JPH1010310A

JPH1010310A - カラーフィルタの製造法およびカラーフィルタ

Info

Publication number: JPH1010310A
Application number: JP16746096A
Authority: JP
Inventors: Manabu Saito; 学斉藤; Hiroshi Yamazaki; 宏山崎; Hiromi Furubayashi; 寛巳古林
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 1996-06-27
Filing date: 1996-06-27
Publication date: 1998-01-16

Abstract

(57)【要約】【課題】作業性がよく、かつ高精度に平坦性に優れた
多色の微細パターンを形成できるカラーフィルタの製造
法及びカラーフィルタを提供する。【解決手段】透明基板上に、ベースフィルム及び着色
された感光性樹脂層を有する感光性フィルムを、着色さ
れた感光性樹脂層が前記基板に接するように張り合わせ
る工程、その後、着色された感光性樹脂層を所定のパタ
ーンに露光する工程及び露光後、ベースフィルムを剥が
して現像する工程を繰り返すことによって多色のパター
ンを形成するカラーフィルタの製造法において、所定の
膜厚の多色パターン形成する際に、多色パターンの所定
膜厚よりも薄い膜厚の感光性樹脂層を有する感光性フィ
ルムを用い、多色パターンを形成する工程を繰り返すこ
とによって所定の膜厚の多色パターンを形成することを
特徴とするカラーフィルタの製造法並びにこの製造法で
製造されたカラーフィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタの
製造法及びその製造法によって製造されたカラーフィル
タに関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタは、スパッタクロムなど
でブラックマトリックス部を形成したガラスなど光学的
に透明な基板上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）からな
る色相の極めて微細なカラー画素をストライプ状又はモ
ザイク状のパターンとして一定の間隔で平行又は交差し
て並べたものである。これらのパターンは、色相を所定
の順序に所定の間隔をおいて整然と配置し、しかも厚さ
ムラの少ない均一な層とする必要があり、種々のカラー
フィルタの製造法が提案されている。例えば、スクリー
ン印刷法では、低コストのカラーフィルタが可能であ
る。また、フォトリソグラフィー技術を用いる方法、即
ち、カラーフィルタ用基板上に形成された透明膜に所定
のネガマスクを通して紫外線照射し、未露光部を除去し
た後、防染層を形成しながら染色する方法がある。

【０００３】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、露
光、現像して一色のパターンを形成させ、各工程を他の
色についても同様に繰り返し行ってカラーフィルタを形
成する方法がある。また、現在プリント配線板製造時の
レジストとして一般的に使用されている、ベースフィル
ム及び感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを使用し
て、多色の微細なストライプ状又はモザイク状のパター
ンを簡単に高精度で形成できるカラーフィルタの製造法
が知られている。この方法では、透明基板上にベースフ
ィルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光
性フィルムを、その着色感光性樹脂層が基板に接するよ
うに張り合わせる工程、所定のパターンに露光する工程
及び前記ベースフィルムを剥がして現像する工程を繰り
返して多色のパターンを形成させることによりカラーフ
ィルタが製造される。

【０００４】また、例えば、一つの色相の着色剤を含む
感光性樹脂層を支持体に塗布乾燥した感光性フィルムの
感光性樹脂層を透明な基板に転写し、所定のパターンの
マスクを介して露光、現像してパターンを形成させる方
法（特開昭６１−９９１０２号公報）がある。また、同
様の感光性フィルムに所定のパターンのマスクを介して
露光、現像してパターンを形成した後に、透明な基板上
に転写することによりカラーフィルタのパターンを形成
する方法（特開昭６１−９９１０３号公報）及び同様の
感光性フィルムを加熱圧着し、所定のパターンのマスク
を介して露光し、ベースフィルムを剥離し、現像して透
明着色画像パターンを形成する方法（特開昭６３−１８
７２０３号公報）が知られている。さらに、着色感光性
樹脂層の上にポリ酢酸ビニル共重合体の接着層を設けた
感光性フィルムを用い、その接着層を介して着色感光性
樹脂層を基板上に積層し、特開昭６３−１８７２０３号
公報と同様の方法でカラーフィルタのパターンを形成す
る方法（特開平２−２４６２４号公報）が知られてい
る。

【０００５】従来の感光性フィルムによるカラーフィル
ムの製造法では、図１に示しように基板１上に最初に形
成されたパターン（１色目パターン２）を形成した後、
２色目のパターンを形成するためには、既に１色目のパ
ターンが形成された基板１上に２色目感光性フィルム３
を張り合わせるため、２色目感光性フィルム３は盛り上
がり、波型となり、２色目パターン形成部４は右肩下が
りで傾斜してしまう。この状態から２色目感光性フィル
ム３を露光、現像すると、図２に示したように、２色目
パターン４ａの断面形状は、感光性フィルムの波型の形
状に対応して上部が右肩下がりに傾斜してしまう。同様
に、３色目のパターン形成においては、図２に示したよ
うに、１色目パターン２及び２色目パターン４ａが形成
された基板１上に３色目感光性フィルム５を張り合わせ
た後、露光、現像によって３色目パターンを得るため、
３色目パターン形成部６は波型の底部に形成されること
となる。したがって、３色目パターン６ａの断面形状
は、図３に示したようにＭ形となる。

【０００６】このように、感光性フィルムを用いて得ら
れたカラーフィルタは、１色目は凸形の良好なパターン
を得ることができるが、その後形成される２色目、３色
目のパターンは、それぞれ右肩下がり、Ｍ形となり、各
色のパターンの高さにばらつき（段差ばらつき）が生
じ、カラーフィルタの要求特性（オーバーコート剤無
し：±０．１５μｍ以内）である３色（ＲＧＢ）パター
ンの平坦性が劣るという問題がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、作業性がよく、かつ高精度に平坦性に優れた多色の
微細パターンを形成できるカラーフィルタの製造法を提
供するものである。請求項２記載の発明は、請求項１記
載の発明の効果を奏し、より平坦性に優れた多色の微細
パターンを形成できるカラーフィルタの製造法を提供す
るものである。請求項３記載の発明は、高精度で、平坦
性に優れた微細パターンの形成されたカラーフィルタを
提供するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフィルム及び着色された感光性樹脂層を有す
る感光性フィルムを、着色された感光性樹脂層が前記基
板に接するように張り合わせる工程、その後、着色され
た感光性樹脂層を所定のパターンに露光する工程及び露
光後、ベースフィルムを剥がして現像する工程を繰り返
すことによって多色のパターンを形成するカラーフィル
タの製造法において、所定の膜厚の多色パターン形成す
る際に、多色パターンの所定膜厚よりも薄い膜厚の感光
性樹脂層を有する感光性フィルムを用い、多色パターン
を形成する工程を繰り返すことによって所定の膜厚の多
色パターンを形成することを特徴とするカラーフィルタ
の製造法に関する。

【０００９】また、本発明は、各色の感光性フィルムを
張り合わせる順番が、奇数回目は１回目の張り合わせと
同じ色順序で、偶数回目は１回目と反対の色順序とする
前記カラーフィルタの製造法に関する。また、本発明
は、前記カラーフィルタの製造法で製造されたカラーフ
ィルタに関する。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明に用いられる感光性フィル
ムは、透明なベースフィルム、例えば、ポリエチレンテ
レフタレート等のフィルム上に、赤、緑、青にそれぞれ
着色した感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて各色に
着色した着色感光性樹脂層を形成したものであり、感光
性樹脂層の膜厚は０．５〜２．５μｍであるものが好ま
しい。この着色感光性樹脂層は、未硬化であり、柔軟
で、粘着性を有するため、この上に更にポリエチレンフ
ィルム等の保護フィルムを張り合わせて外部からの損
傷、異物の付着などを防止することが望ましい。この感
光性フィルムに形成された着色感光性樹脂層は、保護フ
ィルムを剥がしながら透明基板上に張り合わされ、ま
た、その着色感光性樹脂層表面のベースフィルムは、所
定のパターンのネガマスクを通して露光した後に除去さ
れる。

【００１１】基板の表面に予め金属酸化物の微粒子を
０．１〜３０重量％含有する感光性樹脂層（下地層）を
設けることにより、フィルムの追随性が改善され、前記
の着色感光性樹脂層の密着性を向上させ、ベースフィル
ムの剥離の際に感光性樹脂層が基板から剥がれることが
防止され、また、現像時に感光性樹脂層が基板から剥が
れることが防止される。

【００１２】下地層は、透明基板上にベースフィルム上
に金属酸化物の微粒子を含有する感光性樹脂層を積層す
るか、金属酸化物の微粒子を含有する感光性樹脂液をス
ピンコート、ディップコート等の方法で塗布し、乾燥す
ることによって形成される。下地層を構成する感光性樹
脂層に含有される金属酸化物の微粒子の具体例として
は、三酸化アンチモン、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、
酸化珪素などが挙げられる。金属酸化物微粒子の添加量
は、０．１〜３０重量％、好ましくは０．１〜５重量％
の範囲とされる。この添加量が０．１重量％未満である
と画像の密着性の向上に充分な効果が得られず、３０重
量％を超えると感光性樹脂層の変色、透明度の低下が起
こりやすい。金属酸化物の微粒子は、平均粒径が０．０
１〜０．２μｍの範囲のものが好ましい。

【００１３】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明なベースフイルム、例えば、ポリエチレンテレフタレ
ート等のフイルム上に、一色に着色された感光性樹脂組
成物を塗布し、乾燥させて一色に着色された感光性樹脂
層を形成させたものである。この着色感光性樹脂層は未
硬化であり、柔軟で、粘着性を有するため、この上にさ
らにポリエチレンフイルム等の保護フイルムを貼り合わ
せて外部からの損傷、異物の付着等を防止することが望
ましい。感光性フイルムに形成された着色感光性樹脂層
は、保護フイルムを剥がしながら透明基板上に貼り合わ
され、また、該着色感光性樹脂層表面のベースフイルム
は、所定パターンのネガパターンを通じて露光した後に
除去される。

【００１４】感光性樹脂組成物としては、特に制限なく
公知のものを使用できるが、例えば、エチレン性不飽和
化合物（ａ）、カルボキシル基含有フイルム付与性ポリ
マ（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）及び顔料又は染料（ｄ）
を含むものが好ましい。

【００１５】エチレン性不飽和化合物（ａ）としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物（トリメチロールプロパンジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、テトラメチロールメタントリアクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート等）、グリシジル基含有化
合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化
合物（トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル
トリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエー
テルジアクリレート等）、多価カルボン酸（無水フタル
酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物
（β−ヒドロキシエチルアクリレート等）とのエステル
化物、アクリル酸のアルキルエステル（アクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸
２−エチルヘキシル等）、トリメチルヘキサメチレンジ
イソシアナートと２価アルコールと２価のアクリル酸モ
ノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレ
ート化合物、これらに対応するメタクリレートなどが挙
げられる。これらの化合物は単独で又は２種類以上を組
み合わせて使用される。光感度、現像性の点から、
（ａ）成分の配合量は（ａ）成分と（ｂ）成分の総量を
１００重量部として９０〜５０重量部とされることが好
ましい。

【００１６】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー（ｂ）としては、例えば、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸との共重合体、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーと
の共重合体等が挙げられる。

【００１７】アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル
酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられ
る。また、メタクリル酸アルキルエステルとしては、前
記アクリル酸アルキルエステルに対応するものが挙げら
れる。共重合し得るビニルモノマーとしては、例えば、
アクリル酸ジメチルアミノエチルアクリレート、テトラ
ヒドロフルフリルアクリレート、アミノエチルアクリレ
ート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート、
２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレー
ト、これらに対応するメタクリレート、アクリルアミ
ド、メタクリルアミドジアセトンアクリルアミド、スチ
レン、ビニルトルエン等が挙げられる。

【００１８】（ｂ）カルボキシル基含有フイルム性付与
ポリマーとして、例えば、テレフタル酸、イソフタル
酸、セバシン酸等を用いたポリエステル、ブタジエンと
アクリロニトリルとの共重合体、セルロースアセテー
ト、セルロースアセテートブチレート、メチルセルロー
ス、エチルセルロース等も併用することができる。
（ｂ）成分の使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が
向上し、その配合量は、（ａ）成分及び（ｂ）成分の総
量を１００重量部として、１０〜５０重量部が好まし
い。配合量が１０重量部未満では、エチレン性不飽和化
合物が多くなるため光感度が低下する傾向があり、５０
重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。ま
た、（ｂ）成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強
度の点から１０，０００〜５００，０００であることが
好ましい。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミェーシ
ョンクロマトグラフィ測定により、ポリスチレン換算し
た値である。

【００１９】光重合開始剤（ｃ）としては、例えば、芳
香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル
−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーのケト
ン）、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェ
ノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−
エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベ
ンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル
等）、ベンゾイン（メチルベンゾイン、エチルベンゾイ
ン等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量
体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メ
トキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、
２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプト
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
等）、アクリジン誘導体（１，７−ビス（９−アクリジ
ニル）ヘプタン等）などが用いられる。これらの化合物
は単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２０】（ｃ）成分の配合量は、（ａ）成分及び
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜１０
重量部が好ましい。この配合量が、０．１重量部未満で
は、光感度が不充分となる傾向があり、１０重量部を超
えると、露光の際に組成物の表面での光吸収が増大し、
内部の光硬化が不充分となる傾向がある。

【００２１】前記顔料又は染料（ｄ）としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透
過性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用で
きる顔料としては、各種の化合物が使用でき、例えば、
硫酸バリウム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガ
ラ、カーボンブラック、グラファイト、酸化クロムなど
の無機顔料、下記の有機顔料（カラーインデックス番
号）などがある。

【００２２】黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、
２４、８３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１
２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５
３、１５４、１６６、１６８オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７

【００２３】（ｄ）成分の配合量は、（ａ）成分及び
（ｂ）及びの総量１００重量部に対して、１〜５０重量
部とすることが好ましい。この配合量が、１重量部未満
では、着色が不充分となる傾向があり、５０重量部を超
えると、光透過率が低下する傾向がある。

【００２４】前記着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を
高めるためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び／又
はエポキシ樹脂を、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して、１〜２０重量部添加し、加熱するこ
とが好ましい。加熱温度は、１３０〜２００℃とするこ
とが好ましく、加熱時間は、３０〜６０分とすることが
着色層の架橋密度向上、耐熱性向上等の点から好まし
い。

【００２５】カラーフィルタを形成する基板がガラス基
板の場合には、着色感光性樹脂層とガラス板との密着性
を向上させるため、予めシランカップリング剤で処理し
たガラス板を用いることが好ましい。また、着色感光性
樹脂層にシランカップリング剤を含有させ、感光性樹脂
層とガラス板との密着性を向上させることもできる。こ
の場合のシランカップリング剤の添加量は、（ａ）成分
と（ｂ）成分の総量１００重量部に対して１〜３０重量
部であることが好ましい。

【００２６】次に、本発明によればカラーフィルタは、
次のようにして製造される。まず、透明基板上に１色目
の感光性フィルムをその着色感光性樹脂層が基板に接す
るように張り合わせ、着色感光性樹脂層表面のベースフ
ィルム上に所定のパターンのネガマスクをのせて露光し
た後、ベースフィルムを除去し、現像して１色目のパタ
ーンを形成する。このパターン形成工程を２色目パター
ン及び３色目パターンについて同様に行って多色パター
ンを形成させる。本発明においては、その際、多色パタ
ーンの所定の膜厚より薄い膜厚の着色感光性樹脂層を有
する感光性フィルムを用い、多色パターンを形成する上
記工程を所定の膜厚の多色パターンが形成されるまで繰
り返す。このように、多色パターンの所定の膜厚より薄
い膜厚の着色感光性樹脂層を有する感光性フィルムを用
いることにより、２色目以降のパターンを形成する際に
感光性フィルムを張り合わせたときの盛り上がりも低く
なり、図３に示したような段差を低くできる。その結果
平坦性に優れたカラーフィルタが得られる。

【００２７】上記のように、多色パターンの所定の膜厚
より薄い膜厚の着色感光性樹脂層を有する感光性フィル
ムを用いることにより、従来より平坦なカラーフィルタ
が得られるが、多色パターンを形成する工程を繰り返す
際に、各色のパターンの形成順序を各回で逆方向から行
うことによって、さらに平坦性を向上させることができ
る。すなわち、１回目のパターン形成を赤、緑、青の色
順序で行った場合、２回目のパターン形成を青、緑、赤
の色順序で行い、３回目のパターン形成は１回目と同じ
色順序で行うことが好ましい。図３を参照して説明する
と、２回目の多色パターン形成工程では、１回目の３色
目パターン６ａと同じ色の着色感光性樹脂層を有する感
光性フィルムを最初に張り合わせて３色目パターン６ａ
を形成するため、１回目で生じた３色目パターン６ａの
段差が充分に埋められ、次いで２色目パターン４ａ用の
感光性フィルムを張り合わせて２色目パターンの形成を
行うため、２色目パターン４ａに生じていた段差も充分
に埋められる。このようにして、各色の感光性フィルム
を張り合わせる順番を、奇数回目は１回目の張り合わせ
と同じ色順序とし、偶数回目は１回目と反対の色順序と
することによって、感光性フィルムを張り合わせたとき
の波型をいっそう平坦にすることができ、完成した３色
パターンの形状は良好な矩形となり、平坦性に優れたカ
ラーフィルタが得られる。

【００２８】本発明においては、上記のように、多色パ
ターンの所定の膜厚より薄い膜厚の着色感光性樹脂層を
有する感光性フィルムを用いて多色パターン形成工程を
繰り返して行うが、各色所定の膜厚がＸμｍのパターン
を形成する際に、各色の感光性樹脂層の膜厚がＸ／２μ
ｍの感光性フィルムを用い、１回目に基板に各色Ｘ／２
μｍのパターンを形成し、更に２回目は１回目に張り合
わせた色順番と反対の順序で各色の感光性フィルムを用
いることによって所定の膜厚の多色パターンを形成する
ことが平坦性の点から好ましい。また、各色所定の膜厚
がＸμｍのパターンを形成する際に、各色の感光性樹脂
層の膜厚がＸ／３μｍの感光性フィルムを用い、１回目
に基板に各色のＸ／３μｍのパターンを形成し、２回目
以降の偶数回目は１回目に基板に張り合わせた順番とは
反対の順序で各色の感光性フイルムを用い、３回目以降
の奇数回目は１回目に基板に張り合わせた各色感光性フ
ィルムの順番と同じ色順で各色感光性フィルムを用いる
ことによって各色所定の膜厚の多色パターンを形成する
ことが平坦性の点から好ましい。

【００２９】

【実施例】次に、本発明を実施例により説明する。

【００３０】実施例１トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート／１，４−
シクロヘキサンジメタノール／２−ヒドロキシエチルア
クリレート（１６：５：８当量比）の反応物５５重量
部、メタクリル酸メチル／メタクリル酸／２−エチルヘ
キシルアクリレート（６０：２０：２０重量比）の共重
合物４５重量部、ベンゾフェノンと４，４′−ジエチル
アミノベンゾフェノン（２０：１重量比）６重量部、メ
チルエチルケトン７０重量部及びプロピレングリコール
モノメチルエーテル３０重量部を混合し、感光性樹脂溶
液を調製した。

【００３１】この感光性樹脂溶液２０６重量部に赤色顔
料であるカラーテックス・レッド・ユーイーエム（Colo
rtex Red UEM）（山陽色素株式会社製）を１０〜３０重
量部溶解させて赤色の着色感光性樹脂溶液を得た。これ
と同様に上記感光性樹脂溶液２０６重量部に緑色顔料で
あるカラーテックス・グリーン・ユーイー−１２０３
（Colortex Green UE-１２０３）（山陽色素株式会社
製）あるいは青色顔料であるカラーテックス・ブルー・
ユーエスエム（Colortex Blue USM)（山陽色素株式会社
製）を１０〜３０重量部溶解させてそれぞれ緑色あるい
は青色の着色感光性樹脂溶液を得た。得られた着色感光
性樹脂溶液をフィルムコーターを用いて厚さ２５μｍの
ポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一な厚さに
塗布し、１００℃の乾燥機で約２分間加熱乾燥後、保護
フィルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフィルムを
張り合わせて、赤、緑、青の着色感光性フィルムを得
た。得られた感光性フィルムの着色感光性樹脂層の膜厚
は、各色とも１．０μｍであった。

【００３２】次に、カラーフィルタ用の基板を８０〜１
５０℃前後で１０分間加熱した後、１色目の着色感光性
フィルムの保護フィルムを剥がしながら、着色感光性樹
脂層をロール温度１１０℃、ロール圧力４kgf/cm²、速
度１．０ｍ／分でラミネートした。次いで、所定のパタ
ーンのネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２０１Ｂ（３
kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露光した。露光
後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを除去し、
０．０５重量％炭酸ナトリウム水溶液により現像した
後、８０〜１５０℃前後で１０分間乾燥させ、１色目の
パターンを形成した。このパターン形成の工程を同様に
行って２色目及び３色目のパターンを形成し、赤、緑、
青からなる各色パターン（ＲＧＢパターン）を形成し
た。

【００３３】この各色パターンの形成工程を各色パター
ンの膜厚が２μｍとなるまで３回繰り返したが、その
際、着色感光性フィルムの張り合わせの順序を、１回目
及び３回目は赤→青→緑とし、２回目は緑→青→赤の順
序とした。これによって得られたＲＧＢパターンの膜厚
を小坂研究所(株)製サーフコーダＳ−３０で測定したと
ころ、赤２．１μｍ、青２．０μｍ、緑２．２μｍとな
り、平坦性±０．１５μｍ以下を達成することができ
た。また、各色パターンの形状は、良好な矩形であっ
た。

【００３４】実施例２実施例１で調製した着色感光性樹脂溶液を用い、着色感
光性樹脂層の膜厚が各色とも０．５μｍの感光性フィル
ムを得た。得られた着色感光性フィルムを用いて実施例
１と同様にして各色パターンを形成し、この工程を各色
パターンの膜厚が２μｍとなるように４回繰り返して行
った。感光性フィルムの張り合わせ順は、１回目及び３
回目は青→赤→緑、２回目及び４回目は緑→赤→青とし
た。これによって得られたＲＧＢパターンの膜厚を小坂
研究所(株)製サーフコーダＳ−３０で測定したところ、
青２．０μｍ、赤２．１μｍ、緑２．１μｍとなり、平
坦性±０．１５μｍ以下を達成することができた。ま
た、各色パターンの形状は良好な矩形であった。

【００３５】比較例１実施例１で調製した着色感光性樹脂溶液を用い、着色感
光性樹脂層の膜厚が各色とも２．０μｍの感光性フィル
ムを得た。得られた着色感光性フィルムを用いて実施例
１と同様にして各色パターンの膜厚が２．０μｍの各色
パターンを形成した。着色感光性フィルムの張り合わせ
順は、赤→青→緑とした。これによって得られたＲＧＢ
パターンの膜厚を小坂研究所(株)製サーフコーダＳ−３
０で測定したところ、各色パターンの膜厚は、赤２．０
μｍ、青２．０〜２．３μｍ、緑１．８〜２．２μｍと
なり、得られた各色パターンの形は矩形にならず、平坦
性±０．１５μｍ以下を達成することはできなかった。

【００３６】

【発明の効果】請求項１記載のカラーフィルタの製造法
は、作業性よく、高精度で、かつ平坦性に優れた多色の
微細パターンのカラーパターンを製造することができ
る。請求項２記載のカラーフィルタの製造法は、請求項
１記載のカラーフィルタの製造法の効果を奏し、より平
坦性に優れた多色の微細パターンを形成できる。請求項
３記載のカラーフィルタは、高精度で、平坦性に優れた
微細パターンが形成てきる。

【図面の簡単な説明】

【図１】２色目感光性フィルムを張り合わせた状態で示
す２色目パターン形成工程の説明図である。

【図２】３色目感光性フィルムを張り合わせた状態で示
す３色目パターン形成工程の説明図である。

【図３】従来法による完成３色パターンの断面形状を示
す説明図である。

【符号の説明】

１基板２１色目パターン３２色目感光性フィルム４２色目パターン形成部４ａ２色目パターン５３色目感光性フィルム６３色目パターン形成部６ａ３色目パターン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板上に、ベースフィルム及び着色
された感光性樹脂層を有する感光性フィルムを、着色さ
れた感光性樹脂層が前記基板に接するように張り合わせ
る工程、その後、着色された感光性樹脂層を所定のパタ
ーンに露光する工程及び露光後、ベースフィルムを剥が
して現像する工程を繰り返すことによって多色のパター
ンを形成するカラーフィルタの製造法において、所定の
膜厚の多色パターン形成する際に、多色パターンの所定
膜厚よりも薄い膜厚の感光性樹脂層を有する感光性フィ
ルムを用い、多色パターンを形成する工程を繰り返すこ
とによって所定の膜厚の多色パターンを形成することを
特徴とするカラーフィルタの製造法。
【請求項２】各色の感光性フィルムを張り合わせる順
番が、奇数回目は１回目の張り合わせと同じ色順序で、
偶数回目は１回目と反対の色順序とする請求項１記載の
カラーフィルタの製造法。
【請求項３】請求項１又は２に記載の製造法で製造さ
れたカラーフィルタ。