
ガイドローラ(18)の最下部およびばね(35)によりガイド
部材(33)に対して最も下側に移動している押えローラ(1
9)(20)の最下部は、いずれもベルト(15)のワーク支持部
(15a)(16a)の上面より上方にかなりはなれている。The guide rollers (17) and (18) are arranged symmetrically at two positions before and after the rear portion of the base (14), and two rear guide rollers are fixed guide rollers (17). , The front two are movable guide rollers (18). Each side plate (14a) (14b)
A support member that protrudes horizontally in the left-right direction at the upper front end
(26) are fixed, and fixed guide rollers (1
7) is rotatably mounted. Each fixed guide roller
(17) is the work supporting portion (15a) of the corresponding belt (15) (16)
(16a), and the upper surfaces of the work supporting portions (15a) (16a) are located at an intermediate portion of the height of the outer periphery of the fixed guide roller (14). Between the portions of the left and right side plates (14a) (14b) corresponding to the front portions of the belts (15) (16), a gate-shaped frame (27) is fixed. An electric motor (28) arranged downward at the center in the left-right direction of the horizontal part at the top of the frame (27)
The lower end is fixed in a penetrating manner, and a vertical feed screw (29) driven by a motor (28) is connected to a vertical feed screw (29) via a nut (30).
(31) is suspended. The elevating member (31) has a horizontal plate shape, and its left and right sides are guided by vertical portions on both sides of the frame (27) so as not to rotate around a vertical axis. By driving the motor (28), the elevating member (31) moves up and down a predetermined range. A support member (32) extending vertically downward is fixed to the left-right symmetrical position of the front part of the lifting member (31), and each support member (32)
A movable guide roller (18) is rotatably attached to the lower end of the. At the rear left and right symmetrical position of the elevating member (31), each cylindrical guide member (33) extending vertically downward and opening at the lower part is fixed, and a vertical rectangular cylindrical support member (34) opening at the upper part is fixed. ) Is slidably fitted on the guide cylinder (33). The support member (34) can move up and down a predetermined range along the guide member (33), and press rollers (19) and (20) are rotatably attached to the lower end thereof. A compression coil spring (35) as an elastic member for urging the support member (34) and the pressing rollers (19) and (20) downward in the hollow portions of the guide member (33) and the support member (34). Is provided. As shown in FIG. 3, when the elevating member (31) is lowered to the lower end position, the movable guide roller (18) and the pressing rollers (19), (20) are lowered to the operating position at the lower end. Belt (15)
The upper surface of the work supporting portions (15a) and (16a) of (16) is located at the middle of the height of the outer periphery of the movable guide roller (19) in the operating position. In addition, the presser roller (19) (20)
The work support portions (15a) (16) of the belts (15) (16) received on the upper surface of the front portion of the guide member (24) by the elastic force of the spring (35)
Press against the top surface of a). When the lifting member (31) is raised to the upper end position, the movable guide roller (18) and the pressing roller
(19) (20) is raised to the standby position at the upper end. Roller (1
9) The bottom part of (20) is the work support part of the belt (15).
(15a) It is considerably separated from the upper surface of (16a).
【0022】ベルト(15)(16)の前部、固定ガイドローラ
(17)および押えローラ(19)(20)は、砥石(12)(13)の近傍
に位置しているが、砥石(12)(13)と干渉しないよう、左
右に適当な間隔をあけて配置されている。Front of belts (15) and (16), fixed guide rollers
(17) and the press rollers (19) and (20) are located near the grindstones (12) and (13), but are spaced at appropriate intervals on the left and right so as not to interfere with the grindstones (12) and (13). Are located.
【0023】4個のガイドローラ(17)(18)により、ワー
ク(W) の径方向の位置を規制する径方向支持手段が構成
され、左右のベルト(15)(16)と押えローラ(19)(20)によ
り、ワーク(W) の軸方向の位置を規制するとともにワー
ク(W) を自転させる軸方向支持手段が構成されている。The four guide rollers (17) and (18) constitute a radial support means for regulating the radial position of the work (W), and the left and right belts (15) and (16) and the pressing rollers (19). The axial support means for regulating the position of the work (W) in the axial direction and rotating the work (W) is constituted by (20).
【0024】この実施形態の場合、砥石(12)(13)の外径
はワーク(W) の外径の約70%であり、後述する研削作
業時には、ワーク(W) の中心(c) が研削面(12a)(13a)の
外周よりわずかに内側(右側)に位置するようになって
いる。In the case of this embodiment, the outer diameter of the grindstones (12) and (13) is about 70% of the outer diameter of the work (W), and the center (c) of the work (W) is at the time of the grinding operation described later. It is located slightly inside (right side) from the outer circumference of the grinding surfaces (12a) (13a).
【0025】詳細な図示は省略したが、研削装置には、
たとえば搬出搬入コンベヤ(36)などを備えたワーク搬出
搬入装置が設けられている。Although the detailed illustration is omitted, the grinding device includes:
For example, a work carry-in / carry-out device provided with a carry-in / carry-in conveyor (36) or the like is provided.
【0026】上記の研削装置において、ワーク(W) の研
削作業はたとえば次のようにして行われる。In the above-mentioned grinding apparatus, the work of grinding the work (W) is performed, for example, as follows.
【0027】研削作業中、上下の砥石(12)(13)は常時回
転している。作業開始時には、上下の砥石(12)(13)は上
下に離れた待機位置に移動し、可動ガイドローラ(18)お
よび押えローラ(19)(20)は上端の待機位置まで上昇し、
左右のベルト(15)(16)は停止している。このような状態
で、コンベヤ(36)によりワーク(W) が後側に移動させら
れて、ベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16a)の前部
に搬入される。ワーク(W) が搬入されると、これが図示
しない適宜なセンサなどにより検出されて、コンベヤ(3
6)は停止し、左右のベルト(15)(16)が搬入方向に駆動さ
れて、ワーク搬入状態になり、ワーク(W) がワーク支持
部(15a)(16a)に載せられて、後側に移動させられる。ワ
ーク(W) が研削加工位置まで移動すると、その後部の2
箇所が固定ガイドローラ(17)に当接し、ワーク(W) はそ
の位置に停止する。ワーク(W) が固定ガイドローラ(17)
に当接すると、これが図示しない適宜なセンサなどによ
って検知され、ベルト(15)(16)が停止する。ベルト(15)
(16)が停止すると、可動ガイドローラ(18)および押えロ
ーラ(19)(20)が下端の作動位置まで下降させられる。こ
れにより、可動ガイドローラ(18)がワーク(W) の前側2
箇所の外周に接するかあるいはその近傍に位置するとと
もに、押えローラ(19)(20)がベルト(15)(16)のワーク支
持部(15a)(16a)の上に載っているワーク(W) の上側の加
工面(a) に圧接し、ワーク(W) が、研削加工位置におい
て、径方向および軸方向に支持される。ワーク(W) は、
研削加工位置に支持されると、図2に示すように、ワー
ク(W)の中心(c) が研削面(12a)(12b)の外周の最前部よ
りわずかに後側(内側)に位置する。During the grinding operation, the upper and lower grinding wheels (12, 13) are constantly rotating. At the start of the work, the upper and lower whetstones (12) and (13) move up and down to the standby position, and the movable guide roller (18) and the press rollers (19) and (20) rise to the standby position at the upper end.
The left and right belts (15) and (16) are stopped. In such a state, the work (W) is moved rearward by the conveyor (36), and is carried into the front portions of the work supporting portions (15a) (16a) of the belts (15) and (16). When the workpiece (W) is carried in, it is detected by an appropriate sensor (not shown) or the like, and the conveyor (3)
6) stops, the left and right belts (15) and (16) are driven in the loading direction, and the workpiece is loaded, the workpiece (W) is placed on the workpiece supporters (15a) and (16a), and the It is moved to. When the work (W) moves to the grinding position,
The portion comes into contact with the fixed guide roller (17), and the work (W) stops at that position. Work (W) is fixed guide roller (17)
, Is detected by a suitable sensor (not shown) or the like, and the belts (15) and (16) stop. Belt (15)
When (16) stops, the movable guide roller (18) and the holding rollers (19) and (20) are lowered to the lowermost operating position. As a result, the movable guide roller (18) moves to the front side 2 of the work (W).
The work (W) which is in contact with or in the vicinity of the outer periphery of the place, and in which the holding rollers (19) (20) are placed on the work supporting portions (15a) (16a) of the belts (15) (16) The workpiece (W) is supported in the radial and axial directions at the grinding position by pressing against the upper processing surface (a). Work (W) is
When supported at the grinding position, as shown in FIG. 2, the center (c) of the work (W) is located slightly behind (inside) the outermost foreground of the grinding surfaces (12a) (12b). .
【0028】可動ガイドローラ(18)および押えローラ(1
9)(20)が作動位置まで下降したならば、左右のベルト(1
5)(16)が互いに逆方向に駆動されて、ワーク自転状態に
なる。左右のベルト(15)(16)が逆方向に駆動されること
により、各ベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16a)が
前後方向に関して互いに逆方向に移動し、ワーク(W)の
左右両側部が、ベルト(15)(16)との摩擦力により、円周
方向に関して同方向に駆動され、ワーク(W) が、研削加
工位置において、ほぼその中心(c) を中心に自転させら
れる。The movable guide roller (18) and the holding roller (1)
9) If (20) is lowered to the operating position, the left and right belts (1
5) Steps (16) are driven in the opposite directions to each other, and the workpiece is rotated. When the left and right belts (15) and (16) are driven in opposite directions, the work supporting portions (15a) and (16a) of the belts (15) and (16) move in opposite directions with respect to the front-rear direction. The left and right sides of (W) are driven in the same direction in the circumferential direction by the frictional force with the belts (15) and (16), and the work (W) is substantially centered at its center (c) at the grinding position. Be rotated.
【0029】ワーク(W) が自転を開始すると、砥石(12)
(13)が互いに接近する方向に移動させられ、研削面(12
a)(13a)が対応する加工面(a)(b)に接触させられる。こ
れにより、ワーク(W) の後側の部分が砥石(12)(13)で挟
まれ、ワーク(W) の後側の外周の一部と中心(c) とが研
削面(12a)(13a)の外周の内側に位置する。砥石(12)(13)
は、ワーク(W) の仕上がり寸法より決まる所定の位置ま
で移動させられ、その位置に所定時間停止させられる。
その間に、砥石(12)(13)が回転することにより、それら
の研削面(12a)(13a)に接触しているワーク(W) の加工面
(a)(b)が研削され、ワーク(W) が外周の一部および中心
(c) を研削面(12a)(13a)の外周の内側に位置させた状態
で自転することにより、ワーク(W) が1回転する間に、
ワーク(W)の加工面(a)(b)の全面が研削面(12a)(13a)の
間を通過して、研削面(12a)(13a)に接触し、その結果、
ワーク(W) が何回転かする間に、両面の加工面(a)(b)の
全面が同時に研削される。When the work (W) starts rotating, the grinding wheel (12)
(13) are moved in the direction approaching each other, and the ground surface (12
a) (13a) is brought into contact with the corresponding processing surfaces (a) and (b). As a result, the rear part of the work (W) is sandwiched between the grindstones (12) and (13), and a part of the rear outer periphery of the work (W) and the center (c) are ground surfaces (12a) (13a). ) Is located inside the outer circumference. Whetstone (12) (13)
Is moved to a predetermined position determined by the finished dimension of the work (W), and stopped at that position for a predetermined time.
In the meantime, the grinding surface of the workpiece (W) in contact with the ground surfaces (12a) (13a) by rotating the grinding wheels (12) (13)
(a) and (b) are ground and the work (W) is partially and
(c) is rotated inside the outer circumference of the grinding surfaces (12a) and (13a), so that the workpiece (W) rotates once.
The entire surface of the work surface (a) (b) of the work (W) passes between the grinding surfaces (12a) and (13a) and comes into contact with the grinding surfaces (12a) and (13a).
While the work (W) rotates several times, the entire surfaces of the processing surfaces (a) and (b) on both surfaces are simultaneously ground.
