JPH10105953A - Magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a high output by making a medium into a magnetic record ing medium on which a signal is recorded and of which a difference between a signal output at the time of reproducing with a same speed as of recording and that at the time of reproducing with a speed two times as fast as of record ing is reduced. SOLUTION: In a magnetic recording medium having a magnetic layer famed on a tape form non-magnetic substrate, it is made possible to obtain a high output especially in frequencies of 20MHz or higher, by reducing a difference between a signal output at the time of reproducing with a same speed as of recording and that at the time of reproducing with a speed two times as fast as of recording. Here, it is preferable to use a signal of a wavelength of 0.50μm or shorter at the time of measuring a difference between outputs of recording and reproducing and it is recommended to select a wavelength so that a difference between the used signal and an output is within a range of 2.0-4.5dB.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録媒体に関す
るものである。より詳しくは、高い出力特に２０ＭＨｚ
以上で高い出力を得ることができる磁気記録媒体に関す
る。[0001] The present invention relates to a magnetic recording medium. More specifically, high power, especially 20MHz
The above relates to a magnetic recording medium capable of obtaining a high output.

【０００２】[0002]

【従来の技術】磁気記録媒体例えば磁気テープにおい
て、その高性能化には近年目覚しいものがある。磁気テ
ープではビデオテープを例にとるとＶＨＳ、８ｍｍビデ
オテープ、ＤＶＣと小型化が進み、一方では高密度記録
化も進んでいる。ところで磁気記録媒体上の磁性層は、
その記録密度が低い時には酸化物系の磁性材料を塗布す
る方法によって形成されていた。しかし記録密度が高く
なるにつれ、磁性層の膜厚が厚いあるいは磁性層を形成
する磁性粒子が大きいといった点により塗布法による磁
性層では要求される性能を十分に満足できなくなった。
酸化物系磁性体に比較して良好な磁気特性を持つＦｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁性元素を主成分とする金属あるいは
合金系の磁性層を真空成膜法により支持体上に形成する
金属薄膜磁性層は酸化物系磁性体を塗布して磁性層とす
る場合よりも膜厚を薄くすることができ、またバインダ
ーを含まないため磁性材料の密度をあげることができる
ことにより、磁気記録媒体における磁性層の主流となっ
た。さらに金属薄膜磁性層は、支持体に対する垂直方向
の構造を容易に制御することができ、長手磁気記録と比
較して高密度記録やディジタル記録に適しているとして
注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, there has been a remarkable improvement in performance of a magnetic recording medium such as a magnetic tape. As for magnetic tapes, taking video tapes as an example, VHS, 8 mm video tapes, and DVCs have been reduced in size, while high-density recording has also been advanced. By the way, the magnetic layer on the magnetic recording medium
When the recording density is low, it is formed by a method of applying an oxide-based magnetic material. However, as the recording density increases, the performance required for the magnetic layer formed by the coating method cannot be sufficiently satisfied because the thickness of the magnetic layer is large or the magnetic particles forming the magnetic layer are large.
Fe, which has better magnetic properties than oxide-based magnetic materials,
A metal or alloy magnetic layer mainly composed of a ferromagnetic element such as Co or Ni is formed on a support by a vacuum film forming method. A metal thin film magnetic layer is formed by applying an oxide magnetic material to a magnetic layer. The thickness of the magnetic layer can be made smaller than that of the magnetic recording medium, and the density of the magnetic material can be increased because it does not contain a binder. Further, the metal thin film magnetic layer has attracted attention because it can easily control the structure in the direction perpendicular to the support, and is suitable for high-density recording and digital recording as compared with longitudinal magnetic recording.

【０００３】ところで高域での特性を改善するために磁
性層を多層化することが行われており、多くの試みもな
されている。本件出願人により複数層の磁性層を形成す
るコラムの成長方向を媒体走行方向に傾斜させかつ媒体
に近いほど傾斜角度が大きくなるようにして高周波特性
を改善する試みが特開平６−１１１２６７号に、複数層
の磁性層を有し媒体に近いほど傾斜角度が大きくかつ隣
り合う層のコラムの成長方向が逆方向を向くようにして
テープの走行方向に関係なく高周波での特性を改善する
試みが特開平６−１３９５４１号にそれぞれなされてい
る。By the way, in order to improve the characteristics in a high frequency range, a magnetic layer is multi-layered, and many attempts have been made. Japanese Patent Application Laid-Open No. HEI 6-111267 discloses an attempt by the present applicant to improve the high-frequency characteristics by inclining the growth direction of a column for forming a plurality of magnetic layers in the medium running direction and increasing the inclination angle closer to the medium. Attempts have been made to improve the characteristics at high frequencies irrespective of the running direction of the tape by making the inclination direction larger in the direction closer to the medium having a plurality of magnetic layers and closer to the medium so that the growth direction of the column of the adjacent layer is oriented in the opposite direction. This is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-139541.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ビデオカメラの急速な
普及と急速な高性能化に伴い、磁気テープにもより一層
の高性能化が求められている。例えば小型化に対しては
支持体や磁気テープを構成する各層の膜厚を薄くするこ
とにより、また高密度記録化に対しては金属薄膜磁性層
を形成することにより改善がなされてきた。しかしさら
に高周波における高出力が実現されなければ実用材とし
ての性能は不十分である。上記の提案により高周波特に
おける出力は改善されたが、未だ要求される特性を十分
に満足していないのが現状である。ここで本件発明者
は、テープ状の非磁性支持体上に形成された磁性層を有
する磁気記録媒体において、信号を記録し、記録した時
と同じ速度において再生した時に得られる信号出力と記
録した時の速度の２倍の速度において再生した時に得ら
れる信号出力の差を小さくすることにより、高い出力を
得ることができる、特に２０ＭＨｚ以上での出力を高く
することのできることを見出し、本発明を完成させるに
至った。With the rapid spread of video cameras and the rapid increase in performance thereof, magnetic tapes are also required to have higher performance. For example, miniaturization has been improved by reducing the thickness of each layer constituting a support or a magnetic tape, and high-density recording has been improved by forming a metal thin-film magnetic layer. However, if high output at a high frequency is not realized, the performance as a practical material is insufficient. Although the output in the high-frequency characteristic has been improved by the above proposal, the required characteristics have not yet been sufficiently satisfied. Here, the present inventor recorded a signal on a magnetic recording medium having a magnetic layer formed on a tape-shaped non-magnetic support, and recorded a signal output obtained when the signal was reproduced at the same speed as the recording. It has been found that by reducing the difference in signal output obtained at the time of reproduction at twice the speed of the time, a high output can be obtained, in particular, an output at 20 MHz or higher can be increased. It was completed.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明により得られる磁
気記録媒体は、テープ状の非磁性支持体上に形成された
磁性層を有する磁気記録媒体において、信号を記録し、
記録した時と同じ速度において再生した時に得られる信
号出力と記録した時の速度の２倍の速度において再生し
た時に得られる信号出力の差が小さいことを特徴とし、
高出力を得ることができる、特に２０ＭＨｚ以上での出
力を高くすることができる磁気テープである。ここで磁
気記録媒体に対して、高周波波長の信号を記録・再生し
出力差を測定する際には特に波長は限定しないが、磁気
記録媒体の特性を明確に測定するあるいは実用的な観点
からは０．５０μｍ以下の波長の信号を用いることが好
ましい。さらにその信号に対して出力の差が２．０〜
４．５ｄＢである。According to the present invention, there is provided a magnetic recording medium comprising: a magnetic recording medium having a magnetic layer formed on a tape-shaped non-magnetic support;
Characterized in that the difference between the signal output obtained when reproduced at the same speed as when recording and the signal output obtained when reproduced at twice the speed at the time of recording is small,
This is a magnetic tape capable of obtaining a high output, particularly, an output at 20 MHz or higher. Here, when recording / reproducing a high-frequency wavelength signal and measuring the output difference with respect to the magnetic recording medium, the wavelength is not particularly limited, but from the viewpoint of clearly measuring the characteristics of the magnetic recording medium or from a practical viewpoint. It is preferable to use a signal having a wavelength of 0.50 μm or less. Furthermore, the output difference for the signal is 2.0 to
It is 4.5 dB.

【０００６】本発明に使用される非磁性支持体はポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）が価格の点からは好ま
しい。しかし他にも、ポリエチレンナフタレートのよう
なポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン、セルローストリアセテート、セルロース
ジアセテート等のセルロース誘導体、ポリカーボネー
ト、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、芳香族ポリアミド等
のプラスチック等を使用することができる。これら非磁
性支持体の厚さは一般に５０μｍ程度の厚さまで考えら
れるが、今後の実用的な観点からは６．３μｍ以下であ
ることが好ましい。As the non-magnetic support used in the present invention, polyethylene terephthalate (PET) is preferable in terms of cost. However, in addition, use of polyesters such as polyethylene naphthalate, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate, and plastics such as polycarbonate, polyvinyl chloride, polyimide, and aromatic polyamide. Can be. The thickness of these non-magnetic supports is generally considered to be about 50 μm, but is preferably 6.3 μm or less from a practical viewpoint in the future.

【０００７】本発明において金属薄膜型磁性層は真空成
膜法により形成される。金属薄膜型磁性層を形成する磁
性材料としては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒体の製
造に用いられる強磁性金属材料が挙げられる。例えばＣ
ｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等の強磁性金属、あるいはＦｅ−Ｃｏ、
Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃ
ｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、
Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−Ｓｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｎ
ｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ｓｂ、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆｅ
−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、
Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ等の強磁性合金が挙げられる。特に磁
気記録媒体に使用する磁性材料の磁気特性の点からは、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅを主体とする強磁性合金およびこれら
の窒化物もしくは炭化物から選ばれる少なくとも一種類
が好ましい。真空成膜の際に酸化性ガスを導入して磁性
層表面に酸化物層を形成することにより耐久性の向上を
図ることができる。真空成膜による磁性層は一層でも二
層以上の多層でも良いが、高密度記録のためには多層と
することが好ましく、実用的な範囲としては２〜３層以
上が適当である。磁性層を形成する際の真空成膜方法は
限定されないが、非磁性支持体上に蒸着により磁気記録
媒体の磁性層が形成されることが好ましい。蒸着の方法
は特に限定されず、従来よりの公知の方法に準ずる。金
属薄膜型磁性層の厚さは限定されないが、５００〜５０
００Åが好ましく、特に実用範囲としては８００〜３０
００Åが好ましい。なお二層の場合には、下層が２００
〜２０００Å程度、上層が１００〜１０００Å程度が好
ましく、三層の場合には下層が２００〜２０００Å程
度、中層が２００〜２０００Å程度、上層が１００〜１
０００Å程度が好ましい。特に本発明においては、良好
な磁気特性を得るために磁性層を３層以上とすることが
好ましい。また磁性層のうち非磁性支持体に最も近い層
と最も遠い層はともに垂直なコラム構造を有し、他の磁
性層は傾斜するコラム構造を有することが好ましい。In the present invention, the metal thin film type magnetic layer is formed by a vacuum film forming method. Examples of the magnetic material for forming the metal thin film type magnetic layer include ferromagnetic metal materials used for manufacturing a normal metal thin film type magnetic recording medium. For example, C
o, Ni, a ferromagnetic metal such as Fe, or Fe-Co,
Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-C
u, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La,
Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, N
i-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe
-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr,
Ferromagnetic alloys such as Ni-Co-Cr are exemplified. In particular, from the viewpoint of the magnetic properties of the magnetic material used for the magnetic recording medium,
At least one selected from ferromagnetic alloys mainly composed of Co, Ni, and Fe and nitrides or carbides thereof is preferable. The durability can be improved by introducing an oxidizing gas at the time of vacuum film formation to form an oxide layer on the surface of the magnetic layer. The magnetic layer formed by vacuum film formation may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but is preferably a multilayer for high-density recording, and a practical range of two to three layers is appropriate. The method of vacuum film formation for forming the magnetic layer is not limited, but the magnetic layer of the magnetic recording medium is preferably formed on a non-magnetic support by vapor deposition. The method of vapor deposition is not particularly limited, and follows a conventionally known method. The thickness of the metal thin-film type magnetic layer is not limited.
00 ° is preferable, and particularly, 800 to 30 as a practical range.
00 ° is preferred. In the case of two layers, the lower layer is 200
The upper layer is preferably about 100-1000 °, and in the case of three layers, the lower layer is about 200-2000 °, the middle layer is about 200-2000 °, and the upper layer is 100-1.
It is preferably about 000 °. In particular, in the present invention, it is preferable to provide three or more magnetic layers in order to obtain good magnetic properties. Further, it is preferable that the layer closest to the nonmagnetic support and the layer farthest from the nonmagnetic support both have a vertical column structure, and the other magnetic layers preferably have an inclined column structure.

【０００８】非磁性支持体の磁性層が形成される面とは
反対の面にバックコート層を形成しても良い。バックコ
ート層は、カーボンブラック等を適当な溶剤に分散させ
た液を塗布して形成しても良いし、金属または半金属を
物理的蒸着法特に熱蒸発法やスパッタリング法により蒸
着させて形成しても良い。バックコート層の厚さは特に
限定されないが、塗布により形成される場合には乾燥後
の厚さが０．４〜１．０μｍ、物理的蒸着法により形成
される場合には０．０５〜１．０μｍ程度である。[0008] A backcoat layer may be formed on the surface of the non-magnetic support opposite to the surface on which the magnetic layer is formed. The back coat layer may be formed by applying a liquid in which carbon black or the like is dispersed in an appropriate solvent, or by forming a metal or metalloid by physical vapor deposition, particularly thermal evaporation or sputtering. May be. Although the thickness of the back coat layer is not particularly limited, the thickness after drying is 0.4 to 1.0 μm when formed by coating, and 0.05 to 1 when formed by physical vapor deposition. It is about 0.0 μm.

【０００９】また磁気記録媒体の耐久性および耐食性を
向上させる目的で、磁性層およびバックコート層の上に
高硬度薄膜の保護層を設けることができる。このような
保護層は、例えばダイヤモンドライクカーボン、炭化ホ
ウ素、炭化珪素、窒化ホウ素、窒化珪素、酸化珪素、酸
化アルミニウム等の炭化物、窒化物、酸化物のような非
磁性材料からなり、ＣＶＤ法やＰＶＤ法により成膜され
る。保護層の厚さは保護層の機能の点から５０〜３００
Åであることが好ましい。For the purpose of improving the durability and corrosion resistance of the magnetic recording medium, a protective layer of a high hardness thin film can be provided on the magnetic layer and the back coat layer. Such a protective layer is made of a non-magnetic material such as carbide, nitride, or oxide such as diamond-like carbon, boron carbide, silicon carbide, boron nitride, silicon nitride, silicon oxide, or aluminum oxide. The film is formed by the PVD method. The thickness of the protective layer is 50 to 300 in view of the function of the protective layer.
Å is preferred.

【００１０】磁性層上の保護層とバックコート層の上あ
るいは磁性層上の保護層とバックコート層上の保護層の
上には、適当な潤滑剤からなる潤滑層を形成しても良
い。潤滑層は、潤滑剤を適当な溶剤に溶解させたものを
塗布して形成しても良いし、真空中で潤滑剤を噴霧する
方法により形成しても良い。潤滑剤としては、塗布ある
いは噴霧いずれの場合にも、パーフルオロポリエーテル
等のフッ素系潤滑剤が潤滑性の点から好ましく、例えば
パーフルオロポリエーテルとしては分子量２０００〜５
０００のものが好適である。潤滑剤の塗布量あるいは噴
霧量は、磁気記録媒体の用途や潤滑剤の種類により適宜
決定されるが、形成される潤滑層の厚さは５〜１００Å
程度である。[0010] A lubricating layer made of a suitable lubricant may be formed on the protective layer on the magnetic layer and the back coat layer or on the protective layer on the magnetic layer and the protective layer on the back coat layer. The lubricating layer may be formed by applying a solution obtained by dissolving a lubricant in an appropriate solvent, or may be formed by spraying the lubricant in a vacuum. As the lubricant, a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether is preferable from the viewpoint of lubricating property in either application or spraying. For example, the molecular weight of perfluoropolyether is 2,000 to 5,
000 are preferred. The amount of the lubricant to be applied or sprayed is determined as appropriate depending on the use of the magnetic recording medium and the type of the lubricant.
It is about.

【００１１】[0011]

【発明の実施の形態】図１は、本発明の磁気記録媒体を
製造するのに適した蒸着装置１の一例を示している。こ
こには図示しない真空排気装置に接続された真空チャン
バ２と、真空チャンバ２内に設けられた冷却キャンロー
ル３と、この冷却キャンロール３上でＰＥＴフィルム等
の非磁性支持体４を走行させるための巻き出しロール５
および巻き取りロール６を含んでいる。冷却キャンロー
ル３の回転軸鉛直下方には蒸発源としてルツボ７が配置
され、このルツボ７内に磁性材料、例えば金属コバルト
が収容される。真空チャンバ２には電子銃８が配置さ
れ、ルツボ７に向け電子ビームを照射し、ルツボ７内の
金属コバルトを蒸発するようになっている。ルツボ７と
冷却キャンロール３の間には、電子ビームにより蒸発し
たルツボ７から冷却キャンロール３へ向かう金属コバル
ト蒸気の非磁性支持体４への最小入射角および最大入射
角を限定するための防着板９、９’が配置されている。
また防着板９と冷却キャンロール３との間には酸素ガス
を供給するためのノズル１０が配置されている。FIG. 1 shows an example of a vapor deposition apparatus 1 suitable for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention. Here, a vacuum chamber 2 connected to a vacuum evacuation device (not shown), a cooling can roll 3 provided in the vacuum chamber 2, and a nonmagnetic support 4 such as a PET film running on the cooling can roll 3. Unwinding roll 5 for
And a take-up roll 6. A crucible 7 is disposed vertically below the rotation axis of the cooling can roll 3 as an evaporation source, and a magnetic material, for example, metallic cobalt is accommodated in the crucible 7. An electron gun 8 is arranged in the vacuum chamber 2 and irradiates the crucible 7 with an electron beam to evaporate metallic cobalt in the crucible 7. Between the crucible 7 and the cooling can roll 3, a protection for limiting the minimum incident angle and the maximum incident angle of the metal cobalt vapor from the crucible 7 evaporated by the electron beam toward the cooling can roll 3 to the non-magnetic support 4. The landing plates 9 and 9 'are arranged.
A nozzle 10 for supplying oxygen gas is disposed between the deposition preventing plate 9 and the cooling can roll 3.

【００１２】こうした蒸着装置１を用いて本発明による
磁気記録媒体を製造するには以下のとおりである。すな
わち、真空排気装置により真空チャンバ２内を所定の真
空度とした後、巻き出しロール５から非磁性支持体４を
冷却キャンロール３上へと走行させる。この時非磁性支
持体には、予めバックコートが支持性支持体上の磁性層
を形成する面とは反対の面に形成されていても、形成さ
れていなくてもどちらでも良い。電子銃８からルツボ７
に向け電子ビームを照射し、ルツボ７内の金属コバルト
を溶融蒸発させ、非磁性支持体４に対して蒸着を行う。
これはノズル１０より供給される酸素の存在下において
行われる。このように処理された非磁性支持体４は巻き
取りロール６上に巻き取られる。この後必要があればバ
ックコート層上に保護層が形成される。さらに予め磁性
層およびその磁性層の上に保護層を形成してあるものに
ついては直ちに、そうでないものについては磁性層を形
成した後あるいは磁性層の上に保護層を形成した後に、
必要に応じて磁性層の上、バックコート層の上、磁性層
上の保護層の上、バックコート層上の保護層の上に潤滑
層を形成する。潤滑層の形成は上述したとおり、フッ素
系潤滑剤を大気中で塗布し、あるいは真空中で噴霧する
ことにより形成する。この後さらに必要があれば非磁性
支持体上の磁性層の上にＥＣＲプラズマＣＶＤ法を用い
てダイヤモンドライクカーボンからなる保護層を形成
し、塗布法によりパーフルポリエーテル系の潤滑剤を塗
布し潤滑層を形成しても良い。必要な各層の成膜が終了
した後、一般的な方法によりスリッティング、巻き込
み、カセット組み込み等が行われる。さらにドラムテス
ターを用いて出力の測定が行われる。The manufacture of a magnetic recording medium according to the present invention using such a vapor deposition apparatus 1 is as follows. That is, after the inside of the vacuum chamber 2 is evacuated to a predetermined degree by the vacuum exhaust device, the non-magnetic support 4 is run from the unwinding roll 5 onto the cooling can roll 3. At this time, the back coat may or may not be formed on the nonmagnetic support in advance on the surface opposite to the surface on which the magnetic layer is formed on the supportive support. Crucible 7 from electron gun 8
Is irradiated with an electron beam to melt and evaporate the metallic cobalt in the crucible 7, and vapor deposition is performed on the nonmagnetic support 4.
This is performed in the presence of oxygen supplied from the nozzle 10. The non-magnetic support 4 thus treated is wound on a take-up roll 6. Thereafter, if necessary, a protective layer is formed on the back coat layer. Further, immediately after the protective layer has been formed on the magnetic layer and the magnetic layer in advance, immediately after the protective layer is formed on the magnetic layer or on the magnetic layer, if not.
If necessary, a lubricating layer is formed on the magnetic layer, on the back coat layer, on the protective layer on the magnetic layer, and on the protective layer on the back coat layer. As described above, the lubricating layer is formed by applying a fluorine-based lubricant in the air or spraying it in a vacuum. After this, if necessary, a protective layer made of diamond-like carbon is formed on the magnetic layer on the non-magnetic support by using the ECR plasma CVD method, and a perfluoropolyether-based lubricant is applied by a coating method. A lubrication layer may be formed. After the formation of the necessary layers is completed, slitting, wrapping, assembling into a cassette, and the like are performed by a general method. Further, the output is measured using a drum tester.

【００１３】[0013]

【実施例】【Example】

実施例 図１のような真空蒸着装置１を用いて厚さ６．３μｍの
ＰＥＴフィルム上に金属コバルトの多層膜よりなる磁性
層を成膜した。成膜条件は以下のとおりである。なお非
磁性支持体に最も近い層から順に１層、２層、３層、・
・・とした。Example A magnetic layer composed of a multilayer film of metal cobalt was formed on a 6.3 μm-thick PET film using a vacuum evaporation apparatus 1 as shown in FIG. The film forming conditions are as follows. Note that one layer, two layers, three layers,...
・ ・

【００１４】[0014]

【表１】 [Table 1]

【００１５】また電子銃の出力はいずれの場合にも３０
ｋＷとした。その後保護層としてＥＣＲプラズマＣＶＤ
法によりダイヤモンドライクカーボンを１００Å成膜
し、この保護層の上にフッ素系潤滑剤を乾燥後の膜厚が
２０Åとなるようにコーティングし、さらにＰＥＴフィ
ルム上の磁性層とは反対の面にアルミニウムからなるバ
ックコート層を２０００Å、蒸着により付着させた。以
上のようにして得られた磁気記録媒体を８ｍｍ幅に切り
出し、８ｍｍビデオカセットを作製した。支持体表面に
対して垂直かつ支持体長手方向に平行な面の断面構造は
実施例１、２、３についてそれぞれ非磁性支持体に最も
近い層と最も遠い層では垂直コラム構造をとり、それら
に挟まれた中間の層では斜めに傾斜したコラム構造とな
っていた。The output of the electron gun is 30 in each case.
kW. Then ECR plasma CVD as a protective layer
A diamond-like carbon film is formed to a thickness of 100 mm by a method, and a fluorine-based lubricant is coated on this protective layer so that the film thickness after drying becomes 20 mm. Further, aluminum is coated on the surface of the PET film opposite to the magnetic layer. Was deposited by vapor deposition at 2000 °. The magnetic recording medium obtained as described above was cut out to a width of 8 mm to produce an 8 mm video cassette. The cross-sectional structure of a plane perpendicular to the surface of the support and parallel to the longitudinal direction of the support has a vertical column structure in the layers closest to the non-magnetic support and the layers farthest from the non-magnetic support in Examples 1, 2, and 3, respectively. The sandwiched middle layer had a column structure that was obliquely inclined.

【００１６】比較例１ 通常の斜め蒸着により厚さ６．３μｍのＰＥＴフィルム
上に金属コバルトの磁性層を二層成膜した。成膜条件
は、電子銃の出力３０ｋＷ、フィルムの走行速さは毎秒
２．５ｍ、酸素ガス導入量は１２ＳＣＣＭとした。その
後保護層としてＥＣＲプラズマＣＶＤ法によりダイヤモ
ンドライクカーボンを１００Å成膜し、この保護層の上
にフッ素系潤滑剤を乾燥後の膜厚が２０Åとなるように
コーティングし、さらにＰＥＴフィルム上の磁性層とは
反対の面にアルミニウムからなるバックコート層を２０
００Å、蒸着により付着させた。以上のようにして得ら
れた磁気記録媒体を８ｍｍ幅に切り出し、８ｍｍビデオ
カセットを作製した。得られた磁気テープの磁性層は同
じ方向に傾斜を持つ二層のコラム構造を有し、膜厚はそ
れぞれ１０００Åであった。Comparative Example 1 Two magnetic layers of metallic cobalt were formed on a PET film having a thickness of 6.3 μm by ordinary oblique deposition. The film forming conditions were as follows: the output of the electron gun was 30 kW, the running speed of the film was 2.5 m / sec, and the amount of introduced oxygen gas was 12 SCCM. Thereafter, as a protective layer, diamond-like carbon is deposited to a thickness of 100 ° by ECR plasma CVD, and a fluorine-based lubricant is coated on the protective layer so that the thickness after drying becomes 20 °. A backcoat layer made of aluminum on the opposite side
00 °, deposited by evaporation. The magnetic recording medium obtained as described above was cut out to a width of 8 mm to produce an 8 mm video cassette. The magnetic layer of the obtained magnetic tape had a two-layer column structure inclined in the same direction, and each had a thickness of 1000 °.

【００１７】比較例２ 通常の斜め蒸着により厚さ６．３μｍのＰＥＴフィルム
上に単層の金属コバルトの磁性層を成膜した。成膜条件
は、電子銃の出力３０ｋＷ、フィルムの走行速さは毎秒
１．４ｍ、酸素ガス導入量は６ＳＣＣＭとした。その後
保護層としてＥＣＲプラズマＣＶＤ法によりダイヤモン
ドライクカーボンを１００Å成膜し、この保護層の上に
フッ素系潤滑剤を乾燥後の膜厚が２０Åとなるようにコ
ーティングし、さらにＰＥＴフィルム上の磁性層とは反
対の面にアルミニウムからなるバックコート層を２００
０Å、蒸着により付着させた。以上のようにして得られ
た磁気記録媒体を８ｍｍ幅に切り出し、８ｍｍビデオカ
セットを作製した。得られた磁気テープの磁性層の膜厚
は２０００Åであった。Comparative Example 2 A single magnetic layer of metallic cobalt was formed on a PET film having a thickness of 6.3 μm by ordinary oblique evaporation. The deposition conditions were as follows: the output of the electron gun was 30 kW, the running speed of the film was 1.4 m / sec, and the amount of introduced oxygen gas was 6 SCCM. Thereafter, a diamond-like carbon film was formed as a protective layer by ECR plasma CVD at a thickness of 100 °, and a fluorine-based lubricant was coated on the protective layer so as to have a thickness of 20 ° after drying. A backcoat layer made of aluminum on the opposite side to 200
0 °, deposited by evaporation. The magnetic recording medium obtained as described above was cut out to a width of 8 mm to produce an 8 mm video cassette. The thickness of the magnetic layer of the obtained magnetic tape was 2000 °.

