JPH10170773A - 光デバイス実装基板の作製方法及び光モジュール - Google Patents
光デバイス実装基板の作製方法及び光モジュールInfo
- Publication number
- JPH10170773A JPH10170773A JP8334303A JP33430396A JPH10170773A JP H10170773 A JPH10170773 A JP H10170773A JP 8334303 A JP8334303 A JP 8334303A JP 33430396 A JP33430396 A JP 33430396A JP H10170773 A JPH10170773 A JP H10170773A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting
- optical
- substrate
- groove
- marker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
V溝等の搭載溝と光素子搭載用の電極、または搭載溝と
光素子搭載用の位置合わせマーカーとの位置合せが精度
よく作製され、かつ検出精度のよい位置合わせマーカー
及び/又は位置合わせ可能な電極を有する光デバイス実
装基板の作製方法及び信頼性の優れた光モジュールを提
供すること。 【解決手段】 基板1に光導波体搭載用の搭載溝パター
ンと、光素子搭載用の電極パターン及び/又は光素子搭
載時の目印となる位置合わせマーカーパターンが形成さ
れたフォトマスクを用い、搭載溝と光素子搭載用の電極
及び/又は位置合わせマーカーをフォトリソグラフィに
より形成するようにしたことを特徴とする。また、光モ
ジュールMは、上記光デバイス実装基板S上に光導波体
と光素子とを光学的に結合させて成る。
Description
バや光導波路等の光導波体及び光素子(発光素子又は受
光素子)などを配置して光学的に結合させるための光デ
バイス実装基板の作製方法及びその光デバイス実装基板
から成る光モジュールに関する。
機能化が求められており、それに伴って光送信器や光受
信器等の光デバイスの小型化、高集積化、及び低コスト
化が要望されている。
する目的で、同一基板上に光ファイバや半導体光素子な
どの光部品を搭載する技術、いわゆる光ハイブリッド実
装技術やシリコンプラットフォームなどの技術が注目さ
れている。
と光素子とを同一基板上に形成されたV溝上及び導体パ
ターン上のそれぞれに実装するだけで、無調心にて光モ
ジュールの組み立てを実現することが可能であるとされ
ている。
装するには、基板に形成した光ファイバ搭載用のV溝と
光素子搭載用の電極、またはV溝と光素子搭載用の位置
合わせマーカーとが各々高精度に形成され、且つそれぞ
れにおける両者の位置関係がサブミクロンオーダーの精
度で形成されなければならない。
る。図7(a)〜(g)はそれぞれ、従来の光ハイブリ
ッド実装基板の製作工程を説明する平面図である。ま
ず、図7(a)に示すように、シリコン基板71上にシ
リコン酸化膜やシリコン窒化膜等の(シリコンのエッチ
ング液に対して耐性を有する)膜を被着形成し、V溝形
成用のフォトマスクを用いてフォトリソグラフィにより
上記膜をパターニングして、V溝形成用パターン72を
得る。
成用パターン72をマスクとして、水酸化ナトリウム
(NaOH)や水酸化カリウム(KOH)等のエッチン
グ液により、シリコン基板71が露出している面71a
をエッチングし、V溝73が形成される。
面層をいったん除去した後に、V溝73を含むシリコン
基板71の表面全体に、熱酸化法もしくはスパッタ法や
プラズマCVD法等により、シリコン酸化膜やシリコン
窒化膜等の保護膜74を形成する。
る電極や光素子実装用マーカーを形成するためのフォト
マスクを用いて、電極形成領域75や光素子実装用マー
カー領域76を除く領域にフォトレジスト77を被着形
成し、しかる後に、図7(e)に示すように、その上か
ら全面に電極材料となる金(Au)等の金属膜78を蒸
着法等により被着形成する。
オフ法により光素子搭載部を含む電極パターン79及び
光素子実装用マーカー80を形成する。
9の光素子搭載部に半田81を塗布形成し、ダイシング
によりファイバストッパ溝82の形成、及びシリコン基
板81の端面81aにおいて切断を行うことにより、光
ファイバと光素子を実装するための光デバイスの実装基
板Jが完成する。
イバ搭載用のV溝の形成時に、シリコン基板の端部等に
設けられた位置合わせマーカー(不図示)と、電極及び
光素子実装用のマーカー形成時に用いるフォトマスクの
マーカーとで位置合せを行う。
露光装置自体がサブミクロンオーダーの位置合せが不可
能な場合が多く、たとえそれが可能であったとしても、
V溝が形成されたシリコン基板へフォトレジストを塗布
する際に、V溝周辺のフォトレジストの膜厚分布によ
り、基板に形成されたマーカーの判別が困難となる場合
がある。また、そのような問題点をクリアしたとして
も、シリコン基板側の位置合せマーカーが種々のプロセ
スを経ているため、シリコン基板がこれらプロセスの熱
履歴により反ることがあり、この反りが原因で位置合わ
せマーカーが位置ずれを起こすことがあるのである。
のマーカーとの位置合せは非常に困難であったのであ
り、光ファイバと光素子とを無調心で精度良く実装する
ことはできなかった。このため優れた光モジュールを提
供することができなかった。
形成時と同時にV溝マーカーを作製する方法が考えられ
ているが、上記プロセスのもとではV溝形成後に再形成
された絶縁膜がV溝マーカーを覆うため、V溝マーカー
のエッジ部分の検出精度が悪くなり、光素子実装精度の
向上は見込めない。また、酸化膜を再形成せずにV溝作
製時のマスクを残す場合でも、シリコン基板のエッチン
グが、絶縁膜の下部に進行することから、やはり光素子
の実装精度の向上は見込めない。
されたものであり、光ファイバや光導波路等の光導波体
搭載用のV溝等の搭載溝と光素子搭載用の電極、または
搭載溝と光素子搭載用の位置合わせマーカーとの位置合
せが精度よく作製され、かつ検出精度のよい位置合わせ
マーカー及び/又は位置合わせ可能な電極を有する光デ
バイス実装基板の作製方法及び信頼性の優れた光モジュ
ールを提供することを目的とする。
に、本発明の光デバイス実装基板の作製方法は、基板上
に光導波体と発光及び/又は受光を行う光素子とを配置
して光学的に結合させるための光デバイス実装基板の作
製方法であって、前記基板に光導波体搭載用の搭載溝パ
ターンと、光素子搭載用の電極パターン及び/又は光素
子搭載時の目印となる位置合わせマーカーパターンの双
方が形成されたフォトマスクを用い、搭載溝と光素子搭
載用の電極及び/又は位置合わせマーカーをフォトリソ
グラフィにより形成するようにしたことを特徴とする。
載溝パターン、光素子搭載用の電極パターン及び/又は
光素子搭載時の目印となる位置合わせマーカーパターン
が形成された基準の第1のフォトマスクと、前記搭載溝
パターンより広めのパターンが形成された第2のフォト
マスクと、前記電極パターン及び/又は前記位置合わせ
マーカーパターンより広めのパターンが形成された第3
のフォトマスクとを組み合わせて用いることにより、基
板上に搭載溝と光素子搭載用の電極及び/又は位置合わ
せマーカーをフォトリソグラフィにより形成するように
したことを特徴とする。
バイス実装基板上に光導波体と光素子とを光学的に結合
させて成る。
ついて図面に基づき説明する。 〔例1〕図1(a)〜(h)はそれぞれ光デバイス実装
基板の作製工程を説明する平面図であり、図2(a)〜
(h)は図1の各工程図における一部省略断面図(搭載
される、光ファイバや光導波路等の光導波体の光軸(も
しくは形成される搭載溝(V溝)の長手方向の中心線)
を含み基板に垂直な面で切断した場合の断面図)であ
る。なお、簡単のため図1(a)にのみii−ii断面
線を記入しているが、図1(b)〜(h)についても同
様な断面線における断面図が図2(b)〜(h)にあら
われているものとする。
まず、主面が(100)面の単結晶シリコンから成る基
板1を用意し、熱酸化法、スパッタ法、プラズマCVD
法等、もしくはそれらを組み合わせた成膜法により、基
板1の全面に酸化シリコン(SiO2 )膜を厚さ0.5
〜60μmで形成し、その後、後記する光導波体を搭載
させるための搭載溝であるV溝を、実際に形成させる領
域よりも広い開口部2aを有したSiO2 膜パターン2
をフォトマスク1を用いてフォトリソグラフィにより形
成する。なお、ここで、基板に所定形状のマーカー(不
図示)を形成する。次いで、図1(b)及び図2(b)
に示すように、プラズマCVD法等により窒化シリコン
(Si3 N4 等のSiNx 、以下、SiNx とする)膜
を厚さ0.1〜2μmで形成し、基板1に光導波体を搭
載するための搭載溝形成用パターンと、光素子搭載用の
電極パターン及び(/又は)光素子搭載用の位置合わせ
マーカーパターンが形成された、1枚のフォトマスク
(基準マスク:フォトマスク2)を用いて、V溝形成部
3、電極パターン形成部4、及び光素子搭載用マーカー
形成部5の開口部を有するSiNx 膜パターン6を形成
する。ここで、電極パターン形成部4、及び光素子搭載
用マーカー形成部5はSiO2 膜2が露出した領域とな
っている。また、このとき不図示の所定形状のマーカー
を形成する。
ように、溶液温度60〜80℃、30〜45重量%のK
OH水溶液を用い、基板1の結晶面のエッチングレイト
の差を利用して、エッチングレイトの小さい(111)
面が溝の側面(基板1の表面に対して約55°の傾斜
面)にあらわれたV溝7を形成させる。このとき、電極
パターン形成部4、及び光素子搭載用マーカー形成部5
は、SiO2 膜が露出されているため、シリコンのエッ
チングは進行せず、SiO2 膜が多少エッチングされる
だけであり、SiNx 膜6の下部にアンダーカット部6
aが形成される。
ように、図1(c)における電極パターン形成部4及び
光素子搭載用マーカー形成部より広いパターンを有する
フォトマスク3を用い、このフォトマスク3を上記フォ
トマスク2で作製した領域に正確に位置合わせして、す
なわち、フォトマスク2で形成した不図示のマーカーに
正確に位置合わせして、電極パターン形成部、及び光素
子搭載用マーカー形成部に開口部を有するフォトレジス
トパターン8を塗布し、さらに、電極材料であるAu/
Pt/Ti、Au/Pt/TiN/Ti、Au/Ti、
Au/Ni/Cr,Au/Crなどを電子ビーム蒸着法
やスパッタ法などにより厚さ3000Å〜1μm 程度に
成膜する。
ように、リフトオフ法にてフォトレジストパターン8を
除去することにより、導体膜を周辺に残した電極パター
ン10及び光素子搭載用マーカー11を形成する。
ように、ウエットエッチングもしくはドライエッチング
によりSiNx 膜6を除去することにより、SiO2 膜
2上のパターンのみが形成され、最終形状の電極10及
び光素子搭載用マーカー11が形成される。
ように、電極10の上に半田12を形成し、図1(h)
及び図2(h)に示すように、基板1の端部の切断や電
極10とV溝7との間の溝切りをダイシングにより行
い、端面13及びファイバストッパ用溝14を形成し
て、光デバイス実装基板Sが作製される。
装基板Sに形成されたV溝7に光ファイバ15を搭載
し、電極10に半導体レーザ素子等の光素子16を搭載
するだけで精度よく光結合ができる、いわゆるパッシブ
アライメントが実現された光モジュールMが完成され
る。この場合の精度は従来の誤差(±0.2〜±1.5
μm )に比して殆ど誤差の無い程の正確な位置合わせを
実現することができた。なお、光モジュールMは不図示
の蓋体を被せて全体を樹脂でモールドするか、蓋体を被
せずに全体を樹脂でモールドするような構成であっても
よい。
形成前においてはスピンコートを行い、V溝形成後にお
いてはスプレーコート法を用いることにより、フォトレ
ジストを均一に塗布形成させることができる。また、光
導波体の搭載溝はV字状に限定されるものではなく、ま
た、光素子搭載用マーカーの形状は矩形に限定されるも
のではなく、十字形等種々の形状とすることが可能であ
る。また、光ファイバの代わりに基板の表層に導波路が
形成された光導波路等の光導波体を設けてもよく、ま
た、光素子は半導体レーザ素子の代わりに、LED素子
やPD素子等の発光素子及び/又は受光素子を設けても
よい。また、光デバイス実装基板Sはシリコン単結晶以
外に、GaAs単結晶、水晶、樹脂、セラミックス等で
も使用可能であるが、V溝を異方性エッチングにより位
置精度良く形成しやすい点でシリコン単結晶が好まし
い。
様に光デバイス実装基板の作製工程を説明する平面図で
あり、図5(a)〜(i)は、図2と同様に各工程図に
おける一部省略断面図である。なお、簡単のため図4
(a)にのみV−V断面線を記入しているが、図5
(b)〜(h)にも同様な断面図があらわれているもの
とする。
主面が(100)面の単結晶シリコンから成る基板21
を用意し、熱酸化法、スパッタ法、プラズマCVD法
等、もしくはそれらを組み合わせた成膜法により、基板
21の全面に厚さ0.5〜60μmの酸化シリコン(S
iO2 )膜を形成し、次いでプラズマCVD法等により
厚さ0.1〜2μm の窒化シリコン(SiNx )膜を積
層する。そして、基板21に光導波体を搭載するための
搭載溝形成用パターンと、光素子搭載用の電極パターン
及び(/又は)光素子搭載用の位置合わせマーカーパタ
ーンとが形成されたフォトマスク(基準マスク:フォト
マスク4)を用いて、後記するV溝を実際に形成させる
開口部22a、電極パターン形成部を形成させる開口部
22b、及び光素子搭載用マーカー形成部を形成させる
開口部22cを有する、SiNx /SiO2 膜のパター
ン22をフォトリソグラフィにより形成する。なお、こ
のとき不図示の所定形状のマーカーを形成する。
ように、4(a)における電極パターン形成部を形成さ
せる開口部22b、及び光素子搭載用マーカー形成部を
形成させる開口部22cを覆い、かつV溝形成部22a
に接触しないように、SiO2 、SiNx 、TaOx 等
のV溝エッチング用の保護用マスクパターン23をフォ
トマスク5を用いて形成する。すなわち、このフォトマ
スク5を上記フォトマスク4で作製した領域に正確に位
置合わせして、すなわち、フォトマスク4で形成した不
図示のマーカーに正確に位置合わせしてフォトリソグラ
フィにより保護用マスクパターン23を形成する。
ように、溶液温度60〜80℃、30〜45重量%のK
OH水溶液を用い、基板1の結晶面のエッチングレイト
の差を利用して、エッチングレイトの小さい(111)
面が溝の側面(基板1の表面に対して約55°の傾斜
面)にあらわれたV溝24を形成させる。
ように、電極パターン形成部25及び光素子搭載用マー
カー形成部26を覆う保護用マスクパターンを除去し、
基板全体を熱酸化させる。図中27は熱酸化膜(SiO
2 膜)である。
ように、図4(a)における電極パターン形成部4及び
光素子搭載用マーカー形成部より広いパターンを有する
1枚のフォトマスク6を用い、このフォトマスク6をフ
ォトマスク5で作製した領域に正確に位置合わせして、
すなわち、フォトマスク5で形成した不図示のマーカー
に正確に位置合わせして、電極パターン部25及び光素
子搭載用マーカー形成部26より広めに開口部を形成す
るようにフォトレジスト28で覆い、さらに、基板全面
に、電極材料であるAu/Pt/Ti、Au/Pt/T
iN/Ti、Au/Ti、Au/Ni/Cr,Au/C
rなどの金属膜29を電子ビーム蒸着法やスパッタ法な
どにより厚さ3000〜1μm 程度に成膜する。
ように、リフトオフ法にてフォトレジストパターン28
を除去することにより、導体膜を周辺に残した電極パタ
ーン30及び光素子搭載用マーカー31を形成する。
ように、ウエットエッチングもしくはドライエッチング
によりSiNx 膜を除去することにより、基板上のパタ
ーンのみが形成され、最終形状の電極32及び光素子搭
載用マーカー33が形成される。
ように、光素子搭載部にAuSn合金等の半田34を形
成し、その後の工程は図1(h)及び図2(h)と同様
であるので説明を省略するが、断面図を図5(i)に示
す。
することができる。
の形成前にV溝の作製を行った場合を示したが、先に電
極パターンの形成を行い、次いでV溝の作製を行うよう
にしてもよい。以下に、この実施形態について説明す
る。
る光導波体の光軸(もしくは、V溝の長手方向の中心
線)で切った断面図とする。図6(a)に示すように、
上記例2と同様に、主面が(100)面の単結晶シリコ
ンから成る基板41を用意し、熱酸化法、スパッタ法、
プラズマCVD法等、もしくはそれらを組み合わせた成
膜法により、基板41の全面に厚さ0.5〜60μmの
酸化シリコン(SiO2)膜42を形成し、次いでプラ
ズマCVD法等により厚さ0.1〜2μm の窒化シリコ
ン(SiNx )膜43を積層する。
ターン、電極パターン、及び光素子搭載用マーカーパタ
ーンが形成されたフォトマスク(基準マスク:フォトマ
スク7)を用い、フォトリソグラフィにより、所定領域
にフォトレジスト44を塗布形成した後に、酸化シリコ
ン膜42及び窒化シリコン膜43の不要部を除去する。
このとき、不図示のマーカーが形成される。
準マスクで用いたフォトマスクと別のフォトマスク8
(後記する電極パターン形成部及び光素子搭載用マーカ
ー形成部の以外の領域にフォトレジストを塗布形成させ
るもの)を用いて、上記基準マスクで作製した領域に正
確に位置合わせして、すなわち、基準マスクで形成した
不図示のマーカーに正確に位置合わせして、電極パター
ン形成部及び光素子搭載用マーカー形成部を除いた領域
に、フォトレジスト45を塗布し、さらに、図6(d)
に示すように、上記例1,2と同様に金属膜46を被着
形成する。
レジスト44,45をリフトオフ法により除去すること
でもって、所定形状の電極47,48を形成することが
できる。
法により基板全面に酸化シリコン膜49を形成し、さら
に、図6(g)に示すように、さらに別のフォトマスク
9(後記するV溝形成領域51以外の領域にフォトレジ
ストを塗布形成させるもの)を用いて、上記基準マスク
で作製した領域に正確に位置合わせして、すなわち、基
準マスクで形成した不図示のマーカーに正確に位置合わ
せして、電極パターン及び光素子搭載用マーカー部にフ
ォトレジスト50を塗布し、V溝形成領域51を開口さ
せる。
レジスト50を所定の剥離液を用いて除去し、さらに、
上記例1,2と同様に基板41をエッチングすることに
よって、所定形状のV溝52を形成する。
リコン膜をウエットエッチングもしくはドライエッチン
グにより除去し、さらに、図6(k)に示すように、例
1,例2と同様にして基板41の切断や溝入れを行って
光デバイス実装基板の作製を行う。
果を奏することができる。なお、例3においては、図6
(e)におけるリフトオフが容易かつ迅速に行えるとい
う利点がある。
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で適
宜変更することが可能である。
ス実装基板の作製方法によれば、光導波体の搭載溝形成
のためのエッチング時のエッチングマスクパターンと、
光素子実装用の位置合わせマーカー及び/又は電極を形
成するためのパターンとを同一プロセスにて精度良く形
成することができ、従来のような搭載溝と光素子搭載用
の電極、または搭載溝と位置合わせマーカーとの位置合
わせを不要とし、且つその精度をサブミクロンオーダー
で形成することが可能となり、光デバイス実装基板を迅
速かつ高精度に提供することができ、ひいては信頼性の
高い優れた光モジュールを提供することが可能となる。
バイス実装基板の作製工程を説明する平面図である。
一部省略断面図である。
実装した様子を説明する斜視図である。
バイス実装基板の作製工程を説明する平面図である。
一部省略断面図である。
バイス実装基板の作製工程を説明する一部省略断面図で
ある。
バイス実装基板の作製工程を説明する平面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 基板上に光導波体と発光及び/又は受光
を行う光素子とを配置して光学的に結合させるための光
デバイス実装基板の作製方法であって、光導波体搭載用
の搭載溝パターンと、光素子搭載用の電極パターン及び
/又は光素子搭載時の目印となる位置合わせマーカーパ
ターンの双方が形成されたフォトマスクを用い、前記基
板に搭載溝と光素子搭載用の電極及び/又は位置合わせ
マーカーをフォトリソグラフィにより形成するようにし
たことを特徴とする光デバイス実装基板の作製方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載の光デバイス実装基板上
に光導波体と光素子とを光学的に結合させて成る光モジ
ュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33430396A JP3838718B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 光デバイス実装基板の作製方法および光モジュールの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33430396A JP3838718B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 光デバイス実装基板の作製方法および光モジュールの作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10170773A true JPH10170773A (ja) | 1998-06-26 |
JP3838718B2 JP3838718B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=18275848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33430396A Expired - Fee Related JP3838718B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 光デバイス実装基板の作製方法および光モジュールの作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3838718B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000065884A (ko) * | 1999-04-10 | 2000-11-15 | 이계철 | 광송수신 모듈 및 그 제조방법 |
KR100436778B1 (ko) * | 2002-10-09 | 2004-06-23 | 한국전자통신연구원 | 광모듈 및 그 제조방법 |
KR100601033B1 (ko) | 2004-12-29 | 2006-07-18 | (주)포토닉솔루션 | 수동정렬형 오에스에이 모듈 |
CN105264674A (zh) * | 2013-12-20 | 2016-01-20 | 华为技术有限公司 | 半导体器件和制备半导体器件的方法 |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP33430396A patent/JP3838718B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000065884A (ko) * | 1999-04-10 | 2000-11-15 | 이계철 | 광송수신 모듈 및 그 제조방법 |
KR100436778B1 (ko) * | 2002-10-09 | 2004-06-23 | 한국전자통신연구원 | 광모듈 및 그 제조방법 |
KR100601033B1 (ko) | 2004-12-29 | 2006-07-18 | (주)포토닉솔루션 | 수동정렬형 오에스에이 모듈 |
CN105264674A (zh) * | 2013-12-20 | 2016-01-20 | 华为技术有限公司 | 半导体器件和制备半导体器件的方法 |
CN105264674B (zh) * | 2013-12-20 | 2019-01-18 | 华为技术有限公司 | 半导体器件和制备半导体器件的方法 |
US10234629B2 (en) | 2013-12-20 | 2019-03-19 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Method for reducing threading dislocation of semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3838718B2 (ja) | 2006-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH11109184A (ja) | 光デバイス実装用基板及び光モジュール | |
US5784509A (en) | Waveguide-optical fiber connection structure and waveguide-optical fiber connection method | |
US20030219208A1 (en) | Optical coupling module with self-aligned etched grooves and method for fabricating the same | |
US6250819B1 (en) | Mounting of an integrated optic circuit on a motherboard for the connection of optic fibers to form a miniature optical component | |
US6621961B2 (en) | Self-alignment hybridization process and component | |
KR0155508B1 (ko) | 자기 정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법 | |
JP2000235127A (ja) | 光電子集積回路およびその作製方法 | |
KR100456672B1 (ko) | 광도파로 플랫폼 및 그 제조 방법 | |
US5907646A (en) | Optical coupling circuit and fabrication process therefor | |
US6839497B2 (en) | Optical waveguide platform and method of manufacturing the same | |
JPH05304306A (ja) | 電気・光モジュール及びその製造方法 | |
JPH10170773A (ja) | 光デバイス実装基板の作製方法及び光モジュール | |
JP2002169064A (ja) | 光部品実装用基板及びその製造方法並びに光モジュール | |
KR100524672B1 (ko) | 광수동 정렬용 각진 홈을 이용한 플립칩 본딩방법 및 광모듈 | |
US20030235388A1 (en) | Method for fabricating fiber blocks using solder as bonding material | |
JP2002014258A (ja) | 光半導体素子キャリア及びそれを備えた光アセンブリ | |
JPH06160676A (ja) | 半導体レーザモジュールの製造方法 | |
JP4471508B2 (ja) | 光部品実装用基板の製造方法 | |
JP2001044308A (ja) | 光デバイス実装用基板及びその製造方法並びに光モジュール | |
JP2001242349A (ja) | 光部品実装用基板およびそれを用いた光モジュール | |
JP4671480B2 (ja) | 光実装基板の製造方法及び光モジュールの製造方法 | |
JP2001215365A (ja) | 光部品実装用基板及びその製造方法 | |
JP3446949B2 (ja) | 複合基板及びその製造方法 | |
JP2001124961A (ja) | 光部品実装用基板及びその製造方法 | |
KR0169838B1 (ko) | 자기정렬된 정렬마크를 지닌 광결합장치 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060320 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060718 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060801 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |