JPH0984364A - Electrostatic actuator - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To hold a moving element securely in the desired stop position. SOLUTION: Polarity is fixed to any of electrodes 21a-21c of a moving element 15 and electrodes 25a-25c of a fixed element 16, and a voltage is applied. The polarity is periodically changed to the other side, and the voltage is applied. The moving element 15 is driven by the attracting force and the repelling force generated among the electrodes. The first and second holding members and holding means, which are assembled freely rotatably to each other, are provided. The drive means for the holding means comprises a winding spring made of shape memory alloy and has a drive spring 54, which is extending and shrinking by the heat generated in current conduction and rotates the first and second holding members in the closing direction, and a return spring, which turns the first and second holding member in the opening direction when the drive spring 54 is not conducted.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、車両用のサンバイ
ザー、ムーンルーフ、リアウインドや各種の建築物の窓
の遮光装置の駆動源として好適に使用される静電アクチ
ュエータに関し、詳しくは、それぞれ絶縁層に複数の電
極を設けた固定子と移動子とを備え、固定子の電極と移
動子の電極の間に発生する静電気による吸引力、反発力
により移動子を駆動する静電アクチュエータにおける、
移動子の停止位置の精度の向上に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic actuator which is preferably used as a drive source for a sun visor for vehicles, a moon roof, a rear window, and a window shading device for various buildings. In an electrostatic actuator that includes a stator having a plurality of electrodes provided in an insulating layer and a mover, and an electrostatic actuator that drives the mover by a repulsive force due to an electrostatic force generated between the electrode of the stator and the electrode of the mover,
The present invention relates to improvement of accuracy of a stop position of a moving element.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、この種の静電アクチュエータとし
て、本出願人は先に実開平７−１６５９９号公報におい
て図１４に示す静電アクチュエータを提案した。この静
電アクチュエータの移動子１は、絶縁層２に電極３ａ，
３ｂ，３ｃ・・・３ａ，３ｂ，３ｃ・・・を配設し、こ
れらの電極３ａ，３ｂ，３ｃを相互に接続して３相（ａ
相，ｂ相，ｃ相）とし、さらにａ相の電極３ａとｂ相の
電極３ｂを相互に接続して２相としている。一方、固定
子４は、絶縁層５に電極６ａ，６ｂ，６ｃを設け、これ
らの電極６ａ，６ｂ，６ｃのうち２つ置きに位置する電
極６ａ，６ｂ，６ｃを相互に接続して３相（Ｕ相，Ｖ
相，Ｗ相）としている。2. Description of the Related Art Conventionally, as this type of electrostatic actuator, the present applicant has previously proposed an electrostatic actuator shown in FIG. 14 in Japanese Utility Model Laid-Open No. 7-16599. The moving element 1 of this electrostatic actuator has an insulating layer 2 on which electrodes 3a,
3b, 3c ... 3a, 3b, 3c ... are arranged, and these electrodes 3a, 3b, 3c are connected to each other, and three phases (a
Phase, b phase, c phase), and the a phase electrode 3a and the b phase electrode 3b are connected to each other to form two phases. On the other hand, the stator 4 is provided with electrodes 6a, 6b, 6c on the insulating layer 5, and the electrodes 6a, 6b, 6c located at every two of these electrodes 6a, 6b, 6c are connected to each other to form a three-phase structure. (U phase, V
Phase, W phase).

【０００３】移動子１を駆動する際には、図１５に示す
ように、上記移動子１のａ相及びｂ相の電極３ａ，３ｂ
に対して負（以下、“−”と表記する。）の高電圧を、
ｃ相の電極に対しては正（以下、“＋”と表記する）の
高電圧をそれぞれ固定的に印加する一方、固定子４に
は、“＋”と“−”の２種類の極性の高電圧を周期的に
切り替えて印加する。すなわち、等時間間隔αの連続す
る３つのステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３からなるサイクルＴ
を繰り返し、かつ、各相のサイクルＴを１ステップ分づ
つ位相をずらして固定子４の電極６ａ，６ｂ，６ｃに対
して電圧を印加する。When the mover 1 is driven, as shown in FIG. 15, the electrodes 3a and 3b of the mover 1 for the a-phase and the b-phase are provided.
In contrast, a negative (hereinafter referred to as "-") high voltage is
A positive (hereinafter referred to as "+") high voltage is fixedly applied to the c-phase electrode, while the stator 4 has two types of polarities, "+" and "-". The high voltage is periodically switched and applied. That is, the cycle T including three consecutive steps S1, S2, S3 at equal time intervals α
And the voltage is applied to the electrodes 6a, 6b, 6c of the stator 4 by shifting the phase of the cycle T of each phase by one step.

【０００４】移動子１及び固定子４の電極３ａ〜３ｃ，
６ａ〜６ｃに対してこのように電圧を印加することによ
り、移動子１の電極３ａ〜３ｃと固定子４の電極６ａ〜
６ｃの間に静電気による吸引力、反発力が作用し、移動
子１が移動する。The electrodes 3a to 3c of the mover 1 and the stator 4,
By applying the voltage to 6a to 6c in this manner, the electrodes 3a to 3c of the moving element 1 and the electrodes 6a to 6c of the stator 4 are changed.
The attraction force and repulsion force due to static electricity act between 6c, and the mover 1 moves.

【０００５】この静電アクチュエータは、力／重量比が
高いこと、電極３ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃの間には静電気
による吸引力、反発力が作用するため、移動子１と固定
子４の間には摩擦が生じないこと、また、蒸着プロセス
により、樹脂フィルムからなる絶縁層に電極を設けるこ
とにより、移動子１及び固定子４を比較的簡易に製作す
ることができること等の利点を有する。特に、遮光装置
において、図１６に示すように、移動子１及び固定子４
にそれぞれ遮光板７Ａ，７Ｂを固定し、移動子１を駆動
することにより遮光板７Ａ，７Ｂの相対位置を調節する
構成とした場合、装置の薄厚小型化及び軽量化を図るこ
とができる。This electrostatic actuator has a high force / weight ratio, and electrostatic attraction and repulsion act between the electrodes 3a to 3c and 6a to 6c. In addition, there is an advantage that friction does not occur and that the moving element 1 and the stator 4 can be manufactured relatively easily by providing electrodes on the insulating layer made of a resin film by a vapor deposition process. Particularly, in the shading device, as shown in FIG.
When the light shielding plates 7A and 7B are respectively fixed to and the relative position of the light shielding plates 7A and 7B is adjusted by driving the moving element 1, it is possible to reduce the thickness, thickness, and size of the apparatus.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】この静電アクチュエー
タでは、上記移動子１及び固定子４の電極３ａ〜３ｃ，
６ａ〜６ｃに対する電圧の印加を停止すれば、静電気に
より吸引力、反発力がなくなり、移動子１の移動が停止
する。しかし、このように電極３ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃ
に対する電圧の印加を停止すると、移動子１を停止位置
に保持する力が作用していないため、外力が作用すると
移動子１が移動してしまう。このように作動停止中に移
動子１が移動すると、対向する移動子１の電極３ａ〜３
ｃと固定子４の電極６ａ〜６ｃの組み合わせ（トラッキ
ング）にずれが生じてしまい、再駆動時に、移動子１が
移動しなくなるおそれがある。In this electrostatic actuator, the electrodes 3a to 3c of the mover 1 and the stator 4,
If the application of the voltage to 6a to 6c is stopped, the attraction force and the repulsion force are eliminated by the static electricity, and the movement of the mover 1 is stopped. However, as described above, the electrodes 3a to 3c and 6a to 6c are
When the application of the voltage to is stopped, the force for holding the mover 1 at the stop position is not acting, so that the mover 1 moves when an external force acts. When the moving element 1 moves while the operation is stopped, the electrodes 3a to 3 of the facing moving element 1 are moved.
The combination (tracking) of c and the electrodes 6a to 6c of the stator 4 may be displaced, and the mover 1 may not move during re-driving.

【０００７】一方、駆動停止中でも移動子１及び固定子
４の電極３ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃに対して固定的に電圧
を印加し続ければ、静電気力により移動子１を固定子４
に対して固定することができる。しかし、停止中も移動
子１に固定的に電圧を印加し続けた場合、電極３ａ〜３
ｃ，６ａ〜６ｃ間の電荷分布が飽和してしまい、再駆動
時に、電極３ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃへの電荷の供給が阻
害され、電荷分布の飽和の程度が高いと、移動子１が作
動しなくなるという問題がある。On the other hand, if the voltage is continuously applied to the electrodes 3a to 3c and 6a to 6c of the mover 1 and the stator 4 even when the driving is stopped, the mover 1 is moved to the stator 4 by electrostatic force.
Can be fixed against However, when the voltage is continuously applied to the moving element 1 even during the stop, the electrodes 3a to 3
If the charge distribution between c and 6a to 6c is saturated and the supply of charges to the electrodes 3a to 3c and 6a to 6c is hindered during re-driving, and the saturation degree of the charge distribution is high, the mover 1 may move. There is a problem that it will not work.

【０００８】また、静電アクチュエータを自動車の遮光
装置の駆動源として使用する場合、上記のように非駆動
時に電極３ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃに対して電圧を印加し
続けるのであれば、イグニッションスイッチをオフに設
定している時にも、静電アクチュエータに対して給電を
続ける必要があるため、車両の電源面や保守面で好まし
くない。Further, when the electrostatic actuator is used as a drive source for a light-shielding device of an automobile, if the voltage is continuously applied to the electrodes 3a to 3c and 6a to 6c during non-driving as described above, the ignition switch is used. Since it is necessary to continue supplying power to the electrostatic actuator even when is set to OFF, it is not preferable in terms of power supply and maintenance of the vehicle.

【０００９】本発明は、上記の従来の静電アクチュエー
タにおける問題を解決するためになされたものであっ
て、移動子を所望の停止位置で確実に保持できるように
することを目的としてなされたものである。The present invention has been made in order to solve the problems in the above-mentioned conventional electrostatic actuator, and has been made for the purpose of surely holding the moving element at a desired stop position. Is.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】従って、請求項１は、絶
縁層に複数の電極を配設した固定子と、絶縁層に複数の
電極を配設し、固定子に対して移動可能に対向して配置
した移動子とを備え、上記移動子の電極と固定子の電極
のいずれか一方に極性を固定して電圧を印加し、いずれ
か他方に周期的に極性を切り替えて電圧を印加し、移動
子の電極と固定子の電極の間に生じる吸引力と反発力に
より移動子を駆動する静電アクチュエータであって、開
位置で移動子を移動可能とする一方、閉位置で移動子を
挟持して移動子を固定保持する挟持手段と、該挟持手段
を駆動する駆動手段とを備える保持機構を設けたことを
特徴とする静電アクチュエータを提供するものである。Therefore, according to a first aspect of the present invention, a stator having a plurality of electrodes provided on an insulating layer and a plurality of electrodes provided on the insulating layer are movably opposed to the stator. And a voltage is applied to one of the electrodes of the mover and the electrode of the stator by fixing the polarity, and the voltage is applied to the other by periodically switching the polarity. , An electrostatic actuator that drives the mover by an attractive force and a repulsive force generated between the mover electrode and the stator electrode, which allows the mover to move in the open position, while moving the mover in the closed position. It is an object of the present invention to provide an electrostatic actuator, which is provided with a holding mechanism including a holding means for holding the moving element in a fixed manner by holding the moving element and a driving means for driving the holding means.

【００１１】この請求項１の静電アクチュエータでは、
移動子の停止中は、挟持手段により移動子を挟持できる
ため、移動子の停止中に外力により移動子が移動して、
移動子の電極と固定子の電極の間のトラッキングにずれ
が生じない。また、移動子の停止中には、移動子及び固
定子の停止中に電極に対して固定的に電圧を印加する必
要がないため、電極の電圧分布が飽和状態となって再駆
動時の電圧の供給が阻害されることがない。According to the electrostatic actuator of claim 1,
While the moving element is stopped, the moving element can be held by the holding means, so that the moving element is moved by an external force while the moving element is stopped,
There is no deviation in tracking between the electrodes of the mover and the electrodes of the stator. Moreover, since it is not necessary to apply a fixed voltage to the electrodes while the mover and the stator are stopped, the voltage distribution of the electrodes becomes saturated and the voltage at the time of re-driving is reduced. The supply of is not hindered.

【００１２】また、請求項２は、上記請求項１におい
て、上記挟持手段は、互いに回動自在に組付けた第１及
び第２挟持部材を備え、上記駆動手段は、形状記憶合金
製のつる巻ばねからなり、通電時に発生する熱により伸
縮して、上記第１及び第２挟持部材を開方向に回動させ
る駆動用ばねと、該駆動用ばね非通電時に上記第１及び
第２挟持部材を閉方向に回動させる復帰用ばねを備える
静電アクチュエータを提供するものである。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the holding means includes first and second holding members that are rotatably assembled to each other, and the driving means is a shape memory alloy temple. A drive spring, which is composed of a coil spring, expands and contracts by heat generated when energized to rotate the first and second clamping members in the opening direction, and the first and second clamping members when the driving spring is de-energized. The present invention provides an electrostatic actuator including a return spring that rotates a closing direction.

【００１３】この請求項２の静電アクチュエータでは、
移動子の停止時には、駆動用ばねを非通電状態として復
帰用ばねの力により第１及び第２挟持部材を閉状態と
し、移動子をこれら第１及び第２挟持部材の間に挟持し
て固定保持する一方、移動子の作動時には、上記駆動用
ばねを通電状態として第１及び第２挟持部材を開方向に
回動させ、移動子を移動可能とする。According to the electrostatic actuator of claim 2,
When the mover is stopped, the drive spring is de-energized to bring the first and second clamping members into a closed state by the force of the return spring, and the mover is clamped and fixed between the first and second clamping members. On the other hand, when the moving element is held, the driving spring is energized to rotate the first and second holding members in the opening direction to move the moving element.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】次に、図面に示す実施の形態に基
づいて本発明について詳細に説明する。図１から図３
は、本発明の第１実施形態に係る静電アクチュエータを
示している。この静電アクチュエータは、アクチュエー
タとして動作を行う駆動部１１と、この駆動部１１を制
御する制御部１２とを備えている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, the present invention will be described in detail based on the embodiments shown in the drawings. 1 to 3
FIG. 4 shows an electrostatic actuator according to the first embodiment of the present invention. The electrostatic actuator includes a drive unit 11 that operates as an actuator and a control unit 12 that controls the drive unit 11.

【００１５】上記駆動部１１は、移動子１５、固定子１
６及び保持機構１７を備えている。移動子１５は、透明
ケース１８（図２にのみ示す）内に、固定子１６に対し
て平行移動可能に対向して配置されている。図４（Ａ）
に示すように、移動子１１は、誘電体からなる板状の絶
縁層２０を備え、この絶縁層２０の一方の面に、導電性
を有する金属からなり細長い長方形状の複数の電極２１
ａ，２１ｂ，２１ｃ・・・２１ａ，２１ｂ，２１ｃ・・
・を設けている。このうち電極２１ａは、絶縁層２０の
電極２１ａ，２１ｂ，２１ｃを設けたほうの面の一方の
側部に設けた給電部２２Ａに接続しており、ａ相を構成
している。また、電極２１ｂ，２１ｃは、絶縁層２０の
電極２１ａ，２１ｂ，２１ｃを設けたほうの面の他方の
側部に設けた給電部２２Ｂに接続しており、ｂｃ相を構
成している。これら移動子１１の各相の電極２１ａ，２
１ｂ，２１ｃは、制御部１２の電極シーケンス回路６５
に接続している。The drive unit 11 includes a mover 15 and a stator 1.
6 and a holding mechanism 17. The mover 15 is arranged inside the transparent case 18 (only shown in FIG. 2) so as to be movable in parallel with the stator 16. FIG. 4 (A)
As shown in FIG. 3, the mover 11 includes a plate-shaped insulating layer 20 made of a dielectric material, and one surface of the insulating layer 20 has a plurality of elongated rectangular electrodes 21 made of conductive metal.
a, 21b, 21c ... 21a, 21b, 21c ...
・ It is provided. Of these, the electrode 21a is connected to the power feeding portion 22A provided on one side of the surface of the insulating layer 20 on which the electrodes 21a, 21b, and 21c are provided, and constitutes the a phase. The electrodes 21b and 21c are connected to the power feeding portion 22B provided on the other side of the surface of the insulating layer 20 on which the electrodes 21a, 21b and 21c are provided, and form the bc phase. The electrodes 21a, 2 of each phase of these movers 11
1b and 21c are electrode sequence circuits 65 of the controller 12.
Connected to

【００１６】上記固定子１６は、透明ケース１８内に固
定されており、図４（Ｂ）に示すように、誘電体からな
る板状の絶縁層２４の一方の面に、導電性を有する金属
からなり細長い長方形状の複数の電極２５ａ，２５ｂ，
２５ｃ・・・２５ａ，２５ｂ，２５ｃ・・・を設け、こ
れらの電極２５ａ，２５ｂ，２５ｃは、１つ置きに位置
する電極２５ａ，２５ｂ，２５ｃ毎に互いに接続してい
る。このうち電極２５ａは、絶縁層２４の電極２５ａ，
２５ｂ，２５ｃを設けたほうの面の一方の側部に設けた
給電部２６Ａに接続しており、Ｕ相を構成している。ま
た、電極２１ｂは、絶縁層２０の電極２１ａ，２１ｂ，
２１ｃを設けたほうの面の他方の側部に設けた給電部２
６Ｂに接続しており、Ｖ相を構成している。さらに、電
極２５ｃは、絶縁層２６の電極２５ａ，２５ｂ，２５ｃ
を設けた面と反対側の面に設けた給電部２６Ｃに、絶縁
層２４に設けた貫通孔（スルホール２４ａ）に配置した
導電部材２７を介して接続しており、Ｗ相を形成してい
る。これら固定子１２の各相の電極２５ａ，２５ｂ，２
５ｃは、制御部１２の電極シーケンス回路６５に接続し
ている。The stator 16 is fixed in a transparent case 18, and as shown in FIG. 4B, a metal having conductivity is formed on one surface of a plate-like insulating layer 24 made of a dielectric material. A plurality of elongated rectangular electrodes 25a, 25b,
25c ... 25a, 25b, 25c ... are provided, and these electrodes 25a, 25b, 25c are connected to each other every other electrode 25a, 25b, 25c. Of these, the electrode 25a is the electrode 25a of the insulating layer 24,
It is connected to a power feeding portion 26A provided on one side of the surface on which 25b and 25c are provided, and constitutes a U phase. The electrodes 21b are the electrodes 21a, 21b of the insulating layer 20,
21c is a power supply unit 2 provided on the other side of the surface provided with 21c.
6B and constitutes the V phase. Further, the electrodes 25c are the electrodes 25a, 25b, 25c of the insulating layer 26.
It is connected to the power feeding portion 26C provided on the surface opposite to the surface provided with the through the conductive member 27 arranged in the through hole (through hole 24a) provided in the insulating layer 24, and forms the W phase. . The electrodes 25a, 25b, 2 of each phase of these stators 12
5c is connected to the electrode sequence circuit 65 of the control unit 12.

【００１７】図３に示すように、透明ケース１８内に配
置された移動子１５と固定子１６の対向する両側に保持
機構１７，１７を設けている。この保持機構１７は、断
面コ字状のハウジング３０を備え、このハウジング３０
内には、挟持手段を構成し、シャフト３１により回動可
能に連結された第１挟持部材３５と第２挟持部材３６と
が収容されている。図５（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示す
ように、第１挟持部材３５は長方形板の対向する縁部３
５ａ，３５ｂを一定幅だけ屈曲さた断面Ｓ字状の板部材
である。また、上記対向する縁部３５ａ，３５ｂの中央
部分に、シャフト挿通用の貫通孔３８を設けている。ま
た、一方の縁部３５ａから、上記貫通孔３８側へ向けて
一定幅の複数の切込４１，４１・・・を複数個平行に設
け、これらの切込４１，４１・・・の間に複数の櫛歯状
部４２，４２・・・を形成している。他方の縁部３５ｂ
側には、上記のような切込を設けずに平板状部４３とし
ている。As shown in FIG. 3, holding mechanisms 17 and 17 are provided on opposite sides of a moving element 15 and a stator 16 arranged in a transparent case 18, respectively. The holding mechanism 17 includes a housing 30 having a U-shaped cross section.
A first sandwiching member 35 and a second sandwiching member 36, which constitute sandwiching means and are rotatably connected by a shaft 31, are housed therein. As shown in FIGS. 5 (A), (B), and (C), the first sandwiching member 35 includes the opposite edge portions 3 of the rectangular plate.
It is a plate member having an S-shaped cross section in which 5a and 35b are bent by a certain width. Further, a through hole 38 for inserting the shaft is provided in the central portion of the opposed edge portions 35a and 35b. Further, a plurality of cuts 41, 41 ... Having a constant width are provided in parallel from one edge portion 35a toward the side of the through hole 38, and between the cuts 41, 41. A plurality of comb-shaped portions 42, 42 ... Are formed. The other edge 35b
On the side, a flat plate-like portion 43 is formed without providing the above-mentioned notch.

【００１８】上記第２挟持部材３６は、上記第１挟持部
材３５と同様に、長方形板の対向する縁部３６ａ，３６
ｂを一定幅だけ屈曲した断面Ｓ字状の板部材であって、
シャフト挿通用の貫通孔４５を挟んで櫛歯状部４２と平
板状部４３とを設けている。The second holding member 36, like the first holding member 35, has opposing edges 36a, 36 of the rectangular plate.
A plate member having an S-shaped cross section in which b is bent by a certain width,
A comb tooth-shaped portion 42 and a flat plate-shaped portion 43 are provided with a through hole 45 for inserting the shaft interposed therebetween.

【００１９】上記第１挟持部材３５と第２挟持部材３６
は、図５（Ｂ），（Ｃ）に示すように、一方の櫛歯状部
４２を他方の切込４１に互いに差し込んで、Ｘ字状に交
差する状態で組付けられている。この状態で第１挟持部
材３５と第２挟持部材３６の挿通孔３８，４５の位置が
一致しており、シャフト３１が貫通孔３８，４５に挿入
されている。シャフト３１の両端は、ハウジング３０の
側壁３０ａ，３０ｂに固定されている。The first holding member 35 and the second holding member 36.
As shown in FIGS. 5 (B) and 5 (C), one comb tooth-shaped portion 42 is inserted into the other notch 41, and they are assembled in an X-shaped crossing state. In this state, the positions of the insertion holes 38 and 45 of the first holding member 35 and the second holding member 36 are aligned, and the shaft 31 is inserted into the through holes 38 and 45. Both ends of the shaft 31 are fixed to the side walls 30a and 30b of the housing 30.

【００２０】上記のように交差状に組付けられた第１及
び第２挟持部材３５，３６の対向する櫛歯状部４２の先
端には、クッション部材４８，４９を取付けている。こ
のクッション部材４８，４９は、細長い長方形状の部材
でありラバーゴムからなる。ただし、クッション部材４
８，４９の材質は、ラバーゴムに限定されず、移動子１
５をいためない程度の弾性を有する材料であればよい。Cushion members 48 and 49 are attached to the tips of the facing comb-tooth-shaped portions 42 of the first and second holding members 35 and 36 assembled in a cross shape as described above. The cushion members 48 and 49 are elongated rectangular members made of rubber rubber. However, the cushion member 4
The material of Nos. 8 and 49 is not limited to rubber rubber, and the moving element 1
Any material may be used as long as it has elasticity that does not damage 5.

【００２１】一方、上記第１及び第２挟持部材３５，３
６の平板状部４３，４３の先端部分には、それぞれ一対
の係止部材５１，５２を固定している。この係止部材５
１，５２は、二段の短円柱状であって、先端に駆動用ば
ね５４と復帰用ばね５５の端部を係止するための係止孔
５１ａ，５１ｂを設けている。On the other hand, the first and second holding members 35, 3
A pair of locking members 51 and 52 are fixed to the front end portions of the flat plate-shaped portions 43 and 43 of 6, respectively. This locking member 5
Reference numerals 1 and 52 are two-stage short cylinders, and have locking holes 51a and 51b for locking the end portions of the drive spring 54 and the return spring 55 at the tips.

【００２２】図５（Ｃ）で示すように、交差状に組付け
られた状態で、上記第１挟持部材３５の係止部材５１，
５２と、第２挟持部材３６の係止部材５１，５２は互い
に対向しており、これらの対向する係止部材５１，５２
の間に駆動手段を構成する駆動用ばね５４と復帰用ばね
５５を架設している。As shown in FIG. 5C, the engaging members 51, 51 of the first holding member 35 are assembled in a crossed state.
52 and the locking members 51, 52 of the second holding member 36 face each other, and these facing locking members 51, 52
A drive spring 54 and a return spring 55, which constitute drive means, are provided between the two.

【００２３】上記駆動用ばね５４は、形状記憶合金から
なるつる巻きばねであり、温度が所定の温度以上に上昇
すると伸びる性質を有する。駆動用ばね５４の両端に
は、電線５７ａ，５７ｂを接続している。この電線５７
ａは図１に示すようにリレー５９を介して電源６０に接
続しており、一方電線５７ｂはアース側に接続してい
る。制御部１２からの指令に応じて電源６０から駆動用
ばね５４に電流が流れると、内部抵抗により駆動用ばね
５４が発熱し、この熱により温度が上昇して駆動用ばね
５４の長さが伸びる。一方、上記復帰用ばね５５は、通
常のばね材料からなるつる巻ばねである。The drive spring 54 is a spiral spring made of a shape memory alloy and has a property of expanding when the temperature rises above a predetermined temperature. Electric wires 57a and 57b are connected to both ends of the drive spring 54. This wire 57
As shown in FIG. 1, a is connected to the power source 60 via the relay 59, while the electric wire 57b is connected to the ground side. When a current flows from the power supply 60 to the driving spring 54 in response to a command from the control unit 12, the internal resistance causes the driving spring 54 to generate heat, which causes the temperature to rise and the length of the driving spring 54 to increase. . On the other hand, the return spring 55 is a spiral spring made of a normal spring material.

【００２４】上記制御部１２は、図１に示すように、ス
イッチ６２、インターフェイス回路６３、コンピュータ
６４及び電極シーケンス回路６５を備えている。また、
インターフェイス回路６３は、入出力制御回路６７、Ｄ
ラッチ６８、バスバッファ６９、ＮＯＲ回路７０、ＡＮ
Ｄ回路７１、アンプ７２を備えている。As shown in FIG. 1, the control section 12 includes a switch 62, an interface circuit 63, a computer 64 and an electrode sequence circuit 65. Also,
The interface circuit 63 includes an input / output control circuit 67, D
Latch 68, bus buffer 69, NOR circuit 70, AN
A D circuit 71 and an amplifier 72 are provided.

【００２５】上記スイッチ６２は、正転方向の駆動をオ
ン／オフする正転スイッチ６２ａと、逆転方向の駆動を
オン／オフする逆転スイッチ６２ｂとを備えている。こ
れら正転スイッチ６２ａと逆転スイッチ６２ｂは、２個
のＮＡＮＤ回路７４により構成したＳＲラッチを介して
入出力制御回路６７の入力ポート６７ａに接続されてい
る。このＳＲラッチは、正転スイッチ６２ａ又は逆転ス
イッチ６２ｂのチャタリングによって誤作動の原因とな
るノイズが発生するのを防止するために設けている。The switch 62 includes a normal rotation switch 62a for turning on / off the driving in the forward rotation direction and a reverse rotation switch 62b for turning on / off the driving in the reverse rotation direction. The forward rotation switch 62a and the reverse rotation switch 62b are connected to the input port 67a of the input / output control circuit 67 via an SR latch composed of two NAND circuits 74. This SR latch is provided in order to prevent noise that may cause malfunction due to chattering of the forward rotation switch 62a or the reverse rotation switch 62b.

【００２６】コンピュータ６４は、上記入出力制御回路
６７に入力された上記スイッチ６２からの出力に基づい
て、移動子１５及び固定子１６の電極２１ａ〜２１ｃ，
２５ａ〜２５ｃに対する制御指令を計算する。The computer 64, based on the output from the switch 62 input to the input / output control circuit 67, the electrodes 21a to 21c of the mover 15 and the stator 16,
The control command for 25a to 25c is calculated.

【００２７】入出力制御回路６７は、制御ライン７５，
７５・・・により上記コンピュータ６４に接続してお
り、コンピュータ６４からの指令に基づいて、出力ポー
ト６７ｂに接続した制御ライン７６，７６・・・を介し
て電極シーケンス回路６５に制御信号を出力する。ま
た、制御ライン７６，７６・・・には上記したＤラッチ
６８及びバスバッファ６９を介設している。The input / output control circuit 67 includes a control line 75,
.., and outputs a control signal to the electrode sequence circuit 65 via control lines 76, 76, ... Connected to the output port 67b based on a command from the computer 64. . Further, the above-mentioned D latch 68 and bus buffer 69 are provided on the control lines 76, 76 ...

【００２８】また、上記入出力制御回路６７は、コンピ
ュータ６４からの指令に基づいて２種類の信号を出力す
る。第１の信号Ｓ１は、上記スイッチ６２の出力信号を
コンピュータ６４のクロックに同期させた信号である。
一方、第２の信号Ｓ２は、第１の信号Ｓ１に後述する遅
延時間αの時間遅れを持たせた信号である。これら第１
及び第２の信号Ｓ１，Ｓ２は、ＮＯＲ回路７０及びＡＮ
Ｄ回路７１に入力される。また、第１の信号Ｓ１は、ア
ンプ７２にも入力される。Further, the input / output control circuit 67 outputs two kinds of signals based on a command from the computer 64. The first signal S1 is a signal obtained by synchronizing the output signal of the switch 62 with the clock of the computer 64.
On the other hand, the second signal S2 is a signal obtained by delaying the first signal S1 by a delay time α described later. These first
And the second signals S1 and S2 are applied to the NOR circuit 70 and AN.
It is input to the D circuit 71. The first signal S1 is also input to the amplifier 72.

【００２９】上記Ｄラッチ６８は、多チャンネルであ
り、入出力制御回路６７の出力ポート６７ｂと接続した
入力端子６８ａと、バスバッファ６９に接続した出力端
子６８ｂとをそれぞれ複数個備えている。また、Ｄラッ
チ６８は、上記ＮＯＲ回路７０から出力信号が入力され
るラッチイネーブル端子６８ｃを備えている。ＮＯＲ回
路７０からラッチイネーブル端子６８ｃに入力される信
号が“ロー”の場合に、Ｄラッチ６８は入出力制御回路
６７から入力端子６８ａに入力される信号に対してラッ
チ作動を行う。The D latch 68 is multi-channel and has a plurality of input terminals 68a connected to the output port 67b of the input / output control circuit 67 and a plurality of output terminals 68b connected to the bus buffer 69. Further, the D latch 68 includes a latch enable terminal 68c to which the output signal is input from the NOR circuit 70. When the signal input from the NOR circuit 70 to the latch enable terminal 68c is "low", the D latch 68 performs a latch operation on the signal input from the input / output control circuit 67 to the input terminal 68a.

【００３０】上記バスバッファ６９は、多チャンネルで
あって、上記Ｄラッチ６８の出力信号が入力される入力
端子６９ａと、電極シーケンス回路６５に接続した出力
端子６９ｂとをそれぞれ複数個備えている。また、バス
バッファ６９は、ＡＮＤ回路７１の出力信号が入力され
るアウトプットイネーブル端子６９ｃを備えている。上
記アウトプットイネーブル端子６９ｃに入力される信号
が“ハイ”の場合には、出力端子６９ｂから上記電極シ
ーケンス回路６５への出力信号がすべてハイインピーダ
ンス状態となる。The bus buffer 69 is multi-channel and has a plurality of input terminals 69a to which the output signals of the D latch 68 are input and a plurality of output terminals 69b connected to the electrode sequence circuit 65. The bus buffer 69 also includes an output enable terminal 69c to which the output signal of the AND circuit 71 is input. When the signal input to the output enable terminal 69c is "high", all the output signals from the output terminal 69b to the electrode sequence circuit 65 are in a high impedance state.

【００３１】アンプ７２には、上記のように入出力制御
回路６７から第１の信号Ｓ１が入力され、その出力は上
記リレー５９のコイル５９ａに出力される。The first signal S1 is input to the amplifier 72 from the input / output control circuit 67 as described above, and its output is output to the coil 59a of the relay 59.

【００３２】上記したように電極シーケンス回路６５に
は、移動子１５のａ相、ｂｃ相の電極２１ａ〜２１ｃと
固定子１６のＵ相、Ｖ相、Ｗ相の電極２５ａ〜２５ｃを
接続しており、この電極シーケンス回路６５から各電極
２１ａ〜２１ｃ，２５ａ〜２５ｃに対して所定の極性の
高電圧を印加する。As described above, the a-phase and bc-phase electrodes 21a to 21c of the mover 15 and the U-phase, V-phase, and W-phase electrodes 25a to 25c of the stator 16 are connected to the electrode sequence circuit 65. The electrode sequence circuit 65 applies a high voltage of a predetermined polarity to each of the electrodes 21a to 21c and 25a to 25c.

【００３３】次に、本実施形態の作動について説明す
る。図６中、時刻ｔ₀から時刻ｔ₁（期間）は、正転ス
イッチ６２ａ及び逆転スイッチ６２ｂが共にオフ状態に
あり、移動子１５は停止している。この期間には、上
記第１の信号Ｓ１及び第２の信号Ｓ２はともに“ハイ”
である。そのため、上記ＮＯＲ回路７０からＤラッチ６
８のラッチイネーブル端子６８ｃに出力される信号は
“ロー”であり、Ｄラッチ６８はラッチイネーブル状態
にある。一方、上記ＡＮＤ回路７１からバスバッファ６
９のアウトプットイネーブル端子６９ｃに出力される信
号は“ハイ”であり、バスバッファ６９の出力信号はハ
イインピーダンス状態となる。Next, the operation of this embodiment will be described. In FIG. 6, from time t ₀ to time t ₁ (period), both the forward rotation switch 62a and the reverse rotation switch 62b are in the off state, and the mover 15 is stopped. During this period, both the first signal S1 and the second signal S2 are "high".
It is. Therefore, from the NOR circuit 70 to the D latch 6
The signal output to the latch enable terminal 68c of No. 8 is "low", and the D latch 68 is in the latch enable state. On the other hand, from the AND circuit 71 to the bus buffer 6
The signal output to the output enable terminal 69c of 9 is "high", and the output signal of the bus buffer 69 is in a high impedance state.

【００３４】また、この期間の間は、保持機構１７の
駆動用バネ５４に対して電流が供給されず、図７（Ａ）
及び図８（Ａ）に示すように、第１及び第２挟持部材３
５，３６は、復帰用バネ５５の力により閉鎖した状態
（閉状態）にあり、移動子１５は第１及び第２挟持部材
３５，３６の櫛歯状部４２に取り付けたクッション部材
４８，４９の間に挟持されている。このように、本実施
形態では、移動子１５は、、停止中は保持機構１７の第
１及び第２挟持部材３５，３６に挟持されることにより
固定保持されるため、外力が作用する場合にも移動子１
５が容易に移動することがない。During this period, no current is supplied to the drive spring 54 of the holding mechanism 17, so that FIG.
And as shown in FIG. 8A, the first and second holding members 3
5 and 36 are in a closed state (closed state) by the force of the return spring 55, and the mover 15 is a cushion member 48, 49 attached to the comb-tooth-shaped portion 42 of the first and second holding members 35, 36. Is sandwiched between. As described above, in the present embodiment, the moving element 15 is fixed and held by being held by the first and second holding members 35 and 36 of the holding mechanism 17 during the stop, and therefore, when an external force acts. Mo mover 1
5 does not move easily.

【００３５】次に、時刻ｔ₁に正転スイッチ６２ａがオ
ン状態となる。このように正転スイッチ６２ａをオンに
設定することは、移動子１５に対して正転方向の移動を
指令するものであるが、この時刻ｔ₁の時点では、上記
のように移動子１５は、保持機構１７の第１及び第２挟
持部材３５，３６の間に挟持されているため、この時刻
ｔ₁に直ちに移動子１を移動させることができない。そ
のため、本実施形態では、時刻ｔ₁から所定の時間（遅
延時間α）経過後の時刻ｔ₂まで（期間）、移動子１
５の作動を開始しないようにしている。Next, at time t ₁ , the forward rotation switch 62a is turned on. Setting the forward rotation switch 62a to ON in this way instructs the mover 15 to move in the forward direction, but at the time of time t ₁ , the mover 15 moves as described above. Since it is sandwiched between the first and second sandwiching members 35 and 36 of the holding mechanism 17, the mover 1 cannot be moved immediately at this time t ₁ . Therefore, in this embodiment, from time t ₁ predetermined time until time t ₂ after (delay time alpha) has elapsed (time), the moving element 1
The operation of 5 is not started.

【００３６】上記第１の信号Ｓ１は、正転スイッチ６２
ａがオン状態にされた時刻ｔ₁に“ロー”となる。一
方、第２の信号Ｓ２は、この期間の間“ハイ”状態を
維持する。そのため、上記ＮＯＲ回路７０からＤラッチ
６８のラッチイネーブル端子６８ｃに出力される信号は
“ロー”状態のままであり、Ｄラッチ６８はラッチイネ
ーブル状態にある。一方、上記アンド回路７１からバス
バッファ６９のアウトプットイネーブル端子６９ｃに出
力される信号は“ロー”状態であり、移動子１５の電極
２１ａ〜２１ｃ及び固定子１６の電極２５ａ〜２５ｃに
対して固定的に電圧が印加される。移動子１５と固定子
１６の電極２１ａ〜２１ｃ，２５ａ〜２５ｃの間には静
電気による吸引力が作用し、この力によって移動子１５
は固定子１６に対して固定された状態にある。The first signal S1 is applied to the forward rotation switch 62.
It becomes “low” at time t ₁ when a is turned on. On the other hand, the second signal S2 maintains the "high" state during this period. Therefore, the signal output from the NOR circuit 70 to the latch enable terminal 68c of the D latch 68 remains in the "low" state, and the D latch 68 is in the latch enable state. On the other hand, the signal output from the AND circuit 71 to the output enable terminal 69c of the bus buffer 69 is in the "low" state and is fixed to the electrodes 21a to 21c of the moving element 15 and the electrodes 25a to 25c of the stator 16. Voltage is applied. An electrostatic attraction force acts between the electrodes 15a to 21c and 25a to 25c of the mover 15 and the stator 16, and this force causes the mover 15 to move.
Is fixed with respect to the stator 16.

【００３７】一方、上記時刻ｔ₁に“ハイ”状態に切り
替わった第１の信号Ｓ１は、アンプ７２で増幅された
後、保持機構１７のリレー５９のコイル５９ａに入力さ
れ、これによりリレー５９のスイッチ５９ｂが“オン”
状態となる。これにより、電源６０から駆動用ばね５４
に電流が流れる。駆動用ばね５４に電流が流れると、内
部抵抗による発熱により温度が上昇する。駆動用ばね５
４は、所定の温度に達すると、組織変化を生じ、図７
（Ｂ）及び図８（Ｂ）に示すように、非通電時の長さＬ
１から長さＬ２に伸びる。このように駆動用ばね５４が
伸びると、第１及び第２挟持部材３５，３６が図中矢印
Ｘ１で示すように、シャフト３１を中心として回動し、
第１及び第２挟持部材３５，３６の櫛歯状部４２側の縁
部３５ａ，３６ａが互いに離反する方向（開方向）に移
動し、時刻ｔ₂にはクッション部材４８，４９が移動子
１５から完全に離れる（開状態）。On the other hand, the first signal S1 is switched to "high" state to the time t ₁ is amplified by the amplifier 72, is input to the coil 59a of the relay 59 of the holding mechanism 17, thereby the relay 59 Switch 59b is "on"
State. As a result, the drive spring 54 is driven from the power source 60.
Current flows through. When a current flows through the driving spring 54, the temperature rises due to the heat generated by the internal resistance. Drive spring 5
No. 4, when a predetermined temperature is reached, a tissue change occurs, and FIG.
As shown in (B) and FIG. 8 (B), the length L when not energized
From 1 to length L2. When the driving spring 54 extends in this manner, the first and second holding members 35 and 36 rotate about the shaft 31 as indicated by an arrow X1 in the figure,
The edges 35a, 36a of the first and second holding members 35, 36 on the side of the comb-tooth-shaped portion 42 move in directions away from each other (opening direction), and at time t ₂ , the cushion members 48, 49 move the mover 15. Completely away from (open state).

【００３８】この時刻ｔ₂から時刻ｔ₃の間（期間）、
移動子１５が正転方向（図中右側）へ移動する。この期
間では、移動子１５のａ相の電極２１ａには電極シー
ケンス回路６５から“＋”の高電圧が固定的に印加さ
れ、ｂｃ相の電極２１ｂ，２１ｃには電極シーケンス回
路６５から“−”の高電圧が固定的に印加される。一
方、固定子１６の各相の電極２５ａ〜２５ｃに対して
は、電極シーケンス回路６５から極性及び電圧値を周期
的に切り替えて電圧が印加される。この固定子１６に対
して印加する電圧の極性の切替の周期Ｔは、等時間間隔
αの３個のステップからなる。また、Ｕ相の電極２５
ａ、Ｖ相の電極２５ｂ及びＷ相の電極２５ｃに対して同
一のパターンで極性を切り替えているが、Ｖ相にはＵ相
に対して１ステップ（１／３・Ｔ）だけ位相を進めて極
性を切り替えると共に、Ｗ相にはＵ相に対してそれぞれ
２ステップ（２／３・Ｔ）だけ位相を進めて極性を切り
替えて電圧を印加する。From time t ₂ to time t ₃ (period),
The mover 15 moves in the normal direction (right side in the figure). During this period, a high voltage of "+" is fixedly applied from the electrode sequence circuit 65 to the a-phase electrode 21a of the mover 15, and a "-" is applied from the electrode sequence circuit 65 to the bc-phase electrodes 21b and 21c. The fixed high voltage is applied. On the other hand, a voltage is applied to the electrodes 25a to 25c of each phase of the stator 16 by periodically switching the polarity and the voltage value from the electrode sequence circuit 65. The cycle T for switching the polarity of the voltage applied to the stator 16 consists of three steps at equal time intervals α. In addition, the U-phase electrode 25
The polarities are switched in the same pattern for the a, V-phase electrode 25b and the W-phase electrode 25c, but the V phase is advanced by one step (1/3 · T) with respect to the U phase. In addition to switching the polarity, the W phase is advanced by 2 steps (2/3 · T) each with respect to the U phase to switch the polarity and apply a voltage.

【００３９】まず、第１のステップＳ１では、Ｕ相：
“＋”、Ｖ相：“＋”、Ｗ相：“−”とする。また、第
２のステップＳ２では、Ｕ相：“＋”、Ｖ相：“−”、
Ｗ相：“＋”とする。さらに、第３のステップＳ３で
は、Ｕ相：“−”、Ｖ相：“＋”、Ｗ相：“＋”とす
る。以下、第１から第３のステップＳ１〜Ｓ３を繰り返
す。First, in the first step S1, the U phase:
“+”, V phase: “+”, W phase: “−”. In the second step S2, U phase: “+”, V phase: “−”,
W phase: “+”. Further, in the third step S3, the U phase is "-", the V phase is "+", and the W phase is "+". Hereinafter, the first to third steps S1 to S3 are repeated.

【００４０】上記のように移動子１５の電極２１ａ〜２
１ｃ及び固定子１６の電極２５ａ〜２５ｃに電圧を印加
すると、移動子１５の電極２１ａ〜２１ｃと固定子１６
の電極２５ａ〜２５ｃの間に生じる静電気による吸引
力、反発力により移動子１５が図中右方向に移動する。As described above, the electrodes 21a-2 of the moving element 15 are formed.
1c and the electrodes 25a to 25c of the stator 16 are applied with voltage, the electrodes 21a to 21c of the mover 15 and the stator 16
The mover 15 moves to the right in the figure by the attraction force and repulsion force due to static electricity generated between the electrodes 25a to 25c.

【００４１】時刻ｔ₃に正転スイッチ６２ａが“オフ”
に設定される。このように正転スイッチ６２ａをオン状
態からオフ状態に切り替えることは、移動子１５に対し
て移動停止を指令するものであるが、時刻ｔ₃に直ちに
保持機構１７で移動子１５を挟持することができない。
そのため、時刻ｔ₃から遅延時間α経過後の時刻ｔ₄まで
（期間）、移動子１５と固定子１６を電極２１ａ〜２
１ｃ，２５ａ〜２５ｃに生じる吸引力により移動子１５
を固定保持する。At time t ₃ , the forward rotation switch 62a is "off".
Is set to To switch the thus forward switch 62a in the ON state from the OFF state, but is intended to command a movement stop against the moving element 15, to sandwich the movable element 15 immediately holding mechanism 17 at time t ₃ I can't.
Therefore, from time t ₃ to time t ₄ after the delay time α has elapsed (period), the moving element 15 and the stator 16 are connected to the electrodes 21 a to 2 a.
1c, 25a to 25c by the suction force generated in the mover 15
Is fixedly held.

【００４２】上記第１の信号Ｓ１は、正転スイッチ６２
ａがオフ状態に設定された時刻ｔ₃に“ハイ”状態とな
る。一方、第２の信号Ｓ２は、この期間の間“ロー”
状態を維持する。そのため、上記ＮＯＲ回路７０からＤ
ラッチ６８のラッチイネーブル端子６８ｃに出力される
信号は“ロー”状態となり、Ｄラッチ６８はラッチイネ
ーブル状態にある。一方、上記アンド回路７１からバス
バッファ６９のアウトプットイネーブル端子６９ｃに出
力される信号は“ロー”状態であり、図６に示すよう
に、移動子１５の電極２１ａ〜２１ｃ及び固定子１６の
電極２５ａ〜２５ｃに対して固定的に電圧が印加され
る。移動子１５と固定子１６の電極２１ａ〜２１ｃ，２
５ａ〜２５ｃの間には静電気による吸引力が作用し、こ
の力によって移動子１５は固定子１６に対して固定され
た状態にある。The first signal S1 is applied to the forward rotation switch 62.
The state becomes “high” at time t ₃ when a is set to the off state. On the other hand, the second signal S2 is "low" during this period.
Stay in the state. Therefore, from the NOR circuit 70 to D
The signal output to the latch enable terminal 68c of the latch 68 is in the "low" state, and the D latch 68 is in the latch enable state. On the other hand, the signal output from the AND circuit 71 to the output enable terminal 69c of the bus buffer 69 is in the "low" state, and the electrodes 21a to 21c of the moving element 15 and the electrodes of the stator 16 are changed as shown in FIG. A voltage is fixedly applied to 25a to 25c. Electrodes 21a to 21c, 2 of the mover 15 and the stator 16
An attraction force due to static electricity acts between 5a to 25c, and the mover 15 is fixed to the stator 16 by this force.

