JPH10177716A - Magnetic disk and magnetic disk device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a transparent magnetic disk and its magnetic disk device provided with a contact region to which a head slider comes into contact by forming an opaque film of a specific material on a transparent substrate, while forming a pit train of a projecting type. SOLUTION: A transparent substrate 3d for a magnetic disk of a magnetic disk 3 consists of resin or glass, an opaque film 3e formed on it by, for example, a sputter method is a carbon film or a metallic film. Further, a magnetic film 3f is surely formed on the substrate 3d for a magnetic disk. Next, a pit is formed in a CSS(Contact Start Stop) zone 3a of the substrate for a magnetic disk using a laser beam irradiation device. Height of a pit train is controlled by adjustment of depth of the opaque film 3e and intensity of a laser beam. Thereby, movement of a head slider from the CSS zone 3a to a data zone 3b can be performed without any fault.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、磁気記録方式に
よって情報を記録再生する磁気ディスク及びその磁気デ
ィスクを用いた磁気ディスク装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk for recording and reproducing information by a magnetic recording method, and a magnetic disk drive using the magnetic disk.

【０００２】[0002]

【従来の技術】磁気ディスクの高密度化は年々スピード
を増しており、近年においては６０％／年の増加率で進
められている。この高密度化は、磁気ヘッドとしてＭＲ
ヘッドを採用したり、磁気ディスクの磁性媒体材料を改
良することによって可能であるが、その他に、磁気ディ
スクと磁気ヘッドとの距離（スペイシング）を小さくす
ること、例えば５０ｎｍを切るような値とすることによ
っても可能である。このようなスペイシングを達成する
ためには、磁気ディスクの表面をそのスペイシング以下
の表面粗さ、例えば鏡面にする必要がある。ところが、
通常の磁気ディスク装置では、そのスタート時とストッ
プ時に磁気ディスクと磁気ヘッドが搭載されているヘッ
ドスライダとが接触状態にある、いわゆるＣＳＳ（コン
タクトスタートストップ）を採用しているため、磁気デ
ィスクの表面を鏡面にすると磁気ディスクとヘッドスラ
イダの真接触面積が増大し、スティクションを起こして
しまう。2. Description of the Related Art The density of magnetic disks has been increasing year by year, and has recently been increasing at a rate of 60% / year. This increase in density is due to the MR head
This is possible by adopting a head or improving the material of the magnetic medium of the magnetic disk. In addition, the distance (spacing) between the magnetic disk and the magnetic head is reduced, for example, a value smaller than 50 nm. This is also possible. In order to achieve such spacing, the surface of the magnetic disk must have a surface roughness less than the spacing, for example, a mirror surface. However,
A normal magnetic disk device employs a so-called CSS (contact start / stop) in which the magnetic disk and the head slider on which the magnetic head is mounted are in contact with each other at the time of start and stop. When a mirror surface is used, the true contact area between the magnetic disk and the head slider increases, causing stiction.

【０００３】この磁気ディスクの鏡面化とＣＳＳとを両
立させるため、近年の磁気ディスク装置では磁気ディス
クに情報記録領域（データゾーン）の他に磁気ディスク
と磁気ヘッドが搭載されているヘッドスライダとが接触
する接触領域（ＣＳＳゾーン）を設けている。即ち、デ
ータの読み書きを行うデータゾーンは鏡面化し、ヘッド
スライダが接触するＣＳＳゾーンはスティクションが起
こらない程度に粗面化（テクスチャ）することにより、
磁気ディスクの鏡面化とＣＳＳとを両立させている。こ
のテクスチャ方法としては、ＣＳＳゾーンにおける磁気
ディスク用基板表面を研磨テープで研磨する研磨テクス
チャ方法を用いるのが一般的である。ところが、この方
法を用いると、データゾーンの平均高さ面（浮上量基準
面）よりＣＳＳゾーンの平均高さ面（浮上量基準面）が
低くなる。従って、ＣＳＳゾーンでは浮上しているヘッ
ドスライダが、ＣＳＳゾーンからデータゾーンに移動す
る際に傾いたり、極端な場合にはクラッシュすることが
あるという欠点がある。In order to achieve both the mirror finishing of the magnetic disk and CSS, a recent magnetic disk device has a magnetic disk and a head slider on which a magnetic head is mounted in addition to an information recording area (data zone). A contact area (CSS zone) for contact is provided. That is, the data zone in which data is read / written is mirror-finished, and the CSS zone in contact with the head slider is roughened (textured) so that stiction does not occur.
The mirroring of the magnetic disk and CSS are compatible. As the texturing method, a polishing texture method of polishing the surface of the magnetic disk substrate in the CSS zone with a polishing tape is generally used. However, when this method is used, the average height plane (flying height reference plane) of the CSS zone is lower than the average height plane (flying height reference plane) of the data zone. Therefore, there is a disadvantage that the head slider flying in the CSS zone may be inclined when moving from the CSS zone to the data zone, or may crash in an extreme case.

【０００４】この欠点を解決するために、ＣＳＳゾーン
における磁気ディスク用基板表面をデータゾーンにおけ
る磁気ディスク用基板表面よりも予め高くしておき、研
磨後にＣＳＳゾーンの平均高さ面（浮上量基準面）とデ
ータゾーンの平均高さ面（浮上量基準面）を揃える研磨
テクスチャ方法が提案されている。ところが、この方法
では、ＣＳＳゾーンを形成する際に、ＣＳＳゾーン以外
の部分をレジスト等で一旦覆い、スパッタ等によりＣＳ
Ｓゾーンのみに膜を付着させ、その後にレジスト等を剥
離しなければならないので、工程が繁雑になり、量産に
は不適である。In order to solve this disadvantage, the surface of the magnetic disk substrate in the CSS zone is made higher in advance than the surface of the magnetic disk substrate in the data zone, and after polishing, the average height surface (flying height reference surface) of the CSS zone is polished. ) And an average height plane (flying height reference plane) of the data zone are proposed. However, in this method, when the CSS zone is formed, portions other than the CSS zone are temporarily covered with a resist or the like, and the CS zone is formed by sputtering or the like.
Since a film must be adhered only to the S zone and the resist or the like must be peeled off thereafter, the process becomes complicated and is not suitable for mass production.

【０００５】そこで、磁気ディスク用基板をアルミニウ
ムで形成し、ＣＳＳゾーンにおける磁気ディスク用基板
表面にレーザ光を照射してクレータ状の凸部（ピット）
を形成するレーザテクスチャ方法が提案されている（”
Ｌａｓｅｒ Ｔｅｘｔｕｒｉｎｇ ｆｏｒ ｌｏｗ−ｆ
ｌｙ−ｈｅｉｇｈｔ ｍｅｄｉａ”，Ｒ．Ｒａｎｊａ
ｎ，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．６９（８），１５ Ａｐ
ｒｉｌ １９９１参照）。この方法では、ピットの密度
を調節することにより、ＣＳＳゾーンの平均高さ面（浮
上量基準面）とデータゾーンの平均高さ面（浮上量基準
面）との差を調節できるので、ＣＳＳゾーンからデータ
ゾーンへのヘッドスライダの移動も何ら障害なく行うこ
とが可能となる。Therefore, the magnetic disk substrate is formed of aluminum, and the surface of the magnetic disk substrate in the CSS zone is irradiated with a laser beam to form crater-like projections (pits).
A laser texture method has been proposed to form
Laser Texting for low-f
ly-height media ", R. Ranja
n, J. et al. Appl. Phys. 69 (8), 15 Ap
ril 1991). In this method, the difference between the average height plane (flying height reference plane) of the CSS zone and the average height plane (flying height reference plane) of the data zone can be adjusted by adjusting the density of the pits. The movement of the head slider from the head to the data zone can be performed without any obstacle.

【０００６】図９（Ａ）は、このレーザテクスチャ方法
が行われる磁気ディスク製造装置の構成例を示す図であ
る。この磁気ディスク製造装置３０ａは、母材から磁気
ディスク用基板を切り出す切削装置３１、磁気ディスク
用基板表面を鏡面に仕上げる研磨装置３２、磁気ディス
ク用基板表面にピットを形成するレーザ光照射装置３
３、磁気ディスク用基板表面に下地膜、磁性膜及び保護
膜を成膜させるスパッタ装置３４、保護膜上に潤滑剤を
塗布する潤滑剤塗布装置３５、完成した磁気ディスクを
出荷前に検査する機械特性検査装置３６及び電気特性検
査装置３７、磁気ディスクを出荷用に梱包するディスク
梱包装置３８の７種類の装置から成る。また、図９
（Ｂ）に示すように、研磨済の磁気ディスク用基板を使
用して、切削装置３１と研磨装置３２を省略した構成の
磁気ディスク製造装置３０ｂもある。FIG. 9A is a diagram showing a configuration example of a magnetic disk manufacturing apparatus in which the laser texture method is performed. The magnetic disk manufacturing apparatus 30a includes a cutting device 31 for cutting a magnetic disk substrate from a base material, a polishing device 32 for finishing the surface of the magnetic disk substrate to a mirror surface, and a laser beam irradiation device 3 for forming pits on the magnetic disk substrate surface.
3. A sputtering device 34 for forming a base film, a magnetic film and a protective film on the surface of the magnetic disk substrate, a lubricant applying device 35 for applying a lubricant on the protective film, and a machine for inspecting the completed magnetic disk before shipping. It comprises seven types of devices: a characteristic inspection device 36, an electrical characteristic inspection device 37, and a disk packing device 38 for packing magnetic disks for shipment. FIG.
As shown in (B), there is also a magnetic disk manufacturing apparatus 30b using a polished magnetic disk substrate and omitting the cutting device 31 and the polishing device 32.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、磁気ディス
クのＣＳＳゾーンに凸部を形成する場合、レーザ光を透
過させない金属等の不透明な磁気ディスク用基板から成
る磁気ディスクに適用することはできるが、レーザ光が
透過するような樹脂やガラス等の透明な磁気ディスク用
基板から成る磁気ディスクに適用することが困難である
という問題があった。However, when a convex portion is formed in the CSS zone of a magnetic disk, it can be applied to a magnetic disk formed of an opaque magnetic disk substrate made of metal or the like which does not transmit laser light. There is a problem that it is difficult to apply the method to a magnetic disk formed of a transparent magnetic disk substrate made of resin, glass, or the like through which laser light can pass.

