JPH10111115A - Method and device for inspection of article - Google Patents
Method and device for inspection of articleInfo
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- JPH10111115A JPH10111115A JP26402696A JP26402696A JPH10111115A JP H10111115 A JPH10111115 A JP H10111115A JP 26402696 A JP26402696 A JP 26402696A JP 26402696 A JP26402696 A JP 26402696A JP H10111115 A JPH10111115 A JP H10111115A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、物品の形状を検査
するための方法と装置に関するものであり、特に極めて
寸法の小さい実装用電子部品等の物品の形状を検査する
際に用いて有利な方法と装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting the shape of an article, and more particularly to a method and an apparatus which are advantageous in inspecting the shape of an article such as a mounting electronic component having extremely small dimensions. It relates to a method and an apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】物品の形状を検査する場合、この物品を
ＣＣＤカメラによって撮影して所定の画像処理を行い、
この結果得たデータと予め設定された基準データとを比
較し、この比較結果から良否の判定を行う技術がある。
このような検査を実施する際には、検査すべき物品をよ
り良く認識し得るように、ＣＣＤカメラを配置した側か
ら光を照射するのが一般的である。2. Description of the Related Art When inspecting the shape of an article, the article is photographed by a CCD camera and subjected to predetermined image processing.
There is a technique for comparing data obtained as a result with reference data set in advance, and judging pass / fail based on the comparison result.
When performing such an inspection, it is common to irradiate light from the side where the CCD camera is arranged so that the article to be inspected can be better recognized.
【０００３】一方、最近ではプリント基板の実装用部品
の寸法が極めて小さくなっている。このような部品は、
ロボット等の自動機械によって基板上に実装されるた
め、僅かな形状の変化が生じた場合、ロボットによる実
装が不能になったり、基板の性能に悪影響を与える等の
問題が生じる。このため、前記実装部品は形状上の不良
率が１％以下であることが要求されているのが実情であ
る。On the other hand, recently, dimensions of components for mounting on a printed circuit board have become extremely small. Such parts are
Since it is mounted on the substrate by an automatic machine such as a robot, if a slight change in shape occurs, problems such as the inability to mount by the robot or adversely affecting the performance of the substrate arise. For this reason, the mounted parts are required to have a shape defect rate of 1% or less.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記実装部品を従来の
方法によって検査した場合、照射した光が散乱して物品
の輪郭線を明瞭に認識することが出来ず、実際上、ＣＣ
Ｄカメラによる検査が不可能であるという問題がある。
このため、極めて寸法の小さい物品では顕微鏡を用いて
人為的に検査しているのが実情である。When the above-mentioned mounted component is inspected by a conventional method, the irradiated light is scattered and the outline of the article cannot be clearly recognized.
There is a problem that inspection with a D camera is impossible.
For this reason, it is a fact that very small articles are artificially inspected using a microscope.
【０００５】本発明の目的は、寸法の極めて小さい物品
であっても連続的に形状の検査を実施し得る検査方法
と、この方法を実施する装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an inspection method capable of continuously inspecting the shape of an article having an extremely small size, and an apparatus for implementing the method.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明に係る物品の検査方法は、同一の光軸上に対向
して配置した光照射部材から同時に光を照射すると共に
前記光照射部材の間に検査すべき面を光に対向させて物
品を配置し、該物品の検査すべき面と外形形状を認識し
て形状を検査することを特徴とするものである。According to the present invention, there is provided a method for inspecting an article, comprising: simultaneously irradiating light from light irradiating members arranged on the same optical axis to face each other; An article is placed between members with a surface to be inspected facing light, and the shape is inspected by recognizing the surface to be inspected and the outer shape of the article.
【０００７】上記形状検査方法では、一光軸上に一対の
光照射部材を対向して配置すると共にこれらの光照射部
材の間に検査すべき物品を配置し、この状態で各光照射
部材から光を照射すると、検査すべき物品に対して一方
の光照射部材から照射された光によって該物品の照射面
とは反対側の面に影が形成される。従って、前記反対側
の面に対向させて形状認識手段（例えばＣＣＤカメラ，
モニター等からなる手段）を配置すると、該形状認識手
段では、物品の輪郭線よりも外側に前記光照射部材が照
射する光を感知して輪郭線の内側を物品の影として感知
することが出来る。In the above-described shape inspection method, a pair of light irradiation members are arranged on one optical axis so as to face each other, and an article to be inspected is arranged between these light irradiation members. When the light is irradiated, the light to be inspected from the one light irradiation member forms a shadow on the surface of the article opposite to the irradiation surface. Therefore, the shape recognition means (for example, a CCD camera,
When a device comprising a monitor or the like is disposed, the shape recognizing means can detect light emitted by the light irradiation member outside the contour of the article and detect the inside of the contour as a shadow of the article. .
【０００８】そして、形状認識手段と対向する面に対し
光照射部材から光を照射すると、該光によって物品が照
射され、輪郭線の内側の部分が明瞭になり、該物品と基
準となる物品を比較することで検査を行うことが出来
る。特に、物品の隅部に面取りが形成され、或いは表面
に凹凸が形成されているような場合、面取り部及び凹凸
部の反射光が散乱して形状認識手段に到達せず、該面取
り部及び凹凸部に対応した形状と寸法を持ったシルエッ
トを形成する。このため、前記シルエットを基準となる
シルエットと比較することで検査を行うことが出来る。Then, when light is irradiated from the light irradiation member to the surface facing the shape recognizing means, the light irradiates the article, the portion inside the outline becomes clear, and the article and the reference article are separated. The inspection can be performed by comparing. In particular, when the corners of the article are formed with chamfers or irregularities are formed on the surface, the reflected light from the chamfers and the irregularities is scattered and does not reach the shape recognition means. A silhouette with a shape and dimensions corresponding to the part is formed. Therefore, an inspection can be performed by comparing the silhouette with a reference silhouette.
【０００９】また本発明に係る検査装置は、一光軸上に
対向して配置された一対の光照射部材と、前記光照射部
材の間で且つ前記光軸を横断する方向に設けられ検査す
べき物品を搬送する搬送部材と、前記光軸上に配置され
たＣＣＤカメラと予め検査すべき物品の形状情報を記憶
する記憶手段と前記ＣＣＤカメラによって撮影した画像
情報と前記記憶手段に記憶させた検査すべき物品の形状
情報を比較して良否を判定する判定手段とを有する制御
装置とを有して構成されるものである。An inspection apparatus according to the present invention includes a pair of light irradiating members arranged on one optical axis so as to face each other, and an inspection device provided between the light irradiating members and in a direction crossing the optical axis. A conveying member for conveying an article to be inspected, a CCD camera arranged on the optical axis, storage means for storing shape information of the article to be inspected in advance, image information taken by the CCD camera, and stored in the storage means. And a determining device for comparing the shape information of the article to be inspected to determine the acceptability.
【００１０】上記検査装置では、一対の光照射部材の間
に設けられた搬送部材によって検査すべき物品を搬送し
つつ同一の光軸上に配置されたＣＣＤカメラを有する制
御装置によって良否の判定をして検査することが出来
る。[0010] In the above inspection apparatus, while the article to be inspected is transported by the transport member provided between the pair of light irradiation members, the pass / fail judgment is made by the control device having the CCD camera arranged on the same optical axis. Can be inspected.
【００１１】上記検査装置に於いて、搬送部材による検
査すべき物品の搬送経路に沿って複数対の光照射部材及
びＣＣＤカメラが配置され、夫々の光照射部材及びＣＣ
Ｄカメラの光軸は前記搬送経路に対し相対的に異なる角
度を持って配置されることが好ましい。In the above inspection apparatus, a plurality of pairs of light irradiating members and a CCD camera are arranged along a conveying path of an article to be inspected by a conveying member.
It is preferable that the optical axis of the D camera is disposed at a different angle relative to the transport path.
【００１２】検査装置を上記の如く構成することによっ
て、検査すべき物品を移送しつつ連続的に異なる方向か
らの検査を行うことが出来る。By configuring the inspection apparatus as described above, it is possible to continuously perform inspections from different directions while transferring the article to be inspected.
【００１３】上記検査装置に於いて、搬送部材が光を透
過させる材質によって構成され、且つ搬送経路が検査す
べき物品を嵌入させる溝によって形成されることが好ま
しく、更に、前記搬送部材に形成された溝が直線状であ
り、且つ三次元的に傾斜していることが好ましい。In the above inspection apparatus, it is preferable that the conveying member is made of a material that transmits light, and that the conveying path is formed by a groove into which the article to be inspected is fitted. Preferably, the groove is straight and three-dimensionally inclined.
【００１４】上記検査装置では、検査すべき物品を搬送
部材に形成された溝に嵌入させて搬送しつつ検査を行う
ことが出来る。このため、物品の搬送方向を正確に案内
することが出来、検査の信頼性を向上させることが出来
る。また溝を三次元的に傾斜させた場合には、該溝に嵌
入して搬送される物品に生じるブレや振動が抑制され、
正確な検査を行うことが出来る。In the above inspection apparatus, the inspection can be performed while the article to be inspected is fitted into the groove formed in the transport member and transported. For this reason, the conveyance direction of the article can be accurately guided, and the reliability of the inspection can be improved. In addition, when the groove is inclined three-dimensionally, blurring and vibration occurring in articles conveyed by being fitted into the groove are suppressed,
Accurate inspection can be performed.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、上記物品の検査方法及びこ
の方法を実現する検査装置の好ましい実施形態について
図を用いて説明する。図１は物品の例としての実装部品
の形状を説明する図、図２は本発明に係る検査方法の原
理を説明する図、図３は実装部品に形成されたシルエッ
トを説明する図、図４は本発明に係る検査装置の基本的
な構成を説明する模式図、図５は搬送部材の姿勢を説明
する図、図６は検査装置の制御系のブロック図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the above-described article inspection method and an inspection apparatus for realizing the method will be described below with reference to the drawings. 1 is a diagram illustrating the shape of a mounted component as an example of an article, FIG. 2 is a diagram illustrating the principle of an inspection method according to the present invention, FIG. 3 is a diagram illustrating a silhouette formed on the mounted component, FIG. FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a basic configuration of an inspection device according to the present invention, FIG. 5 is a diagram illustrating a posture of a transport member, and FIG. 6 is a block diagram of a control system of the inspection device.
【００１６】本発明に係る検査方法は検査すべき物品の
寸法を限定するものではない。しかし、検査すべき物品
に対して照射される光は平行光線であることが好まし
く、従って、光照射部材と検査すべき物品の寸法差は充
分に大きいことが好ましい。The inspection method according to the present invention does not limit the size of the article to be inspected. However, the light irradiated to the article to be inspected is preferably a parallel light beam, and therefore, the dimensional difference between the light irradiation member and the article to be inspected is preferably sufficiently large.
【００１７】本実施例では、図１に示すように、プリン
ト基板に実装されるチップインダクターの素材を検査す
べき物品（被検査体１）としている。この被検査体１
は、胴体１ａと、該胴体１ａの両端に形成されたフラン
ジ１ｂとからなる角棒状のセラミックスの成形体として
構成され、全体に銅メッキが施されている。そして回転
させつつ移動させて胴体１ａのメッキ層を切断すること
でコイルとしての機能を発揮するものである。In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the material of the chip inductor mounted on the printed circuit board is an article to be inspected (inspection object 1). This test object 1
Is formed as a rectangular rod-shaped ceramic molded body composed of a body 1a and flanges 1b formed at both ends of the body 1a, and is entirely plated with copper. By rotating and moving the body 1a to cut the plating layer, the function as a coil is exhibited.
【００１８】チップインダクターは仕様に応じて種々の
寸法を有する。またチップインダクターは、ロボット等
によって個別に吸着されて基板上の所定位置に移送さ
れ、該位置に起立した状態で供給され、その後、所定の
工程を経て半田付けされる。このため、例えばフランジ
部分に欠けが形成されていると、基板上の位置を安定し
て維持することが不可能となり、且つ表面に傷や窪み等
が形成されていると電気的な仕様を満足し得なくなる等
の問題が生じることになる。The chip inductor has various dimensions according to specifications. The chip inductors are individually sucked by a robot or the like, transferred to a predetermined position on the substrate, supplied in an upright state at the position, and then soldered through a predetermined process. For this reason, for example, if a notch is formed in the flange portion, it becomes impossible to stably maintain the position on the substrate, and if the surface has scratches or dents, the electrical specifications are satisfied. This will cause problems such as being unable to do so.
【００１９】本実施例は、上記チップインダクターの素
材を被検査体１とし、該被検査体１に欠け，傷，窪み等
が生じているか否かを検査し得るようにしたものであ
る。本実施例に於ける被検査体１としてのチップインダ
クターは、全長が1.65mm、胴体１ａが0.53mm角、フラン
ジ１ｂが0.72mm角厚さ0.23mm程度の寸法を持って形成さ
れている。In this embodiment, the material of the above-mentioned chip inductor is used as a test object 1 so that it can be inspected whether the test object 1 has a chip, a scratch, a dent or the like. The chip inductor as the object 1 to be inspected in this embodiment is formed so as to have a total length of 1.65 mm, a body 1a having a size of 0.53 mm square, a flange 1b having a size of about 0.72 mm and a thickness of about 0.23 mm.
【００２０】光軸２上に光照射部材となる一対のランプ
３ａ，３ｂが対向して配置され、各ランプ３の間であっ
て光軸２に被検査体１が配置される。ここで、ランプ３
ａは被検査体１の検査すべき面１ｃとは反対側に配置さ
れ、且つランプ３ｂは面１ｃ側に配置されるものとす
る。特に、夫々のランプ３ａ，３ｂは光量を調整し得る
ように構成されたものであることが好ましい。また被検
査体１に照射される光は平行光線であることが好ましい
ことから、ランプ３ａ，３ｂは夫々レンズ４ａ，４ｂの
焦点に配置することが好ましい。A pair of lamps 3a and 3b serving as light irradiation members are arranged on the optical axis 2 so as to face each other, and the test object 1 is arranged between the lamps 3 and on the optical axis 2. Here, lamp 3
a is located on the opposite side of the surface 1c of the device 1 to be inspected, and the lamp 3b is located on the surface 1c side. In particular, each of the lamps 3a and 3b is preferably configured to be able to adjust the amount of light. Further, since the light applied to the object 1 is preferably a parallel light beam, the lamps 3a and 3b are preferably arranged at the focal points of the lenses 4a and 4b, respectively.
【００２１】上記の如く、ランプ３ａ，３ｂの間に被検
査体１を配置してランプ３ａを点灯した場合、該ランプ
３ａから照射された光はレンズ４ａを透過して被検査体
１の面１ｃの反対側から照射される。この光によって被
検査体１の外形形状に対応する輪郭線が明瞭に表現さ
れ、該輪郭線の内側は全体が影として表現される。As described above, when the test object 1 is disposed between the lamps 3a and 3b and the lamp 3a is turned on, the light emitted from the lamp 3a passes through the lens 4a and passes through the surface of the test object 1. Irradiated from the opposite side of 1c. With this light, a contour line corresponding to the outer shape of the test object 1 is clearly represented, and the entire inside of the contour line is represented as a shadow.
【００２２】ランプ３ａによって被検査体１を照射した
状態を維持してランプ３ｂを点灯すると、該ランプ３ｂ
から照射された光はレンズ４ｂを透過して被検査体１の
面１ｃに照射される。そして面１ｃに於ける胴体１ａ，
フランジ１ｂの平坦な面に照射された光はランプ３ｂ側
に全反射し、Ｃ面取り部やＲ面取り部に照射された光は
照射部位の角度に応じて夫々散乱する。即ち、被検査体
１の輪郭線の内側全体の影は解消し、輪郭線に沿って且
つ面取り部及び凹凸部に図３に示すようなシルエットＡ
が形成される。When the lamp 3b is turned on while maintaining the state where the test object 1 is irradiated by the lamp 3a, the lamp 3b
Is transmitted through the lens 4b and illuminates the surface 1c of the test object 1. And the body 1a on the surface 1c,
The light applied to the flat surface of the flange 1b is totally reflected toward the lamp 3b, and the light applied to the C-chamfered portion and the R-chamfered portion is scattered according to the angle of the irradiated portion. That is, the shadow of the entire inside of the contour of the test object 1 is eliminated, and the silhouette A as shown in FIG.
Is formed.
【００２３】ランプ３ｂとレンズ４ｂの間にハーフミラ
ー５を設けると共に該ミラー５の後方にハーフミラー５
を透過した光を感知する手段、例えば光を電気信号に変
換するＣＣＤ素子をマトリックス状に配列して構成した
光感知部材６を配置し、この光感知部材６によって感知
した電気信号に対し所定の処理を行った後モニターに表
示することによって、被検査体１はシルエットＡとして
表示される。従って、シルエットＡの形状や面積を計測
することで、被検査体１の検査を行うことが可能であ
る。A half mirror 5 is provided between the lamp 3b and the lens 4b, and a half mirror 5 is provided behind the mirror 5.
A light sensing member 6, which is constituted by arranging means for sensing light transmitted through, for example, CCD elements for converting light into an electric signal in a matrix, is arranged in a predetermined manner with respect to the electric signal sensed by the light sensing member 6. By displaying on the monitor after performing the processing, the DUT 1 is displayed as a silhouette A. Therefore, by measuring the shape and the area of the silhouette A, the inspection of the inspection object 1 can be performed.
【００２４】上記の如く、本発明に係る検査方法では、
被検査体１を挟んで２つのランプ３ａ，３ｂを配置し、
両者を同時に点灯することで一方のランプ３ａによって
明瞭な輪郭線を得て輪郭線上の欠けや窪みを表現し、更
に、他方のランプ３ｂによって検査すべき面１ｃを照明
して該面１ｃ側の欠けや傷或いは窪みの有無を明確に表
現することで、精度の高い検査を実施することが可能で
ある。As described above, in the inspection method according to the present invention,
Two lamps 3a and 3b are arranged with the object 1 interposed therebetween,
When both lamps are turned on at the same time, a clear contour is obtained by one lamp 3a to express a chip or a dent on the contour, and the other lamp 3b illuminates the surface 1c to be inspected, and the other lamp 3b illuminates the surface 1c to be inspected. By clearly expressing the presence or absence of a chip, a scratch, or a dent, a highly accurate inspection can be performed.
【００２５】このように、本発明の検査方法では光の反
射を有効に利用している。このため、被検査体１の表面
は平滑な面で且つ適度な反射率を有することが必要であ
る。As described above, the inspection method of the present invention effectively utilizes the reflection of light. For this reason, the surface of the test object 1 needs to be a smooth surface and have an appropriate reflectance.
【００２６】次に、上記検査方法を実現する検査装置の
例について図４〜図６により説明する。光軸２上に対向
させてランプ３ａ，ハーフミラー５ａ，レンズ４ａ，光
感知部材６ａからなるＣＣＤカメラＢａ，Ｂｂが配置さ
れ、これらのＣＣＤカメラＢａ，Ｂｂの間であって光軸
２を横断する方向に搬送部材７が設けられている。Next, an example of an inspection apparatus for realizing the above inspection method will be described with reference to FIGS. Opposed on the optical axis 2 are CCD cameras Ba and Bb comprising a lamp 3a, a half mirror 5a, a lens 4a, and a light sensing member 6a. The CCD cameras Ba and Bb are located between the CCD cameras Ba and Bb and traverse the optical axis 2. The conveying member 7 is provided in a direction in which the conveying member 7 moves.
【００２７】搬送部材７には振動発生部材８が接続され
ており、該振動発生部材８を駆動することで、図示しな
い容器（例えばパーツフィーダー）から供給された被検
査体１を矢印ａ方向に搬送するものである。そして被検
査体１に対する検査は、該被検査体１が搬送されている
間に実施される。このため、搬送される被検査体１が振
動に影響されて非管理状態で移動することを防止するた
めに、搬送部材７には被検査体１を嵌入し得る深さを持
った溝７ａが形成されている。更に、搬送部材７の少な
くともＣＣＤカメラＢと対向する部位は、被検査体１が
溝７ａに嵌入しても確実に光を透過し得る材料（例えば
硬質ガラス７ｂ）によって形成されている。A vibration generating member 8 is connected to the conveying member 7, and by driving the vibration generating member 8, the test object 1 supplied from a container (for example, a part feeder) not shown is moved in the direction of arrow a. To be transported. The inspection of the inspection object 1 is performed while the inspection object 1 is being conveyed. For this reason, in order to prevent the inspected object 1 being conveyed from moving in an unmanaged state due to the vibration, the conveying member 7 has a groove 7a having a depth into which the inspected object 1 can be fitted. Is formed. Further, at least a portion of the transport member 7 facing the CCD camera B is formed of a material (for example, hard glass 7b) that can transmit light reliably even when the test object 1 is fitted into the groove 7a.
【００２８】従って、振動発生部材８を駆動して溝７ａ
に嵌入された被検査体１を矢印ａ方向に搬送すると共
に、該溝７ａによって搬送方向を正確に案内することが
可能である。Therefore, the vibration generating member 8 is driven to drive the groove 7a.
It is possible to convey the test object 1 fitted in the groove in the direction of the arrow a and to accurately guide the conveyance direction by the groove 7a.
【００２９】搬送部材７の長さは、被検査体１の検査す
べき面の数と、ＣＣＤカメラＢａ，Ｂｂによる検査に必
要な距離に応じて設定される。例えば、被検査体１が角
棒状であり検査すべき面の数が４面である場合、搬送部
材７に沿って４台のＣＣＤカメラＢを配置することが必
要となる。しかし、本件発明者の実験では一光軸上の対
向する２面は２台のＣＣＤカメラを対向して配置するこ
とで検査することが可能であるため、一光軸上に対向す
る２つの検査すべき面に夫々２台のＣＣＤカメラを配置
することによって全ての面を検査することが可能であ
る。The length of the transport member 7 is set according to the number of surfaces of the inspection object 1 to be inspected and the distance required for inspection by the CCD cameras Ba and Bb. For example, when the test object 1 has a square rod shape and the number of surfaces to be inspected is four, it is necessary to arrange four CCD cameras B along the transport member 7. However, in the experiment of the present inventor, since two opposing surfaces on one optical axis can be inspected by arranging two CCD cameras to face each other, two inspections opposing on one optical axis are performed. By arranging two CCD cameras on each of the surfaces to be inspected, it is possible to inspect all the surfaces.
【００３０】言い換えると、溝７ａに対し相対的に異な
る光軸を持った所定数のＣＣＤカメラを配置すること
で、被検査体１の検査を行うことが可能である。即ち、
溝７ａが直線的に形成されている場合、被検査体１の搬
送方向上流側と下流側に互いに光軸２が90度になるよう
に２系列のＣＣＤカメラＢを配置することで、被検査体
１の４面を検査することが可能である。また溝７ａを所
定のリードを持って90度捩じって形成した場合には、光
軸２が互いに平行になるように２系列のＣＣＤカメラＢ
を配置することで、被検査体１の４面を検査することが
可能である。In other words, the test object 1 can be inspected by arranging a predetermined number of CCD cameras having different optical axes relative to the groove 7a. That is,
When the groove 7a is formed in a straight line, two series of CCD cameras B are arranged on the upstream side and the downstream side in the transport direction of the test object 1 so that the optical axis 2 is 90 degrees with respect to each other. It is possible to inspect four sides of the body 1. When the groove 7a is formed by twisting 90 degrees with a predetermined lead, two CCD cameras B are arranged so that the optical axes 2 are parallel to each other.
Are arranged, it is possible to inspect four surfaces of the device under test 1.
【００３１】搬送部材７は振動発生部材８によって駆動
されることで被検査体１を溝７ａに沿って搬送するもの
であり、該溝７ａの幅及び深さの寸法は被検査体１のフ
ランジ１ｂの寸法よりも大きい値を持って形成されてい
る。このため、搬送部材７の振動によって溝７ａ内で浮
動し、光軸２を横断する時点では溝７ａの幅方向の位置
を一義的に設定することが不可能となり、ＣＣＤカメラ
Ｂによって撮影された被検査体１の画像がボケるという
問題がある。The conveying member 7 is driven by the vibration generating member 8 to convey the test object 1 along the groove 7a. The width and depth of the groove 7a are determined by the flange of the test object 1. It is formed with a value larger than the dimension of 1b. For this reason, it floats in the groove 7a due to the vibration of the transport member 7, and it becomes impossible to uniquely set the position in the width direction of the groove 7a at the time of crossing the optical axis 2, and the image was taken by the CCD camera B. There is a problem that the image of the test object 1 is blurred.
【００３２】上記問題を解決するために、本実施例では
搬送部材７に形成された溝７ａを三次元的に傾けること
で、搬送部材７が振動を生じていない場合、常に被検査
体１の２面が溝７ａの２面に接触し得るように構成され
ている。即ち、図５に示すように、溝７ａを横断する方
向の断面に於ける底面が水平面に対しα度傾斜し、溝７
ａの長手方向（搬送方向）が水平面に対しβ度傾斜して
形成されている。In order to solve the above-mentioned problem, in this embodiment, the groove 7a formed in the conveying member 7 is inclined three-dimensionally, so that when the conveying member 7 does not vibrate, the inspection object 1 is always The two surfaces are configured to be able to contact the two surfaces of the groove 7a. That is, as shown in FIG. 5, the bottom surface in the cross section in the direction crossing the groove 7a is inclined by α degrees with respect to the horizontal plane,
The longitudinal direction (transport direction) of a is formed to be inclined by β degrees with respect to the horizontal plane.
【００３３】溝７ａの各方向の傾斜角度α，βは、被検
査体１の溝７ａに対する摩擦係数に応じて適宜設定され
る。即ち、摩擦係数が小さい場合、傾斜角度α，βを小
さく設定し、摩擦係数が大きい場合、傾斜角度α，βも
大きく設定する。例えば本実施例では、αを25度、βを
15度に設定している。The inclination angles α and β in each direction of the groove 7a are appropriately set in accordance with the coefficient of friction of the test object 1 with respect to the groove 7a. That is, when the friction coefficient is small, the inclination angles α and β are set small, and when the friction coefficient is large, the inclination angles α and β are set large. For example, in this embodiment, α is 25 degrees and β is
It is set to 15 degrees.
【００３４】搬送部材７に形成された溝７ａの下流側に
は不良品を排出するために図示しないエアノズルを有す
る排出部が設けられており、該ノズルを後述する制御部
に於ける判定部16の出力に対応して作動させることで、
被検査体１が不良品である場合には溝７ａから排出し、
被検査体１が良品である場合にはそのまま後工程に供給
し得るように構成されている。A discharge section having an air nozzle (not shown) for discharging defective products is provided downstream of the groove 7a formed in the conveying member 7, and the discharge section is provided with a determination section 16 in a control section described later. By operating according to the output of
If the test object 1 is defective, it is discharged from the groove 7a,
If the test object 1 is a non-defective product, the test object 1 can be directly supplied to a subsequent process.
【００３５】次に、ＣＣＤカメラＢによって被検査体１
を撮影した画像から該被検査体１を検査する制御系の構
成について図６により説明する。尚、この制御部は１台
のＣＣＤカメラＢに対応して設けられるものであり、本
実施例のように４面体の被検査体１を搬送しつつ順次各
面の検査を行う場合、各ＣＣＤカメラＢに対応させて設
けられる。また各ＣＣＤカメラＢは予め設定された分解
能を満足し得るように、画素間距離は設定寸法と一致し
て配置される。Next, the inspection object 1 is detected by the CCD camera B.
The configuration of a control system for inspecting the inspection object 1 from an image obtained by photographing will be described with reference to FIG. The control unit is provided corresponding to one CCD camera B. When the inspection of each surface is sequentially performed while transporting the tetrahedral inspection object 1 as in this embodiment, each CCD camera B is provided. It is provided corresponding to the camera B. Each CCD camera B is arranged so that the pixel-to-pixel distance matches the set dimension so as to satisfy a preset resolution.
【００３６】図に於いて、11は２値化回路を含む２値化
制御部であり、被検査体１を撮影したＣＣＤカメラＢか
ら発生した電気信号を予め設定されたしきい値に応じて
２値信号に変換し、変換された画像信号をホールドして
一次記憶すると共に画像信号をテレビ受像機等のモニタ
ー13に伝達するものである。In the figure, reference numeral 11 denotes a binarization control unit including a binarization circuit, which converts an electric signal generated from the CCD camera B which has photographed the device under test 1 in accordance with a preset threshold value. The image signal is converted into a binary signal, the converted image signal is held and temporarily stored, and the image signal is transmitted to a monitor 13 such as a television receiver.
【００３７】12は演算部であり、２値化制御部11に記憶
された画像信号からシルエットＡに対応する信号を読み
出して面積を演算するものである。14は記憶部であり、
予め設定された正常な被検査体１に形成されるべきシル
エットＡに対応した面積情報を記憶するものである。15
は比較部であり、演算部12で演算した被検査体１のシル
エットＡの面積と記憶部14に記憶させた正常な被検査体
１のシルエットＡの面積を比較して比較結果に応じた比
較信号を出力するものである。16は判定部であり、比較
部15で発生した比較信号からＣＣＤカメラＢによって撮
影した被検査体１の良否を判定して夫々の判定結果に応
じた信号を出力するものである。Numeral 12 denotes an arithmetic unit which reads out a signal corresponding to the silhouette A from the image signal stored in the binarization control unit 11 and calculates the area. 14 is a storage unit,
The area information corresponding to the silhouette A to be formed on the normal subject 1 set in advance is stored. Fifteen
Denotes a comparison unit, which compares the area of the silhouette A of the test object 1 calculated by the calculation unit 12 with the area of the silhouette A of the normal test object 1 stored in the storage unit 14 and performs a comparison according to the comparison result. It outputs a signal. Reference numeral 16 denotes a determination unit which determines the quality of the object 1 imaged by the CCD camera B from the comparison signal generated by the comparison unit 15 and outputs a signal corresponding to each determination result.
【００３８】上記の如く構成された検査装置に於いて、
予め光軸２上に被検査体１を配置し、モニター13を監視
して明瞭なシルエットＡを形成し得るようにＣＣＤカメ
ラＢａ，Ｂｂのランプ３ａ，３ｂの光量を調整すると共
にＣＣＤ素子からの信号を２値化するしきい値を設定し
ておき、更に、記憶部14に正常な被検査体１のシルエッ
トＡの面積情報を記憶させる。この状態で振動発生部材
８を作動させて溝７ａに被検査体１を供給すると、この
被検査体１は溝７ａに沿って矢印ａ方向に連続的に搬送
されて光軸２を横断する。In the inspection device configured as described above,
The test object 1 is arranged on the optical axis 2 in advance, and the monitor 13 is monitored to adjust the light amounts of the lamps 3a and 3b of the CCD cameras Ba and Bb so that a clear silhouette A can be formed. A threshold value for binarizing the signal is set, and the storage unit 14 stores the normal area information of the silhouette A of the subject 1. In this state, when the vibration generating member 8 is operated to supply the test object 1 to the groove 7a, the test object 1 is continuously conveyed in the direction of the arrow a along the groove 7a and crosses the optical axis 2.
【００３９】溝７ａ内を搬送される被検査体１が光軸２
を横断したとき、例えばＣＣＤカメラＢｂによって撮影
したシルエットＡの画像が２値化制御部11に取り込ま
れ、個々の信号が２値化されて記憶され、同時にモニタ
ー13に表示される。演算部12では、２値化制御部11に記
憶された被検査体１のシルエットＡのデータを読み出し
て面積を演算し比較部15に伝達する。比較部15では、演
算部12で演算された被検査体１のシルエットＡの面積デ
ータと記憶部14に記憶させた面積データとを比較し、比
較した結果を判定部16に伝達する。判定部では、比較部
15で比較した結果を予め設定された許容範囲のデータと
を比較し、被検査体１のシルエットＡの面積が許容範囲
内に納まっている場合には良品と判定し、それ以外は不
良品として判定して夫々良品又は不良品に対応した信号
を発生する。The test object 1 conveyed in the groove 7a is the optical axis 2
, The image of the silhouette A taken by, for example, the CCD camera Bb is taken into the binarization control section 11, and individual signals are binarized and stored, and simultaneously displayed on the monitor 13. The calculation unit 12 reads the data of the silhouette A of the test object 1 stored in the binarization control unit 11, calculates the area, and transmits the calculated area to the comparison unit 15. The comparison unit 15 compares the area data of the silhouette A of the test object 1 calculated by the calculation unit 12 with the area data stored in the storage unit 14 and transmits the comparison result to the determination unit 16. In the judgment section, the comparison section
The result of the comparison in step 15 is compared with data in a preset allowable range. If the area of the silhouette A of the test object 1 falls within the allowable range, it is determined to be a non-defective product. Judgment is made to generate signals corresponding to good or defective products, respectively.
【００４０】上記の如くして被検査体１の１つの面に対
する検査を行うことが可能である。従って、溝７ａ内を
搬送される被検査体１の４面を連続的に検査する場合、
配置されたＣＣＤカメラＢ毎に同一の制御が行われ、各
面に対する判定結果が最下流側に配置されたＣＣＤカメ
ラＢの判定部16に伝達され、該判定部16では最終的な検
査結果としての判定がなされる。即ち、４つの面の何れ
かで不良として判定された場合、被検査体１は不良品と
して判定され、全ての面に良品として判定された場合に
のみ良品として判定される。As described above, it is possible to inspect one surface of the inspection object 1. Therefore, when continuously inspecting the four surfaces of the inspection object 1 conveyed in the groove 7a,
The same control is performed for each of the arranged CCD cameras B, and the judgment result for each surface is transmitted to the judgment unit 16 of the CCD camera B arranged at the most downstream side. Is determined. In other words, if any one of the four surfaces is determined to be defective, the test object 1 is determined to be defective, and only if all surfaces are determined to be non-defective, it is determined to be non-defective.
【００４１】上記の如くして被検査体１が良品として判
定された場合、判定部16から溝７ａの下流側に設けた図
示しないレバーに対し、不良品の通路を閉鎖するような
信号が伝達される。また被検査体１が不良品として判定
された場合、同様にレバーに対し良品側の通路を閉鎖す
るような信号が伝達される。When the test object 1 is determined as a non-defective product as described above, a signal for closing the path of the defective product is transmitted from the determination unit 16 to a lever (not shown) provided downstream of the groove 7a. Is done. If the test object 1 is determined to be defective, a signal is transmitted to the lever to close the non-defective path.
【００４２】尚、本実施例では溝７ａ内を搬送される被
検査体１の良否を判定するに当たり、シルエットＡの面
積を比較する場合について説明したが、この方式に限定
するものではないことは当然である。また本実施例では
ＣＣＤカメラＢによって撮影した画像信号を２値化した
データを利用して一連の処理を行っているが、必ずしも
２値化する必要はなく、所謂グレー処理しても良い。In this embodiment, the case where the areas of the silhouettes A are compared when judging the quality of the test object 1 conveyed in the groove 7a has been described. However, the present invention is not limited to this method. Of course. In this embodiment, a series of processing is performed using binarized data of an image signal captured by the CCD camera B. However, the processing is not necessarily binarized, and so-called gray processing may be performed.
【００４３】[0043]
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明に係る
物品の検査方法では、検査すべき物品の背面から光を照
射することによって該物品の輪郭線を明瞭に表現するこ
とが出来、且つ正面から光を照射することで検査すべき
面を明確にして、物品に形成された欠けや傷或いは窪
み、更に、外形形状や寸法等を正確に認識して検査する
ことが出来る。As described in detail above, in the article inspection method according to the present invention, the outline of the article can be clearly expressed by irradiating light from the back of the article to be inspected, and By irradiating light from the front, the surface to be inspected can be clarified, and chips, scratches or dents formed on the article, and the outer shape and dimensions can be accurately recognized and inspected.
【００４４】また本発明に係る検査装置では、上記検査
方法を実施することが出来る。即ち、搬送部材によって
搬送される物品をＣＣＤカメラによって撮影することで
シルエットを取り込み、該シルエットを所定の画像処理
すると共に予め記憶させた基準となる形状情報と比較す
ることで、良否の判定を行うことが出来る。従って、短
時間で正確な検査を行うことが出来る。In the inspection apparatus according to the present invention, the above inspection method can be implemented. That is, a silhouette is captured by photographing an article conveyed by the conveying member with a CCD camera, the silhouette is subjected to predetermined image processing, and is compared with reference shape information stored in advance to determine acceptability. I can do it. Therefore, an accurate inspection can be performed in a short time.
【００４５】特に、検査すべき物品の搬送経路に沿って
複数対の光照射部材及びＣＣＤカメラを配置し、夫々の
光軸を搬送経路に対し異なる角度を持って配置すること
で、検査すべき物品を搬送しつつ異なる方向から連続的
に検査することが出来る。In particular, a plurality of pairs of light irradiating members and a CCD camera are arranged along the transport path of the article to be inspected, and the respective optical axes are arranged at different angles with respect to the transport path to inspect. Inspection can be performed continuously from different directions while conveying the article.
【００４６】また搬送部材を光を透過させる材質によっ
て構成し、且つ搬送経路を検査すべき物品を嵌入させる
溝によって形成し、特に溝を三次元的に傾斜させること
で、物品の搬送方向を正確に案内することが出来、且つ
溝に嵌入して搬送される物品に生じるブレや振動を抑制
することが出来る。このため、検査の信頼性を向上させ
ると共に正確な検査を行うことが出来る。The transport member is made of a material that transmits light, and the transport path is formed by a groove into which the article to be inspected is fitted. In particular, by inclining the groove three-dimensionally, the transport direction of the article can be accurately determined. And vibrations and vibrations occurring in the articles to be conveyed while being fitted in the grooves can be suppressed. Therefore, it is possible to improve the reliability of the inspection and perform an accurate inspection.
【図１】物品の例としての実装部品の形状を説明する図
である。FIG. 1 is a diagram illustrating the shape of a mounted component as an example of an article.
【図２】本発明に係る検査方法の原理を説明する図であ
る。FIG. 2 is a diagram illustrating the principle of an inspection method according to the present invention.
【図３】実装部品に形成されたシルエットを説明する図
である。FIG. 3 is a diagram illustrating a silhouette formed on a mounted component.
【図４】本発明に係る検査装置の基本的な構成を説明す
る模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a basic configuration of an inspection device according to the present invention.
【図５】搬送部材の姿勢を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a posture of a transport member.
【図６】検査装置の制御系のブロック図である。FIG. 6 is a block diagram of a control system of the inspection device.
Ａ シルエット Ｂａ，Ｂｂ ＣＣＤカメラ １ 被検査体 １ａ 胴体 １ｂ フランジ ２ 光軸 ３ａ，３ｂ ランプ ４ａ，４ｂ レンズ ５，５ａ，５ｂ ハーフミラー ６，６ａ，６ｂ 光感知部材 ７ 搬送部材 ７ａ 溝 ７ｂ 硬質ガラス ８ 振動発生部材 11 ２値化制御部 12 演算部 13 モニター 14 記憶部 15 比較部 16 判定部 A Silhouette Ba, Bb CCD camera 1 Inspection object 1a Body 1b Flange 2 Optical axis 3a, 3b Lamp 4a, 4b Lens 5, 5a, 5b Half mirror 6, 6a, 6b Light sensing member 7 Transport member 7a Groove 7b Hard glass 8 Vibration generating member 11 Binarization control unit 12 Operation unit 13 Monitor 14 Storage unit 15 Comparison unit 16 Judgment unit
Claims (5)
部材から同時に光を照射すると共に前記光照射部材の間
に検査すべき面を光に対向させて物品を配置し、該物品
の検査すべき面と外形形状を認識して検査することを特
徴とする物品の検査方法。1. An article is arranged by simultaneously irradiating light from light irradiating members arranged on the same optical axis so as to face each other, and arranging an article between the light irradiating members such that a surface to be inspected faces the light. A surface to be inspected and an outer shape are recognized and inspected.
照射部材と、前記光照射部材の間で且つ前記光軸を横断
する方向に設けられ検査すべき物品を搬送する搬送部材
と、前記光軸上に配置されたＣＣＤカメラと予め検査す
べき物品の形状情報を記憶する記憶手段と前記ＣＣＤカ
メラによって撮影した画像情報と前記記憶手段に記憶さ
せた検査すべき物品の形状情報を比較して良否を判定す
る判定手段とを有する制御装置とを有することを特徴と
する検査装置。2. A pair of light irradiating members arranged on one optical axis so as to face each other, and a conveying member provided between said light irradiating members and in a direction transverse to said optical axis to convey an article to be inspected. A CCD camera arranged on the optical axis, storage means for storing shape information of the article to be inspected in advance, image information taken by the CCD camera, and shape information of the article to be inspected stored in the storage means And a control device having a determining means for determining whether the pass / fail is good or bad.
送経路に沿って複数対の光照射部材及びＣＣＤカメラが
配置され、夫々の光照射部材及びＣＣＤカメラの光軸は
前記搬送経路に対し相対的に異なる角度を持って配置さ
れることを特徴とする請求項２に記載した検査装置。3. A plurality of pairs of light irradiation members and a CCD camera are arranged along a conveyance path of an article to be inspected by the conveyance member, and an optical axis of each of the light irradiation members and the CCD camera is relative to the conveyance path. 3. The inspection apparatus according to claim 2, wherein the inspection apparatuses are arranged at different angles.
って構成され、且つ搬送経路が検査すべき物品を嵌入さ
せる溝によって形成されることを特徴とする請求項２又
は３に記載した検査装置。4. The inspection apparatus according to claim 2, wherein the transport member is made of a material that transmits light, and the transport path is formed by a groove into which an article to be inspected is fitted.
あり、且つ三次元的に傾斜していることを特徴とする請
求項４に記載した検査装置。5. The inspection apparatus according to claim 4, wherein a groove formed in the transport member is linear and is three-dimensionally inclined.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26402696A JPH10111115A (en) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | Method and device for inspection of article |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26402696A JPH10111115A (en) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | Method and device for inspection of article |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10111115A true JPH10111115A (en) | 1998-04-28 |
Family
ID=17397528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26402696A Pending JPH10111115A (en) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | Method and device for inspection of article |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10111115A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070164A (en) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Inoac Corp | Roller testing method |
| CN117078743A (en) * | 2023-10-16 | 2023-11-17 | 东莞市兆丰精密仪器有限公司 | Method and system for calculating area of silver paste line of circuit board based on image |
-
1996
- 1996-10-04 JP JP26402696A patent/JPH10111115A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070164A (en) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Inoac Corp | Roller testing method |
| CN117078743A (en) * | 2023-10-16 | 2023-11-17 | 东莞市兆丰精密仪器有限公司 | Method and system for calculating area of silver paste line of circuit board based on image |
| CN117078743B (en) * | 2023-10-16 | 2024-02-06 | 东莞市兆丰精密仪器有限公司 | Method and system for calculating area of silver paste line of circuit board based on image |
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