JPH10170043A - ファンフィルタユニット - Google Patents
ファンフィルタユニットInfo
- Publication number
- JPH10170043A JPH10170043A JP32725996A JP32725996A JPH10170043A JP H10170043 A JPH10170043 A JP H10170043A JP 32725996 A JP32725996 A JP 32725996A JP 32725996 A JP32725996 A JP 32725996A JP H10170043 A JPH10170043 A JP H10170043A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- fan
- filter unit
- guide vane
- fan filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 希望領域内のファンフィルタユニットの数を
減らすことができるとともに、ユニットの数を低減させ
てもその希望領域内で均一な吹き出し気流が得られるフ
ァンフィルタユニットを提供する。 【構成】 送風用のファン１１およびフィルタ１２を一
体に備えてファンフィルタユニット１０を構成し、フィ
ルタ１２の下流側にガイドベーン１３を設ける。ガイド
ベーン１３の吹き出し開口面をフィルタ１２の吹き出し
開口面より大きな面積に形成する。ガイドベーン１３
は、その下面の吹き出し開口面で均一な吹き出し気流が
得られるように多数のベーン１４を配列させて構成す
る。
減らすことができるとともに、ユニットの数を低減させ
てもその希望領域内で均一な吹き出し気流が得られるフ
ァンフィルタユニットを提供する。 【構成】 送風用のファン１１およびフィルタ１２を一
体に備えてファンフィルタユニット１０を構成し、フィ
ルタ１２の下流側にガイドベーン１３を設ける。ガイド
ベーン１３の吹き出し開口面をフィルタ１２の吹き出し
開口面より大きな面積に形成する。ガイドベーン１３
は、その下面の吹き出し開口面で均一な吹き出し気流が
得られるように多数のベーン１４を配列させて構成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器、精密機
械、薬品及び食品等の産業分野に使用されるクリーンル
ーム内に配設される送風用のファンおよびフィルタを一
体に備えたファンフィルタユニットに関する。
械、薬品及び食品等の産業分野に使用されるクリーンル
ーム内に配設される送風用のファンおよびフィルタを一
体に備えたファンフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームは、そこで行われる作業
に対して有害な汚染物を制御することができる室であ
り、生産工場、病院、研究施設などで汚染が問題なる場
合に設けられる。
に対して有害な汚染物を制御することができる室であ
り、生産工場、病院、研究施設などで汚染が問題なる場
合に設けられる。
【０００３】従来、クリーンルーム内では、空気中の浮
遊粉塵が規定レベル以下に管理されていて、必要に応じ
て温度、湿度、圧力、静電気、振動などの環境条件も管
理される。
遊粉塵が規定レベル以下に管理されていて、必要に応じ
て温度、湿度、圧力、静電気、振動などの環境条件も管
理される。
【０００４】クリーンルームの送風方式には、天井チャ
ンバ方式とファンフィルタユニット方式がある。ファン
フィルタユニット方式においては、クリーンルーム内の
希望領域の天井に必要な数だけのファンフィルタユニッ
トを取り付け、その希望領域をパーティションによって
隔成することによりクリーンエリアを形成し、清浄化を
行っている。
ンバ方式とファンフィルタユニット方式がある。ファン
フィルタユニット方式においては、クリーンルーム内の
希望領域の天井に必要な数だけのファンフィルタユニッ
トを取り付け、その希望領域をパーティションによって
隔成することによりクリーンエリアを形成し、清浄化を
行っている。
【０００５】このファンフィルタユニットは、図３に示
すように、送風用のファン１とフィルタ２を一体的に内
蔵し、天井フレームシステムによって希望領域の天井面
に取り付けられている。空気が送風用のファン１により
フィルタ２に送られ、そのフィルタ２によって浮遊粉塵
が除去されて清浄空気となり、クリーンルーム内に送り
込まれる。そして、格子状の床面に吸入させることによ
り、作業による発塵は直ちに床面に吸い込まれて室内の
清浄度を高く保つことができるようになっている。
すように、送風用のファン１とフィルタ２を一体的に内
蔵し、天井フレームシステムによって希望領域の天井面
に取り付けられている。空気が送風用のファン１により
フィルタ２に送られ、そのフィルタ２によって浮遊粉塵
が除去されて清浄空気となり、クリーンルーム内に送り
込まれる。そして、格子状の床面に吸入させることによ
り、作業による発塵は直ちに床面に吸い込まれて室内の
清浄度を高く保つことができるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来のファンフィルタユニットにあっては、図３に示し
たように、吹き出し開口面積Ａとフィルタ２の面積Ｂが
略同一であるため、一つのファンフィルタユニットがカ
バーできる範囲はフィルタ面積分に限られてしまう。し
たがって、希望領域が広くなると多数のファンフィルタ
ユニットを配設しなければならないという課題があっ
た。
従来のファンフィルタユニットにあっては、図３に示し
たように、吹き出し開口面積Ａとフィルタ２の面積Ｂが
略同一であるため、一つのファンフィルタユニットがカ
バーできる範囲はフィルタ面積分に限られてしまう。し
たがって、希望領域が広くなると多数のファンフィルタ
ユニットを配設しなければならないという課題があっ
た。
【０００７】また、乱れの無い層流を得るためユニット
相互間に間隔をあけてはならず、希望領域の全面に隙間
なく配置させる必要があり、このため高コストになると
いう課題もあった。
相互間に間隔をあけてはならず、希望領域の全面に隙間
なく配置させる必要があり、このため高コストになると
いう課題もあった。
【０００８】そこで本発明はかかる従来の課題に鑑み
て、希望領域内のファンフィルタユニットの数を減らす
ことができるとともに、ユニットの数を低減させてもそ
の希望領域内で均一な吹き出し気流が得られるファンフ
ィルタユニットを提供することを目的とする。
て、希望領域内のファンフィルタユニットの数を減らす
ことができるとともに、ユニットの数を低減させてもそ
の希望領域内で均一な吹き出し気流が得られるファンフ
ィルタユニットを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに本発明は、送風用のファンおよびフィルタを一体に
備えたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタ
の下流側に、多数のベーンを均一な吹き出し気流が生じ
るように配列してなるガイドベーンを設けるとともに、
前記ガイドベーンの吹き出し開口面を前記フィルタの吹
き出し開口面より大きな面積に形成することを特徴とす
る。
めに本発明は、送風用のファンおよびフィルタを一体に
備えたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタ
の下流側に、多数のベーンを均一な吹き出し気流が生じ
るように配列してなるガイドベーンを設けるとともに、
前記ガイドベーンの吹き出し開口面を前記フィルタの吹
き出し開口面より大きな面積に形成することを特徴とす
る。
【００１０】従って、本発明のファンフィルタユニット
では、上記ガイドベーンにより、ひとつのファンフィル
タユニットがカバーできる範囲を広げることが可能にな
るので、希望領域内のファンフィルタユニットの数を減
らすことができる。また、上記ガイドベーンに配列した
多数のベーンにより空気流が整えられるので、均一な吹
き出し気流を得ることができる。
では、上記ガイドベーンにより、ひとつのファンフィル
タユニットがカバーできる範囲を広げることが可能にな
るので、希望領域内のファンフィルタユニットの数を減
らすことができる。また、上記ガイドベーンに配列した
多数のベーンにより空気流が整えられるので、均一な吹
き出し気流を得ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、添
付図面を参照して詳細に説明する。図１および図２は本
発明のファンフィルタユニットの一構成例を示し、図１
はその斜視図、図２はその断面図である。
付図面を参照して詳細に説明する。図１および図２は本
発明のファンフィルタユニットの一構成例を示し、図１
はその斜視図、図２はその断面図である。
【００１２】即ち、本構成例のファンフィルタユニット
１０は、送風用のファン１１、フィルタ１２およびガイ
ドベーン１３とを備えている。送風用のファン１１はシ
ロッコファンで構成されている。フィルタ１２は、直径
１μｍ以下の細いガラス繊維に少量のバインダを加えた
紙条の濾材を、濾材面積を広げるために密に折りたた
み、その間にセパレータを入れた構造のフィルタで、粉
塵捕集効率が０．３μｍの粉塵に対して９９．９７％以
上のＨＥＰＡフィルタ、または非常に細い繊維で作られ
た濾材を用いたフィルタで、粉塵捕集効率が０．１μｍ
の粉塵に対して９９．９９９９％程度のＵＬＰＡフィル
タからなっている。フィルタ１２は、送風用のファン１
１の下方に、空気が漏れないように取り付けられてい
る。さらに、フィルタ１２の下方には、ガイドベーン１
３が配設されている。ガイドベーン１３は、その下面の
吹き出し開口面で均一な吹き出し気流が得られるように
多数のベーン１４を配列させて構成されており、フィル
タ１２の幅より広く形成されている。ベーン１４はフィ
ルタ１２側で互いの間隔が狭く、吹き出し側で互いの間
隔が広くなるように配列されている。またベーン１４は
フィルタ１２側および吹き出し側で空気導入経路および
空気吹き出し経路が直下に向くように縦壁面を備えて形
成されている。
１０は、送風用のファン１１、フィルタ１２およびガイ
ドベーン１３とを備えている。送風用のファン１１はシ
ロッコファンで構成されている。フィルタ１２は、直径
１μｍ以下の細いガラス繊維に少量のバインダを加えた
紙条の濾材を、濾材面積を広げるために密に折りたた
み、その間にセパレータを入れた構造のフィルタで、粉
塵捕集効率が０．３μｍの粉塵に対して９９．９７％以
上のＨＥＰＡフィルタ、または非常に細い繊維で作られ
た濾材を用いたフィルタで、粉塵捕集効率が０．１μｍ
の粉塵に対して９９．９９９９％程度のＵＬＰＡフィル
タからなっている。フィルタ１２は、送風用のファン１
１の下方に、空気が漏れないように取り付けられてい
る。さらに、フィルタ１２の下方には、ガイドベーン１
３が配設されている。ガイドベーン１３は、その下面の
吹き出し開口面で均一な吹き出し気流が得られるように
多数のベーン１４を配列させて構成されており、フィル
タ１２の幅より広く形成されている。ベーン１４はフィ
ルタ１２側で互いの間隔が狭く、吹き出し側で互いの間
隔が広くなるように配列されている。またベーン１４は
フィルタ１２側および吹き出し側で空気導入経路および
空気吹き出し経路が直下に向くように縦壁面を備えて形
成されている。
【００１３】空気は、送風用のファン１１によって下方
へ送り込まれ、フィルタ１２により浮遊粉塵が除去され
て清浄空気となり、ガイドベーン１３のベーン１４によ
り導かれてクリーンルーム内に送り込まれる。
へ送り込まれ、フィルタ１２により浮遊粉塵が除去され
て清浄空気となり、ガイドベーン１３のベーン１４によ
り導かれてクリーンルーム内に送り込まれる。
【００１４】以上の構成により本構成例のファンフィル
タユニット１０にあっては、フィルタ１２の面積よりも
ガイドベーン１３の吹き出し開口面を広くしているた
め、一つのファンフィルタユニット１０がカバーできる
範囲を広げることが可能であり、これにより希望領域内
のファンフィルタユニット１０の数を減らすことがで
き、低コストなクリーンルームを実現することができ
る。また、ガイドベーン１３に配列した多数のベーン１
４により空気流が整えられるので、希望領域内のファン
フィルタユニット１０の数を低減させても、その希望領
域内に均一な吹き出し気流を得ることができる。
タユニット１０にあっては、フィルタ１２の面積よりも
ガイドベーン１３の吹き出し開口面を広くしているた
め、一つのファンフィルタユニット１０がカバーできる
範囲を広げることが可能であり、これにより希望領域内
のファンフィルタユニット１０の数を減らすことがで
き、低コストなクリーンルームを実現することができ
る。また、ガイドベーン１３に配列した多数のベーン１
４により空気流が整えられるので、希望領域内のファン
フィルタユニット１０の数を低減させても、その希望領
域内に均一な吹き出し気流を得ることができる。
【００１５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明にあっ
ては、一つのファンフィルタユニットがカバーできる範
囲を広げることが可能になるので、希望領域内のファン
フィルタユニットの数を減らすことができ、低コストな
クリーンルームを実現することができる。また、ガイド
ベーンに配列した多数のベーンにより空気流が整えられ
るので、希望領域内に均一な吹き出し気流を得ることが
できるという優れた効果を奏する。
ては、一つのファンフィルタユニットがカバーできる範
囲を広げることが可能になるので、希望領域内のファン
フィルタユニットの数を減らすことができ、低コストな
クリーンルームを実現することができる。また、ガイド
ベーンに配列した多数のベーンにより空気流が整えられ
るので、希望領域内に均一な吹き出し気流を得ることが
できるという優れた効果を奏する。
【図１】本発明のファンフィルタユニットの一構成例の
斜視図である。
斜視図である。
【図２】本発明のファンフィルタユニットの一構成例の
断面図である。
断面図である。
【図３】従来のファンフィルタユニットの一構成例の断
面図である。
面図である。
１０ ファンフィルタユニット １１ ファン １２ フィルタ １３ ガイドベーン １４ ベーン
Claims (1)
- 【請求項１】 送風用のファンおよびフィルタを一体に
備えたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタ
の下流側に、多数のベーンを均一な吹き出し気流が生じ
るように配列してなるガイドベーンを設けるとともに、
前記ガイドベーンの吹き出し開口面を前記フィルタの吹
き出し開口面より大きな面積に形成することを特徴とす
るファンフィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32725996A JPH10170043A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | ファンフィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32725996A JPH10170043A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | ファンフィルタユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10170043A true JPH10170043A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18197125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32725996A Pending JPH10170043A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | ファンフィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10170043A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006144585A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ファン装置 |
| JP2008080059A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Daikoku Denki Co Ltd | 遊技場用エアカーテン装置 |
| US11662102B2 (en) | 2019-04-10 | 2023-05-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Air conditioner including an airflow guide to guide air being discharged |
-
1996
- 1996-12-06 JP JP32725996A patent/JPH10170043A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006144585A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ファン装置 |
| JP2008080059A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Daikoku Denki Co Ltd | 遊技場用エアカーテン装置 |
| US11662102B2 (en) | 2019-04-10 | 2023-05-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Air conditioner including an airflow guide to guide air being discharged |
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