JPH0997440A - 光学情報記録再生装置 - Google Patents
光学情報記録再生装置Info
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- JPH0997440A JPH0997440A JP7276236A JP27623695A JPH0997440A JP H0997440 A JPH0997440 A JP H0997440A JP 7276236 A JP7276236 A JP 7276236A JP 27623695 A JP27623695 A JP 27623695A JP H0997440 A JPH0997440 A JP H0997440A
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- Japan
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- optical
- optical head
- specific pattern
- signal
- tilt
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ヘッドと光ディスクの相対的な傾きを比較
的小規模な構成で短時間で精度よく零に近づけることが
できる光学情報記録再生装置Aを提供する。 【解決手段】 スイッチ6をアンプ12側へ切り換え
て、信号b´を位相補償部13へ出力して光ディスク1
に記録された特定パターンに応じた再生信号bの初期設
定を行った後、スイッチ6を比較回路11側へ切り換え
て、信号iを位相補償部13へ出力し、光ディスク1と
光ヘッド2との相対的な傾きを零とするように通常の再
生信号を用いて光ディスク1あるいは光ヘッド2の位置
調整を行う。
的小規模な構成で短時間で精度よく零に近づけることが
できる光学情報記録再生装置Aを提供する。 【解決手段】 スイッチ6をアンプ12側へ切り換え
て、信号b´を位相補償部13へ出力して光ディスク1
に記録された特定パターンに応じた再生信号bの初期設
定を行った後、スイッチ6を比較回路11側へ切り換え
て、信号iを位相補償部13へ出力し、光ディスク1と
光ヘッド2との相対的な傾きを零とするように通常の再
生信号を用いて光ディスク1あるいは光ヘッド2の位置
調整を行う。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクの記録
再生面と光ヘッドとの相対的な傾斜に起因する再生信号
の劣化を効果的に抑制する光学情報記録再生装置に関す
るものである。
再生面と光ヘッドとの相対的な傾斜に起因する再生信号
の劣化を効果的に抑制する光学情報記録再生装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、光ディスクに記録された情報を再
生する光ヘッドを用いて情報の記録再生を行う光学情報
記録再生装置において、光ディスク上に高密度に記録さ
れた特定な情報マークを光ヘッドで読み出す際に、様々
な要因で再生信号に劣化をもたらすことが報告されてい
る。
生する光ヘッドを用いて情報の記録再生を行う光学情報
記録再生装置において、光ディスク上に高密度に記録さ
れた特定な情報マークを光ヘッドで読み出す際に、様々
な要因で再生信号に劣化をもたらすことが報告されてい
る。
【0003】このうち光学系がもたらす要因に関して
は、球面収差、非点収差、コマ収差、デフォーカス等が
その典型的なものである。このうち、コマ収差に起因す
る再生信号の劣化については、光ディスクと光ヘッド間
の相対的な傾きが零であれば、理論的には発生しない。
しかしながら、光学情報記録再生装置の出荷時にこうし
た調整を厳しく行っても、相対的な傾きを完全に零にす
ることは難しい。また、光ディスクの反りによっても光
ディスクと光ヘッド間の相対的な傾きが生ずる。このた
めに、この相対的な傾きを検出し、これを零に近づける
ための調整機構が必要となる。
は、球面収差、非点収差、コマ収差、デフォーカス等が
その典型的なものである。このうち、コマ収差に起因す
る再生信号の劣化については、光ディスクと光ヘッド間
の相対的な傾きが零であれば、理論的には発生しない。
しかしながら、光学情報記録再生装置の出荷時にこうし
た調整を厳しく行っても、相対的な傾きを完全に零にす
ることは難しい。また、光ディスクの反りによっても光
ディスクと光ヘッド間の相対的な傾きが生ずる。このた
めに、この相対的な傾きを検出し、これを零に近づける
ための調整機構が必要となる。
【0004】この調整機構は、光ディスクと光ヘッド間
の相対的な傾きを零に近づけるためのものなので、傾き
が零となる初期値を該機構に与える必要がある。この例
としては、下記する構成の光学情報記録再生装置がある
(特開平7−50027号公報)。即ち、この光学情報
記録再生装置は、光ディスクのローディング時に、光デ
ィスク上の特定の記録パターンを記録した領域を再生
し、最低3タップのトランスバーサルフィルタにより構
成された自動等化器で最適タップ係数値を求め、これを
基に、光ディスク面と光ヘッドとの相対的な傾きに比例
する誤差信号を得て、この誤差信号がほぼ零となるよう
に、光ヘッドの傾きを傾き調整機構により機械的に調整
するものである。
の相対的な傾きを零に近づけるためのものなので、傾き
が零となる初期値を該機構に与える必要がある。この例
としては、下記する構成の光学情報記録再生装置がある
(特開平7−50027号公報)。即ち、この光学情報
記録再生装置は、光ディスクのローディング時に、光デ
ィスク上の特定の記録パターンを記録した領域を再生
し、最低3タップのトランスバーサルフィルタにより構
成された自動等化器で最適タップ係数値を求め、これを
基に、光ディスク面と光ヘッドとの相対的な傾きに比例
する誤差信号を得て、この誤差信号がほぼ零となるよう
に、光ヘッドの傾きを傾き調整機構により機械的に調整
するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した光学情報記録
再生装置は、自動等化器で最適タップ係数値を求め、こ
れを基に、光ディスク面と光ヘッドとの相対的な傾きに
比例する誤差信号を得て、この誤差信号がほぼ零となる
ように、光ヘッドの傾きを傾き調整機構により機械的に
調整するものであるから、固定係数の等化器を用いるこ
とが出来ず、自動調整の複雑な装置を必要とする。ま
た、傾き検出を高精度で行う為には、十分ステップ数の
多い自動等化器(係数変更装置)が必要となり、この結
果、回路規模が大きくなる、調整手順が多くなり実用回
路としてはサーボの応答速度が低くなる等の問題があっ
た。
再生装置は、自動等化器で最適タップ係数値を求め、こ
れを基に、光ディスク面と光ヘッドとの相対的な傾きに
比例する誤差信号を得て、この誤差信号がほぼ零となる
ように、光ヘッドの傾きを傾き調整機構により機械的に
調整するものであるから、固定係数の等化器を用いるこ
とが出来ず、自動調整の複雑な装置を必要とする。ま
た、傾き検出を高精度で行う為には、十分ステップ数の
多い自動等化器(係数変更装置)が必要となり、この結
果、回路規模が大きくなる、調整手順が多くなり実用回
路としてはサーボの応答速度が低くなる等の問題があっ
た。
【0006】そこで、本発明は上記の点に着目してなさ
れたものであり、特定パターンを再生したときに得られ
る再生信号を用いてディスクと光ヘッドの相対的な傾き
を零とするように、初期設定を行う第1のフィードバッ
クループ制御系を構成し、この特定パターンを再生しな
いとき(再生状態のとき)には、例えば光ヘッドの一部
として構成されたディスクと光ヘッドの相対的な傾きを
零とするように(いわゆるチルトセンサを用いて)調整
を行う第2のフィードバックループ制御系を構成したも
のである。そして、その動作は、まず第2のフィードバ
ックループ制御系の初期設定を第1のフィードバックル
ープ制御系で行った後、通常の信号を再生するときには
高速でかつ精度の良い応答が実現できる第2のフィード
バックループ制御系でディスクと光ヘッドの相対的な傾
きを零とするので、精度の良い傾き検出を比較的規模の
小さい装置で実現することを目的とするものである。
れたものであり、特定パターンを再生したときに得られ
る再生信号を用いてディスクと光ヘッドの相対的な傾き
を零とするように、初期設定を行う第1のフィードバッ
クループ制御系を構成し、この特定パターンを再生しな
いとき(再生状態のとき)には、例えば光ヘッドの一部
として構成されたディスクと光ヘッドの相対的な傾きを
零とするように(いわゆるチルトセンサを用いて)調整
を行う第2のフィードバックループ制御系を構成したも
のである。そして、その動作は、まず第2のフィードバ
ックループ制御系の初期設定を第1のフィードバックル
ープ制御系で行った後、通常の信号を再生するときには
高速でかつ精度の良い応答が実現できる第2のフィード
バックループ制御系でディスクと光ヘッドの相対的な傾
きを零とするので、精度の良い傾き検出を比較的規模の
小さい装置で実現することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、下記の構成になる光学情報記録再生装置
を提供する。図1に示すように、光ディスク1に記録さ
れた情報を再生する光ヘッド2(即ち、情報再生用の光
ヘッド部2Aと、光ディスク1と光ヘッド部2Aとの相
対的な傾きを検出する受発光器を有する傾き検出部(い
わゆるチルトセンサ)2Bとを備えた光ヘッド2)を少
なくとも具備した光学情報記録再生装置Aであって、前
記光ヘッド2を構成する光ヘッド部2Aで前記光ディス
ク1を走査して得た前記光ディスク1と前記光ヘッド2
との相対的な傾きを検出するための特定パターン(例え
ばリードインより内周側の特定の領域に予め記録された
ピットパターン。図2に図示)に応じた特定パターン再
生信号b(=再生信号a−遅延再生信号a´)を出力す
る(遅延回路3及び比較器4から構成される)特定パタ
ーン読取手段と、この特定パターン再生信号bを所定の
タイミングでサンプルホールドする第1の保持手段(サ
ンプルホールド(S/H)回路)5と、(特定パターン
再生信号bをアンプ12で所定量増幅して得た)特定パ
ターン再生信号b´に基づいて、前記光ディスク1と前
記光ヘッド2との相対的な傾きを零とするように前記光
ディスク1あるいは前記光ヘッド2の位置調整を(機械
的に)行う(位相補償部13及び半径方向の傾斜調整機
構8から構成される)位置調整手段と、前記光ディスク
1に対する前記光ヘッド2の傾きを検出して検出信号h
を出力する(即ち、光ヘッド部2Aの近傍に設けられて
いる傾き検出部2Bの発光器から光ディスク1上の特定
ピットパターンあるいは情報ピットパターンにチルト検
出用光ビームを照射してそこから反射してくる反射光ビ
ームを傾き検出部2Bの受光器で受光して得た光ビーム
cが供給され、この光ビームcを光電変換して得た検出
信号hを出力する)傾斜検出手段(光ヘッドの傾斜制御
装置)7と、(位相補償部13及びディスク半径方向の
傾斜調整機構8から構成される)前記位置調整手段で行
った直後の位置調整(光ディスク1に対する光ヘッド2
の傾き調整)に応じた前記検出信号h0 を所定のタイミ
ングでサンプルホールドする第2の保持手段(サンプル
ホールド(S/H)回路)10と、この第2の保持手段
(サンプルホールド(S/H)回路)10から出力する
検出信号h0 と、前記傾斜検出手段(光ヘッドの傾斜制
御装置)7から出力する検出信号hとを比較して得た比
較信号iを出力する比較手段(比較回路)11と、(ア
ンプ12を介して)前記第1の保持手段(サンプルホー
ルド(S/H)回路)5から出力する特定パターン再生
信号b´と前記比較手段(比較回路)11から出力する
比較信号iとを(位相補償部13及び半径方向の傾斜調
整機構8から構成される)前記位置調整手段へ切り換え
出力する切換手段(スイッチ)6とを備え、まず(装置
の起動時)、前記切換手段(スイッチ)6を前記第1の
保持手段(サンプルホールド(S/H)回路)5側へ切
り換えて、特定パターン再生信号b´を(位相補償部1
3及び半径方向の傾斜調整機構8から構成される)前記
位置調整手段へ出力して前記光ディスク1と前記光ヘッ
ド2との相対的な傾きを零とするように初期設定を行い
(即ち、光ヘッド2(光ヘッド部2A)→遅延回路3→
比較器4→S/H回路5→アンプ12→スイッチ6の端
子6b→スイッチ6の端子6c→位相補償部13→半径
方向の傾斜調整機構8から構成される第1のフィードバ
ックループ制御系を形成して、光ディスク1と光ヘッド
2との相対的な傾きを零とする初期設定を行い)、この
後、(第1のフィードバックループ制御系で光ディスク
1と光ヘッド2との相対的な傾きを零とする初期設定の
存在が確認されると、)前記切換手段(スイッチ)6を
前記比較手段(比較回路)11側へ切り換えて、前記比
較信号iを(位相補償部13及び半径方向の傾斜調整機
構8から構成される)前記位置調整手段へ出力して、前
記光ディスク1と前記光ヘッド2との相対的な傾きを零
とする通常設定を行う(即ち、光ヘッド2(傾き検出部
(いわゆるチルトセンサ)2B)→光ヘッドの傾斜制御
装置7→S/H回路10→比較回路11→スイッチ6の
端子6b→スイッチ6の端子6c→位相補償部13→半
径方向の傾斜調整機構8→光ヘッド2(傾き検出部2
B)から構成される第2のフィードバックループ制御系
を形成して、前記光ディスク1と前記光ヘッド2との相
対的な傾きを零とする通常設定を行う)ことを特徴とす
る光学情報記録再生装置。
成するために、下記の構成になる光学情報記録再生装置
を提供する。図1に示すように、光ディスク1に記録さ
れた情報を再生する光ヘッド2(即ち、情報再生用の光
ヘッド部2Aと、光ディスク1と光ヘッド部2Aとの相
対的な傾きを検出する受発光器を有する傾き検出部(い
わゆるチルトセンサ)2Bとを備えた光ヘッド2)を少
なくとも具備した光学情報記録再生装置Aであって、前
記光ヘッド2を構成する光ヘッド部2Aで前記光ディス
ク1を走査して得た前記光ディスク1と前記光ヘッド2
との相対的な傾きを検出するための特定パターン(例え
ばリードインより内周側の特定の領域に予め記録された
ピットパターン。図2に図示)に応じた特定パターン再
生信号b(=再生信号a−遅延再生信号a´)を出力す
る(遅延回路3及び比較器4から構成される)特定パタ
ーン読取手段と、この特定パターン再生信号bを所定の
タイミングでサンプルホールドする第1の保持手段(サ
ンプルホールド(S/H)回路)5と、(特定パターン
再生信号bをアンプ12で所定量増幅して得た)特定パ
ターン再生信号b´に基づいて、前記光ディスク1と前
記光ヘッド2との相対的な傾きを零とするように前記光
ディスク1あるいは前記光ヘッド2の位置調整を(機械
的に)行う(位相補償部13及び半径方向の傾斜調整機
構8から構成される)位置調整手段と、前記光ディスク
1に対する前記光ヘッド2の傾きを検出して検出信号h
を出力する(即ち、光ヘッド部2Aの近傍に設けられて
いる傾き検出部2Bの発光器から光ディスク1上の特定
ピットパターンあるいは情報ピットパターンにチルト検
出用光ビームを照射してそこから反射してくる反射光ビ
ームを傾き検出部2Bの受光器で受光して得た光ビーム
cが供給され、この光ビームcを光電変換して得た検出
信号hを出力する)傾斜検出手段(光ヘッドの傾斜制御
装置)7と、(位相補償部13及びディスク半径方向の
傾斜調整機構8から構成される)前記位置調整手段で行
った直後の位置調整(光ディスク1に対する光ヘッド2
の傾き調整)に応じた前記検出信号h0 を所定のタイミ
ングでサンプルホールドする第2の保持手段(サンプル
ホールド(S/H)回路)10と、この第2の保持手段
(サンプルホールド(S/H)回路)10から出力する
検出信号h0 と、前記傾斜検出手段(光ヘッドの傾斜制
御装置)7から出力する検出信号hとを比較して得た比
較信号iを出力する比較手段(比較回路)11と、(ア
ンプ12を介して)前記第1の保持手段(サンプルホー
ルド(S/H)回路)5から出力する特定パターン再生
信号b´と前記比較手段(比較回路)11から出力する
比較信号iとを(位相補償部13及び半径方向の傾斜調
整機構8から構成される)前記位置調整手段へ切り換え
出力する切換手段(スイッチ)6とを備え、まず(装置
の起動時)、前記切換手段(スイッチ)6を前記第1の
保持手段(サンプルホールド(S/H)回路)5側へ切
り換えて、特定パターン再生信号b´を(位相補償部1
3及び半径方向の傾斜調整機構8から構成される)前記
位置調整手段へ出力して前記光ディスク1と前記光ヘッ
ド2との相対的な傾きを零とするように初期設定を行い
(即ち、光ヘッド2(光ヘッド部2A)→遅延回路3→
比較器4→S/H回路5→アンプ12→スイッチ6の端
子6b→スイッチ6の端子6c→位相補償部13→半径
方向の傾斜調整機構8から構成される第1のフィードバ
ックループ制御系を形成して、光ディスク1と光ヘッド
2との相対的な傾きを零とする初期設定を行い)、この
後、(第1のフィードバックループ制御系で光ディスク
1と光ヘッド2との相対的な傾きを零とする初期設定の
存在が確認されると、)前記切換手段(スイッチ)6を
前記比較手段(比較回路)11側へ切り換えて、前記比
較信号iを(位相補償部13及び半径方向の傾斜調整機
構8から構成される)前記位置調整手段へ出力して、前
記光ディスク1と前記光ヘッド2との相対的な傾きを零
とする通常設定を行う(即ち、光ヘッド2(傾き検出部
(いわゆるチルトセンサ)2B)→光ヘッドの傾斜制御
装置7→S/H回路10→比較回路11→スイッチ6の
端子6b→スイッチ6の端子6c→位相補償部13→半
径方向の傾斜調整機構8→光ヘッド2(傾き検出部2
B)から構成される第2のフィードバックループ制御系
を形成して、前記光ディスク1と前記光ヘッド2との相
対的な傾きを零とする通常設定を行う)ことを特徴とす
る光学情報記録再生装置。
【0008】上記した構成の光学情報記録再生装置A
は、次のような動作を行う。光ヘッド2と光ディスク1
との間に相対的な傾きが生じると、再生された情報信号
波形は歪みを発生し情報を良好に再生できない。この歪
みはこの傾きの度合いに一意であるため、歪みから光ヘ
ッド2と光ディスク1の相対的傾きを算出できる。この
光ヘッド2は、情報再生用の光ヘッド部2Aと、光ディ
スク1と光ヘッド部2Aとの相対的な傾きを検出する受
発光器を有する傾き検出部(いわゆるチルトセンサ)2
Bとを備えている。光ヘッド2と光ディスク1との間に
相対的な傾きが無い(零)状態において、予め記録され
た特定パターン(図2に図示)を光ヘッド部2Aで再生
したときの再生波形(矩形状の基準波形c)は既知であ
るから、該領域を再生したときの(特定パターン再生信
号bの)再生波形に歪みが無い状態になる様に、光ヘッ
ド2もしくは光ディスク1を機械的に傾けて、光ヘッド
2と光ディスク1間の相対的な傾きを零に近づけること
ができる。この一連の動作(初期値調整動作)で、特定
パターンが記録されている領域の、光ヘッド2と光ディ
スク1間の相対的な傾きを零に近づけることが出来、こ
の後、特定パターンを再生する必要のない光ヘッド部2
Aと傾き検出部2Bに接続される光ヘッドの傾斜制御装
置7を用いて、特定パターンが記録されていない領域で
光ヘッド2と光ディスク1の相対的な傾きを零に近づけ
ることが出来る(第2調整動作)。初期値調整動作は再
生信号波形をもとに行うので、歪みを検出する比較的簡
単な機構で実現でき、第2調整動作を周知の簡単な光学
系等で構成すると、光ヘッド2と光ディスク1間の相対
的な傾きを、比較的小規模な構成で、精度良く零に近づ
けることが出来る。
は、次のような動作を行う。光ヘッド2と光ディスク1
との間に相対的な傾きが生じると、再生された情報信号
波形は歪みを発生し情報を良好に再生できない。この歪
みはこの傾きの度合いに一意であるため、歪みから光ヘ
ッド2と光ディスク1の相対的傾きを算出できる。この
光ヘッド2は、情報再生用の光ヘッド部2Aと、光ディ
スク1と光ヘッド部2Aとの相対的な傾きを検出する受
発光器を有する傾き検出部(いわゆるチルトセンサ)2
Bとを備えている。光ヘッド2と光ディスク1との間に
相対的な傾きが無い(零)状態において、予め記録され
た特定パターン(図2に図示)を光ヘッド部2Aで再生
したときの再生波形(矩形状の基準波形c)は既知であ
るから、該領域を再生したときの(特定パターン再生信
号bの)再生波形に歪みが無い状態になる様に、光ヘッ
ド2もしくは光ディスク1を機械的に傾けて、光ヘッド
2と光ディスク1間の相対的な傾きを零に近づけること
ができる。この一連の動作(初期値調整動作)で、特定
パターンが記録されている領域の、光ヘッド2と光ディ
スク1間の相対的な傾きを零に近づけることが出来、こ
の後、特定パターンを再生する必要のない光ヘッド部2
Aと傾き検出部2Bに接続される光ヘッドの傾斜制御装
置7を用いて、特定パターンが記録されていない領域で
光ヘッド2と光ディスク1の相対的な傾きを零に近づけ
ることが出来る(第2調整動作)。初期値調整動作は再
生信号波形をもとに行うので、歪みを検出する比較的簡
単な機構で実現でき、第2調整動作を周知の簡単な光学
系等で構成すると、光ヘッド2と光ディスク1間の相対
的な傾きを、比較的小規模な構成で、精度良く零に近づ
けることが出来る。
【0009】
【発明の実施の態様】以下、添付図面を参照して本発明
の一実施例を説明する。図1は本発明の光学情報記録再
生装置の主要部の一実施例ブロック図、図2は光ディス
ク上の特定領域に予め記録された特定パターンの説明
図、図3は光ディスクに対する光ヘッドの傾きが+方向
の場合における特定パターンの再生状態及びその再生信
号の波形の説明図、図4は光ディスクに対する光ヘッド
の傾きが−方向の場合における特定パターンの再生状態
及びその再生信号の波形の説明図である。
の一実施例を説明する。図1は本発明の光学情報記録再
生装置の主要部の一実施例ブロック図、図2は光ディス
ク上の特定領域に予め記録された特定パターンの説明
図、図3は光ディスクに対する光ヘッドの傾きが+方向
の場合における特定パターンの再生状態及びその再生信
号の波形の説明図、図4は光ディスクに対する光ヘッド
の傾きが−方向の場合における特定パターンの再生状態
及びその再生信号の波形の説明図である。
【0010】本発明の光学情報記録再生装置は、後述す
るように、まず、ディスクと光ヘッドの相対的な傾きを
零とするように特定パターンを用いてディスクあるいは
光ヘッドの位置調整の初期設定を行う第1のフィードバ
ックループ制御系と、この初期設定以降、この第1のフ
ィードバックループ制御系から第2のフィードバックル
ープ制御系に切り換えて、光ディスク1と光ヘッド2の
相対的な傾きを零とするように特定パターンを用いずに
通常の情報信号(再生信号波形)を用いてディスクある
いは光ヘッドの位置調整を行う構成を有するものであ
る。ここで、上記した第1のフィードバックループ制御
系は、光ヘッド2(光ヘッド部2A)→遅延回路3→比
較器4→S/H回路5→アンプ12→スイッチ6の端子
6a→スイッチ6の端子6c→位相補償部13→半径方
向の傾斜調整機構8から構成される。また、上記した第
2のフィードバックループ制御系は、光ヘッド2(傾き
検出部(いわゆるチルトセンサ)2B)→光ヘッドの傾
斜制御装置7→S/H回路10→比較回路11→スイッ
チ6の端子6b→スイッチ6の端子6c→位相補償部1
3→半径方向の傾斜調整機構8→光ヘッド2(傾き検出
部2B)から構成される。
るように、まず、ディスクと光ヘッドの相対的な傾きを
零とするように特定パターンを用いてディスクあるいは
光ヘッドの位置調整の初期設定を行う第1のフィードバ
ックループ制御系と、この初期設定以降、この第1のフ
ィードバックループ制御系から第2のフィードバックル
ープ制御系に切り換えて、光ディスク1と光ヘッド2の
相対的な傾きを零とするように特定パターンを用いずに
通常の情報信号(再生信号波形)を用いてディスクある
いは光ヘッドの位置調整を行う構成を有するものであ
る。ここで、上記した第1のフィードバックループ制御
系は、光ヘッド2(光ヘッド部2A)→遅延回路3→比
較器4→S/H回路5→アンプ12→スイッチ6の端子
6a→スイッチ6の端子6c→位相補償部13→半径方
向の傾斜調整機構8から構成される。また、上記した第
2のフィードバックループ制御系は、光ヘッド2(傾き
検出部(いわゆるチルトセンサ)2B)→光ヘッドの傾
斜制御装置7→S/H回路10→比較回路11→スイッ
チ6の端子6b→スイッチ6の端子6c→位相補償部1
3→半径方向の傾斜調整機構8→光ヘッド2(傾き検出
部2B)から構成される。
【0011】本発明の光学情報記録再生装置Aは、図1
に示すように、図示せぬターンテーブルに着脱可能であ
る、CD(コンパクトティスク)あるいはDVD(ディ
ジタルビデオディスク)などの光ディスク1に記録され
た情報を再生する光ヘッド2を少なくとも具備した装置
であって、主に、遅延回路3、比較器4、サンプルホー
ルド(S/H)回路5,10、スイッチ6、光ヘッドの
傾斜制御装置7、半径方向の傾斜調整機構8、調整制御
信号形成部9、比較回路11,14、アンプ12、位相
補償部13を備えている。
に示すように、図示せぬターンテーブルに着脱可能であ
る、CD(コンパクトティスク)あるいはDVD(ディ
ジタルビデオディスク)などの光ディスク1に記録され
た情報を再生する光ヘッド2を少なくとも具備した装置
であって、主に、遅延回路3、比較器4、サンプルホー
ルド(S/H)回路5,10、スイッチ6、光ヘッドの
傾斜制御装置7、半径方向の傾斜調整機構8、調整制御
信号形成部9、比較回路11,14、アンプ12、位相
補償部13を備えている。
【0012】上記した遅延回路3及び比較器4は、特定
パターン読取手段を形成している。この特定パターン読
取手段は、光ディスク1と光ヘッド2との相対的な傾き
を検出するために用いられる特定パターン、例えば光デ
ィスク1のリードインより内周側の特定の領域に予め記
録されたピットパターン。図2に図示、を再生走査する
光ヘッド部2Aからの再生信号a中の特定パターンに応
じた特定パターン再生信号bを抽出する。特定パターン
再生信号bは再生信号aから遅延再生信号a´を減算し
て得た信号である。
パターン読取手段を形成している。この特定パターン読
取手段は、光ディスク1と光ヘッド2との相対的な傾き
を検出するために用いられる特定パターン、例えば光デ
ィスク1のリードインより内周側の特定の領域に予め記
録されたピットパターン。図2に図示、を再生走査する
光ヘッド部2Aからの再生信号a中の特定パターンに応
じた特定パターン再生信号bを抽出する。特定パターン
再生信号bは再生信号aから遅延再生信号a´を減算し
て得た信号である。
【0013】上記したS/H回路5は、比較器4から出
力する特定パターン再生信号bを一定期間(初期設定期
間)保持すると共に、次段のアンプ12へ継続して特定
パターン再生信号bを出力する。アンプ12は特定パタ
ーン再生信号bを所定量増幅して得た特定パターン再生
信号b´をスイッチ6の端子6bへ出力する。
力する特定パターン再生信号bを一定期間(初期設定期
間)保持すると共に、次段のアンプ12へ継続して特定
パターン再生信号bを出力する。アンプ12は特定パタ
ーン再生信号bを所定量増幅して得た特定パターン再生
信号b´をスイッチ6の端子6bへ出力する。
【0014】上記した位相補償部13及び半径方向の傾
斜調整機構8は、位置調整手段を形成している。この位
置調整手段は、アンプ12から出力する特定パターン再
生信号b´に基づいて、光ディスク1と光ヘッド2との
相対的な傾きを零とするように、光ディスク1あるいは
光ヘッド2の位置調整を機械的に行う。
斜調整機構8は、位置調整手段を形成している。この位
置調整手段は、アンプ12から出力する特定パターン再
生信号b´に基づいて、光ディスク1と光ヘッド2との
相対的な傾きを零とするように、光ディスク1あるいは
光ヘッド2の位置調整を機械的に行う。
【0015】上記した光ヘッドの傾斜制御装置7は、周
知の光検出手段であり、光ディスク1に対する光ヘッド
2の傾きを検出して検出信号hを比較回路11及びS/
H回路10へ出力する。即ち、光ヘッド部2Aの近傍に
設けられている傾き検出部2Bの発光器から光ディスク
1上の特定ピットパターンあるいは情報ピットパターン
にチルト検出用光ビームを照射してそこから反射してく
る反射光ビームを傾き検出部2Bの受光器で受光して得
た光ビームcが供給され、この光ビームcを光電変換し
て得た検出信号hを出力する。上記したS/H回路10
は、初期設定直後の位置調整に応じた検出信号h0 を調
整制御信号形成部9からの制御信号に応じて一定期間
(再生動作が終了するまでの間)保持すると共に、次段
の比較回路11の+端子へ継続して検出信号h0を出力
する。
知の光検出手段であり、光ディスク1に対する光ヘッド
2の傾きを検出して検出信号hを比較回路11及びS/
H回路10へ出力する。即ち、光ヘッド部2Aの近傍に
設けられている傾き検出部2Bの発光器から光ディスク
1上の特定ピットパターンあるいは情報ピットパターン
にチルト検出用光ビームを照射してそこから反射してく
る反射光ビームを傾き検出部2Bの受光器で受光して得
た光ビームcが供給され、この光ビームcを光電変換し
て得た検出信号hを出力する。上記したS/H回路10
は、初期設定直後の位置調整に応じた検出信号h0 を調
整制御信号形成部9からの制御信号に応じて一定期間
(再生動作が終了するまでの間)保持すると共に、次段
の比較回路11の+端子へ継続して検出信号h0を出力
する。
【0016】上記した比較回路11は、S/H回路10
から出力する検出信号h0 と、光ヘッドの傾斜制御装置
7から連続して出力する検出信号hとを比較して得た比
較信号iを、スイッチ6の端子6bへ出力する。
から出力する検出信号h0 と、光ヘッドの傾斜制御装置
7から連続して出力する検出信号hとを比較して得た比
較信号iを、スイッチ6の端子6bへ出力する。
【0017】上記したスイッチ6は、端子6a,6b、
接点6cを備え、アンプ12から出力する特定パターン
再生信号b´と比較回路11から出力する比較信号iと
を、調整制御信号形成部9からの切換制御信号に応じ
て、位相補償部13へ切り換え出力する。
接点6cを備え、アンプ12から出力する特定パターン
再生信号b´と比較回路11から出力する比較信号iと
を、調整制御信号形成部9からの切換制御信号に応じ
て、位相補償部13へ切り換え出力する。
【0018】ところで、光ディスク1の特定領域(例え
ばリードイン領域より内周側)に記録された特定パター
ンは、図2に示すように、例えばピットp1,p2,p
3から構成される特定パターンpa、ピットp4,p
5,p6から構成される特定パターンpbを順次配列し
たものである。ここでは説明の都合上、特定パターンp
aを光ヘッド2で再生走査して特定パターン再生信号b
を得る場合について以下に説明する。
ばリードイン領域より内周側)に記録された特定パター
ンは、図2に示すように、例えばピットp1,p2,p
3から構成される特定パターンpa、ピットp4,p
5,p6から構成される特定パターンpbを順次配列し
たものである。ここでは説明の都合上、特定パターンp
aを光ヘッド2で再生走査して特定パターン再生信号b
を得る場合について以下に説明する。
【0019】(初期設定時、光ディスク1と光ヘッド2
間に相対的な傾きが零の場合)光ヘッド2(光ヘッド部
2A)から出力する読取ビームsは、特定パターンPA
の中心(ピットp2)上のみ照射される。この結果、こ
のピットp2を光ヘッド部2Aが再生走査して得た反射
ビームに応じた特定パターン再生信号bは、図3
(B),図4(B)にそれぞれ破線で示す矩形波であ
る、基準波形cとなる。
間に相対的な傾きが零の場合)光ヘッド2(光ヘッド部
2A)から出力する読取ビームsは、特定パターンPA
の中心(ピットp2)上のみ照射される。この結果、こ
のピットp2を光ヘッド部2Aが再生走査して得た反射
ビームに応じた特定パターン再生信号bは、図3
(B),図4(B)にそれぞれ破線で示す矩形波であ
る、基準波形cとなる。
【0020】(初期設定時、光ディスク1と光ヘッド2
間に相対的な傾きが正(+)方向の場合)光ヘッド部2
Aから出力する読取ビームsは、コマ収差によって特定
パターンPAの中心(ピットp2)及び外周側(ピット
p1)上に跨がって照射され、スポットs,s1 が形成
される。この結果、このピットp1,p2を光ヘッド2
が再生走査して得た反射ビームに応じた特定パターン再
生信号bは、図3(B)に実線で示す基準波形cとは相
違した、波形dとなる。
間に相対的な傾きが正(+)方向の場合)光ヘッド部2
Aから出力する読取ビームsは、コマ収差によって特定
パターンPAの中心(ピットp2)及び外周側(ピット
p1)上に跨がって照射され、スポットs,s1 が形成
される。この結果、このピットp1,p2を光ヘッド2
が再生走査して得た反射ビームに応じた特定パターン再
生信号bは、図3(B)に実線で示す基準波形cとは相
違した、波形dとなる。
【0021】(初期設定時、光ディスク1と光ヘッド2
間に相対的な傾きが負(−)方向の場合)光ヘッド部2
Aから出力する読取ビームsは、コマ収差によって特定
パターンPAの中心(ピットp2)及び内周側(ピット
p3)上に跨がって照射され、スポットs,s2 が形成
される。この結果、このピットp2,p3を光ヘッド2
が再生走査して得た反射ビームに応じた特定パターン再
生信号bは、図4(B)に実線で示す基準波形cとは相
違した、波形eとなる。
間に相対的な傾きが負(−)方向の場合)光ヘッド部2
Aから出力する読取ビームsは、コマ収差によって特定
パターンPAの中心(ピットp2)及び内周側(ピット
p3)上に跨がって照射され、スポットs,s2 が形成
される。この結果、このピットp2,p3を光ヘッド2
が再生走査して得た反射ビームに応じた特定パターン再
生信号bは、図4(B)に実線で示す基準波形cとは相
違した、波形eとなる。
【0022】このように、光ディスク1と光ヘッド2間
に相対的な傾きが零でない場合、基準波形cと同一の波
形とはならない。この状態を補償しないと、通常再生時
において良好な情報再生信号を得ることができないの
で、上記した構成の光学情報記録再生装置Aの動作によ
って、装置の起動時から直ちに、光ディスク1と光ヘッ
ド2間に相対的な傾きを零とするように位置調整を行
う。
に相対的な傾きが零でない場合、基準波形cと同一の波
形とはならない。この状態を補償しないと、通常再生時
において良好な情報再生信号を得ることができないの
で、上記した構成の光学情報記録再生装置Aの動作によ
って、装置の起動時から直ちに、光ディスク1と光ヘッ
ド2間に相対的な傾きを零とするように位置調整を行
う。
【0023】次に、上記した構成の光学情報記録再生装
置Aの動作について説明する。
置Aの動作について説明する。
【0024】まず、装置を起動すると、光ディスク1の
特定領域(例えばリードイン領域より内周側)に記録さ
れた特定パターン位置上に光ヘッド2が待機位置から移
送され、特定パターンPA上に光ヘッド部2Aから出射
する読取光ビームが照射される。この後、光ヘッド部2
Aはその特定パターンPA上からの反射光ビームを受光
して光電変換して得た再生信号aを遅延回路3及び比較
器4へ出力する。遅延回路3は再生信号aを一定期間
(例えば図3(B)に示す期間cc)遅延して得た遅延
再生信号a´を比較器4へ出力する。比較器4は光ヘッ
ド部2Aから直接供給された再生信号aと一定期間遅延
して得た遅延再生信号a´とを比較して、再生信号aと
遅延再生信号a´との差分信号である特定パターン再生
信号bを出力する。
特定領域(例えばリードイン領域より内周側)に記録さ
れた特定パターン位置上に光ヘッド2が待機位置から移
送され、特定パターンPA上に光ヘッド部2Aから出射
する読取光ビームが照射される。この後、光ヘッド部2
Aはその特定パターンPA上からの反射光ビームを受光
して光電変換して得た再生信号aを遅延回路3及び比較
器4へ出力する。遅延回路3は再生信号aを一定期間
(例えば図3(B)に示す期間cc)遅延して得た遅延
再生信号a´を比較器4へ出力する。比較器4は光ヘッ
ド部2Aから直接供給された再生信号aと一定期間遅延
して得た遅延再生信号a´とを比較して、再生信号aと
遅延再生信号a´との差分信号である特定パターン再生
信号bを出力する。
【0025】比較器4から出力される特定パターン再生
信号bは所定のタイミングで、S/H回路5でサンプル
ホールドされる。S/H回路5でサンプルホールドされ
た特定パターン再生信号bはアンプ12で増幅された
後、特定パターン再生信号b´をスイッチ6の端子6b
へ出力する。スイッチ6はアンプ12側に切り換えられ
ており、特定パターン再生信号b´は位相補償部13へ
出力される。
信号bは所定のタイミングで、S/H回路5でサンプル
ホールドされる。S/H回路5でサンプルホールドされ
た特定パターン再生信号bはアンプ12で増幅された
後、特定パターン再生信号b´をスイッチ6の端子6b
へ出力する。スイッチ6はアンプ12側に切り換えられ
ており、特定パターン再生信号b´は位相補償部13へ
出力される。
【0026】位相補償部13は特定パターン再生信号b
´を位相補償して得た位相補償信号を半径方向の傾斜調
整機構8へ出力する。半径方向の傾斜調整機構8は傾斜
調整機構8から供給される位相補償信号のレベル及び位
相に応じて、光ヘッド2のチルト機構の位置調整あるい
は光ディスク1を載置するターンテーブル(いずれも図
示せず)の位置調整を行う。
´を位相補償して得た位相補償信号を半径方向の傾斜調
整機構8へ出力する。半径方向の傾斜調整機構8は傾斜
調整機構8から供給される位相補償信号のレベル及び位
相に応じて、光ヘッド2のチルト機構の位置調整あるい
は光ディスク1を載置するターンテーブル(いずれも図
示せず)の位置調整を行う。
【0027】このように、特定パターンPAに応じた特
定パターン再生信号bの初期値設定を行う。即ち、光ヘ
ッド2(光ヘッド部2A)→遅延回路3→比較器4→S
/H回路5→アンプ12→スイッチ6の端子6b→スイ
ッチ6の端子6c→位相補償部13→半径方向の傾斜調
整機構8から構成される第1のフィードバックループ制
御系を形成して、前記光ディスク1と前記光ヘッド2と
の相対的な傾きを零とする初期設定を急俊に行う。この
結果、特定パターン再生信号bの初期値設定が終了す
る。
定パターン再生信号bの初期値設定を行う。即ち、光ヘ
ッド2(光ヘッド部2A)→遅延回路3→比較器4→S
/H回路5→アンプ12→スイッチ6の端子6b→スイ
ッチ6の端子6c→位相補償部13→半径方向の傾斜調
整機構8から構成される第1のフィードバックループ制
御系を形成して、前記光ディスク1と前記光ヘッド2と
の相対的な傾きを零とする初期設定を急俊に行う。この
結果、特定パターン再生信号bの初期値設定が終了す
る。
【0028】次に、上記した初期設定が終了すると直後
に、スイッチ6は装置全体の動作を制御する図示せぬ制
御部からの制御信号により調整制御信号形成部9から出
力する切換制御信号によって、比較回路11側へ切り換
えられる。こうして、光ヘッドの傾斜制御装置7は、光
ヘッド部2Aの近傍に設けられている傾き検出部2Bの
発光器から光ディスク1にチルト検出用光ビームを通常
の記録領域に記録されている情報ピットパターンを再生
走査(照射)してそこから反射してくる反射光ビームを
傾き検出部2Bの受光器で受光して得た光ビームcが供
給され、この光ビームcを光電変換して得た検出信号h
を比較回路11及びS/H回路10へ供給する。
に、スイッチ6は装置全体の動作を制御する図示せぬ制
御部からの制御信号により調整制御信号形成部9から出
力する切換制御信号によって、比較回路11側へ切り換
えられる。こうして、光ヘッドの傾斜制御装置7は、光
ヘッド部2Aの近傍に設けられている傾き検出部2Bの
発光器から光ディスク1にチルト検出用光ビームを通常
の記録領域に記録されている情報ピットパターンを再生
走査(照射)してそこから反射してくる反射光ビームを
傾き検出部2Bの受光器で受光して得た光ビームcが供
給され、この光ビームcを光電変換して得た検出信号h
を比較回路11及びS/H回路10へ供給する。
【0029】S/H回路10は調整制御信号形成部9か
ら出力する制御信号のタイミングに応じて信号波形hを
一定期間(再生動作が終了するまでの間)保持する。比
較回路11はS/H回路10から出力する検出信号h0
と、光ヘッドの傾斜制御装置7から出力する検出波形h
とを比較して得た比較信号iを、スイッチ6の端子6b
へ出力する。スイッチ6は比較回路11から出力する比
較信号iを、調整制御信号形成部9からの切換制御信号
に応じて、位相補償部13へ切り換え出力する。
ら出力する制御信号のタイミングに応じて信号波形hを
一定期間(再生動作が終了するまでの間)保持する。比
較回路11はS/H回路10から出力する検出信号h0
と、光ヘッドの傾斜制御装置7から出力する検出波形h
とを比較して得た比較信号iを、スイッチ6の端子6b
へ出力する。スイッチ6は比較回路11から出力する比
較信号iを、調整制御信号形成部9からの切換制御信号
に応じて、位相補償部13へ切り換え出力する。
【0030】位相補償部13は比較回路11から出力す
る第2の比較信号iを位相補償して得た位相補償信号を
半径方向の傾斜調整機構8へ出力する。半径方向の傾斜
調整機構8は傾斜調整機構8から供給される位相補償信
号のレベル及び位相に応じて、光ヘッド2のチルト機構
あるいは光ディスク1を載置するターンテーブル(いず
れも図示せず)の位置調整を行う。
る第2の比較信号iを位相補償して得た位相補償信号を
半径方向の傾斜調整機構8へ出力する。半径方向の傾斜
調整機構8は傾斜調整機構8から供給される位相補償信
号のレベル及び位相に応じて、光ヘッド2のチルト機構
あるいは光ディスク1を載置するターンテーブル(いず
れも図示せず)の位置調整を行う。
【0031】このように、初期設定以降、通常再生時に
おける、光ディスク1と光ヘッド2の相対的な傾きを零
とするようにディスクあるいは光ヘッドの位置調整を常
時連続して行う。
おける、光ディスク1と光ヘッド2の相対的な傾きを零
とするようにディスクあるいは光ヘッドの位置調整を常
時連続して行う。
【0032】上述したように、本発明の光学情報記録再
生装置は、初期設定時において、ディスクと光ヘッドの
相対的な傾きを零とするように特定パターンを用いてデ
ィスクあるいは光ヘッドの位置調整を行った後、通常再
生時において、通常の情報信号を用いてディスクあるい
は光ヘッドの位置調整を常時連続して行うことができ
る。
生装置は、初期設定時において、ディスクと光ヘッドの
相対的な傾きを零とするように特定パターンを用いてデ
ィスクあるいは光ヘッドの位置調整を行った後、通常再
生時において、通常の情報信号を用いてディスクあるい
は光ヘッドの位置調整を常時連続して行うことができ
る。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明の光学情報記
録再生装置によれば、まず、ディスクと光ヘッドの相対
的な傾きを零とするように特定パターンを用いてディス
クあるいは光ヘッドの位置調整の初期設定を行った後、
ディスクと光ヘッドの相対的な傾きを零とするように通
常の再生状態においてディスクあるいは光ヘッドの位置
調整を行うように構成されているから、ディスクと光ヘ
ッドの相対的な傾きを零とするに要する構成を簡素化
し、かつ精度の良い傾き検出を比較的短時間で規模の小
さい装置で実現することができる。
録再生装置によれば、まず、ディスクと光ヘッドの相対
的な傾きを零とするように特定パターンを用いてディス
クあるいは光ヘッドの位置調整の初期設定を行った後、
ディスクと光ヘッドの相対的な傾きを零とするように通
常の再生状態においてディスクあるいは光ヘッドの位置
調整を行うように構成されているから、ディスクと光ヘ
ッドの相対的な傾きを零とするに要する構成を簡素化
し、かつ精度の良い傾き検出を比較的短時間で規模の小
さい装置で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光学情報記録再生装置の主要部の一実
施例ブロック図である。
施例ブロック図である。
【図2】光ディスク上の特定領域に予め記録された特定
パターンの説明図である。
パターンの説明図である。
【図3】光ディスクに対する光ヘッドの傾きが+方向の
場合における特定パターンの再生状態及びその再生信号
の波形の説明図である。
場合における特定パターンの再生状態及びその再生信号
の波形の説明図である。
【図4】光ディスクに対する光ヘッドの傾きが−方向の
場合における特定パターンの再生状態及びその再生信号
の波形の説明図である。
場合における特定パターンの再生状態及びその再生信号
の波形の説明図である。
1 光ディスク 2 光ヘッド 2A 光ヘッド部 2B 傾き検出部 3 遅延素子 4 比較器 5,10 サンプル・ホールド回路(第1,第2の保持
手段) 6 スイッチ(切換手段) 7 光ヘッドの傾斜検出装置(傾斜検出手段) 8 半径方向の傾斜調整機構 9 調整制御信号生成部 11 比較器(比較手段) 12 アンプ 13 位相補償部 A 光学情報記録再生装置
手段) 6 スイッチ(切換手段) 7 光ヘッドの傾斜検出装置(傾斜検出手段) 8 半径方向の傾斜調整機構 9 調整制御信号生成部 11 比較器(比較手段) 12 アンプ 13 位相補償部 A 光学情報記録再生装置
Claims (1)
- 【請求項1】光ディスクに記録された情報を再生する光
ヘッドを少なくとも具備した光学情報記録再生装置であ
って、 前記光ヘッドを構成する光ヘッド部で前記光ディスクを
走査して得た前記光ディスクと前記光ヘッドとの相対的
な傾きを検出するための特定パターンに応じた特定パタ
ーン再生信号を出力する特定パターン読取手段と、 この特定パターン再生信号を所定のタイミングでサンプ
ルホールドする第1の保持手段と、 前記特定パターン再生信号に基づいて、前記光ディスク
と前記光ヘッドとの相対的な傾きを零とするように前記
光ディスクあるいは前記光ヘッドの位置調整を行う位置
調整手段と、 前記光ディスクに対する前記光ヘッドの傾きを検出して
検出信号を出力する傾斜検出手段と、 前記位置調整手段で行った直後の位置調整に応じた前記
検出信号を所定のタイミングでサンプルホールドする第
2の保持手段と、 この第2の保持手段から出力する検出信号と、前記傾斜
検出手段から出力する検出信号とを比較して得た比較信
号を出力する比較手段と、 前記第1の保持手段から出力する特定パターン再生信号
と前記比較手段から出力する比較信号とを前記位置調整
手段へ切り換え出力する切換手段とを備え、 まず、前記切換手段を前記第1の保持手段側へ切り換え
て、特定パターン再生信号を前記位置調整手段へ出力し
て前記光ディスクと前記光ヘッドとの相対的な傾きを零
とするように初期設定を行い、 この後、前記切換手段を前記比較手段側へ切り換えて、
前記比較信号を前記位置調整手段へ出力して、前記光デ
ィスクと前記光ヘッドとの相対的な傾きを零とする通常
設定を行うことを特徴とする光学情報記録再生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7276236A JPH0997440A (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 光学情報記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7276236A JPH0997440A (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 光学情報記録再生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0997440A true JPH0997440A (ja) | 1997-04-08 |
Family
ID=17566601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7276236A Pending JPH0997440A (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 光学情報記録再生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0997440A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100737877B1 (ko) * | 2002-08-13 | 2007-07-10 | 주식회사 사무코 | 반도체기판 세정용 오존수 기술 |
JP2011100541A (ja) * | 2011-01-05 | 2011-05-19 | Pioneer Electronic Corp | 光ディスク |
-
1995
- 1995-09-29 JP JP7276236A patent/JPH0997440A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100737877B1 (ko) * | 2002-08-13 | 2007-07-10 | 주식회사 사무코 | 반도체기판 세정용 오존수 기술 |
JP2011100541A (ja) * | 2011-01-05 | 2011-05-19 | Pioneer Electronic Corp | 光ディスク |
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