【０００８】この発明は、上述した事情から成されたも
のであり、ヘッドスライダが接触する接触領域を設けた
透明な基板を有する磁気ディスク及びその磁気ディスク
を備えた磁気ディスク装置を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a magnetic disk having a transparent substrate provided with a contact area with which a head slider contacts, and a magnetic disk device having the magnetic disk. Aim.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
よれば、透明な基板上に不透明膜を成膜すると共に、凸
状のピット列を形成することにより達成される。According to the present invention, the above object is achieved by forming an opaque film on a transparent substrate and forming a row of convex pits.

【００１０】上記構成によれば、不透明膜により透明な
基板が不透明になるので、従来では形成できなかった凸
状のピットを形成することができる。According to the above configuration, the transparent substrate is made opaque by the opaque film, so that it is possible to form convex pits which could not be formed conventionally.

【００１１】[0011]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施形態は、この発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発
明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの形態に限られるもので
はない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention,
Although various technically preferred limitations are given, the scope of the present invention is not limited to these forms unless otherwise specified in the following description.

【００１２】図１は、この発明の磁気ディスク装置の実
施形態であるハードディスク装置の構成例を示す斜視図
である。このハードディスク装置１は、アルミニウム合
金等により形成された筐体２の平面部の裏側にスピンド
ルモータ９が配設されていると共に、このスピンドルモ
ータ９によって角速度一定で回転駆動される磁気ディス
ク３が備えられている。さらに、この筐体２には、アー
ム４が垂直軸４ａの周りに揺動可能に取り付けられてい
る。このアーム４の一端には、ボイスコイル５が取り付
けられ、またこのアーム４の他端には、ヘッドスライダ
６が取り付けられている。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk drive which is an embodiment of the magnetic disk drive of the present invention. The hard disk drive 1 is provided with a spindle motor 9 disposed behind a plane portion of a housing 2 formed of an aluminum alloy or the like, and a magnetic disk 3 driven to rotate at a constant angular velocity by the spindle motor 9. Have been. Further, an arm 4 is attached to the housing 2 so as to be swingable around a vertical axis 4a. A voice coil 5 is attached to one end of the arm 4, and a head slider 6 is attached to the other end of the arm 4.

【００１３】筐体２上には、ボイスコイル５を挟持する
ように、マグネット７ａ、７ｂが取り付けられている。
ボイスコイル５及びマグネット７ａ、７ｂにより、ボイ
スコイルモータ７が形成されている。ヘッドスライダ６
は、その下面の両側にエアベアリングサーフェイスとし
て作用するレールが形成されていると共に、これらのレ
ールの先端側にはテーパ部が形成されている。そして、
一方のレールの後端面には磁気ヘッド８が搭載されてい
る。On the housing 2, magnets 7a and 7b are attached so as to hold the voice coil 5.
A voice coil motor 7 is formed by the voice coil 5 and the magnets 7a and 7b. Head slider 6
Are formed on both sides of the lower surface thereof with rails acting as air bearing surfaces, and tapered portions are formed on the tip side of these rails. And
A magnetic head 8 is mounted on the rear end surface of one of the rails.

【００１４】このような構成において、スピンドルモー
タ９が駆動されると、磁気ディスク３は角速度一定で回
転する。そして、磁気ディスク３の回転に伴ってヘッド
スライダ６のレールの先端側のテーパ部から空気が流入
すると、この空気はレールに沿って流れ込む。そして、
この空気がレールの後端側から流出すると、ヘッドスラ
イダ６は浮揚力を受けて磁気ディスク３の表面から微小
間隔（浮上量）をもって浮上走行することになる。即
ち、ヘッドスライダ６は、磁気ディスク３の表面との間
隙が走行方向に対して先端側から後端側に向かって小さ
くなっていくことによる圧力の増加により浮上すること
になる。In such a configuration, when the spindle motor 9 is driven, the magnetic disk 3 rotates at a constant angular velocity. Then, when air flows in from the tapered portion on the tip end side of the rail of the head slider 6 with the rotation of the magnetic disk 3, the air flows along the rail. And
When this air flows out from the rear end side of the rail, the head slider 6 flies at a minute interval (floating amount) from the surface of the magnetic disk 3 due to the levitating force. That is, the head slider 6 flies due to an increase in pressure due to the gap between the head slider 6 and the surface of the magnetic disk 3 decreasing from the leading end toward the trailing end in the running direction.

【００１５】そして、ボイスコイル５に外部から電流が
供給されると、アーム４は、マグネット７ａ、７ｂの磁
界と、このボイスコイル５に流れる電流とによって生ず
る力に基づいて、垂直軸４ａの周りを回動する。これに
より、アーム４の他端に取り付けられたヘッドスライダ
６は、磁気ディスク３の回転に伴って、その表面上で走
行しながら磁気ディスク３の実質的に半径方向に移動す
る。従って、このヘッドスライダ６に搭載された磁気ヘ
ッド８は、磁気ディスク３に対してシーク動作する。When a current is externally supplied to the voice coil 5, the arm 4 moves around the vertical axis 4a based on the magnetic field of the magnets 7a and 7b and the force generated by the current flowing through the voice coil 5. Is rotated. As a result, the head slider 6 attached to the other end of the arm 4 moves in the radial direction of the magnetic disk 3 while traveling on the surface of the magnetic disk 3 as the magnetic disk 3 rotates. Therefore, the magnetic head 8 mounted on the head slider 6 performs a seek operation on the magnetic disk 3.

【００１６】図２は、この発明の磁気ディスクの実施形
態を示す斜視図である。この磁気ディスク３は、透明な
樹脂製もしくはガラス製の磁気ディスク用基板３ｄが用
いられており、内周側に円環状にＣＳＳゾーン３ａが設
けられ、ＣＳＳゾーン３ａの外周側にデータゾーン３ｂ
が設けられている。ＣＳＳゾーン３ａには、図３（Ａ）
に示すような円形で、周辺部が盛り上がり、内部が窪ん
でいるクレータ状のピット３ｃが形成されている。ま
た、データゾーン３ｂは、平滑（フラット）に形成され
ているか、あるいは凹凸（ディスクリート）が形成され
ている。FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of the magnetic disk of the present invention. This magnetic disk 3 is made of a magnetic resin disk substrate 3d made of a transparent resin or glass. An annular CSS zone 3a is provided on the inner peripheral side, and a data zone 3b is provided on the outer peripheral side of the CSS zone 3a.
Is provided. In the CSS zone 3a, FIG.
A crater-shaped pit 3c having a circular shape as shown in FIG. Further, the data zone 3b is formed to be smooth (flat) or uneven (discrete).

【００１７】従来技術で説明したように、レーザテクス
チャ方法により磁気ディスクのＣＳＳゾーンにピットを
形成する場合、レーザ光が透過するような樹脂やガラス
等の透明な磁気ディスク用基板から成る磁気ディスクに
適用することが困難であるため、この磁気ディスク３の
磁気ディスク用基板３ｄの表面には、不透明膜３ｅが成
膜されている。この不透明膜３ｅとしては、例えばスパ
ッタ法によりカーボンもしくは金属を付着させて成膜し
たカーボン膜もしくは金属膜が用いられる。ここで、磁
気ディスク用基板３ｄの表面を不透明にする際に、例え
ばその表面を粗したり塗料を塗布することにより光を乱
反射させて不透明にする方法を用いずに、スパッタ法に
よりカーボンもしくは金属を付着させて不透明にする方
法を用いた理由は、レーザテクスチャする面（ＣＳＳゾ
ーン３ａ）以外の面（データゾーン３ｂ）は鏡面でなく
てはならないので、後者の方法であれば磁気ディスク用
基板３ｄの表面粗さがカーボン膜面もしくは金属膜面に
略反映されるからである。尚、磁気ディスク３には磁性
膜が必ず成膜されており、この磁気ディスク用基板３ｄ
にも不透明膜３ｅの上に磁性膜３ｆが成膜されるが、こ
の磁性膜３ｆを不透明にして不透明膜３ｅを成膜しなく
ても、レーザ光によるピット３ｃの形成は可能である。As described in the prior art, when pits are formed in a CSS zone of a magnetic disk by a laser texture method, a magnetic disk formed of a transparent magnetic disk substrate such as resin or glass through which laser light is transmitted. Since it is difficult to apply, the opaque film 3e is formed on the surface of the magnetic disk substrate 3d of the magnetic disk 3. As the opaque film 3e, for example, a carbon film or a metal film formed by depositing carbon or metal by a sputtering method is used. Here, when the surface of the magnetic disk substrate 3d is made opaque, carbon or metal is formed by sputtering without using a method of irregularly reflecting light by roughening the surface or applying a paint to make the surface opaque. The reason for using the method of making the surface of the magnetic disk opaque is that the surface (data zone 3b) other than the surface to be laser textured (the CSS zone 3a) must be a mirror surface. This is because the surface roughness of 3d is substantially reflected on the carbon film surface or the metal film surface. Note that a magnetic film is always formed on the magnetic disk 3, and the magnetic disk substrate 3d
Also, the magnetic film 3f is formed on the opaque film 3e, but the pits 3c can be formed by laser light without making the magnetic film 3f opaque and forming the opaque film 3e.

【００１８】以上のような構成の磁気ディスク３におけ
るレーザテクスチャ条件について調べた。先ず、樹脂製
の磁気ディスク用基板３ｄを射出成形により作成した。
磁気ディスク用基板３ｄの材料には、ＡＰＯ（Ａｍｏｒ
ｐｈｏｕｓ Ｐｏｌｙ Ｏｌｅｆｉｎ）系樹脂を用い、
磁気ディスク用基板３ｄの形状は、外径６５ｍｍ、内径
２０ｍｍ、厚さ１．２ｍｍの円盤状とした。尚、射出成
形では、金型の表面粗度がそのまま磁気ディスク用基板
３ｄの表面粗度となるので、金型表面をＲａ：０．６ｎ
ｍ程度に研磨して、成形された磁気ディスク用基板３ｄ
の表面粗度もＲａ：０．６ｎｍ程度となるようにした。The laser texture conditions of the magnetic disk 3 having the above-described configuration were examined. First, a magnetic disk substrate 3d made of resin was prepared by injection molding.
The material of the magnetic disk substrate 3d is APO (Amor
phos Polyolefin) resin,
The shape of the magnetic disk substrate 3d was a disk having an outer diameter of 65 mm, an inner diameter of 20 mm, and a thickness of 1.2 mm. In the injection molding, since the surface roughness of the mold becomes the surface roughness of the magnetic disk substrate 3d as it is, Ra: 0.6 n
The magnetic disk substrate 3d polished to about m
Was also adjusted to have a surface roughness Ra of about 0.6 nm.

【００１９】次に、この磁気ディスク用基板３ｄの表面
全面に、スパッタ装置を用いてカーボンを付着させて不
透明膜３ｅを成膜した後、磁気ディスク用基板３ｄのＣ
ＳＳゾーン３ａに、図４に示すようなレーザ光照射装置
１０ａを用いてピット３ｃを形成した。このレーザ光照
射装置１０ａは、磁気ディスク用基板１１（３ｄ）の中
心を挟持して回転させるスピンドル１２及びチャッキン
グ機構１３と、磁気ディスク用基板１１の表面と対向す
るように配置され、磁気ディスク用基板１１の表面にレ
ーザ光を照射するレーザ発振器１４を備えている。さら
に、レーザ発振器１４が固定配置され、スピンドル１２
及びチャッキング機構１３に磁気ディスク用基板１１が
チャッキングされた際に、磁気ディスク用基板１１の半
径方向に移動可能なステージ１５を備えている。そし
て、磁気ディスク用基板１１の表面とレーザ発振器１４
の間に配置され、ピット３ｃを形成するためのレーザ光
のパルスを作り出すシャッタ１６を備えている。Next, an opaque film 3e is formed by depositing carbon on the entire surface of the magnetic disk substrate 3d using a sputtering device.
Pits 3c were formed in the SS zone 3a using a laser beam irradiation device 10a as shown in FIG. The laser beam irradiation device 10a is disposed so as to face the surface of the magnetic disk substrate 11 with a spindle 12 and a chucking mechanism 13 that sandwich and rotate the center of the magnetic disk substrate 11 (3d). A laser oscillator 14 for irradiating the surface of the substrate 11 with laser light is provided. Further, a laser oscillator 14 is fixedly arranged, and the spindle 12
And a stage 15 that can move in the radial direction of the magnetic disk substrate 11 when the magnetic disk substrate 11 is chucked by the chucking mechanism 13. The surface of the magnetic disk substrate 11 and the laser oscillator 14
And a shutter 16 for generating a pulse of laser light for forming the pit 3c.

【００２０】スパッタ装置によるカーボン膜の膜厚は２
０ｎｍとした。また、レーザ光照射装置１０ａの動作条
件としては、スピンドル１２の回転周波数を６０Ｈｚ、
ステージ１５の移動速度を６ｍｍ／ｓ、レーザ発振器１
４のレーザ光を波長６３２．８ｎｍのＨｅ−Ｎｅレー
ザ、その強度を０．５ｍＪ、シャッタ１６によるレーザ
光のパルス発振周波数を６ｋＨｚ、レーザ光の照射範囲
を磁気ディスク用基板１１の半径１１ｍｍ〜１３ｍｍと
した。以上の条件により形成されたピット３ｃの形状
は、図３（Ａ）に示すような円形で、周辺部が盛り上が
り、内部が窪んでいるクレータ状であり、その大きさ
は、同図（Ｂ）に示すように、高さが約６００ｎｍ、直
径が１０μｍ〜２０μｍとなり、良好なＣＳＳゾーン３
ａを設けることができる。The thickness of the carbon film by the sputtering apparatus is 2
It was set to 0 nm. The operating conditions of the laser beam irradiation device 10a include a rotation frequency of the spindle 12 of 60 Hz,
The moving speed of the stage 15 is 6 mm / s.
The laser light of No. 4 is a He-Ne laser having a wavelength of 632.8 nm, the intensity is 0.5 mJ, the pulse oscillation frequency of the laser light by the shutter 16 is 6 kHz, and the irradiation range of the laser light is a radius of 11 mm to 13 mm of the magnetic disk substrate 11. And The shape of the pit 3c formed under the above conditions is a circular shape as shown in FIG. 3A, a crater shape in which the periphery is raised and the inside is depressed, and the size is shown in FIG. As shown in the figure, the height is about 600 nm, the diameter is 10 μm to 20 μm, and a good CSS zone 3
a can be provided.

【００２１】ここで、レーザテクスチャ方法は、常に１
種類であるとは限らない。例えばヘッドスライダの形状
が異なれば、ヘッドスライダの磁気ディスクからの離陸
速度も異なるので、ＣＳＳゾーンに形成するピットの高
さや密度を変更しなくてはならない。一般にピットの高
さは、ピットを形成する際に磁気ディスク用基板に与え
るエネルギにより決定される。従って、ピットの高さを
変化させるには、磁気ディスク用基板のレーザ光の吸収
率を変化させれば良いことになる。ピットの高さを高く
するには、上記吸収率を向上させれば良く、これには不
透明膜の膜厚を厚くして、磁気ディスク用基板の不透明
さを向上させるか、あるいはレーザ光の強度、即ちレー
ザ出力を高くすれば良い。また、ピットの高さを低くす
るには、上記吸収率を低下させれば良く、これには不透
明膜の膜厚を薄くして、磁気ディスク用基板の不透明さ
を低下させるか、あるいはレーザ出力を低くすれば良
い。Here, the laser texture method always uses 1
Not necessarily the type. For example, if the shape of the head slider is different, the take-off speed of the head slider from the magnetic disk is also different, so that the height and density of the pits formed in the CSS zone must be changed. Generally, the height of a pit is determined by the energy applied to the magnetic disk substrate when forming the pit. Therefore, in order to change the pit height, it is sufficient to change the absorptance of the laser beam of the magnetic disk substrate. In order to increase the height of the pits, it is sufficient to increase the above-mentioned absorptance. This is achieved by increasing the thickness of the opaque film to improve the opacity of the magnetic disk substrate or by increasing the intensity of the laser beam. That is, the laser output may be increased. In order to reduce the height of the pits, the absorptance may be reduced. For this purpose, the thickness of the opaque film may be reduced to reduce the opacity of the magnetic disk substrate or the laser output. Should be lowered.

【００２２】そこで、先ず、不透明膜３ｅの膜厚とピッ
ト３ｃの高さの関係について調べた。上述した磁気ディ
スク３の製造条件を調べる際に用いたものと同一の磁気
ディスク用基板１１を作成し、この磁気ディスク用基板
１１の表面全面に、スパッタ装置を用いてカーボンを付
着させて１０ｎｍ、２０ｎｍ、４０ｎｍの３種類の膜厚
の不透明膜３ｅを成膜した。不透明膜３ｅの膜厚は、例
えばスパッタ時間により制御できるため極めて簡単であ
る。そして、磁気ディスク用基板１１のＣＳＳゾーン３
ａに、図４に示すレーザ光照射装置１０ａを用いて上述
した磁気ディスク３の製造条件を調べる際の動作条件と
同一の条件でピット３ｃを形成した。図５は、カーボン
膜厚とピット高さの関係を示すグラフである。この図か
らも明らかなように、カーボン膜厚が厚くなるとピット
高さは高くなる。このように、カーボン膜厚とピット高
さには一定の関係があり、カーボン膜厚を変化させるこ
とにより、レーザ光の照射条件を何ら変更しなくてもピ
ット高さを変化させることが可能である。Therefore, first, the relationship between the thickness of the opaque film 3e and the height of the pit 3c was examined. A magnetic disk substrate 11 identical to that used when examining the manufacturing conditions of the magnetic disk 3 described above was prepared, and carbon was attached to the entire surface of the magnetic disk substrate 11 using a sputtering device to form a 10 nm Opaque films 3e having three different thicknesses of 20 nm and 40 nm were formed. The thickness of the opaque film 3e is very simple because it can be controlled, for example, by the sputtering time. The CSS zone 3 of the magnetic disk substrate 11
In FIG. 4A, the pits 3c were formed under the same operating conditions as those used when examining the above-described manufacturing conditions of the magnetic disk 3 using the laser beam irradiation device 10a shown in FIG. FIG. 5 is a graph showing the relationship between the carbon film thickness and the pit height. As is apparent from this figure, the pit height increases as the carbon film thickness increases. As described above, there is a fixed relationship between the carbon film thickness and the pit height. By changing the carbon film thickness, it is possible to change the pit height without changing the laser beam irradiation conditions. is there.

【００２３】次に、レーザ出力とピット３ｃの高さの関
係について調べた。上述した磁気ディスク３の製造条件
を調べる際に用いたものと同一の磁気ディスク用基板１
１を作成し、この磁気ディスク用基板１１の表面全面
に、スパッタ装置を用いてカーボンを付着させて２０ｎ
ｍの膜厚の不透明膜３ｅを成膜した。そして、磁気ディ
スク用基板１１のＣＳＳゾーン３ａに、図６に示すレー
ザ光照射装置１０ｂを用いて上述した磁気ディスク３の
製造条件を調べる際の動作条件のうちレーザ出力を除い
た条件と同一の条件でピット３ｃを形成した。このレー
ザ光照射装置１０ｂは、レーザ出力を変化させるための
減衰器１７が、レーザ発振器１４とシャッタ１６の間に
配置されている。Next, the relationship between the laser output and the height of the pit 3c was examined. The same magnetic disk substrate 1 as that used in checking the manufacturing conditions of the magnetic disk 3 described above.
Then, carbon was deposited on the entire surface of the magnetic disk substrate 11 using a
An opaque film 3e having a thickness of m was formed. Then, in the CSS zone 3a of the magnetic disk substrate 11, the same operating conditions as those excepting the laser output among the operating conditions when examining the above-described manufacturing conditions of the magnetic disk 3 using the laser beam irradiation device 10b shown in FIG. The pit 3c was formed under the conditions. In the laser beam irradiation device 10b, an attenuator 17 for changing a laser output is arranged between a laser oscillator 14 and a shutter 16.

【００２４】図７は、レーザ出力とピット高さの関係を
示すグラフである。この図からも明らかなように、レー
ザ出力が大きくなるとピット高さは高くなる。このよう
に、レーザ出力とピット高さには一定の関係があり、レ
ーザ出力を変化させることにより、不透明膜３ｅのスパ
ッタ条件を何ら変更しなくてもピット高さを変化させる
ことが可能である。FIG. 7 is a graph showing the relationship between laser output and pit height. As is clear from this figure, the pit height increases as the laser output increases. As described above, there is a certain relationship between the laser output and the pit height. By changing the laser output, the pit height can be changed without changing the sputtering conditions of the opaque film 3e. .

【００２５】図８（Ａ）は、このレーザテクスチャ方法
が行われる磁気ディスク製造装置の構成例を示す図であ
る。この磁気ディスク製造装置２０ａは、母材から磁気
ディスク用基板３ｄを切り出す切削装置２１、磁気ディ
スク用基板３ｄの表面を鏡面に仕上げる研磨装置２２、
磁気ディスク用基板３ｄの表面に不透明膜３ｅを成膜さ
せる不透明膜スパッタ装置２３、磁気ディスク用基板３
ｄの表面にピット３ｃを形成するレーザ光照射装置２
４、磁気ディスク用基板３ｄの表面に下地膜、磁性膜３
ｆ及び保護膜を成膜させるスパッタ装置２５、保護膜上
に潤滑剤を塗布する潤滑剤塗布装置２６、完成した磁気
ディスク３を出荷前に検査する機械特性検査装置２７及
び電気特性検査装置２８、磁気ディスク３を出荷用に梱
包するディスク梱包装置２９の８種類の装置から成る。
また、図８（Ｂ）に示すように、磁気ディスク用基板３
ｄの表面に下地膜、磁性膜３ｆ、保護膜及び不透明膜３
ｅを成膜した後にピット３ｃを形成するようにした構成
の磁気ディスク製造装置２０ｂもあり、従来の磁気ディ
スク製造装置と同じ工程数で磁気ディスクを製造するこ
とが可能となる。FIG. 8A is a diagram showing a configuration example of a magnetic disk manufacturing apparatus in which the laser texture method is performed. The magnetic disk manufacturing apparatus 20a includes a cutting device 21 for cutting the magnetic disk substrate 3d from the base material, a polishing device 22 for finishing the surface of the magnetic disk substrate 3d to a mirror surface,
Opaque film sputtering apparatus 23 for forming opaque film 3e on the surface of magnetic disk substrate 3d, magnetic disk substrate 3
laser light irradiation device 2 for forming pits 3c on the surface of d
4. A base film and a magnetic film 3 on the surface of the magnetic disk substrate 3d.
f, a sputtering device 25 for forming a protective film, a lubricant applying device 26 for applying a lubricant on the protective film, a mechanical characteristic inspecting device 27 and an electrical characteristic inspecting device 28 for inspecting the completed magnetic disk 3 before shipment. It comprises eight types of disk packing devices 29 for packing the magnetic disks 3 for shipping.
Also, as shown in FIG.
d, a base film, a magnetic film 3f, a protective film and an opaque film 3
There is also a magnetic disk manufacturing apparatus 20b having a configuration in which the pits 3c are formed after the film e is formed, and the magnetic disk can be manufactured in the same number of steps as the conventional magnetic disk manufacturing apparatus.

【００２６】以上のような構成の磁気ディスク製造装置
２０ａ（２０ｂ）により製造した磁気ディスク３を用い
て、ＣＳＳテスタによりＣＳＳテストを行った。使用し
たヘッドスライダは通常のＴＰＣ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓ
ｅ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ）スライダを、
サスペンションはタイプ１９を用いた。このヘッドスラ
イダの大きさはナノスライダであり、長さ２ｍｍ、幅
１．６ｍｍ、厚さ０．４３ｍｍである。磁気ディスク３
を３６００ｒｐｍで回転させたとき、ＣＳＳテスト開始
時のヘッドスライダと磁気ディスク３の動摩擦係数は
０．２、ＣＳＳテスト２０，０００回終了時のヘッドス
ライダと磁気ディスク３の動摩擦係数は０．３であり、
ＣＳＳテスト開始時と２０，０００回終了時の動摩擦係
数の値がほぼ同じという良好なＣＳＳ特性が得られた。Using the magnetic disk 3 manufactured by the magnetic disk manufacturing apparatus 20a (20b) configured as described above, a CSS test was performed by a CSS tester. The head slider used is a normal TPC (Transvers
e Pressure Control) slider
Type 19 suspension was used. The size of this head slider is a nano-slider, 2 mm in length, 1.6 mm in width, and 0.43 mm in thickness. Magnetic disk 3
Is rotated at 3600 rpm, the dynamic friction coefficient between the head slider and the magnetic disk 3 at the start of the CSS test is 0.2, and the dynamic friction coefficient between the head slider and the magnetic disk 3 at the end of the 20,000 CSS tests is 0.3. Yes,
Good CSS characteristics were obtained in which the values of the coefficient of dynamic friction at the start of the CSS test and at the end of the 20,000 tests were almost the same.

【００２７】尚、上述した実施形態では、不透明膜とし
てカーボン膜を用いたが、これに限定されるものではな
く、透明度を低下させる金属膜またはその他の膜でも良
い。また、磁気ディスクの形状等は種々の変形変更が可
能である。In the above-described embodiment, the carbon film is used as the opaque film. However, the present invention is not limited to this, and a metal film or another film that reduces the transparency may be used. Further, the shape and the like of the magnetic disk can be variously changed and changed.

【００２８】[0028]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、透明
な基板であってもヘッドスライダが接触する接触領域を
設けることができるので、製造の効率を向上させること
ができる。As described above, according to the present invention, even if the substrate is a transparent substrate, the contact area with which the head slider contacts can be provided, so that the production efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】この発明の磁気ディスク装置の実施形態である
ハードディスク装置の構成例を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk drive which is an embodiment of a magnetic disk drive of the present invention.

【図２】この発明の磁気ディスクの実施形態を示す斜視
図。FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of the magnetic disk of the present invention.

【図３】図２の磁気ディスクに形成されるピットの一例
を示す斜視図及び断面側面図。FIG. 3 is a perspective view and a cross-sectional side view illustrating an example of a pit formed on the magnetic disk of FIG. 2;

【図４】図３のピットを形成するためのレーザ光照射装
置の一例を示す構成図。FIG. 4 is a configuration diagram showing an example of a laser beam irradiation device for forming the pits in FIG. 3;

【図５】カーボン膜厚とピット高さの関係を示すグラ
フ。FIG. 5 is a graph showing a relationship between a carbon film thickness and a pit height.

【図６】図３のピットを形成するためのレーザ光照射装
置の別の一例を示す構成図。FIG. 6 is a configuration diagram showing another example of a laser beam irradiation device for forming the pits in FIG. 3;

【図７】レーザ出力とピット高さの関係を示すグラフ。FIG. 7 is a graph showing the relationship between laser output and pit height.

【図８】図２の磁気ディスクを製造するための装置例を
示す構成図。FIG. 8 is a configuration diagram showing an example of an apparatus for manufacturing the magnetic disk of FIG. 2;

【図９】従来の磁気ディスクを製造するための装置例を
示す構成図。FIG. 9 is a configuration diagram showing an example of a conventional apparatus for manufacturing a magnetic disk.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・ハードディスク装置、２・・・筐体、３・・・
磁気ディスク、３ａ・・・ＣＳＳゾーン、３ｂ・・・デ
ータゾーン、３ｃ・・・ピット、３ｄ・・・磁気ディス
ク用基板、３ｅ・・・不透明膜、３ｆ・・・磁性膜、４
・・・アーム、５・・・ボイスコイル、６・・・ヘッド
スライダ、７・・・ボイスコイルモータ、７ａ、７ｂ・
・・マグネット、８・・・磁気ヘッド、９・・・モー
タ、１０ａ、１０ｂ・・・レーザ光照射装置、１１・・
・磁気ディスク用基板、１２・・・スピンドル、１３・
・・チャッキング機構、１４・・・レーザ発振器、１５
・・・ステージ、１６・・・シャッタ、１７・・・減衰
器、２０ａ、２０ｂ・・・磁気ディスク製造装置、２１
・・・切削装置、２２・・・研磨装置、２３・・・不透
明膜スパッタ装置、２４・・・レーザ光照射装置、２５
・・・スパッタ装置、２６・・・潤滑剤塗布装置、２７
・・・機械特性検査装置、２８・・・電気特性検査装
置、２９・・・ディスク梱包装置DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Hard disk device, 2 ... Housing, 3 ...
Magnetic disk, 3a: CSS zone, 3b: Data zone, 3c: Pit, 3d: Magnetic disk substrate, 3e: Opaque film, 3f: Magnetic film, 4
... arm, 5 ... voice coil, 6 ... head slider, 7 ... voice coil motor, 7a, 7b
..Magnet, 8 ... magnetic head, 9 ... motor, 10a, 10b ... laser beam irradiation device, 11 ...
· Magnetic disk substrate, 12 · · · spindle, 13 ·
..Chucking mechanism, 14 ... Laser oscillator, 15
... Stage, 16 ... Shutter, 17 ... Attenuator, 20a, 20b ... Magnetic disk manufacturing apparatus, 21
... Cutting device, 22 ... Polishing device, 23 ... Opaque film sputtering device, 24 ... Laser beam irradiation device, 25
... Sputtering device, 26 ... Lubricant coating device, 27
... Mechanical characteristics inspection device, 28 ... Electrical characteristics inspection device, 29 ... Disk packing device

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 透明な基板上に不透明膜が成膜されてい
ると共に、凸状のピット列が形成されていることを特徴
とする磁気ディスク。1. A magnetic disk comprising an opaque film formed on a transparent substrate and a convex pit row formed thereon. 【請求項２】 前記基板が、樹脂もしくはガラスから成
る請求項１に記載の磁気ディスク。2. The magnetic disk according to claim 1, wherein the substrate is made of resin or glass. 【請求項３】 前記不透明膜が、カーボン膜もしくは金
属膜から成る請求項１に記載の磁気ディスク。3. The magnetic disk according to claim 1, wherein the opaque film is made of a carbon film or a metal film. 【請求項４】 前記不透明膜が、カーボンもしくは金属
をスパッタ法により付着させることにより成膜される請
求項１に記載の磁気ディスク。4. The magnetic disk according to claim 1, wherein the opaque film is formed by depositing carbon or metal by a sputtering method. 【請求項５】 前記ピット列が、レーザ光を照射するこ
とにより形成される請求項１に記載の磁気ディスク。5. The magnetic disk according to claim 1, wherein the pit row is formed by irradiating a laser beam. 【請求項６】 前記ピット列の高さが、前記不透明膜の
厚みを調節することにより調節される請求項５に記載の
磁気ディスク。6. The magnetic disk according to claim 5, wherein the height of the pit row is adjusted by adjusting the thickness of the opaque film. 【請求項７】 前記ピット列の高さが、前記レーザ光の
強度を調節することにより調節される請求項５に記載の
磁気ディスク。7. The magnetic disk according to claim 5, wherein the height of the pit row is adjusted by adjusting the intensity of the laser beam. 【請求項８】 磁気記録方式によって情報を記録再生す
る磁気ディスク装置において、 透明な基板上に不透明膜が成膜されていると共に、凸状
のピット列が形成されている磁気ディスクを備えたこと
を特徴とする磁気ディスク装置。8. A magnetic disk device for recording / reproducing information by a magnetic recording method, comprising a magnetic disk having an opaque film formed on a transparent substrate and having a convex pit array. A magnetic disk drive characterized by the following.