【００４３】一方、上記時刻ｔ₃に“ハイ”状態に切り
替わった第１の信号Ｓ１は、アンプ７２で増幅された
後、保持機構１７のリレー５９のコイル５９ａに入力さ
れ、これによりリレー５９のスイッチ５９ｂが“オフ”
状態となる。これにより、電源６０から駆動用ばね５４
への電流が遮断される。駆動用ばね５４に電流が流れな
くなると、上記内部抵抗により発熱がなくなって温度が
低下するため、駆動用ばね５４には温度の上昇により伸
びようとする力が作用しなくなり、駆動用ばね５４は上
記図７（Ｂ）及び図８（Ｂ）で示す伸びた状態（長さＬ
２）のままとなる。一方、上記復帰用ばね５５は、原寸
法よりも伸びた状態にあるため、駆動用ばね５４に伸び
ようとする力がなくなると、原寸法（長さＬ１）まで縮
もうとする。よって、上記保持機構１７の第１及び第２
挟持部材３５，３６が図中矢印Ｘ２で示すように、シャ
フト３１を中心として第１及び第２挟持部材３５，３６
が閉方向に回動し、図７（Ａ）及び図８（Ｃ）に示すよ
うに、第１及び第２挟持部材３５，３６の櫛歯状部４２
側の端部が互いに接近し、時刻ｔ₄にクッション部材４
８，４９により移動子１５が挟持される。Meanwhile, the first signal S1 is switched to "high" state to the time t ₃ is amplified by the amplifier 72, is input to the coil 59a of the relay 59 of the holding mechanism 17, thereby the relay 59 Switch 59b is "off"
State. As a result, the drive spring 54 is driven from the power source 60.
The current to is cut off. When the current stops flowing to the drive spring 54, the internal resistance does not generate heat and the temperature decreases. Therefore, the force for extending the drive spring 54 due to the increase in temperature does not act, and the drive spring 54 The extended state (length L shown in FIG. 7B and FIG. 8B)
It remains as 2). On the other hand, since the return spring 55 is in a state of being stretched from the original size, when the force for extending the driving spring 54 disappears, the return spring 55 tries to contract to the original size (length L1). Therefore, the first and second holding mechanisms 17 are
As shown by an arrow X2 in the drawing, the holding members 35, 36 are arranged such that the first and second holding members 35, 36 are centered on the shaft 31.
Rotates in the closing direction, and as shown in FIGS. 7 (A) and 8 (C), the comb-tooth-shaped portions 42 of the first and second holding members 35, 36.
Side ends approach each other, and at time t ₄ , the cushion member 4
The mover 15 is sandwiched by 8, 49.

【００４４】時刻ｔ₄以降（期間）は、上記のように
移動子１５は、保持機構１７により固定保持された状態
にある。時刻ｔ₄には、上記第２の信号が“ロー”から
“ハイ”に切り替わる。そのため、上記期間と同様
に、ＮＯＲ回路７０からＤラッチ６８のラッチイネーブ
ル端子６８ａに出力される信号は“ロー”状態であり、
Ｄラッチ６８はラッチイネーブル状態にあると共にＡＮ
Ｄ回路７１からバスバッファ６９のアウトプットイネー
ブル端子６９ｃに出力される信号は“ハイ”状態であ
り、バスバッファ６９から信号は出力されない。After time t ₄ (period), the moving element 15 is in a state of being fixedly held by the holding mechanism 17 as described above. At time t ₄ , the second signal switches from “low” to “high”. Therefore, as in the above period, the signal output from the NOR circuit 70 to the latch enable terminal 68a of the D latch 68 is in the “low” state,
The D latch 68 is in the latch enable state and the AN
The signal output from the D circuit 71 to the output enable terminal 69c of the bus buffer 69 is in the "high" state, and the signal is not output from the bus buffer 69.

【００４５】このように、第１実施形態に係る静電アク
チュエータでは、移動子１５の停止中は、保持機構１７
の第１及び第２挟持部材３５，３６により移動子１５を
挟持しているため、停止中に外力が作動した場合にも、
移動子１５が移動することがなく、移動子１５の電極２
１ａ〜２１ｃと固定子１６の電極２５ａ〜２５ｃの間に
トラッキングのずれを生じることがない。また、この移
動子１５の停止中は移動子１５及び固定子１６の電極２
１ａ〜２１ｃ，２５ａ〜２５ｃに電圧を印加しないた
め、電極２１ａ〜２１ｃ，２５ａ〜２５ｃが帯電するこ
とがない。さらに、自動車の遮光装置の駆動源として、
この静電アクチュエータを使用した場合、イグニッショ
ンスイッチをオフ状態として静電アクチュエータに電流
を供給しなくても、移動子１５の位置を固定保持するこ
とができるため、電源面及び保守面で好ましい。As described above, in the electrostatic actuator according to the first embodiment, the holding mechanism 17 is provided while the moving element 15 is stopped.
Since the moving element 15 is held by the first and second holding members 35 and 36, even when an external force is activated during the stop,
The mover 15 does not move, and the electrode 2 of the mover 15 does not move.
There is no tracking deviation between the electrodes 1a to 21c and the electrodes 25a to 25c of the stator 16. Further, while the moving element 15 is stopped, the electrodes 2 of the moving element 15 and the stator 16 are
Since no voltage is applied to 1a to 21c and 25a to 25c, the electrodes 21a to 21c and 25a to 25c are not charged. Furthermore, as a drive source of the light-shielding device of the automobile,
When this electrostatic actuator is used, the position of the mover 15 can be fixed and held without turning the ignition switch off and supplying a current to the electrostatic actuator, which is preferable in terms of power supply and maintenance.

【００４６】なお、逆転スイッチ６２ｂが“オン”に設
定された場合には、固定子１６のＵ相の電極２５ａと同
一パターンで、かつＶ相の電極２５ｂとＷ相の電極２５
ｃに対して、Ｕ相の電極２５ａよりそれぞれ１ステッ
プ、２ステップだけ位相を遅らせて、極性を切り替えて
電圧が印加され、移動子１５は逆転方向（図中左側）へ
移動する。When the reverse switch 62b is set to "ON", the V-phase electrode 25b and the W-phase electrode 25b have the same pattern as the U-phase electrode 25a of the stator 16.
With respect to c, the phase is delayed by one step or two steps from the U-phase electrode 25a, the polarity is switched, and the voltage is applied, and the mover 15 moves in the reverse direction (left side in the drawing).

【００４７】図９（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は本発明の第
２実施形態を示している。なお、第２実施形態の、図９
（Ａ）〜（Ｃ）以外の構造については、上記した第１実
施形態と同一である。まず、保持機構１７の第１挟持部
材８０は、長方形状の板部材であり、幅方向の中央部分
に、一方の縁部から他方の縁部まで貫通するシャフト挿
入用の貫通孔８１を設けている。また、第１挟持部材８
０には、幅方向の中央部分に、板厚方向に貫通する矩形
孔８２ａ，８２ｂ，８２ｃを並設し、これら矩形孔８２
ａ，８２ｂ，８２ｃの間に連結部８３，８３・・・を設
けている。9A, 9B and 9C show a second embodiment of the present invention. In addition, FIG. 9 of the second embodiment.
The structure other than (A) to (C) is the same as that of the first embodiment described above. First, the first holding member 80 of the holding mechanism 17 is a rectangular plate member, and a through hole 81 for inserting a shaft that penetrates from one edge portion to the other edge portion is provided in the center portion in the width direction. There is. Also, the first holding member 8
In Fig. 0, rectangular holes 82a, 82b, 82c penetrating in the plate thickness direction are juxtaposed at the central portion in the width direction.
Connection parts 83, 83 ... Are provided between a, 82b and 82c.

【００４８】一方、第２挟持部材８４は、長方形状の底
部８４ａの両側に、底部に対して図中斜め上方に延在す
る側壁部８４ｂ，８４ｂを設け、この側壁部８４ｂ，８
４ｂの先端を所定幅だけ底部８４ａに対してほぼ平行と
なるように折り曲げて平坦部８４ｃ，８４ｃを設けてい
る。On the other hand, the second holding member 84 is provided with side walls 84b, 84b on both sides of the rectangular bottom 84a which extend obliquely upward in the figure with respect to the bottom.
The tip of 4b is bent by a predetermined width so as to be substantially parallel to the bottom 84a, and flat portions 84c and 84c are provided.

【００４９】また、第２挟持部材８４には、上記底部８
４ａ及び側壁部８４ｂの下方部分に、板厚方向に貫通す
る所定幅の矩形孔８５ａ，８５ｂ，８５ｃを並設し、こ
れら矩形孔８５ａ，８５ｂ，８５ｃの間の部分に、連結
部８６，８６・・・を設けている。上記矩形孔８５ａ，
８５ｂ，８５ｃの幅は、第１挟持部材８０の連結部８３
よりもわずかに大きく設定する一方、第２挟持部材８４
の連結部８６の幅は、上記第１挟持部材８０の貫通孔８
２ａ〜８２ｃの幅よりもわずかに小さく設定している。
さらに、第２挟持部材８４の、幅方向の中央部分には、
一方の縁部から他方の縁部に貫通する貫通孔８８を設け
ている。Further, the bottom portion 8 is provided on the second holding member 84.
Rectangular holes 85a, 85b, 85c of a predetermined width penetrating in the plate thickness direction are juxtaposed in the lower portion of the 4a and the side wall portion 84b, and the connecting portions 86, 86 are provided between the rectangular holes 85a, 85b, 85c. ... is provided. The rectangular hole 85a,
The widths of 85b and 85c are the same as the connecting portion 83 of the first holding member 80.
While slightly larger than the second holding member 84
The width of the connecting portion 86 of the through hole 8 of the first holding member 80 is
It is set to be slightly smaller than the width of 2a to 82c.
Furthermore, in the central portion of the second holding member 84 in the width direction,
A through hole 88 is provided that penetrates from one edge to the other edge.