【００１８】性能評価 実施例および比較例により得られた磁気記録媒体に対し
て、０．４９μｍの波長の信号に対して記録した時と
同じ速度で再生した出力と記録した時の２倍の速度で再
生した時の出力の差をドラムテスターを用いて測定し
た。結果は表２に示すとおりである。記録波長を変化
させてドラムテスターを用いて出力の測定を行った。比
較例１の出力を０ｄＢとして基準とした。結果は表３に
示すとおりである。Performance Evaluation The magnetic recording media obtained in the examples and comparative examples were reproduced at the same speed as when recording a signal having a wavelength of 0.49 μm and twice as fast as when recording. Was measured using a drum tester. The results are as shown in Table 2. The output was measured using a drum tester while changing the recording wavelength. The output of Comparative Example 1 was set to 0 dB as a reference. The results are as shown in Table 3.

【００１９】[0019]

【表２】 [Table 2]

【００２０】[0020]

【表３】 [Table 3]

【００２１】[0021]

【発明の効果】本発明によれば、テープ状の非磁性支持
体上に形成された磁性層を有する磁気記録媒体におい
て、信号を記録し、記録した時と同じ速度において再生
した時に得られる信号出力と記録した時の速度の２倍の
速度において再生した時に得られる信号出力の差が小さ
いことを特徴とする磁気記録媒体を得ることにより、高
い出力を得ることができる、特に２０ＭＨｚ以上で高い
出力を実現できる磁気記録媒体を得ることができる。According to the present invention, in a magnetic recording medium having a magnetic layer formed on a tape-like non-magnetic support, a signal obtained when a signal is recorded and reproduced at the same speed as the recording is obtained. A high output can be obtained by obtaining a magnetic recording medium characterized in that the difference between the output and the signal output obtained at the time of reproduction at twice the speed at the time of recording is high, especially at 20 MHz or higher. A magnetic recording medium capable of realizing output can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の磁気記録媒体の製造に使用することが
できる真空蒸着装置の一例を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an example of a vacuum evaporation apparatus that can be used for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention.

【図２】本発明により得られる磁気記録媒体の支持体表
面に対して垂直かつ支持体長手方向に平行な面の断面構
造を示すモデル図である。FIG. 2 is a model diagram showing a cross-sectional structure of a surface of a magnetic recording medium obtained by the present invention, which is perpendicular to the surface of the support and parallel to the longitudinal direction of the support.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 真空蒸着装置 ２ 真空チャンバ ３ 冷却キャンロール ４ 非磁性支持体 ５ 巻き出しロール ６ 巻き取りロール ７ ルツボ ８ 電子銃 ９、９’防着板 １０ ガスノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum vapor deposition apparatus 2 Vacuum chamber 3 Cooling can roll 4 Non-magnetic support 5 Unwind roll 6 Take-up roll 7 Crucible 8 Electron gun 9, 9 'deposition-proof plate 10 Gas nozzle

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 テープ状の非磁性支持体上に形成された
磁性層を有する磁気記録媒体において、信号を記録し、
記録した時と同じ速度において再生した時に得られる信
号出力と記録した時の速度の２倍の速度において再生し
た時に得られる信号出力の差が小さいことを特徴とする
磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium having a magnetic layer formed on a tape-shaped non-magnetic support, on which signals are recorded,
A magnetic recording medium characterized in that the difference between the signal output obtained when reproducing at the same speed as when recording and the signal output obtained when reproducing at twice the speed at the time of recording is small. 【請求項２】 前記出力差が高周波波長の信号に対して
２．０〜４．５ｄＢである請求項１に記載の磁気記録媒
体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the output difference is 2.0 to 4.5 dB for a signal of a high-frequency wavelength. 【請求項３】 前記磁性層が真空中で斜め蒸着法により
成膜される請求項１または２に記載の磁気記録媒体。3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic layer is formed by oblique deposition in a vacuum. 【請求項４】 前記磁性層が少なくとも三層の薄膜より
形成される請求項１〜３のいずれか１項に記載の磁気記
録媒体。4. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein said magnetic layer is formed of at least three thin films. 【請求項５】 前記磁性層の非磁性支持体に最も近い層
と最も遠い層がともに垂直なコラム構造を有することを
特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の磁気記
録媒体。5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein both a layer closest to the nonmagnetic support and a layer farthest from the nonmagnetic support have a vertical column structure. .