JPH10132741A - レーザを用いた微量成分計測手法及びその装置 - Google Patents
レーザを用いた微量成分計測手法及びその装置Info
- Publication number
- JPH10132741A JPH10132741A JP29228896A JP29228896A JPH10132741A JP H10132741 A JPH10132741 A JP H10132741A JP 29228896 A JP29228896 A JP 29228896A JP 29228896 A JP29228896 A JP 29228896A JP H10132741 A JPH10132741 A JP H10132741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- component
- laser
- detected
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 気体，液体，固体物質中に含まれるＮa，Ｃ
l，Ｍg等の微量成分のin−situ計測を可能とし、計測の
自動化、高精度化により、各種プラントの安全運転，余
寿命予測などを可能とすることにある。 【解決手段】 気体、液体、固体物質中に含まれる微量
成分を検出するに際して、第一のレーザ光を気体、液
体、固体物質に集光し、物質中の成分をプラズマ化さ
せ、プラズマを生成させてから一定時間後に誘起された
プラズマ中に、検出すべき成分の電子エネルギー差に対
応した波長を持つ第二のレーザ光を入射し、プラズマ中
に存在する検出すべき成分をレーザ励起し、第一のレー
ザ光照射により発生するプラズマ光を検出し、プラズマ
部に存在する成分組成及びプラズマ温度を同定すると共
に、第二のレーザ光照射により励起された測定対象成分
が発する蛍光強度を光検出器を用いて検出し、測定対象
成分が発する蛍光強度をプラズマ部に存在する成分組成
及びプラズマ温度で補正することにより、気体、液体、
固体物質中に存在する微量成分の濃度を測定することを
特徴とする。
l，Ｍg等の微量成分のin−situ計測を可能とし、計測の
自動化、高精度化により、各種プラントの安全運転，余
寿命予測などを可能とすることにある。 【解決手段】 気体、液体、固体物質中に含まれる微量
成分を検出するに際して、第一のレーザ光を気体、液
体、固体物質に集光し、物質中の成分をプラズマ化さ
せ、プラズマを生成させてから一定時間後に誘起された
プラズマ中に、検出すべき成分の電子エネルギー差に対
応した波長を持つ第二のレーザ光を入射し、プラズマ中
に存在する検出すべき成分をレーザ励起し、第一のレー
ザ光照射により発生するプラズマ光を検出し、プラズマ
部に存在する成分組成及びプラズマ温度を同定すると共
に、第二のレーザ光照射により励起された測定対象成分
が発する蛍光強度を光検出器を用いて検出し、測定対象
成分が発する蛍光強度をプラズマ部に存在する成分組成
及びプラズマ温度で補正することにより、気体、液体、
固体物質中に存在する微量成分の濃度を測定することを
特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザを用いた微
量成分計測手法及びその装置に関する。詳しくは、気
体、液体、固体物質中に含まれるＮa，Ｃl，Ｍg等の微
量成分の計測に関するものである。
量成分計測手法及びその装置に関する。詳しくは、気
体、液体、固体物質中に含まれるＮa，Ｃl，Ｍg等の微
量成分の計測に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の微量成分計測装置を図２に示す。
同図に示すように、測定場の固体サンプルをサンプラー
０１にてサンプルし、サンプル試料を分析装置０２（Ｘ
線分析器、化学分析器等）で成分を分析していた。
同図に示すように、測定場の固体サンプルをサンプラー
０１にてサンプルし、サンプル試料を分析装置０２（Ｘ
線分析器、化学分析器等）で成分を分析していた。
【０００３】レーザを用いた微量成分検出法としては、
下記に示す方法が提案されている。 （１）レーザ光を気体、液体、固体物質に集光し、物質
中の成分をプラズマ化させ、そのプラズマ発光を検出し
て、微量成分濃度を測定する方法（以下この方法をレー
ザを用いた従来法１と呼ぶ。）。
下記に示す方法が提案されている。 （１）レーザ光を気体、液体、固体物質に集光し、物質
中の成分をプラズマ化させ、そのプラズマ発光を検出し
て、微量成分濃度を測定する方法（以下この方法をレー
ザを用いた従来法１と呼ぶ。）。
【０００４】（２）検出すべき成分の電子エネルギー差
に対応した波長を持つレーザ光を入射し、励起された測
定対象成分が発する蛍光強度を検出して、微量成分濃度
を測定する方法（以下この方法をレーザを用いた従来法
２と呼ぶ）。
に対応した波長を持つレーザ光を入射し、励起された測
定対象成分が発する蛍光強度を検出して、微量成分濃度
を測定する方法（以下この方法をレーザを用いた従来法
２と呼ぶ）。
【０００５】（３）第一のレーザ光を気体、液体、固体
物質に集光し、物質中の測定対象成分を原子化（プラズ