【００５０】図９（Ｂ），（Ｃ）に示すように、上記第
１挟持部材８０と第２挟持部材８４は、第２挟持部材８
４の連結部８６が第１固定部材８１の矩形孔８２ａ〜８
２ｃに挿入され、第１固定部材８１の連結部８３が第２
固定部材８４の矩形穴８５ａ〜８５ｃに挿入された状態
に組付けられ、貫通孔８１，８８には、シャフト３１が
挿入される。As shown in FIGS. 9B and 9C, the first holding member 80 and the second holding member 84 are the same as the second holding member 8.
The connecting portion 86 of No. 4 has the rectangular holes 82 a to 8 of the first fixing member 81.
2c, the connecting portion 83 of the first fixing member 81 is
The shaft 31 is inserted into the rectangular holes 85a to 85c of the fixing member 84, and the shaft 31 is inserted into the through holes 81 and 88.

【００５１】また、図９（Ｂ）に示すように、上記第１
挟持部材８０の一方の縁部と、この縁部と対向する第２
挟持部材８４の一方の平坦部８４ｃには、第１実施形態
と同様にクッション部材４８，４９を取付けている。Further, as shown in FIG. 9B, the first
One edge of the holding member 80 and the second edge facing the edge.
Cushion members 48 and 49 are attached to one flat portion 84c of the holding member 84 as in the first embodiment.

【００５２】さらに、図９（Ｃ）に示すように、上記第
１挟持部材８０の他方の縁部と、この縁部と対向する第
２挟持部材８４の平坦部８４ｃには、それぞれ係止部５
１，５２を設け、駆動用ばね５４’と復帰用ばね５５を
架設している。第１実施形態と同様に駆動用ばね５４’
は形状記憶合金からなるつる巻ばねであるが、両端に接
続した電線５７ａ，５７ｂから電流が流れると、内部抵
抗により発熱して温度が上昇し、長さが縮む性質を有す
る。Further, as shown in FIG. 9C, the engaging portions are respectively provided on the other edge portion of the first holding member 80 and the flat portion 84c of the second holding member 84 facing the edge portion. 5
1, 52 are provided, and a drive spring 54 'and a return spring 55 are installed. Similar to the first embodiment, the drive spring 54 '
Is a helical spring made of a shape memory alloy, and has a property that when current flows from the electric wires 57a and 57b connected to both ends, heat is generated due to internal resistance, the temperature rises, and the length shrinks.

【００５３】この第２実施形態では、移動子１５の停止
時には、図１１（Ａ）に示すように、駆動用ばね５４’
に電流を流さず、図１０（Ａ）に示すように、第１挟持
部材８０と第２挟持部部材８４の間に移動子１５を挟持
する一方、移動子１５の移動時には、駆動用ばね５４’
に電流を流して温度を上昇させ、図１０（Ｂ）及び図１
１（Ｂ）に示すように、駆動用ばね５４’を縮めること
により、第１及び第２挟持部材８０，８４を回動させ、
第１挟持部材８０に取付けたクッション部材４８と第２
挟持部材８４に取付けたクッション部材４９を互いに離
反させる。移動子１５の移動を再度停止する際に、駆動
用ばね５４’に流す電流を停止すると、駆動用ばね５
４’は縮んだ状態で維持されるが、復帰用ばね５５が原
寸法に戻るために伸びようとする弾性的な力により第１
及び第２挟持部材８０，８４は、図１０（Ａ）及び図１
１（Ｃ）に示す位置に復帰する。In the second embodiment, when the moving element 15 is stopped, as shown in FIG. 11A, the drive spring 54 'is used.
As shown in FIG. 10 (A), the moving element 15 is held between the first holding member 80 and the second holding portion member 84 while the moving spring 15 is being moved. '
10B and FIG.
As shown in FIG. 1 (B), by contracting the driving spring 54 ′, the first and second clamping members 80 and 84 are rotated,
The cushion member 48 attached to the first holding member 80 and the second
The cushion members 49 attached to the holding member 84 are separated from each other. When the current flowing through the drive spring 54 ′ is stopped when the movement of the mover 15 is stopped again, the drive spring 5
4'is maintained in a contracted state, but the elastic force of the restoring spring 55 trying to expand to return to the original size causes
The second holding members 80 and 84 are shown in FIG.
It returns to the position shown in 1 (C).

【００５４】次に、図１２に示す本発明の第３実施形態
について説明する。この第３実施形態は、復帰用ばね５
５’を温度が上昇すると伸びる性質を有する形状記憶合
金製としている。また、復帰用ばね５５’の両端には電
線５７ｃ，５７ｄを接続して電源６０からリレー５９を
介して電流が流れるようにしている。第３実施形態のそ
の他の構造は上記した第１実施形態と同一であり、駆動
用ばね５４は形状記憶合金製であって、電流を流して温
度が上昇すると縮む性質を有する。Next, a third embodiment of the present invention shown in FIG. 12 will be described. In the third embodiment, the return spring 5 is used.
5'is made of a shape memory alloy that has the property of expanding when the temperature rises. Moreover, electric wires 57c and 57d are connected to both ends of the return spring 55 'so that a current flows from the power source 60 through the relay 59. The other structure of the third embodiment is the same as that of the first embodiment described above, the drive spring 54 is made of a shape memory alloy, and has a property of contracting when an electric current is applied and the temperature rises.

【００５５】移動子１５の停止時には、図１３（Ａ）に
示すように、上記駆動用ばね５５を非通電状態とする一
方、復帰用ばね５５’を通電状態とする。上記のように
復帰用ばね５５’は通電すると温度が上昇すると縮むた
め、第１挟持部材３５の櫛歯状部４２と第２挟持部材３
６の櫛歯状部４２が互いに接近し、移動子１５はクッシ
ョン部材４８，４９の間に挟持される。When the mover 15 is stopped, as shown in FIG. 13 (A), the drive spring 55 is de-energized while the return spring 55 'is energized. As described above, the return spring 55 ′ contracts when the temperature rises when energized, so that the comb-teeth portion 42 of the first holding member 35 and the second holding member 3 are contracted.
The comb tooth-shaped portions 42 of 6 approach each other, and the mover 15 is sandwiched between the cushion members 48 and 49.

【００５６】一方、移動子１５の移動時には、図１３
（Ｂ）に示すように、上記駆動用ばね５４を通電状態と
する一方、復帰用ばね５５’を非通電状態とする。上記
のように駆動用ばね５４は、電流を流すとと温度が上昇
して伸びるため、第１及び第２挟持部材３５，３６の櫛
歯状部４２が互いに離反し、移動子１４からクッション
部材４８，４９が離れる。。On the other hand, when the mover 15 is moved, as shown in FIG.
As shown in (B), while the drive spring 54 is energized, the return spring 55 'is de-energized. As described above, the temperature of the drive spring 54 rises when a current is applied, and the drive spring 54 expands. Therefore, the comb-tooth-shaped portions 42 of the first and second holding members 35 and 36 separate from each other, and the cushion member is separated from the moving member 14. 48 and 49 separate. .

【００５７】このように第３実施形態では、第１及び第
２挟持部材３５，３６をクッション部材４８，４９が移
動子１５を挟持する方向及び移動子１５から離れる方向
のいずれの方向に回動させる場合にも、形状記憶合金製
の駆動用ばね５４または復帰用ばね５５’を伸縮するこ
とにより、第１及び第２挟持部材３５，３６を駆動する
ため、保持機構１７が確実に作動する。As described above, in the third embodiment, the first and second holding members 35 and 36 are rotated in either the direction in which the cushion members 48 and 49 hold the moving element 15 or the direction in which they are separated from the moving element 15. Also in this case, the first and second holding members 35 and 36 are driven by expanding and contracting the drive spring 54 or the return spring 55 ′ made of a shape memory alloy, so that the holding mechanism 17 operates reliably.

【００５８】本発明は、上記した実施形態に限定される
ものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記
実施形態では、移動子１５の電極２１ａ〜２１ｃに対し
て極性を固定して電圧を印加し、固定子１６の電極２５
ａ〜２５ｃに対して極性を切り替えて電圧を印加してい
るが、移動子１５の電極２１ａ〜２１ｃに対して極性を
切り替えて電圧を印加し、固定子１６の電極２５ａ〜２
５ｃに対して固定的に電圧を印加してもよい。The present invention is not limited to the above embodiment, but various modifications can be made. For example, in the above embodiment, the polarity is fixed to the electrodes 21a to 21c of the moving element 15 and voltage is applied to the electrodes 21a to 21c of the moving element 15, and
While the polarity is switched to the electrodes a to 25c and the voltage is applied, the polarity is switched to the electrodes 21a to 21c of the mover 15 and the voltage is applied to the electrodes 25a to 25c of the stator 16.
A voltage may be fixedly applied to 5c.

【００５９】[0059]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１の静電アクチュエータでは、開位置で移動子を移動可
能とする一方、閉位置で移動子を挟持して移動子を固定
保持する挟持手段と、該挟持手段を駆動する駆動手段と
を備える保持機構を設けているため、移動子の停止中
は、この挟持手段により移動子を挟持できるため、移動
子の停止中に外力により移動子が移動して、移動子の電
極と固定子の電極の間のトラッキングにずれが生じるの
を防止することができる。また、移動子の停止中には、
移動子及び固定子の停止中に電極に対して固定的に電圧
を印加する必要がないため、電極の電圧分布が飽和状態
となって再駆動時の電圧の供給が阻害されるのを防止す
ることができる。このように請求項１の静電アクチュエ
ータでは、移動子の停止時には、移動子を停止位置で確
実に固定保持することができると共に、移動子の再駆動
時には、確実に移動子を駆動することができる。As is apparent from the above description, in the electrostatic actuator according to the first aspect of the present invention, the movable element can be moved in the open position, while the movable element is clamped and held in the closed position. Since the holding mechanism including the holding means and the driving means for driving the holding means is provided, the moving element can be held by the holding means while the moving element is stopped, so that the moving element is moved by an external force while the moving element is stopped. It is possible to prevent the child from moving and the tracking between the electrode of the moving element and the electrode of the stator from deviating. Also, while the mover is stopped,
Since it is not necessary to apply a fixed voltage to the electrodes while the mover and the stator are stopped, it is possible to prevent the voltage distribution of the electrodes from becoming saturated and hindering the supply of voltage during re-driving. be able to. As described above, in the electrostatic actuator according to the first aspect, when the moving element is stopped, the moving element can be securely fixed and held at the stop position, and when the moving element is re-driven, the moving element can be reliably driven. it can.

【００６０】また、請求項２の静電アクチュエータで
は、保持機構は、互いに回動自在に組付けた第１及び第
２挟持部材を備える挟持手段と、形状記憶合金製のつる
巻ばねらかなり、通電時に発生する熱により伸縮して、
上記第１及び第２挟持部材を閉方向に回動させる駆動用
ばねと、該駆動用ばね非通電時に上記第１及び第２挟持
部材を開方向に回動させる復帰用ばねとを備える駆動手
段を備えるため、移動子の停止時には、駆動用ばねを非
通電状態として復帰用ばねの力により第１及び第２挟持
部材を閉状態として移動子をこれら第１及び第２挟持部
材の間に挟持して固定保持することができる。一方、移
動子の作動時には上記駆動用ばねを通電状態として第１
及び第２挟持部材を開方向に回動させ、移動子を移動可
能とすることができる。よって、請求項２の静電アクチ
ュエータでは、移動子の移動または停止に応じて、挟持
手段を開位置または閉位置に確実に回動させることがで
きる。Further, in the electrostatic actuator of claim 2, the holding mechanism includes a holding means including first and second holding members which are rotatably assembled to each other, and a helical spring made of a shape memory alloy. It expands and contracts due to the heat generated when electricity is applied,
Driving means including a drive spring for rotating the first and second clamping members in the closing direction and a return spring for rotating the first and second clamping members in the opening direction when the driving spring is not energized. Therefore, when the mover is stopped, the drive spring is de-energized and the force of the return spring is used to close the first and second holding members to hold the mover between the first and second holding members. It can be fixed and held. On the other hand, when the mover is operated, the drive spring is energized to
Also, the movable element can be moved by rotating the second holding member in the opening direction. Therefore, in the electrostatic actuator according to the second aspect, the pinching means can be reliably rotated to the open position or the closed position according to the movement or stop of the moving element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明に係る静電アクチュエータを示す概略
回路図である。FIG. 1 is a schematic circuit diagram showing an electrostatic actuator according to the present invention.

【図２】 本発明に係る静電アクチュエータを示す概略
回路図である。FIG. 2 is a schematic circuit diagram showing an electrostatic actuator according to the present invention.

【図３】 静電アクチュエータを図２の矢印III方向か
ら見た平面図である。3 is a plan view of the electrostatic actuator as viewed in the direction of arrow III in FIG.

【図４】 （Ａ）は移動子を示す部分平面図、（Ｂ）は
固定子を示す部分平面図である。FIG. 4A is a partial plan view showing a mover, and FIG. 4B is a partial plan view showing a stator.

【図５】 第１実施形態における保持機構を示し、
（Ａ）は分解斜視図、（Ｂ）は一方側から見た斜視図、
（Ｃ）は他方側から見た斜視図である。FIG. 5 shows a holding mechanism according to the first embodiment,
(A) is an exploded perspective view, (B) is a perspective view seen from one side,
(C) is a perspective view seen from the other side.

【図６】 第１実施形態の静電アクチュエータの作動を
説明するための線図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the electrostatic actuator of the first embodiment.

【図７】 （Ａ）は移動子の停止時の保持機構を示す概
略図であり、（Ｂ）は移動子の移動時の保持機構を示す
概略図である。FIG. 7A is a schematic diagram showing a holding mechanism when the moving element is stopped, and FIG. 7B is a schematic diagram showing a holding mechanism when the moving element is moving.

【図８】 （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、駆動用ばね及び
移動用ばねの作動を示す概略図である。8A, 8B, and 8C are schematic views showing the operation of the driving spring and the moving spring.

【図９】 第２実施形態における保持機構を示し、
（Ａ）は分解斜視図、（Ｂ）は一方側から見た斜視図、
（Ｃ）は他方側から見た斜視図である。FIG. 9 shows a holding mechanism according to a second embodiment,
(A) is an exploded perspective view, (B) is a perspective view seen from one side,
(C) is a perspective view seen from the other side.

【図１０】 （Ａ）は移動子の停止時の保持機構を示す
概略図であり、（Ｂ）は移動子の移動時の保持機構を示
す概略図である。FIG. 10A is a schematic view showing a holding mechanism when the moving element is stopped, and FIG. 10B is a schematic view showing a holding mechanism when the moving element is moving.

【図１１】 （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、駆動用ばね及
び移動用ばねの作動を示す概略図である。11 (A), (B), and (C) are schematic views showing the operation of the drive spring and the moving spring.

【図１２】 第３実施形態における保持機構を示す分解
斜視図である。FIG. 12 is an exploded perspective view showing a holding mechanism according to a third embodiment.

【図１３】 （Ａ），（Ｂ）は駆動用ばね及び復帰用ば
ねの作動を示す概略図である。13A and 13B are schematic diagrams showing the operation of the drive spring and the return spring.

【図１４】 従来の静電アクチュエータを示す部分概略
図である。FIG. 14 is a partial schematic view showing a conventional electrostatic actuator.

【図１５】 図１４の静電アクチュエータに印加する電
圧を示す線図である。FIG. 15 is a diagram showing a voltage applied to the electrostatic actuator of FIG.

【図１６】 静電アクチュエータを駆動源とする遮光装
置を示す概略図である。FIG. 16 is a schematic view showing a light shielding device using an electrostatic actuator as a drive source.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ 駆動部 １２ 制御部 １５ 移動子 １６ 固定子 １７ 保持機構 ３０ ハウジング ３１ シャフト ３５，８０ 第１挟持部材 ３６，８４ 第２挟持部材 ４８，４９ クッション部材 ５４，５４’ 駆動用ばね ５５，５５’ 復帰用ばね 11 Drive part 12 Control part 15 Moving element 16 Stator 17 Holding mechanism 30 Housing 31 Shaft 35,80 1st clamping member 36,84 2nd clamping member 48,49 Cushion member 54,54 'Drive spring 55,55' Return Spring

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 絶縁層に複数の電極を配設した固定子
と、 絶縁層に複数の電極を配設し、固定子に対して移動可能
に対向して配置した移動子とを備え、上記移動子の電極
と固定子の電極のいずれか一方に極性を固定して電圧を
印加し、いずれか他方に周期的に極性を切り替えて電圧
を印加し、移動子の電極と固定子の電極の間に生じる吸
引力と反発力により移動子を駆動する静電アクチュエー
タであって、 開位置で移動子を移動可能とする一方、閉位置で移動子
を挟持して移動子を固定保持する挟持手段と、該挟持手
段を駆動する駆動手段とを備える保持機構を設けたこと
を特徴とする静電アクチュエータ。1. A stator provided with a plurality of electrodes on an insulating layer, and a mover provided with a plurality of electrodes on the insulating layer and movably opposed to the stator, Applying a voltage with a fixed polarity to one of the electrodes of the mover and the stator, applying a voltage by periodically switching the polarity to the other of the electrodes of the mover and the electrodes of the stator. An electrostatic actuator that drives a moving element by a suction force and a repulsive force generated between the moving element, and that allows the moving element to move in the open position, while holding the moving element in the closed position to fix and hold the moving element. An electrostatic actuator comprising: a holding mechanism including: a driving unit that drives the holding unit. 【請求項２】 上記挟持手段は、互いに回動自在に組付
けた第１及び第２挟持部材を備え、上記駆動手段は、形
状記憶合金製のつる巻ばねからなり、通電時に発生する
熱により伸縮して、上記第１及び第２挟持部材を開方向
に回動させる駆動用ばねと、該駆動用ばねの非通電時に
上記第１及び第２挟持部材を閉方向に回動させる復帰用
ばねを備える請求項１に記載の静電アクチュエータ。2. The holding means includes first and second holding members that are rotatably assembled to each other, and the driving means is a helical spring made of a shape memory alloy, and is driven by heat generated when electricity is applied. A drive spring that expands and contracts to rotate the first and second clamping members in the opening direction, and a return spring that rotates the first and second clamping members in the closing direction when the driving spring is not energized. The electrostatic actuator according to claim 1, further comprising: