JPH10134347A - Burnishing device - Google Patents

Burnishing device

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Publication number
JPH10134347A
JPH10134347A JP28970996A JP28970996A JPH10134347A JP H10134347 A JPH10134347 A JP H10134347A JP 28970996 A JP28970996 A JP 28970996A JP 28970996 A JP28970996 A JP 28970996A JP H10134347 A JPH10134347 A JP H10134347A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording medium
magnetic recording
burnishing
head
deformable
Prior art date
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Pending
Application number
JP28970996A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keiko Watanabe
恵子 渡辺
Tetsuya Hamaguchi
哲也 浜口
Toshihiko Shimizu
利彦 清水
Hisahiro Arisaka
寿洋 有坂
Shinobu Yoshida
忍 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP28970996A priority Critical patent/JPH10134347A/en
Publication of JPH10134347A publication Critical patent/JPH10134347A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To machine and supply a smooth recording medium by stabilizing the posture of a burnish head during head burnishing machining for eliminating projections. SOLUTION: A head support arm 10 is constructed by sequentially connecting a second deformable part 14, a first rigid part 13, a first deformable part 12 and the attaching part 11 of a guide arm to the upstream side of the recording medium moving direction of a second rigid part 15 having a burnish head 20 attached. While a specified pressing load is applied to the burnish head 20, a crossing point between the extended line of a line for connecting the first and second deformable parts 12 and 14 is placed in the upstream side of a recording medium moving direction more than a sliding point between the burnish head 20 and a recording medium 40.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクや光
磁気ディスク等の情報記録媒体の製造に使用されるバー
ニッシュ装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a burnishing apparatus used for manufacturing an information recording medium such as a magnetic disk and a magneto-optical disk.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、ディスク装置の小型化、高記録密
度化に伴い磁気記録媒体に対する浮動磁気スライダの浮
上量の低減が要求され、それに伴い浮上中も何らかの要
因でディスク／スライダの接触が発生する可能性が増大
している。また、磁気ヘッドスライダと磁気記録媒体と
を接触摺動させながら磁気記録／再生を行う、コンタク
トレコーディング方式の磁気記録装置では、定常的に磁
気ヘッドスライダと記録媒体が接触している。このよう
な状況下において、記録媒体にはより平滑性が要求され
てきている。2. Description of the Related Art In recent years, as the size of disk drives has become smaller and the recording density has increased, it has been required to reduce the flying height of a floating magnetic slider with respect to a magnetic recording medium. The likelihood of doing so is increasing. Further, in a contact recording type magnetic recording apparatus that performs magnetic recording / reproduction while sliding the magnetic head slider and the magnetic recording medium in contact, the magnetic head slider and the recording medium are constantly in contact. Under such circumstances, the recording medium is required to have higher smoothness.

【０００３】従来、磁気記録媒体の製造において、記録
媒体上に突起切削用のヘッドスライダを記録再生を行う
ときより小さい浮上量で浮上させ、成膜時の異物等によ
りディスク上に形成された不要な突起をヘッドスライダ
にて取り除き、磁気記録媒体表面を平坦化するバーニッ
シュ工程が行われている。この工程で用いられているヘ
ッドスライダ（以下バーニッシュヘッドという）のヘッ
ド支持系は、通常の浮上スライダに用いられているのと
同様で、特開昭５５−２２２９６号公報に開示されてい
るように、バーニッシュヘッドを記録媒体であるディス
クに押しつけ荷重を与える支持ア−ムと、この支持ア−
ムに取り付けられ、荷重点となるピボットと、同じく支
持ア−ムに接続されスライダのピッチング及びロ−リン
グ方向に回転可能な回転バネを持つジンバル部と、を含
んでなり、このジンバル部にバーニッシュヘッドが取り
付けられている。Conventionally, in the manufacture of a magnetic recording medium, a head slider for cutting protrusions is floated on the recording medium with a smaller flying height when performing recording and reproduction, and unnecessary heads formed on the disk due to foreign matter or the like during film formation. A burnishing process is performed to remove such projections with a head slider and flatten the surface of the magnetic recording medium. The head support system of the head slider (hereinafter, referred to as a varnish head) used in this step is the same as that used for a normal flying slider, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-22296. A support arm for applying a load by pressing the burnishing head against a disk as a recording medium;
A gimbal portion having a pivot spring attached to the arm and serving as a load point, and a rotatable spring also connected to the support arm and rotatable in the pitching and rolling directions of the slider. Nish head is installed.

【０００４】このような支持機構にあっては、バーニッ
シュヘッドのピッチング方向の回転中心がジンバル部に
ありバーニッシュヘッドの摺動面より上方にあるため、
突起除去の際あるいは、小さい浮上量のため突起以外の
部分での接触が発生しやすく、その際、バーニッシュヘ
ッドと記録媒体の接触により摩擦力が働くと、バーニッ
シュヘッドは前のめりにつんのめる状態になる。これに
よりバーニッシュヘッドの不安定振動を発生したり、局
部的に非常に大きな接触力を発生するためディスク表面
及びバーニッシュヘッド表面の損傷を引き起こす。特に
平滑化されたディスクにおいては、バーニッシュ工程に
おいてバーニッシュヘッドとディスクの接触による大き
な摩擦力が発生しやすく、上記の理由から突起を除去す
るどころか、ディスク表面に損傷を与えてしまう。ま
た、研磨装置においては、特開平８−２５２０３号公報
に開示されているように、研磨板の研磨面圧分布を略均
等に設定してガラス板の研磨むらの発生を防止する支持
構造がある。しかしながら、前記の支持構造は、構造が
複雑でバーニッシュヘッドの支持機構として適用する事
は困難である。In such a support mechanism, the center of rotation of the burnishing head in the pitching direction is located at the gimbal portion and above the sliding surface of the burnishing head.
When removing protrusions, or because of the small flying height, contact is likely to occur at parts other than the protrusions.In this case, if frictional force acts due to the contact between the burnishing head and the recording medium, the burnishing head will be in a state where it can be flattened forward. Become. This may cause unstable vibration of the burnishing head or locally generate a very large contact force, thereby causing damage to the disk surface and the burnishing head surface. Particularly in the case of a smoothed disk, a large frictional force is likely to be generated due to the contact between the burnishing head and the disk in the burnishing process, and the surface of the disk is damaged rather than removing the projections for the above-described reason. Further, in the polishing apparatus, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-25203, there is a support structure for setting the distribution of the polishing surface pressure of the polishing plate to be substantially uniform to prevent the occurrence of uneven polishing of the glass plate. . However, the above-mentioned support structure has a complicated structure and is difficult to apply as a support mechanism for a burnishing head.

【０００５】本発明は、平滑なディスクに対しても不安
定振動を発生させずディスク表面損傷を与えることな
く、平滑性を保ったままで突起を除去することを目的と
する。An object of the present invention is to remove projections while maintaining smoothness without generating unstable vibration even on a smooth disk and without damaging the disk surface.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の第１の手段は、磁気記録媒体を保持して回転させる
手段と、前記磁気記録媒体の記録面上に配置され、該記
録面と摺動しつつ記録面上の突起等の障害物を衝突エネ
ルギにより除去するバーニッシュ用ヘッドスライダと、
を含んでなるバーニッシュ装置において、前記バーニッ
シュ用ヘッドスライダを記録媒体移動方向上流側から、
両端にそれぞれ柔支持体を有する剛支持体を介して片持
ちで支持し、前記バーニッシュ用ヘッドスライダの前記
磁気記録媒体の記録面との摺動部の磁気記録媒体移動方
向上流端を、前記磁気記録媒体が停止した状態で、前記
磁気記録媒体から前記バーニッシュ用ヘッドスライダに
加わる摩擦力の方向に平行でかつ前記磁気記録媒体の記
録面に垂直な平面に設定される前記２つの柔支持体それ
ぞれの中央部を結ぶ線分の延長線と前記磁気記録媒体記
録面との交点から前記磁気記録媒体移動方向下流側に設
けたことを特徴とする。A first means of the present invention for achieving the above object is a means for holding and rotating a magnetic recording medium, and disposed on a recording surface of the magnetic recording medium; A burnishing head slider for removing obstacles such as projections on the recording surface by collision energy while sliding with
In the burnishing device comprising: the burnishing head slider from the upstream side in the recording medium moving direction,
The cantilever is supported via a rigid support having flexible supports at both ends, and the upstream end in the magnetic recording medium moving direction of the sliding portion of the burnishing head slider with respect to the recording surface of the magnetic recording medium, With the magnetic recording medium stopped, the two flexible supports set on a plane parallel to the direction of frictional force applied from the magnetic recording medium to the burnishing head slider and perpendicular to the recording surface of the magnetic recording medium. The magnetic recording medium is provided on the downstream side in the moving direction of the magnetic recording medium from an intersection of an extension of a line connecting the central portions of the bodies with the recording surface of the magnetic recording medium.

【０００７】上記目的を達成する本発明の第２の手段
は、磁気記録媒体を保持して回転させる手段と、前記磁
気記録媒体の記録面上に配置され、該記録面上の突起等
の障害物を衝突エネルギにより除去するバーニッシュ用
ヘッドスライダと、このスライダを磁気記録媒体に押し
つける荷重を発生して支持するヘッド支持アームと、を
含んでなるバーニッシュ装置において、このヘッド支持
アームは、前記磁気記録媒体移動方向上流から順に第１
変形可能部、第１剛体部と、第２変形可能部、第２剛体
部を有してなり、この第２剛体部に取り付けられたバー
ニッシュ用ヘッドスライダを前記磁気記録媒体移動方向
上流側から片持ちで支持し、前記磁気記録媒体が停止し
た状態で、前記バーニッシュ用ヘッドスライダの前記磁
気記録媒体との摺動部の前記磁気記録媒体移動方向上流
端は、前記磁気記録媒体から前記バーニッシュ用ヘッド
スライダに加わる摩擦力の方向に平行でかつ前記磁気記
録媒体の記録面に垂直な平面に設定される前記第１び第
２変形可能部を結ぶ線分の延長線と前記記録媒体との交
点から記録媒体移動方向下流側に設けたことを特徴とす
る。A second means of the present invention for achieving the above object is a means for holding and rotating a magnetic recording medium, and a means for disposing a magnetic recording medium on a recording surface of the magnetic recording medium, such as a protrusion on the recording surface. A burnishing head slider including a burnishing head slider for removing an object by collision energy, and a head supporting arm for generating and supporting a load for pressing the slider against a magnetic recording medium; First from the upstream in the moving direction of the magnetic recording medium
A deformable portion, a first rigid portion, a second deformable portion, and a second rigid portion, and a burnishing head slider attached to the second rigid portion is moved from the upstream side in the moving direction of the magnetic recording medium. In a state where the magnetic recording medium is stopped and supported by the cantilever, the upstream end of the burnishing head slider in the moving direction of the magnetic recording medium in the sliding portion with the magnetic recording medium moves from the magnetic recording medium to the bar. An extension of a line connecting the first and second deformable portions, which is set in a plane parallel to the direction of the frictional force applied to the nish head slider and perpendicular to the recording surface of the magnetic recording medium, and the recording medium; Are provided on the downstream side in the moving direction of the recording medium from the intersection of.

【０００８】上記目的を達成する本発明の第３の手段
は、上記第２の手段において、前記第２剛体部は、枠体
と、バーニッシュ用ヘッドスライダ取り付け部と、この
バーニッシュ用ヘッドスライダ取り付け部を前記磁気記
録媒体移動方向と平行で前記枠体上に存在する回転軸回
りに回転可能に支持する支持部と、を有してなることを
特徴とする。A third means of the present invention for achieving the above object is the second means, wherein the second rigid portion comprises a frame, a burnishing head slider mounting portion, and a burnishing head slider. And a support section for supporting the mounting section so as to be rotatable around a rotation axis existing on the frame in parallel with the moving direction of the magnetic recording medium.

【０００９】上記目的を達成する本発明の第４の手段
は、磁気記録媒体を保持して回転させる手段と、前記磁
気記録媒体の記録面上に配置され、該記録面上の突起等
の障害物を衝突エネルギにより除去するバーニッシュ用
ヘッドスライダと、このバーニッシュ用ヘッドスライダ
を前記磁気記録媒体に押しつける荷重を発生して支持す
るヘッド支持アームと、を含んでなるバーニッシュ装置
において、ヘッド支持アームは、前記磁気記録媒体移動
方向上流側から順に第１変形可能部、第１剛体部と、第
２変形可能部、第２剛体部と、この第２剛体部の前記磁
気記録媒体と対向する側に前記磁気記録媒体と摺動する
摺動部とを備えてなり、前記摺動部を前記磁気記録媒体
移動方向上流側から片持ちに支持するとともに、前記摺
動部の記録媒体移動方向上流端は、記録媒体が停止した
状態で、前記磁気記録媒体から前記バーニッシュ用ヘッ
ドスライダに加わる摩擦力の方向に平行でかつ前記磁気
記録媒体の記録面に垂直な平面に設定される前記第１及
び第２変形可能部を結ぶ直線の延長線と前記磁気記録媒
体記録面との交点よりも記録媒体移動方向下流側に位置
することを特徴とする。A fourth means of the present invention for achieving the above object is a means for holding and rotating the magnetic recording medium, and a means arranged on the recording surface of the magnetic recording medium and having obstacles such as protrusions on the recording surface. A burnishing device comprising: a burnishing head slider for removing an object by collision energy; and a head support arm for generating and supporting a load for pressing the burnishing head slider against the magnetic recording medium. The arm sequentially faces the first deformable part, the first rigid part, the second deformable part, the second rigid part, and the second rigid part from the upstream side in the magnetic recording medium moving direction. And a sliding portion that slides on the magnetic recording medium, the cantilever is supported from the upstream side in the magnetic recording medium moving direction, and the recording medium moves on the sliding portion. The improved flow end is set to a plane parallel to a direction of a frictional force applied to the burnishing head slider from the magnetic recording medium and perpendicular to a recording surface of the magnetic recording medium when the recording medium is stopped. It is characterized by being located on the downstream side in the recording medium moving direction from the intersection of the extension line of the straight line connecting the first and second deformable portions and the recording surface of the magnetic recording medium.

【００１０】上記目的を達成する本発明の第５の手段
は、上記第４の手段において、前記第２剛体部は、枠体
と、前記摺動部を前記磁気記録媒体移動方向と平行で前
記枠体上に存在する回転軸回りに回転可能に支持する支
持部とを備えてなることを特徴とする。A fifth means of the present invention for achieving the above object is the above-mentioned fourth means, wherein the second rigid portion includes a frame and a sliding portion which are parallel to the moving direction of the magnetic recording medium. And a supporting portion that is rotatably supported on a rotation axis and is present on the frame.

【００１１】上記目的を達成する本発明の第６の手段
は、上記第２乃至第５の手段のいずれかにおいて、前記
第１変形可能部、第２変形可能部が薄板の曲げ加工によ
り形成されていることを特徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, which achieves the above-mentioned object, the first deformable portion and the second deformable portion are formed by bending a thin plate in any one of the second to fifth means. It is characterized by having.

【００１２】上記目的を達成する本発明の第７の手段
は、上記第２乃至第５の手段のいずれかにおいて、前記
第１変形可能部、第２変形可能部が薄板の切り欠き加工
により形成されていることを特徴とする。According to a seventh aspect of the present invention which achieves the above object, the first deformable portion and the second deformable portion are formed by cutting a thin plate in any one of the second to fifth means. It is characterized by having been done.

【００１３】上記目的を達成する本発明の第８の手段
は、上記第２乃至第７の手段のいずれかにおいて、前記
第１、第２変形可能部及び第１、第２剛体部が樹脂材料
あるいは、樹脂材料と金属材料の積層構造により形成さ
れていることを特徴とする。According to an eighth aspect of the present invention to achieve the above object, in any one of the second to seventh means, the first and second deformable portions and the first and second rigid portions are formed of a resin material. Alternatively, it is characterized by being formed by a laminated structure of a resin material and a metal material.

【００１４】上記目的を達成する本発明の第９の手段
は、上記第２乃至第８の手段のいずれかにおいて、前記
第２変形可能部の剛性を前記第１変形可能部の剛性より
低くしてあることを特徴とする。According to a ninth aspect of the present invention for achieving the above object, in any one of the second to eighth means, the rigidity of the second deformable portion is made lower than the rigidity of the first deformable portion. It is characterized by having.

【００１５】上記目的を達成する本発明の第１０の手段
は、上記第１乃至第９の手段のいずれかにおいて、前記
バーニッシュ用ヘッドスライダの摺動面に磁気記録媒体
との接触面積をスライダ全面積の３０％以下とするよう
な溝部を設けたことを特徴とする。According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a method as set forth in any one of the first to ninth aspects, wherein a contact area of the burnishing head slider with a magnetic recording medium is provided on a sliding surface of the burnishing head slider. It is characterized in that a groove portion is provided so as to be 30% or less of the entire area.

【００１６】以下、発明の作用について説明する。Hereinafter, the operation of the present invention will be described.

【００１７】上記の構成において、第１及び第２剛体部
及びそれらの剛体部を支持する支持部はほとんど変形せ
ず、第１及び第２変形可能部が変形を受け持つため、第
２変形可能部は第１変形可能部を中心とした円周上で、
かつバーニッシュ用ヘッドスライダ（以下、バーニッシ
ュヘッドという）の摺動点を中心とした円周上で移動可
能である。摺動点とは、ヘッド支持機構を記録媒体面に
平行で記録媒体移動方向を横切る方向から見たときの、
バーニッシュヘッドまたは摺動面の記録媒体移動方向上
流端と考えて差し支えない。In the above configuration, the first and second rigid portions and the supporting portion for supporting the rigid portions are hardly deformed, and the first and second deformable portions are responsible for the deformation. Is on the circumference around the first deformable part,
In addition, the burnishing head slider (hereinafter, referred to as a burnishing head) is movable on a circumference around a sliding point. The sliding point is when the head support mechanism is viewed from a direction parallel to the recording medium surface and crossing the recording medium moving direction,
The burnishing head or the sliding surface may be considered to be the upstream end in the recording medium moving direction.

【００１８】摺動面の記録媒体移動方向上流端が、記録
媒体が停止した状態で、前記第１及び第２変形可能部を
結ぶ線分の延長線と前記記録媒体表面との交点よりも記
録媒体移動方向下流側に設けられる時、第２変形可能部
の位置について次の関係が成り立つ。つまり記録媒体が
停止しているとき、第２変形可能部は前記二つの円周の
交点に位置し、摺動点が記録媒体から摩擦力を受けると
き、もう一つの交点にのみ移動が可能である。本発明で
は、この変位可能な位置は記録媒体が停止しているとき
の第２変形可能部の位置に対し記録媒体から離れる方向
にある。またバーニッシュヘッドのピッチング方向の回
転中心は、第１変形可能部と第２変形可能部を結んだ仮
想線の延長線と前記摺動点における摩擦力が働く摺動面
に対する垂線との交点となり、摺動面に対し記録媒体側
にある。In the state where the recording medium is stopped, the upstream end of the sliding surface in the recording medium moving direction is higher than the intersection of the extended line of the line connecting the first and second deformable portions with the surface of the recording medium. When provided on the downstream side in the medium movement direction, the following relationship holds for the position of the second deformable portion. That is, when the recording medium is stopped, the second deformable portion is located at the intersection of the two circles, and when the sliding point receives frictional force from the recording medium, it can move only at another intersection. is there. In the present invention, the displaceable position is in a direction away from the recording medium with respect to the position of the second deformable portion when the recording medium is stopped. The center of rotation of the burnishing head in the pitching direction is the intersection of an extension of an imaginary line connecting the first deformable portion and the second deformable portion with a perpendicular to the sliding surface on which the frictional force acts at the sliding point. , On the recording medium side with respect to the sliding surface.

【００１９】そこで、摩擦力が働くと、第１、第２変形
可能部が変形し、第２変形可能部は記録媒体から離れる
方向に変位するため、バーニッシュヘッドにかかる荷重
が低減するとともに、バーニッシュヘッドの記録媒体移
動方向上流側（以下、前方という）端部が持ち上がる方
向にバーニッシュヘッドも変位する。これによりバーニ
ッシュヘッドのつんのめりが回避でき、それに伴う不安
定振動も回避できるため、記録媒体上の突起以外の部分
に不必要な損傷を与えることなく、突起を除去する事が
可能となる。Therefore, when a frictional force acts, the first and second deformable portions are deformed, and the second deformable portion is displaced away from the recording medium, so that the load applied to the burnishing head is reduced, and The burnishing head is also displaced in a direction in which the end of the burnishing head on the upstream side (hereinafter referred to as the front) in the recording medium movement direction is lifted. As a result, it is possible to prevent the burnish head from squeezing, and to avoid the accompanying unstable vibration. Therefore, it is possible to remove the projection without unnecessary damage to portions other than the projection on the recording medium.

【００２０】また、摩擦力が働くと前記作用により、バ
ーニッシュヘッドを磁気記録媒体に押しつける方向に働
く荷重が減少するため、摩擦力が少なくなり、摩擦力変
動を緩和し、摩擦力を均一化する作用がある。In addition, when the frictional force acts, the load acting in the direction of pressing the burnishing head against the magnetic recording medium is reduced by the above-mentioned action, so that the frictional force is reduced, the frictional force fluctuation is reduced, and the frictional force is made uniform. Has the effect of doing.

【００２１】また、バーニッシュヘッド取り付け部を支
持する支持部は、記録媒体の記録面に所定の荷重でバー
ニッシュヘッドを当接させるとき、ローリング方向に弾
性的にねじり変形してバーニッシュヘッド摺動面を前記
記録媒体の記録面に対して平行にする。従って、取り付
け誤差、加工上の誤差等によって、バーニッシュヘッド
にローリング方向の傾きがあった場合でも、これらの誤
差を吸収、解消することができる。Further, when the burnishing head is brought into contact with the recording surface of the recording medium with a predetermined load, the supporting portion for supporting the burnishing head attaching portion is elastically twisted and deformed in the rolling direction to burnish the burnishing head. The moving surface is made parallel to the recording surface of the recording medium. Therefore, even when the burnishing head is inclined in the rolling direction due to an installation error, a processing error, or the like, these errors can be absorbed and eliminated.

【００２２】また、樹脂製材料または樹脂製材料と金属
材料の積層材料を用いた場合、樹脂製材料が高い減衰効
果を有するため、磁気ヘッドおよびヘッド支持機構の振
動を抑制することができる。上述したバーニッシュヘッ
ドがつんのめる事による不安定振動を低減した上で樹脂
製材料によるさらなる振動の減衰を図れば、より安定し
たバーニッシュヘッドの支持が可能になる。When a resin material or a laminated material of a resin material and a metal material is used, the vibration of the magnetic head and the head support mechanism can be suppressed because the resin material has a high damping effect. If the above-mentioned unstable vibration caused by pinching of the varnish head is reduced and further vibration is attenuated by the resin material, the varnish head can be supported more stably.

【００２３】また、バーニッシュヘッドの摺動面に、磁
気記録媒体との接触面積を摺動面の全面積の３０％以下
とするような溝部を設けることで、この溝部が除去され
た突起等の摩耗粉の退避場所となり、摩耗粉を摺動面に
咬み込むことなく安定したバーニッシュ加工を行うこと
が可能となる。Further, by providing a groove on the sliding surface of the burnishing head such that the contact area with the magnetic recording medium is 30% or less of the total area of the sliding surface, the protrusion or the like from which the groove is removed is provided. This makes it possible to perform a stable burnishing process without biting the wear powder into the sliding surface.

【００２４】[0024]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施例を図面を用い
て説明する。図８に本実施例のバーニッシュ装置の全体
構成を示す。図示の装置は、記録媒体４０を保持して回
転させるスピンドル１と、記録媒体４０をスピンドル１
に固定するクランプ機構２と、バーニッシュ用ヘッドス
ライダ（以下、バーニッシュヘッドという）２０を備え
るヘッド支持機構１０と、ヘッド支持機構１０をその根
元で片持ち支持するガイドアーム３０と、バーニッシュ
ヘッド２０をヘッド支持機構１０及びガイドアーム３０
を介して記録媒体４０の記録面上で動かして位置決めす
るバーニッシュヘッド位置決め部３と、バーニッシュヘ
ッド位置決め部３の動作を制御する位置決め制御部４
と、前記スピンドル１の動作を制御するスピンドル制御
部５と、位置決め制御部４とスピンドル制御部５を制御
するコントローラ６と、を含んで構成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 8 shows the overall configuration of the burnishing device of this embodiment. The illustrated apparatus includes a spindle 1 for holding and rotating the recording medium 40 and a spindle 1 for rotating the recording medium 40.
, A head support mechanism 10 having a burnishing head slider (hereinafter, referred to as a burnishing head) 20, a guide arm 30 for cantileverly supporting the head supporting mechanism 10 at its root, and a burnishing head. 20 to the head support mechanism 10 and the guide arm 30
And a positioning control unit 4 for controlling the operation of the burnish head positioning unit 3 by moving the burnish head positioning unit 3 on the recording surface of the recording medium 40 via the recording medium.
And a spindle controller 5 for controlling the operation of the spindle 1, a controller 6 for controlling the positioning controller 4 and the spindle controller 5.

【００２５】図１は、本発明の第１の実施例に関わるヘ
ッド支持機構の斜視図であり、薄板の折り曲げ加工によ
りヘッド支持アーム１０を構成した例を示す。この図で
ヘッド支持アーム１０、バーニッシュヘッド２０を有し
てなるヘッド支持機構はガイドアーム３０にに取り付け
られており、ガイドアーム３０は図示しないアクチュエ
ータ（図８のバーニッシュヘッド位置決め部３）に取り
付けられている。ヘッド支持アーム１０は一枚の薄板
（例えば０．１〜０．２mmのオーダーの厚みの金属板）
で構成されており、ガイドアーム３０への取付け部であ
るヘッド支持アーム取付け部１１、ヘッド支持アーム取
付け部１１に続く柔支持体である第１変形可能部１２、
剛支持体である第１剛体部１３、柔支持体である第２変
形可能部１４、剛支持体である第２剛体部１５がこの順
で形成されている。そして、ヘッド支持アーム取付け部
１１から第２剛体部１５に向かう方向が長手方向とな
り、その方向のヘッド支持アームの中心線を軸線とい
う。また、ヘッド支持アーム１０は、その板面が記録媒
体４０の記録面に垂直な面に対して垂直になるように、
かつ記録媒体４０の回転方向上流側がヘッド支持アーム
取付け部１１で下流側が第２剛体部１５となるように、
ガイドアーム３０へ取付けられ片持ち支持されている。FIG. 1 is a perspective view of a head supporting mechanism according to a first embodiment of the present invention, and shows an example in which a head supporting arm 10 is formed by bending a thin plate. In this figure, a head support mechanism having a head support arm 10 and a burnish head 20 is attached to a guide arm 30, and the guide arm 30 is connected to an actuator (not shown) (burnish head positioning unit 3 in FIG. 8). Installed. The head support arm 10 is a single thin plate (for example, a metal plate having a thickness on the order of 0.1 to 0.2 mm).
, A head support arm mounting portion 11 which is a mounting portion to the guide arm 30, a first deformable portion 12 which is a flexible support following the head support arm mounting portion 11,
A first rigid portion 13 as a rigid support, a second deformable portion 14 as a flexible support, and a second rigid portion 15 as a rigid support are formed in this order. The direction from the head support arm mounting portion 11 to the second rigid body portion 15 is the longitudinal direction, and the center line of the head support arm in that direction is referred to as the axis. Further, the head support arm 10 is set so that its plate surface is perpendicular to a surface perpendicular to the recording surface of the recording medium 40.
Also, the upstream side in the rotation direction of the recording medium 40 is the head support arm mounting portion 11 and the downstream side is the second rigid portion 15.
It is attached to the guide arm 30 and is cantilevered.

【００２６】図中、第１剛体部１３，第２剛体部１５は
幅方向の両端にフランジ加工１０１を施し、前記軸線を
通り記録媒体４０の記録面に垂直な面内での曲げに対す
る剛性をあげてある。第１変形可能部１２、第２変形可
能部１４は第１、第２剛体部に比べ前記軸線を通り記録
媒体４０の記録面に垂直な面内での曲げに対する剛性が
十分低くなっており、切り欠き穴加工等を施すことによ
り任意に剛体部１３、１５との剛性比を設定可能であ
る。In the figure, the first rigid portion 13 and the second rigid portion 15 are subjected to flange processing 101 at both ends in the width direction to increase rigidity against bending in a plane passing through the axis and perpendicular to the recording surface of the recording medium 40. I'm giving it. The first deformable portion 12 and the second deformable portion 14 have sufficiently low rigidity against bending in a plane passing through the axis and perpendicular to the recording surface of the recording medium 40 as compared with the first and second rigid portions. It is possible to arbitrarily set the rigidity ratio with the rigid portions 13 and 15 by performing notch hole processing or the like.