【0030】ワーク(W) の研削が終了すると、砥石(12)
(13)がワーク(W) から離れ、さらに上下の待機位置まで
移動する。砥石(12)(13)がワーク(W) から離れると、ベ
ルト(15)(16)が停止し、これにより、ワーク(W) の回転
が停止する。ワーク(W) が停止すると、可動ガイドロー
ラ(18)および押えローラ(19)(20)が待機位置まで上昇
し、左右のベルト(15)(16)が搬出方向に駆動されて、ワ
ーク搬出状態になる。これにより、ワーク(W) がワーク
支持部(15a)(16a)に載せられて、前側に移動させられ、
コンベヤ(36)に移される。ワーク(W) がコンベヤ(36)に
移されると、ベルト(15)(16)が停止し、コンベヤ(36)が
前向きに駆動されて、ワーク(W) を前側に搬出する。こ
のように加工の終了したワーク(W) が搬出されると、次
のワーク(W) が前記のようにコンベヤ(36)により搬入さ
れ、以後は、上記の動作を繰返すことにより、次々に研
削が行われる。When the grinding of the work (W) is completed, the grinding wheel (12)
(13) moves away from the workpiece (W) and further moves to the upper and lower standby positions. When the grindstones (12) and (13) move away from the work (W), the belts (15) and (16) stop, thereby stopping the rotation of the work (W). When the work (W) stops, the movable guide roller (18) and the holding rollers (19) and (20) move up to the standby position, and the left and right belts (15) and (16) are driven in the unloading direction, so that the work is unloaded. become. As a result, the work (W) is placed on the work supporting portions (15a) (16a) and moved to the front side,
Transferred to conveyor (36). When the work (W) is transferred to the conveyor (36), the belts (15) and (16) stop, the conveyor (36) is driven forward, and the work (W) is carried out to the front side. When the work (W) that has been processed in this way is carried out, the next work (W) is carried in by the conveyor (36) as described above, and thereafter, the above operation is repeated to successively grind. Is performed.
【0031】なお、必要があれば、基台(14)全体を前後
方向に移動しうるようにしておき、研削中に、基台(14)
を前後方向に往復移動させ、これにより、ワーク(W)
を、前後方向、すなわち、研削面(12a)(13a)に平行であ
ってワーク(W) の中心(c) と砥石(12)(13)の軸心を結ぶ
方向に往復移動させる。この往復移動は、ワーク(W) の
後側の外周の一部と中心(c) とが常に研削面(12a)(13a)
の外周の内側に位置する範囲内で行われる。たとえば、
往復移動のストロークは約5mmである。このようにワ
ーク(W) を往復移動させることにより、とくにワーク
(W) の中心部の平面度、面粗度を向上させることができ
る。If necessary, the entire base (14) can be moved in the front-rear direction so that the base (14) can be moved during grinding.
Is reciprocated in the front-rear direction.
Is reciprocated in the front-rear direction, that is, in the direction parallel to the grinding surfaces (12a) (13a) and connecting the center (c) of the work (W) and the axes of the grindstones (12) and (13). In this reciprocating movement, a part of the outer periphery on the rear side of the work (W) and the center (c) are always ground surfaces (12a) (13a).
Is performed within the range located inside the outer circumference of. For example,
The reciprocating stroke is about 5 mm. By reciprocating the work (W) in this way, the work
The flatness and surface roughness of the central portion of (W) can be improved.
【0032】研削中にワーク(W) を往復移動させる場
合、往復移動の方向は、上記のようにワーク(W) の中心
(c) と砥石(12)(13)の軸心を結ぶ方向あるいはこれに近
い方向が望ましいが、研削面(12a)(13a)に平行な他の方
向に往復移動させてもよい。When the work (W) is reciprocated during grinding, the direction of the reciprocation is determined by the center of the work (W) as described above.
A direction connecting (c) to the axis of the grindstones (12) and (13) or a direction close to this is desirable, but it may be reciprocated in another direction parallel to the grinding surfaces (12a) and (13a).
【0033】上下の砥石(12)(13)は、通常は、上記実施
形態のように同速度で回転させられるが、たとえば上下
の加工面(a)(b)の研削取代配分を変化させたい場合な
ど、場合によっては、上下の砥石(12)(13)の回転速度を
変えて研削することもできる。また、上下の砥石(12)(1
3)を互いに同方向に回転させて研削することも可能であ
る。The upper and lower grindstones (12) and (13) are normally rotated at the same speed as in the above embodiment, but for example, it is desired to change the grinding allowance distribution of the upper and lower processing surfaces (a) and (b). In some cases, for example, the grinding speed can be changed by changing the rotation speed of the upper and lower grinding wheels (12) and (13). Also, the upper and lower whetstones (12) (1
It is also possible to grind by rotating 3) in the same direction.