マ化を含む）させ、一定時間後に検出すべき成分の電子
エネルギー差に対応した波長を持つ第二のレーザ光を入
射し、励起された測定対象成分が発する蛍光強度を検出
して、微量成分濃度を測定する方法（以下この方法をレ
ーザを用いた従来法３と呼ぶ）。
物質に集光し、物質中の測定対象成分を原子化（プラズ
マ化を含む）させ、一定時間後に検出すべき成分の電子
エネルギー差に対応した波長を持つ第二のレーザ光を入
射し、励起された測定対象成分が発する蛍光強度を検出
して、微量成分濃度を測定する方法（以下この方法をレ
ーザを用いた従来法３と呼ぶ）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図２における従来法で
は、以下の行程が必要となる。 １）測定場からサンプル試料を採取する。 ２）サンプル試料を成分分析器まで輸送する。 ３）成分分析器０２にてサンプル試料を分析する。
は、以下の行程が必要となる。 １）測定場からサンプル試料を採取する。 ２）サンプル試料を成分分析器まで輸送する。 ３）成分分析器０２にてサンプル試料を分析する。
【０００７】そのため、測定場から試料を採取し、分析
結果が得られるまで、かなりの時間（１０〜１２０分）
を必要とする。またサンプリング配管において、検出成
分が混入や、サンプリング配管にサンプリング物質が滞
留し検出成分の濃縮が発生する等の不具合点が存在し、
計器の管理、設置場所などが厳しく制限される不具合点
が存在していた。また、自動化する場合には、サンプル
試料の輸送装置、輸送配管、装置設置施設などが必要と
なり、装置が高価となる欠点を有していた。
結果が得られるまで、かなりの時間（１０〜１２０分）
を必要とする。またサンプリング配管において、検出成
分が混入や、サンプリング配管にサンプリング物質が滞
留し検出成分の濃縮が発生する等の不具合点が存在し、
計器の管理、設置場所などが厳しく制限される不具合点
が存在していた。また、自動化する場合には、サンプル
試料の輸送装置、輸送配管、装置設置施設などが必要と
なり、装置が高価となる欠点を有していた。
【０００８】更に、従来のレーザを用いる計測では、プ
ラズマ化用レーザ光のみ用いる方法や計測対象成分の電
子エネルギー差に対応した波長を持つレーザ光を入射す
る方法が存在していたが、（１）レーザを用いた従来法
１では検出限界濃度が低くできない、（２）レーザを用
いた従来法２では、成分の結合状態の影響が大きいた
め、結合状態毎にレーザ波長を変化させなくてはなら
ず、装置が複雑となるほか、計測不可能となる可能性も
発生する。
ラズマ化用レーザ光のみ用いる方法や計測対象成分の電
子エネルギー差に対応した波長を持つレーザ光を入射す
る方法が存在していたが、（１）レーザを用いた従来法
１では検出限界濃度が低くできない、（２）レーザを用
いた従来法２では、成分の結合状態の影響が大きいた
め、結合状態毎にレーザ波長を変化させなくてはなら
ず、装置が複雑となるほか、計測不可能となる可能性も
発生する。
【０００９】例えば、Ｎaを検出する場合に、ＮaＣlと
ＮaＳＯ4では化学結合のためにＮaのエネルギー凖位が
変化し、そのため励起される波長が変化し、単一波長で
は同時に励起できなくなる。例として、Ｎaでは励起さ
れる波長として３３０ｎｍ，５６８ｎｍ，５８９ｎｍ、
Ｃlでは２３３ｎｍ等が存在するが、ＮaＣlでは１９３
ｎｍ等が励起波長となる。
ＮaＳＯ4では化学結合のためにＮaのエネルギー凖位が
変化し、そのため励起される波長が変化し、単一波長で
は同時に励起できなくなる。例として、Ｎaでは励起さ
れる波長として３３０ｎｍ，５６８ｎｍ，５８９ｎｍ、
Ｃlでは２３３ｎｍ等が存在するが、ＮaＣlでは１９３
ｎｍ等が励起波長となる。
【００１０】また、この方法では定量計測が困難とな
る。一般に、レーザ励起された成分が発する蛍光強度Ｉ
とその成分濃度ｎには以下の関係が存在する。 Ｉ＝Ｋ・ｎ／Ｑ …（１） ここで、Ｋは比例定数、Ｑはクエンチング速度である。
Ｑは測定場の成分組成並びに温度の関数として以下の式
で表される。
る。一般に、レーザ励起された成分が発する蛍光強度Ｉ
とその成分濃度ｎには以下の関係が存在する。 Ｉ＝Ｋ・ｎ／Ｑ …（１） ここで、Ｋは比例定数、Ｑはクエンチング速度である。
Ｑは測定場の成分組成並びに温度の関数として以下の式
で表される。
【００１１】
【数１】
【００１２】ここで、Ｘiはｉ成分の濃度、σi(T) はｉ
成分の衝突断面積であり、測定場の温度の関数となる。
式（１）及び（２）より測定対象成分が発する蛍光強度
Ｉからその成分濃度ｎを求めるためには、測定対象場の
成分組成並びに温度の情報が必要となるが、その情報を
知ることは難しく、測定対象成分の定量化が困難とな
る。レーザを用いた従来法３では、（２）の方法で述べ
たようにクエンチング速度の問題が発生し、定量計測を
行うことが困難となる等の欠点が存在していた。
成分の衝突断面積であり、測定場の温度の関数となる。
式（１）及び（２）より測定対象成分が発する蛍光強度
Ｉからその成分濃度ｎを求めるためには、測定対象場の
成分組成並びに温度の情報が必要となるが、その情報を
知ることは難しく、測定対象成分の定量化が困難とな
る。レーザを用いた従来法３では、（２）の方法で述べ
たようにクエンチング速度の問題が発生し、定量計測を
行うことが困難となる等の欠点が存在していた。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明で用いた手段の概
略図を図４に示す。先ず、図４（ａ）に示すように、第
一のパルスレーザ光を気体、液体、固体物質のいずれか
に集光し、物質中の成分をプラズマ化させ、プラズマ内
の物質を原子化させる。
略図を図４に示す。先ず、図４（ａ）に示すように、第
一のパルスレーザ光を気体、液体、固体物質のいずれか
に集光し、物質中の成分をプラズマ化させ、プラズマ内
の物質を原子化させる。
【００１４】次に、図４（ｂ）に示すように、プラズマ
を生成させてから一定時間後に、検出すべき成分の電子
エネルギー差に対応した波長を持つ第二のレーザ光を、
レーザで誘起されたプラズマ中に入射して検出すべき成
分をレーザ励起する。
を生成させてから一定時間後に、検出すべき成分の電子
エネルギー差に対応した波長を持つ第二のレーザ光を、
レーザで誘起されたプラズマ中に入射して検出すべき成
分をレーザ励起する。
【００１５】第一のレーザ光照射により発生するプラズ
マ光を検出し、プラズマ部に存在する成分組成及びプラ
ズマ温度を同定すると共に、第二のレーザ光照射により
励起された測定対象成分が発する蛍光強度を光検出器を
用いて検出する。測定対象成分が発する蛍光強度を、プ
ラズマ部に存在する成分組成及びプラズマ温度で補正す
ることにより、気体、液体、固体物質中に存在する微量
成分の濃度を測定する。
マ光を検出し、プラズマ部に存在する成分組成及びプラ
ズマ温度を同定すると共に、第二のレーザ光照射により
励起された測定対象成分が発する蛍光強度を光検出器を
用いて検出する。測定対象成分が発する蛍光強度を、プ
ラズマ部に存在する成分組成及びプラズマ温度で補正す
ることにより、気体、液体、固体物質中に存在する微量
成分の濃度を測定する。
【００１６】〔作用〕従来法では、試料の採取、分析装
置への輸送などが、微量成分のリアルタイム計測の大き
な支障となっていたが、本発明により、計測場でのin−
situ計測が可能となるほか、サンプル試料の輸送などが
必要なくなるため、装置のコスト低減が可能となる。
置への輸送などが、微量成分のリアルタイム計測の大き
な支障となっていたが、本発明により、計測場でのin−
situ計測が可能となるほか、サンプル試料の輸送などが
必要なくなるため、装置のコスト低減が可能となる。
【００１７】また、本発明では、サンプリング配管を使
用しないため、サンプリング配管における検出成分の混
入や、サンプリング配管にサンプリング物質が滞留する
ことによる検出成分の濃縮等がなく、従来法の不具合点
を除去することが可能となる。
用しないため、サンプリング配管における検出成分の混
入や、サンプリング配管にサンプリング物質が滞留する
ことによる検出成分の濃縮等がなく、従来法の不具合点
を除去することが可能となる。
【００１８】また、従来のレーザを用いる計測で問題と
なっている、（１）レーザを用いた従来法１では検出限
界濃度が低くできない、（２）レーザを用いた従来法２
では化学結合が変化すると、励起される波長変化し、単
一波長では同時に励起できなくなる、また定量化が困難
である、（３）レーザを用いた従来法３では定量化が困
難であるに対し、本発明では、まずプラズマ用レーザで
局所的な場所の温度を10,000〜20,000℃に上昇させるた
め、ほとんど全ての化学種が原子状態となり、結合状態
による励起波長の変化はなくなる。
なっている、（１）レーザを用いた従来法１では検出限
界濃度が低くできない、（２）レーザを用いた従来法２
では化学結合が変化すると、励起される波長変化し、単
一波長では同時に励起できなくなる、また定量化が困難
である、（３）レーザを用いた従来法３では定量化が困
難であるに対し、本発明では、まずプラズマ用レーザで
局所的な場所の温度を10,000〜20,000℃に上昇させるた
め、ほとんど全ての化学種が原子状態となり、結合状態
による励起波長の変化はなくなる。
【００１９】プラズマ化された測定分子に対する電子エ
ネルギー差に対応した波長を持つレーザ光を入射するた
め、プラズマ用レーザを用いる場合に比べ、検出感度を
大幅に向上（３桁から５桁程度）可能となる。また、プ
ラズマ発光を計測することにより、測定場（プラズマ
場）の成分組成並びにプラズマ温度を求めることができ
るため、式（２）を用いてクエンチング速度を計算で
き、式（１）より計測成分の定量化が可能となる。
ネルギー差に対応した波長を持つレーザ光を入射するた
め、プラズマ用レーザを用いる場合に比べ、検出感度を
大幅に向上（３桁から５桁程度）可能となる。また、プ
ラズマ発光を計測することにより、測定場（プラズマ
場）の成分組成並びにプラズマ温度を求めることができ
るため、式（２）を用いてクエンチング速度を計算で
き、式（１）より計測成分の定量化が可能となる。
【００２０】図５にプラズマ発光例を示す。各成分から
の発光強度の比から成分組成（濃度）が算出される。ま
た、発光が複数の波長に現れる成分に対し（図中Ｎの発
光）、同一成分に起因する異なった波長の発光強度の比
は温度の依存性を有しているものがあり（図中発光１と
発光２の強度比）、その比からプラズマの温度が算出で
きる。
の発光強度の比から成分組成（濃度）が算出される。ま
た、発光が複数の波長に現れる成分に対し（図中Ｎの発
光）、同一成分に起因する異なった波長の発光強度の比
は温度の依存性を有しているものがあり（図中発光１と
発光２の強度比）、その比からプラズマの温度が算出で
きる。
【００２１】
【実施例】本発明の第１の実施例における装置を図１に
示す。同図に示すように、プラズマ用パルスレーザ１を
レンズ２を用いてパージ光学窓を通して測定場に集光
し、測定場に存在する気体、液体、固体物質をプラズマ
化させる。プラズマ用パルスレーザ１とは、測定場にレ
ーザで誘起されたプラズマを生成させるためのレーザで
ある。
示す。同図に示すように、プラズマ用パルスレーザ１を
レンズ２を用いてパージ光学窓を通して測定場に集光
し、測定場に存在する気体、液体、固体物質をプラズマ
化させる。プラズマ用パルスレーザ１とは、測定場にレ
ーザで誘起されたプラズマを生成させるためのレーザで
ある。
【００２２】プラズマ用パルスレーザと同期させて、成
分励起用パルスレーザ３の出力をミラー４、ビームコン
バイナー５及びレンズ２を介してレーザ誘起されたプラ
ズマ中に入射する。成分励起用パルスレーザ３とは、物
質中の測定成分の励起波長に対応する波長を発振するレ
ーザである。
分励起用パルスレーザ３の出力をミラー４、ビームコン
バイナー５及びレンズ２を介してレーザ誘起されたプラ
ズマ中に入射する。成分励起用パルスレーザ３とは、物
質中の測定成分の励起波長に対応する波長を発振するレ
ーザである。
【００２３】プラズマ発光並びに成分励起用パルスレー
ザ光により励起された計測成分が発する蛍光は、ミラー
６を介してレンズ７で集光される。それぞれの光はビー
ムスプリッター８で２方向に分割される。プラズマ光は
分光器９に入射され、ＣＣＤカメラ１０にて検出され
る。計測成分が発する蛍光は光検出器１１で検出され
る。
ザ光により励起された計測成分が発する蛍光は、ミラー
６を介してレンズ７で集光される。それぞれの光はビー
ムスプリッター８で２方向に分割される。プラズマ光は
分光器９に入射され、ＣＣＤカメラ１０にて検出され
る。計測成分が発する蛍光は光検出器１１で検出され
る。
【００２４】それぞれの信号はコンピュータ１２に転送
され、プラズマ発光の信号より、測定場（プラズマ場）
の成分組成並びにプラズマ温度を求め、その情報より蛍
光強度の補正を行い測定場に存在する微量成分の濃度を
算出する。プラズマ用パルスレーザ１及び成分励起用パ
ルスレーザ３の発振とＣＣＤカメラ１０、光検出器１１
とは、同期ライン１３にて同期させられている。
され、プラズマ発光の信号より、測定場（プラズマ場）
の成分組成並びにプラズマ温度を求め、その情報より蛍
光強度の補正を行い測定場に存在する微量成分の濃度を
算出する。プラズマ用パルスレーザ１及び成分励起用パ
ルスレーザ３の発振とＣＣＤカメラ１０、光検出器１１
とは、同期ライン１３にて同期させられている。
【００２５】プラズマ用レーザと成分励起用レーザの波
長の例を下記に示す。例えば、プラズマ用レーザ波長例
としては、１０６４ｎｍ（ＹＡＧレーザの基本波）、５
３２ｎｍ（ＹＡＧレーザの第２高調波）、３５５ｎｍ
（ＹＡＧレーザの第３高調波）のいずれか、成分励起用
レーザ波長例としては、Ｎaについて３３０ｎｍ，５６
８ｎｍ，５８９ｎｍのいずれか、Ｃlについては２３３
ｎｍが挙げられる。尚、測定対象により、プラズマ用パ
ルスレーザ及び成分励起用パルスレーザの波長を変化さ
せることにより、広範囲な対象及び成分の計測が可能と
なる。
長の例を下記に示す。例えば、プラズマ用レーザ波長例
としては、１０６４ｎｍ（ＹＡＧレーザの基本波）、５
３２ｎｍ（ＹＡＧレーザの第２高調波）、３５５ｎｍ
（ＹＡＧレーザの第３高調波）のいずれか、成分励起用
レーザ波長例としては、Ｎaについて３３０ｎｍ，５６
８ｎｍ，５８９ｎｍのいずれか、Ｃlについては２３３
ｎｍが挙げられる。尚、測定対象により、プラズマ用パ
ルスレーザ及び成分励起用パルスレーザの波長を変化さ
せることにより、広範囲な対象及び成分の計測が可能と
なる。
【００２６】本発明の第２の実施例における装置を図３
に示す。本実施例では、プラズマ発光と計測成分が発す
る蛍光を同一のＣＣＤカメラ１０で検出する点に特徴が
ある。 その他の構成は、前述した第１の実施例と同じ
構成であり、同様な効果を奏する。
に示す。本実施例では、プラズマ発光と計測成分が発す
る蛍光を同一のＣＣＤカメラ１０で検出する点に特徴が
ある。 その他の構成は、前述した第１の実施例と同じ
構成であり、同様な効果を奏する。
【００２７】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明によれば、気体、液体、固体物質中に
含まれるＮa，Ｃl，Ｍg等の微量成分のin−situ計測が
可能となり、計測の自動化、高精度化により、各種プラ
ントの安全運転、余寿命予測などが可能となる。
たように、本発明によれば、気体、液体、固体物質中に
含まれるＮa，Ｃl，Ｍg等の微量成分のin−situ計測が
可能となり、計測の自動化、高精度化により、各種プラ
ントの安全運転、余寿命予測などが可能となる。
【図１】本発明の第１実施例に係わる実施例の微量成分
計測装置の構成図である。
計測装置の構成図である。
【図２】従来法を用いた微量成分計測装置の構成図であ
る。
る。
【図３】プラズマ発光及び測定成分の蛍光に対し１つの
検出装置を用いた本発明の第２の実施例の構成図であ
る。
検出装置を用いた本発明の第２の実施例の構成図であ
る。
【図４】プラズマ発光スペクトル並びに発光強度比の温
度依存性を示すグラフである。
度依存性を示すグラフである。
【図５】本発明の計測原理略図である。
１ プラズマ用パルスレーザ ２ レンズ ３ 成分励起用パルスレーザ ４ ミラー ５ ビームコンバイナー ６ ミラー ７ レンズ ８ ビームスプリッター ９ 分光器 １０ ＣＣＤカメラ １１ 光検出器 １２ コンピュータ １３ 同期ライン ０１ サンプラー ０２ 分析装置（Ｘ線分析器、化学分析器等）
Claims (2)
- 【請求項１】 気体、液体、固体物質中に含まれる微量
成分を検出するに際して、第一のレーザ光を気体、液
体、固体物質に集光し、物質中の成分をプラズマ化さ
せ、プラズマを生成させてから一定時間後に誘起された
プラズマ中に、検出すべき成分の電子エネルギー差に対
応した波長を持つ第二のレーザ光を入射し、プラズマ中
に存在する検出すべき成分をレーザ励起し、第一のレー
ザ光照射により発生するプラズマ光を検出し、プラズマ
部に存在する成分組成及びプラズマ温度を同定すると共
に、第二のレーザ光照射により励起された測定対象成分
が発する蛍光強度を光検出器を用いて検出し、測定対象
成分が発する蛍光強度をプラズマ部に存在する成分組成
及びプラズマ温度で補正することにより、気体、液体、
固体物質中に存在する微量成分の濃度を測定することを
特徴とするレーザを用いた微量成分計測手法。 - 【請求項２】 気体、液体、固体物質中に含まれる微量
成分を検出する計測装置であって、気体、液体、固体物
質中の成分をプラズマ化させる第一のレーザ光を出力す
るプラズマ用レーザ光源及び該レーザ光を前記物質に集
光する光学系と、検出すべき成分の電子エネルギー差に
対応した波長を持ちプラズマ中に存在する検出すべき成
分をレーザ励起する第二のレーザ光をプラズマ生成から
一定時間後に出力する成分励起用レーザ光源及び該レー
ザ光を誘起されたプラズマ中に入射させる光学系と、第
一のレーザ光照射により発生するプラズマ光を検出し、
プラズマ部に存在する成分組成及びプラズマ温度を同定
する手段と、第二のレーザ光照射により励起された測定
対象成分が発する蛍光強度を光検出器を用いて検出し、
測定対象成分が発する蛍光強度をプラズマ部に存在する
成分組成及びプラズマ温度で補正する手段とを有し、気
体、液体、固体物質中に存在する微量成分の濃度を測定
することを特徴とするレーザを用いた微量成分計測装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29228896A JP3377699B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | レーザを用いた微量成分計測手法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29228896A JP3377699B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | レーザを用いた微量成分計測手法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10132741A true JPH10132741A (ja) | 1998-05-22 |
| JP3377699B2 JP3377699B2 (ja) | 2003-02-17 |
Family
ID=17779824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29228896A Expired - Lifetime JP3377699B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | レーザを用いた微量成分計測手法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3377699B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003510A (ja) * | 2005-05-26 | 2007-01-11 | Toshiba Corp | 元素分析方法および装置、並びに分析試料作成方法 |
| JP2008032606A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Japan Aerospace Exploration Agency | レーザー誘起プラズマ分光分析法における解析方法とその装置 |
| JP2008292169A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Nippon Steel Corp | 精錬モニタリング装置及び方法 |
| JP2008298449A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Kobe Steel Ltd | プラズマ構成元素分析装置 |
| JP2010216913A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Nippon Steel Corp | 溶鋼の連続モニタリング方法及び連続モニタリング装置 |
| JP2010216915A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Nippon Steel Corp | 溶鋼の連続モニタリング方法及び連続モニタリング装置 |
| JP4838270B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2011-12-14 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | レーザパルスアブレーションを使った物理化学的分析のための方法とシステム |
| CN102706850A (zh) * | 2012-06-25 | 2012-10-03 | 哈尔滨工业大学 | 基于激光诱导等离子体光谱的定标方法和装置及测量可燃气体与氧化剂当量比的方法和装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2618132A4 (en) * | 2010-09-15 | 2016-04-06 | Imagineering Inc | METHOD AND DEVICE FOR ANALYSIS |
| CN108168726B (zh) * | 2016-12-08 | 2020-10-02 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种测量固体激光器中增益介质内部温度的方法 |
-
1996
- 1996-11-05 JP JP29228896A patent/JP3377699B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4838270B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2011-12-14 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | レーザパルスアブレーションを使った物理化学的分析のための方法とシステム |
| JP2007003510A (ja) * | 2005-05-26 | 2007-01-11 | Toshiba Corp | 元素分析方法および装置、並びに分析試料作成方法 |
| JP2008032606A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Japan Aerospace Exploration Agency | レーザー誘起プラズマ分光分析法における解析方法とその装置 |
| JP2008292169A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Nippon Steel Corp | 精錬モニタリング装置及び方法 |
| JP2008298449A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Kobe Steel Ltd | プラズマ構成元素分析装置 |
| JP2010216913A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Nippon Steel Corp | 溶鋼の連続モニタリング方法及び連続モニタリング装置 |
| JP2010216915A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Nippon Steel Corp | 溶鋼の連続モニタリング方法及び連続モニタリング装置 |
| CN102706850A (zh) * | 2012-06-25 | 2012-10-03 | 哈尔滨工业大学 | 基于激光诱导等离子体光谱的定标方法和装置及测量可燃气体与氧化剂当量比的方法和装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3377699B2 (ja) | 2003-02-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4046612B2 (ja) | レーザー誘起蛍光量子分析装置と組み合わせた蛍光ｘ線分析装置 | |
| US6657721B1 (en) | Method for quantitative analysis of atomic components of materials by LIBS spectroscopy measurements | |