【００２７】ここで図２を用いて、本実施例のヘッド支
持アームの動作を説明する。図２（ａ）、（ｂ）はそれ
ぞれヘッド支持機構の側面図を示している。本実施例は
ヘッド支持アーム１０のガイドアーム３０への取り付け
面を記録媒体４０の記録面（以下、ディスク面という）
と平行とした場合の例で、バーニッシュヘッド２０の摺
動面２１がディスク面に平行になった状態で所定の設定
荷重を与える事ができるように、第１の変形可能部１２
はディスク面に平行で前記軸線に直交する線を曲げの軸
として折り曲げ加工されている。図２（ａ）はバーニッ
シュヘッド２０及びヘッド支持アーム１０を記録媒体で
あるディスク４０上に設定し、バーニッシュヘッド２０
に押しつけ荷重Ｗをかけた状態を示す。荷重Ｗがかけら
れた状態で、前記軸線を含みディスク面に垂直な平面内
で、第１変形可能部１２と第２変形可能部１４を結ぶ仮
想線の延長線２０１とディスク４０との交点Ｐがバーニ
ッシュヘッド２０の摺動部２０ａー２０ｂよりも摺動方
向（記録媒体移動方向）の上流側にある。前記仮想線を
設定するときの第１変形可能部１２と第２変形可能部１
４の位置は、それぞれの曲がり部分の中央部かつ厚みの
中央とする。なお、第１変形可能部１２、第２変形可能
部１４の曲げ剛性は、バーニッシュヘッド２０の摺動面
に記録媒体４０の回転に伴う摩擦力が加わったとき、こ
の摩擦力により弾性変形を起こすような値に設定してあ
る。The operation of the head support arm of the present embodiment will now be described with reference to FIG. 2A and 2B are side views of the head support mechanism. In this embodiment, the mounting surface of the head support arm 10 to the guide arm 30 is the recording surface of the recording medium 40 (hereinafter, referred to as a disk surface).
The first deformable portion 12 is provided so that a predetermined set load can be applied in a state where the sliding surface 21 of the burnishing head 20 is parallel to the disk surface.
Is bent using a line parallel to the disk surface and perpendicular to the axis as a bending axis. FIG. 2A shows a burnishing head 20 and a head supporting arm 10 set on a disk 40 as a recording medium.
5 shows a state in which a pressing load W is applied to the. In a state in which the load W is applied, an intersection P between an extension line 201 of an imaginary line connecting the first deformable portion 12 and the second deformable portion 14 and the disk 40 in a plane including the axis and perpendicular to the disk surface. Are located upstream of the sliding portions 20a-20b of the burnishing head 20 in the sliding direction (recording medium moving direction). The first deformable part 12 and the second deformable part 1 when setting the virtual line
The position 4 is the center of each bent portion and the center of the thickness. The bending stiffness of the first deformable portion 12 and the second deformable portion 14 is such that when a frictional force accompanying the rotation of the recording medium 40 is applied to the sliding surface of the burnishing head 20, the frictional force causes elastic deformation. It is set to a value that will cause it to occur.

【００２８】摺動部の軸線方向中央を摺動点（摺動部２
１に働く摩擦力の合力の作用点）とみなすと、スライダ
の回転中心Ｑは第１変形可能部１２と第２変形可能部１
４の曲げ中心を結ぶ線の延長線２０１と摺動点における
摺動面に対する垂線との交点になり、図に示すように摺
動面２１よりもディスク内部側にある。摺動点は摺動の
状態に応じて変動し、必ずしも摺動面２１の軸線方向中
央に一定しているわけではないが、摺動面２１の前方あ
るいは後方になることはない。したがって、前記交点Ｐ
が摺動面２１の流入端２０ａの前方にあれば、摺動点が
摺動面２１の中にあるかぎり、点Ｑは摺動面２１よりも
ディスク内部側にある。The sliding point is located at the center of the sliding portion in the axial direction (sliding portion 2).
1), the rotation center Q of the slider is defined by the first deformable portion 12 and the second deformable portion 1.
4 is the intersection of the extension line 201 of the line connecting the bending centers of 4 and the perpendicular to the sliding surface at the sliding point, and is on the disk inner side of the sliding surface 21 as shown in the figure. The sliding point fluctuates according to the state of sliding, and is not always constant at the center of the sliding surface 21 in the axial direction, but does not move forward or backward of the sliding surface 21. Therefore, the intersection P
Is located in front of the inflow end 20a of the sliding surface 21, the point Q is on the disk inner side of the sliding surface 21 as long as the sliding point is within the sliding surface 21.

【００２９】この状態で装置を起動して、ディスク４０
を矢印２０２の方向に動くように回転させる。ディスク
４０の回転でバーニッシュヘッド２０に摩擦力が働いた
場合、ヘッド支持アーム１０は全体が摺動方向に伸長し
ながら第２変形可能部１４がディスク面から離れる方向
に弾性変形し、ヘッド支持アーム１０全体としてもディ
スク面から離れる方向に変位して図２（ｂ）の実線の状
態になる。図２（ｂ）において、点線２０３で示した状
態は図２（ａ）の状態（記録媒体４０は静止し、バーニ
ッシュヘッド２０に押しつけ荷重Ｗが加わった状態）を
示している。バーニッシュヘッド２０に摩擦力が作用し
てヘッド支持アーム１０が変位すると、このときの押し
つけ荷重Ｗ’は初期設定された荷重Ｗよりも小さくな
る。バーニッシュヘッド２０の摺動面２１は回転中心Ｑ
のまわりに流入端（バーニッシュヘッド２０前方先端
部）２０ａが持ち上がる方向（ディスク面から離れる方
向）に変位する。In this state, the apparatus is started up and the disk 40
Is rotated to move in the direction of arrow 202. When a frictional force acts on the burnishing head 20 by the rotation of the disk 40, the head supporting arm 10 is elastically deformed in a direction away from the disk surface while the entirety of the head supporting arm 10 extends in the sliding direction, and the head supporting arm 10 is supported. The arm 10 as a whole is displaced in a direction away from the disk surface to be in a state shown by a solid line in FIG. In FIG. 2B, the state indicated by the dotted line 203 indicates the state of FIG. 2A (the state in which the recording medium 40 is stationary and the pressing load W is applied to the burnishing head 20). When the frictional force acts on the burnish head 20 and the head support arm 10 is displaced, the pressing load W ′ at this time becomes smaller than the initially set load W. The sliding surface 21 of the burnishing head 20 has a rotation center Q
Is displaced in the direction in which the inflow end (front end of the burnish head 20) 20a is lifted (in the direction away from the disk surface).

【００３０】この動作を計算により確認した例を図３に
示す。停止時の荷重Ｗを５ｇｆに設定し、摺動面２１に
任意の摩擦力Ｆが働いた際の流入端２０ａの変位角度θ
と荷重Ｗ’をそれぞれ（ａ）、（ｂ）に示している。変
位角度θは、ディスク面に垂直でかつ摩擦力Ｆの方向に
平行な面内で、ディスク面とバーニッシュヘッド２０の
ディスク面に対向する面（摺動面２１）がなす角であ
る。このとき、各図において、Ｆ＝０ｇｆはディスクの
回転速度ｖが０ｒｐｍの時を示している。図３（ａ），
（ｂ）から、摩擦力Ｆが働くと荷重Ｗ’が低減し、かつ
流入端が持ち上がる方向に変位することがわかる。実際
には記録媒体及びバーニッシュヘッド２０の弾性変形が
あるため摺動面２１の流入側が完全に離れるのではな
く、流入端２０ａから流出端２０ｂにかけて大きくなる
面圧分布が発生すると考えてもよい。この面圧分布は、
ヘッド支持アーム１０の第１剛体部１３、第２剛体部１
５の長さと第１変形可能部１２、第２変形可能部１４の
剛性を変えることにより任意に設計することが可能であ
る。FIG. 3 shows an example in which this operation is confirmed by calculation. The load W at the stop is set to 5 gf, and the displacement angle θ of the inflow end 20 a when an arbitrary frictional force F acts on the sliding surface 21.
And (a) and (b) show the load and W ', respectively. Is the angle between the disk surface and the surface (sliding surface 21) of the burnishing head 20 facing the disk surface in a plane perpendicular to the disk surface and parallel to the direction of the frictional force F. At this time, in each figure, F = 0gf indicates a case where the rotational speed v of the disk is 0 rpm. FIG. 3 (a),
(B) shows that when the frictional force F acts, the load W ′ is reduced, and the inflow end is displaced in the lifting direction. Actually, it may be considered that due to the elastic deformation of the recording medium and the burnish head 20, the inflow side of the sliding surface 21 does not completely separate, but a surface pressure distribution increases from the inflow end 20a to the outflow end 20b. . This surface pressure distribution is
First rigid body 13 and second rigid body 1 of head support arm 10
5 can be arbitrarily designed by changing the length and the rigidity of the first deformable portion 12 and the second deformable portion 14.

【００３１】上述の動作により、摺動時に大きな摩擦力
が入力されれば荷重の減少も大きく、その結果摩擦力が
下げられることになる。本実施例のバーニッシュヘッド
２０、ヘッド支持アーム１０を備えたバーニッシュヘッ
ド支持機構を用いれば大きな摩擦力に対しては大きく、
小さな摩擦力に対しては小さく摩擦力を減少させること
となり、その結果摩擦力の均一化が達成され、平滑ディ
スクにおいても安定したヘッドバーニッシュ加工が可能
となる。According to the above-described operation, if a large frictional force is input during sliding, the load is greatly reduced, and as a result, the frictional force is reduced. If the burnishing head supporting mechanism provided with the burnishing head 20 and the head supporting arm 10 of the present embodiment is used, a large frictional force is applied,
For a small frictional force, the frictional force is reduced to a small extent. As a result, the frictional force is made uniform, and a stable head burnishing can be performed even on a smooth disk.

【００３２】図４を用いて、本発明に属さない例の動作
の相違を説明する。これは第１の実施例と同様、薄板の
折り曲げ加工でヘッド支持アームを構成した例である。
図４に示した例でも、ヘッド支持アームが、一枚の薄い
金属板で構成されており、ガイドアーム３０への取付け
部であるヘッド支持アーム取付け部１１、ヘッド支持ア
ーム取付け部１１に続く第１変形可能部１２、第１剛体
部１３、第２変形可能部１４、第２剛体部１５がこの順
で形成されている。そして、図４（ｂ）において、点線
４０１はヘッド支持機構がディスク４０上に設定された
静止状態、実線はディスク４０の回転によってバーニッ
シュヘッド摺動面２１に摩擦力が働いた状態を示してい
る。With reference to FIG. 4, differences in operation of an example not belonging to the present invention will be described. This is an example in which the head support arm is formed by bending a thin plate as in the first embodiment.
Also in the example shown in FIG. 4, the head support arm is formed of a single thin metal plate, and the head support arm mounting portion 11 which is a mounting portion to the guide arm 30, and the head support arm mounting portion 11 following the head support arm mounting portion 11. The first deformable portion 12, the first rigid portion 13, the second deformable portion 14, and the second rigid portion 15 are formed in this order. 4B, a dotted line 401 indicates a stationary state in which the head support mechanism is set on the disk 40, and a solid line indicates a state in which a frictional force acts on the burnish head sliding surface 21 by the rotation of the disk 40. I have.

【００３３】図４（ａ）に示すように、第１変形可能部
１２と第２変形可能部１４を結ぶ仮想線の延長線２０１
とディスク面の交点Ｐは、バーニッシュヘッド摺動面２
１の流出端２０ｂよりも摺動方向の下流側にある。この
時、摺動部２１の中央を摺動点とみなすと、バーニッシ
ュヘッド２０の回転中心Ｑは第１変形可能部１２と第２
変形可能部１４の曲げ中心を結ぶ線の延長線２０１と摺
動点における摺動面に対する垂線との交点になり、図に
示すように摺動面２１よりもバーニッシュヘッド内部側
にある。したがって、摺動面２１に摩擦力が働くとバー
ニッシュヘッド２０はこのＱ点回りに回転して摺動部前
方がディスク４０に押しつけられる方向に変位し、前の
めりのつんのめった状態（ディスク回転方向上流側に向
かって倒れ込む状態）となる。また、この時、第２変形
可能部１４もディスクに押しつけられる方向に変位する
ため、バーニッシュヘッド２０をディスク面に押しつけ
る荷重も摩擦力が働いていない状態に比べて大きくな
る。このため、バーニッシュヘッド２０の動作が不安定
になる。As shown in FIG. 4A, an extension 201 of a virtual line connecting the first deformable portion 12 and the second deformable portion 14 is formed.
Point P of the burnishing head sliding surface 2
1 is located downstream of the outflow end 20b in the sliding direction. At this time, assuming that the center of the sliding portion 21 is a sliding point, the rotation center Q of the burnishing head 20 is equal to the first deformable portion 12 and the second
The intersection of the extension line 201 of the line connecting the bending center of the deformable portion 14 and the perpendicular to the sliding surface at the sliding point is located on the inner side of the burnishing head relative to the sliding surface 21 as shown in the figure. Accordingly, when a frictional force acts on the sliding surface 21, the burnishing head 20 rotates around this point Q and is displaced in a direction in which the front of the sliding portion is pressed against the disk 40, and the front turning is in a smooth state (upstream in the disk rotation direction). Side). Also, at this time, the second deformable portion 14 is also displaced in a direction in which the burnish head 20 is pressed against the disk, so that the load for pressing the burnishing head 20 against the disk surface is larger than in the state where no frictional force is applied. Therefore, the operation of the burnishing head 20 becomes unstable.

【００３４】すなわち、ヘッド支持機構を構成する各部
分は前記第１の実施例と同じであるが、第１変形可能部
１２と第２変形可能部１４を結ぶ仮想線の延長線２０１
とディスク面の交点Ｐが、第１の実施例ではバーニッシ
ュヘッド摺動面２１の流入端２０ａよりも摺動方向の上
流側にあるのに対し、図４の例ではバーニッシュヘッド
摺動面２１の流出端２０ｂよりも摺動方向の下流側にあ
る。この違いがバーニッシュヘッド２０の動作が不安定
になる原因である。That is, each part constituting the head support mechanism is the same as that of the first embodiment, but an extension 201 of an imaginary line connecting the first deformable portion 12 and the second deformable portion 14.
In the first embodiment, the intersection P between the varnish head sliding surface 21 and the disk surface is located upstream of the inflow end 20a in the sliding direction, whereas in the example of FIG. 21 is located downstream of the outflow end 20b in the sliding direction. This difference causes the operation of the burnishing head 20 to become unstable.

【００３５】いうまでもなく、バーニッシュヘッドがつ
んのめらない（流入端側に傾かない）限界の状態は、上
記の仮想線の延長線２０１とディスク面との交点Ｐが摺
動面上の摺動点に重なる場合である。これはすなわちバ
ーニッシュヘッド２０の回転中心Ｑが摺動面２１上にあ
る場合である。この状態では、摩擦力が作用してもバー
ニッシュヘッド２０はつんのめることがないだけでな
く、流入端が上がることもない。このような状態も本発
明の範囲であり、安定に摺動してディスクの平滑化を行
うことができる。ただし、この状態は非常に狭い範囲の
条件で成立するものであり、摺動点の変動や各種の誤差
に対するマージンは小さい。Needless to say, the limit state in which the burnishing head cannot be slackened (does not tilt to the inflow end side) is that the intersection point P between the extension line 201 of the imaginary line and the disk surface is on the sliding surface. This is the case where it overlaps with the sliding point. This is the case when the rotation center Q of the burnishing head 20 is on the sliding surface 21. In this state, even if the frictional force acts, the burnishing head 20 does not not only loosen, but also does not raise the inflow end. Such a state is also within the scope of the present invention, and the disk can be smoothly slid and smoothed. However, this state is established under a very narrow range of conditions, and the margin for the fluctuation of the sliding point and various errors is small.

【００３６】図５に本発明の第２の実施例のヘッド支持
アーム５０を示す。本実施例はヘッド支持アーム以外の
構成は前記第１の実施例とおなじであり、同じ構成の部
分については説明を省略する。本実施例は、ヘッド支持
アームに樹脂製材料と金属材料の積層構造を用いた例で
ある。図５（ａ）はヘッド支持アームの斜視図、図５
（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図、図５（ｃ）
は図５（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図、図５（ｄ）は図５
（ａ）のヘッド支持アームをディスク上に設定した状態
（荷重設定の状態）での側面図、図５（ｅ）は、実線が
バーニッシュヘッド２０の摺動面２１が摩擦力を受けた
状態（摺動時の状態）を、点線が摩擦力を受けていない
状態（静止状態）を、それぞれ示す側面図である。FIG. 5 shows a head support arm 50 according to a second embodiment of the present invention. This embodiment is the same as the first embodiment except for the configuration of the head support arm, and the description of the same components will be omitted. This embodiment is an example in which a laminated structure of a resin material and a metal material is used for the head support arm. FIG. 5A is a perspective view of the head support arm, and FIG.
5B is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 5A, and FIG.
5A is a sectional view taken along line CC of FIG. 5A, and FIG.
FIG. 5A is a side view in a state in which the head support arm is set on the disk (a state in which the load is set), and FIG. 5E shows a solid line in which the sliding surface 21 of the burnish head 20 receives a frictional force. FIG. 4 is a side view showing a state (when sliding) and a state where the dotted line is not receiving a frictional force (stationary state).

【００３７】ヘッド支持アーム５０の基板の材料は、厚
さ１００μｍのポリイミドフィルム５０２を厚さ２５μ
ｍのステンレス薄板５０２で挟んでサンドイッチ状に構
成したものである。形状加工には、エッチングおよびレ
ーザー加工等を用いた。ヘッド支持アーム全体の形状は
図５（ａ）に示すように、根元（ガイドアームへ取付け
られるヘッド支持アーム取付け部５１）の矩形部分から
先端（バーニッシュヘッド２０を取り付ける部分、第２
剛体部５５）にかけて次第に先細りになっていて、根元
のヘッド支持アーム取付け部５１から先端に向かって順
に第１変形可能部５２、第１剛体部５３、第２変形可能
部５４、第２剛体部５５が形成されている。第２剛体部
５５の記録媒体４０に対向する面にバーニッシュヘッド
２０が取り付けられている。The material of the substrate of the head supporting arm 50 is a polyimide film 502 having a thickness of 100 μm and a thickness of 25 μm.
m, sandwiched between thin stainless steel plates 502. Etching and laser processing were used for the shape processing. As shown in FIG. 5A, the overall shape of the head support arm is changed from the rectangular portion at the base (the head support arm attachment portion 51 attached to the guide arm) to the tip (the portion to which the burnish head 20 is attached, the second portion).
The first deformable portion 52, the first rigid portion 53, the second deformable portion 54, and the second rigid portion are gradually tapered from the head support arm mounting portion 51 at the base toward the distal end. 55 are formed. The burnishing head 20 is attached to a surface of the second rigid portion 55 facing the recording medium 40.