【0034】第1実施形態において、固定ガイドローラ
(17)は、ベルト(15)(16)により移動させられてきたワー
ク(W) を研削加工位置に確実に停止させるため、2個以
上必要であるが、可動ガイドローラ(18)は固定ガイドロ
ーラ(17)とでワーク(W) の径方向の位置を規制するもの
であるから、1個以上であればよい。In the first embodiment, a fixed guide roller
(17) requires at least two workpieces (W) moved by the belts (15) and (16) to reliably stop the workpiece (W) at the grinding position. Since the position of the workpiece (W) in the radial direction is regulated by the roller (17), it is sufficient that the number of the workpiece (W) is one or more.
【0035】第1実施形態では、ベルト(15)(16)に対し
て、コンベヤ(36)によりワーク(W)の搬出、搬入を行う
ようになっているが、たとえば吸着盤などを備えた適当
なワーク搬出搬入装置を使用して、ベルト(15)(16)のワ
ーク支持部(15a)(16a)の前部に直接ワーク(W) を搬入
し、この部分から直接ワーク(W) を搬出するようにして
もよい。In the first embodiment, the work (W) is carried out and carried in and out of the belts (15) and (16) by the conveyor (36). The work (W) is loaded directly into the front of the work supporting parts (15a) (16a) of the belts (15) and (16) using a simple work loading / unloading device, and the work (W) is directly unloaded from this part. You may make it.
【0036】また、第1実施形態では、駆動ベルト(15)
(16)の後端部を研削加工位置とし、ワーク(W) を後側に
移動させて研削加工位置に搬入し、ワーク(W) を前側に
移動させて研削加工位置から搬出するようになっている
が、たとえば、研削加工位置の左右両側にのびた駆動ベ
ルトにより、ワークを左側から研削加工位置に搬入し、
研削の終了したワークを研削加工位置から右側に搬出す
るようにすることもできる。このようにすれば、ベルト
を1方向に駆動して、ワークの搬入、搬出を行うことが
できる。しかし、この場合は、上記実施形態の固定ガイ
ドローラ(17)に相当するガイドローラも昇降自在にし、
このガイドローラをワークの搬出時には上方の待機位置
に上昇させておくようにする必要がある。In the first embodiment, the drive belt (15)
(16) The rear end is set to the grinding position, the work (W) is moved to the rear side, and is carried into the grinding position, and the work (W) is moved to the front side to be unloaded from the grinding position. However, for example, a work belt is carried into the grinding position from the left side by a drive belt extending on the left and right sides of the grinding position,
The workpiece after grinding can be carried out to the right from the grinding position. In this way, the belt can be driven in one direction to carry in and carry out the work. However, in this case, the guide roller corresponding to the fixed guide roller (17) of the above embodiment is also allowed to move up and down,
It is necessary to raise the guide roller to the upper standby position when unloading the work.
【0037】さらに、第1実施形態では、ベルト(15)(1
6)によりワーク(W) の搬入、搬出も行うようになってい
るが、ベルト(15)(16)はワーク(W) を自転させるだけの
ものであってもよい。その場合、ベルト(15)(16)は、研
削加工位置にあるワーク(W)を支持するだけの短いもの
でよい。また、ガイドローラ(17)(18)の位置は全て固定
として、押えローラ(19)(20)だけを適当な位置に退避で
きるようにし、たとえば吸着板などを備えた適当なワー
ク搬入搬出手段により、ワーク(W) をガイドローラ(17)
(18)の間のベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16a)に
直接搬入し、この位置から直接搬出するようにしてもよ
い。Further, in the first embodiment, the belts (15) (1)
The work (W) is carried in and out according to (6), but the belts (15) and (16) may be those that only rotate the work (W). In this case, the belts (15) and (16) may be short enough to support the work (W) at the grinding position. In addition, the positions of the guide rollers (17) and (18) are all fixed, and only the holding rollers (19) and (20) can be retracted to an appropriate position, for example, by a suitable work carrying-in / out means having a suction plate or the like. , Work (W) guide roller (17)
The belts (15) and (16) between (18) may be directly carried into the work supporting portions (15a) and (16a), and may be directly carried out from this position.
【0038】駆動ベルト(15)(16)として、第1実施形態
では平ベルトを用いているが、たとえばタイミングベル
トなど、他の形式のベルトを用いることも可能である。Although the flat belts are used in the first embodiment as the drive belts (15) and (16), other types of belts such as a timing belt may be used.
【0039】図4は、第2実施形態を示し、第1実施形
態の図2に相当する部分の主要なものだけを表わしてい
る。FIG. 4 shows the second embodiment, in which only the main parts corresponding to FIG. 2 of the first embodiment are shown.
【0040】第2実施形態は、位置決め用平坦部(f) が
形成されたワーク(W) を対象とするものであり、可動ガ
イドローラ(18)(37)の数が第1実施形態の場合と異なっ
ている。すなわち、第2実施形態の場合、第1実施形態
と同じ2個の可動ガイドローラ(18)の少し後方にそれぞ
れ補助の可動ガイドローラ(37)が設けられている。可動
ガイドローラ(18)と可動ガイドローラ(37)の円周方向の
間隔は、平坦部(f) の円周方向の寸法より少し大きい。
また、可動ガイドローラ(37)は、可動ガイドローラ(18)
と共通の昇降部材(31)に可動ガイドローラ(18)と同様に
取付けられている。The second embodiment is directed to a work (W) on which a flat portion (f) for positioning is formed, and the number of movable guide rollers (18) and (37) is equal to that of the first embodiment. Is different. That is, in the case of the second embodiment, auxiliary movable guide rollers (37) are provided slightly behind the two movable guide rollers (18), which are the same as in the first embodiment. The circumferential distance between the movable guide roller (18) and the movable guide roller (37) is slightly larger than the circumferential dimension of the flat portion (f).
The movable guide roller (37) is a movable guide roller (18).
And the same as the movable guide roller (18).
【0041】第2実施形態のようにすれば、平坦部(f)
があるワーク(W) を6個のガイドローラ(17)(18)(37)で
確実に径方向に支持して自転させることができる。しか
し、この実施形態のものは、位置決め用平坦部のないワ
ークの研削にももちろん使用することができる。According to the second embodiment, the flat portion (f)
A certain work (W) can be surely supported in the radial direction by six guide rollers (17), (18) and (37) and can be rotated. However, this embodiment can, of course, be used for grinding a workpiece having no flat portion for positioning.
【0042】第2実施形態における研削装置の具体的な
構成は、第1実施形態のものと同様にすることができ
る。図4において、第1実施形態と同じ部分には同一の
符号を付している。The specific configuration of the grinding device according to the second embodiment can be the same as that of the first embodiment. In FIG. 4, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.
【0043】上記実施形態においては、研削砥石の軸心
が鉛直である縦軸の両面研削装置を示したが、研削砥石
の軸心が水平である横軸のものにすることもできる。そ
の場合、駆動ベルトのワーク支持部は、横軸の砥石の鉛
直な研削面と平行な鉛直面内にあるが、その駆動方向
は、鉛直方向、水平方向、あるいはこれらの間の斜めの
方向のいずれでもよい。In the above-described embodiment, the double-side grinding apparatus having a vertical axis with the axis of the grinding wheel being vertical has been described, but a horizontal axis with the axis of the grinding wheel being horizontal may be used. In this case, the work supporting portion of the drive belt is located in a vertical plane parallel to the vertical grinding surface of the grinding wheel on the horizontal axis, and the drive direction is vertical, horizontal, or an oblique direction between them. Either may be used.
【0044】また、この発明は、半導体ウェーハ以外の
薄板円板状ワークの研削にも適用することができる。The present invention can also be applied to grinding of a thin disk-shaped work other than a semiconductor wafer.
【図1】図1は、この発明の第1実施形態を示す両面研
削装置の概略側面図である。FIG. 1 is a schematic side view of a double-side grinding device showing a first embodiment of the present invention.
【図2】図2は、図1のワーク自転装置の主要部を拡大
して示す水平断面図である。FIG. 2 is an enlarged horizontal cross-sectional view showing a main part of the workpiece rotation device of FIG. 1;
【図3】図3は、図2のIII −III 線の断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III of FIG. 2;
【図4】図4は、この発明の第2実施形態におけるワー
ク自転装置の主要部を示す概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram illustrating a main part of a workpiece rotation device according to a second embodiment of the present invention.
(2) ワーク自転装置(ワーク自転手段) (12)(13) 研削砥石 (12a)(13a) 研削面 (15)(16) 駆動ベルト (15a)(16a) ワーク支持部 (17) 固定ガイドローラ (18) 可動ガイドローラ (19)(20) 押えローラ (37) 可動ガイドローラ (W) ワーク(半導体ウェーハ) (a)(b) 加工面 (c) 中心 (2) Work rotation device (work rotation means) (12) (13) Grinding wheel (12a) (13a) Grinding surface (15) (16) Drive belt (15a) (16a) Work support (17) Fixed guide roller (18) Movable guide roller (19) (20) Holding roller (37) Movable guide roller (W) Work (semiconductor wafer) (a) (b) Work surface (c) Center
Claims (4)
軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転させ
られる1対の研削砥石と、薄板円板状ワークの両面の加
工面が前記1対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向する
とともに前記ワークの外周の一部および中心が前記研削
面の外周の内側に位置するように前記ワークを前記研削
面の間の研削加工位置に支持して自転させるためのワー
ク自転手段とを備えており、前記ワーク自転手段が、前
記ワークの径方向の位置を規制する径方向支持手段と、
前記ワークの軸方向の位置を規制する軸方向支持手段と
を備え、前記径方向支持手段が、前記研削砥石の間から
外に出ている前記ワークの外周に接触して回転する少な
くとも3個のガイドローラを備え、前記軸方向支持手段
が、前記研削砥石の間から外に出ている前記ワークの加
工面の2箇所に接触して移動することにより前記ワーク
を自転させる1対の駆動ベルトと、前記ワークを前記各
駆動ベルトとの間に挟むように前記駆動ベルトの反対側
から前記ワークの加工面に圧接する押えローラとを備え
ていることを特徴とする薄板円板状ワークの両面研削装
置。A pair of grinding wheels, which are arranged so that the circular grinding surfaces of the end surfaces thereof face each other and are relatively movable in the axial direction and are rotated, and the processing surfaces of both surfaces of the thin disk-shaped work are provided. The work is supported at a grinding position between the grinding surfaces so that the grinding surfaces of the pair of grinding wheels are respectively opposed to each other and a part and a center of the outer periphery of the work are located inside the outer periphery of the grinding surface. Work rotation means for rotating the work, the work rotation means, the radial support means for regulating the radial position of the work,
Axial support means for regulating the position of the work in the axial direction, wherein the radial support means rotates in contact with the outer periphery of the work that is out of between the grinding wheels A pair of drive belts, comprising a guide roller, wherein the axial support means contacts and moves at two places on the processing surface of the work that is out of the space between the grinding wheels and rotates the work. A press roller for pressing the work between the drive belt and the work surface of the work from the opposite side so that the work is sandwiched between the drive belts. apparatus.
触するワーク支持部の面が上向きになるように互いに平
行に配置され、前記1対の駆動ローラの駆動状態が、前
記ワーク支持部が互いに同じ搬入方向に移動してその上
に載ったワークを前記研削加工位置に搬入するワーク搬
入状態と、前記ワーク支持部が互いに同じ搬出方向に移
動してその上に載ったワークを前記研削加工位置から搬
出するワーク搬出状態と、前記ワーク支持部が互いに逆
方向に移動してその上に載ったワークを自転させるワー
ク自転状態とに切替えられるようになされ、前記押えロ
ーラが、前記駆動ベルト上の前記ワークより上方に離れ
た待機位置と、前記駆動ベルト上の前記ワークに圧接す
る作動位置との間を昇降するようになされ、前記軸方向
支持手段が、前記ワーク搬入状態の前記1対の駆動ベル
トにより移動させられてきた前記ワークの移動方向前側
の部分の外周に当接してこれを停止させる少なくとも2
個の固定ガイドローラと、前記固定ガイドローラにより
停止させられている前記ワークの移動方向後側の部分の
外周に当接する少なくとも1個の可動ガイドローラとを
備え、前記可動ガイドローラが、前記駆動ベルト上の前
記ワークより上方に離れた待機位置と、前記駆動ベルト
上の前記ワークの外周に接触する作動位置との間を昇降
するようになされていることを特徴とする請求項1の薄
板円板状ワークの両面研削装置。2. A pair of drive belts are arranged in parallel with each other such that a surface of a work supporting portion that comes into contact with the work is directed upward, and a driving state of the pair of drive rollers is controlled by the work supporting portion. Are moved in the same carry-in direction to each other and carry the work placed thereon to the grinding position, and the work supporting portion moves in the same carry-out direction to carry the work placed thereon. The state in which the work is unloaded from the processing position and the state in which the work supporting portion moves in the opposite direction to rotate the work placed on the workpiece in a rotating direction are switched to each other. The workpiece is raised and lowered between a standby position separated from the upper workpiece and an operating position of pressing the workpiece on the drive belt. At least to stop it in contact with the outer periphery of the movement direction front portion of the workpiece which has been moved by the drive belt of the pair of over-click loading state 2
Fixed guide rollers, and at least one movable guide roller abutting on the outer periphery of a portion of the workpiece stopped in the movement direction, which is stopped by the fixed guide roller, wherein the movable guide roller is driven by 2. The thin plate circle according to claim 1, wherein the thin plate circle is moved up and down between a standby position on the belt above the work and a working position on the drive belt contacting the outer periphery of the work. Double-sided grinding machine for plate-like work.
が、その下に配置されたガイド部材により案内されてい
ることを特徴とする請求項2の薄板円板状ワークの両面
研削装置。3. The apparatus according to claim 2, wherein said work supporting portions of said pair of drive belts are guided by a guide member disposed therebelow.
が、同一の昇降部材に取付けられ、互いに同期して昇降
するようになされていることを特徴とする請求項2また
は3の薄板円板状ワークの両面研削装置。4. The thin disk-shaped plate according to claim 2, wherein said pressing roller and said movable guide roller are mounted on the same elevating member so as to elevate and lower in synchronization with each other. Workpiece double-side grinding machine.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34197196A JPH10180602A (en) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | Double grinding device for disklike sheet workpiece |
MYPI97004134A MY121670A (en) | 1996-09-09 | 1997-09-05 | Double side grinding apparatus for flat disklike work |
US08/924,532 US5989108A (en) | 1996-09-09 | 1997-09-05 | Double side grinding apparatus for flat disklike work |
CN97118225A CN1088420C (en) | 1996-09-09 | 1997-09-08 | Double-side grinding apparatus thin-plate round-disk shape workpiece |
DE19739265A DE19739265B4 (en) | 1996-09-09 | 1997-09-08 | Device for double-sided grinding of flat, disk-shaped workpieces |
KR1019970046105A KR100405415B1 (en) | 1996-09-09 | 1997-09-08 | Double Side Grinding Machine for Sheet Metal Workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34197196A JPH10180602A (en) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | Double grinding device for disklike sheet workpiece |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10180602A true JPH10180602A (en) | 1998-07-07 |
Family
ID=18350188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34197196A Withdrawn JPH10180602A (en) | 1996-09-09 | 1996-12-20 | Double grinding device for disklike sheet workpiece |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10180602A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100706626B1 (en) * | 1999-09-24 | 2007-04-13 | 신에츠 한도타이 가부시키가이샤 | Method and device for grinding double sides of thin disk work |
CN105834887A (en) * | 2016-05-31 | 2016-08-10 | 苏州速腾电子科技有限公司 | Eccentric grinding tool for small pieces |
CN111230622A (en) * | 2020-03-13 | 2020-06-05 | 奚文婷 | Efficient PCB makes with two-sided grinding device of steel sheet |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34197196A patent/JPH10180602A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN105834887A (en) * | 2016-05-31 | 2016-08-10 | 苏州速腾电子科技有限公司 | Eccentric grinding tool for small pieces |
CN111230622A (en) * | 2020-03-13 | 2020-06-05 | 奚文婷 | Efficient PCB makes with two-sided grinding device of steel sheet |
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