JPH0989534A - Three-dimensional configuration measuring device - Google Patents
Three-dimensional configuration measuring deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、立体形状の被測定物を
測定する際に使用する３次元形状測定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a three-dimensional shape measuring device used when measuring an object having a three-dimensional shape.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の３次元形状測定装置とし
て、被測定物にスリット光を照射するレーザー光源と、
被測定物に映し出された光切断線を撮像して２次元画像
データを出力する撮像光学系、及び位置変換データを用
いて撮像光学系からの２次元画像データを３次元位置デ
ータに変換するデータ処理装置を備えたものが知られて
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, as this type of three-dimensional shape measuring apparatus, a laser light source for irradiating an object to be measured with slit light,
An imaging optical system that captures a light-section line projected on an object to be measured and outputs two-dimensional image data, and data that uses position conversion data to convert two-dimensional image data from the imaging optical system into three-dimensional position data. Those equipped with a processing device are known.
【０００３】しかし、図５に示すように、被測定物５０
の形状により死角が生じることがあり、被測定物５０の
表面に形成される光切断線の一部が死角に入ると、これ
を撮像光学系５１によって撮像することができず、形状
の測定ができなくなる。そこでこのような死角を回避す
るため、例えば、特開平５ー３２２５２６号公報に記載
されているような３次元形状測定装置が提案されてい
る。However, as shown in FIG.
May cause a blind spot, and if a part of the light cutting line formed on the surface of the DUT 50 enters the blind spot, it cannot be imaged by the imaging optical system 51, and the shape cannot be measured. become unable. Therefore, in order to avoid such a blind spot, for example, a three-dimensional shape measuring apparatus as described in JP-A-5-322526 has been proposed.
【０００４】図６は上記従来の３次元形状測定装置の構
成図である。図６において、移動テーブル６１に載置さ
れた被測定物６２に、スリット光源６３よりスリット光
を照射する。照射されたスリット光は被測定物６２の表
面からの反射光のなかで平面鏡６４、６５に反射した光
は、多面鏡６６の鏡面６６ａ、６６ｂに入射され、被測
定物６２表面の光切断線（Ｌ２１〜Ｌ２５）が鏡面６６
ａ、６６ｂに映し出される。鏡面６６ａ、６６ｂにそれ
ぞれ映っている光切断線の像を撮像光学系６７により同
時に撮像し、データ処理装置６８にて撮像光学系６７か
らの複数の２次元画像データをそれぞれに対応する位置
変換データを用いて３次元位置データに変換して、光切
断線全体の３次元データを得ることができる。FIG. 6 is a block diagram of the above conventional three-dimensional shape measuring apparatus. In FIG. 6, slit light is emitted from a slit light source 63 onto a measured object 62 placed on a moving table 61. Of the reflected light from the surface of the DUT 62, the illuminated slit light is reflected by the plane mirrors 64 and 65 and is incident on the mirror surfaces 66a and 66b of the polygon mirror 66, and the light cutting line on the surface of the DUT 62 is cut. (L21 to L25) is a mirror surface 66
a, 66b. The image of the optical cutting line reflected on each of the mirror surfaces 66a and 66b is simultaneously picked up by the image pickup optical system 67, and the plurality of two-dimensional image data from the image pickup optical system 67 is converted by the data processing device 68 to the corresponding position conversion data. Can be used to convert into three-dimensional position data to obtain three-dimensional data of the entire optical cutting line.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の３次元形状測定装置では、左右からとらえた光切断
線の像を１つの撮像光学系で撮像するが、この２次元画
像データは、左右からの像を上下または左右逆の位置関
係にて合成したものになる。したがって、データ処理装
置で左右からの像を個別に分け、個々の撮像にあった位
置変換データを用いて３次元データに変換し、更に再度
個々の３次元データを再度合成する必要があり、複雑な
データ処理をしなければならないという問題があった。However, in the above-mentioned conventional three-dimensional shape measuring apparatus, the image of the optical cutting line captured from the left and right is taken by one imaging optical system, but this two-dimensional image data is taken from the left and right. The images are combined in a vertical or left-right reversed positional relationship. Therefore, it is necessary to separately divide the images from the left and right by the data processing device, convert the three-dimensional data into three-dimensional data using the position conversion data suitable for each imaging, and re-synthesize the individual three-dimensional data again. There was a problem that it was necessary to process various data.
【０００６】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、左右２方向からの光拡散反射光を１つの
撮像光学系にて撮像し、撮像した２次元画像データは１
方向からの画像データとして１つの位置変換データを用
いて３角測量の原理に基づき３次元データに変換して３
次元形状データを得ることのできる優れた３次元形状測
定装置を提供することを目的とするものである。The present invention is intended to solve such a conventional problem, in which diffused and reflected light from two left and right directions is picked up by one pick-up optical system, and the picked-up two-dimensional image data is one.
One position conversion data is used as the image data from the direction and converted into three-dimensional data based on the principle of triangulation 3
It is an object of the present invention to provide an excellent three-dimensional shape measuring device capable of obtaining three-dimensional shape data.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、被測定物を移送するテーブルと、上記被測
定物に光を照射する光源と、この光源に対して左右対象
の位置に配置され上記被測定物の表面からの拡散反射光
が入射する一対のミラーと、これら一対のミラーの何れ
か一方のミラーからの反射光を透過させ他方のミラーか
らの反射光を反射させるハーフミラーと、上記一対のミ
ラーからの反射光を合成光として同時にとらえ２次元画
像データを出力する撮像光学系と、この撮像光学系から
の２次元画像データに対応する位置変換データを用いて
３次元形状データに変換するデータ処理装置とを備えた
ものである。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention has a table for transferring an object to be measured, a light source for irradiating the object to be measured with light, and positions of left and right objects with respect to the light source. And a pair of mirrors on which the diffuse reflection light from the surface of the object to be measured is incident, and a half which transmits the reflection light from any one of the pair of mirrors and reflects the reflection light from the other mirror A mirror, an imaging optical system that simultaneously captures reflected light from the pair of mirrors as combined light and outputs two-dimensional image data, and three-dimensional using position conversion data corresponding to the two-dimensional image data from the imaging optical system And a data processing device for converting into shape data.
【０００８】[0008]
【作用】したがって、本発明によれば、被測定物から撮
像光学系までの光路に、左右対に配置され、被測定物の
表面からの光切断線の拡散反射光をとらえ、ハーフミラ
ーに向けて反射させるミラーと、そのミラーからの反射
光のうち、一方からのミラーの反射光を透過し、他方か
らのミラーの反射光を反射するハーフミラーを設けるこ
とにより、左右２方向からの反射光を上下または左右逆
の位置関係になることのない合成光として同時にとら
え、１つの撮像光学系で撮像できる。したがって、被測
定物の表面に形成される死角のない光切断線全体の２次
元画像データを得ることができ、撮像光学系からの２次
元画像データに対応する１つの位置変換データを用いて
３角測量の原理に基づき３次元形状データを求めること
ができる。Therefore, according to the present invention, the left and right pairs are arranged in the optical path from the object to be measured to the image pickup optical system, and the diffuse reflection light of the light cutting line from the surface of the object to be measured is caught and directed to the half mirror. By providing a mirror for reflecting the reflected light from one side of the mirror and a half mirror that transmits the reflected light of the mirror from one side of the reflected light from the mirror and reflects the reflected light of the mirror from the other side, Can be simultaneously captured as combined light that does not have a vertical or left-right reversed positional relationship, and can be imaged by a single imaging optical system. Therefore, it is possible to obtain the two-dimensional image data of the entire light-section line having no blind spots formed on the surface of the object to be measured, and use one position conversion data corresponding to the two-dimensional image data from the imaging optical system to obtain the 3D image data. Three-dimensional shape data can be obtained based on the principle of angle measurement.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１０】（実施例１）図１は第１実施例における３
次元形状測定装置の構成を示すものである。図１におい
て、１は被測定物８にスリット光を照射するレーザ光源
である。被測定物８は移動テーブル１０に載置されてお
り、移動テーブル１０はＸ方向または回転方向（θ回
転）へ移動可能に不図示の装置筐体に支持されている。
２、３はそれぞれレーザ光源１に対して左右対に配置さ
れたミラーであり、これらのミラー２、３は、被測定物
８の表面からの光切断線（Ｌ１〜Ｌ５）の拡散反射光を
とらえてハーフミラー４に向けて反射させている。ハー
フミラー４はミラー２からの反射光を透過しミラー３か
らの反射光を反射しこの透過光と反射光が同一光軸上に
なるように配置されている。５はハーフミラー４からの
合成光をとらえ、２次元画像データを出力する撮像光学
系である。６は撮像光学系５からの２次元画像データに
対応する位置変換データを用いて３次元位置データに変
換するデータ処理装置である。７は２次元画像データを
表示するための表示装置である。９は角度調整機構であ
り、この角度調整機構９はミラー２の反射光の角度を調
整してミラー３からの反射光と光軸を合わせるものであ
る。(Embodiment 1) FIG. 1 shows the third embodiment.
1 illustrates a configuration of a dimensional shape measuring device. In FIG. 1, reference numeral 1 is a laser light source that irradiates the DUT 8 with slit light. The object to be measured 8 is placed on a moving table 10, and the moving table 10 is supported by a device casing (not shown) so as to be movable in the X direction or the rotation direction (θ rotation).
Numerals 2 and 3 are mirrors arranged respectively in a left-right pair with respect to the laser light source 1, and these mirrors 2 and 3 reflect the diffuse reflection light of the light cutting lines (L1 to L5) from the surface of the DUT 8. It is captured and reflected toward the half mirror 4. The half mirror 4 is arranged so that the reflected light from the mirror 2 is transmitted, the reflected light from the mirror 3 is reflected, and the transmitted light and the reflected light are on the same optical axis. Reference numeral 5 denotes an imaging optical system that captures the combined light from the half mirror 4 and outputs two-dimensional image data. Reference numeral 6 is a data processing device for converting into three-dimensional position data using position conversion data corresponding to the two-dimensional image data from the imaging optical system 5. Reference numeral 7 is a display device for displaying two-dimensional image data. Reference numeral 9 denotes an angle adjusting mechanism. The angle adjusting mechanism 9 adjusts the angle of the reflected light from the mirror 2 and aligns the optical axis with the reflected light from the mirror 3.
【００１１】次に、上記実施例の動作について説明す
る。レーザ光源１より被測定物８にスリット光を照射す
る。被測定物８の表面に照射された光は全方向に拡散反
射され、その拡散反射光の一部がミラー２及びミラー３
に導かれる。ミラー２に反射した光はハーフミラー４を
透過して撮像光学系５により撮像される。また一方のミ
ラー３に入射した拡散反射光の一部はミラー３により反
射され、ハーフミラー４により反射されて撮像光学系５
により撮像される。このように、撮像光学系５はミラー
２及びミラー３からの像を同時に撮像し、２次元画像デ
ータをデータ処理装置６に出力する。Next, the operation of the above embodiment will be described. Slit light is emitted from the laser light source 1 to the DUT 8. The light applied to the surface of the DUT 8 is diffusely reflected in all directions, and a part of the diffusely reflected light is reflected by the mirror 2 and the mirror 3.
Be led to. The light reflected by the mirror 2 passes through the half mirror 4 and is imaged by the imaging optical system 5. Further, a part of the diffusely reflected light that has entered one of the mirrors 3 is reflected by the mirror 3 and is reflected by the half mirror 4, and the imaging optical system 5
Is imaged by. In this way, the imaging optical system 5 simultaneously captures the images from the mirrors 2 and 3 and outputs the two-dimensional image data to the data processing device 6.
【００１２】このとき、ミラー２、３及びハーフミラー
４と撮像光学系５の位置関係は、ハーフミラー４で合成
時、ミラー２からの像とミラー３からの像の高さ基準位
置であるゼロラインが重なり合い、更にゼロラインに対
する高さ変動量が同一になるように、例えばｈ１ｂとｈ
１ｃの長さが同一になるように調整されているものであ
る。図２は、表示装置７に表示された画像データを示し
ているものであり、図２（ａ）は、ミラー２からの画像
（図２（ｂ））とミラー３からの画像（図２（ｃ））を
合成したものである。At this time, the positional relationship between the mirrors 2 and 3 and the half mirror 4 and the image pickup optical system 5 is zero, which is the height reference position of the image from the mirror 2 and the image from the mirror 3 when they are combined by the half mirror 4. For example, h1b and h
The lengths of 1c are adjusted to be the same. FIG. 2 shows image data displayed on the display device 7. FIG. 2A shows an image from the mirror 2 (FIG. 2B) and an image from the mirror 3 (FIG. 2 ( c)) is synthesized.
【００１３】データ処理装置６は、撮像光学系５からの
２次元画像データを２値化等のデータ処理を用いて、被
測定物８の表面の光切断線（Ｌ１〜Ｌ５）の像を抽出
し、位置変換データを用いて、３次元位置データに変換
する。このときの位置変換データは測定に先立ち、キャ
リブレーションによって得られ、データ処理装置６のメ
モリに記憶されている。更に、被測定物８を移動テーブ
ル１０を用いて、レーザ照射位置を移動、回転させなが
ら、このような操作を繰り返すことにより、立体形状を
なす被測定物８の形状を測定することができる。The data processing device 6 extracts the image of the light cutting lines (L1 to L5) on the surface of the object to be measured 8 by using data processing such as binarization of the two-dimensional image data from the imaging optical system 5. Then, the position conversion data is used to convert into three-dimensional position data. The position conversion data at this time is obtained by calibration prior to the measurement and is stored in the memory of the data processing device 6. Furthermore, the shape of the three-dimensional object to be measured 8 can be measured by repeating such an operation while moving and rotating the laser irradiation position of the object to be measured 8 using the moving table 10.
【００１４】このように、上記実施例によれば、左右対
に配置したミラー２、３からの反射光をハーフミラー４
を介することにより、被測定物８の表面の光切断線Ｌ１
〜Ｌ５に相当するミラー２からの像Ｌ１ｂ、Ｌ３ｂ、Ｌ
４ｂ、Ｌ５ｂとミラー３からの像Ｌ１ｃ、Ｌ２ｃ、Ｌ３
ｃ、Ｌ５ｃを合成光として、例えばＬ１ｂとＬ１ｃは重
なり合い１本のラインＬ１′としてとらえることがで
き、１つの撮像光学系５により、ＣＲＴ７上に示すＬ
１′〜Ｌ５′を得ることができ、左右のそれぞれの死角
（ミラー２ではＬ２、ミラー３ではＬ４が死角になる）
になる部分をを回避して、３次元画像を得ることができ
るという利点を有する。As described above, according to the above-mentioned embodiment, the half mirror 4 reflects the reflected light from the mirrors 2 and 3 arranged in a pair of left and right.
Through the light cutting line L1 on the surface of the DUT 8
The images L1b, L3b, L from the mirror 2 corresponding to
4b, L5b and images L1c, L2c, L3 from the mirror 3
c and L5c can be regarded as combined light, for example, L1b and L1c can be regarded as one line L1 'which is overlapped with each other.
1'-L5 'can be obtained and left and right blind spots (L2 for mirror 2 and L4 for mirror 3 become blind spots)
There is an advantage that a three-dimensional image can be obtained by avoiding the part that becomes.
【００１５】また、ミラー２の角度調整機構系９を用い
ることにより、左右からの拡散反射光の光軸位置を確実
に位置合わできるようにしている。Further, by using the angle adjusting mechanism system 9 of the mirror 2, it is possible to surely align the optical axis positions of the diffusely reflected light from the left and right.
【００１６】さらに、上記実施例によれば、撮像光学系
５からの２次元画像データを１つの位置変換データで３
次元位置データに変換できるため、ソフトウェアによる
データ処理が簡単になるという効果を有する。Further, according to the above embodiment, the two-dimensional image data from the image pickup optical system 5 is converted into one position conversion data.
Since the data can be converted into the dimensional position data, there is an effect that data processing by software becomes simple.
【００１７】（実施例２）図３は第２の実施例における
３次元形状測定装置の構成を示すものである。図３にお
いて、上記実施の形態１の同一の構成については、同一
符号を記して説明を省略する。１１は被測定物８にスポ
ット光を照射するレーザ光源である。１２は被測定物８
を載置する移動テーブルであり、この移動テーブル１２
はＹ方向とＸ方向または回転方向への移動する。(Embodiment 2) FIG. 3 shows the structure of a three-dimensional shape measuring apparatus according to the second embodiment. In FIG. 3, the same components as those in the first embodiment described above are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. A laser light source 11 irradiates the DUT 8 with spot light. 12 is the measured object 8
This is a moving table for mounting the
Moves in the Y and X directions or in the rotational direction.
【００１８】次に、上記実施例の動作について説明す
る。レーザ光源１１より被測定物８にスポット光を照射
する。被測定物８に照射された光は、被測定物８の表面
で全方向に対して拡散反射する。この拡散反射したスポ
ット光の一部がミラー２及びミラー３に導かれる。ミラ
ー２に反射した光はハーフミラー４を透過して撮像光学
系５により撮像される。また一方のミラー３に入射した
拡散反射光の一部はミラー３により反射され、ハーフミ
ラー４により反射されて撮像光学系５により撮像され
る。データ処理装置６では、撮像光学系５からの２次元
画像データを２値化等のデータ処理を用いて、被測定物
８の表面のスポット光の像を抽出し、位置変換データを
用いて、３次元位置データに変換する。Next, the operation of the above embodiment will be described. Spot light is emitted from the laser light source 11 to the DUT 8. The light applied to the DUT 8 is diffusely reflected on the surface of the DUT 8 in all directions. Part of the diffused and reflected spot light is guided to the mirror 2 and the mirror 3. The light reflected by the mirror 2 passes through the half mirror 4 and is imaged by the imaging optical system 5. A part of the diffusely reflected light that has entered one of the mirrors 3 is reflected by the mirror 3, reflected by the half mirror 4, and imaged by the imaging optical system 5. In the data processing device 6, the image of the spot light on the surface of the DUT 8 is extracted by using data processing such as binarization of the two-dimensional image data from the imaging optical system 5, and the position conversion data is used. Convert to 3D position data.
【００１９】更に、被測定物８を移動テーブル１２を用
いて、Ｙ方向及びＸ方向に移動しレーザ照射位置を全体
へ移動させながら、上記操作を繰り返すことにより、立
体形状をなす被測定物８の形状を測定することができ
る。Further, while the object 8 to be measured is moved in the Y direction and the X direction by using the moving table 12 to move the laser irradiation position to the whole, the above operation is repeated to form the object 8 to be measured having a three-dimensional shape. The shape of can be measured.
【００２０】このように、上記実施例によれば、左右対
に配置したミラー２、３からの反射光をハーフミラー４
を介することにより、被測定物８の表面のスポット光を
ミラー２からの像とミラー３からの像を合成光として重
なり合った１ポイントでとらえることができ、１つの撮
像光学系５により、左右のそれぞれの死角（ミラー２で
はＬ２、ミラー３ではＬ４が死角になる）の部分を回避
して３次元画像を得ることができるという利点を有す
る。As described above, according to the above-described embodiment, the half mirror 4 reflects the reflected light from the mirrors 2 and 3 arranged in a pair of left and right.
The spot light on the surface of the object 8 to be measured can be captured at one point where the image from the mirror 2 and the image from the mirror 3 are overlapped as the combined light by using the single imaging optical system 5. There is an advantage that a three-dimensional image can be obtained by avoiding the respective blind spots (L2 for the mirror 2 and L4 for the mirror 3).
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明は、上記実施例より明らかなよう
に、左右からとらえた拡散反射光を上下または左右逆の
位置関係になることのない１つの合成光としてとらえた
ものであり、この合成光が左右それぞれの死角を相互に
補足するものになるため、一組の撮像光学系で死角のな
い拡散反射光を得ることができるため、立体形状をなす
３次元形状の測定ができるという効果を有する。As is apparent from the above embodiment, the present invention is one in which diffuse reflected light captured from the left and right is captured as one combined light that does not have a vertical or laterally reversed positional relationship. Since the combined light complements each of the left and right blind spots, it is possible to obtain diffuse reflected light with no blind spots with a set of imaging optical systems, and thus it is possible to measure a three-dimensional shape having a three-dimensional shape. Have.
【００２２】さらに、本発明によれば、撮像光学系から
の２次元画像データを１つの位置変換データで３次元位
置データに変換できるため、ソフトウェアによるデータ
処理が簡単になるという効果を有する。Further, according to the present invention, since the two-dimensional image data from the image pickup optical system can be converted into the three-dimensional position data by one position conversion data, there is an effect that the data processing by software becomes simple.
【図１】本発明の第１の実施例における３次元形状測定
装置の構成図FIG. 1 is a configuration diagram of a three-dimensional shape measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】同実施例における３次元形状の表示状態を示す
表示図FIG. 2 is a display diagram showing a display state of a three-dimensional shape in the embodiment.
【図３】本発明の第２の実施例における３次元形状測定
装置の構成図FIG. 3 is a configuration diagram of a three-dimensional shape measuring apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図４】同実施例における３次元形状の表示状態を示す
表示図FIG. 4 is a display diagram showing a display state of a three-dimensional shape in the embodiment.
【図５】従来の３次元形状測定装置の構成図FIG. 5 is a block diagram of a conventional three-dimensional shape measuring apparatus.
【図６】他の従来の３次元形状測定装置の構成図FIG. 6 is a block diagram of another conventional three-dimensional shape measuring apparatus.
１ レーザ光源 ２ ミラー ３ ミラー ４ ハーフミラー ５ 撮像光学系 ６ データ処理装置 ７ 表示装置 ８ 被測定物 ９ 角度調整機構 １０ 移動テーブル １１ 撮像光学系 １２ 移動テーブル 1 Laser Light Source 2 Mirror 3 Mirror 4 Half Mirror 5 Imaging Optical System 6 Data Processing Device 7 Display Device 8 Object to be Measured 9 Angle Adjustment Mechanism 10 Moving Table 11 Imaging Optical System 12 Moving Table
Claims (3)
測定物に光を照射する光源と、この光源に対して左右対
象の位置に配置され上記被測定物の表面からの拡散反射
光が入射する一対のミラーと、これら一対のミラーの何
れか一方のミラーからの反射光を透過させ他方のミラー
からの反射光を反射させるハーフミラーと、上記一対の
ミラーからの反射光を合成光として同時にとらえ２次元
画像データを出力する撮像光学系と、この撮像光学系か
らの２次元画像データに対応する位置変換データを用い
て３次元形状データに変換するデータ処理装置とを備え
た３次元形状測定装置。1. A table for transferring an object to be measured, a light source for irradiating the object to be measured with light, and diffused reflected light from the surface of the object to be measured which are arranged at positions symmetrical to the light source. A pair of incident mirrors, a half mirror that transmits the reflected light from any one of the pair of mirrors and reflects the reflected light from the other mirror, and the reflected light from the pair of mirrors as combined light. A three-dimensional shape including an imaging optical system that simultaneously captures two-dimensional image data and a data processing device that converts into three-dimensional shape data using position conversion data corresponding to the two-dimensional image data from the imaging optical system measuring device.
レーザ光源である請求項１記載の３次元形状測定装置。2. The three-dimensional shape measuring apparatus according to claim 1, wherein the light source is a laser light source for irradiating the object to be measured with slit light.
レーザ光源である請求項１記載の３次元形状測定装置。3. The three-dimensional shape measuring apparatus according to claim 1, wherein the light source is a laser light source for irradiating an object to be measured with spot light.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25067095A JPH0989534A (en) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | Three-dimensional configuration measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25067095A JPH0989534A (en) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | Three-dimensional configuration measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989534A true JPH0989534A (en) | 1997-04-04 |
Family
ID=17211308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25067095A Pending JPH0989534A (en) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | Three-dimensional configuration measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0989534A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014016358A (en) * | 2009-01-13 | 2014-01-30 | Semiconductor Technologies & Instruments Pte Ltd | System and method for inspecting wafer |
| JP2014035241A (en) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | Three-dimensional shape measurement device |
| JP2015132577A (en) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 池上通信機株式会社 | Image pickup structure, image pickup head which employs the same, and three-dimensional shape measurement apparatus |
| JP2015135265A (en) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | Nok株式会社 | Surface shape inspection device |
-
1995
- 1995-09-28 JP JP25067095A patent/JPH0989534A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014016358A (en) * | 2009-01-13 | 2014-01-30 | Semiconductor Technologies & Instruments Pte Ltd | System and method for inspecting wafer |
| JP2016183978A (en) * | 2009-01-13 | 2016-10-20 | セミコンダクター テクノロジーズ アンド インストゥルメンツ ピーティーイー リミテッド | System and method for inspecting wafers |
| JP2014035241A (en) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | Three-dimensional shape measurement device |
| JP2015132577A (en) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 池上通信機株式会社 | Image pickup structure, image pickup head which employs the same, and three-dimensional shape measurement apparatus |
| JP2015135265A (en) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | Nok株式会社 | Surface shape inspection device |
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