【００３８】第１変形可能部５２、材料の板のバーニッ
シュヘッド２０が取り付けられる側の反対側のステンレ
ス薄板を残してバーニッシュヘッド２０取付け面側から
幅方向に溝状に切り欠き加工しさらに切り抜き加工を施
し曲げに対する剛性を下げている。第２変形可能部５４
は第１変形可能部５２と逆に、材料の板のバーニッシュ
ヘッド２０が取り付けられる側のステンレス薄板を残し
て反対側の面から幅方向に溝状に切り欠き加工し、さら
に残したステンレス薄板の幅方向中央部分を切り抜いて
曲げに対する剛性を下げている。本実施例では、第１変
形可能部５２の回転剛性は２４０gf/rad、第２変形可能
部の回転剛性は１４０gf/radとなっている。第１剛体部
５３、第２剛体部５５の厚みは基板の材料のままで、第
１変形可能部５２、第２変形可能部５４に比べて充分剛
性が高く剛体として考えてよい。図示の寸法は、ヘッド
支持アーム５０の大きさの概念を示すための１例であ
る。The first deformable portion 52 is cut out in a groove shape in the width direction from the mounting surface side of the burnishing head 20 except for a thin stainless steel plate on the side opposite to the side on which the burnishing head 20 of the material plate is mounted. The rigidity against bending is reduced by cutting out. Second deformable part 54
On the contrary to the first deformable portion 52, a stainless steel plate on the side to which the burnishing head 20 of the material plate is attached is cut out in a groove shape in the width direction from the opposite surface, and the remaining stainless steel plate is further removed. The center part in the width direction is cut out to reduce bending rigidity. In this embodiment, the rotational rigidity of the first deformable portion 52 is 240 gf / rad, and the rotational rigidity of the second deformable portion is 140 gf / rad. The thickness of the first rigid portion 53 and the second rigid portion 55 may be considered as a rigid body having sufficiently high rigidity as compared with the first deformable portion 52 and the second deformable portion 54 while keeping the thickness of the material of the substrate. The dimensions shown are an example for illustrating the concept of the size of the head support arm 50.

【００３９】また、本実施例はヘッド支持アーム５０の
ガイドアーム３０への取り付け面をディスク面に対して
傾斜させてある例で、第１変形可能部５２は折り曲げ加
工を施さず、荷重を設定した状態（図５（ｄ））でバー
ニッシュヘッド摺動面２１がディスク面と平行になる。
この状態で、第１変形可能部５２と第２変形可能部５４
を結ぶ線分の延長線５０１とディスク面との交点は、摺
動面２１の流入端２０ａより摺動方向（記録媒体移動方
向）の上流側にしてある。そして、摺動面２１の中央を
摺動点とすると、この摺動点でディスク面に直角にたて
た線と前記延長線５０１の交点Ｑ、すなわちバーニッシ
ュヘッド２０の摺動面２１に摩擦力が加わったときのバ
ーニッシュヘッド２０の回転中心はディスク面よりも記
録媒体側になっている。This embodiment is an example in which the mounting surface of the head support arm 50 to the guide arm 30 is inclined with respect to the disk surface. The first deformable portion 52 is not bent and the load is set. In this state (FIG. 5D), the burnishing head sliding surface 21 becomes parallel to the disk surface.
In this state, the first deformable portion 52 and the second deformable portion 54
The intersection of the extended line 501 connecting the line and the disk surface is on the upstream side in the sliding direction (recording medium moving direction) from the inflow end 20a of the sliding surface 21. Assuming that the center of the sliding surface 21 is a sliding point, the sliding point 21 has an intersection Q between the line perpendicular to the disk surface and the extended line 501, that is, the sliding surface 21 of the burnishing head 20 has friction. The rotation center of the burnishing head 20 when a force is applied is closer to the recording medium than the disk surface.

【００４０】したがって、図５（ｄ）、図５（ｅ）に示
すように、第１の実施例と同様、記録媒体４０が矢印２
０２の方向に回転して摺動面２１に図上左方向に向かう
摩擦力が働くと、バーニッシュヘッド２０をディスク面
に押しつける方向に働く荷重が低減し、摺動部流入側の
面圧が下がる方向にヘッド支持アーム５０が変形し、バ
ーニッシュヘッド２０が変位する。本実施例では、フラ
ンジ加工などの折り曲げ加工をする必要が無く、折り曲
げ加工による加工誤差の発生を防止できる。Therefore, as shown in FIGS. 5D and 5E, the recording medium 40 is indicated by the arrow 2 as in the first embodiment.
02, the frictional force acting on the sliding surface 21 in the leftward direction in the figure acts on the sliding surface 21, the load acting in the direction of pressing the burnishing head 20 against the disk surface is reduced, and the surface pressure on the inflow side of the sliding portion is reduced. The head support arm 50 is deformed in the downward direction, and the burnishing head 20 is displaced. In the present embodiment, there is no need to perform bending such as flange processing, and it is possible to prevent the occurrence of processing errors due to bending.

【００４１】図６に本発明の第３の実施例のヘッド支持
アームを示す。ヘッド支持アーム以外の構成は前記第１
の実施例と同じであり、説明を省略する。図６（ａ）は
図１と同様にフランジによって板状部材の剛性を高める
ことによって剛体部と変形可能部を設ける場合に相当す
る例であり、図６（ｂ）は切り欠き部によって変形可能
部を設ける場合に相当する例である。FIG. 6 shows a head support arm according to a third embodiment of the present invention. The configuration other than the head support arm is the first
This is the same as the embodiment, and the description is omitted. FIG. 6A is an example corresponding to a case where a rigid body and a deformable portion are provided by increasing the rigidity of a plate-like member by a flange as in FIG. 1, and FIG. 6B is deformable by a cutout portion. This is an example corresponding to the case where a unit is provided.

【００４２】図６（ａ）に示す実施例では、第２剛体部
１５を、第２変形可能部１４に連結される平面的な枠体
１５ｂと、枠体１５ｂの枠内に枠体１５ｂと同一平面に
配置された板状のバーニッシュヘッド取り付け部１９
と、バーニッシュヘッド取り付け部１９を枠体１５ｂに
対し、記録媒体移動方向と平行で枠体１５ｂ上に存在す
る回転軸回りに回転可能に支持する支持部１８と、を含
んで構成してある。本実施例では支持部１８はヘッド支
持アームの軸線上に位置していて、前記回転軸は前記軸
線に一致している。ヘッド支持機構が組み立てられ、ガ
イドアームに組み込まれた段階で、加工誤差、組立誤差
等により、バーニッシュヘッド２０の摺動面２１がディ
スク面に対し傾いて設定される場合がある。バーニッシ
ュヘッド２０のピッチング方向の傾き誤差に対しては、
第一及び第二の変形可能部の変形により吸収できる。本
実施例はバーニッシュヘッド２０のローリング方向の傾
き誤差を補正することを考慮したものである。枠体１５
ｂ、バーニッシュヘッド取り付け部１９及び支持部１８
は、ヘッド支持アーム加工の際、板材からの切り抜き加
工で形成され、図６（ａ）の場合はさらに枠体１５ｂの
幅方向端部にフランジ曲げ加工が施されている（切り抜
き加工とフランジ曲げ加工の順序は逆でも同時でもよ
い）。In the embodiment shown in FIG. 6 (a), the second rigid body 15 is provided with a planar frame 15b connected to the second deformable portion 14, and a frame 15b inside the frame 15b. Plate-like burnishing head mounting portion 19 arranged on the same plane
And a support portion 18 for supporting the burnishing head mounting portion 19 with respect to the frame 15b so as to be rotatable about a rotation axis existing on the frame 15b in a direction parallel to the recording medium moving direction. . In this embodiment, the support portion 18 is located on the axis of the head support arm, and the rotation axis coincides with the axis. When the head support mechanism is assembled and assembled into the guide arm, the sliding surface 21 of the burnishing head 20 may be set to be inclined with respect to the disk surface due to processing errors, assembly errors, and the like. For the inclination error of the burnishing head 20 in the pitching direction,
It can be absorbed by deformation of the first and second deformable portions. In this embodiment, correction of a tilt error of the burnishing head 20 in the rolling direction is considered. Frame 15
b, Burnish head attachment part 19 and support part 18
6A is formed by cutting out a plate material at the time of processing the head support arm, and in the case of FIG. The order of processing may be reversed or simultaneous).

【００４３】図６（ａ）において、第２変形可能部１４
に枠体１５ｂが連結されている。バーニッシュヘッド取
り付け部１９は軸線上の２か所（バーニッシュヘッド取
り付け部１９の摺動方向（記録媒体移動方向）の上流側
と下流側）の幅の狭い支持部１８で枠体１５ｂと連結さ
れており、この支持部１８のねじり変形によりバーニッ
シュヘッド取り付け部１９はローリング方向に回転可能
である。したがって、バーニッシュヘッド２０が傾いて
設定された場合、接触している部分でディスク面から離
れる方向の回転モーメントがバーニッシュヘッド２０に
作用し、バーニッシュヘッド２０はバーニッシュヘッド
取り付け部１９とともに、接触している側が押し上げら
れ接触していない側が押し下げられる方向に回転し、バ
ーニッシュヘッド摺動面２１はディスク面に平行に設定
される。In FIG. 6A, the second deformable portion 14
Is connected to the frame 15b. The burnishing head attaching portion 19 is connected to the frame 15b by a narrow supporting portion 18 at two locations on the axis (upstream and downstream in the sliding direction (recording medium moving direction) of the burnishing head attaching portion 19). The torsion deformation of the support portion 18 allows the burnishing head mounting portion 19 to rotate in the rolling direction. Therefore, when the burnishing head 20 is set to be inclined, a rotational moment in a direction away from the disk surface at the contacting portion acts on the burnishing head 20, and the burnishing head 20 together with the burnishing head mounting portion 19, The contacting side rotates in a direction in which the contacting side is pushed up and the non-contacting side is pushed down, and the burnishing head sliding surface 21 is set parallel to the disk surface.

【００４４】図６（ｂ）は、図６（ａ）に示した構成を
切り欠き部によって変形可能部を設けたヘッド支持アー
ムに適用した例を示し、第２剛体部５５を、第２変形可
能部５４に連結される平面的な枠体５５ｂと、枠体５５
ｂの枠内に枠体５５ｂと同一平面に配置された板状のバ
ーニッシュヘッド取り付け部５９と、バーニッシュヘッ
ド取り付け部５９を枠体５５ｂに対し、記録媒体移動方
向と平行で枠体５５ｂ上に存在する回転軸回りに回転可
能に支持する支持部５８と、を含んで構成してある。バ
ーニッシュヘッド取り付け部５９は軸線上の２か所（バ
ーニッシュヘッド取り付け部５９の摺動方向（記録媒体
移動方向）の上流側と下流側）の幅の狭い支持部５８で
枠体５５ｂと連結されており、この支持部５８のねじり
変形によりバーニッシュヘッド取り付け部５９はローリ
ング方向に回転可能であって、前記図６（ａ）に示した
例と同様の効果が得られる。FIG. 6B shows an example in which the structure shown in FIG. 6A is applied to a head support arm provided with a deformable portion by a cutout portion. A planar frame 55b connected to the possible portion 54;
b) a plate-like burnishing head mounting portion 59 disposed on the same plane as the frame 55b in the frame b, and the burnishing head mounting portion 59 is positioned on the frame 55b in parallel to the recording medium moving direction with respect to the frame 55b. And a support portion 58 that is rotatably supported around a rotation axis. The burnishing head mounting portion 59 is connected to the frame 55b by a narrow supporting portion 58 at two locations on the axis (upstream and downstream in the sliding direction (recording medium moving direction) of the burnishing head mounting portion 59). The torsion deformation of the support portion 58 allows the burnishing head mounting portion 59 to rotate in the rolling direction, and the same effect as the example shown in FIG. 6A is obtained.

【００４５】図７に本発明の第４の実施例のヘッド支持
機構を示す。ヘッド支持アーム１０は、第１の実施例と
同じもので、薄板の折り曲げ加工で構成されている。本
実施例が前記第１の実施例と異なるのは、バーニッシュ
ヘッド２０の摺動面２１の状態のみであり、他の構成は
前記第１の実施例と同じである。図７（ｂ）、図７
（ｃ）に本実施例のバーニッシュヘッド２０の摺動面２
１の詳細を示す。摺動面２１は、磁気記録媒体面（ディ
スク面）と接触する接触部２１ａと、磁気記録媒体面と
接触しない溝部２１ｂで構成されている。つまり、摺動
面２１には互いに交差する複数の溝が形成され、溝でな
い部分のみが磁気記録媒体面（ディスク面）と接触する
接触部２１ａとなっている。図７（ｂ）は溝が摺動方向
に対して斜めに交叉している例であり、図７（ｃ）は、
一方の溝が摺動方向に平行で他方の溝が摺動方向に直交
している例である。摺動面２１の全面積に対し接触部２
１ａの面積は３０％以下になっている。バーニッシュ加
工の際、突起除去に伴い発生する摩耗粉等はこの溝部２
１ｂに退避させられ摺動部で咬み込む等の障害を防止で
きる。FIG. 7 shows a head supporting mechanism according to a fourth embodiment of the present invention. The head support arm 10 is the same as that of the first embodiment, and is formed by bending a thin plate. This embodiment is different from the first embodiment only in the state of the sliding surface 21 of the burnishing head 20, and the other configuration is the same as the first embodiment. 7 (b) and 7
(C) shows the sliding surface 2 of the burnishing head 20 of this embodiment.
1 is shown below. The sliding surface 21 includes a contact portion 21a that contacts the magnetic recording medium surface (disk surface) and a groove portion 21b that does not contact the magnetic recording medium surface. That is, a plurality of grooves intersecting with each other are formed on the sliding surface 21, and only the non-groove portions are contact portions 21a that contact the magnetic recording medium surface (disk surface). FIG. 7B shows an example in which the grooves cross obliquely with respect to the sliding direction, and FIG.
In this example, one groove is parallel to the sliding direction and the other groove is orthogonal to the sliding direction. The contact portion 2 covers the entire area of the sliding surface 21.
The area of 1a is 30% or less. During the burnishing process, abrasion powder and the like generated due to the removal of the protrusions are removed from the grooves 2.
1b, it is possible to prevent obstacles such as being bitten by the sliding portion.

【００４６】上記各実施例によれば、バーニッシュヘッ
ドスライダによるディスク面突起除去加工の際、バーニ
ッシュヘッドがディスクとの接触による摩擦力を受けた
とき、バーニッシュヘッドはディスクに対する局所的な
押しつけ荷重の増加を招くことなくその前方をディスク
面から離れる方向に変位させる。従って、つんのめりに
よる不安定振動及び局所的な接触力の増大を防止または
低減することができ、余分な損傷を与えることなく磁気
ディスク等の記録媒体の記録面の不要な突起除去が可能
となった。また、平滑ディスクに対するヘッドバーニッ
シュ加工が可能となるため、より平滑な磁気記録媒体を
提供可能となり、高記録密度な磁気記録装置を提供でき
る。According to each of the above embodiments, when the burnishing head receives a frictional force due to contact with the disk during the process of removing the protrusions on the disk by the burnishing head slider, the burnishing head is locally pressed against the disk. The front is displaced away from the disk surface without increasing the load. Therefore, it is possible to prevent or reduce unstable vibration and local contact force increase due to pinching, and it is possible to remove unnecessary protrusions on the recording surface of a recording medium such as a magnetic disk without giving extra damage. . In addition, since head burnishing can be performed on a smooth disk, a smoother magnetic recording medium can be provided, and a magnetic recording device with a high recording density can be provided.

【００４７】[0047]

【発明の効果】本発明によれば、バーニッシュヘッドス
ライダによるディスク面突起除去加工の際、バーニッシ
ュヘッドがディスクとの接触による摩擦力を受けたと
き、バーニッシュヘッドはディスクに対する局所的な押
しつけ荷重の増加を招くことなくその前方をディスク面
から離れる方向に変位させることができる。従って、つ
んのめりによる不安定振動及び局所的な接触力の増大を
防止または低減することができ、余分な損傷を与えるこ
となく磁気ディスク等の記録媒体の記録面の不要な突起
除去が可能となった。According to the present invention, when a burnishing head slider is subjected to frictional force due to contact with a disk during removal processing of a disk surface projection by a burnishing head slider, the burnishing head is locally pressed against the disk. The front portion can be displaced away from the disk surface without increasing the load. Therefore, it is possible to prevent or reduce unstable vibration and local contact force increase due to pinching, and it is possible to remove unnecessary protrusions on the recording surface of a recording medium such as a magnetic disk without giving extra damage. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１の実施例のヘッド支持機構の斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view of a head support mechanism according to a first embodiment of the present invention.

【図２】図１に示す実施例の動作を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing the operation of the embodiment shown in FIG.

【図３】図１に示す実施例の作用を説明するグラフであ
る。FIG. 3 is a graph illustrating the operation of the embodiment shown in FIG. 1;

【図４】本発明とは異なるヘッド支持アームの動作を表
す側面図である。FIG. 4 is a side view illustrating an operation of a head support arm different from the present invention.

【図５】本発明の第２の実施例のヘッド支持機構の斜視
図及び側面図である。FIG. 5 is a perspective view and a side view of a head support mechanism according to a second embodiment of the present invention.

【図６】本発明の第３の実施例のヘッド支持機構の斜視
図である。FIG. 6 is a perspective view of a head support mechanism according to a third embodiment of the present invention.

【図７】本発明の第４の実施例のヘッド支持機構の斜視
図及びバーニッシュヘッド底面の平面図である。FIG. 7 is a perspective view of a head support mechanism according to a fourth embodiment of the present invention and a plan view of a burnish head bottom surface.

【図８】本発明の実施例に係るバーニッシュ装置の全体
構成を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing the entire configuration of a burnishing device according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ ヘッド支持アーム １１ ヘッド支
持アーム取り付け部 １２ 第１変形可能部 １３ 第１剛体
部 １４ 第２変形可能部 １５ 第２剛体
部 １５ｂ 枠体 １８ 支持部 １９ ヘッド取り付け部 ２０ バーニッ
シュヘッド ２０ａ 摺動部流入端 ２０ｂ 摺動部
流出端 ２１ バーニッシュヘッド摺動面 ３０ ガイドア
ーム ４０ 磁気ディスク（記録媒体） ５０ ヘッド支
持アーム ５１ ヘッド支持アーム取り付け部 ５２ 第１変形
可能部 ５３ 第１剛体部 ５４ 第２変形
可能部 ５５ 第２剛体部 ５５ｂ 枠体 ５８ 支持部 ５９ ヘッド取
り付け部 １０１ フランジ ２０１ 延長線 ２０２ ディスク回転方向 ２０３ 摺動前
ヘッド支持アーム状態 ４０１ 摺動前ヘッド支持アーム状態 ５０１ 延長線 ５０３ 摺動前ヘッド支持アーム状態DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Head support arm 11 Head support arm attaching part 12 1st deformable part 13 1st rigid part 14 2nd deformable part 15 2nd rigid part 15b Frame 18 Supporting part 19 Head attaching part 20 Burnish head 20a Sliding part Inflow end 20b Sliding portion outflow end 21 Burnish head sliding surface 30 Guide arm 40 Magnetic disk (recording medium) 50 Head support arm 51 Head support arm attachment portion 52 First deformable portion 53 First rigid body portion 54 Second deformation Possible section 55 Second rigid body section 55b Frame 58 Support section 59 Head mounting section 101 Flange 201 Extension line 202 Disk rotation direction 203 Head support arm state before sliding 401 Head support arm state before sliding 501 Extension line 503 Head before sliding Support arm state

