JPH10148572A - 分光反射率測定器 - Google Patents
分光反射率測定器Info
- Publication number
- JPH10148572A JPH10148572A JP8324648A JP32464896A JPH10148572A JP H10148572 A JPH10148572 A JP H10148572A JP 8324648 A JP8324648 A JP 8324648A JP 32464896 A JP32464896 A JP 32464896A JP H10148572 A JPH10148572 A JP H10148572A
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- JP
- Japan
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- optical system
- light
- optical
- spectral reflectance
- reflected
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】２００ｎｍ程度以下のＤＵＶ領域での分光反射
率の測定を可能にし、かつ測定精度を向上させることが
できる分光反射率測定器を提供する。 【解決手段】モノクロメータ２から射出する光束を光路
分割部材３によって２光束に分割し、分割された２光束
のうちの一方の光束を反射光学素子によって形成した測
定光学系７に導き、他方の光束を反射光学素子によって
形成した参照光学系５に導き、測定光学系７内に被検面
８を配置し、参照光学系５内に参照面６を配置し、被検
面８からの反射光束と参照面６からの反射光束の光量を
測定するように受光部９を配置した。
率の測定を可能にし、かつ測定精度を向上させることが
できる分光反射率測定器を提供する。 【解決手段】モノクロメータ２から射出する光束を光路
分割部材３によって２光束に分割し、分割された２光束
のうちの一方の光束を反射光学素子によって形成した測
定光学系７に導き、他方の光束を反射光学素子によって
形成した参照光学系５に導き、測定光学系７内に被検面
８を配置し、参照光学系５内に参照面６を配置し、被検
面８からの反射光束と参照面６からの反射光束の光量を
測定するように受光部９を配置した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は分光反射率測定器に
関し、特に波長２００ｎｍ程度以下のＤＵＶ（深紫外）
領城での分光反射率測定器に関する。
関し、特に波長２００ｎｍ程度以下のＤＵＶ（深紫外）
領城での分光反射率測定器に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】半導体素子を製造する
露光装置では、パターンの微細化に伴って露光波長がま
すます短波長化している。この結果、露光装置に用いる
各種の反射防止膜も、ＤＵＶ領域での値を測定する必要
が生じている。従来より市販されている分光反射率測定
器の多くは、レンズ系を使用したものであるため、ガラ
スによる吸収のため２００ｎｍ以下の波長領域での反射
率の測定は困難であった。また、上記従来品の多くは、
被検面の反射率の測定と参照面の反射率の測定を別個に
行なうため、両測定間で生ずる光源の明るさの揺らぎ等
の影響による測定精度の低下が懸念されていた。そこで
本発明は、従来の光学系では困難であった２００ｎｍ程
度以下のＤＵＶ領域での分光反射率の測定を可能にし、
かつ測定精度を向上させることができる分光反射率測定
器を提供することを課題とする。
露光装置では、パターンの微細化に伴って露光波長がま
すます短波長化している。この結果、露光装置に用いる
各種の反射防止膜も、ＤＵＶ領域での値を測定する必要
が生じている。従来より市販されている分光反射率測定
器の多くは、レンズ系を使用したものであるため、ガラ
スによる吸収のため２００ｎｍ以下の波長領域での反射
率の測定は困難であった。また、上記従来品の多くは、
被検面の反射率の測定と参照面の反射率の測定を別個に
行なうため、両測定間で生ずる光源の明るさの揺らぎ等
の影響による測定精度の低下が懸念されていた。そこで
本発明は、従来の光学系では困難であった２００ｎｍ程
度以下のＤＵＶ領域での分光反射率の測定を可能にし、
かつ測定精度を向上させることができる分光反射率測定
器を提供することを課題とする。
【０００３】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、すなわち、モノクロメ
ータから射出する光束を光路分割部材によって２光束に
分割し、分割された２光束のうちの一方の光束を反射光
学素子によって形成した測定光学系に導き、他方の光束
を反射光学素子によって形成した参照光学系に導き、測
定光学系内に被検面を配置し、参照光学系内に参照面を
配置し、被検面からの反射光束と参照面からの反射光束
の光量を測定するように受光部を配置した分光反射率測
定器である。
するためになされたものであり、すなわち、モノクロメ
ータから射出する光束を光路分割部材によって２光束に
分割し、分割された２光束のうちの一方の光束を反射光
学素子によって形成した測定光学系に導き、他方の光束
を反射光学素子によって形成した参照光学系に導き、測
定光学系内に被検面を配置し、参照光学系内に参照面を
配置し、被検面からの反射光束と参照面からの反射光束
の光量を測定するように受光部を配置した分光反射率測
定器である。
【０００４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面によっ
て説明する。図１は本発明による分光反射率測定器の一
実施例を示し、光源１から射出した光束は、集光レンズ
１ａによってモノクロメータ２の入口ピンホール２ａ上
に集光している。光源１としては、例えば重水素ランプ
を用いることができ、集光レンズ１ａの硝材としては、
ほたる石を用いることができる。入口ピンホール２ａを
通過した光束は、モノクロメータの回折格子２ｂによっ
て回折して、出口ピンホール２ｃ上に集光している。出
口ピンホール２ｃを通過した光束は、部分透過ミラー３
に入射している。部分透過ミラー３は、部分的に素通し
の窓３ａを有するように形成されており、窓３ａのない
部分の表裏面は反射面に形成されている。表裏面の反射
面と窓３ａとは、光軸に関して互いに対称となるように
配置されている。
て説明する。図１は本発明による分光反射率測定器の一
実施例を示し、光源１から射出した光束は、集光レンズ
１ａによってモノクロメータ２の入口ピンホール２ａ上
に集光している。光源１としては、例えば重水素ランプ
を用いることができ、集光レンズ１ａの硝材としては、
ほたる石を用いることができる。入口ピンホール２ａを
通過した光束は、モノクロメータの回折格子２ｂによっ
て回折して、出口ピンホール２ｃ上に集光している。出
口ピンホール２ｃを通過した光束は、部分透過ミラー３
に入射している。部分透過ミラー３は、部分的に素通し
の窓３ａを有するように形成されており、窓３ａのない
部分の表裏面は反射面に形成されている。表裏面の反射
面と窓３ａとは、光軸に関して互いに対称となるように
配置されている。
【０００５】部分透過ミラー３に入射した光束のうち、
表面反射面で反射した光束は、参照側チョッパー４ａを
通過した後、参照光学系５に入射している。本実施例の
参照光学系５は、凸面鏡５ａと、中心部をくりぬいた凹
面鏡５ｂとからなるシュヴァルツシルド光学系によって
形成されている。参照光学系５による集光点には、参照
面６が配置されており、したがって参照面６で反射した
光束は、往路における光路と光軸に関して対称な光路を
進む。この結果、参照面６からの反射光は、部分透過ミ
ラーの窓３ａに入射し、この窓３ａを透過して、モノク
ロメータの出口ピンホール２ｃと共役な位置に配置され
たピンホール９ａ上に集光し、ピンホール９ａを通過し
て光検出器９に入射している。光検出器９からの信号
は、参照側チョッパー４ａからの同期信号と共に、ロッ
ク・イン・アンプ１０に取り込まれる。
表面反射面で反射した光束は、参照側チョッパー４ａを
通過した後、参照光学系５に入射している。本実施例の
参照光学系５は、凸面鏡５ａと、中心部をくりぬいた凹
面鏡５ｂとからなるシュヴァルツシルド光学系によって
形成されている。参照光学系５による集光点には、参照
面６が配置されており、したがって参照面６で反射した
光束は、往路における光路と光軸に関して対称な光路を
進む。この結果、参照面６からの反射光は、部分透過ミ
ラーの窓３ａに入射し、この窓３ａを透過して、モノク
ロメータの出口ピンホール２ｃと共役な位置に配置され
たピンホール９ａ上に集光し、ピンホール９ａを通過し
て光検出器９に入射している。光検出器９からの信号
は、参照側チョッパー４ａからの同期信号と共に、ロッ
ク・イン・アンプ１０に取り込まれる。
【０００６】他方、部分透過ミラー３に入射した光束の
うち、窓３ａを通過した光束は、測定側チョッパー４ｂ
を通過した後、測定光学系７に入射している。測定光学
系７もまた、凸面鏡７ａと、中心部をくりぬいた凹面鏡
７ｂとからなるシュヴァルツシルド光学系によって形成
されている。測定光学系７による集光点には、被検面８
が配置されており、したがって被検面８で反射した光束
は、往路における光路と光軸に関して対称な光路を進
む。この結果、被検面８からの反射光は、部分透過ミラ
ー３の裏面反射面に入射し、この反射面で反射してピン
ホール９ａ上に集光し、ピンホール９ａを通過して光検
出器９に入射している。光検出器９からの信号は、測定
側チョッパー４ｂからの同期信号と共に、ロック・イン
・アンプ１０に取り込まれる。
うち、窓３ａを通過した光束は、測定側チョッパー４ｂ
を通過した後、測定光学系７に入射している。測定光学
系７もまた、凸面鏡７ａと、中心部をくりぬいた凹面鏡
７ｂとからなるシュヴァルツシルド光学系によって形成
されている。測定光学系７による集光点には、被検面８
が配置されており、したがって被検面８で反射した光束
は、往路における光路と光軸に関して対称な光路を進
む。この結果、被検面８からの反射光は、部分透過ミラ
ー３の裏面反射面に入射し、この反射面で反射してピン
ホール９ａ上に集光し、ピンホール９ａを通過して光検
出器９に入射している。光検出器９からの信号は、測定
側チョッパー４ｂからの同期信号と共に、ロック・イン
・アンプ１０に取り込まれる。
【０００７】部分透過ミラー３には一定の厚みがあり、
すなわち表面反射面と裏面反射面とはその位置が異な
る。それ故、部分透過ミラー３を平行平板によって形成
すると、被検面８からの光軸はピンホール９ａの中心位
置からずれるから、被検面８からの反射光量が減った状
態で光検出器９に到達する。それ故、本実施例では、部
分透過ミラー３の裏面反射面で反射した光束が、ピンホ
ール９ａ上に集光するように、部分透過ミラー３をくさ
び形に形成している。また上記装置の全体は、酸素ガス
を窒素ガスで置換した容器内に配置されている。但し、
ガスの封入に代えて容器内を真空としても良い。
すなわち表面反射面と裏面反射面とはその位置が異な
る。それ故、部分透過ミラー３を平行平板によって形成
すると、被検面８からの光軸はピンホール９ａの中心位
置からずれるから、被検面８からの反射光量が減った状
態で光検出器９に到達する。それ故、本実施例では、部
分透過ミラー３の裏面反射面で反射した光束が、ピンホ
ール９ａ上に集光するように、部分透過ミラー３をくさ
び形に形成している。また上記装置の全体は、酸素ガス
を窒素ガスで置換した容器内に配置されている。但し、
ガスの封入に代えて容器内を真空としても良い。
【０００８】以上の構成とは別に、合焦用可視光照明系
（図示せず）から射出した光束は、光ファイバー１１ａ
によって導かれた後、集光レンズ１１ｂを透過し、照明
用切換ミラー１１ｃに入射している。照明用切換ミラー
１１ｃは、モノクロメータの回折格子２ｂと出口ピンホ
ール２ｃとの間の光路に、切換自在に配置されている。
また集光レンズ１１ｂは、合焦用可視光をモノクロメー
タの出口ピンホール２ｃ上に集光するように配置されて
いる。他方、部分透過ミラー３と光検出器のピンホール
９ａとの間の光路には、観察用切換ミラー１２ａが切換
自在に配置されており、観察用切換ミラー１２ａの反射
光路には、接眼レンズ１２ｂが配置されている。但し接
眼レンズに代えて、ＩＴＶを用いることもできる。
（図示せず）から射出した光束は、光ファイバー１１ａ
によって導かれた後、集光レンズ１１ｂを透過し、照明
用切換ミラー１１ｃに入射している。照明用切換ミラー
１１ｃは、モノクロメータの回折格子２ｂと出口ピンホ
ール２ｃとの間の光路に、切換自在に配置されている。
また集光レンズ１１ｂは、合焦用可視光をモノクロメー
タの出口ピンホール２ｃ上に集光するように配置されて
いる。他方、部分透過ミラー３と光検出器のピンホール
９ａとの間の光路には、観察用切換ミラー１２ａが切換
自在に配置されており、観察用切換ミラー１２ａの反射
光路には、接眼レンズ１２ｂが配置されている。但し接
眼レンズに代えて、ＩＴＶを用いることもできる。
【０００９】本実施例は以上のように構成されており、
先ず照明用切換ミラー１１ｃと観察用切換ミラー１２ａ
を光路内に挿入して、参照面６と被検面８の合焦を接眼
レンズ１２ｂを介して行う。参照面６の合焦を行うとき
には、例えば測定側チョッパー４ｂの部分を遮光すれば
良く、被検面８の合焦を行うときには、参照側チョッパ
ー４ａの部分を遮光すれば良い。
先ず照明用切換ミラー１１ｃと観察用切換ミラー１２ａ
を光路内に挿入して、参照面６と被検面８の合焦を接眼
レンズ１２ｂを介して行う。参照面６の合焦を行うとき
には、例えば測定側チョッパー４ｂの部分を遮光すれば
良く、被検面８の合焦を行うときには、参照側チョッパ
ー４ａの部分を遮光すれば良い。
【００１０】次いで照明用切換ミラー１１ｃと観察用切
換ミラー１２ａを光路外に除去し、参照側チョッパー４
ａと測定側チョッパー４ｂのチョッピング周波数が互い
に異なるようにして測定を行う。ロック・イン・アンプ
１０は、光検出器９からの信号と、参照側チョッパー４
ａ及び測定側チョッパー４ｂからの同期信号に基づい
て、参照面６からの反射光量と被検面８からの反射光量
を同時に測定する。かくして、光源１の光量の揺らぎ等
による測定精度の低下を防ぎつつ、被検面８の反射率を
測定することができる。また測定時の光路中には、集光
レンズ１ａを除いて透過光学素子は用いられていない。
したがって波長１６０ｎｍから２００ｎｍ程度のＤＵＶ
領城での分光反射率を測定することができる。
換ミラー１２ａを光路外に除去し、参照側チョッパー４
ａと測定側チョッパー４ｂのチョッピング周波数が互い
に異なるようにして測定を行う。ロック・イン・アンプ
１０は、光検出器９からの信号と、参照側チョッパー４
ａ及び測定側チョッパー４ｂからの同期信号に基づい
て、参照面６からの反射光量と被検面８からの反射光量
を同時に測定する。かくして、光源１の光量の揺らぎ等
による測定精度の低下を防ぎつつ、被検面８の反射率を
測定することができる。また測定時の光路中には、集光
レンズ１ａを除いて透過光学素子は用いられていない。
したがって波長１６０ｎｍから２００ｎｍ程度のＤＵＶ
領城での分光反射率を測定することができる。
【００１１】なお本実施例では、最初に部分透過ミラー
３に入射した光束のうち、反射光束の光路に参照光学系
５を配置し、透過光束の光路に測定光学系７を配置して
いる。しかしこの関係を逆にして、最初に部分透過ミラ
ー３に入射した光束のうち、反射光束の光路に測定光学
系７を配置し、透過光束の光路に参照光学系５を配置し
ても良い。また本実施例では、合焦用の可視照明光をモ
ノクロメータ２の外部から導入して、出口側ピンホール
２ｃを照明しているが、モノクロメータ２の回折格子２
ｂを回転させて、回折格子２ｂで正反射した０次回折光
によって出口側ピンホール２ｃを照明して、合焦用可視
照明光として用いることもできる。
３に入射した光束のうち、反射光束の光路に参照光学系
５を配置し、透過光束の光路に測定光学系７を配置して
いる。しかしこの関係を逆にして、最初に部分透過ミラ
ー３に入射した光束のうち、反射光束の光路に測定光学
系７を配置し、透過光束の光路に参照光学系５を配置し
ても良い。また本実施例では、合焦用の可視照明光をモ
ノクロメータ２の外部から導入して、出口側ピンホール
２ｃを照明しているが、モノクロメータ２の回折格子２
ｂを回転させて、回折格子２ｂで正反射した０次回折光
によって出口側ピンホール２ｃを照明して、合焦用可視
照明光として用いることもできる。
【００１２】また本実施例では、モノクロメータ２から
の光束を参照光学系５と測定光学系７に導く光路分割部
材として、透過部と反射部とを有する部分透過ミラー３
を用いたが、部分透過ミラー３に代えてハーフミラーを
用いることもできる。また本実施例の光路分割部材は、
参照面６と被検面８で反射した光束を再度統合するよう
に配置しているが、参照面６と被検面８で反射した光束
を統合せずに、それぞれ別の光検出器によってその光量
を測定することもできる。但しこのような構成のときに
は、各々の光検出器の感度に相違があり得るから、精度
の高い測定を行えないおそれがある。それ故、本実施例
のように、参照面６と被検面８とで反射した光束を統合
して、単一の光検出器９に入射する構成の方が好まし
い。
の光束を参照光学系５と測定光学系７に導く光路分割部
材として、透過部と反射部とを有する部分透過ミラー３
を用いたが、部分透過ミラー３に代えてハーフミラーを
用いることもできる。また本実施例の光路分割部材は、
参照面６と被検面８で反射した光束を再度統合するよう
に配置しているが、参照面６と被検面８で反射した光束
を統合せずに、それぞれ別の光検出器によってその光量
を測定することもできる。但しこのような構成のときに
は、各々の光検出器の感度に相違があり得るから、精度
の高い測定を行えないおそれがある。それ故、本実施例
のように、参照面６と被検面８とで反射した光束を統合
して、単一の光検出器９に入射する構成の方が好まし
い。
【００１３】また本実施例の参照光学系５と測定光学系
７は、モノクロメータの出口側ピンホール２ｃを通過し
た光束を、それぞれ参照面６と被検面８とに結像するよ
うに集光しているが、この構成に代えて、参照面６と被
検面８とに垂直入射するように構成することもできる。
また本実施例では、参照光学系５と測定光学系７とし
て、共にシュヴァルツシルド反射光学系を用いたが、シ
ュヴァルツシルド反射光学系に代えて、回転楕円鏡を用
いることもできる。このときもシュヴァルツシルド反射
光学系を用いるときと同様に、回転楕円鏡の第１の焦点
位置とその共役点に、モノクロメータの出口側ピンホー
ル２ｃと光検出器のピンホール９ａとを配置し、第２の
焦点位置に、参照面６又は被検面８を配置することにな
る。
７は、モノクロメータの出口側ピンホール２ｃを通過し
た光束を、それぞれ参照面６と被検面８とに結像するよ
うに集光しているが、この構成に代えて、参照面６と被
検面８とに垂直入射するように構成することもできる。
また本実施例では、参照光学系５と測定光学系７とし
て、共にシュヴァルツシルド反射光学系を用いたが、シ
ュヴァルツシルド反射光学系に代えて、回転楕円鏡を用
いることもできる。このときもシュヴァルツシルド反射
光学系を用いるときと同様に、回転楕円鏡の第１の焦点
位置とその共役点に、モノクロメータの出口側ピンホー
ル２ｃと光検出器のピンホール９ａとを配置し、第２の
焦点位置に、参照面６又は被検面８を配置することにな
る。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明の分光反射率測定器
によれば、２００ｎｍ程度以下のＤＵＶ領域での分光反
射率を測定することができ、かつ測定精度を向上させる
ことができる。
によれば、２００ｎｍ程度以下のＤＵＶ領域での分光反
射率を測定することができ、かつ測定精度を向上させる
ことができる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
１…光源 １ａ…集光レンズ ２…モノクロメータ ２ａ…入口ピンホー
ル ２ｂ…回折格子 ２ｃ…出口ピンホー
ル ３…部分透過ミラー ３ａ…窓 ４ａ…参照側チョッパー ４ｂ…測定側チョッ
パー ５…参照光学系 ７…測定光学系 ５ａ，７ａ…凸面鏡 ５ｂ，７ｂ…凹面鏡 ６…参照面 ８…被検面 ９…光検出器 ９ａ…ピンホール １０…ロック・イン・アンプ １１ａ…光ファイバ
ー １１ｂ…集光レンズ １１ｃ…照明用切換
ミラー １２ａ…観察用切換ミラー １２ｂ…接眼レンズ
ル ２ｂ…回折格子 ２ｃ…出口ピンホー
ル ３…部分透過ミラー ３ａ…窓 ４ａ…参照側チョッパー ４ｂ…測定側チョッ
パー ５…参照光学系 ７…測定光学系 ５ａ，７ａ…凸面鏡 ５ｂ，７ｂ…凹面鏡 ６…参照面 ８…被検面 ９…光検出器 ９ａ…ピンホール １０…ロック・イン・アンプ １１ａ…光ファイバ
ー １１ｂ…集光レンズ １１ｃ…照明用切換
ミラー １２ａ…観察用切換ミラー １２ｂ…接眼レンズ
Claims (7)
- 【請求項１】モノクロメータから射出する光束を光路分
割部材によって２光束に分割し、 該分割された２光束のうちの一方の光束を反射光学素子
によって形成した測定光学系に導き、他方の光束を反射
光学素子によって形成した参照光学系に導き、 前記測定光学系内に被検面を配置し、前記参照光学系内
に参照面を配置し、 前記被検面からの反射光束と前記参照面からの反射光束
の光量を測定するように受光部を配置した、分光反射率
測定器。 - 【請求項２】前記モノクロメータは入口側ピンホールを
有し、 該入口側ピンホール上に光源像を結像するように光源部
を設けた、請求項１記載の分光反射率測定器。 - 【請求項３】前記光路分割部材は、透過部と反射部とを
有する部分透過ミラーである、請求項１又は２記載の分
光反射率測定器。 - 【請求項４】前記光路分割部材は、ハーフミラーであ
る、請求項１又は２記載の分光反射率測定器。 - 【請求項５】前記モノクロメータは出口側ピンホールを
有し、 前記測定光学系と参照光学系は、モノクロメータの前記
出口側ピンホールの像を、それぞれ前記被検面と参照面
上に結像する、請求項１、２、３又は４記載の分光反射
率測定器。 - 【請求項６】前記光路分割部材は、前記被検面と参照面
とで反射した前記両反射光束を統合するように配置さ
れ、 前記受光部は、前記統合された光束の光量を測定するよ
うに単一の検出器からなる、請求項１、２、３、４又は
５記載の分光反射率測定器。 - 【請求項７】前記測定光学系と参照光学系は、共にシュ
ヴァルツシルド反射光学系又は回転楕円鏡である、請求
項１、２、３、４、５又は６記載の分光反射率測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8324648A JPH10148572A (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 分光反射率測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8324648A JPH10148572A (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 分光反射率測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10148572A true JPH10148572A (ja) | 1998-06-02 |
Family
ID=18168177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8324648A Pending JPH10148572A (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 分光反射率測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10148572A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20090124986A (ko) * | 2008-05-30 | 2009-12-03 | 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 광학 특성 측정 장치 및 광학 특성 측정 방법 |
-
1996
- 1996-11-19 JP JP8324648A patent/JPH10148572A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20090124986A (ko) * | 2008-05-30 | 2009-12-03 | 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 광학 특성 측정 장치 및 광학 특성 측정 방법 |
| JP2009288150A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 |
| TWI454670B (zh) * | 2008-05-30 | 2014-10-01 | Otsuka Denshi Kk | Optical property measuring device and method for measuring optical properties |
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