JPH10169802A - Diaphragm for controlling fluid pressure - Google Patents
Diaphragm for controlling fluid pressureInfo
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- JPH10169802A JPH10169802A JP33412196A JP33412196A JPH10169802A JP H10169802 A JPH10169802 A JP H10169802A JP 33412196 A JP33412196 A JP 33412196A JP 33412196 A JP33412196 A JP 33412196A JP H10169802 A JPH10169802 A JP H10169802A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、減圧弁等
の流体圧機器に設けられて調圧機能を営む流体圧制御用
ダイヤフラムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid pressure control diaphragm provided in a fluid pressure device such as a pressure reducing valve and performing a pressure regulating function.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、例えば、減圧弁等には、一次
側圧力を減圧して二次側圧力を所定の設定値に調圧する
機能を営むダイヤフラムが組み込まれている。前記ダイ
ヤフラムは、例えば、フッ素樹脂等の樹脂製材料によっ
て薄膜状に形成され、減圧弁を構成する減圧弁本体とボ
ンネットとの間に介装されてダイヤフラム室を形成して
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a diaphragm having a function of reducing a primary pressure and adjusting a secondary pressure to a predetermined set value is incorporated in a pressure reducing valve or the like. The diaphragm is formed in a thin film shape from, for example, a resin material such as a fluororesin, and is interposed between a pressure reducing valve main body and a bonnet constituting a pressure reducing valve to form a diaphragm chamber.
【0003】この場合、一次側ポートから供給された圧
力流体を前記ダイヤフラム室に導入し、前記圧力流体の
作用下にダイヤフラムを上方側に押圧する力と、前記ダ
イヤフラムを下方側に押圧する調圧ばねの弾発力とが対
抗することにより、流体圧機器に導入される二次側圧力
が調圧される。In this case, a pressure fluid supplied from a primary port is introduced into the diaphragm chamber, and a force for pressing the diaphragm upward under the action of the pressure fluid and a pressure regulating device for pressing the diaphragm downward. The secondary pressure introduced into the fluid pressure device is regulated by opposing the spring force of the spring.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ーム内に配設された半導体製造装置を構成するウエハ洗
浄ライン等に前記減圧弁を付設した場合、前記減圧弁内
を流通する薬液の受圧作用によってダイヤフラムの薄膜
部にクリープ(creep)が発生し、前記クリープに
よって前記薄膜部が伸張して調圧作用を劣化させ、ある
いは該薄膜部が破断するおそれがある。When the pressure reducing valve is attached to a wafer cleaning line or the like that constitutes a semiconductor manufacturing apparatus disposed in a clean room, the diaphragm is acted upon by the pressure of a chemical solution flowing through the pressure reducing valve. Creep may occur in the thin film portion, and the creep may cause the thin film portion to expand and deteriorate the pressure regulation effect, or the thin film portion may be broken.
【0005】また、一般的に、ダイヤフラムの応答感度
を上昇させるために薄膜化を図ろうとすると、前記薄膜
部の耐圧性が劣化してしまうという不都合がある。Further, in general, when an attempt is made to reduce the thickness of the diaphragm in order to increase the response sensitivity of the diaphragm, there is a disadvantage that the pressure resistance of the thin film portion is deteriorated.
【0006】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、薬液等による流体圧を受圧しても
クリープを発生させることがなく、しかも、応答感度を
劣化させることなく高い耐圧性を得ることが可能な流体
圧制御用ダイヤフラムを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to overcome the above-mentioned disadvantages, and does not cause creep even when receiving a fluid pressure due to a chemical solution or the like. It is an object of the present invention to provide a fluid pressure control diaphragm capable of obtaining a fluidity.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、圧力流体の受圧作用下に可撓性を有す
る流体圧制御用ダイヤフラムであって、第1薄膜体と、
前記第1薄膜体と別体且つ異質の材料によって形成さ
れ、該第1薄膜体と重ね合わされる第2薄膜体とからな
ることを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a fluid pressure control diaphragm having flexibility under the pressure receiving action of a pressure fluid, comprising: a first thin film member;
It is characterized by comprising a second thin film formed of a material different from and distinct from the first thin film and superimposed on the first thin film.
【0008】本発明によれば、別体且つ異質の材料から
なる第1薄膜体と第2薄膜体とを重ね合わせて二層構造
とすることにより、クリープを発生させることがなく高
い耐圧性を得ることができる。According to the present invention, the first thin film and the second thin film made of different and different materials are superposed to form a two-layer structure, so that high pressure resistance can be obtained without causing creep. Obtainable.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】本発明に係る流体圧制御用ダイヤ
フラムについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を
参照しながら以下詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a diaphragm for controlling fluid pressure according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
【0010】図1において、参照符号10は、本発明の
実施の形態に係る流体圧制御用ダイヤフラムが組み込ま
れた減圧弁を示す。In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a pressure reducing valve in which a fluid pressure control diaphragm according to an embodiment of the present invention is incorporated.
【0011】この減圧弁10は、一次側ポート12およ
び二次側ポート14が同軸状に形成されたボデイ16
と、前記ボデイ16の上部に嵌合されるボンネット18
と、外周面の所定範囲にねじ部が刻設されたシャフト2
0を回転中心として前記ボンネット18の上部に回動自
在に軸支されるハンドル22と、前記ボデイ16の底面
部に形成された開口部を閉塞するとともに、図示しない
複数のリブが設けられた閉塞部材24とから構成され
る。The pressure reducing valve 10 has a body 16 in which a primary port 12 and a secondary port 14 are formed coaxially.
And a hood 18 fitted on the upper part of the body 16.
And a shaft 2 having a thread portion engraved in a predetermined range on the outer peripheral surface.
A handle 22 rotatably supported on the upper portion of the bonnet 18 around the center of rotation 0 and an opening formed on the bottom surface of the body 16 and a closure provided with a plurality of ribs (not shown). And a member 24.
【0012】ボデイ16の一次側ポート12と二次側ポ
ート14との間には、矢印AまたはB方向に沿って変位
するステム26が設けられ、前記ステム26は、ボデイ
16内の孔部に固着された保持部材28に対して摺動自
在に配設される。前記ステム26の下端部には、ボデイ
16と閉塞部材24との間に介装されたダイヤフラムシ
ート30が当接し、さらに、前記ダイヤフラムシート3
0は弁体32の一端部を被覆するように形成される。前
記弁体32のフランジ部には、閉塞部材24の孔部に挿
入された弁ばね34が係着される。この場合、前記弁ば
ね34は、その弾発力によって弁体32を常時矢印A方
向に押圧するように作用している。A stem 26 is provided between the primary side port 12 and the secondary side port 14 of the body 16 so as to be displaced in the direction of arrow A or B. The stem 26 is provided in a hole in the body 16. It is slidably disposed with respect to the fixed holding member 28. A diaphragm sheet 30 interposed between the body 16 and the closing member 24 abuts on a lower end of the stem 26, and further, the diaphragm sheet 3
0 is formed so as to cover one end of the valve body 32. A valve spring 34 inserted into the hole of the closing member 24 is engaged with the flange of the valve body 32. In this case, the valve spring 34 acts so as to always press the valve body 32 in the direction of the arrow A by its resilient force.
【0013】前記一次側ポート12と二次側ポート14
との間には、該一次側ポート12と二次側ポート14と
を連通させる連通路36が形成され、前記連通路36
は、一次側ポート12に近接する第1室38と、前記第
1室38の下方に形成されダイヤフラムシート30によ
って閉塞される第2室40と、前記第2室40の上方に
形成され弁体32が着座部42に着座することにより前
記第2室40との連通状態が遮断される第3室44とか
ら構成される。前記第3室44と二次側ポート14との
間には、所定の傾斜角度からなる壁面を有し、二次側ポ
ート14に向かって徐々に拡径する孔部46が形成され
る。The primary port 12 and the secondary port 14
A communication path 36 is formed between the primary port 12 and the secondary port 14 to communicate with each other.
Are a first chamber 38 adjacent to the primary port 12, a second chamber 40 formed below the first chamber 38 and closed by the diaphragm sheet 30, and a valve body formed above the second chamber 40. The third chamber 44 is configured such that the state of communication with the second chamber 40 is cut off when the seat 32 is seated on the seat portion 42. Between the third chamber 44 and the secondary port 14, a hole 46 having a wall surface having a predetermined inclination angle and gradually increasing in diameter toward the secondary port 14 is formed.
【0014】前記ボデイ16とボンネット18との間に
は、流体圧制御用ダイヤフラム48が張設され、前記流
体圧制御用ダイヤフラム48とボデイ16の側壁とによ
ってダイヤフラム室50が形成される。前記ダイヤフラ
ム室50には、連通路36の第3室44に連通する第1
通路52と、孔部46を介して二次側ポート14に連通
する第2通路54とが形成され、前記第1通路52およ
び第2通路54は、それぞれ所定の直径で形成される。
前記流体圧制御用ダイヤフラム48は一組の弁シート5
6a、56bによって挟持され、前記弁シート56bの
底面部にはステム26の一端部が当接する。A diaphragm 48 for controlling fluid pressure is stretched between the body 16 and the hood 18, and a diaphragm chamber 50 is formed by the diaphragm 48 for controlling fluid pressure and a side wall of the body 16. The first diaphragm chamber 50 communicates with the third chamber 44 of the communication passage 36.
A passage 52 and a second passage 54 communicating with the secondary port 14 via the hole 46 are formed, and the first passage 52 and the second passage 54 are each formed to have a predetermined diameter.
The fluid pressure control diaphragm 48 is provided with a set of valve seats 5.
6a and 56b, one end of the stem 26 abuts against the bottom surface of the valve seat 56b.
【0015】流体圧制御用ダイヤフラム48は、別個独
立の薄膜ダイヤフラムからなる上部側の第1薄膜体58
と下部側の第2薄膜体60とが重ね合わされて形成さ
れ、前記第1薄膜体58は、例えば、基布入りのゴム製
ダイヤフラムからなり、前記第2薄膜体60は、例え
ば、フッ素樹脂からなる樹脂製ダイヤフラムによって構
成される。この場合、流体圧制御用ダイヤフラム48
は、異なる材質からなる第1薄膜体58と第2薄膜体6
0とが接着されることなく重ね合わされて構成されてい
るため、後述するように、前記第1薄膜体58と第2薄
膜体60との可撓性による作動抵抗を小さくし、応答感
度を劣化させることなく高い耐圧性を得ることができ
る。The fluid pressure control diaphragm 48 is a first thin film member 58 on the upper side composed of a separate and independent thin film diaphragm.
And the second thin film member 60 on the lower side are overlapped and formed. The first thin film member 58 is made of, for example, a rubber diaphragm containing a base cloth, and the second thin film member 60 is made of, for example, a fluororesin. Composed of a resin diaphragm. In this case, the fluid pressure control diaphragm 48
Are a first thin film member 58 and a second thin film member 6 made of different materials.
Since the first and second thin film members 58 and 60 are overlapped without being adhered, the operating resistance due to the flexibility between the first thin film member 58 and the second thin film member 60 is reduced, and the response sensitivity is deteriorated. A high pressure resistance can be obtained without causing this.
【0016】なお、ダイヤフラムシート30は、流体圧
制御用ダイヤフラム48と同様に、基布入りのゴム製ダ
イヤフラムからなる第1薄膜体62と、フッ素樹脂の樹
脂製ダイヤフラムからなる第2薄膜体64とが重ね合わ
されて構成される。The diaphragm sheet 30 includes a first thin film member 62 made of a rubber diaphragm containing a base cloth and a second thin film member 64 made of a resin-made diaphragm made of a fluororesin, similarly to the diaphragm 48 for controlling fluid pressure. Are superimposed.
【0017】ダイヤフラム室50と第3室44との間に
は保持部材28およびステム26が設けられ、前記ダイ
ヤフラム室50と連通路36とが保持部材28およびス
テム26によって遮断されている。従って、連通路36
を介して一次側ポート12から供給された圧力流体の一
部は、所定の直径を有する第1通路52を介してダイヤ
フラム室50に導入される。A holding member 28 and a stem 26 are provided between the diaphragm chamber 50 and the third chamber 44, and the diaphragm chamber 50 and the communication passage 36 are shut off by the holding member 28 and the stem 26. Therefore, the communication path 36
A part of the pressure fluid supplied from the primary side port 12 through the first port 52 is introduced into the diaphragm chamber 50 through the first passage 52 having a predetermined diameter.
【0018】前記ハンドル22に固定されたシャフト2
0のねじ部には、ばね受け部材66が螺設され、前記ば
ね受け部材66と弁シート56aとの間に装着された調
圧ばね68の弾発力によって流体圧制御用ダイヤフラム
48を矢印B方向に押圧する力が作用する。この場合、
前記調圧ばね68は流体圧制御用ダイヤフラム48の調
圧作用を営むものであり、ハンドル22の回動作用下に
ばね受け部材66がシャフト20のねじ部に沿って矢印
AまたはB方向に変位する。なお、前記ボンネット18
の内部には、ばね受け部材66に係合して該ばね受け部
材66の回り止めの機能を営む係止部材70が設けられ
る。The shaft 2 fixed to the handle 22
A screw receiving member 66 is screwed into the thread portion of No. 0, and the fluid pressure control diaphragm 48 is moved by an arrow B by the elastic force of a pressure adjusting spring 68 mounted between the spring receiving member 66 and the valve seat 56a. A pressing force acts in the direction. in this case,
The pressure adjusting spring 68 serves to adjust the pressure of the diaphragm 48 for controlling fluid pressure, and the spring receiving member 66 is displaced in the direction of the arrow A or B along the threaded portion of the shaft 20 under the turning action of the handle 22. I do. The hood 18
Is provided with a locking member 70 which engages with the spring receiving member 66 and performs the function of preventing the spring receiving member 66 from rotating.
【0019】本発明の実施の形態に係る流体圧制御用ダ
イヤフラム48が組み込まれた減圧弁10は、基本的に
は以上のように構成されるものであり、次にその動作並
びに作用効果について説明する。The pressure reducing valve 10 incorporating the fluid pressure control diaphragm 48 according to the embodiment of the present invention is basically configured as described above. Next, the operation and the effect of the pressure reducing valve 10 will be described. I do.
【0020】まず、一次側ポート12に図示しない圧力
流体供給源を接続し、二次側ポート14に所望の流体圧
機器(図示せず)を予め接続しておく。また、ハンドル
22を所定方向に螺回して流体圧機器に供給する二次側
の設定圧力を設定しておく。First, a pressure fluid supply source (not shown) is connected to the primary port 12, and a desired fluid pressure device (not shown) is connected to the secondary port 14 in advance. Further, a set pressure on the secondary side to be supplied to the fluid pressure device by turning the handle 22 in a predetermined direction is set in advance.
【0021】すなわち、ハンドル22の回動作用下にシ
ャフト20の軸線方向に沿ってばね受け部材66を変位
させ、前記ばね受け部材66によって圧縮された調圧ば
ね68を介して流体圧制御用ダイヤフラム48を矢印B
方向に向かって押圧することにより、ステム26および
弁体32が一体的に下降する。That is, the spring receiving member 66 is displaced along the axial direction of the shaft 20 under the rotating action of the handle 22, and the diaphragm for fluid pressure control is passed through the pressure adjusting spring 68 compressed by the spring receiving member 66. 48 to arrow B
By pressing in the direction, the stem 26 and the valve body 32 are integrally lowered.
【0022】従って、弁体32が矢印B方向に変位して
着座部42から所定間隔だけ離間するに至り、一次側ポ
ート12と二次側ポート14との連通路36を構成する
第1室38、第2室40および第3室44がそれぞれ連
通した状態となる(図2参照)。Accordingly, the valve element 32 is displaced in the direction of arrow B to be separated from the seat 42 by a predetermined distance, and the first chamber 38 forming the communication path 36 between the primary port 12 and the secondary port 14 is formed. , The second chamber 40 and the third chamber 44 are in communication with each other (see FIG. 2).
【0023】一次側圧力に対して二次側圧力が低い時、
圧力流体供給源の付勢作用下に一次側ポート12から導
入された圧力流体(例えば、ウエハ洗浄用薬液)は、第
1室38、第2室40および第3室44を順次流通し、
孔部46および二次側ポート14を介して流体圧機器に
供給される。この場合、一次側ポート12から供給され
た圧力流体の一部は、第1通路52を介して第3室44
からダイヤフラム室50に導入され、流体圧制御用ダイ
ヤフラム48を上方に向かって押圧する力を発生させ
る。従って、一次側ポート12から供給された圧力流体
によって発生する流体圧制御用ダイヤフラム48を上方
に押圧する力と、調圧ばね68の弾発力とが対抗するこ
とにより、流体圧機器に導入される二次側圧力が調圧さ
れる。When the secondary pressure is lower than the primary pressure,
The pressurized fluid (for example, a wafer cleaning chemical) introduced from the primary port 12 under the urging action of the pressurized fluid supply source sequentially flows through the first chamber 38, the second chamber 40, and the third chamber 44,
The fluid is supplied to the hydraulic device through the hole 46 and the secondary port 14. In this case, a part of the pressure fluid supplied from the primary port 12 is supplied to the third chamber 44 through the first passage 52.
The pressure is introduced into the diaphragm chamber 50 to generate a force that presses the fluid pressure control diaphragm 48 upward. Therefore, the force for pushing the fluid pressure control diaphragm 48 generated by the pressure fluid supplied from the primary port 12 upward and the resilience of the pressure adjusting spring 68 are opposed to each other, so that the fluid is introduced into the fluid pressure device. The secondary pressure is regulated.
【0024】このように、二次側圧力が設定値より低い
間は、流体圧機器に対して圧力流体の流入が継続され、
一次側圧力と二次側圧力との差が小さくなるにつれて、
調圧ばね68の弾発力に抗して徐々に流体圧制御用ダイ
ヤフラム48が上昇し、前記流体圧制御用ダイヤフラム
48と一体的にステム26および弁体32が上昇するこ
とにより、前記弁体32が着座部42に着座して設定圧
力に至る。このようにして、所望の設定圧力に調圧され
た圧力流体が図示しない流体圧機器に供給される。As described above, while the secondary pressure is lower than the set value, the inflow of the pressurized fluid into the fluid pressure device is continued,
As the difference between the primary and secondary pressures decreases,
The diaphragm 48 for fluid pressure control gradually rises against the resilience of the pressure regulating spring 68, and the stem 26 and the valve body 32 rise integrally with the diaphragm 48 for fluid pressure control. The seat 32 is seated on the seat 42 and reaches the set pressure. In this way, the pressure fluid adjusted to the desired set pressure is supplied to a fluid pressure device (not shown).
【0025】本実施の形態では、一層の樹脂製ダイヤフ
ラムによって構成された従来技術と比較して、材質が異
なる第1薄膜体58と第2薄膜体60とを重ね合わせた
二層構造とすることにより、圧力流体の受圧面にクリー
プを発生させることがなく、高い耐圧性を得ることがで
きる。In the present embodiment, the first thin film member 58 and the second thin film member 60, which are made of different materials, have a two-layered structure as compared with the prior art constituted by one layer of resin diaphragm. Accordingly, high pressure resistance can be obtained without generating creep on the pressure receiving surface of the pressure fluid.
【0026】また、樹脂製ダイヤフラムとゴム製ダイヤ
フラムとを接着剤等によって一体的に貼り付けた場合、
樹脂製ダイヤフラムとゴム製ダイヤフラムとの間に形成
される接着面によって該樹脂製ダイヤフラムとゴム製ダ
イヤフラムとの相対的変位が規制され、受圧面の円滑な
可撓性を阻害するという問題がある。When a resin diaphragm and a rubber diaphragm are integrally attached with an adhesive or the like,
There is a problem in that the relative displacement between the resin diaphragm and the rubber diaphragm is restricted by the adhesive surface formed between the resin diaphragm and the rubber diaphragm, and the smooth flexibility of the pressure receiving surface is hindered.
【0027】これに対して、本実施の形態では、ゴム製
ダイヤフラムからなる第1薄膜体58と樹脂製ダイヤフ
ラムからなる第2薄膜体60とを重ね合わせた構造を採
用することにより、該第1薄膜体58と第2薄膜体60
とがそれぞれ別個独立に変位し、円滑な可撓性を有する
ことから応答速度の向上を図ることができる。従って、
流体圧制御用ダイヤフラム48を小さく形成しても、大
きな可撓性を得ることができる。On the other hand, in the present embodiment, by adopting a structure in which the first thin film member 58 made of a rubber diaphragm and the second thin film member 60 made of a resin diaphragm are overlapped, the first thin film member 58 is formed. Thin film body 58 and second thin film body 60
Are independently and independently displaced and have smooth flexibility, so that the response speed can be improved. Therefore,
Even if the fluid pressure control diaphragm 48 is formed small, large flexibility can be obtained.
【0028】さらに、一次側ポート12と二次側ポート
14との間に設けられた弁体32を、流体圧制御用ダイ
ヤフラム48と同様に二層構造によって構成されたダイ
ヤフラムシート30によって被覆し、該ダイヤフラムシ
ート30と弁体32とを一体的に変位させることによ
り、流体通路中に圧力流体が残存することを防止すると
いう利点がある。Further, the valve element 32 provided between the primary side port 12 and the secondary side port 14 is covered with a diaphragm sheet 30 having a two-layer structure in the same manner as the fluid pressure control diaphragm 48. By displacing the diaphragm sheet 30 and the valve body 32 integrally, there is an advantage that the pressure fluid is prevented from remaining in the fluid passage.
【0029】なお、本実施の形態では、減圧弁10に組
み込まれた流体圧制御用ダイヤフラム48を用いて説明
しているが、これに限定されるものではなく、前記流体
圧制御用ダイヤフラム48を種々の流体圧機器に適用す
ることができることは勿論である。Although the present embodiment has been described using the fluid pressure control diaphragm 48 incorporated in the pressure reducing valve 10, the present invention is not limited to this. Of course, it can be applied to various fluid pressure devices.
【0030】[0030]
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。According to the present invention, the following effects can be obtained.
【0031】すなわち、一層の樹脂製ダイヤフラムによ
って構成された従来技術と比較して、材質が異なる第1
薄膜体と第2薄膜体とが重ね合わされた二層構造とする
ことにより、圧力流体の受圧面にクリープを発生させる
ことがなく、高い耐圧性を得ることができる。That is, as compared with the prior art constituted by one layer of resin diaphragm, the first material having a different material is used.
With the two-layer structure in which the thin film body and the second thin film body are overlapped, high pressure resistance can be obtained without generating creep on the pressure receiving surface of the pressure fluid.
【0032】また、接着剤等によって樹脂製ダイヤフラ
ムとゴム製ダイヤフラムとを一体的に貼り付けた場合と
比較して、第1薄膜体と第2薄膜体とを重ね合わせた構
造を採用することにより、該第1薄膜体と第2薄膜体と
がそれぞれ別個独立に変位し、円滑な可撓性を有するこ
とから、応答速度の向上を図ることができる。Also, by adopting a structure in which the first thin film and the second thin film are overlapped with each other, as compared with the case where the resin diaphragm and the rubber diaphragm are integrally attached by an adhesive or the like. Since the first thin film body and the second thin film body are independently and independently displaced and have smooth flexibility, the response speed can be improved.
【図1】本発明の実施の形態に係る流体圧制御用ダイヤ
フラムが組み込まれた減圧弁の縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a pressure reducing valve incorporating a fluid pressure control diaphragm according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示す減圧弁において、弁体が着座部から
離間した状態を示す縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a state in which a valve body is separated from a seating part in the pressure reducing valve shown in FIG.
10…減圧弁 12…一次側ポ
ート 14…二次側ポート 16…ボデイ 18…ボンネット 20…シャフト 22…ハンドル 24…閉塞部材 26…ステム 28…保持部材 30…ダイヤフラムシート 32…弁体 34…弁ばね 36…連通路 38、40、44…室 46…孔部 48…流体圧制御用ダイヤフラム 50…ダイヤフ
ラム室 52、54…通路 56a、56b
…弁シート 58、60、62、64…薄膜体 68…調圧ばねDESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Pressure reducing valve 12 ... Primary side port 14 ... Secondary side port 16 ... Body 18 ... Bonnet 20 ... Shaft 22 ... Handle 24 ... Closure member 26 ... Stem 28 ... Holding member 30 ... Diaphragm sheet 32 ... Valve body 34 ... Valve spring 36 ... communication passage 38, 40, 44 ... chamber 46 ... hole 48 ... fluid pressure controlling diaphragm 50 ... diaphragm chamber 52, 54 ... passage 56a, 56b
... valve seats 58, 60, 62, 64 ... thin film body 68 ... pressure regulating spring
Claims (3)
体圧制御用ダイヤフラムであって、 第1薄膜体と、 前記第1薄膜体と別体且つ異質の材料によって形成さ
れ、該第1薄膜体と重ね合わされる第2薄膜体と、 からなることを特徴とする流体圧制御用ダイヤフラム。1. A diaphragm for controlling fluid pressure having flexibility under the pressure receiving action of a pressure fluid, comprising: a first thin film member; and a material different from and distinct from the first thin film member. A diaphragm for controlling fluid pressure, comprising: a first thin film member and a second thin film member superimposed on the first thin film member.
1薄膜体は、ゴム製材料によって形成され、第2薄膜体
は、樹脂製材料によって形成されることを特徴とする流
体圧制御用ダイヤフラム。2. The diaphragm according to claim 1, wherein the first thin film is formed of a rubber material, and the second thin film is formed of a resin material.
いて、流体圧制御用ダイヤフラムは、少なくとも減圧弁
を含む流体圧機器に組み込まれることを特徴とする流体
圧制御用ダイヤフラム。3. The diaphragm according to claim 1, wherein the diaphragm for controlling fluid pressure is incorporated in a fluid pressure device including at least a pressure reducing valve.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33412196A JPH10169802A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Diaphragm for controlling fluid pressure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33412196A JPH10169802A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Diaphragm for controlling fluid pressure |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH10169802A true JPH10169802A (en) | 1998-06-26 |
Family
ID=18273767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33412196A Pending JPH10169802A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Diaphragm for controlling fluid pressure |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10169802A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1138989A3 (en) * | 2000-03-31 | 2003-05-14 | Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. | Diaphragm valve |
KR100675747B1 (en) * | 2004-01-06 | 2007-01-29 | 도플로 코포레이션 가부시키가이샤 | Flow control valve and flow control apparatus |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP33412196A patent/JPH10169802A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1138989A3 (en) * | 2000-03-31 | 2003-05-14 | Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. | Diaphragm valve |
EP1462693A1 (en) * | 2000-03-31 | 2004-09-29 | Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. | Diaphragm valve |
KR100675747B1 (en) * | 2004-01-06 | 2007-01-29 | 도플로 코포레이션 가부시키가이샤 | Flow control valve and flow control apparatus |
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