フロントページの続き (72)発明者 有坂 寿洋 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 吉田 忍 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内Continuing from the front page (72) Inventor Toshihiro Arisaka 502, Kandate-cho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Pref. Machinery Research Laboratories, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Shinobu Yoshida 502-Kindachi-cho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Pref.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 磁気記録媒体を保持して回転させる手段
と、前記磁気記録媒体の記録面上に配置され、該記録面
と摺動しつつ記録面上の突起等の障害物を衝突エネルギ
により除去するバーニッシュ用ヘッドスライダと、を含
んでなるバーニッシュ装置において、前記バーニッシュ
用ヘッドスライダを記録媒体移動方向上流側から、両端
にそれぞれ柔支持体を有する剛支持体を介して片持ちで
支持し、前記バーニッシュ用ヘッドスライダの前記磁気
記録媒体の記録面との摺動部の磁気記録媒体移動方向上
流端を、前記磁気記録媒体が停止した状態で、前記磁気
記録媒体から前記バーニッシュ用ヘッドスライダに加わ
る摩擦力の方向に平行でかつ前記磁気記録媒体の記録面
に垂直な平面に設定される前記２つの柔支持体それぞれ
の中央部を結ぶ線分の延長線と前記磁気記録媒体記録面
との交点よりも前記磁気記録媒体移動方向下流側に設け
たことを特徴とするバーニッシュ装置。1. A means for holding and rotating a magnetic recording medium, disposed on a recording surface of the magnetic recording medium, and slidably moving an obstacle such as a projection on the recording surface by collision energy with the recording surface. A burnishing head slider to be removed, wherein the burnishing head slider is cantilevered from the upstream side in the recording medium moving direction via a rigid support having flexible supports at both ends. When the magnetic recording medium is stopped, the burnishing head slider slides the upstream end of the sliding portion of the burnishing head slider with the recording surface of the magnetic recording medium in the magnetic recording medium moving direction. Line connecting the central portions of the two flexible supports which are set in a plane parallel to the direction of the frictional force applied to the head slider and perpendicular to the recording surface of the magnetic recording medium. A burnishing device provided on the downstream side in the direction of movement of the magnetic recording medium from the intersection of the extension line of the magnetic recording medium and the recording surface of the magnetic recording medium. 【請求項２】 磁気記録媒体を保持して回転させる手段
と、前記磁気記録媒体の記録面上に配置され、該記録面
上の突起等の障害物を衝突エネルギにより除去するバー
ニッシュ用ヘッドスライダと、このスライダを磁気記録
媒体に押しつける荷重を発生して支持するヘッド支持ア
ームと、を含んでなるバーニッシュ装置において、この
ヘッド支持アームは、前記磁気記録媒体移動方向上流か
ら順に第１変形可能部、第１剛体部と、第２変形可能
部、第２剛体部を有してなり、この第２剛体部に取り付
けられたバーニッシュ用ヘッドスライダを前記磁気記録
媒体移動方向上流側から片持ちで支持し、前記磁気記録
媒体が停止した状態で、前記バーニッシュ用ヘッドスラ
イダの前記磁気記録媒体との摺動部の前記磁気記録媒体
移動方向上流端は、前記磁気記録媒体から前記バーニッ
シュ用ヘッドスライダに加わる摩擦力の方向に平行でか
つ前記磁気記録媒体の記録面に垂直な平面に設定される
前記第１び第２変形可能部を結ぶ線分の延長線と前記記
録媒体との交点から記録媒体移動方向下流側に設けたこ
とを特徴とするバーニッシュ装置。2. A means for holding and rotating a magnetic recording medium, and a burnishing head slider disposed on a recording surface of the magnetic recording medium and removing an obstacle such as a protrusion on the recording surface by collision energy. And a head supporting arm for generating and supporting a load pressing the slider against the magnetic recording medium, wherein the head supporting arm is first deformable in order from the upstream in the moving direction of the magnetic recording medium. Part, a first rigid part, a second deformable part, and a second rigid part, and the burnishing head slider attached to the second rigid part is cantilevered from the upstream side in the moving direction of the magnetic recording medium. In the state where the magnetic recording medium is stopped, the upstream end of the sliding portion of the burnishing head slider with the magnetic recording medium in the moving direction of the magnetic recording medium is located at the front. A line segment connecting the first and second deformable portions set in a plane parallel to the direction of the frictional force applied to the burnishing head slider from the magnetic recording medium and perpendicular to the recording surface of the magnetic recording medium. A burnishing device provided on a downstream side in a recording medium moving direction from an intersection of an extension line and the recording medium. 【請求項３】 請求項２に記載のバーニッシュ装置にお
いて、前記第２剛体部は、枠体と、バーニッシュ用ヘッ
ドスライダ取り付け部と、このバーニッシュ用ヘッドス
ライダ取り付け部を前記磁気記録媒体移動方向と平行で
前記枠体上に存在する回転軸回りに回転可能に支持する
支持部と、を有してなることを特徴とするバーニッシュ
装置。3. The burnishing device according to claim 2, wherein the second rigid portion includes a frame, a burnishing head slider mounting portion, and the burnishing head slider mounting portion moving the magnetic recording medium. A burner device, comprising: a support portion rotatably supporting a rotation axis existing on the frame body in a direction parallel to the direction. 【請求項４】 磁気記録媒体を保持して回転させる手段
と、前記磁気記録媒体の記録面上に配置され、該記録面
上の突起等の障害物を衝突エネルギにより除去するバー
ニッシュ用ヘッドスライダと、このバーニッシュ用ヘッ
ドスライダを前記磁気記録媒体に押しつける荷重を発生
して支持するヘッド支持アームと、を含んでなるバーニ
ッシュ装置において、ヘッド支持アームは、前記磁気記
録媒体移動方向上流側から順に第１変形可能部、第１剛
体部と、第２変形可能部、第２剛体部と、この第２剛体
部の前記磁気記録媒体と対向する側に前記磁気記録媒体
と摺動する摺動部とを備えてなり、前記摺動部を前記磁
気記録媒体移動方向上流側から片持ちに支持するととも
に、前記摺動部の記録媒体移動方向上流端は、記録媒体
が停止した状態で、前記磁気記録媒体から前記バーニッ
シュ用ヘッドスライダに加わる摩擦力の方向に平行でか
つ前記磁気記録媒体の記録面に垂直な平面に設定される
前記第１及び第２変形可能部を結ぶ直線の延長線と前記
磁気記録媒体記録面との交点よりも記録媒体移動方向下
流側に位置することを特徴とするバーニッシュ装置。4. A means for holding and rotating a magnetic recording medium, and a burnishing head slider disposed on a recording surface of the magnetic recording medium and removing an obstacle such as a protrusion on the recording surface by collision energy. And a head support arm for generating and supporting a load that presses the burnishing head slider against the magnetic recording medium, wherein the head support arm is located on the magnetic recording medium moving direction upstream side. A first deformable portion, a first rigid body portion, a second deformable portion, a second rigid body portion, and sliding on the side of the second rigid body portion facing the magnetic recording medium with the magnetic recording medium in order. And supporting the sliding portion in a cantilever manner from the upstream side of the magnetic recording medium moving direction, and the upstream end of the sliding portion in the recording medium moving direction, in a state where the recording medium is stopped, Extension of a straight line connecting the first and second deformable portions, which is set in a plane parallel to a direction of a frictional force applied to the burnishing head slider from the magnetic recording medium and perpendicular to a recording surface of the magnetic recording medium. A burnishing device, which is located downstream of the intersection of a line and the recording surface of the magnetic recording medium in the recording medium movement direction. 【請求項５】 前記第２剛体部は、枠体と、前記摺動部
を前記磁気記録媒体移動方向と平行で前記枠体上に存在
する回転軸回りに回転可能に支持する支持部とを備えて
なることを特徴とする請求項４に記載のバーニッシュ装
置。5. The frame according to claim 1, wherein the second rigid portion includes a frame, and a supporting portion that supports the sliding portion so as to be rotatable about a rotation axis existing on the frame in parallel with the moving direction of the magnetic recording medium. The varnishing device according to claim 4, wherein the varnishing device is provided. 【請求項６】 前記第１変形可能部、第２変形可能部が
薄板の曲げ加工により形成されていることを特徴とする
請求項２乃至５のいずれかに記載のバーニッシュ装置。6. The burnishing apparatus according to claim 2, wherein the first deformable portion and the second deformable portion are formed by bending a thin plate. 【請求項７】 前記第１変形可能部、第２変形可能部が
薄板の切り欠き加工により形成されていることを特徴と
する請求項２乃至５のいずれかに記載のバーニッシュ装
置。7. The burnishing device according to claim 2, wherein the first deformable portion and the second deformable portion are formed by cutting a thin plate. 【請求項８】 前記第１、第２変形可能部及び第１、第
２剛体部が樹脂材料あるいは、樹脂材料と金属材料の積
層構造により形成されていることを特徴とする請求項２
乃至７のいずれかに記載のバーニッシュ装置。8. The method according to claim 2, wherein the first and second deformable portions and the first and second rigid portions are formed of a resin material or a laminated structure of a resin material and a metal material.
The burnishing device according to any one of claims 1 to 7. 【請求項９】 前記第２変形可能部の剛性を前記第１変
形可能部の剛性より低くしてあることを特徴とする請求
項２乃至８のいずれかに記載のバーニッシュ装置。9. The varnish device according to claim 2, wherein the rigidity of the second deformable portion is lower than the rigidity of the first deformable portion. 【請求項１０】 前記バーニッシュ用ヘッドスライダに
おいて、磁気記録媒体との接触面積をスライダ全面積の
３０％以下とするような溝部を設けたことを特徴とする
請求項１乃至９のいずれかに記載のバーニッシュ装置。10. The burnishing head slider according to claim 1, wherein a groove is provided so that a contact area with the magnetic recording medium is 30% or less of a total area of the slider. A burnishing device as described.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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