JPH10100136A - スライシング装置 - Google Patents
スライシング装置Info
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- JPH10100136A JPH10100136A JP25622596A JP25622596A JPH10100136A JP H10100136 A JPH10100136 A JP H10100136A JP 25622596 A JP25622596 A JP 25622596A JP 25622596 A JP25622596 A JP 25622596A JP H10100136 A JPH10100136 A JP H10100136A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】切断性能を向上させることができるスライシン
グ装置を提供する。 【解決手段】切断時、制御部30が各圧電素子28A〜
28Dに印加する電圧を制御して、インゴット22に2
方向以上の微小振動を与える。これにより、インゴット
22が振動し、その振動はブレードに伝達されて、ブレ
ードも振動する。したがって、ブレードに2方向以上の
微小振動が伝達され、目詰まりを十分に防止し、切断性
能が向上する。
グ装置を提供する。 【解決手段】切断時、制御部30が各圧電素子28A〜
28Dに印加する電圧を制御して、インゴット22に2
方向以上の微小振動を与える。これにより、インゴット
22が振動し、その振動はブレードに伝達されて、ブレ
ードも振動する。したがって、ブレードに2方向以上の
微小振動が伝達され、目詰まりを十分に防止し、切断性
能が向上する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はスライシング装置に
係り、特に柱状体材料をウェーハに切断するスライシン
グ装置に関する。
係り、特に柱状体材料をウェーハに切断するスライシン
グ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】スライシング装置のスライシング方法と
して、ブレードの近傍に設けられた超音波発生器、又は
エアパッドからブレードに向けて超音波、又はエアを発
振し、ブレードを微小振動させながら柱状体材料(以
下、「インゴット」という。)を切断する方法がある
(特開平4─8507号広報)。
して、ブレードの近傍に設けられた超音波発生器、又は
エアパッドからブレードに向けて超音波、又はエアを発
振し、ブレードを微小振動させながら柱状体材料(以
下、「インゴット」という。)を切断する方法がある
(特開平4─8507号広報)。
【0003】この方法によれば、振動によって、切断時
にブレードの砥石に付着した切りくずを除去しながら、
即ち目詰まりを防止しながらインゴットの切断を行うこ
とができる。
にブレードの砥石に付着した切りくずを除去しながら、
即ち目詰まりを防止しながらインゴットの切断を行うこ
とができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
スライシング装置では、ブレードの外周部が回転体に支
持されているため、このブレードを振動させるとブレー
ドの振動方向は、ブレードに対して直交方向のみの1方
向に限定されてしまう。このため、前記スライシング装
置は、切断刃の目詰まりを、振動によって十分に防止す
ることができず、切断性能を向上させることができない
という欠点がある。
スライシング装置では、ブレードの外周部が回転体に支
持されているため、このブレードを振動させるとブレー
ドの振動方向は、ブレードに対して直交方向のみの1方
向に限定されてしまう。このため、前記スライシング装
置は、切断刃の目詰まりを、振動によって十分に防止す
ることができず、切断性能を向上させることができない
という欠点がある。
【0005】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、切断性能を向上させることができるスライシ
ング装置を提供することを目的とする。
たもので、切断性能を向上させることができるスライシ
ング装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、柱状体材料の一端を保持部で保持した状
態で、該柱状体材料の他端部を回転する切断刃でウェー
ハに切断するスライシング装置に於いて、前記保持部に
並設された複数の圧電素子と、前記各圧電素子に印加す
る電圧を制御する制御部と、を有し、前記制御部で前記
各圧電素子に印加する電圧を制御して、前記柱状体材料
を2方向以上に微小振動させながら切断することを特徴
とする。
成するために、柱状体材料の一端を保持部で保持した状
態で、該柱状体材料の他端部を回転する切断刃でウェー
ハに切断するスライシング装置に於いて、前記保持部に
並設された複数の圧電素子と、前記各圧電素子に印加す
る電圧を制御する制御部と、を有し、前記制御部で前記
各圧電素子に印加する電圧を制御して、前記柱状体材料
を2方向以上に微小振動させながら切断することを特徴
とする。
【0007】請求項1記載の発明によれば、制御部が保
持部に並設された複数の圧電素子に印加する電圧を制御
することにより、柱状体材料を少なくとも2以上の方向
に微小振動させるようにした。その2方向以上の振動
は、柱状体材料から切断刃に伝達されて切断刃も2方向
以上に振動する。したがって、本発明では、目詰まりを
十分に防止することができるので、切断性能が向上す
る。また、本発明によれば、柱状体材料を前記圧電素子
で直接振動させるようにしたので、振動条件を容易に制
御できる。
持部に並設された複数の圧電素子に印加する電圧を制御
することにより、柱状体材料を少なくとも2以上の方向
に微小振動させるようにした。その2方向以上の振動
は、柱状体材料から切断刃に伝達されて切断刃も2方向
以上に振動する。したがって、本発明では、目詰まりを
十分に防止することができるので、切断性能が向上す
る。また、本発明によれば、柱状体材料を前記圧電素子
で直接振動させるようにしたので、振動条件を容易に制
御できる。
【0008】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明に、柱状体材料の姿勢を検出するための検出手段を設
けたものである。そして、制御部が、検出手段からの出
力に基づいて柱状体材料の姿勢制御用の電圧を制御すれ
ば、即ち、圧電素子に印加する電圧に柱状体材料の姿勢
制御用の電圧を重畳すれば、柱状体材料の振動と姿勢制
御とを同時に行うことができる。これによって、本発明
では、更に精度の高いウェーハを得ることができる。
明に、柱状体材料の姿勢を検出するための検出手段を設
けたものである。そして、制御部が、検出手段からの出
力に基づいて柱状体材料の姿勢制御用の電圧を制御すれ
ば、即ち、圧電素子に印加する電圧に柱状体材料の姿勢
制御用の電圧を重畳すれば、柱状体材料の振動と姿勢制
御とを同時に行うことができる。これによって、本発明
では、更に精度の高いウェーハを得ることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るスライシング装置の好ましい実施の形態について詳説
する。図1は、本発明の実施の形態に係るスライシング
装置の斜視図である。同図に示すように、スライシング
装置10は主に本体12、スライド移動機構14、支柱
16、割出機構18等から構成されている。
るスライシング装置の好ましい実施の形態について詳説
する。図1は、本発明の実施の形態に係るスライシング
装置の斜視図である。同図に示すように、スライシング
装置10は主に本体12、スライド移動機構14、支柱
16、割出機構18等から構成されている。
【0010】前記本体12にはスライド移動機構14が
矢印A又はB方向にスライド自在に設けられている。こ
のスライド移動機構14には支柱16が立設されてお
り、該支柱16の側方には割出機構18が上下動自在に
設けられている。前記割出機構18には保持部20を介
して円柱状のインゴット22が支持されている。前記保
持部20には図2、図3に示すように、4つの圧電素子
28A、28B、28C、28Dが内蔵されている。各
圧電素子28A〜28Dは印加電圧に応じてインゴット
22の軸線方向に沿って伸張する。この各圧電素子28
A〜28Dに印加する印加電圧は制御部30で制御され
ている。前記印加電圧は、直流電圧、交流電圧とも可能
であり、制御部30は、両者を重畳した電圧を印加する
よう制御することもできる(図5参照)。
矢印A又はB方向にスライド自在に設けられている。こ
のスライド移動機構14には支柱16が立設されてお
り、該支柱16の側方には割出機構18が上下動自在に
設けられている。前記割出機構18には保持部20を介
して円柱状のインゴット22が支持されている。前記保
持部20には図2、図3に示すように、4つの圧電素子
28A、28B、28C、28Dが内蔵されている。各
圧電素子28A〜28Dは印加電圧に応じてインゴット
22の軸線方向に沿って伸張する。この各圧電素子28
A〜28Dに印加する印加電圧は制御部30で制御され
ている。前記印加電圧は、直流電圧、交流電圧とも可能
であり、制御部30は、両者を重畳した電圧を印加する
よう制御することもできる(図5参照)。
【0011】また、インゴット22が前記ブレード24
から押付力を受けて圧電素子28A〜28Dが撓むと、
前記各圧電素子28A〜28Dは、その撓みに応じた電
圧を制御部30に出力する。制御部30は、その出力電
圧に基づいて前記押付力を検知することができる。図1
において、前記本体12の中央部には、上面が開口した
回転体の上縁に、ブレード24が所定張力で張り上げ保
持されている。このブレード24は、ドーナツ状に形成
されており、その内周部にダイアモンド砥石が電着固定
された内周刃26が形成されている。
から押付力を受けて圧電素子28A〜28Dが撓むと、
前記各圧電素子28A〜28Dは、その撓みに応じた電
圧を制御部30に出力する。制御部30は、その出力電
圧に基づいて前記押付力を検知することができる。図1
において、前記本体12の中央部には、上面が開口した
回転体の上縁に、ブレード24が所定張力で張り上げ保
持されている。このブレード24は、ドーナツ状に形成
されており、その内周部にダイアモンド砥石が電着固定
された内周刃26が形成されている。
【0012】次に、上記の如く構成された本発明のスラ
イシング装置の作用を説明する。まず、円柱形状のイン
ゴット22を、保持部20を介して割出機構18に保持
させて、ブレード24に対して垂直に取り付ける。次
に、割出機構18によってインゴット22の下端部をブ
レード24の内周部に位置させる。次いで、スライド移
動機構14によりインゴット22を水平に移動させ、回
転するブレード24の内周刃26にインゴット22の下
端部を押し付ける。これにより、インゴット22から一
枚のウェーハが切断される。
イシング装置の作用を説明する。まず、円柱形状のイン
ゴット22を、保持部20を介して割出機構18に保持
させて、ブレード24に対して垂直に取り付ける。次
に、割出機構18によってインゴット22の下端部をブ
レード24の内周部に位置させる。次いで、スライド移
動機構14によりインゴット22を水平に移動させ、回
転するブレード24の内周刃26にインゴット22の下
端部を押し付ける。これにより、インゴット22から一
枚のウェーハが切断される。
【0013】ウェーハが一枚切断されると、インゴット
22はスライド移動機構14によって、ブレード24の
中央孔まで水平に戻される。2枚目以降の切断を行う場
合は、割出機構18でインゴット22を所定のピッチ下
降させ、同様の作業を行う。切断時、制御部30が各圧
電素子28A〜28Dに印加する電圧を制御して、イン
ゴット22に2方向以上の微小振動を与える。これによ
り、インゴット22が振動し、その振動はブレード24
に伝達されて、ブレード24も2方向以上に振動する。
したがって、本実施の形態では、ブレード24に2以上
の方向の微小振動が伝達され、目詰まりを十分に防止
し、切断性能が向上する。
22はスライド移動機構14によって、ブレード24の
中央孔まで水平に戻される。2枚目以降の切断を行う場
合は、割出機構18でインゴット22を所定のピッチ下
降させ、同様の作業を行う。切断時、制御部30が各圧
電素子28A〜28Dに印加する電圧を制御して、イン
ゴット22に2方向以上の微小振動を与える。これによ
り、インゴット22が振動し、その振動はブレード24
に伝達されて、ブレード24も2方向以上に振動する。
したがって、本実施の形態では、ブレード24に2以上
の方向の微小振動が伝達され、目詰まりを十分に防止
し、切断性能が向上する。
【0014】ここで、インゴット22の振動の方向は、
4つの圧電素子28A〜28Dの何れに電圧を印加する
かによって決定される。例えば、図3において、制御部
30が圧電素子28Aと28Cに異なる電圧を印加する
よう制御すると、インゴット22はX軸方向に振動し、
圧電素子28Bと28Dに異なる電圧を印加するよう制
御すると、インゴット22はY軸方向に振動する。ま
た、制御部30が4つの圧電素子28A〜28Dに等し
い電圧を印加すると、インゴット22は図2中上下動す
る。更に、上記のX軸方向、Y軸方向、上下方向の振動
を組み合わせることにより、インゴット22を所望の方
向へ振動させることができる。
4つの圧電素子28A〜28Dの何れに電圧を印加する
かによって決定される。例えば、図3において、制御部
30が圧電素子28Aと28Cに異なる電圧を印加する
よう制御すると、インゴット22はX軸方向に振動し、
圧電素子28Bと28Dに異なる電圧を印加するよう制
御すると、インゴット22はY軸方向に振動する。ま
た、制御部30が4つの圧電素子28A〜28Dに等し
い電圧を印加すると、インゴット22は図2中上下動す
る。更に、上記のX軸方向、Y軸方向、上下方向の振動
を組み合わせることにより、インゴット22を所望の方
向へ振動させることができる。
【0015】また、振動源である圧電素子28A〜28
Dを、インゴット22を保持する保持部20に設けてイ
ンゴット22を直接振動させるようにしたので、振動条
件を容易に制御できる。本実施の形態では、4個の圧電
素子を使用したが、これに限られるものではなく、少な
くとも3個以上の圧電素子を使用すれば、切断刃に2方
向以上の振動を与えることができる。
Dを、インゴット22を保持する保持部20に設けてイ
ンゴット22を直接振動させるようにしたので、振動条
件を容易に制御できる。本実施の形態では、4個の圧電
素子を使用したが、これに限られるものではなく、少な
くとも3個以上の圧電素子を使用すれば、切断刃に2方
向以上の振動を与えることができる。
【0016】ところで、前記インゴット22は切断中に
ブレード24から押付力を受ける。この結果、切断され
るウェーハに反り等が生じ、切断精度が低下する。これ
を防止するために、以下のようにインゴット22の姿勢
を制御し、前記押付力を相殺する。図4は、インゴット
の切断位置に対する押付力の変化を説明する図である。
ブレード24から押付力を受ける。この結果、切断され
るウェーハに反り等が生じ、切断精度が低下する。これ
を防止するために、以下のようにインゴット22の姿勢
を制御し、前記押付力を相殺する。図4は、インゴット
の切断位置に対する押付力の変化を説明する図である。
【0017】同図に示すように、切断時の押付力は、切
断当初は小さく、次第に大きくなり、切断終了付近で再
び小さくなるという傾向をもっていることがわかる。前
記インゴット22にかかる押付力は、制御部30で検出
することができる。即ち、インゴット22がブレード2
4から押付力を受けると、前記インゴット22の保持部
20に設けた各圧電素子28A〜28Dが撓む。圧電素
子28A〜28Dが撓むと、該圧電素子28A〜28D
からは、その撓みに応じた出力電圧が制御部30に出力
される。
断当初は小さく、次第に大きくなり、切断終了付近で再
び小さくなるという傾向をもっていることがわかる。前
記インゴット22にかかる押付力は、制御部30で検出
することができる。即ち、インゴット22がブレード2
4から押付力を受けると、前記インゴット22の保持部
20に設けた各圧電素子28A〜28Dが撓む。圧電素
子28A〜28Dが撓むと、該圧電素子28A〜28D
からは、その撓みに応じた出力電圧が制御部30に出力
される。
【0018】制御部30は、その出力電圧に基づいて、
前記インゴット22にかかる押付力を相殺するよう各圧
電素子28A〜28Dに印加する電圧を制御する。この
時、振動付加と同時に圧電素子28A〜28Dに姿勢制
御用の電圧を印加してインゴット22を振動させる。即
ち、図5に示すように、高周波の振動電圧に上述したイ
ンゴット22の姿勢制御電圧を重畳させる。
前記インゴット22にかかる押付力を相殺するよう各圧
電素子28A〜28Dに印加する電圧を制御する。この
時、振動付加と同時に圧電素子28A〜28Dに姿勢制
御用の電圧を印加してインゴット22を振動させる。即
ち、図5に示すように、高周波の振動電圧に上述したイ
ンゴット22の姿勢制御電圧を重畳させる。
【0019】この結果、切断性能の向上とともに、イン
ゴット22に生じた押付力を相殺することができるの
で、反り等のない高精度のウェーハを得ることができ
る。本実施の形態では、圧電素子28A〜28Dでイン
ゴット22の姿勢を検出するための検出手段を兼用させ
たが、接触子32をインゴットの側面に当接させてイン
ゴット22の姿勢を検出する差動検出器34を検出手段
として別個に設けても良い。
ゴット22に生じた押付力を相殺することができるの
で、反り等のない高精度のウェーハを得ることができ
る。本実施の形態では、圧電素子28A〜28Dでイン
ゴット22の姿勢を検出するための検出手段を兼用させ
たが、接触子32をインゴットの側面に当接させてイン
ゴット22の姿勢を検出する差動検出器34を検出手段
として別個に設けても良い。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
柱状体材料に2方向以上の微小振動を与えることによっ
て、切断刃に2方向以上の微小振動を与えながら柱状体
材料を切断するようにしたので、切断刃の目詰まりを十
分に防止することができ、切断性能が向上する。
柱状体材料に2方向以上の微小振動を与えることによっ
て、切断刃に2方向以上の微小振動を与えながら柱状体
材料を切断するようにしたので、切断刃の目詰まりを十
分に防止することができ、切断性能が向上する。
【図1】本発明の実施の形態に係るスライシング装置の
斜視図
斜視図
【図2】インゴットと保持具の構造を示した略断面図
【図3】切断方法の制御系を示した説明図
【図4】切断位置に対する押付力の変化を説明する図
【図5】姿勢制御用の電圧に振動用の電圧を重畳した電
圧を示す図
圧を示す図
【図6】差動検出器を設けた場合の制御系を示した説明
図
図
10…スライシング装置 20…保持部 22…インゴット 24…ブレード 26…内周刃 28…圧電素子 30…制御部
Claims (5)
- 【請求項1】柱状体材料の一端を保持部で保持した状態
で、該柱状体材料の他端部を回転する切断刃でウェーハ
に切断するスライシング装置に於いて、 前記保持部に並設された複数の圧電素子と、 前記各圧電素子に印加する電圧を制御する制御部と、を
有し、前記制御部で前記各圧電素子に印加する電圧を制
御して、前記柱状体材料を2方向以上に微小振動させな
がら切断することを特徴とするスライシング装置。 - 【請求項2】柱状体材料の一端を保持部で保持した状態
で、該柱状体材料の他端部を回転する切断刃でウェーハ
に切断するスライシング装置に於いて、 前記保持部に並設された複数の圧電素子と、 前記柱状体材料の姿勢を検出するための検出手段と、 前記各圧電素子に印加する電圧を制御する制御部と、を
有し、前記制御部で前記各圧電素子に印加する電圧を制
御して、前記柱状体材料を2方向以上に微小振動させな
がら切断することを特徴とするスライシング装置。 - 【請求項3】前記制御部は、前記圧電素子に印加する電
圧に、前記柱状体材料の姿勢制御用の電圧を重畳した電
圧を前記圧電素子に印加することを特徴とする請求項2
記載のスライシング装置。 - 【請求項4】前記制御部は、前記検出手段からの出力に
基づいて、前記柱状体材料の姿勢制御の電圧を制御する
ことを特徴とする請求項3記載のスライシング装置。 - 【請求項5】前記圧電素子は、前記検出手段を兼ねてい
ることを特徴とする請求項2又は4記載のスライシング
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25622596A JPH10100136A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | スライシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25622596A JPH10100136A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | スライシング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10100136A true JPH10100136A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17289681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25622596A Pending JPH10100136A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | スライシング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10100136A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002016020A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-18 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
JP2002321213A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-05 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
KR20190060666A (ko) * | 2017-11-24 | 2019-06-03 | 가부시기가이샤 디스코 | 박리 장치 |
-
1996
- 1996-09-27 JP JP25622596A patent/JPH10100136A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002016020A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-18 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
JP2002321213A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-05 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
KR20190060666A (ko) * | 2017-11-24 | 2019-06-03 | 가부시기가이샤 디스코 | 박리 장치 |
CN109841543A (zh) * | 2017-11-24 | 2019-06-04 | 株式会社迪思科 | 剥离装置 |
JP2019096751A (ja) * | 2017-11-24 | 2019-06-20 | 株式会社ディスコ | 剥離装置 |
CN109841543B (zh) * | 2017-11-24 | 2024-02-20 | 株式会社迪思科 | 剥离装置 |
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