JPH10144987A - Excimer laser - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stabilize the laser output value at all times by comparing the quantity of laser energy from a laser energy conversion means for control at this time, on the basis of the measured quantity of laser energy, and correcting a parameter. SOLUTION: A spectral diffraction means 6 for calibration is arranged movably shifting between the position beside the optical axis of a laser beam outputted from a laser oscillation tube 1 and position on optical axis. The luminous intensity of the laser beam dispersed by this spectral diffraction means 6 for calibration is converted into the electric quantity by a light detector 7 for calibration, and the converted quantity of electricity is converted into a signal of laser energy amount by a laser energy conversion means 10 for calibration. This laser energy signal and a signal of quantity of laser energy are compared with each other, on the basis of the quantity of laser energy measured separately for each specified number of shots by a parameter calibration means 8, so as to correct the parameter.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、エキシマレーザ装
置の出力安定化装置に関し、特にはレーザ出力のフィー
ドバック信号の較正装置に関する。The present invention relates to an output stabilizing device for an excimer laser device, and more particularly to a device for calibrating a feedback signal of a laser output.

【０００２】[0002]

【従来の技術】エキシマレーザ装置では、通常、レーザ
光の出力エネルギーが目標値に安定して追従するよう
に、高圧電源部の出力電圧値や媒質ガス中のハロゲンガ
ス量を制御している。図１０は従来技術に係わるエキシ
マレーザ装置の制御構成ブロック図を示しており、同図
に基づいて、上記制御の従来の方法を説明する。2. Description of the Related Art In an excimer laser device, the output voltage value of a high-voltage power supply unit and the amount of halogen gas in a medium gas are usually controlled so that the output energy of a laser beam stably follows a target value. FIG. 10 is a block diagram showing a control configuration of an excimer laser device according to the related art, and a conventional method of the above control will be described with reference to FIG.

【０００３】レーザ発振管１から出力されたレーザ光
は、ビームスプリッタ等の制御用分光手段２によって、
その一部が制御用光ディテクタ３へ導かれる。また、制
御用分光手段２を透過したレーザ光は加工機９等の対象
物に入射され、切断、穴明け、露光等の作業を行う。[0003] The laser light output from the laser oscillation tube 1 is controlled by a controlling spectral means 2 such as a beam splitter.
Part of the light is guided to the control light detector 3. The laser beam transmitted through the control spectral unit 2 is incident on an object such as the processing machine 9 and performs operations such as cutting, drilling, and exposure.

【０００４】制御用光ディテクタ３は例えばＰＩＮダイ
オード等の光量検出素子からなっており、上記分光され
たレーザ光をその光強度に応じた電気量に変換し、この
電気量を制御用レーザエネルギー変換手段４に出力す
る。制御用レーザエネルギー変換手段４（例えば、関数
発生器等）は、上記電気量を相当するレーザエネルギー
量に変換するための変換係数（以後、パラメータと言
う）を内部に有しており、予め所定値に設定されたこの
パラメータを用いて、入力した上記電気量をレーザエネ
ルギー量に対応する電気信号に変換して出力する。この
レーザエネルギー量に対応する電気信号は、フィードバ
ック信号としてレーザ出力制御器５に入力される。レー
ザ出力制御器５はレーザ光の出力エネルギー指令値と上
記フィードバック信号とを比較し、両者の偏差が小さく
なるように、高圧電源部１１の操作量を決定したり、ハ
ロゲンガス注入用バルブの開閉のタイミングを決定して
いる。そして、高圧電源部１１が上記操作量に基づいて
出力電圧を制御し、また、上記ガスバルブの開閉によっ
てハロゲンガスの注入量が制御されるので、結果として
レーザ光の出力エネルギーが指令値に等しくなるように
制御されている。The control light detector 3 comprises a light quantity detecting element such as a PIN diode, for example, and converts the split laser light into an electric quantity corresponding to the light intensity, and converts this electric quantity into a control laser energy conversion. Output to means 4. The control laser energy conversion means 4 (for example, a function generator or the like) internally has a conversion coefficient (hereinafter referred to as a parameter) for converting the electric quantity into a corresponding laser energy quantity and has a predetermined value. Using the parameter set as a value, the input electric amount is converted into an electric signal corresponding to the laser energy amount and output. The electric signal corresponding to the laser energy amount is input to the laser output controller 5 as a feedback signal. The laser output controller 5 compares the output energy command value of the laser beam with the feedback signal, determines the operation amount of the high-voltage power supply unit 11, and opens and closes the halogen gas injection valve so as to reduce the deviation between the two. The timing has been determined. Then, the high-voltage power supply unit 11 controls the output voltage based on the operation amount, and the opening and closing of the gas valve controls the injection amount of the halogen gas. As a result, the output energy of the laser beam becomes equal to the command value. Is controlled as follows.

【０００５】上記の制御用レーザエネルギー変換手段４
のパラメータの値は、制御用分光手段２の分光特性（分
光比率等）やレーザ発振管１の発振特性等に合わせて設
定される必要がある。したがって、制御用分光手段２を
変更又は交換した時、あるいはレーザ発振管１を交換し
た時などには、制御用レーザエネルギー変換手段４のパ
ラメータを較正用の光ディテクタ及びレーザエネルギー
変換手段等を用いて適正な値に調整している。[0005] The above control laser energy conversion means 4
Are required to be set in accordance with the spectral characteristics (spectral ratio and the like) of the control spectral unit 2 and the oscillation characteristics of the laser oscillation tube 1. Therefore, when the control spectral unit 2 is changed or exchanged, or when the laser oscillation tube 1 is exchanged, the parameters of the control laser energy conversion unit 4 are adjusted by using an optical detector for calibration and a laser energy conversion unit. Is adjusted to an appropriate value.

【０００６】このパラメータ調整の方法は従来から数多
く提案されており、例えば、特公平７−７９１７７号公
報には次のような方法が開示されている。すなわち、パ
ラメータ調整の必要が生じたときは、作業者がエキシマ
レーザ装置のモードを自動調整モードに設定する。この
とき、関数データ調整設定手段は高圧電源部を自動的に
制御してレーザ光の出力エネルギーを段階的に変化さ
せ、その時の前記制御用レーザエネルギー変換手段４か
らフィードバックされるレーザエネルギー値と、線形な
光−電気量変換特性を有する低速光検出器を介して入力
されるレーザエネルギー値とを比較し、これに基づいて
前記制御用レーザエネルギー変換手段４の上記パラメー
タ値を自動的に設定する。これによって、パラメータ調
整が自動的に行われている。A number of parameter adjustment methods have been conventionally proposed. For example, Japanese Patent Publication No. 7-79177 discloses the following method. That is, when it becomes necessary to adjust the parameters, the operator sets the mode of the excimer laser device to the automatic adjustment mode. At this time, the function data adjustment setting unit automatically controls the high voltage power supply unit to change the output energy of the laser light in a stepwise manner, and the laser energy value fed back from the control laser energy conversion unit 4 at that time; A laser energy value input via a low-speed photodetector having a linear light-to-electricity conversion characteristic is compared, and the parameter value of the control laser energy conversion means 4 is automatically set based on the comparison. . Thus, the parameter adjustment is automatically performed.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】一方、エキシマレーザ
装置においては、上記制御用レーザエネルギー変換手段
４の前段にある制御用分光手段２が、埃や汚れ等によっ
て、あるいはレーザ光に長時間晒されることによって分
光特性（分光比率）等が変化し、光学的なダメージを受
けることが多い。制御用分光手段２が光学的なダメージ
を受けると、制御用分光手段２の入力光のエネルギーが
一定であるにもかかわらず、分光される光量が変動す
る。このために、制御用光ディテクタ３から制御用レー
ザエネルギー変換手段４へ入力される電気量が正常値に
対して変動することによって、制御用レーザエネルギー
変換手段４が出力する光エネルギー量が正常値よりも増
加又は減少するという事態が生じる。On the other hand, in the excimer laser device, the control spectroscopic means 2 provided at the preceding stage of the control laser energy converting means 4 is exposed to dust or dirt for a long time. As a result, spectral characteristics (spectral ratio) and the like change, and optical damage often occurs. When the control spectral unit 2 is optically damaged, the amount of light to be dispersed varies even though the energy of the input light to the control spectral unit 2 is constant. For this reason, when the amount of electricity input from the control light detector 3 to the control laser energy conversion means 4 fluctuates with respect to a normal value, the light energy output from the control laser energy conversion means 4 becomes a normal value. A situation occurs in which it increases or decreases.

【０００８】もし、制御用分光手段２に何らかの光学的
なダメージが生じて、制御用光ディテクタ３への分光比
率が例えば１０％増加した場合、レーザ出力制御器５に
入力されるフィードバック信号も約１０％増加する。フ
ィードバック信号が増加すると、レーザ出力制御器５は
レーザ出力光が１０％増加したと判断し（すなわち、フ
ィードバック信号に１０％の外乱信号が混入しているこ
とと等価となる）、目標とするエネルギー指令値が一定
の場合には、高圧電源部１１や前記ガスバルブ等を制御
してレーザ出力を低下させる制御を行う。このため、実
際のレーザ出力は、目標値が一定であるにも係わらず１
０％減少してしまう。If some kind of optical damage occurs to the control spectroscopic means 2 and the spectral ratio to the control light detector 3 increases, for example, by 10%, the feedback signal input to the laser output controller 5 also becomes approximately Increase by 10%. When the feedback signal increases, the laser output controller 5 determines that the laser output light has increased by 10% (that is, it is equivalent to a 10% disturbance signal mixed into the feedback signal), and sets the target energy. When the command value is constant, control is performed to reduce the laser output by controlling the high-voltage power supply unit 11, the gas valve, and the like. For this reason, the actual laser output is 1 despite the target value being constant.
It is reduced by 0%.

【０００９】このように、レーザ出力制御器５がレーザ
出力を正常値よりも増加又は減少させることになり、レ
ーザ出力が指令値と一致しないという問題が発生する。
このため、制御用分光手段２が光学的なダメージを受け
た場合にも、制御用レーザエネルギー変換手段４のパラ
メータを較正する必要がある。As described above, the laser output controller 5 causes the laser output to increase or decrease from the normal value, causing a problem that the laser output does not match the command value.
Therefore, it is necessary to calibrate the parameters of the control laser energy conversion unit 4 even when the control spectral unit 2 is optically damaged.

【００１０】しかしながら、特公平７−７９１７７号公
報に開示された従来の方法によると、このパラメータの
較正を行うために、レーザを操作する作業者がエキシマ
レーザ装置を自動調整モードに設定しなければならない
ので、較正が必要な度にエキシマレーザ装置による実作
業が中断される。この結果、較正作業によって、エキシ
マレーザ装置の稼働率が低下するという問題が生じてい
る。また、上記のように、作業者自身が制御用分光手段
２に光学的なダメージがあるか否かを判断して較正作業
を行わなければならないが、実際に上記判断を行うのは
非常に困難であり、作業者の勘や稼働時間等によって判
断している。したがって、制御用分光手段２の光学的な
ダメージがある程度進行した時点になって較正作業を行
う場合が多くなる。これによって、較正する直前のレー
ザ出力が指令値通りとならず、信頼性に欠けるという問
題も発生している。However, according to the conventional method disclosed in Japanese Patent Publication No. 7-79177, in order to calibrate the parameters, the operator who operates the laser must set the excimer laser device to the automatic adjustment mode. Therefore, the actual operation by the excimer laser device is interrupted each time calibration is required. As a result, there arises a problem that the operation rate of the excimer laser device is reduced by the calibration work. Further, as described above, the operator himself must determine whether or not the control spectral means 2 is optically damaged and perform the calibration work, but it is very difficult to actually make the above determination. It is determined based on the worker's intuition, operating time, and the like. Therefore, the calibration work is often performed when the optical damage of the control spectral unit 2 has progressed to some extent. As a result, the laser output immediately before calibration does not conform to the command value, and there is a problem that reliability is lacking.

【００１１】また、上記のような稼働率低下の問題に対
し、例えば特開平６−１９６７８９号公報では、レーザ
発振管１の出力レーザ光の外部への供給を開閉するシャ
ッターをこの出力レーザ光の光路上に設け、さらに、シ
ャッター閉時に上記出力レーザ光を光路外の平均出力検
出手段に導く反射ミラーを備え、前記平均出力検出手段
によって計測された平均出力値に基づいて、制御用レー
ザエネルギー変換手段４のパラメータの較正を行う方法
を開示している。しかしながら、この方法では、較正を
行うためにレーザ出力をシャッターで遮蔽する必要があ
るが、例えば、長時間（１〜２時間以上）の連続発振で
実作業（レーザ加工等）を行う場合にはシャッターを閉
じれないので較正できない。この結果、この間のレーザ
出力が保証されないという問題が生じている。To cope with the problem of the decrease in the operation rate as described above, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-196789, a shutter for opening and closing the supply of the output laser light from the laser oscillation tube 1 to the outside is provided. A reflection mirror that guides the output laser light to an average output detection unit outside the optical path when the shutter is closed, based on the average output value measured by the average output detection unit; A method for calibrating the parameters of the means 4 is disclosed. However, in this method, it is necessary to shield the laser output with a shutter in order to perform calibration. For example, when performing actual work (such as laser processing) with continuous oscillation for a long time (1-2 hours or more), Calibration cannot be performed because the shutter cannot be closed. As a result, there is a problem that the laser output during this period is not guaranteed.

【００１２】本発明は、上記の問題点に着目してなされ
たものであり、レーザ光の制御用分光手段に光学的なダ
メージがあってもレーザ光出力の安定な制御が可能なエ
キシマレーザ装置を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and has an excimer laser device capable of stably controlling the output of a laser beam even if the spectroscopic means for controlling the laser beam is optically damaged. It is intended to provide.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段、作用及び効果】上記の目
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、レーザ
発振管１から出力されたレーザ光を分光する制御用分光
手段２と、この分光されたレーザ光の光強度を電気量に
変換する制御用光ディテクタ３と、この変換された電気
量をパラメータによってレーザエネルギー量信号に変換
する制御用レーザエネルギー変換手段４と、この変換さ
れたレーザエネルギー量信号に基づいてレーザ出力を制
御するレーザ出力制御器５とを備えたエキシマレーザ装
置において、前記レーザ発振管１から出力されたレーザ
光の光軸を外れた位置と光軸上の位置間を移動可能に配
設され、かつ、光軸上にあるときレーザ光を分光する較
正用分光手段６と、所定ショット数毎に、前記光軸を外
れた位置から光軸上の位置に前記較正用分光手段６を移
動させる移動手段１５と、前記較正用分光手段６により
分光されたレーザ光の光強度を電気量に変換する較正用
光ディテクタ７と、較正用光ディテクタ７により変換さ
れた電気量をレーザエネルギー量信号に変換する較正用
レーザエネルギー変換手段１０と、前記所定ショット数
毎に、前記較正用レーザエネルギー変換手段１０により
変換されたレーザエネルギー量信号、及び前記制御用レ
ーザエネルギー変換手段４により変換されたレーザエネ
ルギー量信号を入力して比較し、両レーザエネルギー量
信号の大きさに基づいて、前記制御用レーザエネルギー
変換手段４の前記パラメータを較正するパラメータ較正
手段８とを備えた構成としている。Means for Solving the Problems, Function and Effect In order to achieve the above object, the invention according to the first aspect of the present invention comprises a control spectroscopic means 2 for dispersing a laser beam output from a laser oscillation tube 1. A control light detector 3 for converting the light intensity of the split laser light into an electric quantity, a control laser energy converting means 4 for converting the converted electric quantity into a laser energy signal by a parameter, A laser output controller 5 for controlling a laser output based on the obtained laser energy amount signal, wherein the laser beam output from the laser oscillation tube 1 is located off the optical axis and on the optical axis. And a calibration dispersing means 6 for dispersing the laser light when it is on the optical axis, and for every predetermined number of shots, an optical axis from a position off the optical axis. Moving means 15 for moving the calibration spectroscopic means 6 to the position, a calibration light detector 7 for converting the light intensity of the laser light split by the calibration spectral means 6 into an electric quantity, and a calibration light detector 7 Laser energy conversion means 10 for converting the electric quantity converted by the above into a laser energy quantity signal; a laser energy quantity signal converted by the calibration laser energy conversion means 10 for each of the predetermined number of shots; Calibration means for inputting and comparing the laser energy signal converted by the control laser energy conversion means 4 and for calibrating the parameters of the control laser energy conversion means 4 based on the magnitudes of both laser energy signal signals. 8 is provided.

【００１４】請求項１に記載の発明によると、エキシマ
レーザ装置の稼働中に、較正用の分光手段と光ディテク
タと較正用レーザエネルギー変換手段とによって、所定
ショット数毎にレーザ光の出力エネルギーを測定する。
この測定したレーザエネルギー量を基準にして、このと
きの制御用レーザエネルギー変換手段からのレーザエネ
ルギー量を比較してパラメータを補正する。これによっ
て、分光手段等が光学的なダメージを受けても、さらに
は長時間連続稼働の間でも、パラメータが自動的に補正
されるので、レーザ出力値を常時安定させることができ
る。また、稼働中でも実作業（例えば、レーザ加工）を
中断せずにパラメータの補正が可能となり、稼働率を向
上することができる。さらに、補正時期の判断は作業者
に依らずに、自動的に補正作業を開始するので、作業者
の負担が軽減されると共に、作業者の勘等に頼って補正
していた従来の場合に比較してレーザ出力値の安定性を
良くすることができる。According to the first aspect of the present invention, during the operation of the excimer laser device, the output energy of the laser beam is changed for every predetermined number of shots by the spectroscopic means for calibration, the optical detector, and the laser energy conversion means for calibration. Measure.
On the basis of the measured laser energy amount, the parameters are corrected by comparing the laser energy amount from the control laser energy conversion means at this time. Thus, even if the spectroscopic unit or the like receives optical damage, and even during long-time continuous operation, the parameters are automatically corrected, so that the laser output value can be constantly stabilized. Further, even during the operation, the parameter can be corrected without interrupting the actual work (for example, laser processing), and the operation rate can be improved. In addition, since the correction work is automatically started without depending on the operator, the burden on the worker is reduced, and the correction is performed based on the intuition of the operator. In comparison, the stability of the laser output value can be improved.

【００１５】また、請求項２に記載の発明は、レーザ発
振管１から出力されたレーザ光を分光する制御用分光手
段２と、この分光されたレーザ光の光強度を電気量に変
換する制御用光ディテクタ３と、この変換された電気量
をパラメータによってレーザエネルギー量信号に変換す
る制御用レーザエネルギー変換手段４と、この変換され
たレーザエネルギー量信号に基づいてレーザ出力を制御
するレーザ出力制御器５とを備えたエキシマレーザ装置
において、前記レーザ発振管１から出力されたレーザ光
の光軸を外れた位置と光軸上の位置間を移動可能に配設
され、かつ、光軸上にあるときレーザ光を分光する較正
用分光手段６と、所定ショット数毎に、前記光軸を外れ
た位置から光軸上の位置に前記較正用分光手段６を移動
させる移動手段１５と、前記較正用分光手段６により分
光されたレーザ光の平均出力を検出する平均出力検出手
段２１と、前記制御用レーザエネルギー変換手段４から
入力したレーザエネルギー量信号に基づいて平均出力値
を算出し、この平均出力値を出力する前記レーザ出力制
御器５と、前記所定ショット数毎に、前記平均出力検出
手段２１により検出された平均出力値、及び前記レーザ
出力制御器５から入力した平均出力値を入力して比較
し、両平均出力値の大きさに基づいて、前記制御用レー
ザエネルギー変換手段４の前記パラメータを較正するパ
ラメータ較正手段８とを備えた構成としている。The invention according to claim 2 is a control dispersing means 2 for dispersing the laser light output from the laser oscillation tube 1 and a control for converting the light intensity of the dispersed laser light into an electric quantity. Optical detector 3, controlling laser energy converting means 4 for converting the converted amount of electricity into a laser energy amount signal by a parameter, and laser output control for controlling a laser output based on the converted laser energy amount signal. In the excimer laser device provided with the exciter 5, the laser light output from the laser oscillation tube 1 is disposed so as to be movable between a position off the optical axis and a position on the optical axis, and Calibration spectroscopy means 6 for dispersing laser light at one time, and moving means 1 for moving the calibration spectroscopy means 6 from a position off the optical axis to a position on the optical axis for each predetermined number of shots An average output value detecting unit 21 for detecting an average output of the laser beam split by the calibration spectroscopic unit 6, and an average output value calculated based on the laser energy amount signal input from the control laser energy converting unit 4. The laser output controller 5 for outputting the average output value, the average output value detected by the average output detection means 21 for each of the predetermined number of shots, and the average output input from the laser output controller 5 A parameter calibrating means 8 is provided for inputting and comparing values, and for calibrating the parameters of the control laser energy converting means 4 based on the magnitude of both average output values.

【００１６】請求項２に記載の発明によると、エキシマ
レーザ装置の稼働中に、較正用の分光手段と平均出力検
出手段とによって、所定ショット数毎にレーザ光の平均
出力値を測定する。この測定した平均出力値を基準にし
て、このときの制御用レーザエネルギー変換手段からの
レーザエネルギー量に基づいて算出した平均出力値を比
較してパラメータを補正する。これによって、分光手段
等が光学的なダメージを受けても、さらには長時間連続
稼働の間でも、パラメータが自動的に補正されるので、
レーザ出力値を常時安定させることができる。また、稼
働中でも実作業（例えば、レーザ加工）を中断せずにパ
ラメータの補正が可能となり、稼働率を向上することが
できる。さらに、補正時期の判断は作業者に依らずに、
自動的に補正作業を開始するので、作業者の負担が軽減
されると共に、作業者の勘等に頼って補正していた従来
の場合に比較してレーザ出力値の安定性を良くすること
ができる。According to the second aspect of the present invention, during operation of the excimer laser device, the average output value of the laser beam is measured for each predetermined number of shots by the spectroscopic means for calibration and the average output detection means. Based on the measured average output value, the average output value calculated based on the laser energy amount from the control laser energy conversion means at this time is compared to correct the parameter. This allows the parameters to be automatically corrected even if the spectroscopic means is optically damaged, and even during long continuous operation.
The laser output value can always be stabilized. Further, even during the operation, the parameter can be corrected without interrupting the actual work (for example, laser processing), and the operation rate can be improved. In addition, the judgment of the correction time does not depend on the operator,
Since the correction work is started automatically, the burden on the operator is reduced, and the stability of the laser output value can be improved compared to the conventional case where correction is performed based on the intuition of the worker. it can.

【００１７】また、請求項３に記載の発明は、レーザ発
振管１から出力されたレーザ光を分光する制御用分光手
段２の部分透過ミラー１７と、この分光されたレーザ光
の光強度を電気量に変換する制御用光ディテクタ３と、
この変換された電気量をパラメータによってレーザエネ
ルギー量信号に変換する制御用レーザエネルギー変換手
段４と、この変換されたレーザエネルギー量信号に基づ
いてレーザ出力を制御するレーザ出力制御器５とを備え
たエキシマレーザ装置において、前記部分透過ミラー１
７は、レーザ発振管１から出力された前記レーザ光が反
射面の領域Ａに照射される位置と反射面の領域Ｂに照射
される位置との間をその反射面と平行に移動可能に配設
されると共に、レーザ出力の所定ショット数毎に、前記
レーザ光の照射位置が前記領域Ａから領域Ｂに移動する
ように前記制御用分光手段２を移動させる移動手段１６
と、前記所定ショット数毎に、前記制御用分光手段２の
前記照射位置が前記領域Ａから前記領域Ｂに移動する前
に前記制御用レーザエネルギー変換手段４から入力した
レーザエネルギー量信号と、前記照射位置が前記領域Ｂ
に移動した後に前記制御用レーザエネルギー変換手段４
から入力したレーザエネルギー量信号とを比較し、両レ
ーザエネルギー量信号の大きさに基づいて、前記制御用
レーザエネルギー変換手段４の前記パラメータを較正す
るパラメータ較正手段８とを備えた構成としている。Further, the invention according to claim 3 provides a partial transmission mirror 17 of the control dispersing means 2 for dispersing the laser light output from the laser oscillation tube 1 and an electric intensity of the dispersed laser light. A control light detector 3 for converting the quantity into a quantity;
A control laser energy converting means 4 for converting the converted amount of electricity into a laser energy amount signal by a parameter, and a laser output controller 5 for controlling a laser output based on the converted laser energy amount signal. In the excimer laser device, the partial transmission mirror 1 may be used.
Numeral 7 is arranged so as to be movable in parallel with the reflection surface between a position where the laser light output from the laser oscillation tube 1 is irradiated on the region A of the reflection surface and a position where the laser light is irradiated on the region B of the reflection surface. Moving means 16 for moving the control spectral means 2 so that the irradiation position of the laser light moves from the area A to the area B at every predetermined number of shots of the laser output.
A laser energy amount signal input from the control laser energy conversion unit 4 before the irradiation position of the control spectral unit 2 moves from the region A to the region B for each of the predetermined number of shots; The irradiation position is the area B
After moving to the control laser energy conversion means 4
And a parameter calibrating means 8 for calibrating the parameters of the control laser energy converting means 4 based on the magnitudes of the two laser energy quantity signals.

【００１８】請求項３に記載の発明によると、制御用分
光手段の部分透過ミラーの反射面に、通常時のレーザ出
力制御用の領域Ａと較正用の領域Ｂとを設けており、ま
た、この部分透過ミラーは、レーザ光が反射面の上記領
域Ａに照射される位置と反射面の上記領域Ｂに照射され
る位置との間を反射面と平行に移動可能になっており、
移動手段によって前記照射位置が領域Ａと領域Ｂ間を移
動する。領域Ｂは通常時にレーザ光に晒されていないの
で、ダメージを受けることが皆無に等しくなり、よっ
て、所定ショット数が経過したとき、領域Ｂにより分光
したレーザ光から求めたレーザエネルギー量信号の大き
さを基準にして、領域Ａにより分光したレーザ光からレ
ーザエネルギー量信号を求めるための制御用レーザエネ
ルギー変換手段の前記パラメータを較正することができ
る。これによって、制御用分光手段が光学的なダメージ
を受けても、さらには長時間連続稼働の間でも、パラメ
ータが自動的に補正されるので、レーザ出力値を常時安
定させることができる。また、稼働中でも実作業を中断
せずにパラメータの補正が可能となり、稼働率を向上す
ることができる。さらに、補正時期の判断は作業者に依
らないので、作業者の負担が軽減されると共に、作業者
の勘等に頼って補正していた従来の場合に比較してレー
ザ出力値の安定性を良くすることができる。According to the third aspect of the present invention, the area A for normal laser output control and the area B for calibration are provided on the reflection surface of the partial transmission mirror of the control spectral means. The partially transmitting mirror is movable in parallel with the reflecting surface between a position where the laser light is applied to the region A of the reflecting surface and a position where the laser light is applied to the region B of the reflecting surface,
The irradiation position moves between the area A and the area B by a moving means. Since the region B is not normally exposed to the laser beam, the region B is not exposed to any damage. Therefore, when a predetermined number of shots have passed, the magnitude of the laser energy amount signal obtained from the laser beam dispersed by the region B is reduced. The parameters of the control laser energy conversion means for obtaining the laser energy amount signal from the laser light separated by the region A can be calibrated based on the reference. Thus, even if the control spectral unit is optically damaged, and even during continuous operation for a long time, the parameters are automatically corrected, so that the laser output value can be always stabilized. In addition, the parameters can be corrected without interrupting the actual operation even during operation, and the operation rate can be improved. Furthermore, since the determination of the correction timing does not depend on the operator, the burden on the operator is reduced, and the stability of the laser output value is reduced as compared with the conventional case where the correction is performed based on the intuition of the operator. Can be better.

【００１９】請求項４に記載の発明は、レーザ発振管１
から出力されたレーザ光を分光する制御用分光手段２の
部分透過ミラー１７と、この分光されたレーザ光の光強
度を電気量に変換する制御用光ディテクタ３と、この変
換された電気量をパラメータによってレーザエネルギー
量信号に変換する制御用レーザエネルギー変換手段４
と、この変換されたレーザエネルギー量信号に基づいて
レーザ出力を制御するレーザ出力制御器５とを備えたエ
キシマレーザ装置において、前記部分透過ミラー１７
は、前記レーザ発振管１から出力された前記レーザ光が
部分透過ミラー１７の反射面と平行に移動可能に配設さ
れると共に、前記部分透過ミラー１７の交換当初からの
距離Ｘがレーザ出力のショット数に比例するように、部
分透過ミラー１７を移動させる移動手段１６を備えた構
成としている。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the laser oscillation tube 1.
A partial transmission mirror 17 of the control beam splitting means 2 for splitting the laser light output from the controller, a control light detector 3 for converting the light intensity of the split laser light into an electric quantity; Control laser energy conversion means 4 for converting into a laser energy amount signal by a parameter
And an excimer laser device including a laser output controller 5 for controlling a laser output based on the converted laser energy amount signal.
Is arranged so that the laser light output from the laser oscillation tube 1 can move in parallel with the reflection surface of the partial transmission mirror 17, and the distance X from the beginning of the replacement of the partial transmission mirror 17 is the laser output. A configuration is provided in which a moving unit 16 that moves the partially transmitting mirror 17 is provided in proportion to the number of shots.

【００２０】請求項４に記載の発明によると、制御用分
光手段の部分透過ミラーは移動手段によって反射面と平
行に移動され、このとき、部分透過ミラーの交換当初か
らの距離Ｘがレーザ出力のショット数に比例するように
移動される。これによって、部分透過ミラーの光学的ダ
メージは一定の許容値以内に収まるので、レーザ出力の
変動を許容値以内に抑えることが可能となり、安定した
レーザ出力が得られる。また、長時間連続稼働の間で
も、実作業を中断せずに部分透過ミラーの反射面を新し
い領域に移動できるので、レーザ出力値を常時安定させ
ることができ、また稼働率を向上することができる。さ
らに、反射面の移動時期の判断は作業者に依らないの
で、作業者の負担が軽減される。According to the fourth aspect of the present invention, the partially transmitting mirror of the controlling spectroscopic means is moved in parallel with the reflecting surface by the moving means, and at this time, the distance X from the beginning of the replacement of the partially transmitting mirror is equal to the laser output. It is moved in proportion to the number of shots. As a result, the optical damage of the partially transmitting mirror falls within a certain allowable value, so that the fluctuation of the laser output can be suppressed within the allowable value, and a stable laser output can be obtained. In addition, even during long continuous operation, the reflecting surface of the partially transmitting mirror can be moved to a new area without interrupting the actual work, so that the laser output value can be constantly stabilized and the operation rate can be improved. it can. Further, since the determination of the movement time of the reflection surface does not depend on the worker, the burden on the worker is reduced.

【００２１】[0021]

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照しながら本発
明に係わるエキシマレーザ装置を詳細に説明する。図１
は第１実施形態に係わるエキシマレーザ装置の制御構成
ブロック図を示しており、同図において図１０と同一の
構成には同じ符号を付し、以下の説明を省く。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an excimer laser device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG.
10 shows a control configuration block diagram of the excimer laser device according to the first embodiment, in which the same components as those in FIG. 10 are denoted by the same reference numerals, and the following description is omitted.

【００２２】レーザ発振管１から出射されるレーザ光の
光路上の制御用分光手段２より後段側、すなわち、加工
機９等の対象物側には、部分透過ミラーを備えた較正用
分光手段６が配設されている。この較正用分光手段６は
上記光路から外れた位置と上記光路上の位置間を移動可
能となっており、例えば電動モータ等の移動手段１５に
よって、レーザ光の所定ショット数毎に上記光路から外
れた位置から上記光路上の位置に移動するようになって
いる。なお、この部分透過ミラーの光路上の位置への移
動は、レーザ光のショットとショットの間に行われるよ
うにし、移動によるレーザ光の乱れ等は無いものとす
る。On the downstream side of the control beam splitting means 2 on the optical path of the laser beam emitted from the laser oscillation tube 1, that is, on the object side such as the processing machine 9, the calibration beam splitting means 6 having a partially transmitting mirror is provided. Are arranged. The spectroscopic means for calibration 6 is movable between a position deviating from the optical path and a position on the optical path, and is displaced from the optical path every predetermined number of shots of laser light by a moving means 15 such as an electric motor. From the deviated position to the position on the optical path. The movement of the partially transmitting mirror to the position on the optical path is performed between laser light shots, and there is no disturbance of the laser light due to the movement.

【００２３】制御用分光手段２を透過したレーザ出力光
は、一定ショット数毎に較正用分光手段６によって、そ
の一部（１％〜５％程度）が較正用光ディテクタ７に導
かれる。較正用光ディテクタ７はこの導かれたレーザ光
を光強度に応じた電気量に変換し、較正用レーザエネル
ギー変換手段１０はこの変換された電気量をこれに対応
するレーザエネルギー量の電気信号をパラメータ較正手
段８に出力する。パラメータ較正手段８は、この入力し
たレーザエネルギー量の電気信号と、制御用レーザエネ
ルギー変換手段４から入力したレーザエネルギー量の電
気信号とを比較し、両者の大きさに基づいて制御用レー
ザエネルギー変換手段４のパラメータの補正値を算出す
る。算出されたパラメータ補正値はパラメータ較正手段
８から制御用レーザエネルギー変換手段４に送信され、
制御用レーザエネルギー変換手段４はこの補正値によっ
てパラメータを補正する。A part (about 1% to 5%) of the laser output light transmitted through the control spectroscopy unit 2 is guided to the calibration light detector 7 by the calibration spectroscopy unit 6 for every fixed number of shots. The calibration light detector 7 converts the guided laser light into an electric quantity corresponding to the light intensity, and the calibration laser energy conversion means 10 converts the converted electric quantity into an electric signal of the corresponding laser energy amount. Output to the parameter calibration means 8. The parameter calibrating means 8 compares the input electric signal of the amount of laser energy with the electric signal of the amount of laser energy input from the controlling laser energy converting means 4, and based on the magnitude of both, converts the electric energy of the controlling laser energy. A correction value of the parameter of the means 4 is calculated. The calculated parameter correction value is transmitted from the parameter calibration means 8 to the control laser energy conversion means 4,
The control laser energy conversion means 4 corrects the parameter based on the correction value.

【００２４】図２は、上記パラメータ補正のための制御
フローチャートの一例を示している。ここで、各処理の
ステップ番号をＳを付して表す。Ｓ１で、エキシマレー
ザ装置のショット数が一定ショット数経過したか否かを
チェックし、経過してないときは経過するまでＳ１を繰
り返す。一定ショット数経過したときは、Ｓ２で移動手
段１５によって較正用分光手段６を光路上に挿入した
後、Ｓ３で、パラメータ較正手段８は、較正用レーザエ
ネルギー変換手段１０からのレーザエネルギー量信号
と、制御用レーザエネルギー変換手段４からのレーザエ
ネルギー量信号とを入力する。次に、Ｓ４では、この較
正用のレーザエネルギー量信号の大きさと、制御用のレ
ーザエネルギー量信号の大きさとに基づいて、出力補正
係数Ｋc を求め、この出力補正係数Ｋc によって較正後
の新規パラメータを算出する。ここで、出力補正係数Ｋ
c は以下のようにして求まる。FIG. 2 shows an example of a control flowchart for the parameter correction. Here, the step number of each process is represented by adding S. In S1, it is checked whether or not the number of shots of the excimer laser device has passed a certain number of times, and if not, S1 is repeated until the number of shots has passed. When the predetermined number of shots has elapsed, the calibration spectroscopic means 6 is inserted on the optical path by the moving means 15 in S2, and then in S3, the parameter calibration means 8 receives the laser energy amount signal from the calibration laser energy conversion means 10 and And the laser energy amount signal from the control laser energy converting means 4. Next, in step S4, an output correction coefficient Kc is obtained based on the magnitude of the calibration laser energy signal and the magnitude of the control laser energy signal. Is calculated. Here, the output correction coefficient K
c is obtained as follows.

【００２５】図３に実線で示すように、制御用分光手段
２がダメージを受ける前は、実際のレーザエネルギー量
と、制御用レーザエネルギー変換手段４が出力するレー
ザエネルギー量との関係は１対１に対応している。しか
し、制御用分光手段２がダメージを受けると、その関係
は図３の２点鎖線で示すように、出力値の傾きが例えば
増加したような状態になる。このことから、制御用レー
ザエネルギー変換手段４のパラメータを補正するには、
出力補正係数Ｋを求めればよい。この出力補正係数Ｋ
は、以下の数式１によって求められる。 「数１」 Ｋ＝Ｅm ／Ｅr なお、Ｅm は制御用レーザエネルギー変換手段４の出力
値を表し、Ｅr は実際の出力レーザエネルギーを表して
いる。As shown by the solid line in FIG. 3, before the control spectroscopic means 2 is damaged, the relationship between the actual laser energy amount and the laser energy amount output from the control laser energy conversion means 4 is one to one. Corresponds to 1. However, if the control spectroscopic means 2 is damaged, the relationship is such that the slope of the output value increases, for example, as shown by the two-dot chain line in FIG. From this, to correct the parameters of the control laser energy conversion means 4,
The output correction coefficient K may be obtained. This output correction coefficient K
Is obtained by the following equation 1. "Equation 1" K = Em / Er Em represents the output value of the control laser energy conversion means 4, and Er represents the actual output laser energy.

【００２６】ここで、実際の出力レーザエネルギーＥr
は較正用レーザエネルギー変換手段１０の出力値Ｅc と
ほぼ同値であることから、上記出力補正係数Ｋは下記の
数式２の出力補正係数Ｋc と等価である。 「数２」 Ｋc ＝Ｅm ／Ｅc したがって、パラメータ較正手段８では、まず上記数式
２に基づいて出力補正係数Ｋc を求め、この出力補正係
数Ｋc から新しいパラメータ値を算出する。本実施形態
での例では、旧のパラメータ値（変換係数）に「１／Ｋ
c 」を掛けることによって新しいパラメータ値が求ま
る。Here, the actual output laser energy Er
Is approximately equal to the output value Ec of the calibration laser energy conversion means 10, the output correction coefficient K is equivalent to the output correction coefficient Kc of the following equation (2). "Equation 2" Kc = Em / Ec Therefore, the parameter calibrating means 8 first obtains an output correction coefficient Kc based on the above equation 2, and calculates a new parameter value from the output correction coefficient Kc. In the example of the present embodiment, the old parameter value (conversion coefficient) is “1 / K
By multiplying by "c", a new parameter value is obtained.

【００２７】次に、Ｓ５で、新しいパラメータ値を制御
用レーザエネルギー変換手段４に送り、制御用レーザエ
ネルギー変換手段４の旧のパラメータ値を変更する。そ
して、このパラメータ補正が終了すると、Ｓ６に移行
し、較正用分光手段６は移動手段１５によって自動的に
レーザ出力光の光路上から退避される。この後、Ｓ１に
戻って最初から以上の処理を繰り返す。Next, in S5, the new parameter value is sent to the control laser energy conversion means 4, and the old parameter value of the control laser energy conversion means 4 is changed. When the parameter correction is completed, the process proceeds to S6, and the calibration spectroscopic unit 6 is automatically retracted from the optical path of the laser output light by the moving unit 15. Thereafter, the process returns to S1, and the above processing is repeated from the beginning.

【００２８】このようにして、制御用分光手段２が光学
的なダメージを受けたときでも、安定したレーザ出力を
得ることができる。なお、制御用分光手段２の光学的な
ダメージは、レーザ出力光に長時間晒される結果生じる
ことが判明している。本実施形態では、レーザ出力光に
長時間晒されない他の較正用分光手段６によって分光さ
れたレーザ出力光の光量を計測しており、この計測され
た光量から変換されたレーザエネルギー量を基準にして
パラメータ補正値を求めているので、補正の精度がよ
い。また、エキシマレーザ装置が実稼働中であっても、
較正用分光手段６を光路上に挿入してパラメータ値を較
正できるので、エキシマレーザ装置の稼働率が低下する
ことが無くなる。In this way, a stable laser output can be obtained even when the control spectral means 2 is optically damaged. It has been found that optical damage to the control spectroscopy unit 2 results from prolonged exposure to laser output light. In the present embodiment, the light amount of the laser output light that has not been exposed to the laser output light for a long time and that has been separated by the other calibration spectroscopy unit 6 is measured, and the laser energy amount converted from the measured light amount is used as a reference. Since the parameter correction value is obtained by the calculation, the correction accuracy is good. Also, even when the excimer laser device is in operation,
Since the parameter values can be calibrated by inserting the calibration spectroscopic means 6 on the optical path, the operating rate of the excimer laser device does not decrease.

【００２９】次に、第２実施形態を図４に基づいて説明
する。本実施形態では、レーザ光の平均出力を検出し、
このレーザ光平均出力によってパラメータ値を較正する
方法を示している。なお、同図では図１と同一の部品に
は同じ符号を付しており、以下の説明を省く。図４にお
いて、部分透過ミラーを備えた較正用分光手段６はレー
ザ光の光路から外れた位置とこの光路上の位置間を移動
可能となっており、較正用分光手段６によって分光され
たレーザ光は平均出力検出手段２１に導かれる。平均出
力検出手段２１は、レーザ光の平均出力値を検出し、こ
の平均出力値を較正用平均出力値Ｗc としてパラメータ
較正手段８に出力している。また、レーザ出力制御器５
は、制御用レーザエネルギー変換手段４から出力される
レーザエネルギー量の電気信号を入力し、この電気信号
に基づいてレーザ光の平均出力値を算出する。そして、
この算出した平均出力値を制御用平均出力値Ｗm として
パラメータ較正手段８に出力する。そして、この制御用
平均出力値Ｗm 及び前記較正用平均出力値Ｗc の大きさ
に基づいて、制御用レーザエネルギー変換手段４のパラ
メータ値を較正する。Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. In the present embodiment, the average output of the laser light is detected,
A method of calibrating a parameter value by the average output of the laser beam is shown. In the figure, the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the following description will be omitted. In FIG. 4, the calibration spectroscopy unit 6 provided with a partially transmitting mirror is movable between a position deviating from the optical path of the laser beam and a position on this optical path. Is guided to the average output detecting means 21. The average output detecting means 21 detects the average output value of the laser beam, and outputs the average output value to the parameter calibrating means 8 as a calibration average output value Wc. The laser output controller 5
Inputs an electric signal of the amount of laser energy output from the control laser energy conversion means 4, and calculates an average output value of laser light based on the electric signal. And
The calculated average output value is output to the parameter calibration means 8 as the control average output value Wm. Then, the parameter values of the control laser energy converting means 4 are calibrated based on the magnitudes of the control average output value Wm and the calibration average output value Wc.

【００３０】このとき、前記制御用平均出力値Ｗm と較
正用平均出力値Ｗc とから、出力補正係数Ｋwcは以下の
数式３によって求められる。 「数３」 Ｋwc＝Ｗm ／Ｗc したがって、まずパラメータ較正手段８は、出力補正係
数Ｋwcを求め、この出力補正係数Ｋwcから新しいパラメ
ータ値を算出し、新しいパラメータ値を制御用レーザエ
ネルギー変換手段４に送る。次に制御用レーザエネルギ
ー変換手段４は、旧のパラメータ値を新しいパラメータ
値に変更する。本実施形態での例では、旧のパラメータ
値に「１／Ｋwc」を掛けることによって新しいパラメー
タ値が求まる。At this time, the output correction coefficient Kwc is obtained by the following equation 3 from the control average output value Wm and the calibration average output value Wc. "Equation 3" Kwc = Wm / Wc Therefore, first, the parameter calibrating means 8 calculates the output correction coefficient Kwc, calculates a new parameter value from the output correction coefficient Kwc, and sends the new parameter value to the control laser energy conversion means 4. send. Next, the control laser energy conversion means 4 changes the old parameter value to a new parameter value. In the example of the present embodiment, a new parameter value is obtained by multiplying the old parameter value by “1 / Kwc”.

【００３１】このようにして、制御用分光手段２が光学
的なダメージを受けたときでも、安定したレーザ出力を
得ることができる。本実施形態では、レーザ出力光に長
時間晒されない他の較正用分光手段６によって分光され
たレーザ出力光の平均出力値を計測しており、この計測
された平均出力値を基準にしてパラメータ補正値を求め
ているので、補正の精度がよい。また、エキシマレーザ
装置が実稼働中であっても、較正用分光手段６を光路上
に挿入してパラメータ値を較正できるので、エキシマレ
ーザ装置の稼働率が低下することが無くなる。In this way, a stable laser output can be obtained even when the control spectral means 2 is optically damaged. In the present embodiment, the average output value of the laser output light that has not been exposed to the laser output light for a long time and that has been separated by the other calibration spectroscopy unit 6 is measured, and parameter correction is performed based on the measured average output value. Since the value is obtained, the accuracy of correction is good. Further, even when the excimer laser device is in actual operation, the parameter value can be calibrated by inserting the calibration spectroscopic means 6 on the optical path, so that the operation rate of the excimer laser device does not decrease.

【００３２】次に、図５〜図７に基づいて第３実施形態
を説明する。図５は第３実施形態に係わるエキシマレー
ザ装置の制御構成ブロック図を示しており、同図で図１
と同一の構成には同じ符号を付し、以下の説明を省く。Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a block diagram showing a control configuration of an excimer laser device according to the third embodiment.
The same components as those described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

【００３３】レーザ発振管１のレーザ光路上の制御用分
光手段２は部分透過ミラー１７を有しており、この部分
透過ミラー１７はその反射面と平行に移動可能となって
おり、移動手段１６によって移動される。移動手段１６
は、例えば電動モータ等を備えており、レーザ出力制御
器５からの較正指令Ｄに基づいて部分透過ミラー１７を
移動し、また、この移動が完了した時に、移動完了信号
Ｆをレーザ出力制御器５に出力するようになっている。The control beam splitting means 2 on the laser beam path of the laser oscillation tube 1 has a partially transmitting mirror 17, which can be moved in parallel with its reflection surface. Moved by Transportation means 16
Is provided with, for example, an electric motor, and moves the partially transmitting mirror 17 based on a calibration command D from the laser output controller 5, and when this movement is completed, outputs a movement completion signal F to the laser output controller. 5 is output.

【００３４】制御用分光手段２の上記部分透過ミラー１
７によって分光されたレーザ光は、制御用光ディテクタ
３によって光強度に応じた電気量に変換される。制御用
レーザエネルギー変換手段４はこの変換された電気量を
これに相当するレーザエネルギー量信号に変換し、この
レーザエネルギー量信号をレーザ出力制御器５にフィー
ドバックすると共に、パラメータ較正手段８に出力す
る。レーザ出力制御器５は、上記フィードバック信号に
基づいてレーザ光の出力が目標値と等しくなるように、
高圧電源部１１に指令を出力して電源電圧を制御する。
また、さらに、レーザ出力制御器５は、パラメータ較正
手段８へ制御用ミラーレディ信号ＲＤ1 及び較正用ミラ
ーレディ信号ＲＤ2 を出力している。The partial transmission mirror 1 of the control spectral unit 2
The laser light split by 7 is converted by the control light detector 3 into an electric quantity corresponding to the light intensity. The control laser energy conversion means 4 converts the converted electric quantity into a corresponding laser energy quantity signal, feeds back this laser energy quantity signal to the laser output controller 5 and outputs the same to the parameter calibration means 8. . The laser output controller 5 controls the output of the laser beam based on the feedback signal to be equal to a target value.
A command is output to the high voltage power supply unit 11 to control the power supply voltage.
Further, the laser output controller 5 outputs a control mirror ready signal RD1 and a calibration mirror ready signal RD2 to the parameter calibration means 8.

【００３５】パラメータ較正手段８は、制御用ミラーレ
ディ信号ＲＤ1 及び較正用ミラーレディ信号ＲＤ2 を入
力し、この信号の入力時に、部分透過ミラー１７の移動
直前までの所定ショット数の制御用レーザエネルギー量
信号を記憶したり、また、部分透過ミラー１７の移動後
の所定ショット数の較正用レーザエネルギー量信号を入
力して記憶する。そして、両者の平均エネルギー量の大
きさを比較し、この結果に基づいて制御用レーザエネル
ギー変換手段４のパラメータ補正値を算出する。算出さ
れたパラメータ補正値はパラメータ較正手段８から制御
用レーザエネルギー変換手段４に送信され、制御用レー
ザエネルギー変換手段４はこの補正値によってパラメー
タを補正する。The parameter calibrating means 8 receives the control mirror ready signal RD1 and the calibration mirror ready signal RD2. At the time of input of these signals, the control laser energy amount of a predetermined number of shots immediately before the movement of the partially transmitting mirror 17 is received. A signal is stored, and a calibration laser energy amount signal of a predetermined number of shots after the partial transmission mirror 17 is moved is input and stored. Then, the magnitudes of the two average energy amounts are compared, and a parameter correction value of the control laser energy conversion means 4 is calculated based on the result. The calculated parameter correction value is transmitted from the parameter calibration means 8 to the control laser energy conversion means 4, and the control laser energy conversion means 4 corrects the parameter based on the correction value.

【００３６】図６は、部分透過ミラー１７の移動の説明
図である。部分透過ミラー１７にはエキシマレーザ装置
の通常のレーザー出力制御中に使用する領域Ａと、パラ
メータ較正時に使用する領域Ｂとが設けられており、レ
ーザ光２２は、通常時は領域Ａに照射されている。そし
て、パラメータ較正時には、移動手段１６によって部分
透過ミラー１７がその反射面と平行に矢印２３の方向へ
移動し、レーザ光２２は領域Ｂに照射されるようにな
る。FIG. 6 is an explanatory view of the movement of the partially transmitting mirror 17. The partially transmitting mirror 17 is provided with a region A used during normal laser output control of the excimer laser device and a region B used during parameter calibration, and the laser beam 22 is normally applied to the region A. ing. Then, at the time of parameter calibration, the partially transmitting mirror 17 is moved by the moving means 16 in the direction of the arrow 23 in parallel with the reflection surface, so that the area B is irradiated with the laser beam 22.

【００３７】図７は、本実施形態におけるパラメータ補
正のための制御フローチャートの一例を示している。こ
こで、各処理のステップ番号をＳを付して表す。Ｓ１１
で、レーザ出力制御器５はレーザ出力が安定状態か否か
をチェックし、安定するまで待って安定状態になったら
Ｓ１２に移行する。ここで、レーザ出力の安定状態のチ
ェックは、制御用レーザエネルギー変換手段４からのレ
ーザエネルギー量信号が所定時間以内で所定範囲以内に
入っているかによって行ってもよい。次に、Ｓ１２で
は、前回の較正終了後から一定ショット数が経過したか
否かを判断し、一定ショット数経過するまではＳ１〜Ｓ
２を繰り返し、一定ショット数経過したときはＳ１３に
移行する。FIG. 7 shows an example of a control flowchart for parameter correction in this embodiment. Here, the step number of each process is represented by adding S. S11
Then, the laser output controller 5 checks whether or not the laser output is in a stable state, and waits until the laser output is stabilized. Here, the stable state of the laser output may be checked based on whether the laser energy amount signal from the control laser energy conversion means 4 falls within a predetermined range within a predetermined time. Next, in S12, it is determined whether or not a certain number of shots have elapsed since the end of the previous calibration.
Step 2 is repeated, and when a certain number of shots have elapsed, the process proceeds to S13.

【００３８】Ｓ１３で、レーザ出力制御器５は移動手段
１６に較正指令信号を出力すると共に、パラメータ較正
手段８に制御用ミラーレディ信号ＲＤ1 をオフする。パ
ラメータ較正手段８は、この制御用ミラーレディ信号Ｒ
Ｄ1 がオフされる直前までの一定ショット数分のレーザ
エネルギー量データを制御用レーザエネルギー変換手段
４から入力して記憶しており、制御用ミラーレディ信号
ＲＤ1 がオフされたときに、この記憶していた一定ショ
ット数分のレーザエネルギー量データを所定のメモリエ
リアに転送する。また、移動手段１６は上記較正指令信
号を入力すると、部分透過ミラー１７を移動させ、部分
透過ミラー１７の較正用の領域Ｂがレーザ光２２の光軸
上に来るようにする。In step S13, the laser output controller 5 outputs a calibration command signal to the moving means 16 and turns off the control mirror ready signal RD1 to the parameter calibrating means 8. The parameter calibrating means 8 outputs the control mirror ready signal R
Laser energy data for a fixed number of shots immediately before D1 is turned off is input from the control laser energy conversion means 4 and stored. When the control mirror ready signal RD1 is turned off, this data is stored. The laser energy amount data for the fixed number of shots is transferred to a predetermined memory area. Further, upon input of the calibration command signal, the moving means 16 moves the partially transmitting mirror 17 so that the calibration area B of the partially transmitting mirror 17 is located on the optical axis of the laser beam 22.

【００３９】次に、Ｓ１４で、レーザ出力制御器５は移
動手段１６からの移動完了信号が入力されたか否かを判
断し、入力されるまでＳ１４を繰り返して待つ。移動完
了信号が入力されたときは、Ｓ１５に移行し、レーザ出
力制御器５はパラメータ較正手段８に較正用ミラーレデ
ィ信号ＲＤ2 を出力する。この較正用ミラーレディ信号
ＲＤ2 を入力したら、パラメータ較正手段８は一定ショ
ット数分のレーザエネルギー量データを制御用レーザエ
ネルギー変換手段４から入力して記憶する。そして、パ
ラメータ較正手段８は、前記制御用ミラーレディ信号Ｒ
Ｄ1 がオフされる直前までの（すなわち、部分透過ミラ
ー１７の制御用の領域Ａが光軸上にあるときの）一定シ
ョット数分のレーザエネルギー量データの平均値Ｅma、
及び、前記較正用ミラーレディ信号ＲＤ2 が入力された
ときの（すなわち、部分透過ミラー１７の較正用の領域
Ｂが光軸上にあるときの）一定ショット数分のレーザエ
ネルギー量データの平均値Ｅcaを算出する。次に、両平
均値に基づいて、以下の数式４によって、出力補正係数
Ｋc を求める。 「数４」Ｋc ＝Ｅma／Ｅca パラメータ較正手段８は、この出力補正係数Ｋc から新
しいパラメータ値を算出し、新しいパラメータ値を制御
用レーザエネルギー変換手段４に送り、旧のパラメータ
値を変更する。変更が完了したら、較正終了信号ＣＥを
レーザ出力制御器５に出力する。Next, in S14, the laser output controller 5 determines whether or not a movement completion signal has been input from the moving means 16, and repeats S14 until it is input. When the movement completion signal has been input, the flow shifts to S15, where the laser output controller 5 outputs the calibration mirror ready signal RD2 to the parameter calibration means 8. When the calibration mirror ready signal RD2 is input, the parameter calibration means 8 inputs and stores the laser energy amount data for a fixed number of shots from the control laser energy conversion means 4. Then, the parameter calibrating means 8 outputs the control mirror ready signal R
Immediately before D1 is turned off (that is, when the control area A of the partially transmitting mirror 17 is on the optical axis), the average value Ema of the laser energy amount data for a fixed number of shots,
The average value Eca of the laser energy amount data for a fixed number of shots when the calibration mirror ready signal RD2 is input (that is, when the calibration area B of the partial transmission mirror 17 is on the optical axis). Is calculated. Next, an output correction coefficient Kc is obtained by the following equation 4 based on both average values. "Equation 4" Kc = Ema / Eca The parameter calibration means 8 calculates a new parameter value from the output correction coefficient Kc, sends the new parameter value to the control laser energy conversion means 4, and changes the old parameter value. When the change is completed, a calibration end signal CE is output to the laser output controller 5.

【００４０】次に、Ｓ１６で、レーザ出力制御器５は上
記較正終了信号ＣＥが入力されたか否かを判断し、入力
されるまでＳ１６を繰り返して待ち、入力されたとき
は、Ｓ１７で前記較正指令信号Ｄをオフする。これによ
って、移動手段１６は部分透過ミラー１７の制御用の領
域Ａを光軸上に移動させる。そして、この後、レーザ出
力制御器５は前記制御用ミラーレディ信号ＲＤ1 をオン
する。そして、Ｓ１に戻って、以上の処理を繰り返す。Next, in step S16, the laser output controller 5 determines whether or not the calibration end signal CE has been input. The laser output controller 5 repeats step S16 until the signal has been input. Turn off the command signal D. Thereby, the moving means 16 moves the control area A of the partial transmission mirror 17 on the optical axis. Thereafter, the laser output controller 5 turns on the control mirror ready signal RD1. Then, returning to S1, the above processing is repeated.

【００４１】このように、部分透過ミラー１７に較正用
の領域Ｂを設け、較正時にのみ、この領域Ｂをレーザ光
軸上に移動させるようにしているので、この領域Ｂは通
常はレーザ光に晒されずに済む。したがって、ダメージ
を受けにくくなるので、この較正用領域Ｂによって分光
されたレーザ光のレーザエネルギー量との比較に基づい
て、制御用レーザエネルギー変換手段４のパラメータ値
の較正が可能となる。また、レーザショット中でも、部
分透過ミラー１７を移動できるので、較正のためにエキ
シマレーザ装置の稼働を中断する必要が無くなり、稼働
率を向上することができる。As described above, the calibration area B is provided on the partial transmission mirror 17, and the area B is moved on the laser optical axis only at the time of calibration. No need to be exposed. Therefore, since the laser beam is less likely to be damaged, the parameter value of the control laser energy converter 4 can be calibrated based on the comparison with the laser energy amount of the laser beam split by the calibration area B. Further, since the partially transmitting mirror 17 can be moved even during the laser shot, it is not necessary to interrupt the operation of the excimer laser device for calibration, and the operation rate can be improved.

【００４２】次に、図８〜図９に基づいて第４実施形態
を説明する。図８は、本実施形態に係わるエキシマレー
ザ装置の制御構成ブロック図を示しており、同図で図５
と同一の構成には同じ符号を付し、以下の説明を省く。
本実施形態においても、レーザ発振管１のレーザ光路上
の制御用分光手段２は部分透過ミラー１７を有してお
り、この部分透過ミラー１７はその反射面と平行に移動
可能となっており、移動手段１６によって移動される。
移動手段１６は、例えば電動モータ等を備えており、レ
ーザ出力制御器５から入力する累積ショット数データに
基づいて部分透過ミラー１７を移動するようにしてい
る。Next, a fourth embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a control block diagram of the excimer laser device according to the present embodiment, and FIG.
The same components as those described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
Also in the present embodiment, the control spectral unit 2 on the laser beam path of the laser oscillation tube 1 has a partially transmitting mirror 17, and the partially transmitting mirror 17 is movable in parallel with its reflection surface. It is moved by the moving means 16.
The moving unit 16 includes, for example, an electric motor, and moves the partially transmitting mirror 17 based on the accumulated shot number data input from the laser output controller 5.

【００４３】制御用分光手段２の上記部分透過ミラー１
７によって分光されたレーザ光は、制御用光ディテクタ
３によって光強度に応じた電気量に変換される。制御用
レーザエネルギー変換手段４はこの変換された電気量を
これに相当するレーザエネルギー量信号に変換し、この
レーザエネルギー量信号をレーザ出力制御器５にフィー
ドバックする。レーザ出力制御器５は、上記フィードバ
ック信号に基づいてレーザ光の出力が目標値と等しくな
るように、高圧電源部１１に指令を出力して電源電圧を
制御する。また、レーザ出力制御器５は、分光手段初段
の部分透過ミラー１７の交換時からの累積ショット数を
計測しており、この累積ショット数データを常時移動手
段１６に出力している。The partial transmission mirror 1 of the control spectral unit 2
The laser light split by 7 is converted by the control light detector 3 into an electric quantity corresponding to the light intensity. The control laser energy conversion means 4 converts the converted amount of electricity into a corresponding laser energy amount signal, and feeds back the laser energy amount signal to the laser output controller 5. The laser output controller 5 controls the power supply voltage by outputting a command to the high-voltage power supply unit 11 based on the feedback signal so that the output of the laser light becomes equal to the target value. Further, the laser output controller 5 measures the number of cumulative shots from the time of replacement of the partial transmission mirror 17 at the first stage of the spectroscopic means, and constantly outputs the cumulative shot number data to the moving means 16.

【００４４】図９は、本実施形態における部分透過ミラ
ー１７の移動の説明図である。部分透過ミラー１７は、
交換時からの累積ショット数に比例して徐々に、その反
射面と平行に矢印２３の方向へ移動する。この移動方向
をＸ軸で表し、交換された当初にレーザ光２２の光軸が
位置していた所を、「Ｘ＝０」と置く。このとき、累積
ショット数Ｎと、部分透過ミラー１７の移動する位置Ｘ
との関係は、予め設定した係数Ｋx を用いて、以下の数
式５によって求められる。 「数５」 Ｘ＝Ｋx ×Ｎ ここで、係数Ｋx は使用される環境や条件、及び部分透
過ミラー１７の材質等によって経験的に設定される所定
値であり、例えば「１．０ｅｘｐ(-7)（mm／累積ショッ
ト数）」のように設定することができる。FIG. 9 is an explanatory diagram of the movement of the partially transmitting mirror 17 in the present embodiment. The partially transmitting mirror 17
It gradually moves in the direction of arrow 23 in parallel with the reflection surface in proportion to the number of cumulative shots from the time of replacement. This moving direction is represented by the X axis, and the place where the optical axis of the laser beam 22 was located at the beginning of the exchange is set as “X = 0”. At this time, the cumulative shot number N and the position X where the partial transmission mirror 17 moves
Is obtained by the following equation 5 using a coefficient Kx set in advance. X = Kx × N Here, the coefficient Kx is a predetermined value empirically set depending on the environment and conditions to be used, the material of the partially transmitting mirror 17, and the like, for example, “1.0exp (−7) ) (Mm / cumulative number of shots) ".

【００４５】このような構成によると、移動手段１６
は、部分透過ミラー１７の交換当初からの位置が累積シ
ョット数に比例するように、部分透過ミラー１７を所定
距離づつ移動する。これによって、新しい反射面がレー
ザ光の光軸上に来るので、光学的なダメージによるフィ
ードバック信号の変動が所定の許容値以内に収まり、レ
ーザー光のエネルギー量を安定的にフィードバックでき
る。したがって、常時、レーザー出力が目標値に等しく
なり、安定した発振が得られる。According to such a configuration, the moving means 16
Moves the partial transmission mirror 17 by a predetermined distance so that the position of the partial transmission mirror 17 from the beginning of replacement is proportional to the number of accumulated shots. As a result, the new reflection surface comes on the optical axis of the laser beam, so that the fluctuation of the feedback signal due to optical damage falls within a predetermined allowable value, and the energy amount of the laser beam can be fed back stably. Therefore, the laser output is always equal to the target value, and stable oscillation is obtained.

【００４６】なお、移動距離Ｘが、予め設定した最大距
離を越えた場合には、レーザ出力制御器５から警報や警
告表示を行うようにしてもよい。そして、この警報後
に、部分透過ミラー１７を交換してこれまでの累積ショ
ット数をクリアし、再度、上記と同様の処理を行うこと
により、継続的に安定したレーザ出力が得られる。When the moving distance X exceeds a preset maximum distance, an alarm or a warning may be displayed from the laser output controller 5. Then, after this warning, the partially transmitted mirror 17 is replaced to clear the cumulative shot number so far, and the same processing is performed again, whereby a stable laser output is continuously obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１実施形態に係わる制御構成ブロッ
ク図を示す。FIG. 1 is a control configuration block diagram according to a first embodiment of the present invention.

【図２】第１実施形態に係わる制御フローチャートの一
例を示す。FIG. 2 shows an example of a control flowchart according to the first embodiment.

【図３】本発明に係わる制御用分光手段のダメージによ
る出力変化の説明図を示す。FIG. 3 is an explanatory diagram of an output change due to damage of a control spectral unit according to the present invention.

【図４】本発明の第２実施形態に係わる制御構成ブロッ
ク図を示す。FIG. 4 is a control configuration block diagram according to a second embodiment of the present invention.

【図５】本発明の第３実施形態に係わる制御構成ブロッ
ク図を示す。FIG. 5 is a control block diagram according to a third embodiment of the present invention.

【図６】第３実施形態に係わる部分透過ミラーの移動の
説明図を示す。FIG. 6 is an explanatory diagram of movement of a partially transmitting mirror according to a third embodiment.

【図７】第３実施形態に係わる制御フローチャートの一
例を示す。FIG. 7 shows an example of a control flowchart according to a third embodiment.

【図８】本発明の第４実施形態に係わる制御構成ブロッ
ク図を示す。FIG. 8 is a control configuration block diagram according to a fourth embodiment of the present invention.

【図９】第４実施形態に係わる部分透過ミラーの移動の
説明図を示す。FIG. 9 is an explanatory diagram of movement of a partially transmitting mirror according to a fourth embodiment.

【図１０】従来技術に係わるエキシマレーザ装置の制御
構成ブロック図を示す。FIG. 10 is a control configuration block diagram of an excimer laser device according to the related art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…レーザ発振管、２…制御用分光手段、３…制御用光
ディテクタ、４…制御用レーザエネルギー変換手段、５
…レーザ出力制御器、６…較正用分光手段、７…較正用
光ディテクタ、８…パラメータ較正手段、９…加工機、
１０…較正用レーザエネルギー変換手段、１１…高圧電
源部、１５、１６…移動手段、１７…部分透過ミラー、
２１…平均出力検出手段、２２…レーザ光、２３…矢
印。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser oscillation tube, 2 ... Control spectroscopy means, 3 ... Control light detector, 4 ... Control laser energy conversion means, 5
... Laser output controller, 6 ... Spectroscopic means for calibration, 7 ... Optical detector for calibration, 8 ... Parameter calibration means, 9 ... Processing machine,
10 ... Calibration laser energy conversion means, 11 ... High-voltage power supply unit, 15, 16 ... Moving means, 17 ... Partially transmitting mirror,
21: average output detection means, 22: laser beam, 23: arrow.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 レーザ発振管(1) から出力されたレーザ
光を分光する制御用分光手段(2) と、この分光されたレ
ーザ光の光強度を電気量に変換する制御用光ディテクタ
(3) と、この変換された電気量をパラメータによってレ
ーザエネルギー量信号に変換する制御用レーザエネルギ
ー変換手段(4) と、この変換されたレーザエネルギー量
信号に基づいてレーザ出力を制御するレーザ出力制御器
(5) とを備えたエキシマレーザ装置において、 前記レーザ発振管(1) から出力されたレーザ光の光軸を
外れた位置と光軸上の位置間を移動可能に配設され、か
つ、光軸上にあるときレーザ光を分光する較正用分光手
段(6) と、 所定ショット数毎に、前記光軸を外れた位置から光軸上
の位置に前記較正用分光手段(6) を移動させる移動手段
(15)と、 前記較正用分光手段(6) により分光されたレーザ光の光
強度を電気量に変換する較正用光ディテクタ(7) と、 較正用光ディテクタ(7) により変換された電気量をレー
ザエネルギー量信号に変換する較正用レーザエネルギー
変換手段(10)と、 前記所定ショット数毎に、前記較正用レーザエネルギー
変換手段(10)により変換されたレーザエネルギー量信
号、及び前記制御用レーザエネルギー変換手段(4) によ
り変換されたレーザエネルギー量信号を入力して比較
し、両レーザエネルギー量信号の大きさに基づいて、前
記制御用レーザエネルギー変換手段(4) の前記パラメー
タを較正するパラメータ較正手段(8) とを備えたことを
特徴とするエキシマレーザ装置。A control light splitting means for splitting laser light output from a laser oscillation tube, and a control light detector for converting the light intensity of the split laser light into an electric quantity.
(3) a control laser energy conversion means (4) for converting the converted electric quantity into a laser energy quantity signal by a parameter, and a laser output for controlling a laser output based on the converted laser energy quantity signal. Controller
(5) an excimer laser device comprising: a laser beam output from the laser oscillation tube (1), the laser beam being arranged to be movable between a position off the optical axis and a position on the optical axis, and Calibrating spectroscopy means (6) for dispersing the laser beam when on the axis, and moving the calibration spectroscopy means (6) from a position off the optical axis to a position on the optical axis for each predetermined number of shots transportation
(15), a calibration light detector (7) for converting the light intensity of the laser beam split by the calibration spectral means (6) into an electric quantity, and an electric quantity converted by the calibration light detector (7) A laser energy conversion means (10) for converting the laser energy amount signal into a laser energy amount signal, for each of the predetermined number of shots, a laser energy amount signal converted by the calibration laser energy conversion means (10), and the control laser A parameter for inputting and comparing the laser energy amount signal converted by the energy converting means (4), and for calibrating the parameter of the control laser energy converting means (4) based on the magnitude of both laser energy amount signals. An excimer laser device comprising a calibration means (8). 【請求項２】 レーザ発振管(1) から出力されたレーザ
光を分光する制御用分光手段(2) と、この分光されたレ
ーザ光の光強度を電気量に変換する制御用光ディテクタ
(3) と、この変換された電気量をパラメータによってレ
ーザエネルギー量信号に変換する制御用レーザエネルギ
ー変換手段(4) と、この変換されたレーザエネルギー量
信号に基づいてレーザ出力を制御するレーザ出力制御器
(5) とを備えたエキシマレーザ装置において、 前記レーザ発振管(1) から出力されたレーザ光の光軸を
外れた位置と光軸上の位置間を移動可能に配設され、か
つ、光軸上にあるときレーザ光を分光する較正用分光手
段(6) と、 所定ショット数毎に、前記光軸を外れた位置から光軸上
の位置に前記較正用分光手段(6) を移動させる移動手段
(15)と、 前記較正用分光手段(6) により分光されたレーザ光の平
均出力を検出する平均出力検出手段(21)と、 前記制御用レーザエネルギー変換手段(4) から入力した
レーザエネルギー量信号に基づいて平均出力値を算出
し、この平均出力値を出力する前記レーザ出力制御器
(5) と、 前記所定ショット数毎に、前記平均出力検出手段(21)に
より検出された平均出力値、及び前記レーザ出力制御器
(5) から入力した平均出力値を入力して比較し、両平均
出力値の大きさに基づいて、前記制御用レーザエネルギ
ー変換手段(4)の前記パラメータを較正するパラメータ
較正手段(8) とを備えたことを特徴とするエキシマレー
ザ装置。2. A control spectroscopic means (2) for dispersing laser light output from a laser oscillation tube (1), and a control light detector for converting the light intensity of the dispersed laser light into an electric quantity.
(3) a control laser energy conversion means (4) for converting the converted electric quantity into a laser energy quantity signal by a parameter, and a laser output for controlling a laser output based on the converted laser energy quantity signal. Controller
(5) an excimer laser device comprising: a laser beam output from the laser oscillation tube (1), the laser beam being arranged to be movable between a position off the optical axis and a position on the optical axis, and Calibrating spectroscopy means (6) for dispersing the laser beam when on the axis, and moving the calibration spectroscopy means (6) from a position off the optical axis to a position on the optical axis for each predetermined number of shots transportation
(15), an average output detecting means (21) for detecting an average output of the laser beam split by the calibration spectroscopic means (6), and a laser energy input from the control laser energy converting means (4). The laser output controller calculates an average output value based on the signal, and outputs the average output value.
(5), for each of the predetermined number of shots, an average output value detected by the average output detection means (21), and the laser output controller
The average output value input from (5) is input and compared, and the parameter calibration means (8) for calibrating the parameter of the control laser energy conversion means (4) based on the magnitude of both average output values. An excimer laser device comprising: 【請求項３】 レーザ発振管(1) から出力されたレーザ
光を分光する制御用分光手段(2) の部分透過ミラー(17)
と、この分光されたレーザ光の光強度を電気量に変換す
る制御用光ディテクタ(3) と、この変換された電気量を
パラメータによってレーザエネルギー量信号に変換する
制御用レーザエネルギー変換手段(4)と、この変換され
たレーザエネルギー量信号に基づいてレーザ出力を制御
するレーザ出力制御器(5) とを備えたエキシマレーザ装
置において、 前記部分透過ミラー(17)は、レーザ発振管(1) から出力
された前記レーザ光が反射面の領域(A) に照射される位
置と反射面の領域(B) に照射される位置との間をその反
射面と平行に移動可能に配設されると共に、 レーザ出力の所定ショット数毎に、前記レーザ光の照射
位置が前記領域(A) から領域(B) に移動するように前記
制御用分光手段(2) を移動させる移動手段(16)と、 前記所定ショット数毎に、前記制御用分光手段(2) の前
記照射位置が前記領域(A) から前記領域(B) に移動する
前に前記制御用レーザエネルギー変換手段(4)から入力
したレーザエネルギー量信号と、前記照射位置が前記領
域(B) に移動した後に前記制御用レーザエネルギー変換
手段(4) から入力したレーザエネルギー量信号とを比較
し、両レーザエネルギー量信号の大きさに基づいて、前
記制御用レーザエネルギー変換手段(4) の前記パラメー
タを較正するパラメータ較正手段(8) とを備えたことを
特徴とするエキシマレーザ装置。3. A partial transmission mirror (17) of a control spectral unit (2) for spectrally separating a laser beam output from a laser oscillation tube (1).
A control light detector (3) for converting the light intensity of the split laser light into an electric quantity, and a control laser energy converting means (4) for converting the converted electric quantity into a laser energy signal by using a parameter. ) And a laser output controller (5) for controlling a laser output based on the converted laser energy amount signal, wherein the partially transmitting mirror (17) includes a laser oscillation tube (1). The laser beam output from the laser beam is disposed so as to be movable in parallel to the reflection surface between a position where the laser light is irradiated to the reflection surface region (A) and a position where the laser light is irradiated to the reflection surface region (B). Moving means (16) for moving the control spectral means (2) such that the irradiation position of the laser light moves from the area (A) to the area (B) every predetermined number of shots of the laser output. The control is performed for each of the predetermined number of shots. Before the irradiation position of the spectroscopic means (2) moves from the area (A) to the area (B), the laser energy amount signal input from the control laser energy conversion means (4) and the irradiation position After moving to the area (B), a comparison is made between the laser energy amount signal input from the control laser energy amount conversion means (4) and the control laser energy amount conversion means based on the magnitude of both laser energy amount signals. An excimer laser device comprising: (4) parameter calibration means (8) for calibrating the parameter. 【請求項４】 レーザ発振管(1) から出力されたレーザ
光を分光する制御用分光手段(2) の部分透過ミラー(17)
と、この分光されたレーザ光の光強度を電気量に変換す
る制御用光ディテクタ(3) と、この変換された電気量を
パラメータによってレーザエネルギー量信号に変換する
制御用レーザエネルギー変換手段(4)と、この変換され
たレーザエネルギー量信号に基づいてレーザ出力を制御
するレーザ出力制御器(5) とを備えたエキシマレーザ装
置において、 前記部分透過ミラー(17)は、前記レーザ発振管(1) から
出力された前記レーザ光が部分透過ミラー(17)の反射面
と平行に移動可能に配設されると共に、 前記部分透過ミラー(17)の交換当初からの距離Ｘがレー
ザ出力のショット数に比例するように、部分透過ミラー
(17)を移動させる移動手段(16)を備えたことを特徴とす
るエキシマレーザ装置。4. A partial transmission mirror (17) of a control spectral means (2) for spectrally separating a laser beam output from a laser oscillation tube (1).
A control light detector (3) for converting the light intensity of the split laser light into an electric quantity, and a control laser energy converting means (4) for converting the converted electric quantity into a laser energy signal by using a parameter. ), And a laser output controller (5) for controlling a laser output based on the converted laser energy amount signal, wherein the partially transmitting mirror (17) includes the laser oscillation tube (1). ) Is disposed so as to be movable in parallel with the reflection surface of the partially transmitting mirror (17), and the distance X from the beginning of replacement of the partially transmitting mirror (17) is the number of laser output shots. Partially transmissive mirror as proportional to
An excimer laser device comprising a moving means (16) for moving (17).