| Lazzari et al. | Detection of mercury in air by time-resolved laser-induced breakdown spectroscopy technique | |
| JP2002524732A (ja) | 石炭用に適したレーザ誘起イオン化分光器 | |
| US5715053A (en) | Method for determining the concentration of atomic species in gases and solids | |
| JP3377699B2 (ja) | レーザを用いた微量成分計測手法及びその装置 | |
| Stevenson et al. | Analysis of polynuclear aromatic compounds using laser-excited synchronous fluorescence | |
| CN109387482A (zh) | 同位素测量装置 | |
| Corsi et al. | Calibration free laser induced plasma spectroscopy: a new method for combustion products analysis | |
| JP2009288067A (ja) | 分析方法およびその装置 | |
| Bauer et al. | Rapid, ultra-sensitive detection of gas phase elemental mercury under atmospheric conditions using sequential two-photon laser induced fluorescence | |
| JP3660938B2 (ja) | レーザを用いた成分分析方法 | |
| Petrucci et al. | Analytical and spectroscopic characterization of double-resonance laser-induced fluorescence of gold atoms in a graphite furnace and in a flame | |
| JP3349353B2 (ja) | レーザを用いた固体粒子成分解析装置 | |
| JP3197132B2 (ja) | レーザ光を用いた計測装置 | |
| JPH112604A (ja) | 元素分析方法および装置 | |
| JP2763907B2 (ja) | ブレイクダウン分光分析方法及び装置 | |
| Kumar et al. | Stack gas pollutant detection using laser Raman spectroscopy | |
| JPS5957143A (ja) | ＮＯｘ濃度測定方法 | |
| JP2002526767A (ja) | 物質中に存在する化学元素の同位体選択的測定方法及び測定システム | |
| JPH0875651A (ja) | レーザ発光分光分析方法 | |
| Telle | In-situ assaying of materials using laser analytical spectroscopy | |
| JPH112605A (ja) | レーザを用いたガスの直接分析方法 | |
| JPH11352104A (ja) | ガス中微量成分のモニタリング方法及び装置 | |
| JPH09281044A (ja) | 金属炭化物分析方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20021105 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071206 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081206 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091206 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091206 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101206 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101206 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111206 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111206 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121206 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131206 Year of fee payment: 11 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |